JP2010080693A - Electromagnetic wave shield filter, and image display device using the same - Google Patents

Electromagnetic wave shield filter, and image display device using the same Download PDF

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宅 有 太 新
Takehiro Yamashita
下 雄 大 山
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromagnetic wave shield filter that has no remaining air bubble, excellent adhesive strength to another optical filter, and superior production efficiency. <P>SOLUTION: The electromagnetic wave shield filter has a transparent base 1, a metal mesh layer provided on the transparent base, and an adhesive layer 7 provided on the metal mesh layer to fill unevenness of a mesh pattern, and the adhesive layer is provided to satisfy T≥H, where H is the thickness of the metal mesh layer and T is the thickness of the thickest portion of the adhesive layer. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、画像表示装置(ディスプレイ)に使用される電磁波遮蔽フィルタ、およびそれを用いた画像表示装置に関する。   The present invention relates to an electromagnetic wave shielding filter used for an image display device (display), and an image display device using the same.

プラズマディスプレイ等の画像表示装置は、発光にプラズマ放電を利用するため、30MHz〜1GHz帯域の不要な電磁波が外部に漏洩して他の機器(例えば、遠隔制御機器、情報処理装置等)に影響を与えるおそれがある。そのため、画像表示装置に用いられる表示パネルの前面側(観察者側)に、画像光の透過性は維持した上で、漏洩する電磁波を遮蔽(シールド)するためのフィルム状の電磁波遮蔽フィルタを設けるのが一般的である。例えば、プラズマディスプレイパネル用の電磁波遮蔽フィルタにおいて、電磁波遮蔽性能と光透過性とを両立させた金属パターンとしてはメッシュ状のパターンが多く用いられている。金属パターン(EMIメッシュ)は、透明基材に金属箔を透明接着剤で貼り合せた後、フォトリソグラフィー法により金属箔をメッシュ状にケミカルエッチングして作ることができる(特許文献1、特許文献2)。   Since an image display device such as a plasma display uses plasma discharge for light emission, unnecessary electromagnetic waves in the 30 MHz to 1 GHz band leak outside and affect other devices (for example, remote control devices, information processing devices, etc.). There is a risk of giving. Therefore, a film-like electromagnetic wave shielding filter is provided on the front side (observer side) of the display panel used in the image display device, while maintaining the transparency of the image light and shielding (shielding) the leaked electromagnetic waves. It is common. For example, in an electromagnetic wave shielding filter for a plasma display panel, a mesh-like pattern is often used as a metal pattern that achieves both electromagnetic wave shielding performance and light transmittance. A metal pattern (EMI mesh) can be formed by bonding a metal foil to a transparent substrate with a transparent adhesive and then chemically etching the metal foil into a mesh shape by a photolithography method (Patent Documents 1 and 2). ).

上記した金属パターンからなる電磁波遮蔽フィルタは、他の光学フィルタと組み合わされて、画像表示装置の前面に貼り合わされるのが一般的である。そして、通常、金属メッシュと他の光学フィルタとは、粘着剤等を介して積層される。しかしながら、金属メッシュの表面は凹凸状の形態を有しているため、その表面上に粘着剤を塗布する際に、凹部に気泡が混入する場合がある。この気泡は、画像光を散乱して、画像に曇りを生じ、又画像の明暗コントラストの低下、画像端部の輪郭の不鮮明化等の画質低下をもたらす。そのため、粘着剤層を形成した後にオートククレーブ等の別工程を追加して、その工程中で加熱および加圧処理をして気泡を除去する必要があった。その結果、電磁波遮蔽部材を連続的に生産することができず、生産効率の改善が求められていた。   In general, the electromagnetic wave shielding filter formed of the metal pattern is combined with another optical filter and bonded to the front surface of the image display device. In general, the metal mesh and the other optical filter are laminated via an adhesive or the like. However, since the surface of the metal mesh has a concavo-convex shape, bubbles may be mixed into the recess when applying the adhesive on the surface. The bubbles scatter image light, causing the image to become cloudy, and lower the image quality such as lowering the contrast of the image and blurring the outline of the image edge. Therefore, after forming the pressure-sensitive adhesive layer, it is necessary to add another process such as an autoclave, and to remove bubbles by heating and pressurizing in that process. As a result, the electromagnetic wave shielding member cannot be continuously produced, and improvement in production efficiency has been demanded.

また、金属メッシュ材料として、上記の特許文献1および2には、種々の導電性金属材料が使用できることが開示されており、特に特許文献2においては、銅の他、アルミニウム等の高伝導率の金属も例示されている。アルミニウムは銅等と比較して安価な金属材料であり、金属メッシュ材料として、銅からアルミニウムへの代替が希求されている。   Further, as the metal mesh material, the above Patent Documents 1 and 2 disclose that various conductive metal materials can be used. In particular, Patent Document 2 discloses high conductivity such as aluminum in addition to copper. Metals are also illustrated. Aluminum is an inexpensive metal material compared to copper and the like, and an alternative from copper to aluminum is desired as a metal mesh material.

しかしながら、実際には、アルミニウムからなる金属メッシュを用いた電磁波遮蔽フィルタは実用化されていない。その理由は、メッシュパターンの線幅および厚みの寸法は100μm程度以上である場合には問題とならないが、高品質の画像表示装置用にメッシュパターンを微細化した場合、とりわけ線幅および厚み寸法を10〜20μm程度以下にした場合に、以下のような問題が顕在化するためである。   However, in practice, an electromagnetic wave shielding filter using a metal mesh made of aluminum has not been put into practical use. The reason is that there is no problem when the line width and thickness dimensions of the mesh pattern are about 100 μm or more. However, when the mesh pattern is miniaturized for a high-quality image display device, the line width and thickness dimensions are particularly large. This is because the following problems become apparent when the thickness is about 10 to 20 μm or less.

すなわち、(a)アルミニウム自体の活性が高く、表面にアルミニウムの酸化皮膜が存在し、これが耐腐食膜となってケミカルエッチングを阻害する。(b)エッチング液に接触した領域の酸化皮膜が一部除去されると、除去された部分がまだ除去されていない部分に対して急速にエッチングが進んでしまい、均一な安定したエッチングが困難である。(c)上記(a)および(b)の結果として、金属パターンのライン部の輪郭に、ギザ(zigzag状のこと。ラインの輪郭に凹凸があって直線性が悪くギザギザしている形態をこのように呼称する。)や断線が発生し、ラインのパターン精度が、銅箔の場合に比べてアルミニウムは劣る。   That is, (a) aluminum itself has high activity, and an aluminum oxide film exists on the surface, which becomes a corrosion-resistant film and inhibits chemical etching. (B) When a portion of the oxide film in the region in contact with the etching solution is removed, the removed portion is rapidly etched with respect to the portion that has not yet been removed, and uniform and stable etching is difficult. is there. (C) As a result of the above (a) and (b), the contour of the line portion of the metal pattern has a zigzag shape. In other words, aluminum is inferior in the pattern accuracy of the line compared to the case of copper foil.

そのため、アルミニウムを用いると、銅と比べて画像表示装置で要求される微細なパターン(例えばライン幅10〜20μm、パターンの厚み10〜20μm程度)が得られない。そして、ギザは光透過性を実現する開口部の面積率のムラとなって表示画面の面ムラに繋がり、断線は電磁波遮蔽性能の低下に繋がる。   Therefore, when aluminum is used, a fine pattern (for example, a line width of 10 to 20 μm and a pattern thickness of about 10 to 20 μm) required for an image display device cannot be obtained as compared with copper. Then, the unevenness leads to unevenness in the area ratio of the opening that realizes light transmittance, leading to unevenness in the surface of the display screen, and disconnection leads to deterioration in electromagnetic wave shielding performance.

特開2003−318596号公報JP 2003-318596 A 特許第3388682号公報Japanese Patent No. 3388682

本発明者らは、今般、金属メッシュ層の厚みと粘着剤層との厚みとの関係に着目し、各層を所定の厚みとするこのより、気泡の残存がなく、他の光学フィルタとの接着性も良好で、かつ生産効率に優れる電磁波遮蔽フィルタを実現できる、との知見を得た。本発明はかかる知見によるものである。   The inventors of the present invention pay attention to the relationship between the thickness of the metal mesh layer and the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer, and make each layer a predetermined thickness. It has been found that an electromagnetic wave shielding filter having good performance and excellent production efficiency can be realized. The present invention is based on this finding.

したがって、本発明の目的は、気泡の残存がなく、他の光学フィルタとの接着性も良好で、かつ生産効率に優れる電磁波遮蔽フィルタを提供することである。   Therefore, an object of the present invention is to provide an electromagnetic wave shielding filter that has no bubbles remaining, has good adhesion to other optical filters, and is excellent in production efficiency.

また、本発明の別の目的は、金属パターンの材質を銅から安価なアルミニウムに代えると生じる、ケミカルエッチングで形成したアルミニウムパターンのパターン精度不良を解消して、アルミニウムを用いた安価でしかも実用可能な電磁波遮蔽フィルタを提供することである。   Another object of the present invention is to eliminate the pattern accuracy defect of an aluminum pattern formed by chemical etching, which occurs when the material of the metal pattern is changed from copper to inexpensive aluminum, and is inexpensive and practical using aluminum. An electromagnetic wave shielding filter is provided.

さらに本発明の別の目的は、上記電磁波遮蔽フィルタを用いた多機能フィルタ、これらフィルタを用いた画像表示装置を提供することである。   Still another object of the present invention is to provide a multifunction filter using the electromagnetic wave shielding filter and an image display device using these filters.

本発明による電磁波遮蔽フィルタは、透明基材と、その透明基材上に設けられた金属メッシュ層と、メッシュパターンの凹凸を埋めるように金属メッシュ層上に設けられた粘着剤層と、を備えた電磁波遮蔽フィルタであって、
前記金属メッシュ層の厚みをH、前記粘着剤層の最厚部分の厚みをTとした場合に、T≧Hを満たすように粘着剤層が設けられていることを特徴とするものである。
An electromagnetic wave shielding filter according to the present invention includes a transparent substrate, a metal mesh layer provided on the transparent substrate, and an adhesive layer provided on the metal mesh layer so as to fill the irregularities of the mesh pattern. An electromagnetic shielding filter,
When the thickness of the metal mesh layer is H and the thickness of the thickest portion of the pressure-sensitive adhesive layer is T, the pressure-sensitive adhesive layer is provided so as to satisfy T ≧ H.

また、本発明の好ましい態様においては、前記金属メッシュの少なくとも一方の面上に、厚み0〜13Åの金属酸化被膜が形成されてなる。   In a preferred embodiment of the present invention, a metal oxide film having a thickness of 0 to 13 mm is formed on at least one surface of the metal mesh.

さらに、本発明の好ましい態様においては、前記金属がアルミニウムであり、前記金属酸化物が酸化アルミニウムである。   Furthermore, in a preferred embodiment of the present invention, the metal is aluminum and the metal oxide is aluminum oxide.

また、本発明の態様においては、前記透明基材と前記金属メッシュ層とが、接着剤層を介して積層されていることが好ましい。   Moreover, in the aspect of this invention, it is preferable that the said transparent base material and the said metal mesh layer are laminated | stacked through the adhesive bond layer.

本発明の別の態様として、電磁波遮蔽フィルタと、光学フィルタとを積層した多機能フィルタや、上記電磁波遮蔽フィルタ、または上記多機能フィルタを、前面に配置した画像表示装置も提供される。   As another aspect of the present invention, there is also provided a multifunction filter in which an electromagnetic wave shielding filter and an optical filter are laminated, and an image display device in which the electromagnetic wave shielding filter or the multifunction filter is disposed on the front surface.

本発明の電磁波遮蔽フィルタによれば、金属メッシュ層の厚みと粘着剤層の最厚部分の厚みとがT≧Hの関係を満たすように、すなわち、粘着剤層の最厚部分の厚みが、金属メッシュ層の厚みよりも厚くなるように、粘着剤層が設けられているため、金属メッシュ層上に粘着剤層を設ける際に気泡が混入しても、粘着剤層により、気泡が溶解または分解するため、気泡が残存することがない。その結果、オートクレーブ等で加熱・加圧処理して残留気泡を除去する必要がなくなるため、電磁波遮蔽フィルタを長尺状のフィルムまたはシート形態で連続的に製造でき、生産効率が飛躍的に向上する。   According to the electromagnetic wave shielding filter of the present invention, the thickness of the metal mesh layer and the thickness of the thickest part of the pressure-sensitive adhesive layer satisfy the relationship of T ≧ H, that is, the thickness of the thickest part of the pressure-sensitive adhesive layer is Since the pressure-sensitive adhesive layer is provided so as to be thicker than the thickness of the metal mesh layer, even if bubbles are mixed when the pressure-sensitive adhesive layer is provided on the metal mesh layer, the pressure-sensitive adhesive layer dissolves the bubbles or Since it decomposes, no bubbles remain. As a result, it is not necessary to remove residual bubbles by heating and pressurizing with an autoclave or the like, so that the electromagnetic wave shielding filter can be continuously manufactured in the form of a long film or sheet, and the production efficiency is dramatically improved. .

また、粘着剤層の厚みを上記の範囲とすることにより、粘着剤層を介して他の光学フィルタと貼り合わせて多機能フィルタとした場合に、耐衝撃吸収性能が向上するため、いわゆる直貼りの多機能フィルムを実現できる。したがって、製造コストを低減することができる。   In addition, by setting the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer within the above range, when it is combined with another optical filter via the pressure-sensitive adhesive layer to obtain a multi-functional filter, the shock absorption performance is improved. Multifunctional film can be realized. Therefore, the manufacturing cost can be reduced.

さらに、少なくとも上面側のアルミニウムの酸化皮膜の厚みを薄く規定することで、アルミニウムパターンをケミカルエッチングで形成する際に安定したエッチングが可能でエッチング品質が改善する為に、ライン輪郭部のギザや断線となる不良が解消してパターン精度が向上し、ひいては、電磁波遮蔽性(表面抵抗値)のバラツキやヘーズ(曇価)の上昇を避けられる。この結果、銅よりも安価なアルミニウムを利用して、材料的に安価な電磁波遮蔽フィルタを実用化できる。また、製造面でも、アルミニウムの酸化皮膜はそのままでケミカルエッチングできるのでその除去工程が不要で、製造工程の複雑化やコストアップを避けられる。   Furthermore, by defining the thickness of the aluminum oxide film at least on the upper surface side to be thin, stable etching is possible when the aluminum pattern is formed by chemical etching, and the etching quality is improved. As a result, the pattern accuracy is improved, and as a result, variations in electromagnetic shielding (surface resistance value) and haze (cloudiness) can be avoided. As a result, an electromagnetic wave shielding filter that is inexpensive in terms of material can be put into practical use by using aluminum that is less expensive than copper. Also, in terms of manufacturing, since the aluminum oxide film can be chemically etched as it is, the removal process is unnecessary, and the manufacturing process is not complicated and the cost is increased.

以下、本発明の実施形態を、図面を参照しながら説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、本発明による電磁波遮蔽フィルタの層構成を示す断面概略図である。金属メッシュ層2はその上面および下面の表面に金属酸化皮膜3を有しており、金属メッシュ層2は、その下面側の酸化皮膜3の下面で透明接着剤層4を介して透明基材1に接着固定され積層されている。透明接着剤層4は金属メッシュ層2の開口部も含めて透明基材1の全面に形成されている。そして、金属メッシュパターンの凹凸を埋めるように、金属メッシュ層2上に粘着剤層7が設けられている。この粘着剤層は、金属メッシュ層の厚みHと、粘着剤層の最厚部分の厚みTとの関係が、T≧Hを満たすようにもうけられている。なお、本発明において、「上面」とは、透明基材に対して金属メッシュ層が形成された側と同じ向きとなる面(図面では上方を向く面でもある)を言い、「下面」とは「上面」と逆向きの面(図面では下方を向く面でもある)を言うものとする。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a layer structure of an electromagnetic wave shielding filter according to the present invention. The metal mesh layer 2 has a metal oxide film 3 on the upper surface and the lower surface thereof, and the metal mesh layer 2 is formed on the lower surface of the oxide film 3 on the lower surface side via the transparent adhesive layer 4. Adhesive fixed to and laminated. The transparent adhesive layer 4 is formed on the entire surface of the transparent substrate 1 including the opening of the metal mesh layer 2. And the adhesive layer 7 is provided on the metal mesh layer 2 so that the unevenness | corrugation of a metal mesh pattern may be filled. This pressure-sensitive adhesive layer is provided so that the relationship between the thickness H of the metal mesh layer and the thickness T of the thickest portion of the pressure-sensitive adhesive layer satisfies T ≧ H. In the present invention, the “upper surface” means a surface (also a surface facing upward in the drawing) that is in the same direction as the side on which the metal mesh layer is formed with respect to the transparent substrate, and the “lower surface” is The surface opposite to the “upper surface” (also the surface facing downward in the drawing) shall be said.

このように、金属メッシュ層2の厚み(H)よりも十分に厚く(T)粘着剤層を設けることにより、金属メッシュ層2の凹部に流入する粘着剤の量を増大できる。その結果、粘着剤層を形成する際に気泡が凹部に混入したとしても、気泡を溶解および/または分解することができる。その結果、オートクレーブ等で加熱・加圧処理して残留気泡を除去する必要がなくなるため、電磁波遮蔽フィルタを長尺状のフィルムまたはシート形態で連続的に製造でき、生産効率が飛躍的に向上する。また、粘着剤層の厚みTを金属メッシュ層の厚みHよりも大きくすることにより、電磁波遮蔽フィルタに他の光学フィルタを貼着した多機能フィルタの耐衝撃性が向上する。そのため、多機能フィルタを画像表示装置の前面に組み込む場合であっても、別途衝撃吸収フィルム等を介在させる必要がなくなり、コストの低減が図られる。なお、本明細書中、「電磁波」とは、その周波数が30MHz〜1GHzの範囲を中心とするKHz〜GHz帯近辺の電磁波を意味し、赤外線、可視光線、紫外線、X線等は含まれないものとする。
本発明による電磁波遮蔽フィルタの構成につき、以下、詳細に説明する。
As described above, by providing the adhesive layer (T) sufficiently thicker than the thickness (H) of the metal mesh layer 2, the amount of the adhesive flowing into the concave portion of the metal mesh layer 2 can be increased. As a result, even when bubbles are mixed into the recesses when forming the pressure-sensitive adhesive layer, the bubbles can be dissolved and / or decomposed. As a result, it is not necessary to remove residual bubbles by heating and pressurizing with an autoclave or the like, so that the electromagnetic wave shielding filter can be continuously manufactured in the form of a long film or sheet, and the production efficiency is dramatically improved. . Further, by making the thickness T of the pressure-sensitive adhesive layer larger than the thickness H of the metal mesh layer, the impact resistance of the multifunction filter in which another optical filter is attached to the electromagnetic wave shielding filter is improved. For this reason, even when the multi-function filter is incorporated in the front surface of the image display device, it is not necessary to separately provide an impact absorbing film or the like, and the cost can be reduced. In this specification, “electromagnetic wave” means an electromagnetic wave in the vicinity of the KHz to GHz band whose frequency is centered in the range of 30 MHz to 1 GHz, and does not include infrared rays, visible rays, ultraviolet rays, X-rays, and the like. Shall.
The configuration of the electromagnetic wave shielding filter according to the present invention will be described in detail below.

<透明基材>
透明基材1は、可視領域での透明性(光透過性)、耐熱性、機械的強度等の要求物性を考慮して、公知の材料および厚みを適宜選択すればよく、ガラス、セラミックス等の透明無機物の板、または樹脂板など板状体の剛直物でも良い。ただし、生産性に優れるロール・トゥ・ロールでの連続加工適性を考慮すると、フレキシブルな樹脂フィルム(またはシート)が好ましい。なお、ロール・トゥ・ロールとは、巻取(ロール)から巻き出して供給し、適宜加工を施し、その後、巻取に巻き取って保管する加工方式をいう。
<Transparent substrate>
The transparent substrate 1 may be appropriately selected from known materials and thicknesses in consideration of required physical properties such as transparency in the visible region (light transmittance), heat resistance, and mechanical strength. A plate-like rigid body such as a transparent inorganic plate or a resin plate may be used. However, a flexible resin film (or sheet) is preferable in consideration of suitability for continuous processing with a roll-to-roll having excellent productivity. The roll-to-roll refers to a processing method in which the material is unwound and supplied from a winding (roll), appropriately processed, and then wound and stored in the winding.

樹脂フィルム、樹脂板の樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、エチレングリコール−1,4シクロヘキサンジメタノール−テレフタール酸共重合体、エチレングリコール−テレフタール酸−イソフタール酸共重合体などのポリエステル系樹脂、ポリメチルメタクリレートなどのアクリル系樹脂、シクロオレフィン重合体などのポリオレフィン系樹脂、トリアセチルセルロースなどのセルロース系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリイミド系樹脂等である。なかでも、ポリエチレンテレフタレートはその2軸延伸フィルムが耐熱性、機械的強度、光透過性、コスト等の点で好ましい透明基材である。また、透明無機物としては、ソーダ硝子、カリ硝子、硼珪酸硝子、鉛硝子などの硝子、石英、あるいはPLZT等のセラミックス等が挙げられる。   Examples of resins for resin films and resin plates include polyesters such as polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, ethylene glycol-1,4 cyclohexanedimethanol-terephthalic acid copolymer, and ethylene glycol-terephthalic acid-isophthalic acid copolymer. Examples thereof include resins, acrylic resins such as polymethyl methacrylate, polyolefin resins such as cycloolefin polymers, cellulose resins such as triacetyl cellulose, polycarbonate resins, and polyimide resins. Among them, polyethylene terephthalate is a transparent base material whose biaxially stretched film is preferable in terms of heat resistance, mechanical strength, light transmittance, cost, and the like. Examples of the transparent inorganic material include soda glass, potassium glass, borosilicate glass, lead glass and other ceramics, quartz, and ceramics such as PLZT.

透明基材の厚みは基本的には特に制限はなく用途等に応じ適宜選択し、フレキシブルな樹脂フィルムを利用する場合、例えば12〜500μm、好ましくは25〜200μm程度である。樹脂や透明無機物の板を用いる場合、その厚みは、例えば、500〜5000μm程度である。   The thickness of the transparent substrate is basically not particularly limited and is appropriately selected depending on the application. When a flexible resin film is used, it is, for example, about 12 to 500 μm, preferably about 25 to 200 μm. When a resin or transparent inorganic plate is used, the thickness is, for example, about 500 to 5000 μm.

なお、透明基材の樹脂中には、必要に応じて適宜、紫外線吸収剤、着色剤、充填剤、可塑剤、帯電防止剤などの公知の添加剤を添加できる。また、透明基材は、その表面に、コロナ放電処理、プライマー処理などの公知の易接着処理を行ったものでも良い。   In addition, known additives such as an ultraviolet absorber, a colorant, a filler, a plasticizer, and an antistatic agent can be appropriately added to the resin of the transparent substrate as necessary. Further, the transparent substrate may be one obtained by subjecting the surface to a known easy adhesion treatment such as corona discharge treatment or primer treatment.

<金属メッシュ層>
金属メッシュ層は、金属箔がメッシュパターン状に形成されたものであり、金属自体は光を透過させないが、メッシュの開口部を設けたパターンとすることにより、電磁波遮蔽性能と光透過性とを両立させた層である。そして、本発明においては、この金属メッシュ層の表面(図1中の金属メッシュ層の上面)に、厚み0〜13Åの金属酸化皮膜3を有する。なお、1Å=0.1nmである。この金属酸化被膜は、金属メッシュを構成する金属の酸化物からなることが好ましい。金属メッシュを構成する金属としては、特に制限されるものではなく、通常の金属メッシュ材料として用いられている材料、例えば、銅、鉄、ニッケル、クロム、アルミニウム等の金属を使用できる。金属としてアルミニウムを用いると、上記したように、金属メッシュパターンの線幅および厚みを10〜20μm程度以下とした場合に生じる固有の問題、すなわち、アルミニウム箔をケミカルエッチングでアルミニウムパターンとする際の不安定なエッチングと、それによって発生するパターン精度不良の問題がある。まず、その問題について、図2および3を用いて説明する。
<Metal mesh layer>
The metal mesh layer is a metal foil formed in a mesh pattern, and the metal itself does not transmit light, but by using a pattern with mesh openings, electromagnetic shielding performance and light transmission can be achieved. It is a balanced layer. And in this invention, it has the metal oxide film 3 with a thickness of 0 to 13 mm on the surface of this metal mesh layer (the upper surface of the metal mesh layer in FIG. 1). Note that 1Å = 0.1 nm. This metal oxide film is preferably made of a metal oxide constituting a metal mesh. The metal constituting the metal mesh is not particularly limited, and materials used as ordinary metal mesh materials, for example, metals such as copper, iron, nickel, chromium, and aluminum can be used. When aluminum is used as the metal, as described above, the inherent problem that occurs when the line width and thickness of the metal mesh pattern is about 10 to 20 μm or less, that is, the problem when the aluminum foil is formed into an aluminum pattern by chemical etching. There is a problem of stable etching and poor pattern accuracy caused thereby. First, the problem will be described with reference to FIGS.

図2(a)はエッチングによる腐食が進行する前の状態を示し、図2(b)はエッチングによる腐食が進行中の状態を示す。図2(a)および図2(b)では、エッチング液51でレジストパターン52の非形成部の領域において露出しているアルミニウム箔54をエッチングする様子を示す。
図2(a)および図2(b)の場合、アルミニウム層53の上面および下面の都合表裏両面にアルミニウムの酸化皮膜3を有する状態のアルミニウム箔54は、透明基材1の片面に、透明接着剤層4で接着固定され積層されて、これがアルミニウム箔積層体55となっている。
FIG. 2A shows a state before corrosion due to etching progresses, and FIG. 2B shows a state where corrosion due to etching progresses. 2A and 2B show a state in which the aluminum foil 54 exposed in the region where the resist pattern 52 is not formed is etched with the etching solution 51. FIG.
In the case of FIG. 2A and FIG. 2B, the aluminum foil 54 having the aluminum oxide film 3 on both the front and back surfaces of the upper and lower surfaces of the aluminum layer 53 is transparently bonded to one side of the transparent substrate 1. The adhesive layer 4 is adhesively fixed and laminated to form an aluminum foil laminate 55.

そして、図2(b)のように、エッチングが進行すると、レジストパターン52の非形成部でエッチング液51に接触するアルミニウム箔54の露出部分の酸化皮膜3は、露出部の全面で均一にエッチングが進行せず、部分的にエッチングが先行し、この腐食先行部分56からアルミニウム層53のエッチングがなされて行く。この結果、エッチングが完了した状態では、図3の平面図にて概念的に示すように、アルミニウムパターン2のラインには、ギザや断線などのパターン精度不良が多発する。   Then, as shown in FIG. 2B, when etching proceeds, the oxide film 3 on the exposed portion of the aluminum foil 54 that contacts the etching solution 51 in the non-formed portion of the resist pattern 52 is uniformly etched on the entire exposed portion. However, the etching is partially preceded, and the aluminum layer 53 is etched from the corrosion preceding portion 56. As a result, when the etching is completed, pattern accuracy defects such as burrs and disconnections frequently occur in the lines of the aluminum pattern 2 as conceptually shown in the plan view of FIG.

以下、金属メッシュ層材料として、アルミニウムを使用した場合を一例に、電磁波遮蔽フィルタを構成する金属メッシュ層を説明する。   Hereinafter, the metal mesh layer which comprises an electromagnetic wave shielding filter is demonstrated to the case where aluminum is used as a metal mesh layer material as an example.

金属メッシュ層であるアルミニウムパターンには、アルミニウムを主成分とし、アルミニウム純金属の他にアルミニウム合金でもよく、これらを纏めて本発明ではアルミニウムというが、アルミニウムの純度が低いと導電性が低下するので、純度は電磁波遮蔽性能の点では高い方が好ましく、純度が99.0%以上のアルミニウムが好ましい。このような純度が99.0%以上のアルミニウムを利用したアルミニウムパターンは、JIS H4160(アルミニウムおよびアルミニウム合金はく)、JIS H4170(高純度アルミニウムはく)で規定されるアルミニウム箔に準じた箔を利用することで形成できる。   The aluminum pattern, which is a metal mesh layer, is mainly composed of aluminum, and may be aluminum alloy in addition to aluminum pure metal. These are collectively referred to as aluminum in the present invention, but the conductivity decreases when the purity of aluminum is low. The purity is preferably higher in terms of electromagnetic wave shielding performance, and aluminum having a purity of 99.0% or more is preferable. Such an aluminum pattern using aluminum having a purity of 99.0% or more is made of a foil conforming to the aluminum foil defined in JIS H4160 (aluminum and aluminum alloy foil) and JIS H4170 (high purity aluminum foil). It can be formed by using it.

なお、アルミニウムパターンはアルミニウム箔から形成するのではなく、透明基材上にアルミニウムを気相成長法、例えば真空蒸着法で形成したアルミニウム蒸着膜から形成したものを利用しても良い。   The aluminum pattern is not formed from an aluminum foil, but an aluminum pattern formed from an aluminum vapor deposition film formed on a transparent substrate by a vapor phase growth method such as a vacuum vapor deposition method may be used.

アルミニウムパターンの厚みは、電磁波遮蔽性能、加工適性、機械的強度などの点から適宜選択すればよく、具体的には1〜100μm、好ましくは5〜20μm、より好ましくは8〜15μmである。厚みが薄いと電磁波遮蔽性能、機械的強度などが低下し、厚みが厚いと加工適性が低下する。   The thickness of the aluminum pattern may be appropriately selected from the viewpoints of electromagnetic wave shielding performance, processability, mechanical strength, and the like, specifically 1 to 100 μm, preferably 5 to 20 μm, more preferably 8 to 15 μm. If the thickness is thin, electromagnetic wave shielding performance, mechanical strength and the like are lowered, and if the thickness is thick, workability is lowered.

アルミニウムパターンの平面視のパターンの形状は、例えばメッシュ(網目ないし格子)形状、ストライプ(縞ないし平行線群)形状、またはストライプ(螺旋)形状などの電磁波遮蔽性能と光透過性とを両立させた公知のパターンである。なかでもメッシュ形状、それも正方格子形状が代表的であり、この他、格子形状で言えば例えば長方形格子、菱形格子、六角格子、三角格子などがある。メッシュはこれら形状からなる複数の開口部を有し、開口部間は開口部を区画するライン部(線部または線条部)となる。ライン部は通常幅均一でライン状のものであり、また通常は開口部および開口部間は、全て各々同一形状で同一サイズとなる。   As for the shape of the aluminum pattern in plan view, for example, a mesh (mesh or lattice) shape, a stripe (stripe or parallel line group) shape, or a stripe (spiral) shape, etc., is compatible with electromagnetic wave shielding performance and light transmittance. This is a known pattern. Among them, a mesh shape and a square lattice shape are typical, and in addition, examples of the lattice shape include a rectangular lattice, a rhombus lattice, a hexagonal lattice, and a triangular lattice. The mesh has a plurality of openings having these shapes, and the openings are line portions (line portions or line portions) that define the openings. The line portions are usually line-shaped with a uniform width, and usually the openings and the spaces between the openings are all the same shape and the same size.

なお、上記パターンは、ディスプレイ用途では、電磁波遮蔽フィルタの画像表示に影響しない四辺周辺部には、接地用導通の為に開口部を設けないベタパターンか、在っても占有面積比率が小さい接地領域を、開口部を有する内部の画像表示領域の周囲に有することがある。   In addition, in the display application, the above pattern is a solid pattern that does not have an opening for grounding continuity around the four sides that do not affect the image display of the electromagnetic wave shielding filter, or grounding that has a small occupied area ratio. An area may be provided around an internal image display area having an opening.

パターンのライン部のライン幅は例えば5〜50μm、本発明の効果がより際立つ点では、上限は30μm、特に20μmである。また、ライン幅の下限値は、重荷電磁波遮蔽性および機械的強度の観点で適宜調整できるが、好ましくは10μm以上である。ラインの繰り返し周期であるライン間隔(ピッチ)は例えば100〜500μmである。また、開口率(メッシュパターン形成領域の全面積に対する開口部の面積比)は50〜95%とする。   The line width of the line portion of the pattern is, for example, 5 to 50 μm, and the upper limit is 30 μm, particularly 20 μm, from the point that the effect of the present invention is more conspicuous. The lower limit of the line width can be adjusted as appropriate from the viewpoints of heavy electromagnetic wave shielding and mechanical strength, but is preferably 10 μm or more. The line interval (pitch), which is a line repetition period, is, for example, 100 to 500 μm. The aperture ratio (area ratio of the opening to the total area of the mesh pattern formation region) is 50 to 95%.

アルミニウムパターンのパターンを形成するには、透明基材上にアルミニウム箔などパターン形成前のアルミニウム層を積層した後、ケミカルエッチングによって形成できる。ケミカルエッチング時のレジストパターンのパターン形成はフォトリソグラフィー法(パターン露光法)、印刷法などの公知のパターン形成法を適宜選択すればよい。なかでも、フォトリソグラフィー法は印刷法に比べて、電磁波遮蔽フィルタに要求されるライン幅やその均一性など高精度のパターンを安定的に形成できる点で好ましい方法である。   In order to form the pattern of the aluminum pattern, it can be formed by chemical etching after laminating an aluminum layer such as an aluminum foil on the transparent base material before pattern formation. For pattern formation of the resist pattern during chemical etching, a known pattern formation method such as a photolithography method (pattern exposure method) or a printing method may be appropriately selected. Among these, the photolithography method is a preferable method compared to the printing method in that a highly accurate pattern such as a line width required for the electromagnetic wave shielding filter and its uniformity can be stably formed.

アルミニウムパターンをケミカルエッチングする際のエッチング液としては、公知のエッチング液を適宜選択使用すれば良い。例えば、塩化第二鉄を含む酸性のエッチング液である。エッチングは、アルミニウム層の上面のレジストパターン非形成部に於けるアルミニウムの酸化皮膜も含めて行われる。エッチングの前処理として、上面のアルミニウムの酸化皮膜の除去は特に必要ない。そして、レジストパターン形成部に対応した、上面や下面のアルミニウムの酸化皮膜3は、アルミニウムパターン2の上面や下面の酸化皮膜3となって残る。   A known etching solution may be appropriately selected and used as an etching solution for chemically etching the aluminum pattern. For example, an acidic etching solution containing ferric chloride. Etching is performed including an aluminum oxide film in the resist pattern non-formation portion on the upper surface of the aluminum layer. It is not particularly necessary to remove the aluminum oxide film on the upper surface as a pretreatment for etching. Then, the aluminum oxide film 3 on the upper and lower surfaces corresponding to the resist pattern forming portion remains as the oxide film 3 on the upper and lower surfaces of the aluminum pattern 2.

<アルミニウムの酸化皮膜>
アルミニウムの酸化皮膜はアルミニウム酸化物を含む層であり、アルミニウムパターンをアルミニウム箔を利用して形成する場合、アルミニウムの酸化皮膜は箔の上面および下面の表裏両面に存在するが、本発明ではケミカルエッチングでパターン形成する際に、エッチングされる側、つまり上面側について、その厚みを規定する。アルミニウムパターンの少なくとも上面のアルミニウムの酸化皮膜の厚みについて、その上限を13Å、好ましく12Å、より好ましくは10Å、更に好ましくは8Åとする。少なくとも上面のアルミニウムの酸化皮膜の厚みについて、その上限を上記のようにすることで、該酸化皮膜がたとえ存在したままでも、安定したケミカルエッチングが可能となり、アルミニウム層を用いた場合に生じる、ライン部輪郭のギザや断線を防止することができ、銅を安価なアルミニウムに変更したが故のパターン精度不良を回避できる。
<Oxide film of aluminum>
The aluminum oxide film is a layer containing aluminum oxide. When an aluminum pattern is formed using an aluminum foil, the aluminum oxide film exists on both the top and bottom surfaces of the foil. When the pattern is formed, the thickness of the etched side, that is, the upper surface side is defined. The upper limit of the thickness of the aluminum oxide film on at least the upper surface of the aluminum pattern is 13 mm, preferably 12 mm, more preferably 10 mm, and even more preferably 8 mm. By setting the upper limit of the thickness of the aluminum oxide film on at least the upper surface as described above, stable chemical etching is possible even if the oxide film remains present, and a line generated when an aluminum layer is used. It is possible to prevent jaggedness and disconnection of the part outline, and to avoid pattern accuracy defects caused by changing copper to inexpensive aluminum.

ところで、普通に製造されるアルミニウム箔は圧延法で製造され、アルミニウム塊の圧延工程、焼鈍工程を経る箔製造工程、その後の空気中保管など、常温(20℃、50%RH前後)で製造保管することによって、活性なアルミニウムは表面に不可逆的にアルミニウムの酸化皮膜が形成されるが、本発明の様に薄い酸化皮膜とはならずに、より厚みの厚い15Å以上、通常20〜100Å程度の酸化皮膜となる。   By the way, normally manufactured aluminum foil is manufactured by a rolling method, and manufactured and stored at normal temperature (20 ° C., around 50% RH), such as aluminum ingot rolling process, foil manufacturing process through annealing process, and subsequent storage in air. By doing so, an active aluminum irreversibly forms an oxide film of aluminum on the surface. However, it does not become a thin oxide film as in the present invention, but is thicker than 15 mm, usually about 20 to 100 mm. It becomes an oxide film.

また、アルミニウムパターン上面のアルミニウムの酸化皮膜の厚みの下限は、ケミカルエッチングを阻害しない観点からは、0(零)Å、つまり酸化皮膜が存在しなくても良い。ただし、アルミニウムの酸化皮膜は、不動態膜と言われており、アルミニウム箔を加工、搬送、保管する過程中において、アルミニウム箔の内部に(不用意な、望まれない)酸化または腐食が進行することを防止する機能を有するので、この点では2〜3Å程度の、緻密なアルミニウム不動態膜としての酸化皮膜を形成しておいてもよい。   Further, the lower limit of the thickness of the aluminum oxide film on the upper surface of the aluminum pattern is 0 (zero), that is, no oxide film may be present from the viewpoint of not inhibiting chemical etching. However, the oxide film of aluminum is said to be a passive film, and during the process of processing, transporting and storing the aluminum foil, oxidation or corrosion (inadvertently or undesired) proceeds inside the aluminum foil. In this respect, an oxide film as a dense aluminum passivating film having a thickness of about 2 to 3 mm may be formed.

なお、上面にアルミニウムの酸化皮膜が存在しないアルミニウムパターンは、真空中、不活性気体中でパターン形成前のアルミニウム層を透明基材上に形成し、酸化皮膜生成前にアルミニウム層の上面を樹脂被覆し酸化反応を遮断するなどすれば可能である。その後、ケミカルエッチングで所定のパターンを形成すれば、上面にアルミニウムの酸化皮膜が存在しないアルミニウムパターンとなる。   For aluminum patterns that do not have an aluminum oxide film on the upper surface, the aluminum layer before pattern formation is formed on a transparent substrate in vacuum and in an inert gas, and the upper surface of the aluminum layer is coated with a resin before forming the oxide film. This can be achieved by blocking the oxidation reaction. Thereafter, if a predetermined pattern is formed by chemical etching, an aluminum pattern having no aluminum oxide film on the upper surface is obtained.

アルミニウムの酸化皮膜の厚みを上記のような薄い所定の厚みにするには、各種あるが、アルミニウムパターンにアルミニウム箔を利用する場合、アルミニウム箔は圧延法によって作られ、その後、焼鈍して製造されているが、圧延条件や焼鈍条件を調整することで、目的とする厚みに調整できる。   There are various ways to reduce the thickness of the aluminum oxide film as described above, but when aluminum foil is used for the aluminum pattern, the aluminum foil is made by rolling, and then manufactured by annealing. However, it can adjust to the target thickness by adjusting rolling conditions and annealing conditions.

例えば、圧延後のアルミニウム箔の表面に付着している圧延油を焼鈍時に除去する際に、表面が酸化しないように、焼鈍雰囲気のガス組成を制御したり(酸素濃度を低めにする)、アルミニウム箔表面のアルミニウムの酸化皮膜を薬品で除去したりする、といった方法などがある。焼鈍しないという方法もあるが、圧延油は、フォトリソグラフィー法に悪影響を及ぼすため好ましくない。   For example, when removing the rolling oil adhering to the surface of the aluminum foil after rolling during annealing, the gas composition of the annealing atmosphere is controlled so that the surface is not oxidized (the oxygen concentration is lowered), aluminum There are methods such as removing the aluminum oxide film on the foil surface with chemicals. Although there is a method of not annealing, rolling oil is not preferable because it adversely affects the photolithography method.

アルミニウムの酸化皮膜の厚みは、ハンターホール法、蛍光X線分析法の一種であるX線光電子分光法(XPS)により測定することができる。   The thickness of the aluminum oxide film can be measured by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), which is a kind of Hunter Hall method and X-ray fluorescence analysis.

アルミニウムの酸化皮膜は、その箔製造工程からして、箔の表裏両面、つまり上面および下面の両面に通常形成されている。このうち、アルミニウムパターンのパターン形成のためのケミカルエッチングに影響するのは上面の酸化皮膜であるので、本発明では少なくともこの上面のアルミニウムの酸化皮膜について特定の厚み(薄さ)を規定する。なお、下面のアルミニウムの酸化皮膜については、通常は、上面のアルミニウム酸化皮膜に比べてケミカルエッチング時のメッシュ形状ギザ発生への寄与は無視出来る為、パターン精度の点からは特に規定する必要はない。但し、該膜厚が厚すぎると、開口部に残留したアルミニウム酸化皮膜によるメッシュ形状への悪影響も起こり得るし、又開口部の透明性を低下させることも有り得る。この為、下面のアルミニウム酸化皮膜は、好ましくは、可視光線の最小波長380nm未満、更に好ましくは200nm以下とすることが推奨される。例えば、下面のアルミニウム酸化皮膜の膜厚も上面と同様に0〜13Åとする。なお、本発明の1形態として、ケミカルエッチング前の下面のアルミニウム酸化皮膜の膜厚、およびケミカルエッチングの加工条件を調整することにより、パターン開口部に可視光線の最小波長380nm未満(例えば3〜13Å)の膜厚の透明なアルミニウム酸化皮膜を残留させ、ケミカルエッチング時に開口部に露出する透明接着剤層または透明基材を腐食液による着色から保護することも出来る。   The aluminum oxide film is usually formed on both the front and back surfaces of the foil, that is, both the upper surface and the lower surface, from the foil manufacturing process. Among these, since it is the oxide film on the upper surface that affects the chemical etching for pattern formation of the aluminum pattern, the present invention defines a specific thickness (thinness) for at least the aluminum oxide film on the upper surface. Note that the aluminum oxide film on the bottom surface does not need to be specified in terms of pattern accuracy because the contribution to the generation of mesh-shaped burrs during chemical etching is usually negligible compared to the aluminum oxide film on the top surface. . However, if the film thickness is too thick, an adverse effect on the mesh shape due to the aluminum oxide film remaining in the opening may occur, and the transparency of the opening may be reduced. For this reason, it is recommended that the aluminum oxide film on the lower surface is preferably less than the minimum visible light wavelength of 380 nm, more preferably 200 nm or less. For example, the film thickness of the aluminum oxide film on the lower surface is set to 0 to 13 mm similarly to the upper surface. As an embodiment of the present invention, by adjusting the thickness of the aluminum oxide film on the lower surface before chemical etching and the processing conditions for chemical etching, the pattern opening has a minimum wavelength of visible light of less than 380 nm (for example, 3 to 13 mm). A transparent aluminum oxide film having a thickness of) is left, and the transparent adhesive layer or the transparent substrate exposed to the opening during chemical etching can be protected from coloring by the corrosive liquid.

ただ、下面のアルミニウムの酸化皮膜も上面の酸化皮膜と同程度の厚みで存在するとすれば、下面のアルミニウムの酸化皮膜の厚みについても、上記した上面のアルミニウムの酸化皮膜の厚みと同じ規定をすることができる。   However, if the lower surface aluminum oxide film has the same thickness as that of the upper surface oxide film, the thickness of the lower surface aluminum oxide film is defined to be the same as the thickness of the upper surface aluminum oxide film. be able to.

<黒化処理層>
アルミニウムパターンはその表面に黒化処理層を形成してもよい。黒化処理層は、アルミニウムパターンやその表面の酸化皮膜による光反射を抑制することで、外光吸収、画像のコントラスト向上を図る層である。黒化処理層は外光吸収、画像のコントラスト向上が必要な場合に設ける。黒化処理層はアルミニウムパターンの表面、表面に酸化皮膜がある場合はその皮膜表面に設けて、その光反射率を低下させる層である。
<Blackening layer>
The aluminum pattern may have a blackened layer on the surface. The blackening treatment layer is a layer for improving external light absorption and image contrast by suppressing light reflection by the aluminum pattern and the oxide film on the surface. The blackening treatment layer is provided when external light absorption and image contrast improvement are required. When there is an oxide film on the surface or surface of the aluminum pattern, the blackening treatment layer is a layer that is provided on the surface of the film to reduce the light reflectance.

ここで表面は上面、下面、側面などの面をいう。黒化処理して黒化処理層を形成する表面としては、上面のみ、上面と両側側面、下面のみ、上面と両側側面と下面の全ての表面など、要求に応じた面とすれば良いのは公知の黒化処理と同じである。このうち、透明接着剤層存在下で透明接着剤に接する面が下面である。また、電磁波遮蔽フィルタをその上面側を観察者側にして使用するには、少なくとも上面については黒化処理層を形成するのが好ましく、更に好ましくは両側側面、後述画像表示素子側となる下面についても黒化処理層を形成するのがよい。   Here, the surface refers to a surface such as an upper surface, a lower surface, or a side surface. The surface on which the blackening treatment is performed to form the blackening treatment layer may be surfaces according to demand, such as the upper surface only, the upper surface and both side surfaces, the lower surface only, the upper surface, both side surfaces, and the entire lower surface. This is the same as a known blackening process. Among these, the surface in contact with the transparent adhesive in the presence of the transparent adhesive layer is the lower surface. Further, in order to use the electromagnetic wave shielding filter with the upper surface side of the observer side, it is preferable to form a blackening treatment layer on at least the upper surface, more preferably on both side surfaces, and on the lower surface on the image display element side described later. Also, a blackening treatment layer is preferably formed.

黒化処理層としては、電磁波遮蔽フィルタにおいて、公知のものを適宜採用すれば良い。例えば、黒化処理層としては、金属などの無機材料、黒色樹脂などの有機材料などを使用できる。無機材料としては、例えば金属または合金、金属酸化物、金属硫化物などの金属化合物であり、めっき法など公知の黒化処理にて形成することができる。また、黒色樹脂としては例えば黒色の着色剤を樹脂中に含有させた層として形成できる。   As the blackening treatment layer, any known electromagnetic shielding filter may be adopted as appropriate. For example, as the blackening treatment layer, an inorganic material such as a metal, an organic material such as a black resin, or the like can be used. The inorganic material is, for example, a metal compound such as a metal or an alloy, a metal oxide, or a metal sulfide, and can be formed by a known blackening process such as a plating method. Moreover, as black resin, it can form as a layer which contained the black coloring agent in resin, for example.

<粘着剤層>
粘着剤層7は、電磁波遮蔽フィルタを他の光学部材と貼り合わせる機能を有する他、導電パターン層の凹凸を埋めて平坦化させる機能、耐衝撃(衝撃吸収)機能も合わせもつ。粘着剤層の厚さは、層の最厚部分、すなわち図1の開口部分が40μm以上となるように形成される。粘着剤層を構成する粘着剤としては、アクリル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、熱可塑性ポリエステル樹脂、ゴム等が使用できる。その他、熱硬化性樹脂や電離放射線硬化性樹脂を使用することもできる。
<Adhesive layer>
The pressure-sensitive adhesive layer 7 has a function of bonding the electromagnetic wave shielding filter to another optical member, and also has a function of filling the unevenness of the conductive pattern layer and flattening, and an impact resistance (impact absorption) function. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is formed so that the thickest portion of the layer, that is, the opening portion in FIG. 1 is 40 μm or more. As the pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-sensitive adhesive layer, acrylic resin, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, thermoplastic polyester resin, rubber and the like can be used. In addition, thermosetting resins and ionizing radiation curable resins can also be used.

また、粘着剤層には、表示装置の発光色を色調補正するため、または近赤外線等を吸収するため、近赤外線吸收剤、紫外線吸收剤、ネオン光吸收剤、各種着色色素、帯電防止剤等を含有させることができる。   In addition, the pressure-sensitive adhesive layer has a near-infrared absorbing agent, an ultraviolet absorbing agent, a neon light absorbing agent, various coloring pigments, an antistatic agent, etc. for correcting the color tone of the display device or absorbing near infrared rays. Can be contained.

粘着剤層の形成方法は、流動性のある粘着剤を、導電パターン層の凹凸を充填するように直接塗工する。あるいは、別途、離型基材上に予め粘着剤層を塗工形成した転写シートを用意し、導電パターン層上に転写シートの粘着剤層面を接着し、その後に離型基材を剥離する転写法を採用して粘着剤層を形成してもよい。なお、流動性とは、Newton粘性には限らず、ダイラタンシーあるいはティキソトロピーの非Newton粘性であってもよい。粘度についても導電パターン層の凹凸を充填し得るに足る粘度であればよく、塗工または転写(粘着剤層を転写で形成する場合)時の加工条件や凹凸の程度に応じて適宜調整する。   The pressure-sensitive adhesive layer is formed by directly applying a fluid pressure-sensitive adhesive so as to fill the irregularities of the conductive pattern layer. Alternatively, a transfer sheet in which a pressure-sensitive adhesive layer is previously formed on a release substrate is prepared, the pressure-sensitive adhesive layer surface of the transfer sheet is adhered onto the conductive pattern layer, and then the release substrate is peeled off. The pressure-sensitive adhesive layer may be formed using a method. The fluidity is not limited to Newtonian viscosity, but may be dilatancy or thixotropic non-Newtonian viscosity. The viscosity may be a viscosity sufficient to fill the unevenness of the conductive pattern layer, and is appropriately adjusted according to the processing conditions and the degree of unevenness during coating or transfer (when the pressure-sensitive adhesive layer is formed by transfer).

粘着剤の塗工法としては、ロールコート、グラビアロールコート、バーコート、カーテンフローコート、ダイコート、コンマコート、スプレーコート等を好適に採用できる。   As a method for applying the pressure-sensitive adhesive, roll coating, gravure roll coating, bar coating, curtain flow coating, die coating, comma coating, spray coating, and the like can be suitably employed.

また、粘着剤層を形成する際、導電パターン層に形成した粘着剤層がその時点において流動性を有する場合は、その状態のままで、また粘着剤層がその時点において流動性がほとんどない場合は、粘着剤層を加熱し、軟化または溶融等の方法により流動化させる。次いで、流動性の粘着剤層を導電パターン層の凹凸内に充填させ、凹凸内の空気と置換させる。なお、この過程の間、粘着剤層の導電パターン側とは反対側面は、転写法の場合であれば転写シートの剥離基材の平坦面と、直接塗工法の場合であれば別途用意した鏡面板等の平坦面と、接触、加圧し、粘着剤層の変形を規制する。   Also, when forming the pressure-sensitive adhesive layer, if the pressure-sensitive adhesive layer formed on the conductive pattern layer has fluidity at that time, it remains in that state, and the pressure-sensitive adhesive layer has little fluidity at that time , The pressure-sensitive adhesive layer is heated and fluidized by a method such as softening or melting. Next, the fluid pressure-sensitive adhesive layer is filled in the irregularities of the conductive pattern layer, and is replaced with the air in the irregularities. During this process, the side opposite to the conductive pattern side of the adhesive layer is the flat surface of the release substrate of the transfer sheet in the case of the transfer method, and a separately prepared mirror in the case of the direct coating method. A flat surface such as a face plate is brought into contact with and pressed to regulate deformation of the adhesive layer.

転写シートに用いられる離型基材としては、特に制限されるものではないが、適度な強度と応力に対する寸法安定性(弾性率)、耐熱性(特に転写時に過熱する場合)、および表面平滑性の高いものを選択することが好ましい。また、転写層との剥離性(離型性ともいう)を確保する為に、転写層側に離型層を形成することが好ましい。例えば、厚さ20〜100μm程度の樹脂シート、または坪量20〜100g/mの紙が用いられる。樹脂シートとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル樹脂シートや、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン樹脂シートが挙げられる。紙としては上質紙、パーチメント紙、グラシン紙、硫酸紙等で地合のできるだけ均一なものが用いられる。 The release substrate used for the transfer sheet is not particularly limited, but has dimensional stability (elastic modulus) against moderate strength and stress, heat resistance (especially when overheating during transfer), and surface smoothness. It is preferable to select one having a high value. Further, in order to ensure releasability (also referred to as releasability) from the transfer layer, it is preferable to form a release layer on the transfer layer side. For example, a resin sheet having a thickness of about 20 to 100 μm or paper having a basis weight of 20 to 100 g / m 2 is used. Examples of the resin sheet include polyester resin sheets such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, and polyolefin resin sheets such as polypropylene and polymethylpentene. As the paper, high quality paper, parchment paper, glassine paper, sulfuric acid paper or the like that is as uniform as possible is used.

離型層は、離型基材自体では転写層との剥離性が不足する場合に形成される。離型層は、基材シートとの密着性が高く、かつ転写層との剥離性の高い材料を選定する。剥離層の材料としては、メラミン樹脂、シリコン樹脂、ポリオレフィン樹脂等が用いられる。必要に応じて、これにワックス、フッ素樹脂等からなる離型剤を添加する。離型層の厚さは、通常、0.1〜5μm程度である。   The release layer is formed when the release substrate itself has insufficient peelability from the transfer layer. For the release layer, a material having high adhesion to the base sheet and high releasability from the transfer layer is selected. As a material for the release layer, melamine resin, silicon resin, polyolefin resin, or the like is used. If necessary, a release agent made of wax, fluororesin or the like is added thereto. The thickness of the release layer is usually about 0.1 to 5 μm.

<透明接着剤層>
透明接着剤層4は、アルミニウムパターンを透明基材に固定するための層であり、例えば、アルミニウムパターンをアルミニウム箔から形成する場合に、アルミニウム箔を透明基材に接着固定するために使用される。なお、透明接着剤層は、アルミニウムパターンをアルミニウム蒸着で透明基材上に直接積層したアルミニウム層から形成する場合では省略できる。
<Transparent adhesive layer>
The transparent adhesive layer 4 is a layer for fixing the aluminum pattern to the transparent substrate. For example, when the aluminum pattern is formed from an aluminum foil, the transparent adhesive layer 4 is used for bonding and fixing the aluminum foil to the transparent substrate. . In addition, a transparent adhesive bond layer can be abbreviate | omitted when forming from the aluminum layer which laminated | stacked the aluminum pattern directly on the transparent base material by aluminum vapor deposition.

透明接着剤層としては、アルミニウムパターンの開口部による光透過性を阻害しないように、透明な接着剤であればよく、公知の透明な接着剤を適宜使用すればよい。例えば、ウレタン系接着剤、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、ゴム系接着剤などである。なかでも、ウレタン系接着剤、例えば2液硬化型ウレタン系接着剤は、接着力などの点で好ましい。2液硬化型ウレタン系接着剤としては、ポリオールを主剤とし、これに硬化剤としてポリイソシアネート化合物を用いた接着剤を使用できる。ポリオールは、例えば、アクリルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリウレタンポリオール、ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリウレタンポリオールなどである。また、ポリイソシアネート化合物は、例えば、トリレンジイソシアネート系、キシリレンジイソシアネート系、ヘキサメチレンジイソシアネート系などである。ポリオール、ポリイソシアネートは、各々複数種使用してもよい。   The transparent adhesive layer may be a transparent adhesive so as not to impair the light transmission through the openings of the aluminum pattern, and a known transparent adhesive may be used as appropriate. For example, urethane adhesive, acrylic adhesive, epoxy adhesive, rubber adhesive, and the like. Among these, urethane adhesives, for example, two-component curable urethane adhesives are preferable in terms of adhesive strength. As the two-component curable urethane-based adhesive, an adhesive using a polyol as a main agent and a polyisocyanate compound as a curing agent can be used. Examples of the polyol include acrylic polyol, polyester polyol, polyurethane polyol, polyether polyol, and polyester polyurethane polyol. Examples of the polyisocyanate compound include tolylene diisocyanate, xylylene diisocyanate, and hexamethylene diisocyanate. A plurality of polyols and polyisocyanates may be used.

透明接着剤層は、透明な接着剤をアルミニウム箔、透明基材のいずれかまたは両方に公知の形成法によって施した後、これらを接着剤を介する様に積層することで形成できる。形成法は、上記した塗工法や印刷法などを挙げることができる。   The transparent adhesive layer can be formed by applying a transparent adhesive to one or both of an aluminum foil and a transparent substrate by a known forming method, and then laminating them through the adhesive. Examples of the forming method include the coating method and the printing method described above.

<多機能フィルタ>
図4は、多機能フィルタの一形態を示す断面図を示したものである。多機能フィルタ20は、上記した電磁波遮蔽フィルタに更に光学フィルタを積層し、電磁波遮蔽機能と共に光学フィルタ機能を備えたフィルタである。図4はこのような、多機能フィルタ20の一形態を示す断面図であり、電磁波遮蔽フィルタ10の片面に光学フィルタ5が直接積層された構成のフィルタである。
<Multi-function filter>
FIG. 4 is a cross-sectional view showing one embodiment of the multifunction filter. The multi-function filter 20 is a filter having an optical filter function as well as an electromagnetic wave shielding function by further laminating an optical filter on the above-described electromagnetic wave shielding filter. FIG. 4 is a cross-sectional view showing one embodiment of such a multifunction filter 20, which is a filter having a configuration in which the optical filter 5 is directly laminated on one surface of the electromagnetic wave shielding filter 10.

積層面は電磁波遮蔽フィルタ10の何れかの片面の他、両面でもよいが、積層面が片面の場合、粘着剤層の上面側の面に設けることにより、いわゆる直貼りの多機能フィルタとすることができる。この場合、上記したように粘着剤層が所定の厚みを有しているため、耐衝撃性も併せもつことができる。   The laminated surface may be either one or both sides of the electromagnetic wave shielding filter 10, but when the laminated surface is a single side, a so-called direct-attached multifunction filter is provided by providing it on the surface on the upper surface side of the adhesive layer. Can do. In this case, since the pressure-sensitive adhesive layer has a predetermined thickness as described above, it can also have impact resistance.

電磁波遮蔽フィルタに更に光学フィルタを積層した多機能フィルタとすることによって、電磁波遮蔽機能と共に光学フィルタ機能も備えた多機能化がなされ、透明基材の共通化、フィルタの薄型化が可能となり、ひいては低コスト化も可能となる。   By making a multi-function filter in which an optical filter is further laminated on an electromagnetic wave shielding filter, the multi-functionality is provided with an optical filter function as well as an electromagnetic wave shielding function, making it possible to share a transparent base material and reduce the thickness of the filter. Cost reduction is also possible.

<光学フィルタ>
光学フィルタ5としては、光学フィルタ機能を有する公知の光学フィルタを適宜選択すればよい。光学フィルタ機能としては、例えば、近赤外線を吸収する近赤外線吸収機能、紫外線を吸収する紫外線吸収機能、プラズマディスプレイのネオン光を吸収するネオン光吸収機能、表示画像を好みの色調に補正する色補正機能などの特定光透過機能、反射防止機能(防眩、反射防止、防眩および反射防止のいずれか)、あるいは特開2007−272161号公報に記載の外光反射防止によるコントラスト向上機能を有する薄膜微小ルーバなどである。
<Optical filter>
As the optical filter 5, a known optical filter having an optical filter function may be appropriately selected. Optical filter functions include, for example, a near-infrared absorption function that absorbs near-infrared light, an ultraviolet absorption function that absorbs ultraviolet light, a neon light absorption function that absorbs neon light from a plasma display, and color correction that corrects the display image to a desired color tone. A thin film having a specific light transmission function such as a function, an antireflection function (any of antiglare, antireflection, antiglare and antireflection), or a contrast enhancement function by antireflection of external light described in JP-A-2007-272161 It is a minute louver.

光学フィルタ5は、上記した、近赤外線吸収機能、反射防止機能、コントラスト向上機能などの各種光学フィルタ機能のうち1機能または2機能以上を備える。   The optical filter 5 has one function or two or more functions among various optical filter functions such as the above-described near-infrared absorption function, antireflection function, and contrast enhancement function.

これら各種の光学フィルタ機能は、例えば、近赤外線吸収機能、ネオン光吸収機能、色補正機能などは、これら機能に応じた色素(近赤外線吸収色素、ネオン光吸収色素、色補正色素)を用い、紫外線吸収機能は紫外線吸収剤を用いるなど、公知の材料・方法で実現できる。例えば、これら材料を樹脂中に分散させた樹脂層を光学フィルタ層として、公知の塗工法、押出法などで形成することができる。また、樹脂層は単層または多層構成によって、複数機能を兼用することができる。   These various optical filter functions, for example, near infrared absorption function, neon light absorption function, color correction function, etc., using dyes corresponding to these functions (near infrared absorption dye, neon light absorption dye, color correction dye), The ultraviolet absorbing function can be realized by a known material / method such as using an ultraviolet absorber. For example, a resin layer in which these materials are dispersed in a resin can be formed as an optical filter layer by a known coating method, extrusion method, or the like. In addition, the resin layer can be used for a plurality of functions depending on a single layer or a multilayer structure.

また、反射防止機能なども含めて光学フィルタ機能を担う光学フィルタ層は、適宜透明基材に積層して光学フィルタとすることもある。なお、ここでの透明基材としては、前述電磁波遮蔽フィルタの透明基材で列記した材料を使用できる。   Further, the optical filter layer having an optical filter function including an antireflection function may be appropriately laminated on a transparent substrate to form an optical filter. In addition, as a transparent base material here, the material listed with the transparent base material of the above-mentioned electromagnetic wave shielding filter can be used.

<その他の層>
上記した電磁波遮蔽フィルタ、多機能フィルタには、更にその他の層、例えば、アルミニウムパターンの上面側の凹凸を平坦化する平坦化樹脂層、表面を保護する表面保護層、ハードコート層、汚染防止機能層、帯電防止機能層、粘着剤層などの、これらのフィルタにおいて公知の層を積層することができる。これらの層は、兼用することができる。
<Other layers>
The electromagnetic wave shielding filter and the multi-function filter described above include other layers such as a flattening resin layer for flattening the unevenness on the upper surface side of the aluminum pattern, a surface protective layer for protecting the surface, a hard coat layer, and a contamination prevention function. In these filters, known layers such as a layer, an antistatic functional layer, and an adhesive layer can be laminated. These layers can be combined.

<画像表示装置>
本発明の画像表示装置は、上記した電磁波遮蔽フィルタまたは多機能フィルタを前面に配置した画像表示装置であり、より具体的には上記した電磁波遮蔽フィルタまたは多機能フィルタを画像表示素子の観察者側に配置した表示装置である。なお、前面とは画像表示装置の観察者側面である。また、配置は公知の形態によればよい。
<Image display device>
The image display device of the present invention is an image display device in which the above-described electromagnetic wave shielding filter or multi-functional filter is disposed on the front surface, and more specifically, the above-described electromagnetic wave shielding filter or multi-functional filter is disposed on the observer side of the image display element. It is the display device arranged in. The front surface is the observer side of the image display device. Moreover, arrangement | positioning should just follow a well-known form.

このような画像表示装置とすることによって、その低コスト化が可能となり、画像表示装置の普及促進を図れる。   By using such an image display device, the cost can be reduced, and the spread of the image display device can be promoted.

画像表示素子としては、プラズマディスプレイパネル(PDPともいう)、陰極線管(CRTともいう)、液晶表示素子(LCDともいう)、電界発光素子(ELともいう)などで、電磁波が発生する表示素子である。例えば、PDPでは、30MHz〜1GHzの帯域の不要な電磁波が発生する。   Examples of image display elements include plasma display panels (also referred to as PDPs), cathode ray tubes (also referred to as CRTs), liquid crystal display elements (also referred to as LCDs), electroluminescent elements (also referred to as ELs), and display elements that generate electromagnetic waves. is there. For example, in PDP, unnecessary electromagnetic waves in a band of 30 MHz to 1 GHz are generated.

電磁波遮蔽フィルタまたは多機能フィルタを、画像表示素子の観察者側に配置する配置形態には、大別して、電磁波遮蔽フィルタまたは多機能フィルタを画像表示素子の観察者側の面に空間を介さず、但し通常は接着剤層を介して、直接積層して配置する形態〔図5(a)〕と、電磁波遮蔽フィルタまたは多機能フィルタを空間を介して画像表示素子の観察者側に配置する形態〔図5(b)〕とがある。   The arrangement form in which the electromagnetic wave shielding filter or the multi-function filter is arranged on the observer side of the image display element is roughly divided into the electromagnetic wave shielding filter or the multi-function filter on the observer side surface of the image display element without a space, However, usually, a configuration in which layers are directly laminated via an adhesive layer (FIG. 5A), and a configuration in which an electromagnetic wave shielding filter or a multifunction filter is disposed on the observer side of the image display element through a space [ FIG. 5 (b)].

図5(a)に示す直接積層して配置する形態の画像表示装置40は、電磁波遮蔽フィルタ10または多機能フィルタ20を、画像表示素子30の観察者側の面に空隙を空けずに直接に積層した表示装置となっている。電磁波遮蔽フィルタ10または多機能フィルタ20を画像表示素子30の観察者側の面に直貼りすることによって得ることができる。その際、必要に応じて透明な接着剤を介して積層する。接着剤(含む粘着剤)は電磁波遮蔽フィルタ10または多機能フィルタ20の一部として備えられた接着剤層、または積層時にこれらの間に適用したものなど公知のもので良い。透明な接着剤には、上記した透明接着剤層で列記した接着剤などを使用できる。   The image display device 40 in the form of being directly laminated as shown in FIG. 5A directly connects the electromagnetic wave shielding filter 10 or the multi-function filter 20 without leaving a gap on the surface of the image display element 30 on the viewer side. It is a laminated display device. The electromagnetic wave shielding filter 10 or the multifunction filter 20 can be obtained by directly pasting the image display element 30 on the surface on the viewer side. In that case, it laminates | stacks through a transparent adhesive agent as needed. The adhesive (including the pressure-sensitive adhesive) may be a known one such as an adhesive layer provided as a part of the electromagnetic wave shielding filter 10 or the multi-function filter 20, or an adhesive layer applied between the layers. As the transparent adhesive, the adhesive listed in the transparent adhesive layer described above can be used.

一方、図5(b)に示す空間を介して配置する形態の画像表示装置40の場合は、一旦、電磁波遮蔽フィルタ10または多機能フィルタ20を透明基板6の面に直接積層した板状積層体21としたものを、画像表示素子20の観察者側に空間を空けて配置したものである。   On the other hand, in the case of the image display device 40 arranged in a space shown in FIG. 5B, a plate-like laminate in which the electromagnetic wave shielding filter 10 or the multifunction filter 20 is once laminated directly on the surface of the transparent substrate 6. 21 is arranged with a space on the viewer side of the image display element 20.

なお、図5(b)の様に、電磁波遮蔽フィルタ10または多機能フィルタ20を空間を空けて配置する形態では、これら電磁波遮蔽フィルタ10または多機能フィルタ20が剛直な板状体ではなくシートまたはフィルム状でフレキシブルで形状維持ができないときに、透明基板6と積層した板状積層体21とすることで、形状維持ができるようになる点で好適である。また、板状積層体21において、図5(b)に例示の形態では、電磁波遮蔽フィルタ10または多機能フィルタ20は透明基板6に対して観察者側の面に積層してあるが、この逆に、画像表示素子側の面に積層したものでもよい。   As shown in FIG. 5B, in the form in which the electromagnetic wave shielding filter 10 or the multi-function filter 20 is disposed with a space therebetween, the electromagnetic wave shielding filter 10 or the multi-function filter 20 is not a rigid plate-like body but a sheet or When the film shape is flexible and the shape cannot be maintained, the plate-like laminate 21 laminated with the transparent substrate 6 is preferable in that the shape can be maintained. Further, in the plate-like laminate 21, in the form illustrated in FIG. 5B, the electromagnetic wave shielding filter 10 or the multifunction filter 20 is laminated on the surface on the viewer side with respect to the transparent substrate 6. Further, it may be laminated on the surface on the image display element side.

<透明基板>
電磁波遮蔽フィルタ10または多機能フィルタ20と、画像表示素子30との間に介在する透明基板6としては、形状維持可能な板状体、例えば、ガラス、セラミックスなどの無機板、樹脂板などが使用できる。樹脂板の樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル系樹脂、ポリメチルメタクリレートなどのアクリル系樹脂、シクロオレフィン重合体などのポリオレフィン系樹脂、トリアセチルセルロースなどのセルロース系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリイミド系樹脂等である。透明基板の樹脂中には、必要に応じて適宜、紫外線吸収剤、着色剤、充填剤、可塑剤、帯電防止剤などの公知の添加剤を添加できる。
<Transparent substrate>
As the transparent substrate 6 interposed between the electromagnetic wave shielding filter 10 or the multifunction filter 20 and the image display element 30, a plate-like body capable of maintaining the shape, for example, an inorganic plate such as glass or ceramic, a resin plate, or the like is used. it can. Examples of the resin for the resin plate include polyester resins such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, acrylic resins such as polymethyl methacrylate, polyolefin resins such as cycloolefin polymers, cellulose resins such as triacetyl cellulose, and polycarbonate. Resin, polyimide resin and the like. In the resin of the transparent substrate, known additives such as an ultraviolet absorber, a colorant, a filler, a plasticizer, and an antistatic agent can be appropriately added as necessary.

本発明による電磁波遮蔽フィルタは、画像表示装置の前面フィルタとして好適に用いられるが、その他の用途にも適用できることは言うまでもない。例えば、住宅、事務所、店舗、病院、学校等の建築物の窓、電子レンジ等の各種家電製品の窓、車両、船舶、航空機等の乗り物の窓等の光透過性が要求される部位の電磁波遮蔽用途にも使用できる。   The electromagnetic wave shielding filter according to the present invention is suitably used as a front filter of an image display device, but it goes without saying that it can be applied to other applications. For example, in windows where buildings such as houses, offices, stores, hospitals, schools, etc., windows of various household appliances such as microwave ovens, and windows of vehicles such as vehicles, ships, aircrafts, etc. where light transmission is required It can also be used for electromagnetic shielding applications.

本発明による電磁波遮蔽フィルタを、実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明がこれら実施例により限定されるものではない。   The electromagnetic wave shielding filter according to the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

製造例1
先ず、アルミニウムパターンとする金属箔として、厚み12μmの連続帯状の圧延アルミニウム箔を用意した。このアルミニウム箔の表面の酸化皮膜の厚みを測定したところ、上面下面とも8Åであった。また、透明基材として、片面にポリエステル樹脂系プライマー層が形成された、連続帯状の無着色透明な厚み100μmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを用意した。
Production Example 1
First, a continuous strip-shaped rolled aluminum foil having a thickness of 12 μm was prepared as a metal foil for an aluminum pattern. When the thickness of the oxide film on the surface of this aluminum foil was measured, it was 8 mm on both the upper and lower surfaces. Further, as a transparent substrate, a continuous belt-like uncolored transparent biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a polyester resin primer layer formed on one side was prepared.

次いで、上記透明基材のプライマー層面と、上記アルミニウム箔の光沢面とを、透明な2液硬化型ウレタン樹脂系接着剤(主剤として平均分子量3万のポリエステルポリウレタンポリオール12質量部に対して、硬化剤としてキシリレンジイソシアネート系プレポリマー1質量部を含む)でドライラミネートした後、50℃で3日間養生して、アルミニウム箔と透明基材間に厚み7μmの透明接着剤層を有する連続帯状のアルミニウム箔積層シートを得た。   Next, the primer layer surface of the transparent substrate and the glossy surface of the aluminum foil are cured with respect to 12 parts by mass of a transparent two-component curable urethane resin-based adhesive (polyester polyurethane polyol having an average molecular weight of 30,000 as a main component). (Including 1 part by mass of xylylene diisocyanate-based prepolymer as an agent) and then cured at 50 ° C. for 3 days to form a continuous strip of aluminum having a 7 μm thick transparent adhesive layer between the aluminum foil and the transparent substrate. A foil laminated sheet was obtained.

次いで、上記アルミニウム箔積層シートのアルミニウム箔に対して、フォトリソグラフィー法を利用したケミカルエッチング処理を行い、開口部およびライン部とから成るメッシュ状領域、およびメッシュ状領域を囲繞する外縁部に額縁状の開口部非形成の接地用領域を有するアルミニウムパターンを形成した。   Next, the aluminum foil of the aluminum foil laminated sheet is subjected to a chemical etching process using a photolithography method to form a mesh-like region composed of an opening and a line portion, and a frame shape on the outer edge surrounding the mesh-like region. An aluminum pattern having a grounding region with no opening was formed.

上記エッチングは、具体的には、カラーTVシャドウマスク用の製造ラインを利用して、連続帯状の上記積層シートに対して、マスキングからエッチングまでを一貫して行った。すなわち、上記積層シートのアルミニウム箔面全面に感光性のエッチングレジストを塗布後、所望のメッシュパターンを密着露光し、現像、硬膜処理、ベーキングして、メッシュの開口部に相当する領域上にレジスト層が非形成となったレジストパターンを形成した後、レジスト層非形成部のアルミニウム箔を、塩化第二鉄を含む酸性水溶液のエッチング液でエッチングして除去して、メッシュ状の開口部を有したアルミニウムパターンを形成し、次いで、水洗、レジスト剥離、洗浄、乾燥を順次行った。   Specifically, the etching was consistently performed from masking to etching on the continuous belt-like laminated sheet using a production line for a color TV shadow mask. That is, after applying a photosensitive etching resist on the entire surface of the aluminum foil of the laminated sheet, a desired mesh pattern is closely exposed, developed, hardened, and baked to form a resist on the area corresponding to the mesh opening. After forming the resist pattern in which the layer is not formed, the aluminum foil in the resist layer non-formed part is removed by etching with an acid aqueous etchant containing ferric chloride to have a mesh-like opening. An aluminum pattern was formed, and then washing with water, stripping of the resist, washing, and drying were sequentially performed.

メッシュ状領域(画像表示領域)のメッシュの形状は、その開口部が正方形で非開口部となる線状のライン部のライン幅は20μm、そのライン間隔(ピッチ)は300μm、ライン部の高さは12μm、長方形の枚葉シートに切断した場合に、ライン部と長方形の長辺とが構成する劣角として定義されるバイアス角度は49度であった。   The mesh shape of the mesh area (image display area) is such that the line width of the linear line portion whose opening is a square and non-opening is 20 μm, the line interval (pitch) is 300 μm, and the height of the line portion. When cut into a rectangular sheet of 12 μm, the bias angle defined as the minor angle formed by the line portion and the long side of the rectangle was 49 degrees.

このようにして、幅寸法605mmの電磁波遮蔽フィルタの中間体を得て、ロール状に巻き取った。得られたロール状の、電磁波遮蔽フィルタの中間体を、ロール・トウ・ロールで連続的に黒化処理装置に供給し、中間体のアルミニウムパターン面に対してニッケル化合物の黒化処理層を形成した。   Thus, the intermediate body of the electromagnetic wave shielding filter of width dimension 605mm was obtained, and it wound up in roll shape. The obtained roll-shaped electromagnetic shielding filter intermediate is continuously supplied to the blackening device using rolls, tows, and rolls, and a nickel compound blackening layer is formed on the aluminum pattern surface of the intermediate. did.

続いて、黒化処理層を形成したアルミニウムメッシュ面上に、メッシュパターンの凹凸を埋めるように、粘着剤層を設けた。先ず、PETフィルムからなる離型フィルム上に形成された厚み25μm、40μm、50μmの粘着剤層(巴川製紙所製、品名:TD06A)を、それぞれ一定のギャップで固定されたゴムロールと金属ロールの間に通し、上記で得られたアルミニウムメッシュのパターン層上に押し付けて貼り合わせることにより、電磁波遮蔽フィルタを得た。   Subsequently, an adhesive layer was provided on the aluminum mesh surface on which the blackening treatment layer was formed so as to fill the irregularities of the mesh pattern. First, a 25 μm, 40 μm, and 50 μm thick adhesive layer (product name: TD06A, manufactured by Yodogawa Paper Mill) formed on a release film made of PET film is fixed between a rubber roll and a metal roll, each fixed with a certain gap. Then, an electromagnetic wave shielding filter was obtained by pressing and pasting onto the aluminum mesh pattern layer obtained above.

<粘着剤層の充填度の評価>
得られた電磁波遮蔽フィルタについて、粘着剤層の埋め込み評価を行った。蛍光灯の光を電磁波遮蔽フィルタを介して観察し、電磁波遮蔽フィルタの透明度を目視により評価した。また、A4サイズの電磁波遮蔽フィルタのメッシュパターンの任意の縦横各3列を顕微鏡(倍率100倍)により観察した。
結果は、下記表1に示される通りであった。
<Evaluation of filling degree of adhesive layer>
About the obtained electromagnetic wave shielding filter, embedding evaluation of the adhesive layer was performed. The light of the fluorescent lamp was observed through an electromagnetic wave shielding filter, and the transparency of the electromagnetic wave shielding filter was visually evaluated. Further, arbitrary three rows each in the vertical and horizontal directions of the mesh pattern of the A4 size electromagnetic wave shielding filter were observed with a microscope (100 times magnification).
The results were as shown in Table 1 below.

Figure 2010080693
Figure 2010080693

表1に示されるように、目視評価において、T≧Hを満たさない、粘着剤層の厚みが10μmの電磁波遮蔽フィルタは、白濁して透過光がぼやけるように見えたのに対し、厚さ50μmの粘着剤層を用いた電磁波遮蔽フィルタは、その全面が透明であった(総合評価において、この状態を○と表記)。また、顕微鏡観察の結果、気泡の存在は確認できず、一様に接着剤が充填されていた(総合評価において、この状態を○と表記)。   As shown in Table 1, in the visual evaluation, the electromagnetic wave shielding filter having a pressure-sensitive adhesive layer thickness of 10 μm that does not satisfy T ≧ H appeared to be clouded and the transmitted light was blurred, whereas the thickness was 50 μm. The entire surface of the electromagnetic wave shielding filter using the pressure-sensitive adhesive layer was transparent (in the comprehensive evaluation, this state was indicated as ◯). Further, as a result of microscopic observation, the presence of bubbles could not be confirmed, and the adhesive was uniformly filled (in the comprehensive evaluation, this state is indicated as “◯”).

また、厚さ25、40μmの粘着剤層を用いた電磁波遮蔽フィルタは、目視評価において、一部白濁部分があり(この状態を△と表記)、顕微鏡観察においては、メッシュパターンの格子に沿って、粘着剤未充填部とみられる気泡が散見されたが、いずれも実用上許容できる範囲と判断された(この状態を△と表記)。   Further, the electromagnetic wave shielding filter using the adhesive layer having a thickness of 25 or 40 μm has a part of cloudiness in visual evaluation (this state is expressed as Δ), and in microscopic observation, along the mesh pattern lattice. Although air bubbles seemed to be unfilled parts were found, all were judged to be practically acceptable (this state is expressed as Δ).

一方、厚さ10μmの粘着剤層を用いた電磁波遮蔽フィルタは、目視評価において、全面に白濁が認められ(この状態を×と表記)、また、顕微鏡観察においても全面に気泡が分布し、かつライン部に沿って粘着剤の未充填部が連続して分布しており(この状態を×と表記)、実用上許容不可と判断した。   On the other hand, in the electromagnetic wave shielding filter using the 10 μm thick adhesive layer, white turbidity is recognized on the entire surface in visual evaluation (this state is expressed as “X”), and bubbles are distributed on the entire surface in microscopic observation, and The unfilled part of the adhesive was continuously distributed along the line part (this state is expressed as “x”), and it was determined that it was practically unacceptable.

製造例2
製造例1の、粘着剤層の厚みを50μmにした電磁波遮蔽フィルタについて、アルミニウム箔の表面酸化皮膜の厚みが15Åのものを使用した以外は同様にして電磁波遮蔽フィルタを得た。
製造例1の電磁波遮蔽フィルタのアルミニウムパターンのパターン精度は、メッシュのライン幅のバラツキは4.5μmであり、面ムラは外観上問題はなく、また、表面抵抗値のバラツキもほとんどなかった。これに対し、製造例2の電磁波遮蔽フィルタは、メッシュのラインに断線が多発し(ライン幅のバラツキ20μm以上)、外観的にも目視で面ムラが目立ち、また表面抵抗値が大きくばらついた。
Production Example 2
An electromagnetic wave shielding filter was obtained in the same manner as in Production Example 1 except that an electromagnetic wave shielding filter having a pressure-sensitive adhesive layer thickness of 50 μm was used with a surface oxide film of aluminum foil having a thickness of 15 mm.
As for the pattern accuracy of the aluminum pattern of the electromagnetic wave shielding filter of Production Example 1, the variation in the mesh line width was 4.5 μm, the surface unevenness had no problem in appearance, and there was almost no variation in the surface resistance value. On the other hand, in the electromagnetic wave shielding filter of Production Example 2, breakage occurred frequently in the mesh lines (line width variation of 20 μm or more), surface unevenness was conspicuous visually, and the surface resistance value varied greatly.

本発明による電磁波遮蔽フィルタの一形態を示す断面図。Sectional drawing which shows one form of the electromagnetic wave shielding filter by this invention. アルミニウムパターンをエッチング時にパターン精度不良が生じる原因を説明した断面図。Sectional drawing explaining the cause which a pattern precision defect produces at the time of etching an aluminum pattern. アルミニウムパターンのパターン精度不良を概念的に説明する平面図。The top view which illustrates the pattern accuracy defect of an aluminum pattern notionally. 本発明による多機能フィルタの一形態を示す断面図。Sectional drawing which shows one form of the multifunction filter by this invention. 本発明による画像表示装置の形態例を示す断面図。Sectional drawing which shows the example of a form of the image display apparatus by this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 透明基材
2 アルミニウムパターン
3 酸化皮膜
4 透明接着剤層
5 光学フィルタ
6 透明基板
7 粘着剤層
10 電磁波遮蔽フィルタ
20 多機能フィルタ
21 板状積層体
30 画像表示素子
40 画像表示装置
51 エッチング液
52 レジストパターン
53 アルミニウム層
54 アルミニウム箔
55 アルミニウム箔積層体(シート)
56 腐食先行部分
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent base material 2 Aluminum pattern 3 Oxide film 4 Transparent adhesive layer 5 Optical filter 6 Transparent substrate 7 Adhesive layer 10 Electromagnetic wave shielding filter 20 Multifunctional filter 21 Plate-shaped laminated body 30 Image display element 40 Image display apparatus 51 Etching liquid 52 Resist pattern 53 Aluminum layer 54 Aluminum foil 55 Aluminum foil laminate (sheet)
56 Corrosion preceding part

Claims (6)

透明基材と、その透明基材上に設けられた金属メッシュ層と、メッシュパターンの凹凸を埋めるように金属メッシュ層上に設けられた粘着剤層と、を備えた電磁波遮蔽フィルタであって、
前記金属メッシュ層の厚みをH、前記粘着剤層の最厚部分の厚みをTとした場合に、T≧Hを満たすように粘着剤層が設けられていることを特徴とする、電磁波遮蔽フィルタ。
An electromagnetic wave shielding filter comprising a transparent substrate, a metal mesh layer provided on the transparent substrate, and an adhesive layer provided on the metal mesh layer so as to fill the irregularities of the mesh pattern,
An electromagnetic wave shielding filter, wherein the pressure-sensitive adhesive layer is provided so as to satisfy T ≧ H, where H is the thickness of the metal mesh layer and T is the thickness of the thickest portion of the pressure-sensitive adhesive layer. .
前記金属メッシュの少なくとも一方の面上に、厚み0〜13Åの金属酸化被膜が形成されてなる、請求項1に記載の電磁波遮蔽フィルタ。   The electromagnetic wave shielding filter according to claim 1, wherein a metal oxide film having a thickness of 0 to 13 mm is formed on at least one surface of the metal mesh. 前記金属がアルミニウムであり、前記金属酸化物が酸化アルミニウムである、請求項1または2に記載の電磁波遮蔽フィルタ。 The electromagnetic wave shielding filter according to claim 1 or 2, wherein the metal is aluminum and the metal oxide is aluminum oxide. 前記透明基材と前記金属メッシュ層とが、接着剤層を介して積層されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の電磁波遮蔽フィルタ。   The electromagnetic wave shielding filter according to any one of claims 1 to 3, wherein the transparent base material and the metal mesh layer are laminated via an adhesive layer. 請求項1〜4のいずれか一項に記載の電磁波遮蔽フィルタと、光学フィルタとを積層した多機能フィルタ。   The multifunction filter which laminated | stacked the electromagnetic wave shielding filter as described in any one of Claims 1-4, and the optical filter. 請求項1〜4のいずれか一項に記載の電磁波遮蔽フィルタ、または請求項5記載の多機能フィルタを、前面に配置した画像表示装置。   The image display apparatus which has arrange | positioned the electromagnetic wave shielding filter as described in any one of Claims 1-4, or the multifunction filter of Claim 5 in the front surface.
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