JP5163465B2 - Screen printing apparatus and screen printing method - Google Patents

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Description

本発明は、スクリーンマスクを用いて基板に半田を印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関する。 The present invention relates to a screen printing apparatus and a screen printing method for printing solder on a substrate using a screen mask.

スクリーン印刷装置にはスクリーンマスクに付着したままとなっている半田を除去するクリーニング装置を備えたものが多くある。特許文献1に示すクリーニング装置はスクリーンマスクから半田を吸引して除去するための負圧を供給するクリーニングブロワと接続されている。またスクリーン印刷装置には基板支持装置に負圧を供給する真空ポンプが備わっており、印刷時に基板を吸着して基板支持装置に固定するために用いられている。
特開2008−37008号公報
Many screen printing apparatuses are equipped with a cleaning device that removes the solder remaining on the screen mask. The cleaning device shown in Patent Document 1 is connected to a cleaning blower that supplies a negative pressure for sucking and removing solder from a screen mask. Further, the screen printing apparatus is provided with a vacuum pump for supplying a negative pressure to the substrate support device, and is used for adsorbing the substrate during printing and fixing it to the substrate support device.
JP 2008-37008 A

スクリーン印刷装置は複数のスクリーンマスクや基板支持装置、クリーニング装置等を備えることで複数の基板に対して印刷を行うことができる。生産効率の観点からは全ての基板支持装置とクリーニング装置にそれぞれ専用の真空ポンプとクリーニングブロワを配置するのが理想的ではあるが、費用対効果や面積生産性の観点から複数の基板支持装置とクリーニング装置で1つの真空ポンプとクリーニングブロワを共用するのが望ましい。このような共用の場合、専用の場合のようにスクリーンマスクのクリーニングを終えたからといってクリーニングブロワの作動を停止すると、他のクリーニング装置に負圧が供給されなくなりクリーニング作業が中断を余儀なくされるという問題がある。このことは真空ポンプについても同じであり、他の基板支持装置に負圧が供給されなくなると印刷中に基板がずれやすくなるという問題がある。   The screen printing apparatus can print on a plurality of substrates by including a plurality of screen masks, a substrate support device, a cleaning device, and the like. From the viewpoint of production efficiency, it is ideal to arrange a dedicated vacuum pump and cleaning blower for each substrate support device and cleaning device, but from the viewpoint of cost effectiveness and area productivity, a plurality of substrate support devices It is desirable to share one vacuum pump and cleaning blower in the cleaning device. In the case of such sharing, if the operation of the cleaning blower is stopped just after the cleaning of the screen mask is completed as in the case of exclusive use, the negative pressure is not supplied to the other cleaning devices, and the cleaning operation is forced to be interrupted. There is a problem. The same applies to the vacuum pump, and there is a problem that the substrate is likely to be displaced during printing if the negative pressure is not supplied to the other substrate support devices.

そこで本発明は、クリーニングブロワと真空ポンプを共用する場合にクリーニング作業や基板の吸着に支障が生じることのないスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a screen printing apparatus and a screen printing method that do not interfere with cleaning work and substrate adsorption when a cleaning blower and a vacuum pump are shared.

本発明のスクリーン印刷装置は、基板を真空吸着して位置決めする手段と、スクリーンマスクに残留する半田を吸引して除去する手段と、印刷動作を制御する制御手段をそれぞれ備えた2つのスクリーン印刷ステージと、前記2つのスクリーン印刷ステージのうちの一方のスクリーン印刷ステージに配置され、前記2つのスクリーン印刷ステージに共用の基板吸着用の真空ポンプと、前記2つのスクリーン印刷ステージのうちの他方のスクリーン印刷ステージに配置され、前記2つのスクリーン印刷ステージに共用の半田吸引用のクリーニングブロワと、前記真空ポンプおよび前記クリーニングブロワを作動または非作動に切り換える切り換え手段とを備え、前記一方のスクリーン印刷ステージに備えられた前記制御手段は、前記他方のスクリーン印刷ステージに備えられた前記制御手段から前記真空ポンプの非作動要求を受けたときに、前記一方のスクリーン印刷ステージにおいて前記真空ポンプを使用しているときには、前記切り換え手段による前記真空ポンプの非作動への切り換えを行わず、前記他方のスクリーン印刷ステージに備えられた前記制御手段は、前記一方のスクリーン印刷ステージに備えられた前記制御手段から前記クリーニングブロワの非作動要求を受けたときに、前記他方のスクリーン印刷ステージにおいて前記スクリーンブロワを使用しているときには、前記切り換え手段による前記クリーニングブロワの非作動への切り換えを行わないThe screen printing apparatus of the present invention includes two screen printing stages each provided with means for vacuum-sucking and positioning a substrate, means for sucking and removing solder remaining on the screen mask, and control means for controlling the printing operation. And a vacuum pump for suctioning a substrate that is disposed on one of the two screen printing stages and is shared by the two screen printing stages, and the other screen printing of the two screen printing stages. is disposed on the stage, the two cleaning blower for solder suction shared screen printing stage, and a switching means for switching the operation or non-operation of the vacuum pump and the cleaning blower, comprising on the one screen printing stage The control means provided is connected to the other disk. When the vacuum pump is used in the one screen printing stage upon receiving a non-operation request of the vacuum pump from the control means provided in the screen printing stage, the switching means The control means provided in the other screen printing stage without switching to non-operation receives a non-operation request for the cleaning blower from the control means provided in the one screen printing stage. When the screen blower is used in the other screen printing stage, the switching means is not switched to the non-operating state by the switching means .

本発明のスクリーン印刷方法は、基板吸着用の真空ポンプを一方のスクリーン印刷ステージに配置し、半田吸引用のクリーニングブロワを他方のスクリーン印刷ステージに配置し、両方のスクリーン印刷ステージにおいて前記真空ポンプと前記クリーニングブロワを共用するスクリーン印刷装置において、前記一方のスクリーン印刷ステージから前記他方のスクリーン印刷ステージに前記クリーニングブロワの非作動要求が行われたときに前記他方のスクリーン印刷ステージで前記クリーニングブロワを使用しているときには非作動への切り換えを行わず、前記他方のスクリーン印刷ステージから前記一方のスクリーン印刷ステージに前記真空ポンプの非作動要求が行われたときに前記一方のスクリーン印刷ス
テージで前記真空ポンプを使用しているときには非作動への切り換えを行わないことを特徴とする。
According to the screen printing method of the present invention, a substrate suction vacuum pump is disposed on one screen printing stage, and a solder suction cleaning blower is disposed on the other screen printing stage. In the screen printing apparatus sharing the cleaning blower, the cleaning blower is used in the other screen printing stage when a request for non-operation of the cleaning blower is made from the one screen printing stage to the other screen printing stage. When the vacuum pump is not operated from the other screen printing stage to the one screen printing stage, the vacuum pump is operated at the one screen printing stage. use Characterized in that does not perform the switching to the non-actuated when being.

何れかのスクリーン印刷ステージにおいて基板吸着または半田吸引を行っている場合には真空ポンプまたはクリーニングブロワを非作動に切り換えないようにしたことで、真空ポンプおよびクリーニングブロワを共用して複数の基板に印刷を施す場合のクリーニング作業や基板の吸着に支障が生じることがない。   When the substrate suction or solder suction is performed at any of the screen printing stages, the vacuum pump or cleaning blower is not switched to non-operation, so the vacuum pump and the cleaning blower can be used for printing on multiple substrates. There is no problem in the cleaning work and the adsorption of the substrate.

本発明の実施の形態について添付した図を参照して説明する。図1はスクリーン印刷装置の構成を示すブロック図、図2、図3はスクリーン印刷装置の印刷動作のフローチャートである。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the screen printing apparatus, and FIGS. 2 and 3 are flowcharts of the printing operation of the screen printing apparatus.

スクリーン印刷装置1は、それぞれ独立して印刷動作を行う2つのスクリーン印刷ステージ2、3を備えている。スクリーン印刷ステージ2、3にはそれぞれ基板搬送装置4、5と基板支持装置6、7とスキージ装置8、9とクリーニング装置10、11が配置されている。   The screen printing apparatus 1 includes two screen printing stages 2 and 3 that perform printing operations independently of each other. Substrate transport devices 4 and 5, substrate support devices 6 and 7, squeegee devices 8 and 9, and cleaning devices 10 and 11 are arranged on the screen printing stages 2 and 3, respectively.

基板搬送装置4、5は、印刷前の基板を前工程から各スクリーン印刷ステージ2、3の印刷位置に搬入し、印刷位置で印刷を終えた基板を後工程に搬出する基板搬送手段である。基板支持装置6、7は基板を印刷位置で水平に真空吸着して位置決めする手段である。スキージ装置8、9は位置決めされた基板にスクリーンマスクを介して半田を印刷する手段である。クリーニング装置10、11は印刷後のスクリーンマスクに付着している半田を吸引して除去する手段である。   The substrate transfer devices 4 and 5 are substrate transfer means for transferring the substrate before printing from the previous process to the printing positions of the screen printing stages 2 and 3 and discharging the substrate after printing at the printing position to the subsequent process. Substrate supporting devices 6 and 7 are means for positioning the substrate by vacuum suction horizontally at the printing position. The squeegee devices 8 and 9 are means for printing solder on a positioned substrate through a screen mask. The cleaning devices 10 and 11 are means for sucking and removing the solder adhering to the screen mask after printing.

スクリーン印刷ステージ2(ステージA)側には真空ポンプ12が配置されている。真空ポンプ12は通気管13、14で基板支持装置6、7と接続されている。真空ポンプ12は2つのスクリーン印刷ステージ2、3に共用の基板吸着用の吸気手段である。   A vacuum pump 12 is disposed on the screen printing stage 2 (stage A) side. The vacuum pump 12 is connected to the substrate support devices 6 and 7 through the vent pipes 13 and 14. The vacuum pump 12 is a suction means for suctioning the substrate shared by the two screen printing stages 2 and 3.

スクリーン印刷ステージ3(ステージB)側にはクリーニングブロワ15が配置されている。クリーニングブロワ15は通気管16、17でクリーニング装置10、11と接続されている。クリーニングブロワ15は2つのスクリーン印刷ステージ2、3に共用の半田吸引用の吸気手段である。   A cleaning blower 15 is disposed on the screen printing stage 3 (stage B) side. The cleaning blower 15 is connected to the cleaning devices 10 and 11 through vent pipes 16 and 17. The cleaning blower 15 is a suction means for sucking solder shared by the two screen printing stages 2 and 3.

制御装置18はステージAにおける印刷動作を統合的に制御する。同じく制御装置19はステージBにおける印刷動作を統合的に制御する。制御装置18と制御装置19は相互に通信が可能である。   The control device 18 controls the printing operation in the stage A in an integrated manner. Similarly, the control device 19 controls the printing operation in the stage B in an integrated manner. The control device 18 and the control device 19 can communicate with each other.

次にスクリーン印刷装置1の印刷動作の制御方法について説明する。ステージAにおける印刷動作は、制御装置18が基板搬送装置4と基板支持装置6とスキージ装置8とクリーニング装置10と真空ポンプ12を制御し、ステージBに配置された制御装置19がクリーニングブロワ15を制御することで行う。一方、ステージBにおける印刷動作は、制御装置19が基板搬送装置5と基板支持装置7とスキージ装置9とクリーニング装置11とクリーニングブロワ15を制御し、ステージAに配置された制御装置18が真空ポンプ12を制御することで行う。   Next, a method for controlling the printing operation of the screen printing apparatus 1 will be described. In the printing operation in the stage A, the control device 18 controls the substrate transport device 4, the substrate support device 6, the squeegee device 8, the cleaning device 10, and the vacuum pump 12, and the control device 19 arranged in the stage B controls the cleaning blower 15. This is done by controlling. On the other hand, in the printing operation in the stage B, the control device 19 controls the substrate transport device 5, the substrate support device 7, the squeegee device 9, the cleaning device 11, and the cleaning blower 15, and the control device 18 arranged in the stage A uses a vacuum pump. 12 is controlled.

制御装置18はステージAに配置された各装置(基板搬送装置4、基板支持装置6、スキージ装置8、クリーニング装置10、真空ポンプ12)については直接制御を行うことができるが、ステージBに配置されたクリーニングブロワ15の動作制御については直接
制御することはできないので、制御装置19に対してクリーニングブロワ15の作動、非作動の切り換えを要求することになる。ステージA側からクリーニングブロワ15の作動要求を受けた制御装置19は、クリーニングブロワ15が非作動の状態であればこれを作動の状態に切り換える制御を行うことになる。
The control device 18 can directly control each device (substrate transport device 4, substrate support device 6, squeegee device 8, cleaning device 10, vacuum pump 12) placed on stage A, but placed on stage B. Since the operation control of the cleaning blower 15 that has been performed cannot be directly controlled, the control device 19 is requested to switch the operation of the cleaning blower 15 between operation and non-operation. The control device 19 that has received the operation request for the cleaning blower 15 from the stage A side performs control to switch the cleaning blower 15 to the operation state if the cleaning blower 15 is in an inoperative state.

図2に示すようにクリーニングブロワ15の非作動要求を受けたときには、ステージB側でスクリーンマスクのクリーニング動作の最中であってクリーニングブロワ15を使用中であれば、クリーニングブロワ15を非作動に切り換えることなく作動を継続する制御を行う。クリーニングブロワ15を使用していなければ要求どおりに非作動に切り換える制御を行う。   As shown in FIG. 2, when a non-operation request for the cleaning blower 15 is received, if the cleaning blower 15 is in use while the screen mask is being cleaned on the stage B side, the cleaning blower 15 is deactivated. Control to continue operation without switching. If the cleaning blower 15 is not used, control is performed to switch to non-operation as required.

一方、制御装置19はステージBに配置された各装置(基板搬送装置5、基板支持装置7、スキージ装置9、クリーニング装置11、クリーニングブロワ15)については直接制御を行うことができるが、ステージAに配置された真空ポンプ12の動作制御については直接制御することはできないので、制御装置18に対して真空ポンプ12の作動、非作動の切り換えを要求することになる。ステージB側から真空ポンプ12の作動要求を受けた制御装置18は、真空ポンプ12が非作動の状態であればこれを作動の状態に切り換える制御を行うことになる。   On the other hand, the control device 19 can directly control each device (substrate transport device 5, substrate support device 7, squeegee device 9, cleaning device 11, cleaning blower 15) arranged on stage B, but stage A Since the operation control of the vacuum pump 12 arranged in cannot be directly controlled, the control device 18 is requested to switch the operation of the vacuum pump 12 or not. The control device 18 that has received the operation request for the vacuum pump 12 from the stage B side performs control to switch the vacuum pump 12 to the operation state if the vacuum pump 12 is in the non-operation state.

図3に示すように真空ポンプ12の非作動要求を受けたときには、ステージA側でスクリーン印刷の最中であって基板を支持するために真空ポンプ12を使用中であれば、真空ポンプ12を非作動に切り換えることなく作動を継続する制御を行う。真空ポンプ12を使用していなければ要求どおりに非作動に切り換える制御を行う。   As shown in FIG. 3, when a non-operation request for the vacuum pump 12 is received, if the vacuum pump 12 is being used to support the substrate during screen printing on the stage A side, the vacuum pump 12 is turned on. Control to continue operation without switching to non-operation. If the vacuum pump 12 is not used, control is performed to switch to non-operation as required.

本発明は真空ポンプおよびクリーニングブロワを共用して複数の基板に印刷を施すスクリーン印刷分野において有用である。   The present invention is useful in the field of screen printing in which a plurality of substrates are printed using a vacuum pump and a cleaning blower in common.

スクリーン印刷装置の構成を示すブロック図Block diagram showing the configuration of the screen printing device スクリーン印刷装置の印刷動作フローチャートPrinting operation flowchart of screen printing device スクリーン印刷装置の印刷動作フローチャートPrinting operation flowchart of screen printing device

符号の説明Explanation of symbols

1 スクリーン印刷装置
2、3 スクリーン印刷ステージ
6、7 基板支持装置
10、11 クリーニング装置
12 真空ポンプ
15 クリーニングブロワ
18、19 制御装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Screen printing device 2, 3 Screen printing stage 6, 7 Substrate support device 10, 11 Cleaning device 12 Vacuum pump 15 Cleaning blower 18, 19 Control device

Claims (2)

基板を真空吸着して位置決めする手段と、スクリーンマスクに残留する半田を吸引して除去する手段と、印刷動作を制御する制御手段をそれぞれ備えた2つのスクリーン印刷ステージと、
前記2つのスクリーン印刷ステージのうちの一方のスクリーン印刷ステージに配置され、前記2つのスクリーン印刷ステージに共用の基板吸着用の真空ポンプと、前記2つのスクリーン印刷ステージのうちの他方のスクリーン印刷ステージに配置され、前記2つのスクリーン印刷ステージに共用の半田吸引用のクリーニングブロワと、前記真空ポンプおよび前記クリーニングブロワを作動または非作動に切り換える切り換え手段とを備え、
前記一方のスクリーン印刷ステージに備えられた前記制御手段は、前記他方のスクリーン印刷ステージに備えられた前記制御手段から前記真空ポンプの非作動要求を受けたときに、前記一方のスクリーン印刷ステージにおいて前記真空ポンプを使用しているときには、前記切り換え手段による前記真空ポンプの非作動への切り換えを行わず、
前記他方のスクリーン印刷ステージに備えられた前記制御手段は、前記一方のスクリーン印刷ステージに備えられた前記制御手段から前記クリーニングブロワの非作動要求を受けたときに、前記他方のスクリーン印刷ステージにおいて前記スクリーンブロワを使用しているときには、前記切り換え手段による前記クリーニングブロワの非作動への切り換えを行わないことを特徴とするスクリーン印刷装置。
Two screen printing stages each provided with a means for vacuum-sucking and positioning the substrate, a means for sucking and removing the solder remaining on the screen mask, and a control means for controlling the printing operation;
A vacuum pump for suctioning a substrate , which is disposed on one of the two screen printing stages and is shared by the two screen printing stages, and the other screen printing stage of the two screen printing stages. A cleaning blower for sucking solder shared by the two screen printing stages, and switching means for switching the vacuum pump and the cleaning blower to be activated or deactivated.
The control means provided in the one screen printing stage receives the non-operation request of the vacuum pump from the control means provided in the other screen printing stage. When using a vacuum pump, do not switch the vacuum pump to non-operating by the switching means,
The control means provided in the other screen printing stage receives the non-operation request for the cleaning blower from the control means provided in the one screen printing stage. When the screen blower is used, the switching device does not switch the cleaning blower to the non-operating state .
基板吸着用の真空ポンプを一方のスクリーン印刷ステージに配置し、半田吸引用のクリーニングブロワを他方のスクリーン印刷ステージに配置し、両方のスクリーン印刷ステージにおいて前記真空ポンプと前記クリーニングブロワを共用するスクリーン印刷装置において、前記一方のスクリーン印刷ステージから前記他方のスクリーン印刷ステージに前記クリーニングブロワの非作動要求が行われたときに前記他方のスクリーン印刷ステージで前記クリーニングブロワを使用しているときには非作動への切り換えを行わず、前記他方のスクリーン印刷ステージから前記一方のスクリーン印刷ステージに前記真空ポンプの非作動要求が行われたときに前記一方のスクリーン印刷ステージで前記真空ポンプを使用しているときには非作動への切り換えを行わないことを特徴とするスクリーン印刷方法。   Screen printing in which a vacuum pump for substrate adsorption is arranged on one screen printing stage, a cleaning blower for solder suction is arranged on the other screen printing stage, and the vacuum pump and the cleaning blower are shared in both screen printing stages In the apparatus, when a request to deactivate the cleaning blower is made from the one screen printing stage to the other screen printing stage, when the cleaning blower is used in the other screen printing stage, the apparatus is deactivated. When the vacuum pump is not used in the one screen printing stage when the vacuum pump is not operated from the other screen printing stage to the one screen printing stage, the switching is not performed. Cut to Screen printing method, characterized in that it does not perform the example.
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