JP2010230449A - Position sensor - Google Patents

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Koji Soshin
耕児 宗進
多津彦 ▲松▼本
Tatsuhiko Matsumoto
Takashi Suma
喬 須磨
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a position sensor which reduces variations in displacement signal due to temperature changes. <P>SOLUTION: The position sensor includes: a sensor unit 5 with a current circuit 3 for output of a constant current, a detecting coil 1 to which the constant current is supplied, a movable core 2 out of a magnetic material which is displaced in the direction of the winding axis of the detecting coil 1 relatively with respect to the detecting coil 1, and a signal processing circuit 4 for output of a displacement signal Vx representing positional information on the movable core 2 with respect to the detecting coil 1; a temperature detecting element 6 for detecting the temperature of the sensor unit 5; and a temperature controller 7 for controlling the temperature of the sensor unit 5. Based on the results of detection by the temperature detecting element 6, the temperature controller 7 controls the temperature of the sensor unit 5 to a predetermined temperature value. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、コイルを利用して移動体の変位を検出するポジションセンサに関するものである。   The present invention relates to a position sensor that detects displacement of a moving body using a coil.

従来、コイルにコアを挿入することによって変化するコイルのインピーダンスに基づいて、コイルに対するコアの変位量を検出するポジションセンサが提案されている（例えば特許文献１）。   Conventionally, a position sensor that detects the amount of displacement of the core relative to the coil based on the impedance of the coil that is changed by inserting the core into the coil has been proposed (for example, Patent Document 1).

図９に従来のポジションセンサの概略図、図１０に従来のポジションセンサの回路構成図を示す。   FIG. 9 is a schematic diagram of a conventional position sensor, and FIG. 10 is a circuit configuration diagram of the conventional position sensor.

本従来例のポジションセンサは、検出コイル１と、可動コア２と、電流回路３と、信号処理部４とで構成されている。   The position sensor according to the conventional example includes a detection coil 1, a movable core 2, a current circuit 3, and a signal processing unit 4.

検出コイル１は、一定の曲率で湾曲した円弧状のボビン１ａに、導線１ｂが均一に巻回されている。   In the detection coil 1, a conducting wire 1b is uniformly wound around an arc-shaped bobbin 1a curved with a constant curvature.

可動コア２は、検出コイル１の中空部分に貫入するように一定の曲率で湾曲した円弧状の磁性材料からなるコア２ａと、円弧状のコア２ａに対応する円の中心に備えられた回転軸２ｂと、コア２ａの一端と回転軸２ｂとを接続する連結片２ｃとで構成されている。   The movable core 2 includes a core 2a made of an arc-shaped magnetic material curved with a certain curvature so as to penetrate the hollow portion of the detection coil 1, and a rotation shaft provided at the center of a circle corresponding to the arc-shaped core 2a. 2b and the connection piece 2c which connects the end of the core 2a, and the rotating shaft 2b.

また、検出コイル１には、電流回路３と信号処理回路４が接続されている。   Further, a current circuit 3 and a signal processing circuit 4 are connected to the detection coil 1.

電流回路３は、発振回路３ａとＶ−Ｉ変換回路３ｂとから構成されており、検出コイル１に定電流を供給している。   The current circuit 3 includes an oscillation circuit 3a and a VI conversion circuit 3b, and supplies a constant current to the detection coil 1.

また、信号処理回路４は、検出コイル１に供給される定電流と検出コイル１のインピーダンスとによって決まる検出コイル１の両端電圧に基づいて、検出コイル１と可動コア２との位置情報を示す変位信号Ｖｘを出力する。   Further, the signal processing circuit 4 is a displacement indicating positional information of the detection coil 1 and the movable core 2 based on the voltage across the detection coil 1 determined by the constant current supplied to the detection coil 1 and the impedance of the detection coil 1. The signal Vx is output.

特開２００４−２９００２号公報JP 2004-29002 A

従来のポジションセンサにおいて、温度変化により出力される変位信号Ｖｘが変動するという課題がある。   In the conventional position sensor, there is a problem that the displacement signal Vx output by the temperature change fluctuates.

例えば、検出コイル１の温度が変化すると、検出コイル１のインピーダンスが変動するので、インピーダンスの変化に基づいて検出される変位信号Ｖｘも変動する。   For example, when the temperature of the detection coil 1 changes, the impedance of the detection coil 1 changes, so the displacement signal Vx detected based on the change in impedance also changes.

また、電流回路３を構成している発振回路３ａの抵抗やコンデンサの温度が変化すると、発振周波数が変動し、出力される定電流の周波数も変動するので、インピーダンスの変化に基づいて検出される変位信号Ｖｘも変動する。   Further, when the temperature of the resistor or capacitor of the oscillation circuit 3a constituting the current circuit 3 changes, the oscillation frequency fluctuates and the frequency of the output constant current also fluctuates, so that it is detected based on a change in impedance. The displacement signal Vx also varies.

そこで、温度変化による変位信号Ｖｘの変動を低減するために、温度補償回路を備えたポジションセンサが提供されている。   Therefore, in order to reduce the fluctuation of the displacement signal Vx due to the temperature change, a position sensor provided with a temperature compensation circuit is provided.

図１１（ａ）に、温度補償回路によるキャリブレーション前のコア回転角と変位信号Ｖｘとの関係を示す。また、図１１（ａ）において、室温時におけるコア回転角と変位信号Ｖｘとの関係を示すグラフをＹ１ａとし、同様に高温時におけるグラフをＹ２ａ、低温時におけるグラフをＹ３ａとする。   FIG. 11A shows the relationship between the core rotation angle before calibration by the temperature compensation circuit and the displacement signal Vx. In FIG. 11A, a graph showing the relationship between the core rotation angle at room temperature and the displacement signal Vx is Y1a, similarly, a graph at high temperature is Y2a, and a graph at low temperature is Y3a.

本従来例のポジションセンサは、コア回転角が増加するにしたがって、変位信号Ｖｘも増加する構成となっている。なお、コア回転角の最小はコア２ａが検出コイル１の中空部分への貫入量が最小の場合とし、コア回転角の最大はコア２ａが検出コイル１の中空部分への貫入量が最大の場合とする。   The position sensor of this conventional example is configured such that the displacement signal Vx increases as the core rotation angle increases. The minimum core rotation angle is when the core 2a has the least amount of penetration into the hollow portion of the detection coil 1, and the maximum core rotation angle is when the core 2a has the largest amount of penetration into the hollow portion of the detection coil 1. And

高温時の変位信号Ｙ２ａは、室温時の変位信号Ｙ１ａに対して増加方向へ大きく変動している。逆に、低温時の変位信号Ｙ３ａは、室温時の変位信号Ｙ１ａに対して減少方向へ大きく変動している。   The displacement signal Y2a at a high temperature greatly fluctuates in an increasing direction with respect to the displacement signal Y1a at a room temperature. On the contrary, the displacement signal Y3a at the low temperature greatly fluctuates in the decreasing direction with respect to the displacement signal Y1a at the room temperature.

次に、図１１（ｂ）に、温度補償回路によるキャリブレーション後のコア回転角と変位信号Ｖｘとの関係を示す。また、図１１（ｂ）において、室温時におけるコア回転角と変位信号Ｖｘとの関係を示すグラフをＹ１ｂ、同様に高温時におけるグラフをＹ２ｂ、低温時におけるグラフをＹ３ｂとする。   FIG. 11B shows the relationship between the core rotation angle after calibration by the temperature compensation circuit and the displacement signal Vx. In FIG. 11B, a graph showing the relationship between the core rotation angle and the displacement signal Vx at room temperature is Y1b, similarly, a graph at high temperature is Y2b, and a graph at low temperature is Y3b.

温度補償回路によるキャリブレーション前と同様に、室温時の変位信号Ｙ１ｂに対して、高温時の変位信号Ｙ２ｂは増加方向へ、低温時の変位信号Ｙ３ｂは減少方向へ変動しているが、温度補償回路によってキャリブレーションされることで、室温時の変位信号Ｙ１ｂに対する変動幅は低減されている。   As in the case of the calibration by the temperature compensation circuit, the displacement signal Y2b at the high temperature varies in the increasing direction and the displacement signal Y3b at the low temperature varies in the decreasing direction with respect to the displacement signal Y1b at the room temperature. By calibrating by the circuit, the fluctuation range with respect to the displacement signal Y1b at room temperature is reduced.

しかし、温度変化による変位信号Ｖｘの変動をさらに低減させる必要がある場合、従来の温度補償回路によるキャリブレーションでは困難である。   However, when it is necessary to further reduce the variation of the displacement signal Vx due to a temperature change, it is difficult to perform calibration using a conventional temperature compensation circuit.

本発明は、上記事由に鑑みてなされたものであり、その目的は、温度変化による変位信号の変動を低減したポジションセンサを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above reasons, and an object of the present invention is to provide a position sensor in which fluctuation of a displacement signal due to temperature change is reduced.

請求項１の発明は、電流を出力する電流出力部と、電流を供給される検出コイルと、検出コイルに対して検出コイルの巻軸方向に相対変位する磁性材料からなるコアと、コアと検出コイルとの位置情報を示す変位信号を出力する信号処理部とを具備したセンサ部と、センサ部の温度を検出する温度検出手段と、センサ部の温度を制御する温度制御手段とを備え、温度検出手段の検出結果に基づいて、温度制御手段がセンサ部の温度を所定の温度に制御することを特徴とする。   According to the first aspect of the present invention, there is provided a current output unit for outputting a current, a detection coil to which a current is supplied, a core made of a magnetic material that is relatively displaced with respect to the detection coil in the winding axis direction of the detection coil, A sensor unit including a signal processing unit that outputs a displacement signal indicating position information with respect to the coil, a temperature detection unit that detects the temperature of the sensor unit, and a temperature control unit that controls the temperature of the sensor unit, The temperature control unit controls the temperature of the sensor unit to a predetermined temperature based on the detection result of the detection unit.

この発明によれば、温度検出手段でセンサ部の温度を検出し、その検出した温度を基に、温度制御手段がセンサ部の温度を所定の温度に制御することができる。そのため、センサ部の動作温度を所定の温度に保つことで、温度変化による変位信号の変動を低減させることができる。   According to the present invention, the temperature of the sensor unit can be detected by the temperature detection unit, and the temperature control unit can control the temperature of the sensor unit to a predetermined temperature based on the detected temperature. Therefore, by keeping the operating temperature of the sensor unit at a predetermined temperature, fluctuations in the displacement signal due to temperature changes can be reduced.

請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記電流出力部は、基板と当該基板に実装された電子部品とで構成されており、前記温度検出手段で電子部品の温度を検出し、温度検出手段の検出結果に基づいて、前記温度制御手段が電子部品の温度を所定の温度に制御することを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the current output unit includes a substrate and an electronic component mounted on the substrate, and the temperature detecting unit detects the temperature of the electronic component. The temperature control unit controls the temperature of the electronic component to a predetermined temperature based on the detection result of the temperature detection unit.

この発明によれば、電流出力部を構成している電子部品の温度を検出し、その検出した温度を基に、温度制御手段が電子部品の温度を所定の温度に制御することができる。そのため、電子部品の温度を所定の温度に保つことで、電流出力部から出力される電流の変動を低減させることができるので、変位信号の変動を低減させることができる。   According to this invention, the temperature of the electronic component which comprises the electric current output part is detected, and the temperature control means can control the temperature of an electronic component to predetermined | prescribed temperature based on the detected temperature. Therefore, by keeping the temperature of the electronic component at a predetermined temperature, fluctuations in the current output from the current output unit can be reduced, so that fluctuations in the displacement signal can be reduced.

請求項３の発明は、請求項１の発明において、前記電流出力部は、基板と当該基板に実装された電子部品とで構成されており、前記温度検出手段で基板の温度を検出し、温度検出手段の検出結果に基づいて、前記温度制御手段が基板の温度を所定の温度に制御することを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the current output unit includes a substrate and an electronic component mounted on the substrate, and the temperature detecting means detects the temperature of the substrate, The temperature control means controls the temperature of the substrate to a predetermined temperature based on the detection result of the detection means.

この発明によれば、電流出力部を構成している基板の温度と電子部品の温度を略同一とみなして、基板の温度を検出し、その検出した温度を基に、温度制御手段が基板の温度を所定の温度に制御することができる。そのため、基板の温度を所定の温度に保つことで、基板の温度と略同一とみなすことができる電子部品の温度も所定の温度に保たれ、電流出力部から出力される電流の変動を低減させることができるので、変位信号の変動を低減させることができる。   According to the present invention, the temperature of the substrate constituting the current output unit and the temperature of the electronic component are regarded as substantially the same, the temperature of the substrate is detected, and based on the detected temperature, the temperature control means is connected to the substrate. The temperature can be controlled to a predetermined temperature. Therefore, by maintaining the substrate temperature at a predetermined temperature, the temperature of the electronic component that can be regarded as substantially the same as the substrate temperature is also maintained at the predetermined temperature, and fluctuations in the current output from the current output unit are reduced. Therefore, the variation of the displacement signal can be reduced.

請求項４の発明は、請求項１の発明において、前記温度検出手段で前記検出コイルの温度を検出し、温度検出手段の検出結果に基づいて、前記温度制御手段が検出コイルの温度を所定の温度に制御することを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the temperature detecting means detects the temperature of the detection coil, and the temperature control means determines the temperature of the detection coil based on the detection result of the temperature detection means. Controlled by temperature.

この発明によれば、検出コイルの温度を検出し、その検出した温度を基に、温度制御手段が検出コイルの温度を所定の温度に制御することが出来る。そのため、検出コイルの温度を所定の温度に保つことで、検出コイルのインピーダンスの変動を低減させることができるので、変位信号の変動を低減させることができる。   According to this invention, the temperature of the detection coil can be detected, and the temperature control means can control the temperature of the detection coil to a predetermined temperature based on the detected temperature. Therefore, by keeping the temperature of the detection coil at a predetermined temperature, fluctuations in the impedance of the detection coils can be reduced, so that fluctuations in the displacement signal can be reduced.

請求項５の発明は、請求項１乃至４のいずれか１項の発明において、前記温度制御手段は、加熱手段と、当該加熱手段の加熱動作を制御する加熱制御手段とを備えることを特徴とする。   The invention of claim 5 is the invention of any one of claims 1 to 4, wherein the temperature control means comprises a heating means and a heating control means for controlling the heating operation of the heating means. To do.

この発明によれば、加熱手段のみを用いて温度制御している。そのため、冷却は自然冷却としているので、構成が簡素化し、コストを下げることができる。   According to this invention, temperature control is performed using only the heating means. Therefore, since the cooling is natural cooling, the configuration can be simplified and the cost can be reduced.

請求項６の発明は、請求項１乃至４のいずれか１項の発明において、前記温度制御手段は、加熱手段と、当該加熱手段の加熱動作を制御する加熱制御手段および、冷却手段と、当該冷却手段の冷却動作を制御する冷却制御手段とを備えることを特徴とする。   The invention of claim 6 is the invention of any one of claims 1 to 4, wherein the temperature control means includes a heating means, a heating control means for controlling a heating operation of the heating means, a cooling means, And cooling control means for controlling the cooling operation of the cooling means.

この発明によれば、温度制御に加熱手段と冷却手段とを用いることによって、温度の微調整をすることができ、より精度の高い温度制御が可能となる。   According to the present invention, by using the heating means and the cooling means for temperature control, the temperature can be finely adjusted, and more accurate temperature control is possible.

請求項７の発明は、請求項１の発明において、前記温度検出手段と前記温度制御手段は、前記電流出力部から前記検出コイルに出力される電流の経路に挿入され、検出コイルの近傍に配置されるサーミスタで構成されていることを特徴とする。   According to a seventh aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the temperature detection unit and the temperature control unit are inserted in a path of a current output from the current output unit to the detection coil, and are arranged in the vicinity of the detection coil. It is characterized by comprising a thermistor.

この発明によれば、サーミスタを追加するのみで検出コイルの温度制御をしている。そのため、構成が簡素化し、コストを下げることができる。   According to this invention, the temperature of the detection coil is controlled only by adding a thermistor. Therefore, the configuration can be simplified and the cost can be reduced.

以上説明したように、本発明では、温度変化による変位信号の変動を低減することができるという効果がある。   As described above, the present invention has an effect that the variation of the displacement signal due to the temperature change can be reduced.

本発明におけるポジションセンサの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the position sensor in this invention. 実施形態１のポジションセンサの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the position sensor of Embodiment 1. FIG. 実施形態２のポジションセンサの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the position sensor of Embodiment 2. FIG. 実施形態３のポジションセンサの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the position sensor of Embodiment 3. 実施形態４のポジションセンサの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the position sensor of Embodiment 4. 実施形態５のポジションセンサの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the position sensor of Embodiment 5. 実施形態６のポジションセンサの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the position sensor of Embodiment 6. 実施形態７のポジションセンサの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the position sensor of Embodiment 7. 従来のポジションセンサの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the conventional position sensor. 同上のポジションセンサの回路構成を示す図である。It is a figure which shows the circuit structure of a position sensor same as the above. 同上のキャリブレーション前後における特性を示す図である。It is a figure which shows the characteristic before and behind a calibration same as the above.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（実施形態１）
図１に本発明の概略構成図、図２に実施形態１の概略構成図を示す。 (Embodiment 1)
FIG. 1 shows a schematic configuration diagram of the present invention, and FIG. 2 shows a schematic configuration diagram of the first embodiment.

実施形態１のポジションセンサは、検出コイル１と、可動コア２と、電流回路３と、信号処理回路４とを具備したセンサ部５と、温度検出素子６と、温度制御部７とで構成されている。なお、従来例と同様の構成である検出コイル１と、可動コア２と、電流回路３と、信号処理部４には同一の符号を付して説明は省略する。   The position sensor according to the first embodiment includes a detection coil 1, a movable core 2, a current circuit 3, a sensor unit 5 including a signal processing circuit 4, a temperature detection element 6, and a temperature control unit 7. ing. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the detection coil 1, the movable core 2, the current circuit 3, and the signal processing part 4 which are the structures similar to a prior art example, and description is abbreviate | omitted.

センサ回路基板８は、電流回路３と信号処理回路４を構成している。また、電流回路３は、ＡＳＩＣからなる定電流回路ＩＣ３０によって構成されており、センサ回路基板８に実装されている。   The sensor circuit board 8 constitutes a current circuit 3 and a signal processing circuit 4. The current circuit 3 is constituted by a constant current circuit IC 30 made of ASIC, and is mounted on the sensor circuit board 8.

温度検出素子６は、温度変動によって電気抵抗が変動するサーミスタで構成されており、本実施例では、定電流回路ＩＣ３０の表面に配置されている。   The temperature detection element 6 is composed of a thermistor whose electric resistance varies with temperature fluctuations, and is arranged on the surface of the constant current circuit IC30 in this embodiment.

また、温度制御部７は、温度検出素子６の検出結果に基づいて、定電流回路ＩＣ３０を所定の温度に制御する。   Further, the temperature control unit 7 controls the constant current circuit IC 30 to a predetermined temperature based on the detection result of the temperature detection element 6.

本実施例の温度制御部７は、加熱ヒーター７ａと、目標温度を設定することができる温度設定部７ｂと、温度検出部７ｃと、コンパレータ７ｄと、加熱ヒーター制御装置７ｅと、電源７ｆとから構成されている。また、加熱ヒーター７ａは、定電流回路ＩＣ３０を加熱する位置に配置されている。例えば、加熱ヒーター７ａは、定電流回路ＩＣ３０を直接加熱する位置、または定電流回路ＩＣ３０が実装されている箇所のセンサ回路基板８の裏側に配置されている。   The temperature control unit 7 of the present embodiment includes a heater 7a, a temperature setting unit 7b that can set a target temperature, a temperature detection unit 7c, a comparator 7d, a heater control device 7e, and a power source 7f. It is configured. The heater 7a is disposed at a position for heating the constant current circuit IC30. For example, the heater 7a is disposed on the back side of the sensor circuit board 8 at a position where the constant current circuit IC30 is directly heated or where the constant current circuit IC30 is mounted.

まず、定電流回路ＩＣ３０の最大定格動作温度を温度設定部７ｂに設定し、温度設定部７ｂはその温度に比例した設定電圧をコンパレータ７ｄの非反転入力端子に出力する。   First, the maximum rated operating temperature of the constant current circuit IC30 is set in the temperature setting unit 7b, and the temperature setting unit 7b outputs a set voltage proportional to the temperature to the non-inverting input terminal of the comparator 7d.

さらに、温度検出部７ｃは、定電流回路ＩＣ３０の表面に配置しているサーミスタで構成された温度検出素子６に電流を流して、サーミスタの両端電圧を測定する。そして、サーミスタの電気抵抗は温度変動に対して線形に変動しないので、温度検出部７ｃが測定電圧を温度変動に対して線形に補正し、検出電圧としてコンパレータ７ｄの反転入力端子に出力する。   Furthermore, the temperature detection unit 7c causes a current to flow through the temperature detection element 6 formed of a thermistor disposed on the surface of the constant current circuit IC30, and measures the voltage across the thermistor. And since the electric resistance of the thermistor does not fluctuate linearly with respect to the temperature fluctuation, the temperature detection unit 7c corrects the measurement voltage linearly with respect to the temperature fluctuation and outputs it to the inverting input terminal of the comparator 7d as the detection voltage.

コンパレータ７ｄにて両者の電圧を比較し、設定電圧の方が高い場合、コンパレータ７ｄからＨｉｇｈレベルの電圧を加熱ヒーター制御装置７ｅに出力し、加熱ヒーター制御装置７ｅは加熱ヒーター７ａを作動させて、定電流回路ＩＣ３０を加熱する。   The comparator 7d compares both voltages, and when the set voltage is higher, the comparator 7d outputs a high level voltage to the heater control device 7e, and the heater control device 7e operates the heater 7a, The constant current circuit IC30 is heated.

逆に、検出電圧の方が高い場合、コンパレータ７ｄからＬｏｗレベルの電圧を加熱ヒーター制御装置７ｅに出力し、加熱ヒーター制御装置７ｅは加熱ヒーター７ａを停止させて、定電流回路ＩＣ３０は自然冷却される。   Conversely, when the detected voltage is higher, the comparator 7d outputs a low level voltage to the heater control device 7e, and the heater control device 7e stops the heater 7a, so that the constant current circuit IC30 is naturally cooled. The

また、コンパレータ７ｄは、コンパレータ７ｄの２つの入力電圧が近接した場合、出力電圧のチャタリングを防止するために、ヒステリシスを持たせて出力電圧を安定させている。   In addition, when the two input voltages of the comparator 7d are close to each other, the comparator 7d stabilizes the output voltage by providing hysteresis in order to prevent chattering of the output voltage.

なお、本例ではアナログ信号を処理するコンパレータ７ｄを用いて説明したが、デジタル信号を処理するデジタルＩＣ等を用いてもよい。その場合は、温度設定部７ｂと温度検出部７ｃは温度に応じたデジタル信号をデジタルＩＣに出力し、デジタルＩＣは受信したデジタル信号を基に加熱ヒーター制御装置７ｅに信号を出力する。   In this example, the comparator 7d that processes an analog signal has been described. However, a digital IC that processes a digital signal or the like may be used. In that case, the temperature setting unit 7b and the temperature detection unit 7c output a digital signal corresponding to the temperature to the digital IC, and the digital IC outputs a signal to the heater control device 7e based on the received digital signal.

このように、検出温度に基づいて、加熱ヒーター制御装置７ｅが加熱ヒーター７ａの加熱動作と停止とを繰り返すことで、定電流回路ＩＣ３０の温度は略一定に保たれる。
そのため、電流回路３を構成している発振回路３ａの抵抗やコンデンサの温度も略一定となり、出力される定電流の周波数は温度変化による変動が低減される。したがって、コイルのインピーダンスの変化に基づいて出力される変位信号Ｖｘに対しても温度変化による変動を低減させることができる。 In this manner, the temperature of the constant current circuit IC30 is kept substantially constant by the heating heater control device 7e repeating the heating operation and stopping of the heater 7a based on the detected temperature.
For this reason, the temperature of the resistance and capacitor of the oscillation circuit 3a constituting the current circuit 3 is also substantially constant, and the frequency of the output constant current is reduced due to temperature changes. Therefore, fluctuations due to temperature changes can be reduced even for the displacement signal Vx output based on changes in the impedance of the coil.

さらに、加熱ヒーター７ａのみを用いて温度制御を行っているため、構成が簡素化し、コストを下げることができるという利点もある。   Furthermore, since temperature control is performed using only the heater 7a, there is an advantage that the configuration is simplified and the cost can be reduced.

（実施形態２）
図３に実施形態２の概略構成図を示す。実施形態２のポジションセンサのセンサ部５の構成は、実施形態１と同様の構成であり、同一の符号を付して説明は省略する。 (Embodiment 2)
FIG. 3 shows a schematic configuration diagram of the second embodiment. The configuration of the sensor unit 5 of the position sensor of the second embodiment is the same as that of the first embodiment, and the same reference numerals are given and description thereof is omitted.

本実施形態における、温度検出素子６は、定電流回路ＩＣ３０近傍のセンサ回路基板８上に配置されている。   In the present embodiment, the temperature detection element 6 is disposed on the sensor circuit board 8 in the vicinity of the constant current circuit IC30.

温度制御部７は、実施形態１と同様の構成であるが、加熱ヒーター７ａは定電流回路ＩＣ３０近傍のセンサ回路基板８を加熱する位置に配置されている。例えば、加熱ヒーター７ａは、定電流回路ＩＣ３０が実装されている箇所のセンサ回路基板８の裏側に配置されている。したがって、センサ回路基板８の温度と、定電流回路ＩＣ３０の温度は略同一温度とみなすことができるので、温度設定部７ｂには定電流回路ＩＣ３０の最大定格動作温度を設定する。   The temperature control unit 7 has the same configuration as that of the first embodiment, but the heater 7a is disposed at a position for heating the sensor circuit board 8 in the vicinity of the constant current circuit IC30. For example, the heater 7a is disposed on the back side of the sensor circuit board 8 where the constant current circuit IC30 is mounted. Therefore, since the temperature of the sensor circuit board 8 and the temperature of the constant current circuit IC30 can be regarded as substantially the same temperature, the maximum rated operating temperature of the constant current circuit IC30 is set in the temperature setting unit 7b.

そして、実施形態１と同様に、検出温度に基づいて、加熱ヒーター制御装置７ｅが加熱ヒーター７ａの加熱動作と停止とを繰り返すことにより、センサ回路基板８の温度は略一定に保たれる。そのため、センサ回路基板８の温度と定電流回路ＩＣ３０の温度は略同一温度とみなすことができるので、電流回路３を構成している発振回路３ａの抵抗やコンデンサの温度も略一定となり、出力される定電流の周波数は温度変化による変動が低減される。したがって、コイルのインピーダンスの変化に基づいて出力される変位信号Ｖｘに対しても温度変化による変動を低減させることができる。   As in the first embodiment, the heater control device 7e repeats the heating operation and stop of the heater 7a based on the detected temperature, whereby the temperature of the sensor circuit board 8 is kept substantially constant. For this reason, the temperature of the sensor circuit board 8 and the temperature of the constant current circuit IC30 can be regarded as substantially the same temperature, so that the temperature of the resistance and capacitor of the oscillation circuit 3a constituting the current circuit 3 is also substantially constant and output. The fluctuation of the constant current frequency due to temperature change is reduced. Therefore, fluctuations due to temperature changes can be reduced even for the displacement signal Vx output based on changes in the impedance of the coil.

さらに、加熱ヒーター７ａのみを用いて温度制御を行っているため、構成が簡素化し、コストを下げることができるという利点もある。   Furthermore, since temperature control is performed using only the heater 7a, there is an advantage that the configuration is simplified and the cost can be reduced.

（実施形態３）
図４に実施形態３の概略構成図を示す。実施形態３のポジションセンサのセンサ部５の構成は、実施形態１と同様の構成であり、同一の符号を付して説明は省略する。 (Embodiment 3)
FIG. 4 shows a schematic configuration diagram of the third embodiment. The configuration of the sensor unit 5 of the position sensor of the third embodiment is the same as that of the first embodiment, and the same reference numerals are given and description thereof is omitted.

本実施形態における、温度検出素子６は、定電流回路ＩＣ３０の表面に配置されている。   In the present embodiment, the temperature detection element 6 is disposed on the surface of the constant current circuit IC30.

温度制御部７は、加熱ヒーター７ａと、冷却装置７ｇと、温度設定部７ｂと、温度検出部７ｃと、コンパレータ７ｄと、加熱冷却制御装置７ｈと、電源７ｆとから構成されている。   The temperature control unit 7 includes a heater 7a, a cooling device 7g, a temperature setting unit 7b, a temperature detection unit 7c, a comparator 7d, a heating / cooling control device 7h, and a power source 7f.

また、加熱ヒーター７ａおよび冷却装置７ｇは、定電流回路ＩＣ３０を加熱および冷却する位置に配置されている。例えば、加熱ヒーター７ａおよび冷却装置７ｇは、定電流回路ＩＣ３０を直接加熱および冷却する位置、または定電流回路ＩＣ３０が実装されている箇所のセンサ基板８の裏側に配置されている。   Further, the heater 7a and the cooling device 7g are arranged at positions for heating and cooling the constant current circuit IC30. For example, the heater 7a and the cooling device 7g are arranged at a position where the constant current circuit IC30 is directly heated and cooled, or on the back side of the sensor substrate 8 where the constant current circuit IC30 is mounted.

定電流回路ＩＣ３０が出力する定電流の周波数が、所定の範囲内となる時の温度を設計温度Ｔ３０とする。そして、その設計温度Ｔ３０を温度設定部７ｂに設定し、温度設定部７ｂはその温度に比例した設定電圧をコンパレータ７ｄの非反転入力端子に出力する。   The temperature at which the frequency of the constant current output from the constant current circuit IC30 falls within a predetermined range is defined as a design temperature T30. Then, the design temperature T30 is set in the temperature setting unit 7b, and the temperature setting unit 7b outputs a set voltage proportional to the temperature to the non-inverting input terminal of the comparator 7d.

さらに、温度検出部７ｃは、定電流回路ＩＣ３０の表面に配置しているサーミスタで構成された温度検出素子６に電流を流して、サーミスタの両端電圧を測定する。そして、サーミスタの電気抵抗は温度変動に対して線形に変動しないので、温度検出部７ｃが測定電圧を温度変動に対して線形に補正し、検出電圧としてコンパレータ７ｄの反転入力端子に出力する。   Furthermore, the temperature detection unit 7c causes a current to flow through the temperature detection element 6 formed of a thermistor disposed on the surface of the constant current circuit IC30, and measures the voltage across the thermistor. And since the electric resistance of the thermistor does not fluctuate linearly with respect to the temperature fluctuation, the temperature detection unit 7c corrects the measurement voltage linearly with respect to the temperature fluctuation and outputs it to the inverting input terminal of the comparator 7d as the detection voltage.

コンパレータ７ｄにて両者の電圧を比較し、設定電圧の方が高い場合、コンパレータ７ｄからＨｉｇｈレベルの電圧を加熱冷却制御装置７ｈに出力し、加熱冷却制御装置７ｈは冷却装置７ｇを停止させると共に、加熱ヒーター７ａを作動させて、定電流回路ＩＣ３０を加熱する。   The comparator 7d compares both voltages, and if the set voltage is higher, the comparator 7d outputs a high level voltage to the heating / cooling control device 7h, and the heating / cooling control device 7h stops the cooling device 7g, The heater 7a is operated to heat the constant current circuit IC30.

逆に、検出電圧の方が高い場合、コンパレータ７ｄからＬｏｗレベルの電圧を加熱冷却制御装置７ｈに出力し、加熱冷却装置７ｈは加熱ヒーター７ａを停止させると共に、冷却装置７ｇを作動させて、定電流回路ＩＣ３０を冷却する。   Conversely, when the detected voltage is higher, a low level voltage is output from the comparator 7d to the heating / cooling control device 7h, and the heating / cooling device 7h stops the heater 7a and activates the cooling device 7g. The current circuit IC30 is cooled.

また、コンパレータ７ｄの２つの入力電圧が近接した場合、出力電圧のチャタリングを防止するために、ヒステリシスを持たせて出力電圧を安定させている。   When the two input voltages of the comparator 7d are close to each other, the output voltage is stabilized by providing hysteresis in order to prevent chattering of the output voltage.

このように、検出温度に基づいて、加熱冷却制御装置７ｈが加熱ヒーター７ａおよび冷却装置７ｇの加熱動作と冷却動作と停止とを繰り返すことにより、定電流回路ＩＣ３０の温度は略一定に保たれる。そのため、電流回路３を構成している発振回路３ａの抵抗やコンデンサの温度も略一定となり、出力される定電流の周波数は温度変化による変動が低減される。したがって、コイルのインピーダンスの変化に基づいて出力される変位信号Ｖｘに対しても温度変化による変動を低減させることができる。   As described above, the heating / cooling control device 7h repeats the heating operation, the cooling operation, and the stop of the heater 7a and the cooling device 7g based on the detected temperature, so that the temperature of the constant current circuit IC30 is kept substantially constant. . For this reason, the temperature of the resistance and capacitor of the oscillation circuit 3a constituting the current circuit 3 is also substantially constant, and the frequency of the output constant current is reduced due to temperature changes. Therefore, fluctuations due to temperature changes can be reduced even for the displacement signal Vx output based on changes in the impedance of the coil.

また、加熱ヒーター７ａと冷却装置７ｇを用いて温度制御をしているため、温度の微調整をすることができ、より精度の高い温度制御が可能となり、変位信号Ｖｘの温度変化による変動をさらに低減させることができる。   In addition, since the temperature control is performed using the heater 7a and the cooling device 7g, the temperature can be finely adjusted, more accurate temperature control is possible, and the variation due to the temperature change of the displacement signal Vx is further increased. Can be reduced.

また、冷却装置７ｇを備えていることにより、設計温度Ｔ３０を比較的低い温度に設定して、定電流回路ＩＣ３０を動作させることが可能となるので、定電流回路ＩＣ３０の発熱を抑制することができる。   Further, since the cooling device 7g is provided, it is possible to operate the constant current circuit IC30 by setting the design temperature T30 to a relatively low temperature, thereby suppressing the heat generation of the constant current circuit IC30. it can.

（実施形態４）
図５に実施形態４の概略構成図を示す。実施形態４のポジションセンサのセンサ部５の構成は、実施形態１と同様の構成であり、同一の符号を付して説明は省略する。 (Embodiment 4)
FIG. 5 shows a schematic configuration diagram of the fourth embodiment. The configuration of the sensor unit 5 of the position sensor of the fourth embodiment is the same as that of the first embodiment, and the same reference numerals are given and description thereof is omitted.

本実施形態における、温度検出素子６は、定電流回路ＩＣ３０近傍のセンサ回路基板８上に配置されている。   In the present embodiment, the temperature detection element 6 is disposed on the sensor circuit board 8 in the vicinity of the constant current circuit IC30.

温度制御部７は、実施形態３と同様の構成であるが、加熱ヒーター７ａおよび冷却装置７ｇは、定電流回路ＩＣ３０近傍のセンサ回路基板８を加熱および冷却する位置に配置されている。例えば、加熱ヒーター７ａおよび冷却装置７ｇは、定電流回路ＩＣ３０が実装されている箇所のセンサ回路基板８の裏側に配置されている。したがって、センサ回路基板８の温度と、定電流回路ＩＣ３０の温度は略同一温度とみなすことができる。   The temperature control unit 7 has the same configuration as that of the third embodiment, but the heater 7a and the cooling device 7g are arranged at positions for heating and cooling the sensor circuit board 8 in the vicinity of the constant current circuit IC30. For example, the heater 7a and the cooling device 7g are arranged on the back side of the sensor circuit board 8 where the constant current circuit IC30 is mounted. Therefore, the temperature of the sensor circuit board 8 and the temperature of the constant current circuit IC30 can be regarded as substantially the same temperature.

そして、定電流回路ＩＣ３０が出力する定電流の周波数が、所定の範囲内となる時の温度を設計温度Ｔ３０とし、その設計温度Ｔ３０を温度設定部７ｂに設定する。   The temperature at which the frequency of the constant current output from the constant current circuit IC30 falls within a predetermined range is set as the design temperature T30, and the design temperature T30 is set in the temperature setting unit 7b.

実施形態３と同様に、検出温度に基づいて、加熱冷却制御装置７ｈが加熱ヒーター７ａおよび冷却装置７ｇの加熱動作と冷却動作と停止とを繰り返すことにより、センサ回路基板８の温度は略一定に保たれる。   As in the third embodiment, the heating / cooling control device 7h repeats the heating operation, the cooling operation, and the stop operation of the heater 7a and the cooling device 7g based on the detected temperature, so that the temperature of the sensor circuit board 8 becomes substantially constant. Kept.

そして、センサ回路基板８の温度と定電流回路ＩＣ３０の温度は略同一温度とみなすことができるので、電流回路３を構成している発振回路３ａの抵抗やコンデンサの温度も略一定となり、出力される定電流の周波数は温度変化による変動が低減される。したがって、コイルのインピーダンスの変化に基づいて出力される変位信号Ｖｘに対しても温度変化による変動を低減させることができる。   Since the temperature of the sensor circuit board 8 and the temperature of the constant current circuit IC30 can be regarded as substantially the same temperature, the temperature of the resistance and capacitor of the oscillation circuit 3a constituting the current circuit 3 is also substantially constant and output. The fluctuation of the constant current frequency due to temperature change is reduced. Therefore, fluctuations due to temperature changes can be reduced even for the displacement signal Vx output based on changes in the impedance of the coil.

また、加熱ヒーター７ａと冷却装置７ｇを用いて温度制御をしているため、温度の微調整をすることができ、より精度の高い温度制御が可能となり、変位信号Ｖｘの温度変化による変動をさらに低減させることができる。   In addition, since the temperature control is performed using the heater 7a and the cooling device 7g, the temperature can be finely adjusted, more accurate temperature control is possible, and the variation due to the temperature change of the displacement signal Vx is further increased. Can be reduced.

また、冷却装置７ｇを備えていることにより、設計温度Ｔ３０を比較的低い温度に設定して、定電流回路ＩＣ３０を動作させることが可能となるので、定電流回路ＩＣ３０の発熱を抑制することができる。   Further, since the cooling device 7g is provided, it is possible to operate the constant current circuit IC30 by setting the design temperature T30 to a relatively low temperature, thereby suppressing the heat generation of the constant current circuit IC30. it can.

（実施形態５）
図６に実施形態５の概略構成図を示す。実施形態５のポジションセンサのセンサ部５の構成は、実施形態１と同様の構成であり、同一の符号を付して説明は省略する。 (Embodiment 5)
FIG. 6 shows a schematic configuration diagram of the fifth embodiment. The configuration of the sensor unit 5 of the position sensor of the fifth embodiment is the same as that of the first embodiment, and the same reference numerals are given and description thereof is omitted.

本実施形態における、温度検出素子６は、検出コイル１の表面に配置されている。   In the present embodiment, the temperature detection element 6 is disposed on the surface of the detection coil 1.

温度制御部７は、実施形態１と同様の構成であるが、加熱ヒーター７ａは検出コイル１を加熱する位置に配置されている。例えば、加熱ヒーター７ａは、検出コイル１を直接加熱する位置に配置されている。また、温度設定部７ｂには検出コイル１の最大定格動作温度を設定する。   The temperature control unit 7 has the same configuration as that of the first embodiment, but the heater 7 a is disposed at a position where the detection coil 1 is heated. For example, the heater 7a is disposed at a position where the detection coil 1 is directly heated. Further, the maximum rated operating temperature of the detection coil 1 is set in the temperature setting unit 7b.

実施形態１と同様に、検出温度に基づいて、加熱ヒーター制御装置７ｅが加熱ヒーター７ａの加熱動作と停止とを繰り返すことにより、検出コイル１の温度は略一定に保たれる。   As in the first embodiment, the heater control device 7e repeats the heating operation and stop of the heater 7a based on the detected temperature, whereby the temperature of the detection coil 1 is kept substantially constant.

そのため、検出コイル１の温度変化によるインピーダンスの変動が低減される。したがって、コイルのインピーダンスの変化に基づいて出力される変位信号Ｖｘに対しても温度変化による変動を低減させることができる。   Therefore, the fluctuation of impedance due to the temperature change of the detection coil 1 is reduced. Therefore, fluctuations due to temperature changes can be reduced even for the displacement signal Vx output based on changes in the impedance of the coil.

さらに、加熱ヒーター７ａのみを用いて温度制御を行っているため、構成が簡素化し、コストを下げることができるという利点もある。   Furthermore, since temperature control is performed using only the heater 7a, there is an advantage that the configuration is simplified and the cost can be reduced.

（実施形態６）
図７に実施形態６の概略構成図を示す。実施形態６のポジションセンサのセンサ部５の構成は、実施形態１と同様の構成であり、同一の符号を付して説明は省略する。 (Embodiment 6)
FIG. 7 shows a schematic configuration diagram of the sixth embodiment. The configuration of the sensor unit 5 of the position sensor of the sixth embodiment is the same as that of the first embodiment, and the same reference numerals are given and description thereof is omitted.

本実施形態における、温度検出素子６は、検出コイル１の表面に配置されている。   In the present embodiment, the temperature detection element 6 is disposed on the surface of the detection coil 1.

温度制御部７は、実施形態３と同様の構成であるが、加熱ヒーター７ａおよび冷却装置７ｇは、検出コイル１を加熱および冷却する位置に配置されている。例えば、加熱ヒーター７ａおよび冷却装置７ｇは、検出コイル１を直接加熱および冷却する位置に配置されている。   The temperature control unit 7 has the same configuration as that of the third embodiment, but the heater 7a and the cooling device 7g are disposed at a position where the detection coil 1 is heated and cooled. For example, the heater 7a and the cooling device 7g are arranged at positions for directly heating and cooling the detection coil 1.

そして、検出コイル１のインピーダンスが、所定の範囲内となる時の温度を設計温度Ｔ１とし、その設計温度Ｔ１を温度設定部７ｂに設定する。   The temperature at which the impedance of the detection coil 1 falls within a predetermined range is set as the design temperature T1, and the design temperature T1 is set in the temperature setting unit 7b.

実施形態３と同様に、検出温度に基づいて、加熱冷却制御装置７ｈが加熱ヒーター７ａおよび冷却装置７ｇの加熱動作と冷却動作と停止とを繰り返すことにより、検出コイル１の温度は略一定に保たれる。   As in the third embodiment, the heating / cooling control device 7h repeats the heating operation, the cooling operation, and the stop operation of the heater 7a and the cooling device 7g based on the detected temperature, so that the temperature of the detection coil 1 is kept substantially constant. Be drunk.

そのため、検出コイル１の温度変化によるインピーダンスの変動が低減される。したがって、検出コイル１のインピーダンスの変化に基づいて出力される変位信号Ｖｘに対しても温度変化による変動を低減させることができる。   Therefore, the fluctuation of impedance due to the temperature change of the detection coil 1 is reduced. Therefore, fluctuations due to temperature changes can be reduced with respect to the displacement signal Vx output based on the change in impedance of the detection coil 1.

また、加熱ヒーター７ａと冷却装置７ｇを用いて温度制御をしているため、温度の微調整をすることができ、より精度の高い温度制御が可能となり、変位信号Ｖｘの温度変化による変動をさらに低減させることができる。   In addition, since the temperature control is performed using the heater 7a and the cooling device 7g, the temperature can be finely adjusted, more accurate temperature control is possible, and the variation due to the temperature change of the displacement signal Vx is further increased. Can be reduced.

また、冷却装置７ｇを備えていることにより、設計温度Ｔ１を比較的低い温度に設定して、検出コイル１を動作させることが可能となるので、検出コイル１の発熱を抑制することができる。   Further, since the cooling device 7g is provided, the detection coil 1 can be operated by setting the design temperature T1 to a relatively low temperature, so that the heat generation of the detection coil 1 can be suppressed.

（実施形態７）
図８に実施形態７の概略構成図を示す。実施形態７のポジションセンサにおける検出コイル１、可動コア２、信号処理回路４の構成は、実施形態１と同様の構成であり、同一の符号を付して説明は省略する。 (Embodiment 7)
FIG. 8 shows a schematic configuration diagram of the seventh embodiment. The configuration of the detection coil 1, the movable core 2, and the signal processing circuit 4 in the position sensor of the seventh embodiment is the same as that of the first embodiment, and the same reference numerals are given and description thereof is omitted.

本実施形態では、定電圧を出力して検出コイル１に電流を供給する定電圧回路３´を備えている。   In the present embodiment, a constant voltage circuit 3 ′ that outputs a constant voltage and supplies a current to the detection coil 1 is provided.

また、温度検出素子６および温度制御部７は、正特性のサーミスタ９（ＰＴＣ）で構成されており、定電圧回路３´と検出コイル１の間に直列接続されている。また、サーミスタ９は、検出コイル１の近傍に配置されている。   Further, the temperature detection element 6 and the temperature control unit 7 are constituted by a thermistor 9 (PTC) having a positive characteristic, and are connected in series between the constant voltage circuit 3 ′ and the detection coil 1. Further, the thermistor 9 is disposed in the vicinity of the detection coil 1.

そして、検出コイル１の温度が変化するにつれて、近傍に配置されたサーミスタ９の温度も変化して電気抵抗が変動するので、直列接続した定電圧回路３´から供給される電流も変動する。   As the temperature of the detection coil 1 changes, the temperature of the thermistor 9 arranged in the vicinity also changes and the electric resistance changes, so that the current supplied from the constant voltage circuit 3 'connected in series also changes.

例えば、検出コイル１の温度が上昇すると、近傍に配置されたサーミスタ９の温度も上昇して、電気抵抗が増加するので、直列接続した定電圧回路３´から供給される電流が減少する。そのため、検出コイル１に流れる電流も減少するので、検出コイル１は電流による発熱量が抑制されて、検出コイル１の温度は下降する。   For example, when the temperature of the detection coil 1 rises, the temperature of the thermistor 9 disposed in the vicinity also rises and the electrical resistance increases, so that the current supplied from the constant voltage circuit 3 ′ connected in series decreases. Therefore, since the current flowing through the detection coil 1 is also reduced, the amount of heat generated by the detection coil 1 is suppressed, and the temperature of the detection coil 1 is lowered.

また、検出コイル１の温度が下降すると、近傍に配置されたサーミスタ９の温度も下降して、電気抵抗が減少するので、直接接続した定電圧回路３´から供給される電流が増加する。そのため、検出コイル１に流れる電流も増加するので、検出コイル１は電流による発熱量が増加し、検出コイル１の温度は上昇する。   Further, when the temperature of the detection coil 1 is lowered, the temperature of the thermistor 9 disposed in the vicinity is also lowered, and the electric resistance is decreased, so that the current supplied from the directly connected constant voltage circuit 3 ′ is increased. Therefore, since the current flowing through the detection coil 1 also increases, the amount of heat generated by the current in the detection coil 1 increases, and the temperature of the detection coil 1 rises.

このように、サーミスタ９を検出コイル１の近傍に直列接続することによって、検出コイル１に流れる電流を制御して、検出コイル１の温度を略一定に保つことができる。そのため、検出コイル１の温度変化によるインピーダンスの変動が低減される。したがって、検出コイル１のインピーダンスの変化に基づいて出力される変位信号Ｖｘに対しても温度変化による変動を低減させることができる。   Thus, by connecting the thermistor 9 in series in the vicinity of the detection coil 1, the current flowing through the detection coil 1 can be controlled to keep the temperature of the detection coil 1 substantially constant. Therefore, the fluctuation of impedance due to the temperature change of the detection coil 1 is reduced. Therefore, fluctuations due to temperature changes can be reduced with respect to the displacement signal Vx output based on the change in impedance of the detection coil 1.

また、負特性のサーミスタ（ＮＴＣ）を検出コイル１に並列接続することでも、上記と同じ効果を得ることができる。   Further, the same effect as described above can be obtained by connecting a thermistor (NTC) having a negative characteristic to the detection coil 1 in parallel.

例えば、検出コイル１の温度が上昇すると、近傍に配置された負特性のサーミスタの電気抵抗が減少するため、並列接続した検出コイル１に流れる電流が減少し、検出コイル１は電流による発熱量が減少して、検出コイル１の温度は下降する。   For example, when the temperature of the detection coil 1 rises, the electrical resistance of a negative thermistor arranged in the vicinity decreases, so that the current flowing through the detection coil 1 connected in parallel decreases, and the detection coil 1 generates a heat generation amount due to the current. As a result, the temperature of the detection coil 1 decreases.

また、検出コイル１の温度が下降すると、近傍に配置された負特性のサーミスタの電気抵抗が増加するため、並列接続した検出コイル１に流れる電流が増加し、検出コイル１は電流による発熱量が増加して、検出コイル１の温度は上昇する。   Further, when the temperature of the detection coil 1 decreases, the electric resistance of the negative thermistor arranged in the vicinity increases, so that the current flowing through the detection coil 1 connected in parallel increases, and the detection coil 1 generates a heat generation amount due to the current. As a result, the temperature of the detection coil 1 rises.

１ 検出コイル
２ 可動コア
３ 電流回路
４ 信号処理回路
５ センサ部
６ 温度検出素子
７ 温度制御部
８ センサ回路基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Detection coil 2 Movable core 3 Current circuit 4 Signal processing circuit 5 Sensor part 6 Temperature detection element 7 Temperature control part 8 Sensor circuit board

Claims (7)

電流を出力する電流出力部と、電流を供給される検出コイルと、検出コイルに対して検出コイルの巻軸方向に相対変位する磁性材料からなるコアと、コアと検出コイルとの位置情報を示す変位信号を出力する信号処理部とを具備したセンサ部と、
センサ部の温度を検出する温度検出手段と、
センサ部の温度を制御する温度制御手段とを備え、
温度検出手段の検出結果に基づいて、温度制御手段がセンサ部の温度を所定の温度に制御することを特徴とするポジションセンサ。 A current output unit that outputs current, a detection coil that is supplied with current, a core made of a magnetic material that is relatively displaced in the winding axis direction of the detection coil with respect to the detection coil, and position information of the core and the detection coil A sensor unit including a signal processing unit for outputting a displacement signal;
Temperature detecting means for detecting the temperature of the sensor unit;
Temperature control means for controlling the temperature of the sensor unit,
A position sensor characterized in that the temperature control means controls the temperature of the sensor unit to a predetermined temperature based on the detection result of the temperature detection means. 前記電流出力部は、基板と当該基板に実装された電子部品とで構成されており、前記温度検出手段で電子部品の温度を検出し、温度検出手段の検出結果に基づいて、前記温度制御手段が電子部品の温度を所定の温度に制御することを特徴とする請求項１記載のポジションセンサ。   The current output unit includes a substrate and an electronic component mounted on the substrate, detects the temperature of the electronic component by the temperature detection unit, and based on the detection result of the temperature detection unit, the temperature control unit 2. The position sensor according to claim 1, wherein the temperature of the electronic component is controlled to a predetermined temperature. 前記電流出力部は、基板と当該基板に実装された電子部品とで構成されており、前記温度検出手段で基板の温度を検出し、温度検出手段の検出結果に基づいて、前記温度制御手段が基板の温度を所定の温度に制御することを特徴とする請求項１記載のポジションセンサ。   The current output unit includes a substrate and an electronic component mounted on the substrate. The temperature detection unit detects the temperature of the substrate by the temperature detection unit, and the temperature control unit detects the temperature of the substrate based on the detection result of the temperature detection unit. 2. The position sensor according to claim 1, wherein the temperature of the substrate is controlled to a predetermined temperature. 前記温度検出手段で前記検出コイルの温度を検出し、温度検出手段の検出結果に基づいて、前記温度制御手段が検出コイルの温度を所定の温度に制御することを特徴とする請求項１記載のポジションセンサ。   2. The temperature of the detection coil is detected by the temperature detection means, and the temperature control means controls the temperature of the detection coil to a predetermined temperature based on the detection result of the temperature detection means. Position sensor. 前記温度制御手段は、加熱手段と、当該加熱手段の加熱動作を制御する加熱制御手段とを備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のポジションセンサ。   The position sensor according to claim 1, wherein the temperature control unit includes a heating unit and a heating control unit that controls a heating operation of the heating unit. 前記温度制御手段は、加熱手段と、当該加熱手段の加熱動作を制御する加熱制御手段および、冷却手段と、当該冷却手段の冷却動作を制御する冷却制御手段とを備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のポジションセンサ。   The temperature control means includes a heating means, a heating control means for controlling a heating operation of the heating means, a cooling means, and a cooling control means for controlling a cooling operation of the cooling means. The position sensor according to any one of 1 to 4. 前記温度検出手段と前記温度制御手段は、前記電流出力部から前記検出コイルに出力される電流の経路に挿入され、検出コイルの近傍に配置されるサーミスタで構成されていることを特徴とする請求項１記載のポジションセンサ。   The temperature detection unit and the temperature control unit are configured by a thermistor inserted in a path of a current output from the current output unit to the detection coil and disposed in the vicinity of the detection coil. Item 1. The position sensor according to Item 1.
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JP2014077746A (en) * 2012-10-12 2014-05-01 Mitsubishi Electric Corp Monitoring control system for servo valve
JP2015111093A (en) * 2013-10-28 2015-06-18 日本電産サンキョー株式会社 Sensor device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014077746A (en) * 2012-10-12 2014-05-01 Mitsubishi Electric Corp Monitoring control system for servo valve
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