JP2010218674A - Head gimbal assembly - Google Patents

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Sachiko Tanabe
幸子 田邉
Tokuo Chiba
徳男 千葉
Manabu Omi
学 大海
Masakazu Hirata
雅一 平田
Majung Park
馬中 朴
Yoshikazu Tanaka
良和 田中
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Seiko Instruments Inc
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Seiko Instruments Inc
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a head gimbal assembly capable of avoiding having a significant impact on floating characteristics of a slider, and avoiding complicating design of a slider even when a mark part is provided in a magnetic recording head gimbal assembly using a near field. <P>SOLUTION: The head gimbal assembly comprises a slider that floats on a recording medium with the wind pressure from a rotating recording medium, and has a near field light-generating part for generating near field light, and a light guiding section for introducing light used for generating near field light to the near field light generating part. The slider has a spacial structure that generates wind pressure, and a flat section disposed next to the spacial structure, which contributes to the floating of the slider less than the spacial structure. The flat section and the light guiding section have a flat section-side mark part and a light guiding section-side mark part used for positioning the near field light-generating part and the light guiding section. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、光を集光したスポット光を利用して記録媒体に各種の情報を記録再生するヘッドジンバルアセンブリに関するものである。   The present invention relates to a head gimbal assembly that records and reproduces various types of information on a recording medium using spot light that is focused light.

近年、コンピュータ機器におけるハードディスク等の記録媒体(以下、ディスクという)は、より大量且つ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、さらなる高密度化が求められている。記録密度が高くなると、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎなどの影響を顕著に受けるようになる。そのため、保磁力の強い記録媒体が必要になる。しかし、そのような記録媒体を使用すると記録時に必要な磁界も大きくなる。記録ヘッドによって発生する磁界は飽和磁束密度によって上限が決まるが、その値は材料限界に近づいており飛躍的な増大は望めない。   In recent years, a recording medium such as a hard disk (hereinafter referred to as a disk) in a computer device has been required to have a higher density in response to a need for recording and reproducing a larger amount of high-density information. As the recording density increases, the influence of adjacent magnetic domains and the influence of thermal fluctuations are significantly affected. Therefore, a recording medium with a strong coercive force is required. However, when such a recording medium is used, a magnetic field required for recording also increases. The upper limit of the magnetic field generated by the recording head is determined by the saturation magnetic flux density, but its value approaches the material limit and cannot be expected to increase dramatically.

そこで、上述した不具合を解消するために、光を集光したスポット光、若しくは、光を
集光した近接場光を利用して磁区を局所的に加熱して一時的に保磁力を低下させ、その間
にディスクへの書き込みを行うハイブリッド磁気記録方式の情報記録再生装置が提供され
ている。特に、近接場光を利用する場合には、従来の光学系において限界とされていた光
の波長以下となる領域における光学情報を扱うことが可能となる。よって、従来の光情報
記録再生装置等を超える記録ビットの高密度化を図ることができる。
Therefore, in order to eliminate the above-described problems, the coercive force is temporarily reduced by locally heating the magnetic domain using spot light that has collected light, or near-field light that has collected light, In the meantime, an information recording / reproducing apparatus of a hybrid magnetic recording system for performing writing on a disk is provided. In particular, when near-field light is used, it is possible to handle optical information in a region that is less than or equal to the wavelength of light, which is a limit in conventional optical systems. Therefore, it is possible to achieve a higher recording bit density than conventional optical information recording / reproducing apparatuses.

上述したハイブリッド磁気記録方式による情報記録再生装置としては、各種のものが提
供されているが、その1つとして、近接場光の生成を行うための光を近接場光ヘッドに供
給することで、微小開口から十分大きな近接場光を生成し、超高分解能の再生記録、高速
記録再生、高SN比化を図ることができる情報記録再生装置が知られている。この情報記
録再生装置は、近接場光ヘッドを備えたスライダにディスク上をスキャンさせ、スライダ
をディスク上の所望する位置に配置する。その後、光源から放射された近接場光とスライ
ダから発生する記録磁界を協働させることで、ディスクに情報を記録することができる。
Various types of information recording / reproducing apparatuses based on the hybrid magnetic recording system described above are provided, and as one of them, by supplying light for generating near-field light to the near-field light head, There is known an information recording / reproducing apparatus capable of generating sufficiently large near-field light from a minute aperture and achieving super-high resolution reproduction / recording, high-speed recording / reproduction, and high SN ratio. In this information recording / reproducing apparatus, a slider provided with a near-field optical head is scanned over the disk, and the slider is arranged at a desired position on the disk. Thereafter, information can be recorded on the disk by cooperating the near-field light emitted from the light source and the recording magnetic field generated from the slider.

ここで、光源からの光を近接場光として発生させる構成としては、例えば特許文献1に示されるように、光ファイバ等の導波路から出射された光を偏向させる光偏向素子と、さらに光が近接場光に変換されるまでに光のスポット径を縮小させる機能をもつ導波路層とを有するヘッドジンバルアセンブリが備えられており、導波路層を介して、近接場光を発生させる構成が知られている。   Here, as a configuration for generating light from a light source as near-field light, for example, as shown in Patent Document 1, an optical deflection element that deflects light emitted from a waveguide such as an optical fiber, and further, A head gimbal assembly having a waveguide layer having a function of reducing the spot diameter of light before being converted to near-field light is provided, and a configuration for generating near-field light through the waveguide layer is known. It has been.

特許文献1のような構成の場合、光偏向素子から出射される光の利用効率を上げるためには、光偏向素子の光出射口と導波路層の光入射口を高精度で位置合わせをする必要がある。   In the case of the configuration as in Patent Document 1, in order to increase the utilization efficiency of the light emitted from the light deflection element, the light emission port of the light deflection element and the light incident port of the waveguide layer are aligned with high accuracy. There is a need.

これに対して、特許文献2に開示されているヘッドジンバルアセンブリには、光偏向素子と導波路層とに両者の位置合わせ用のマーク部が設けられている。これより、光偏向素子と導波路層とのそれぞれに設けられたマーク部の端面が同一位置に設けられるように、光偏向素子と導波路層のいずれか一方を移動させることにより、光偏向素子と導波路層との位置合わせを行うことができる。   On the other hand, the head gimbal assembly disclosed in Patent Document 2 is provided with a mark portion for aligning both of the optical deflection element and the waveguide layer. Thus, by moving one of the optical deflection element and the waveguide layer so that the end faces of the mark portions provided on the optical deflection element and the waveguide layer are provided at the same position, the optical deflection element And the waveguide layer can be aligned.

また特許文献3に開示されているヘッドジンバルアセンブリにおける光偏向素子は、スライダの一部を構成する導波路に向けて光を射出する下面に、マーク部を備えている。当該マーク部を用いることによっても光偏向素子と導波路との位置合わせを行うことができる。   In addition, the light deflection element in the head gimbal assembly disclosed in Patent Document 3 includes a mark portion on a lower surface that emits light toward a waveguide constituting a part of the slider. The alignment between the optical deflection element and the waveguide can also be performed by using the mark portion.

特開2009−4021号公報JP 2009-4021 A 特開2007−335028号公報JP 2007-335028 A 特開2008−293580号公報JP 2008-293580 A

スライダの下面にはABS(Air Bearing Surface)が設けられている。ABSは、回転している記録媒体からの風圧を用いて、スライダを記録媒体から離す圧力と当該スライダを記録媒体側に引き寄せる圧力とを発生させることにより、スライダを記録媒体上で浮上させるために用いられる。ここで、近接場光がその発生源から離れるに従って急激に減衰するという距離依存性を有するため、それを出射するスライダは、記録媒体からナノレベルで浮上しなければならない。これより、スライダの底面に設けられるABS面は、当該ナノレベルの浮上を実現し得る形状となるように設計されている。   An ABS (Air Bearing Surface) is provided on the lower surface of the slider. ABS uses a wind pressure from a rotating recording medium to generate a pressure that separates the slider from the recording medium and a pressure that pulls the slider toward the recording medium, thereby floating the slider on the recording medium. Used. Here, since the near-field light has a distance dependency in which the near-field light is rapidly attenuated as it is separated from the generation source, the slider that emits the light must fly from the recording medium at the nano level. Accordingly, the ABS surface provided on the bottom surface of the slider is designed to have a shape that can realize the nano-level flying.

特許文献2の場合、導波路層を有するスライダと光偏向素子を有するユニットの両方に位置合わせ用のマーク部が設けられている。ABSの凹凸形状は通常、スライダの底面の先端部分まで備えられているものである。しかし、上述したようにスライダにおけるABSは、記録再生を行う際の浮上特性が非常に重要である部位のため、ABSの凹凸形状と位置合わせ用のマーク部との位置関係によっては、スライダの浮上特性に影響を与え、記録再生が困難なものになる場合がある。また、その場合に正常に記録再生を行うためには、マーク部も考慮してABSの凹凸形状を設計しなければならず、スライダの設計が複雑化する。さらに、スライダのABSが存在する面とは反対側の面にマーク部を加工することにより、スライダ全体が加工ストレスを受け変形してしまうことにより、浮上特性に大きな影響を与える可能性がある。   In the case of Patent Document 2, an alignment mark portion is provided on both the slider having the waveguide layer and the unit having the optical deflection element. The concave / convex shape of the ABS is usually provided up to the tip of the bottom surface of the slider. However, as described above, the ABS in the slider is a part where the flying characteristics at the time of recording / reproducing are very important. Therefore, depending on the positional relationship between the concave / convex shape of the ABS and the mark portion for alignment, the flying of the slider This may affect the characteristics and make recording and reproduction difficult. In this case, in order to perform normal recording / reproduction, it is necessary to design the concave / convex shape of the ABS in consideration of the mark portion, which complicates the slider design. Further, by processing the mark portion on the surface opposite to the surface where the ABS of the slider exists, the entire slider is subjected to processing stress and deformed, which may greatly affect the flying characteristics.

特許文献3の場合、上述したように、光偏向機能を有する光学素子にのみ、光偏向素子とスライダの一部を構成する導波路との位置合わせに用いられるマーク部が設けられている。特許文献2と同様に、特許文献3の場合にも、マーク部とスライダのABS面との位置関係によっては、スライダの浮上特性に影響を与える場合がある。   In the case of Patent Document 3, as described above, only an optical element having an optical deflection function is provided with a mark portion used for alignment between the optical deflection element and a waveguide constituting a part of the slider. Similar to Patent Document 2, even in Patent Document 3, depending on the positional relationship between the mark portion and the ABS surface of the slider, the flying characteristics of the slider may be affected.

そこで、本発明は以上の点に鑑みてなされたものであり、マーク部を設けたとしても、スライダの浮上特性に大きな影響を与えないようにすることができるとともに、スライダの設計を複雑化しないようにすることができるヘッドジンバルアセンブリを提供することを目的とするものである。   Therefore, the present invention has been made in view of the above points, and even if the mark portion is provided, the flying characteristics of the slider can be prevented from being greatly affected, and the design of the slider is not complicated. It is an object of the present invention to provide a head gimbal assembly that can be configured as described above.

本発明は、上記目的を達成するために、以下の手段を提供する。   In order to achieve the above object, the present invention provides the following means.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、回転している記録媒体からの風圧を用いて、前記記録媒体上で浮上するとともに、近接場光を発生する近接場光発生部を備えるスライダと、前記近接場光の発生に用いられる光を前記近接場光発生部に導入する導光部と、を備えるヘッドジンバルアセンブリであって、前記スライダは、前記風圧を発生させる立体構造部と、前記立体構造部の隣に備えられ、前記立体構造部よりも前記スライダの浮上に対する寄与が小さい平坦部と、を備えており、前記平坦部及び前記導光部は、前記近接場光発生部と前記導光部との位置合わせに用いられる平坦部側マーク部及び導光部側マーク部と、を備えることを特徴とするものである。   A head gimbal assembly according to the present invention includes a slider including a near-field light generating unit that floats on the recording medium and generates near-field light using wind pressure from a rotating recording medium, and the near-field light A head gimbal assembly including a light guide unit that introduces light used for light generation into the near-field light generation unit, wherein the slider includes the three-dimensional structure unit that generates the wind pressure, and the three-dimensional structure unit. A flat portion that is provided next to the slider and that contributes less to the flying of the slider than the three-dimensional structure portion, and the flat portion and the light guide portion include the near-field light generating portion, the light guide portion, The flat part side mark part and the light guide part side mark part used for the alignment of are provided.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、平坦部及び導光部が、近接場発生部と導光部との位置合わせに用いられる平坦部側マーク部及び導光部マーク部を持つことで、導光部と近接場発生部の位置合わせを容易にすることができる。さらに、スライダ側のマーク部が、風圧を発生させる立体構造部よりもスライダの浮上に寄与しない平坦部に備えられることで、スライダの浮上特性に大きな影響を与えることなく、スライダを安定浮上させることができるとともに、スライダの設計を複雑化しないようにすることができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the flat part and the light guide part have the flat part side mark part and the light guide part mark part used for alignment of the near-field generating part and the light guide part. Positioning of the optical part and the near-field generating part can be facilitated. Furthermore, the slider-side mark part is provided in a flat part that does not contribute to the flying of the slider more than the three-dimensional structure part that generates wind pressure, so that the slider can be stably levitated without greatly affecting the flying characteristics of the slider. In addition, the design of the slider can be prevented from becoming complicated.

ここで、スライダの浮上特性に大きな影響を与えないようにすることで、スライダから発生し、発生源から急激に減衰する近接場光を安定的に記録媒体に供給することができるとともに、近接場光同様、スライダから発生する記録磁界及び再生磁界を記録媒体から適切な距離で発生させることができるため、正常に記録再生を行うことができる。また、これにより、風圧を発生させる立体構造部を複雑化させる必要がないため、それを含むスライダ全体の設計を複雑化させることなく、近接場発生部を備えるスライダと、導光部と、を備えるヘッドジンバルアセンブリを実現することができる。   Here, by avoiding a large influence on the flying characteristics of the slider, it is possible to stably supply near-field light generated from the slider and abruptly attenuated from the generation source to the recording medium. Like light, the recording magnetic field and the reproducing magnetic field generated from the slider can be generated at an appropriate distance from the recording medium, so that recording and reproduction can be performed normally. In addition, this eliminates the need to complicate the three-dimensional structure that generates the wind pressure.Therefore, without complicating the design of the entire slider including the slider, the slider including the near-field generating unit and the light guide unit are provided. A head gimbal assembly can be realized.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部は、前記平坦部及び前記導光部が互いに向かい合う面に備えられていることを特徴とするものである。   The head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that the flat part side mark part and the light guide part side mark part are provided on a surface where the flat part and the light guide part face each other. It is.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、位置合わせが行われる前記近接場光発生部及び前記導光部と同一面上に備えることにより、前記近接場光発生部及び前記導光部との位置関係を精度よく決めることができ、平坦部及び導光部の位置合わせの精度を高くすることができる。すなわち、スライダの安定浮上が可能で、スライダの設計を複雑化させないようにすることが可能なヘッドジンバルアセンブリを実現することができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, a positional relationship between the near-field light generating unit and the light guide unit is provided on the same plane as the near-field light generating unit and the light guide unit to be aligned. Can be determined with high accuracy, and the alignment accuracy of the flat portion and the light guide portion can be increased. That is, it is possible to realize a head gimbal assembly that can stably float the slider and that does not complicate the design of the slider.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部は、前記平坦部及び前記導光部のそれぞれの側面に備えられており、前記平坦部側マーク部および前記導光部側マーク部は、前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部のそれぞれの端部が互いに向かい合うように備えられていることを特徴とするものである。   Further, in the head gimbal assembly according to the present invention, the flat part side mark part and the light guide part side mark part are provided on each side surface of the flat part and the light guide part, and the flat part side mark And the light guide part side mark part are provided so that respective ends of the flat part side mark part and the light guide part side mark part face each other.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、平坦部側マーク部及び導光部側マーク部が平坦部及び導光部の側面において互いに近接する位置に備えられていることにより、外側から確認可能な状態で両者の位置調整ができるため、平坦部及び導光部の位置合わせを容易に行うことができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the flat portion side mark portion and the light guide portion side mark portion are provided at positions close to each other on the side surfaces of the flat portion and the light guide portion, so that they can be confirmed from the outside. Therefore, the position of the flat portion and the light guide portion can be easily aligned.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部は、前記平坦部及び前記導光部のそれぞれとは屈折率が異なることを特徴とするものである。   The head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that the flat part side mark part and the light guide part side mark part have different refractive indexes from the flat part and the light guide part. is there.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部が、前記平坦部及び前記導光部のそれぞれとは屈折率が異なっていることにより、両者の光の屈折率の差を用いて、両者の外側から平坦部側マーク部及び導光部側マーク部の位置を確認できるため、平坦部及び導光部の位置合わせを容易に行うことができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the flat part side mark part and the light guide part side mark part have different refractive indexes from the flat part and the light guide part, respectively. Since the positions of the flat part side mark part and the light guide part side mark part can be confirmed from the outside of both using the difference in refractive index, the flat part and the light guide part can be easily aligned.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブは、前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部が切り欠き部であることを特徴とするものである。   The head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that the flat portion side mark portion and the light guide portion side mark portion are notched portions.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、平坦部側マーク部及び導光部側マーク部が切り欠き部であることにより、平坦部側マーク部及び導光部側マーク部を特殊な材料で形成する必要がないため、簡単な構造を用いて平坦部及び導光部の位置合せを行うことができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the flat part side mark part and the light guide part side mark part are notched parts, so that the flat part side mark part and the light guide part side mark part are formed of a special material. Since it is not necessary, the flat portion and the light guide portion can be aligned using a simple structure.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部は、前記導光部及び前記近接場光発生部の両側に配置されていることを特徴とするものである。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the flat portion side mark portion and the light guide portion side mark portion are disposed on both sides of the light guide portion and the near-field light generating portion. Is.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部が、前記導光部及び前記近接場光発生部の両側に配置されていることにより、位置合わせの精度を高くすることができる。すなわち、スライダの安定浮上が可能で、スライダの設計を複雑化させないようにすることが可能なヘッドジンバルアセンブリを実現することができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the flat part side mark part and the light guide part side mark part are arranged on both sides of the light guide part and the near-field light generating part, thereby achieving alignment. The accuracy can be increased. That is, it is possible to realize a head gimbal assembly that can stably float the slider and that does not complicate the design of the slider.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部の一方は、凸部を備え、前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部の他方は、前記凸部が嵌め込まれる凹部を備えることを特徴とするものである。   In the head gimbal assembly according to the present invention, one of the flat portion side mark portion and the light guide portion side mark portion includes a convex portion, and the other of the flat portion side mark portion and the light guide portion side mark portion. Is provided with a concave portion into which the convex portion is fitted.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、平坦部及び導光部のいずれか一方を他方に対して移動させるだけで、平坦部側マーク部及び導光部側マーク部のそれぞれに備えられた凹部と凸部とが嵌め合わさるため、平坦部及び導光部の位置合わせを容易に行うことができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the concave portion and the convex portion provided in each of the flat portion side mark portion and the light guide portion side mark portion are simply moved by moving one of the flat portion and the light guide portion with respect to the other. Since the portion is fitted, the flat portion and the light guide portion can be easily aligned.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記凸部及び前記凹部は、前記凸部の先端の外形が前記凹部の開口の外形に対して小さく形成されていることを特徴とするものである。   The head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that the convex portion and the concave portion are formed such that the outer shape of the tip of the convex portion is smaller than the outer shape of the opening of the concave portion.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、凸部の先端の外形が凹部の開口の外形に対して小さく形成されていることにより、凸部の先端が凹部の開口に嵌り易く、凸部と凹部の嵌め合わせを容易にできる。そのため、平坦部及び導光部の位置合わせを容易に行うことができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, since the outer shape of the tip of the convex portion is formed smaller than the outer shape of the opening of the concave portion, the tip of the convex portion can be easily fitted into the opening of the concave portion. Can be easily fitted. Therefore, it is possible to easily align the flat portion and the light guide portion.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記凸部及び前記凹部は、柱状に形成されていることを特徴とするものである。   The head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that the convex portion and the concave portion are formed in a columnar shape.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、凸部及び凹部が柱状に形成されていることにより、横方向の力に対しての抗力が垂直方向に分散し難いため、強い抗力で横ズレを防ぐことができ、平坦部及び導光部の位置合わせの精度を高くすることができる。すなわち、光の利用効率の高いヘッドジンバルアセンブリを実現することができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the convex portion and the concave portion are formed in a columnar shape, so that the resistance against the lateral force is difficult to disperse in the vertical direction, so that the lateral displacement is prevented with a strong resistance. Thus, the alignment accuracy of the flat portion and the light guide portion can be increased. That is, a head gimbal assembly with high light utilization efficiency can be realized.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記凸部及び前記凹部は、前記凸部から前記凹部に向かうに従って断面積が減少していく形状に形成されていることを特徴とするものである。   The head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that the convex portion and the concave portion are formed in a shape in which a cross-sectional area decreases from the convex portion toward the concave portion.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、凸部及び凹部が、凸部から凹部に向かうに従って断面積が減少していく形状にすることにより、凸部が凹部の側壁にガイドされながら凸部が凹部に嵌め合わさるため、平坦部及び導光部の位置合せを容易に行うことができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the convex portion and the concave portion have a shape in which the cross-sectional area decreases from the convex portion toward the concave portion, so that the convex portion is recessed while being guided by the side wall of the concave portion. Therefore, the flat portion and the light guide portion can be easily aligned.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記凸部及び前記凹部は、錐状に形成されていることを特徴とするものである。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the convex portion and the concave portion are formed in a conical shape.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、凸部及び凹部が錐状に形成されていること、凸部及び凹部の上面及び底面に向かって断面積が減少し、且つ凸部及び凹部の側面が徐々に絞り込まれることにより、凸部の先端が凹部の開口に嵌った後、互いに絞り込まれる側面がガイド機能を果たし、凹部と凸部の嵌め合わせを容易にできる。そのため、位置合わせを容易に行うことができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the convex portions and the concave portions are formed in a conical shape, the cross-sectional area decreases toward the top and bottom surfaces of the convex portions and the concave portions, and the side surfaces of the convex portions and the concave portions are gradually increased. After the tip of the convex portion is fitted into the opening of the concave portion, the side surfaces that are narrowed together serve as a guide function, and the concave portion and the convex portion can be easily fitted together. Therefore, alignment can be performed easily.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、凸部及び前記凹部が複数備えられていることを特徴とするものである。   The head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that a plurality of convex portions and a plurality of concave portions are provided.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、凸部及び前記凹部が複数備えられていることにより、平坦部及び導光部の位置精度を単数よりも向上させることができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the plurality of convex portions and the concave portions are provided, so that the positional accuracy of the flat portion and the light guide portion can be improved from a single number.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、前記凸部の長さが前記凹部よりも長いことを特徴とするものである。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the length of the convex portion is longer than that of the concave portion.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、凸部の長さが凹部よりも長いことにより、平坦部と導光部との距離を所望の長さにすることができるため、平坦部及び導光部の配置位置の自由度を向上させることができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, since the length of the convex portion is longer than the concave portion, the distance between the flat portion and the light guide portion can be set to a desired length. The degree of freedom of the arrangement position can be improved.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、凸部のそれぞれが互いに異なる長さを有することを特徴とするものである。   The head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that each of the convex portions has a different length.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、凹部の深さに対して、凹部に嵌めあう凸部の長さを調整することで、前記導光部の角度を容易に調節することができる。すなわち、前記導光部からの光の出射角度を容易に調整することができるため、平坦部及び導光部の配置位置の自由度を向上させることができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the angle of the light guide part can be easily adjusted by adjusting the length of the convex part fitted into the concave part with respect to the depth of the concave part. That is, since the light emission angle from the light guide unit can be easily adjusted, the degree of freedom of the arrangement positions of the flat part and the light guide unit can be improved.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、導光部側マーク部は、導光部の厚さ方向に形成された透明部材を備えており、透明部材の一端部及び他端部は、導光部から露出されていることを特徴とするものである。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the light guide portion side mark portion includes a transparent member formed in the thickness direction of the light guide portion, and one end portion and the other end portion of the transparent member are guided by the light guide. It is exposed from the part.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、導光部側マーク部と平坦部側マーク部が、側面から確認できない、導光部とスライダが対向する面に設けられている場合でも、導光部を介して両マーク部を確認しながら位置合わせを行うことができる。そのため、マーク部の配置の自由度を向上させることができるとともに、トラック幅方向とそれに垂直な方向の位置合わせを一度に行うことができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, even when the light guide portion side mark portion and the flat portion side mark portion are provided on the surface where the light guide portion and the slider face each other, which cannot be confirmed from the side surface, Position alignment can be performed while confirming both mark portions. Therefore, the degree of freedom of arrangement of the mark portions can be improved, and the alignment in the track width direction and the direction perpendicular thereto can be performed at a time.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリには、導光部の全部はレーザであることを特徴とするものである。   The head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that all of the light guide section is a laser.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、導光機能や集光機能がレーザに組み込まれて形成されている場合の導光部であっても、導光部と平坦部の位置合わせを容易に行うことができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the light guide unit and the flat part can be easily aligned even in the case of the light guide unit in the case where the light guide function and the light collecting function are incorporated in the laser. be able to.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、導光部の一部はレーザであることを特徴とするものである。   Further, the head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that a part of the light guide portion is a laser.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、導光機能や集光機能がレーザに接続されてできている導光部であっても、導光部と平坦部の位置合わせを容易に行うことができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the light guide part and the flat part can be easily aligned even in the light guide part in which the light guide function and the light collection function are connected to the laser. .

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、導光部はスライダ上に備えられていることを特徴とするものである。   The head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that the light guide is provided on a slider.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、レーザが備えられている導光部がスライダの上に設けられている場合でも、導光部と平坦部の位置合わせを容易に行うことができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, even when the light guide unit provided with the laser is provided on the slider, the light guide unit and the flat part can be easily aligned.

また、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、導光部のレーザの部分は、スライダとは離間したところに備えられていることを特徴とするものである。   The head gimbal assembly according to the present invention is characterized in that the laser portion of the light guide portion is provided at a position separated from the slider.

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリにおいては、レーザがスライダとは離間したところに備えられている場合であっても、導光部と平坦部の位置合わせを容易に行うことができる。   In the head gimbal assembly according to the present invention, the light guide portion and the flat portion can be easily aligned even when the laser is provided at a position separated from the slider.

かかる本発明の特徴によれば、スライダにマーク部を設けたとしても、スライダの浮上特性に大きな影響を与えないようにすることができるとともに、スライダの設計を複雑化しないようにすることができる。   According to such a feature of the present invention, even if the slider is provided with a mark portion, the flying characteristics of the slider can be prevented from being greatly affected, and the slider design can be prevented from being complicated. .

本発明に係る情報記録再生装置の一実施形態を示す構成図である。It is a block diagram which shows one Embodiment of the information recording / reproducing apparatus which concerns on this invention. 図1に示すヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。It is a perspective view of the head gimbal assembly shown in FIG. 図2に示すヘッドジンバルアセンブリの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the head gimbal assembly shown in FIG. 2. 上段は、図3に示すスライダの断面拡大図である。下段は、図3に示すスライダの底面拡大図である。The upper part is an enlarged cross-sectional view of the slider shown in FIG. The lower part is an enlarged bottom view of the slider shown in FIG. 上段は、図3に示すスライダの断面拡大図である。下段は、図3に示すスライダの底面拡大図である。The upper part is an enlarged cross-sectional view of the slider shown in FIG. The lower part is an enlarged bottom view of the slider shown in FIG. 上段にスライダ、中段に導光部、下段にスライダと導光部を重ね合わせたものをそれぞれ示してある。The upper part shows the slider, the middle part shows the light guide part, and the lower part shows the slider and light guide part superimposed. 上段にスライダ、中段に導光部、下段にスライダと導光部を重ね合わせたものを示してある。The upper part shows the slider, the middle part shows the light guide, and the lower part shows the slider and the light guide superimposed. 第2実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの断面図である。It is sectional drawing of the head gimbal assembly in 2nd Embodiment. 図8に示すスライダの断面と底面の拡大図である。FIG. 9 is an enlarged view of the cross section and bottom surface of the slider shown in FIG. 8. 図9のA-A'線に沿う断面拡大図である。FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. 9. 第3実施形態におけるスライダと導光部の斜視図である。It is a perspective view of the slider and light guide part in a 3rd embodiment. 図11と同様のスライダと導光部の斜視図である。It is a perspective view of the slider and light guide part similar to FIG. 図11と同様のスライダと導光部の斜視図である。It is a perspective view of the slider and light guide part similar to FIG. 第4実施形態におけるスライダの断面と底面の拡大図である。It is an enlarged view of the section and bottom of a slider in a 4th embodiment. 図14のB-B'線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the BB 'line | wire of FIG. 図15に示す点線Cで囲われた部分の拡大図である。It is an enlarged view of the part enclosed by the dotted line C shown in FIG. 図15に示すマーク部の構造が異なる点線Cで囲われた部分の拡大図である。FIG. 16 is an enlarged view of a portion surrounded by a dotted line C in which the structure of the mark portion shown in FIG. 15 is different. 第5実施形態における、マーク部の構造が異なる図15に示す点線Cで囲われた部分の拡大図である。FIG. 16 is an enlarged view of a portion surrounded by a dotted line C shown in FIG. 15 in which the structure of the mark portion is different in the fifth embodiment. マーク部の構造が異なる図18と同様の図である。It is a figure similar to FIG. 18 from which the structure of a mark part differs. 第6実施形態における、マーク部の構造が異なる図15に示す点線Cで囲われた部分の拡大図である。FIG. 16 is an enlarged view of a portion surrounded by a dotted line C shown in FIG. 15 in which the structure of the mark portion is different in the sixth embodiment. マーク部の構造が異なる図20と同様の図である。It is the same figure as FIG. 20 from which the structure of a mark part differs. マーク部の構造が異なる図20と同様の図である。It is the same figure as FIG. 20 from which the structure of a mark part differs. 第7実施形態におけるスライダと導光部の斜視図である。It is a perspective view of the slider and light guide part in a 7th embodiment. 第8実施形態におけるスライダと導光部の図である。上段にスライダ、中段に導光部、下段にスライダと導光部を重ね合わせたものをそれぞれ示してある。It is a figure of the slider and light guide part in 8th Embodiment. The upper part shows the slider, the middle part shows the light guide part, and the lower part shows the slider and light guide part superimposed. 第9実施形態におけるスライダの断面拡大図である。It is a cross-sectional enlarged view of the slider in 9th Embodiment. 第10実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの断面図である。It is sectional drawing of the head gimbal assembly in 10th Embodiment. 第11実施形態におけるスライダと導光部の断面図である。It is sectional drawing of the slider and light guide part in 11th Embodiment. 第12実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの断面図である。It is sectional drawing of the head gimbal assembly in 12th Embodiment. 第13実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの断面図である。It is sectional drawing of the head gimbal assembly in 13th Embodiment. 第14実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。It is a perspective view of the head gimbal assembly in a 14th embodiment. 第15実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリの断面図である。It is sectional drawing of the head gimbal assembly in 15th Embodiment.

(第1実施形態)
(情報記録再生装置)
以下、本発明に係る第1実施形態を、図1から図7を参照して説明する。図1は、本発
明に係る情報記録再生装置1の一実施形態を示す構成図である。なお、本実施形態の情報
記録再生装置1は、垂直記録層を有するディスク(記録媒体)Dに対して、垂直記録方式
で書き込みを行う装置である。
(First embodiment)
(Information recording / reproducing device)
A first embodiment according to the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an information recording / reproducing apparatus 1 according to the present invention. Note that the information recording / reproducing apparatus 1 of the present embodiment is an apparatus for writing on a disc (recording medium) D having a vertical recording layer by a vertical recording method.

本実施形態の情報記録再生装置1は、キャリッジ11と、キャリッジ11の基端側から光束を供給するレーザ光源20と、キャリッジ11の先端側に支持され、サスペンション3とサスペンション3の先端に形成されたスライダ2から構成されるヘッドジンバルアセンブリ(HGA)12と、ヘッドジンバルアセンブリ12をディスクDの表面に平行なXY方向に向けてスキャン移動させるアクチュエータ6と、ディスクDを所定の方向に向けて回転させるスピンドルモータ7と、配線4を介してレーザ光源20に接続されており、情報に応じて変調した電流をスライダ2に対して供給する制御部5と、これら各構成品を内部に収容するハウジング(不図示)とを備えている。   The information recording / reproducing apparatus 1 according to the present embodiment is formed on a carriage 11, a laser light source 20 that supplies a light beam from the base end side of the carriage 11, and a tip end side of the carriage 11. A head gimbal assembly (HGA) 12 composed of the slider 2, an actuator 6 for scanning the head gimbal assembly 12 in the XY directions parallel to the surface of the disk D, and the disk D rotated in a predetermined direction. A spindle motor 7 to be connected to the laser light source 20 via the wiring 4, and a control unit 5 for supplying a current modulated in accordance with information to the slider 2, and a housing for accommodating these components inside. (Not shown).

ハウジングは、アルミニウム等の金属材料からなる上部開口部を有する箱型形状のものであり、上面視四角形状の底部9と、底部9の周縁において底部9に対して鉛直方向に立設する周壁(不図示)とで構成されている。そして、周壁に囲まれた内側には、上述した各構成品等を収容する凹部が形成される。なお、図1においては、説明を分かりやすくするため、ハウジングの周囲を取り囲む周壁を省略する。また、このハウジングには、ハウジングの開口を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。底部9の略中心には、上述したスピンドルモータ7が取り付けられており、該スピンドルモータ7に中心孔を嵌め込むことでディスクDが着脱自在に固定される。   The housing has a box shape having an upper opening made of a metal material such as aluminum. (Not shown). And the recessed part which accommodates each component mentioned above etc. is formed in the inner side enclosed by the surrounding wall. In FIG. 1, the peripheral wall surrounding the periphery of the housing is omitted for easy understanding. Further, a lid (not shown) is detachably fixed to the housing so as to close the opening of the housing. The spindle motor 7 described above is attached to substantially the center of the bottom portion 9, and the disk D is detachably fixed by fitting the center hole into the spindle motor 7.

ディスクDの外側、つまり底部9の隅角部には、上述したアクチュエータ6が取り付けられている。このアクチュエータ6には、ピボット軸10を中心にXY方向に対して回動可能なキャリッジ11が取り付けられている。このキャリッジ11は、基端部から先端部に向けてディスクDの表面に沿って延設されたアーム部14と、基端部を介してアーム部14を片持ち状に支持する基部15とが、削り出し加工等により一体形成されたものである。基部15は、ピボット軸10まわりを回動可能に支持されている。つまり、基部15はピボット軸10を介してアクチュエータ6に連結されており、このピボット軸10がキャリッジ11の回転中心となっている。   The actuator 6 described above is attached to the outside of the disk D, that is, the corner of the bottom 9. A carriage 11 is attached to the actuator 6 so as to be rotatable about the pivot shaft 10 in the XY directions. The carriage 11 includes an arm portion 14 extending along the surface of the disk D from the base end portion toward the tip portion, and a base portion 15 that supports the arm portion 14 in a cantilever manner via the base end portion. These are integrally formed by machining or the like. The base 15 is supported so as to be rotatable around the pivot shaft 10. That is, the base portion 15 is connected to the actuator 6 via the pivot shaft 10, and the pivot shaft 10 is the rotation center of the carriage 11.

アーム部14は、基端部から先端部に向かうにつれ先細るテーパ形状に形成されており、各アーム部14間に、ディスクDが挟み込まれるように配置されている。つまり、アーム部14とディスクDとが、互い違いになるように配されており、アクチュエータ6の駆動によってアーム部14がディスクDの表面に平行な方向(XY方向)に移動可能とされている。なお、キャリッジ11及びヘッドジンバルアセンブリ12は、ディスクDの回転停止時にアクチュエータ6の駆動によって、ディスクD上から退避するようになっている。
(ヘッドジンバルアセンブリ)
ヘッドジンバルアセンブリ12は、後述する近接場光発生部40(図4参照)を有する近接場光ヘッドであるスライダ2に、レーザ光源20からの光束を導いて近接場光を発生させ、該近接場光を利用してディスクDに各種情報を記録再生させるものである。
The arm portion 14 is formed in a tapered shape that tapers from the base end portion toward the tip end portion, and is arranged so that the disk D is sandwiched between the arm portions 14. That is, the arm portion 14 and the disk D are arranged so as to alternate with each other, and the arm portion 14 can be moved in a direction parallel to the surface of the disk D (XY direction) by driving the actuator 6. The carriage 11 and the head gimbal assembly 12 are retracted from the disk D by driving the actuator 6 when the rotation of the disk D is stopped.
(Head gimbal assembly)
The head gimbal assembly 12 generates near-field light by guiding the light flux from the laser light source 20 to the slider 2 which is a near-field light head having a near-field light generating unit 40 (see FIG. 4) described later. Various information is recorded on and reproduced from the disk D using light.

図2は、スライダ2を上向きにした状態でヘッドジンバルアセンブリ12を見た斜視図である。本実施形態のヘッドジンバルアセンブリ12は、上述したスライダ2をディスクDから浮上させる機能を有しており、スライダ2と、金属製材料により薄い板状に形成され、ディスクDの表面に平行なXY方向に移動可能なサスペンション3から構成されている。サスペンション3は、ディスクDの表面に平行で且つ互いに直交する2軸(X軸、Y軸)回りに回動自在な状態、即ち、2軸を中心として捻れることができるようにスライダ2を固定させるジンバル17とを備えている。   FIG. 2 is a perspective view of the head gimbal assembly 12 with the slider 2 facing upward. The head gimbal assembly 12 according to the present embodiment has a function of floating the slider 2 described above from the disk D. The head gimbal assembly 12 is formed in a thin plate shape with the slider 2 and a metal material, and is parallel to the surface of the disk D. The suspension 3 is movable in the direction. The suspension 3 fixes the slider 2 so as to be rotatable about two axes (X axis, Y axis) parallel to the surface of the disk D and perpendicular to each other, that is, twistable about the two axes. The gimbal 17 is provided.

また、図3は、図2のヘッドジンバルアセンブリ12の先端部分をX方向から見た拡大図である。ヘッドジンバルアセンブリ12では、上述したレーザ光源20からスライダ2まで光束を導くための導光部32が、スライダ2に隣接して接続されており、これを挟んでスライダ2を固定させるジンバル17が備えられている。ジンバル17は、突起部19を介して、ロードビーム24に備えられている。
(スライダ)
スライダ2は、ディスクDとサスペンション3との間に配置された状態で、サスペンション3の下面にジンバル17を挟んで支持されている。図4はスライダ2をX方向から見た時の断面と、スライダ2をZ方向から見た時の底面を、それぞれ上図と下図に拡大して示してある。スライダ2は、ディスクD(図1参照)の表面から所定距離だけ浮上した状態でディスクDに対向配置され、ディスクDの表面に対向する浮上面2aを有するスライダ基板60と、その先端面60cに備えられた記録素子42、近接場光発生部40、及び再生素子41から構成される。
FIG. 3 is an enlarged view of the tip portion of the head gimbal assembly 12 of FIG. 2 as viewed from the X direction. In the head gimbal assembly 12, the light guide portion 32 for guiding the light beam from the laser light source 20 to the slider 2 is connected adjacent to the slider 2, and the gimbal 17 for fixing the slider 2 with the sandwiched portion is provided. It has been. The gimbal 17 is provided on the load beam 24 via the protrusion 19.
(Slider)
The slider 2 is supported between the disk D and the suspension 3 with the gimbal 17 sandwiched between the lower surface of the suspension 3. FIG. 4 is an enlarged view of the cross section when the slider 2 is viewed from the X direction and the bottom surface when the slider 2 is viewed from the Z direction, respectively. The slider 2 is arranged to face the disk D in a state of floating a predetermined distance from the surface of the disk D (see FIG. 1), and has a slider substrate 60 having a floating surface 2a facing the surface of the disk D, and a tip surface 60c thereof. The recording element 42, the near-field light generator 40, and the reproducing element 41 are provided.

ここで、記録素子42、近接場光発生部40、及び再生素子41の配置はこの限りではない。図5は、図4と同様の図で、スライダ2をX方向から見た時の断面と、スライダ2をZ方向から見た時の底面を、それぞれ上図と下図に拡大して示した図である。ただし、再生素子41と記録素子42及び近接場光発生部40の配置が図4とは異なっている。例えばこの図に示すように、スライダ基板60の先端面60cに再生素子41、その隣に記録素子42、さらにその隣に近接場光発生部40が配置されていてもよい。   Here, the arrangement of the recording element 42, the near-field light generator 40, and the reproducing element 41 is not limited to this. FIG. 5 is a view similar to FIG. 4, in which the cross section when the slider 2 is viewed from the X direction and the bottom surface when the slider 2 is viewed from the Z direction are enlarged and shown in the upper and lower views, respectively. It is. However, the arrangement of the reproducing element 41, the recording element 42, and the near-field light generating unit 40 is different from that in FIG. For example, as shown in this figure, the reproducing element 41 may be disposed on the front end surface 60c of the slider substrate 60, the recording element 42 adjacent to the reproducing element 41, and the near-field light generating unit 40 adjacent thereto.

再生素子41は、ディスクDから漏れ出ている磁界の大きさに応じて電気抵抗が変換する磁気抵抗効果膜である。この再生素子41には、電気配線31(図2参照)を介して制御部5(図1参照)からバイアス電流が供給されている。これにより制御部5は、ディスクDから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することができ、この電圧の変化から信号の再生を行うことができるようになっている。   The reproducing element 41 is a magnetoresistive film whose electric resistance is converted according to the magnitude of the magnetic field leaking from the disk D. A bias current is supplied to the reproducing element 41 from the control unit 5 (see FIG. 1) via the electric wiring 31 (see FIG. 2). As a result, the control unit 5 can detect a change in the magnetic field leaking from the disk D as a change in voltage, and can reproduce a signal from the change in voltage.

記録素子42は、副磁極43と、磁気回路44を介して副磁極43に接続され、ディスクDに対して垂直な記録磁界を副磁極43との間で発生させる主磁極45と、磁気回路44を中心として磁気回路44の周囲を渦巻状に巻回されたコイル46とを備えている。また、コイル46は、ショートしないように、隣り合うコイル線間、磁気回路44との間、両磁極43、45との間に隙間が空くように配置されており、この状態で絶縁体47によってモールドされている。   The recording element 42 is connected to the auxiliary magnetic pole 43 via the auxiliary magnetic pole 43 and the magnetic circuit 44, and generates a recording magnetic field perpendicular to the disk D between the auxiliary magnetic pole 43 and the magnetic circuit 44. And a coil 46 wound around the magnetic circuit 44 in a spiral shape. Further, the coil 46 is disposed so that there is a gap between adjacent coil wires, between the magnetic circuit 44 and between the magnetic poles 43 and 45 so as not to be short-circuited. Molded.

近接場光発生部40は、基端側から導入された光束のスポット径を縮小するとともに、近接場光を先端側から外部に発する略板状の素子である。近接場光発生部40は、近接場光発生部コア48と近接場光発生部クラッド49とから構成されている。このように構成された近接場光発生部40は、基端側がスライダ2の上方(Z軸上方)に向くとともに、先端側がディスクD側に向いた状態で主磁極45に隣接して固定されており、主磁極45の近傍にスポット光を発生させている。近接場光発生部クラッド49は、近接場光発生部コア48の屈折率より低い屈折率の材料からなり、近接場光発生部コア48に密着して近接場光発生部コア48を封止するものである。そして、導光部32より供給された光束は、近接場光発生部コア48と近接場光発生部クラッド49との間の屈折率の違いにより全反射条件で先端側の端面まで導かれるようになっている。   The near-field light generating unit 40 is a substantially plate-like element that reduces the spot diameter of the light beam introduced from the proximal end side and emits near-field light from the distal end side to the outside. The near-field light generator 40 includes a near-field light generator core 48 and a near-field light generator cladding 49. The near-field light generating unit 40 configured in this way is fixed adjacent to the main magnetic pole 45 with the proximal end facing upward (Z-axis upward) of the slider 2 and the distal end facing the disk D side. In addition, spot light is generated in the vicinity of the main magnetic pole 45. The near-field light generating section cladding 49 is made of a material having a refractive index lower than that of the near-field light generating section core 48 and is in close contact with the near-field light generating section core 48 to seal the near-field light generating section core 48. Is. Then, the light beam supplied from the light guide unit 32 is guided to the end surface on the tip side under the total reflection condition due to the difference in refractive index between the near-field light generation unit core 48 and the near-field light generation unit cladding 49. It has become.

また、スライダ2(スライダ基板60)の底面は、上述したようにディスクDの表面に対向する浮上面2aとなっている。この浮上面2aは、回転するディスクDによって生じた空気流の粘性から、浮上するための圧力を発生させる面であり、ABS(Air Bearing Surface)と呼ばれている。具体的には、スライダ2の浮上面2aには、ディスクDの表面に向かって迫り出した低い立体構造80と、低い立体構造80よりもさらにディスクDの表面に向かって迫り出している高い立体構造81とが備えてある。この低い立体構造80と高い立体構造81は、スライダ2をディスク面Dの表面から離そうとする正圧とディスクDの表面に引き付けようとする負圧とを調整できるように厳密に設計されている。さらにスライダ2は、サスペンション3によってディスクD側に押さえ付けられる力を受けている。よって、スライダ2は、これらの正圧と負圧、及び押力のバランスによって、ディスクDの表面から適切な距離で浮上するようになっている。   Further, the bottom surface of the slider 2 (slider substrate 60) is the air bearing surface 2a facing the surface of the disk D as described above. The air bearing surface 2a is a surface that generates pressure for ascending from the viscosity of the air flow generated by the rotating disk D, and is called an ABS (Air Bearing Surface). Specifically, the flying surface 2a of the slider 2 has a low three-dimensional structure 80 that protrudes toward the surface of the disk D, and a high three-dimensional structure that protrudes further toward the surface of the disk D than the low three-dimensional structure 80. Structure 81 is provided. The low three-dimensional structure 80 and the high three-dimensional structure 81 are strictly designed so that a positive pressure for separating the slider 2 from the surface of the disk surface D and a negative pressure for attracting the slider 2 to the surface of the disk D can be adjusted. Yes. Further, the slider 2 receives a force pressed against the disk D side by the suspension 3. Therefore, the slider 2 floats at an appropriate distance from the surface of the disk D by the balance between the positive pressure, the negative pressure, and the pressing force.

ここで、スライダ2の浮上面2aを構成する立体構造は、2段階でなくてもよく、1段階の立体構造のみでも、また3段階以上のより複雑な立体構造であってもよい。   Here, the three-dimensional structure constituting the air bearing surface 2a of the slider 2 does not have to be two steps, and may be a one-step three-dimensional structure or a more complicated three-dimensional structure.

またここで、スライダ2は、浮上面2aを構成する低い立体構造80とそれよりも高い立体構造81が備えられている部位と、それらが備えられていない部位との、2つの部位に分けることができる。すなわち、浮上面2aのうち浮上特性に特に影響を与える立体構造を備える面を含む立体構造部202と、立体構造部202に備えられており、浮上面2aのうち浮上特性に影響を与えにくいおよそ平坦な面を含む厚さ10〜20μm程度の平坦部201とに分けることができる。立体構造部202は記録素子42と再生素子41を備えた部分であり、平坦部201は近接場光発生部40を有した部分である。通常、スライダ2の浮上面2aを構成する低い立体構造80や高い立体構造81は、スライダ2の底面の先端部分まで備わっているものであるが、本実施形態の特徴は、浮上特性に影響の少なく、ごく薄い、低い立体構造80や高い立体構造81のない平坦部201が備わっていることにある。   Here, the slider 2 is divided into two parts, a part where the low three-dimensional structure 80 and the higher three-dimensional structure 81 constituting the air bearing surface 2a are provided, and a part where they are not provided. Can do. That is, the three-dimensional structure portion 202 includes a surface having a three-dimensional structure that particularly affects the flying characteristics of the floating surface 2a, and the three-dimensional structure portion 202, and the floating surface 2a has a surface that hardly affects the floating characteristics. It can be divided into a flat portion 201 having a thickness of about 10 to 20 μm including a flat surface. The three-dimensional structure 202 is a part including the recording element 42 and the reproducing element 41, and the flat part 201 is a part including the near-field light generating unit 40. Normally, the low three-dimensional structure 80 and the high three-dimensional structure 81 constituting the flying surface 2a of the slider 2 are provided up to the tip of the bottom surface of the slider 2, but the feature of this embodiment is that the flying characteristics are affected. The flat part 201 which is few and is very thin and does not have the low three-dimensional structure 80 and the high three-dimensional structure 81 is provided.

(サスペンション)
図2に示すように、サスペンション3は、上面視略四角状に形成されたベースプレート22と、ベースプレート22の先端側にヒンジ板23を介して連結された平面視略三角状のロードビーム24とフレクシャ25で構成されている。
(suspension)
As shown in FIG. 2, the suspension 3 includes a base plate 22 formed in a substantially square shape in a top view, a load beam 24 having a substantially triangular shape in a plan view connected to a tip side of the base plate 22 via a hinge plate 23, and a flexure. 25.

ベースプレート22は、ステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、基端側には厚さ方向に貫通する開口22aが形成されている。そして、この開口22aを介してベースプレート22がアーム部14(図1参照)の先端に固定されるようになっている。ベースプレート22の下面には、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状のヒンジ板23が配置されている。このヒンジ板23は、ベースプレート22の下面の全面に亘って形成された平板状のものである。ヒンジ版23の先端部分にロードビーム24が連結されている。   The base plate 22 is made of a thin metal material such as stainless steel, and an opening 22a penetrating in the thickness direction is formed on the base end side. The base plate 22 is fixed to the tip of the arm portion 14 (see FIG. 1) through the opening 22a. A sheet-like hinge plate 23 made of a metal material such as stainless steel is disposed on the lower surface of the base plate 22. The hinge plate 23 is a flat plate formed over the entire lower surface of the base plate 22. A load beam 24 is connected to the tip of the hinge plate 23.

ロードビーム24は、ベースプレート22と同様にステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、その基端がベースプレート22の先端との間に間隙を有した状態でヒンジ板23に連結されている。これにより、サスペンション3はベースプレート22とロードビーム24との間を中心に屈曲して、ディスクDの表面に垂直なZ方向に向けて撓み易くなっている。   The load beam 24 is made of a thin metal material such as stainless steel like the base plate 22, and the base end thereof is connected to the hinge plate 23 with a gap between the base plate 22 and the tip end of the base plate 22. . As a result, the suspension 3 bends about between the base plate 22 and the load beam 24 and is easily bent in the Z direction perpendicular to the surface of the disk D.

フレクシャ25は、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状のものであり、シート状に形成されることで厚さ方向に撓み変形可能に構成されている。フレクシャ25は、ロードビーム24の先端側に固定され、外形が上面視略五角形状に形成されたジンバル17と、ジンバル17より幅狭に形成され、ジンバル17の基端からサスペンション3上に沿って延在する支持体18とで構成されている。   The flexure 25 is a sheet-shaped member made of a metal material such as stainless steel, and is configured to be able to bend and deform in the thickness direction by being formed in a sheet shape. The flexure 25 is fixed to the distal end side of the load beam 24, and has a gimbal 17 whose outer shape is formed in a substantially pentagonal shape when viewed from above, a narrower width than the gimbal 17, and extends along the suspension 3 from the base end of the gimbal 17. It is comprised with the support body 18 extended.

支持体18は、ジンバル17に一体形成されたシート状のものであり、サスペンション3上をアーム部14(図1参照)に向かって延設されている。つまり、支持体18は、サスペンション3が変形した際にサスペンション3の変形に追従するように構成されている。   The support 18 is in the form of a sheet integrally formed with the gimbal 17 and extends on the suspension 3 toward the arm portion 14 (see FIG. 1). That is, the support 18 is configured to follow the deformation of the suspension 3 when the suspension 3 is deformed.

また、図3に示すように、ロードビーム24の先端には、ジンバル17及びスライダ2の略中心に向かって突出する突起部19が形成されている。この突起部19の先端は、丸みを帯びた状態となっている。そして突起部19は、スライダ2がディスクDから受ける風圧によりロードビーム24側に浮上したときに、ジンバル17の表面(上面)に点接触するようになっている。つまり、突起部19は、ジンバル17と導光部32を介して、スライダ2を支持するとともに、ディスクDの表面に向けて(Z方向に向けて)スライダ2に荷重を付与するようになっている。   Further, as shown in FIG. 3, a projection 19 that protrudes toward the approximate center of the gimbal 17 and the slider 2 is formed at the tip of the load beam 24. The tip of the projection 19 is rounded. The protrusion 19 is brought into point contact with the surface (upper surface) of the gimbal 17 when the slider 2 floats to the load beam 24 side by the wind pressure received from the disk D. That is, the protrusion 19 supports the slider 2 via the gimbal 17 and the light guide 32 and applies a load to the slider 2 toward the surface of the disk D (in the Z direction). Yes.

(導光部)
図1に示すように、レーザ光源20の出射側には、レーザ光源20から出射された光束をスライダ2まで導く導光部32が接続されている。
(Light guide)
As shown in FIG. 1, a light guide 32 that guides the light beam emitted from the laser light source 20 to the slider 2 is connected to the emission side of the laser light source 20.

図2に示すように、スライダ2には1つの導光部32と1組の電気配線31が接続されている。この導光部32と電気配線31は、サスペンション3上において、フレクシャ25の上述した支持体18上にまとめて配置されており、支持体18を間に挟んだ状態でサスペンション3の先端まで引き回されている。   As shown in FIG. 2, one light guide portion 32 and one set of electrical wiring 31 are connected to the slider 2. The light guide 32 and the electrical wiring 31 are arranged together on the above-described support 18 of the flexure 25 on the suspension 3, and are routed to the tip of the suspension 3 with the support 18 sandwiched therebetween. Has been.

分岐点において、電気配線31はジンバル17の外周部分に向けて屈曲されており、ジンバル17の外周部分の外側から引き回されている。そして、ジンバル17の外側から引き回された電気配線31は、スライダ2の先端面側に接続されている。すなわち、電気配線31は、スライダ2の先端面側に設けられた上述した再生素子41と記録素子42とのそれぞれに対して、スライダ2の外部から直接接続されている。   At the branch point, the electric wiring 31 is bent toward the outer peripheral portion of the gimbal 17 and is routed from the outside of the outer peripheral portion of the gimbal 17. The electrical wiring 31 routed from the outside of the gimbal 17 is connected to the end face side of the slider 2. That is, the electrical wiring 31 is directly connected from the outside of the slider 2 to each of the reproducing element 41 and the recording element 42 described above provided on the front end surface side of the slider 2.

一方、導光部32と電気配線31は、サスペンション3の先端、すなわちジンバル17の中間位置において分岐している。導光部32は、分岐点からジンバル17の長手方向に沿って延在し、スライダ2の基端側に直接接続されている。導光部32は、分岐点においてジンバル17の下面から離間されており、分岐点からスライダ2の基端側に向かうにつれ、ジンバル17から僅かながら浮いた状態で延在している。   On the other hand, the light guide 32 and the electrical wiring 31 are branched at the tip of the suspension 3, that is, at the intermediate position of the gimbal 17. The light guide portion 32 extends from the branch point along the longitudinal direction of the gimbal 17 and is directly connected to the proximal end side of the slider 2. The light guide portion 32 is separated from the lower surface of the gimbal 17 at the branch point, and extends in a slightly floating state from the gimbal 17 toward the proximal end side of the slider 2 from the branch point.

ここで、図4に示すように、導光部32は導光部コア35と導光部クラッド34から構成されている。また、導光部32の先端部分は、導光部クラッド32を幅方向(X方向)に拡大してあり、スライダ2の上面(XY平面)の外形と同等に形成されている。   Here, as shown in FIG. 4, the light guide portion 32 includes a light guide portion core 35 and a light guide portion clad 34. Further, the leading end portion of the light guide portion 32 is formed by expanding the light guide portion clad 32 in the width direction (X direction), and is formed to be equal to the outer shape of the upper surface (XY plane) of the slider 2.

ここで、導光部32の拡大した先端部分は、導光部クラッド32と一体に形成されていなくてもよく、スライダ2の上面の外形と同等に形成された材質に埋め込まれていてもよい。   Here, the enlarged distal end portion of the light guide portion 32 may not be formed integrally with the light guide portion clad 32 and may be embedded in a material formed to be equivalent to the outer shape of the upper surface of the slider 2. .

導光部32の先端面32aは、略45度の角度をもつ斜面である。先端面32aは、ミラー機能を有しており、導光部32を伝播してきた光を先端面32aで反射させることによって偏向させ、近接場光発生部40へ導く。なお、先端面32aにミラー機能が備えられていることに限定されずに、導光部32の内部に備えられていても良いのは勿論のことである。   The front end surface 32a of the light guide part 32 is an inclined surface having an angle of approximately 45 degrees. The distal end surface 32 a has a mirror function, and deflects the light propagating through the light guide unit 32 by reflecting the light at the distal end surface 32 a and guides it to the near-field light generating unit 40. Needless to say, the distal end surface 32a is not limited to having a mirror function, and may be provided in the light guide section 32.

(位置合わせマーク部)
図4に示すように、導光部32と近接場光発生部40は、互いに向かい合う面に、導光部32と近接場光発生部40の位置合わせ用の、導光部側マーク部50と近接場光発生部側マーク部(平坦部側マーク部)70とをそれぞれ備えている。
(Alignment mark)
As shown in FIG. 4, the light guide unit 32 and the near-field light generating unit 40 are arranged on the surfaces facing each other, with the light guide unit side mark unit 50 for positioning the light guide unit 32 and the near-field light generating unit 40. And a near-field light generating part side mark part (flat part side mark part) 70.

また図6は、上段にスライダ2、中段に導光部32、下段にスライダ2と導光部32を重ね合わせたものをそれぞれ示してある。上段は、スライダ2の導光部32に向かい合う面2d(図4参照)を上から見た図である。中段は、導光部32のスライダ2に向かい合う面32d(図4参照)を上から見た図である。さらに下段は、上段の図で示したスライダ2の上に、中段の図で示した導光部32の一部が、導光部側マーク部50と近接場光発生部側マーク部70が互いに合わさるように、載った状態で、導光部32をサスペンション3側から見た図である。   FIG. 6 shows the slider 2 on the upper stage, the light guide 32 in the middle, and the slider 2 and the light guide 32 superimposed on the lower. The upper part is a view of the surface 2d (see FIG. 4) facing the light guide part 32 of the slider 2 as viewed from above. The middle part is a view of the surface 32d (see FIG. 4) facing the slider 2 of the light guide 32 as seen from above. Further, in the lower stage, on the slider 2 shown in the upper figure, a part of the light guide part 32 shown in the middle figure is connected to the light guide part side mark part 50 and the near-field light generating part side mark part 70. It is the figure which looked at the light guide part 32 from the suspension 3 side in the mounted state so that it may match | combine.

近接場光発生部側マーク部70は、近接場光発生部40の近接場光発生部コア48の両側に備えられており、略平坦な四角形のマーク部である。近接場光発生部側マーク部70は、スライダ2の浮上特性に影響を与えにくい平坦部201の上面(導光部32と対向する面)に備えられている。これにより、記録再生時のディスクDに対するスライダ2の浮上量を安定に保ち、正常に情報の記録再生を行うことができる。あるいは、立体構造部202をはじめとするスライダ2の構造設計を複雑化させることなく、ヘッドジンバルアセンブリ12を実現させることができる。一方、低い立体構造80や高い立体構造81がある立体構造部202にマーク部を加工した場合、立体構造部202の全体を変形させてしまい、浮上特性に重大な影響を及ぼす可能性がある。また、平坦部201は、近接場光を発生する機能を有する部分であり、記録素子42などを含まない。ゆえに、近接場光発生部側マーク部70を備えるために平坦部201を加工したとしても、記録素子42や再生素子41といった部分に加工ストレスやそれによる変質、変形などの影響を及ぼさない。   The near-field light generating part side mark part 70 is provided on both sides of the near-field light generating part core 48 of the near-field light generating part 40 and is a substantially flat square mark part. The near-field light generating unit side mark unit 70 is provided on the upper surface (the surface facing the light guide unit 32) of the flat unit 201 that does not easily affect the flying characteristics of the slider 2. As a result, the flying height of the slider 2 with respect to the disk D during recording and reproduction can be kept stable, and information can be normally recorded and reproduced. Alternatively, the head gimbal assembly 12 can be realized without complicating the structural design of the slider 2 including the three-dimensional structure 202. On the other hand, when the mark portion is processed in the three-dimensional structure portion 202 having the low three-dimensional structure 80 or the high three-dimensional structure 81, the whole three-dimensional structure portion 202 may be deformed, which may have a significant influence on the floating characteristics. The flat portion 201 is a portion having a function of generating near-field light and does not include the recording element 42 and the like. Therefore, even if the flat part 201 is processed in order to provide the near-field light generating part side mark part 70, the parts such as the recording element 42 and the reproducing element 41 are not affected by processing stress, alteration or deformation caused by the processing stress.

同様に、導光部側マーク部50は導光部32の両端に備えられており、近接場光発生部側マーク部70と同形の略平坦な四角形のマーク部である。   Similarly, the light guide portion side mark portions 50 are provided at both ends of the light guide portion 32, and are substantially flat rectangular mark portions having the same shape as the near-field light generating portion side mark portion.

ここで、導光部側マーク部50と近接場光発生部側マーク部70は、略平坦なマーク部でなくてもよく、共に凸型であってもよく、また共に凹型であってもよい。またあるいは、導光部側マーク部50と近接場光発生部側マーク部70の片方が略平坦で、他方が凸型あるいは凹型であってもよい。   Here, the light guide portion side mark portion 50 and the near-field light generating portion side mark portion 70 do not have to be substantially flat mark portions, and may be both convex or concave. . Alternatively, one of the light guide portion side mark portion 50 and the near-field light generating portion side mark portion 70 may be substantially flat and the other may be a convex shape or a concave shape.

また図7は、図6と同様に上段にスライダ2、中段に導光部32、下段にスライダ2と導光部32を重ね合わせたものを示してある。ただし、図6とは導光部側マーク部51と近接場光発生部側マーク部71の両者の位置と近接場光発生部側マーク部の形が異なっている。例えば、この図に示すように、導光部側マーク部51は導光部コア35を中心に片側にのみ備えてあってもよい。同様に、導光部側マーク部51に対向する近接場光発生部側マーク部71は近接場光発生部コア48を中心に片側に備えてあってもよい。   FIG. 7 shows the slider 2 in the upper stage, the light guide 32 in the middle, and the slider 2 and the light guide 32 in the lower stage, as in FIG. However, the positions of both the light guide unit side mark unit 51 and the near field light generation unit side mark unit 71 and the shape of the near field light generation unit side mark unit are different from those in FIG. For example, as shown in this figure, the light guide portion side mark portion 51 may be provided only on one side with the light guide portion core 35 as the center. Similarly, the near-field light generating unit side mark unit 71 facing the light guide unit side mark unit 51 may be provided on one side with the near-field light generating unit core 48 as the center.

また、導光部側マーク部51と近接場光発生部側マーク部71は、1組でもよいし、2組以上であってもよい。   Moreover, the light guide part side mark part 51 and the near-field light generating part side mark part 71 may be one set or two or more sets.

また、導光部側マーク部51と近接場光発生部側マーク部71は同形でなくてもよく、例えば、導光部側マーク部51が四角形で、近接場光発生部側マーク部71が導光部側マーク部51に内接する円形でもよい。
(組み立て方法)
次に、このように構成されたヘッドジンバルアセンブリ12の組み立て手順について以下に説明する。基本的には、従来通りの組み立て手順で組み立てる。ただし、スライダ2に備えられた近接場光発生部40と導光部32の位置合わせの精度に依っては、導光部32から出射される光の利用効率が大きな影響を受けるため、スライダ2と導光部32を組み立てる際は、スライダ2の近接場光発生部コア48と導光部コア35の位置合わせを精度よく行う必要がある。
In addition, the light guide unit side mark unit 51 and the near field light generation unit side mark unit 71 do not have to be the same shape. For example, the light guide unit side mark unit 51 is square and the near field light generation unit side mark unit 71 is A circular shape inscribed in the light guide portion side mark portion 51 may be used.
(Assembly method)
Next, an assembly procedure of the head gimbal assembly 12 configured as described above will be described below. Basically, the assembly procedure is the same as before. However, the use efficiency of the light emitted from the light guide unit 32 is greatly affected by the accuracy of alignment between the near-field light generating unit 40 and the light guide unit 32 provided in the slider 2. When assembling the light guide part 32, it is necessary to accurately align the near-field light generating part core 48 of the slider 2 and the light guide part core 35.

スライダ2と導光部32を組み立てる際の、両者のコアの位置合わせには、近接場光発生部側マーク部70と導光部側マーク部50を利用する。近接場光発生部側マーク部70は、近接場光発生部コア48と導光部コア35が精度よく位置合わせができるように、近接場光発生部コア48から離間した平坦部201上に設けられている。また同様に、導光部側マーク部50は、近接場光発生部コア48と導光部コア35が精度よく位置合わせができるように、近接場光発生部側マーク部70に対向した位置の導光部32の導光部コア35以外の場所に設けられている。この近接場光発生部側マーク部70の位置を画像認識装置などで座標情報として取得し、対向する導光部側マーク部50が近接場光発生部側マーク部70の座標に一致するようにスライダ2と導光部32の位置調整を行う。これにより、導光部コア35と近接場光発生部コア48の位置合わせを行う際、組み立て段階で導光部32に光を入れて、導光部32から近接場光発生部コア48に導入する光の利用効率が最も高くなるように近接場光発生部40の位置を調整する過程が必要ではなくなるため、導光部32とスライダ2の組み立てを容易に行うことができる。また、近接場光発生部側マーク部70は、スライダ2の平坦部201に設けられていることにより、情報記録再生装置1が記録再生を行う際、スライダ2の浮上特性に影響を与えることがほとんどない。そのため、安定して記録再生を行うことができ、情報記録再生装置1の信頼性向上を図ることができる。また、スライダ2の立体構造部202を始めとするスライダ2の設計を複雑化する必要がない。
(情報記録再生方法)
次に、このように組み立てられたヘッドジンバルアセンブリ12により、ディスクDに各種の情報を記録再生する手順について以下に説明する。まず、図1に示すように、スピンドルモータ7を駆動させてディスクDを所定方向に回転させる。次いで、アクチュエータ6を作動させて、ピボット軸10を回転中心としてキャリッジ11を回動させ、キャリッジ11を介してヘッドジンバルアセンブリ12をXY方向にスキャンさせる。これにより、ディスクD上の所望する位置にスライダ2を位置させることができる。この際、スライダ2は、サスペンション3によって支持されていると共に所定の力でディスクD側に押さえ付けられている。また、これと同時にスライダ2は、浮上面2aがディスクDに対向しているので、回転するディスクDによって生じる風圧の影響を受けて浮上する力を受けている。この両者の力のバランスによって、スライダ2はディスクD上から離間した位置に浮上している状態となっている。また、ディスクDの凹凸やうねり等により、スライダ2にXY方向に向かう風圧が加わったときに、スライダ2及びジンバル17は、突起部19を中心としてX軸及びY軸の2軸回りに捩じれるようになっている。これにより、ディスクDのうねりによるZ方向の変位(ディスクDの表面に略直交する方向への変位)を吸収することができ、スライダ2の姿勢が安定するようになっている。
When assembling the slider 2 and the light guide unit 32, the near-field light generating unit side mark unit 70 and the light guide unit side mark unit 50 are used to align the cores of the two. The near-field light generating unit side mark unit 70 is provided on the flat part 201 spaced from the near-field light generating unit core 48 so that the near-field light generating unit core 48 and the light guide unit core 35 can be accurately aligned. It has been. Similarly, the light guide unit side mark unit 50 is located at a position facing the near field light generation unit side mark unit 70 so that the near field light generation unit core 48 and the light guide unit core 35 can be accurately aligned. The light guide 32 is provided at a place other than the light guide core 35. The position of the near-field light generating unit side mark unit 70 is acquired as coordinate information by an image recognition device or the like, so that the opposing light guide unit side mark unit 50 matches the coordinates of the near-field light generating unit side mark unit 70. The positions of the slider 2 and the light guide unit 32 are adjusted. Accordingly, when aligning the light guide core 35 and the near-field light generating core 48, light is introduced into the light guide 32 at the assembly stage and introduced from the light guide 32 into the near-field light generating core 48. Since the process of adjusting the position of the near-field light generating unit 40 so that the light use efficiency is the highest is not necessary, the light guide unit 32 and the slider 2 can be easily assembled. Further, since the near-field light generating part side mark part 70 is provided on the flat part 201 of the slider 2, when the information recording / reproducing apparatus 1 performs recording / reproduction, the flying characteristics of the slider 2 may be affected. rare. Therefore, stable recording / reproduction can be performed, and the reliability of the information recording / reproducing apparatus 1 can be improved. Further, it is not necessary to complicate the design of the slider 2 including the three-dimensional structure 202 of the slider 2.
(Information recording and playback method)
Next, a procedure for recording and reproducing various kinds of information on the disk D by the head gimbal assembly 12 assembled in this way will be described below. First, as shown in FIG. 1, the spindle motor 7 is driven to rotate the disk D in a predetermined direction. Next, the actuator 6 is operated to rotate the carriage 11 about the pivot shaft 10 as a rotation center, and the head gimbal assembly 12 is scanned in the XY directions via the carriage 11. As a result, the slider 2 can be positioned at a desired position on the disk D. At this time, the slider 2 is supported by the suspension 3 and pressed against the disk D with a predetermined force. At the same time, since the air bearing surface 2a faces the disk D, the slider 2 receives a force that rises under the influence of wind pressure generated by the rotating disk D. Due to the balance between the two forces, the slider 2 is in a state of being floated away from the disk D. Further, when wind pressure in the XY direction is applied to the slider 2 due to unevenness or undulation of the disk D, the slider 2 and the gimbal 17 are twisted about the X axis and the Y axis around the protrusion 19. It is like that. As a result, displacement in the Z direction (displacement in a direction substantially perpendicular to the surface of the disk D) due to the undulation of the disk D can be absorbed, and the posture of the slider 2 is stabilized.

ここで、図4に示すように、情報の記録を行う場合、制御部5はレーザ光源20(図1参照)を作動させるとともに、情報に応じて変調した電流をコイル46に供給して記録素子42を作動させる。まず、レーザ光源20から光束を導光部32に入射させて、光束をスライダ2に導く。レーザ光源20から出射された光束は、導光部32の導光部コア35内を先端(流出端)側に向かって進み、先端面32aで反射されて近接場光発生部40の近接場光発生部コア48内に導入される。近接場光発生部コア48内に導入された光束は、ディスクD側に位置する他端側に向かって近接場光発生部コア48と近接場光発生部クラッド49との間で反射を繰り返しながら伝搬し、近接場光発生部40の先端面から近接場光を発する。すると、ディスクDは、この近接場光によって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。   Here, as shown in FIG. 4, when recording information, the control unit 5 operates the laser light source 20 (see FIG. 1) and supplies a current modulated according to the information to the coil 46 to record the information. 42 is activated. First, the light beam from the laser light source 20 is incident on the light guide portion 32 to guide the light beam to the slider 2. The light beam emitted from the laser light source 20 travels in the light guide core 35 of the light guide 32 toward the front end (outflow end), is reflected by the front end surface 32a, and is emitted from the near field light generation unit 40. It is introduced into the generator core 48. The light beam introduced into the near-field light generator core 48 is repeatedly reflected between the near-field light generator core 48 and the near-field light generator cladding 49 toward the other end located on the disk D side. It propagates and emits near-field light from the front end surface of the near-field light generator 40. Then, the disk D is locally heated by the near-field light, and the coercive force temporarily decreases.

一方、制御部5(図1参照)によってコイル46に電流が供給されると、電磁石の原理により電流磁界が磁気回路44内に磁界を発生させるので、主磁極45と副磁極43との間にディスクDに対して垂直方向の記録磁界を発生させることができる。その結果、近接場光と両磁極43、45で発生した記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式により情報の記録を行うことができる。さらに、垂直記録方式で記録を行うので、熱揺らぎ現象等の影響を受け難く、安定した記録を行うことができる。よって、書き込みの信頼性を高めることができる。またさらに、記録磁界が局所的に作用する位置に加熱温度のピーク位置を入れることができる。従って、確実に記録を行うことができ、信頼性の向上化を図ることができると共に高密度記録化を図ることができる。   On the other hand, when a current is supplied to the coil 46 by the control unit 5 (see FIG. 1), a current magnetic field is generated in the magnetic circuit 44 by the principle of an electromagnet, and therefore, between the main magnetic pole 45 and the sub magnetic pole 43. A recording magnetic field perpendicular to the disk D can be generated. As a result, information can be recorded by a hybrid magnetic recording method in which near-field light and recording magnetic fields generated by both magnetic poles 43 and 45 cooperate. Furthermore, since the recording is performed by the vertical recording method, it is difficult to be affected by the thermal fluctuation phenomenon and the like, and stable recording can be performed. Therefore, writing reliability can be improved. Furthermore, the peak position of the heating temperature can be set at a position where the recording magnetic field acts locally. Accordingly, recording can be performed reliably, reliability can be improved, and high density recording can be achieved.

次に、ディスクDに記録された情報を再生する場合には、近接場光発生部40に隣接して固定されている再生素子41が、ディスクDから漏れ出ている磁界を受けて、その大きさに応じて電気抵抗が変化する。よって、再生素子41の電圧が変化する。これにより制御部5(図1参照)は、ディスクDから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することができる。そして制御部5は、この電圧の変化から信号の再生を行うことで、情報の再生を行うことができる。   Next, when reproducing the information recorded on the disk D, the reproducing element 41 fixed adjacent to the near-field light generating unit 40 receives the magnetic field leaking from the disk D and increases its magnitude. The electrical resistance changes accordingly. Therefore, the voltage of the reproducing element 41 changes. Thereby, the control part 5 (refer FIG. 1) can detect the change of the magnetic field leaked from the disk D as a change of a voltage. And the control part 5 can reproduce | regenerate information by reproducing | regenerating a signal from the change of this voltage.

このように、スライダ2を利用してディスクDに対して各種の情報を記録再生することができる。   In this way, various information can be recorded and reproduced on the disk D using the slider 2.

ここで、本実施形態の情報記録再生装置1では、近接場光発生部側マーク部70をスライダ2の平坦部201に備えた。この構造によると、近接場光発生部コア48と導光部コア35の位置合わせを精度よく行うことができることに加え、記録再生時のスライダ2の浮上を安定に保つことができる。これにより、情報の記録再生を正常かつ安定的に行うことができる。
(第2実施形態)
次に、図8から図10に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、ヘッドジンバルアセンブリ12の先端部分について、第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
Here, in the information recording / reproducing apparatus 1 of the present embodiment, the near-field light generating part side mark part 70 is provided in the flat part 201 of the slider 2. According to this structure, the near-field light generating unit core 48 and the light guide unit core 35 can be accurately aligned, and the flying of the slider 2 during recording and reproduction can be kept stable. As a result, information can be recorded and reproduced normally and stably.
(Second embodiment)
Next, the present embodiment will be described with reference to FIGS. The present embodiment differs from the first embodiment with respect to the tip portion of the head gimbal assembly 12, and is otherwise substantially the same as the first embodiment. In the following description, the same components as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図8は、第2実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリ12の先端をX方向から見た時の断面の拡大図である。本実施形態のスライダ102は、導光部32の光出射端37と近接場光発生部コア48が接しておらず、近接場光発生部コア48の上部には、レンズ82が形成されている。導光部32とスライダ102とは、ジンバル17を介して接続されている。   FIG. 8 is an enlarged view of a cross section when the tip of the head gimbal assembly 12 in the second embodiment is viewed from the X direction. In the slider 102 of the present embodiment, the light emitting end 37 of the light guide unit 32 and the near-field light generating unit core 48 are not in contact with each other, and a lens 82 is formed on the near-field light generating unit core 48. . The light guide 32 and the slider 102 are connected via the gimbal 17.

また、図9は、図8のスライダ102の断面と底面の拡大図をそれぞれ上図と下図に示してある。レンズ82は、導光部32の光出射端37の直下で、スライダ102の近接場光発生部40の近接場光発生部コア48の基端部に形成されている。これにより、導光部32から出射された光は、空中伝播し、レンズ82で集光され、近接場光発生部コア48に入射する。   FIG. 9 shows an enlarged view of the cross section and the bottom of the slider 102 in FIG. The lens 82 is formed at the base end portion of the near-field light generating portion core 48 of the near-field light generating portion 40 of the slider 102 immediately below the light emitting end 37 of the light guide portion 32. As a result, the light emitted from the light guide unit 32 propagates in the air, is collected by the lens 82, and enters the near-field light generating unit core 48.

また、近接場光発生部側マーク部72は、略平坦で、スライダ102の平坦部201の導光部32に向かい合う面に備えられている。同様に、導光部側マーク部52は、略平坦で、近接場光発生部側マーク部72に対向する位置の導光部32に備えられている。よって、導光部32に備えられた導光部側マーク部52と平坦部201に設けられた近接場光発生部側マーク部72は互いに接していない。   The near-field light generating part side mark part 72 is substantially flat and is provided on the surface of the flat part 201 of the slider 102 facing the light guide part 32. Similarly, the light guide unit side mark unit 52 is substantially flat and is provided in the light guide unit 32 at a position facing the near field light generation unit side mark unit 72. Therefore, the light guide part side mark part 52 provided in the light guide part 32 and the near-field light generating part side mark part 72 provided in the flat part 201 are not in contact with each other.

スライダ102と導光部32を組み立てる際の、両者の位置調整は、近接場光発生部側マーク部72と導光部側マーク部52を利用し、第1実施形態と同様の方法で行う。   When the slider 102 and the light guide unit 32 are assembled, the positions of the slider 102 and the light guide unit 32 are adjusted by using the near-field light generating unit side mark unit 72 and the light guide unit side mark unit 52 in the same manner as in the first embodiment.

情報の記録を行う場合、レーザ光源20(図1参照)から光束を導光部32に入射させて、光束をスライダ102に導く。レーザ光源20から出射された光束は、導光部32のコア35内を先端(流出端)側に向かって進み、先端面32aで反射されて、レンズ82に到達するまで空中伝播をしてから、レンズ82により集光され、近接場光発生部40の近接場光発生部コア48内に導入される。近接場光発生部コア48に導入された光は、先端に行くに従って、絞り込まれて先端面で近接場光を発生する。したがって、第1形態と同様の作用効果を奏すことができる。   When recording information, a light beam is incident on the light guide 32 from the laser light source 20 (see FIG. 1), and the light beam is guided to the slider 102. The light beam emitted from the laser light source 20 travels in the core 35 of the light guide 32 toward the tip (outflow end) side, is reflected by the tip surface 32a, and propagates in the air until it reaches the lens 82. The light is condensed by the lens 82 and introduced into the near-field light generator core 48 of the near-field light generator 40. The light introduced into the near-field light generating unit core 48 is narrowed down toward the tip and generates near-field light on the tip surface. Therefore, the same effect as the first embodiment can be achieved.

ここで、近接場光発生部側マーク部72と導光部側マーク部52を一致させる作業は、情報記録装置1を組み立てる際に行うとは限らず、例えば、情報記録を行っている最中に、導光部側マーク部52に備えられた位置を認識できる画像認識装置などが、近接場光発生部側マーク部72の位置を、常時認識し、追従するように位置合わせを行ってもよい。   Here, the operation of matching the near-field light generating part side mark part 72 and the light guide part side mark part 52 is not necessarily performed when the information recording apparatus 1 is assembled, for example, during information recording. In addition, an image recognition device or the like that can recognize the position provided in the light guide unit side mark unit 52 always recognizes the position of the near field light generation unit side mark unit 72 and performs alignment so as to follow. Good.

またここで、導光部側マーク部52は、略平坦でなくてもよく、また両マーク部が互いに接していてもよい。また同様に、近接場光発生部側マーク部72は略平坦でなくてもよく、これにより両マーク部が互いに接していてもよい。すなわち、近接場光発生部側マーク部72か導光部側マーク部52のどちらか一方、もしくは両方が凸型をしていてもよい。図10は、図9の導光部側マーク部52が凸型をしている場合の、A-A'線に沿う断面図である。この図に示すように、例えば、導光部側マーク部53が凸型で、近接場光発生部側マーク部73が略平坦で、導光部側マーク部53を介して、導光部32と平坦部201が接しているようなヘッドジンバルアセンブリ12でもよい。   In addition, here, the light guide part side mark part 52 may not be substantially flat, and both mark parts may be in contact with each other. Similarly, the near-field light generating part side mark part 72 may not be substantially flat, and the two mark parts may be in contact with each other. That is, either one or both of the near-field light generating part side mark part 72 and the light guide part side mark part 52 may be convex. FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ when the light guide portion side mark portion 52 of FIG. 9 has a convex shape. As shown in this figure, for example, the light guide portion side mark portion 53 is convex, the near-field light generating portion side mark portion 73 is substantially flat, and the light guide portion 32 is interposed via the light guide portion side mark portion 53. The head gimbal assembly 12 may be such that the flat portion 201 is in contact with the head gimbal assembly 12.

(第3実施形態)
次に、図11から図13に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、導光部側マーク部54と近接場光発生部側マーク部74の構成において、第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
(Third embodiment)
Next, the present embodiment will be described with reference to FIGS. The present embodiment is different from the first embodiment in the configuration of the light guide portion side mark portion 54 and the near-field light generating portion side mark portion 74, and is otherwise substantially the same as the first embodiment. In the following description, the same components as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図11は、第3実施形態におけるスライダ2と導光部32で、スライダ2の浮上面2aを下向きにした状態で見た斜視図である。本実施形態の導光部側マーク部54は、導光部32の側面32bに備えられ、その片端部がスライダ2と接している。また、導光部側マーク部54は、導光部クラッド34とは色の異なる塗料で形成されている。同様に、本実施形態の近接場光発生部側マーク部74は、スライダ2の平坦部201の側面2bに設けられ、導光部側マーク部54と対向する位置で、かつその片端部が導光部側マーク部54と接するように備えられている。また、近接場光発生部側マーク部74は、スライダ2の側面2bとは色の異なる塗料で形成されている。このように、導光部側マーク部74と近接場光発生部側マーク部54が側面に設けられていることにより、それらの位置を外部から認識することができるため、両者のマーク部の位置合わせを容易に行うことができる。   FIG. 11 is a perspective view of the slider 2 and the light guide unit 32 according to the third embodiment viewed with the air bearing surface 2a of the slider 2 facing downward. The light guide portion side mark portion 54 of this embodiment is provided on the side surface 32 b of the light guide portion 32, and one end portion thereof is in contact with the slider 2. Further, the light guide portion side mark portion 54 is formed of a paint having a color different from that of the light guide portion cladding 34. Similarly, the near-field light generating part side mark part 74 of the present embodiment is provided on the side surface 2b of the flat part 201 of the slider 2 and is positioned at a position facing the light guide part side mark part 54 and one end thereof is guided. It is provided in contact with the optical part side mark part 54. Further, the near-field light generating portion side mark portion 74 is formed of a paint having a color different from that of the side surface 2 b of the slider 2. Thus, since the light guide part side mark part 74 and the near-field light generating part side mark part 54 are provided on the side surfaces, their positions can be recognized from the outside. Matching can be performed easily.

スライダ2と導光部32を組み立てる際の、両者の位置調整は、画像認識できる光学装置で、導光部側マーク部54の位置を認識し、固定させておき、導光部側マーク部54の直下で画像認識をさせながら、スライダ2の位置をずらしていき、近接場光発生部側マーク部74が導光部側マーク部54の直下に来た時に固定するという方法で行う。   When the slider 2 and the light guide unit 32 are assembled, the position adjustment of both is performed by an optical device capable of recognizing an image. The position of the light guide unit side mark unit 54 is recognized and fixed, and the light guide unit side mark unit 54 is fixed. The position of the slider 2 is shifted while recognizing the image immediately below the light beam, and is fixed when the near-field light generating portion side mark portion 74 comes directly below the light guide portion side mark portion 54.

ここで、導光部側マーク部54と近接場光発生部側マーク部74は、側面に備えられていればよく、それぞれが必ずしも導光部側面32bとスライダ側面2bに備えられていなくてもよい。図12は、図11と同様に、スライダ2の浮上面2aを下向きにした状態で、導光部32とスライダ2を見た斜視図である。ただし、導光部側マーク部55と近接場光発生部側マーク部75の位置が図11と異なる。例えば、この図に示すように、導光部側マーク部55は先端面32aに備えられており、近接場光発生部側マーク部75は、導光部側マーク部55に対向し、その片端部が接するように、スライダ2の平坦部201の側面2cに備えられていてもよい。   Here, the light guide unit side mark unit 54 and the near-field light generating unit side mark unit 74 may be provided on the side surfaces, and may not necessarily be provided on the light guide unit side surface 32b and the slider side surface 2b. Good. FIG. 12 is a perspective view of the light guide 32 and the slider 2 with the air bearing surface 2a of the slider 2 facing downward, as in FIG. However, the positions of the light guide portion side mark portion 55 and the near-field light generating portion side mark portion 75 are different from those in FIG. For example, as shown in this figure, the light guide portion side mark portion 55 is provided on the distal end surface 32a, and the near-field light generating portion side mark portion 75 faces the light guide portion side mark portion 55 and has one end thereof. It may be provided on the side surface 2c of the flat part 201 of the slider 2 so that the parts come into contact with each other.

またここで、導光部側マーク部55と近接場光発生部側マーク部75は、塗料で形成されていなくてもよく、それらの周辺とは屈折率の異なるレジストなどから形成されていていてもよい。図13は、図11と同様に、スライダ2の浮上面2aを下向きにした状態で、導光部32とスライダ2を見た斜視図である。ただし、導光部側マーク部56と近接場光発生部側マーク部76の構造が異なる。この図に示すように、導光部側マーク部56と近接場光発生部側マーク部76が切り欠きであってもよい。また、導光部側マーク部56及び近接場光発生部側マーク部76は、凹凸のある立体的な構造をしていてもよい。   Further, here, the light guide portion side mark portion 55 and the near-field light generating portion side mark portion 75 do not have to be formed of paint, and are formed of a resist having a different refractive index from the periphery thereof. Also good. FIG. 13 is a perspective view of the light guide 32 and the slider 2 with the air bearing surface 2a of the slider 2 facing downward, as in FIG. However, the structures of the light guide portion side mark portion 56 and the near-field light generating portion side mark portion 76 are different. As shown in this figure, the light guide portion side mark portion 56 and the near-field light generating portion side mark portion 76 may be notched. Moreover, the light guide part side mark part 56 and the near-field light generating part side mark part 76 may have a three-dimensional structure with unevenness.

したがって、本実施形態によれば、上述した第1実施形態と同様の効果を奏することに加え、導光部側マーク部56と近接場光発生部側マーク部76が、それぞれ導光部32と平坦部201の側面に備えられていることにより、両者のマーク部の位置を外部から認識できるため、両者のマーク部の位置合わせを容易に行うことができる。   Therefore, according to the present embodiment, in addition to the same effects as those of the first embodiment described above, the light guide unit side mark unit 56 and the near-field light generating unit side mark unit 76 are respectively connected to the light guide unit 32. By being provided on the side surface of the flat part 201, the positions of the two mark parts can be recognized from the outside, and therefore the two mark parts can be easily aligned.

(第4実施形態)
次に、図14から図17に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、導光部側マーク部57と近接場光発生部側マーク部77の構成について、第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
(Fourth embodiment)
Next, this embodiment will be described with reference to FIGS. This embodiment is different from the first embodiment in the configuration of the light guide unit side mark unit 57 and the near-field light generating unit side mark unit 77, and the other configuration is substantially the same as the first embodiment. In the following description, the same components as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図14は、第4実施形態におけるスライダ2をX方向から見た時の断面と、スライダ2をZ方向から見た時の底面を、それぞれ上図と下図に拡大して示したものである。また図15は、図14のB−B’線に沿う断面図である。図14、15に示すように、本実施形態の導光部側マーク部57は、導光部32の導光部コア35の両側に1つずつ備えられており、柱状の凸型となっている。一方、近接場光発生部側マーク部77は、導光部側マーク部57に対向する位置であり、平坦部201の近接場光発生部コア48の両側に備えられており、柱状の凹型となっている。これら導光部側マーク部57の凸型と近接場側マーク部77の凹型は嵌め合うように形成されている。   FIG. 14 is an enlarged view of the cross section when the slider 2 is viewed from the X direction and the bottom surface when the slider 2 is viewed from the Z direction in the fourth embodiment. FIG. 15 is a sectional view taken along line B-B ′ of FIG. 14. As shown in FIGS. 14 and 15, the light guide part side mark part 57 of the present embodiment is provided on each side of the light guide part core 35 of the light guide part 32, and has a columnar convex shape. Yes. On the other hand, the near-field light generating part side mark part 77 is a position facing the light guide part side mark part 57 and is provided on both sides of the near-field light generating part core 48 of the flat part 201, and has a columnar concave shape. It has become. The convex shape of the light guide portion side mark portion 57 and the concave shape of the near field side mark portion 77 are formed so as to fit with each other.

これにより、導光部側マーク部57と近接場光発生部側マーク部77の位置合わせを容易に行うことができる。また、実施形態1から3では、両者のマーク部が互いに嵌め合うように形成されていなかったため、導光部側マーク部57と近接場光発生部側マーク部77の位置合わせを行う際は、画像認識ができる装置などによる位置調整が必要であった。しかし、本実施形態では、このような装置が必要でなくなる。   Thereby, alignment of the light guide part side mark part 57 and the near-field light generating part side mark part 77 can be easily performed. In the first to third embodiments, since the mark portions are not formed so as to fit each other, when aligning the light guide portion side mark portion 57 and the near-field light generating portion side mark portion 77, Position adjustment using an apparatus capable of image recognition was necessary. However, in the present embodiment, such a device is not necessary.

ここで、図16は図15の点線Cで囲われた部分を拡大したものである。ただし、両者マーク部の構造については、図15と異なっている。この図に示すように、導光部側マーク部58が凹型で、近接場光発生部側マーク部78が凸型に形成されていてもよい。   Here, FIG. 16 is an enlarged view of a portion surrounded by a dotted line C in FIG. However, the structure of both mark portions is different from that in FIG. As shown in this figure, the light guide portion side mark portion 58 may be formed in a concave shape, and the near-field light generating portion side mark portion 78 may be formed in a convex shape.

またここで、図17は、図16と同様、図15の点線Cで囲われた部分を拡大したものである。ただし、両者マーク部の構造については、図15、16と異なっている。この図に示すように、凸型の導光部側マーク部59の高さhは、凹型の近接場光発生部側マーク部79の深さdに対してはみ出るくらい高くてもよい。また逆に凸型の導光部側マーク部59の先端が凹型の近接場光発生部側マーク部79の基端に届かないくらい短くてもよい。   Here, FIG. 17 is an enlarged view of a portion surrounded by a dotted line C in FIG. 15 as in FIG. However, the structures of both mark portions are different from those in FIGS. As shown in this figure, the height h of the convex light guide part side mark part 59 may be so high that it protrudes from the depth d of the concave near field light generation part side mark part 79. Conversely, the tip of the convex light guide part side mark part 59 may be so short that it does not reach the base end of the concave near field light generation part side mark part 79.

したがって、本実施形態によれば、上述した第1実施形態と同様の効果を奏することに加え、凹凸形状が嵌め合うように形成された導光部側マーク部59と近接場光発生部側マーク部79を備えることで、導光部側マーク部59と近接場光発生部側マーク部79の位置合わせを容易に行うことができる。
(第5実施形態)
次に、図18、19に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、導光部側マーク部510と近接場光発生部側マーク部710の構成について、第4実施形態と相異しており、それ以外は第4実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第4実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
Therefore, according to the present embodiment, in addition to the same effects as those of the first embodiment described above, the light guide unit side mark unit 59 and the near-field light generating unit side mark formed so that the concavo-convex shape is fitted. By providing the portion 79, the light guide portion side mark portion 59 and the near-field light generating portion side mark portion 79 can be easily aligned.
(Fifth embodiment)
Next, the present embodiment will be described based on FIGS. The present embodiment is different from the fourth embodiment in the configuration of the light guide unit side mark unit 510 and the near-field light generating unit side mark unit 710, and is otherwise substantially the same as the fourth embodiment. In the following description, the same components as those in the above-described fourth embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図18は、図15の点線Cで囲われた部分の図16、17と同様の拡大図である。ただし、導光部側マーク部510と近接場光発生部側マーク部710の構造については、図15から17と異なっている。本実施形態の導光部側マーク部510の先端の外形は、近接場光発生部側マーク部710の開口の外形に対して小さく形成されている。これにより、導光部側マーク部510と近接場光発生部側マーク部710を互いに嵌め合わせる際に、導光部側マーク部510の凸型が近接場光発生部側マーク部710の凹型に嵌りやすく、凸型を凹型に容易に嵌め込むことができる。スライダ2と導光部32を組み立てる際の、両者マーク部の位置合わせは、導光部側マーク部510と近接場光発生部側マーク部710の凹凸形状を嵌め合わせた後、X方向にスライドし、導光部側マーク部510の側面510aと近接場光発生部側マーク部710の側面710aを接するように固定することで、位置合わせを行うことができる。   18 is an enlarged view similar to FIGS. 16 and 17 of a portion surrounded by a dotted line C in FIG. However, the structures of the light guide unit side mark unit 510 and the near-field light generating unit side mark unit 710 are different from those in FIGS. The outer shape of the tip of the light guide unit side mark unit 510 of the present embodiment is formed smaller than the outer shape of the opening of the near field light generation unit side mark unit 710. Accordingly, when the light guide unit side mark unit 510 and the near field light generation unit side mark unit 710 are fitted to each other, the convex shape of the light guide unit side mark unit 510 becomes the concave type of the near field light generation unit side mark unit 710. It is easy to fit, and the convex mold can be easily fitted into the concave mold. When assembling the slider 2 and the light guide portion 32, both mark portions are aligned in the X direction after the concave and convex shapes of the light guide portion side mark portion 510 and the near-field light generating portion side mark portion 710 are fitted together. The positioning can be performed by fixing the side surface 510a of the light guide unit side mark unit 510 and the side surface 710a of the near field light generation unit side mark unit 710 so as to contact each other.

ここで、凸型の導光部側マーク部510と凹型の近接場光発生部側マーク部710は、共に柱状である必要はない。図19は、図18と同様の部分の図である。ただし、導光部側マーク部511と近接場光発生部側マーク部711の構造については、図18と異なっている。例えばこの図に示すように、導光部側マーク部511が多段状の凸型に形成されており、近接場光発生部側マーク部711が導光部側マーク部511に嵌め合うような同形の多段状の凹型に形成されていてもよい。スライダ2と導光部32を組み立てる際の、両者マーク部の位置合わせは、導光部側マーク部511の凸型の先端の1段目を近接場光発生部側マーク部711の開口の1段目に嵌め込んだ後、X方向にスライドし、導光部側マーク部511の凸型の先端から2段目を近接場光発生部側マーク部711の開口の2段目に嵌め込むことで、位置合わせを容易に行うことができる。   Here, both the convex light guide part side mark part 510 and the concave near field light generation part side mark part 710 do not need to be columnar. FIG. 19 is a view of the same part as FIG. However, the structures of the light guide portion side mark portion 511 and the near-field light generating portion side mark portion 711 are different from those in FIG. For example, as shown in this figure, the light guide portion side mark portion 511 is formed in a multi-stage convex shape, and the near-field light generating portion side mark portion 711 fits the light guide portion side mark portion 511. It may be formed in a multi-stage concave shape. When the slider 2 and the light guide portion 32 are assembled, the mark portions are aligned with one of the openings of the near-field light generating portion side mark portion 711 at the first stage of the convex tip of the light guide portion side mark portion 511. After fitting in the step, slide in the X direction and fit the second step from the convex tip of the light guide unit side mark unit 511 into the second step of the opening of the near field light generation unit side mark unit 711. Thus, alignment can be performed easily.

したがって、本実施形態によれば、上述した第4実施形態と同様の効果を奏することに加え、凸型の導光部側マーク部511の先端の外形が、凹型の近接場光発生部側マーク部711の開口の外形に対して小さく形成されていることにより、両者マーク部の嵌め合わせを容易に行うことができ、両者マーク部の位置合わせをさらに容易に行うことができる。
(第6実施形態)
次に、図20から図22に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、導光部側マーク部512と近接場光発生部側マーク部712の構成について、第5実施形態と相異しており、それ以外は第5実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第5実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
Therefore, according to the present embodiment, in addition to the same effects as those of the fourth embodiment described above, the outer shape of the tip of the convex light guide unit side mark unit 511 has a concave near-field light generating unit side mark. By being formed small with respect to the outer shape of the opening of the portion 711, the both mark portions can be easily fitted, and the both mark portions can be more easily aligned.
(Sixth embodiment)
Next, the present embodiment will be described with reference to FIGS. The present embodiment is different from the fifth embodiment in the configuration of the light guide unit side mark unit 512 and the near-field light generating unit side mark unit 712, and is otherwise substantially the same as the fifth embodiment. In the following description, the same components as those in the fifth embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図20は、図15の点線Cで囲われた部分の、図16から図19と同様の拡大図である。ただし、導光部側マーク部512と近接場光発生部側マーク部712の構造については、図15から図19と異なっている。本実施形態の凸型の導光部側マーク部512と凹型の近接場光発生部側マーク部712は、共に錐状に形成されている。これにより、導光部側マーク部512の凸型と近接場光発生部側マーク部712の凹型を互いに嵌め合わせる際に、導光部側マーク部512の凸型が近接場光発生部側マーク部712の凹型に嵌りやすく、さらに導光部側マーク部512と近接場光発生部側マーク部712の側面がガイドとなり、容易に推状の凹凸形状を嵌め合わせることができる。したがって、両者マーク部の位置合わせを容易に行うことができる。   FIG. 20 is an enlarged view similar to FIGS. 16 to 19 of the portion surrounded by the dotted line C in FIG. However, the structures of the light guide portion side mark portion 512 and the near-field light generating portion side mark portion 712 are different from those in FIGS. 15 to 19. The convex light guide part side mark part 512 and the concave near-field light generating part side mark part 712 of this embodiment are both formed in a conical shape. Accordingly, when the convex shape of the light guide portion side mark portion 512 and the concave shape of the near field light generation portion side mark portion 712 are fitted to each other, the convex shape of the light guide portion side mark portion 512 becomes the near field light generation portion side mark. It is easy to fit into the concave shape of the portion 712, and the side surfaces of the light guide portion side mark portion 512 and the near-field light generating portion side mark portion 712 serve as a guide, and the projection-like uneven shape can be easily fitted. Therefore, it is possible to easily align both mark portions.

ここで、凸型の導光部側マーク部512と凹型の近接場光発生部側マーク部712は、錐状である必要はない。図21は、図20と同様の部分の図である。ただし、導光部側マーク部と近接場光発生部側マーク部の構造については、図20と異なっている。例えばこの図に示すように、側面が曲面の半球状に形成された凸型の導光部側マーク部513と、側面が曲面の半球状に形成された凹型の近接場光発生部側マーク部713でもよい。   Here, the convex light guide portion side mark portion 512 and the concave near-field light generating portion side mark portion 712 do not have to be conical. FIG. 21 is a diagram of the same part as FIG. However, the structures of the light guide portion side mark portion and the near-field light generating portion side mark portion are different from those in FIG. For example, as shown in this figure, a convex light guide part side mark part 513 formed with a hemispherical side surface and a concave near-field light generating part side mark part formed with a hemispherical side surface. 713 may be used.

またここで、凸型の導光部側マーク部513に対して、凹型の近接場光発生部側マーク部713が合同形状である必要はない。図22は、図20と同様の部分の図である。ただし、近接場光発生部側マーク部714の構造については、図20と異なっている。例えばこの図に示すように、凸型の導光部側マーク部512が図20に示した形と同様の錐型であるのに対して、凹型の近接場光発生部側マーク部714が底面に向かって断面積が徐々に減少する台形状に形成されていてもよい。   Further, here, the concave near-field light generating part side mark part 713 does not have to be congruent to the convex light guide part side mark part 513. FIG. 22 is a diagram of the same part as FIG. However, the structure of the near-field light generating part side mark part 714 is different from that of FIG. For example, as shown in this figure, the convex light guide portion side mark portion 512 has a conical shape similar to the shape shown in FIG. 20, whereas the concave near field light generation portion side mark portion 714 has a bottom surface. It may be formed in a trapezoidal shape in which the cross-sectional area gradually decreases toward.

したがって、本実施形態によれば、上述した第5実施形態と同様の効果を奏することに加え、凸型の導光部側マーク部512と凹型の近接場光発生部側マーク部714の両方、もしくは片方が、錐状もしくは球状などマーク部の側面がガイドになるように形成されていることにより、両者マーク部の嵌め合わせを容易に行うことができ、両者マーク部の位置合わせをさらに容易に行うことができる。
(第7実施形態)
次に、図23に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、導光部側マーク部515と近接場光発生部側マーク部715の構成について、第4実施形態と相異しており、それ以外は第4実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第4実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
Therefore, according to the present embodiment, in addition to the same effects as the fifth embodiment described above, both the convex light guide unit side mark unit 512 and the concave near field light generation unit side mark unit 714, Alternatively, one side is formed so that the side surface of the mark part becomes a guide, such as a cone shape or a spherical shape, so that the both mark parts can be easily fitted and the both mark parts can be more easily aligned. It can be carried out.
(Seventh embodiment)
Next, the present embodiment will be described based on FIG. This embodiment is different from the fourth embodiment in the configuration of the light guide unit side mark unit 515 and the near-field light generating unit side mark unit 715, and is otherwise substantially the same as the fourth embodiment. In the following description, the same components as those in the above-described fourth embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図23は、第7実施形態におけるスライダ2と導光部32を、スライダ2の浮上面2aを下にして見た斜視図を示してある。本実施形態の凸型の導光部側マーク部515は導光部コア35の両側に2つずつ備えられている。一方、凹型の近接場光発生部側マーク部715は、導光部側マーク部515に対向して平坦部201の、近接場光発生部コア48の両側に2つずつ備えられている。凹型の近接場光発生部側マーク部715の深さd1に対して、凸型の導光部側マーク部515の高さh1は、高く形成されている。このことにより、導光部32のスライダ2に向かい合う面32dと、スライダ2の導光部32に向かい合う面2dが完全に接しないようになる。よって、4組の凸型の導光部側マーク部515の高さh1と凹型の近接場光発生部側マーク部715の深さd1を互いに調節することで、スライダ2に対して導光部32を傾けるなどして、近接場光発生部コア48に入射する導光部コア35からの光の出射角を調節することができる。   FIG. 23 is a perspective view of the slider 2 and the light guide unit 32 according to the seventh embodiment as viewed with the air bearing surface 2a of the slider 2 facing down. Two convex light guide part side mark parts 515 of the present embodiment are provided on both sides of the light guide part core 35. On the other hand, two concave near-field light generating part side mark parts 715 are provided on both sides of the near-field light generating part core 48 of the flat part 201 so as to face the light guide part side mark part 515. The height h1 of the convex light guide portion side mark portion 515 is formed higher than the depth d1 of the concave near field light generation portion side mark portion 715. This prevents the surface 32d of the light guide 32 facing the slider 2 from completely contacting the surface 2d of the slider 2 facing the light guide 32. Therefore, the height h1 of the four sets of convex light guide portion side mark portions 515 and the depth d1 of the concave near field light generation portion side mark portion 715 are adjusted to each other, so that the light guide portion with respect to the slider 2 is adjusted. For example, the angle of light emitted from the light guide core 35 incident on the near-field light generator core 48 can be adjusted by inclining 32.

ここで、導光部側マーク部515と近接場光発生部側マーク部715の組は4組である必要はなく、4組以下でもよい。また、4組以上であってもよい。   Here, the number of sets of the light guide unit side mark unit 515 and the near-field light generating unit side mark unit 715 is not necessarily four, and may be four or less. Also, four or more sets may be used.

したがって、本実施形態によれば、上述した第4実施形態と同様の効果を奏することに加え、4組の凸型の導光部側マーク部515の高さh1と凹型の近接場光発生部側マーク部715の深さd1を互いに調節することで、近接場光発生部コア48に入射させる導光部32の出射光を自在に調整することができる。   Therefore, according to the present embodiment, in addition to the same effects as those of the fourth embodiment described above, the height h1 of the four sets of convex light guide section side mark sections 515 and the concave near-field light generating section By adjusting the depths d1 of the side mark portions 715 to each other, it is possible to freely adjust the emitted light of the light guide portion 32 that is incident on the near-field light generating portion core 48.

なお、各実施形態の情報記録再生装置1は、垂直記録層を有するディスクDに対して、垂直記録方式で書き込みを行う装置であることを前提に説明したが、これに限定されずに、水平記録層を有するディスクDに対して、水平記録方式で書き込みを行う装置であってもよい。
(第8実施形態)
次に、図24に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、導光部側マーク部516と近接場光発生部側マーク部716の構成について、第4実施形態と相異しており、それ以外は第4実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第4実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
The information recording / reproducing apparatus 1 of each embodiment has been described on the premise that the information is written on the disk D having the vertical recording layer by the vertical recording method. It may be an apparatus for writing on a disk D having a recording layer by a horizontal recording method.
(Eighth embodiment)
Next, the present embodiment will be described based on FIG. The present embodiment is different from the fourth embodiment in the configuration of the light guide portion side mark portion 516 and the near-field light generating portion side mark portion 716, and is otherwise substantially the same as the fourth embodiment. In the following description, the same components as those in the above-described fourth embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図24は、図6と同様に上段にスライダ2、中段に導光部32、下段にスライダ2と導光部32を重ね合わせたものを示してある。ただし、図6とは導光部側マーク部516と近接場光発生部側マーク部716の両者の位置と形が異なっている。導光部側マーク部516は、導光部コア35と中心を同じにした円を縁取った凹状に形成されている。同様に、近接場光発生部側マーク部716は、近接場光発生部コア48と中心を同じにした円を縁取った凸状に形成されている。   FIG. 24 shows the slider 2 on the upper stage, the light guide section 32 on the middle stage, and the slider 2 and the light guide section 32 superimposed on the lower stage, as in FIG. However, the positions and shapes of the light guide part side mark part 516 and the near-field light generating part side mark part 716 are different from those in FIG. The light guide unit side mark unit 516 is formed in a concave shape with a circle having the same center as that of the light guide unit core 35. Similarly, the near-field light generating part side mark part 716 is formed in a convex shape with a circle whose center is the same as that of the near-field light generating part core 48.

かかる実施形態によれば、第1実施形態の効果に加えて、導光部側マーク部516と近接場光発生部側マーク部716の凹凸形状を嵌め合わせて位置合わせすることにより、より光効率の高いヘッドジンバルアセンブリ12を実現することができる。
(第9実施形態)
次に、図25に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、ヘッドジンバルアセンブリ12の先端部分について、第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
According to such an embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, by fitting and aligning the concave and convex shapes of the light guide portion side mark portion 516 and the near-field light generating portion side mark portion 716, the light efficiency is further improved. High head gimbal assembly 12 can be realized.
(Ninth embodiment)
Next, the present embodiment will be described based on FIG. The present embodiment differs from the first embodiment with respect to the tip portion of the head gimbal assembly 12, and is otherwise substantially the same as the first embodiment. In the following description, the same components as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図25は、第9実施形態におけるスライダ2の先端をX方向から見た時の断面の拡大図である。本実施形態における近接場光発生部85の出射口付近は平坦部の底面から長さlだけわずかに突出した形状となっている。   FIG. 25 is an enlarged view of a cross section when the tip of the slider 2 in the ninth embodiment is viewed from the X direction. In the present embodiment, the vicinity of the exit of the near-field light generating portion 85 has a shape slightly protruding from the bottom surface of the flat portion by a length l.

かかる実施形態によれば、第1実施形態の効果に加えて、近接場光発生部85から発生した近接場光を記録素子42に近接させることができ、より安定して情報記録を行うことができる。
(第10実施形態)
次に、図26に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、ヘッドジンバルアセンブリ12の先端部分について、第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
According to such an embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, the near-field light generated from the near-field light generator 85 can be brought close to the recording element 42, and information recording can be performed more stably. it can.
(Tenth embodiment)
Next, the present embodiment will be described based on FIG. The present embodiment differs from the first embodiment with respect to the tip portion of the head gimbal assembly 12, and is otherwise substantially the same as the first embodiment. In the following description, the same components as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図26は、第10実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリ12の先端部分をX方向から見た断面の拡大図である。本実施形態における平坦部203は、立体構造部202の底面の低い立体構造80や高い立体構造81が設けられている面とは、角度θだけわずかに斜めカットされた状態で備わっている。記録再生を行う際、スライダ2はディスクDに対して平坦部203側にわずかに傾いた状態で動作する。   FIG. 26 is an enlarged view of a cross section of the distal end portion of the head gimbal assembly 12 in the tenth embodiment as viewed from the X direction. The flat portion 203 in the present embodiment is provided in a state where it is cut slightly obliquely by an angle θ from the surface on which the three-dimensional structure 80 having a low bottom surface and the high three-dimensional structure 81 are provided. When recording / reproducing is performed, the slider 2 operates in a state where it is slightly inclined with respect to the disk D toward the flat portion 203 side.

かかる実施形態によれば、第1実施形態の効果に加えて、記録再生を行う際も、低い立体構造80や高い立体構造81のない平坦部203がディスクDに衝突することなく、安定して記録再生を行うことができる。
(第11実施形態)
次に、図27に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、導光部92について、第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
According to this embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, the flat portion 203 without the low three-dimensional structure 80 or the high three-dimensional structure 81 does not collide with the disk D when recording / reproducing is performed stably. Recording and reproduction can be performed.
(Eleventh embodiment)
Next, the present embodiment will be described based on FIG. The present embodiment is different from the first embodiment with respect to the light guide portion 92, and is otherwise substantially the same as the first embodiment. In the following description, the same components as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図27は、導光部92とスライダ2の先端部分をX方向から見た断面の拡大図である。本実施形態における導光部92は、導光部92を介して導光部側マーク部50や近接場光発生部側マーク部70を見たとしても、その形状を確認できるように、透明部材で構成されている。   FIG. 27 is an enlarged view of a cross section of the light guide 92 and the tip of the slider 2 as viewed from the X direction. The light guide 92 in the present embodiment is a transparent member so that even if the light guide part side mark part 50 and the near-field light generating part side mark part 70 are viewed via the light guide part 92, the shape can be confirmed. It consists of

かかる実施形態によれば、第1実施形態の効果に加えて、導光部側マーク部50と近接場光発生部側マーク部70を一致させる際、両マーク部が側面から見えないような位置に備わっている場合においても、導光部92をスライダ2の上に配置した状態で、導光部92側から画像認識装置などで確認しながら容易に位置合わせを行うことができる。また、トラック幅方向の位置合わせをする際にも、導光部側マーク部50と近接場光発生部側マーク部70を利用することができる。
(第12実施形態)
次に、図28に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、導光部93について、第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
According to such an embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, when the light guide portion side mark portion 50 and the near-field light generating portion side mark portion 70 are made to coincide, the positions where both the mark portions cannot be seen from the side surface Even in the case where the light guide unit 92 is provided, the alignment can be easily performed while confirming with the image recognition device or the like from the light guide unit 92 side in a state where the light guide unit 92 is disposed on the slider 2. Also, when aligning in the track width direction, the light guide portion side mark portion 50 and the near-field light generating portion side mark portion 70 can be used.
(Twelfth embodiment)
Next, this embodiment will be described with reference to FIG. The present embodiment is different from the first embodiment with respect to the light guide section 93, and is otherwise substantially the same as the first embodiment. In the following description, the same components as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図28は、第12実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリ12の先端部分をX方向から見た断面の拡大図である。本実施形態における導光部93は、全体がレーザ8で構成されており、レーザ8から出射した光は直接スライダ2へ入射される。   FIG. 28 is an enlarged view of a cross section of the distal end portion of the head gimbal assembly 12 in the twelfth embodiment as viewed from the X direction. The light guide unit 93 in the present embodiment is entirely composed of a laser 8, and light emitted from the laser 8 is directly incident on the slider 2.

かかる実施形態によれば、第1実施形態の効果に加えて、レーザ8をスライダ2に搭載することで、光ファイバなどの光学部品が不要になるため、製造コストを低減することができる。
(第13実施形態)
次に、図29に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、導光部94について、第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
According to this embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, mounting the laser 8 on the slider 2 eliminates the need for optical components such as optical fibers, thereby reducing manufacturing costs.
(13th Embodiment)
Next, the present embodiment will be described with reference to FIG. The present embodiment is different from the first embodiment with respect to the light guide portion 94, and is otherwise substantially the same as the first embodiment. In the following description, the same components as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図29は、第13実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリ12の先端部分をX方向から見た断面の拡大図である。本実施形態における導光部94は、レーザ98と導光部内レンズ88を備えており、導光部94の全体はスライダ2の浮上面2aとは反対側の面に載っている。レーザ98はジンバル17と接して設けられており、導光部内レンズ88はレーザ98に接して、ジンバル17とは反対側に設けられている。レーザ98から出射された光は導光部内レンズ88を介してそのスポット径を調節され、スライダ2へと入射される。ここで導光部内レンズ88は、レーザ98から出射された光を集光する機能を備えていてもよいし、集光せずに平行光を出すような機能を備えているものであってもよい。   FIG. 29 is an enlarged view of a cross section of the tip end portion of the head gimbal assembly 12 in the thirteenth embodiment as viewed from the X direction. The light guide section 94 in this embodiment includes a laser 98 and a light guide section inner lens 88, and the entire light guide section 94 is placed on the surface opposite to the air bearing surface 2 a of the slider 2. The laser 98 is provided in contact with the gimbal 17, and the light guide inner lens 88 is provided in contact with the laser 98 and provided on the side opposite to the gimbal 17. The light emitted from the laser 98 is adjusted in its spot diameter via the light guide inner lens 88 and is incident on the slider 2. Here, the in-light guide lens 88 may have a function of condensing the light emitted from the laser 98 or may have a function of emitting parallel light without condensing. Good.

かかる実施形態によれば、第1実施形態の効果に加えて、スライダ2の浮上面2aに垂直な方向に出射さるようなレーザ98であっても、導光部94内に導光部内レンズ88があることで、レーザ98から出射された光を効率よくスライダ2に入射することができる。ゆえに、光効率の高いヘッドジンバルアセンブリ12を実現することができる。
(第14実施形態)
次に、図30に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、導光部95について、第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
According to such an embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, even in the laser 98 that emits in the direction perpendicular to the air bearing surface 2 a of the slider 2, the light guide part inner lens 88 is provided in the light guide part 94. Therefore, the light emitted from the laser 98 can be efficiently incident on the slider 2. Therefore, the head gimbal assembly 12 with high light efficiency can be realized.
(14th Embodiment)
Next, this embodiment will be described with reference to FIG. This embodiment is different from the first embodiment with respect to the light guide unit 95, and is otherwise substantially the same as the first embodiment. In the following description, the same components as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図30は、スライダ2を上向きにした状態でヘッドジンバルアセンブリ12を見た斜視図である。本実施形態における導光部95は、その一部にレーザ8を備えており、レーザ8は、支持体18上のスライダ2から離れた位置に配置されている。レーザ8より出射された光は、光ファイバ33を介してスライダ2の先端部にてスライダ2の浮上面2aとは垂直な方向に回折されてスライダ2へ入射される。   FIG. 30 is a perspective view of the head gimbal assembly 12 with the slider 2 facing upward. The light guide unit 95 in this embodiment includes a laser 8 in a part thereof, and the laser 8 is disposed at a position away from the slider 2 on the support 18. The light emitted from the laser 8 is diffracted in the direction perpendicular to the air bearing surface 2 a of the slider 2 through the optical fiber 33 and incident on the slider 2.

かかる実施形態によれば、第1実施形態の効果に加えて、レーザ8がスライダ2とは離れたところに配置されることにより、スライダ2はレーザ8から発せられる熱の影響を受け難くなるため、熱による浮上特性への影響などを回避することができ、安定して記録再生を行うことができる。
(第15実施形態)
次に、図31に基づいて本実施形態について説明する。本実施形態は、導光部96について、第1実施形態と相異しており、それ以外は第1実施形態とほぼ同様である。なお、以下の説明では、上述した第1実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明は省略する。
According to such an embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, the slider 2 is not easily affected by the heat generated from the laser 8 because the laser 8 is disposed away from the slider 2. In addition, the influence on the flying characteristics due to heat can be avoided, and recording and reproduction can be performed stably.
(Fifteenth embodiment)
Next, the present embodiment will be described based on FIG. This embodiment is different from the first embodiment with respect to the light guide unit 96, and is otherwise substantially the same as the first embodiment. In the following description, the same components as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図31は、第15実施形態におけるヘッドジンバルアセンブリ12の先端部分をX方向から見た断面の拡大図である。本実施形態における導光部は、レーザ99と導光部内レンズ89を備えている。導光部内レンズ89はレーザ99の内部に配置されており、予めレーザ99と一体形成されている。またレーザ99は、スライダ2の設置面から一部設置していない部分がある。   FIG. 31 is an enlarged view of a cross section of the distal end portion of the head gimbal assembly 12 in the fifteenth embodiment as viewed from the X direction. The light guide unit in this embodiment includes a laser 99 and a lens 89 in the light guide unit. The light guide inner lens 89 is disposed inside the laser 99 and is integrally formed with the laser 99 in advance. The laser 99 has a portion that is not partially installed from the installation surface of the slider 2.

かかる実施形態によれば、第1実施形態の効果に加えて、レーザ99から出射される光がスライダ2の浮上面2aに平行な方向であってもレーザ99からの光を効率よくスライダ2へ導くことができるため、光効率の高いヘッドジンバルアセンブリ12を実現することができる。また、レーザ99と導光部内レンズ89が一体形成されていることにより、ヘッドジンバル12を組み立てる際にレーザ99と導光部内レンズ89の光学的な位置合わせ工程を減らすことができる。さらに、レーザ99全体がスライダ2の設置面全体に接していないことにより、レーザ99から放出される熱の一部を空気中に放出することができる。そのため、レーザ99から放出される熱の影響を低減することができ、熱による浮上特性への影響などを軽減することができ、より安定して記録再生を行うことができる。   According to such an embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, even if the light emitted from the laser 99 is parallel to the flying surface 2a of the slider 2, the light from the laser 99 is efficiently transmitted to the slider 2. Therefore, the head gimbal assembly 12 with high light efficiency can be realized. Further, since the laser 99 and the light guide inner lens 89 are integrally formed, the optical alignment process between the laser 99 and the light guide inner lens 89 can be reduced when the head gimbal 12 is assembled. Further, since the entire laser 99 is not in contact with the entire installation surface of the slider 2, a part of the heat emitted from the laser 99 can be released into the air. Therefore, the influence of the heat emitted from the laser 99 can be reduced, the influence of the heat on the flying characteristics can be reduced, and recording and reproduction can be performed more stably.

かかる本発明の特徴によれば、スライダにマーク部を設けたとしても、スライダの浮上特性に大きな影響を与えないようにすることができるとともに、スライダの設計を複雑化しないようにすることができる。   According to such a feature of the present invention, even if the slider is provided with a mark portion, the flying characteristics of the slider can be prevented from being greatly affected, and the slider design can be prevented from being complicated. .

D:ディスク(記録媒体)
h,h1:導光部側マーク部の高さ
d,d1:近接場光発生部側マーク部の深さ
l:近接場光発生部の先端の突出部分の長さ
θ:平坦部の先端の傾斜角度
1:情報記録再生装置
2:スライダ
2a:浮上面
2b,2c,2d:スライダ側面
3:サスペンション
4:配線
5:制御部
6:アクチュエータ
7:スピンドルモータ
8,98,99:レーザ
9:ハウジング底部
10:ピボット軸
11:キャリッジ
12:ヘッドジンバルアセンブリ
14:アーム部
15:基部
17:ジンバル
18:支持体
19:突起部
22:ベースプレート
22a:開口
23:ヒンジ板
24:ロードビーム
25:フレクシャ
31:電気配線
32,92,93,94,95,96:導光部
33:光ファイバ
32a:先端面
32b、32c、32d:導光部側面
34,90:導光部クラッド
35,91:導光部コア
36:平板部
37:光出射端
40,85:近接場光発生部
41:再生素子
42:記録素子
43:副磁極
44:磁気回路
45:主磁極
46:コイル
47:絶縁体
48,83:近接場光発生部コア
49,84:近接場光発生部クラッド
50,51,52,53,54,55,56,57,58,59,510,511,512,513,514,515,516:導光部側マーク部
510a:導光部側マーク部の側面
60:スライダ基板
60c:スライダ基板の先端面
70,71,72,73,74,75,76,77,78,79,710,711,712,713,714,715,716:近接場光発生部側マーク部(平坦部側マーク部)
710a:近接場光発生部側マーク部の側面
80:低い立体構造
81:高い立体構造
82:レンズ
88,89:導光部内レンズ
201,203:平坦部
202:立体構造部
D: Disc (recording medium)
h, h1: Height d of the light guide part side mark part, d1: Depth of the near field light generation part side mark part l: Length of the protruding part of the tip of the near field light generation part θ: Length of the tip of the flat part Inclination angle 1: Information recording / reproducing apparatus 2: Slider 2a: Flying surface 2b, 2c, 2d: Slider side surface 3: Suspension 4: Wiring 5: Control unit 6: Actuator 7: Spindle motor 8, 98, 99: Laser 9: Housing Bottom 10: Pivot shaft 11: Carriage 12: Head gimbal assembly 14: Arm 15: Base 17: Gimbal 18: Support 19: Protrusion 22: Base plate 22a: Opening 23: Hinge plate 24: Load beam 25: Flexure 31: Electrical wiring 32, 92, 93, 94, 95, 96: light guide 33: optical fiber 32a: tip surfaces 32b, 32c, 32d: light guide side surfaces 34, 90: light guide Cladding 35, 91: Light guide core 36: Flat plate portion 37: Light emitting end 40, 85: Near-field light generator 41: Reproducing element 42: Recording element 43: Sub magnetic pole 44: Magnetic circuit 45: Main magnetic pole 46: Coil 47: insulator 48, 83: near-field light generating core 49, 84: near-field light generating cladding 50, 51, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 510, 511, 512 513, 514, 515, 516: Light guide portion side mark portion 510a: Side surface of light guide portion side mark portion 60: Slider substrate 60c: Slider substrate tip surface 70, 71, 72, 73, 74, 75, 76, 77 78, 79, 710, 711, 712, 713, 714, 715, 716: Near-field light generating part side mark part (flat part side mark part)
710a: Side surface 80 of the near-field light generating part side mark part 80: Low three-dimensional structure 81: High three-dimensional structure 82: Lens 88, 89: In-light guide lens 201, 203: Flat part 202: Three-dimensional structure part

Claims (23)

回転している記録媒体からの風圧を用いて、前記記録媒体上で浮上するとともに、近接場光を発生する近接場光発生部を備えるスライダと、
前記近接場光の発生に用いられる光を前記近接場光発生部に導入する導光部と、
を備えるヘッドジンバルアセンブリであって、
前記スライダは、前記風圧を発生させる立体構造部と、
前記立体構造部の隣に備えられ、前記立体構造部よりも前記スライダの浮上に対する寄与が小さい平坦部とを備えており、
前記平坦部及び前記導光部は、前記近接場光発生部と前記導光部との位置合わせに用いられる平坦部側マーク部及び導光部側マーク部を備えることを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
Using a wind pressure from a rotating recording medium, the slider includes a near-field light generating unit that floats on the recording medium and generates near-field light;
A light guide that introduces light used to generate the near-field light into the near-field light generator;
A head gimbal assembly comprising:
The slider has a three-dimensional structure that generates the wind pressure;
It is provided next to the three-dimensional structure part, and includes a flat part that contributes less to the flying of the slider than the three-dimensional structure part,
The flat part and the light guide part include a flat part side mark part and a light guide part side mark part used for alignment of the near-field light generating part and the light guide part. .
前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部は、前記平坦部及び前記導光部が互いに向かい合う面に備えられていることを特徴とする請求項1に記載のヘッドジンバルアセンブリ。   2. The head gimbal assembly according to claim 1, wherein the flat portion side mark portion and the light guide portion side mark portion are provided on a surface where the flat portion and the light guide portion face each other. 前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部は、前記平坦部及び前記導光部のそれぞれの側面に備えられており、前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部は、前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部のそれぞれの端部が互いに向かい合うように備えられていることを特徴とする請求項1に記載のヘッドジンバルアセンブリ。   The flat part side mark part and the light guide part side mark part are provided on the respective sides of the flat part and the light guide part, and the flat part side mark part and the light guide part side mark part are: 2. The head gimbal assembly according to claim 1, wherein ends of the flat part side mark part and the light guide part side mark part are provided so as to face each other. 前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部は、前記平坦部及び前記導光部のそれぞれとは屈折率が異なることを特徴とする請求項3に記載のヘッドジンバルアセンブリ。   4. The head gimbal assembly according to claim 3, wherein the flat portion side mark portion and the light guide portion side mark portion have different refractive indexes from the flat portion and the light guide portion. 5. 前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部は、切り欠き部であることを特徴とする請求項3に記載のヘッドジンバルアセンブリ。   The head gimbal assembly according to claim 3, wherein the flat part side mark part and the light guide part side mark part are notched parts. 前記平坦部側マーク部は、前記近接場光発生部の両側に備えられ、前記導光部側マーク部は、前記導光部の両側に備えられていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載のヘッドジンバルアセンブリ。   The flat part side mark part is provided on both sides of the near-field light generating part, and the light guide part side mark part is provided on both sides of the light guide part. 6. The head gimbal assembly according to any one of items 5. 前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部の一方は、凸部を備え、前記平坦部側マーク部及び前記導光部側マーク部の他方は、前記凸部が嵌め込まれる凹部を備えることを特徴とする請求項1から請求項4、及び請求項6のいずれかに記載のヘッドジンバルアセンブリ。   One of the flat part side mark part and the light guide part side mark part includes a convex part, and the other of the flat part side mark part and the light guide part side mark part includes a concave part into which the convex part is fitted. The head gimbal assembly according to any one of claims 1 to 4, and claim 6. 前記凸部及び前記凹部は、前記凸部の先端の外形が前記凹部の開口の外形に対して小さく形成されていることを特徴とする請求項7に記載のヘッドジンバルアセンブリ。   The head gimbal assembly according to claim 7, wherein the convex portion and the concave portion are formed such that an outer shape of a tip of the convex portion is smaller than an outer shape of an opening of the concave portion. 前記凸部及び前記凹部は、柱状に形成されていることを特徴とする請求項7及び請求項8のいずれかに記載のヘッドジンバルアセンブリ。   The head gimbal assembly according to claim 7, wherein the convex portion and the concave portion are formed in a columnar shape. 前記凸部及び前記凹部は、前記凸部が前記凹部に嵌め込まれた時に、前記凸部から前記凹部に向うに従って断面積が減少していく形状に形成されていることを特徴とする請求項8に記載のヘッドジンバルアセンブリ。   The said convex part and the said recessed part are formed in the shape where cross-sectional area reduces as the said convex part is fitted in the said recessed part toward the said recessed part from the said convex part. Head gimbal assembly as described in. 前記凸部及び前記凹部は、錐状に形成されていることを特徴とする請求項10に記載のヘッドジンバルアセンブリ。   The head gimbal assembly according to claim 10, wherein the convex portion and the concave portion are formed in a conical shape. 前記凸部及び前記凹部は、複数備えられていることを特徴とする請求項7から請求項11のいずれかに記載のヘッドジンバルアセンブリ。   The head gimbal assembly according to claim 7, wherein a plurality of the convex portions and the concave portions are provided. 前記凸部の高さは、前記凹部の深さよりも長いことを特徴とする請求項7乃至請求項12のいずれかに記載のヘッドジンバルアセンブリ。   The head gimbal assembly according to any one of claims 7 to 12, wherein a height of the convex portion is longer than a depth of the concave portion. 前記凸部のそれぞれは、互いに異なる高さを有することを特徴とする請求項13に記載のヘッドジンバルアセンブリ。   The head gimbal assembly according to claim 13, wherein each of the convex portions has a height different from each other. 前記導光部は、
前記平坦部側マーク部と対向する対向面と、前記対向面とは反対側の反対面とを備えており、前記対向面から前記反対面に亘って透光性を有する透明部材を備え、
前記導光部側マーク部は、
前記透明部材に備えられていることを特徴とする請求項1に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
The light guide is
An opposing surface facing the flat portion side mark portion; and an opposing surface opposite to the opposing surface; a transparent member having translucency from the opposing surface to the opposing surface;
The light guide part side mark part is
The head gimbal assembly according to claim 1, wherein the head gimbal assembly is provided in the transparent member.
前記導光部の全部はレーザであることを特徴とする請求項1に記載のヘッドジンバルアセンブリ。   The head gimbal assembly according to claim 1, wherein all of the light guide portions are lasers. 前記導光部の一部はレーザであることを特徴とする請求項1に記載のヘッドジンバルアセンブリ。   The head gimbal assembly according to claim 1, wherein a part of the light guide is a laser. 前記導光部の全体は前記スライダの浮上面とは反対側の面に備えられていることを特徴とする請求項16及び請求項17のいずれかに記載のヘッドジンバルアセンブリ。   18. The head gimbal assembly according to claim 16, wherein the entire light guide is provided on a surface opposite to the air bearing surface of the slider. 前記レーザの部分は、前記スライダとは離間したところに備えられていることを特徴とする請求項17に記載のヘッドジンバルアセンブリ。   18. The head gimbal assembly according to claim 17, wherein the laser portion is provided at a distance from the slider. 前記導光部は、前記レーザから出射される光のスポットを調節するレンズを備えていることを特徴とする請求項17に記載のヘッドジンバルアセンブリ。   18. The head gimbal assembly according to claim 17, wherein the light guide unit includes a lens that adjusts a spot of light emitted from the laser. 前記レーザは、出射する光のスポットを調節するレンズを備えていることを特徴とする請求項16に記載のヘッドジンバルアセンブリ。   17. The head gimbal assembly according to claim 16, wherein the laser includes a lens that adjusts a spot of emitted light. 前記レンズは、前記レンズを通る光の光軸が前記スライダの浮上面に垂直な方向になるように配置されていることを特徴とする請求項20及び請求項21のいずれかに記載のヘッドジンバルアセンブリ。   The head gimbal according to any one of claims 20 and 21, wherein the lens is arranged so that an optical axis of light passing through the lens is in a direction perpendicular to the air bearing surface of the slider. assembly. 前記レンズは、前記レンズを通る光の光軸が前記スライダの浮上面に平行な方向になるように配置されていることを特徴とする請求項20及び請求項21のいずれかに記載のヘッドジンバルアセンブリ。   The head gimbal according to any one of claims 20 and 21, wherein the lens is arranged so that an optical axis of light passing through the lens is in a direction parallel to the air bearing surface of the slider. assembly.
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