JP2010199104A - ノンポーラ型不揮発性メモリー素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単一電極による酸化膜への電圧の変化によって抵抗値が変わる特性を利用したノンポーラ型の不揮発性メモリー素子であって、その酸化膜がアルミの酸化膜である。さらに、その酸化膜を陽極酸化膜とするのがより好ましい。バルクのアルミニウム板またはスパッタリングや蒸着により作成したアルミニウム薄膜をシュウ酸または硫酸溶液にて陽極酸化したものは、ノンポーラ型として特に良好な特性を発揮する。
【選択図】図3
Description
ReRAMの材料としてはペロブスカイト型遷移金属酸化物等いろいろな物質が研究されている(井上 公:固体物理 vol.40 No.7(2005)503)。
これらReRAMはそのI−V特性によってバイポーラ型とノンポーラ型に分類される。バイポーラ型とは図1で示すようなI−V曲線をもつ。電圧の変化によりa〜eの矢印で示すように電流が変化する。まず矢印aの部分では、電圧が増加するが電流はほとんど変化しない(高抵抗状態)。電圧がv1に至ると電流が急激に流れるようになる(矢印b)。つまり電気抵抗が小さくなる。次に矢印cの部分では電圧の降下に従って電流も降下する(低抵抗状態)。さらにマイナスの電圧v2において電流が急に流れなくなり(矢印d)、矢印eでもとにもどる。これからわかるように、バイポーラ型では、プラスの電圧v1を与えることにより高抵抗状態から低抵抗状態に、また、マイナスの電圧v2を与えることにより低抵抗状態から高抵抗状態に変化させることができる。これら高抵抗状態、低抵抗状態は電圧を与えないと保持されるため不揮発性メモリとして利用できる。
しかし、従来のノンポーラ型不揮発性メモリー素子は、その酸化膜に、稀少元素や有害元素を含有するものが知られているのみで、これらの使用は環境安全上極力避けることが望まれていた。
さらに、その酸化膜を陽極酸化膜とするのがより好ましい。
これにより、従来より必要とされる材料がアルミニウムだけであり稀少元素や有害元素などの、高価な材料を使用しないノンポーラ型ReRAMを実現することができた。
バルクのアルミニウム板またはスパッタリングや蒸着により作成したアルミニウム薄膜をシュウ酸または硫酸溶液にて陽極酸化したものは、ノンポーラ型として特に良好な特性を発揮する。
この陽極酸化の条件は以下のようなものである。
前記溶液の酸濃度は0.1M〜1M、0.1M〜0.8M、0.2M〜0.5Mとし、0.3Mを中心これに近いほど良好である。温度は5℃〜50℃、10℃〜40℃、20℃〜30℃で室温に近いほど良好である。
電圧は10V〜80V、20V〜70V、30V〜50Vと40Vを中心により良好となる。
また酸化時間は、その電圧や温度あるいは溶液の酸濃度により、以下のような膜厚となるように適切に選択する事項であるが、他の条件が揃えば1〜2分間の陽極酸化を行うのが望ましい。
また、前記陽極酸化の条件以上に重要なのは陽極酸化膜の膜厚である。上記各条件は、この膜厚を良好な範囲にする為のものでもある。具体的には、0.5×102nm〜5×102nm、1×102nm〜4×102nm、1×102nm〜3×102nmと膜厚を200nmを中心に良好に用いることができる。過剰に薄すぎる場合は常に導通し、過剰に厚すぎる場合は常に絶縁状態となりスイッチング動作はみられない。
できたサンプルのI−V特性を図3の回路図で示す装置を用い測定した。図4に測定結果を示す。
矢印のa〜iの順に電圧、電流が変化している。はじめのa〜eの部分では定電流ダイオード(CRD)を入れているため、矢印aから矢印bの地点で高抵抗状態から低抵抗状態に変化するが約1.3mA以上の電流は流れない。後半のf〜iの部分ではスイッチを切り替え定電流ダイオードをはずしているので電流制限はない。ここではfからgに移るときに低抵抗状態から高抵抗状態に変化していることがわかる。このようにノンポーラ型のI−V特性がみられた。
その後アトミックレイヤーデポジション(ALD)法により陽極酸化膜表面に酸化アルミニウムを8nm堆積させた。さらにその表面に実施例1と同様に上部電極を取り付け、同様の方法でI−V測定を行った。図5に結果を示す。実施例1と同様にノンポーラ型のI−V特性がみられた。
なお、不揮発性メモリー素子の構造は図6に例示する構成を有しておれば、ノンポーラ型として作動させることができた。
以下にその具体的な内容を説明する。
図6のwriteに信号を与えるとAのトランジスタが動作し左の経路が導通する。Eraseに信号を与えるとBのトランジスタが動作し右の経路が導通する。このとき試料にかかる電圧はwrite、eraseの信号の電圧やトランジスタの種類により決められるのでwriteのときは図2におけるv1、eraseのときはv2の電圧がかかるようにしておく。するとwrite、eraseに信号を与えることにより、試料を低抵抗状態、高抵抗状態にすることができる。試料の抵抗値はread端子から読むことができる。抵抗を読むときに試料にかかる電圧はv2よりもはるかに小さくて良いためこのときに試料の状態が変化することはない。
Claims (2)
- 単一電極による酸化膜への電圧の変化によって抵抗値が変わる特性を利用したノンポーラ型の不揮発性メモリー素子であって、その酸化膜がアルミの酸化膜であることを特徴とする不揮発性メモリー素子。
- 請求項1に記載の不揮発性メモリー素子において、前記アルミの酸化膜は陽極酸化膜であることを特徴とする不揮発性メモリー素子。
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2009
- 2009-02-23 JP JP2009038727A patent/JP2010199104A/ja active Pending
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