JP2010056132A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】発振が抑制できるとともに、直流動作測定を正確に行うことができる半導体装置を提供すること。
【解決手段】GaAs基板11上に形成された複数のドレイン電極15、及び複数のソース電極14と、これらのドレイン電極15とソース電極14との間にそれぞれ形成された複数のゲート電極13と、これらのゲート電極13に接続された複数のゲートバスライン18と、これらのゲートバスライン18にそれぞれ接続された複数のゲートパッド20と、これらのゲートパッド20と複数のゲートバスライン18との間に形成され、複数のソース電極14を接続するソースパッド16と、このソースパッド16に対向する位置に形成され、複数のドレイン電極15を接続する複数のドレインパッド17と、GaAs基板11に埋め込み形成され、複数のゲートパッド20をそれぞれ接続する抵抗21と、複数のドレインパッド17をそれぞれ接続するマイクロストリップライン22と、を具備する。
【選択図】図1
【解決手段】GaAs基板11上に形成された複数のドレイン電極15、及び複数のソース電極14と、これらのドレイン電極15とソース電極14との間にそれぞれ形成された複数のゲート電極13と、これらのゲート電極13に接続された複数のゲートバスライン18と、これらのゲートバスライン18にそれぞれ接続された複数のゲートパッド20と、これらのゲートパッド20と複数のゲートバスライン18との間に形成され、複数のソース電極14を接続するソースパッド16と、このソースパッド16に対向する位置に形成され、複数のドレイン電極15を接続する複数のドレインパッド17と、GaAs基板11に埋め込み形成され、複数のゲートパッド20をそれぞれ接続する抵抗21と、複数のドレインパッド17をそれぞれ接続するマイクロストリップライン22と、を具備する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置に関し、特にGaNなどの高周波動作に適した半導体材料を用いた電界効果トランジスタに関する。
複数の電界効果型トランジスタ(以下、FET(Field Effect Transistor)と称す)が配列形成されたFETチップは、それぞれ複数のゲート電極、ソース電極、ドレイン電極が形成されており、複数のソース電極及び複数のドレイン電極はそれぞれ、相対する方向に形成されたソースパッド、及びドレインパッドに電気的に接続されている。また、複数のゲート電極は、ソースパッド、ドレインパッド間に形成されたゲートバスラインに接続されている。このゲートバスラインは、ソースパッドを介してゲートバスラインに対向する位置に形成されたゲートパッドに接続されている。
従来、このようなFETチップは、ウエハ上に数千ものFETチップを形成するため、各チップの性能に製造ばらつきが生じる。従って、製造された各チップに対して直流動作測定を行い、一定の性能を有するチップのみを選別している。この測定は、マニュアルプローバ等を例えばゲートパッドとドレインパッドとに接触させ、直流電圧を印加することで行われる。
一方、上述のFETチップにRF信号を入力した場合、ループ発振が生じる場合がある。ここでループ発振とは、FETチップにおいて、様々な箇所に形成される電気的に閉じた回路(ループ)に定在波が生じる現象をいう。このループ発振が生じた場合、ループの長さに応じて増幅したい周波数以外の周波数も増幅されるため、増幅器として機能しなくなる。
そこで、FETチップ内のゲートパッド及びドレインパッドを複数に分割するとともに、ゲートパッド間及びドレインパッド間をそれぞれ抵抗体で接続したFETチップが知られている(特許文献1)。
しかし、このようにFETチップ内のゲートパッド及びドレインパッドを複数に分割し、これらの間を抵抗で接続した場合、上述のようにマニュアルプローバ等により直流電圧を印加することでFETの直流動作特性を測定する際に、ドレインパッド間の抵抗には増幅後の大きな電流が流れ、各ドレインパッド間に大きな電位差が生じるため、マニュアルプローバの接触箇所によって電位が異なり、正確な測定が困難であるという問題がある。
特許第2735403号
本発明の課題は、発振が抑制できるとともに、直流動作測定を正確に行うことができる半導体装置を提供することにある。
本発明による半導体装置は、半導体基板上に形成された複数のドレイン電極、及び複数のソース電極と、これらのドレイン電極とソース電極との間にそれぞれ形成された複数のゲート電極と、これらのゲート電極に接続された複数のゲートバスラインと、これらのゲートバスラインにそれぞれ接続された複数のゲートパッドと、これらのゲートパッドと複数のゲートバスラインとの間に形成され、複数のソース電極を接続するソースパッドと、このソースパッドに対向する位置に形成され、複数のドレイン電極を接続する複数のドレインパッドと、半導体基板に埋め込み形成され、複数のゲートパッドをそれぞれ接続する抵抗と、複数のドレインパッドをそれぞれ接続する金属細線と、を具備することを特徴とするものである。
本発明によれば、発振が抑制できるとともに、直流動作測定を正確に行うことができる半導体装置を提供することができる。
以下に、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本実施形態のFETチップを示す上面図である。
図1に示すように、本実施形態のFETチップ10は、GaAs基板11に、複数のFET12が形成されている。それぞれのFET12は、ゲート電極13、ソース電極14、ドレイン電極15を有し、ゲート電極13は、ソース電極14とドレイン電極15とで挟み込むように形成されている。GaAs基板11上に形成された複数のFET12が有する複数のソース電極14及び複数のドレイン電極15はそれぞれ、相対する方向に形成されたソースパッド16、及びドレインパッド17に電気的に接続されている。一方、複数のゲート電極13は、ソースパッド16とドレインバッド17との間に形成されたゲートバスライン18に接続されている。そして、これらのゲートバスライン18は、複数の引き出し線19によって、ドレインパッド17の外側に形成されたゲートパッド20に接続されている。ソースパッド16と複数の引き出し線19とが交差する箇所は、それぞれの引き出し線19上にエアブリッジ配線によりソースパッド16が形成されており、引き出し線19とソースパッド16とは、電気的に絶縁されている。ゲートバスライン18とソース電極14とが交差する箇所も同様である。なお、引き出し線19とソースパッド16及び、ゲートバスライン18とソース電極14とは、それぞれ絶縁膜を介した構造であってもよい。
このようなFETチップ10において、ドレインパッド17及びゲートパッド20は複数に分割されている。このとき、ドレインパッド17及びゲートパッド20の分割数は、入力されるRF信号の周波数に応じて適宜決定している。具体的には、上述のFETチップ10は、実際に所望の周波数を有するRF信号を入力し、発振が起こらなくなるまで細かく分割することで形成されている。
上述のように分割されたゲートパッド20間は、それぞれ抵抗21で接続されている。この抵抗21は、例えばGaAs基板11中のゲートパッド20が分割された位置にシリコンを注入し、n型の導電領域を形成することによって形成された抵抗層である。なお、この抵抗21は、GaAs基板11上に、抵抗21が形成される箇所に開口を有するレジストマスクを形成し、このマスクを介してシリコンを注入した後、レジストマスクを除去することで形成することができる。
また、分割されたドレインパッド17間は、それぞれ例えば金で形成されたマイクロストリップライン22で接続されている。このマイクロストリップライン22は、リアクタンスは大きく、直流電流に対する抵抗は小さいことが好ましい。マイクロストリップライン22のリアクタンスは電気長Lに依存して大きくなることを考慮すれば、マイクロストリップライン22は長いことが好ましい。具体的には、次の通りである。
図2は、上述のFETチップ10のドレインパッド17間を接続するマイクロストリップライン22と、各ドレインパッド17に接続され、これと外部とを接続する金ワイヤ(図1においては図示せず)で構成される回路を示す等価回路である。
図2の等価回路に示すように、マイクロストリップライン22の電気長Lは、ドレインパッド17とFETチップ10の外部とを接続する金ワイヤ23の電気長L´と比較して、次式(1)を満たす長さで形成されていることが好ましい。
L/2≧3L´ (1)
なお、この条件は、ドレインパッド17間を接続するマイクロストリップライン22の方向(図の点線)にはほとんど交流電流が流れずに、ドレインパッド17に接続された金ワイヤ23の方向(図の実線)に交流電流がほぼ全て流れるため条件であり、経験によって得られたものである。
なお、この条件は、ドレインパッド17間を接続するマイクロストリップライン22の方向(図の点線)にはほとんど交流電流が流れずに、ドレインパッド17に接続された金ワイヤ23の方向(図の実線)に交流電流がほぼ全て流れるため条件であり、経験によって得られたものである。
以上のように、本実施形態におけるFETチップ10によれば、分割されたドレインパッド17間は、交流電流に対するリアクタンスが大きく、直流電流に対する抵抗は無視できるほど小さいマイクロストリップライン22で接続されている。従って、交流信号に対しては発振の抑制が可能となり、直流動作測定の際には、ドレインパッド17間にほとんど電位差は生じないため、一本のプローブをいずれかのドレインパッド17に接触させることで、正確な直流動作測定が可能となる。
なお、本発明の実施形態は、上述に限定されるものではない。
例えば、ドレインパッド17間を接続するマイクロストリップライン22は、金ワイヤであってもよく、また、一般に金属細線であってもよく、交流電流に対するリアクタンスが大きく、直流電流に対する抵抗が小さいものであればよい。しかし、これらドレインパッド17間を接続する金ワイヤ、若しくは金属細線は、これらが有するリアクタンスLが上述の式を満たし、かつ直流電流に対する抵抗は小さいことが好ましい。
また、上述のFETチップ11は、例えばGaN基板などの半導体基板に形成されたFETチップに対しても有効である。
10・・・FETチップ、11・・・GaAs基板、12・・・FET、13・・・ゲート電極、14・・・ソース電極、15・・・ドレイン電極、16・・・ソースパッド、17・・・ドレインパッド、18・・・ゲートバスライン、19・・・引き出し線、20・・・ゲートパッド、21・・・抵抗、22・・・マイクロストリップライン、23・・・外部とドレインパッドとの接続用金ワイヤ。
Claims (4)
- 半導体基板上に形成された複数のドレイン電極、及び複数のソース電極と、
これらのドレイン電極とソース電極との間にそれぞれ形成された複数のゲート電極と、
これらのゲート電極に接続された複数のゲートバスラインと、
これらのゲートバスラインにそれぞれ接続された複数のゲートパッドと、
これらのゲートパッドと前記複数のゲートバスラインとの間に形成され、前記複数のソース電極を接続するソースパッドと、
このソースパッドに対向する位置に形成され、前記複数のドレイン電極を接続する複数のドレインパッドと、
前記半導体基板に埋め込み形成され、前記複数のゲートパッドをそれぞれ接続する抵抗と、
前記複数のドレインパッドをそれぞれ接続する金属細線と、
を具備することを特徴とする半導体装置。 - 前記金属細線は、マイクロストリップライン若しくはワイヤであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 全記金属細線は、金で形成されたものであることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記半導体基板は、GaAs基板であることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008216627A JP2010056132A (ja) | 2008-08-26 | 2008-08-26 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008216627A JP2010056132A (ja) | 2008-08-26 | 2008-08-26 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010056132A true JP2010056132A (ja) | 2010-03-11 |
Family
ID=42071768
Family Applications (1)
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JP2008216627A Pending JP2010056132A (ja) | 2008-08-26 | 2008-08-26 | 半導体装置 |
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JP (1) | JP2010056132A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013038121A (ja) * | 2011-08-04 | 2013-02-21 | Mitsubishi Electric Corp | 電力増幅器 |
-
2008
- 2008-08-26 JP JP2008216627A patent/JP2010056132A/ja active Pending
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JP2013038121A (ja) * | 2011-08-04 | 2013-02-21 | Mitsubishi Electric Corp | 電力増幅器 |
US9203357B2 (en) | 2011-08-04 | 2015-12-01 | Mitsubishi Electric Corporation | Power amplifier |
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