JP2010137429A - Screen printing machine and screen printing method - Google Patents

Screen printing machine and screen printing method Download PDF

Info

Publication number
JP2010137429A
JP2010137429A JP2008315352A JP2008315352A JP2010137429A JP 2010137429 A JP2010137429 A JP 2010137429A JP 2008315352 A JP2008315352 A JP 2008315352A JP 2008315352 A JP2008315352 A JP 2008315352A JP 2010137429 A JP2010137429 A JP 2010137429A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
screen printing
vacuum pump
stage
cleaning
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008315352A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5163465B2 (en
Inventor
Takahiro Fukagawa
貴弘 深川
Takashi Yazawa
隆 矢澤
Masayuki Yamazaki
公幸 山崎
Nobuhiro Nakai
伸弘 中井
Seiichi Miyahara
清一 宮原
Minoru Murakami
稔 村上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP2008315352A priority Critical patent/JP5163465B2/en
Publication of JP2010137429A publication Critical patent/JP2010137429A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5163465B2 publication Critical patent/JP5163465B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a screen printing machine in which problems does not occur in cleaning operation or attraction of a substrate when sharedly using a cleaning blower and a vacuum pump. <P>SOLUTION: The screening printing machine has a means for vacuum-chucking and positioning the substrate, a means for removing solder remaining in a screen mask by sucking the same, a plurality of screen printing stage respectively having a means for controlling printing movement, a vacuum pump for chucking the substrate sharedly used for all of the screen printing stage, a cleaning blower for sucking the solder sharedly used for all of the screen printing stage, and a means for changing the vacuum pump and the cleaning blower to operation condition and non-operation condition. In the screen printing machine, the blower is not changed in the non-operation condition in the case where the blower is used in one screen printing stage even in the case non-operation condition of the blower is required from the other screen printing stage side. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、スクリーンマスクを用いて基板に半田を印刷するスクリーン印刷に関する。   The present invention relates to screen printing for printing solder on a substrate using a screen mask.

スクリーン印刷装置にはスクリーンマスクに付着したままとなっている半田を除去するクリーニング装置を備えたものが多くある。特許文献1に示すクリーニング装置はスクリーンマスクから半田を吸引して除去するための負圧を供給するクリーニングブロワと接続されている。またスクリーン印刷装置には基板支持装置に負圧を供給する真空ポンプが備わっており、印刷時に基板を吸着して基板支持装置に固定するために用いられている。
特開2008−37008号公報
Many screen printing apparatuses are equipped with a cleaning device for removing solder remaining on the screen mask. The cleaning device disclosed in Patent Document 1 is connected to a cleaning blower that supplies a negative pressure for sucking and removing solder from a screen mask. Further, the screen printing apparatus is provided with a vacuum pump for supplying a negative pressure to the substrate support device, and is used for adsorbing the substrate during printing and fixing it to the substrate support device.
JP 2008-37008 A

スクリーン印刷装置は複数のスクリーンマスクや基板支持装置、クリーニング装置等を備えることで複数の基板に対して印刷を行うことができる。生産効率の観点からは全ての基板支持装置とクリーニング装置にそれぞれ専用の真空ポンプとクリーニングブロワを配置するのが理想的ではあるが、費用対効果や面積生産性の観点から複数の基板支持装置とクリーニング装置で1つの真空ポンプとクリーニングブロワを共用するのが望ましい。このような共用の場合、専用の場合のようにスクリーンマスクのクリーニングを終えたからといってクリーニングブロワの作動を停止すると、他のクリーニング装置に負圧が供給されなくなりクリーニング作業が中断を余儀なくされるという問題がある。このことは真空ポンプについても同じであり、他の基板支持装置に負圧が供給されなくなると印刷中に基板がずれやすくなるという問題がある。   The screen printing apparatus can print on a plurality of substrates by including a plurality of screen masks, a substrate support device, a cleaning device, and the like. From the viewpoint of production efficiency, it is ideal to arrange a dedicated vacuum pump and cleaning blower for each substrate support device and cleaning device, but from the viewpoint of cost effectiveness and area productivity, a plurality of substrate support devices It is desirable to share one vacuum pump and cleaning blower in the cleaning device. In the case of such sharing, if the operation of the cleaning blower is stopped just after the cleaning of the screen mask is completed as in the case of exclusive use, the negative pressure is not supplied to the other cleaning devices, and the cleaning operation is forced to be interrupted. There is a problem. The same applies to the vacuum pump, and there is a problem that the substrate is likely to be displaced during printing if the negative pressure is not supplied to the other substrate support devices.

そこで本発明は、クリーニングブロワと真空ポンプを共用する場合にクリーニング作業や基板の吸着に支障が生じることのないスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a screen printing apparatus that does not interfere with cleaning work and substrate adsorption when a cleaning blower and a vacuum pump are shared.

本発明のスクリーン印刷装置は、基板を真空吸着して位置決めする手段と、スクリーンマスクに残留する半田を吸引して除去する手段と、印刷動作を制御する手段をそれぞれ備えた複数のスクリーン印刷ステージと、全てのスクリーン印刷ステージに共用の基板吸着用の真空ポンプと、全てのスクリーン印刷ステージに共用の半田吸引用のクリーニングブロワと、前記真空ポンプおよび前記クリーニングブロワを作動または非作動に切り換える手段とを備え、何れかのスクリーン印刷ステージにおいて基板吸着または半田吸引を終えた場合であっても他の何れかのスクリーン印刷ステージにおいて基板吸着または半田吸引を行っている場合には前記真空ポンプまたは前記クリーニングブロワを非作動に切り換えないことを特徴とする。   The screen printing apparatus according to the present invention includes a plurality of screen printing stages each provided with means for vacuum-sucking and positioning the substrate, means for sucking and removing the solder remaining on the screen mask, and means for controlling the printing operation. A vacuum pump for suctioning a substrate shared by all screen printing stages, a cleaning blower for suctioning solder shared by all screen printing stages, and a means for switching the vacuum pump and the cleaning blower to be activated or deactivated. Even if the substrate suction or the solder suction is finished in any of the screen printing stages, if the substrate suction or the solder suction is performed in any of the other screen printing stages, the vacuum pump or the cleaning blower Is not switched to inactive.

本発明のスクリーン印刷方法は、基板吸着用の真空ポンプを一方のスクリーン印刷ステージに配置し、半田吸引用のクリーニングブロワを他方のスクリーン印刷ステージに配置し、両方のスクリーン印刷ステージにおいて前記真空ポンプと前記クリーニングブロワを共用するスクリーン印刷装置において、前記一方のスクリーン印刷ステージから前記他方のスクリーン印刷ステージに前記クリーニングブロワの非作動要求が行われたときに前記他方のスクリーン印刷ステージで前記クリーニングブロワを使用しているときには非作動への切り換えを行わず、前記他方のスクリーン印刷ステージから前記一方のスクリーン印刷ステージに前記真空ポンプの非作動要求が行われたときに前記一方のスクリーン印刷ス
テージで前記真空ポンプを使用しているときには非作動への切り換えを行わないことを特徴とする。
According to the screen printing method of the present invention, a substrate suction vacuum pump is disposed on one screen printing stage, and a solder suction cleaning blower is disposed on the other screen printing stage. In the screen printing apparatus sharing the cleaning blower, the cleaning blower is used in the other screen printing stage when a request for non-operation of the cleaning blower is made from the one screen printing stage to the other screen printing stage. When the vacuum pump is not operated from the other screen printing stage to the one screen printing stage, the vacuum pump is operated at the one screen printing stage. use Characterized in that does not perform the switching to the non-actuated when being.

何れかのスクリーン印刷ステージにおいて基板吸着または半田吸引を行っている場合には真空ポンプまたはクリーニングブロワを非作動に切り換えないようにしたことで、真空ポンプおよびクリーニングブロワを共用して複数の基板に印刷を施す場合のクリーニング作業や基板の吸着に支障が生じることがない。   When a substrate suction or solder suction is performed at any screen printing stage, the vacuum pump or cleaning blower is not switched to non-operation, so that the vacuum pump and cleaning blower can be used for printing on multiple substrates. There is no problem in the cleaning work and the adsorption of the substrate.

本発明の実施の形態について添付した図を参照して説明する。図1はスクリーン印刷装置の構成を示すブロック図、図2、図3はスクリーン印刷装置の印刷動作のフローチャートである。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the screen printing apparatus, and FIGS. 2 and 3 are flowcharts of the printing operation of the screen printing apparatus.

スクリーン印刷装置1は、それぞれ独立して印刷動作を行う2つのスクリーン印刷ステージ2、3を備えている。スクリーン印刷ステージ2、3にはそれぞれ基板搬送装置4、5と基板支持装置6、7とスキージ装置8、9とクリーニング装置10、11が配置されている。   The screen printing apparatus 1 includes two screen printing stages 2 and 3 that perform printing operations independently of each other. Substrate transport devices 4 and 5, substrate support devices 6 and 7, squeegee devices 8 and 9, and cleaning devices 10 and 11 are arranged on the screen printing stages 2 and 3, respectively.

基板搬送装置4、5は、印刷前の基板を前工程から各スクリーン印刷ステージ2、3の印刷位置に搬入し、印刷位置で印刷を終えた基板を後工程に搬出する基板搬送手段である。基板支持装置6、7は基板を印刷位置で水平に真空吸着して位置決めする手段である。スキージ装置8、9は位置決めされた基板にスクリーンマスクを介して半田を印刷する手段である。クリーニング装置10、11は印刷後のスクリーンマスクに付着している半田を吸引して除去する手段である。   The substrate transfer devices 4 and 5 are substrate transfer means for transferring the substrate before printing from the previous process to the printing positions of the screen printing stages 2 and 3 and discharging the substrate after printing at the printing position to the subsequent process. Substrate supporting devices 6 and 7 are means for positioning the substrate by vacuum suction horizontally at the printing position. The squeegee devices 8 and 9 are means for printing solder on a positioned substrate through a screen mask. The cleaning devices 10 and 11 are means for sucking and removing the solder adhering to the screen mask after printing.

スクリーン印刷ステージ2(ステージA)側には真空ポンプ12が配置されている。真空ポンプ12は通気管13、14で基板支持装置6、7と接続されている。真空ポンプ12は2つのスクリーン印刷ステージ2、3に共用の基板吸着用の吸気手段である。   A vacuum pump 12 is disposed on the screen printing stage 2 (stage A) side. The vacuum pump 12 is connected to the substrate support devices 6 and 7 through the vent pipes 13 and 14. The vacuum pump 12 is a suction means for suctioning the substrate shared by the two screen printing stages 2 and 3.

スクリーン印刷ステージ3(ステージB)側にはクリーニングブロワ15が配置されている。クリーニングブロワ15は通気管16、17でクリーニング装置10、11と接続されている。クリーニングブロワ15は2つのスクリーン印刷ステージ2、3に共用の半田吸引用の吸気手段である。   A cleaning blower 15 is disposed on the screen printing stage 3 (stage B) side. The cleaning blower 15 is connected to the cleaning devices 10 and 11 through vent pipes 16 and 17. The cleaning blower 15 is a suction means for sucking solder shared by the two screen printing stages 2 and 3.

制御装置18はステージAにおける印刷動作を統合的に制御する。同じく制御装置19はステージBにおける印刷動作を統合的に制御する。制御装置18と制御装置19は相互に通信が可能である。   The control device 18 controls the printing operation in the stage A in an integrated manner. Similarly, the control device 19 controls the printing operation in the stage B in an integrated manner. The control device 18 and the control device 19 can communicate with each other.

次にスクリーン印刷装置1の印刷動作の制御方法について説明する。ステージAにおける印刷動作は、制御装置18が基板搬送装置4と基板支持装置6とスキージ装置8とクリーニング装置10と真空ポンプ12を制御し、ステージBに配置された制御装置19がクリーニングブロワ15を制御することで行う。一方、ステージBにおける印刷動作は、制御装置19が基板搬送装置5と基板支持装置7とスキージ装置9とクリーニング装置11とクリーニングブロワ15を制御し、ステージAに配置された制御装置18が真空ポンプ12を制御することで行う。   Next, a method for controlling the printing operation of the screen printing apparatus 1 will be described. In the printing operation in the stage A, the control device 18 controls the substrate transport device 4, the substrate support device 6, the squeegee device 8, the cleaning device 10, and the vacuum pump 12, and the control device 19 arranged in the stage B controls the cleaning blower 15. This is done by controlling. On the other hand, in the printing operation in the stage B, the control device 19 controls the substrate transport device 5, the substrate support device 7, the squeegee device 9, the cleaning device 11, and the cleaning blower 15, and the control device 18 arranged in the stage A uses a vacuum pump. 12 is controlled.

制御装置18はステージAに配置された各装置(基板搬送装置4、基板支持装置6、スキージ装置8、クリーニング装置10、真空ポンプ12)については直接制御を行うことができるが、ステージBに配置されたクリーニングブロワ15の動作制御については直接
制御することはできないので、制御装置19に対してクリーニングブロワ15の作動、非作動の切り換えを要求することになる。ステージA側からクリーニングブロワ15の作動要求を受けた制御装置19は、クリーニングブロワ15が非作動の状態であればこれを作動の状態に切り換える制御を行うことになる。
The control device 18 can directly control each device (the substrate transfer device 4, the substrate support device 6, the squeegee device 8, the cleaning device 10, and the vacuum pump 12) arranged on the stage A, but is arranged on the stage B. Since the operation control of the cleaning blower 15 that has been performed cannot be directly controlled, the control device 19 is requested to switch the operation of the cleaning blower 15 between operation and non-operation. The control device 19 that has received the operation request for the cleaning blower 15 from the stage A side performs control to switch the cleaning blower 15 to the operation state if the cleaning blower 15 is in an inoperative state.

図2に示すようにクリーニングブロワ15の非作動要求を受けたときには、ステージB側でスクリーンマスクのクリーニング動作の最中であってクリーニングブロワ15を使用中であれば、クリーニングブロワ15を非作動に切り換えることなく作動を継続する制御を行う。クリーニングブロワ15を使用していなければ要求どおりに非作動に切り換える制御を行う。   As shown in FIG. 2, when the non-operation request for the cleaning blower 15 is received, if the cleaning blower 15 is in use while the screen mask is being cleaned on the stage B side, the cleaning blower 15 is deactivated. Control to continue operation without switching. If the cleaning blower 15 is not used, control is performed to switch to non-operation as required.

一方、制御装置19はステージBに配置された各装置(基板搬送装置5、基板支持装置7、スキージ装置9、クリーニング装置11、クリーニングブロワ15)については直接制御を行うことができるが、ステージAに配置された真空ポンプ12の動作制御については直接制御することはできないので、制御装置18に対して真空ポンプ12の作動、非作動の切り換えを要求することになる。ステージB側から真空ポンプ12の作動要求を受けた制御装置18は、真空ポンプ12が非作動の状態であればこれを作動の状態に切り換える制御を行うことになる。   On the other hand, the control device 19 can directly control each device (substrate transport device 5, substrate support device 7, squeegee device 9, cleaning device 11, cleaning blower 15) arranged on stage B, but stage A Since the operation control of the vacuum pump 12 arranged in cannot be directly controlled, the control device 18 is requested to switch the operation of the vacuum pump 12 or not. The control device 18 that has received the operation request for the vacuum pump 12 from the stage B side performs control to switch the vacuum pump 12 to the operation state if the vacuum pump 12 is in the non-operation state.

図3に示すように真空ポンプ12の非作動要求を受けたときには、ステージA側でスクリーン印刷の最中であって基板を支持するために真空ポンプ12を使用中であれば、真空ポンプ12を非作動に切り換えることなく作動を継続する制御を行う。真空ポンプ12を使用していなければ要求どおりに非作動に切り換える制御を行う。   As shown in FIG. 3, when a non-operation request for the vacuum pump 12 is received, if the vacuum pump 12 is being used to support the substrate during screen printing on the stage A side, the vacuum pump 12 is turned on. Control to continue operation without switching to non-operation. If the vacuum pump 12 is not used, control is performed to switch to non-operation as required.

本発明は真空ポンプおよびクリーニングブロワを共用して複数の基板に印刷を施すスクリーン印刷分野において有用である。   The present invention is useful in the field of screen printing in which a plurality of substrates are printed using a vacuum pump and a cleaning blower in common.

スクリーン印刷装置の構成を示すブロック図Block diagram showing the configuration of the screen printing device スクリーン印刷装置の印刷動作フローチャートPrinting operation flowchart of screen printing device スクリーン印刷装置の印刷動作フローチャートPrinting operation flowchart of screen printing device

符号の説明Explanation of symbols

1 スクリーン印刷装置
2、3 スクリーン印刷ステージ
6、7 基板支持装置
10、11 クリーニング装置
12 真空ポンプ
15 クリーニングブロワ
18、19 制御装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Screen printing device 2, 3 Screen printing stage 6, 7 Substrate support device 10, 11 Cleaning device 12 Vacuum pump 15 Cleaning blower 18, 19 Control device

Claims (3)

基板を真空吸着して位置決めする手段と、スクリーンマスクに残留する半田を吸引して除去する手段と、印刷動作を制御する手段をそれぞれ備えた複数のスクリーン印刷ステージと、
全てのスクリーン印刷ステージに共用の基板吸着用の真空ポンプと、
全てのスクリーン印刷ステージに共用の半田吸引用のクリーニングブロワと、
前記真空ポンプおよび前記クリーニングブロワを作動または非作動に切り換える手段とを備え、
何れかのスクリーン印刷ステージにおいて基板吸着または半田吸引を終えた場合であっても他の何れかのスクリーン印刷ステージにおいて基板吸着または半田吸引を行っている場合には前記真空ポンプまたは前記クリーニングブロワを非作動に切り換えないことを特徴とするスクリーン印刷装置。
A plurality of screen printing stages each provided with a means for vacuum-sucking and positioning the substrate, a means for sucking and removing the solder remaining on the screen mask, and a means for controlling the printing operation;
A vacuum pump for substrate adsorption shared by all screen printing stages,
A cleaning blower for solder suction shared by all screen printing stages,
Means for switching the vacuum pump and the cleaning blower to be activated or deactivated,
Even when the substrate suction or the solder suction is finished in any screen printing stage, if the substrate suction or the solder suction is performed in any other screen printing stage, the vacuum pump or the cleaning blower is not used. A screen printing apparatus characterized by not switching to operation.
前記複数のスクリーン印刷ステージは2つであり、前記真空ポンプが配置された一方のスクリーン印刷ステージと、前記クリーニングブロワが配置された他方のスクリーン印刷ステージとを備えたことを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷装置。   The plurality of screen printing stages are two, and one screen printing stage in which the vacuum pump is disposed and the other screen printing stage in which the cleaning blower is disposed are provided. The screen printing apparatus described in 1. 基板吸着用の真空ポンプを一方のスクリーン印刷ステージに配置し、半田吸引用のクリーニングブロワを他方のスクリーン印刷ステージに配置し、両方のスクリーン印刷ステージにおいて前記真空ポンプと前記クリーニングブロワを共用するスクリーン印刷装置において、前記一方のスクリーン印刷ステージから前記他方のスクリーン印刷ステージに前記クリーニングブロワの非作動要求が行われたときに前記他方のスクリーン印刷ステージで前記クリーニングブロワを使用しているときには非作動への切り換えを行わず、前記他方のスクリーン印刷ステージから前記一方のスクリーン印刷ステージに前記真空ポンプの非作動要求が行われたときに前記一方のスクリーン印刷ステージで前記真空ポンプを使用しているときには非作動への切り換えを行わないことを特徴とするスクリーン印刷方法。   Screen printing in which a vacuum pump for substrate adsorption is arranged on one screen printing stage, a cleaning blower for solder suction is arranged on the other screen printing stage, and the vacuum pump and the cleaning blower are shared in both screen printing stages In the apparatus, when a request to deactivate the cleaning blower is made from the one screen printing stage to the other screen printing stage, when the cleaning blower is used in the other screen printing stage, the apparatus is deactivated. When the vacuum pump is not used in the one screen printing stage when the vacuum pump is not operated from the other screen printing stage to the one screen printing stage, the switching is not performed. Cut to Screen printing method, characterized in that it does not perform the example.
JP2008315352A 2008-12-11 2008-12-11 Screen printing apparatus and screen printing method Active JP5163465B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008315352A JP5163465B2 (en) 2008-12-11 2008-12-11 Screen printing apparatus and screen printing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008315352A JP5163465B2 (en) 2008-12-11 2008-12-11 Screen printing apparatus and screen printing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010137429A true JP2010137429A (en) 2010-06-24
JP5163465B2 JP5163465B2 (en) 2013-03-13

Family

ID=42347996

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008315352A Active JP5163465B2 (en) 2008-12-11 2008-12-11 Screen printing apparatus and screen printing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5163465B2 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000190447A (en) * 1998-12-28 2000-07-11 Okitako Shoji:Kk Printing device
JP2003089188A (en) * 2001-09-18 2003-03-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Screen printer

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000190447A (en) * 1998-12-28 2000-07-11 Okitako Shoji:Kk Printing device
JP2003089188A (en) * 2001-09-18 2003-03-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Screen printer

Also Published As

Publication number Publication date
JP5163465B2 (en) 2013-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5757667B2 (en) Fully automatic gravure plate processing system
JP6340588B2 (en) Screen printing device
JP4985753B2 (en) Screen printing system and mask cleaning method for screen printing system
JP2008147591A (en) Apparatus and method for manufacturing semiconductor
JP6298987B2 (en) Screen printing device
JP2013043418A (en) Screen printing machine and screen printing method
JP2019109292A (en) End material removing device and end material removing method
JP5163465B2 (en) Screen printing apparatus and screen printing method
JP2008264973A (en) Suction hand, suction apparatus and suction method of workpiece
KR101606553B1 (en) Chuck system having member with adhesive strength based on Van der Waals&#39; Force
JP2013193402A (en) Screen printing machine and screen printing method
JP5816819B2 (en) Screen printer and mask cleaning method in screen printer
JP2010267746A5 (en)
JP6356142B2 (en) Substrate working apparatus and discharge head
JP4457351B2 (en) Substrate holding device
JP2009154318A (en) Transferring method in pad printing, transferring device in pad printer, and pad member in transferring device in pad printer
JP4449267B2 (en) Screen printing machine
KR20120062101A (en) Apparatus and method of printing patterns continuously for film
JP2014217980A (en) Paste printing device and paste printing method
JP2015109381A (en) Cleaning device and cutting device
JP6204498B2 (en) Electronic component mounting machine
KR102473692B1 (en) Substrate etching system
JP2011126050A (en) Screen printing system and method for cleaning mask of screen printing system
JP7170166B2 (en) Screen printing device and screen printing method
JP6630223B2 (en) Electronic device manufacturing equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110107

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20110215

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120619

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120802

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20121120

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20121203

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151228

Year of fee payment: 3

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5163465

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151228

Year of fee payment: 3