JP2010195649A - Glass blank, method for producing the same, method for producing substrate for information recording medium, and method for producing information recording medium - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガラスブランク、ガラスブランクの製造方法、情報記録媒体用基板の製造方法、および、情報記録媒体の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a glass blank, a method for manufacturing a glass blank, a method for manufacturing a substrate for an information recording medium, and a method for manufacturing an information recording medium.
パソコン等の情報記録手段として利用されているハードディスクなどの円盤状の情報記録媒体に用いられる基板として、ガラス製やガラスセラミックス製の基板が広く用いられている。このような情報記録媒体用基板の典型的な製造方法は、以下のようなものである。まず、溶融ガラスを上型および下型からなる一対の成形型でプレス成形する方法(いわゆるダイレクトプレス法)を利用して、ガラスブランクを作製する。次に、このガラスブランクに研磨等の後加工を施すことで、情報記録媒体用基板(以下、単に「基板」と略す場合がある)を得る。なお、その後は、作製する情報記録媒体の種類に応じて、情報記録層等を基板上に成膜することで情報記録媒体を得る。 As a substrate used for a disk-shaped information recording medium such as a hard disk used as an information recording means such as a personal computer, a substrate made of glass or glass ceramic is widely used. A typical method for manufacturing such an information recording medium substrate is as follows. First, a glass blank is produced using a method (so-called direct press method) in which molten glass is press-molded with a pair of molds composed of an upper mold and a lower mold. Next, post-processing such as polishing is performed on the glass blank to obtain an information recording medium substrate (hereinafter sometimes simply referred to as “substrate”). After that, an information recording medium is obtained by forming an information recording layer or the like on the substrate in accordance with the type of the information recording medium to be manufactured.
ダイレクトプレス法を利用してガラスブランクを作製する場合、プレス成形に起因して発生する反りやうねりが問題となることが知られている。そして、これらの問題を解決するために、周縁部に厚肉部を有するガラスブランクが提案されている(特許文献1、2参照)。なお、このような周縁部に設けられる厚肉部は、コストダウンや産業廃棄物低減の観点から、ガラスブランクを基板に加工する際に発生する研削・研磨くずの発生を抑制するために、丸ごと除去されることはなく、最終的に基板の一部を構成する。
When manufacturing a glass blank using a direct press method, it is known that the curvature and the wave | undulation which generate | occur | produce resulting from press molding will be a problem. And in order to solve these problems, the glass blank which has a thick part in a peripheral part is proposed (refer
一方、更なるコストダウンに対応するためには、ガラスブランクを後加工して基板とする際の研磨代を小さくする必要がある。このためには、ガラスブランクの厚み(最終的に基板となり得る部分の厚み)は、基板の厚みに近いほど良い。しかし、ガラスブランク全面の厚みをより薄くしようとすると、ガラスブランクの外形が大きい程、プレス成形時に必要なプレス推力も大きくなる。このようなプレス推力の増大は、ガラスブランクの割れの発生を招きやすくなる。 On the other hand, in order to cope with further cost reduction, it is necessary to reduce the polishing allowance when the glass blank is post-processed to form a substrate. For this purpose, the thickness of the glass blank (the thickness of the portion that can eventually become a substrate) is preferably as close as possible to the thickness of the substrate. However, if the thickness of the entire glass blank is to be made thinner, the larger the outer shape of the glass blank, the greater the press thrust required during press molding. Such an increase in press thrust tends to cause cracking of the glass blank.
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、プレス時の割れを抑制するガラスブランク及びその製造方法、並びに、当該ガラスブランクを用いた情報記録媒体用基板の製造方法および情報記録媒体の製造方法を提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above-described circumstances, a glass blank for suppressing cracking during pressing, a method for manufacturing the same, a method for manufacturing a substrate for an information recording medium using the glass blank, and an information recording medium. It is an object to provide a manufacturing method.
上記課題は以下の本発明により達成される。
すなわち、本発明のガラスブランクは、円板状の薄肉部と、薄肉部の周縁部に沿って設けられた厚肉部と、を有し、情報記録媒体用基板に加工する際に、厚肉部が除去されることを特徴とする。
The above-mentioned subject is achieved by the following present invention.
That is, the glass blank of the present invention has a disk-shaped thin portion and a thick portion provided along the peripheral portion of the thin portion, and is thick when processed into an information recording medium substrate. The portion is removed.
本発明のガラスブランクの一実施態様としては、薄肉部の厚みが、0.5mm以上1.0mm未満であることが好ましい。 As one embodiment of the glass blank of this invention, it is preferable that the thickness of a thin part is 0.5 mm or more and less than 1.0 mm.
本発明のガラスブランクの他の実施態様としては、薄肉部の直径が、65.0mm以上72.0mm以下の範囲内、47.0mm以上53.0mm以下の範囲内、27.0mm以上33.0mm以下の範囲内、および、21.0mm以上26.0mm以下の範囲内から選択されるいずれか1つの範囲内の値を取り得ることが好ましい。 As another embodiment of the glass blank of the present invention, the diameter of the thin wall portion is in the range of 65.0 mm to 72.0 mm, in the range of 47.0 mm to 53.0 mm, and in the range of 27.0 mm to 33.0 mm. It is preferable that a value within any one range selected from the following range and the range of 21.0 mm or more and 26.0 mm or less can be taken.
本発明のガラスブランクのさらに他の実施態様としては、少なくともいずれか一方の面において、薄肉部と厚肉部とが面一に形成されていることが好ましい。 As still another embodiment of the glass blank of the present invention, it is preferable that the thin portion and the thick portion are formed flush with each other on at least one surface.
本発明のガラスブランクのさらに他の実施態様としては、薄肉部と厚肉部とが段差を成すように形成された側の面において、薄肉部の平面部分から厚肉部の最頂部へと続く傾斜面が、平面部分と連続する面を成す曲面を有することが好ましい。 As still another embodiment of the glass blank of the present invention, on the surface on the side where the thin portion and the thick portion are formed to be stepped, it continues from the flat portion of the thin portion to the top of the thick portion. It is preferable that the inclined surface has a curved surface forming a surface continuous with the flat portion.
本発明のガラスブランクの製造方法の一面は、上型および下型の少なくとも一方の型として、プレス成形時に軟化状態のガラスと接触し、円形状の中央部および中央部の周縁側に設けられた外縁部を有するプレス面を備え、外縁部が、中央部に対して凹を成す型を用い、軟化状態のガラスを下型の上に供給した後、上型と下型との間で軟化状態のガラスを外縁部にまで到達するようにプレス成形するプレス工程を少なくとも経てガラスブランクを作製することを特徴とする。 One surface of the method for producing a glass blank of the present invention is provided as a circular center portion and a peripheral edge side of the center portion as at least one of an upper die and a lower die, which is in contact with the softened glass during press molding. A press surface having an outer edge is provided, and the outer edge is softened between the upper mold and the lower mold after a softened glass is supplied onto the lower mold using a mold that is concave with respect to the center. A glass blank is produced through at least a pressing step of press-molding the glass so as to reach the outer edge.
本発明のガラスブランクの製造方法の他の面は、上型および下型の少なくとも一方の型として、プレス成形時に軟化状態のガラスと接触し、円形状の中央部および中央部の周縁側に設けられた外縁部を有するプレス面を備え、外縁部が、中央部に対して凹を成すと共に中央部の直径が65.0mm以上72.0mm以下の範囲内、47.0mm以上53.0mm以下の範囲内、27.0mm以上33.0mm以下の範囲内、および、21.0mm以上26.0mm以下の範囲内から選択されるいずれか1つの範囲内の値を有する型を用い、軟化状態のガラスを下型の上に供給した後、上型と下型との間で軟化状態のガラスを外縁部にまで到達するようにプレス成形するプレス工程を少なくとも経てガラスブランクを作製することを特徴とする。 The other surface of the method for producing a glass blank of the present invention is provided as a circular central portion and a peripheral portion of the central portion as a mold of at least one of an upper die and a lower die, which is in contact with the softened glass during press molding. A press surface having an outer edge portion, the outer edge portion being recessed with respect to the center portion, and the diameter of the center portion being in the range of 65.0 mm to 72.0 mm, 47.0 mm to 53.0 mm Glass having a softened state using a mold having a value within one of the ranges selected from the range, the range of 27.0 mm to 33.0 mm, and the range of 21.0 mm to 26.0 mm After the glass is supplied onto the lower mold, a glass blank is produced through at least a pressing step of press-molding the softened glass so as to reach the outer edge portion between the upper mold and the lower mold.
本発明の情報記録媒体用基板の製造方法の一面は、上述のガラスブランク、および、上述のガラスブランクの製造方法により作製されたガラスブランク、から選択されるガラスブランクの厚肉部を切断して除去する厚肉部除去工程を少なくとも経て、情報記録媒体用基板を作製することを特徴とする。 One side of the manufacturing method of the information recording medium substrate of the present invention is to cut a thick portion of the glass blank selected from the above glass blank and the glass blank produced by the above glass blank manufacturing method. The substrate for an information recording medium is manufactured through at least a thick portion removing step to be removed.
本発明の情報記録媒体用基板の製造方法の他の面は、円板状の薄肉部と、薄肉部の周縁部に沿って設けられた厚肉部と、を有するガラスブランクの厚肉部を切断して除去する厚肉部除去工程を少なくとも経て、情報記録媒体用基板を作製することを特徴とする。 The other surface of the method for producing the substrate for information recording medium of the present invention comprises a thick part of a glass blank having a disk-like thin part and a thick part provided along the peripheral part of the thin part. A substrate for an information recording medium is manufactured through at least a thick portion removing step that is cut and removed.
本発明の情報記録媒体の製造方法は、上述の情報記録媒体用基板の製造方法により作製された情報記録媒体用基板の少なくとも片面に情報記録層を形成する情報記録層形成工程を少なくとも経て、情報記録媒体を製造することを特徴とする。 The information recording medium manufacturing method of the present invention includes at least an information recording layer forming step of forming an information recording layer on at least one side of the information recording medium substrate manufactured by the above-described information recording medium substrate manufacturing method. A recording medium is manufactured.
本発明によれば、プレス時の割れを抑制するガラスブランク及びその製造方法、並びに、当該ガラスブランクを用いた情報記録媒体用基板の製造方法および情報記録媒体の製造方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the glass blank which suppresses the crack at the time of a press, its manufacturing method, the manufacturing method of the board | substrate for information recording media using the said glass blank, and the manufacturing method of an information recording medium can be provided.
(ガラスブランクおよびその製造方法)
−ガラスブランク−
本実施形態のガラスブランクは、円板状の薄肉部と、薄肉部の周縁部に沿って設けられた厚肉部と、を有し、情報記録媒体用基板に加工する際に、厚肉部が除去されることを特徴とする。このような形状を有するガラスブランクでは、このガラスブランクを作製する際に、プレス時の割れを抑制できる。
(Glass blank and its manufacturing method)
-Glass blank-
The glass blank of this embodiment has a disk-shaped thin part and a thick part provided along the peripheral part of the thin part, and when processing into a substrate for an information recording medium, the thick part Is removed. In the glass blank which has such a shape, when producing this glass blank, the crack at the time of a press can be suppressed.
なお、本発明者らが上述の本実施形態のガラスブランクを見出した理由は以下の通りである。まず、本発明者らは、研磨代低減の観点でより薄いガラスブランクを得るためには、特許文献1,2に示すような周縁部に厚肉部を有するタイプのガラスブランクは、厚肉部も研磨する必要があるため不適であると考えた。このため、周縁部に厚肉部を設けずに、ガラスブランク全面の厚みを薄くすることを検討した。しかしながら、このようなガラスブランクでは、プレス成型する際のプレス推力を増大させる必要が生じ、結果的に、割れが起こり易くなることが分った。このような割れは、以下のメカニズムにより発生するものと推定される。
The reason why the inventors found the glass blank of the above-described embodiment is as follows. First, in order to obtain a thinner glass blank from the viewpoint of reducing the polishing allowance, the inventors of the present invention have a thick glass part having a thick part at the peripheral part as shown in
まず、プレス成型に際して、下型のプレス面の中央部に軟化状態のガラスが供給され、続いて、下型と上型とにより軟化状態のガラスがプレスされることで、上型と下型との隙間に広がるようにガラスが延伸する。この際、軟化状態のガラスが有する熱が、上型や下型のプレス面と接触することで急激に奪われることになる。これによりガラスの温度が低下し、これに伴い結果的に粘度が増大する。しかし、このような粘度の増大は、プレス面の中央部側から外側までの範囲で均一に起こるものではなく、中央部側よりも外側に行くにつれて進行していくものと考えられる。これは、次の理由による。まず、上型と下型との間に挟まれた軟化状態のガラス塊のうち最も外周側に延伸していく部分は、プレス初期においては、プレス面中央部により熱が奪われ、プレス後期においてはプレス面外部側により熱が奪われる。これに対して、上型と下型との間に挟まれた軟化状態のガラス塊のうちプレス初期から後期まで一貫してプレス面中央側に位置する部分は、プレス初期においては、プレス面中央部により熱が奪われるものの、プレス後期においては、プレス面中央部がそれまでのガラス塊との熱交換により加温されているために、プレス面中央部により熱が奪われにくくなっている。 First, during press molding, softened glass is supplied to the center of the press surface of the lower mold, and then the softened glass is pressed by the lower mold and the upper mold, so that the upper mold and the lower mold The glass is stretched so as to spread in the gap. At this time, the heat of the glass in the softened state is rapidly taken away by coming into contact with the press surface of the upper die or the lower die. As a result, the temperature of the glass decreases, and as a result, the viscosity increases. However, such an increase in viscosity does not occur uniformly in the range from the center side to the outside of the press surface, but is considered to progress as it goes outward from the center side. This is due to the following reason. First, in the softened glass lump sandwiched between the upper mold and the lower mold, the part that extends to the outermost side is deprived of heat by the center of the press surface in the early stage of the press, Is deprived of heat by the outside of the press surface. On the other hand, in the softened glass lump sandwiched between the upper die and the lower die, the portion that is consistently located on the center side of the press surface from the initial stage to the late stage is the center of the press surface in the initial stage of pressing. Although the heat is taken away by the part, in the latter half of the press, the center part of the press surface is heated by heat exchange with the glass block so far, so that the heat is hardly taken away by the center part of the press face.
それゆえ、ガラスブランクをより薄肉化するということは、容積対比の表面積が大きくなることであるため、プレス時において上型と下型との間に挟まれた軟化状態のガラス塊のうち最も外周側に延伸している部分の粘度増大がより著しくなるために、結果としてプレス推力の増大の必要性が生じ、さらには割れを招くものと考えられる。そこで、本発明者らは、上述した点に着目し、上型と下型との間に挟まれた軟化状態のガラス塊をより薄く延伸させる場合でも、ガラス塊のプレス面外周部側の粘度低下を抑制することができれば、プレス推力の増大を抑制でき、さらには割れも起こりにくくできるものと考えた。これは、軟化状態のガラス塊の容量を大きくして、その熱容量増分をプレス面外周部側部分に集めることで、プレス時の外周部での温度低下が抑制されて実現できるはずである。このためには、円板状となったガラス塊の周縁部が中央部よりも肉厚となっていることが必要である。そして、結果的に、このようなプロセスを経て作製されるガラスブランクは、本実施形態のガラスブランクと同一の形状を有することになる。また、通常、プレス推力の増大は、結果として成形型の転写性を向上させ、プレスされたガラスを上型に貼り付きやすくする傾向がある。しかしながら、本実施形態のガラスブランクでは、薄肉化しても、上述したようにプレス推力の増大を抑制できる。このため、本実施形態のガラスブランクを作製する場合、プレスされたガラスの上型への貼り付きを抑制することも容易である。 Therefore, reducing the thickness of the glass blank means increasing the surface area relative to the volume, so that the outermost periphery of the softened glass mass sandwiched between the upper mold and the lower mold at the time of pressing. Since the increase in the viscosity of the portion extending to the side becomes more remarkable, it is necessary to increase the press thrust as a result, and further, it is considered that the crack is caused. Therefore, the present inventors pay attention to the above-mentioned points, and when the softened glass lump sandwiched between the upper mold and the lower mold is more thinly stretched, the viscosity of the glass lump on the outer peripheral side of the press surface is reduced. It was considered that if the decrease could be suppressed, the increase in press thrust could be suppressed, and further, cracking could hardly occur. This should be realized by increasing the capacity of the softened glass lump and collecting the heat capacity increment at the outer peripheral portion of the press surface, thereby suppressing the temperature drop at the outer peripheral portion during pressing. For this purpose, it is necessary that the peripheral edge of the disk-shaped glass lump is thicker than the center. And as a result, the glass blank produced through such a process will have the same shape as the glass blank of this embodiment. In general, an increase in press thrust tends to improve the transferability of the mold as a result, and the pressed glass tends to stick to the upper mold. However, in the glass blank of this embodiment, even if it thins, as above-mentioned, the increase in press thrust can be suppressed. For this reason, when producing the glass blank of this embodiment, it is also easy to suppress sticking to the upper mold | type of the pressed glass.
なお、本実施形態のガラスブランクと、特許文献1,2に記載のガラスブランクとは、円板状の薄肉部と、薄肉部の円周部に沿って設けられた厚肉部とを有している点では共通している。しかし、ガラスブランクから同じサイズの基板を作製する場合、特許文献1,2に記載のガラスブランクは、厚肉部分が基板の一部を構成するのに対して、本実施形態のガラスブランクでは、厚肉部分は全て除去されるため基板の一部を構成しない。すなわち、同じ厚みと直径を有する基板を作製する上では、ガラスブランクの直径は、特許文献1,2に記載のガラスブランクよりも、本実施形態のガラスブランクの方が大きい。すなわち、特許文献1,2に記載のガラスブランクの直径は小さいものである。このため、特許文献1,2に記載のガラスブランクでは、その作製に際して、プレス時に上型と下型との間に挟まれたガラス塊をより外周側に延伸させる必要がないため、本発明が課題とするような問題自体が起こり難い。
In addition, the glass blank of this embodiment and the glass blank of
一方、本実施形態のガラスブランクでは、基板に加工する際に厚肉部は、通常、研磨加工前に切断によって除去される。このため、特許文献1,2に記載のガラスブランクと比べて、研磨加工に要する加工時間を大幅に短縮することができるという加工コスト上の大きな長所を有する。但し逆に、厚肉部の全てが基板の一部として利用されることなく廃棄されるため不経済であるとも考えられる。しかしながら、厚肉部が切断除去される場合はチップ状となるため回収が容易である。そして、回収したチップをガラスブランク用の溶融ガラス原料(いわゆるカレット)として容易に再利用できる。これに対して特許文献1,2に記載のガラスブランクは、厚肉部の一部が基板として利用されるものの、残りの部分は研磨等により微粉化されて除去される。このような形態で除去された厚肉部は、研磨液等と混合した状態となるため、回収・再利用は不可能である。したがって、厚肉部の再利用効率という点では、特許文献1,2に記載のガラスブランクよりも本実施形態のガラスブランクの方が優れている。
On the other hand, in the glass blank of this embodiment, when processing into a substrate, the thick portion is usually removed by cutting before polishing. For this reason, compared with the glass blank of
なお、プレス推力の増大に伴う割れは、周縁部に厚肉部を設けないと仮定したガラスブランクの薄肉部の厚みが薄ければ薄いほど発生しやすくなる。これらの点を考慮すれば、本実施形態のガラスブランクの薄肉部の厚みは、1.0mm以下であることが好ましく、0.9mm以下であることがより好ましい。なお、ガラスブランクを用いて最終的に作製する基板の直径を考慮すると、いわゆる2.5インチ基板(直径=65mm)用のガラスブランクでは、薄肉部の厚みは、0.9mm以下が好ましく、0.8mm以下がより好ましい。1.8インチ基板(直径=48mm)用のガラスブランクでは、薄肉部の厚みは、0.8mm以下が好ましく、0.6 mm以下がより好ましい。1.0インチ基板(直径=27.4mm)用のガラスブランクでは、薄肉部の厚みは、0.7mm以下が好ましく、0.5mm以下がより好ましい。0.85インチ基板(直径=21.6mm)用のガラスブランクでは、薄肉部の厚みは、0.7mm以下が好ましく、0.5mm以下がより好ましい。なお、薄肉部の厚みの下限は、目的とする基板のサイズに係わらず特に限定されるものではないが、ガラスブランク肉厚が薄くなるほど素材段階で平面度の維持が難しくなるため、実用上は0.5mm以上とすることが好適である。 In addition, the crack accompanying increase in press thrust becomes easy to generate | occur | produce, so that the thickness of the thin part of the glass blank assumed that the thick part is not provided in a peripheral part is thin. Considering these points, the thickness of the thin portion of the glass blank of the present embodiment is preferably 1.0 mm or less, and more preferably 0.9 mm or less. In consideration of the diameter of the substrate finally produced using the glass blank, the glass blank for a so-called 2.5 inch substrate (diameter = 65 mm) preferably has a thickness of 0.9 mm or less, and 0 .8 mm or less is more preferable. In a glass blank for a 1.8 inch substrate (diameter = 48 mm), the thickness of the thin portion is preferably 0.8 mm or less, and more preferably 0.6 mm or less. In a glass blank for a 1.0 inch substrate (diameter = 27.4 mm), the thickness of the thin portion is preferably 0.7 mm or less, and more preferably 0.5 mm or less. In a glass blank for a 0.85-inch substrate (diameter = 21.6 mm), the thickness of the thin portion is preferably 0.7 mm or less, and more preferably 0.5 mm or less. The lower limit of the thickness of the thin wall portion is not particularly limited regardless of the size of the target substrate, but as the glass blank thickness decreases, it becomes difficult to maintain flatness at the material stage. It is preferable to set it to 0.5 mm or more.
また、本実施形態のガラスブランクでは、基板に加工する際に厚肉部を除去して残った部分(薄肉部)が、実質的に基板を構成することになる。このような観点からは、薄肉部の直径は、目的とする基板の直径に近いほど、後工程での加工コストを低減させることができる。しかしながら、後工程での加工時のばらつきも考慮してある程度のマージンを確保しておくことも必要である。これらの点を考慮すれば、2.5インチ基板用のガラスブランクでは、薄肉部の直径は、66.0mm以上72.0mm以下の範囲が好ましい。1.8インチ基板用のガラスブランクでは、薄肉部の直径は、48.0mm以上53.0mm以下の範囲が好ましい。1.0インチ基板用のガラスブランクでは、薄肉部の直径は、27.6mm以上33.0mm以下の範囲が好ましい。0.85インチ基板用のガラスブランクでは、薄肉部の直径は、21.8mm以上26.0mm以下の範囲が好ましい。 Moreover, in the glass blank of this embodiment, when processing into a board | substrate, the part (thin-wall part) which remained after removing the thick part will comprise a board | substrate substantially. From such a viewpoint, the processing cost in the subsequent process can be reduced as the diameter of the thin wall portion is closer to the target substrate diameter. However, it is also necessary to secure a certain margin in consideration of variations during processing in the subsequent process. Considering these points, in the glass blank for a 2.5-inch substrate, the diameter of the thin portion is preferably in the range of 66.0 mm to 72.0 mm. In a glass blank for a 1.8 inch substrate, the diameter of the thin portion is preferably in the range of 48.0 mm to 53.0 mm. In a glass blank for a 1.0 inch substrate, the diameter of the thin portion is preferably in the range of 27.6 mm to 33.0 mm. In the glass blank for 0.85 inch substrates, the diameter of the thin part is preferably in the range of 21.8 mm to 26.0 mm.
本実施形態のガラスブランクでは、厚肉部は、薄肉部の両面に凸を成すように設けられていてもよいが、少なくともいずれか一方の面において、薄肉部と厚肉部とが面一に形成されていることが好ましい。いわゆるダイレクトプレス法においては、多数の下型を逐次移動して所定量の溶融ガラスゴブを受け、1個の上型でプレス成形を行うことを特徴とするため、ガラスブランク表面への金型の接触時間は、下型に比べ上型は極めて短時間しか確保できない。そのため成形されたガラスブランクは、下型温度の高低によりその程度は異なるものの、上型面が離脱後、特別な冷却方策を採らない限り、ガラスブランク上型面側の冷却速度が遅くなり、ガラスブランク外周が上型面側に反り上がる傾向の反り特性を有することが避けられない。ここで本実施形態において、上型面側で薄肉部と厚肉部とを面一に形成されるような形状とすれば、外縁部に形成された厚肉分だけガラスブランクは下型面側に補強リブが形成された断面形状となるため、プレス後の冷却過程での熱収縮に伴いガラスブランク外周が上型面側に反り上がる方向の応力が働いた時の反り量はその分抑制されることになる。変形が抑制された分、応力は内部に残留するが、当該応力はその後の徐冷工程で緩和されるため、変形は抑制されたまま維持される。 In the glass blank of this embodiment, the thick part may be provided so as to be convex on both surfaces of the thin part, but the thin part and the thick part are flush with each other on at least one surface. Preferably it is formed. In the so-called direct press method, a large number of lower molds are sequentially moved to receive a predetermined amount of molten glass gob and press molding is performed with one upper mold, so that the mold contacts the glass blank surface. As for the time, the upper mold can secure only a very short time compared to the lower mold. Therefore, although the degree of the glass blank formed varies depending on the temperature of the lower mold, the cooling rate on the upper mold surface side of the glass blank becomes slow unless a special cooling measure is taken after the upper mold surface is detached. It is inevitable that the blank outer periphery has a warp characteristic that tends to warp toward the upper mold surface. Here, in the present embodiment, if the shape is such that the thin portion and the thick portion are formed flush with each other on the upper die surface side, the glass blank is on the lower die surface side by the thick portion formed on the outer edge portion. Therefore, the amount of warpage when the stress in the direction in which the outer periphery of the glass blank warps to the upper die surface due to heat shrinkage during the cooling process after pressing is reduced by that amount. Will be. Since the deformation is suppressed, the stress remains inside, but since the stress is relaxed in the subsequent slow cooling step, the deformation is maintained while being suppressed.
なお、厚肉部の厚みは、薄肉部よりも厚ければ特に限定されるものではない。しかし、厚肉部の厚みは、薄肉部の厚み+0.4mm以上であることが好ましく、薄肉部の厚み+0.8mm以上であることがより好ましい。また、厚肉部の幅は、2mm以上であることが好ましく、3mm以上であることが好ましい。厚肉部の厚みや幅を上記範囲とすることにより、プレス時に、上型と下型との間に挟まれた軟化状態のガラス塊のうち最も外周側に延伸している部分の温度低下(粘度増大)をより効果的に抑制できる。したがって、結果としてプレス推力の増大や、さらには割れをより確実に抑制できる。なお、厚肉部の厚みの上限値は特に限定されるものではないが、ガラスブランクを加工して基板を作製する際の捨て代をより少なくするなどの実用上の観点からは、薄肉部の厚み+2mm以下であることが好ましい。同様の観点で、厚肉部の幅は、7mm以下であることが好ましい。 The thickness of the thick part is not particularly limited as long as it is thicker than the thin part. However, the thickness of the thick part is preferably the thickness of the thin part + 0.4 mm or more, and more preferably the thickness of the thin part + 0.8 mm or more. Moreover, it is preferable that the width | variety of a thick part is 2 mm or more, and it is preferable that it is 3 mm or more. By setting the thickness and width of the thick part within the above ranges, the temperature drop of the portion extending most outward from the softened glass lump sandwiched between the upper die and the lower die during pressing ( Viscosity increase) can be more effectively suppressed. Therefore, as a result, it is possible to more reliably suppress an increase in press thrust and further cracking. The upper limit value of the thickness of the thick part is not particularly limited, but from a practical viewpoint such as reducing the amount of disposal when producing a substrate by processing a glass blank, The thickness is preferably 2 mm or less. From the same viewpoint, the width of the thick portion is preferably 7 mm or less.
−ガラスブランクの具体例−
次に本実施形態のガラスブランクの具体例について図面により説明する。図1は、本実施形態のガラスブランクの一例を示す模式断面図であり、具体的には、ガラスブランクを、その直径方向で切断した際の断面図である。また、図1に示すガラスブランク1は、円板状の薄肉部10と、この薄肉部10の周縁部に沿って設けられ、かつ、片方の面が薄肉部10と面一を成す厚肉部12とを有する。このガラスブランク1を用いて基板に加工する場合は、ガラスブランク1から厚肉部12が除去される。そして厚肉部12が除去された後の薄肉部10のみを後加工することで基板を得る。この場合、たとえば、薄肉部10のうちの両矢印Dで示される範囲が最終的に基板を構成する部分として利用される。
-Specific examples of glass blanks-
Next, specific examples of the glass blank of this embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of the glass blank of the present embodiment, and specifically, a cross-sectional view when the glass blank is cut in the diameter direction. Further, the
なお、ガラスブランク1を作製する場合、プレス直後の高温状態のガラスブランク1が冷却する過程で、薄肉部10の熱収縮量よりも厚肉部12の熱収縮量が大きくなることは避けられない。この現象から生ずる問題への対応について、図2を参照しながら説明する。図2は、図2は、図1に示すガラスブランクの厚肉部近傍の部分を、その直径方向で切断した断面を拡大した部分拡大図である。このような熱収縮量のアンバランスによってガラスブランク1の内部に生じた引張り応力は、薄肉部10と厚肉部12とが段差を有する側の面(図2における下面)であって、薄肉部10から厚肉部12へと肉厚が変化する領域近傍(薄肉部10の平面部分14の最外周側と、厚肉部12の最内周側との境界部分16近傍)に集中し易い。そしてこのような応力集中は、プレス後に、ガラスブランク1のクラックを引き起こす。このようなクラックの発生を抑制するためには、薄肉部10と厚肉部12とが段差を成すように形成された側の面において、薄肉部10の平面部分14から厚肉部12の最頂部18へと続く傾斜面20が、平面部分14と連続する面を成す曲面を有することが好ましい。このような構成を採用すれば、1箇所に応力が集中することが緩和されるためである。なお、この曲面は、たとえば、真円、楕円、放物線、又は、双曲線の一部を構成するような形状とすることができる。
In addition, when producing the
−ガラスブランクの製造方法−
本実施形態のガラスブランク1は、ダイレクトプレス法により作製することができる。ここで、ガラスブランク1は、次のように作製される。すなわち、軟化状態のガラスを下型の上に供給した後、上型と下型との間で軟化状態のガラスを外縁部にまで到達するようにプレス成形するプレス工程を少なくとも経て、本実施形態のガラスブランクを得ることができる。
-Manufacturing method of glass blank-
The
但し、プレス成形に用いる上型および下型の少なくとも一方の型として、プレス成形時に軟化状態のガラスと接触し、円形状の中央部および中央部の周縁側に設けられた外縁部を有するプレス面を備え、外縁部が、中央部に対して凹を成す型が用いられる。ここで、図3は、本実施形態のガラスブランクの製造方法に用いられる型(成形型)の一例を示す模式断面図であり、具体的には、成形型をそのプレス面に対して直交するように切断した場合の断面について示したものである。図3に示す成形型30では、そのプレス面32の外縁部32Aが、中央部32Bに対して凹を成すように設けられている。ここで、中央部32Bと外縁部32Aとの段差部分34は、図2に示す曲面状の傾斜面20に対応させたものとすることができる。また、プレス時には、軟化状態のガラス(図中、不図示)は、中央部32Bから外縁部32Aの一部(図中、両矢印Eで示される領域)にまで接するように延伸させられる。この成形型30は、上型および下型として用いてもよく、上型および下型のいずれか一方の成形型として用いてもよい。なお、後者の場合は、他方の成形型は、プレス面全面を平坦面とした成形型など、従来公知の成形型が利用できる。
However, as at least one of the upper mold and the lower mold used for press molding, a press surface having a circular central portion and an outer edge portion provided on the peripheral side of the central portion in contact with the softened glass during press molding. , And the outer edge portion is recessed with respect to the central portion. Here, FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of a die (molding die) used in the glass blank manufacturing method of the present embodiment. Specifically, the molding die is orthogonal to the press surface. It shows about the cross section at the time of cut | disconnecting like this. In the molding die 30 shown in FIG. 3, the
なお、外縁部32Aが、中央部32Bに対して凹を成す型のプレス面32の中央部32Bの直径(但し、図3に示すように段差部分34が、プレス面32に対して垂直で無い場合は、段差部分34を除く領域(図3中の両矢印dで示される領域)の直径を意味する)を最終的に作製する基板のサイズに応じて以下の範囲内とすることが好ましい。すなわち、2.5インチ基板用のガラスブランクを作製する場合、中央部の直径は、66.0mm以上72.0mm以下の範囲内が好ましい。1.8インチ基板用のガラスブランクを作製する場合、中央部の直径は、48.0mm以上53.0mm以下の範囲内が好ましい。1.0インチ基板用のガラスブランクを作製する場合、中央部の直径は、27.6mm以上33.0mm以下の範囲内が好ましい。0.85インチ基板用のガラスブランクを作製する場合、中央部の直径は、21.8mm以上26.0mm以下の範囲内が好ましい。
The diameter of the
なお、ダイレクトプレス法では、プレス工程に用いられる成形型として、図4に例示するように、ガラスブランクの両面を形成するために用いる上型40および下型42の他に、プレス時に軟化状態のガラス塊50のプレス面方向への延伸を規制するために胴型44を組み合わせて用いる場合がある。本実施形態のガラスブランクの作製においても、軟化状態のガラス塊のプレス面方向への自由な延伸を規制する胴型44等の規制部材を用いたプレス方式(非サイドフリープレス方式)を採用することも可能であるが、胴型44等の規制部材を用いないプレス方式(サイドフリープレス方式)を採用することがより好ましい。この理由は、サイドフリープレス方式では、プレス時に軟化状態のガラス塊のプレス面方向への自由な延伸が規制されないためである。それゆえ、下型42のプレス面上に供給される軟化状態のガラス塊50の容量が多少変動したとしても、プレス時に上型40および下型42のプレス面間の距離を一定に保ちつつ、ガラス塊50の容量変動を、厚肉部で吸収させることができる。したがって、サイドフリープレス方式を採用した場合、非サイドフリープレス方式を採用した場合よりもガラスブランク間の厚みばらつきを小さくすることができ、結果として後工程である研磨工程の負荷をより小さくすることができる。なお、図4は、胴型を用いた従来の非サイドフリープレス方式のダイレクトプレス法の一例を示したものであるが、本実施形態のガラスブランクの製造方法を実施する場合は、例えば、下型42として図3に例示した下型30を用いることができる。
In the direct press method, as illustrated in FIG. 4, as the mold used in the pressing process, in addition to the
次に、プレス工程も含めた本実施形態のガラスブランクの製造方法の典型例について以下に説明する。まず、溶解、清澄、攪拌均一化されたこれらガラス材料からなる溶融ガラスを、流出ノズルから一定の流出速度で連続して排出させ、この溶融ガラス流をシアと呼ばれる切断機によって、常に一定質量の軟化状態のガラス塊が得られるように周期的に切断する。切断された軟化状態のガラス塊は流出ノズル直下で待機している下型のプレス面上に供給(キャスト)される。流出ノズルから排出される溶融ガラスは、軟化した状態であり、その粘度は0.3〜100Pa・s程度である。なお、下型の温度はガラス塊の温度よりも低温ではあるが、ガラス塊の温度が急降下してプレス不能とならない温度に調温される。なお、下型のプレス面には、キャストされる溶融ガラスのプレス面に対する潤滑性を向上させるために、必要に応じて予め窒化ホウ素(BN)粉末などの固体潤滑剤を付着させておいてもよい。 Next, the typical example of the manufacturing method of the glass blank of this embodiment including a press process is demonstrated below. First, molten glass made of these glass materials that has been melted, clarified, and stirred and homogenized is continuously discharged from the outflow nozzle at a constant outflow speed, and this molten glass flow is always kept at a constant mass by a cutting machine called shear. Periodically cut to obtain a softened glass lump. The softened glass lump that has been cut is supplied (cast) onto the press surface of the lower mold waiting just under the outflow nozzle. The molten glass discharged from the outflow nozzle is in a softened state and has a viscosity of about 0.3 to 100 Pa · s. Although the temperature of the lower mold is lower than the temperature of the glass lump, the temperature of the lower mold is adjusted to a temperature at which the temperature of the glass lump suddenly drops and is not pressable. In addition, in order to improve the lubricity with respect to the press surface of the molten glass to be cast, a solid lubricant such as boron nitride (BN) powder may be attached to the lower mold press surface in advance. Good.
上記キャストが終わって軟化状態のガラスをそのプレス面上に載置した下型は、上型が待機しているプレス位置に移送されて、上型及び下型によりプレス成形される。この際の上型および下型の温度、プレス圧力、プレス時間は、ガラス転移温度等のガラスの熱物性や、作製するガラスブランクの直径・厚み、サイドフリープレス方式か否か等を考慮して適宜設定する。たとえば、上型の温度を250〜550℃、下型の温度を350〜650℃とし、上型温度を前記範囲内で下型温度〜[下型温度−100℃]の範囲に設定することができる。プレス時の加圧力については数GPa程度を目安にできるが、特にこの範囲に限定されるものではなく、適宜調整することができる。 The lower mold in which the cast is finished and the softened glass is placed on the press surface is transferred to a press position where the upper mold is waiting, and is pressed by the upper mold and the lower mold. At this time, the temperature of the upper and lower molds, the pressing pressure, and the pressing time take into consideration the thermal properties of the glass such as the glass transition temperature, the diameter and thickness of the glass blank to be produced, and whether or not the side free press method is used. Set as appropriate. For example, the upper mold temperature may be set to 250 to 550 ° C., the lower mold temperature may be set to 350 to 650 ° C., and the upper mold temperature may be set within a range of the lower mold temperature to [lower mold temperature−100 ° C.]. it can. The pressing force during pressing can be about several GPa, but is not particularly limited to this range, and can be adjusted as appropriate.
プレス成形を終えると、成形品上面が上型から離型され、成形品を載置した下型はテイクアウトを行う位置に移送される。なお、プレス位置とテイクアウト位置との間で下型を停留させて、下型上の成形品の上面を押し型で押圧し、成形品の反りを修正してからテイクアウト位置に下型ごとを移送してもよい。成形品はテイクアウト位置に移送されるまでの間にガラス転移温度付近あるいはガラス転移温度より低い温度にまで冷却される。これはテイクアウトの際に加わる力によって、成形品が変形してしまうのを防ぐためである。テイクアウトは成形品の上面を吸着手段で吸着保持して行われる。テイクアウトされた成形品は、大気中で急冷されたのち、除歪するためにアニール炉に入れられてアニールされる。そして、このような一連の工程を経ることで本実施形態のガラスブランクを得ることができる。 When press molding is finished, the upper surface of the molded product is released from the upper mold, and the lower mold on which the molded product is placed is transferred to a take-out position. In addition, the lower mold is stopped between the press position and the take-out position, the upper surface of the molded product on the lower mold is pressed with the pressing mold, the warpage of the molded product is corrected, and each lower mold is transferred to the take-out position. May be. The molded product is cooled to near the glass transition temperature or lower than the glass transition temperature before being transferred to the take-out position. This is to prevent the molded product from being deformed by the force applied during take-out. Take-out is performed by adsorbing and holding the upper surface of the molded product with an adsorption means. The take-out molded product is rapidly cooled in the atmosphere, and then placed in an annealing furnace and annealed for strain removal. And the glass blank of this embodiment can be obtained through such a series of processes.
−ガラス組成−
本実施形態のガラスブランクのガラス組成としては、これを用いて作製される基板や情報記録媒体に応じて適宜選択できるが、たとえば、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ソーダアルミノケイ酸ガラス、アルミノボロシリケートガラス、ボロシリケートガラス、石英ガラス、チェーンシリケートガラスなどを挙げることができる。また、これらのガラスは加熱処理により結晶化する結晶化ガラスであってもよい。
-Glass composition-
The glass composition of the glass blank of the present embodiment can be appropriately selected according to the substrate and information recording medium produced using the glass blank. For example, aluminosilicate glass, soda lime glass, soda aluminosilicate glass, aluminoborosilicate Glass, borosilicate glass, quartz glass, chain silicate glass, and the like can be given. These glasses may be crystallized glass that crystallizes by heat treatment.
なお、アルミノシリケートガラスとしては、SiO2が58質量%以上75質量%以下、Al2O3が5質量%以上23質量%以下、Li2Oが3質量%以上10質量%以下、Na2Oが4質量%以上13質量%以下を主成分として含有するアルミノシリケートガラス(ただし、リン酸化物を含まないアルミノシリケートガラス)を用いてよい。たとえば、SiO2が62質量%以上75質量%以下、Al2O3が5質量%以上15質量%以下、Li2Oが4質量%以上10質量%以下、Na2Oが4質量%以上12質量%以下、ZrO2が5.5質量%以上15質量%以下を主成分として含有するとともに、Na2O/ZrO2の質量比が0.5以上2.0以下、Al2O3/ZrO2の質量比が0.4以上2.5以下であるリン酸化物を含まないアモルファスのアルミノシリケートガラスとしてよい。なお、CaOやMgOといったアルカリ土類金属酸化物を含まないガラスであることが望ましい。このようなガラスとしては、HOYA株式会社製のN5ガラス(商品名)を挙げることができる。 As the aluminosilicate glass, SiO 2 is 58% by mass to 75% by mass, Al 2 O 3 is 5% by mass to 23% by mass, Li 2 O is 3% by mass to 10% by mass, Na 2 O. May be an aluminosilicate glass containing 4 mass% or more and 13 mass% or less as a main component (however, an aluminosilicate glass not containing a phosphorus oxide). For example, SiO 2 is 62% by mass to 75% by mass, Al 2 O 3 is 5% by mass to 15% by mass, Li 2 O is 4% by mass to 10% by mass, and Na 2 O is 4% by mass to 12% by mass. Mass% or less, ZrO 2 contains 5.5 mass% or more and 15 mass% or less as a main component, and the mass ratio of Na 2 O / ZrO 2 is 0.5 or more and 2.0 or less, Al 2 O 3 / ZrO. It is good also as an amorphous aluminosilicate glass which does not contain the phosphorus oxide whose mass ratio of 2 is 0.4-2.5. In addition, it is desirable that the glass does not contain an alkaline earth metal oxide such as CaO or MgO. Examples of such glass include N5 glass (trade name) manufactured by HOYA Corporation.
(情報記録媒体用基板の製造方法)
上述した工程を経て得られたガラスブランクを、その厚肉部を切断して除去する厚肉部除去工程を少なくとも経ることにより、情報記録媒体用基板を作製することができる。なお、厚肉部は、ダイヤモンドカッタを用いて切断することができる。ガラスブランクから厚肉部を除去した後は、通常、端面加工や中心穴の切り出し等の形状加工や両面の研磨加工等の後工程を実施することにより情報記録媒体用基板を得ることができる。なお、より具体的には、たとえば、(1)第1ラッピング工程、(2)切り出し工程(コアリング、フォーミング)、(3)端面研削工程、(4)第2ラッピング工程、(5)端面研磨工程、(6)主表面研磨工程、(7)化学強化工程および冷却工程、(8)精密洗浄工程、をこの順に実施することできる。以下、これら8つの工程についてより具体的に説明する。なお、基板の直径よりも十分大きな直径を有する円盤状ガラスをプレス成形し、スクライビング加工により前記円盤状ガラスから同心円状の円盤状ガラスを取り出し、取り出した円盤状ガラスを上記(1)から(8)に至る工程によって基板にすることもできる。
(Method for manufacturing substrate for information recording medium)
A substrate for an information recording medium can be produced by at least a thick part removing step of cutting and removing the thick part of the glass blank obtained through the above-described steps. The thick part can be cut using a diamond cutter. After removing the thick portion from the glass blank, the information recording medium substrate can be usually obtained by performing post-processing such as shape processing such as end face processing and center hole cutting and double-side polishing processing. More specifically, for example, (1) first lapping step, (2) cutout step (coring, forming), (3) end surface grinding step, (4) second lapping step, and (5) end surface polishing. The step, (6) main surface polishing step, (7) chemical strengthening step and cooling step, and (8) precision cleaning step can be performed in this order. Hereinafter, these eight steps will be described more specifically. The disk-shaped glass having a diameter sufficiently larger than the diameter of the substrate is press-molded, the concentric disk-shaped glass is taken out from the disk-shaped glass by scribing, and the taken-out disk-shaped glass is taken from the above (1) to (8 ) Can be formed into a substrate.
(1)第1ラッピング工程
第1ラッピング工程では、厚肉部を切断された後のガラスブランクの両主表面をラッピング加工することで、ディスク状のガラス素板を得る。このラッピング加工は、遊星歯車機構を利用した両面ラッピング装置により、アルミナ系遊離砥粒を用いて行うことができる。具体的には、ガラス素板の両面に上下からラップ定盤を押圧させ、遊離砥粒を含む研削液をガラス素板の主表面上に供給し、これらを相対的に移動させてラッピング加工を行うことができる。このラッピング加工により、平坦な主表面を有するガラス素板が得られる。
(1) 1st lapping process In a 1st lapping process, a disk-shaped glass base plate is obtained by lapping the both main surfaces of the glass blank after cut | disconnecting a thick part. This lapping process can be performed using alumina free abrasive grains with a double-sided lapping apparatus using a planetary gear mechanism. Specifically, the lapping platen is pressed on both sides of the glass base plate from above and below, and a grinding liquid containing free abrasive grains is supplied onto the main surface of the glass base plate, and these are moved relatively to perform lapping processing. It can be carried out. By this lapping process, a glass base plate having a flat main surface is obtained.
(2)切り出し工程(コアリング、フォーミング)
次に、ダイヤモンドカッタを用いてガラス素板を切断し、このガラス素板から、円盤状のガラス基板を切り出す。次に、円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、このガラス基板の中心部に円孔を形成し、ドーナツ状のガラス基板を得る(コアリング)。
(2) Cutting process (coring, forming)
Next, the glass base plate is cut using a diamond cutter, and a disk-shaped glass substrate is cut out from the glass base plate. Next, using a cylindrical diamond drill, a circular hole is formed in the center of the glass substrate to obtain a donut-shaped glass substrate (coring).
(3)端面研削工程
そして内周端面および外周端面をダイヤモンド砥石によって研削し、所定の面取り加工を施す(フォーミング)。
(3) End surface grinding process And an inner peripheral end surface and an outer peripheral end surface are ground with a diamond grindstone, and a predetermined chamfering process is performed (forming).
(4)第2ラッピング工程
次に、得られたガラス基板の両主表面について、第1ラッピング工程と同様に、第2ラッピング加工を行う。この第2ラッピング工程を行うことにより、前工程である切り出し工程や端面研磨工程において主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることができる。
(4) Second Lapping Step Next, a second lapping process is performed on both main surfaces of the obtained glass substrate in the same manner as in the first lapping step. By performing this second lapping step, it is possible to remove in advance the fine unevenness formed on the main surface in the cutting step and end surface polishing step, which are the previous steps, and shorten the subsequent polishing step on the main surface. Can be completed in time.
(5)端面研磨工程
次に、ガラス基板の端面について、ブラシ研磨方法により、鏡面研磨を行う。このとき、研磨砥粒としては、酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いることができる。この端面研磨工程により、ガラス基板の端面から、パーティクル等の発塵を防止できる。
(5) End surface polishing step Next, the end surface of the glass substrate is mirror-polished by a brush polishing method. At this time, as the abrasive grains, a slurry (free abrasive grains) containing cerium oxide abrasive grains can be used. By this end surface polishing step, generation of particles and the like from the end surface of the glass substrate can be prevented.
(6)主表面研磨工程
主表面研磨工程の前半工程として、まず第1研磨工程を実施する。この第1研磨工程は、前述のラッピング工程において主表面に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とする。この第1研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質樹脂ポリッシャを用いて、主表面の研磨を行う。研磨液としては、たとえば、酸化セリウム砥粒を用いることができる。そして、この第1研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純水、IPA(イソプロピルアルコール)の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄する。
(6) Main surface polishing step As the first half step of the main surface polishing step, a first polishing step is first performed. This first polishing process is mainly intended to remove scratches and distortions remaining on the main surface in the lapping process described above. In the first polishing step, the main surface is polished using a hard resin polisher by a double-side polishing apparatus having a planetary gear mechanism. For example, cerium oxide abrasive grains can be used as the polishing liquid. And the glass substrate which finished this 1st grinding | polishing process is immersed in each washing tank of a neutral detergent, a pure water, and IPA (isopropyl alcohol) sequentially, and is wash | cleaned.
次に、主表面研磨工程の後半工程として、第2研磨工程を実施する。この第2研磨工程は、主表面を鏡面状に仕上げることを目的とする。この第2研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、軟質発泡樹脂ポリッシャを用いて、主表面の鏡面研磨を行う。研磨液としては、第1研磨工程で用いた酸化セリウム砥粒よりも微細な酸化セリウム砥粒を用いることができる。この第2研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純水、IPA(イソプロピルアルコール)の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄する。なお、各洗浄槽には、超音波を印加する。 Next, a second polishing step is performed as the latter half of the main surface polishing step. The purpose of this second polishing step is to finish the main surface into a mirror surface. In the second polishing step, mirror polishing of the main surface is performed using a soft foamed resin polisher by a double-side polishing apparatus having a planetary gear mechanism. As the polishing liquid, cerium oxide abrasive grains finer than the cerium oxide abrasive grains used in the first polishing step can be used. The glass substrate that has finished the second polishing step is sequentially immersed in each cleaning bath of neutral detergent, pure water, and IPA (isopropyl alcohol) to be cleaned. An ultrasonic wave is applied to each cleaning tank.
(7)化学強化工程および冷却工程
情報記録媒体用基板の作製に用いるガラスブランクが、リチウムやナトリウムなどのアルカリ金属を含むガラスからなる場合は、前述のラッピング工程及び研磨工程を終えたガラス基板に、化学強化を施すのが好ましい。化学強化工程を行うことにより、情報記録媒体用基板の表層部に高い圧縮応力を生じさせることができる。このため、情報記録媒体用基板の表面の耐衝撃性を向上させることができる。このような化学強化処理は、情報を記録再生するヘッドが、機械的に情報記録媒体表面に接触する可能性のある磁気記録媒体を作製する上で非常に好適である。
(7) Chemical strengthening step and cooling step When the glass blank used for the production of the information recording medium substrate is made of glass containing an alkali metal such as lithium or sodium, the glass substrate that has been subjected to the lapping step and polishing step described above is used. It is preferable to apply chemical strengthening. By performing the chemical strengthening step, a high compressive stress can be generated in the surface layer portion of the information recording medium substrate. For this reason, the impact resistance of the surface of the information recording medium substrate can be improved. Such chemical strengthening treatment is very suitable for producing a magnetic recording medium in which a head for recording / reproducing information may mechanically come into contact with the surface of the information recording medium.
化学強化は、硝酸カリウムと硝酸ナトリウムを混合した化学強化溶液を準備し、この化学強化溶液を加熱しておくとともに、洗浄済みのガラス基板を予熱し、化学強化溶液中に浸漬することによって行う。このように、化学強化溶液に浸漬処理することによって、ガラス基板の表層のリチウムイオン及びナトリウムイオンが、化学強化溶液中のナトリウムイオン及びカリウムイオンにそれぞれ置換され、ガラス基板が強化される。 The chemical strengthening is performed by preparing a chemical strengthening solution in which potassium nitrate and sodium nitrate are mixed, heating the chemical strengthening solution, preheating the cleaned glass substrate, and immersing it in the chemical strengthening solution. Thus, by immersing in a chemical strengthening solution, the lithium ion and sodium ion of the surface layer of a glass substrate are each substituted by the sodium ion and potassium ion in a chemical strengthening solution, and a glass substrate is strengthened.
続いて、化学強化工程を終えたガラス基板を、水槽に浸漬して冷却し、しばらくの間維持する。そして、冷却を終えたガラス基板を、加熱した濃硫酸に浸漬して洗浄を行う。さらに、硫酸洗浄を終えたガラス基板を、純水、IPA(イソプロピルアルコール)の各洗浄槽に順次浸漬して洗浄する。なお、各洗浄槽には超音波を印加する。 Then, the glass substrate which finished the chemical strengthening process is immersed in a water bath, cooled, and maintained for a while. Then, the cooled glass substrate is cleaned by immersing it in heated concentrated sulfuric acid. Further, the glass substrate after the sulfuric acid cleaning is cleaned by immersing in a cleaning bath of pure water and IPA (isopropyl alcohol) sequentially. In addition, an ultrasonic wave is applied to each washing tank.
(8)精密洗浄工程
次に、研磨剤残渣や外来の鉄系コンタミなどを除去し、ガラス基板の表面をより平滑かつ清浄にするために、精密洗浄工程を実施するのが好ましい。このような精密洗浄工程の実施は、情報を記録再生するヘッドが、機械的に情報記録媒体表面に接触する可能性のある磁気記録媒体を作製する上で非常に好適である。精密洗浄の実施によりヘッドクラッシュやサーマルアスペリティの発生を抑制できるためである。なお、精密洗浄工程としては、アルカリ性水溶液による洗浄の後に、水リンス洗浄、IPA洗浄工程を行うのが好ましい。
(8) Precision cleaning step Next, it is preferable to carry out a precision cleaning step in order to remove abrasive residues and foreign iron-based contaminants, and to make the surface of the glass substrate smoother and cleaner. Such a precision cleaning process is very suitable for producing a magnetic recording medium in which a head for recording / reproducing information may mechanically contact the surface of the information recording medium. This is because the occurrence of head crashes and thermal asperities can be suppressed by carrying out precision cleaning. In addition, as a precision washing | cleaning process, it is preferable to perform a water rinse washing | cleaning and an IPA washing | cleaning process after washing | cleaning by alkaline aqueous solution.
これらの一連の工程を経て作製された情報記録媒体の表面粗さは、Raでサブナノメーターのオーダーとすることができる。なお、表面粗さは、主表面研磨条件や洗浄条件を選択することにより適宜調整することができる。なお、以上、8つの工程を経て得られた情報記録媒体用基板は、公知の磁気記録、光記録、光磁気記録等の公知の各種記録方式を採用した情報記録媒体の作製に用いることができるが、特に磁気記録媒体の作製に用いることが好適である。また、磁気記録媒体用基板ほどに、情報記録媒体用基板表面の清浄性、平滑性、耐衝撃性が要求されない用途の情報記録媒体用基板の場合は、必要に応じて上記8つの工程の一部を実施しなくてもよいし、また、各工程をより簡略化したり、よりラフな条件で実施してもよい。 The surface roughness of the information recording medium produced through these series of steps can be on the order of sub-nanometers with Ra. The surface roughness can be appropriately adjusted by selecting main surface polishing conditions and cleaning conditions. The information recording medium substrate obtained through the above-described eight steps can be used for production of an information recording medium employing various known recording methods such as known magnetic recording, optical recording, and magneto-optical recording. However, it is particularly suitable for use in producing a magnetic recording medium. Further, in the case of an information recording medium substrate that is not required to have cleanness, smoothness, and impact resistance on the surface of the information recording medium substrate as much as the magnetic recording medium substrate, one of the above eight steps is performed as necessary. The steps may not be performed, and each process may be simplified or performed under rougher conditions.
(情報記録媒体の製造方法)
このようにして得られた情報記録媒体用基板の少なくとも片面に、情報記録層を形成する情報記録層形成工程を少なくとも経ることで、情報記録媒体を製造することができる。なお、磁気記録媒体を作製する場合は、情報記録層として磁気記録層が設けられる。この磁気記録媒体は、水平磁気記録方式および垂直磁気記録方式のいずれであってもよいが、垂直磁気記録方式であることが好ましい。垂直磁気記録方式の磁気記録媒体を作製する場合は、たとえば、情報記録媒体用基板の両面に、Cr合金からなる付着層、FeCoCrB合金からなる軟磁性層、Ruからなる下地層、CoCrPt−TiO2合金からなる垂直磁気記録層、水素化炭素からなる保護層、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑層を、この順に順次成膜する。なお、付着層、軟磁性層、下地層、垂直磁気記録層は、スパッタリング法により成膜することができ、保護層は、スパッタリング法やCVD法(Chemical Vapor Deposition法)により成膜することができ、潤滑層は浸漬塗布法により成膜することができる。また、付着層から保護層までの成膜は、各層の連続成膜が可能なインライン型または枚葉型のスパッタリング装置を用いることができ、潤滑層の成膜は浸漬塗布装置を用いることができる。
(Method of manufacturing information recording medium)
The information recording medium can be manufactured by performing at least an information recording layer forming step of forming an information recording layer on at least one surface of the information recording medium substrate thus obtained. When a magnetic recording medium is manufactured, a magnetic recording layer is provided as an information recording layer. The magnetic recording medium may be either a horizontal magnetic recording system or a perpendicular magnetic recording system, but is preferably a perpendicular magnetic recording system. When a perpendicular magnetic recording type magnetic recording medium is manufactured, for example, an adhesion layer made of Cr alloy, a soft magnetic layer made of FeCoCrB alloy, an underlayer made of Ru, and CoCrPt—TiO 2 on both surfaces of an information recording medium substrate. A perpendicular magnetic recording layer made of an alloy, a protective layer made of hydrogenated carbon, and a lubricating layer made of perfluoropolyether are sequentially formed in this order. The adhesion layer, the soft magnetic layer, the underlayer, and the perpendicular magnetic recording layer can be formed by a sputtering method, and the protective layer can be formed by a sputtering method or a CVD method (Chemical Vapor Deposition method). The lubricating layer can be formed by a dip coating method. Further, in-line type or single-wafer type sputtering apparatus capable of continuous film formation of each layer can be used for film formation from the adhesion layer to the protective layer, and immersion coating apparatus can be used for film formation of the lubricating layer. .
以下に、本発明を実施例を挙げてより詳細に説明するが、本発明は以下の実施例にのみ限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
(実施例1)
アルミノシリケートガラスを溶融した溶融ガラスを、下型のプレス面上に供給した後、上型と下型とによりサイドフリー方式でプレスすることにより断面形状が図1に示す形状を有するガラスブランク(薄肉部厚み:0.85mm、薄肉部直径:68mm、厚肉部幅 4mm、厚肉部厚み:1.8mm)を1000枚作製した。なお、このガラスブランクの作製に際しては、下型として、プレス面の外縁部が、中央部に対して凹を成す下型を用いた。ガラスブランクを作製する際の主要な製造条件は以下の通りである。
・ガラス転移温度Tg:485℃
・ガラスの平均線膨張係数:95×10−7/K(100〜300℃)、98×10−7/K(300〜Tg℃)、37×10−6/K(Tg〜530℃)、
・溶融ガラスを下型のプレス面上に供給する際のプレス面の温度:450℃
・プレス時の上型プレス面の温度:360℃
・下型上に投入される溶融ガラスの粘度:40Pa・s
・プレス時間(ガラスに圧力を加える時間):0.8秒
・上型および下型のプレス面を構成する材料:鋳鉄
・下型からガラスブランクをテイクアウトする際のガラスブランクの平均温度:510℃
Example 1
A glass blank having a cross-sectional shape shown in FIG. 1 is obtained by supplying a molten glass obtained by melting an aluminosilicate glass onto a pressing surface of a lower die and then pressing the upper die and the lower die in a side-free manner. 1000 pieces of part thickness: 0.85 mm, thin part diameter: 68 mm, thick part width 4 mm, thick part thickness: 1.8 mm) were produced. In the production of this glass blank, a lower mold in which the outer edge portion of the press surface is concave with respect to the central portion was used as the lower mold. The main production conditions for producing a glass blank are as follows.
Glass transition temperature Tg: 485 ° C
-Average linear expansion coefficient of glass: 95 × 10 −7 / K (100 to 300 ° C.), 98 × 10 −7 / K (300 to Tg ° C.), 37 × 10 −6 / K (Tg to 530 ° C.),
・ Pressing surface temperature when supplying molten glass onto the pressing surface of the lower mold: 450 ° C.
・ Temperature of the upper press surface during pressing: 360 ° C
・ Viscosity of molten glass put on the lower mold: 40 Pa · s
・ Pressing time (time for applying pressure to glass): 0.8 seconds ・ Material constituting upper and lower mold pressing surfaces: cast iron ・ Average temperature of glass blank when taking out glass blank from lower mold: 510 ° C.
(比較例1)
下型として、プレス面全面が平坦な下型を用い、プレス時の圧力を実施例1のガラスブランクの薄肉部と同じ厚みのガラスブランクが得られるように調整した以外は、実施例1と同様にしてガラスブランクを1000枚作製した。なお、得られたガラスブランクは、実施例1で作製したガラスブランクに対して厚肉部が無く、かつ、外径が一回り大きいという形状面での違いを除けば、その体積は略同一である。
(Comparative Example 1)
As the lower mold, a lower mold whose entire pressing surface is flat is used, and the pressure during pressing is the same as in Example 1 except that the glass blank having the same thickness as the thin part of the glass blank of Example 1 is adjusted. Thus, 1000 glass blanks were produced. The obtained glass blank has substantially the same volume except for the difference in shape with respect to the glass blank produced in Example 1 that does not have a thick part and has a larger outer diameter. is there.
<評価>
実施例1および比較例1において、各々1000枚のガラスブランクを作製した際の割れ発生枚数を評価した結果を表1に示す。また、これらの結果と共に、実施例1においてプレスする際のプレス推力を100とした際の比較例1における相対的なプレス推力も示す。また、ガラスブランクの作製に際しては、貼り付きの有無についても確認した。その結果、1000枚の成形に際して、実施例1では貼り付きは発生しなかったが、比較例1では途中で貼り付きが発生し、成形を継続することができなくなり、数度の成形中断を経てサンプル1000枚を採取した
<Evaluation>
In Example 1 and Comparative Example 1, Table 1 shows the results of evaluating the number of cracks generated when 1000 glass blanks were produced. Moreover, the relative press thrust in the comparative example 1 when the press thrust at the time of pressing in Example 1 is set to 100 is shown with these results. Moreover, in the production of the glass blank, the presence or absence of sticking was also confirmed. As a result, when forming 1000 sheets, sticking did not occur in Example 1, but sticking occurred in the middle of Comparative Example 1, making it impossible to continue forming, and after several interruptions in forming. 1000 samples were collected
1 ガラスブランク
10 薄肉部
12 厚肉部
14 平面部分
16 境界部分
18 最頂部
20 傾斜面
30 成形型
32 プレス面
32A 外縁部
32B 中央部
34 段差部分
40 上型
42 下型
44 胴型
50 軟化状態のガラス塊
DESCRIPTION OF
Claims (10)
該薄肉部の周縁部に沿って設けられた厚肉部と、
を有し、
情報記録媒体用基板に加工する際に、上記厚肉部が除去されることを特徴とするガラスブランク。 A thin disk-shaped part,
A thick part provided along the peripheral edge of the thin part;
Have
The glass blank, wherein the thick portion is removed when processing into an information recording medium substrate.
前記薄肉部の厚みが、0.5mm以上0.9mm未満であることを特徴とするガラスブランク。 The glass blank according to claim 1,
The glass blank, wherein the thin portion has a thickness of 0.5 mm or more and less than 0.9 mm.
前記薄肉部の直径が、66.0mm以上72.0mm以下の範囲内、48.0mm以上53.0mm以下の範囲内、27.6mm以上33.0mm以下の範囲内、および、21.8mm以上26.0mm以下の範囲内から選択されるいずれか1つの範囲内の値を取り得ることを特徴とするガラスブランク。 In the glass blank of Claim 1 or 2,
The diameter of the thin portion is in the range of 66.0 mm to 72.0 mm, in the range of 48.0 mm to 53.0 mm, in the range of 27.6 mm to 33.0 mm, and 21.8 mm to 26 A glass blank characterized by being able to take a value in any one range selected from within a range of 0.0 mm or less.
少なくともいずれか一方の面において、前記薄肉部と前記厚肉部とが面一に形成されていることを特徴とするガラスブランク。 In the glass blank as described in any one of Claims 1-3,
The glass blank, wherein the thin portion and the thick portion are formed flush with each other on at least one of the surfaces.
前記薄肉部と前記厚肉部とが段差を成すように形成された側の面において、前記薄肉部の平面部分から前記厚肉部の最頂部へと続く傾斜面が、前記平面部分と連続する面を成す曲面を有することを特徴とするガラスブランク。 In the glass blank as described in any one of Claims 1-4,
In the surface on the side where the thin-walled portion and the thick-walled portion are formed to form a step, an inclined surface that continues from the flat surface portion of the thin-walled portion to the topmost portion of the thick-walled portion is continuous with the flat-surface portion. A glass blank having a curved surface.
軟化状態のガラスを下型の上に供給した後、上型と上記下型との間で上記軟化状態のガラスを上記外縁部にまで到達するようにプレス成形するプレス工程を少なくとも経て請求項1〜5のいずれか1つに記載のガラスブランクを作製することを特徴とするガラスブランクの製造方法。 As the at least one of the upper mold and the lower mold, a press surface having a circular center portion and an outer edge portion provided on a peripheral side of the center portion, which is in contact with the softened glass at the time of press molding, is provided. Use a mold whose part is concave with respect to the central part,
2. After supplying the softened glass onto the lower mold, at least through a pressing step of press-molding the softened glass so as to reach the outer edge portion between the upper mold and the lower mold. The manufacturing method of the glass blank characterized by producing the glass blank as described in any one of -5.
軟化状態のガラスを下型の上に供給した後、上型と上記下型との間で上記軟化状態のガラスを上記外縁部にまで到達するようにプレス成形するプレス工程を少なくとも経てガラスブランクを作製することを特徴とするガラスブランクの製造方法。 As the at least one of the upper mold and the lower mold, a press surface having a circular center portion and an outer edge portion provided on a peripheral side of the center portion, which is in contact with the softened glass at the time of press molding, is provided. The portion is concave with respect to the central portion, and the diameter of the central portion is in the range of 66.0 mm to 72.0 mm, in the range of 48.0 mm to 53.0 mm, and in the range of 27.6 mm to 33.0 mm. Using a mold having a value in any one range selected from the following range and a range of 21.8 mm or more and 26.0 mm or less,
After supplying the softened glass onto the lower mold, the glass blank is passed through at least a pressing step of press-molding the softened glass so as to reach the outer edge portion between the upper mold and the lower mold. A method for producing a glass blank, which is characterized by being produced.
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