JP2010223838A - パターン検査装置、パターン検査方法、および微細構造体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検査体に形成されたパターンに関する参照データと、前記パターンを検出することで得られた検出データと、を比較して前記パターンの検査を行うパターン検査装置であって、前記パターンを複数の領域に分割して前記複数の領域毎または前記複数の領域間毎の補正条件を求め、前記複数の領域毎または前記複数の領域間毎の少なくともいずれかにおいて対応する補正条件を適用して前記参照データを作成する補正処理部を備えたこと、を特徴とするパターン検査装置が提供される。
【選択図】図1
Description
図1は、本実施の形態に係るパターン検査装置を例示するための模式図である。
図2は、位置ずれの様子を例示するための模式図である。
図1に示すように、パターン検査装置1には、光源2、光学系3、載置部4、検出部5、参照データ処理部6、補正処理部7、比較部8が設けられている。
光学系3としては、例えば、図1に例示をしたようなミラーや対物レンズなどの光学要素から構成されたものを例示することができる。ただし、光学系3を構成する光学要素やその配置は例示をしたものに限定されるわけではなく、適宜変更することができる。また、例えば、絞り、ビームスプリッタ、倍率チェンジャ、ズーム機構などの他の光学要素を適宜設けるようにすることもできる。
また、図1に例示をした出射側光学系3bは、被検査体Wを透過した検査光Lを検出部5に導くものであるが、例えば、光が透過しない被検査体Wを検査するものの場合には、被検査体Wにより反射した検査光Lを検出部5に導くものとすればよい。
検出データ処理部5bは、センサ部5aにより光電変換された電気信号を図形解釈し、検出データ10を作成する。
データ展開部6bは、データ格納部6aから提供されたデータを図形解釈し、パターンデータを作成する。
また、被検査体Wの検査の進行に合わせて、データ格納部6aからデータ展開部6bにデータを提供させる図示しない抽出部が設けられている。例えば、載置部4にレーザ干渉計やリニアエンコーダなどの位置検出手段を設けて、位置情報により同期をさせつつデータ格納部6aからデータ展開部6bにデータを提供させるようなものを例示することができる。
また、作成されたパターンデータを格納する図示しない格納手段を設けるようにすることもできる。
図4、図5は、補正処理部における補正処理を例示するための模式図である。
また、図4(b)に示すように、エッヂ近傍の2つの画素a、bの輝度と、所定の輝度の閾値thとに基づいて下記の(1)式によりサブ画素の位置を演算する。
サブ画素の位置=(a−th)/(a−b) ・・・(1)
なお、図4(b)に例示をしたものは、パターン部分の輝度が高い場合(例えば、黒地に白いパターンが形成されている場合)であるが、パターン部分の輝度が低い場合(例えば、白地に黒いパターンが形成されている場合)であっても断面プロファイルが凹状となる他は変わりがない。そのため、そのような場合であっても同様にしてサブ画素の位置を演算することができる。
寸法誤差CDerr=sd−rd ・・・(2)
X座標における位置ずれx=sx−rx ・・・(3)
Y座標における位置ずれy=sy−ry ・・・(4)
ここで、演算された寸法誤差や位置ずれ量などの変化量のデータをすべて格納するようにすれば、データ量が膨大になりすぎる。そのため、本実施の形態においては、変化量のデータを統計処理するようにしている。
度数集計部7dは、寸法誤差や位置ずれ量などの変化量のデータを統計処理する。統計処理としては、例えば、図5(b)に示すように、演算されたデータに基づいてヒストグラムを作成するようなものを例示することができる。
比較部8は、検出部5から提供された検出データ10と、補正処理部7を介して提供された参照データ11とを比較して両者の不一致点を欠陥などとして検出する。
例えば、環境変化(例えば、温度などの変化)により被検査体Wが伸縮した場合には、検出データ10も伸縮したものとなるため伸縮量に基づく補正処理を行うようにすることができる。この場合、伸縮量は前述した位置ずれ量の変化量から演算することができる。例えば、所定の範囲毎に逐次位置ずれ量を検出し、その変化量から伸縮量を演算するようにすることができる。そして、演算された伸縮量に基づいて補正条件を求め、この補正条件を用いて参照データ処理部6において作成されたパターンデータの伸縮量を補正処理するようにすることができる。
また、前述した補正処理のすべてを行う必要はなく、少なくともいずれかを行うようにすることもできる。なお、補正処理部7における補正処理の手順に関しては後述する。
まず、図示しない搬送装置や作業者などにより被検査体Wが載置部4に載置される。次に、光源2から検査光Lを出射させる。光源2から出射した検査光Lは、入射側光学系3aにより被検査体Wの検査領域に導かれるとともに照射部分の大きさが制御される。そして、載置部4に載置された被検査体Wの検査が行われる位置を図示しない移動手段などにより相対的に変化させる。
図7は、図6の模式部分拡大図である。
なお、図6、図7のX、Yは互いに直交する二方向を表している。
図6に示すように、被検査体Wに形成されたパターンは、Y軸方向に一定の幅をもつ短冊状の単位(以下、ストライプと称する)に分割されて検査される。また、図7に示すように、ストライプは、Y軸方向に一定の幅をもつ短冊状の単位(以下、サブストライプと称する)にさらに分割されて検査される。また、サブストライプはX軸方向に一定の幅をもつ短冊状の単位(以下、フレームと称する)に分割されて検査される。
参照データ処理部6において作成されたパターンデータは、補正処理部7において補正処理され参照データ11が作成される。
まず、図7において例示をした各フレーム毎に寸法誤差や位置ずれ量などの変化量を演算する(ステップS1)。
次に、演算された変化量のデータから異常な値を除去する(ステップS2)。例えば、パターンに欠陥があったり、パターンに断続部があったりしたフレームのデータが除去されるようなものを例示することができる。異常な値か否かの判断は、例えば、サブストライプ毎における平均値を基準とし予め定められた制限幅により行うことができる。また、パターン密度などから異常な値か否かの判断を行うようにすることもできる。
ここで、補正条件は、各サブストライプ間毎、各ストライプ毎、各ストライプ間毎に求められ、後述する各サブストライプ間、各ストライプ、各ストライプ間の補正処理においては、それぞれ対応関係にある補正条件が用いられる。すなわち、補正条件を求めるためにデータを収集した領域の補正処理に、そのデータに基づいて求められた補正条件を適用するようにしている。そのため、被検査体の代表点において求められた補正値などにより検査範囲全体の補正処理を行う場合などと比べて、検査精度を格段に向上させることができる。
図6に例示をしたように検査はストライプ毎に行われる。ここで、センサ部5aの検出範囲における特性差がなければ、各サブストライプにおける検出値も同等となる。しかしながら、実際には、光学的な歪み、光量変化、画素間寸法のばらつきなどがあるので、各サブストライプにおける検出値も異なるものとなるおそれがある。
そのため、1つのストライプにおける各サブストライプ間を対応する補正条件を用いて補正処理することで、センサ部5aの検出範囲における特性差の影響を抑制するようにしている。
図6に例示をしたように検査はストライプ毎に行われるので、1つのストライプにおける検出値は理論的には同等となる。しかしながら、実際には、載置部4における特性差(例えば、ヨーイング、速度のばらつきなど)、温度などの環境変化などがあるので、検出値にばらつきが生じるおそれがある。
そのため、1つのストライプ全体を対応する補正条件を用いて補正処理することで、載置部4における特性差や環境変化などの影響を抑制するようにしている。
次に、隣接するストライプ間を対応する補正条件を用いて補正処理する(ステップS7)。
以下、ステップS1〜ステップS7と同様にして検査範囲全体の補正処理を行い、参照データ11を作成する。
この場合、補正処理部7は、被検査体Wに形成されたパターンを第1の方向に分割した第1の領域毎(ストライプ毎)の補正条件を求めるようにすることができる。
また、補正処理部7は、第1の領域間毎(ストライプ間毎)の補正条件を求めるようにすることができる。
また、補正処理部7は、第1の領域を第1の方向にさらに分割した第2の領域間毎(サブストライプ間毎)の補正条件を求めるようにすることができる。
検査が終了した被検査体Wは、図示しない搬送装置や作業者などにより搬出される。そして、必要に応じて、未検査の被検査体Wが載置部4に載置され前述した検査が行われる。
本実施の形態に係る微細構造体の製造方法は、前述した本実施の形態に係るパターン検査装置、パターン検査方法を用いるものである。すなわち、本実施の形態に係る微細構造体の製造方法は、構造体の表面にパターンを形成する工程と、本実施の形態に係るパターン検査装置やパターンの検査方法を用いてパターンを検査する工程と、を有している。
表面に微細なパターンが形成されたものとしては、ウェーハ(半導体装置)、フラットディスプレイのパネル、リソグラフィ工程において用いられるマスク、MEMS分野におけるマイクロマシーン、精密光学部品などを例示することができる。ただし、これらのものに限定されるわけではなく、表面にパターンが形成されたものの製造に対して広く適用させることができる。
半導体装置の製造方法は、洗浄工程、熱処理工程、不純物導入工程、拡散工程、平坦化工程、成膜・レジスト塗布・露光・現像・エッチング・レジスト除去などにより基板(ウェーハ)表面にパターンを形成する工程などの複数の工程を繰り返すことにより実施される。ここで、本実施の形態に係る微細構造体の製造方法(ここでは半導体装置の製造方法)においては、基板(ウェーハ)表面に形成されたパターンの検査を行う検査工程において前述した本実施の形態に係るパターン検査装置、パターン検査方法を用いるようにしている。
そのため、パターンの検査精度を格段に向上させることができるので、製品品質の向上を図ることができる。
なお、前述した本実施の形態に係るパターン検査装置、パターン検査方法以外は、各工程の既知の技術を適用することができるのでそれらの例示は省略する。
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
例えば、パターン検査装置1が備える各要素の形状、配置などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
また、前述したものの場合は、ダイ・ツー・データべース(die−to−database)法による検査の場合であるが、ダイ・ツー・ダイ(die−to−die)法による検査に適用させることもできる。
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
Claims (6)
- 被検査体に形成されたパターンに関する参照データと、前記パターンを検出することで得られた検出データと、を比較して前記パターンの検査を行うパターン検査装置であって、
前記パターンを複数の領域に分割して前記複数の領域毎または前記複数の領域間毎の補正条件を求め、前記複数の領域毎または前記複数の領域間毎の少なくともいずれかにおいて対応する補正条件を適用して前記参照データを作成する補正処理部を備えたこと、を特徴とするパターン検査装置。 - 前記補正処理部は、前記パターンを第1の方向に分割した第1の領域毎の前記補正条件を求めること、を特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。
- 前記補正処理部は、前記第1の領域間毎の前記補正条件を求めること、を特徴とする請求項1または2に記載のパターン検査装置。
- 前記補正処理部は、前記第1の領域を前記第1の方向にさらに分割した第2の領域間毎の前記補正条件を求めること、を特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のパターン検査装置。
- 被検査体に形成されたパターンに関する参照データと、前記パターンを検出することで得られた検出データと、を比較して前記パターンの検査を行うパターン検査方法であって、
前記パターンを複数の領域に分割して前記複数の領域毎または前記複数の領域間毎の補正条件を求め、前記複数の領域毎または前記複数の領域間毎の少なくともいずれかにおいて対応する補正条件を適用して前記参照データを作成すること、を特徴とするパターン検査方法。 - 構造体の表面にパターンを形成する工程と、
請求項5記載のパターンの検査方法を用いて前記パターンを検査する工程と、
を備えたことを特徴とする微細構造体の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160150018A (ko) * | 2015-06-19 | 2016-12-28 | 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지 | 검사 장치 및 검사 방법 |
WO2017073604A1 (ja) * | 2015-10-27 | 2017-05-04 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査方法および検査装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05330024A (ja) * | 1992-06-04 | 1993-12-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 画像の位置ずれ補正方法及びその装置及び画像検査装置 |
JP2003287419A (ja) * | 2002-03-27 | 2003-10-10 | Toshiba Corp | パターン検査方法、パターン検査装置およびマスクの製造方法 |
JP2006266860A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | 画像補正方法 |
-
2009
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05330024A (ja) * | 1992-06-04 | 1993-12-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 画像の位置ずれ補正方法及びその装置及び画像検査装置 |
JP2003287419A (ja) * | 2002-03-27 | 2003-10-10 | Toshiba Corp | パターン検査方法、パターン検査装置およびマスクの製造方法 |
JP2006266860A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | 画像補正方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160150018A (ko) * | 2015-06-19 | 2016-12-28 | 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지 | 검사 장치 및 검사 방법 |
WO2017073604A1 (ja) * | 2015-10-27 | 2017-05-04 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査方法および検査装置 |
JP2017083270A (ja) * | 2015-10-27 | 2017-05-18 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査方法および検査装置 |
KR20180059495A (ko) * | 2015-10-27 | 2018-06-04 | 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지 | 검사 방법 및 검사 장치 |
KR102071942B1 (ko) | 2015-10-27 | 2020-01-31 | 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지 | 검사 방법 및 검사 장치 |
US10572995B2 (en) | 2015-10-27 | 2020-02-25 | Nuflare Technology, Inc. | Inspection method and inspection apparatus |
DE112016004904B4 (de) | 2015-10-27 | 2022-03-31 | Nuflare Technology, Inc. | Überprüfungsmethode und Überprüfungsvorrichtung |
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