JP2010066030A - 磁気センシング素子、磁気センシング装置、方位検出装置及び情報機器 - Google Patents
磁気センシング素子、磁気センシング装置、方位検出装置及び情報機器 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】カンチレバー構造を有する可動部201bにZ軸方向の地磁気を検出するためのTMR素子121Zが形成され、非可動部にX軸方向の地磁気を検出するためのTMR素子とY軸方向の地磁気を検出するためのTMR素子とが形成されているセンサ部材121Aと、該センサ部材121Aをカバーするとともに、機械的な力を作用させて可動部201bを、該可動部201b以外に対して傾斜させるための突起部を有するカバー部材とを備えている。この場合、従来の磁気センシング素子のように、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向それぞれに対応する磁気センサ素子を個別に接着する必要がない。さらに、従来のように、磁気センサ素子の実装後に配線部材によって磁気センサと電極パッドとを接続する必要がない。
【選択図】図8
Description
Claims (17)
- 少なくとも1つの可動部が形成された基板、及び該基板における前記少なくとも1つの可動部を含む複数の位置にそれぞれ形成されている複数の磁気センサを有するセンサ部材と;
前記センサ部材をカバーするとともに、機械的な力を作用させて前記少なくとも1つの可動部を、該可動部以外に対して傾斜させるカバー部材と;を備える磁気センシング素子。 - 前記基板は、シリコン基板であることを特徴とする請求項1に記載の磁気センシング素子。
- 前記センサ部材を支持し、傾斜した前記少なくとも1つの可動部が当接する傾斜面を有する支持部材を、更に備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気センシング素子。
- 前記支持部材は、表面が(100)面の単結晶シリコンからなり、前記傾斜面は異方性エッチングによって形成された{111}面のうちの一つの面であることを特徴とする請求項3に記載の磁気センシング素子。
- 前記支持部材は、パッケージ部材の一部を兼ねていることを特徴とする請求項3又は4に記載の磁気センシング素子。
- 前記少なくとも1つの可動部は、カンチレバー構造を有していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁気センシング素子。
- 前記少なくとも1つの可動部は、両端がトーションバーによって支持されている平板であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁気センシング素子。
- 前記カバー部材は、前記少なくとも1つの可動部に押圧を作用させるための突起部を有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の磁気センシング素子。
- 前記カバー部材は、パッケージ部材の一部を兼ねていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の磁気センシング素子。
- 前記少なくとも1つの可動部は、複数の可動部であり、
該複数の可動部は、互いに異なる方向に傾斜していることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の磁気センシング素子。 - 前記センサ部材は、前記少なくとも1つの可動部に形成され、該可動部の傾斜角を計測するためのセンサを有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の磁気センシング素子。
- 前記傾斜角を計測するためのセンサは、ピエゾ抵抗素子を含むことを特徴とする請求項11に記載の磁気センシング素子。
- 前記磁気センサは、磁気抵抗効果素子を含むことを特徴とする請求項1〜12のいずれか一項に記載の磁気センシング素子。
- 前記磁気抵抗効果素子は、トンネル磁気抵抗効果素子であることを特徴とする請求項13に記載の磁気センシング素子。
- 請求項1〜14のいずれか一項に記載の磁気センシング素子と;
前記磁気センシング素子における複数の磁気センサの出力信号、及び前記磁気センシング素子における少なくとも1つの可動部の傾斜角に基づいて、3軸方向に関する地磁気情報を求める演算装置と;を備える磁気センシング装置。 - 請求項15に記載の磁気センシング装置と;
前記磁気センシング装置からの3軸方向に関する地磁気情報に基づいて、方位情報を求める方位取得装置と;を備える方位検出装置。 - 位置情報を取得する位置検出装置と;
請求項16に記載の方位検出装置と;
前記方位検出装置からの方位情報と前記位置検出装置からの位置情報に基づいて、情報を取得する情報取得装置と;を備える情報機器。
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