JP2010089136A - 精密プレス装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】精密プレス装置は、ガイドポスト4に固定されている受圧部1、ガイドポストに保持器5を介して摺動案内される加圧部2、受圧部1と加圧部2との各対向面に装着されるプレスステージ7a,7b、及び加圧部2を軸受部材(フリー軸受)9を介して駆動させる駆動部8を備えている。受圧部1とガイドポスト4との間及び/又は前記加圧部と保持器との間には弾性体6が介装されており、弾性体6が変形することで両プレスステージ7の面同士が互いに倣い両プレスステージに掛かる荷重を均一にすることができる。
【選択図】図1
Description
図8において、10はトッププレート、11は冷却加熱プレートで、この冷却加熱プレート11の内部にヒータ15及び冷却用通路を設置する。12は冷却加熱プレート11に接続した断熱材で、ヒータ15により加熱された熱が放熱しないようにしている。また、この断熱材12に冷却用の孔を設け、冷却加熱プレート11を経由して再度、断熱材12に設けた別の孔から冷却用冷媒が戻るようにしている。図8では、13が冷却媒体入口で、14が冷却媒体出口を示す。冷却媒体として、エア、ガス、水、油などがある。
3 調整ナット 4 ガイドポスト
5 保持器 6 弾性体
7 プレスステージ 8 駆動部
9 フリー軸受 10 トッププレート
11 加熱冷却プレート 12 断熱材
13 冷却媒体入口 14 冷却媒体出口
15 ヒータ 16 操作パネル
17 ヒータ温調器 18 圧力表示機器
19 真空度表示器 20 真空チャンバ
21 フレーム 22 キャスタ
23 アジャスタ 24 アンカー座
25 操作釦
Claims (10)
- ガイドポストに保持器を介して摺動案内される加圧部、前記ガイドポストに固定されている受圧部、前記加圧部と前記受圧部との各対向面に装着されるプレスステージ、及び前記加圧部を軸受部材を介して駆動させる駆動部を備え、
前記加圧部と前記保持器との間及び/又は前記受圧部と前記ガイドポストとの間には弾性体が介装されており、前記弾性体が変形することで前記両プレスステージの面同士が互いに倣い前記両プレスステージに掛かる荷重を均一にすること
を特徴とする精密プレス装置。 - 請求項1記載の精密プレス装置において、
前記ガイドポストは、2本又はそれ以上の複数本が互いに平行に且つ前記プレスステージの周囲において均等配列されていること
を特徴とする精密プレス装置。 - 請求項1又は2記載の精密プレス装置において、
前記軸受部材は、前記加圧部に対して単一点又は均等配列された複数点で当接し、それにより前記加圧部に掛かる荷重を均一にするフリー軸受であること
を特徴とする精密プレス装置。 - 請求項3記載の精密プレス装置において、
前記フリー軸受の先端部は、前記加圧部と前記単一点で当接する球面に形成されており、前記駆動部の駆動による前記加圧部への加圧時において、前記弾性体が撓むことに起因して前記受圧部が前記加圧部に対してずれた場合においても、前記加圧部に対して前記単一点で荷重を掛ける状態を維持すること
を特徴とする精密プレス装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項記載の精密プレス装置において、
前記弾性体は、前記加圧部と当該加圧部を前記ガイドポストに摺動案内する前記保持器との間、及び/又は前記受圧部と当該受圧部を前記ガイドポストに対して高さ調整可能に固定する調整ナットとの間に装着されており、加圧時に前記加圧部と前記受圧部との相対的な傾きを吸収し、高平坦度の精度にてプレス成形を可能にすること
を特徴とする精密プレス装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項記載の精密プレス装置において、
前記弾性体は、一種類又は弾性率の異なる複数種類の弾性体から構成されていること
を特徴とする精密プレス装置。 - 請求項1〜6のいずれか一項記載の精密プレス装置において、
前記弾性体は、一端部にフランジを有する、円、楕円、四角、多角、等の断面多種形状の筒状体に形成されていること
を特徴とする精密プレス装置。 - 請求項1〜7のいずれか一項記載の精密プレス装置において、
前記加圧部を前記ガイドポストに摺動案内する前記保持器は直動ガイド軸受であることを特徴とする精密プレス装置。 - 請求項1〜8のいずれか一項記載の精密プレス装置において、
前記加圧部又は前記受圧部に前記弾性体を設置することにより、平行度を得るため、可動方向については、上下左右自由に設置可能とすること
を特徴とする精密プレス装置。 - 請求項1〜9のいずれか一項記載の精密プレス装置において、
一方の前記プレスステージには表面に極微細パターンが施された転写元となる原板が装着され、他方の前記プレスステージには前記原板の前記極微細パターンの転写先となる基板が装着されており、前記原板の前記極微細パターンの前記基板へのプレス成形を行う微細構造転写装置に適用されていること
を特徴とする精密プレス装置。
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