JP2010210431A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合におけるビーム部の破損を防止することのできる加速度センサを提供する。
【解決手段】平面視略正方形状の第1の可動電極40と、第1の可動電極40を所定の間隔を空けて囲む平面視略正方形状の第1の枠部30と、第1の可動電極40と第1の枠部30とを連結するとともに第1の可動電極40を第1の枠部30に対して揺動自在に支持する1対の第1のビーム部5a,5bとを備え、第1のビーム部5a,5bを、その軸部が第1の枠部30の対角線上に位置するように形成し、第1の枠部30における前記対角線と直交する対角線上の角部近傍にそれぞれ弾性を有する弾性部8a〜8dを設け、弾性部8a,8b、及び弾性部8c,8dを、それぞれ伸縮方向が互いに略直交するように配設した。
【選択図】図1
【解決手段】平面視略正方形状の第1の可動電極40と、第1の可動電極40を所定の間隔を空けて囲む平面視略正方形状の第1の枠部30と、第1の可動電極40と第1の枠部30とを連結するとともに第1の可動電極40を第1の枠部30に対して揺動自在に支持する1対の第1のビーム部5a,5bとを備え、第1のビーム部5a,5bを、その軸部が第1の枠部30の対角線上に位置するように形成し、第1の枠部30における前記対角線と直交する対角線上の角部近傍にそれぞれ弾性を有する弾性部8a〜8dを設け、弾性部8a,8b、及び弾性部8c,8dを、それぞれ伸縮方向が互いに略直交するように配設した。
【選択図】図1
Description
本発明は、可動電極の揺動に伴う可動電極と固定電極との間の静電容量の変化に基づいて加速度を検出する静電容量型の加速度センサに関する。
従来から、平面視矩形状の可動電極と、可動電極の対向する2辺の略中央において可動電極を揺動自在に支持する1対のビーム部と、可動電極の表面において1対のビーム部を結ぶ直線を境界線とした一方側と他方側のそれぞれに対して所定の距離を空けて対向配置された固定電極とを備え、可動電極の揺動に伴う可動電極と固定電極との間の静電容量の変化を検出することで加速度を検出する静電容量型の加速度センサが知られている(例えば、特許文献1参照)。
以下、このような加速度センサの従来例について図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、図3における上下を上下方向と定めるものとする。また、センサチップ1の短手方向と平行な方向をx方向、センサチップ1の長手方向と平行な方向をy方向、x方向及びy方向に互いに直交する方向をz方向と定めるものとする。この従来例は、図3に示すように、SOI(Silicon on Insulator)基板で形成されたセンサチップ1が上部固定板2aと下部固定板2bとで挟持された構成となっている。センサチップ1は、2つの平面視略矩形状の第1の枠部30及び第2の枠部31を有するフレーム部3と、枠部30,31の側壁部に対して隙間を空けて各枠部30,31に囲まれた空間に配設される平面視略矩形状の2つの第1の可動電極40及び第2の可動電極41と、各可動電極40,41上面の対向する2辺の略中央部と各枠部30,31の側壁部とを連結することにより各可動電極40,41をフレーム部3に対して揺動自在に支持する2対のビーム部5a〜5dとを備える。
上部固定板2aはガラス基板により形成され、図3に示すように、第1の可動電極40と対向する下面には1対の第1のビーム部5a,5bを結ぶ直線を境界線として第1の固定電極20a及び第2の固定電極20bが設けられている。また、第2の可動電極41と対向する下面には、1対の第2のビーム部5c,5dを結ぶ直線を境界線として第3の固定電極20c及び第4の固定電極20dが設けられている。各固定電極20a〜20dはアルミニウム系合金から形成されている。
下部固定板2bは、上部固定板2aと同様にガラス基板により形成され、図3,4に示すように、各可動電極40,41と間隔を空けて付着防止膜23a,23bが配設されている。付着防止膜23a,23bは各固定電極20a〜20dと同じ材料から成り、各可動電極40,41が動作時に下部固定板2bに付着するのを防止する。また、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合には、付着防止膜23a,23bによって各可動電極40,41と下部固定板2bとが直接接触するのを防ぐことから衝撃緩和の効果を奏する。
センサチップ1には、図3に示すように、第1の可動電極40と各固定電極20a,20bとの間の静電容量C1,C2を各々検出する検出電極6a,6bと、第2の可動電極41と各固定電極20c,20dとの間の静電容量C3,C4を各々検出する検出電極6c,6dと、接地電極7とが設けられている。上部固定板2aの各検出電極6a〜6d及び接地電極7と対向する部位にはスルーホール21a〜21d,22が貫設されており、当該スルーホール21a〜21d,22を介して各固定電極20a〜20dに各々接続された検出電極6a〜6d、及び接地電極7の出力が取り出されるようになっている。また、検出電極6aと検出電極6bとの間、検出電極6cと検出電極6dとの間、各検出電極6a〜6dとフレーム部3との間、各検出電極6a〜6dと各可動電極40,41との間には各々隙間が形成されている。このように構成することで、各検出電極6a〜6dが互いに電気的に絶縁されるので、各検出電極6a〜6dの寄生容量や電極間のクロストークを低減し、高精度な静電容量の検出を行うことができる。
第1の可動電極40の下面における1対の第1のビーム部5a,5bを結ぶ直線を境界線とした一方側には、図4に示すように、厚み寸法が前記他方側の厚み寸法よりも小さくなるように凹部40aが設けられている。同様に、第2の可動電極41の下面における1対の第2のビーム5c,5dを結ぶ直線を境界線とした一方側にも、図示しないが、厚み寸法が前記他方側の寸法よりも小さくなるように凹部41aが設けられている。何れの凹部40a,41aも、図4に示すように、各可動電極40,41の重心位置Oとビーム部5a〜5dとが成す角度θが45度となるように設けられている。このように構成することで、加速度が加えられた際にビーム部5a〜5dを軸とした回転モーメントが各可動電極40,41に発生し、x方向及びz方向の検出感度が等価になる。尚、この従来例では、図3に示すように2つの加速度センサがxy平面に配置され、一方の加速度センサが他方の加速度センサに対してxy平面内で180度回転して配置されている。
各可動電極40,41の上部固定板2a及び下部固定板2bと対向する面には、図4に示すように(図4では第1の可動電極40のみ図示)、シリコン又はシリコン酸化膜により形成された複数の突起部40bが設けられている。このような突起部40bを設けることにより、各可動電極40,41に測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合であっても、各可動電極40,41が対向する上部固定板2a及び下部固定板2bと直接衝突することがなく、センサチップ1の破損を防止することができる。尚、この従来例では各可動電極40,41の上部固定板2a及び下部固定板2bと対向する面に突起部40bを設けているが、上部固定板2a及び下部固定板2bの各可動電極40,41と対向する面に突起部40bを設けても構わない。
以下、上記従来例における加速度検出について説明する。先ず、x方向における加速度の検出について説明する。第1の可動電極40にx方向の加速度が加えられた場合、第1の可動電極40と各固定電極20a,20bとの間の静電容量C1,C2は、それぞれ以下に示す数式で表される。尚、数式(1),(2)中のパラメータC0は、第1の可動電極40にx方向の加速度が加えられていない状態における第1の可動電極40と各固定電極20a,20bとの間の静電容量を示す。
C1=C0−ΔC …(1)
C2=C0+ΔC …(2)
同様に、第2の可動電極41にx方向の加速度が加えられた場合、第2の可動電極41と各固定電極20c,20dとの間の静電容量C3,C4は、それぞれ以下に示す数式で表される。尚、数式(3),(4)中のパラメータC0は、上記と同様に第2の可動電極41にx方向の加速度が加えられていない状態における第2の可動電極41と各固定電極20c,20dとの間の静電容量を示す。
C2=C0+ΔC …(2)
同様に、第2の可動電極41にx方向の加速度が加えられた場合、第2の可動電極41と各固定電極20c,20dとの間の静電容量C3,C4は、それぞれ以下に示す数式で表される。尚、数式(3),(4)中のパラメータC0は、上記と同様に第2の可動電極41にx方向の加速度が加えられていない状態における第2の可動電極41と各固定電極20c,20dとの間の静電容量を示す。
C3=C0−ΔC …(3)
C4=C0+ΔC …(4)
而して、各検出電極6a〜6dを介して上記静電容量C1〜C4を検出し、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)等を利用して静電容量C1,C2の差分値CA(=C1−C2)、及び静電容量C3,C4の差分値CB(=C3−C4)を算出し、算出された差分値CA,CBの和(±4ΔC)をX出力として出力することにより、静電容量の変化から第1の可動電極40及び第2の可動電極41に加えられたx方向の加速度を検出することができる。
C4=C0+ΔC …(4)
而して、各検出電極6a〜6dを介して上記静電容量C1〜C4を検出し、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)等を利用して静電容量C1,C2の差分値CA(=C1−C2)、及び静電容量C3,C4の差分値CB(=C3−C4)を算出し、算出された差分値CA,CBの和(±4ΔC)をX出力として出力することにより、静電容量の変化から第1の可動電極40及び第2の可動電極41に加えられたx方向の加速度を検出することができる。
次に、z方向における加速度の検出について説明する。第1の可動電極40にz方向の加速度が加えられた場合、第1の可動電極40と各固定電極20a,20bとの間の静電容量C1,C2は、それぞれ以下に示す数式で表される。尚、数式(5),(6)中のパラメータC0は、第1の可動電極40にz方向の加速度が加えられていない状態における第1の可動電極40と各固定電極20a,20bとの間の静電容量を示す。
C1=C0+ΔC …(5)
C2=C0−ΔC …(6)
同様に、第2の可動電極41にz方向の加速度が加えられた場合、第2の可動電極41と各固定電極20c,20dとの間の静電容量C3,C4は、それぞれ以下に示す数式で表される。尚、数式(7),(8)中のパラメータC0は、上記と同様に第2の可動電極41にz方向の加速度が加えられていない状態における第2の可動電極41と各固定電極20c,20dとの間の静電容量を示す。
C2=C0−ΔC …(6)
同様に、第2の可動電極41にz方向の加速度が加えられた場合、第2の可動電極41と各固定電極20c,20dとの間の静電容量C3,C4は、それぞれ以下に示す数式で表される。尚、数式(7),(8)中のパラメータC0は、上記と同様に第2の可動電極41にz方向の加速度が加えられていない状態における第2の可動電極41と各固定電極20c,20dとの間の静電容量を示す。
C3=C0−ΔC …(7)
C4=C0+ΔC …(8)
而して、各検出電極6a〜6dを介して上記静電容量C1〜C4を検出し、ASIC等を利用して静電容量C1,C2の差分値CA(=C1−C2)、及び静電容量C3,C4の差分値CB(=C3−C4)を算出し、算出された差分値CA,CBの和(±4ΔC)をZ出力として出力することにより、静電容量の変化から第1の可動電極40及び第2の可動電極41に加えられたz方向の加速度を検出することができる。
C4=C0+ΔC …(8)
而して、各検出電極6a〜6dを介して上記静電容量C1〜C4を検出し、ASIC等を利用して静電容量C1,C2の差分値CA(=C1−C2)、及び静電容量C3,C4の差分値CB(=C3−C4)を算出し、算出された差分値CA,CBの和(±4ΔC)をZ出力として出力することにより、静電容量の変化から第1の可動電極40及び第2の可動電極41に加えられたz方向の加速度を検出することができる。
ところで、上記従来例では、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、各ビーム部5a〜5dを軸とした回転方向に対しては、突起部40bや付着防止膜23a,23bによって上部固定板2a及び下部固定板2bとセンサチップ1とが直接衝突するのを防ぐことでセンサチップ1の破損を防止している。しかしながら、xy平面における各ビーム部5a〜5dの軸と直交する方向に対しては何の手段も講じられていない。
このため、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、各可動電極40,41が前記方向において過度に揺動することで各ビーム部5a〜5dに生じる曲げ応力によって各ビーム部5a〜5dが破損する虞があった。
このため、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、各可動電極40,41が前記方向において過度に揺動することで各ビーム部5a〜5dに生じる曲げ応力によって各ビーム部5a〜5dが破損する虞があった。
本発明は、上記の点に鑑みて為されたもので、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合におけるビーム部の破損を防止することのできる加速度センサを提供することを目的とする。
請求項1の発明は、上記目的を達成するために、可動電極と、可動電極を所定の間隔を空けて囲む枠部と、可動電極と枠部とを連結するとともに可動電極を枠部に対して揺動自在に支持する1対のビーム部と、可動電極の表面における1対のビーム部を結ぶ直線を境界線とした一方側および他方側に対してそれぞれ所定の間隔を空けて対向配置される1対の固定電極とを備え、ビーム部を軸とした可動電極の揺動に伴う可動電極と固定電極との間の静電容量の変化から加速度を検出する加速度センサであって、弾性を有し且つ枠部と可動電極とを連結するとともに可動電極の表面と平行する平面における可動電極の揺動を規制する弾性部を設けたことを特徴とする。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、枠部は平面視略矩形状であって、ビーム部は、その軸部が枠部の対角線上に位置するように形成され、弾性部は、枠部の前記対角線とは異なる対角線上の各角部近傍において伸縮方向が互いに略直交するように1対ずつ設けられたことを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1の発明において、枠部は平面視略矩形状であって、ビーム部は、その軸部が枠部の対角線上に位置するように形成され、弾性部は、枠部の前記対角線と異なる対角線上に位置するように設けられたことを特徴とする。
請求項1の発明によれば、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、可動電極の表面と平行する平面において可動電極が揺動するのを弾性部によって規制することができる。したがって、可動電極の過度の揺動によってビーム部に曲げ応力が発生するのを防ぐことができ、ビーム部の破損を防止することができる。
請求項2,3の発明によれば、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、可動電極の表面と平行する平面上であってビーム部の軸方向、及び軸方向と直交する方向での可動電極の揺動を弾性部によって規制することができる。したがって、可動電極の過度の揺動によってビーム部に曲げ応力が発生するのを防ぐことができ、ビーム部の破損を防止することができる。
(実施形態1)
以下、本発明に係る加速度センサの実施形態1について図面を用いて説明する。但し、本実施形態の基本的な構成は従来例と共通であるので、共通する部位には同一の番号を付して説明を省略する。また、以下の説明では、従来例での説明と同様に、図3における上下を上下方向、センサチップ1の短手方向と平行な方向をx方向、センサチップ1の長手方向と平行な方向をy方向と定めるものとする。
以下、本発明に係る加速度センサの実施形態1について図面を用いて説明する。但し、本実施形態の基本的な構成は従来例と共通であるので、共通する部位には同一の番号を付して説明を省略する。また、以下の説明では、従来例での説明と同様に、図3における上下を上下方向、センサチップ1の短手方向と平行な方向をx方向、センサチップ1の長手方向と平行な方向をy方向と定めるものとする。
本実施形態は、図1(a)〜(c)に示すように、平面視略正方形状の第1の可動電極40と、第1の可動電極40を所定の間隔を空けて囲む平面視略正方形状の第1の枠部30と、第1の可動電極40と第1の枠部30とを連結するとともに第1の可動電極40を第1の枠部30に対して揺動自在に支持する1対の第1のビーム部5a,5bと、第1の可動電極40の上面(表面)における1対の第1のビーム部5a,5bを結ぶ直線を境界線とした一方側および他方側に対してそれぞれ所定の間隔を空けて対向配置される第1の固定電極20a及び第2の固定電極20bとを備え、第1の可動電極40の下面(裏面)における1対の第1のビーム部5a,5bを結ぶ直線を境界線とした一方の側に凹部40aが設けられている。
第1のビーム部5a,5bは、図1(a)に示すように、その軸部が第1の枠部30の対角線上に位置するように形成されている。そして、第1の枠部30の前記対角線と直交する対角線上の各角部の近傍には、それぞれ弾性を有する弾性部8a〜8dが設けられている。弾性部8a〜8dは、それぞれ一端部が第1の枠部30に連続一体に連結されるとともに、他端部が第1の可動電極40に連続一体に連結されている。また、弾性部8a〜8dの一端部と他端部との間の部位は、xy平面において略U字状に湾曲しながら蛇行した形状に形成されている。また、弾性部8a,8b、及び弾性部8c,8dは、それぞれ伸縮方向が互いに略直交するように配設されている。
而して、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、xy平面における第1のビーム部5a,5bの軸方向、及び軸方向と直交する方向での第1の可動電極40の揺動を弾性部8a〜8dによって規制することができる。したがって、第1の可動電極40の過度の揺動によって第1のビーム部5a,5bに曲げ応力が発生するのを防ぐことができ、第1のビーム部5a,5bの破損を防止することができる。
(実施形態2)
以下、本発明に係る加速度センサの実施形態2について図面を用いて説明する。但し、本実施形態の基本的な構成は実施形態1と共通であるので、共通する部位には同一の番号を付して説明を省略する。また、以下の説明では、従来例での説明と同様に、図3における上下を上下方向、センサチップ1の短手方向と平行な方向をx方向、センサチップ1の長手方向と平行な方向をy方向と定めるものとする。
以下、本発明に係る加速度センサの実施形態2について図面を用いて説明する。但し、本実施形態の基本的な構成は実施形態1と共通であるので、共通する部位には同一の番号を付して説明を省略する。また、以下の説明では、従来例での説明と同様に、図3における上下を上下方向、センサチップ1の短手方向と平行な方向をx方向、センサチップ1の長手方向と平行な方向をy方向と定めるものとする。
本実施形態は、図2(a)〜(c)に示すように、実施形態1の弾性部8a〜8dを設ける代わりに、第1の枠部30における第1のビーム部5a,5bの軸方向と直交する対角線上に位置する各角部に弾性部8e,8fを設けている。
而して、測定レンジを超える過大な加速度が加えられた場合において、xy平面における第1のビーム部5a,5bの軸方向、及び軸方向と直交する方向での第1の可動電極40の揺動を弾性部8e,8fによって規制することができる。したがって、実施形態1と同様に、第1の可動電極40の過度の揺動によって第1のビーム部5a,5bに曲げ応力が発生するのを防ぐことができ、第1のビーム部5a,5bの破損を防止することができる。また、本実施形態では実施形態1と比較して弾性部の数を減らすことができるので、製造が容易であるとともに製造コストを低減することができる。
ところで、上記各実施形態では、センサチップ1が支持基板Cと活性層Aにより酸化膜Bを挟持したSOI基板から成る。このため、図2(b)に示すように(同図は実施形態2の構成)、弾性部8a〜8fを活性層Aで形成すれば第1のビーム部5a,5bと同時に形成することが可能である。
尚、従来例のように第1の可動電極40の対向する2辺の略中央部と第1の枠部30の側壁部とを連結するように第1のビーム部5a,5bを形成した場合でも、第1のビーム部5a,5bの軸方向と直交する方向において第1の可動電極40と第1の枠部30とを連結する弾性部を設けることで、xy平面における第1のビーム部5a,5bの軸方向と直交する方向での第1の可動電極40の揺動を規制することができる。また、本実施形態では、第1の枠部30、第1の可動電極40、第1のビーム部5a,5bに関する構成についてのみ記載しているが、従来例における第2の枠部31、第2の可動電極41、第2のビーム部5c,5dに関する構成に対して上記各実施形態の構成を採用しても構わないことは言うまでもない。
20a 第1の固定電極
20b 第2の固定電極
30 第1の枠部
40 第1の可動電極
5a,5b 第1のビーム部
8a〜8d 弾性部
20b 第2の固定電極
30 第1の枠部
40 第1の可動電極
5a,5b 第1のビーム部
8a〜8d 弾性部
Claims (3)
- 可動電極と、可動電極を所定の間隔を空けて囲む枠部と、可動電極と枠部とを連結するとともに可動電極を枠部に対して揺動自在に支持する1対のビーム部と、可動電極の表面における1対のビーム部を結ぶ直線を境界線とした一方側および他方側に対してそれぞれ所定の間隔を空けて対向配置される1対の固定電極とを備え、ビーム部を軸とした可動電極の揺動に伴う可動電極と固定電極との間の静電容量の変化から加速度を検出する加速度センサであって、弾性を有し且つ枠部と可動電極とを連結するとともに可動電極の表面と平行する平面における可動電極の揺動を規制する弾性部を設けたことを特徴とする加速度センサ。
- 前記枠部は平面視略矩形状であって、ビーム部は、その軸部が枠部の対角線上に位置するように形成され、弾性部は、枠部の前記対角線とは異なる対角線上の各角部近傍において伸縮方向が互いに略直交するように1対ずつ設けられたことを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。
- 前記枠部は平面視略矩形状であって、ビーム部は、その軸部が枠部の対角線上に位置するように形成され、弾性部は、枠部の前記対角線と異なる対角線上に位置するように設けられたことを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。
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