JP2010179354A - Lid tacking method and device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To tack a lid to a container while holding the lid by a suction nozzle even if the lid is small. <P>SOLUTION: A lid tacking method and a device therefor are used for tacking the lid to the container by spot-welding. At least an action end vicinity 7A sucks and holds the lid 10 by the suction nozzle 7 having a laser beam transmission property. The lid 10 held by the suction nozzle 7 is positioned and placed on the opening of the container 11. In the state that the suction nozzle 7 biases the lid 10 to the direction of the container 11, the lid 10 can be tacked to the container 11 by irradiating the lid 10 with laser beam transmitted through the action end vicinity 7A. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、水晶振動子、弾性表面波フィルタ等の電子部品を収容した容器の開口部に、蓋体であるリッドを接合することで該容器を気密封止する封止作業の際、事前に該容器の開口部と該リッドとを仮止めする方法およびその装置に係るものである。 In the present invention, in advance of a sealing operation for hermetically sealing the container by bonding a lid, which is a lid, to the opening of the container containing electronic components such as a crystal resonator and a surface acoustic wave filter. The present invention relates to a method and an apparatus for temporarily fixing the opening of the container and the lid.

従来から、水晶振動子、弾性表面波フィルタ等の電子部品を容器に気密封止する方法として、マイクロパラレルシーム接合法が広く用いられている。図5は従来からあるシールリング付き容器の断面図であり、まずセラミック基板51に金属製シールリング52をろう接してなる容器53の内部に水晶振動子等の電子部品54を収納し、この電子部品54をワイヤ55によって外リード56に電気的に接続したものを準備する。そしてこの容器53の開口部にはコバール等からなるリッド57が位置決めされて載置される。 Conventionally, a micro-parallel seam bonding method has been widely used as a method for hermetically sealing electronic components such as a crystal resonator and a surface acoustic wave filter in a container. FIG. 5 is a cross-sectional view of a conventional container with a seal ring. First, an electronic component 54 such as a crystal resonator is housed in a container 53 formed by brazing a metal seal ring 52 to a ceramic substrate 51. A component 54 that is electrically connected to the outer lead 56 by a wire 55 is prepared. A lid 57 made of Kovar or the like is positioned and placed in the opening of the container 53.

このとき、位置決めされたリッド57が容器53の開口部に接合されるまでに何らかの外力で位置ずれしてしまったり、例えば接合がシーム溶接である場合、接合を開始するためにローラ電極が接触することで位置ずれしてしまうことがある。これを避けるためにリッド57は通常スポット接合によって容器53の開口部周縁に仮止めされる。このようにリッド57を容器53に載置しスポット接合を行なう仮止め装置が特許文献1に開示されている。   At this time, when the positioned lid 57 is joined to the opening of the container 53 by some external force, for example, when joining is seam welding, the roller electrode contacts to start joining. May be misaligned. In order to avoid this, the lid 57 is usually temporarily fixed to the periphery of the opening of the container 53 by spot bonding. A temporary fixing device that places the lid 57 on the container 53 and performs spot bonding in this manner is disclosed in Patent Document 1.

特許文献1で開示されたリッドの仮止め装置を図6に基づいて説明する。図6において、58は吸着ノズルであり図示しない排気手段と接続され、その負圧により先端にリッド57を吸着保持している。また59は一対の電極であり吸着ノズル58と連動して下降し、まずリッド57が容器53の上面の開口部に当接する。ここで吸着ノズル58の下降動作は停止するが、吸着動作とともにリッド57を下方に付勢する動作は維持し、リッド57の位置ずれを阻止する。一方一対の電極59は下降動作を続け、容器53上に載置されたリッド57に接触して通電することで、その抵抗発熱を利用して仮止め(スポット接合)を行なう。   The lid temporary fixing device disclosed in Patent Document 1 will be described with reference to FIG. In FIG. 6, reference numeral 58 denotes a suction nozzle, which is connected to an exhaust means (not shown), and holds the lid 57 at the tip by suction due to its negative pressure. Reference numeral 59 denotes a pair of electrodes that move down in conjunction with the suction nozzle 58, and first the lid 57 comes into contact with the opening on the upper surface of the container 53. Here, the lowering operation of the suction nozzle 58 is stopped, but the operation of urging the lid 57 downward together with the suction operation is maintained, and the displacement of the lid 57 is prevented. On the other hand, the pair of electrodes 59 continues to move downward, and is brought into contact with the lid 57 placed on the container 53 and energized, thereby performing temporary fixing (spot bonding) using the resistance heat generation.

ここで一対の電極59の形状は単なる棒状のものでも一応の目的は果たすが、常に同じ部分がリッド57と接することで、異物の付着や磨耗がその作用部に集中し、電極としての寿命が短いものになる。そこで従来から、図7で示すように電極としてテーパ付きのローラ電極60を一対設け、その間隙に吸着ノズル61を配置する構造が採用されてきた。このような電極を使用すれば、ある一定のスポット接合回数の度にローラを微小角度回転させることでローラ部分の全周がリッドと接触する作用部として使用できるので、電極交換の頻度が激減する。この微小角度の回転はリッドから離隔してローラ電極60が移動しているときに適当な他の固定部材に接触し、その摩擦力でローラが回転するようにすれば容易に自動化も可能である。   Here, even if the pair of electrodes 59 has a simple rod shape, it serves a certain purpose. However, since the same portion is always in contact with the lid 57, the adhesion and wear of foreign substances concentrate on the action portion, and the life as an electrode is increased. It will be short. Therefore, conventionally, as shown in FIG. 7, a structure in which a pair of tapered roller electrodes 60 are provided as electrodes and the suction nozzle 61 is disposed in the gap has been adopted. If such an electrode is used, the entire circumference of the roller part can be used as an action part in contact with the lid by rotating the roller by a small angle every time a certain number of spot joinings are performed, so the frequency of electrode replacement is drastically reduced. . This rotation at a very small angle can be easily automated if the roller electrode 60 is moved away from the lid so as to come into contact with an appropriate other fixing member and the roller is rotated by the frictional force. .

そして更に近年では高密度実装の要求から容器の小型化が進み、そのサイズは上面視で1.6×0.8mm程度にまで縮小してきている。このようなことから、一対のローラ電極の間隙に吸着ノズルを配置しつつローラ電極の間隔を縮小することに工夫が必要となり、特許文献2には、吸着ノズルと一対のローラ電極の構成は図7で示したものと同様だが、矩形のリッドの対向する辺の略中央部ではなく対角をスポット接合し、少しでも小型の容器に対応しようとする技術が開示されている。   In recent years, the size of containers has been reduced due to the demand for high-density mounting, and the size has been reduced to about 1.6 × 0.8 mm when viewed from above. For this reason, it is necessary to devise to reduce the interval between the roller electrodes while arranging the suction nozzle in the gap between the pair of roller electrodes. Although the same as that shown in FIG. 7, a technique has been disclosed in which spot diagonal bonding is performed on the opposite sides of the rectangular lid rather than the substantially central portion, and an attempt is made to cope with a small container as much as possible.

さらに特許文献3には、作用端(吸着端)である下端の近傍の側面がテーパ状に小径になった吸着ノズルを用い、この吸着ノズルのテーパに沿った角度でローラ電極を傾斜させて回転自在に保持する技術が開示されている。これは吸着ノズル全体の機械的強度を確保し、且つ吸着ノズル内部の空気流路の小径部を短くすることで空気抵抗を軽減し、その吸着力を確保する工夫がなされたものである(図8)。 Further, Patent Document 3 uses a suction nozzle having a tapered side surface in the vicinity of the lower end, which is the working end (suction end), and rotates the roller electrode at an angle along the taper of the suction nozzle. A technique for holding freely is disclosed. This is a device in which the mechanical strength of the entire suction nozzle is ensured and the air resistance is reduced by shortening the small diameter portion of the air flow path inside the suction nozzle to ensure the suction force (Fig. 8).

特開平9−64220号公報(第3頁、図3)Japanese Patent Laid-Open No. 9-64220 (page 3, FIG. 3) 特開2003−1428号公報(第3頁、図1、図7)Japanese Patent Laying-Open No. 2003-1428 (page 3, FIG. 1, FIG. 7) 特開2009−731号公報(第5頁、図2)JP 2009-731 A (Page 5, FIG. 2) 特開2007−12752号公報(第11頁、図9.図10)Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-12752 (page 11, FIG. 9, FIG. 10)

しかしながら、近年のモバイル機器等の部品として要求される部品サイズは、依然小型化の傾向が止まらず、特許文献3で説明した吸着ノズルのテーパ形状の作用端においても、吸着孔はリッドの外形内に収まるが、それに吸着ノズルの肉厚を加えた作用端の外形はリッドの外形内に収まり難く、仮止めのためのスポット接合を施す領域が得られなくなってきた。   However, the size of parts required as parts for mobile devices in recent years still does not stop, and the suction hole is within the outer shape of the lid even at the tapered working end of the suction nozzle described in Patent Document 3. However, the outer shape of the working end obtained by adding the thickness of the suction nozzle to the outer surface is difficult to fit within the outer shape of the lid, and it becomes impossible to obtain an area for spot bonding for temporary fixing.

また、ローラ電極によるシーム接合ではないが、リッドに対しレーザ光を照射することで封止を行なう技術において、特許文献4に開示された仮止めの技術がある。ここでは、図9に平面図で示すように、複数の容器62が整列して載置され、さらに夫々の容器62にリッド63が位置決めして載置される。そしてそれらリッド63に対し押え治具である棒状体64を上から当ててレーザ光をスポット的に照射することで仮止めを行なっている。つまりここでは、吸着ノズルを備えたピックアップツールにより、1枚毎にリッド63を容器62の上に位置決めして載置したのちに、別工程として仮止め接合を行なうのであるから、リッド63を載置してから押え治具64を当てるまでにリッド63が位置ずれする可能性を含み、また、1枚毎にリッド63を載置するのと同時に仮止めを行なうよりも効率が悪い。   In addition, there is a temporary fixing technique disclosed in Patent Document 4 as a technique for performing sealing by irradiating a lid with laser light, although it is not seam bonding by a roller electrode. Here, as shown in a plan view in FIG. 9, the plurality of containers 62 are aligned and placed, and the lid 63 is positioned and placed on each container 62. Then, a rod-like body 64 as a pressing jig is applied to the lid 63 from above and is temporarily fixed by irradiating laser light spotwise. That is, here, since the lid 63 is positioned and placed on the container 62 for each sheet by the pickup tool having the suction nozzle, temporary bonding is performed as a separate process. This includes the possibility that the lid 63 will be displaced from when it is placed to when the pressing jig 64 is applied, and it is less efficient than provisional fixing at the same time that the lid 63 is placed one by one.

また、リッドの周縁を全周に亘ってレーザ溶接した場合、溶接痕(ビード)が美観を損ねるため、仕上がり外観の良いローラ電極によるシーム接合でリッドの周縁を封止しようとする要求も多い。したがって発明者は、電極によった抵抗溶接での仮止めにとらわれず、外形寸法の小さなリッドにも対応でき、後の工程でリッドの全周を封止接合する方法も選ばないリッドの仮止め方法およびその装置を提供するものである。   In addition, when laser welding is performed on the entire periphery of the lid, weld marks (beads) impair aesthetics, and there are many demands for sealing the periphery of the lid by seam bonding with a roller electrode having a good finished appearance. Therefore, the inventor is not limited to temporary fixing by resistance welding using electrodes, and can cope with a lid having a small outer dimension, and the method of sealing and joining the entire circumference of the lid in a later process is not limited. A method and apparatus are provided.

本発明は第1の態様として、電子部品を収容する容器の開口部にリッドを載置し、このリッドの周縁を前記開口部に接合する封止作業に先立って、前記リッドを前記容器にスポット接合することで両者を仮止めするリッドの仮止め方法において、少なくとも作用端近傍がレーザ光透過性を有する吸着ノズルによりリッドを吸着保持し、前記吸着ノズルに保持された前記リッドを容器の開口部に位置決めして載置し、前記吸着ノズルが前記リッドを前記容器の方向に付勢した状態で、前記作用端近傍を透過させてレーザ光を前記リッドに照射することでこのリッドを前記容器に仮止めすることを特長とするリッドの仮止め方法を提供するものである。 As a first aspect of the present invention, the lid is spotted on the container prior to the sealing operation in which the lid is placed in the opening of the container for housing the electronic component and the periphery of the lid is joined to the opening. In the lid temporary fixing method in which both are temporarily fixed by joining, the lid is sucked and held by a suction nozzle having a laser beam permeability at least in the vicinity of the working end, and the lid held by the suction nozzle is opened in the container In the state where the suction nozzle urges the lid toward the container, the lid is applied to the container by irradiating the lid with laser light through the vicinity of the working end. The present invention provides a method for temporarily fixing a lid, which is characterized by being temporarily fixed.

また本発明の第2の態様として、前記レーザ光の照射位置は、前記リッドの上面又は端面であって、且つ前記吸着ノズルの吸着作用端の外形が前記リッドの外形を覆っていることを特徴とする第1の態様として記載のリッドの仮止め方法を提供するものである。 As a second aspect of the present invention, the irradiation position of the laser beam is an upper surface or an end surface of the lid, and the outer shape of the suction action end of the suction nozzle covers the outer shape of the lid. The provisional fixing method of the lid described as the first aspect is provided.

また本発明の第3の態様として、電子部品を収容する容器の開口部にリッドを載置し、このリッドの周縁を前記開口部に接合する封止作業に先立って、前記リッドを前記容器にスポット接合することで両者を仮止めするリッドの仮止め装置であって、レーザ光発生部と、レーザ光伝送部と、レーザ光射出光学部と、少なくとも作用端近傍がレーザ光透過性を有する材料で構成された吸着ノズルとを備えることを特徴とするリッドの仮止め装置を提供するものである。 Further, as a third aspect of the present invention, prior to a sealing operation in which a lid is placed in an opening of a container that houses an electronic component, and a peripheral edge of the lid is joined to the opening, the lid is attached to the container. A lid temporary fixing device that temporarily fixes both of them by spot bonding, a laser light generating part, a laser light transmitting part, a laser light emitting optical part, and a material having laser light transmittance at least near the working end A lid temporary fixing device comprising: a suction nozzle configured as described above.

さらに本発明の第4の態様として、複数のレーザ光射出光学部と、このレーザ光射出光学部と前記レーザ光発生部とに介在するレーザ光分岐光学部とを備えることを特徴とする第3の態様として記載のリッドの仮止め装置を提供するものである。 Furthermore, as a fourth aspect of the present invention, a third aspect is characterized by comprising a plurality of laser beam emission optical units and a laser beam branching optical unit interposed between the laser beam emission optical unit and the laser beam generation unit. The lid temporary fixing device described as the embodiment is provided.

本発明の第1の態様によれば、吸着ノズル作用端の周囲にリッドの上面が露出した領域が狭く、吸着ノズルの作用端に至近の位置、あるいは該作用端の領域に一部が重なる位置でスポット接合を行なう場合でも、レーザ光が吸着ノズルを透過するため、リッドと吸着ノズルの作用端との面積に大きな差がない場合でも、自由な位置をスポット接合することができ、確実に仮止めを行なうことが可能となる。   According to the first aspect of the present invention, the area where the upper surface of the lid is exposed around the suction nozzle working end is narrow, the position close to the working end of the suction nozzle, or the position partially overlapping the working end area Even when spot welding is performed, the laser beam passes through the suction nozzle, so even if there is no large difference in the area between the lid and the working end of the suction nozzle, a free position can be spot-bonded, and temporary provision is ensured. It is possible to stop.

本発明の第2の態様によれば、吸着ノズルの作用端外形の内側でレーザ光によるスポット接合が可能であるため、リッドの外形が吸着ノズルの作用端に形成された吸着孔よりも大きければ、該作用端の外形よりも小さなリッドが仮止め可能となる。   According to the second aspect of the present invention, since spot bonding by laser light is possible inside the working end contour of the suction nozzle, if the lid has a larger contour than the suction hole formed at the working end of the suction nozzle. The lid smaller than the outer shape of the working end can be temporarily fixed.

本発明の第3の態様によれば、本発明の第1、第2の態様に記載したリッドの仮止めを行なう装置を得ることができる。また本発明の第4の態様によれば、リッド上の複数箇所(例えば2箇所)をスポット接合して仮止めを行なえるので、より確実な仮止め作業を実現することが可能となる。   According to the third aspect of the present invention, it is possible to obtain the apparatus for temporarily fixing the lid described in the first and second aspects of the present invention. Further, according to the fourth aspect of the present invention, since a plurality of locations (for example, two locations) on the lid can be spot-bonded and temporarily fixed, a more reliable temporary fixing operation can be realized.

本発明の実施形態を示すリッドの仮止め装置の側面図The side view of the temporary fix | stop apparatus of the lid which shows embodiment of this invention 本発明の実施形態を示すリッドの仮止め装置の要部側面図The principal part side view of the temporary fix | stop apparatus of the lid which shows embodiment of this invention 本発明の実施形態を示す容器およびリッドの平面図The top view of the container and lid which show embodiment of this invention 本発明の他の実施形態を示す側面図Side view showing another embodiment of the present invention 従来の技術を示す容器の断面図Sectional view of a container showing conventional technology 従来の技術を示すリッドの仮止め装置の要部側面図Side view of main parts of lid temporary fixing device showing conventional technology 従来の技術を示すリッドの仮止め装置の要部側面図Side view of main parts of lid temporary fixing device showing conventional technology 従来の技術を示すリッドの仮止め装置の要部側面図Side view of main parts of lid temporary fixing device showing conventional technology 従来の技術を示す容器およびリッドの平面図Plan view of container and lid showing conventional technology

次に、添付図面を参照して本発明に係るリッドの仮止め方法および装置の実施形態を詳細に説明する。   Next, embodiments of a lid temporary fixing method and apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は本発明に係るリッドの仮止め装置の側面図であり、符号1は図示しないガイド機構と駆動機構により紙面を見て左右の方向に移動可能であると共に、吸着ノズルおよびレーザ光射出光学部を支持するベースである。2はカムプレート、3はカムプレート2に連動するカムフォロア、4はアーム、5はカムフォロア3をカムプレート2の半径の変化に追従させるためにベース1とアーム左端4Aとの間に装架された引っ張りコイルばね、6はレーザ光射出光学部、7はその作用端(吸着面となる一端)近傍7Aがレーザ光透過性を有する材料で構成された吸着ノズルである。   FIG. 1 is a side view of a temporary tacking device for a lid according to the present invention. Reference numeral 1 denotes a guide mechanism and a driving mechanism (not shown) that can be moved in the left-right direction as viewed from the paper surface. It is a base which supports a part. 2 is a cam plate, 3 is a cam follower interlocking with the cam plate 2, 4 is an arm, and 5 is mounted between the base 1 and the arm left end 4A in order to make the cam follower 3 follow changes in the radius of the cam plate 2. A tension coil spring, 6 is a laser beam emission optical part, and 7 is a suction nozzle in which 7A in the vicinity of its working end (one end serving as a suction surface) is made of a material having laser beam transparency.

7Bはベース1に上下動自在に支持された吸着ノズル本体部であり、排気孔7Cから図示しない排気装置に接続され排気が行なわれることにより吸着ノズルの下端である吸着作用端に負圧を生じさせる。8は吸着ノズルの上端7Cとアーム4の右端4B間に装架された引っ張りコイルばね、9はベース1に上下動自在に支持された支持ブロック、10は吸着ノズル7に吸着された状態のリッド、11はステージ12上に位置決めして載置された容器、13はレーザ光発生部、14はレーザ光発生部からレーザ光射出光学部までレーザ光を導くための、光ファイバからなるレーザ光伝送部である。 Reference numeral 7B denotes an adsorption nozzle main body that is supported by the base 1 so as to be movable up and down, and is connected to an exhaust device (not shown) through the exhaust hole 7C to generate a negative pressure at the adsorption action end that is the lower end of the adsorption nozzle. Let 8 is a tension coil spring mounted between the upper end 7C of the suction nozzle and the right end 4B of the arm 4, 9 is a support block supported by the base 1 so as to be movable up and down, and 10 is a lid in a state of being sucked by the suction nozzle 7. , 11 is a container positioned and placed on the stage 12, 13 is a laser beam generation unit, 14 is a laser beam transmission comprising an optical fiber for guiding the laser beam from the laser beam generation unit to the laser beam emission optical unit. Part.

次に、スポット接合によるリッドの仮止め動作を図1および図2に基づいて説明する。図1は、図示しないリッド供給部から吸着ノズル7によりリッド10を吸着し、仮止めステージまで移動した状態を示す。ここで、図示しないモータの駆動に伴いその回転軸2Aを中心にカムプレート2が回転する。カムプレート2はモータのシャフトの回転軸2Aに対して偏心しており、その回転により半径の小さい部分が回転軸2Aの下方に来ると、アーム4に軸着され、引っ張りコイルばね6によりカムプレート2側に付勢されているカムフォロア3は上方に移動する。   Next, the temporary fixing operation of the lid by spot bonding will be described with reference to FIGS. FIG. 1 shows a state in which a lid 10 is sucked by a suction nozzle 7 from a lid supply unit (not shown) and moved to a temporary fixing stage. Here, as the motor (not shown) is driven, the cam plate 2 rotates about the rotation shaft 2A. The cam plate 2 is eccentric with respect to the rotating shaft 2A of the shaft of the motor. When a portion with a small radius comes below the rotating shaft 2A due to the rotation, the cam plate 2 is pivotally attached to the arm 4 and is pulled by the tension coil spring 6. The cam follower 3 biased to the side moves upward.

カムフォロア3の上昇に伴い、アームの左端4Aは支点4Cを中心に上昇し、同時にアームの右端4Bが下降する。ここでアームの右端4Bは、吸着ノズルの上端7Cと支持ブロック9に一体的に設けられた突起部9Aとを下方から支持しており、アームの右端4Bが下降するのに伴い吸着ノズル7とレーザ光射出光学部6も同時に下降する。吸着ノズル7が下降することにより、その作用端に吸着保持されたリッド10は容器11の上面に当接する。これより吸着ノズル7は下降を停止するが、カムプレート2は回転を続け、アームの右端4Bは更に下降し続ける。   As the cam follower 3 rises, the left end 4A of the arm rises around the fulcrum 4C, and at the same time, the right end 4B of the arm descends. Here, the right end 4B of the arm supports the upper end 7C of the suction nozzle and the protrusion 9A provided integrally with the support block 9 from below, and the suction nozzle 7 and the right end 4B of the arm move downward. The laser beam emission optical unit 6 is also lowered at the same time. By lowering the suction nozzle 7, the lid 10 sucked and held at its working end comes into contact with the upper surface of the container 11. As a result, the suction nozzle 7 stops descending, but the cam plate 2 continues to rotate and the right end 4B of the arm continues to descend further.

ここで、下降するアームの右端4Bと下降が停止した状態の吸着ノズルの上端7Cとの相対的変位は、引っ張りコイルばね8の伸びが吸収するとともに、その反力により所定の押圧力で吸着ノズル7がリッド10を容器11に向かって付勢するようにしている。また、吸着ノズル7が静止した後もレーザ光射出光学部6はアームの右端4Bの下降に伴って下降を続けるが、やがてアームの右端4Bの下面が吸着ノズル本体7Bに固定してあるマイクロスイッチ15に当接して接点を切り替える。そしてマイクロスイッチ15の接点が切り替わると、カムプレート2の回転が停止し、同時にレーザ光射出光学部6が予め調整された所望の高さに停止する。 Here, the relative displacement between the right end 4B of the descending arm and the upper end 7C of the suction nozzle in a state where the lowering is stopped is absorbed by the extension of the tension coil spring 8, and the suction force is generated by a predetermined pressing force by the reaction force. 7 urges the lid 10 toward the container 11. Further, even after the suction nozzle 7 is stationary, the laser light emission optical unit 6 continues to descend as the right end 4B of the arm descends, but eventually the micro switch in which the lower surface of the right end 4B of the arm is fixed to the suction nozzle body 7B. 15 is contacted and the contact is switched. When the contact point of the micro switch 15 is switched, the rotation of the cam plate 2 is stopped, and at the same time, the laser beam emission optical unit 6 is stopped at a predetermined height adjusted in advance.

図2は図1の要部を拡大した図であり、図2(a)はリッド10が容器11に載置される前の状態、図2(b)はリッド10が容器11上に載置され、その後レーザ光射出光学部6がリッド10にレーザ光を照射している状態を示している。ここでレーザ光射出光学部6はレーザ光伝送部14の光ファイバ終端面から拡散光として射出されるレーザ光を光学レンズを介すことで所定の位置に再集光するものである。そしてこの再集光させる位置がリッド10の上面又は端面であるが、これらの部分は吸着ノズルの作用端によって覆い隠されている。しかし、吸着ノズル7の作用端近傍7Aはレーザ光透過性を有するため当該レーザ光を透過し、リッド10及びリッド10と容器11とに介在した接合材にエネルギーを付与し発熱させることでスポット接合が行なわれる。   2 is an enlarged view of the main part of FIG. 1, FIG. 2A is a state before the lid 10 is placed on the container 11, and FIG. 2B is a state where the lid 10 is placed on the container 11. Then, the laser light emission optical unit 6 shows a state in which the lid 10 is irradiated with the laser light. Here, the laser beam emission optical unit 6 refocuses the laser beam emitted as diffused light from the optical fiber end surface of the laser beam transmission unit 14 at a predetermined position through an optical lens. The refocusing position is the upper surface or the end surface of the lid 10, but these portions are covered by the working end of the suction nozzle. However, since the vicinity of the working end 7A of the suction nozzle 7 has laser beam transparency, the laser beam is transmitted therethrough, and energy is applied to the lid 10 and the bonding material interposed between the lid 10 and the container 11 to generate heat, thereby spot bonding. Is done.

次に、リッド10が吸着ノズル7によって容器に載置された様子を図3に平面図で示す。ここで、2点鎖線で示した2つの円は吸着ノズル7の作用端の外形と吸着ノズル7の作用端に設けられた吸着孔の外形である。該吸着孔の外形はリッド10の上面に収まる径となっているが、該作用端の外形はリッド10の外形があまりに小さいため、その領域からはみ出した状態となっている。そして斜線でハッチングされた小さな円は、図示しないレーザ光射出光学部がレーザ光を照射し、スポット接合がなされる部分である。この図ではスポット接合される部分を代表的な候補として4箇所示したが、本実施形態ではこれらのうちのいずれか1箇所がスポット接合される。   Next, a state in which the lid 10 is placed on the container by the suction nozzle 7 is shown in a plan view in FIG. Here, two circles indicated by a two-dot chain line are the outer shape of the working end of the suction nozzle 7 and the outer shape of the suction hole provided at the working end of the suction nozzle 7. The outer shape of the suction hole is a diameter that fits on the upper surface of the lid 10, but the outer shape of the working end is in a state of protruding from the region because the outer shape of the lid 10 is too small. A small circle hatched with diagonal lines is a portion where a laser beam emitting optical unit (not shown) irradiates the laser beam and spot bonding is performed. In this figure, four spots are shown as representative candidates, but in this embodiment, any one of these spots is spot-joined.

次に図4に基づいて他の実施形態を説明する。この実施形態は図1に基づいて説明した実施形態が、リッド1枚に対して1箇所の仮止めスポット接合を行なうものであったのに対し、リッド1枚に対し2箇所の仮止めスポット接合を行なうように構成されたものである。したがって、レーザ光発生部13で発生したレーザ光はレーザ光分岐光学部16によって二手に分岐され、一対設けられたレーザ光射出光学部6に伝送される。この実施形態ではレーザ光射出光学部6を支持する支持ブロック9も一対設けられているだけで、動作に関しては図1に基づいて説明した実施形態と同等であるので、説明は省略する。   Next, another embodiment will be described with reference to FIG. In this embodiment, the embodiment described with reference to FIG. 1 performs temporary fixing spot bonding at one place on one lid, whereas two temporary fixing spot bondings on one lid. It is comprised so that it may perform. Therefore, the laser beam generated by the laser beam generator 13 is bifurcated by the laser beam branching optical unit 16 and transmitted to the paired laser beam emitting optical units 6. In this embodiment, only a pair of support blocks 9 for supporting the laser beam emission optical section 6 are provided, and the operation is the same as that of the embodiment described with reference to FIG.

このような構成とすることにより、一対のレーザ光射出光学部から同時に1枚のリッドの2箇所にレーザ光を照射することができるため、図3でスポット接合部の位置の候補を示したうち、対向する2つの辺の略中央部を2箇所スポット接合することが可能となり。リッドの片浮き等の可能性が少なく、より確実なリッドの仮止めを実現することができる。また、図3ではリッド10の形状が平面視で長方形であり、スポット接合を4角に行なう場合は、レーザ光が吸着ノズルの作用端を透過せずとも可能であるように思われるが、このリッド10の形状(長方形)のアスペクト比が小さく(正方形に近く)なればそれも不可能になり、本発明に係るリッドの仮止め方法および装置がその効果を発揮するものである。   By adopting such a configuration, laser light can be irradiated to two places on one lid simultaneously from a pair of laser light emission optical parts. Therefore, among the candidate positions of spot joints shown in FIG. It becomes possible to spot-join two substantially central portions of two opposing sides. There is little possibility of the lid being lifted up and the like, and a more reliable temporary fixing of the lid can be realized. In addition, in FIG. 3, the shape of the lid 10 is rectangular in plan view, and when spot joining is performed at four corners, it seems possible that the laser light does not pass through the working end of the suction nozzle. If the aspect ratio of the shape (rectangle) of the lid 10 is small (close to a square), this is impossible, and the lid temporary fixing method and apparatus according to the present invention exerts its effect.

1 ベース
2 カムプレート
3 カムフォロア
4 アーム
5、8 引っ張りコイルばね
6 レーザ光射出光学部
7 吸着ノズル
9 支持ブロック
10 リッド
11 容器
12 ステージ
13 レーザ光発生部
14 レーザ光伝送部
15 マイクロスイッチ
16 レーザ光分岐光学部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base 2 Cam plate 3 Cam follower 4 Arm 5, 8 Pulling coil spring 6 Laser light emission optical part 7 Adsorption nozzle 9 Support block 10 Lid 11 Container 12 Stage 13 Laser light generation part 14 Laser light transmission part 15 Microswitch 16 Laser light branching Optics

Claims (4)

電子部品を収容する容器の開口部にリッドを載置し、このリッドの周縁を前記開口部に接合する封止作業に先立って、前記リッドを前記容器にスポット接合することで両者を仮止めするリッドの仮止め方法において、少なくとも作用端近傍がレーザ光透過性を有する吸着ノズルによりリッドを吸着保持し、前記吸着ノズルに保持された前記リッドを容器の開口部に位置決めして載置し、前記吸着ノズルが前記リッドを前記容器の方向に付勢した状態で、前記作用端近傍を透過させてレーザ光を前記リッドに照射することでこのリッドを前記容器に仮止めすることを特長とするリッドの仮止め方法。 A lid is placed in the opening of the container that houses the electronic components, and prior to the sealing operation of joining the periphery of the lid to the opening, the lid is spot-bonded to the container to temporarily fix them. In the method of temporarily fixing the lid, the lid is sucked and held by a suction nozzle having a laser beam permeability at least in the vicinity of the working end, and the lid held by the suction nozzle is positioned and placed at the opening of the container, A lid characterized in that, with the suction nozzle urging the lid in the direction of the container, the lid is temporarily fixed to the container by transmitting the vicinity of the working end and irradiating the lid with laser light. Temporary fixing method. 前記レーザ光の照射位置は、前記リッドの上面又は端面であって、且つ前記吸着ノズルの吸着作用端の外形が前記リッドの外形を覆っていることを特徴とする請求項1に記載のリッドの仮止め方法。 2. The lid according to claim 1, wherein the irradiation position of the laser beam is an upper surface or an end surface of the lid, and an outer shape of the suction action end of the suction nozzle covers an outer shape of the lid. Temporary fixing method. 電子部品を収容する容器の開口部にリッドを載置し、このリッドの周縁を前記開口部に接合する封止作業に先立って、前記リッドを前記容器にスポット接合することで両者を仮止めするリッドの仮止め装置であって、レーザ光発生部と、レーザ光伝送部と、レーザ光射出光学部と、少なくとも作用端近傍がレーザ光透過性を有する材料で構成された吸着ノズルとを備えることを特徴とするリッドの仮止め装置。 A lid is placed in the opening of the container that houses the electronic components, and prior to the sealing operation of joining the periphery of the lid to the opening, the lid is spot-bonded to the container to temporarily fix them. A lid temporary fixing device, comprising: a laser beam generation unit, a laser beam transmission unit, a laser beam emission optical unit, and a suction nozzle formed at least in the vicinity of the working end with a material having laser beam transparency. Lid temporary fixing device. 複数のレーザ光射出光学部と、このレーザ光射出光学部と前記レーザ光発生部とに介在するレーザ光分岐光学部とを備えることを特徴とする請求項3に記載のリッドの仮止め装置。 4. The lid temporary fixing device according to claim 3, further comprising: a plurality of laser beam emission optical units; and a laser beam branching optical unit interposed between the laser beam emission optical unit and the laser beam generation unit.
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