JP2010107863A - Photosensitive resin composition - Google Patents

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Yusuke Yamamoto
祐介 山本
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition for a photospacer, which has good alkali developability and the cured product of which has excellent flexibility and elastic recovery property. <P>SOLUTION: The alkali developable photosensitive resin composition (Q) includes a hydrophilic resin (A) having a carboxyl group, a polyfunctional acrylate monomer (B), a liquid polybutadiene copolymer (C), and a photoradical polymerization initiator (D), wherein the liquid polybutadiene copolymer (C) includes an acrylonitrile component (a) in an amount of 10-50 wt.% based on the solid weight of the liquid polybutadiene copolymer (C). A cured film formed on a glass substrate by photocuring the photosensitive resin composition (Q) has a transmittance for light of 400 nm of ≥90%. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、光照射を含む工程により硬化し、アルカリ現像可能な感光性樹脂組成物と、この組成物を用いて形成した液晶セル内のギャップ保持のために設けられたフォトスペーサに関するものである。   The present invention relates to a photosensitive resin composition which is cured by a process including light irradiation and can be developed with an alkali, and a photospacer provided for maintaining a gap in a liquid crystal cell formed using the composition. .

近年、液晶表示装置が脚光をあびており、その製造プロセスにおいて感光性樹脂が多用されている。例えば、カラーフィルタ上の画素に相当する部分は、着色顔料分散レジストであり、ブラックマトリックスにもレジストが使用されている。そのような部分に使用されるレジストとしては、フォトマスクを通して感光すると、光が照射された部分のみが固まり、現像により未露光部が剥離されるいわゆるネガ型レジストが多用されている。   In recent years, liquid crystal display devices have attracted attention, and photosensitive resins are frequently used in the manufacturing process. For example, the portion corresponding to the pixel on the color filter is a color pigment dispersion resist, and the resist is also used for the black matrix. As a resist used for such a portion, a so-called negative resist is often used in which only a portion irradiated with light is hardened when exposed through a photomask and an unexposed portion is peeled off by development.

さて、液晶表示装置技術においては、カラーフィルタ側基板と薄膜トランジスタ(TFT)側基板の両基板間に液晶層の厚みを保つために、スペーサと呼ばれるガラスまたは樹脂製の透明球状体粒子(ビーズ)をセル内部に散布している。
しかし、このスペーサは透明な粒子であることから、画素内に液晶と一諸にスペーサが入っていると、黒色表示時にスペーサ粒子を介して光が漏れてしまい、また、液晶が封入されている両基板間にスペーサ粒子が存在することによって、スペーサ粒子近傍の液晶分子の配向が乱され、この部分で光漏れを生じ、液晶表示装置のコントラストが低下し表示品質に悪影響を及ぼすといった問題を有している。
また、例えば、強誘電性液晶のように、両基板間の間隔(液晶層の厚み)が狭い液晶表示装置においては、このスペーサ粒子を用いて両基板間の間隔を均一に精度よく保ことは困難なことである。
Now, in the liquid crystal display device technology, in order to maintain the thickness of the liquid crystal layer between both the color filter side substrate and the thin film transistor (TFT) side substrate, glass or resin transparent spherical particles (beads) called spacers are used. Sprayed inside the cell.
However, since these spacers are transparent particles, if there is a liquid crystal and a spacer in the pixel, light leaks through the spacer particles during black display, and the liquid crystal is enclosed. The presence of spacer particles between the two substrates disturbs the orientation of the liquid crystal molecules in the vicinity of the spacer particles, causing light leakage at this portion, resulting in a problem that the contrast of the liquid crystal display device is lowered and the display quality is adversely affected. is doing.
Also, for example, in a liquid crystal display device in which the distance between the two substrates (the thickness of the liquid crystal layer) is narrow, such as a ferroelectric liquid crystal, the distance between the two substrates can be maintained uniformly and accurately using this spacer particle. It is difficult.

このような問題を解決する技術として、例えば、感光性樹脂を用い、部分的なパターン露光、現像というフォトリソグラフィー法により、所望の位置、例えば、画素間に位置する格子パターン状のブラックマトリクス上に、柱状の樹脂製スペーサを形成する方法が提案されている(特許文献1)。
このようなスペーサを以下フォトスペーサという。このフォトスペーサは、画素を避けた位置に形成できるので、上記のような表示品質に悪影響を及ぼすことがなくなり、表示品質の向上が望める。
As a technique for solving such a problem, for example, a photosensitive resin is used and a photolithography method such as partial pattern exposure and development is performed on a black matrix in a lattice pattern located at a desired position, for example, between pixels. A method of forming a columnar resin spacer has been proposed (Patent Document 1).
Such a spacer is hereinafter referred to as a photo spacer. Since the photo spacer can be formed at a position avoiding the pixels, it does not adversely affect the display quality as described above, and the display quality can be improved.

一方、近年、LCD(液晶ディスプレイ)製造のためのマザーガラスが大きくなるに従い、従来の液晶流入方法(真空吸引方式)に代わって滴下方式(ODF方式)(ODF:One Drop Fill)が提案されている。ODF方式では、所定量の液晶を滴下した後、基板で挟持することによって液晶を注入するため 、従来の真空吸引方式に比べ、工程数および工程時間の短縮が可能である。
しかしながら、ODF方式においては、セルギャップから計算して見積もった所定量の液晶を滴下し、狭持するため、高さのばらつきを補正する柔軟性と、その際に掛かる面内での微妙な圧力差に影響しないような弾性特性を有することがフォトスペーサに対して望まれる。すなわち、柔軟性に優れ、かつ弾性回復率が高いフォトスペーサが要求される。
前述の特性柔軟性および弾性特性を持たないフォトスペーサではパネル作製持に液晶中に気泡が生じることがあり、セルギャップが均一にならずに液晶表示装置としては表示品質が劣化し、例えば、色むらが顕著なものとなってしまう等の不具合が生じる。
On the other hand, in recent years, as mother glass for LCD (Liquid Crystal Display) manufacture becomes larger, a drop method (ODF method) (ODF: One Drop Fill) has been proposed instead of the conventional liquid crystal inflow method (vacuum suction method). Yes. In the ODF method, after a predetermined amount of liquid crystal is dropped, the liquid crystal is injected by being sandwiched between substrates, so that the number of processes and the process time can be reduced as compared with the conventional vacuum suction method.
However, in the ODF method, a predetermined amount of liquid crystal calculated from the cell gap is dropped and held, so that flexibility in correcting height variations and subtle pressure in the plane applied at that time are obtained. It is desirable for photo spacers to have elastic properties that do not affect the difference. That is, a photo spacer having excellent flexibility and a high elastic recovery rate is required.
Photo spacers that do not have the above-mentioned characteristic flexibility and elastic properties may cause bubbles in the liquid crystal when the panel is manufactured. The cell gap is not uniform, and the display quality of the liquid crystal display device deteriorates. Inconveniences such as non-uniformity occur.

これらのセルギャップが均一にならずに表示品質が劣化する不具合を解決するための提案として、例えば、アルカリ現像性を有するフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(特許文献2)が提案されている。この提案では光重合性を有するモノマー、光重合開始剤とアルカリ現像性および反応性を有するエポキシ樹脂を併用することで、機械的強度に優れたフォトスペーサを提案している。
しかし、このようなエポキシ樹脂とアルカリ現像に必要なカルボン酸成分が共存しているような組成物では、エポキシ基とカルボン酸の間で架橋反応が進行する。その結果、出来上がったフォトスペーサは脆くなり弾性回復特性は悪化するという課題があった。
As a proposal for solving the problem that the display quality is deteriorated without the cell gap being uniform, for example, a photosensitive resin composition for a photospacer having alkali developability (Patent Document 2) has been proposed. In this proposal, a photo spacer having excellent mechanical strength is proposed by using a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, and an epoxy resin having alkali developability and reactivity in combination.
However, in a composition in which such an epoxy resin and a carboxylic acid component necessary for alkali development coexist, a crosslinking reaction proceeds between the epoxy group and the carboxylic acid. As a result, there is a problem that the completed photo spacer becomes brittle and the elastic recovery characteristic deteriorates.

上記のような弾性回復特性の不足を解決する特性を有するフォトスペーサを形成する材料として、近年、さらに新たな提案(特許文献3)がされている。この提案では、全固形分中の多官能モノマー量を50〜70%にすることによって改良を図っている。
しかしながら、多官能モノマーを大量に使用した場合アルカリ現像性および基板との密着性が悪化するという問題があった。
特開H11−174673号公報 特開2001−226449号公報 特開2002−174812号公報
In recent years, a new proposal (Patent Document 3) has been proposed as a material for forming a photo spacer having a characteristic that solves the shortage of the elastic recovery characteristic as described above. In this proposal, the amount of polyfunctional monomer in the total solid content is improved by 50 to 70%.
However, when a large amount of polyfunctional monomer is used, there is a problem that alkali developability and adhesion to a substrate are deteriorated.
JP H11-174673 A JP 2001-226449 A JP 2002-174812 A

本発明はアルカリ現像性が良好であり、かつ、その硬化物が優れた柔軟性と優れた弾性回復特性を有するフォトスペーサ用感光性樹脂組成物を提供し、さらに、優れた柔軟性と優れた弾性回復特性および優れた密着性を有するフォトスペーサの提供を課題とする。   The present invention provides a photosensitive resin composition for a photospacer having good alkali developability and having a cured product with excellent flexibility and excellent elastic recovery characteristics, and further, excellent flexibility and excellent It is an object to provide a photospacer having elastic recovery characteristics and excellent adhesion.

本発明者らは、上記問題を解決すべく鋭意検討した結果、本発明に到達した。
すなわち本発明は、カルボキシル基を有する親水性樹脂(A)、多官能アクリレートモノマー(B)、液状ポリブタジエン共重合体(C)および光ラジカル重合開始剤(D)を含有する感光性樹脂組成物であって、該液状ポリブタジエン共重合体(C)がアクリロニトリル成分(a)を該液状ポリブタジエン共重合体(C)の固形分重量に対して10〜50重量%含有する感光性樹脂組成物(Q)であって、該感光性樹脂組成物(Q)を光硬化させて形成されたガラス基板上の硬化膜の400nm光透過率が90%以上であることを特徴とするアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物(Q);およびこれを硬化させて形成された液晶セル内のギャップ保持のために設けられたフォトスペーサである。
The inventors of the present invention have arrived at the present invention as a result of intensive studies to solve the above problems.
That is, the present invention is a photosensitive resin composition containing a hydrophilic resin (A) having a carboxyl group, a polyfunctional acrylate monomer (B), a liquid polybutadiene copolymer (C) and a photo radical polymerization initiator (D). The liquid polybutadiene copolymer (C) contains the acrylonitrile component (a) in an amount of 10 to 50% by weight based on the solid content of the liquid polybutadiene copolymer (C) (Q). A 400 nm light transmittance of a cured film on a glass substrate formed by photo-curing the photosensitive resin composition (Q) is 90% or more, and the alkali-developable photosensitive resin Composition (Q); and a photospacer provided for maintaining a gap in a liquid crystal cell formed by curing the composition.

本発明の感光性樹脂組成物及びそれから得られたフォトスペーサは、以下の効果を奏する。
(1)感光性樹脂組成物はアルカリ現像性に優れている。
(2)フォトスペーサは柔軟性に優れ、かつ弾性回復特性に優れている。
(3)フォトスペーサは基板との密着性に優れる。
The photosensitive resin composition of the present invention and the photospacer obtained therefrom have the following effects.
(1) The photosensitive resin composition is excellent in alkali developability.
(2) The photo spacer is excellent in flexibility and elastic recovery characteristics.
(3) The photo spacer has excellent adhesion to the substrate.

本発明の感光性樹脂組成物は、カルボキシル基を有する親水性樹脂(A)[以下において、単に(A)と表記する場合がある]、多官能アクリレートモノマー(B)[以下において、単に(B)と表記する場合がある]、液状ポリブタジエン共重合体(C)[以下において、単に(C)と表記する場合がある]、および光ラジカル重合開始剤(D)[以下において、単に(D)と表記する場合がある]を必須成分として含有し、アルカリ現像性、柔軟性、弾性回復特性かつ密着性に優れるフォトスペーサを提供するものである。
なお、上記及び以下において、例えば「(メタ)アクリレート」などの「(メタ)」を付した表現は「アクリレートおよび/またはメタクリレート」などを意味する。
The photosensitive resin composition of the present invention comprises a hydrophilic resin having a carboxyl group (A) [hereinafter sometimes simply referred to as (A)], a polyfunctional acrylate monomer (B) [hereinafter simply represented by (B )], Liquid polybutadiene copolymer (C) [hereinafter sometimes simply referred to as (C)], and radical photopolymerization initiator (D) [hereinafter simply referred to as (D). Is provided as an essential component, and provides a photo-spacer excellent in alkali developability, flexibility, elastic recovery characteristics and adhesion.
In addition, in the above and the following, for example, the expression with “(meth)” such as “(meth) acrylate” means “acrylate and / or methacrylate”.

以下において、本発明の感光性樹脂組成物の必須構成成分である(A)〜(D)について、順に説明する。   Below, (A)-(D) which is an essential structural component of the photosensitive resin composition of this invention is demonstrated in order.

本発明におけるカルボキシル基を有する親水性樹脂(A)における親水性の指標はHLBにより規定され、一般にこの数値が大きいほど親水性が高いことを示す。
本発明の親水性樹脂(A)のHLB値は、(A)の樹脂骨格(例えば、ビニル系樹脂、エポキシ系系樹脂、ポリエステル系樹脂など)によって好ましい範囲が異なるが、通常4〜19、好ましくは5〜18、さらに好ましくは6〜17である。
4以上であれば感光性樹脂の現像を行う際に、現像性がさらに良好であり、19以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好である。
なお、本発明におけるHLBは、小田法によるHLB値であり、親水性−疎水性バランス値のことであり、有機化合物の有機性の値と無機性の値との比率から計算することができる。
HLB≒10×無機性/有機性
また、無機性の値および有機性の値は、文献「界面活性剤の合成とその応用」(槇書店発行、小田、寺村著)の501頁;および「新・界面活性剤入門」(藤本武彦著、三洋化成工業株式会社発行)の198頁に詳しく記載されている。
The hydrophilicity index in the hydrophilic resin (A) having a carboxyl group in the present invention is defined by HLB. In general, the larger this value, the higher the hydrophilicity.
The preferred range of the HLB value of the hydrophilic resin (A) of the present invention varies depending on the resin skeleton of (A) (for example, vinyl resin, epoxy resin, polyester resin, etc.), but usually 4 to 19, preferably Is from 5 to 18, more preferably from 6 to 17.
When it is 4 or more, the developing property is further improved when developing the photosensitive resin, and when it is 19 or less, the water resistance of the cured product is further improved.
In addition, HLB in this invention is an HLB value by the Oda method, is a hydrophilicity-hydrophobicity balance value, and can be calculated from the ratio of the organic value and inorganic value of an organic compound.
HLB≈10 × Inorganic / Organic In addition, the values of inorganicity and organicity are given in the document “Surfactant Synthesis and Its Applications” (published by Tsuji Shoten, Oda, Teramura), page 501;・ Introduction to Surfactant ”(written by Takehiko Fujimoto, published by Sanyo Chemical Industries, Ltd.), page 198.

また、(A)の溶解度パラメーター(以下、SP値という。)は、好ましくは7〜14、さら好ましくは8〜13、特に好ましくは11〜13である。7以上であるとさらに現像性が良好に発揮でき、14以下であると硬化物の耐水性がさらに良好である。   Moreover, the solubility parameter (hereinafter referred to as SP value) of (A) is preferably 7 to 14, more preferably 8 to 13, and particularly preferably 11 to 13. When it is 7 or more, the developability can be further improved, and when it is 14 or less, the water resistance of the cured product is further improved.

本発明におけるSP値は、Fedorsらが提案した下記の文献に記載の方法によって計算されるものである。   The SP value in the present invention is calculated by the method described in the following document proposed by Fedors et al.

「POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE,FEBRUARY,1974,Vol.14,No.2,Robert F.Fedors.(147〜154頁)」SP値が近いもの同士はお互いに混ざりやすく(分散性が高い)、この数値が離れているものは混ざりにくいことを表す指標である。 “POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE, FEBRUARY, 1974, Vol. 14, No. 2, Robert F. Fedors. (Pp. 147 to 154)” Those with close SP values are likely to mix with each other (highly dispersible), and this numerical value It is an index showing that things that are separated are difficult to mix.

本発明の親水性樹脂(A)は、現像性の観点から分子内に1個以上のカルボキシル基を有する。このカルボキシル基の位置は、親水性樹脂(A)の主鎖末端でも側鎖でもよい。
カルボキシル基の含有量は酸価で示される。(A)の酸価は、10mgKOH/g以上であると、現像性がさらに良好に発揮されやすく、500mgKOH/g以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好に発揮できる。
The hydrophilic resin (A) of the present invention has one or more carboxyl groups in the molecule from the viewpoint of developability. The position of the carboxyl group may be the main chain end or the side chain of the hydrophilic resin (A).
The carboxyl group content is indicated by an acid value. When the acid value of (A) is 10 mgKOH / g or more, developability is more likely to be exhibited, and when it is 500 mgKOH / g or less, the water resistance of the cured product can be further improved.

本発明における酸価はアルカリ性滴定溶液を用いた指示薬滴定法により測定できる。
方法は以下の通りである。
(i)試料約1gを精秤して三角フラスコに入れ、続いて中性メタノール・アセトン溶液[アセトンとメタノールを1:1(容量比)で混合したもの]を加え溶解する。
(ii)フェノールフタレイン指示薬数滴を加え、0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液で滴定する。指示薬の微紅色が30秒続いたときを中和の終点とする。
(iii)次式を用いて決定する。
酸価(KOHmg/g)=(A×f×5.61)/S
ただし、A:0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液のmL数。
f:0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液の力価
S:試料採取量(g)
The acid value in the present invention can be measured by an indicator titration method using an alkaline titration solution.
The method is as follows.
(I) About 1 g of a sample is precisely weighed and placed in an Erlenmeyer flask, and then a neutral methanol / acetone solution (a mixture of acetone and methanol at 1: 1 (volume ratio)) is added and dissolved.
(Ii) Add several drops of phenolphthalein indicator and titrate with 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution. The end point of neutralization is defined as the time when the indicator is slightly red for 30 seconds.
(Iii) Determine using the following equation.
Acid value (KOHmg / g) = (A × f × 5.61) / S
However, A: The number of mL of 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution.
f: Potency of 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution
S: Sampling amount (g)

本発明の親水性樹脂(A)としては、親水性ビニル系ポリマー(A1)親水性エポキシ系ポリマー(A2)、親水性ポリエステル系ポリマー、親水性ポリアミド系ポリマー、親水性ポリカーボネート系ポリマーおよび親水性ポリウレタン系ポリマーなどが挙げられる。(A)は1種で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
これらのうち、感光性樹脂組成物の光硬化性の観点と、製造のし易さの観点から、好ましいのは(A1)および(A2)である。
Examples of the hydrophilic resin (A) of the present invention include a hydrophilic vinyl polymer (A1), a hydrophilic epoxy polymer (A2), a hydrophilic polyester polymer, a hydrophilic polyamide polymer, a hydrophilic polycarbonate polymer, and a hydrophilic polyurethane. System polymers and the like. (A) may be used by 1 type and may use 2 or more types together.
Among these, (A1) and (A2) are preferable from the viewpoint of photocurability of the photosensitive resin composition and the viewpoint of ease of production.

親水性ビニル系ポリマー(A1)としては、親水基をビニル系ポリマー分子の側鎖および/または末端に有するものが挙げられる。親水基としては、カルボキシル基、水酸基、スルホン酸基、アミノ基、アミド基、ポリエーテル基およびこれらのうちの2種以上の併用などが挙げられる。充分な現像性を発揮するためには側鎖に親水基を有するもの、特にカルボキシル基を有するものが好ましい。   Examples of the hydrophilic vinyl polymer (A1) include those having a hydrophilic group in the side chain and / or terminal of the vinyl polymer molecule. Examples of the hydrophilic group include a carboxyl group, a hydroxyl group, a sulfonic acid group, an amino group, an amide group, a polyether group, and a combination of two or more of these. In order to exhibit sufficient developability, those having a hydrophilic group in the side chain, particularly those having a carboxyl group are preferred.

(A1)の好ましい製造方法は、親水基含有ビニルモノマー(a)と、必要により疎水基含有ビニルモノマー(b)とをビニル重合する方法である。   A preferred production method of (A1) is a method of vinyl polymerizing a hydrophilic group-containing vinyl monomer (a) and, if necessary, a hydrophobic group-containing vinyl monomer (b).

親水基含有ビニルモノマー(a)としては、以下の(a1)〜(a7)のビニルモノマーが挙げられる。
(a1)水酸基含有ビニルモノマー:
ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート[2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートなど]、ポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート[ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレートなど]、アルキロール(メタ)アクリルアミド[N−メチロール(メタ)アクリルアミドなど]、ヒドロキシスチレンおよび2−ヒドロキシエチルプロペニルエーテルなどが挙げられる。(a1)のうち好ましいのはアルカリ現像性の観点からヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、特に2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートである。
Examples of the hydrophilic group-containing vinyl monomer (a) include the following vinyl monomers (a1) to (a7).
(A1) Hydroxyl-containing vinyl monomer:
Hydroxyalkyl (meth) acrylate [2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, etc.], polyalkylene glycol mono (meth) acrylate [polyethylene glycol mono (meta ) Acrylate etc.], alkylol (meth) acrylamide [N-methylol (meth) acrylamide etc.], hydroxystyrene, 2-hydroxyethylpropenyl ether and the like. Among (a1), preferred is hydroxyalkyl (meth) acrylate, particularly 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, from the viewpoint of alkali developability.

(a2)カルボキシル基含有ビニルモノマー:
不飽和モノカルボン酸[(メタ)アクリル酸、クロトン酸および桂皮酸など]、不飽和多価(2〜4価)カルボン酸[(無水)マレイン酸、イタコン酸、フマル酸およびシトラコン酸など]、不飽和多価カルボン酸アルキル(炭素数1〜10のアルキル基)エステル[マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸モノアルキルエステルおよびシトラコン酸モノアルキルエステルなど]、並びにこれらの塩[アルカリ金属塩(ナトリウム塩およびカリウム塩等)、アルカリ土類金属塩(カルシウム塩およびマグネシウム塩等)、アミン塩およびアンモニウム塩等]が挙げられる。
(a2)のうち好ましいのは親水性の観点から不飽和モノカルボン酸、さらに好ましいのは(メタ)アクリル酸である。
(a3)スルホン酸基含有ビニルモノマー:
例えば、ビニルスルホン酸、(メタ)アリルスルホン酸、スチレンスルホン酸、α−メチルスチレンスルホン酸、2−(メタ)アクリロイルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸およびこれらの塩が挙げられる。塩としてはアルカリ金属(ナトリウムおよびカリウム等)塩、アルカリ土類金属(カルシウムおよびマグネシウム等)塩、第1〜3級アミン塩、アンモニウム塩および第4級アンモニウム塩などが挙げられる。
(A2) Carboxyl group-containing vinyl monomer:
Unsaturated monocarboxylic acids [such as (meth) acrylic acid, crotonic acid and cinnamic acid], unsaturated polyvalent (2-4 valent) carboxylic acids [such as (anhydrous) maleic acid, itaconic acid, fumaric acid and citraconic acid], Unsaturated polyvalent carboxylic acid alkyl (alkyl group having 1 to 10 carbon atoms) ester [maleic acid monoalkyl ester, fumaric acid monoalkyl ester, citraconic acid monoalkyl ester, etc.] and salts thereof [alkali metal salt (sodium salt) And potassium salts, etc.), alkaline earth metal salts (calcium salts and magnesium salts, etc.), amine salts and ammonium salts, etc.].
Of (a2), preferred is an unsaturated monocarboxylic acid from the viewpoint of hydrophilicity, and more preferred is (meth) acrylic acid.
(A3) Sulphonic acid group-containing vinyl monomer:
Examples thereof include vinyl sulfonic acid, (meth) allyl sulfonic acid, styrene sulfonic acid, α-methyl styrene sulfonic acid, 2- (meth) acryloylamido-2-methylpropane sulfonic acid, and salts thereof. Examples of the salt include alkali metal (sodium and potassium) salts, alkaline earth metal (calcium and magnesium) salts, primary to tertiary amine salts, ammonium salts and quaternary ammonium salts.

(a4)アミノ基含有ビニルモノマー:
3級アミノ基含有(メタ)アクリレート[ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレートおよびジエチルアミノエチル(メタ)アクリレートなどのジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート]などが挙げられる。
(a5)アミド基含有ビニルモノマー:
(メタ)アクリルアミド、N−アルキル(炭素数1〜6)(メタ)アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、N,N’−メチレン−ビス(メタ)アクリルアミド、N,N−ジアルキル(炭素数1〜6)またはジアラルキル(炭素数7〜15)(メタ)アクリルアミド(例えば、N,N−ジメチルアクリルアミドおよびN,N−ジベンジルアクリルアミドなど)、メタクリルホルムアミド、N−メチル−N−ビニルアセトアミド、桂皮酸アミドおよび環状アミド(N−ビニルピロリドン、N−アリルピロリドン等)が挙げられる。
(a6)第4級アンモニウム塩基含有ビニルモノマー;
炭素数6〜50(好ましくは8〜20)の第3級アミノ基含有ビニルモノマーの4級化物(4級化剤としては、メチルクロライド、ジメチル硫酸、ベンジルクロライドおよびジメチルカーボネート等)、例えば、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレートの4級化物、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレートの4級化物、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリルアミドの4級化物およびジエチルアミノエチル(メタ)アクリルアミドの4級化物などが挙げられる。
(a7)ポリエーテル基含有ビニルモノマー:
アルコキシ(アルコキシ基の炭素数1〜8)ポリアルキレン(アルキレン基の炭素数2〜4)グリコールモノ(メタ)アクリレート[メトキシポリエチレングリコール(重合度2〜40)モノ(メタ)アクリレートおよびメトキシポリプロピレングリコール(重合度2〜30)モノ(メタ)アクリレートなど]などが挙げられる。
(A4) Amino group-containing vinyl monomer:
Tertiary amino group-containing (meth) acrylates [dialkylaminoalkyl (meth) acrylates such as dimethylaminoethyl (meth) acrylate and diethylaminoethyl (meth) acrylate)] and the like.
(A5) Amide group-containing vinyl monomer:
(Meth) acrylamide, N-alkyl (C1-6) (meth) acrylamide, diacetone acrylamide, N, N′-methylene-bis (meth) acrylamide, N, N-dialkyl (C1-6) or Diaralkyl (7 to 15 carbon atoms) (meth) acrylamide (for example, N, N-dimethylacrylamide and N, N-dibenzylacrylamide), methacrylformamide, N-methyl-N-vinylacetamide, cinnamic amide and cyclic amide (N-vinylpyrrolidone, N-allylpyrrolidone, etc.).
(A6) a quaternary ammonium base-containing vinyl monomer;
A quaternized product of a tertiary amino group-containing vinyl monomer having 6 to 50 carbon atoms (preferably 8 to 20 carbon atoms, such as methyl chloride, dimethyl sulfate, benzyl chloride and dimethyl carbonate), for example, dimethyl Examples include quaternized products of aminoethyl (meth) acrylate, quaternized products of diethylaminoethyl (meth) acrylate, quaternized products of dimethylaminoethyl (meth) acrylamide, and quaternized products of diethylaminoethyl (meth) acrylamide.
(A7) Polyether group-containing vinyl monomer:
Alkoxy (alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms) polyalkylene (alkylene group having 2 to 4 carbon atoms) glycol mono (meth) acrylate [methoxypolyethylene glycol (degree of polymerization 2 to 40) mono (meth) acrylate and methoxypolypropylene glycol ( Polymerization degree 2-30) mono (meth) acrylate, etc.].

親水基含有ビニルモノマー(a)のうち好ましいのは、充分な現像性を付与するという観点から、水酸基含有ビニルモノマー(a1)とカルボキシル基含有ビニルモノマー(a2)、特に(a2)である。   Among the hydrophilic group-containing vinyl monomers (a), the hydroxyl group-containing vinyl monomer (a1) and the carboxyl group-containing vinyl monomer (a2), particularly (a2) are preferred from the viewpoint of imparting sufficient developability.

疎水基含有ビニルモノマー(b)としては、以下の非イオン性のモノマー(b1)〜(b6)が挙げられる。   Examples of the hydrophobic group-containing vinyl monomer (b) include the following nonionic monomers (b1) to (b6).

(b1)(メタ)アクリル酸エステル;
アルキル基の炭素数1〜20のアルキル(メタ)アクリレート[例えばメチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、n−ヘキシル(メタ)アクリレートおよび2−エチルヘキシル(メタ)アクリレートなど];脂環基含有(メタ)アクリレート[ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、シジクロペンテニル(メタ)アクリレートおよびイソボルニル(メタ)アクリレートなど];
(B1) (meth) acrylic acid ester;
C1-C20 alkyl (meth) acrylate of an alkyl group [for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate and 2-ethylhexyl (meth) acrylate, etc.]; alicyclic group-containing (meth) acrylate [dicyclopentanyl (meth) acrylate, sidiclopentenyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, etc. ];

(b2)芳香族炭化水素モノマー;
スチレン骨格を有する炭化水素モノマー[例えばスチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、2,4−ジメチルスチレン、エチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、フェニルスチレン、シクロヘキシルスチレンおよびベンジルスチレン]およびビニルナフタレンなどが挙げられる。
(b3)カルボン酸ビニルエステル;
炭素数4〜50のもの、例えば酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルおよび酪酸ビニルなどが挙げられる。
(b4)ビニルエーテル系モノマー;
炭素数3〜50(好ましくは6〜20)のもの、例えば、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ビニルプロピルエーテル、ビニルブチルエーテルなどが挙げられる。
(b5)ビニルケトン系モノマー;
炭素数4〜50のもの、例えば、ビニルメチルケトン、ビニルエチルケトンおよびビニルフェニルケトンなどが挙げられる。
(b6)ハロゲン原子含有モノマー;
炭素数2〜50(好ましくは2〜20)のもの、例えば、塩化ビニル、臭化ビニル、塩化ビニリデン、クロルスチレンおよびブロムスチレンなどが挙げられる。
(B2) an aromatic hydrocarbon monomer;
And hydrocarbon monomers having a styrene skeleton [for example, styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, 2,4-dimethylstyrene, ethylstyrene, isopropylstyrene, butylstyrene, phenylstyrene, cyclohexylstyrene, and benzylstyrene] and vinylnaphthalene. It is done.
(B3) carboxylic acid vinyl ester;
Examples thereof include those having 4 to 50 carbon atoms, such as vinyl acetate, vinyl propionate and vinyl butyrate.
(B4) vinyl ether monomers;
Those having 3 to 50 (preferably 6 to 20) carbon atoms such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, vinyl propyl ether, vinyl butyl ether and the like can be mentioned.
(B5) vinyl ketone monomer;
Examples thereof include those having 4 to 50 carbon atoms, such as vinyl methyl ketone, vinyl ethyl ketone, and vinyl phenyl ketone.
(B6) a halogen atom-containing monomer;
Examples thereof include those having 2 to 50 (preferably 2 to 20) carbon atoms, such as vinyl chloride, vinyl bromide, vinylidene chloride, chlorostyrene and bromostyrene.

疎水基含有ビニルモノマー(b)のうち好ましいのは、光硬化反応性の観点から(b1)であり、さらに好ましいのは脂環基含有(メタ)アクリレートである。   Of the hydrophobic group-containing vinyl monomers (b), preferred is (b1) from the viewpoint of photocuring reactivity, and more preferred is an alicyclic group-containing (meth) acrylate.

親水性ビニル系ポリマー(A1)における、(a)/(b)の仕込みモノマーモル比は、通常10/90〜100/0、光硬化性と現像性の観点から、好ましくは10/80〜90/20、さらに好ましくは25/75〜85/15である。   The charged monomer molar ratio of (a) / (b) in the hydrophilic vinyl polymer (A1) is usually from 10/90 to 100/0, preferably from 10/80 to 90 / from the viewpoint of photocurability and developability. 20, more preferably 25/75 to 85/15.

(A1)は、上記の(a)および必要により(b)を構成単量体とする重合体に、さらに光硬化性を向上させる目的で(メタ)アクリロイル基を側鎖に含有させてもよい。
側鎖に(メタ)アクリロイル基を含有させる方法としては、例えば下記の(1)および(2)の方法が挙げられる。
(1)親水基含有ビニルモノマー(a)のうちの少なくとも一部にイソシアネート基と反応しうる基(水酸基または1級もしくは2級アミノ基など)を有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後(メタ)アクリロイル基とイソシアネート基を有する化合物(アクリロイルエチルイソシアネートなど)を反応させる方法。
(2)親水基含有ビニルモノマー(a)のうちの少なくとも一部にエポキシ基と反応しうる基(水酸基、カルボキシル基または1級もしくは2級アミノ基など)を有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後(メタ)アクリロイル基とエポキシ基を有する化合物(グリシジルアクリレートなど)を反応させる方法。
(A1) may contain a (meth) acryloyl group in the side chain for the purpose of further improving photocurability in the polymer having (a) and, if necessary, (b) as a constituent monomer. .
Examples of the method of incorporating a (meth) acryloyl group in the side chain include the following methods (1) and (2).
(1) A polymer is produced using a monomer having a group (such as a hydroxyl group or a primary or secondary amino group) capable of reacting with an isocyanate group in at least a part of the hydrophilic group-containing vinyl monomer (a), Thereafter, a method of reacting a compound having a (meth) acryloyl group and an isocyanate group (such as acryloylethyl isocyanate).
(2) A polymer using a monomer having a group capable of reacting with an epoxy group (hydroxyl group, carboxyl group, primary or secondary amino group, etc.) in at least a part of the hydrophilic group-containing vinyl monomer (a). A method of producing and then reacting a compound (glycidyl acrylate, etc.) having a (meth) acryloyl group and an epoxy group.

(A1)のゲルパーミュエーションクロマトグラフィーによる数平均分子量(以下、Mnと略記。)は、感光性樹脂組成物としての光硬化性と現像性の観点から、好ましくは500〜500,000、さらに好ましくは1,000〜100,000、特に好ましくは3,000〜20,000である。   The number average molecular weight (hereinafter abbreviated as Mn) of (A1) by gel permeation chromatography is preferably 500 to 500,000, from the viewpoint of photocurability and developability as the photosensitive resin composition, Preferably it is 1,000-100,000, Most preferably, it is 3,000-20,000.

(A1)は、モノマーを必要により溶剤(E4)で希釈した後、ラジカル重合開始剤によって重合を行う事で得ることができる。
溶剤(E4)としては、グリコールエーテル類(エチレングリコールモノアルキルエーテルおよびプロピレングリコールモノアルキルエーテルなど)、ケトン類(アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソフ゛チルケトンおよびシクロヘキサノンなど)、およびエステル類(ブチルアセテート、エチレングリコールアルキルエーテルアセテートおよびプロピレングリコールアルキルエーテルアセテートなど)が挙げられる。(E4)のうち好ましいのはケトン類およびエステル類である。
(A1) can be obtained by performing polymerization with a radical polymerization initiator after the monomer is diluted with a solvent (E4) as necessary.
Solvents (E4) include glycol ethers (such as ethylene glycol monoalkyl ether and propylene glycol monoalkyl ether), ketones (such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone), and esters (butyl acetate, ethylene glycol alkyl). Ether acetate and propylene glycol alkyl ether acetate). Of (E4), ketones and esters are preferred.

溶剤(E4)を使用する場合、その使用量は特に限定されないが、親水性樹脂(A)の重量に基づいて通常、1〜400%(以下において、特に限定しない限り%は重量%を表す)、好ましくは5〜300%、特に好ましくは10〜200%である。   When the solvent (E4) is used, the amount used is not particularly limited, but is usually 1 to 400% based on the weight of the hydrophilic resin (A) (in the following,% represents% by weight unless otherwise specified). , Preferably 5 to 300%, particularly preferably 10 to 200%.

ラジカル重合開始剤としては、過酸化物およびアゾ化合物が挙げられる。過酸化物としては、無機過酸化物(例えば、過酸化水素、過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウムなど)、および有機過酸化物(例えば、過酸化ベンゾイル、ジ−t−ブチルパーオキサイド、クメンヒドロパーオキサイド、ラウリルパーオキシドなど)などが挙げられる。アゾ化合物としては、アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビス(2−メチルブチロニトリル)、アゾビスシアノ吉草酸およびその塩(例えば塩酸塩など)、およびアゾビス(2−アミジノプロパン)ハイドロクロライドなどが挙げられる。好ましいものとしては、アゾ化合物である。重合開始剤の使用量としては、モノマーの合計重量に基づいて、通常、0.0001〜20%が好ましく、さらに好ましくは0.001〜15%、特に好ましくは0.005〜10%である。反応温度および反応時間は、ラジカル重合開始剤の種類により適宜決定される。   Examples of the radical polymerization initiator include peroxides and azo compounds. Peroxides include inorganic peroxides (eg, hydrogen peroxide, ammonium persulfate, potassium persulfate, sodium persulfate, etc.) and organic peroxides (eg, benzoyl peroxide, di-t-butyl peroxide, Cumene hydroperoxide, lauryl peroxide, etc.). Examples of the azo compound include azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), azobisisobutyronitrile, azobis (2-methylbutyronitrile), azobiscyanovaleric acid and its salts (for example, hydrochloride), and azobis (2 -Amidinopropane) hydrochloride and the like. Preferred is an azo compound. As a usage-amount of a polymerization initiator, 0.0001-20% is preferable normally based on the total weight of a monomer, More preferably, it is 0.001-15%, Most preferably, it is 0.005-10%. The reaction temperature and reaction time are appropriately determined depending on the type of radical polymerization initiator.

前述のように(A)の親水性の指標はHLBにより規定されるが、このうちの親水基含有ビニルモノマー(A1)のHLB値は、好ましくは9〜19、さらに好ましくは10〜18、特に好ましくは11〜17である。(A1)のHLBが9以上であれば、現像性がさらに良好に発揮できる。   As described above, the hydrophilic index of (A) is defined by HLB, and the HLB value of the hydrophilic group-containing vinyl monomer (A1) is preferably 9 to 19, more preferably 10 to 18, particularly Preferably it is 11-17. If the HLB of (A1) is 9 or more, developability can be further improved.

本発明における(A)のうちの親水性エポキシ系ポリマー(A2)は、水酸基またはカルボキシル基等の親水性を有する官能基を含むエポキシ樹脂骨格を有するポリマーである。(A2)は、光硬化性の観点から、分子中に(メタ)アクリロイル基を有する方が好ましい。   The hydrophilic epoxy polymer (A2) in (A) in the present invention is a polymer having an epoxy resin skeleton containing a hydrophilic functional group such as a hydroxyl group or a carboxyl group. (A2) preferably has a (meth) acryloyl group in the molecule from the viewpoint of photocurability.

親水性エポキシ系ポリマー(A2)の好ましい製造法は、エポキシ樹脂(A20)中のエポキシ基に、(メタ)アクリロイル基含有モノカルボン酸を反応させてエポキシ基を開環させて水酸基を生成させ、該水酸基の一部に多価カルボン酸もしくは多価カルボン酸無水物(e)を反応させる方法である。 A preferred method for producing the hydrophilic epoxy polymer (A2) is to react the epoxy group in the epoxy resin (A2 0 ) with a (meth) acryloyl group-containing monocarboxylic acid to open the epoxy group to form a hydroxyl group. In this method, a polyvalent carboxylic acid or polyvalent carboxylic acid anhydride (e) is reacted with a part of the hydroxyl group.

(A20)としては、脂肪族エポキシ樹脂[例えばエポトートYH−300、PG−202、PG−207(いずれも東都化成(株)製)など]や脂環式エポキシ樹脂[例えばCY−179、CY−177、CY−175(いずれも旭化成エポキシ(株)製)など]や芳香族エポキシ樹脂[例えば、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ビフェニール型エポキシ樹脂おおびグリシジル変性ポリビニルフェノールなど]が挙げられる。(A20)のうち好ましいのは硬化性の観点から芳香族エポキシ樹脂である。 Examples of (A2 0 ) include aliphatic epoxy resins [for example, Epototo YH-300, PG-202, PG-207 (all manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.)] and alicyclic epoxy resins [for example, CY-179, CY. -177, CY-175 (both manufactured by Asahi Kasei Epoxy Co., Ltd.)] and aromatic epoxy resins [eg, phenol novolac epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, bisphenol A epoxy resin, biphenyl type epoxy resin and glycidyl modified polyvinyl Phenol, etc.]. (A2 0) is preferred among aromatic epoxy resin from the viewpoint of curability.

(A2)の製造に使用される(メタ)アクリロイル基含有モノカルボン酸としては、アクリル酸およびメタクリル酸が挙げられる。   Examples of the (meth) acryloyl group-containing monocarboxylic acid used for the production of (A2) include acrylic acid and methacrylic acid.

(A2)の製造に使用される多価カルボン酸および多価カルボン酸無水物(e)としては、前述の親水基含有ビニルモノマー(a)のうちの不飽和多価カルボン酸およびそれらの無水物、並びに飽和多価(2〜6価)カルボン酸(例えばシュウ酸、コハク酸、フタル酸、アジピン酸、ドデカン二酸、ドデセニルコハク酸、ペンタデセニルコハク酸およびオクタデセニルコハク酸などの脂肪族飽和多価カルボン酸;テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸およびナフタレンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸)およびそれらの無水物(例えば、無水コハク酸、ドデセニル無水コハク酸、ペンタデセニル無水コハク酸およびオクタデセニル無水コハク酸などの脂肪族飽和多価カルボン酸無水物;無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸無水物およびナフタレンテトラカルボン 酸 無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物)が挙げられる。好ましいのは、反応性および現像性の観点から飽和多価カルボン酸無水物である。   Examples of the polyvalent carboxylic acid and polyvalent carboxylic acid anhydride (e) used in the production of (A2) include unsaturated polyvalent carboxylic acids and their anhydrides among the aforementioned hydrophilic group-containing vinyl monomers (a). And saturated polyvalent (2-6 valent) carboxylic acids (eg oxalic acid, succinic acid, phthalic acid, adipic acid, dodecanedioic acid, dodecenyl succinic acid, pentadecenyl succinic acid and octadecenyl succinic acid) Aromatic saturated polycarboxylic acids; tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, methyltetrahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid, biphenyltetracarboxylic acid and naphthalenetetracarboxylic acid, etc.) and their Anhydrides such as succinic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, pentadecenyl succinic anhydride and octa Aliphatic saturated polycarboxylic anhydrides such as senyl succinic anhydride; phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, biphenyltetracarboxylic acid And aromatic polyvalent carboxylic acid anhydrides such as naphthalenetetracarboxylic acid anhydride). A saturated polycarboxylic acid anhydride is preferable from the viewpoint of reactivity and developability.

(A2)の製造における、(メタ)アクリル酸/エポキシ樹脂(A20)の仕込み重量比は、好ましいのは(A2)の(メタ)アクリロイル基の濃度が1.0mmol/g以上となるような(メタ)アクリル酸の仕込み重量比である。アクリル酸/エポキシ樹脂(A20)の重量比は上記の観点から、好ましくは0.072以上/1、さらに好ましくは0.079〜0.72/1である。また、メタクリル酸の重量比は上記の観点から、好ましくは0.092以上/1、さらに好ましくは0.10〜0.92/1である。 In the production of (A2), the charged weight ratio of (meth) acrylic acid / epoxy resin (A2 0 ) is preferably such that the concentration of (meth) acryloyl groups in (A2) is 1.0 mmol / g or more. It is a charged weight ratio of (meth) acrylic acid. From the above viewpoint, the weight ratio of acrylic acid / epoxy resin (A2 0 ) is preferably 0.072 or more / 1, and more preferably 0.079 to 0.72 / 1. The weight ratio of methacrylic acid is preferably 0.092 or more / 1, more preferably 0.10 to 0.92 / 1, from the above viewpoint.

エポキシ樹脂(A20)と(メタ)アクリル酸の反応における反応温度は、特に限定されないが、好ましくは70〜110℃である。また、反応時間は、特に限定されないが、好ましくは5〜30時間である。
また、必要により触媒(例えば、トリフェニルホスフィンなど)およびラジカル重合禁止剤(ヒドロキノン、p−メトキシフェノールなど)を用いてもよい。
また、(A20)の(メタ)アクリル酸付加物の重量に対する、多価カルボン酸もしくは多価カルボン酸無水物(e)の仕込み当量は、(A2)の酸価が、好ましくは10〜500mgKOH/gとなるような(e)の仕込み当量であり、例えば、(e)が2価カルボン酸もしくはその無水物である場合、(e)の仕込み当量/(A20)の(メタ)アクリル酸付加物の重量は、上記の観点から、好ましくは0.18〜8.9ミリ当量/g、さらに好ましくは0.53〜7.1ミリ当量/gである。
The reaction temperature in the reaction of the epoxy resin (A2 0 ) and (meth) acrylic acid is not particularly limited, but is preferably 70 to 110 ° C. The reaction time is not particularly limited, but is preferably 5 to 30 hours.
Further, if necessary, a catalyst (for example, triphenylphosphine) and a radical polymerization inhibitor (hydroquinone, p-methoxyphenol, etc.) may be used.
Further, with respect to the weight of (A2 0) of (meth) acrylic acid adduct, charged equivalent of polycarboxylic acid or polycarboxylic acid anhydride (e) is the acid value of the (A2), preferably 10~500mgKOH For example, when (e) is a divalent carboxylic acid or its anhydride, (e) is equivalent to (e) charged equivalent / (A2 0 ) (meth) acrylic acid From the above viewpoint, the weight of the adduct is preferably 0.18 to 8.9 meq / g, and more preferably 0.53 to 7.1 meq / g.

(A20)の(メタ)アクリル酸付加物と多価カルボン酸または多価カルボン酸無水物(e)との反応における反応温度は、特に限定されないが、好ましくは70〜110℃である。また、反応時間は、特に限定されないが、好ましくは3〜10時間である。 The reaction temperature in the reaction of the (meth) acrylic acid adduct of (A2 0 ) with the polyvalent carboxylic acid or polyvalent carboxylic anhydride (e) is not particularly limited, but is preferably 70 to 110 ° C. The reaction time is not particularly limited, but is preferably 3 to 10 hours.

(A2)のMnは、感光性樹脂組成物としての弾性回復特性と現像性の観点から、通常500〜3,000、好ましくは1,000〜2,800、特に好ましくは1,500〜2,500である。   Mn of (A2) is usually 500 to 3,000, preferably 1,000 to 2,800, particularly preferably 1,500 to 2, from the viewpoint of elastic recovery characteristics and developability as the photosensitive resin composition. 500.

(A2)のHLB値は、好ましくは4〜14、さらに好ましくは5〜13、特に好ましくは6〜12である。(A2)のHLBが4以上であれば、現像性が良好に発揮できる。   The HLB value of (A2) is preferably 4 to 14, more preferably 5 to 13, and particularly preferably 6 to 12. If the HLB of (A2) is 4 or more, the developability can be satisfactorily exhibited.

親水性樹脂(A)のうちで、特に好ましいのは感光性樹脂組成物の弾性回復特性の観点と、製造のし易さの観点からエポキシ系ポリマー(A2)であり、とりわけ好ましいのは、フェノールノボラックエポキシ樹脂またはクレゾールノボラックエポキシ樹脂を変性してなる(メタ)アクリロイル基およびカルボキシル基を含有する親水性樹脂である。   Of the hydrophilic resins (A), the epoxy polymer (A2) is particularly preferable from the viewpoint of elastic recovery characteristics of the photosensitive resin composition and the ease of production, and particularly preferable is phenol. It is a hydrophilic resin containing a (meth) acryloyl group and a carboxyl group obtained by modifying a novolac epoxy resin or a cresol novolac epoxy resin.

本発明の必須成分である多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)としては、公知の多官能(メタ)アクリレートモノマーであれば、とくに限定されずに用いられ、2官能(メタ)アクリレート(B1)、3官能(メタ)アクリレート(B2)、および4〜6官能(メタ)アクリレート(B3)が挙げられる。   As the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) which is an essential component of the present invention, any known polyfunctional (meth) acrylate monomer can be used without particular limitation, and bifunctional (meth) acrylate (B1). A trifunctional (meth) acrylate (B2) and a 4-6 functional (meth) acrylate (B3) are mentioned.

2官能(メタ)アクリレート(B1)としては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、ジメチロール−トリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート等が例示される。   Examples of the bifunctional (meth) acrylate (B1) include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, and polyethylene glycol di (meth). Acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, 1,10-decanediol di (meth) acrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol di (meth) acrylate, 2-butyl-2-ethyl- , 3-propanediol di (meth) acrylate, dimethylol-tricyclodecane di (meth) acrylate, di (meth) acrylate of bisphenol A ethylene oxide adduct, di (meth) acrylate of propylene oxide adduct of bisphenol A, Examples thereof include hydroxypivalic acid neopentyl glycol di (meth) acrylate and the like.

3官能(メタ)アクリレート(B2)としては、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のトリ(メタ)アクリレート等が例示される。   As trifunctional (meth) acrylate (B2), glycerin tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, tri (meth) acrylate of trimethylolpropane ethylene oxide adduct Etc. are exemplified.

4〜6官能(メタ)アクリレート(B3)としては、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が例示される。   Examples of the 4-6 functional (meth) acrylate (B3) include pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and the like.

多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)のうち好ましいものは、(B2)及び(B3)、さらに好ましくはジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびこれらの併用である。市場から容易に入手できる(B)としては、例えば、アロニックスM−403(東亞合成(株)製)、ライトアクリレートPE−3A(共栄社化学(株)製)、ネオマーDA−600(三洋化成工業(株)製)等が挙げられる。   Preferred among the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) are (B2) and (B3), more preferably dipentaerythritol pentaacrylate, pentaerythritol triacrylate, and combinations thereof. As (B) which can be easily obtained from the market, for example, Aronix M-403 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), light acrylate PE-3A (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), neomer DA-600 (Sanyo Chemical Industries ( Etc.).

本発明の必須成分である本発明の液状ポリブタジエン共重合体(C)は、アクリロニトリル成分(x)とブタジエン成分(y)とを含む共重合体であり、ブタジエンの構造がビニル1,2‐結合型、トランス1,4‐結合型、シス1,4‐結合型からなる、室温において透明な液状の重合体である。   The liquid polybutadiene copolymer (C) of the present invention, which is an essential component of the present invention, is a copolymer containing an acrylonitrile component (x) and a butadiene component (y), and the structure of butadiene is vinyl 1,2-bond. It is a liquid polymer that is transparent at room temperature, consisting of a mold, a trans 1,4-bond type, and a cis 1,4-bond type.

更にその他の共重合可能な他の重合性モノマーを含んでもよい。
他の重合性モノマーとしては、共重合可能であれば、特に制限はなく、例えばエチレン、プロピレン及びブテン等の炭素数2〜12のオレフィン系炭化水素;スチレン、α−メチルスチレン、クロロメチルスチレン及びビニルフェノール等の芳香族系モノマー;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート及びブチル(メタ)アクリレート等のアルキル基の炭素数1〜12の(メタ)アクリル酸アルキルエステル系モノマー;(メタ)アクリルアミド及びアルキル置換(メタ)アクリルアミド等のアクリルアミド系モノマー;メチルビニルエーテル等のアルキル基の炭素数1〜8のアルキルビニルエーテル系モノマー;酢酸ビニル等のカルボン酸の炭素数2〜12のカルボン酸ビニルエステル系モノマー等が使用される。
これらは単独または2つ以上を同時に使用することができる。
これらのうち耐熱性の観点から芳香族モノマーが好ましく、さらに好ましくは共重合性の観点からスチレンである。
Furthermore, other polymerizable monomers that can be copolymerized may be contained.
Other polymerizable monomers are not particularly limited as long as they are copolymerizable, and examples thereof include olefinic hydrocarbons having 2 to 12 carbon atoms such as ethylene, propylene, and butene; styrene, α-methylstyrene, chloromethylstyrene, and the like. Aromatic monomers such as vinylphenol; C1-C12 (meth) acrylic acid alkyl ester monomers such as methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate and butyl (meth) acrylate; (meth) Acrylamide monomers such as acrylamide and alkyl-substituted (meth) acrylamides; alkyl vinyl ether monomers having 1 to 8 carbon atoms of alkyl groups such as methyl vinyl ether; carboxylic acid vinyl esters having 2 to 12 carbon atoms of carboxylic acids such as vinyl acetate Monomers and the like are used.
These can be used alone or in combination of two or more.
Of these, aromatic monomers are preferable from the viewpoint of heat resistance, and styrene is more preferable from the viewpoint of copolymerization.

本発明の感光性樹脂組成物(Q)の必須成分の1つである液状ポリブタジエン共重合体(C)は、アクリロニトリル成分(x)を10〜50重量%含有したものである。透明性の観点から通常10〜50重量%、好ましくは15〜45重量%、さらに好ましくは20〜35重量%である。
このような一定量のアクリロニトリル成分を含有した液状ポリブタジエン共重合体(C))は市販のものが容易に入手することができ、例えばCTBN1300×8、CTBN1300×9、CTBN1300×13(いずれも宇部興産(株)製)等が挙げられる。
The liquid polybutadiene copolymer (C), which is one of the essential components of the photosensitive resin composition (Q) of the present invention, contains 10 to 50% by weight of the acrylonitrile component (x). From the viewpoint of transparency, it is usually 10 to 50% by weight, preferably 15 to 45% by weight, and more preferably 20 to 35% by weight.
Such a liquid polybutadiene copolymer (C) containing a certain amount of acrylonitrile component can be easily obtained commercially, for example, CTBN 1300 × 8, CTBN 1300 × 9, CTBN 1300 × 13 (all Ube Industries) Etc.).

(C)のMnは、感光性樹脂組成物としての弾性回復特性と現像性の観点から、通常500〜7,000、好ましくは1,000〜5,000、特に好ましくは1,500〜4,000である。   Mn of (C) is usually 500 to 7,000, preferably 1,000 to 5,000, particularly preferably 1,500 to 4, from the viewpoint of elastic recovery characteristics and developability as the photosensitive resin composition. 000.

また(C)は、エポキシ基、水酸基、イソシアネート基、カルボキシル基から選ばれる少なくとも1種の官能基を有することが好ましい。上記のうち、現像性の観点から好ましくはカルボキシル基である。
これらの官能基の位置は、液状ポリブタジエン共重合体(C)の主鎖末端でも側鎖でもよい。
Further, (C) preferably has at least one functional group selected from an epoxy group, a hydroxyl group, an isocyanate group, and a carboxyl group. Among the above, a carboxyl group is preferable from the viewpoint of developability.
The position of these functional groups may be the end of the main chain or the side chain of the liquid polybutadiene copolymer (C).

本発明の感光性樹脂組成物(Q)中の1つの必須成分として用いられる光ラジカル重合開始剤(D)としては、この用途で通常用いられる光ラジカル重合開始剤であれば特に限定されない。
例えば、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンゾフェノン、メチルベンゾイルフォーメート、イソプロピルチオキサントン、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メトキシ−ベンゾフェノン、アントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、tert−ブチルアントラキノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、4−イソプロピル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−クロロチオキサントン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、ミヒラーズケトン、ベンジル−2,4,6−(トリハロメチル)トリアジン、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9ーアクリジニル)ヘプタン、1,5−ビス(9−アクリジニル)ペンタン、1,3−ビス(9−アクリジニル)プロパン、ジメチルベンジルケタール、トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、ビストリメチルベンゾイルフェニルホスフィンオキシド、トリブロモメチルフェニルスルホン及び2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン等が挙げられる。(C)は1種で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
The radical photopolymerization initiator (D) used as one essential component in the photosensitive resin composition (Q) of the present invention is not particularly limited as long as it is a radical photopolymerization initiator usually used in this application.
For example, benzyl dimethyl ketal, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzophenone, methyl benzoyl formate, isopropyl thioxanthone, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone 3,3-dimethyl-4-methoxy-benzophenone, anthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, tert-butylanthraquinone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether, acetophenone, 2,2- Dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 4-isopropyl-2-hydride Xyl-2-methylpropiophenone, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, 2-chlorothioxanthone, diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, diisopropylthioxanthone, Michler's ketone, benzyl- 2,4,6- (trihalomethyl) triazine, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 9-phenylacridine, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, 1,5- Bis (9-acridinyl) pentane, 1,3-bis (9-acridinyl) propane, dimethylbenzyl ketal, trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bistrimethylbenzoylphenylphosphine oxide, tribromomethylphenyls Hong and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) - butan-1-one, and the like. (C) may be used alone or in combination of two or more.

(D)は、市販のものが容易に入手することができ、例えばビストリメチルベンゾイルフェニルホスフィンオキシドとしてはイルガキュア819、トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシドとしてはダロキュアTPO(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ(株)製)等が挙げられる。   (D) can be easily obtained commercially, for example, Irgacure 819 as bistrimethylbenzoylphenylphosphine oxide, Darocur TPO (produced by Ciba Specialty Chemicals) as trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, etc. Is mentioned.

感光性樹脂組成物(Q)は必要により溶剤を含んでいてもよいが、その固形分の重量のうちの親水性樹脂(A)の含有量は、20〜70重量%が好ましく、さらに好ましくは25〜65重量%である。70%重量以下であれば、さらに光硬化性が良好になる
感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量のうちの多官能アクリレートモノマー(B)の含有量は、10〜60重量%が好ましく、さらに好ましくは15〜5重量5%である。55重量%以下であれば、さらに現像性が良好になる。
感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量のうちの液状ポリブタジエン共重合体(C)の含有量は、5〜50重量%が好ましく、さらに好ましくは10〜40重量%である。50重量%以下であれば、さらに光硬化性が良好になる。
感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量のうちの光ラジカル重合開始剤(D)の含有量は、0.01〜10重量%が好ましく、さらに好ましくは0.5〜8重量%である。10重量%以下であれば、さらに現像性が良好になる。
Although the photosensitive resin composition (Q) may contain a solvent as necessary, the content of the hydrophilic resin (A) in the weight of the solid content is preferably 20 to 70% by weight, more preferably. 25 to 65% by weight. If it is 70% by weight or less, the photocurability is further improved. The content of the polyfunctional acrylate monomer (B) in the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is 10 to 60% by weight. More preferably, it is 15-5 weight 5%. If it is 55% by weight or less, the developability is further improved.
The content of the liquid polybutadiene copolymer (C) in the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is preferably 5 to 50% by weight, and more preferably 10 to 40% by weight. When it is 50% by weight or less, the photocurability is further improved.
The content of the photo radical polymerization initiator (D) in the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is preferably 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.5 to 8% by weight. is there. If it is 10% by weight or less, the developability is further improved.

感光性樹脂組成物(Q)は、必要によりさらにその他の成分(E)を含有していてもよい。
その他の成分(E)としては、無機微粒子(E1)、増感剤(E2)、重合禁止剤(E3)、溶剤(E4)、並びにその他の添加剤(E5)(例えば、無機顔料、シランカップリング剤、染料、蛍光増白剤、黄変防止剤、酸化防止剤、消泡剤、消臭剤、芳香剤、殺菌剤、防菌剤及び防かび剤等)が挙げられる。
The photosensitive resin composition (Q) may further contain other components (E) as necessary.
As other components (E), inorganic fine particles (E1), sensitizers (E2), polymerization inhibitors (E3), solvents (E4), and other additives (E5) (for example, inorganic pigments, silane cups) Ring agents, dyes, fluorescent whitening agents, yellowing inhibitors, antioxidants, antifoaming agents, deodorants, fragrances, bactericides, antibacterial agents and fungicides, and the like.

無機微粒子(E1)としては、金属酸化物および金属塩が使用できる。金属酸化物としては、例えば、酸化チタン、酸化ケイ素および酸化アルミニウム等が挙げられる。金属塩としては、例えば、炭酸カルシウムおよび硫酸バリウム等が挙げられる。これらのうちで、耐熱透明性および耐薬品性の観点から、金属酸化物が好ましく、さらに好ましくは、酸化ケイ素および酸化チタン、特に酸化ケイ素が好ましい。無機微粒子は、体積平均一次粒子径が1〜200nm、透明性の観点から、好ましくは1〜150nm、さらに好ましくは1〜120nm、特に好ましくは5〜20nmのものである。   As the inorganic fine particles (E1), metal oxides and metal salts can be used. Examples of the metal oxide include titanium oxide, silicon oxide, and aluminum oxide. Examples of the metal salt include calcium carbonate and barium sulfate. Of these, metal oxides are preferable from the viewpoint of heat-resistant transparency and chemical resistance, and silicon oxide and titanium oxide, and particularly silicon oxide are more preferable. The inorganic fine particles have a volume average primary particle diameter of 1 to 200 nm, preferably from 1 to 150 nm, more preferably from 1 to 120 nm, and particularly preferably from 5 to 20 nm, from the viewpoint of transparency.

感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量のうちの(E1)の含有量は、通常0〜50%、好ましくは0〜45%、特に好ましくは0〜40%である。50%以下であれば現像性がさらに良好に発揮でき、0〜40%であれば、特に硬化物の弾性回復特性が優れる。   The content of (E1) in the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is usually 0 to 50%, preferably 0 to 45%, particularly preferably 0 to 40%. If it is 50% or less, the developability can be further improved, and if it is 0 to 40%, the elastic recovery property of the cured product is particularly excellent.

増感剤(E2)としては、ニトロ化合物(例えば、アントラキノン、1,2−ナフトキノン、1,4−ナフトキノン,ベンズアントロン、p,p’−テトラメチルジアミノベンゾフェノン、クロラニル等のカルボニル化合物、ニトロベンゼン、p−ジニトロベンゼン及び2−ニトロフルオレン等)、芳香族炭化水素(例えば、アントラセン及びクリセン等)、硫黄化合物(例えば、ジフェニルジスルフィド等)及び窒素化合物(例えば、ニトロアニリン、2−クロロ−4−ニトロアニリン、5−ニトロ−2−アミノトルエン及びテトラシアノエチレン等)等が用いられる。   As the sensitizer (E2), nitro compounds (for example, anthraquinone, 1,2-naphthoquinone, 1,4-naphthoquinone, benzanthrone, p, p'-tetramethyldiaminobenzophenone, carbonyl compounds such as chloranil, nitrobenzene, p -Dinitrobenzene and 2-nitrofluorene etc.), aromatic hydrocarbons (eg anthracene and chrysene etc.), sulfur compounds (eg diphenyl disulfide etc.) and nitrogen compounds (eg nitroaniline, 2-chloro-4-nitroaniline) , 5-nitro-2-aminotoluene, tetracyanoethylene and the like.

光ラジカル重合開始剤(D)の重量に基づく増感剤(E2)の含有量は、通常0〜100%、好ましくは0〜80%、特に好ましくは0〜70%である。   The content of the sensitizer (E2) based on the weight of the radical photopolymerization initiator (D) is usually 0 to 100%, preferably 0 to 80%, particularly preferably 0 to 70%.

重合禁止剤(E3)としては、特に限定はなく、通常の反応に使用するものが用いられる。具体的には、ジフェニルヒドラジル、トリ−p−ニトルフェニルメチル、N−(3−N−オキシアニリノ−1,3−ジメチルブチリデン)アニリンオキシド、p−ベンゾキノン、p−tert−ブチルカテコール、ニトロベンゼン、ピクリン酸、ジチオベンゾイルジスルフィド及び塩化銅(II)等が挙げられる。   There is no limitation in particular as a polymerization inhibitor (E3), What is used for normal reaction is used. Specifically, diphenylhydrazyl, tri-p-nitrophenylmethyl, N- (3-N-oxyanilino-1,3-dimethylbutylidene) aniline oxide, p-benzoquinone, p-tert-butylcatechol, nitrobenzene, Examples include picric acid, dithiobenzoyl disulfide, and copper (II) chloride.

感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量のうちの重合禁止剤(E3)の含有量は、0〜1.0%が好ましく、さらに好ましくは0〜0.5%、特に好ましくは0〜0.1%である。   The content of the polymerization inhibitor (E3) in the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is preferably 0 to 1.0%, more preferably 0 to 0.5%, particularly preferably 0. ~ 0.1%.

溶剤(E4)としては、前述の親水性樹脂(A)の製造に使用される溶剤と同様のものが使用できる。
溶剤を使用する場合、溶剤の配合量は、特に限定されないが、溶剤も含めた感光性樹脂組成物(Q)の重量のうちの30〜90%が好ましく、さらに好ましくは30〜80%である。なお、溶剤の配合量には前述の(A)および(B)の製造に使用される溶剤も含まれる。
As a solvent (E4), the thing similar to the solvent used for manufacture of the above-mentioned hydrophilic resin (A) can be used.
When the solvent is used, the amount of the solvent is not particularly limited, but is preferably 30 to 90%, more preferably 30 to 80%, of the weight of the photosensitive resin composition (Q) including the solvent. . In addition, the solvent used for manufacture of above-mentioned (A) and (B) is also contained in the compounding quantity of a solvent.

本発明の感光性樹脂組成物(Q)は、例えば、プラネタリーミキサーなどの公知の混合装置により、上記の各成分を混合等することにより得ることができる。
また感光性樹脂組成物は、通常、室温で液状であり、その粘度は、25℃で0.1〜100mPa・s、好ましくは1〜20mPa・sである。 但し、温度を上げることにより液状になるものであれば、特に室温で液状でなくても差しつかえない。
The photosensitive resin composition (Q) of the present invention can be obtained, for example, by mixing the above-described components with a known mixing device such as a planetary mixer.
Moreover, the photosensitive resin composition is normally liquid at room temperature, and the viscosity is 0.1-100 mPa * s at 25 degreeC, Preferably it is 1-20 mPa * s. However, if it becomes liquid by raising the temperature, it does not matter even if it is not liquid at room temperature.

本発明の感光性樹脂組成物(Q)は、現像性に優れ、かつその硬化物は柔軟性、弾性回復特性および密着性に優れているので、特に液晶セル内のフォトスペーサを形成する感光性樹脂組成物として適している。   The photosensitive resin composition (Q) of the present invention is excellent in developability, and its cured product is excellent in flexibility, elastic recovery characteristics and adhesion, so that it particularly has a photosensitivity for forming a photo spacer in a liquid crystal cell. Suitable as a resin composition.

以下において本発明の液晶セル内に設けられたフォトスペーサについて説明する。
本発明のフォトスペーサは、液晶セル内にギャップを形成するために設けられる部材であり、上記の感光性樹脂組成物(Q)を光照射を含む工程により硬化させて形成される。
Hereinafter, the photo spacer provided in the liquid crystal cell of the present invention will be described.
The photo spacer of the present invention is a member provided for forming a gap in the liquid crystal cell, and is formed by curing the photosensitive resin composition (Q) by a process including light irradiation.

本発明のフォトスペーサの好ましい形成工程は、光照射の後、アルカリ現像してパターン形成し、さらに180℃〜260℃で5分〜90分ポストベークを行う工程である。
突起の形成は、通常、以下の(1)〜(5)の工程で行われる。
A preferable formation step of the photospacer of the present invention is a step of performing pattern development by alkali development after light irradiation, and further performing post-baking at 180 to 260 ° C. for 5 to 90 minutes.
The formation of the protrusion is usually performed in the following steps (1) to (5).

(1)透明共通電極上に本発明の感光性樹脂組成物を塗布する工程
塗布方法としては、ロールコート、スピンコート、スプレーコートおよびスリットコート等が挙げられる。
また、塗布装置としては、スピンコーター、エアーナイフコーター、ロールコーター、バーコーター、カーテンコーター、グラビアコーター及びコンマコーター等が挙げられる。
膜厚は、通常0.5〜10μm、好ましくは1〜5μmである。
(1) The process of apply | coating the photosensitive resin composition of this invention on a transparent common electrode As a coating method, a roll coat, a spin coat, a spray coat, a slit coat, etc. are mentioned.
Examples of the coating apparatus include a spin coater, an air knife coater, a roll coater, a bar coater, a curtain coater, a gravure coater, and a comma coater.
The film thickness is usually 0.5 to 10 μm, preferably 1 to 5 μm.

(2)塗布された感光性樹脂組成物層を、必要に応じて熱を加えて乾燥させる(プリベーク)工程
乾燥温度としては、好ましくは10〜100℃、さらに好ましくは12〜90℃、特に15〜60℃、とりわけ20〜50℃である。
乾燥時間は、好ましくは0.5〜10分、さらに好ましくは1〜8分、特に好ましくは2〜5分である。
乾燥は、減圧、常圧どちらでもよいが、減圧の方が好ましい。また、空気中、不活性ガス中どちらで行ってもよいが、不活性ガス中が好ましい。
(2) Step of drying the applied photosensitive resin composition layer by applying heat as necessary (prebaking) The drying temperature is preferably 10 to 100 ° C., more preferably 12 to 90 ° C., particularly 15 ~ 60 ° C, especially 20-50 ° C.
The drying time is preferably 0.5 to 10 minutes, more preferably 1 to 8 minutes, and particularly preferably 2 to 5 minutes.
Drying may be performed under reduced pressure or normal pressure, but reduced pressure is preferred. Moreover, although it may carry out in air or in an inert gas, it is preferably in an inert gas.

(3)所定のフォトマスクを介して、活性光線により感光性樹脂組成物層の露光を行う工程
使用されるフォトマスクの開口部の大きさは、好ましくは直径4〜15μm(面積20〜100μm2)以上、さらに好ましくは直径6〜12μmであり、4〜15μmであれば精度良くパターンを形成することができる。例えば、開口部が直径4〜15μmであれば、直径6〜18μm程度のパターンを得ることができる。
活性光線としては、可視光線、紫外線、レーザー光線等が挙げられる。光線源としては、太陽光、高圧水銀灯、低圧水銀灯、メタルハライドランプ、半導体レーザー等が挙げられる。
露光量としては、特に限定されないが、好ましくは20〜300mJ/cm2である。
露光を行う工程においては、感光性樹脂組成物中の(メタ)アクリロイル基を有する成分が反応して光硬化反応する。
(3) Step of exposing the photosensitive resin composition layer with actinic rays through a predetermined photomask The size of the opening of the photomask used is preferably 4 to 15 μm in diameter (area 20 to 100 μm 2). More preferably, the diameter is 6 to 12 μm, and if it is 4 to 15 μm, the pattern can be formed with high accuracy. For example, if the opening has a diameter of 4 to 15 μm, a pattern with a diameter of about 6 to 18 μm can be obtained.
Examples of the active light include visible light, ultraviolet light, and laser light. Examples of the light source include sunlight, a high-pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, and a semiconductor laser.
Although it does not specifically limit as an exposure amount, Preferably it is 20-300 mJ / cm < 2 >.
In the step of performing exposure, a component having a (meth) acryloyl group in the photosensitive resin composition reacts to undergo photocuring reaction.

(4)続いて未露光部を現像液で除去し、現像を行う工程
現像液は、通常、アルカリ水溶液を用いる。
アルカリ水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウムおよび水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物の水溶液;炭酸ナトリウム、炭酸カリウムおよび炭酸水素ナトリウム等の炭酸塩の水溶液;ヒドロキシテトラメチルアンモニウムおよびヒドロキシテトラエチルアンモニウム等の有機アルカリの水溶液が挙げられる。これらを単独又は2種以上組み合わせて用いることもでき、また、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、両性界面活性剤、ノニオン界面活性剤等の界面活性剤を添加して用いることもできる。
現像方法としては、ディップ方式とシャワー方式があるが、シャワー方式の方が好ましい。
現像液の温度は、好ましくは25〜40℃である。現像時間は、膜厚や感光性樹脂組成物の溶解性に応じて適宜決定される。
(4) Subsequently, the step of removing the unexposed portion with a developer and performing development. Usually, an alkaline aqueous solution is used as the developer.
Examples of the alkaline aqueous solution include aqueous solutions of alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide and potassium hydroxide; aqueous solutions of carbonates such as sodium carbonate, potassium carbonate and sodium hydrogencarbonate; hydroxytetramethylammonium and hydroxytetraethylammonium. An aqueous solution of an organic alkali can be mentioned. These can be used alone or in combination of two or more kinds, and a surfactant such as an anionic surfactant, a cationic surfactant, an amphoteric surfactant and a nonionic surfactant can be added and used.
As a developing method, there are a dip method and a shower method, but the shower method is preferable.
The temperature of the developer is preferably 25 to 40 ° C. The development time is appropriately determined according to the film thickness and the solubility of the photosensitive resin composition.

(5)後加熱(ポストベーク)工程
ポストベークの温度としては、好ましくは180〜260℃、さらに好ましくは190〜250℃、特に好ましくは200〜240℃である。
ポストベークの時間は5分〜90分、好ましくは15分〜75分、特に好ましくは30分〜60分である。
ベークは、減圧、常圧どちらでもよいが、常圧の方が好ましい。また、空気中、不活性ガス中どちらで行ってもよいが、空気中が好ましい。
ポストベークを行うことにより、パターンの形状がフォトスペーサとして好ましい形状やサイズ(例えば、高さ1.0〜6.0μm、下底径8.0〜40.0μm)になりやすい。
後加熱工程においては、感光性樹脂組成物中の熱硬化性官能基を有する成分が反応して熱硬化するものと推定される。この熱硬化反応性基としては、例えば、(A)のうちの(メタ)アクリロイル基のうちで上記の露光工程で残存した微量の(メタ)アクリロイル基などが挙げられる。
(5) Post-heating (post-baking) step The post-baking temperature is preferably 180 to 260 ° C, more preferably 190 to 250 ° C, and particularly preferably 200 to 240 ° C.
The post-baking time is 5 minutes to 90 minutes, preferably 15 minutes to 75 minutes, and particularly preferably 30 minutes to 60 minutes.
The baking may be performed under reduced pressure or normal pressure, but normal pressure is preferred. Moreover, although it may carry out in air or in an inert gas, the air is preferable.
By performing post-baking, the shape of the pattern tends to be a preferable shape and size (for example, a height of 1.0 to 6.0 μm and a lower base diameter of 8.0 to 40.0 μm) as a photo spacer.
In the post-heating step, it is presumed that a component having a thermosetting functional group in the photosensitive resin composition reacts and is thermoset. Examples of the thermosetting reactive group include a trace amount of a (meth) acryloyl group remaining in the exposure step among the (meth) acryloyl groups in (A).

上記の工程により形成されたフォトスペーサの高さは、1.0〜6.0μm、好ましくは1.5〜5.5μm、特に好ましくは2.0〜5.0μmである。   The height of the photo spacer formed by the above process is 1.0 to 6.0 μm, preferably 1.5 to 5.5 μm, and particularly preferably 2.0 to 5.0 μm.

上記の工程により、形状およびサイズ(高さや上底径・下底径)の制御が容易となり、パターン形状、耐熱性、耐溶剤性および透明性等に優れたフォトスペーサを安定して生産性よく形成することができる。   The above process makes it easy to control the shape and size (height, upper base diameter, lower base diameter), and stable and highly productive photo spacers with excellent pattern shape, heat resistance, solvent resistance, and transparency. Can be formed.

上記のようにして得られた本発明のフォトスペーサは、柔軟性および弾性回復特性に優れたフォトスペーサである。フォトスペーサの柔軟性は、微妙な圧力がかかった時の「総変形量」と「弾性回復特性」によって評価することができる。総変形量が大きく、かつ、弾性回復特性が大きい方が柔軟である。フォトスペーサの弾性回復特性は、圧力がかかった時の「総変形量」と「塑性変形量」によって評価することができる。総変形量が大きく、かつ、塑性変形量が小さい方が弾性回復特性に優れる。   The photospacer of the present invention obtained as described above is a photospacer excellent in flexibility and elastic recovery characteristics. The flexibility of the photo spacer can be evaluated by “total deformation amount” and “elastic recovery characteristics” when a delicate pressure is applied. A larger total deformation amount and a larger elastic recovery characteristic are more flexible. The elastic recovery characteristic of the photospacer can be evaluated by “total deformation amount” and “plastic deformation amount” when pressure is applied. The larger the total deformation amount and the smaller the plastic deformation amount, the better the elastic recovery characteristics.

本発明において、柔軟性および弾性回復特性は下記の「0.2〜0.8mN/μm2の圧力範囲における総変形量、弾性回復率」を測定して評価することができる。   In the present invention, the flexibility and elastic recovery characteristics can be evaluated by measuring the following “total deformation amount, elastic recovery rate in a pressure range of 0.2 to 0.8 mN / μm 2”.

「総変形量(μm)」および「弾性回復率(%)」の測定方法;
25℃において、一定の速度で所定の圧力をかけ、1秒間保持した後、一定の速度で圧力を除荷した時の荷重と変形量とのヒステリシス曲線(図1)から総変形量T0(μm)を求め、さらに塑性変形量T1(μm)を求めて、所定の圧力における弾性回復率(%)を下式で算出する。
弾性回復率(%)=[(T0−T1)/T0]×100
圧力としては、0.2mN/μm2、0.4mN/μm2、0.6mN/μm2および0.8mN/μm2の異なる4種の圧力でヒステリシス曲線を測定し、それぞれにおいて上記弾性回復率を求める。
なお、「荷重と変形量のヒステリシス曲線」は、図を用いて後述する。
Measuring method of “total deformation (μm)” and “elastic recovery rate (%)”;
At 25 ° C., a predetermined pressure is applied at a constant speed, held for one second, and then the total deformation amount T 0 (from the hysteresis curve (FIG. 1) between the load and the deformation amount when the pressure is unloaded at a constant speed. μm) is obtained, and the plastic deformation amount T 1 (μm) is obtained, and the elastic recovery rate (%) at a predetermined pressure is calculated by the following equation.
Elastic recovery rate (%) = [(T 0 −T 1 ) / T 0 ] × 100
As the pressure, hysteresis curves are measured at four different pressures of 0.2 mN / μm 2, 0.4 mN / μm 2, 0.6 mN / μm 2, and 0.8 mN / μm 2, and the elastic recovery rate is obtained for each.
The “load and deformation amount hysteresis curve” will be described later with reference to the drawings.

本発明のフォトスペーサの総変形量は、1.5GPaの圧力条件で、好ましくは0.5〜2.5μm、さらに好ましくは0.75〜2.0μm、特に好ましくは1.0〜1.5μmである。総変形量が0.5μm以上であれば液晶セルギャップを保持するスペーサとして実用上問題なく使用できる可能性が高い。   The total deformation amount of the photo spacer of the present invention is preferably 0.5 to 2.5 μm, more preferably 0.75 to 2.0 μm, and particularly preferably 1.0 to 1.5 μm under a pressure condition of 1.5 GPa. It is. If the total deformation amount is 0.5 μm or more, there is a high possibility that it can be used practically as a spacer for holding the liquid crystal cell gap.

本発明のフォトスペーサの弾性回復率は、1.5GPaの圧力条件で、好ましくは60%以上、更に好ましくは65%以上、特に好ましくは70%以上である。弾性回復率が60%以上、特に65%以上であれば液晶セルギャップを保持するスペーサとして実用上問題なく使用できる可能性が高い。   The elastic recovery rate of the photospacer of the present invention is preferably 60% or more, more preferably 65% or more, and particularly preferably 70% or more under a pressure condition of 1.5 GPa. If the elastic recovery rate is 60% or more, particularly 65% or more, there is a high possibility that it can be used as a spacer for retaining the liquid crystal cell gap without any practical problems.

以下、実施例及び比較例により本発明をさらに説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。以下、特に定めない限り、%は重量%、部は重量部を示す。   Hereinafter, although an example and a comparative example explain the present invention further, the present invention is not limited to these. Hereinafter, unless otherwise specified, “%” represents “% by weight” and “parts” represents “parts by weight”.

[親水性樹脂(A)の製造]
<製造例1>
加熱冷却・攪拌措置、環流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂「EOCN―102S」(日本化薬(株)製 エポキシ当量200)200部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート245部を仕込み、110℃まで加熱して均一に溶解させた。続いて、アクリル酸76部、トリフェニルホスフィン2部、およびp−メトキシフェノール0.2部を仕込み、110℃にて10時間反応させた。反応物にさらにテトラヒドロ無水フタル酸91部を仕込み、さらに90℃5時間反応させ、その後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで固形分含有量が25%となるように希釈し、アクリロイル基とカルボキシル基を有する親水性樹脂(A−1)(Mn:2,200、SP値:11.26、HLB値:6.42、酸価:91mgKOH/g、アクリロイル基濃度:2.86mmol/g)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た(固形分含量は25%)。
なお、MnはGPC測定機器(HLC−8120GPC、東ソー(株)製)、カラム(TSKgel GMHXL2本+TSKgel Multipore HXL−M、東ソー(株)製)を用いて、GPC法により測定されるポリスチレン換算の値として求めた。
また、SP値、HLB値、酸価は、前述のようにして求めた。以下の製造例および比較例についても同様の測定法である。
[Production of hydrophilic resin (A)]
<Production Example 1>
Glass Kolben equipped with heating / cooling / stirring measures, reflux condenser, dropping funnel and nitrogen inlet, cresol novolac epoxy resin “EOCN-102S” (Epoxy equivalent 200, Nippon Kayaku Co., Ltd.) and propylene 245 parts of glycol monomethyl ether acetate was charged and heated to 110 ° C. to dissolve uniformly. Subsequently, 76 parts of acrylic acid, 2 parts of triphenylphosphine, and 0.2 part of p-methoxyphenol were charged and reacted at 110 ° C. for 10 hours. The reaction product was further charged with 91 parts of tetrahydrophthalic anhydride, further reacted at 90 ° C. for 5 hours, and then diluted with propylene glycol monomethyl ether acetate to a solid content of 25%, having an acryloyl group and a carboxyl group. Propylene glycol monomethyl of hydrophilic resin (A-1) (Mn: 2,200, SP value: 11.26, HLB value: 6.42, acid value: 91 mgKOH / g, acryloyl group concentration: 2.86 mmol / g) An ether acetate solution was obtained (solid content 25%).
Mn is a value in terms of polystyrene measured by the GPC method using a GPC measuring device (HLC-8120GPC, manufactured by Tosoh Corporation) and a column (2 TSKgel GMHXL + TSKgel Multipore HXL-M, manufactured by Tosoh Corporation). As sought.
The SP value, HLB value, and acid value were determined as described above. The same measurement method is used for the following production examples and comparative examples.

<製造例2>
加熱冷却・攪拌措置、環流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、イソボルニルメタクリレート50部(33モル%)、2−ヒドロキシエチルメタクリレート30部(33モル%)、メタクリル酸20部(34モル%)、およびシクロヘキサンノン150部を仕込み、80℃まで加熱した。系内の気相部分を窒素で置換したのち、あらかじめ作成しておいたアゾビスイソブチロニトリル(V-60:和光純薬製、以下AIBNと称す)5部をシクロヘキサノン50部に溶解した溶液55部を80℃のコルベン中に10分間で滴下し、さらに同温度で3時間反応させ、カルボキシル基を有する親水性樹脂(A−2)(Mn:8,800、SP値:11.86、HLB値:11.98、酸価:102mgKOH/g)のシクロヘキサノン溶液を得た(固形分含有量は25%)。
<Production Example 2>
A glass Kolben equipped with a heating / cooling / stirring measure, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen inlet tube, isobornyl methacrylate 50 parts (33 mol%), 2-hydroxyethyl methacrylate 30 parts (33 mol%), methacryl 20 parts (34 mol%) of acid and 150 parts of cyclohexanenone were charged and heated to 80 ° C. A solution in which 5 parts of azobisisobutyronitrile (V-60: manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., hereinafter referred to as AIBN) prepared in advance in 50 parts of cyclohexanone is prepared by substituting the gas phase part in the system with nitrogen. 55 parts were dropped into Kolben at 80 ° C. over 10 minutes, and further reacted at the same temperature for 3 hours to obtain a hydrophilic resin having a carboxyl group (A-2) (Mn: 8,800, SP value: 11.86, A cyclohexanone solution having an HLB value of 11.98 and an acid value of 102 mg KOH / g was obtained (the solid content was 25%).

<比較製造例1>
製造例1と同様のコルベンに、クレゾールノボラック樹脂(旭有機材(株)社製EP−4020G)200部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート238部を仕込み、110℃まで加熱して均一溶解させた。続いて、ジブチル錫ジラウリレート0.1部、イソシアナトエチルメタクリレート20部を仕込み、60℃にて5時間反応させ、その後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで固形分含有量が25%となるように希釈し、アクリロイル基を有する親水性樹脂(A−1’)(Mn:2,100、SP値:13.46、HLB値:6.41、酸価:0mgKOH/g、アクリロイル基濃度:1.34mmol/g)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た(固形分含量は25%)。
<Comparative Production Example 1>
In the same Kolben as in Production Example 1, 200 parts of cresol novolac resin (EP-4020G manufactured by Asahi Organic Materials Co., Ltd.) and 238 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate were charged and heated to 110 ° C. to be uniformly dissolved. Subsequently, 0.1 part of dibutyltin dilaurate and 20 parts of isocyanatoethyl methacrylate were added, reacted at 60 ° C. for 5 hours, and then diluted with propylene glycol monomethyl ether acetate to a solid content of 25%. Hydrophilic resin having an acryloyl group (A-1 ′) (Mn: 2,100, SP value: 13.46, HLB value: 6.41, acid value: 0 mgKOH / g, acryloyl group concentration: 1.34 mmol / A propylene glycol monomethyl ether acetate solution of g) was obtained (solid content 25%).

<実施例1〜5および比較例1〜5>
[感光性樹脂組成物の製造]
表1の配合部数[それぞれの成分の見かけの重量部、なお( )内は、感光性樹脂組成物(Q)の固形分のうちの各成分の固形分の重量%(小数点以下1桁を四捨五入)を表す。]に従い、ガラス製の容器に親水性樹脂(A−1)、(A−2)の溶液を仕込み、さらに下記の多官能アクリレートモノマー(B−1)、(B−2)、液状ポリブタジエン共重合体(C−1)、(C−2)、(C−1’)、(C−2’)、光ラジカル重合開始剤(D−1)、(D−2)を仕込み、均一になるまで攪拌し、さらに追加の溶剤のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(E−1)を添加して実施例の感光性樹脂組成物(Q−1)〜(Q−5)、および比較例の感光性樹脂組成物(Y−1)〜(Y−5)を製造した。
なお、表1中の略号のうち上記以外のものは以下の通りである。
<Examples 1-5 and Comparative Examples 1-5>
[Production of photosensitive resin composition]
Number of blended parts in Table 1 [apparent parts by weight of each component, () is the weight% of the solid content of each component of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) (rounded off to one decimal place) ). ], A glass container is charged with a solution of the hydrophilic resins (A-1) and (A-2), and the following polyfunctional acrylate monomers (B-1) and (B-2), liquid polybutadiene copolymer Combined (C-1), (C-2), (C-1 ′), (C-2 ′), radical photopolymerization initiators (D-1), (D-2) are charged until uniform. Stirring, and further adding an additional solvent, propylene glycol monomethyl ether acetate (E-1), photosensitive resin compositions (Q-1) to (Q-5) of Examples, and photosensitive resin compositions of Comparative Examples Products (Y-1) to (Y-5) were produced.
The abbreviations in Table 1 other than the above are as follows.

(B−1):「ネオマーDA−600」(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物:三洋化成工業(株)製)、
(B−2):「DPCA−20」(ポリカプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート:日本化薬(株)製)、
(C−1):「CTBN1300×9」(ブタジエン・アクリロニトリルコポリマー、アクリロニトリル含量17%:宇部興産(株)製)
(C−2):「CTBN1300×13」(ブタジエン・アクリロニトリルコポリマー、アクリロニトリル含量27%:宇部興産(株)製)
(C−1’):「CTBN1300×31」(ブタジエン・アクリロニトリルコポリマー、アクリロニトリル含量10%:宇部興産(株)製)
(C−2’):「CTBN2000×162」(ブタジエンホモポリマー、アクリロニトリル含量0%:宇部興産(株)製)
(D−1):「イルガキュア819」(ビストリメチルベンゾイルフェニルホスフィンオキシド:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)、
(D−2):「イルガキュア369」(2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)、
(B-1): “Neomer DA-600” (mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate: manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd.)
(B-2): “DPCA-20” (polycaprolactone-modified dipentaerythritol hexaacrylate: manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.),
(C-1): “CTBN 1300 × 9” (butadiene-acrylonitrile copolymer, acrylonitrile content 17%: manufactured by Ube Industries, Ltd.)
(C-2): “CTBN 1300 × 13” (butadiene-acrylonitrile copolymer, acrylonitrile content 27%: manufactured by Ube Industries, Ltd.)
(C-1 ′): “CTBN 1300 × 31” (butadiene / acrylonitrile copolymer, acrylonitrile content 10%: manufactured by Ube Industries, Ltd.)
(C-2 ′): “CTBN 2000 × 162” (butadiene homopolymer, acrylonitrile content 0%: manufactured by Ube Industries, Ltd.)
(D-1): “Irgacure 819” (bistrimethylbenzoylphenylphosphine oxide: manufactured by Ciba Specialty Chemicals),
(D-2): “Irgacure 369” (2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1: manufactured by Ciba Specialty Chemicals),

Figure 2010107863
Figure 2010107863

[現像性の評価]
感光性樹脂組成物(Q−1)〜(Q−5)、および(Y−1)〜(Y−5)を、それぞれガラス基板上に仕上り膜厚が5μmになるようにスピンコートし、25℃で5分間乾燥した。
その後0.05%水酸化カリウム水溶液を用いて45秒間現像を行い、目視により現像性を評価した。結果を表1に示す。
評価基準は以下の通りである。
◎:残留物全く無し。
○:残留物わずかにあり。
△:残留物が多い。
×:パターンが作成できない。
[Evaluation of developability]
The photosensitive resin compositions (Q-1) to (Q-5) and (Y-1) to (Y-5) were respectively spin-coated on a glass substrate so that the finished film thickness was 5 μm. Dry at 5 ° C. for 5 minutes.
Thereafter, development was performed for 45 seconds using a 0.05% aqueous potassium hydroxide solution, and the developability was visually evaluated. The results are shown in Table 1.
The evaluation criteria are as follows.
A: No residue at all.
○: There is a slight residue.
Δ: There are many residues.
×: A pattern cannot be created.

<実施例6〜10および比較例6〜10>
[フォトスペーサの作製]
感光性樹脂組成物(Q−1)〜(Q−5)、および(Y−1)〜(Y−5)を、それぞれITO(錫をドープした酸化インジウム)を製膜したガラス基板に、仕上り膜厚が2μmになるようにスピンコートし、25℃で5分間乾燥した。フォトマスクを通して高圧水銀灯の光を100mJ/cm2照射した。なお、フォトマスクと基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。
その後0.05%水酸化カリウム水溶液を用いて現像をした。水洗を施したのち、230℃で30分間ポストベークして、ガラス基板上に形成されたITO膜を有するフォトスペーサ(R−1)〜(R−5)、および(Z−1)〜(Z−5)を作製した。フォトスペーサの上底面積は150μm2、下底面積は400μm2であった。
<Examples 6 to 10 and Comparative Examples 6 to 10>
[Production of photo spacer]
Finish the photosensitive resin compositions (Q-1) to (Q-5) and (Y-1) to (Y-5) on glass substrates formed with ITO (indium oxide doped with tin), respectively. It spin-coated so that a film thickness might be set to 2 micrometers, and dried for 5 minutes at 25 degreeC. The light from a high-pressure mercury lamp was irradiated through a photomask at 100 mJ / cm2. Note that the exposure (gap) between the photomask and the substrate was 100 μm.
Thereafter, development was performed using a 0.05% aqueous potassium hydroxide solution. Photo-spacers (R-1) to (R-5) and (Z-1) to (Z-1) having ITO films formed on a glass substrate by post-baking at 230 ° C. for 30 minutes after washing with water. -5) was produced. The upper base area of the photo spacer was 150 μm 2 and the lower base area was 400 μm 2 .

[総変形量、弾性回復率の測定]
上記のようにして得られたフォトスペーサの総変形量、弾性回復率をフィッシャースコープH−100(フィッシャーインストルメンツ社製)装置を用いて測定した。
なお、断面が正方形の平面圧子(50μm×50μm)の平坦圧子を用いた。結果を表2に示す。
[Measurement of total deformation and elastic recovery rate]
The total deformation amount and elastic recovery rate of the photo spacer obtained as described above were measured using a Fischer scope H-100 (Fischer Instruments) apparatus.
A flat indenter (50 μm × 50 μm) having a square cross section was used. The results are shown in Table 2.

Figure 2010107863
Figure 2010107863

実施例11〜15および比較例11〜15
[硬化塗膜の作製]
感光性樹脂組成物(Q1)〜(Q5)、および(Y1)〜(Y5)を、それぞれガラス基板上に、仕上り膜厚が3μmになるようにスピンコートし、高圧水銀灯の光を全面に100mJ/cm2照射した。なお、、フォトマスクと基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。その後、230℃で60分間ポストベークして硬化塗膜(S−1)〜(S−5)、および(W−1)〜(W−5)を作製した。
Examples 11-15 and Comparative Examples 11-15
[Preparation of cured coating film]
The photosensitive resin compositions (Q1) to (Q5) and (Y1) to (Y5) were each spin-coated on a glass substrate so that the finished film thickness was 3 μm, and the light from the high-pressure mercury lamp was 100 mJ over the entire surface. / Cm 2 irradiation. Note that the exposure (gap) between the photomask and the substrate was 100 μm. Then, it post-baked at 230 degreeC for 60 minute (s), and produced the cured coating films (S-1)-(S-5) and (W-1)-(W-5).

[密着性の測定]
上記で得た硬化塗膜にナイフで1mm幅に切れ目を入れて碁盤目(10×10個)を作成し、該碁盤目上にセロハン粘着テープを貼り付け90度剥離を行い、基材からの硬化物(膜)の剥離状態を観察し評価した。結果を表3に示す。
○ すべての碁盤目が剥離しない
△ 碁盤目1〜10個が剥離する
× 碁盤目11個以上が剥離する
[Measurement of adhesion]
Cut the 1 mm width with the knife into the cured coating film obtained above to make a grid (10 × 10), apply cellophane adhesive tape on the grid and peel it 90 degrees, The peeled state of the cured product (film) was observed and evaluated. The results are shown in Table 3.
○ All grids do not peel. △ 1-10 grids peel. × 11 grids or more peel.

[透明性の測定]
上記で得た硬化塗膜をUV透過率計(島津製作所社製 UV2400PC)を用い、波長400nmの光透過率を測定した。結果を表3に示す。
[Measurement of transparency]
The cured coating film obtained above was measured for light transmittance at a wavelength of 400 nm using a UV transmittance meter (UV2400PC, manufactured by Shimadzu Corporation). The results are shown in Table 3.

Figure 2010107863
Figure 2010107863

表1、表2、表3から判るように、本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、現像性が良好であり、かつ柔軟性(総変形量)、弾性回復特性(弾性回復率)、密着性および透明性に優れたフォトスペーサを形成することができる。
一方、親水性ポリマーを使用しない比較例1では、現像性に劣る。液状ポリブタジエンが十分な量のアクリロニトリル成分を含有していない比較例2、3では、透明性に劣る。ゴム成分を使用していない比較例4では、柔軟性および密着性に劣る。また、比較例5では、多官能(メタ)アクリレートモノマーを使用しておらず弾性回復特性に劣り、このようなフォトスペーサを用いて液晶パネルを作成すると、セルギャップが均一とならずに表示品質が悪化する。また、長期にわたる表示品質の保持が困難となる。
As can be seen from Table 1, Table 2, and Table 3, by using the photosensitive resin composition of the present invention, developability is good, and flexibility (total deformation amount), elastic recovery characteristics (elastic recovery rate) A photo spacer having excellent adhesion and transparency can be formed.
On the other hand, in the comparative example 1 which does not use a hydrophilic polymer, it is inferior to developability. In Comparative Examples 2 and 3 where the liquid polybutadiene does not contain a sufficient amount of the acrylonitrile component, the transparency is poor. In Comparative Example 4 in which no rubber component is used, the flexibility and adhesion are inferior. In Comparative Example 5, the polyfunctional (meth) acrylate monomer is not used and the elastic recovery characteristic is inferior. When a liquid crystal panel is produced using such a photo spacer, the display quality is not uniformed. Gets worse. In addition, it is difficult to maintain display quality for a long time.

本発明の感光性樹脂組成物は、液晶セル内のフォトスペーサに好適に使用できる。
さらに、その他にも各種のレジスト材料、例えば、フォトソルダーレジスト、感光性レジストフィルム、感光性樹脂凸版、スクリーン版、光接着剤またはハードコート剤などの用途の感光性樹脂組成物として好適である。
さらに、金属(例えば、鉄、アルミニウム、チタン、銅等)、プラスチック(例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテルフタラート、ポリ(メタ)アクリレート)、紙、ガラス、ゴム及び木材等の各種材料に対するコーティング剤、塗料、印刷インキ及び接着剤としても使用でき、成型材料等としても応用できる。
The photosensitive resin composition of this invention can be used conveniently for the photo spacer in a liquid crystal cell.
In addition, it is also suitable as a photosensitive resin composition for uses such as various resist materials such as a photo solder resist, a photosensitive resist film, a photosensitive resin relief plate, a screen plate, a photoadhesive or a hard coat agent.
Furthermore, coating agents for various materials such as metals (for example, iron, aluminum, titanium, copper, etc.), plastics (for example, polycarbonate, polyethylene terephthalate, poly (meth) acrylate), paper, glass, rubber and wood, paints, It can also be used as a printing ink and an adhesive, and can also be applied as a molding material.

荷重と変形量のヒステリシス曲線Hysteresis curve of load and deformation

符号の説明Explanation of symbols

T0: 総変形量
T1: 塑性変形量
T2: 弾性変形量
T0: Total deformation amount T1: Plastic deformation amount T2: Elastic deformation amount

Claims (5)

カルボキシル基を有する親水性樹脂(A)、多官能アクリレートモノマー(B)、液状ポリブタジエン共重合体(C)および光ラジカル重合開始剤(D)を含有する感光性樹脂組成物(Q)であって、該液状ポリブタジエン共重合体(C)がアクリロニトリル成分(x)を該液状ポリブタジエン共重合体(C)の重量に対して10〜50重量%含有し、かつ該感光性樹脂組成物(Q)を光硬化させて形成されたガラス基板上の硬化膜の400nm光透過率が90%以上であることを特徴とするアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物(Q)。   A photosensitive resin composition (Q) containing a hydrophilic resin (A) having a carboxyl group, a polyfunctional acrylate monomer (B), a liquid polybutadiene copolymer (C), and a radical photopolymerization initiator (D). The liquid polybutadiene copolymer (C) contains the acrylonitrile component (x) in an amount of 10 to 50% by weight based on the weight of the liquid polybutadiene copolymer (C), and the photosensitive resin composition (Q). The alkali-developable photosensitive resin composition (Q), wherein a 400 nm light transmittance of a cured film on a glass substrate formed by photocuring is 90% or more. 該液状ポリブタジエン共重合体(C)がカルボキシル基を含有する請求項1記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 1 in which this liquid polybutadiene copolymer (C) contains a carboxyl group. 該親水性樹脂(A)がさらに(メタ)アクリロイル基を含有する請求項1または2記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, wherein the hydrophilic resin (A) further contains a (meth) acryloyl group. 感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づいて、該親水性樹脂(A)を20〜70重量%、該多官能アクリレートモノマー(B)を10〜60重量%、該液状ポリブタジエン共重合体(C)を5〜50重量%、および光ラジカル重合開始剤(C)を0.01〜10重量%含有する請求項1〜3いずれか記載の感光性樹脂組成物。   Based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q), the hydrophilic resin (A) is 20 to 70% by weight, the polyfunctional acrylate monomer (B) is 10 to 60% by weight, and the liquid polybutadiene is co-polymerized. The photosensitive resin composition in any one of Claims 1-3 which contains 5 to 50 weight% of polymers (C), and 0.01 to 10 weight% of radical photopolymerization initiators (C). 請求項1〜4いずれか記載の感光性樹脂組成物(Q)を、光照射を含む工程により硬化させて形成された液晶セル内に設けられたフォトスペーサ。

The photo-spacer provided in the liquid crystal cell formed by hardening the photosensitive resin composition (Q) in any one of Claims 1-4 by the process including light irradiation.

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