JP2010062057A - 有機エレクトロルミネッセンス装置および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】発光効率の改善、高輝度化、素子の長寿命化が可能な有機エレクトロルミネッセンス装置を提供する。
【解決手段】画素電極３０と陰極５０との間に有機発光層４６を含む有機機能層を挟持した発光素子６０を備え、有機発光層４６で発せられる光を陰極５０側から外部に取り出す有機エレクトロルミネッセンス装置１であって、陰極５０は、有機機能層と接して設けられた合金層である第１陰極層５２を有し、第１陰極層は形成材料として、アルカリ金属または仕事関数が２．９ｅＶ以下のアルカリ土類金属である第１金属材料と、仕事関数が３．５ｅＶ以上４．２ｅＶ未満である第２金属材料と、仕事関数が４．２ｅＶ以上である第３金属材料と、を有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス装置および電子機器に関するものである。

情報機器の多様化等に伴い、消費電力が少なく軽量化された平面表示装置のニーズが高まっている。この様な平面表示装置の一つとして、有機発光層を備えた有機エレクトロルミネッセンス装置（以下「有機ＥＬ装置」という）が知られている。

ところで、有機ＥＬ装置の発光方式には、有機ＥＬ素子が形成された基板側から基板を介して取り出す所謂ボトムエミッション方式と、有機ＥＬ素子が放つ光を該素子が形成された基板側とは反対側から取り出す所謂トップエミッション方式と、の２種類の発光方式がある。この２種類の発光方式を比較すると、トップエミッション方式の有機ＥＬ装置は、画素開口率を上げやすく、表示画面の高精細化・高画質化に有利な構造となっている。色変換を行うカラーフィルタと組み合わせると、トップエミッション方式の利点を活かし且つフルカラー表示が可能な、高性能な有機ＥＬ装置とすることができる。

このようなトップエミッション方式の有機ＥＬ素子では、陰極構造が品質や素子寿命と密接に関係している。まず、有機ＥＬ素子の陰極は、有機発光層での発光を促すため、良好に電子を注入する性質（電子注入性）を備えることが必要である。このような電極材料としては、仕事関数の低い金属材料が挙げられるが、一方で、仕事関数の低い金属材料は、水分・酸素等と容易に反応し劣化しやすい。陰極が劣化すると、ダークスポットと呼ばれる非発光領域を形成してしまう。これらのことから、低仕事関数の金属材料を用いる陰極は、良好な電子注入性と素子の長寿命化との両立が困難である。

また、トップエミッション方式の有機ＥＬ素子では、有機発光層で発せられた光は陰極を介して外部に光を取り出される。そのため、良好な光取り出しを実現するためには、陰極の光透過性が重要な因子となる。通常、光透過性を確保するためには、陰極を形成する金属材料を、光を透過するほどの薄膜として形成する手法が用いられるが、薄い陰極ではシート抵抗が高く成るために、有機ＥＬ装置が備える有機ＥＬ素子に流れる電流値が、該素子の配置箇所により変化してしまい、表示画面に発光ムラや輝度ムラ等の表示ムラが発生する課題があった。

これら互いに相反する課題を改善し、より高品質・高性能な有機ＥＬ素子とするため、発光効率の改善、高輝度化、素子の長寿命化などを目的とした陰極構造に関する技術が提案されている（特許文献１から７参照）。
特開２００５−１３５６２４号公報 特開昭６０−１６５７７１号公報 特開平０４−２１２２８７号公報 特開平０５−１２１１７２号公報 特開平０９−３２７６３号公報 特開２００５−２０３３３７号公報 特許第２７６０３４７号明細書

しかしながら、上記方法には、次のような問題がある。即ち、特許文献１から５に開示された技術では、有機発光層と接する金属材料として、仕事関数が小さく化学的に活性なアルカリ金属やアルカリ土類金属と、仕事関数が大きく化学的に安定なアルミニウムなどの金属との合金を用いて陰極を形成する事となっている。しかし、特許文献１から５に挙げられているような、仕事関数が大きく離れる金属同士では、合金を形成する場合に互いに分離し易く、良好な合金層を形成することが非常に困難である。

特許文献６には、アルカリ金属のフッ化物又は酸化物、若しくはアルカリ土類金属のフッ化物又は酸化物、若しくは有機物との錯体または化合物からなる第１層と、第１層よりも仕事関数が高い第２層との積層構造を有する陰極の構造が開示されている。しかし、発明者の検討により、この構造の陰極を備えた有機ＥＬ素子は、用いる有機発光層の材料によって良好に発光を行う場合と行わない場合とがあることが分かった。そのため、トップエミッション方式の有機ＥＬ素子の陰極として、広く一般的に用いる事が出来ない。

特許文献７には、仕事関数の小さな金属を仕事関数の大きな金属で覆って構成する陰極が開示されている。しかし、仕事関数が大きい金属を用い、十分な光透過性と導電性とを兼ね備えた層とすることは非常に困難である。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、良好な電子注入性が得られ、十分な光透過性を有すると共に、水分や酸素に対して安定な陰極構造を提案し、このような陰極構造を備えることで、発光効率の改善、高輝度化、素子の長寿命化が可能な有機エレクトロルミネッセンス装置を提供することを目的とする。また、このような有機エレクトロルミネッセンス装置を備える電子機器を提供することを合わせて目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置は、陽極と陰極との間に有機発光層を含む有機機能層を挟持した発光素子を備え、前記有機発光層で発せられる光を前記陰極側から外部に取り出す有機エレクトロルミネッセンス装置であって、前記陰極は、前記有機機能層と接して設けられた合金層である第１陰極層を有し、前記第１陰極層は形成材料として、アルカリ金属または仕事関数が２．９ｅＶ以下のアルカリ土類金属である第１金属材料と、仕事関数が３．５ｅＶ以上４．２ｅＶ未満である第２金属材料と、仕事関数が４．２ｅＶ以上である第３金属材料と、を有することを特徴とする。

第１陰極層が備える第１金属材料は、有機機能層への良好な電子注入が可能な低い仕事関数を備えている。そのため、形成される第１陰極層は、第１金属材料の仕事関数に由来した、良好な電子注入性を示す。

また、第１陰極層が備える第３金属材料は、水分や酸素に対して安定な金属材料である。そのため、第３金属材料を含む合金層である第１陰極層は、第３金属材料の安定性に由来した、水分や酸素に対して良好な安定性を示す。

ここで、第１金属材料と第３金属材料とは、互いに仕事関数が離れているため、両者を共蒸着しても合金層に成らないが、本発明の第１陰極層は、第１金属材料の仕事関数と、第３金属材料の仕事関数との間の値の仕事関数を備える第２金属材料を含んでいる。このような値の仕事関数を備える第２金属材料は、第１金属材料と第３金属材料との合金形成を促し、第１陰極層を良好な合金層とすることができる。

本発明の有機ＥＬ装置が備える陰極は、上述の第１陰極層を備えるため、有機機能層への良好な電子注入と、水分や酸素に対する極めて良好な安定性と、を同時に実現することができ、発光効率が高く長寿命な有機ＥＬ装置とすることができる。

本発明においては、前記陰極は、前記第１陰極層の前記有機機能層とは反対側に、仕事関数が３．５ｅＶ以上４．２ｅＶ未満である第４金属材料と、仕事関数が４．２ｅＶ以上である第５金属材料と、の合金層である第２陰極層を備えることが望ましい。
この構成によれば、第１金属材料を含まず、第１陰極層よりも更に水分や酸素に安定な合金層である第２陰極層で、第１陰極層を保護することとなるため、より信頼性が高く長寿命な有機ＥＬ装置とすることができる。

ここで、本発明において「合金層」とは、２種以上の金属材料を用いて形成した層であって、用いる金属材料同士が互いに金属結合をしているものを指す。その他に、明確な金属結合は確認出来なくとも、金属材料間に相互作用を生じており金属材料単体の物性を発現しなくなっている層、または金属材料単体の物性とは異なる物性を発現する層も含む。この意味において、例えば、第１金属材料と第２金属材料と第３金属材料とが、まだらにまたは海島状に各々独立して存在しており、層内で各々の金属材料の物性を示す領域が独立しているような層は、合金層には含まない。

本発明においては、前記第２陰極層は、前記第１陰極層を構成する第２金属材料および第３金属材料を含むことが望ましい。
この構成によれば、材料が共通しているため、第１陰極層と第２陰極層との親和性が良く、層間で良好な電子注入を実現することが可能となる。また、共通の形成材料を用いて層構造を形成するため、製造装置や工程を共通化することが可能となり、容易に良好な表示特性を備える有機エレクトロルミネッセンス装置とすることができる。

本発明においては、前記第１金属材料として、Ｌｉ，Ｃｓ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａの中から選ばれることが望ましい。
この構成によれば、有機機能層に対して正孔注入能に優れた第１陰極層とすることができ、有機ＥＬ装置の発光特性を優れたものとすることができる。

本発明においては、前記第２金属材料及び前記第４金属材料として、Ｍｇ，Ｓｃ，Ｍｎ，Ｉｎ，Ｚｒ，Ａｓの中から選ばれることが望ましい。
この構成によれば、仕事関数差に起因するエネルギー障壁を緩和し、良好な電子注入を促すことができる。

本発明においては、前記陰極は、前記第１陰極層側とは反対側の表面に、仕事関数が４．２ｅＶ以上である第６金属材料からなる共振層を備えており、前記陽極は光透過性を有するとともに、前記陰極は半透過反射性を有し、前記陽極を挟んで前記有機機能層の反対側には光反射層が配置され、前記光反射層と前記陰極との間で、前記有機機能層から射出された光を共振させる光共振器構造が構成されていることが望ましい。
この構成によれば、有機機能層から射出された光を共振させる光共振構造を構成することで、各々の有機ＥＬ素子からは光反射層と陰極との間の光学的距離に対応した共振波長の条件を満たす光のみが増幅されて取り出される。例えば、赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の各色に対応する共振波長を有する有機ＥＬ素子を形成することで、フルカラー表示が可能な有機ＥＬ装置を提供することができる。

本発明においては、前記第３金属材料、前記第５金属材料及び前記第６金属材料として、Ａｌ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ａｕの中から選ばれることが望ましい。
この構成によれば、水分や酸素に対して安定な合金層、または共振層とすることができる。

本発明の電子機器は、上述の有機エレクトロルミネッセンス装置を備えることを特徴とする。
この構成によれば、発光効率が高く長寿命な有機ＥＬ装置を備え、信頼性に優れた電子機器を提供することができる。

［第１実施形態］
以下、図１を参照しながら、本発明の第１実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス装置（有機ＥＬ装置）について説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の膜厚や寸法の比率などは適宜異ならせてある。

図１は、有機ＥＬ装置１を模式的に示す断面図である。図に示すように、有機ＥＬ装置１は、基板本体１０と、基板本体１０上に形成された反射層（光反射層）２０や不図示の駆動素子等を備える素子層１１と、を備える基板１０Ａと、基板１０Ａ上に形成される画素電極（陽極）３０と、画素電極３０と平面的に重なる開口部を備えた画素隔壁層１２と、画素隔壁層１２の上に形成された共通隔壁層１４と、を備えている。

共通隔壁層１４に囲まれた領域には、共通隔壁層１４の側壁に当接して発光部４０が形成されており、発光部４０の上面の全面を覆う共通電極（陰極）５０が形成されている。画素電極３０と発光部４０と陰極５０とで有機ＥＬ素子（発光素子）６０を形成している。

発光部４０には、画素電極３０からの正孔の注入を容易にする正孔注入層（有機機能層）４２と、正孔注入層４２からの正孔の移動を促す正孔輸送層４４と、有機発光層４６とを備えており、画素電極３０上にこの順に積層されている。

陰極５０は、共通隔壁層１４の頂面及び側壁を覆って有機発光層４６の上面の全面を覆う第１陰極層５２と、第１陰極層５２上に設けられた共振層５８と、を備えている。

本実施形態の有機ＥＬ装置１は、有機発光層４６で生じる光が、陰極５０側へ射出されるトップエミッション方式を採用している。そのため、陰極５０は透光性を備えるほどに薄く形成されている必要があり、本実施形態では２０ｎｍ以下の膜厚となっている。また、有機発光層４６で生じる光のうち一部が、反射層２０と共振層５８との間で共振し、陰極５０側から外部に射出される共振構造を構成している。以下、各構成要素について順に説明する。

基板本体１０は、透明基板及び不透明基板のいずれも用いることができる。不透明基板としては、例えばアルミナ等のセラミックス、ステンレススチール等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、また熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂、さらにはそのフィルム（プラスチックフィルム）などが挙げられる。透明基板としては、例えばガラス、石英ガラス、窒化ケイ素等の無機物や、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂等の有機高分子（樹脂）を用いることができる。また、光透過性を備えるならば、前記材料を積層または混合して形成された複合材料を用いることもできる。本実施形態では、基板本体１０の材料としてガラスを用いる。

素子層１１は、有機ＥＬ装置１を駆動させるための各種配線や駆動素子、及びそれらを覆って形成される無機物または有機物の絶縁膜などを備えている。各種配線や駆動素子はフォトリソグラフィによりパターニングした後エッチングすることにより、また、絶縁膜は蒸着法やスパッタ法など通常知られた方法により適宜形成することができる。

また、素子層１１内の基板本体１０上には、画素電極３０と平面的に重なって、反射層２０が形成されている。反射層はＡｌＮｄ合金を形成材料としており、マスクパターニングなど通常知られた方法で形成されている。本実施形態では、反射層２０は基板本体１０上に形成されることとしたが、素子層１１中であっても良く、また、素子層１１表面であっても良い。

素子層１１の上には、画素電極３０が形成されている。画素電極３０の形成材料には、仕事関数が５ｅＶ以上の材料を用いることができる。このような材料は、正孔注入効果が高いため画素電極３０の形成材料として好ましい。このような材料としては、例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide:インジウム錫酸化物）等の金属酸化物を挙げることができる。本実施形態ではＩＴＯを用いる。

また、素子層１１の上には、画素電極３０の端部に一部が乗り上げるように、画素隔壁層１２が形成されている。画素隔壁層１２は画素電極３０に対応する開口部を備えており、該開口部内に画素電極３０が露出している。画素隔壁層１２は、酸化シリコンや窒化シリコン等の無機絶縁材料で形成されており、開口部の位置に対応するマスクを介したエッチング等の公知の方法で形成することができる。

画素隔壁層１２上には、画素電極３０の周囲を囲むように共通隔壁層１４が形成されている。共通隔壁層１４は、断面形状が順テーパ状に形成されている。そのため、共通隔壁層１４で囲まれた空間は、下部よりも上部が広く開口している。共通隔壁層１４は、例えば光硬化性のアクリル樹脂やポリイミド樹脂等で形成される。

共通隔壁層１４に囲まれた領域の底面に露出した面（ここでは画素電極３０と画素隔壁層１２の一部）には、共通隔壁層１４の側壁に当接して、画素電極３０からの正孔の注入を容易にする電荷移動層としての正孔注入層４２が形成されている。正孔注入層４２の形成材料は、通常知られた材料を用いる事ができる。本実施形態ではＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを用いる。

正孔注入層４２の上には、共通隔壁層１４の側壁に当接して正孔輸送層４４が形成され、更に有機発光層４６が形成されている。これらの層の形成材料としては、通常知られた材料を用いる事ができる。

例えば、正孔輸送層４４の形成材料としては、下記の化学式１で示されるＡＤＳ２５９ＢＥ（American Dye Source社製、商品名）を用いることが出来る。また、有機発光層４６の形成材料としては、化学式２で示される緑色発光高分子材料ＡＤＳ１０９ＧＥ（同社製、商品名）、化学式３で示される赤色発光高分子材料ＡＤＳ１１１ＲＥ（同社製、商品名）、化学式４で示される青色発光高分子材料ＡＤＳ１３６ＢＥ（同社製、商品名）を用いることができる。

有機発光層４６の上には、共通隔壁層１４の頂面および側壁を覆って表面全面に第１陰極層５２が形成されている。第１陰極層５２は、アルカリ金属または仕事関数が２．９ｅＶ以下のアルカリ土類金属（第１金属材料）と、３．５ｅＶ以上４．２ｅＶ未満の仕事関数を有する第２金属材料と、４．２ｅＶ以上の仕事関数を有する第３金属材料とを用い、真空共蒸着にて形成された合金層である。第１陰極層５２は、不図示の陰極取り出し端子へとつながる陰極コンタクト部へ接続されている。

第１金属材料としては、Ｌｉ，Ｃｓ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａを用いることができる。また、第２金属材料としては、Ｍｇ，Ｓｃ，Ｍｎ，Ｉｎ，Ｚｒ，Ａｓを用いることができ、第３金属材料としては、Ａｌ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ａｕを用いることができる。本実施形態では、第１金属材料としてＣａ、第２金属材料としてＭｇ、第３金属材料としてＡｇをそれぞれ用いる。

第１陰極層５２が備える第１金属材料は、有機機能層への良好な電子注入が可能な低い仕事関数を備えている。そのため、形成される第１陰極層５２は、第１金属材料の仕事関数に由来した、良好な電子注入性を示す。

また、第１陰極層５２が備える第３金属材料は、水分や酸素に対して安定な金属材料である。そのため、第３金属材料を含む合金層である第１陰極層５２は、第３金属材料の安定性に由来した、水分や酸素に対して良好な安定性を示す。

ここで、第１金属材料と第３金属材料とは、互いに仕事関数が離れているため、両者を共蒸着しても合金層に成らないことが、発明者が行った予備実験により確かめられている。例えば、ＣａとＡｇとの共蒸着膜や、ＣａとＡｌとの共蒸着膜を形成し大気に曝すと、膜表面が泡立ち膜の金属光沢が失われるという現象を確認した。これは、ＣａとＡｇまたはＡｌが合金を形成しておらず、Ｃａが分離した状態であったため、大気中の水分や酸素とＣａとが反応したものと考えられる。

本発明の第１陰極層５２は、第１金属材料と第３金属材料との間の仕事関数を備える第２金属材料を含んでいる。このような仕事関数を備える第２金属材料は、第１金属材料と第３金属材料との合金形成を促し、第１陰極層５２を良好な合金層とすることができる。上記予備実験と同様に、ＣａとＭｇとＡｇとを共蒸着した膜は、大気に曝しても安定な膜であることを確認している。

第１陰極層５２の第１金属材料と第２金属材料と第３金属材料との共蒸着比率は、第１金属材料の体積が第２金属材料の体積以下となるような体積比であることが好ましい。本実施形態では、各金属材料の体積比を、Ｃａ：Ｍｇ：Ａｇ＝５：１０：１とした。

第１陰極層５２の膜厚は、透明性の確保、及び良好な面方向の導電性の確保（低いシート抵抗値）を考慮すると、５ｎｍ以上１５ｎｍ以下程度が好適である。本実施形態の第１陰極層５２は、１５ｎｍの膜厚を有している。

陰極５０が上述の第１陰極層５２を備えることで、有機機能層への良好な電子注入と、トップエミッションに必要な陰極の十分な光透過性と、水分や酸素に対する良好な安定性と、を同時に実現することができる。また、陰極５０のシート抵抗を十分に低くすることができるため、発光ムラも低減することができる。

第１陰極層５２の上には、第３金属材料と同様の仕事関数を有する金属材料（第６金属材料）を形成材料とする共振層５８が設けられている。本実施形態ではＡｇを用いて形成する。共振層５８は、有機発光層４６から発せられた光の一部を反射する半透過膜である。共振層５８が反射層２０との間で光を共振させる光共振構造を構成することで、有機ＥＬ素子６０からは、反射層２０と共振層５８との間の光学的距離に対応した共振波長の条件を満たす光のみが増幅されて取り出される構成となっている。また、共振層５８は、陰極５０の一部を構成しており、陰極５０のシート抵抗値を下げる機能も有している。本実施形態の共振層５８は、５ｎｍの膜厚を有している。

陰極５０の上には、不図示のＳｉＯ_ｘＮ_ｙなどの無機膜を形成し、更に無機膜の上にはエポキシ樹脂を介してガラス基板を貼り合わせる、所謂、固体封止構造を備えるものとすると良い。
本実施形態の有機ＥＬ装置は、以上のような構成となっている。

以上のような構成の有機ＥＬ装置１によれば、有機機能層への良好な電子注入と、水分や酸素に対する極めて良好な安定性と、を同時に実現することができ、発光効率が高く長寿命な有機ＥＬ装置１とすることができる。

なお、本実施形態では、１つの有機ＥＬ素子６０について説明したが、有機ＥＬ装置１は上述した有機ＥＬ素子６０を複数備えることができる。その場合には、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の光を発する有機ＥＬ素子を設けることで、フルカラー表示が可能な有機ＥＬ装置とすることができる。このような有機ＥＬ装置では、上述した陰極構造が全ての有機ＥＬ素子に共通して設けられていることとすることができる。また、有機ＥＬ装置が複数の有機ＥＬ素子を備える場合、共振層を有機ＥＬ素子ごとにパターニングして設け、有機ＥＬ素子が発する色に応じて共振層の厚みを変化させて、光共振構造を構成することとしても良い。同様に有機ＥＬ素子が発する色に応じて反射層の厚みを変化させて光共振構造を構成することも可能である。

［第２実施形態］
図２は、本発明の第２実施形態に係る有機ＥＬ装置２の説明図である。本実施形態の有機ＥＬ装置２は、第１実施形態の有機ＥＬ装置１と一部共通している。異なるのは、第１陰極層５２と共振層５８との間に、
仕事関数が３．５ｅＶ以上４．２ｅＶ未満の仕事関数を有する第４金属材料と、４．２ｅＶ以上の仕事関数を有する第５金属材料との合金層である第２陰極層５６を備えることである。したがって、本実施形態において第１実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。

第１陰極層５２の上には、第１陰極層５２の表面全面を覆って第２陰極層５６が形成されている。第２陰極層５６は、第４金属材料と第５金属材料とを用い、真空共蒸着にて形成された合金層である。本実施形態では、第４金属材料としてＭｇ、第５金属材料としてＡｇを用いており、第１陰極層５２の形成材料である第２金属材料および第３金属材料と共通した金属材料を用いている。第２陰極層５６は、第４金属材料と第５金属材料との合金層であることで、第５金属材料単体の場合よりも低い仕事関数と、第５金属材料の性質に由来する水分や酸素に対する高い安定性とを兼ね備える陰極層となっている。

発明者が別途行った予備実験では、ＭｇとＡｇとの蒸着比率が、体積比で１：１０（Ａｇの体積比率：９１％）から４０：１（Ａｇの体積比率：２．４％）の範囲で成膜した第２陰極層が、いずれも水分や酸素に対して安定であることが確かめられている。そのため、第４金属材料と第５金属材料との蒸着比率は、体積比で１：１０〜４０：１が好適である。成膜のしやすさや再現性の確保のため、蒸着比率は５：１〜２０：１がより好適である。本実施形態では、ＭｇとＡｇとの共蒸着比率は、体積比で１０：１とした。

また、第２陰極層５６の膜厚は、透明性の確保、及び良好な面方向の導電性の確保（低いシート抵抗値）を考慮すると、５ｎｍ以上１５ｎｍ以下程度が好適であり、陰極の膜厚が２０ｎｍ以下となるような厚みを選択する。本実施形態では、第１陰極層５２を７ｎｍの膜厚に形成した上で、第２陰極層５６を８ｎｍの膜厚に形成している。

陰極５０が上述の第１陰極層５２と第２陰極層５６との積層構造を備えることで、水分や酸素に対する良好な安定性がより高い陰極を実現することができる。また、陰極５０の厚みを調節してシート抵抗を十分に低くすることができるため、発光ムラも低減することができる。

次に、図３を用いて、本実施形態の有機ＥＬ装置２の製造方法を、陰極５０の形成工程を中心にして説明する。図では、蒸着装置１００Ａを用い、陰極５０の積層構造を形成する様子を示している。蒸着装置１００Ａは、通常知られたものを用いる事ができ、密閉可能に形成され内部が減圧可能なチャンバ１００と、第１の蒸着材料１１１が入った第１坩堝１０１、第２の蒸着材料１１２が入った第２坩堝１０２、第３の蒸着材料１１３が入った第３坩堝１０３、を有している。

本実施形態では、第１の蒸着材料１１１としてＣａを用い、第２の蒸着材料１１２としてＭｇを用い、第３の蒸着材料１１３としてＡｇを用いた。上述のように、有機ＥＬ装置２では、第２金属材料および第４金属材料として、共通する金属材料であるＭｇを選択し、第３金属材料、第５金属材料および第６金属材料として、共通する金属材料であるＡｇを選択している。そのため、必要とする蒸着材料の種類が少なく、工程負荷が低減される。

図３（ａ）に示すように、有機発光層４６まで形成した製造中の有機ＥＬ装置をチャンバ１００の内部に配置する。そして、チャンバ１００内を減圧し、第１の蒸着材料１１１を収容した第１坩堝１０１、第２の蒸着材料１１２を収容した第２坩堝１０２、第３の蒸着材料１１３を収容した第３坩堝１０３を不図示の加熱装置で加熱して、蒸発する第１，第２，第３の蒸着材料を用いて有機発光層４６を覆う第１陰極層５２を形成する。

次いで、図３（ｂ）に示すように、第１陰極層５２の膜厚が所定の膜厚（本実施形態では７ｎｍ）に達すると同時に、第１坩堝１０１のシャッタを閉めて第１の蒸着材料１１１の蒸着を停止する。そして、第２の蒸着材料１１２と第３の蒸着材料１１３との共蒸着により、第２陰極層５６を形成する。

次いで、図３（ｃ）に示すように、第２陰極層５６の膜厚が所定の膜厚（本実施形態では８ｎｍ）に達すると同時に、第２坩堝１０２のシャッタを閉めて第２の蒸着材料１１２の蒸着を停止する。引き続き第３坩堝１０３のシャッタのみを開いておいて第３の蒸着材料を蒸着して共振層５８を形成し、本実施形態の有機ＥＬ装置が備える陰極５０を形成する。
以上のようにして陰極構造を形成し、本実施形態の有機ＥＬ装置２を製造する。

以上のような構成の有機ＥＬ装置２では、化学的に活性な第１金属材料を含まず、第１陰極層５２よりも更に水分や酸素に安定な合金層である第２陰極層５６で第１陰極層５２を保護することとなるため、より信頼性が高く長寿命な有機ＥＬ装置２とすることができる。

また、本実施形態では、第１陰極層５２と第２陰極層５６に共通する金属材料を用いているため、各層間の親和性が良く、良好な電子注入を実現する層構造を備えた陰極５０とすることができる。また、第１陰極層５２の形成に用いる金属材料が第２陰極層５６と共通するため、用いる形成材料を減らすことができ、製造負荷を緩和することができる。

なお、本実施形態では、第２陰極層５６の形成材料である第４金属材料および第５金属材料は、第１陰極層５２の形成材料である第２金属材料および第３金属材料と同じ材料を用いることとしたが、これに限らない。例えば第２金属材料としてＭｇを選択し、第４金属材料としてＩｎを選択するなど、異なる金属材料を用いる事としても良い。

［電子機器］
次に、本発明の電子機器の実施形態について説明する。図４は、本発明の有機ＥＬ装置を用いた電子機器の一例を示す斜視図である。図４に示す携帯電話（電子機器）１３００は、本発明の有機ＥＬ装置を小サイズの表示部１３０１として備え、複数の操作ボタン１３０２、受話口１３０３、及び送話口１３０４を備えて構成されている。これにより、本発明の有機ＥＬ装置により構成された、発光効率に優れ信頼性に優れた表示部を具備した携帯電話１３００を提供することができる。

上記各実施の形態の有機ＥＬ装置は、上記携帯電話に限らず、電子ブック、プロジェクタ、パーソナルコンピュータ、ディジタルスチルカメラ、テレビジョン受像機、ビューファインダ型あるいはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器等々の画像表示手段として好適に用いることができる。かかる構成とすることで、表示品質が高く、信頼性に優れた表示部を備えた電子機器を提供できる。

更には、上記各実施の形態の有機ＥＬ装置をラインヘッドとして用いることができ、該ラインヘッドを光源として備えた画像形成装置（光プリンタ）として好適に用いることができる。このようにすると、輝度ムラが無く信頼性に優れた光プリンタとすることができる。

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

本発明の第１実施形態に係る有機ＥＬ装置を模式的に示す断面図である。 本発明の第２実施形態に係る有機ＥＬ装置を模式的に示す断面図である。 第２実施形態の有機ＥＬ装置の製造工程を示す工程図である。 本発明に係る電子機器の一例を示す斜視図である。

符号の説明

１，２…有機ＥＬ装置（有機エレクトロルミネッセンス装置）、２０…反射層（光反射層）、３０…画素電極（陽極）、４２…正孔注入層（有機機能層）、４４…正孔輸送層（有機機能層）、４６…有機発光層、５０…共通電極（陰極）、５２…第１陰極層、５６…第２陰極層、５８…共振層、６０…有機ＥＬ素子（発光素子）、１３００…携帯電話（電子機器）

Claims (8)

1. 陽極と陰極との間に有機発光層を含む有機機能層を挟持した発光素子を備え、前記有機発光層で発せられる光を前記陰極側から外部に取り出す有機エレクトロルミネッセンス装置であって、
   前記陰極は、前記有機機能層と接して設けられた合金層である第１陰極層を有し、
   前記第１陰極層は形成材料として、アルカリ金属または仕事関数が２．９ｅＶ以下のアルカリ土類金属である第１金属材料と、
   仕事関数が３．５ｅＶ以上４．２ｅＶ未満である第２金属材料と、
   仕事関数が４．２ｅＶ以上である第３金属材料と、を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。
2. 前記陰極は、前記第１陰極層の前記有機機能層とは反対側に、仕事関数が３．５ｅＶ以上４．２ｅＶ未満である第４金属材料と、
   仕事関数が４．２ｅＶ以上である第５金属材料と、の合金層である第２陰極層を備えることを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
3. 前記第２陰極層は、前記第１陰極層を構成する第２金属材料および第３金属材料を含むことを特徴とする請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
4. 前記第１金属材料は、Ｌｉ，Ｃｓ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａの中から選ばれることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
5. 前記第２金属材料及び前記第４金属材料は、Ｍｇ，Ｓｃ，Ｍｎ，Ｉｎ，Ｚｒ，Ａｓの中から選ばれることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
6. 前記陰極は、前記第１陰極層側とは反対側の表面に、仕事関数が４．２ｅＶ以上である第６金属材料からなる共振層を備えており、
   前記陽極は光透過性を有するとともに、前記陰極は半透過反射性を有し、前記陽極を挟んで前記有機機能層の反対側には光反射層が配置され、前記光反射層と前記陰極との間で、前記有機機能層から射出された光を共振させる光共振器構造が構成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
7. 前記第３金属材料、前記第５金属材料及び前記第６金属材料は、Ａｌ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ａｕの中から選ばれることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
8. 請求項１から７のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置を備えることを特徴とする電子機器。

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