JP2010149249A - Surface grinder of workpiece - Google Patents

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政男 山口
Takeshi Itatsu
武志 板津
Ryota Shindo
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface grinder improving accuracy of flatness of a ground surface of a workpiece. <P>SOLUTION: In surface grinding of a workpiece W, the moving speed of a table 13 supporting the workpiece W is changed randomly from time to time in moving right and left, and thereby the phase of natural vibration (resonance) of the table 13 during grinding of the workpiece W is changed. Thus, deformation of the table 13 by resonance of the table 13 is prevented, deformation of the workpiece W supported by the table 13 is prevented, and accuracy of flatness of the ground surface of the workpiece W is improved. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、ワークを平面研削するための平面研削盤に関する。   The present invention relates to a surface grinding machine for surface grinding a workpiece.

平面研削盤のベッドの上面には、リニアモータによって左右方向に往復動されるワーク支持用のテーブルが装着されている。前記ベッドの後側には前後動機構によって前後方向に往復動されるコラムが装着され、該コラムには昇降機構によって上下方向に往復動される砥石台が装着され、該砥石台には砥石がモータによって回転可能に装着されている。そして、ワークを支持したテーブルが前記リニアモータによって左右方向に往復動されるとともに、コラムが前後方向に往復動され、ワークの上面に砥石が接触され、ワークが粗研削された後、中研削され、その後、精研削されるようになっている。（特許文献１にはワークを支持するテーブルをリニアモータで駆動する技術が開示されている。）
特開２００２−１２７００６号公報 On the upper surface of the bed of the surface grinding machine, a work support table is mounted that is reciprocated in the left-right direction by a linear motor. A column that is reciprocated in the front-rear direction by a back-and-forth movement mechanism is mounted on the rear side of the bed, and a grindstone table that is reciprocated in the up-down direction by a lifting mechanism is mounted on the column. It is mounted for rotation by a motor. Then, the table supporting the workpiece is reciprocated in the left-right direction by the linear motor, the column is reciprocated in the front-rear direction, the grindstone is brought into contact with the upper surface of the workpiece, the workpiece is roughly ground, and then subjected to medium grinding. After that, it is designed to be precision ground. (Patent Document 1 discloses a technique for driving a table that supports a workpiece with a linear motor.)
JP 2002-127006 A

ところが、上記従来の平面研削盤においては、テーブルを左右方向に往復移動させる駆動機構としてリニアモータを用いていたので、次のような問題があることが判明した。即ち、リニアモータによってテーブルが左右方向に往復動されると、そのテーブルの左右方向の往復動が非常に高精度に行われるので、この往復動によりテーブルに固有振動（共振）が発生する。この共振の位相が規則正しく現れるため、テーブルのワークを支持する支持面が前記共振によって振動し、該テーブルに支持されたワークの研削平面に極く僅かではあるが凹凸が生じ、ワークの研削面の平面度の精度が低下するという問題が判明した。   However, since the conventional surface grinding machine uses a linear motor as a drive mechanism for reciprocating the table in the left-right direction, it has been found that there are the following problems. That is, when the table is reciprocated in the left-right direction by the linear motor, the reciprocating movement of the table in the left-right direction is performed with very high accuracy, so that natural vibration (resonance) is generated in the table by this reciprocation. Since this resonance phase appears regularly, the support surface supporting the workpiece of the table vibrates due to the resonance, and a slight unevenness is generated on the grinding plane of the workpiece supported by the table, and the grinding surface of the workpiece is A problem was found that the accuracy of flatness was reduced.

本発明は、上記従来の技術に存する問題点を解消して、ワークの研削面の平面度の精度を向上することができる平面研削盤を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a surface grinder capable of solving the above-described problems in the prior art and improving the accuracy of the flatness of a ground surface of a workpiece.

上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、ベッドの上面にワークを支持するテーブルを装着し、前記ベッドに装着された砥石と、前記テーブルとを相対的に往復運動させて、ワークの上面を砥石によって研削するようにした平面研削盤において、前記テーブル又は砥石の往復運動における共振位相を変位させる変位手段を設けたことを要旨とする。   In order to solve the above problems, the invention according to claim 1 is characterized in that a table for supporting a work is mounted on the upper surface of a bed, and the grindstone mounted on the bed and the table are relatively reciprocated. The gist of the present invention is that the surface grinder grinding the upper surface of the workpiece with a grindstone is provided with a displacement means for displacing the resonance phase in the reciprocating motion of the table or grindstone.

請求項２に記載の発明は、請求項１において、前記変位手段は、前記テーブル又は砥石の往復運動の往行程の移動速度に変化をもたせる制御装置であることを要旨とする。
請求項３に記載の発明は、請求項２において、前記制御装置は、乱数データテーブルを備え、その乱数に従ってテーブル又は砥石の基準移動速度を変化させる機能を有していることを要旨とする。 The gist of a second aspect of the present invention is that, in the first aspect, the displacement means is a control device that changes the moving speed of the forward stroke of the reciprocating motion of the table or the grindstone.
The invention according to claim 3 is summarized in that, in claim 2, the control device includes a random number data table and has a function of changing a reference moving speed of the table or the grindstone according to the random number.

請求項４に記載の発明は、請求項２において、前記変位手段は、テーブル又は砥石の往復行程における折り返し位置を相違させるものであることを要旨とする。
請求項５に記載の発明は、請求項２〜４のいずれか１項において、前記テーブル又は砥石はリニアモータによって往復運動されることを要旨とする。 The gist of a fourth aspect of the present invention is that, in the second aspect, the displacing means makes the folding position different in the reciprocating stroke of the table or the grindstone.
The gist of the invention according to claim 5 is that, in any one of claims 2 to 4, the table or the grindstone is reciprocated by a linear motor.

（作用）
この発明は、変位手段によって、テーブル又は砥石の往復運動における共振の位相が変位される。このため、テーブル又は砥石の共振による変形が抑制され、テーブルに支持されたワークの研削面の平面度の精度を向上することができる。 (Function)
In the present invention, the phase of resonance in the reciprocating motion of the table or the grindstone is displaced by the displacement means. For this reason, the deformation | transformation by resonance of a table or a grindstone is suppressed, and the precision of the flatness of the grinding surface of the workpiece | work supported by the table can be improved.

本発明によれば、ワークの研削面の平面度の精度を向上することができる。   According to the present invention, it is possible to improve the accuracy of the flatness of the ground surface of the workpiece.

以下、本発明を具体化した平面研削盤の一実施形態を図面にしたがって説明する。
図２に示すように、研削盤のベッド１１の上面には案内レール１２を介してワークＷを支持するテーブル１３が左右方向の往復動可能に装着されている。このテーブル１３はリニアモータ１４によって左右方向に往復動される。前記ベッド１１にはコラム１５が前後動機構１６（図１参照）によって前後方向の移動可能に装着されている。該コラム１５には砥石ヘッド１７が昇降機構１８（図１参照）によって図２の上下方向の往復動可能に装着され、該砥石ヘッド１７にはモータによって回転される砥石１９が装着されている。 Hereinafter, an embodiment of a surface grinding machine embodying the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 2, a table 13 that supports a workpiece W via a guide rail 12 is mounted on the upper surface of a bed 11 of the grinding machine so as to be capable of reciprocating in the left-right direction. The table 13 is reciprocated in the left-right direction by a linear motor 14. A column 15 is mounted on the bed 11 so as to be movable in the front-rear direction by a back-and-forth movement mechanism 16 (see FIG. 1). A grindstone head 17 is mounted on the column 15 so as to be reciprocable in the vertical direction of FIG. 2 by an elevating mechanism 18 (see FIG. 1), and a grindstone 19 that is rotated by a motor is mounted on the grindstone head 17.

次に、図１に基づいて、上記のように構成された平面研削盤のワークＷの研削動作を制御するための制御システムについて説明する。
コンピューターを備えた制御装置２１の内部には、各種のデータに基づいて演算や判別処理を行うための中央演算処理装置（ＣＰＵ）２２が設けられている。このＣＰＵ２２にはワークＷの研削動作のプログラムを予め記憶したリードオンリーメモリ（ＲＯＭ）２３が接続されるとともに、各種のデータを記憶するための読み出し書き込み可能な記憶媒体としてのランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）２４が接続されている。前記ＣＰＵ２２には駆動回路２５を介して前記リニアモータ１４，前後動機構１６及び昇降機構１８が接続されている。前記ＣＰＵ２２には各種のデータを入力したり各種の操作を指示したりすることができる入力手段としてのキーボード２６及びマウス（図示略）が接続されている。前記ＣＰＵ２２には、各種のデータや画像を表示するための表示装置２８が接続されている。 Next, a control system for controlling the grinding operation of the workpiece W of the surface grinding machine configured as described above will be described with reference to FIG.
A central processing unit (CPU) 22 for performing calculations and determination processing based on various data is provided inside the control device 21 having a computer. The CPU 22 is connected to a read only memory (ROM) 23 in which a program for grinding operation of the workpiece W is stored in advance, and a random access memory (RAM) as a readable / writable storage medium for storing various data. 24 is connected. The linear motor 14, the longitudinal movement mechanism 16, and the lifting mechanism 18 are connected to the CPU 22 via a drive circuit 25. The CPU 22 is connected with a keyboard 26 and a mouse (not shown) as input means for inputting various data and instructing various operations. The CPU 22 is connected to a display device 28 for displaying various data and images.

図３はテーブル１３と砥石１９との相対移動を表す平面図である。この図３から明らかなように、前記テーブル１３がリニアモータ１４によって左右方向に往復動されるとともに、砥石１９が前後動機構１６によって前後方向に往復動されると、砥石１９が相対的に矢印で示すように左右方向及び前後方向にジクザグ状に相対移動され、砥石１９によってワークＷが研削される。   FIG. 3 is a plan view showing relative movement between the table 13 and the grindstone 19. As is apparent from FIG. 3, when the table 13 is reciprocated in the left-right direction by the linear motor 14, and the grindstone 19 is reciprocated in the front-rear direction by the longitudinal movement mechanism 16, the grindstone 19 is relatively moved to the arrow. As shown in FIG. 1, the workpiece W is relatively moved in a zigzag shape in the left-right direction and the front-rear direction, and the workpiece W is ground by the grindstone 19.

次に、前記ＣＰＵ２２の各種の機能について説明する。
前記ＣＰＵ２２にはワークＷの左端の座標位置を設定するためのワーク左端座標位置設定部３１が設けられるとともに、ワークＷの右端の座標位置を設定するためのワーク右端座標位置設定部３２が設けられている。又、ＣＰＵ２２にはワークの左端及び右端の座標位置に基づいてワークＷの左右方向の長さ（左右長）を演算するためのワーク左右長演算部３３が設けられている。ＣＰＵ２２には、前記ワークＷの左右長に基づいて、テーブル１３の往復動ストロークを演算するストローク長演算部３４が設けられている。同じく、ＣＰＵ２２にはワークＷの粗研削、中研削及び精研削時のテーブル１３の各基準移動速度を設定するための基準移動速度設定部３５が設けられている。 Next, various functions of the CPU 22 will be described.
The CPU 22 is provided with a work left end coordinate position setting unit 31 for setting the left end coordinate position of the work W and a work right end coordinate position setting unit 32 for setting the right end coordinate position of the work W. ing. Further, the CPU 22 is provided with a work left / right length calculation unit 33 for calculating the length (left / right length) of the work W in the left-right direction based on the coordinate positions of the left end and the right end of the work. The CPU 22 is provided with a stroke length calculator 34 that calculates the reciprocating stroke of the table 13 based on the left and right length of the workpiece W. Similarly, the CPU 22 is provided with a reference movement speed setting unit 35 for setting each reference movement speed of the table 13 during rough grinding, intermediate grinding and fine grinding of the workpiece W.

前記ＣＰＵ２２には、移動速度制御データ演算部３６が設けられている。この移動速度制御データ演算部３６には、テーブル１３の移動速度を変化させるための移動速度変化率を記憶したデータファイル３７が接続されている。そして、前記移動速度制御データ演算部３６によって、前述したテーブル１３の基準移動速度と、前記移動速度変化率とに基づいて、テーブル１３の左方への移動速度と、右方への移動速度とをそれぞれ交互にランダムに演算するようにしている。前記データファイル３７には、２進の乱数列のデータリストが移動速度変化率（％）のデータとして記憶され、テーブル１３の左方への移動速度の変化率と、右方への移動速度の変化率とが交互にランダムに記憶されている。前記移動速度変化率（乱数列）は、テーブル１３の基準移動速度の３．０％以下に設定されている。   The CPU 22 is provided with a moving speed control data calculation unit 36. A data file 37 that stores a moving speed change rate for changing the moving speed of the table 13 is connected to the moving speed control data calculation section 36. Then, the moving speed control data calculation unit 36 calculates the moving speed to the left of the table 13 and the moving speed to the right based on the reference moving speed of the table 13 and the moving speed change rate. Are calculated alternately at random. In the data file 37, a data list of binary random number sequences is stored as movement speed change rate (%) data, and the change rate of the movement speed to the left of the table 13 and the movement speed to the right of the table 13 are stored. The rate of change is stored alternately and randomly. The moving speed change rate (random number sequence) is set to 3.0% or less of the reference moving speed of the table 13.

この実施形態においては、前記制御装置２１に対し、前記テーブル１３の往復運動における固有振動（共振）の位相を変位させる変位手段としての機能が付与されている。
次に、図４に基づいて、前記表示装置２８に表示される表示画面４１の画面構成について説明する。 In this embodiment, the control device 21 is provided with a function as a displacement means for displacing the phase of the natural vibration (resonance) in the reciprocating motion of the table 13.
Next, the screen configuration of the display screen 41 displayed on the display device 28 will be described with reference to FIG.

表示画面４１には、テーブル１３に支持されるワークＷの左端座標位置、右端座標位置及びワークＷの左右長等を画像とともに表示する表示窓４２が設けられている。表示画面４１の上部にはテーブル１３の左右方向の位置を数値表示するためのテーブル位置表示窓４３、テーブル１３の実往復動回数を数値表示するための実往復回数表示窓４４及びテーブル１３の実速度を表示するための実速度表示窓４５が設けられている。前記表示画面４１にはテーブル１３の左端（座標位置）を数値表示するための左端表示窓４６、右端（座標位置）を数値表示するための右端表示窓４７、左右長を数値表示するための左右長表示窓４８、移動速度変化率を数値表示するための変化率表示窓４９が設けられている。さらに、表示画面４１にはテーブル１３の粗研削時、中研削時及び精研削時のそれぞれの基準移動速度を数値表示するため基準速度表示窓５０，５１，５２が設けられている。前記表示画面４１の表示窓４２の下側には砥石１９の回転速度を数値表示するための回転速度表示窓５３が設けられている。さらに、各種のデータや指示信号を入力するための複数のボタンスイッチ５４が設けられている。   The display screen 41 is provided with a display window 42 for displaying a left end coordinate position, a right end coordinate position of the work W supported by the table 13, a right and left length of the work W, and the like together with an image. At the top of the display screen 41, a table position display window 43 for numerically displaying the position of the table 13 in the left-right direction, an actual reciprocation count display window 44 for numerically displaying the actual number of reciprocations of the table 13, and the actual state of the table 13 are displayed. An actual speed display window 45 for displaying the speed is provided. The display screen 41 has a left end display window 46 for displaying the left end (coordinate position) of the table 13 as a numerical value, a right end display window 47 for displaying the right end (coordinate position) as a numerical value, and a right and left for displaying the left and right lengths as numerical values. A long display window 48 and a change rate display window 49 for numerically displaying the moving speed change rate are provided. Further, the display screen 41 is provided with reference speed display windows 50, 51 and 52 for displaying numerically the respective reference moving speeds during rough grinding, intermediate grinding and fine grinding of the table 13. A rotation speed display window 53 for displaying the rotation speed of the grindstone 19 as a numerical value is provided below the display window 42 of the display screen 41. Furthermore, a plurality of button switches 54 for inputting various data and instruction signals are provided.

次に、前記のように構成された平面研削盤の動作を図５のフローチャートを中心に説明する。
最初に、図５のステップＳ１において、図１のキーボード２６及びマウスを操作することにより、表示装置２８の画面に図３に示す表示画面４１を表示する。そして、ステップＳ２で、表示画面４１のボタンスイッチ５４を操作することにより、研削しようとするワークＷの左端及び右端の座標位置が設定され、この座標位置が左端及び右端表示窓４６，４７に表示されるとともに、ＲＡＭ２４に記憶される。そのワークＷの左端及び右端の座標位置が設定されると、ステップＳ３で、前記ワーク左右長演算部３３によってワークＷの左右長が演算され。この演算値がＲＡＭ２４に記憶されるとともに、左右長表示窓４８に表示される。前記ストローク長演算部３４によって、テーブル１３の往復動ストロークが演算され、ＲＡＭ２４に記憶される。さらに、ステップＳ４において、前記ボタンスイッチ５４が操作されて、基準移動速度設定部３５によって、テーブル１３の粗研削、中研削及び精研削のそれぞれの基準移動速度Ｖｋ１，Ｖｋ２，Ｖｋ３が設定され、これらの各速度は表示画面４１の基準速度表示窓５０，５１，５２にそれぞれ表示されるとともに、前記ＲＡＭ２４に記憶される。 Next, the operation of the surface grinding machine configured as described above will be described with reference to the flowchart of FIG.
First, in step S1 of FIG. 5, the display screen 41 shown in FIG. 3 is displayed on the screen of the display device 28 by operating the keyboard 26 and mouse of FIG. In step S2, the left and right coordinate positions of the workpiece W to be ground are set by operating the button switch 54 on the display screen 41, and these coordinate positions are displayed on the left and right edge display windows 46 and 47. And stored in the RAM 24. When the coordinate positions of the left end and right end of the workpiece W are set, the left / right length of the workpiece W is calculated by the workpiece left / right length calculation unit 33 in step S3. This calculated value is stored in the RAM 24 and displayed in the left and right long display window 48. The stroke length calculator 34 calculates the reciprocating stroke of the table 13 and stores it in the RAM 24. In step S4, the button switch 54 is operated, and the reference movement speed setting unit 35 sets the reference movement speeds Vk1, Vk2, and Vk3 for rough grinding, intermediate grinding, and fine grinding of the table 13, respectively. These speeds are displayed in reference speed display windows 50, 51, 52 of the display screen 41 and stored in the RAM 24.

次に、図５のステップＳ５において、データファイル３７から移動速度変化率（乱数列）が読み出され、この変化率が精研削時のテーブル１３の移動速度変化率ＲとしてＲＡＭ２４に記憶される。ステップＳ６において、前記移動速度制御データ演算部３６により前述した精研削時の基準移動速度Ｖｋ３に対し、テーブル１３の左方向の移動速度変化率Ｒ１（複数の乱数）と、右方向の変化率Ｒ２（複数の乱数）とを順次乗算することにより、テーブル１３の左方への移動速度と右方への移動速度とが順次ランダムに変化するように演算され、テーブル１３の左方及び右方への移動速度の速度制御データリストが作成され、このデータリストがＲＡＭ２４に記憶される。図６に示すようにテーブル１３の左方向の移動速度変化率Ｒ１と、右方向の変化率Ｒ２は、小数点付きの二桁の数値（乱数）で表されている。   Next, in step S5 of FIG. 5, the moving speed change rate (random number sequence) is read from the data file 37, and this change rate is stored in the RAM 24 as the moving speed change rate R of the table 13 during fine grinding. In step S6, the movement speed change rate R1 (a plurality of random numbers) in the left direction of the table 13 and the change rate R2 in the right direction with respect to the reference movement speed Vk3 during fine grinding described above by the movement speed control data calculation unit 36. By sequentially multiplying (a plurality of random numbers), the movement speed to the left of the table 13 and the movement speed to the right are calculated so as to sequentially change randomly, to the left and right of the table 13. A speed control data list of the moving speeds is created, and this data list is stored in the RAM 24. As shown in FIG. 6, the moving speed change rate R1 in the left direction and the change rate R2 in the right direction of the table 13 are represented by two-digit numerical values (random numbers) with a decimal point.

以上のようにして、初期の設定動作が終了すると、図５のステップＳ７において、図３に示すワークＷの研削作業時に、移動速度制御データに基づいて、リニアモータ１４が制御され、テーブル１３の左方及び右方への移動速度が交互にランダムに変化するように制御され、砥石１９によってワークＷが研削される。   When the initial setting operation is completed as described above, the linear motor 14 is controlled on the basis of the moving speed control data in step S7 of FIG. The movement speed to the left and right is controlled so as to alternately and randomly change, and the workpiece W is ground by the grindstone 19.

前述したワークＷの精研削時以外に、中研削時又は粗研削時にテーブル１３の左方への移動速度及び右方への移動速度を順次ランダムに変化させるようにしてもよい。
上記実施形態の平面研削盤によれば、以下のような効果を得ることができる。 In addition to the precision grinding of the workpiece W described above, the moving speed to the left and the moving speed to the right of the table 13 may be sequentially and randomly changed during intermediate grinding or rough grinding.
According to the surface grinder of the above embodiment, the following effects can be obtained.

（１）上記実施形態では、テーブル１３の左方及び右方への移動速度を順次ランダムに変化させてワークＷを研削するようにしたので、テーブル１３の左右方向の往復動時におけるテーブル１３の固有振動（共振）の位相がランダムに変位され、この結果、テーブル１３が共振によって変形されるのを抑制し、ワークＷの研削面の平面度の精度を向上することができる。   (1) In the above embodiment, since the workpiece W is ground by sequentially changing the moving speed of the table 13 to the left and right in order, the work of the table 13 during the reciprocating motion of the table 13 in the left-right direction. The phase of the natural vibration (resonance) is randomly displaced. As a result, the table 13 can be prevented from being deformed by the resonance, and the accuracy of the flatness of the ground surface of the workpiece W can be improved.

（２）上記実施形態では、データファイル３７を用いて乱数列をテーブル１３の左右方向の移動速度変化率Ｒ１，Ｒ２として記憶し、テーブル１３の基準移動速度に前記速度変化率を乗算して、速度制御データリストを作成するようにした。このため、テーブル１３の基準移動速度が変化しても、速度制御データリストの作成を容易に行うことができる。   (2) In the above embodiment, a random number sequence is stored as the moving speed change rates R1 and R2 in the horizontal direction of the table 13 using the data file 37, the reference moving speed of the table 13 is multiplied by the speed change rate, The speed control data list was created. For this reason, even if the reference movement speed of the table 13 changes, the speed control data list can be easily created.

（３）上記実施形態では、移動速度変化率（％）をテーブル１３の基準移動速度の３．０％以下としたので、テーブル１３の移動速度が大きく変化することによる振動が抑制され、ワークＷの研削作業への悪影響を回避することができる。   (3) In the above embodiment, since the moving speed change rate (%) is set to 3.0% or less of the reference moving speed of the table 13, vibration due to a large change in the moving speed of the table 13 is suppressed, and the workpiece W The adverse effect on the grinding operation can be avoided.

なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・前記制御装置２１に対し、前記テーブル１３の往復運動の往行程と復行程の移動ストローク、従って、テーブル１３の折り返し位置を例えば段階的又はランダムに変化させる制御信号を、前記テーブル１３の駆動機構に出力する機能を付与してもよい。 In addition, you may change the said embodiment as follows.
A control signal for changing the forward and backward strokes of the reciprocating movement of the table 13, and hence the return position of the table 13, for example, stepwise or randomly, to the control device 21. A function for outputting may be added.

・テーブル１３に支持されるワークＷの形状及び重量等の規格の変化に基づいて、予め、実験又は理論計算によりテーブル１３の固有振動が抑制される移動速度の複数の変化率を求める。そして、この移動速度の変化率のなかから、研削しようとするワークＷの規格に応じた適正な移動速度変化率を選択して設定するようにしてもよい。   Based on changes in specifications such as the shape and weight of the workpiece W supported by the table 13, a plurality of rates of change in the moving speed at which the natural vibration of the table 13 is suppressed are obtained in advance by experiments or theoretical calculations. Then, an appropriate moving speed change rate corresponding to the standard of the workpiece W to be ground may be selected and set from the moving speed change rate.

・データファイル３７に記憶する乱数として、前述した２進乱数以外に、自然乱数、１様乱数、正規乱数等を用いてもよい。
・乱数列を用いないで、テーブル１３の左方又は右方への移動速度を固有振動が生じないように、例えば段階的に低下又は増加する等適宜に変化させるようにしてもよい。 As a random number stored in the data file 37, a natural random number, a random number such as one, a normal random number, or the like may be used in addition to the binary random number described above.
-Without using a random number sequence, the moving speed of the table 13 to the left or right may be changed appropriately, for example, in a stepwise decrease or increase, so that no natural vibration occurs.

・前記テーブル１３を所定位置に固定し、前記砥石１９を左右方向及び前後方向に往復動する研削盤に前述した各実施形態の構成を適用するようにしてもよい。   -You may make it apply the structure of each embodiment mentioned above to the grinding machine which fixes the said table 13 in a predetermined position, and reciprocates the said grindstone 19 in the left-right direction and the front-back direction.

この発明の平面研削盤の研削動作の制御システムを示すブロック回路図。The block circuit diagram which shows the control system of the grinding operation of the surface grinder of this invention. 研削盤の略体正面図。FIG. ワークの研削時のテーブル及びワークと砥石との相対移動を表す平面図。The top view showing the relative movement of the table and workpiece | work and a grindstone at the time of grinding of a workpiece | work. 表示装置の表示画面の正面図。The front view of the display screen of a display apparatus. ワークの研削動作を説明するためのフローチャート。The flowchart for demonstrating the grinding operation of a workpiece | work. テーブルの移動速度変化率の具体例を示す説明図。Explanatory drawing which shows the specific example of the moving speed change rate of a table.

符号の説明Explanation of symbols

Ｗ…ワーク、Ｖｋ１，Ｖｋ２，Ｖｋ３…基準移動速度、１１…ベッド、１３…テーブル、１４…リニアモータ、１９…砥石、２１…制御装置。   W ... Workpiece, Vk1, Vk2, Vk3 ... Reference moving speed, 11 ... Bed, 13 ... Table, 14 ... Linear motor, 19 ... Wheel, 21 ... Control device.

Claims (5)

ベッドの上面にワークを支持するテーブルを装着し、前記ベッドに装着された砥石と、前記テーブルとを相対的に往復運動させて、ワークの上面を砥石によって研削するようにした平面研削盤において、
前記テーブル又は砥石の往復運動における共振位相を変位させる変位手段を設けたことを特徴とするワークの平面研削盤。 In a surface grinding machine in which a table for supporting a workpiece is mounted on the upper surface of the bed, and the grindstone mounted on the bed and the table are relatively reciprocated to grind the upper surface of the workpiece with the grindstone.
A surface grinding machine for workpieces, comprising a displacement means for displacing a resonance phase in the reciprocating motion of the table or the grindstone. 請求項１において、前記変位手段は、前記テーブル又は砥石の往復運動の往行程の移動速度に変化をもたせる制御装置であることを特徴とする平面研削盤。 2. The surface grinding machine according to claim 1, wherein the displacement means is a control device that changes a moving speed of a forward stroke of a reciprocating motion of the table or the grindstone. 請求項２において、前記制御装置は、乱数データテーブルを備え、その乱数に従ってテーブル又は砥石の基準移動速度を変化させる機能を有していることを特徴とする平面研削盤。 3. The surface grinding machine according to claim 2, wherein the control device includes a random number data table and has a function of changing a reference moving speed of the table or the grindstone according to the random number. 請求項２において、前記変位手段は、テーブル又は砥石の往復行程における折り返し位置を相違させるものであることを特徴とする平面研削盤。 3. The surface grinding machine according to claim 2, wherein the displacement means is configured to make the folding position different in the reciprocating stroke of the table or the grindstone. 請求項２〜４のいずれか１項において、前記テーブル又は砥石はリニアモータによって往復運動されることを特徴とする平面研削盤。 The surface grinder according to any one of claims 2 to 4, wherein the table or the grindstone is reciprocated by a linear motor.
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