JP2010106106A

JP2010106106A - 自発巻回性粘着シート及び自発巻回性粘着シートを使用した被着体の加工方法

Info

Publication number: JP2010106106A
Application number: JP2008278054A
Authority: JP
Inventors: Akinori Nishio; 昭徳西尾; Kazuyuki Kiuchi; 一之木内
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2008-10-29
Filing date: 2008-10-29
Publication date: 2010-05-13

Abstract

【課題】被着体加工時に被着体に「割れ」や「欠け」が発生することを防止することができ、加工後に生じる被着体の反りを抑制することができ、研削後は被着体を破損することなく、また、糊残りすることなく容易に剥離することができる仮固定用粘着シートを提供する。
【解決手段】本発明の自発巻回性粘着シートは、少なくとも１軸方向に収縮性を有する熱収縮性基材層と、活性エネルギー線を照射することにより硬化して、８０℃における引張り弾性率と厚みの積が５×１０³Ｎ／ｍ以上１×１０⁵Ｎ／ｍ未満となる活性エネルギー線硬化型粘着剤層とが積層された構成を有し、熱刺激を付与することにより、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成しうる。
【選択図】図１

Description

本発明は、熱処理を施すことにより主収縮軸方向へ端部から自発的に巻回して筒状巻回体を形成しうる自発巻回性粘着シート及び自発巻回性粘着シートを使用した被着体の加工方法に関する。

近年、半導体用材料に対する薄型化、軽量化の要望が一層高まっている。半導体用シリコンウェハについては、厚み１００μｍ若しくはそれ以下にまで薄くする必要が生じているが、このような薄膜ウェハは非常に脆く割れやすい。そこで、ウェハ加工時において、仮固定用粘着シートにウェハを保持し、しかるべき加工を施した後、ウェハを剥離、回収する方法が採用されている。

このような仮固定用粘着シートは、一般に活性エネルギー線硬化型粘着剤層で構成されており、例えば、ウェハに貼着し、仮固定したウェハに研磨やダイシング等の加工を施した後、活性エネルギー線照射により粘着剤層を硬化させ、粘着力が低下した粘着シートをウェハから剥離する方法に利用される。しかしながら、活性エネルギー線照射により粘着力が低下した粘着シートは、なお、大気圧によってウェハ表面に密着されている。従って、粘着シートをウェハから剥離するためには、粘着シートをめくり上げるなどの操作が必要であるが、この際の応力などによりウェハの縁が欠けたり、破損しやすいという問題があった。さらに、研削後ウェハの厚みが薄くなると（例えば２５μｍ程度まで薄くなると）、ウェハに貼り付けた粘着シートの端部はウェハ端部よりも外側へはみ出すことがあり、このはみ出し部分が、作業の台座面や、ダイシングテープなど、ウェハの研磨面側に設置される部材に貼りつくなどして剥離困難を引き起こす懸念も生じてきている。

特許第３０７３２３９号には、活性エネルギー線硬化型粘着剤層と熱収縮性基材層とを層構成に含む粘着シートが開示されている。この粘着シートによれば、活性エネルギー線照射時に熱収縮性基材が収縮するので、紫外線照射等により発生するシートの伸びやシワを防止できる。しかし、粘着シートのウェハからの剥離性は未だ不十分である。また、特許第３０７３２３９号に記載の活性エネルギー線硬化型粘着剤層と熱収縮性基材層の２層構成からなる粘着シートでは、ウェハを研削した後に生じる反りが非常に大きく、搬送性などが非常に悪いこともわかった。

特開２０００-１２９２２７号公報には、熱収縮性基材層と剛性フィルム層と活性エネルギー線硬化型粘着剤層の少なくとも３層からなる半導体ウェハ保護用粘着シートが開示されている。この粘着シートによれば、活性エネルギー線を照射して粘着剤層の接着力を低下させるとともに、所要の手段で熱収縮性基材を収縮させると、粘着シートが変形して、ウェハと粘着剤層との接触面積が減少するため、ウェハより粘着シートを容易に剥離することができる。しかしながら、本発明者らが任意材料を選択して同様のものを検討したところ、熱収縮性基材の収縮が複数方向から起こるなどが原因で、加熱後の粘着シートがウェハ表面で折り重なるなど不定に変形するため、剥離困難や被着体破壊が起こりうることがわかった。一般に、一軸熱収縮性基材として市販されるものであっても、生産時の残存応力により、また製造工程中で粘着シートに加わる応力や熱歪などを起因として、主収縮軸方向とは異なる軸方向へ副次的な収縮（比較的弱い収縮力を有する１又は複数の収縮）が起き、これらが複合されて収縮するためである。

すなわち、ウェハを研削した後に被着体に生じる反りを抑制することにより、搬送などの際に被着体が破損することを防ぐことができ、且つ、研削後は被着体を破損することなく、また、糊残りすることなく容易に剥離することができる仮固定用粘着シートが見出されていないのが現状である。

特許第３０７３２３９号特開２０００-１２９２２７号公報

従って、本発明の目的は、被着体加工時に被着体に「割れ」や「欠け」が発生することを防止することができ、加工後に生じる被着体の反りを抑制することができ、研削後は被着体を破損することなく、また、糊残りすることなく容易に剥離することができる仮固定用粘着シートを提供することにある。
本発明の他の目的は、該仮固定用粘着シートを使用した被着体の加工方法を提供することにある。

本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意検討した結果、上記目的を達成するには、易剥離性の機能を付与した粘着シートが必要であると考えた。被着体から粘着シートを剥離する作業を手作業で行う際、まず剥離きっかけをつくるため、被着体端部でテープをつまみ上げ、その後テープを引張り剥離させる。しかし、脆弱な被着体ではテープをつまみあげるようなことはせず、テープをこするようにして、すなわちピール角度をできるかぎり大きくすることで剥離応力を極小にして被着体を破損しないよう、剥離きっかけを作ることが多い。その後もできる限り大きなピール角度を維持するようテープを剥離することで、脆弱な被着体から粘着シートを剥離することが可能である。

そこで本発明者らは、熱などの刺激による易剥離性付与に際して、テープ剥離時の形状として、あたかも絨毯を巻き取るかのごとく変形させることができれば(以下、このように変形したものを「筒状巻回体」と称する)、目的に合致する粘着テープになると考えた。なぜならば、このような変形を引き起こしながら剥離するということは、剥離におけるピール角度を極力大きく保つことであり、被着体に対して剥離応力を極力小さくすることになるからである。すなわち、脆弱な被着体を破損する可能性を極小とすることができることを意味する。さらに、剥離応力が小さいということは、粘着剤が被着体へ剥ぎ取られる可能性も小さくなるので、剥離によって被着体を汚染する可能性も小さくできる。また、ウェハ研磨面側の部材に仮に貼りついたとしても、やはり、剥離応力を極小とできることから、ウェハを破損する恐れは小さくなる。

そこで、熱刺激によって、筒状巻回体の形成を実現するための材料検討を行った。その結果、熱刺激によって少なくとも１軸方向に収縮する熱収縮性基材層に、該熱収縮性基材層の収縮を拘束する拘束層を積層し、熱の刺激を与えると、熱収縮性基材の収縮力と、拘束層における熱収縮性基材の収縮力に対する反発力が駆動力となって外縁部（端部）が浮き上がり、熱収縮性基材層側を内にして、端部から１方向へ又は対向する２端部から中心（２端部の中心）に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成すること、そのため、剥離時の応力によって被着体が破損することなく、粘着シートを極めて容易に且つきれいに被着体から剥離できることを見いだした。さらに、この形状は剥離による被着体汚染を非常に低下させることを見出した。

さらにまた、拘束層として、所定の特性を有する活性エネルギー線硬化型粘着剤層を使用すると、被着体に研磨等の加工を施す際には、被着体と強固に接着する接着剤層としての機能を有し、被着体加工後は、活性エネルギー線を照射して硬化させることにより、被着体との接着力を著しく低下させることができると同時に拘束層としての機能を付与することができ、拘束層と粘着剤層とを別々に設ける必要がないこと、及び、研削後に生じる被着体の反りを抑制することができ、搬送などにより被着体が破損することを防ぐことができることを見出した。本発明はこれらの知見に基づき、さらに研究を重ねることにより完成したものである。

すなわち、本発明は、少なくとも１軸方向に収縮性を有する熱収縮性基材層と、活性エネルギー線を照射することにより硬化して、８０℃における引張り弾性率と厚みの積が５×１０³Ｎ／ｍ以上１×１０⁵Ｎ／ｍ未満となる活性エネルギー線硬化型粘着剤層とが積層された構成を有し、熱刺激を付与することにより、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成しうる自発巻回性粘着シートを提供する。

当該自発巻回性粘着シートを加熱して収縮させたときに自発的に巻回して形成される筒状巻回体の直径ｒと該自発巻回性粘着シートの巻回方向の長さＬとの比（ｒ／Ｌ）としては、０．０２５〜１の範囲であることが好ましい。

熱収縮性基材層の主収縮方向の収縮率としては、７０〜１８０℃の範囲の所定温度において３０％以上であることが好ましい。

活性エネルギー線硬化型粘着剤層としては、分子内にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するアクリル系重合体を含むことが好ましく、分子内にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有し、分子量が５０００未満のオリゴマーを含むことが好ましい。

本発明は、また、上記自発巻回性粘着シートを使用し、該粘着シートを被着体に貼着し、該被着体に所用の加工を施した後、活性エネルギー線を照射して活性エネルギー線硬化型粘着剤層を硬化させ、続いて加熱することにより、前記自発巻回性粘着シートを１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回させて、１又は２個の筒状巻回体を形成させる被着体の加工方法を提供する。

本発明の自発巻回性粘着シートによれば、熱収縮性基材層と所定の特性を有する活性エネルギー線硬化型粘着剤層とを積層した構成を有するため、活性エネルギー線を照射する前は、優れた粘着力を有し、被着体に貼着して、被着体加工中に「割れ」や「欠け」が発生することから保護することができ、また、研削後に生じる被着体の反りを抑制することができ、搬送などにより被着体が破損することを防ぐことができる。そして、被着体加工工程終了後は、活性エネルギー線を照射して活性エネルギー線硬化型粘着剤層を硬化させることにより、被着体に対する粘着力を低下させることができると共に、拘束層としての機能を付与することができ、さらに熱刺激を与えることにより付勢され、端部（１端部又は対向する２端部）から通常主収縮軸方向へ、被着体から剥離しながら、自発的に巻回して筒状巻回体を形成するので、被着体を損傷したり、不完全な剥離により被着体を汚染することなく、被着体表面からきわめて簡易に除去することができる。さらにまた、本発明の自発巻回性粘着シートは２層構成であるため、生産性に優れ、且つ、生産コストを著しく削減することができるため、安価に提供することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明の自発巻回性粘着シートの一例を示す概略断面図である。図１に示される自発巻回性粘着シートは、熱収縮性基材層１１と活性エネルギー線硬化型粘着剤層１２とが積層され、該活性エネルギー線硬化型粘着剤層１２表面にセパレータ１３が貼着された構成を有する。

図２は、本発明の自発巻回性粘着シートが自発巻回する様子を示す図（斜視図）であり、（Ａ）は熱収縮性基材の収縮原因となる刺激を付与する前の自発巻回性粘着シート１を示す図、（Ｂ）は熱収縮性基材層の収縮原因となる刺激が付与された自発巻回性粘着シート１（活性エネルギー線照射により、粘着剤層が硬化して粘着力が低下又は消失した後の粘着シート）がシート外縁部から一方向（通常、熱収縮性基材の主収縮軸方向）に巻回し始めた時の状態を示す図、（Ｃ）はシートの巻回が終了して１個の筒状巻回体が形成された時の状態（一方向巻回）を示す図、（Ｄ）はシートの対向する２端部から中心に向かって（通常、熱収縮性基材の主収縮軸方向へ）自発的に巻回して２個の筒状巻回体が形成されたときの状態（二方向巻回）を示す図である。

図３は、本発明の被着体の加工方法の一例を示す概略図（側面図）であり、次のような各工程を有する。すなわち、
１．半導体ウェハ２に自発剥離性粘着テープ１を貼り合わせる。
２．自発剥離性粘着テープ１を貼り合わせた半導体ウェハ２に所用の加工（研磨処理等）を施す。
３．活性エネルギー線を照射する。
４．加熱処理を施して、自発剥離性粘着テープを自発的に巻回させて筒状巻回体を形成させ、半導体ウェハ（１）から剥離する。

［自発巻回性粘着シート］
本発明に係る自発巻回性粘着シートは、少なくとも１軸方向に収縮性を有する熱収縮性基材層と、活性エネルギー線を照射することにより硬化して、８０℃における引張り弾性率と厚みの積が５×１０³Ｎ／ｍ以上１×１０⁵Ｎ／ｍ未満となる活性エネルギー線硬化型粘着剤層とが積層された構成を有し、熱刺激を付与することにより、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成しうることを特徴とする。また、上記熱収縮性基材層と活性エネルギー線硬化型粘着剤層との間には、自発巻回性を損なわない範囲で他の層を有していてもよいが、８０℃における引張り弾性率と厚みの積が４×１０⁵Ｎ／ｍ以上（特に１×１０⁵Ｎ／ｍ以上）の層を有しないことが好ましい。

（熱収縮性基材層）
熱収縮性基材層としては、熱刺激を付与することにより、少なくとも１軸方向に収縮性を有するフィルム層であればよい。熱収縮性基材層は、１軸方向のみに収縮性を有していてもよいし、或る方向（１軸方向）に主たる収縮性を有し、該方向とは異なる方向（例えば、該方向に対して直交する方向）に副次的な収縮性を有していてもよい。熱収縮性基材層１は単層であってもよく、２以上の層からなる複層であってもよい。

熱収縮性基材層を構成する熱収縮性基材の主収縮方向の収縮率は、７０〜１８０℃の範囲の所定温度（例えば、８０℃等）において、３０％以上（例えば、３０〜９０％、好ましくは５０〜９０％）であることが好ましい。熱収縮性基材層を構成する熱収縮性基材の主収縮方向以外の方向の収縮率は、好ましくは１０％以下、さらに好ましくは５％以下、特に好ましくは３％以下である。熱収縮性基材の熱収縮性は、例えば押出機により押し出されたフィルムに延伸処理を施すことにより付与することができる。

前記熱収縮性基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリノルボルネン、ポリイミド、ポリアミド、ポリウレタン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル等から選択される１種又は２種以上の樹脂からなる１軸延伸フィルムが挙げられる。なかでも、粘着剤の塗工作業性等に優れる点で、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリノルボルネン等のポリオレフィン系樹脂（環状ポリオレフィン系樹脂を含む）、ポリウレタン系樹脂からなる１軸延伸フィルムが好ましい。このような熱収縮性基材として、東洋紡社製の「スペースクリーン」、グンゼ社製の「ファンシーラップ」、東レ社製の「トレファン」、東レ社製の「ルミラー」、ＪＳＲ社製の「アートン」、日本ゼオン社製の「ゼオノア」、旭化成社製の「サンテック」などの市販品の利用が可能である。

なお、活性エネルギー線硬化型粘着剤層を硬化させる際に、活性エネルギー線照射を熱収縮性基材層を通して行うときには、熱収縮性基材層は所定量以上の活性エネルギー線を透過しうる材料（例えば透明性を有する樹脂等）で構成する必要がある。

熱収縮性基材層の厚みは、一般には５〜３００μｍ、好ましくは１０〜１００μｍである。熱収縮性基材層の厚みが大きすぎると、剛性が高くなって自発巻回が起こらず、熱収縮性基材層と活性エネルギー線照射後の活性エネルギー線硬化型粘着剤層との間で分離し、積層体破壊につながりやすい。また剛性の大きなフィルムは、テープ貼り合わせ時の応力が残存し、弾性変形力が大きく、ウェハを薄くした際に反りが大きくなり、搬送などにより被着体が破損し易くなる傾向がある。

熱収縮性基材層の表面は、隣接する層との密着性、保持性などを高めるため、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的処理、下塗り剤（例えば、粘着物質等）によるコーティング処理等が施されていてもよい。

（活性エネルギー線硬化型粘着剤層）
本発明における活性エネルギー線硬化型粘着剤層は、活性エネルギー線照射前は、被着体に貼着して、被着体に「割れ」や「欠け」が発生することから保護するために十分な粘着力を有し、加工後は、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線などの活性エネルギー線を照射することにより３次元網目構造を形成させて硬化させることにより、被着体に対する粘着力を低下させると共に、上記熱収縮性基材層が熱刺激によって収縮する際に、その収縮に反発する拘束層としての作用を発揮することができるため、収縮に対する反発力が駆動力となって自発巻回性粘着シートの外縁部（端部）が浮き上がり、熱収縮性基材層側を内にして、端部から１方向へ又は対向する２端部から中心（２端部の中心）に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成することができる。

活性エネルギー線硬化型粘着剤層を形成する粘着剤としては、活性エネルギー線硬化性を付与するための活性エネルギー線反応性官能基を化学修飾した化合物、又は、活性エネルギー線硬化性化合物（又は活性エネルギー線硬化性樹脂）を少なくとも含有することが好ましい。従って、活性エネルギー線硬化型粘着剤は、活性エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤、及び／又は、活性エネルギー線硬化性化合物（又は活性エネルギー線硬化性樹脂）を母剤中に配合した組成物により構成されるものが好ましく用いられる。

前記母剤としては、例えば、従来公知の感圧型接着剤（粘着剤）等の粘着物質を使用することができる。粘着剤として、例えば、天然ゴムやポリイソブチレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンゴム、ＮＢＲなどのゴム系ポリマーをベースポリマーに用いたゴム系粘着剤；シリコーン系粘着剤；アクリル系粘着剤等が例示される。なかでも、アクリル系粘着剤が好ましい。母剤は１種、又は２種以上の成分で構成してもよい。

アクリル系粘着剤としては、例えば（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ₁−Ｃ₂₀アルキルエステルなどの（メタ）アクリル酸アルキルエステルの単独又は共重合体；該（メタ）アクリル酸アルキルエステルと他の共重合性モノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸などのカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチルなどのヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリルなどのアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミドなどのアミド基含有モノマー等］との共重合体などのアクリル系重合体をベースポリマーに用いたアクリル系粘着剤等が例示される。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。

活性エネルギー線硬化させるための化学修飾に用いる活性エネルギー線反応性官能基、及び活性エネルギー線硬化性化合物としては、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線などの活性エネルギー線により硬化可能なものであれば特に限定されないが、活性エネルギー線照射により３次元網状化（網目化）が効率よくなされるものが好ましい。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。

化学修飾に用いられる活性エネルギー線反応性官能基としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基などの炭素−炭素多重結合を有する官能基等が挙げられる。これらの官能基は、活性エネルギー線の照射により炭素−炭素多重結合が開裂してラジカルを生成し、このラジカルが架橋点となって３次元網目構造を形成することができる。なかでも、アクリロイル基又はメタクリロイル基は、活性エネルギー線に対して比較的高反応性を示すことができ、また豊富な種類のアクリル系粘着剤から選択して組み合わせて使用できるなど、反応性、作業性の観点で好ましい。

活性エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤の代表的な例として、ヒドロキシル基やカルボキシル基等の反応性官能基を含む単量体［例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸等］を（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合させた反応性官能基含有アクリル系重合体に、分子内に前記反応性官能基と反応する基（イソシアネート基、エポキシ基等）及び活性エネルギー線反応性官能基（アクリロイル基、メタクリロイル基等）を有する化合物［例えば、（メタ）アクリロイルオキシエチレンイソシアネートなど］を反応させて得られる重合体が挙げられる。

前記反応性官能基含有アクリル系重合体における反応性官能基を含む単量体の割合は、全単量体に対して、例えば５〜４０重量％、好ましくは１０〜３０重量％である。前記反応性官能基含有アクリル系重合体と反応させる際の分子内に前記反応性官能基と反応する基及び活性エネルギー線反応性官能基を有する化合物の使用量は、反応性官能基含有アクリル系重合体中の反応性官能基（ヒドロキシル基、カルボキシル基等）に対して、例えば５０〜１００モル％、好ましくは６０〜９５モル％である。

活性エネルギー線硬化性化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート等の、分子内にアクリロイル基やメタクリロイル基等の炭素−炭素二重結合を含む基を２つ以上有する化合物などが挙げられる。これらの化合物は単独で、又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。なかでも、アクリロイル基及び／又はメタクリロイル基を２以上有する化合物が好ましく、例えば特開２００３−２９２９１６号公報に例示されている。

活性エネルギー線硬化性化合物としては、オニウム塩等の有機塩類と、分子内に複数の複素環を有する化合物との混合物等を用いることもできる。前記混合物は、活性エネルギー線の照射により有機塩が開裂してイオンを生成し、これが開始種となって複素環の開環反応を引き起こして３次元網目構造を形成することができる。前記有機塩類には、ヨードニウム塩、フォスフォニウム塩、アンチモニウム塩、スルホニウム塩、ボレート塩等が含まれ、前記分子内に複数の複素環を有する化合物における複素環には、オキシラン、オキセタン、オキソラン、チイラン、アジリジン等が含まれる。具体的には、技術情報協会編、光硬化技術（２０００）に記載の化合物等を利用できる。

活性エネルギー線硬化性樹脂としては、例えば、エステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、アクリル樹脂（メタ）アクリレート等の分子内にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するポリマー又はオリゴマー；分子内にアリル基を有するチオール−エン付加型樹脂や光カチオン重合型樹脂；ポリビニルシンナマート等のシンナモイル基含有ポリマー；ジアゾ化したアミノノボラック樹脂やアクリルアミド型ポリマーなどの感光性反応基含有ポリマーあるいはオリゴマーなどが挙げられる。さらに高活性エネルギー線で反応するポリマーとしては、エポキシ化ポリブタジエン、不飽和ポリエステル、ポリグリシジルメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリビニルシロキサンなどが挙げられる。なお、活性エネルギー線硬化性樹脂を使用する場合には、前記母剤は必ずしも必要でない。

活性エネルギー線硬化性樹脂の分子量としては、例えば、５０００未満程度、好ましくは１００〜３０００程度である。活性エネルギー線硬化性樹脂の分子量が５０００を上回ると、例えば（母剤である）アクリル系重合体との相溶性が低下する傾向となる。

本発明においては、活性エネルギー線硬化性樹脂として、活性エネルギー線に対して比較的高い反応性を示すことができる点で、エステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、アクリル樹脂（メタ）アクリレート等の分子内にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するオリゴマーを使用することが好ましい。

本発明における活性エネルギー線硬化型粘着剤としては、選択肢が多く、エネルギー線照射前後での弾性率調整が行いやすい点で、活性エネルギー線硬化性を付与するための活性エネルギー線反応性官能基を化学修飾した化合物、及び、活性エネルギー線硬化性化合物（又は活性エネルギー線硬化性樹脂）を組み合わせて使用することが好ましく、特に、側鎖に（メタ）アクリロイル基が導入されたアクリル系重合体と、分子内にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するオリゴマーとの組み合わせが、活性エネルギー線に対して比較的高い反応性を示す（メタ）アクリロイル基を含み、しかも多様なアクリル系粘着剤から選択できるため、反応性や作業性の観点から好ましい。このような組み合わせとしては、特開２００３−２９２９１６号公報等に開示のものを利用できる。

活性エネルギー線硬化性樹脂（例えば、分子内にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するオリゴマー）の配合量は、例えば、母剤（例えば、前記側鎖に（メタ）アクリロイル基が導入されたアクリル系重合体）１００重量部に対して、０．５〜２００重量部程度、好ましくは５〜１８０重量部、さらに好ましくは２０〜１３０重量部程度の範囲である。

活性エネルギー線硬化型粘着剤には、３次元網目構造を形成する反応速度の向上を目的として、活性エネルギー線硬化性を付与する化合物を硬化させるための活性エネルギー線重合開始剤が配合されていてもよい。

活性エネルギー線重合開始剤は、用いる活性エネルギー線の種類（例えば、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線等）に応じて公知乃至慣用の重合開始剤を適宜選択できる。作業効率の面から、紫外線で光重合開始可能な化合物が好ましい。代表的な活性エネルギー線重合開始剤として、ベンゾフェノン、アセトフェノン、キノン、ナフトキノン、アンスラキノン、フルオレノン等のケトン系開始剤；アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系開始剤；ベンゾイルパーオキシド、過安息香酸等の過酸化物系開始剤などが挙げられるが、これらに限定されない。市販品として、例えば、チバ・ジャパン社製の商品名「イルガキュア１８４」、「イルガキュア６５１」などがある。

活性エネルギー線重合開始剤は単独で又は２種以上を混合して使用できる。活性エネルギー線重合開始剤の配合量としては、通常、上記母剤１００重量部に対して０．０１〜１０重量部程度、好ましくは１〜８重量部程度である。なお、必要に応じて前記活性エネルギー線重合開始剤とともに活性エネルギー線重合促進剤を併用してもよい。

本発明における活性エネルギー線硬化型粘着剤層の構成成分には、さらにガラスビーズ、樹脂ビーズ等のビーズが添加されていてもよい。活性エネルギー線硬化型粘着剤層にガラスビーズや樹脂ビーズを添加すると、ずり弾性率を高めて粘着力を低下させやすくなる。ビーズの平均粒径は、例えば１〜１００μｍ、好ましくは１〜２０μｍ程度である。ビーズの添加量は、活性エネルギー線硬化型粘着剤層の全体１００重量部に対して、例えば２５〜２００重量部、好ましくは５０〜１００重量部である。前記添加量が多すぎると分散不良を起こして粘着剤の塗布が困難になる場合があり、少なすぎると上記効果が不十分となりやすい。

活性エネルギー線硬化型粘着剤には、上記成分のほか、活性エネルギー線硬化前後に適切な粘着性を得るために、架橋剤、硬化（架橋）促進剤、粘着付与剤、加硫剤、増粘剤等、耐久性向上のために、老化防止剤、酸化防止剤等の適宜な添加剤が必要に応じて配合される。

特に活性エネルギー線硬化型粘着剤の好ましい態様としては、側鎖（メタ）アクリロイル基含有アクリル粘着剤、分子内にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するオリゴマー、アクリレート系架橋剤（ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物；多官能アクリレート）、及び紫外線光開始剤を含むＵＶ硬化型粘着剤が用いられる。

活性エネルギー線硬化型粘着剤層は、例えば、粘着剤、活性エネルギー線硬化性化合物、必要に応じて溶媒を添加して調製したコーティング液を、上記熱収縮性基材層の表面に塗布する方法、適当な剥離ライナー（セパレータ）上に前記コーティング液を塗布して活性エネルギー線硬化型粘着剤層を形成し、これを熱収縮性基材層上に転写（移着）する方法など、慣用の方法により形成できる。転写による場合は、熱収縮性基材層との界面にボイド（空隙）が残る場合がある。この場合、オートクレーブ処理等により加温加圧処理を施し、ボイドを拡散させて消滅させることができる。活性エネルギー線硬化型粘着剤層は単層、複層の何れであってもよい。

活性エネルギー線硬化型粘着剤層の厚みは、一般には１０〜４００μｍ（例えば２０〜３００μｍ）、好ましくは２０〜２００μｍ、さらに好ましくは３０〜１００μｍである。前記厚みは、薄すぎると粘着力が不足するため被着体を保持、仮固定することが困難となりやすく、厚すぎると不経済であり、取扱性に劣る傾向がある。

本発明における活性エネルギー線硬化型粘着剤層は、活性エネルギー線照射前は、常温（２５℃）における引張り弾性率と厚みの積が０．１〜１００Ｎ／ｍ程度、好ましくは、０．１〜２０Ｎ／ｍであることが好ましく、粘着力（１８０°ピール剥離、対シリコンミラーウェハ、引張り速度３００ｍｍ／分）としては、例えば常温（２５℃）で、０．５Ｎ／１０ｍｍ〜１０Ｎ／１０ｍｍの範囲が好ましい。活性エネルギー線照射前の引張り弾性率と厚みの積、及び、粘着力が、上記範囲を外れると、粘着力が不足するため被着体を保持、仮固定することが困難となる傾向がある。

そして、本発明における活性エネルギー線硬化型粘着剤層は、活性エネルギー線を照射することにより硬化して、８０℃における引張り弾性率と厚みの積が５×１０³Ｎ／ｍ以上１×１０⁵Ｎ／ｍ未満（好ましくは８×１０³Ｎ／ｍ以上１×１０⁵Ｎ／ｍ未満）となることを特徴とする。活性エネルギー線照射後の引張り弾性率と厚みの積が５×１０³Ｎ／ｍを下回ると、十分な反作用力が生じず、最終的には熱収縮性基材単独で収縮してしまい、変形（自発巻回）を起こすことができない。

そして、本発明においては、活性エネルギー線硬化型粘着剤層に活性エネルギー線を照射することにより、８０℃における引張り弾性率と厚みの積が５×１０³Ｎ／ｍ以上１×１０⁵Ｎ／ｍ未満となるように硬化することができるため、活性エネルギー線照射後は、適度な靱性あるいは剛性を備え、拘束層としての作用を発揮することができる。この拘束層により、熱収縮性基材層が熱収縮する際に、その収縮を拘束し、反作用力を生み出すことができ、粘着シート全体として偶力を生み出し、巻回を引き起こすための駆動力とすることができる。また、熱収縮性基材層の主収縮方向とは異なる方向の副次的収縮が抑制され、１軸収縮性とは言っても必ずしも一様とは言えない熱収縮性基材層の収縮方向が一方向に収斂する働きもあると考えられる。このため、粘着シートに熱収縮性基材層の収縮を促す熱刺激を与えると、拘束層における熱収縮性基材層の収縮力に対する反発力が駆動力となって、粘着シートの外縁部（１端部又は対向する２端部）が浮き上がり、熱収縮性基材層側を内にして、端部から１方向又は中心方向（通常、熱収縮性基材の主収縮軸方向）へ自発的に巻回して筒状巻回体が形成されるものと考えられる。その上、ウェハ研削後によって生じる反りは、ウェハへ粘着シートを貼り合わせる際の応力が残存し、この残存応力によって熱収縮性基材が弾性変形することによって生じると考えられるが、弾性層はこの残存応力を緩和して反りを低下させる作用をも発揮することができる。また、この拘束層により、熱収縮性基材層の収縮変形により生じる剪断力が被着体に伝達されるのを防ぐことができるため、再剥離時の被着体の破損を防止できる。さらにまた、活性エネルギー線硬化型粘着剤層は、硬化することにより被着体に対する粘着力が著しく低下するため、再剥離時に被着体に糊残りすることなく、容易に剥離することができる。

（セパレータ）
本発明に係る自発巻回性粘着シートには、表面の活性エネルギー線硬化型粘着剤層の平滑化及び保護、ラベル加工、ブロッキング防止の観点などから、活性エネルギー線硬化型粘着剤層表面にセパレータ（剥離ライナー）が設けられていてもよい。セパレータは被着体に貼り合わせる際に剥がされるものであり、必ずしも設けなくてもよい。用いられるセパレータとしては、特に限定されず、公知慣用の剥離紙などを使用できる。例えば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、硫化モリブデン系等の剥離剤により表面処理されたプラスチックフィルムや紙等の剥離層を有する基材；ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、クロロフルオロエチレン・フッ化ビニリデン共重合体等のフッ素系ポリマーからなる低接着性基材；オレフィン系樹脂（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなど）等の無極性ポリマーからなる低接着性基材などを用いることができる。また、必要に応じて、活性エネルギー線硬化型粘着剤層が環境紫外線によって硬化するのを防止するため、紫外線防止処理等が施されていてもよい。

上記セパレータの厚さとしては、特に限定されるものではないが、例えば、１０〜２００μｍ、好ましくは、２５〜１００μｍ程度である。

本発明の自発巻回性粘着シートは、熱収縮性基材層と活性エネルギー線硬化型粘着剤層とを重ね、ハンドローラーやラミネーター等の積層手段や、オートクレーブなどの大気圧圧縮手段を、目的に応じて適宜選択的に用いて積層させることにより製造できる。

本発明の自発巻回性粘着シートは、例えば、半導体等の保護用粘着シート、半導体ウェハ等の固定用粘着シートして利用でき、より具体的には、例えば、シリコン半導体バックグラインド用粘着シート、化合物半導体バックグラインド用粘着シート、シリコン半導体ダイシング用粘着シート、化合物半導体ダイシング用粘着シート、半導体パッケージダイシング用粘着シート、ガラスダイシング用粘着シート、セラミックスダイシング用粘着シート等として使用できる。特に、半導体保護用粘着シート、半導体ウェハ固定用粘着シート等の半導体用粘着シートとして有用である。

［被着体の加工方法］
本発明に係る被着体の加工方法は、上記自発巻回性粘着シートを使用し、該粘着シートを被着体に貼着し、該被着体に所用の加工を施した後、活性エネルギー線を照射して活性エネルギー線硬化型粘着剤層を硬化させ、続いて加熱することにより、前記自発巻回性粘着シートを１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回させて、１又は２個の筒状巻回体を形成させることを特徴とする。

本発明の自発巻回性粘着シートを被着体に貼着して仮固定し、被着体（被加工物）に所要の加工を施した後、活性エネルギー線を照射して自発巻回性粘着シートの粘着剤層を硬化させて粘着力を低下させるとともに、熱収縮性基材層に熱刺激を付与し、自発巻回性粘着シートの１端部から１方向（通常、主収縮軸方向）へ又は対向する２端部から中心に向かって（通常、主収縮軸方向へ）自発的に巻回させ、１又は２個の筒状巻回体を形成させることにより被着体から剥離し、加工品を得ることができる。なお、自発巻回性粘着シートの１端部から１方向へ自発巻回する場合は、１個の筒状巻回体が形成され（一方向巻回剥離）、自発巻回性粘着シートの対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回する場合は、平行に並んだ２個の筒状巻回体が形成される（二方向巻回剥離）。

被加工物の代表的な例として、半導体ウェハなどが挙げられる。加工の種類には、例えば、研削、切断、研磨、エッチング、旋盤加工、加熱（但し、熱収縮性基材層が収縮を開始する温度以下の温度に限られる）などが含まれ、該粘着シートを用いて施しうる加工であれば特に限定されない。

活性エネルギー線としては、例えば、赤外線、可視光線、紫外線、放射線、電子線などを挙げることができ、使用する自発巻回性粘着シートの活性エネルギー線硬化型粘着剤層の種類に応じて、適宜選択できる。例えば、紫外線硬化型粘着剤層を有する自発巻回性粘着シートを使用する場合は、活性エネルギー線として紫外線を使用する。

紫外線の発生方式については特に限定されることがなく、周知慣用の発生方式を採用することができ、例えば、放電ランプ方式（アークランプ）、フラッシュ方式、レーザー方式などを挙げることができる。本発明においては、工業的な生産性に優れる点で、放電ランプ方式（アークランプ）を使用することが好ましく、なかでも、照射効率に優れる点で、高圧水銀ランプやメタルハライドランプを使用した照射方法を使用することが好ましい。

紫外線の波長としては、紫外領域の波長を、特に限定されることなく使用することができるが、一般的な光重合に使用され、前記紫外線発生方式で使用される波長として、２５０〜４００ｎｍ程度の波長を使用することが好ましい。紫外線の照射条件としては、活性エネルギー線硬化型粘着剤層を構成する粘着剤の重合を開始させて、８０℃における引張り弾性率と厚みの積が５×１０³Ｎ／ｍ以上１×１０⁵Ｎ／ｍ未満となるように硬化させることができればよく、照射強度としては、例えば、１０〜１０００ｍＪ／ｃｍ²程度、好ましくは、５０〜６００ｍＪ／ｃｍ²程度である。紫外線の照射強度が１０ｍＪ／ｃｍ²を下回ると、活性エネルギー線硬化型粘着剤層の硬化が不十分となり、拘束層としての作用を発揮することが困難となる傾向がある。一方、照射強度が１０００ｍＪ／ｃｍ²を上回ると、活性エネルギー線硬化型粘着剤層の硬化が進行し過ぎてひび割れる傾向がある。

自発巻回性粘着シートの加熱方法としては、剥離作業を行う際の必要に応じて、被着体全面均一に加温してもよく、全面を段階的に加温、さらには剥離きっかけを作るためだけに部分的に加熱してもよい。粘着シートの加熱温度、及び加熱時間は、使用する熱収縮基材の収縮性に応じて適宜調節することができ、加熱温度は、例えば７０〜１８０℃、好ましくは７０〜１４０℃である。加熱時間は、例えば５〜１８０秒間程度である。

図２は本発明の自発巻回性粘着シートが自発巻回する様子を示す図（斜視図）であり、（Ａ）は熱収縮性基材に熱刺激を付与する前の自発巻回性粘着シートを示す図、（Ｂ）は熱収縮性基材層に熱刺激が付与された自発巻回性粘着シート（活性エネルギー線硬化型粘着剤層が硬化し、粘着力が低下した後の粘着シート）がシート外縁部（１端部）から一方向（通常、熱収縮性基材の主収縮軸方向）に巻回し始めた時の状態を示す図、（Ｃ）はシートの巻回が終了して１個の筒状巻回体が形成された時の状態（一方向巻回）を示す図である。また、（Ｄ）はシートの対向する２端部から中心に向かって（通常、熱収縮性基材の主収縮軸方向へ）自発的に巻回して２個の筒状巻回体が形成されたときの状態（二方向巻回）を示す図である。なお、粘着シートが一方向巻回を起こすのか、或いは二方向巻回を起こすのかは、活性エネルギー線照射後の活性エネルギー線硬化型粘着剤層（拘束層としての作用を有する粘着剤層）の熱収縮性基材層に対する粘着力や引張り弾性率と厚みの積等によって変わる。

図２において、Ｌは自発巻回性粘着シートの巻回方向（通常、熱収縮性基材層の主収縮軸方向）の長さ（シートが円形状の場合は直径）を示し（図２（Ａ））、ｒは形成された筒状巻回体の直径（シートが円形状等の場合のように筒状巻回体の直径が巻回体の長さ方向において一定でない場合は、最大直径）を示す（図２（Ｃ）、（Ｄ））。本発明の自発巻回性粘着シートにおいては、ｒ／Ｌの値は、好ましくは０．０２５〜１の範囲である。なお、Ｌは、例えば１０〜２０００ｍｍ、好ましくは３００〜１０００ｍｍである。粘着シートにおけるＬに直交する方向の長さは、例えば１０〜２０００ｍｍ、好ましくは３００〜１０００ｍｍ程度である。ｒ／Ｌの値は、熱収縮性基材層、活性エネルギー線硬化型粘着剤層の各層の材料の種類、組成及び厚み等、特に活性エネルギー線照射後の活性エネルギー線硬化型粘着剤層（拘束層としての作用を有する粘着剤層）の引張り弾性率、及び厚みを調整することにより上記の範囲にすることができる。この例では、自発巻回性粘着シートの形状は四角形であるが、これに限らず、目的に応じて適宜選択でき、円形状、楕円形状、多角形状等の何れであってもよい。

被着体（被加工物）の加工に本発明の自発巻回性粘着シートを用いると、剥離時の応力による被加工物の破損を回避でき、例えば厚みの薄い半導体ウェハなどの脆弱な被着体を加工する場合であっても、それを破損したり汚染することなく、簡易に粘着シートを該被着体から剥離することができる。また、研削後に生じる被着体の反りを抑制することができ、搬送などにより被着体が破損することを防ぐことができる。

以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。なお、筒状巻回体として機能するか否かを判断する指標であるｒ／Ｌは下記に示す方法により定義した。また、活性エネルギー線硬化型粘着剤層の活性エネルギー線を照射して硬化させた後の引張り弾性率は下記の方法により測定した。

［ｒ／Ｌ値の測定］
下記実施例で得られた粘着シートを１００ｘ１００ｍｍに切断した後、紫外線を約５００ｍＪ／ｃｍ²照射した。粘着シートの１端部を収縮フィルムの収縮軸方向に沿って８０℃の温水に浸漬し、変形を促した。筒状巻回体となったものについては、直径を定規を用いて求め、この値を１００ｍｍで除してｒ／Ｌとした。

［引張り弾性率の測定］
引張り弾性率は、ＪＩＳＫ７１２７に準じ、以下の方法で測定した。
引張り試験機として（株）島津製作所製「オートグラフＡＧ−１ｋＮＧ（加温フード付き）」を用いた。
製造例１、２、３で得たＵＶ硬化型粘着剤を、ファンテンダイを用いて厚み３０μｍとなるよう、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムにシリコン塗布処理を施した剥離ライナー上に塗布し、溶剤を乾燥させた。この後、塗布面に剥離ライナーを貼り合わせて、剥離ライナー／ＵＶ硬化型粘着剤／剥離ライナーの３層品を得た。この３層品に高圧水銀灯（強度２０ｍＪ／ｃｍ²）を用いて５００ｍＪのエネルギー線（紫外線）を照射してＵＶ硬化処理した。
上記でＵＶ硬化処理されたＵＶ硬化型粘着剤から剥離ライナーを剥がして除去し、粘着剤を長さ５０ｍｍｘ幅１０ｍｍに切り取った。これをチャック間距離１０ｍｍで引張り試験機に取り付け、加温フードにより８０℃の雰囲気にした後、引張り速度５ｍｍ／分で試料を引張り、応力−歪み相関の測定値を得た。歪みが０．２％と０．４５％の２点について荷重を求め、引張り弾性率を得た。この測定を同一試料について５回繰り返し、その平均値を採用した。

〈活性エネルギー線硬化型粘着剤（ＵＶ硬化型粘着剤）の製造例〉
製造例１
アクリル系重合体［ブチルアクリレート：エチルアクリレート：２−ヒドロキシエチルアクリレート＝５０：５０：２０（重量比）の混合物を、重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを用いて熱重合して得られたもの］の２−ヒドロキシエチルアクリレート由来の水酸基の８０％をメタクリロイルオキシエチルアクリレートと結合させ、側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体を製造した。この側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体１００重量部に対して、ＵＶ硬化性化合物としてペンタエリスリトールテトラアクリレートを５０重量部、架橋剤（商品名「コロネートＬ」）を３重量部、ＵＶ重合開始剤（商品名「イルガキュア６５１」）を３重量部加えて混合し、さらに固形分濃度が４０重量％となるように酢酸エチルを加えて、ＵＶ硬化型粘着剤を調製した。

製造例２
アクリル系重合体［モルフォリルアクリレート：エチルアクリレート：２−ヒドロキシエチルアクリレート＝５０：５０：２０（重量比）の混合物を共重合して得られたもの］の２−ヒドロキシエチルアクリレート由来の水酸基の８０％をメタクリロイルオキシエチルアクリレートと結合させ、側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体を製造した。この側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体１００重量部に対して、ＵＶ硬化性化合物としてペンタエリスリトールテトラアクリレートを５０重量部、架橋剤（商品名「コロネートＬ」）を３重量部、ＵＶ重合開始剤（商品名「イルガキュア６５１」）を３重量部加えて混合し、さらに固形分濃度が４０重量％となるように酢酸エチルを加えて、ＵＶ硬化型粘着剤を調製した。

製造例３
アクリル系重合体［モルフォリルアクリレート：エチルアクリレート：２−ヒドロキシエチルアクリレート＝５０：５０：２０（重量比）の混合物を共重合して得られたもの］の２−ヒドロキシエチルアクリレート由来の水酸基の８０％をメタクリロイルオキシエチルアクリレートと結合させ、側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体を製造した。この側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体１００重量部に対して、架橋剤（商品名「コロネートＬ」）を１．５重量部、ＵＶ重合開始剤（商品名「イルガキュア１８４」）を３重量部加えて混合し、さらに固形分濃度が４０重量％となるように酢酸エチルを加えて、ＵＶ硬化型粘着剤を調製した。

〈粘着シートの製造例〉
実施例１
製造例１で得られたＵＶ硬化型粘着剤を、ファンテンダイを用いた塗工機を用い、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムにシリコン塗布処理を施した剥離ライナー上に塗布した。これを乾燥して溶媒を揮発させることで、厚みが８０μｍの粘着剤層を得た。この８０μｍの粘着剤層を３枚用意し、粘着剤界面が対向する状態にして、ラミネーターで貼り合わせる作業を繰り返すことで、厚み２４０μｍの粘着剤層を得た。２４０μｍ厚みの粘着剤層を、ラミネーターを用いて熱収縮性基材［東洋紡社製、商品名「スペースクリーン」、材質：ポリエチレンテレフタレート／ポリブチレンテレフタレート混合物、厚み：３０μｍ、９０℃×１０秒間加熱により、基材流れ方向（ＭＤ）に対して垂直方向（ＴＤ）に７０％以上収縮する］に貼り合わせることで粘着テープを得た。

実施例２
製造例２で得られたＵＶ硬化型粘着剤を、ファンテンダイを用いた塗工機を用い、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムにシリコン塗布処理を施した剥離ライナー上に塗布した。これを乾燥して溶媒を揮発させることで、厚みが８０μｍの粘着剤層を得た。この８０μｍの粘着剤層を３枚用意し、粘着剤界面が対向する状態にして、ラミネーターで貼り合わせる作業を繰り返すことで、厚み２４０μｍの粘着剤層を得た。２４０μｍ厚みの粘着剤層を、ラミネーターを用いて熱収縮性基材［東洋紡社製、商品名「スペースクリーン」、材質：ポリエチレンテレフタレート／ポリブチレンテレフタレート混合物、厚み：３０μｍ、９０℃×１０秒間加熱により、基材流れ方向（ＭＤ）に対して垂直方向（ＴＤ）に７０％以上収縮する］に貼り合わせることで粘着テープを得た。

比較例１
製造例３で得られたＵＶ硬化型粘着剤を、ファンテンダイを用いた塗工機を用い、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムにシリコン塗布処理を施した剥離ライナー上に塗布した。これを乾燥して溶媒を揮発させることで、厚みが２０μｍの粘着剤層を得た。この粘着剤層を、ラミネーターを用いて熱収縮性基材［東洋紡社製、商品名「スペースクリーン」、材質：ポリエチレンテレフタレート／ポリブチレンテレフタレート混合物、厚み：３０μｍ、９０℃×１０秒間加熱により、基材流れ方向（ＭＤ）に対して垂直方向（ＴＤ）に７０％以上収縮する］に貼り合わせることで粘着テープを得た。

〈粘着シート剥離性試験〉
上記の実施例及び比較例で得た各粘着シートを４インチシリコンウェハと同じ大きさの円形状に切断して４インチシリコンウェハ（厚み５２５μｍ）に貼り合わせ、ウェハの裏面を厚みが１００μｍになるまで研削し、粘着シート側から紫外線を５００ｍＪ／ｃｍ²の強度で照射することにより活性エネルギー線硬化型粘着剤層（ＵＶ硬化型粘着剤層）を硬化させた。粘着シートの剥離性を下記基準に基づいて評価した。
評価基準：
８０℃の温水に粘着シートの１端部から徐々に浸漬させた際に、粘着シートの外縁部（１端部）から反対側の外縁部へ一方向に巻回して円筒状に丸まり、ウェハを破損することなくウェハから速やかに剥離した場合：○
粘着シートが熱収縮性基材層と活性エネルギー線硬化型粘着剤層との間で破損した、又は、円筒状にきれいに丸まらなかった：×

〈粘着シート剥離後のウェハ汚染性試験〉
上記粘着シート剥離性試験結果が○の研磨済みウェハについて目視で観察し、糊残りの有無によりウェハ汚染性を評価した。
糊残りが見られた場合：○
糊残りが見られなかった場合：×

〈２５μｍ厚ウェハ（８インチ）研削試験〉
上記剥離性試験において、良好な結果を示した粘着シートについて、テープ貼り合わせ装置（商品名「ＤＲ８５００ＩＩ」、日東精機社製）を用いて、８インチミラーウェハに貼り合わせ、ウェハ研削装置（商品名「ＤＦＧ８５６０」、ディスコ社製）でウェハ厚みが２７μｍとなるように研磨し、さらにポリッシャー（ＤＩＳＣＯ社製、商品名「ＤＦＰ８１４０」）を使用して鏡面研磨仕上げを行い、ウェハ厚みが２５μｍの研磨済みウェハを得た。得られた研磨済みウェハについて、下記基準により評価した。
評価基準：
ウェハの割れがなく、端部欠け（エッジチッピング）の大きさが３０μｍ以下：○
ウェハ割れが無く、エッジチッピングが３０μｍ以上：△
ウェハが割れた：×

〈研磨後に発生する被着体の「反り」試験〉
次に研磨済みウェハの反りを調べた。研削試験結果が○もしくは△の研磨済みウェハを定盤の上に設置し、研磨済みウェハが反ることによって定盤からもっとも離れている位置までの距離を測定し、「反り」量とした。

上記試験結果を下記表１にまとめて示す。

本発明の自発巻回性粘着シートの一例を示す概略断面図である。本発明の自発巻回性粘着シートが自発巻回する様子を示す図（斜視図）である。本発明の被着体の加工方法の一例を示す概略図（側面図）である。

符号の説明

１自発巻回性粘着シート
１１熱収縮性基材層
１２活性エネルギー線硬化型粘着剤層
１３セパレータ
２半導体ウェハ

Claims

少なくとも１軸方向に収縮性を有する熱収縮性基材層と、活性エネルギー線を照射することにより硬化して、８０℃における引張り弾性率と厚みの積が５×１０³Ｎ／ｍ以上１×１０⁵Ｎ／ｍ未満となる活性エネルギー線硬化型粘着剤層とが積層された構成を有し、熱刺激を付与することにより、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成しうる自発巻回性粘着シート。
当該自発巻回性粘着シートを加熱して収縮させたときに自発的に巻回して形成される筒状巻回体の直径ｒと該自発巻回性粘着シートの巻回方向の長さＬとの比（ｒ／Ｌ）が、０．０２５〜１の範囲である請求項１記載の自発巻回性粘着シート。
熱収縮性基材層の主収縮方向の収縮率が７０〜１８０℃の範囲の所定温度において３０％以上である請求項１又は２に記載の自発巻回性粘着シート。
活性エネルギー線硬化型粘着剤層が、分子内にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するアクリル系重合体を含む請求項１〜３の何れかの項に記載の自発巻回性粘着シート。
活性エネルギー線硬化型粘着剤層が、分子内にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有し、分子量が５０００未満のオリゴマーを含む請求項１〜４の何れかの項に記載の自発巻回性粘着シート。
請求１〜５の何れかの項に記載の自発巻回性粘着シートを使用し、該粘着シートを被着体に貼着し、該被着体に所用の加工を施した後、活性エネルギー線を照射して活性エネルギー線硬化型粘着剤層を硬化させ、続いて加熱することにより、前記自発巻回性粘着シートを１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回させて、１又は２個の筒状巻回体を形成させる被着体の加工方法。