JP2010126698A - Releasable adhesive tape for masking - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、太陽光発電装置を製造する工程や、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）を用いた装置を製造する工程、回路基板を製造する工程などにおいて使用する粘着テープに関し、被着体を薬液処理する際、薬液処理の不要部分を保護するために使用されるマスキング用の剥離性粘着テープに関する。 The present invention relates to an adhesive tape used in a process of manufacturing a photovoltaic power generation apparatus, a process of manufacturing an apparatus using MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), a process of manufacturing a circuit board, and the like. It is related with the peelable adhesive tape for masking used in order to protect the unnecessary part of a chemical | medical solution process.
多結晶型や単結晶型のバルクタイプのセル（シリコンウエハ）を有する太陽光発電装置の製造工程においては、セルであるシリコンウエハ上に、例えばピラミッド型四角錐のような凹凸（テクスチャ）を設けることが一般的に用いられている。このテクスチャの目的は、入射する太陽光の反射を防止して、セル内部入光量を増加させるとともに、セル内光を斜めに導入して、セル内通過距離を長くすることである。 In a manufacturing process of a photovoltaic power generation apparatus having a polycrystalline or single crystal bulk type cell (silicon wafer), unevenness (texture) such as a pyramid type quadrangular pyramid is provided on a silicon wafer as a cell. Is generally used. The purpose of this texture is to prevent reflection of incident sunlight and increase the amount of incident light inside the cell, and introduce light inside the cell obliquely to increase the passing distance inside the cell.
テクスチャ形成プロセスを始め、表面安定化プロセスや破砕層除去プロセスにおいては、薬液処理が用いられており、テクスチャ形成プロセスでは薬液としてアルカリ溶液が用いられ、表面安定化プロセスや破砕層除去プロセスなどでは、薬液として酸溶液及びアルカリ溶液が用いられている（特許文献１）。例えば、エッチング速度の面方位依存性を調整するために、１％〜４０％の種々の濃度のＮａＯＨ水溶液で約１０分の薬液処理が行われる。このような薬液処理においては、セル全体を薬液に浸して行われているためにマスキングテープは不要であった。 In the texture formation process, chemical treatment is used in the surface stabilization process and the crushing layer removal process. In the texture formation process, an alkaline solution is used as the chemical, and in the surface stabilization process and the crushing layer removal process, An acid solution and an alkaline solution are used as chemical solutions (Patent Document 1). For example, in order to adjust the surface orientation dependence of the etching rate, a chemical treatment is performed for about 10 minutes with various aqueous NaOH solutions of 1% to 40%. In such chemical treatment, the masking tape is unnecessary because the entire cell is immersed in the chemical.
しかしながら、セル構造の開発動向は、薄いウエハを用いたセルで高い変換効率の達成であり、従来は受光面にも形成されていた電極を裏面だけに形成するなど高効率化の取り組みがなされている。その際に、いままで薬液にセル全体を浸してきたプロセスではなく、各々の面を異なるプロセスにて薬液処理する必要性が生じてきた。すなわち、薬液処理を行わない領域をマスキングする必要性が生じてきた。
このように薬液処理時にマスキングを行う方法として、レジストを塗布する方法や、市販のシリコーン系粘着層を有するマスキングテープを用いる方法がある。レジストを用いる方法においては、レジスト塗布、プリベーク、薬液処理、レジスト剥離処理などの工程が必要となり工程が複雑化する。一方、市販のシリコーン系粘着層を有するマスキングテープを用いる方法については、本発明者らがＮａＯＨ水溶液の１％〜４０％にいたる様々な濃度にて確認したところ、１〜１０％近傍の濃度においては、浸漬中に被着体であるシリコンウエハからテープが剥がれてしまい、１％〜４０％の濃度範囲すべてにおいてマスキングができていなかった。また、マスキングテープには、剥離後に被着体に粘着剤が残存する、いわゆる糊残りがないことも望まれる。 As a method for performing masking during chemical treatment in this way, there are a method of applying a resist and a method of using a masking tape having a commercially available silicone-based adhesive layer. In the method using a resist, steps such as resist coating, pre-baking, chemical processing, and resist stripping are necessary, and the steps become complicated. On the other hand, as for the method using a masking tape having a commercially available silicone-based adhesive layer, the present inventors have confirmed at various concentrations ranging from 1% to 40% of the NaOH aqueous solution. In this case, the tape was peeled off from the silicon wafer as the adherend during immersion, and masking could not be performed in the entire concentration range of 1% to 40%. In addition, it is also desired that the masking tape has no so-called adhesive residue in which the adhesive remains on the adherend after peeling.
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、耐薬品性に優れており、薬液処理に対するマスキング効果を発揮することができ、しかも剥離後の被着体への粘着剤の残渣のないマスキング用剥離性粘着テープを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above points, has excellent chemical resistance, can exert a masking effect on chemical treatment, and is free of adhesive residue on the adherend after peeling. An object of the present invention is to provide a peelable pressure-sensitive adhesive tape.
本発明のマスキング用剥離性粘着テープは、基材フィルムの片面に粘着層を設けてなるマスキング用剥離性粘着テープであって、前記粘着層を構成する粘着剤が、（Ａ）常温で固体のゴム材料と、（Ｂ）末端に架橋基点を持つ液状物質と、（Ｃ）前記液状物質を架橋するための硬化剤と、を含有し、前記ゴム材料のバルク体中に、架橋後の液状物質が０．２μｍ〜２０μｍの径で分散していることを特徴とする。 The releasable pressure-sensitive adhesive tape for masking of the present invention is a releasable pressure-sensitive adhesive tape for masking in which a pressure-sensitive adhesive layer is provided on one side of a substrate film, and the pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-sensitive adhesive layer is solid at (A) normal temperature. A rubber material, (B) a liquid substance having a crosslinking base at the terminal, and (C) a curing agent for crosslinking the liquid substance, and the liquid substance after crosslinking in the bulk material of the rubber material Is dispersed with a diameter of 0.2 μm to 20 μm.
この構成によれば、ゴム材料のバルク体中に、架橋後の液状物質が０．２μｍ〜２０μｍの径で分散していることにより、アルカリの浸入経路となりうる架橋後の液状物質が分断される。つまり、本来耐薬品性の優れているバルク体が分断されずに連続体の状態で、粘着剤全体の粘弾性を制御できるため、粘弾性調整後でも耐薬品性が維持できる。また、粘着層の表層は凝集性の高いバルク体であるために、剥離後の被着体への粘着剤を残存させない。 According to this configuration, the liquid material after crosslinking dispersed in the bulk material of the rubber material with a diameter of 0.2 μm to 20 μm divides the liquid material after crosslinking that can serve as an alkali infiltration path. . That is, since the viscoelasticity of the entire pressure-sensitive adhesive can be controlled in the state of a continuous body without being divided into bulk bodies that are originally excellent in chemical resistance, chemical resistance can be maintained even after adjustment of viscoelasticity. Moreover, since the surface layer of the pressure-sensitive adhesive layer is a highly cohesive bulk body, the pressure-sensitive adhesive on the adherend after peeling does not remain.
本発明のマスキング用剥離性粘着テープにおいては、前記粘着剤は、周波数１Ｈｚで測定した動的粘弾性スペクトルについて、２５℃における貯蔵弾性率Ｇ’が４．５×１０５Ｐａ〜６．９×１０５Ｐａであり、損失正接ｔａｎδが０．４０〜０．４３であって、９０℃における貯蔵弾性率Ｇ’が７×１０４Ｐａ〜９×１０４Ｐａであり、損失正接ｔａｎδが０．７０〜０．８２であることが好ましい。 In the peelable pressure-sensitive adhesive tape for masking of the present invention, the pressure-sensitive adhesive has a storage elastic modulus G ′ at 25 ° C. of 4.5 × 10 5 Pa to 6.9 × with respect to a dynamic viscoelastic spectrum measured at a frequency of 1 Hz. 10 5 is Pa, a loss tangent tanδ is 0.40 to 0.43, a storage modulus G 'is 7 × 10 4 Pa~9 × 10 4 Pa at 90 ° C., the loss tangent tanδ is 0. It is preferable that it is 70-0.82.
本発明のマスキング用剥離性粘着テープにおいては、前記ゴム材料が、クロロプレンゴム、クロロスルフォン化ポリエチレンゴム（ＣＳＭゴム）、エチレン−プロピレン−ジエンゴム（ＥＰＤＭ）、マレイン酸変性エチレン−プロピレン−ジエンゴム、及びこれらの混合物からなる群より選ばれたものであることが好ましい。あるいは、前記液状物質が、ポリイソプレン骨格、ポリブタジエン骨格、及びポリブテン骨格からなる群より選ばれた少なくとも一つを有する物質であることが好ましい。 In the peelable pressure-sensitive adhesive tape for masking of the present invention, the rubber material is chloroprene rubber, chlorosulfonated polyethylene rubber (CSM rubber), ethylene-propylene-diene rubber (EPDM), maleic acid-modified ethylene-propylene-diene rubber, and these It is preferably selected from the group consisting of Alternatively, the liquid substance is preferably a substance having at least one selected from the group consisting of a polyisoprene skeleton, a polybutadiene skeleton, and a polybutene skeleton.
本発明のマスキング用剥離性粘着テープにおいては、前記ゴム材料が、分子中に極性の強い原子２重量％〜４０重量％含有した平均分子量１０，０００〜５０，０００の化合物であることが好ましい。あるいは、前記液状物質が、末端にＯＨを持ち、平均分子量が１，０００〜５，０００の化合物であり、前記硬化剤がイソシアネート系架橋剤であることが好ましい。 In the releasable pressure-sensitive adhesive tape for masking of the present invention, the rubber material is preferably a compound having an average molecular weight of 10,000 to 50,000 and containing 2 to 40% by weight of strongly polar atoms in the molecule. Alternatively, the liquid material is preferably a compound having OH at the end and an average molecular weight of 1,000 to 5,000, and the curing agent is an isocyanate-based crosslinking agent.
本発明のマスキング用剥離性粘着テープにおいては、前記ゴム材料が前記粘着剤の７０重量％〜９９重量％であり、前記液状物質が前記粘着剤の１重量％〜３０重量％であり、前記硬化剤が前記粘着剤の３０重量％以下であることが好ましい。 In the peelable pressure-sensitive adhesive tape for masking of the present invention, the rubber material is 70% to 99% by weight of the pressure-sensitive adhesive, the liquid substance is 1% to 30% by weight of the pressure-sensitive adhesive, and the curing The agent is preferably 30% by weight or less of the pressure-sensitive adhesive.
本発明のマスキング用剥離性粘着テープは、基材フィルムの片面に粘着層を設けてなり、前記粘着層を構成する粘着剤が、（Ａ）常温で固体のゴム材料と、（Ｂ）末端に架橋基点を持つ液状物質と、（Ｃ）前記液状物質を架橋するための硬化剤と、を含有し、前記ゴム材料のバルク体中に、架橋後の液状物質が０．２μｍ〜２０μｍの径で分散しているので、耐薬品性に優れており、薬液処理に対するマスキング効果を発揮することができ、しかも剥離後の被着体への粘着剤の残渣のないものである。 The peelable pressure-sensitive adhesive tape for masking of the present invention comprises an adhesive layer on one side of a base film, and the adhesive constituting the adhesive layer comprises (A) a rubber material that is solid at room temperature, and (B) an end. A liquid substance having a crosslinking base point and (C) a curing agent for crosslinking the liquid substance, and the liquid substance after crosslinking has a diameter of 0.2 μm to 20 μm in the bulk material of the rubber material. Since it is dispersed, it has excellent chemical resistance, can exert a masking effect on chemical treatment, and has no adhesive residue on the adherend after peeling.
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
本発明のマスキング用剥離性粘着テープは、基材フィルムの片面に粘着層を設けてなるマスキング用剥離性粘着テープであって、前記粘着層を構成する粘着剤が、（Ａ）常温で固体のゴム材料と、（Ｂ）末端に架橋基点を持つ液状物質と、（Ｃ）前記液状物質を架橋するための硬化剤と、を含有し、前記ゴム材料のバルク体中に、架橋後の液状物質が０．２μｍ〜２０μｍの径で分散していることを特徴とする。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
The releasable pressure-sensitive adhesive tape for masking of the present invention is a releasable pressure-sensitive adhesive tape for masking in which an adhesive layer is provided on one side of a substrate film, and the pressure-sensitive adhesive constituting the adhesive layer is (A) solid at ordinary temperature. A rubber material, (B) a liquid substance having a crosslinking base at the terminal, and (C) a curing agent for crosslinking the liquid substance, and the liquid substance after crosslinking in the bulk material of the rubber material Is dispersed with a diameter of 0.2 μm to 20 μm.
まず、基材フィルムの片面に設ける粘着層を構成する粘着剤の材料について説明する。
（Ａ）ゴム材料
ゴム材料としては、常温で固体のゴム材料を用いる。また、ゴム材料としては、分子中に極性の強い原子が結合したゴム材料であることが好ましい。ここで、極性の強い原子としては、窒素（Ｎ）、酸素（Ｏ）、塩素（Ｃｌ）、硫黄（Ｓ）などが挙げられる。また、極性の強い原子は、ゴム材料中に２重量％〜４０重量％で含まれていることが好ましい。
First, the material of the adhesive which comprises the adhesion layer provided in the single side | surface of a base film is demonstrated.
(A) Rubber material A rubber material that is solid at room temperature is used as the rubber material. The rubber material is preferably a rubber material in which strongly polar atoms are bonded in the molecule. Here, nitrogen (N), oxygen (O), chlorine (Cl), sulfur (S), etc. are mentioned as a strongly polar atom. Moreover, it is preferable that a highly polar atom is contained in the rubber material at 2 wt% to 40 wt%.
また、ゴム材料の平均分子量は、可撓性、被着体への密着性や、凝集力による被着体への残渣を考慮すると、１０，０００〜５０，０００であることが好ましい。 The average molecular weight of the rubber material is preferably 10,000 to 50,000 in consideration of flexibility, adhesion to the adherend, and residues on the adherend due to cohesive force.
具体的には、ゴム材料としては、クロロプレンゴム、クロロスルフォン化ポリエチレンゴム（ＣＳＭゴム）、エチレン−プロピレン−ジエンゴム（ＥＰＤＭ）、マレイン酸変性エチレン−プロピレン−ジエンゴム、、又はこれらの混合物であることが好ましい。 Specifically, the rubber material may be chloroprene rubber, chlorosulfonated polyethylene rubber (CSM rubber), ethylene-propylene-diene rubber (EPDM), maleic acid-modified ethylene-propylene-diene rubber, or a mixture thereof. preferable.
ゴム材料の配合量は、本ゴム材料の極性に起因する強い凝集性によって発現される耐薬品性を活用して、粘着剤全体の耐薬品性の確保および、本ゴム材料の凝集力による弾性率の確保を考慮すると、粘着剤の７０重量％〜９９重量％であることが好ましいと考える。 The compounding amount of the rubber material makes use of the chemical resistance expressed by the strong cohesiveness due to the polarity of the rubber material to ensure the chemical resistance of the entire adhesive and the elastic modulus due to the cohesive force of the rubber material In view of ensuring the above, it is preferable that the content is 70 to 99% by weight of the pressure-sensitive adhesive.
（Ｂ）液状物質
液状物質としては、末端に架橋基点を持つ物質を用いる。架橋基点としては、ＯＨ基などを挙げることができる。この末端のＯＨ基は２つ程度であることが好ましい。液状物質において、末端以外の部分は、一般に炭素（Ｃ）と水素（Ｈ）でできており、分子は極性がないか、あっても非常に小さいことが好ましい。この特長により、相対的に極性の強いゴム材料に対して混ざりにくくなり、ゴム材料中に架橋後の液状物質を分散体として存在させることができる。
(B) Liquid substance As the liquid substance, a substance having a terminal cross-linking point is used. Examples of the crosslinking base point include an OH group. The number of terminal OH groups is preferably about two. In the liquid substance, the portion other than the terminal is generally made of carbon (C) and hydrogen (H), and it is preferable that the molecule has no polarity or is very small. Due to this feature, it is difficult to mix with a rubber material having a relatively strong polarity, and a liquid substance after crosslinking can be present as a dispersion in the rubber material.
液状物質は、架橋後の粘性がゴム材料の粘性よりも低いことが好ましい。このような関係にすることにより、架橋後の液状物質がゴム材料のバルク中で分散体として残存し易くなる。分散体としての液状物質（架橋後の液状物質）の大きさは、テープ剥離後の被着体への残渣（被着体への汚染）や、粘着剤の流動性を考慮すると、０．２μｍ〜２０μｍ径であることが好ましく、特に０．５μｍ〜５μｍ径であることが好ましい。 The liquid substance preferably has a viscosity after crosslinking lower than that of the rubber material. By having such a relationship, the liquid substance after crosslinking is likely to remain as a dispersion in the bulk of the rubber material. The size of the liquid substance (liquid substance after crosslinking) as a dispersion is 0.2 μm in consideration of the residue on the adherend (contamination to the adherend) after tape peeling and the fluidity of the adhesive. A diameter of ˜20 μm is preferable, and a diameter of 0.5 μm to 5 μm is particularly preferable.
このように、ゴム材料のバルク体中に、架橋後の液状物質が０．２μｍ〜２０μｍの径で分散していることにより、アルカリの浸入経路となりうる架橋後の液状物質が分断される。つまり、本来耐薬品性の優れているバルク体が分断されずに連続体の状態で、粘着剤全体の粘弾性を制御できるため、耐薬品性が向上する。また、粘着層の表層は凝集性の高いバルク体であるために、剥離後の被着体への粘着剤を残存させない。なお、ゴム材料のバルク体中に、架橋後の液状物質が０．２μｍ〜２０μｍの径で分散していることは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により確認することができる。 In this way, the liquid material after cross-linking is dispersed in the bulk material of the rubber material with a diameter of 0.2 μm to 20 μm, so that the liquid material after cross-linking that can be an alkali infiltration route is divided. That is, since the viscoelasticity of the entire pressure-sensitive adhesive can be controlled in a continuous state without dividing the bulk body that is originally excellent in chemical resistance, the chemical resistance is improved. Moreover, since the surface layer of the pressure-sensitive adhesive layer is a highly cohesive bulk body, the pressure-sensitive adhesive on the adherend after peeling does not remain. In addition, it can confirm with the scanning electron microscope (SEM) that the liquid substance after bridge | crosslinking is disperse | distributing with the diameter of 0.2 micrometer-20 micrometers in the bulk body of a rubber material.
液状物質の平均分子量は、テープ剥離後の被着体への残渣（被着体への汚染）や、テープの可撓性の低下による被着体に対する密着性の低下を考慮すると、１，０００〜５，０００であることが好ましい。 The average molecular weight of the liquid substance is 1,000 in consideration of the residue on the adherend after peeling off the tape (contamination to the adherend) and the decrease in adhesion to the adherend due to the decrease in flexibility of the tape. It is preferably ˜5,000.
具体的には、液状物質は、ポリイソプレン骨格、ポリブタジエン骨格、及び／又はポリブテン骨格を有する物質であることが好ましい。 Specifically, the liquid substance is preferably a substance having a polyisoprene skeleton, a polybutadiene skeleton, and / or a polybutene skeleton.
液状物質の配合量は、本液状物質が分散体として、維持できる量であり、分散体間でアルカリの浸入経路とならない十分な距離を確保できる量、さらには、被着体汚染の原因となりやすい架橋後の液状物質が、粘着剤の表面に存在する確率を低減させること、さらに粘弾性の調整などを考慮すると、粘着剤の１重量％〜３０重量％、好ましくは２．５重量％〜２５重量％であることが好ましい。なお、液状物質は硬化剤により架橋されるが、架橋されたものであってもゴム材料に対して可塑剤として働くので、液状物質の量により粘着剤全体の流動性を調節することができる。 The amount of the liquid substance to be mixed is an amount that can be maintained as a dispersion, an amount that can secure a sufficient distance that does not become an alkali infiltration path between the dispersions, and is likely to cause contamination of the adherend. In consideration of reducing the probability that the liquid material after cross-linking exists on the surface of the pressure-sensitive adhesive, and adjusting the viscoelasticity, 1% to 30% by weight of the pressure-sensitive adhesive, preferably 2.5% to 25%. It is preferable that it is weight%. Although the liquid substance is cross-linked by the curing agent, even if it is cross-linked, it functions as a plasticizer for the rubber material, so that the fluidity of the entire pressure-sensitive adhesive can be adjusted by the amount of the liquid substance.
（Ｃ）硬化剤
硬化剤は、液状物質を硬化させるものである。具体的には、硬化剤としては、イソシアネート系架橋剤であることが好ましい。また、硬化剤の配合量は、テープ剥離後の被着体への残渣（被着体への汚染）を考慮すると、粘着剤の３０重量％以下であることが好ましい。特に、液状物質との理論上の当量に対して０．５倍〜２倍の割合が好ましい。
(C) Curing agent The curing agent cures the liquid substance. Specifically, the curing agent is preferably an isocyanate crosslinking agent. Further, the amount of the curing agent is preferably 30% by weight or less of the pressure-sensitive adhesive in consideration of the residue (contamination to the adherend) after the tape peeling. In particular, a ratio of 0.5 to 2 times the theoretical equivalent of the liquid substance is preferable.
また、粘着剤は、被着体への投錨効果や、被着体の凹凸吸収を考慮すると、周波数１Ｈｚで測定した動的粘弾性スペクトルについて、２５℃における貯蔵弾性率Ｇ’が４．５×１０５Ｐａ〜６．９×１０５Ｐａであり、損失正接ｔａｎδが０．４０〜０．４３であって、９０℃における貯蔵弾性率Ｇ’が７×１０４Ｐａ〜９×１０４Ｐａであり、損失正接ｔａｎδが０．７０〜０．８２であることが好ましい。 In addition, the adhesive has a storage elastic modulus G ′ at 25 ° C. of 4.5 × with respect to a dynamic viscoelastic spectrum measured at a frequency of 1 Hz, considering the anchoring effect on the adherend and the uneven absorption of the adherend. 10 5 a Pa~6.9 × 10 5 Pa, a loss tangent tanδ is a 0.40 to 0.43, the storage modulus G 90 ° C. 'is at 7 × 10 4 Pa~9 × 10 4 Pa The loss tangent tan δ is preferably 0.70 to 0.82.
また、粘着剤には、必要に応じて、本発明の効果を発揮させる量的、質的範囲内で粘着付与剤、粘着調製剤、界面活性剤など、あるいはその他の改質剤及び慣用成分を配合することができる。 In addition, the pressure-sensitive adhesive contains, if necessary, a tackifier, a pressure-sensitive adhesive preparation agent, a surfactant, etc., or other modifiers and conventional ingredients within the quantitative and qualitative ranges that exert the effects of the present invention. Can be blended.
溶媒に溶けた粘着剤を基材フィルムに塗布し乾燥して粘着層を形成する場合の乾燥条件としては、温度７０℃〜１３０℃で、１分〜１０分であることが好ましい。また、このようにして得られた粘着層の厚さは、特に制限されるものではないが、通常２μｍ〜５０μｍであることが好ましい。 As drying conditions in the case of forming a pressure-sensitive adhesive layer by applying a pressure-sensitive adhesive dissolved in a solvent to a substrate film, the temperature is preferably 70 ° C. to 130 ° C. and preferably 1 minute to 10 minutes. Further, the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer thus obtained is not particularly limited, but is usually preferably 2 μm to 50 μm.
本発明に係るマスキング用剥離性粘着テープにおける基材フィルムとしては、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンナフタレートなどを用いることができる。 As a base film in the peelable pressure-sensitive adhesive tape for masking according to the present invention, polyester, polyethylene, polypropylene, polyethylene naphthalate, or the like can be used.
本発明のマスキング用剥離性粘着テープは、上記（Ａ）〜（Ｃ）を含有する粘着剤で構成された粘着層において、ゴム材料のバルク体中に、架橋後の液状物質が０．２μｍ〜２０μｍの径で分散している。このため、薬液処理に対するマスキング効果を発揮することができる。例えば、本発明のマスキング用剥離性粘着テープを２μｍの突起が点在するほぼ平坦なシリコンウエハや高さ１０μｍのピラミッド状突起をもつシリコンウエハの薬液処理に対するマスキングに用いた場合、１％〜４０％にわたる様々な濃度での約１０分浸漬、あるいは、弱酸〜強酸の酸溶液での約３分浸漬に供しても、浸漬中のテープ剥がれや、テープ剥離後の糊残りを生じることのなくシリコンウエハを保護することができる。 The peelable pressure-sensitive adhesive tape for masking of the present invention is a pressure-sensitive adhesive layer composed of the pressure-sensitive adhesive containing the above (A) to (C), and the liquid material after crosslinking is 0.2 μm to the bulk material of the rubber material. Dispersed with a diameter of 20 μm. For this reason, the masking effect with respect to a chemical | medical solution process can be exhibited. For example, when the releasable pressure-sensitive adhesive tape for masking of the present invention is used for masking for chemical treatment of a substantially flat silicon wafer having 2 μm protrusions and a silicon wafer having 10 μm high pyramidal protrusions, 1% to 40% Even if it is immersed for about 10 minutes at various concentrations over 5% or about 3 minutes in an acid solution of a weak acid to a strong acid, it does not cause tape peeling during the immersion or adhesive residue after tape peeling. The wafer can be protected.
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