JP2010058379A

JP2010058379A - Screen printer and screen printing method

Info

Publication number: JP2010058379A
Application number: JP2008226628A
Authority: JP
Inventors: Seiichi Miyahara; 清一宮原; Masayuki Yamazaki; 公幸山崎; Minoru Murakami; 稔村上; Takahiro Fukagawa; 貴弘深川; Takashi Yazawa; 隆矢澤; Nobuhiro Nakai; 伸弘中井
Original assignee: Panasonic Corp
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 2008-09-04
Filing date: 2008-09-04
Publication date: 2010-03-18
Anticipated expiration: 2028-09-04
Also published as: JP4957685B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a screen printer for carrying out screen printing while straightening warp of a base plate without causing local deformation of the base plate, and also to provide a screen printing method. <P>SOLUTION: The base plate PB to be conveyed by a transfer conveyor 11 is positioned on a working position, and then a pressure plate 47 is advanced into a position above the positioned base plate PB. The pressure plate 47 is pressed downward by a pressing means 17, and the whole base plate PB is pressed through the pressure plate 47. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、マスクプレートのパターン孔を介して基板に半田ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである。 The present invention relates to a screen printing machine and a screen printing method for printing a paste such as a solder paste on a substrate through a pattern hole of a mask plate.

スクリーン印刷では、基板の印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられたマスクプレートを基板の印刷面に接触させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板上にペーストを印刷する。このようなスクリーン印刷において、基板に反りが生じているとペーストの印刷を良好に行うことができないため、従来はスクリーン印刷を実行する前に、基板に対して移動自在に設けられた押圧手段で基板の中央部を下方に押圧することによって基板の反りを矯正するようにしていた（特許文献１）。
特開２００３−６２９７１号公報 In screen printing, a mask plate provided with a pattern hole according to the printing target part of the substrate is brought into contact with the printing surface of the substrate, and a paste is supplied on the mask plate and a squeegee is slid to pass through the pattern hole. Print the paste on the board. In such screen printing, if the substrate is warped, the paste cannot be printed satisfactorily. Conventionally, before the screen printing is performed, a pressing means provided movably on the substrate is used. The center part of the substrate was pressed downward to correct the warp of the substrate (Patent Document 1).
JP 2003-62971 A

しかしながら、上記のように、基板の中央部を押圧しただけでは基板全体を平らにすることができない場合があり、力が集中する基板の中央部や基板の四隅に局部的な変形が発生することもあった。 However, as described above, it may not be possible to flatten the entire board simply by pressing the center part of the board, and local deformation occurs at the center part of the board where the force is concentrated or at the four corners of the board. There was also.

そこで本発明は、基板に局部的な変形を発生させることなく基板の反りを矯正し、そのうえでスクリーン印刷を実行することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a screen printing machine and a screen printing method capable of correcting a warp of a substrate without causing local deformation of the substrate and performing screen printing on the substrate.

請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板の搬送を行う搬送手段と、搬送手段によって搬送される基板を作業位置に位置決めする位置決め手段と、作業位置に位置決めされた基板の上方位置に対して進退自在に設けられた押圧プレートと、基板の上方位置に進出された押圧プレートを下方に押圧し、押圧プレートを介して基板全体を押圧する押圧手段と、押圧手段により押圧された押圧プレートが基板の上方位置から退去された後、基板に接触されるマスクプレートと、基板と接触されたマスクプレートにペーストを供給するペースト供給手段と、ペースト供給手段によりペーストが供給されたマスクプレートに対して摺動され、マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスキージと、を備えた。 The screen printing machine according to claim 1, with respect to a transport unit that transports a substrate, a positioning unit that positions a substrate transported by the transport unit at a work position, and an upper position of the substrate positioned at the work position. A pressing plate provided so as to freely advance and retreat, a pressing plate that presses the pressing plate advanced to the upper position of the substrate downward, presses the entire substrate through the pressing plate, and the pressing plate pressed by the pressing device is the substrate. A mask plate that is in contact with the substrate, a paste supply means that supplies paste to the mask plate that is in contact with the substrate, and a mask plate to which the paste is supplied by the paste supply means. And a squeegee for printing the paste on the substrate through pattern holes provided in the mask plate.

請求項２に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、位置決め手段は押圧手段の一部から成り、搬送手段により搬送される基板と当接して基板を作業位置に停止させるものである。 The screen printing machine according to claim 2 is the screen printing machine according to claim 1, wherein the positioning means comprises a part of the pressing means, and the substrate is brought into contact with the substrate conveyed by the conveying means so as to place the substrate in a working position. To stop.

請求項３に記載のスクリーン印刷方法は、搬送手段によって搬送される基板を作業位置に位置決めする工程と、作業位置に位置決めした基板の上方位置に押圧プレートを進出させる工程と、基板の上方位置に進出させた押圧プレートを押圧手段によって下方に押圧し、押圧プレートを介して基板全体を押圧する工程と、押圧手段により押圧した押圧プレートを基板の上方位置から退去させた後、基板にマスクプレートを接触させる工程と、基板と接触したマスクプレートにペーストを供給する工程と、ペーストが供給されたマスクプレートに対してスキージを摺動させ、マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板にペーストを印刷する工程と、を含む。 According to a third aspect of the present invention, there is provided a screen printing method, the step of positioning the substrate conveyed by the conveying means at the work position, the step of moving the pressing plate above the substrate positioned at the work position, and the position above the substrate. A step of pressing the advanced pressing plate downward by the pressing means and pressing the entire substrate through the pressing plate, and after the pressing plate pressed by the pressing means is moved away from the upper position of the substrate, the mask plate is placed on the substrate. Contacting the substrate, supplying the paste to the mask plate in contact with the substrate, sliding the squeegee against the mask plate supplied with the paste, and applying the paste to the substrate through the pattern holes provided in the mask plate. Printing.

請求項４に記載のスクリーン印刷方法は、請求項３に記載のスクリーン印刷方法であって、基板を作業位置に位置決めする工程において、搬送手段により搬送される基板に押圧手段の一部を当接させて基板を作業位置に停止させる。 A screen printing method according to a fourth aspect is the screen printing method according to the third aspect, wherein in the step of positioning the substrate at the working position, a part of the pressing means is brought into contact with the substrate conveyed by the conveying means. The substrate is stopped at the working position.

本発明では、作業位置に位置決めした基板の上方位置に進出させた押圧プレートを押圧手段によって下方に押圧し、押圧プレートを介して基板全体を押圧するようになっている。このため押圧力は基板の各部に均等に分散し、基板に局部的な変形を発生させることなく、基板全体の反りを矯正することができる。したがって本発明によれば、基板に局部的な変形を発生させることなく基板の反りを矯正し、そのうえでスクリーン印刷を実行することができる。 In the present invention, the pressing plate advanced to the upper position of the substrate positioned at the working position is pressed downward by the pressing means, and the entire substrate is pressed through the pressing plate. For this reason, the pressing force is uniformly distributed to each part of the substrate, and the warpage of the entire substrate can be corrected without causing local deformation of the substrate. Therefore, according to the present invention, it is possible to correct the warpage of the substrate without causing local deformation of the substrate, and then to perform screen printing.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図、図２は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図、図３は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷装置の正面図、図４は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図、図５（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える押圧プレートユニットの断面図、図６（ａ），（ｂ）及び図７（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する押圧プレート及び押圧手段の動作説明図、図８（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する押圧プレート及び基板の断面図、図９（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する押圧プレート及び押圧手段の動作説明図、図１０（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷装置の動作説明図である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a screen printer according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the screen printer according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a screen printer according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a block diagram showing a control system of the screen printing machine in one embodiment of the present invention, and FIGS. 5A and 5B are screens in one embodiment of the present invention. 6A and 6B are sectional views of a pressing plate unit provided in the printing press, and FIGS. 6A and 7B are a pressing plate and pressing means constituting the screen printing press according to the embodiment of the present invention. FIGS. 8A and 8B are cross-sectional views of the pressing plate and the substrate constituting the screen printing machine according to the embodiment of the present invention, and FIGS. 9A and 9B are views of the present invention. In one embodiment Operation explanatory diagram of the pressing plate and the pressing means constituting the screen printing machine, FIG. 10 (a), the is a diagram for describing operation of the printing apparatus constituting a screen printing machine according to an embodiment of (b) the present invention.

図１及び図２において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板ＰＢの搬送方向の上流側（図１における紙面左側）から投入された基板ＰＢに対して半田ペーストや導電性ペースト等のペーストのスクリーン印刷を行って基板ＰＢの搬送方向の下流側（図１における紙面右側）の装置（図示せず）に搬出する。以下の説明では、スクリーン印刷機１における基板ＰＢの搬送方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向とする。また、上下方向をＺ軸方向とする。 1 and 2, the screen printing machine 1 according to the present embodiment uses a solder paste, a conductive paste, or the like to the substrate PB loaded from the upstream side in the conveyance direction of the substrate PB (left side in FIG. 1). The paste is screen-printed and carried out to an apparatus (not shown) on the downstream side (right side in FIG. 1) of the substrate PB in the conveyance direction. In the following description, the conveyance direction of the substrate PB in the screen printing machine 1 is the X axis direction, and the horizontal plane direction orthogonal to the X axis direction is the Y axis direction. Also, the vertical direction is the Z-axis direction.

図１及び図２において、スクリーン印刷機１は、基台２上に基板ＰＢにスクリーン印刷を施す印刷装置３、この印刷装置３に基板ＰＢを搬入する基板搬入コンベア４及び印刷装置３によってスクリーン印刷が施された基板ＰＢを印刷装置３から搬出する基板搬出コンベア５を備えている。これら基板搬入コンベア４、印刷装置３及び基板搬出コンベア５はこの順でＸ軸方向に並んで設けられており、基板搬入コンベア４及び基板搬出コンベア５はそれぞれ、同期して駆動される一対のベルトコンベアから構成されている。 1 and 2, the screen printing machine 1 is screen-printed by a printing device 3 that performs screen printing on a substrate PB on a base 2, a substrate carry-in conveyor 4 and a printing device 3 that carry the substrate PB into the printing device 3. The board | substrate carrying-out conveyor 5 which carries out the board | substrate PB which was given from the printing apparatus 3 is provided. The substrate carry-in conveyor 4, the printing device 3, and the substrate carry-out conveyor 5 are provided side by side in this order in the X-axis direction, and the substrate carry-in conveyor 4 and the substrate carry-out conveyor 5 are a pair of belts that are driven in synchronization. Consists of a conveyor.

図１、図２及び図３において、印刷装置３は、基板搬入コンベア４から基板ＰＢを受け取って水平面内方向に搬送する搬送コンベア１１、搬送コンベア１１上の基板ＰＢをクランプして基板ＰＢを搬送コンベア１１上に固定するクランパ１２、搬送コンベア１１上の基板ＰＢの水平面内方向への位置合わせと上下方向（Ｚ軸方向）への位置合わせを行う基板位置合わせ部１３、基板位置合わせ部１３の上方に設けられたマスクプレート１４、スキージヘッド１５、基板位置合わせ部１３とマスクプレート１４の間を水平方向に移動自在に設けられたカメラユニット１６及び押圧手段１７並びにマスクプレート１４上にペーストを供給するペースト供給部１８、基板位置合わせ部１３とマスクプレート１４の間を水平方向に移動自在に設けられた押圧プレートユニット１９を備えている。 1, 2, and 3, the printing apparatus 3 receives the substrate PB from the substrate carry-in conveyor 4 and conveys the substrate PB by clamping the substrate PB on the conveyance conveyor 11 and conveying the substrate PB in the horizontal plane direction. A clamper 12 fixed on the conveyor 11, a substrate alignment unit 13 that aligns the substrate PB on the conveyor 11 in the horizontal plane direction and an alignment in the vertical direction (Z-axis direction), and a substrate alignment unit 13 Paste is supplied onto the mask plate 14, the squeegee head 15 provided above, the camera unit 16, the pressing means 17, and the mask plate 14 provided so as to be movable in the horizontal direction between the substrate alignment unit 13 and the mask plate 14. The paste supply unit 18, the substrate alignment unit 13 and the mask plate 14 are provided so as to be movable in the horizontal direction. And a pressing plate unit 19.

図１及び図３において、搬送コンベア１１は同期して駆動される一対のベルトコンベア機構から構成されており、クランパ１２はＹ軸方向に開閉動作する一対の部材から構成されている。 1 and 3, the conveyor 11 is composed of a pair of belt conveyor mechanisms that are driven synchronously, and the clamper 12 is composed of a pair of members that open and close in the Y-axis direction.

図３において、基板位置合わせ部１３は、基台２に対してＹ軸方向に相対移動するＹテーブル１３ａ、Ｙテーブル１３ａに対してＸ軸方向に相対移動するＸテーブル１３ｂ、Ｘテーブル１３ｂに対してＺ軸回りに（水平面内で）相対回転するθテーブル１３ｃ、θテーブル１３ｃに固定されたベースプレート１３ｄ、ベースプレート１３ｄに対して相対昇降する第１昇降プレート１３ｅ、第１昇降プレート１３ｅに対して相対昇降する第２昇降プレート１３ｆ及び第２昇降プレート１３ｆに固定された基板支持部材１３ｇを有して構成される。 In FIG. 3, the substrate alignment unit 13 is provided for the Y table 13 a that moves relative to the base 2 in the Y axis direction, the X table 13 b that moves relative to the Y table 13 a in the X axis direction, and the X table 13 b. Relative to the Z table 13c that rotates relative to the Z axis (within a horizontal plane), the base plate 13d fixed to the θ table 13c, the first lift plate 13e that moves up and down relative to the base plate 13d, and the first lift plate 13e. The second elevating plate 13f is moved up and down, and the substrate supporting member 13g is fixed to the second elevating plate 13f.

基台２に対するＹテーブル１３ａのＹ軸方向への移動、Ｙテーブル１３ａに対するＸテーブル１３ｂのＸ軸方向への移動、Ｘテーブル１３ｂに対するθテーブル１３ｃのＺ軸回りの回転、ベースプレート１３ｄに対する（すなわちθテーブル１３ｃに対する）第１昇降プレート１３ｅの昇降、第１昇降プレート１３ｅに対する第２昇降プレート１３ｆの（すなわち基板支持部材１３ｇの）昇降の各動作は、このスクリーン印刷機１が備える制御装置２０（図４）がＹテーブル駆動モータＭｙやＸテーブル駆動モータＭｘ（図３）等のアクチュエータ等から成る基板位置合わせ部作動機構２１（図４）の作動制御を行うことによってなされる。 Movement of the Y table 13a with respect to the base 2 in the Y axis direction, movement of the X table 13b with respect to the Y table 13a in the X axis direction, rotation of the θ table 13c with respect to the X table 13b around the Z axis, and relative to the base plate 13d (that is, θ The control device 20 provided in the screen printing machine 1 is used for the operations of raising and lowering the first elevating plate 13e (with respect to the table 13c) and raising and lowering the second elevating plate 13f with respect to the first elevating plate 13e (that is, the substrate support member 13g). 4) is performed by controlling the operation of the substrate alignment unit operating mechanism 21 (FIG. 4) including actuators such as the Y table driving motor My and the X table driving motor Mx (FIG. 3).

また、搬送コンベア１１による基板ＰＢの搬送動作は制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成る搬送コンベア作動機構２２（図４）の作動制御を行うことによってなされ、クランパ１２による搬送コンベア１１上の基板ＰＢのクランプ動作は制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るクランパ作動機構２３（図４）の作動制御を行うことによってなされる。 Further, the substrate PB is transported by the transport conveyor 11 by the control device 20 controlling the operation of the transport conveyor operating mechanism 22 (FIG. 4) including an actuator (not shown), and the substrate PB on the transport conveyor 11 by the clamper 12. The clamping operation is performed when the control device 20 controls the operation of a clamper operating mechanism 23 (FIG. 4) including an actuator (not shown).

図１及び図３において、マスクプレート１４は平面視において矩形形状を有するマスク枠１４ａによって四辺が支持されており、マスク枠１４ａによって囲まれた内側領域には、印刷対象物である基板ＰＢの上面に形成された電極Ｄ（図１）の形状及び位置に対応した多数のパターン孔（図示せず）が設けられている。 In FIG. 1 and FIG. 3, the mask plate 14 is supported on four sides by a mask frame 14a having a rectangular shape in plan view, and an inner region surrounded by the mask frame 14a has an upper surface of a substrate PB that is a printing object. A large number of pattern holes (not shown) corresponding to the shape and position of the electrode D (FIG. 1) formed on is provided.

図３において、スキージヘッド１５は基板位置合わせ部１３に対して水平面内方向に移動自在に設けられた移動プレート１５ｐに、Ｙ軸方向に対向する２つのスキージ１５ａが取り付けられた構成となっている。各スキージ１５ａはＸ軸方向に延びた「へら」状の部材であり、移動プレート１５ｐに対する昇降動作とアタック角の設定を行うことができるようになっている。アタック角とは、搬送コンベア１１上の基板ＰＢ或いはマスクプレート１４に対してスキージ１５ａがなす角度αのことである。 In FIG. 3, the squeegee head 15 has a configuration in which two squeegees 15a facing in the Y-axis direction are attached to a moving plate 15p provided to be movable in a horizontal plane direction with respect to the substrate alignment unit 13. . Each squeegee 15a is a “spar” -like member extending in the X-axis direction, and can perform a lifting operation and an attack angle with respect to the moving plate 15p. The attack angle is an angle α formed by the squeegee 15 a with respect to the substrate PB or the mask plate 14 on the transport conveyor 11.

移動プレート１５ｐの移動動作は制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るスキージユニット移動機構２４（図４）の作動制御を行うことによってなされ、各スキージ１５ａの昇降動作は制御装置２０がスキージ昇降シリンダ１５ｂ（図３）等から成るスキージ昇降機構２５（図４）の作動制御を行うことによってなされる。また、各スキージ１５ａのアタック角の設定動作は制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るアタック角設定機構２６（図４）の作動制御を行うことによってなされる。 The moving operation of the moving plate 15p is performed by the control device 20 controlling the operation of the squeegee unit moving mechanism 24 (FIG. 4) including an actuator (not shown). The control device 20 moves the squeegee 15a up and down. This is done by controlling the operation of the squeegee lifting mechanism 25 (FIG. 4) comprising (FIG. 3) or the like. Further, the setting operation of the attack angle of each squeegee 15a is performed by the operation control of the attack angle setting mechanism 26 (FIG. 4) including an actuator (not shown) by the control device 20.

図１及び図２において、基台２の上方にはＹ軸ステージ３１がＹ軸方向に延びて設けられており、Ｙ軸ステージ３１にはＸ軸方向に延びたＸ軸ステージ３２の一端がＹ軸ステージ３１に沿って移動自在に取り付けられている。Ｘ軸ステージ３２にはＸ軸ステージ３２
に沿って移動自在な移動プレート３３が設けられており、カメラユニット１６及び押圧手段１７は、この移動プレート３３に取り付けられている。このためカメラユニット１６及び押圧手段１７は、Ｘ軸ステージ３２のＹ軸方向への移動と、移動プレート３３のＸ軸方向への移動の組み合わせにより、水平面内の任意の方向に移動させることができる。なお、この移動プレート３３の（カメラユニット１６及び押圧手段１７の）移動動作は、制御装置２０がＸ軸ステージ３２及び移動プレート３３の移動動作を行う図示しないアクチュエータから成る移動プレート移動機構３４（図４）の作動制御を行うことによってなされる。 1 and 2, a Y-axis stage 31 is provided above the base 2 so as to extend in the Y-axis direction, and one end of an X-axis stage 32 extending in the X-axis direction is provided on the Y-axis stage 31. The shaft stage 31 is mounted so as to be movable. The X axis stage 32 includes an X axis stage 32.
The camera unit 16 and the pressing means 17 are attached to the moving plate 33. Therefore, the camera unit 16 and the pressing means 17 can be moved in any direction within the horizontal plane by a combination of the movement of the X-axis stage 32 in the Y-axis direction and the movement of the moving plate 33 in the X-axis direction. . The moving operation of the moving plate 33 (the camera unit 16 and the pressing means 17) is performed by a moving plate moving mechanism 34 (see FIG. 5) composed of an actuator (not shown) in which the control device 20 moves the X-axis stage 32 and the moving plate 33. This is done by performing the operation control of 4).

図３において、カメラユニット１６は撮像面を下方に向けた第１カメラ３５と撮像面を上方に向けた第２カメラ３６を備えて成る。第１カメラ３５は、制御装置２０に制御されて基板位置合わせ部１３によって位置合わせされた基板ＰＢに設けられている基板位置検出マークＭ（図１）の撮像を行い、第２カメラ３６は、制御装置２０に制御されてマスクプレート１４に設けられているマスク位置検出マーク（図示せず）の撮像を行う。第１カメラ３５及び第２カメラ３６の撮像によって得られた画像データは制御装置２０に入力される（図４）。 In FIG. 3, the camera unit 16 includes a first camera 35 with the imaging surface facing downward and a second camera 36 with the imaging surface facing upward. The first camera 35 takes an image of the substrate position detection mark M (FIG. 1) provided on the substrate PB which is controlled by the control device 20 and is aligned by the substrate alignment unit 13, and the second camera 36 is Under the control of the control device 20, a mask position detection mark (not shown) provided on the mask plate 14 is imaged. Image data obtained by imaging with the first camera 35 and the second camera 36 is input to the control device 20 (FIG. 4).

図２において、押圧手段１７は、移動プレート３３に固定されたベース部（シリンダチューブ）１７ａに対して下方に延びた押圧部（ピストンロッド）１７ｂを下方に突没（昇降）させる空圧シリンダから成っている。押圧手段１７による押圧部１７ｂのベース部１７ａに対する下方への突没動作は、制御装置２０が空圧回路等から成る押圧手段作動機構４１（図４）の作動制御を行うことによってなされる。 In FIG. 2, the pressing means 17 is a pneumatic cylinder that protrudes and lowers (lifts and lowers) a pressing portion (piston rod) 17 b extending downward with respect to a base portion (cylinder tube) 17 a fixed to the moving plate 33. It is made up. The downward movement of the pressing portion 17b with respect to the base portion 17a by the pressing means 17 is performed when the control device 20 controls the operation of the pressing means operating mechanism 41 (FIG. 4) including a pneumatic circuit or the like.

図３において、ペースト供給部１８は、基板位置合わせ部１３に対して水平面内方向に移動自在に設けられた移動プレート１８ｐに、基板ＰＢに印刷しようとするペーストを下方に吐出するシリンジ１８ａが取り付けられた構成となっている。移動プレート１８ｐの移動動作は制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るペースト供給部移動機構４３（図４）の作動制御を行うことによってなされ、シリンジ１８ａによるペーストの供給動作は制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るペースト供給機構４４（図４）の作動制御を行うことによってなされる。 In FIG. 3, the paste supply unit 18 is attached with a syringe 18 a that discharges a paste to be printed on the substrate PB downward on a moving plate 18 p that is movable in a horizontal plane direction with respect to the substrate alignment unit 13. It is the composition which was made. The movement operation of the moving plate 18p is performed by the control device 20 controlling the operation of the paste supply unit moving mechanism 43 (FIG. 4) including an actuator (not shown), and the control device 20 does not show the paste supply operation by the syringe 18a. This is done by controlling the operation of the paste supply mechanism 44 (FIG. 4) comprising an actuator or the like.

図１及び図５において、押圧プレートユニット１９は矩形平板状の押圧プレート４７と、断面「コ」の字状に形成され、押圧プレート４７を昇降自在に支持する矩形の枠部材４８と、枠部材４８内に設けられて押圧プレート４７を枠部材４８の内壁上面４８ａ側に付勢する複数の付勢ばね４９を有して成る。押圧プレート４７は、上方からの押圧力が作用していないときには付勢ばね４９によって枠部材４８の内壁上面４８ａに下方から押し付けられた初期位置（図５（ａ））に位置しているが、押圧プレート４７の一部に上方からの押圧力Ｆが作用すると、押圧プレート４７は付勢ばね４９を縮ませて枠部材４８に対して相対下降する（図５（ｂ））。 1 and 5, the pressing plate unit 19 has a rectangular flat plate-shaped pressing plate 47, a rectangular frame member 48 which is formed in a U-shaped cross section and supports the pressing plate 47 so as to be movable up and down, and a frame member. A plurality of urging springs 49 are provided within 48 and urge the pressing plate 47 toward the inner wall upper surface 48 a side of the frame member 48. The pressing plate 47 is located at the initial position (FIG. 5A) pressed from the lower side against the inner wall upper surface 48 a of the frame member 48 by the biasing spring 49 when the pressing force from above is not applied. When a pressing force F from above acts on a part of the pressing plate 47, the pressing plate 47 contracts the biasing spring 49 and descends relative to the frame member 48 (FIG. 5B).

図１において、押圧プレートユニット１９の枠部材４８は、基板搬入コンベア４、印刷装置３の搬送コンベア１１及び基板搬出コンベア５の両側上方をＸ軸方向に延びて設けられた２つのガイド部材５１よってＸ軸方向にスライド自在に支持されている。一方のガイド部材５１のＹ軸方向外側には空圧シリンダ５２が基台２の上方をＸ軸方向に延びて設けられており、この空圧シリンダ５２のピストンロッド５３の先端部には介在部材５４を介して枠部材４８が連結されている。このため制御装置２０から空圧シリンダ５２を作動させて（図４）、ピストンロッド５３をＸ軸方向に作動させることにより、押圧プレートユニット１９を（すなわち押圧プレート４７を）、基板搬入コンベア４、搬送コンベア１１及び基板搬出コンベア５の上方においてＸ軸方向に移動させることができる。 In FIG. 1, the frame member 48 of the pressing plate unit 19 is formed by two guide members 51 provided extending in the X-axis direction above both sides of the substrate carry-in conveyor 4, the transfer conveyor 11 of the printing apparatus 3, and the substrate carry-out conveyor 5. It is slidably supported in the X-axis direction. A pneumatic cylinder 52 is provided on the outer side of one guide member 51 in the Y-axis direction so as to extend in the X-axis direction above the base 2, and an interposition member is disposed at the tip of the piston rod 53 of the pneumatic cylinder 52. A frame member 48 is connected via 54. For this reason, by operating the pneumatic cylinder 52 from the control device 20 (FIG. 4) and operating the piston rod 53 in the X-axis direction, the pressing plate unit 19 (that is, the pressing plate 47), the substrate carry-in conveyor 4, It can be moved in the X-axis direction above the transport conveyor 11 and the substrate carry-out conveyor 5.

基板搬入コンベア４による基板ＰＢの搬送（搬入）動作の制御及び基板搬出コンベア５による基板ＰＢの搬送（搬出）動作の制御は制御装置２０によってなされる（図４）。スクリーン印刷機１の制御装置２０は、上流側から基板ＰＢが投入されたことを図示しない検知手段により検知したら、基板搬入コンベア４を作動させてその基板ＰＢを受け取る（基板搬入工程）。そして、印刷装置３の搬送コンベア１１に受け渡すとともに、移動プレート３３を（すなわちストッパとしての押圧手段１７の押圧部１７ｂを）所定位置に位置させる（図６（ａ）。ストッパ設置工程）。この所定位置は、搬送コンベア１１により搬送される基板ＰＢが下方に突出させた押圧手段１７の押圧部１７ｂと当接したときに、基板ＰＢがスクリーン印刷作業を行う作業位置において停止する位置である。これにより、搬送コンベア１１により搬送される基板ＰＢは、押圧手段１７の押圧部１７ｂに先頭部が当接して、作業位置に位置決めされる（基板位置決め工程）。なお、このとき押圧プレート４７は押圧手段１７による基板ＰＢの位置決めの邪魔にならない基板搬入コンベア４の上方の待機位置に位置される。 Control of the substrate PB transfer (carry-in) operation by the substrate carry-in conveyor 4 and control of the substrate PB transfer (carry-out) operation by the substrate carry-out conveyor 5 are performed by the control device 20 (FIG. 4). When the control device 20 of the screen printing machine 1 detects that the substrate PB has been introduced from the upstream side by a detection means (not shown), it operates the substrate carry-in conveyor 4 to receive the substrate PB (substrate carry-in process). And while delivering to the conveyance conveyor 11 of the printing apparatus 3, the moving plate 33 (namely, the press part 17b of the press means 17 as a stopper) is located in a predetermined position (Fig.6 (a). Stopper installation process). This predetermined position is a position where the substrate PB stops at the work position where the screen printing operation is performed when the substrate PB conveyed by the conveyor 11 comes into contact with the pressing portion 17b of the pressing means 17 protruding downward. . Thereby, the board | substrate PB conveyed by the conveyance conveyor 11 contact | abuts the front part to the press part 17b of the press means 17, and is positioned in a work position (board | substrate positioning process). At this time, the pressing plate 47 is positioned at a standby position above the substrate carry-in conveyor 4 that does not interfere with the positioning of the substrate PB by the pressing means 17.

制御装置２０は、搬送コンベア１１により搬送される基板ＰＢ（図６（ａ）中に示す矢印Ａ１）が押圧手段１７の押圧部１７ｂと当接して作業位置に位置決めされたら（図６（ｂ））、搬送コンベア作動機構２２の作動制御を行って、搬送コンベア１１による基板ＰＢの搬送作動を停止させる。 When the substrate PB (arrow A1 shown in FIG. 6A) transported by the transport conveyor 11 comes into contact with the pressing portion 17b of the pressing means 17 and is positioned at the working position, the control device 20 (FIG. 6B). ), The operation control of the transfer conveyor operating mechanism 22 is performed, and the transfer operation of the substrate PB by the transfer conveyor 11 is stopped.

制御装置２０は、搬送コンベア１１による基板ＰＢの搬送作動を停止させ、基板ＰＢを作業位置に静止させたら、空圧シリンダ５２を作動させて、押圧プレート４７を作業位置に位置決めされた基板ＰＢの上方位置に進出させるとともに（図７（ａ）。図中に示す矢印Ａ２。押圧プレート進出工程）、押圧手段１７を押圧プレート４７の中央部の直上に位置させる（図７（ａ））。 The control device 20 stops the transport operation of the substrate PB by the transport conveyor 11, stops the substrate PB at the work position, operates the pneumatic cylinder 52, and moves the pressing plate 47 to the work position. While advancing to the upper position (FIG. 7A, arrow A2 shown in the figure, pressing plate advancing step), the pressing means 17 is positioned immediately above the central portion of the pressing plate 47 (FIG. 7A).

制御装置２０は、押圧プレート４７を作業位置に位置決めされた基板ＰＢの上方位置に進出させ、押圧手段１７を押圧プレート４７の中央部の直上に位置させたら、次いで、第２昇降プレート１３ｆを第１昇降プレート１３ｅに対して相対上昇させ（図７（ａ）中に示す矢印Ａ３）、基板支持部材１３ｇの上面を基板ＰＢの下面に下方から当接させて、基板ＰＢを基板支持部材１３ｇに支持させる（図７（ａ）。基板支持工程）。 The control device 20 advances the pressing plate 47 to a position above the substrate PB positioned at the work position, and after the pressing means 17 is positioned immediately above the central portion of the pressing plate 47, the second elevating plate 13f is then moved to the second elevating plate 13f. 1 is raised relative to the lifting plate 13e (arrow A3 shown in FIG. 7A), the upper surface of the substrate support member 13g is brought into contact with the lower surface of the substrate PB from below, and the substrate PB is brought into contact with the substrate support member 13g. Support (FIG. 7 (a). Substrate support step).

制御装置２０は、基板ＰＢを基板支持部材１３ｇに支持させたら、押圧手段作動機構４１の作動制御を行って押圧手段１７の押圧部１７ｂを下方に突出（下降）させ（図７（ｂ）中に示す矢印Ａ４）、押圧部１７ｂの下端部を押圧プレート４７に接触させて（図７（ｂ）及び図８（ａ））、押圧プレート４７を上方から押圧する（図８（ｂ）。図中に示す矢印Ａ５）。これにより押圧プレート４７は付勢ばね４９を押し縮めて枠部材４８に対して相対下降し、基板ＰＢの表面に上方から接触して、基板ＰＢ全体を基板支持部材１３ｇに押圧する（基板押圧工程）。これにより基板ＰＢは押圧プレート４７と基板支持部材１３ｇに挟まれ、基板ＰＢに反りがあった場合にはその反りが矯正される。 After the substrate PB is supported by the substrate support member 13g, the control device 20 controls the operation of the pressing means operating mechanism 41 to project (lower) the pressing portion 17b of the pressing means 17 (in FIG. 7B). The lower end of the pressing portion 17b is brought into contact with the pressing plate 47 (FIGS. 7B and 8A), and the pressing plate 47 is pressed from above (FIG. 8B). Arrow A5) shown in the inside. As a result, the pressing plate 47 presses and contracts the biasing spring 49 and descends relative to the frame member 48, contacts the surface of the substrate PB from above, and presses the entire substrate PB against the substrate support member 13g (substrate pressing step). ). Thus, the substrate PB is sandwiched between the pressing plate 47 and the substrate support member 13g, and when the substrate PB is warped, the warp is corrected.

制御装置２０は、押圧手段１７による押圧プレート４７を介した基板ＰＢの押圧が終了したら、押圧手段作動機構４１の作動制御を行って、押圧手段１７の押圧部１７ｂを上昇させる（図９（ａ）。図中に示す矢印Ａ６）。これにより押圧プレート４７は付勢ばね４９によって押し上げられて枠部材４８に対して相対昇降し、初期位置に復帰して押圧プレート４７は基板ＰＢの表面から離間する。制御装置２０は、押圧手段１７の押圧部１７ｂを上昇させたら、押圧プレートユニット１９を（すなわち押圧プレート４７を）、基板搬入コンベア４の上方の待機位置に移動させる（図９（ｂ）。図中に示す矢印Ａ７）。 When the pressing of the substrate PB via the pressing plate 47 by the pressing means 17 is finished, the control device 20 controls the pressing means operating mechanism 41 to raise the pressing portion 17b of the pressing means 17 (FIG. 9A). Arrow A6) shown in the figure. As a result, the pressing plate 47 is pushed up by the biasing spring 49 and moves up and down relative to the frame member 48, returns to the initial position, and the pressing plate 47 is separated from the surface of the substrate PB. When the control device 20 raises the pressing portion 17b of the pressing means 17, the pressing plate unit 19 (that is, the pressing plate 47) is moved to the standby position above the substrate carry-in conveyor 4 (FIG. 9B). Arrow A7) shown in the inside.

制御装置２０は、上記のようにしてスクリーン印刷前における基板ＰＢの反りの矯正を行ったら、クランパ作動機構２３の作動制御を行い、クランパ１２により基板ＰＢを搬送
コンベア１１上に固定する。 When the control device 20 corrects the warp of the substrate PB before screen printing as described above, the control device 20 controls the operation of the clamper operating mechanism 23 and fixes the substrate PB on the transport conveyor 11 by the clamper 12.

制御装置２０は、クランパ１２により基板ＰＢを搬送コンベア１１上に固定したら、第１カメラ３５の移動及び撮像制御を行って基板ＰＢの基板位置検出マークＭの画像データを取得し、基板ＰＢの位置を把握するとともに、第２カメラ３６の移動及び撮像制御を行ってマスクプレート１４のマスク位置検出マークの画像データを取得し、マスクプレート１４の位置を把握する。 After fixing the substrate PB on the conveyor 11 by the clamper 12, the control device 20 performs movement and imaging control of the first camera 35 to acquire the image data of the substrate position detection mark M of the substrate PB, and the position of the substrate PB. In addition, the movement of the second camera 36 and the imaging control are performed to acquire the image data of the mask position detection mark of the mask plate 14, and the position of the mask plate 14 is grasped.

制御装置２０は、基板ＰＢの位置とマスクプレート１４の位置を把握したら、基板位置合わせ部１３による基板ＰＢの水平面内方向の移動動作によって、基板ＰＢをマスクプレート１４の直下の所定位置に位置させた後、基板位置合わせ部１３による基板ＰＢの垂直方向の移動（第１昇降プレート１３ｅの上昇）動作によって、基板ＰＢの印刷面（上面）をマスクプレート１４の下面に下方から接触させる（マスクプレート接触工程）。これによりマスクプレート１４が基板ＰＢに対して位置合わせされる（図１０（ａ））。 After grasping the position of the substrate PB and the position of the mask plate 14, the control device 20 moves the substrate PB in the horizontal plane direction by the substrate alignment unit 13 and positions the substrate PB at a predetermined position directly below the mask plate 14. Thereafter, the printed surface (upper surface) of the substrate PB is brought into contact with the lower surface of the mask plate 14 from below by the movement of the substrate PB in the vertical direction by the substrate alignment unit 13 (upward movement of the first elevating plate 13e) (mask plate). Contact process). Thereby, the mask plate 14 is aligned with the substrate PB (FIG. 10A).

制御装置２０は、マスクプレート１４に対する基板ＰＢの位置合わせを行ったら、基板ＰＢに対するスクリーン印刷を実行する。これには先ず、ペースト供給部１８をマスクプレート１４の上方に移動させ、シリンジ１８ａからマスクプレート１４の上面にペーストＰを供給する（図１０（ａ）。ペースト供給工程）。 After aligning the substrate PB with the mask plate 14, the control device 20 performs screen printing on the substrate PB. First, the paste supply unit 18 is moved above the mask plate 14, and the paste P is supplied from the syringe 18a to the upper surface of the mask plate 14 (FIG. 10A. Paste supply process).

制御装置２０は、マスクプレート１４の上面にペーストＰを供給したら、一方のスキージ１５ａを下降させてそのスキージ１５ａの下縁をマスクプレート１４の上面に当接させる（図１０（ｂ））。そして、スキージヘッド１５をＹ軸方向に移動させ、ペーストＰをスキージ１５ａによってかき寄せて、ペーストＰをマスクプレート１４のパターン孔内に充填させる。 After supplying the paste P to the upper surface of the mask plate 14, the control device 20 lowers one squeegee 15a and brings the lower edge of the squeegee 15a into contact with the upper surface of the mask plate 14 (FIG. 10B). Then, the squeegee head 15 is moved in the Y-axis direction, the paste P is scraped by the squeegee 15a, and the paste P is filled into the pattern holes of the mask plate 14.

なお、図１０（ｂ）は、図中の左側のスキージ１５ａを矢印Ａ８の方向に移動させることによってペーストＰを矢印Ａ８の方向にかき寄せる様子を示したものである。ペーストＰを矢印Ａ８と反対の方向にかき寄せるときには、図中の右側のスキージ１５ａをマスクプレート１４の上面に当接させて、スキージヘッド１５を矢印Ａ８と反対の方向に移動させる。 FIG. 10B shows a state in which the paste P is scraped in the direction of the arrow A8 by moving the left squeegee 15a in the direction of the arrow A8. When the paste P is scraped in the direction opposite to the arrow A8, the squeegee 15a on the right side in the drawing is brought into contact with the upper surface of the mask plate 14, and the squeegee head 15 is moved in the direction opposite to the arrow A8.

制御装置２０は、マスクプレート１４のパターン孔内にペーストＰを充填させたら、第２昇降プレート１３ｆを第１昇降プレート１３ｅに対して相対下降させ、マスクプレート１４を基板ＰＢから分離させる。これにより、いわゆる版離れが行われ、マスクプレート１４のパターン孔内に充填されたペーストＰが基板ＰＢ上に印刷（転写）される（印刷工程）。 After filling the pattern P of the mask plate 14 with the paste P, the control device 20 lowers the second lift plate 13f relative to the first lift plate 13e to separate the mask plate 14 from the substrate PB. Thereby, so-called plate separation is performed, and the paste P filled in the pattern holes of the mask plate 14 is printed (transferred) onto the substrate PB (printing process).

制御装置２０は、基板ＰＢにペーストを印刷したら、基板位置合わせ部１３を作動させて、搬送コンベア１１の基板搬出コンベア５に対する位置調整を行ったうえで、基板ＰＢを搬送コンベア１１から基板搬出コンベア５に載せ換え、基板搬出コンベア５によって、基板ＰＢをスクリーン印刷機１の外部に搬出する（基板搬出工程）。 After printing the paste on the substrate PB, the control device 20 operates the substrate alignment unit 13 to adjust the position of the transport conveyor 11 with respect to the substrate carry-out conveyor 5, and then transfers the substrate PB from the transport conveyor 11 to the substrate carry-out conveyor. 5 and the substrate PB is carried out of the screen printer 1 by the substrate carry-out conveyor 5 (substrate carry-out process).

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板ＰＢの搬送を行う搬送手段（ここでは印刷装置３の搬送コンベア１１）、搬送手段によって搬送される基板ＰＢを作業位置に位置決めする位置決め手段、作業位置に位置決めされた基板ＰＢの上方位置に対して進退自在に設けられた押圧プレート４７、基板ＰＢの上方位置に進出された押圧プレート４７を下方に押圧し、押圧プレート４７を介して基板ＰＢ全体を押圧する押圧手段１７、押圧手段１７により押圧された押圧プレート４７が基板ＰＢの上方位置から退去された後、基板ＰＢに接触されるマスクプレート１４、基板ＰＢと接触されたマスクプレ
ート１４にペーストＰを供給するペースト供給手段としてのペースト供給部１８、及び、ペースト供給部１８によりペーストＰが供給されたマスクプレート１４に対して摺動され、マスクプレート１４に設けられたパターン孔を介して基板ＰＢにペーストＰを印刷するスキージ１５ａを備えている。そして、位置決め手段は押圧手段１７の一部（押圧部１７ｂ）から成り、搬送手段により搬送される基板ＰＢと当接して基板ＰＢを作業位置に停止させるようになっている。 As described above, the screen printing machine 1 according to the present embodiment positions the substrate PB transported by the transport unit (here, the transport conveyor 11 of the printing apparatus 3) that transports the substrate PB at the work position. The pressing plate 47 provided so as to be movable forward and backward with respect to the upper position of the substrate PB positioned at the working position, and the pressing plate 47 advanced to the upper position of the substrate PB are pressed downward, via the pressing plate 47. The pressing unit 17 that presses the entire substrate PB, the mask plate 14 that contacts the substrate PB after the pressing plate 47 pressed by the pressing unit 17 is moved away from the upper position of the substrate PB, and the mask plate that contacts the substrate PB 14 is a paste supply unit 18 serving as a paste supply unit that supplies paste P to 14 and a paste supply unit 18 It is slid with respect to the mask plate 14 bets P is supplied, and a squeegee 15a of printing paste P in the substrate PB through the pattern holes provided in the mask plate 14. The positioning means comprises a part of the pressing means 17 (pressing portion 17b), and comes into contact with the substrate PB transported by the transporting means to stop the substrate PB at the working position.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法は、搬送手段によって搬送される基板ＰＢを作業位置に位置決めする工程（基板位置決め工程）、作業位置に位置決めした基板ＰＢの上方位置に押圧プレート４７を進出させる工程（押圧プレート進出工程）、基板ＰＢの上方位置に進出させた押圧プレート４７を押圧手段１７によって下方に押圧し、押圧プレート４７を介して基板ＰＢ全体を押圧する工程（基板押圧工程）、押圧手段１７により押圧した押圧プレート４７を基板ＰＢの上方から退去させた後、基板ＰＢにマスクプレート１４を接触させる工程（マスクプレート接触工程）、基板ＰＢと接触したマスクプレート１４にペーストＰを供給する工程（ペースト供給工程）、ペーストＰが供給されたマスクプレート１４に対してスキージ１５ａを摺動させ、マスクプレート１４に設けられたパターン孔を介して基板ＰＢにペーストＰを印刷する工程（印刷工程）を含んでいる。そして、基板を作業位置に位置決めする工程（基板位置決め工程）において、搬送手段により搬送される基板ＰＢに押圧手段１７の一部（押圧部１７ｂ）を当接させて基板ＰＢを作業位置に停止させるようになっている。 Further, in the screen printing method according to the present embodiment, the step of positioning the substrate PB conveyed by the conveying means at the work position (substrate positioning step), and the pressing plate 47 is advanced to the position above the substrate PB positioned at the work position. A step (pressing plate advancement step), a step of pressing the pressing plate 47 advanced to the upper position of the substrate PB downward by the pressing means 17 and pressing the entire substrate PB via the pressing plate 47 (substrate pressing step), pressing After the pressing plate 47 pressed by the means 17 is withdrawn from above the substrate PB, the step of bringing the mask plate 14 into contact with the substrate PB (mask plate contacting step), and the paste P is supplied to the mask plate 14 in contact with the substrate PB. Step (paste supply step), the mask plate 14 supplied with the paste P is scanned. Di 15a slide includes the step (printing process) of printing the paste P in the substrate PB through the pattern holes provided in the mask plate 14. In the step of positioning the substrate at the working position (substrate positioning step), a part of the pressing unit 17 (pressing portion 17b) is brought into contact with the substrate PB transported by the transporting unit to stop the substrate PB at the working position. It is like that.

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１（スクリーン印刷方法）では、作業位置に位置決めした基板ＰＢの上方位置に進出させた押圧プレート４７を押圧手段１７によって下方に押圧し、押圧プレート４７を介して基板ＰＢ全体を押圧するようになっている。このため押圧力は基板ＰＢの各部に均等に分散し、基板ＰＢに局部的な変形を発生させることなく、基板ＰＢ全体の反りを矯正することができる。したがって本実施の形態におけるスクリーン印刷機１（スクリーン印刷方法）によれば、基板ＰＢに局部的な変形を発生させることなく基板ＰＢの反りを矯正し、そのうえでスクリーン印刷を実行することができる。 Thus, in the screen printer 1 (screen printing method) in the present embodiment, the pressing plate 47 advanced to the upper position of the substrate PB positioned at the work position is pressed downward by the pressing means 17, and the pressing plate 47 is pressed. The entire substrate PB is pressed through the gap. For this reason, the pressing force is uniformly distributed to each part of the substrate PB, and the warpage of the entire substrate PB can be corrected without causing local deformation of the substrate PB. Therefore, according to the screen printer 1 (screen printing method) in the present embodiment, it is possible to correct the warp of the substrate PB without causing local deformation of the substrate PB, and to execute screen printing on that.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、押圧手段１７は水平面内方向に移動自在に設けられたベース部１７ａに対して押圧部１７ｂが昇降する構成となっていたが、押圧手段１７は、基板ＰＢの上方位置に進出された押圧プレート４７を下方に押圧し、押圧プレート４７を介して基板ＰＢ全体を押圧するものであればよく、水平面内方向に移動自在かつ昇降自在に設けられたベース部に押圧部が固定された構成であってもよい。 Although the embodiment of the present invention has been described so far, the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, in the above-described embodiment, the pressing unit 17 is configured such that the pressing unit 17b moves up and down with respect to the base unit 17a provided so as to be movable in the horizontal plane direction. The press plate 47 advanced to the upper position may be pressed downward and the entire substrate PB may be pressed via the press plate 47, and may be pressed to the base portion provided so as to be movable in the horizontal plane and freely movable up and down. The configuration may be such that the part is fixed.

また、押圧プレート４７は、作業位置に位置決めされた基板ＰＢの上方位置に対して進退自在に設けられていればよく、押圧プレート４７を移動させる構成は、上述の実施形態に示したもの（空圧シリンダ５２によるもの）に限定されない。また、押圧プレート４７を昇降させる構成も、上述の実施の形態に示したもの（押圧プレート４７を枠部材４８に対して昇降自在とする構成）に限定されない。 Further, the pressing plate 47 may be provided so as to be able to advance and retreat with respect to the upper position of the substrate PB positioned at the work position, and the configuration for moving the pressing plate 47 is the same as that shown in the above-described embodiment (empty). It is not limited to that by the pressure cylinder 52). Further, the structure for raising and lowering the pressing plate 47 is not limited to the one shown in the above-described embodiment (the structure in which the pressing plate 47 can be raised and lowered with respect to the frame member 48).

また、上述の実施の形態では、作業位置に位置決めした基板ＰＢの上方位置に進出させた押圧プレート４７の１箇所（中央部）を１つの押圧手段１７で押圧するようになっていたが、押圧プレート４７の複数の位置を複数の押圧手段１７で同時に押圧するようにしてもよい。 Further, in the above-described embodiment, one pressing means 17 presses one place (center portion) of the pressing plate 47 advanced to the upper position of the substrate PB positioned at the work position. A plurality of positions of the plate 47 may be simultaneously pressed by the plurality of pressing means 17.

基板に局部的な変形を発生させることなく基板の反りを矯正し、そのうえでスクリーン印刷を実行することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。 Provided are a screen printing machine and a screen printing method capable of correcting warpage of a substrate without causing local deformation of the substrate and performing screen printing on the substrate.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図The top view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図The side view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷装置の正面図The front view of the printing apparatus which comprises the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える押圧プレートユニットの断面図(A) (b) Sectional drawing of the press plate unit with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する押圧プレート及び押圧手段の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the press plate and press means which comprise the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する押圧プレート及び押圧手段の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the press plate and press means which comprise the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する押圧プレート及び基板の断面図(A) (b) Sectional drawing of the press plate and board | substrate which comprise the screen printer in one embodiment of this invention. （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する押圧プレート及び押圧手段の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the press plate and press means which comprise the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機を構成する印刷装置の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the printing apparatus which comprises the screen printer in one embodiment of this invention

Explanation of symbols

１スクリーン印刷機
１１搬送コンベア（搬送手段）
１４マスクプレート
１５ａスキージ
１７押圧手段
１７ｂ押圧部（位置決め手段、押圧手段の一部）
１８ペースト供給部（ペースト供給手段）
４７押圧プレート
ＰＢ基板
Ｐペースト 1 Screen printer 11 Conveyor (conveying means)
14 Mask plate 15a Squeegee 17 Pressing means 17b Pressing part (positioning means, part of pressing means)
18 Paste supply unit (paste supply means)
47 Pressing plate PB Substrate P Paste

Claims

Transport means for transporting the substrate;
Positioning means for positioning the substrate conveyed by the conveying means at a work position;
A pressing plate provided to be movable forward and backward with respect to the upper position of the substrate positioned at the working position;
A pressing means for pressing the pressing plate advanced to the upper position of the substrate downward and pressing the entire substrate through the pressing plate;
A mask plate that is brought into contact with the substrate after the pressing plate pressed by the pressing means has been withdrawn from the upper position of the substrate;
Paste supply means for supplying paste to the mask plate in contact with the substrate;
A squeegee that is slid with respect to the mask plate to which the paste is supplied by the paste supply means and prints the paste on the substrate through the pattern hole provided in the mask plate;
A screen printing machine comprising:

2. The screen printing machine according to claim 1, wherein the positioning means comprises a part of the pressing means, and comes into contact with the substrate conveyed by the conveying means to stop the substrate at the working position.

Positioning the substrate transported by the transport means at a work position;
A step of advancing the pressing plate above the substrate positioned at the working position;
Pressing the pressing plate advanced to the upper position of the substrate downward by pressing means and pressing the entire substrate through the pressing plate;
A step of contacting the mask plate with the substrate after the pressing plate pressed by the pressing means is withdrawn from the upper position of the substrate;
Supplying paste to the mask plate in contact with the substrate;
Sliding the squeegee with respect to the mask plate supplied with the paste, and printing the paste on the substrate via the pattern holes provided in the mask plate;
A screen printing method comprising:

4. The screen printing method according to claim 3, wherein in the step of positioning the substrate at the work position, a part of the pressing unit is brought into contact with the substrate conveyed by the conveyance unit to stop the substrate at the work position.