JP2010180115A

JP2010180115A - Method for manufacturing glass substrate, method of manufacturing glass substrate for information recording medium, and method for manufacturing information recording medium

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Publication number: JP2010180115A
Application number: JP2009027171A
Authority: JP
Inventors: Takehiro Toda; 武弘戸田
Original assignee: Konica Minolta Opto Inc
Current assignee: Konica Minolta Opto Inc
Priority date: 2009-02-09
Filing date: 2009-02-09
Publication date: 2010-08-19
Anticipated expiration: 2029-02-09
Also published as: JP5316044B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a glass substrate having a circularity and a parallelism of the glass substrate after press molding. <P>SOLUTION: The method of manufacturing the glass substrate has a supplying process of supplying a glob of molten glass onto a molding face of a lower molding die so that a center point of a circle plane formed by contacting the globe of molten glass to the molding face of the lower molding die is shifted apart by a predetermined distance from a point obtained by projecting in the vertical direction a top point of the glob of the molten glass on the molding face of the lower molding die. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、ガラス基板の製造方法、情報記録媒体用ガラス基板の製造方法及び情報記録媒体の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a glass substrate, a method for manufacturing a glass substrate for an information recording medium, and a method for manufacturing an information recording medium.

磁気、光、光磁気等の性質を利用した記録層を有する情報記録媒体のなかで、代表的なものとして磁気ディスクがある。磁気ディスク用基板として、従来アルミニウム基板が広く用いられていた。しかし、近年、記録密度向上のための磁気ヘッド浮上量の低減の要請に伴い、アルミニウム基板よりも表面の平滑性に優れ、しかも表面欠陥が少ないことから磁気ヘッド浮上量の低減を図ることができるガラス基板を磁気ディスク用基板として用いる割合が増えてきている。 Among information recording media having a recording layer utilizing properties such as magnetism, light, and magnetomagnetism, a typical example is a magnetic disk. Conventionally, aluminum substrates have been widely used as magnetic disk substrates. However, in recent years, with the demand for a reduction in the flying height of the magnetic head for improving the recording density, the surface smoothness is superior to that of an aluminum substrate and the surface defects are few, so that the flying height of the magnetic head can be reduced. An increasing proportion of glass substrates are used as magnetic disk substrates.

このような磁気ディスク等の情報記録媒体用ガラス基板は、ブランク材と呼ばれるガラス基板に研磨加工等を施すことによって製造される。このガラス基板は、プレス成型によって製造する方法や、フロート法等によって作製された板ガラスを切断して製造する方法等が知られている。これらの方法うち、溶融ガラスを直接プレス成型することによってガラス基板を製造する方法は、特に高い生産性が期待できることから注目されている。 Such a glass substrate for an information recording medium such as a magnetic disk is manufactured by subjecting a glass substrate called a blank material to polishing. As the glass substrate, there are known a method of manufacturing by press molding, a method of manufacturing by cutting a plate glass manufactured by a float method or the like. Among these methods, a method of producing a glass substrate by directly press-molding molten glass is attracting attention because it can be expected to have particularly high productivity.

プレス成型によってガラス基板を製造する方法においては、溶融ガラスをプレス型に供給する必要がある。プレス成型によりガラス基板を成型する工程の例を図７〜図１０に模式的に示す。図７は、１個の上型と８個の下型で構成されるプレス成型機の説明図（下型側）である。８個の下型２４がセットされた回転テーブル２０は、矢印のように回転する。各下型２４は位置Ａにおいて、溶融ガラスの塊（溶融ガラス塊ともいう）が供給され、位置Ｂにおいてプレス成型され（位置Ｂの上には１個の上型がある。）、位置Ｅにおいて成型したガラス基板が取り出される。 In a method for producing a glass substrate by press molding, it is necessary to supply molten glass to a press die. Examples of steps for molding a glass substrate by press molding are schematically shown in FIGS. FIG. 7 is an explanatory view (a lower mold side) of a press molding machine including one upper mold and eight lower molds. The turntable 20 on which the eight lower molds 24 are set rotates as indicated by an arrow. Each lower mold 24 is supplied with a molten glass lump (also referred to as a molten glass lump) at position A, press-molded at position B (there is one upper mold above position B), and at position E. The molded glass substrate is taken out.

図８は、位置Ａにいて溶融ガラス塊を下型に供給している状態を示している。ノズル２から溶融ガラスを流出して下型２４に溶融ガラス塊２８供給する。図９は、溶融ガラス塊２８が所定量に達した後、一対のブレード２３で切断する様子を示している。一対ブレード２３を交差させることによって溶融ガラスを切断し、溶融ガラス塊２８を分離する。図１０は、切断された溶融ガラス塊２８を上型２５の成型面２７でプレスする様子を示している。溶融ガラス塊２８が供給された下型２４は、上型２５と対向する位置Ｂまで水平移動し、下型２４の成型面２６と上型２５の成型面２７とで溶融ガラス塊２８を加圧する。溶融ガラス塊２８は、成型面２６及び成型面２７との接触面から放熱することによって、冷却・固化し、ガラス基板２９となり、下型を位置Ｅまで移動させた後取り出される。 FIG. 8 shows a state where the molten glass lump is being supplied to the lower mold at the position A. The molten glass flows out from the nozzle 2 and is supplied to the lower mold 24. FIG. 9 shows a state in which the molten glass block 28 is cut by a pair of blades 23 after reaching a predetermined amount. The molten glass is cut by crossing the pair of blades 23 to separate the molten glass lump 28. FIG. 10 shows a state where the cut molten glass block 28 is pressed by the molding surface 27 of the upper mold 25. The lower mold 24 supplied with the molten glass lump 28 moves horizontally to a position B facing the upper mold 25, and presses the molten glass lump 28 with the molding surface 26 of the lower mold 24 and the molding surface 27 of the upper mold 25. . The molten glass block 28 is cooled and solidified by radiating heat from the contact surface with the molding surface 26 and the molding surface 27, becomes a glass substrate 29, and is taken out after moving the lower mold to the position E.

このように成型されたガラス基板は、所定の厚みと平坦度の高い表面を得るために研磨が行われる。この表面の研磨量を少なくすることが、ガラス基板の生産性を向上させるために重要である（特許文献１参照。）。 The glass substrate thus molded is polished in order to obtain a surface having a predetermined thickness and high flatness. It is important to reduce the polishing amount of the surface in order to improve the productivity of the glass substrate (see Patent Document 1).

特開平１０−１６７７３２号公報JP-A-10-167732

しかしながら、特許文献１の方法を用いても、プレス成型後のガラス基板の真円度、及び両表面の平行度が悪く、その後の研磨工程での削り代を少なくすることができなかった。供給された下型上の溶融ガラスの冷却が急速に進むため、特にブランク材の板厚の薄いものを作ろうとすると、プレスするまでの時間を短くする必要がある。そのため、下型に溶融ガラスを供給する位置から、プレスする位置までの移動速度を速くすると、真円度、平行度がより悪くなるという問題が生じた。 However, even when the method of Patent Document 1 is used, the roundness of the glass substrate after press molding and the parallelism of both surfaces are poor, and it is impossible to reduce the machining allowance in the subsequent polishing process. Since cooling of the molten glass on the supplied lower mold proceeds rapidly, it is necessary to shorten the time until pressing, particularly when making a blank with a thin plate thickness. Therefore, when the moving speed from the position where the molten glass is supplied to the lower mold to the pressing position is increased, there arises a problem that the roundness and the parallelism become worse.

よって、本発明の目的は、ブランク材の板厚の薄いものを製造する場合においても、プレス成型後のガラス基板の真円度、及び両表面の平行度の高いガラス基板の製造方法、該ガラス基板を用い研磨工程での削り代を少なくした生産性の高い情報記録媒体用ガラス基板の製造方法及び情報記録媒体の製造方法を提供することである。 Therefore, the object of the present invention is to produce a glass substrate having a high roundness of the glass substrate after press molding and a high degree of parallelism of both surfaces, even when producing a blank having a thin plate thickness. An object of the present invention is to provide a method for producing a glass substrate for an information recording medium with high productivity and a method for producing an information recording medium, wherein the substrate is used and the amount of machining in the polishing step is reduced.

上記の課題は、以下の構成により解決される。 Said subject is solved by the following structures.

１．ノズルの流出口から流出する溶融ガラスを切断して、第１の位置に配置された下型の成型面に供給する供給工程と、
前記第１の位置から、上型と対向する第２の位置に前記下型を移動させる移動工程と、
前記第２の位置で、前記下型に供給された溶融ガラスの塊を上型でプレスするプレス工程とを有するガラス基板の製造方法において、
前記供給工程は、
前記溶融ガラスの塊が前記下型の成型面と接する円形面の中心点と、
前記溶融ガラスの塊の頂部を前記下型の成型面に鉛直方向に投影した点とが、
所定の距離だけずれるように、前記溶融ガラスの塊を前記下型の成型面に供給することを特徴とするガラス基板の製造方法。 1. Cutting the molten glass flowing out from the outlet of the nozzle and supplying it to the molding surface of the lower mold disposed at the first position;
A moving step of moving the lower mold from the first position to a second position facing the upper mold;
In the method for producing a glass substrate, the method further comprising: pressing the molten glass lump supplied to the lower mold with the upper mold at the second position.
The supply step includes
A center point of a circular surface where the lump of molten glass is in contact with the molding surface of the lower mold;
The point of projecting the top of the molten glass lump vertically onto the molding surface of the lower mold,
A method for producing a glass substrate, comprising supplying the lump of molten glass to the molding surface of the lower mold so as to be shifted by a predetermined distance.

２．前記供給工程は、
前記下型の成型面の上の前記溶融ガラスの塊の頂部を通り、前記下型の成型面に垂直で、前記第１の位置から前記第２の位置に移動を始める方向に平行な平面で、前記溶融ガラスの塊を切断したときの断面形状の前記下型の成型面と接する辺の中点と、
前記頂部を前記下型の成型面に鉛直方向に投影した点とが、
所定の距離だけずれるように、前記溶融ガラスを前記下型の成型面に供給することを特徴とする前記１に記載のガラス基板の製造方法。 2. The supply step includes
A plane that passes through the top of the mass of molten glass above the molding surface of the lower mold, is perpendicular to the molding surface of the lower mold, and is parallel to the direction in which movement starts from the first position to the second position. , The midpoint of the side in contact with the molding surface of the lower mold of the cross-sectional shape when cutting the molten glass lump,
A point in which the top portion is vertically projected on the molding surface of the lower mold,
2. The method for producing a glass substrate according to 1, wherein the molten glass is supplied to the molding surface of the lower mold so as to be shifted by a predetermined distance.

３．前記移動工程は、
前記下型が回転テーブル上に配置され、
前記回転テーブルが回転することにより、前記下型が前記第１の位置から前記第２の位置に移動する工程であって、
前記供給工程は、
前記下型の成型面の上の前記溶融ガラスの塊の頂部と前記回転テーブルの回転中心を通り、前記下型の成型面に垂直な平面で、前記溶融ガラスの塊を切断したときの断面形状の前記下型の成型面と接する辺の中点より、
前記頂部を前記下型の成型面に鉛直方向に投影した点の方が、
前記回転中心に所定の距離だけ近くなるように、前記溶融ガラスを前記下型の成型面に供給することを特徴とする前記１又は２に記載のガラス基板の製造方法。 3. The moving step includes
The lower mold is disposed on a rotary table;
The lower table moves from the first position to the second position by rotating the rotary table,
The supply step includes
A cross-sectional shape when cutting the molten glass lump on a plane perpendicular to the molding surface of the lower mold, passing through the top of the molten glass lump on the molding surface of the lower mold and the rotation center of the rotary table From the midpoint of the side in contact with the molding surface of the lower mold
The point where the top portion is projected in the vertical direction on the molding surface of the lower mold,
3. The method for producing a glass substrate according to 1 or 2, wherein the molten glass is supplied to the molding surface of the lower mold so as to be close to the rotation center by a predetermined distance.

４．前記供給工程における前記溶融ガラスの切断は、
一対のブレードの刃先が交差して前記溶融ガラスを切断して行うものであり、
前記一対のブレードの刃先が交差する位置が、前記流出口の中心の鉛直線から所定量ずれた位置であることを特徴とする前記１から３の何れか１項に記載のガラス基板の製造方法。 4). Cutting the molten glass in the supplying step is
A cutting edge of a pair of blades intersects to cut the molten glass,
4. The method of manufacturing a glass substrate according to any one of claims 1 to 3, wherein a position where the cutting edges of the pair of blades intersect is a position shifted by a predetermined amount from a vertical line at the center of the outlet. .

５．前記供給工程における前記溶融ガラスの切断は、
一対のブレードの刃先が交差して前記溶融ガラスを切断して行うものであり、
前記一対のブレードの刃先の移動する平面が、水平面から所定の角度傾斜していることを特徴とする前記１から３の何れか１項に記載のガラス基板の製造方法。 5). Cutting the molten glass in the supplying step is
A cutting edge of a pair of blades intersects to cut the molten glass,
4. The method for manufacturing a glass substrate according to any one of 1 to 3, wherein a plane on which the blade tips of the pair of blades move is inclined at a predetermined angle from a horizontal plane.

６．前記供給工程は、前記ノズルから流出する溶融ガラスにガスを吹き付けることを特徴とする前記１から３の何れか１項に記載のガラス基板の製造方法。 6). 4. The method for manufacturing a glass substrate according to claim 1, wherein in the supplying step, gas is blown onto the molten glass flowing out of the nozzle.

７．前記１から６の何れか１項に記載のガラス基板の製造方法により製造されたガラス基板を研磨する工程を有することを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。 7). 7. A method for producing a glass substrate for an information recording medium, comprising a step of polishing a glass substrate produced by the method for producing a glass substrate according to any one of 1 to 6 above.

８．前記７に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法により製造された情報記録媒体用ガラス基板に記録層を形成する工程を有することを特徴とする情報記録媒体の製造方法。 8). 8. A method for producing an information recording medium, comprising a step of forming a recording layer on the glass substrate for information recording medium produced by the method for producing a glass substrate for information recording medium described in 7 above.

本発明のガラス基板の製造方法によれば、供給工程において、溶融ガラスの塊が下型の成型面と接する円形面の中心点と、溶融ガラスの塊の頂部を下型の成型面に鉛直方向に投影した点とが、所定の距離だけずれるように、溶融ガラスの塊を下型の成型面に供給することで、プレス工程において上型でプレスする際に頂部が溶融ガラスの塊の中央部に来るように調整することができ、よって、成型後のガラス基板の真円度、及び両表面の平行度の高いガラス基板を製造することができる。また、このガラス基板を用いた情報記録媒体用ガラス基板の製造方法において、ガラス基板表面の削り代を少なくすることができ、生産性を高めることができる。 According to the glass substrate manufacturing method of the present invention, in the supplying step, the center point of the circular surface where the molten glass lump contacts the molding surface of the lower mold, and the top of the molten glass lump is perpendicular to the molding surface of the lower mold. The molten glass lump is supplied to the molding surface of the lower mold so that the projected point is shifted by a predetermined distance, so that when the upper mold is pressed in the pressing process, the top portion is the center of the molten glass lump. Therefore, it is possible to manufacture a glass substrate having high roundness of the glass substrate after molding and high parallelism of both surfaces. Moreover, in the manufacturing method of the glass substrate for information recording media using this glass substrate, the cutting allowance of the glass substrate surface can be reduced and productivity can be improved.

溶融ガラスをプレス成型のための下型に供給する溶融ガラス供給装置の構成の例を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the example of the structure of the molten glass supply apparatus which supplies a molten glass to the lower mold | type for press molding. 本発明の第１の実施形態に係る下型に溶融ガラスを供給する供給工程を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the supply process which supplies a molten glass to the lower mold | type which concerns on the 1st Embodiment of this invention. プレスする位置での下型上の溶融ガラス塊の形状の変化を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the change of the shape of the molten glass lump on the lower mold | type in the position to press. 本発明の第２の実施形態に係る下型に溶融ガラスを供給する供給工程を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the supply process which supplies a molten glass to the lower mold | type which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施形態に係る下型に溶融ガラスを供給する際の供給工程を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the supply process at the time of supplying molten glass to the lower mold | type which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４の実施形態に係る下型に溶融ガラスを供給する際の供給工程を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the supply process at the time of supplying molten glass to the lower mold | type which concerns on the 4th Embodiment of this invention. 回転テーブルを用いたプレス成型機を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the press molding machine using a rotary table. 従来の溶融ガラス供給装置を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the conventional molten glass supply apparatus. 従来の溶融ガラス供給装置における溶融ガラスの切断を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the cutting | disconnection of the molten glass in the conventional molten glass supply apparatus. 下型と上型とにより、下型上の溶融ガラス塊をプレスする様子を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows a mode that the molten glass lump on a lower mold | type is pressed with a lower mold | type and an upper mold | type. 情報記録媒体用ガラス基板の１例を示す図である。It is a figure which shows one example of the glass substrate for information recording media.

本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限らない。以下、本発明に係わる実施の形態を、添付図面を参照して、具体的に説明する。 Although the present invention will be described based on the illustrated embodiment, the present invention is not limited to the embodiment. Embodiments according to the present invention will be specifically described below with reference to the accompanying drawings.

本発明の実施形態で用いたガラス基板を製造するプレス成型機としては、図７に示すように複数の下型２４がセットされた回転テーブル２０を有し、矢印のように回転移動して、溶融ガラスを下型に供給する第１の位置としての位置Ａと、下型に供給された溶融ガラスを上型でプレスする第２の位置としての位置Ｂとを有する。このような成形機でガラス基板を成型する場合、位置Ａから位置Ｂまで下型を移動させる間で、下型上の溶融ガラス塊は急速に冷却する。そのため、できるだけ早く移動させて、プレスする必要がある。特にブランク材の板厚の薄いものを作ろうとすると、溶融ガラス塊の質量が小さく、温度低下が急激に起こるため、供給からプレスするまでの時間を短くする必要がある。しかし、位置Ａから位置Ｂまでの時間を短くするため、回転テーブル２０の回転速度を上げると、下型上の溶融ガラス塊に慣性力と遠心力が働き、下型上の溶融ガラス塊の頂部が移動して、位置Ｂでは、位置Ａで下型上に供給された溶融ガラス塊の形状が変形した状態でプレスされることになる。従来のように、位置Ａでの供給工程において、溶融ガラス塊が下型の成型面と接している円形の面の中心点と、溶融ガラス塊の頂部を下型の成型面に鉛直方向に投影した点とが、一致するように供給すると、位置Ｂに移動した場合、溶融ガラス塊の形状が変形してプレスすることになり、成型後のガラス基板の真円度、及び両表面の平行度の高いガラス基板を得ることができなかった。 As a press molding machine for manufacturing the glass substrate used in the embodiment of the present invention, it has a rotary table 20 in which a plurality of lower molds 24 are set as shown in FIG. It has a position A as a first position for supplying molten glass to the lower mold and a position B as a second position for pressing the molten glass supplied to the lower mold with the upper mold. When a glass substrate is molded by such a molding machine, the molten glass lump on the lower mold is rapidly cooled while the lower mold is moved from position A to position B. Therefore, it is necessary to move and press as soon as possible. In particular, when trying to make a blank with a thin plate thickness, the mass of the molten glass lump is small and the temperature drops rapidly, so it is necessary to shorten the time from supply to pressing. However, when the rotation speed of the turntable 20 is increased in order to shorten the time from the position A to the position B, inertial force and centrifugal force act on the molten glass lump on the lower mold, and the top of the molten glass lump on the lower mold. Is moved, and at position B, the molten glass lump supplied onto the lower mold at position A is pressed in a deformed state. As in the past, in the supplying process at position A, the center point of the circular surface where the molten glass lump is in contact with the molding surface of the lower mold and the top of the molten glass lump are projected vertically onto the molding surface of the lower mold. If it moves to position B, the shape of the molten glass lump is deformed and pressed, and the roundness of the glass substrate after molding and the parallelism of both surfaces are supplied. High glass substrate could not be obtained.

よって、本発明のガラス基板の製造方法においては、溶融ガラス塊を下型に供給する供給工程において、予め、位置Ａから位置Ｂに移動する際に、下型上の溶融ガラス塊の頂部が移動して、形状が変形することを考慮に入れ、溶融ガラスの塊が下型の成型面と接する円形面の中心点と、溶融ガラスの塊の頂部を下型の成型面に鉛直方向に投影した点とが、所定の距離だけずれるように、溶融ガラスの塊を下型の成型面に供給する。このようにすることで、位置Ｂでプレスする際に、溶融ガラス塊の頂部が、溶融ガラス塊が下型の成型面と接している円形の面の中心点と一致して、成型後のガラス基板の真円度、及び両表面の平行度の高いガラス基板を得ることができる。 Therefore, in the manufacturing method of the glass substrate of the present invention, when the molten glass lump is moved from position A to position B in advance in the supply step of supplying the molten glass lump to the lower mold, the top of the molten glass lump on the lower mold moves. Then, taking into account the deformation of the shape, the center point of the circular surface where the molten glass lump contacts the molding surface of the lower mold and the top of the molten glass lump was projected onto the molding surface of the lower mold in the vertical direction. A lump of molten glass is supplied to the molding surface of the lower mold so that the point is shifted by a predetermined distance. In this way, when pressed at position B, the top of the molten glass lump coincides with the center point of the circular surface where the molten glass lump is in contact with the molding surface of the lower mold, and the glass after molding A glass substrate having high roundness of the substrate and high parallelism of both surfaces can be obtained.

まず、位置Ａから位置Ｂに移動する場合に、下型上の溶融ガラス塊に働く慣性力の影響を予め考慮した場合について説明する。 First, the case where the influence of the inertial force that acts on the molten glass lump on the lower mold is considered in advance when moving from position A to position B will be described.

本発明のガラス基板の製造方法における供給工程では、下型の成型面の上の溶融ガラスの塊の頂部を通り、下型の成型面に垂直で、位置Ａから位置Ｂに移動を始める方向に平行な平面で、溶融ガラスの塊を切断したときの断面形状の下型の成型面に接する辺の中点と、頂部を下型の成型面に鉛直方向に投影した点とが、所定の距離だけずれるように、前記溶融ガラスを前記下型の成型面に供給するのが好ましい。このようにすることで、下型を位置Ａから位置Ｂに移動させる移動工程において、下型上の溶融ガラス塊の頂部が慣性力により動いても、プレス工程において、プレスする際に溶融ガラスの塊の中央部に頂部が来るようにしてプレスすることができる。例えば、下型上の溶融ガラスの塊を移動させると、移動の初めに溶融ガラスの塊は、下型が位置Ａから位置Ｂに移動を始める方向とは逆の方向に慣性力を受けて、溶融ガラスの塊の頂部は、逆方向に動く。その後、下型が位置Ｂに到達して停止すると、溶融ガラスの塊は、停止直前の移動方向に慣性力を受けて、溶融ガラスの塊の頂部は、停止直前の移動方向に動く。この位置Ｂで停止してからプレスするまでの時間を短く設定した場合、溶融ガラス塊の頂部が、移動方向に移動する前にプレスする場合がある。この場合は、位置Ａにおける下型上の溶融ガラス塊の頂部を予め、下型の移動方向にずらしておくことにより、プレス時に溶融ガラス塊の中央部に頂部が来るようにすることができる。また、下型が位置Ｂで停止してからプレスするまでの時間が、前記した時間よりも少し長い場合は、溶融ガラス塊の頂部が、移動方向に移動した後にプレスする場合がある。この場合は、位置Ａにおける下型上の溶融ガラス塊の頂部を予め、下型が位置Ｂに移動を始める方向とは逆の方向にずらしておくことにより、プレス時に溶融ガラス塊の中央部に頂部が来るようにすることができる。 In the supplying step in the method for producing a glass substrate of the present invention, in the direction starting from the position A to the position B through the top of the molten glass lump on the lower mold surface and perpendicular to the lower mold surface. The midpoint of the side that touches the lower mold surface of the cross-sectional shape when the molten glass lump is cut in a parallel plane, and the point that the top portion is projected vertically on the lower mold surface are a predetermined distance. It is preferable that the molten glass is supplied to the molding surface of the lower mold so as to be displaced by as much as possible. By doing in this way, even if the top part of the molten glass lump on the lower mold moves due to the inertial force in the moving process of moving the lower mold from the position A to the position B, in the pressing process, It can be pressed with the top at the center of the mass. For example, when the molten glass lump on the lower mold is moved, the molten glass lump receives an inertial force in a direction opposite to the direction in which the lower mold starts moving from the position A to the position B, The top of the molten glass mass moves in the opposite direction. Thereafter, when the lower mold reaches position B and stops, the molten glass lump receives an inertial force in the moving direction immediately before the stop, and the top of the molten glass lump moves in the moving direction immediately before the stop. When the time from stopping at this position B to pressing is set short, the top of the molten glass lump may be pressed before moving in the moving direction. In this case, the top of the molten glass lump on the lower mold at the position A is shifted in advance in the moving direction of the lower mold, so that the top can come to the center of the molten glass lump at the time of pressing. In addition, when the time from when the lower die stops at the position B to the time of pressing is slightly longer than the above time, the top of the molten glass lump may be pressed after moving in the moving direction. In this case, the top of the molten glass block on the lower mold at the position A is shifted in the direction opposite to the direction in which the lower mold starts moving to the position B, so that the center of the molten glass block is pressed during pressing. The top can come.

次に、位置Ａから位置Ｂに移動する場合に、下型上の溶融ガラス塊に働く遠心力の影響を予め考慮した場合について説明する。 Next, the case where the influence of the centrifugal force acting on the molten glass block on the lower mold is considered in advance when moving from position A to position B will be described.

本発明のガラス基板の製造方法における移動工程は、下型が回転テーブル上に配置され、回転テーブルが回転することにより、下型が位置Ａから位置Ｂに移動する工程であって、供給工程は、下型の成型面の上の溶融ガラスの塊の頂部と回転テーブルの回転中心を通り、下型の成型面に垂直な平面で、溶融ガラスの塊を切断したときの断面形状の下型の成型面と接する辺の中点より、頂部を下型の成型面に鉛直方向に投影した点の方が、回転中心に所定の距離だけ近くなるように、溶融ガラスを下型の成型面に供給することが好ましい。このようにすることで、下型を位置Ａから位置Ｂに移動させる移動工程において、下型上の溶融ガラス塊の頂部が遠心力により回転中心から離れる方向に動いても、プレス工程において、プレスする際に溶融ガラスの塊の中央部に頂部が来るようにしてプレスすることができる。 The moving step in the glass substrate manufacturing method of the present invention is a step in which the lower mold is placed on the rotary table, and the lower mold moves from the position A to the position B by the rotation of the rotary table. The lower mold of the cross-sectional shape when cutting the molten glass lump on a plane perpendicular to the molding surface of the lower mold, passing through the top of the molten glass lump on the molding surface of the lower mold and the rotation center of the rotary table Supply molten glass to the molding surface of the lower mold so that the point projected in the vertical direction on the molding surface of the lower mold is closer to the center of rotation by a predetermined distance than the midpoint of the side in contact with the molding surface It is preferable to do. By doing in this way, in the moving process of moving the lower mold from position A to position B, even if the top of the molten glass block on the lower mold moves away from the center of rotation due to centrifugal force, In doing so, it can be pressed so that the top part comes to the center of the lump of molten glass.

また、下型が位置Ａから位置Ｂに移動する移動工程が、回転テーブルを用いずに直線移動する場合、または、回転テーブルを用いるが、遠心力の影響がほとんどなく、慣性力の影響が主に働く場合は、上記慣性力の影響を予め考慮した方法を用いるだけで良い。 In addition, the moving process in which the lower mold moves from position A to position B moves linearly without using a rotary table, or uses a rotary table, but there is almost no influence of centrifugal force, and the influence of inertial force is the main. In the case of working to the above, it is only necessary to use a method that takes into account the influence of the inertial force in advance.

このように本発明においては、プレス時に溶融ガラスの塊の中央部に頂部が来るようにしているので、ブランク材の板厚の薄いものを製造する場合の移動速度の速い場合においても、プレス成型後のガラス基板の真円度、及び両表面の平行度の高いガラス基板を製造することができる。 As described above, in the present invention, since the top part comes to the central part of the molten glass lump at the time of pressing, even when the moving speed is high when manufacturing a thin blank material, press molding is performed. A glass substrate having a high roundness of the later glass substrate and high parallelism of both surfaces can be manufactured.

次に、本発明のガラス基板の製造方法の供給工程において、下型上の溶融ガラス塊の頂部の位置を、溶融ガラス塊が下型の成型面と接する円形面の中心点と所定の距離だけずれるようにする具体的な方法について、図を用いて具体的に説明する。 Next, in the supplying step of the glass substrate manufacturing method of the present invention, the position of the top of the molten glass lump on the lower mold is a predetermined distance from the center point of the circular surface where the molten glass lump contacts the molding surface of the lower mold. A specific method of shifting will be specifically described with reference to the drawings.

図１は、本発明の第１の実施形態で用いる溶融ガラスを下型に供給する溶融ガラス供給装置の断面概略図であり、図２は、溶融ガラスの切断の仕方を説明するための概略図である。図１において、溶融るつぼ１にガラス原料が投入され、加熱ヒータ５により所定の温度に加熱され、攪拌棒１０で攪拌されて、均質な溶融ガラス７になる。溶融ガラス７は、加熱ヒータ６で加熱されたノズル２を通って、溶融ガラス流８となり、下型２４の成型面２６に流下される。所定の量の溶融ガラスが成型面２６に流下された後、一対のブレード２３を交差させて、溶融ガラス流８を遮断する。 FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a molten glass supply device for supplying molten glass to a lower mold used in the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram for explaining how to cut the molten glass. It is. In FIG. 1, a glass raw material is put into a melting crucible 1, heated to a predetermined temperature by a heater 5, stirred by a stirring rod 10, and becomes a homogeneous molten glass 7. The molten glass 7 passes through the nozzle 2 heated by the heater 6, becomes a molten glass flow 8, and flows down to the molding surface 26 of the lower mold 24. After a predetermined amount of molten glass flows down to the molding surface 26, the pair of blades 23 are crossed to block the molten glass flow 8.

図２（ａ）は、溶融ガラス流８の中心Ｃと溶融ガラス流８を切断する一対のブレード２３の位置関係を示すための平面図である。 FIG. 2A is a plan view for illustrating the positional relationship between the center C of the molten glass flow 8 and the pair of blades 23 that cut the molten glass flow 8.

本発明の供給工程における溶融ガラスの切断は、図２（ａ）に示すように一対のブレード２３の内、ノズル２の流出口２ａの中心の鉛直線Ｃを通過する刃先（ノズル２から流下する溶融ガラス流８の中心を切断する部分）が、もう一方の刃先と、鉛直線Ｃから所定量ずれた位置Ｄ（距離ｄ、角度θ）で、交差するようにして、溶融ガラス流８を切断している。なお、図中のＸは位置Ｂの方に移動を開始する方向であり、Ｃ０は回転テーブル２０の回転中心、Ｙは回転中心Ｃ０と位置Ｄを通る法線方向を示す。また、図２（ｂ）は、一対のブレード２３の移動方向Ｚに平行で、溶融ガラス流８の中心線Ｃを通り、成型面２６に垂直な平面で切断した断面図（Ａ−Ａ断面図）を示す。 The cutting of the molten glass in the supplying step of the present invention is performed by cutting the blade edge (flowing down from the nozzle 2) through the vertical line C at the center of the outlet 2a of the nozzle 2 out of the pair of blades 23 as shown in FIG. The molten glass flow 8 is cut so that the portion that cuts the center of the molten glass flow 8 intersects the other cutting edge at a position D (distance d, angle θ) deviated from the vertical line C by a predetermined amount. is doing. In the figure, X is a direction in which the movement starts toward the position B, C0 indicates the rotation center of the rotary table 20, and Y indicates a normal direction passing through the rotation center C0 and the position D. 2B is a cross-sectional view (AA cross-sectional view taken along a plane perpendicular to the molding surface 26, passing through the center line C of the molten glass flow 8 and parallel to the moving direction Z of the pair of blades 23. ).

上記のように鉛直線Ｃから所定量ずれた位置に配置された一対のブレード２３で溶融ガラス流８を切断した後の下型２４の成型面２６上の溶融ガラス塊２８の形状を図２（ｃ）と図２（ｄ）に示す。 The shape of the molten glass block 28 on the molding surface 26 of the lower mold 24 after the molten glass flow 8 is cut by the pair of blades 23 arranged at a position deviated by a predetermined amount from the vertical line C as described above is shown in FIG. c) and FIG. 2 (d).

図２（ｃ）は、溶融ガラス流８を一対のブレード２３で切断した後の溶融ガラス塊２８を、下型２４の成型面２６の上の溶融ガラスの塊２８の頂部Ｔを通り、下型２４の成型面２６に垂直で、位置Ａから位置Ｂに移動を始める方向Ｘに平行な平面で、切断したときの断面形状を示している。断面形状の下型２４に接する長さＬ１の辺Ｈ１の中点Ｐ１に対して、頂部Ｔを下型２４の成型面２６に鉛直方向に投影した点Ｐ２は、所定の距離ｄ１だけＸ方向とは逆の方向にずれている。 FIG. 2 (c) shows that the molten glass lump 28 after the molten glass stream 8 is cut by a pair of blades 23 passes through the top T of the molten glass lump 28 on the molding surface 26 of the lower mold 24 and passes through the lower mold. 24 shows a cross-sectional shape when cut by a plane perpendicular to the molding surface 26 of 24 and parallel to the direction X starting to move from the position A to the position B. A point P2 obtained by projecting the apex T onto the molding surface 26 of the lower mold 24 in the vertical direction with respect to the midpoint P1 of the side H1 of the length L1 in contact with the lower mold 24 in the cross-sectional shape is a predetermined distance d1 and Is shifted in the opposite direction.

また、図２（ｄ）は、溶融ガラス流８を一対のブレード２３で切断した後の溶融ガラス塊２８を、下型２４の成型面２６の上の溶融ガラスの塊２８の頂部Ｔと回転テーブル２０の回転中心Ｃ０を通り、下型２４の成型面に垂直な平面で、溶融ガラス塊２８を切断したときの断面形状を示す。断面形状の下型２４の成型面２６と接する長さＬ２の辺Ｈ２の中点Ｐ３より、頂部Ｔを下型２４の成型面２６に鉛直方向に投影した点Ｐ４の方が、回転中心Ｃ０に所定の距離ｄ２だけ近づいた断面形状を示している。 FIG. 2D shows the molten glass mass 28 after the molten glass stream 8 is cut by the pair of blades 23, the top T of the molten glass mass 28 on the molding surface 26 of the lower mold 24, and the rotary table. 20 shows a cross-sectional shape when the molten glass lump 28 is cut by a plane passing through the rotation center C0 of 20 and perpendicular to the molding surface of the lower mold 24. From the midpoint P3 of the side H2 of the length L2 in contact with the molding surface 26 of the lower mold 24 in the cross-sectional shape, the point P4 obtained by projecting the top portion T onto the molding surface 26 of the lower mold 24 in the vertical direction is the rotation center C0. A cross-sectional shape approached by a predetermined distance d2 is shown.

このように、位置Ａにおいて、溶融ガラス流８を一対のブレード２３で切断し、上記の断面形状に形成された下型２４上の溶融ガラス塊２８は、回転テーブル２０の回転により、位置Ｂまで回転移動する。この際、下型２４が位置Ａから動き始めるときに、下型２４の成型面２６上の溶融ガラス塊２８は、移動方向と逆の方向に慣性力を受け、移動中は、遠心力を受ける。次に、下型２４は、位置Ｂで停止する。 Thus, at position A, the molten glass stream 8 is cut by the pair of blades 23, and the molten glass lump 28 on the lower mold 24 formed in the above-described cross-sectional shape is moved to the position B by the rotation of the rotary table 20. Rotate and move. At this time, when the lower mold 24 starts to move from the position A, the molten glass block 28 on the molding surface 26 of the lower mold 24 receives an inertial force in a direction opposite to the moving direction, and receives a centrifugal force during the movement. . Next, the lower mold 24 stops at the position B.

図３は、位置Ａの下型２４が動き始める前の下型２４の成型面２６上の溶融ガラス塊２８の形状（破線）と、位置Ｂの下型２４が停止し、プレスする直前の下型２４の成型面２６上の溶融ガラス塊２８の形状（実線）とを模式的に示した図である。 FIG. 3 shows the shape (broken line) of the molten glass block 28 on the molding surface 26 of the lower mold 24 before the lower mold 24 of the position A starts to move, and the lower position immediately before the lower mold 24 of the position B stops and presses. It is the figure which showed typically the shape (solid line) of the molten glass lump 28 on the molding surface 26 of the type | mold 24. FIG.

位置Ｂでプレスする直前の下型２４上の溶融ガラス塊２８の形状は、下型２４が位置Ｂで停止する際に受ける慣性力と、位置Ａから位置Ｂに移動する際に受ける遠心力により、位置Ａで下型２４の成型面２６に供給された破線の形状から実線の形状に変形し、頂部Ｔが移動する。頂部Ｔの移動により、溶融ガラス塊２８は、成型面２６と接する円形面の中心点Ｐ３と、頂部Ｔを下型２４の成型面２６に鉛直方向に投影した点とが重なり、中心点Ｐ３を通る鉛直線を軸として回転させたとき対称性を有する形状になる。 The shape of the molten glass block 28 on the lower mold 24 immediately before pressing at the position B is based on the inertial force received when the lower mold 24 stops at the position B and the centrifugal force received when moving from the position A to the position B. In the position A, the shape of the broken line supplied to the molding surface 26 of the lower mold 24 is changed to the shape of the solid line, and the top portion T moves. Due to the movement of the top portion T, the molten glass lump 28 is overlapped with the center point P3 of the circular surface in contact with the molding surface 26 and the point where the top portion T is projected onto the molding surface 26 of the lower mold 24 in the vertical direction. When it is rotated about the passing vertical line, it has a symmetrical shape.

このように下型２４上の溶融ガラス塊２８が対称性を有する形状になった状態で、上型２５でプレスすることにより、真円度、及び両表面の平行度の高いガラス基板を得ることができる。一対のブレードの刃先が交差する位置Ｄがノズル２の流出口２ａからずれる距離ｄ、角度θは、下型２４上に流下する溶融ガラスの量や粘度、回転テーブル２０の移動スピード、回転半径、位置Ｂで停止してから上型２５でプレスするまでの時間等の条件によって、位置Ｂでの溶融ガラス塊２８の形状が変化するため、予め、設定された条件で、テストを行い、決める。 In this way, by pressing with the upper mold 25 in a state where the molten glass block 28 on the lower mold 24 has a symmetrical shape, a glass substrate with high roundness and parallelism of both surfaces is obtained. Can do. The distance d and the angle θ where the position D where the cutting edges of the pair of blades intersect from the outlet 2a of the nozzle 2 are the amount and viscosity of the molten glass flowing down on the lower mold 24, the moving speed of the rotary table 20, the rotational radius, Since the shape of the molten glass block 28 at the position B changes depending on conditions such as the time from stopping at the position B to pressing with the upper mold 25, the test is performed under predetermined conditions.

また、本発明の第２の実施形態を図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）を用いて説明する。図４（ａ）は、ノズル２の流出口２ａの中心Ｃと一対のブレード２３の交差する状態、下型２４の成型面との配置関係を示す平面図であり、図２（ｂ）は、中心Ｃを通り、成型面２６に垂直で、ブレードの移動方向Ｚに平行な平面で切断した溶融ガラス供給装置の断面図である。一対のブレード２３の刃先は、ノズル２の流出口２ａの中心Ｃで交差し、その移動方向Ｚは、位置Ａから位置Ｂに移動を開始する方向Ｘに対して、θ２傾き、また、成型面２６と平行な水平面に対して、θ１傾いている。図４（ｃ）は、上記のように配置された一対のブレード２３で溶融ガラス流８を切断した後、下型２４の成型面２６上に形成された溶融ガラス塊２８とその頂点Ｔの位置を示す平面図である。このように一対のブレード２３を水平面から所定の角度θ１傾けることにより、溶融ガラス流８を切断した後の下型２４の成型面２６上の溶融ガラス塊２８の頂点Ｔを、溶融ガラス塊２８が成型面と接する円形面の中心点Ｐ５からブレード移動方向Ｚの方向に、ｄ３だけずらすことができる。 A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 (a), (b), (c), and (d). FIG. 4A is a plan view showing the positional relationship between the center C of the outlet 2a of the nozzle 2 and the pair of blades 23 and the molding surface of the lower mold 24. FIG. It is sectional drawing of the molten glass supply apparatus cut | disconnected by the plane which passes along the center C and is perpendicular | vertical to the molding surface 26 and parallel to the moving direction Z of a braid | blade. The cutting edges of the pair of blades 23 intersect at the center C of the outlet 2a of the nozzle 2, and the moving direction Z thereof is inclined by θ2 with respect to the direction X starting to move from the position A to the position B. It is inclined by θ1 with respect to a horizontal plane parallel to H.26. FIG. 4C shows the position of the molten glass lump 28 formed on the molding surface 26 of the lower mold 24 and its apex T after the molten glass flow 8 is cut by the pair of blades 23 arranged as described above. FIG. In this way, by tilting the pair of blades 23 from the horizontal plane by a predetermined angle θ1, the molten glass lump 28 has the apex T of the molten glass lump 28 on the molding surface 26 of the lower mold 24 after the molten glass flow 8 is cut. It can be shifted by d3 in the direction of blade movement Z from the center point P5 of the circular surface in contact with the molding surface.

図４（ｄ）は、図４（ｃ）のＢ−Ｂ断面で切断した溶融ガラス供給装置と成型面２６上の溶融ガラスの塊２８の断面図である。溶融ガラス塊２８の頂点Ｔを成型面２６に鉛直方向に投影した点Ｐ６が、中心点Ｐ５から距離ｄ３だけずれていることがわかる。 FIG. 4D is a cross-sectional view of the molten glass supply device cut along the BB cross section of FIG. 4C and a molten glass lump 28 on the molding surface 26. It can be seen that a point P6 obtained by projecting the apex T of the molten glass block 28 onto the molding surface 26 in the vertical direction is shifted from the center point P5 by a distance d3.

このようにして、位置Ａにおける溶融ガラス塊２８の頂点Ｔを、溶融ガラスの塊８の成型面２６と接する円形面の中心点Ｐ５から所定の距離ずらすことにより、第１の実施形態で説明したのと同様に、位置Ａから位置Ｂに移動する際に、下型２４上の溶融ガラス塊２８が慣性力と遠心力を受け、頂部Ｔが移動する。頂部Ｔの移動により、位置Ｂでプレスするときの溶融ガラス塊２８は、成型面と接する円形面の中心点Ｐ５と、頂部Ｔを下型２４の成型面２６に鉛直方向に投影した点とが重なり、中心点Ｐ５を通る鉛直線を軸として回転させたとき対称性を有する形状になる。 In this way, the first embodiment has been described by shifting the vertex T of the molten glass mass 28 at the position A by a predetermined distance from the center point P5 of the circular surface that is in contact with the molding surface 26 of the molten glass mass 8. Similarly to the above, when moving from the position A to the position B, the molten glass lump 28 on the lower mold 24 receives inertial force and centrifugal force, and the top portion T moves. Due to the movement of the top portion T, the molten glass lump 28 when pressed at the position B has a center point P5 of a circular surface in contact with the molding surface and a point obtained by projecting the top portion T onto the molding surface 26 of the lower mold 24 in the vertical direction. When overlapping and rotating around a vertical line passing through the center point P5, the shape has symmetry.

このように、下型２４上の溶融ガラス塊２８が対称性を有する形状になった状態で、上型２５でプレスすることにより、真円度、及び両表面の平行度の高いガラス基板を得ることができる。一対のブレード２３の刃先の傾斜角度θ１、位置Ａから位置Ｂの方向に移動する方向Ｘとなす角度θ２は、下型２４上に流下する溶融ガラスの量や粘度、回転テーブル２０の移動スピード、回転半径、位置Ｂで停止してから上型２５でプレスするまでの時間等の条件によって、位置Ｂでの溶融ガラス塊２８の形状が変化するため、予め、設定された条件で、テストを行い、決める。 In this way, by pressing with the upper mold 25 in a state where the molten glass block 28 on the lower mold 24 has a symmetrical shape, a glass substrate having high roundness and parallelism between both surfaces is obtained. be able to. The inclination angle θ1 of the blade edges of the pair of blades 23 and the angle θ2 formed with the direction X moving from the position A to the position B are the amount and viscosity of the molten glass flowing down the lower mold 24, the moving speed of the rotary table 20, Since the shape of the molten glass block 28 at the position B changes depending on the conditions such as the radius of rotation and the time from stopping at the position B to pressing with the upper die 25, the test is performed under the preset conditions. Decide.

また、本発明の第３の実施形態を図５を用いて説明する。図５は、供給工程でノズル２から流出する溶融ガラス流８にガスノズル１１からガスを吹き付けている様子と、溶融ガラスを切断後、下型２４の成型面２６上の溶融ガラス塊の形状とを示す模式図である。溶融ガラス流８を切断する一対のブレード２３は、水平方向に移動して、交差する位置はノズル２の流出口２ａの中心である。このように溶融ガラス流にガスを吹き付けることにより、下型２４上の溶融ガラス塊２８の頂部Ｔの成型面２６上に鉛直方向に投影した点Ｐ７と、溶融ガラス塊２８が成型面２６と接する円形面の中心点Ｐ８とが、所定の距離ｄ４だけずれる。このようにすることで、第１の実施形態で説明したのと同様にして、位置Ａから位置Ｂに移動する際に、下型２４上の溶融ガラス塊２８が受ける慣性力と遠心力により、プレスする際の溶融ガラス塊２８の形状を対称性のある形状にすることができ、プレス後のガラス基板の真円度、及び両表面の平行度の高いガラス基板を製造することができる。このガスの吹きつける際のガスノズル１１の数や配置、ガス流の流量などは、下型２４上に流下する溶融ガラスの量や粘度、回転テーブル２０の移動スピード、回転半径、位置Ｂで停止してから上型２５でプレスするまでの時間等の条件によって、位置Ｂでの溶融ガラス塊の形状が変化するため、予め、設定された条件で、テストを行い、決める。 A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 5 shows a state in which gas is blown from the gas nozzle 11 to the molten glass flow 8 flowing out from the nozzle 2 in the supply process, and the shape of the molten glass block on the molding surface 26 of the lower mold 24 after cutting the molten glass. It is a schematic diagram shown. The pair of blades 23 that cut the molten glass flow 8 move in the horizontal direction, and the intersecting position is the center of the outlet 2 a of the nozzle 2. By blowing the gas to the molten glass flow in this way, the point P7 projected in the vertical direction on the molding surface 26 at the top T of the molten glass mass 28 on the lower mold 24 and the molten glass mass 28 are in contact with the molding surface 26. The center point P8 of the circular surface deviates by a predetermined distance d4. By doing in this way, in the same manner as described in the first embodiment, when moving from the position A to the position B, due to the inertial force and centrifugal force received by the molten glass lump 28 on the lower mold 24, The shape of the molten glass lump 28 at the time of pressing can be made into a symmetrical shape, and a glass substrate having high roundness of the glass substrate after pressing and high parallelism of both surfaces can be manufactured. The number and arrangement of the gas nozzles 11 when the gas is blown, the flow rate of the gas flow, etc. stop at the amount and viscosity of the molten glass flowing down the lower mold 24, the moving speed of the rotary table 20, the rotating radius, and the position B. Since the shape of the molten glass lump at the position B changes depending on conditions such as the time until pressing with the upper mold 25, the test is performed under the preset conditions.

また、本発明の第４の実施形態を図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を用いて説明する。図６（ａ）は、ノズル２の流出口２ａを水平面で切断した断面の形状を示す。このような非円形の断面形状の流出口２ａを持つノズル２を供給工程で用いることにより、第２の実施形態で示した図４（ｃ）のような、溶融ガラス塊２８の頂点Ｔを成型面に鉛直方向に投影した点と、溶融ガラス塊２８の成型面２６と接する面を円形面の中心点とが、所定距離ずれるようにすることができる。具体的なノズル２の流出口２ａの形状としては、図６（ａ）に示すように、流出口２ａの開口幅の最も広い長軸Ｓ１と、長軸Ｓ１に垂直な方向で最も広い幅Ｂ１を示す短軸Ｓ２とを有し、Ｓ１とＳ２との交点Ｐ９が、長軸Ｓ１の中点Ｐ１０と距離ｄ５だけ離れている形状である。図６（ｂ）は、上記のような形状の流出口２ａを持つノズル２と、位置Ａにおける下型２４の成型面との配置関係を示す概略平面図である。溶融ガラス流８を切断する一対のブレード２３は、移動方向が平行で、交差する位置は、流出口２ａの長軸Ｓ１の中点Ｐ１０の鉛直線上である。流出口２ａの長軸方向の傾きはθ３とする。図６（ｃ）は、上記の形状の流出口２ａを持つノズル２を用いて流出した溶融ガラス流８を一対のブレード２３で切断して、下型２４の成型面２６上に形成した溶融ガラス塊を形成した状態を、図６（ｂ）のＩ−Ｉ断面で切断した供給装置の概略断面図である。溶融ガラス塊２８の頂点Ｔを成型面２６に鉛直方向に投影した点Ｐ１２が、溶融ガラス塊２８が成型面と接する円形面の中心点Ｐ１１とｄ６の距離ずれている。このようにして、位置Ａにおける下型２４上の溶融ガラス塊２８の頂点の位置を、溶融ガラス塊２８が成型面と接する円形面の中心点Ｐ１１から所定の距離ずらすことにより、第１の実施形態で説明したのと同様にして、位置Ａから位置Ｂに移動する際に、下型２４上の溶融ガラス塊２８が受ける慣性力と遠心力により、プレスする際の溶融ガラス塊２８の形状を対称性のある形状にすることができる。よって、プレス後のガラス基板の真円度、及び両表面の平行度の高いガラス基板を製造することができる。ノズル２の流出口２ａの断面形状が、非円形であっても、下型２４上に流下する過程で表面張力によりほぼ円形の形状で下型の成型面と接するようになる。この流出口２ａの形状は、下型２４上に流下する溶融ガラスの量や粘度、回転テーブル２０の移動スピード、回転半径、位置Ｂで停止してから上型２５でプレスするまでの時間等の条件によって、位置Ｂでの溶融ガラス塊の形状が変化するため、予め、設定された条件で、テストを行い、決める。 A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 (a), (b), and (c). FIG. 6A shows a cross-sectional shape of the outlet 2a of the nozzle 2 cut along a horizontal plane. By using such a nozzle 2 having a non-circular cross-section outlet 2a in the supply process, the apex T of the molten glass lump 28 as shown in FIG. 4C shown in the second embodiment is formed. The point projected in the vertical direction on the surface and the center point of the circular surface that is in contact with the molding surface 26 of the molten glass lump 28 can be shifted by a predetermined distance. As a specific shape of the outlet 2a of the nozzle 2, as shown in FIG. 6A, the long axis S1 having the widest opening width of the outlet 2a and the widest width B1 in the direction perpendicular to the long axis S1. And an intersection P9 between S1 and S2 is separated from the midpoint P10 of the long axis S1 by a distance d5. FIG. 6B is a schematic plan view showing an arrangement relationship between the nozzle 2 having the outlet 2 a having the above shape and the molding surface of the lower mold 24 at the position A. FIG. The pair of blades 23 that cut the molten glass flow 8 are parallel in the moving direction, and the intersecting positions are on the vertical line of the midpoint P10 of the long axis S1 of the outlet 2a. The inclination of the outflow port 2a in the major axis direction is θ3. FIG. 6C shows a molten glass formed on the molding surface 26 of the lower mold 24 by cutting the molten glass flow 8 that has flowed out using the nozzle 2 having the outlet 2 a having the above-mentioned shape with a pair of blades 23. It is a schematic sectional drawing of the supply apparatus which cut | disconnected the state in which the lump was formed in the II cross section of FIG.6 (b). A point P12 obtained by projecting the apex T of the molten glass lump 28 onto the molding surface 26 in the vertical direction is shifted by a distance between the center point P11 of the circular surface where the molten glass lump 28 is in contact with the molding surface and d6. In this manner, the position of the apex of the molten glass block 28 on the lower mold 24 at the position A is shifted by a predetermined distance from the center point P11 of the circular surface where the molten glass block 28 contacts the molding surface. In the same manner as described in the embodiment, when moving from position A to position B, the shape of molten glass block 28 during pressing is changed by the inertial force and centrifugal force received by molten glass block 28 on lower mold 24. A symmetrical shape can be obtained. Therefore, it is possible to manufacture a glass substrate having high roundness of the glass substrate after pressing and high parallelism of both surfaces. Even if the cross-sectional shape of the outlet 2 a of the nozzle 2 is non-circular, it comes into contact with the molding surface of the lower mold in a substantially circular shape due to surface tension in the process of flowing down on the lower mold 24. The shape of the outlet 2a is such as the amount and viscosity of the molten glass flowing down on the lower mold 24, the moving speed of the rotary table 20, the rotation radius, the time from stopping at the position B to pressing with the upper mold 25, etc. Since the shape of the molten glass block at the position B changes depending on the conditions, a test is performed and determined under preset conditions.

また、第１の実施形態から第４の実施形態を組み合わせることにより、位置Ｂでプレスする際の溶融ガラス塊２８の形状が、第１の実施形態のところで説明したような対称性をより有することになり、プレス後のガラス基板の真円度及び両表面の平行度の高いガラス基板を製造することができ、より好ましい。 Further, by combining the first to fourth embodiments, the shape of the molten glass lump 28 when pressed at the position B has more symmetry as described in the first embodiment. Thus, a glass substrate having a high roundness of the glass substrate after pressing and a high parallelism of both surfaces can be produced, which is more preferable.

次に、本発明のガラス基板の製造方法に関して、図７のプレス成型機を用いてより詳しく説明する。 Next, the glass substrate manufacturing method of the present invention will be described in more detail using the press molding machine of FIG.

（供給工程）
溶融ガラスの供給工程は、図７の位置Ａで、下型２４の成型面２６に溶融ガラスを供給する工程である。これまで説明したように、供給工程は、下型２４の成型面２６上に供給された溶融ガラス塊２８が下型２４の成型面２６と接する円形面の中心点と、溶融ガラス塊２８の頂部を下型２４の成型面２６に鉛直方向に投影した点とが、所定の距離だけずれるように、溶融ガラスの塊を下型の成型面に供給する。この供給工程についての説明は、上記しているのでここでは省く。まず、ノズル２から溶融ガラスを流出して下型２４に供給する。予め決めたタイミングで溶融ガラス流８を一対のブレード２３を用いて切断し、溶融ガラス塊２８を下型２４上に形成する。 (Supply process)
The molten glass supply step is a step of supplying molten glass to the molding surface 26 of the lower mold 24 at position A in FIG. As described above, the supplying step includes the center point of the circular surface where the molten glass block 28 supplied onto the molding surface 26 of the lower mold 24 contacts the molding surface 26 of the lower mold 24, and the top of the molten glass block 28. A lump of molten glass is supplied to the molding surface of the lower mold so that the point projected onto the molding surface 26 of the lower mold 24 in the vertical direction is shifted by a predetermined distance. The description of this supply process has been described above, and is omitted here. First, molten glass flows out from the nozzle 2 and is supplied to the lower mold 24. The molten glass flow 8 is cut using a pair of blades 23 at a predetermined timing, and a molten glass lump 28 is formed on the lower mold 24.

下型２４は予め所定温度に加熱しておく。下型２４の温度に特に制限はなく、ガラスの種類やガラス基板のサイズ等によって適宜決定すればよい。下型２４の温度が低すぎるとガラス基板の平面度が悪化したり、転写面へのしわの発生等の問題が起こる。逆に、必要以上に温度を高くしすぎると、ガラスとの融着が発生したり、金型の劣化が著しくなることから好ましくない。通常は、成型するガラスのＴｇ（ガラス転移点）−２００℃からＴｇ＋５０℃程度の温度範囲とすることが好ましい。 The lower mold 24 is heated in advance to a predetermined temperature. There is no restriction | limiting in particular in the temperature of the lower mold | type 24, What is necessary is just to determine suitably by the kind of glass, the size of a glass substrate, etc. If the temperature of the lower mold 24 is too low, the flatness of the glass substrate is deteriorated, and problems such as generation of wrinkles on the transfer surface occur. On the other hand, if the temperature is set higher than necessary, it is not preferable because fusion with glass occurs or the mold deteriorates significantly. Usually, it is preferable to make it the temperature range of Tg (glass transition point) -200 degreeC of glass to shape | mold to Tg + 50 degreeC.

下型２４の加熱手段にも特に制限はなく、公知の加熱手段の中から適宜選択して用いることができる。例えば、下型２４の内部に埋め込んで使用するカートリッジヒータや、下型２４の外側に接触させて使用するシート状のヒータなどを用いることができる。また、赤外線加熱装置や高周波誘導加熱装置、ガスバーナー加熱装置などを用いて加熱することもできる。 The heating means of the lower mold 24 is not particularly limited, and can be appropriately selected from known heating means. For example, a cartridge heater that is used by being embedded inside the lower mold 24, a sheet heater that is used while being in contact with the outside of the lower mold 24, or the like can be used. Moreover, it can also heat using an infrared heating apparatus, a high frequency induction heating apparatus, a gas burner heating apparatus, etc.

（移動工程）
移動工程は、溶融ガラス供給工程において溶融ガラス塊２８が供給された位置Ａの下型２４が、回転テーブル２０の回転により、上型２５と対向する位置Ｂまで水平移動する工程である。本発明のおいては、下型２４は、位置Ａから位置Ｂまでの移動速度を０．２〜２ｍ／秒とすることが好ましい。移動速度をこの範囲にすることで、下型２４の成型面２６上の溶融ガラス塊の頂点を成型面２６に鉛直方向に投影した点と、溶融ガラス塊２８が成型面と接する円形面の中心点とのずれ量ｄを制御しやすく、より真円度、平行度のよいガラス基板を製造することができる。 (Transfer process)
The moving process is a process in which the lower mold 24 at the position A to which the molten glass lump 28 is supplied in the molten glass supplying process moves horizontally to the position B facing the upper mold 25 by the rotation of the rotary table 20. In the present invention, the lower mold 24 preferably has a moving speed from the position A to the position B of 0.2 to 2 m / sec. By setting the moving speed within this range, the vertex of the molten glass lump on the molding surface 26 of the lower mold 24 is projected onto the molding surface 26 in the vertical direction, and the center of the circular surface where the molten glass lump 28 is in contact with the molding surface. It is easy to control the deviation d from the point, and it is possible to manufacture a glass substrate with better roundness and parallelism.

（加圧工程）
加圧工程は、位置Ｂで、下型２４の成型面２６及び上型２５の成型面２７で、溶融ガラスを加圧しながら冷却してガラス基板２９を得る工程である。下型２４の成型面２６と、上型２５の成型面２７とで溶融ガラスを加圧する。この時、溶融ガラス供給工程で下型２４上に非対称に供給された溶融ガラス塊２８は、位置Ｂで停止するときに慣性力を受けて変形し、上型２５でプレスする際に、ほぼ対称な形状（下型２４の成型面２６と接する溶融ガラス塊の接触面のほぼ中心を通り、成型面２６に対して垂直な軸で回転させたときに対称性を有する形状）になっている。対称な形状となった溶融ガラス塊２８は成型面２６及び成型面２７とでプレスされ、その接触面から放熱することによって冷却・固化し、真円度、平行度の高いガラス基板２９となる。 (Pressure process)
The pressurizing step is a step of obtaining the glass substrate 29 by cooling the molten glass while pressing it at the position B at the molding surface 26 of the lower mold 24 and the molding surface 27 of the upper mold 25. The molten glass is pressurized by the molding surface 26 of the lower mold 24 and the molding surface 27 of the upper mold 25. At this time, the molten glass lump 28 supplied asymmetrically onto the lower mold 24 in the molten glass supply process is deformed by receiving an inertial force when stopped at the position B, and is almost symmetrical when pressed by the upper mold 25. (A shape having symmetry when passing through the center of the contact surface of the molten glass block in contact with the molding surface 26 of the lower mold 24 and rotating on an axis perpendicular to the molding surface 26). The molten glass lump 28 having a symmetric shape is pressed by the molding surface 26 and the molding surface 27, and is cooled and solidified by releasing heat from the contact surface to become a glass substrate 29 having high roundness and parallelism.

なお、上型２５は、下型２４と同様に所定温度に加熱されている。加熱温度や加熱手段については上述の下型２４の場合と同様である。加熱温度は下型２４と同じであっても良いし異なっていても良い。 The upper mold 25 is heated to a predetermined temperature in the same manner as the lower mold 24. The heating temperature and heating means are the same as in the case of the lower mold 24 described above. The heating temperature may be the same as or different from that of the lower mold 24.

下型２４と上型２５に荷重を負荷して溶融ガラスを加圧するための加圧手段は、公知の加圧手段を適宜選択して用いることができる。例えば、エアシリンダ、油圧シリンダ、サーボモータを用いた電動シリンダ等が挙げられる。 As a pressurizing means for applying a load to the lower mold 24 and the upper mold 25 to pressurize the molten glass, a known pressurizing means can be appropriately selected and used. For example, an air cylinder, a hydraulic cylinder, an electric cylinder using a servo motor, and the like can be given.

（離型工程）
離型工程は、加圧工程の後、ガラス基板への加圧を解除して型開きを行う工程で、位置Ｂで行われる。 (Release process)
The mold release step is a step of releasing the pressurization to the glass substrate and opening the mold after the pressurization step, and is performed at the position B.

（回収工程）
図７の位置Ｅまで移動して、真空吸着等、一般的な回収方法によってガラス基板を回収する工程である。 (Recovery process)
This is a step of moving to position E in FIG. 7 and recovering the glass substrate by a general recovery method such as vacuum suction.

（情報記録媒体用ガラス基板の製造方法）
上述の製造方法によって製造されたガラス基板（ブランク材）に、研磨工程等を施すことにより情報記録媒体用ガラス基板を製造することができる。図１２は、本発明の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法によって製造した情報記録媒体用ガラス基板の１例を示す図である。図１２（ａ）は斜視図、図１２（ｂ）は断面図である。情報記録媒体用ガラス基板３０は中心穴３３が形成された円板状のガラス基板であって、主表面３１、外周端面３４、内周端面３５を有している。外周端面３４と内周端面３５には、それぞれ面取り部３６、３７が形成されている。 (Method for producing glass substrate for information recording medium)
A glass substrate for an information recording medium can be manufactured by subjecting the glass substrate (blank material) manufactured by the above-described manufacturing method to a polishing process or the like. FIG. 12 is a view showing an example of a glass substrate for information recording medium manufactured by the method for manufacturing a glass substrate for information recording medium of the present invention. 12A is a perspective view, and FIG. 12B is a cross-sectional view. The information recording medium glass substrate 30 is a disk-shaped glass substrate in which a central hole 33 is formed, and has a main surface 31, an outer peripheral end surface 34, and an inner peripheral end surface 35. Chamfered portions 36 and 37 are formed on the outer peripheral end surface 34 and the inner peripheral end surface 35, respectively.

研磨工程としては、プレス成型によって得られたガラス基板（ブランク材）の主表面を研磨する工程であり、最終的に情報記録媒体用ガラス基板として要求される平滑性に仕上げる工程である。研磨の方法は、情報記録媒体用ガラス基板の製造方法として用いられる公知の方法をそのまま用いることができる。例えば、対向配置した２つの回転可能な定盤の対向する面にパッドを貼り付け、２つのパッド間にガラス基板を配置し、ガラス基板表面にパッドを接触させながら回転させると同時に、ガラス基板表面に研磨剤を供給する方法で行うことができる。また、研磨剤の粒度やパッドの種類を変えて、粗研磨工程、精密研磨工程といったように複数の工程に分けて研磨を行うことも好ましい。 As a grinding | polishing process, it is the process of grind | polishing the main surface of the glass substrate (blank material) obtained by press molding, and is a process finally finished to the smoothness requested | required as a glass substrate for information recording media. As a polishing method, a known method used as a method for producing a glass substrate for an information recording medium can be used as it is. For example, a pad is pasted on the opposing surface of two rotatable surface plates placed opposite to each other, a glass substrate is placed between the two pads, and the glass substrate surface is rotated simultaneously with the pad contacting the glass substrate surface. It can carry out by the method of supplying an abrasive | polishing agent to. Further, it is also preferable to perform polishing in a plurality of steps such as a rough polishing step and a precision polishing step by changing the particle size of the abrasive and the type of pad.

研磨剤としては、例えば、酸化セリウム、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化マンガン、コロイダルシリカ、ダイヤモンドなどが挙げられる。この中でも、ガラスとの反応性が高く、短時間で平滑な研磨面が得られる酸化セリウムを用いることが好ましい。 Examples of the abrasive include cerium oxide, zirconium oxide, aluminum oxide, manganese oxide, colloidal silica, and diamond. Among these, it is preferable to use cerium oxide which has high reactivity with glass and can obtain a smooth polished surface in a short time.

パッドは硬質パッドと軟質パッドとに分けられるが、必要に応じて適宜選択して用いることができる。硬質パッドとしては、硬質ベロア、ウレタン発泡、ピッチ含有スウェード等を素材とするパッドが挙げられ、軟質パッドとしては、スウェードやベロア等を素材とするパッドが挙げられる。 The pad is divided into a hard pad and a soft pad, but can be appropriately selected and used as necessary. Examples of the hard pad include pads made of hard velor, urethane foam, pitch-containing suede, etc., and examples of the soft pad include pads made of suede, velor, etc.

また、本発明の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法においては、ガラス基板の主表面を研磨する研磨工程の他、内外周加工工程やラッピング工程を行うことが好ましい。内外周加工工程は、中心孔の穿孔加工、外周端面や内周端面の形状や寸法精度確保のための研削加工、内外周端面の研磨加工等を行う工程であり、ラッピング工程は、記録層が形成される面の平面度、厚み、平行度等を満足させるため、研磨工程の前にラッピング加工を行う工程である。更に、ガラス基板の材料として化学強化ガラスや結晶化ガラスを用いる場合には、加熱された化学強化処理液にガラス基板を浸漬してイオン交換を行う化学強化工程や、熱処理によって結晶化を行う結晶化工程等を必要に応じて適宜行うことができる。これらの内外周加工工程、ラッピング工程、化学強化工程、結晶化工程等の各工程は、情報記録媒体用ガラス基板の製造方法として通常用いられている方法により行うことができる。 Moreover, in the manufacturing method of the glass substrate for information recording media of this invention, it is preferable to perform an inner and outer periphery processing process and a lapping process other than the grinding | polishing process which grind | polishes the main surface of a glass substrate. The inner and outer peripheral machining process is a process of drilling the center hole, grinding to ensure the shape and dimensional accuracy of the outer peripheral end face and inner peripheral end face, polishing the inner and outer peripheral end faces, etc. In order to satisfy the flatness, thickness, parallelism, etc. of the surface to be formed, this is a step of lapping before the polishing step. Furthermore, when using chemically strengthened glass or crystallized glass as the material of the glass substrate, a crystal strengthening process in which the glass substrate is immersed in a heated chemical strengthening treatment solution to perform ion exchange, or a crystal to be crystallized by heat treatment. The conversion step or the like can be appropriately performed as necessary. Each of these inner and outer peripheral processing steps, lapping step, chemical strengthening step, crystallization step and the like can be performed by a method usually used as a method for producing a glass substrate for an information recording medium.

なお、本発明の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法においては、上記以外の種々の工程を有していても良い。例えば、ガラス基板の内部歪みを緩和するための熱処理を行うアニール工程、ガラス基板の強度の信頼性確認のためのヒートショック工程、ガラス基板の表面に残った研磨剤や化学強化処理液等の異物を除去する洗浄工程、種々の検査・評価工程等を有していても良い。 In addition, in the manufacturing method of the glass substrate for information recording media of this invention, you may have various processes other than the above. For example, annealing process for heat treatment to relieve internal distortion of the glass substrate, heat shock process for confirming the reliability of the strength of the glass substrate, foreign materials such as abrasives and chemical strengthening treatment liquid remaining on the surface of the glass substrate It may have a cleaning process for removing, various inspection / evaluation processes, and the like.

ガラス基板の材料に特に制限はなく、情報記録媒体用ガラス基板の材料として用いられる材料を適宜選択して用いることができる。中でも、化学強化ガラスや結晶化ガラスは、耐衝撃性や耐振動性に優れるため好ましい。化学強化が可能なガラス材料としては、例えば、ＳｉＯ_２、Ｎａ_２Ｏ、ＣａＯを主成分としたソーダライムガラス；ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、Ｒ_２Ｏ（Ｒ＝Ｋ、Ｎａ、Ｌｉ）を主成分としたアルミノシリケートガラス；ボロシリケートガラス；Ｌｉ_２Ｏ−ＳｉＯ_２系ガラス；Ｌｉ_２Ｏ−Ａｌ_２Ｏ_３−ＳｉＯ_２系ガラス；Ｒ’Ｏ−Ａｌ_２Ｏ_３−ＳｉＯ_２系ガラス（Ｒ’＝Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ）などが挙げられる。 There is no restriction | limiting in particular in the material of a glass substrate, The material used as a material of the glass substrate for information recording media can be selected suitably, and can be used. Among these, chemically strengthened glass and crystallized glass are preferable because they are excellent in impact resistance and vibration resistance. Examples of glass materials that can be chemically strengthened include soda lime glass mainly composed of SiO ₂ , Na ₂ O, and CaO; SiO ₂ , Al ₂ O ₃ , R ₂ O (R = K, Na, Li). Aluminosilicate glass as main component; borosilicate glass; Li ₂ O—SiO ₂ glass; Li ₂ O—Al ₂ O ₃ —SiO ₂ glass; R′O—Al ₂ O ₃ —SiO ₂ glass (R '= Mg, Ca, Sr, Ba) and the like.

ガラス基板の大きさにも特に制限はない。例えば、外径が２．５インチ、１．８インチ、１インチ、０．８インチ等種々の大きさのガラス基板を用いることができる。また、ガラス基板の厚みにも制限はないが、特に１．０ｍｍ以下の薄い厚みのガラス基板の場合、本発明の効果がより大きく、好ましい。 There is no restriction | limiting in particular also in the magnitude | size of a glass substrate. For example, glass substrates having various sizes such as 2.5 inches, 1.8 inches, 1 inch, and 0.8 inches in outer diameter can be used. Moreover, although there is no restriction | limiting also in the thickness of a glass substrate, especially in the case of a glass substrate with a thin thickness of 1.0 mm or less, the effect of this invention is larger and preferable.

（情報記録媒体の製造方法）
本発明の情報記録媒体用ガラス基板に、少なくとも記録層を形成することで情報記録媒体を製造することができる。記録層は特に限定されず、磁気、光、光磁気等の性質を利用した種々の記録層を用いることができるが、特に磁性層を記録層として用いた情報記録媒体（磁気ディスク）の製造に好適である。 (Method of manufacturing information recording medium)
An information recording medium can be produced by forming at least a recording layer on the glass substrate for information recording medium of the present invention. The recording layer is not particularly limited, and various recording layers utilizing properties such as magnetism, light, and magnetomagnetism can be used. Is preferred.

磁性層に用いる磁性材料としては、特に制限はなく公知の材料を適宜選択して用いることができる。例えば、Ｃｏを主成分とするＣｏＰｔ、ＣｏＣｒ、ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＣｒ、ＣｏＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＮｉＰｔ、ＣｏＮｉＣｒＰｔ、ＣｏＮｉＣｒＴａ、ＣｏＣｒＰｔＴａ、ＣｏＣｒＰｔＳｉＯなどが挙げられる。また、磁性層を非磁性膜（例えば、Ｃｒ、ＣｒＭｏ、ＣｒＶなど）で分割してノイズの低減を図った多層構成としてもよい。 There is no restriction | limiting in particular as a magnetic material used for a magnetic layer, A well-known material can be selected suitably and can be used. Examples thereof include CoPt, CoCr, CoNi, CoNiCr, CoCrTa, CoPtCr, CoNiPt, CoNiCrPt, CoNiCrTa, CoCrPtTa, and CoCrPtSiO containing Co as a main component. The magnetic layer may be divided by a nonmagnetic film (for example, Cr, CrMo, CrV, etc.) to have a multilayer structure in which noise is reduced.

磁性層として、上記のＣｏ系材料の他、フェライト系や鉄−希土類系の材料や、ＳｉＯ_２、ＢＮなどからなる非磁性膜中にＦｅ、Ｃｏ、ＣｏＦｅ、ＣｏＮｉＰｔ等の磁性粒子が分散された構造のグラニュラーなどを用いることもできる。磁性層は、面内型、垂直型の何れであっても良い。 As the magnetic layer, in addition to the above-mentioned Co-based material, ferrite or iron - and material of the rare earth-based, Fe, Co, CoFe, magnetic particles such CoNiPt are dispersed in a non-magnetic film made of _SiO 2, BN A granular structure can also be used. The magnetic layer may be either an in-plane type or a vertical type.

磁性膜の形成方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、スパッタリング法、無電解メッキ法、スピンコート法などが挙げられる。 As a method for forming the magnetic film, a known method can be used. For example, a sputtering method, an electroless plating method, a spin coating method, and the like can be given.

磁気ディスクには、更に必要により下地層、保護層、潤滑層等を設けても良い。これらの層はいずれも公知の材料を適宜選択して用いることができる。下地層の材料としては、例えば、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ、Ｖ、Ｂ、Ａｌ、Ｎｉなどが挙げられる。保護層の材料としては、例えば、Ｃｒ、Ｃｒ合金、Ｃ、ＺｒＯ_２、ＳｉＯ_２などが挙げられる。また、潤滑層としては、例えば、パーフロロポリエーテル（ＰＦＰＥ）等からなる液体潤滑剤を塗布し、必要に応じ加熱処理を行ったものなどが挙げられる。 The magnetic disk may further be provided with an underlayer, a protective layer, a lubricating layer, etc., if necessary. Any of these layers can be used by appropriately selecting a known material. Examples of the material for the underlayer include Cr, Mo, Ta, Ti, W, V, B, Al, and Ni. Examples of the material for the protective layer include Cr, Cr alloy, C, ZrO ₂ , and SiO ₂ . Moreover, as a lubrication layer, the thing etc. which apply | coated the liquid lubricant which consists of perfluoropolyether (PFPE) etc., and heat-processed as needed are mentioned, for example.

（実施例１）
図７の回転テーブルを用いたプレス成型機に図１に示す溶融ガラス供給装置を使用して、下型２４の成型面２６の上に溶融ガラス塊２８を供給し、その後、上型２５の成型面２７を溶融ガラス塊２８の上に降下させて加圧する。加圧と同時に冷却してガラス基板２９を得た。溶融ガラスを切断する一対のブレードは、図１（ａ）に示す一対のブレード２３を用いて、ずらし量ｄを３ｍｍ、一対のブレードの移動方向の傾きθを１５°とした。 Example 1
The molten glass lump 28 is supplied onto the molding surface 26 of the lower mold 24 using the molten glass supply apparatus shown in FIG. 1 in the press molding machine using the rotary table of FIG. The surface 27 is lowered onto the molten glass block 28 and pressed. The glass substrate 29 was obtained by cooling simultaneously with the pressurization. The pair of blades for cutting the molten glass was a pair of blades 23 shown in FIG. 1A, the shift amount d was 3 mm, and the inclination θ in the moving direction of the pair of blades was 15 °.

他の主な条件を以下に示す。 Other main conditions are shown below.

ノズルの流出口２ａの径：φ１０ｍｍ
溶融ガラス流８のガラス流温度（ノズル温度）：１３００℃
溶融ガラス流８のガラス流量：８０ｍｌ／分
下型２４、上型２５の温度：上：４００℃ 下：５００℃
上記の条件で所定量の溶融ガラスを下型２４に供給し、回転テーブルを用いて、下型２４を、成型面２６の中心位置における回転半径２５０ｍｍ、移動速度０．５ｍ／秒で位置Ａから位置Ｂに移動し、０．５秒間加圧したのち型開きを行って、次に位置Ｂから位置Ｅに移動して、ガラス基板２９を回収した。これにより１００枚のガラス基板２９を作成した。なお、ずらし量ｄ及び一対のブレードの移動方向の傾きθは、この成型に先立ち、予め実験により決めて設定した値であり、上型でプレス成型する際の下型２４上の溶融ガラス塊の形状が対称な形状になるようにしている。 Nozzle outlet 2a diameter: φ10mm
Glass flow temperature (nozzle temperature) of molten glass flow 8: 1300 ° C.
Glass flow rate of molten glass flow 8: 80 ml / min Temperature of lower mold 24 and upper mold 25: Upper: 400 ° C. Lower: 500 ° C.
A predetermined amount of molten glass is supplied to the lower mold 24 under the above-described conditions, and the lower mold 24 is moved from the position A at a rotational radius of 250 mm and a moving speed of 0.5 m / second at the center position of the molding surface 26 using a rotary table. After moving to position B and pressurizing for 0.5 seconds, mold opening was performed, then moved from position B to position E, and glass substrate 29 was collected. As a result, 100 glass substrates 29 were produced. Note that the shift amount d and the inclination θ of the moving direction of the pair of blades are values determined and set in advance by experiments prior to this molding, and the molten glass lump on the lower mold 24 when press-molding with the upper mold is performed. The shape is made symmetrical.

得られたガラス基板２９の外径寸法をマイクロメータで１枚につき５カ所測定し、その最大径と最小径の差を算出した。これを作成した１００枚で測定して、真円度の評価を行った。その結果、最大径と最小形の差は、３０μｍ以内の範囲にあり、高い真円度を示した。 The outer diameter of the obtained glass substrate 29 was measured at five locations with a micrometer, and the difference between the maximum diameter and the minimum diameter was calculated. The roundness was evaluated by measuring it with 100 sheets. As a result, the difference between the maximum diameter and the minimum shape was within a range of 30 μm, indicating high roundness.

また、得られたガラス基板２９を平板の上に載置して、ハイトゲージにより外周部の高さを１枚につき５カ所測定し、その最大値と最小値の差を算出した。これを作成した１００枚で測定し、平行度の評価を行った。その結果、高さの最大値と最小値の差は、１０μｍ以内の範囲にあり、高い平行度を示した。 In addition, the obtained glass substrate 29 was placed on a flat plate, and the height of the outer peripheral portion was measured at five locations per sheet with a height gauge, and the difference between the maximum value and the minimum value was calculated. The parallelism was evaluated by measuring 100 sheets of this. As a result, the difference between the maximum value and the minimum value was within a range of 10 μm, indicating high parallelism.

（比較例１）
ずらし量ｄを０ｍｍ、傾きθを０°とした以外は実施例１と同じように作成し、真円度と平行度の評価も実施例１と同様に測定した。測定結果は、ガラス基板の外形寸法の最大径と最小形の差は、３０〜１００μｍの範囲にあり、実施例１より真円度は悪かった。また、ガラス基板の平行度は、高さの最大値と最小値の差は、１０〜５０μｍの範囲にあり、実施例１より悪い平行度を示した。 (Comparative Example 1)
It was created in the same manner as in Example 1 except that the shift amount d was set to 0 mm and the inclination θ was set to 0 °, and the evaluation of roundness and parallelism was also measured in the same manner as in Example 1. As a result of the measurement, the difference between the maximum diameter and the minimum shape of the outer dimensions of the glass substrate was in the range of 30 to 100 μm, and the roundness was worse than that of Example 1. Further, the parallelism of the glass substrate was such that the difference between the maximum value and the minimum value was in the range of 10 to 50 μm, which was worse than Example 1.

以上の結果より、本発明により、成型後のガラス基板の真円度及び平行度の高いガラス基板を得られることがわかる。 From the above results, it can be seen that a glass substrate having a high roundness and parallelism of the molded glass substrate can be obtained by the present invention.

１溶融るつぼ
２ノズル
５、６加熱ヒータ
７溶融ガラス
８溶融ガラス流
１０攪拌棒
１１ガスノズル
２０回転テーブル
２３ブレード
２４下型
２５上型
２６、２７成型面
２８溶融ガラス塊
２９ガラス基板
３０情報記録媒体用ガラス基板
３３中心穴
３１主表面
３４外周端面
３５内周端面
３６、３７面取り部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Melting crucible 2 Nozzle 5, 6 Heater 7 Molten glass 8 Molten glass flow 10 Stirring rod 11 Gas nozzle 20 Rotary table 23 Blade 24 Lower mold 25 Upper mold 26, 27 Molding surface 28 Molten glass lump 29 Glass substrate 30 For information recording media Glass substrate 33 Center hole 31 Main surface 34 Outer peripheral end surface 35 Inner peripheral end surface 36, 37 Chamfer

Claims

Cutting the molten glass flowing out from the outlet of the nozzle and supplying it to the molding surface of the lower mold disposed at the first position;
A moving step of moving the lower mold from the first position to a second position facing the upper mold;
In the method for producing a glass substrate, the method further comprising: pressing the molten glass lump supplied to the lower mold with the upper mold at the second position.
The supply step includes
A center point of a circular surface where the lump of molten glass is in contact with the molding surface of the lower mold;
The point of projecting the top of the molten glass lump vertically onto the molding surface of the lower mold,
A method for producing a glass substrate, comprising supplying the lump of molten glass to the molding surface of the lower mold so as to be shifted by a predetermined distance.

The supply step includes
A plane that passes through the top of the mass of molten glass above the molding surface of the lower mold, is perpendicular to the molding surface of the lower mold, and is parallel to the direction in which movement starts from the first position to the second position. , The midpoint of the side in contact with the molding surface of the lower mold of the cross-sectional shape when cutting the molten glass lump,
A point in which the top portion is vertically projected on the molding surface of the lower mold,
The method for manufacturing a glass substrate according to claim 1, wherein the molten glass is supplied to the molding surface of the lower mold so as to be shifted by a predetermined distance.

The moving step includes
The lower mold is disposed on a rotary table;
The lower table moves from the first position to the second position by rotating the rotary table,
The supply step includes
A cross-sectional shape when cutting the molten glass lump on a plane perpendicular to the molding surface of the lower mold, passing through the top of the molten glass lump on the molding surface of the lower mold and the rotation center of the rotary table From the midpoint of the side in contact with the molding surface of the lower mold
The point where the top portion is projected in the vertical direction on the molding surface of the lower mold,
The method for producing a glass substrate according to claim 1, wherein the molten glass is supplied to the molding surface of the lower mold so as to be close to the rotation center by a predetermined distance.

Cutting the molten glass in the supplying step is
A cutting edge of a pair of blades intersects to cut the molten glass,
The glass substrate manufacturing method according to any one of claims 1 to 3, wherein a position where the cutting edges of the pair of blades intersect with each other is a position shifted by a predetermined amount from a vertical line at the center of the outflow port. Method.

Cutting the molten glass in the supplying step is
A cutting edge of a pair of blades intersects to cut the molten glass,
4. The method of manufacturing a glass substrate according to claim 1, wherein a plane on which the blade tips of the pair of blades move is inclined at a predetermined angle from a horizontal plane. 5.

The method for producing a glass substrate according to any one of claims 1 to 3, wherein in the supplying step, gas is blown to the molten glass flowing out of the nozzle.

A method for producing a glass substrate for an information recording medium, comprising the step of polishing a glass substrate produced by the method for producing a glass substrate according to any one of claims 1 to 6.

A method for producing an information recording medium, comprising the step of forming a recording layer on the glass substrate for information recording medium produced by the method for producing a glass substrate for information recording medium according to claim 7.