JP2010102063A - カラーフィルタ基板の修正方法およびカラーフィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レジスト材料で表面に少なくとも着色画素がパターンニングされた、複数の工程で形成されるカラーフィルタ基板上にレーザー光を照射して、前記基板上の欠陥を修正するカラーフィルタ基板の欠陥修正方法において、前記着色画素を形成する着色層の膜厚が厚くなった不良部分に、アパーチャのサイズを変更して照射領域を変えながらレーザー光を繰り返し照射する。
【選択図】図1
Description
で凸部となった周辺部位の平坦化を行い、膜厚のバラツキを小さくして良品とするカラーフィルタ基板の修正方法、および該修正方法で修正されたカラーフィルタを提供することで、カラーフィルタ基板の製造工程における欠陥修正負荷を削減し、歩留まりを改善することを課題としている。
色画素、透明導電膜、柱状スペーサおよび配向制御用突起が順次形成された、もしくはいずれかの組み合わせで形成された、液晶表示装置用カラーフィルタであって、上記請求項1〜9のいずれか1項に記載するカラーフィルタ基板の欠陥修正方法によって、欠陥部分が修正されたことを特徴とするカラーフィルタである。
(1)カラーフィルタ基板上の異物欠陥を、検査機にて検出し、欠陥の位置をデータとして記録する。以下、欠陥修正装置における作業となる。
(2)上記位置データに基づき、欠陥(異物)位置へレーザー光照射装置のレーザー光の照射スポットを移動する。
(3)図1(c)に示すように、異物30の核部分にレーザー光を照射し、昇華・除去する。
ここで、レーザー光源は、強度可変のレーザー光源が選定される。昇華時に必要な光強度を確保するためにYAGレーザーを用いる。レーザー光の照射条件は、YAGレーザー第4高調波、波長266nm、フルエンス100mJ/cm2、発振周波数30Hz、ショット数10とする。
(4)図1(d)に示すように、異物が除去された箇所に、熱硬化性樹脂の修正インク4
0を塗布し、乾燥、硬化させる。
(5)修正箇所周辺の正常部と修正箇所との膜厚の差を非接触の高さ測定器にて測定し、膜厚差が検出されない場合は、良品として次工程に送り、膜厚差が生じている場合には、以下の本発明の欠陥修正方法を実施する。
(6)本発明の欠陥修正方法に基づき、図1(d)に示すように、アパーチャのサイズを広いW50から狭いW51のように変更して、照射領域を変えながらレーザー光を繰り返し照射して膜厚過剰分を除去し、最終的に図1(e)に示すように、周辺の膜厚と一致させる。なお、このとき、アパーチャのサイズを狭いW51から広いW52に変更することであっても、膜厚過剰分の除去は可能であるので、構わない。レーザー光の照射条件は、YAGレーザー第4高調波、波長266nm、フルエンス50〜100mJ/cm2、発振周波数30Hzとする。なお、加工量とショット数は、着色層ごとに異なるため、予め膜厚修正対象の着色層ごとに調べておき、必要なショット数を設定する。
(7)膜厚差を測定し、周辺と一致したことを確認したのち、次工程に送る。
21・・・レッド着色層 22・・・グリーン着色層 23・・・ブルー着色層30・・・欠陥(異物) 40・・・修正インク
50・・・アパーチャサイズ(W) 51・・・アパーチャサイズ(w)
52・・・スリット 60・・・集光レンズ
Claims (11)
- レジスト材料で基板表面に少なくとも着色画素がパターンニングされた、複数の工程で形成されるカラーフィルタ基板上にレーザー光を照射して、前記基板上の欠陥を修正するカラーフィルタ基板の修正方法において、
前記着色画素を形成する着色層の膜厚が厚くなった不良部分に、アパーチャのサイズを変更して照射領域を変えながらレーザー光を繰り返し照射することを特徴とするカラーフィルタ基板の修正方法。 - 前記レーザー光の出力、照射面積、ショット回数を変化させて、該レーザー光を繰り返し照射して前記着色層の表層を除去することを特徴とする請求項1に記載するカラーフィルタ基板の修正方法。
- 前記レーザー光のフルエンスが、100mJ/cm2以下であることを特徴とする請求項1または2に記載するカラーフィルタ基板の修正方法。
- 前記レーザー光を照射する対象が、着色層形成後、該着色層内の異物をレーザーで除去し、除去された箇所に前記着色層と同色の修正インクを周辺の正常な部位の膜厚よりも厚くなるように塗布、乾燥する修正箇所であることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載するカラーフィルタ基板の修正方法。
- 前記レーザー光のスポット径を固定し、カラーフィルタ基板が設置されている装置のステージを移動させることで、広範囲の面積の前記着色層を修正することを特徴とする、請求項1〜4の何れか1項に記載するカラーフィルタ基板の修正方法。
- 前記レーザー光のスポット径を固定し、該レーザー光を走査させて、広範囲の面積の前記着色層を修正することを特徴とする、請求項1〜4の何れか1項に記載するカラーフィルタ基板の修正方法。
- 前記レーザー光の照射中に、該レーザー光のフォーカスを移動して、修正対象着色層表面における該レーザー光の照射強度の分布を変更することを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載するカラーフィルタ基板の修正方法。
- 前記レーザー光として、フェムト(10-15)秒レーザーを使用することを特徴とする請求項1または2、または請求項4〜7の何れか1項に記載するカラーフィルタ基板の修正方法。
- 欠陥を修正するカラーフィルタ基板が、カラーフィルタ形成工程の中間工程の基板であることを特徴とする請求項1〜8の何れか1項に記載するカラーフィルタ基板の修正方法。
- ガラス基板上に、ブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、柱状スペーサおよび配向制御用突起が順次形成された、もしくはいずれかの組み合わせで形成された、液晶表示装置用カラーフィルタであって、上記請求項1〜9のいずれか1項に記載するカラーフィルタ基板の修正方法によって、欠陥部分が修正されたことを特徴とするカラーフィルタ。
- カラーフィルタ基板の欠陥を、上記請求項1〜9のいずれか1項に記載するカラーフィルタ基板の修正方法によって、欠陥部分を修正した後、更に、前記着色層が機械的または化学的方法によって、研磨されたことを特徴とするカラーフィルタ。
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