JP2010118185A - Plasma igniting device of internal combustion engine - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、内燃機関のプラズマ点火装置に関する。 The present invention relates to a plasma ignition device for an internal combustion engine.
内燃機関において、気筒内全体の均質混合気又は気筒内の一部に存在する混合気を点火装置により確実に着火させなければならない。しかしながら、点火ギャップに火花を発生させる一般的な点火装置は、混合気の一点を着火させるものであり、それほど高い着火性を有してはいない。 In an internal combustion engine, a homogeneous mixture in the entire cylinder or a mixture existing in a part of the cylinder must be reliably ignited by an ignition device. However, a general ignition device that generates a spark in the ignition gap ignites one point of the air-fuel mixture and does not have a very high ignitability.
着火性に優れた点火装置として、プラズマジェットを噴射するプラズマ点火装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。プラズマ点火装置は、絶縁体の筒状先端部により形成されて軸線方向に延在するチャンバと、チャンバの基端側に配置された中心電極と、チャンバの先端側に配置された接地電極とを具備し、中心電極と接地電極との間に電圧を印加して発生する放電によってチャンバ内に高温高圧のプラズマを発生させるものである。このようにチャンバ内に発生させたプラズマは、チャンバに連通する噴孔からプラズマジェットとして噴射され、プラズマジェットの断面積に相当する混合気の所定面積を同時に着火させることができる。こうしてプラズマ点火装置は高い着火性を有している。 As an ignition device having excellent ignitability, a plasma ignition device that injects a plasma jet has been proposed (see, for example, Patent Document 1). The plasma ignition device includes a chamber formed by a cylindrical tip portion of an insulator and extending in the axial direction, a center electrode disposed on the base end side of the chamber, and a ground electrode disposed on the tip end side of the chamber. And high temperature and high pressure plasma is generated in the chamber by a discharge generated by applying a voltage between the center electrode and the ground electrode. The plasma generated in the chamber is ejected as a plasma jet from the nozzle hole communicating with the chamber, and a predetermined area of the air-fuel mixture corresponding to the cross-sectional area of the plasma jet can be ignited simultaneously. Thus, the plasma ignition device has high ignitability.
このようなプラズマ点火装置において、チャンバを形成する絶縁体は、一般的に熱伝達率が低いために、プラズマを発生させる際のチャンバ内の放電によって高温とされた時には高温が維持され易い。それにより、高温が維持されて損傷しないように素早く放熱させることが必要となる。 In such a plasma ignition device, since the insulator forming the chamber generally has a low heat transfer coefficient, the high temperature is easily maintained when the insulator is heated to a high temperature by discharge in the chamber when generating plasma. Accordingly, it is necessary to quickly dissipate heat so that the high temperature is maintained and is not damaged.
プラズマ点火装置において絶縁体の外側には金属製のハウジングが設けられており、絶縁体の熱はハウジングへ放熱させることとなる。絶縁体とハウジングとの間の隙間はチャンバと連通するために、この隙間には金属製ガスケットが配置されてチャンバの気密性を確保している。こうして、絶縁体とハウジングとは厳密には金属製ガスケットを介してしか接触しておらず、絶縁体の熱は主に金属製ガスケットを介してハウジングへ放熱されることとなる。 In the plasma ignition device, a metal housing is provided outside the insulator, and the heat of the insulator is radiated to the housing. Since the gap between the insulator and the housing communicates with the chamber, a metal gasket is disposed in the gap to ensure the airtightness of the chamber. Thus, strictly speaking, the insulator and the housing are in contact only via the metal gasket, and the heat of the insulator is mainly radiated to the housing via the metal gasket.
しかしながら、金属製ガスケットは、一般的に、チャンバを形成する絶縁体の筒状先端部から離間して配置されているために、最も高温とされる絶縁体の筒状先端部からハウジングへ素早く放熱させることができず、特に絶縁体の筒状先端部が高温により損傷してしまうことがある。 However, since the metal gasket is generally disposed away from the cylindrical tip of the insulator forming the chamber, heat is quickly radiated from the cylindrical tip of the insulator that is at the highest temperature to the housing. In particular, the cylindrical tip of the insulator may be damaged by high temperatures.
従って、本発明の目的は、内燃機関のプラズマ点火装置において、プラズマを発生させるためのチャンバを形成する絶縁体の筒状先端部からの良好な放熱を可能として絶縁体の高温による損傷を抑制することである。 Accordingly, an object of the present invention is to enable good heat dissipation from the cylindrical tip of an insulator forming a chamber for generating plasma in a plasma ignition device for an internal combustion engine, thereby suppressing damage due to high temperature of the insulator. That is.
本発明による請求項1に記載の内燃機関のプラズマ点火装置は、絶縁体の筒状先端部により形成されて軸線方向に延在するチャンバと、前記チャンバの基端側に配置された中心電極と、前記チャンバの先端側に配置された接地電極と、前記絶縁体の外側を覆うと共に前記接地電極を固定するハウジングと、前記チャンバと気筒内とを連通する噴孔とを具備するプラズマ点火装置において、前記絶縁体と前記ハウジングとの間の前記チャンバに連通する隙間は、前記筒状先端部の端面に当接する金属製ガスケットにより密閉されることを特徴とする。
The plasma ignition device for an internal combustion engine according to
本発明による請求項2に記載の内燃機関のプラズマ点火装置は、請求項1に記載の内燃機関のプラズマ点火装置において、前記隙間の前記金属製ガスケットより大気側は少なくとも部分的に金属粉体又は液体により充填されることを特徴とする。
The plasma ignition device for an internal combustion engine according to
本発明による請求項3に記載の内燃機関のプラズマ点火装置は、請求項2に記載の内燃機関のプラズマ点火装置において、前記ハウジングには前記隙間に連通する充填通路が形成されており、前記充填通路から前記金属粉体又は前記液体を充填することを特徴とする。 A plasma ignition device for an internal combustion engine according to a third aspect of the present invention is the plasma ignition device for an internal combustion engine according to the second aspect, wherein a filling passage communicating with the gap is formed in the housing. The metal powder or the liquid is filled from a passage.
本発明による請求項1に記載の内燃機関のプラズマ点火装置によれば、絶縁体の筒状先端部により形成されて軸線方向に延在するチャンバと、チャンバの基端側に配置された中心電極と、チャンバの先端側に配置された接地電極と、絶縁体の外側を覆うと共に接地電極を固定するハウジングと、チャンバと気筒内とを連通する噴孔とを具備するプラズマ点火装置において、絶縁体とハウジングとの間のチャンバに連通する隙間は、筒状先端部の端面に当接する金属製ガスケットにより密閉されるようになっている。それにより、プラズマを発生させるためのチャンバ内の放電によってチャンバを形成する絶縁体の筒状先端部は高温となるが、この熱は直ぐ近くに当接する金属製ガスケットを介して素早くハウジングへ放熱させることができ、絶縁体の高温による損傷を抑制することができる。 According to the plasma ignition device for an internal combustion engine of the first aspect of the present invention, a chamber formed by the cylindrical tip portion of the insulator and extending in the axial direction, and a center electrode disposed on the base end side of the chamber A plasma ignition device comprising: a ground electrode disposed on a front end side of the chamber; a housing that covers the outside of the insulator and fixes the ground electrode; and a nozzle hole that communicates the chamber and the inside of the cylinder. A gap communicating with the chamber between the housing and the housing is sealed by a metal gasket that abuts the end surface of the cylindrical tip. As a result, the cylindrical tip of the insulator forming the chamber becomes hot due to the discharge in the chamber for generating plasma, but this heat is quickly dissipated to the housing via the metal gasket that comes into contact immediately. And the damage due to the high temperature of the insulator can be suppressed.
本発明による請求項2に記載の内燃機関のプラズマ点火装置によれば、請求項1に記載の内燃機関のプラズマ点火装置において、絶縁体とハウジングとの間の隙間の金属製ガスケットより大気側は少なくとも部分的に金属粉体又は液体により充填されるようになっている。このように充填された金属粉体又は液体は、絶縁体の筒状先端部の端面に当接する金属製ガスケット以外で絶縁体とハウジングとに密着して絶縁体からハウジングへの良好な熱伝達を可能とし、充填された金属粉体又は液体によっても絶縁体の熱をハウジングへ放熱させることができ、絶縁体の高温による損傷をさらに確実に抑制することができる。
According to the plasma ignition device for an internal combustion engine according to
本発明による請求項3に記載の内燃機関のプラズマ点火装置によれば、請求項2に記載の内燃機関のプラズマ点火装置において、ハウジングには隙間に連通する充填通路が形成されており、充填通路から金属粉体又は液体を充填するようになっている。それにより、絶縁体をハウジングへ組み付けた後に絶縁体とハウジングとの間の隙間に充填通路を介して金属粉体又は液体を容易に充填することができる。
According to the plasma ignition device for an internal combustion engine according to
図7は一般的なプラズマ点火装置を示す断面図である。同図において、1はプラズマ点火装置の軸線方向に延在するように絶縁体2の筒状先端部2aにより形成されてプラズマを生成するチャンバであり、チャンバ1の基端側には中心電極4が配置され、チャンバ1の先端側には接地電極3が配置されている。7は絶縁体2の外側を覆うと共に接地電極3を固定する金属製のハウジングである。ハウジング7と接地電極3とは溶接等により互いに気密に接合されて機械的及び電気的に一体とされる。本従来例において、接地電極8はチャンバ1及び気筒内へ対向しており、チャンバ1と気筒内とを連通する噴孔8は、接地電極3に形成されている。
FIG. 7 is a sectional view showing a general plasma ignition device. In the figure,
接地電極3及び中心電極4は、耐熱性と高い導電性とを有する金属、例えば、ステンレス等の鉄系金属、ニッケル系金属、又は、イリジウム系金属又はイリジウム合金とすることができる。中心電極4に対して接地電極3を絶縁するための絶縁体2の材質は、セラミックス(例えばアルミナセラミックス)とすることが好ましい。5は中心電極4へ電圧を印加するための導体(例えばニッケル)であり、6は導体5と中心電極4とを電気的に接続するための導電性接着剤である。
The
図8は図1のプラズマ点火装置のチャンバ1近傍の拡大図であり、図6は図1の点火装置の電源制御回路である。図6において、10は電子制御装置ECUにより制御されるトランジスタであり、11は第一バッテリであり、12は点火コイルである。また、13はコンデンサであり、14は第二バッテリ15の制御回路である。
FIG. 8 is an enlarged view of the vicinity of the
このように構成された電源制御回路において、ECUは、先ず、トランジスタ10のスイッチングによって第一バッテリ11の電圧を点火コイル12により増幅して中心電極4と接地電極3との間に印加する。こうして、中心電極4と接地電極3との間に作用する高電圧によって、図8にS1で示すように、中心電極4の接地電極側端面4aの外周角部と接地電極3の中心電極側端面3aの内周角部3b(噴孔8により形成される)との間において、絶縁体2の筒状先端部2a内面上に沿面放電が発生し、チャンバ1内の沿面放電近傍のガス(混合気)をプラズマ化させる。
In the power supply control circuit configured as described above, the ECU first amplifies the voltage of the
こうして、チャンバ1内のガスの一部がプラズマ化されてイオン及び電子が生成されると同時にコンデンサに蓄えられた電圧が放出され、図8にS2で示すように、中心電極4の接地電極側端面4aの中央部と接地電極3の中心電極側端面3aの内周角部3bとの間において、チャンバ1内に気中放電が発生する。制御回路は気中放電が持続するようにだけ比較的低い第二バッテリ15の電圧を中心電極4と接地電極3との間に印加するが、比較的大きな電流を流すことができる。
In this way, a part of the gas in the
こうして、気中放電によってチャンバ1内のガスの大部分がプラズマ化されると、チャンバ1内のガスは高温高圧となってプラズマジェットとして噴孔8から噴射され、気筒内の混合気を良好に着火させる。
Thus, when most of the gas in the
チャンバ1内のガスをプラズマ化させる際に、気中放電に比較して沿面放電の方が低い電圧で発生させることができる。しかしながら、沿面放電だけでチャンバ1内のガスの大部分をプラズマ化させることは、絶縁体2の側壁内面上で長い時間沿面放電を持続させなければならないために効率的ではなく、チャンバ1内に気中放電を発生させることが必要とされる。前述のように、沿面放電により一部のガスをプラズマ化させることにより気中放電を発生させるのに必要な電圧を低くすることができる。こうして、最初に沿面放電を発生させ、次いで気中放電を発生させることにより、それほど高電圧を必要とすることなくチャンバ1内のガスの大部分をプラズマ化させることができる。
When the gas in the
ところで、プラズマを発生するチャンバ1を形成する絶縁体2の筒状先端部2aは、チャンバ1内の沿面放電を僅かな時間としても温度上昇し、その後の気中放電によりチャンバ1内で発生させたプラズマからの受熱もあって高温となり、素早く放熱させないと、高温が維持されて損傷することがある。もちろん、このような沿面放電と気中放電との組み合わせに限らず、沿面放電だけによって又は気中放電だけによってチャンバ1内にプラズマを発生させる場合にも、絶縁体2の筒状先端部2aは高温となる。
By the way, the
ところで、プラズマ点火装置において、絶縁体2と一体的なハウジング7及び接地電極3との間には隙間が存在し、この隙間はチャンバ1に連通するために金属ガスケットにより密閉しなければならない。図7に示す一般的なプラズマ点火装置では、この金属ガスケット9は、絶縁体2の筒状先端部2aから離間した切頭円錐面(テーパ面)に配置されている。
By the way, in the plasma ignition device, a gap exists between the
こうして、一般的なプラズマ点火装置では、絶縁体2とハウジング7とは厳密には金属ガスケット9を介してしか接触しておらず、絶縁体2の筒状先端部2aの熱はハウジング7へ放熱させるしかないが、筒状先端部2aから離間する金属ガスケット9を介してでは、熱伝達率の低い絶縁体2においては、筒状先端部2aの熱を素早く放熱させることができず、筒状先端部2aは高温により損傷する可能性が極めて高くなる。
Thus, in a general plasma ignition device, the
図1は、本発明による内燃機関のプラズマ点火装置の第一実施形態を示す図7と同様な断面図である。図7との違いについてのみ以下に説明する。本実施形態において、絶縁体2’と一体的なハウジング7’及び接地電極3との間の隙間を密閉するための金属ガスケット9’は、絶縁体2’の筒状先端部2a’の端面2b’に当接するように位置している。本実施形態において、金属ガスケット9’は、銅、金、銀、アルミニウム、又は、これらの内のいずれかを含む合金等の良熱伝導性で低硬度の金属から形成され、絶縁体2’の筒状先端部2a’の端面2b’とハウジング7’に一体の接地電極3の中心電極側端面3aとの間に配置されている。
FIG. 1 is a cross-sectional view similar to FIG. 7 showing a first embodiment of a plasma ignition device for an internal combustion engine according to the present invention. Only the differences from FIG. 7 will be described below. In the present embodiment, the
それにより、プラズマを発生させるためのチャンバ1内の放電によってチャンバ1を形成する絶縁体2’の筒状先端部2a’は高温となるが、この熱は直ぐ近くに当接する金属製ガスケット9’を介して素早くハウジング7’へ放熱させることができ、絶縁体2’の高温による損傷を十分に抑制することができる。チャンバ1内の沿面放電及び気中放電において、接地電極3は電子が集合するために中心電極4より高温となる。それにより、絶縁体2’の筒状先端部2a’においても、基端側(中心電極4側)より先端側(接地電極3側)がより高温となるために、金属製ガスケット9’を絶縁体2’の筒状先端部2a’の端面2b’に当接させることは絶縁体2の放熱によって非常に有利である。
As a result, the
また、絶縁体2’とハウジング7’との間の隙間の金属製ガスケット9’より大気側に連通するように、ハウジング7’には充填通路7a’が形成されており、充填通路7a’から絶縁体2’とハウジング7’との間の隙間に、金属ガスケット9’と同様な金属又はナトリウムの粉体Mが充填されている。このように充填される金属粉体Mは、絶縁体2’の筒状先端部2a’の端面2b’に当接する金属製ガスケット9’以外で絶縁体2’とハウジング7’とに密着して絶縁体2’からハウジング7’への良好な熱伝達を可能とし、充填された金属粉体Mによっても絶縁体2’の熱をハウジング7’へ放熱させることができるために、絶縁体2’の筒状先端部2a’の高温による損傷をさらに確実に抑制することができる。
Further, a
このようにハウジング7’に充填通路7a’を形成することにより、絶縁体2’をハウジング7’へ組み付けた後に絶縁体2’とハウジング7’との間の隙間に金属粉体Mを充填することができ、金属粉体Mの充填が容易となる。また、金属粉体Mは、絶縁体2’とハウジング7’との間の隙間の金属製ガスケット9’より大気側において、少なくとも部分的に充填されれば良い。絶縁体2’をハウジング7’へ組み付けた後において絶縁体2’とハウジング7’との間の隙間には空気が存在するが、金属粉体Mの充填時には、この空気は、プラズマ点火装置の上部に設けられた空間において圧縮されるようにするか、又は、プラズマ点火装置の上部から抜くようにしても良い。
By forming the
また、本実施形態のように、複数の充填通路7a’が形成されている場合(例えば、直径方向に対向して二つの充填通路7a’が形成されている場合)には、複数の充填通路7a’から同時に金属粉体Mを充填するようにしても良いが、一つの充填通路7a’を空気抜きのために利用することができ、この場合において、空気抜きのための充填通路7a’から空気ではなく金属粉体Mが押し出されれば、金属粉体Mの充填が完了したとして充填を終了することができる。
Further, as in the present embodiment, when a plurality of filling
絶縁体2’とハウジング7’との間の隙間の金属製ガスケット9’より大気側へは、金属粉体ではなく、液体アンモニア又はメタノールのような液体を充填するようにしても良く、これら液体も金属粉体と同様に絶縁体2’とハウジング7とに密着して絶縁体2’からハウジング7’への放熱を可能とする。
The
ところで、図1において、20はシリンダヘッドであり、本プラズマ点火装置は、ハウジング7’のネジ部7b’によってシリンダヘッド20の取付穴に螺合される。この際には、取付穴とハウジング7’との間の隙間は、気筒内へ連通するために密閉しなければならない。そのための金属ガスケット21は、例えば、ネジ部7b’より気筒内側において、プラズマ点火装置のハウジング7’外面に形成された切頭円錐面7c’と、この切頭円錐面7c’と対向するシリンダヘッド20の取付穴の切頭円錐面20aとの間に配置されている。
In FIG. 1,
本実施形態においては、ハウジング7’外面の切頭円錐面7c’に前述の充填通路7a’が形成され、金属粉体Mの充填後には、充填通路7aを塞ぐための銅溶射が行われている。この銅溶射を切頭円錐面7c’上にリング状に行った後に、表面を機械加工して仕上げることにより、銅溶射部を金属ガスケット21として利用することができる。
In the present embodiment, the
図2は、本発明による内燃機関のプラズマ点火装置の第二実施形態を示すチャンバ1近傍の拡大断面図である。第一実施形態との違いについてのみ以下に説明する。本実施形態においても、絶縁体とハウジング700との間のチャンバ1に連通する隙間は、絶縁体の筒状先端部200aの端面200bに当接する金属製ガスケット900により密閉されるようになっている。それにより、プラズマを発生させるためのチャンバ1内の放電によってチャンバ1を形成する絶縁体の筒状先端部200aは高温となるが、この熱は直ぐ近くに当接する金属製ガスケット900を介して素早くハウジング700へ放熱させることができ、絶縁体の高温による損傷を抑制することができる。
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of the
本実施形態においても、ハウジング700と接地電極300とは、溶接等により互いに気密に接合されて機械的及び電気的に一体とされる。本実施形態において、接地電極300はチャンバ1に対向するが気筒内には対向しておらず、ハウジング700は気筒内に対向しているがチャンバ1に対向しておらず、それにより、チャンバ1と気筒内とを連通する噴孔800は、接地電極300とハウジング700とを貫通して形成される。
Also in this embodiment, the
本実施形態においては、絶縁体の筒状先端部200aの端面200bは、接地電極300だけでなくハウジング700とも対向しており、金属製ガスケット900は、絶縁体の筒状先端部200aの端面200bとハウジング700との間に配置されている。第一実施形態においては、絶縁体の筒状先端部2a’の熱は、金属製ガスケット9’から接地電極3を介してハウジング7’へ放熱されるが、チャンバ1内の放電によって接地電極3も高温となるために、接地電極3は自身の熱をハウジング7’へ放熱してから絶縁体の筒状先端部2a’の放熱を実施することとなり、筒状先端部2a’の放熱が僅かに遅くなってしまう。
In the present embodiment, the
これに対して本実施形態では、絶縁体の筒状先端部200aの熱は、金属製ガスケット900から接地電極300を介することなく直接的にハウジング700へ放熱させることができ、第一実施形態に比較して、筒状先端部200aからのより早い放熱が可能となって、さらに筒状先端部200aが高温に維持され難くすることができる。
On the other hand, in the present embodiment, the heat of the
図3は、本発明による内燃機関のプラズマ点火装置の第三実施形態を示すチャンバ1近傍の拡大断面図である。第一実施形態との違いについてのみ以下に説明する。本実施形態においても、絶縁体とハウジング701との間のチャンバ1に連通する隙間は、絶縁体の筒状先端部201aの端面201bに当接する金属製ガスケット901により密閉されるようになっている。それにより、プラズマを発生させるためのチャンバ1内の放電によってチャンバ1を形成する絶縁体の筒状先端部201aは高温となるが、この熱は直ぐ近くに当接する金属製ガスケット901を介して素早くハウジング701へ放熱させることができ、絶縁体の高温による損傷を抑制することができる。
FIG. 3 is an enlarged sectional view of the vicinity of the
本実施形態においても、ハウジング701と接地電極301とは、溶接等により互いに気密に接合されて機械的及び電気的に一体とされる。本実施形態において、接地電極301はチャンバ1に対向するが気筒内には対向しておらず、ハウジング701は気筒内に対向しているがチャンバ1に対向しておらず、それにより、チャンバ1と気筒内とを連通する噴孔801は、接地電極301とハウジング701とを貫通して形成される。
Also in this embodiment, the
本実施形態においては、絶縁体の筒状先端部201aの端面201bは、ハウジング701とだけ対向しており、金属製ガスケット901は、絶縁体の筒状先端部201aの端面201bとハウジング701との間に配置されている。それにより、第二実施形態と同様に、絶縁体の筒状先端部201aの熱は、金属製ガスケット901から直接的にハウジング701へ放熱させることができ、筒状先端部201aからのより早い放熱が可能となって、さらに筒状先端部201aが高温に維持され難くすることができる。
In the present embodiment, the
本実施形態において、接地電極301の中心電極側端面は、絶縁体の筒状先端部201aに対向しておらず、中心電極側端面の外周角部301bが筒状先端部201aの内面近傍に位置するために、プラズマ生成のための沿面放電に利用され、また、中心電極側端面の内周角部301cがプラズマ生成のための気中放電に利用されるために、一つの角部が沿面放電と気中放電とに利用されて激しく消耗することを防止することができる。
In this embodiment, the center electrode side end surface of the
また、本実施形態において、金属製ガスケット901が当接する筒状先端部201aの端面201bは、中心軸線に対して傾斜する傾斜面、すなわち、切頭円錐面であり、それにより、金属製ガスケット901は、絶縁体の筒状先端部201aにより押圧されるだけで中心位置決めされる。本実施形態において、筒状先端部201aには、中心軸線に対して直交する僅かな幅の端面も有しており、このように、本発明においては、絶縁体の筒状先端部の端面とは、中心軸線に交差する先端側面を意図しており、複数の面から構成されることもある。
In this embodiment, the
図4は、本発明による内燃機関のプラズマ点火装置の第四実施形態を示すチャンバ1近傍の拡大断面図であり、図5は絶縁体の筒状先端部の断面平面図である。第一実施形態との違いについてのみ以下に説明する。本実施形態においても、絶縁体とハウジング702との間のチャンバ1に連通する隙間は、絶縁体の筒状先端部202aの端面202bに当接する金属製ガスケット902により密閉されるようになっている。それにより、プラズマを発生させるためのチャンバ1内の放電によってチャンバ1を形成する絶縁体の筒状先端部202aは高温となるが、この熱は直ぐ近くに当接する金属製ガスケット902を介して素早くハウジング702へ放熱させることができ、絶縁体の高温による損傷を抑制することができる。
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of the
本実施形態においても、ハウジング702と接地電極302とは、溶接等により互いに気密に接合されて機械的及び電気的に一体とされる。図5に示すように、接地電極302は、中心電極側端面が十字形を有し、チャンバ1に対向するハウジング702の一部分に配置されている。チャンバ1と気筒内とを連通する四つの噴孔802は、接地電極302を避けてチャンバ1及び気筒内へ対向するハウジング702の一部分を貫通して形成されている。
Also in this embodiment, the
本実施形態においては、絶縁体の筒状先端部202aの端面202bは、ハウジング702とだけ対向しており、金属製ガスケット902は、絶縁体の筒状先端部202aの端面202bとハウジング702との間に配置されている。それにより、第二実施形態と同様に、絶縁体の筒状先端部202aの熱は、金属製ガスケット902から直接的にハウジング702へ放熱させることができ、筒状先端部202aからのより早い放熱が可能となって、さらに筒状先端部202aが高温に維持され難くすることができる。
In this embodiment, the
本実施形態において、接地電極302の中心電極側端面は、絶縁体の筒状先端部202aに対向しておらず、四つの周囲角部302bが筒状先端部202aの内面近傍に位置するために、プラズマ生成のための沿面放電に利用され、また、四つのL字角部302cがプラズマ生成のための気中放電に利用されるために、一つの角部が沿面放電と気中放電とに利用されて激しく消耗することを防止することができる。
In the present embodiment, the center electrode side end surface of the
また、本実施形態においても、金属製ガスケット902が当接する筒状先端部202aの端面202bは、中心軸線に対して傾斜する傾斜面、すなわち、切頭円錐面であり、それにより、金属製ガスケット901は、筒状先端部202aにより押圧されるだけで中心位置決めされる。本実施形態において、高温高圧のプラズマが噴出される噴孔802は、ハウジング702に形成されており、プラズマは接地電極302内を通過しないために、接地電極302がプラズマの通過により高温となって溶損するようなことはない。
Also in the present embodiment, the
1 チャンバ
2、2’ 絶縁体
2a、2a’、200a,201a、202a 筒状先端部
3、3’、300、301、302 接地電極
4 中心電極
8、800、801、802 噴孔
9、9’、900、901、902 金属製ガスケット
DESCRIPTION OF
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN102332683A (en) * | 2010-06-01 | 2012-01-25 | 博格华纳贝鲁系统有限公司 | Hf ignition device |
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-
2008
- 2008-11-11 JP JP2008289046A patent/JP2010118185A/en not_active Withdrawn
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A621 | Written request for application examination |
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