JP2010056122A - Electromagnetic wave shielding filter, multifunctional filter, and image display device - Google Patents

Electromagnetic wave shielding filter, multifunctional filter, and image display device Download PDF

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JP2010056122A JP2008216466A JP2008216466A JP2010056122A JP 2010056122 A JP2010056122 A JP 2010056122A JP 2008216466 A JP2008216466 A JP 2008216466A JP 2008216466 A JP2008216466 A JP 2008216466A JP 2010056122 A JP2010056122 A JP 2010056122A
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英司 大石
Takeaki Imaizumi
武章 今泉
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromagnetic wave shielding filter which is made of aluminum and inexpensive, and contributes to moire improvement by improving a decrease in precision of a metal pattern, formed by chemical etching, the decrease being caused when a material of the metal pattern is changed from copper to inexpensive aluminum, and to make a multifunctional filter and an image display device inexpensive using the electromagnetic wave shielding filter. <P>SOLUTION: The electromagnetic wave shielding filter has an aluminum pattern 2 as the metal pattern on a transparent base, and satisfies 13 Å<t≤20 Å and 50%<(ΔL/L)×100<100%, where t is the thickness of an oxide film of aluminum at least on an upper surface thereof (on the side where the pattern 2 is formed on the transparent base), L is an average value of the line width of the pattern 2, and ΔL (3σ) is variance. Further, the multifunctional filter is constituted by stacking the electromagnetic wave shielding filter and an optical filter, and the image display device has the electromagnetic wave shielding filter or multifunctional filter arranged in the front. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は画像表示装置(ディスプレイ)の前面に配置するのに好適な、電磁波遮蔽フィルタと、それを用いた多機能フィルタ及び画像表示装置に関する。   The present invention relates to an electromagnetic wave shielding filter suitable for being disposed on the front surface of an image display device (display), a multi-function filter using the same, and an image display device.

現在、電磁波遮蔽フィルタは、ディスプレイの前面に配置する用途などで使用されており、そのなかでも代表的にはプラズマディスプレイ(PDPともいう)用途がある。プラズマディスプレイ用の電磁波遮蔽フィルタにおいて、電磁波遮蔽性能と光透過性とを両立させた金属パターンとしてはメッシュ状のパターンが多く用いられている。金属パターン(電磁障害(EMI)遮蔽用メッシュ、EMIメッシュとも略称する)は、透明基材に金属箔を透明接着剤で貼り合せた後、フォトリソグラフィー法により金属箔をメッシュ状にケミカルエッチングして作ることができる(特許文献1、特許文献2)。
また、メッシュ状のパターンは、画像表示装置の前面に配置したときに、画像表示装置の画素配列との関係でモアレが発生し、これを改善する為に、メッシュ状の金属パターンを画素配列に対して傾ける(バイアス角とも言う)手法が、よく知られている。
Currently, electromagnetic wave shielding filters are used for applications such as disposing on the front surface of a display, and among them, there are typically plasma display (also referred to as PDP) applications. In an electromagnetic wave shielding filter for a plasma display, a mesh pattern is often used as a metal pattern that achieves both electromagnetic wave shielding performance and light transmittance. A metal pattern (electromagnetic interference (EMI) shielding mesh, also abbreviated as EMI mesh) is obtained by bonding a metal foil to a transparent substrate with a transparent adhesive, and then chemically etching the metal foil into a mesh by photolithography. It can be made (Patent Document 1, Patent Document 2).
Further, when the mesh pattern is arranged on the front surface of the image display device, moire occurs due to the relationship with the pixel arrangement of the image display device, and in order to improve this, the mesh metal pattern is changed to the pixel arrangement. A method of tilting (also referred to as a bias angle) is well known.

そして、金属箔の金属の材質としては、特許文献などでは特に限定しない文献が多い(特許文献1、特許文献2)。例示される金属としては銅の他、アルミニウム(特許文献2)等の高電導率のものが挙げられている。しかし、事実上、市場に流通している電磁波遮蔽フィルタのEMIメッシュは、銅、具体的には銅箔しか用いられておらず、アルミニウム箔を用いたものはなく実用化されていない。   And as for the metal material of the metal foil, there are many documents that are not particularly limited in Patent Documents (Patent Documents 1 and 2). Examples of metals include high conductivity, such as aluminum (Patent Document 2), in addition to copper. However, in actuality, the EMI mesh of the electromagnetic wave shielding filter distributed in the market uses only copper, specifically, copper foil, and does not use aluminum foil and has not been put into practical use.

特開2003−318596号公報JP 2003-318596 A 特許第3388682号公報Japanese Patent No. 3388682

近年、画像表示装置の普及促進において、高価な電磁波遮蔽フィルタはその妨げとなっており、電磁波遮蔽フィルタの低コスト化の為には、銅箔よりも安価なアルミニウム箔の採用が考えられる。
そこで、我々は、低コスト化を狙い、金属パターン(EMIメッシュ)の金属材料として、銅箔よりも安いアルミニウム箔を用いた電磁波遮蔽フィルタの検討を行ったが、その結果、実用化するには、実は、次の解決すべき課題があることがわかった。尚、以下の課題は、パターンの線幅及び厚みの寸法が100μm程度以上の場合は目立たい。高品質の画像表示装置用途の為に透視性を追及すべく、パターンの線幅及び厚みの寸法が10〜20μm程度以下に微細化した場合に於いて、特に顕在化して来るものであることも判明した。
In recent years, an expensive electromagnetic shielding filter has been a hindrance in promoting the spread of image display devices. In order to reduce the cost of the electromagnetic shielding filter, it is conceivable to use an aluminum foil that is cheaper than a copper foil.
Therefore, we aimed at cost reduction, and examined the electromagnetic wave shielding filter using aluminum foil cheaper than copper foil as the metal material of the metal pattern (EMI mesh). Actually, it turned out that there are the following problems to be solved. The following problems are conspicuous when the pattern line width and thickness are about 100 μm or more. In order to pursue transparency for use in high-quality image display devices, the pattern line width and thickness dimensions may become particularly evident when the dimensions are reduced to about 10 to 20 μm or less. found.

(a)アルミニウム自体が活性が高く、表面にアルミニウムの酸化皮膜が存在し、これが耐腐食膜となってケミカルエッチングを阻害する。
(b)エッチング液に接触した領域の酸化皮膜が一部除去されると、除去された部分がまだ除去されていない部分に対して急速にエッチングが進んでしまい、均一な安定したエッチングが困難である。
(c)上記(a)及び(b)の結果として、金属パターンのライン部の輪郭に、ギザ(zigzag状のこと。ラインの輪郭に凹凸があって直線性が悪くギザギザしている形態をこのように呼称する。)や断線が発生し、ラインのパターン精度が、銅箔の場合に比べてアルミニウムは劣る。
(A) Aluminum itself has high activity, and an aluminum oxide film is present on the surface, which becomes a corrosion-resistant film and inhibits chemical etching.
(B) When a portion of the oxide film in the region in contact with the etching solution is removed, the removed portion is rapidly etched with respect to the portion that has not yet been removed, and uniform and stable etching is difficult. is there.
(C) As a result of the above (a) and (b), the contour of the line portion of the metal pattern has a zigzag shape. In other words, aluminum is inferior in the pattern accuracy of the line compared to the case of copper foil.

以上の結果、銅箔と比べて画像表示装置で要求される微細なパターン(例えばライン幅10〜20μm、パターンの厚み10〜20μm程度)が得られない。そして、ギザはその度合いが大きいと断線に繋がり、断線は電磁波遮蔽性能の低下に繋がる。   As a result, a fine pattern (for example, a line width of 10 to 20 μm and a pattern thickness of about 10 to 20 μm) required by the image display device cannot be obtained as compared with the copper foil. And if the degree of a jaggedness is large, it will lead to disconnection, and disconnection will lead to a fall of electromagnetic wave shielding performance.

すなわち、本発明の課題は、金属パターンの材質を銅から安価なアルミニウムに代えると生じる、ケミカルエッチングで形成したアルミニウムパターンのパターン精度の低下を改善しつつ、なお且つ断線発生は抑制しつつ、パターン精度低下を逆に積極的に活用してモアレが改善する、アルミニウムを用いた安価でしかも実用可能な電磁波遮蔽フィルタを提供することである。
また、該電磁波遮蔽フィルタを用いた多機能フィルタ、これらフィルタを用いた画像表示装置を提供することである。
That is, the object of the present invention is to improve the deterioration of the pattern accuracy of an aluminum pattern formed by chemical etching, which occurs when the material of the metal pattern is changed from copper to inexpensive aluminum, and while suppressing the occurrence of disconnection, An object of the present invention is to provide an inexpensive and practical electromagnetic wave shielding filter using aluminum in which moiré is improved by actively utilizing a decrease in accuracy.
Moreover, it is providing the multifunction filter using this electromagnetic wave shielding filter, and the image display apparatus using these filters.

そこで、本発明の電磁波遮蔽フィルタでは、透明基材上に金属パターンが形成された電磁波遮蔽フィルタにおいて、金属パターンがアルミニウムパターンであり、アルミニウムパターンの少なくとも上面(透明基材に対してアルミニウムパターンが形成された側と同じ向きとなる面)のアルミニウムの酸化皮膜の厚みtが13Å<t≦20Åであり、且つアルミニウムパターンのライン幅の平均値Lと該ライン幅の分布の3σ(σは標準偏差)であるバラツキΔLとが、50%<(ΔL/L)×100<100%である、電磁波遮蔽フィルタとした。   Therefore, in the electromagnetic wave shielding filter of the present invention, in the electromagnetic wave shielding filter in which the metal pattern is formed on the transparent substrate, the metal pattern is an aluminum pattern, and at least the upper surface of the aluminum pattern (the aluminum pattern is formed on the transparent substrate). The thickness t of the aluminum oxide film on the surface of the aluminum pattern in the same direction as the formed side is 13 mm <t ≦ 20 mm, and the average value L of the line width of the aluminum pattern and 3σ (σ is the standard deviation) of the line width distribution The electromagnetic wave shielding filter has a variation ΔL of 50% <(ΔL / L) × 100 <100%.

このように、少なくとも上面側のアルミニウムの酸化皮膜の厚みを適度に薄く具体的には上記のように規定し、且つライン幅のバラツキΔLと平均値Lとを上記の様に規定することで、アルミニウムパターンをケミカルエッチングで形成する際に、ラインの輪郭のキザを、ラインの断線発生は抑制しつつモアレ改善につながる程度に残した、安定的なエッチングが可能となる。この結果、銅よりも安価なアルミニウムを利用して、材料的に安価なでモアレ改善に繋がる電磁波遮蔽フィルタを実用化できる。
また、製造面でも、アルミニウムの酸化皮膜はそのままでケミカルエッチングできるのでその除去工程が不要で、製造工程の複雑化やコストアップを避けられる。
In this way, at least the thickness of the aluminum oxide film on the upper surface side is suitably thin, specifically as described above, and by defining the line width variation ΔL and the average value L as described above, When the aluminum pattern is formed by chemical etching, stable etching can be performed while leaving a line outline scratch to an extent that leads to moire improvement while suppressing the occurrence of line disconnection. As a result, an electromagnetic wave shielding filter that is less expensive in material and leads to improvement in moire can be realized by using aluminum that is cheaper than copper.
Also, in terms of manufacturing, since the aluminum oxide film can be chemically etched as it is, the removal process is unnecessary, and the manufacturing process is not complicated and the cost is increased.

また、本発明の多機能フィルタは、上記電磁波遮蔽フィルタと、光学フィルタとを積層した多機能フィルタとした。
この構成によって、電磁波遮蔽機能と共に光学フィルタ機能も備えた多機能化がなされ、透明基材の共通化、フィルタの薄型化が可能となり、ひいては低コスト化も可能となる。
The multifunction filter of the present invention is a multifunction filter in which the electromagnetic wave shielding filter and an optical filter are stacked.
With this configuration, it is possible to achieve multi-functionality including an optical filter function as well as an electromagnetic wave shielding function, so that a transparent substrate can be made common and a filter can be thinned, and thus cost can be reduced.

また、本発明の画像表示装置は、上記電磁波遮蔽フィルタ又は多機能フィルタを、前面に配置した画像表示装置とした。
この構成によって、低コスト化が可能となり、画像表示装置の普及促進を図れる。
Moreover, the image display device of the present invention is an image display device in which the electromagnetic wave shielding filter or the multifunction filter is disposed on the front surface.
With this configuration, the cost can be reduced and the spread of the image display apparatus can be promoted.

(1)本発明の電磁波遮蔽フィルタによれば、金属パターンに銅よりも安価なアルミニウムを用いても、ケミカルエッチング形成時のライン輪郭のギザ(zigzag)や断線について、断線発生は抑制しつつ、輪郭のキザはモアレ改善につながる程度に残した安定的なエッチングが可能となり、モアレが改善する安価な電磁波遮蔽フィルタを実用できる。
しかも、製造面でも、アルミニウムの酸化皮膜はそのままでケミカルエッチングできるので、酸化皮膜の追加的な除去工程が不要で、製造工程の複雑化やコストアップも避けられる。
(2)本発明の多機能フィルタによれば、低コスト化など、上記電磁波遮蔽フィルタによる効果が得られる多機能フィルタとなる。
(3)本発明の画像表示装置によれば、低コスト化など上記電磁波遮蔽フィルタ乃至は上記多機能フィルタの効果が得られる画像表示装置となり、その普及促進が図れる。
(1) According to the electromagnetic wave shielding filter of the present invention, even when aluminum that is cheaper than copper is used for the metal pattern, the occurrence of disconnection is suppressed for the zigzag and disconnection of the line contour during chemical etching formation, Contour scratches allow stable etching that remains to the extent that moire is improved, and an inexpensive electromagnetic shielding filter that improves moire can be used.
Moreover, since the aluminum oxide film can be chemically etched as it is in terms of production, an additional removal process of the oxide film is unnecessary, and the manufacturing process is not complicated and the cost is increased.
(2) According to the multi-function filter of the present invention, it becomes a multi-function filter from which the effects of the electromagnetic wave shielding filter such as cost reduction can be obtained.
(3) According to the image display device of the present invention, it becomes an image display device from which the effects of the electromagnetic wave shielding filter or the multifunction filter such as cost reduction can be obtained, and the spread of the image display device can be promoted.

以下、本発明について、実施の形態を図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

先ず、図1の断面図で例示する電磁波遮蔽フィルタ10は、本発明の電磁波遮蔽フィルタの一形態を示し、同図の場合では、アルミニウムパターン2はその上面及び下面の表面にはアルミニウムの酸化皮膜3を有し、少なくとも上面の酸化皮膜の厚みtが13Å<t≦20Åの範囲となっている。しかも、アルミニウムパターン2は、ライン幅の平均値Lと該ライン幅の分布の3σ(σは標準偏差)であるバラツキΔLとが、
50%<(ΔL/L)×100<100%となっている。
なお、σは標準偏差である。
そして、同図の形態例では、このアルミニウムパターン2は、その下面側の酸化皮膜3の下面で透明接着剤層4によって透明基材1に接着固定され積層されている構成のものである。透明接着剤層4はアルミニウムパターンの開口部も含めて透明基材1の全面に形成されている。
First, the electromagnetic wave shielding filter 10 illustrated in the cross-sectional view of FIG. 1 shows an embodiment of the electromagnetic wave shielding filter of the present invention. In the case of the same figure, the aluminum pattern 2 has an aluminum oxide film on the upper and lower surfaces. 3 and at least the thickness t of the oxide film on the upper surface is in the range of 13 mm <t ≦ 20 mm. Moreover, the aluminum pattern 2 has an average value L of the line width and a variation ΔL that is 3σ (σ is a standard deviation) of the distribution of the line width,
50% <(ΔL / L) × 100 <100%.
Note that σ is a standard deviation.
And in the example of the figure, this aluminum pattern 2 is a thing of the structure bonded and fixed to the transparent base material 1 by the transparent adhesive layer 4 on the lower surface of the oxide film 3 of the lower surface side. The transparent adhesive layer 4 is formed on the entire surface of the transparent substrate 1 including the opening of the aluminum pattern.

なお、本発明にて「上面」とは、透明基材に対してアルミニウムパターンが形成された側と同じ向きとなる面(図面では上方を向く面でもある)を言い、「下面」とは「上面」と逆向きの面(図面では下方を向く面でもある)を言う。   In the present invention, the “upper surface” means a surface that is the same direction as the side on which the aluminum pattern is formed with respect to the transparent substrate (also a surface facing upward in the drawing), and the “lower surface” means “ It means the surface opposite to the “upper surface” (also the surface facing downward in the drawing).

[透明基材]
透明基材1は、可視領域での透明性(光透過性)、耐熱性、機械的強度等の要求物性を考慮して、公知の材料及び厚みを適宜選択すればよく、ガラス、セラミックス等の透明無機物の板、或いは樹脂板など板状体の剛直物でも良い。ただし、生産性に優れるロール・トゥ・ロールでの連続加工適性を考慮すると、フレキシブルな樹脂フィルム(乃至シート)が好ましい。尚、ロール・トゥ・ロールとは、巻取(ロール)から巻き出して供給し、適宜加工を施し、その後、巻取に巻き取って保管する加工方式をいう。
[Transparent substrate]
The transparent substrate 1 may be appropriately selected from known materials and thicknesses in consideration of required physical properties such as transparency in the visible region (light transmittance), heat resistance, and mechanical strength, such as glass and ceramics. A plate-like rigid body such as a transparent inorganic plate or a resin plate may be used. However, a flexible resin film (or sheet) is preferable in consideration of suitability for continuous processing with a roll-to-roll having excellent productivity. The roll-to-roll refers to a processing method in which the material is unwound from a take-up (roll), supplied, appropriately processed, and then taken up and stored.

樹脂フィルム、樹脂板の樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル系樹脂、ポリメチルメタクリレートなどのアクリル系樹脂、シクロオレフィン重合体などのポリオレフィン系樹脂、トリアセチルセルロースなどのセルロース系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリイミド系樹脂等である。なかでも、ポリエチレンテレフタレートはその2軸延伸フィルムが耐熱性、機械的強度、光透過性、コスト等の点で好ましい透明基材である。   Examples of resins for resin films and resin plates include polyester resins such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, acrylic resins such as polymethyl methacrylate, polyolefin resins such as cycloolefin polymers, and cellulose resins such as triacetyl cellulose. Resins, polycarbonate resins, polyimide resins and the like. Among them, polyethylene terephthalate is a transparent base material whose biaxially stretched film is preferable in terms of heat resistance, mechanical strength, light transmittance, cost, and the like.

透明基材の厚みは基本的には特に制限はなく用途等に応じ適宜選択し、フレキシブルな樹脂フィルムを利用する場合、例えば12〜500μm、好ましくは25〜200μm程度である。   The thickness of the transparent substrate is basically not particularly limited and is appropriately selected depending on the application. When a flexible resin film is used, it is, for example, about 12 to 500 μm, preferably about 25 to 200 μm.

なお、透明基材の樹脂中には、必要に応じて適宜、紫外線吸収剤、着色剤、充填剤、可塑剤、帯電防止剤などの公知の添加剤を添加できる。
また、透明基材は、その表面に、コロナ放電処理、プライマー処理、下地処理などの公知の易接着処理を行ったものでも良い。
In addition, known additives such as an ultraviolet absorber, a colorant, a filler, a plasticizer, and an antistatic agent can be appropriately added to the resin of the transparent substrate as necessary.
Further, the transparent substrate may be obtained by subjecting the surface thereof to known easy adhesion treatment such as corona discharge treatment, primer treatment, and ground treatment.

[アルミニウムパターン]
アルミニウムパターン2はアルミニウムで形成したパターン層であり、該層自体は不透明だが、開口部など該層の非形成部を設けたパターンとすることによって、電磁波遮蔽性能と光透過性とを両立させた層である。しかも、本発明のアルミニウムパターン2は少なくともその上面に特定の厚み範囲、13Å<t≦20Å(t:厚み)のアルミニウムの酸化皮膜3を有する。尚、1Å=0.1nmである。
上記の様な厚み範囲とすることで、ラインの輪郭のキザを、断線発生は抑制しつつモアレ改善につながる程度に残した安定的なエッチングの可能性を引き出すことができる。
[Aluminum pattern]
The aluminum pattern 2 is a pattern layer formed of aluminum. Although the layer itself is opaque, the electromagnetic wave shielding performance and the light transmittance are made compatible by forming a pattern in which a non-formation portion of the layer such as an opening is provided. Is a layer. Moreover, the aluminum pattern 2 of the present invention has an oxide film 3 of aluminum having a specific thickness range of 13Å <t ≦ 20Å (t: thickness) on at least the upper surface thereof. Note that 1Å = 0.1 nm.
By setting the thickness range as described above, it is possible to bring out the possibility of stable etching in which the flaws of the outline of the line are left to the extent that moire is improved while the occurrence of disconnection is suppressed.

アルミニウムパターンのアルミニウムは、アルミニウムを主成分とし、アルミニウム純金属の他にアルミニウム合金でもよくこれらを纏めて本発明ではアルミニウムというが、アルミニウムの純度が低いと導電性が低下するので、純度は電磁波遮蔽性能の点では高い方が好ましく、純度が99.0%以上のアルミニウムが好ましい。このような純度が99.0%以上のアルミニウムを利用したアルミニウムパターンは、JIS H4160(アルミニウム及びアルミニウム合金はく)、JIS H4170(高純度アルミニウムはく)で規定されるアルミニウム箔に準じた箔を利用することで形成できる。   Aluminum in the aluminum pattern is mainly composed of aluminum, and may be aluminum alloy in addition to aluminum pure metal. These are collectively referred to as aluminum in the present invention. However, since the conductivity decreases when the purity of aluminum is low, the purity is shielded against electromagnetic waves. Higher is preferable in terms of performance, and aluminum having a purity of 99.0% or more is preferable. The aluminum pattern using aluminum having a purity of 99.0% or more is made of a foil conforming to the aluminum foil defined in JIS H4160 (aluminum and aluminum alloy foil) and JIS H4170 (high purity aluminum foil). It can be formed by using it.

なお、アルミニウムパターンはアルミニウム箔から形成するのではなく、透明基材上にアルミニウムを気相成長法、例えば真空蒸着法で形成したアルミニウム蒸着膜から形成したものを利用しても良い。   The aluminum pattern is not formed from an aluminum foil, but an aluminum pattern formed from an aluminum vapor deposition film formed on a transparent substrate by a vapor phase growth method such as a vacuum vapor deposition method may be used.

アルミニウムパターンの厚みは、電磁波遮蔽性能、加工適性、機械的強度などの点から適宜選択すればよく、具体的には1〜100μm、好ましくは5〜20μm、より好ましくは8〜15μmである。厚みが薄いと電磁波遮蔽性能、機械的強度などが低下し、厚みが厚いと加工適性が低下する。   The thickness of the aluminum pattern may be appropriately selected from the viewpoints of electromagnetic wave shielding performance, processability, mechanical strength, and the like, specifically 1 to 100 μm, preferably 5 to 20 μm, more preferably 8 to 15 μm. If the thickness is thin, electromagnetic wave shielding performance, mechanical strength and the like are lowered, and if the thickness is thick, workability is lowered.

アルミニウムパターンの平面視のパターンの形状は、例えばメッシュ形状、ストライプ形状などの電磁波遮蔽性能と光透過性とを両立させた公知のパターンである。なかでもメッシュ形状、それも正方格子形状が代表的であり、この他、格子形状で言えば例えば長方形格子、菱形格子、六角格子、三角格子などがある。メッシュはこれら形状からなる複数の開口部を有し、開口部間は開口部を区画するライン部(線部又は線条部)となる。ライン部は通常幅均一でライン状のものであり、また通常は開口部及び開口部間は、全て各々同一形状で同一サイズとなる。   The shape of the aluminum pattern in plan view is, for example, a known pattern in which both electromagnetic wave shielding performance and light transmittance such as a mesh shape and a stripe shape are compatible. Among them, a mesh shape and a square lattice shape are typical, and in addition, examples of the lattice shape include a rectangular lattice, a rhombus lattice, a hexagonal lattice, and a triangular lattice. The mesh has a plurality of openings having these shapes, and the openings are line portions (line portions or line portions) that define the openings. The line portions are usually line-shaped with a uniform width, and usually the openings and the spaces between the openings are all the same shape and the same size.

なお、上記パターンは、ディスプレイ用途では、電磁波遮蔽フィルタの画像表示に影響しない四辺周辺部には、接地用導通の為に開口部を設けないベタパターンか、在っても占有面積比率が小さい接地領域を、開口部を有する内部の画像表示領域の周囲に有することがある。   In addition, in the display application, the above pattern is a solid pattern that does not have an opening for grounding continuity around the four sides that do not affect the image display of the electromagnetic wave shielding filter, or grounding that has a small occupied area ratio. An area may be provided around an internal image display area having an opening.

パターンのライン部のライン幅は例えば5〜50μm、本発明の効果がより際立つ点ではより細い5〜30μmであり、ラインの繰り返し周期であるライン間隔(ピッチ)は例えば100〜500μmである。   The line width of the line portion of the pattern is 5 to 50 μm, for example, and 5 to 30 μm, which is finer in terms of the effect of the present invention.

また、パターンのライン部の輪郭が、モアレ改善に繋がるが断線発生は抑制できる程度のギザとなるためには、アルミニウムパターンのライン幅について、ライン幅のバラツキΔLとライン幅の平均値Lとの関係について、(ΔL/L)×100の値を、
50%超過且つ100%未満とするのが好ましい。つまり、
50%<(ΔL/L)×100<100%、である。
言い換えると、ライン幅のバラツキΔLをライン幅の平均値Lの50%超過にはするが、断線発生防止を考慮して、該平均値Lと同じとなる100%は含めないで100%未満に抑えるのが好ましい。
Also, in order for the outline of the line portion of the pattern to be a knurl that can reduce moire but suppress the occurrence of disconnection, the line width of the aluminum pattern is expressed by the line width variation ΔL and the average value L of the line width. For the relationship, the value of (ΔL / L) × 100 is
It is preferable to set it to more than 50% and less than 100%. That means
50% <(ΔL / L) × 100 <100%.
In other words, the line width variation ΔL is set to exceed 50% of the average value L of the line width, but considering the prevention of disconnection, 100% which is the same as the average value L is not included and is less than 100%. It is preferable to suppress.

ここで、図2は、ライン幅の平均値L及びバラツキΔLを、概念的に説明する平面図であり、図2(a)で示すライン2の図面右側の輪郭の一部を部分的に拡大して示した部分拡大図が、図2(b)である。また、図2は、平均値LとバラツキΔL、L−ΔL、L+ΔLなどの意味を概念的に説明するためのものであり、図面縦横比、ライン幅とバラツキの大小関係、ライン輪郭の凹凸具合、などは、この限りではない。また、L−ΔL、L+ΔL、及びLの関係を、ラインの片側輪郭のギザ形状によるライン幅で代表して概念的に示してある。   Here, FIG. 2 is a plan view for conceptually explaining the average value L and the variation ΔL of the line width, and a part of the contour on the right side of the line 2 shown in FIG. FIG. 2B is a partially enlarged view shown. FIG. 2 is for conceptually explaining the meanings of the average value L and variations ΔL, L−ΔL, L + ΔL, etc., and shows the aspect ratio of the drawing, the relationship between the line width and variation, and the degree of unevenness of the line contour. This is not the case. Further, the relationship between L−ΔL, L + ΔL, and L is conceptually shown as a representative line width based on the jagged shape of the one-side outline of the line.

そして、上記(ΔL/L)×100で規定される、ΔLとLの関係が、50%以下であるとモアレ改善効果が低下し過ぎるので好ましくない。なお、上記関係式の値は50%超過が良いが、より好ましくは60%以上が良い。   If the relationship between ΔL and L defined by (ΔL / L) × 100 is 50% or less, the moire improvement effect is excessively lowered, which is not preferable. Note that the value of the above relational expression is preferably over 50%, more preferably over 60%.

ところで、本発明にてライン幅の平均値L及びバラツキΔLは、アルミニウムパターンのライン幅を、同一製造ロット内で多数の測定位置で多数測定し(測定数は最低限、測定数n≧3、好ましくは、測定数n≧10)、個々のライン幅の測定結果を統計処理して得られる、ライン幅の平均値がL、ライン幅の分布に対する標準偏差σの3倍である3σがバラツキΔLである。
これにより、ライン幅の分布は、(L−ΔL)から(L+ΔL)の範囲内に大多数(分布が正規分布であると仮定すると99.7%)が収まる。
By the way, the average value L and the variation ΔL of the line width in the present invention are obtained by measuring the line width of the aluminum pattern at a large number of measurement positions in the same production lot (the number of measurements is at least the number of measurements n ≧ 3, Preferably, the number of measurements is n ≧ 10), the average value of the line widths obtained by statistical processing of the measurement results of the individual line widths is L, and 3σ, which is three times the standard deviation σ with respect to the distribution of the line widths, is a variation ΔL. It is.
As a result, the majority of the line width distribution falls within the range of (L−ΔL) to (L + ΔL) (99.7% assuming that the distribution is a normal distribution).

また、本発明では関係式(ΔL/L)×100は、最小の50%のときΔLは0.5Lとなり、個々のライン幅は、0.5L<個々のライン幅<1.5Lとなる。また、超えるのが好ましくない最大の100%のとき、ΔLは1.0Lとなり、個々のライン幅は、0.0L≦個々のライン幅≦2.0Lとなる。0.0Lとはライン幅がゼロ、つまり断線が発生しているということである。したがって、断線発生を防ぐ意味で、上記関係式は最大でも100%を超えないように、100%未満を最大値とするのが好ましいことになる。   In the present invention, the relational expression (ΔL / L) × 100 is such that ΔL is 0.5 L when the minimum is 50%, and the individual line width is 0.5 L <individual line width <1.5 L. Further, when the maximum is 100%, which is not preferable, ΔL is 1.0 L, and the individual line width is 0.0 L ≦ individual line width ≦ 2.0 L. 0.0L means that the line width is zero, that is, disconnection has occurred. Therefore, in order to prevent disconnection, it is preferable that the above relational expression has a maximum value of less than 100% so that it does not exceed 100% at the maximum.

なお、前記、ライン幅の多数測定の対象は、同一製造ロット内ではなく、複数の異なる製造ロットについて測定できる場合は、多数の測定位置が複数の異なる製造ロットに分散する様にして多数測定することもできるが、断線抑制とモアレ抑制の観点から見た、平均値L及びバラツキΔLの意味合いは特定の製品を評価した際の透過画像の外観(モアレ縞、ムラ、コントラスト等)及び電磁波遮蔽性能の良否に対応する指標である為、本来、同一ロット内の1製品単位(画像表示装置1画面分)の中に於いてL及びΔLを測定し、(ΔL/L)×100を算出する必要がある。但し、同一ロット内に於ける各製品の(ΔL/L)×100の分布状況を評価する場合には、同一ロット内に於ける異なった複数の製品毎に当該数値の差異を比較評価する意義は有る。又、各製造ロット毎に当該数値の差異を比較測定する場合には、複数ロット内の製品の当該数値を比較測定する意義は有る。
尚、アルミニウムパターンの線条部(ライン部)の幅について、50%<(ΔL/L)×100<100%となる様にするためには、アルミニウムの酸化皮膜の厚みを13Å超過に設定すると共に、エッチング加工条件(腐蝕液の組成、濃度、液温、或いは循環等)を制御して、(ΔL/L)×100の値が所定の範囲に収束するようにする。
In addition, when the measurement target of multiple line widths is not in the same production lot but can be measured for a plurality of different production lots, a large number of measurement positions are distributed in a plurality of different production lots. However, from the viewpoint of wire breakage suppression and moire suppression, the meanings of the average value L and the variation ΔL are the appearance of transmitted images (moire fringes, unevenness, contrast, etc.) and electromagnetic wave shielding performance when a specific product is evaluated. It is necessary to measure L and ΔL and calculate (ΔL / L) × 100 in one product unit (for one screen of the image display device) in the same lot. There is. However, when evaluating the distribution status of (ΔL / L) × 100 of each product in the same lot, the significance of comparing and evaluating the difference of the numerical values for a plurality of different products in the same lot There is. Further, when comparing and measuring the difference between the numerical values for each production lot, it is meaningful to compare and measure the numerical values of products in a plurality of lots.
Note that the thickness of the aluminum oxide film is set to exceed 13 mm in order to satisfy 50% <(ΔL / L) × 100 <100% with respect to the width of the linear portion (line portion) of the aluminum pattern. At the same time, the etching processing conditions (such as the composition, concentration, liquid temperature, or circulation of the corrosion solution) are controlled so that the value of (ΔL / L) × 100 converges to a predetermined range.

(パターン形成)
アルミニウムパターンのパターンを形成するには、透明基材上にアルミニウム箔などパターン形成前のアルミニウム層を積層した後、ケミカルエッチングによって形成できる。ケミカルエッチング時のレジストパターンのパターン形成はフォトリソグラフィー法(例えば感光性レジスト膜に対するパターン露光法)、感光性レジスト膜等を用いたパターン露光法によらないでバターン形成可能な印刷法などの公知のパターン形成法を適宜選択すればよい。なかでも、フォトリソグラフィー法は印刷法に比べて、電磁波遮蔽フィルタに要求されるライン幅やその均一性など高精度のパターンを安定的に形成できる点で好ましい方法である。
(Pattern formation)
In order to form the pattern of the aluminum pattern, it can be formed by chemical etching after laminating an aluminum layer such as an aluminum foil on the transparent base material before pattern formation. The pattern formation of the resist pattern at the time of chemical etching is a known method such as a photolithography method (for example, a pattern exposure method for a photosensitive resist film), a printing method capable of forming a pattern without using a pattern exposure method using a photosensitive resist film, etc. What is necessary is just to select the pattern formation method suitably. Among these, the photolithography method is a preferable method compared to the printing method in that a highly accurate pattern such as a line width required for the electromagnetic wave shielding filter and its uniformity can be stably formed.

アルミニウムパターンをケミカルエッチングする際のエッチング液としては、公知のエッチング液を適宜選択使用すれば良い。例えば、塩化第二鉄を含む酸性のエッチング液である。
エッチングは、アルミニウム層の上面のレジストパターン非形成部に於けるアルミニウムの酸化皮膜も含めて行われる。エッチングの前処理として、該上面のアルミニウムの酸化皮膜の除去は特に必要ない。
そして、レジストパターン形成部に対応した、上面や下面のアルミニウムの酸化皮膜3は、アルミニウムパターン2の上面や下面の酸化皮膜3となって残る。
A known etching solution may be appropriately selected and used as an etching solution for chemically etching the aluminum pattern. For example, an acidic etching solution containing ferric chloride.
Etching is performed including an aluminum oxide film in the resist pattern non-formation portion on the upper surface of the aluminum layer. It is not particularly necessary to remove the aluminum oxide film on the upper surface as a pretreatment for etching.
Then, the aluminum oxide film 3 on the upper and lower surfaces corresponding to the resist pattern forming portion remains as the oxide film 3 on the upper and lower surfaces of the aluminum pattern 2.

[アルミニウムの酸化皮膜]
アルミニウムの酸化皮膜はアルミニウム酸化物を含む層であり、アルミニウムパターンをアルミニウム箔を利用して形成する場合、アルミニウムの酸化皮膜は箔の上面及び下面の表裏両面に存在するが、本発明ではケミカルエッチングでパターン形成する際に、エッチングされる側、つまり上面側について、その厚みtを規定する。アルミニウムパターンの少なくとも上面のアルミニウムの酸化皮膜の厚みtについて、その下限は13Åを含まない13Å超過、より好ましくは14Å以上、更に好ましくは15Å以上とする。一方、厚みtの上限は20Å以下、好ましくは18Å以下、より好ましくは17Å以下、更に好ましくは16Å以下とする。アルミニウムパターン上面のアルミニウムの酸化皮膜の厚みtが、上記した下限よりも小さいと、モアレ改善に寄与するギザが残り難くなり、逆に、上記した上限よりも大きいと、モアレ改善に寄与するギザは残り易くなるが断線が発生し易くなる。故に、厚みtの範囲は、13Å<t≦20Åとなる。
[Aluminum oxide film]
An aluminum oxide film is a layer containing an aluminum oxide. When an aluminum pattern is formed using an aluminum foil, the aluminum oxide film exists on both the top and bottom surfaces of the foil. When the pattern is formed, the thickness t is defined for the etched side, that is, the upper surface side. Regarding the thickness t of the aluminum oxide film on at least the upper surface of the aluminum pattern, the lower limit is not more than 13 mm not including 13 mm, more preferably 14 mm or more, and further preferably 15 mm or more. On the other hand, the upper limit of the thickness t is 20 mm or less, preferably 18 mm or less, more preferably 17 mm or less, and still more preferably 16 mm or less. If the thickness t of the aluminum oxide film on the upper surface of the aluminum pattern is smaller than the lower limit described above, it is difficult to leave a jagged edge that contributes to the improvement of moire. Although it is likely to remain, disconnection is likely to occur. Therefore, the range of the thickness t is 13Å <t ≦ 20Å.

少なくとも上面のアルミニウムの酸化皮膜の厚みtについて、その下限及び上限の範囲を上記のようにすることで、該酸化皮膜がたとえ存在したままでも、断線は抑制しつつモアレ改善に繋がる程度のギザを残したパターン精度となるような、安定したケミカルエッチングが可能となり、銅を安価なアルミニウムに変更したが故の断線に繋がるようなパターン精度不良を回避できる。   For the thickness t of the aluminum oxide film on the upper surface at least, the lower limit and the upper limit range are set as described above, so that even if the oxide film is still present, the disconnection is suppressed and the moiré is improved. Stable chemical etching can be performed so that the remaining pattern accuracy can be obtained, and pattern accuracy defects that lead to disconnection due to the change of copper to inexpensive aluminum can be avoided.

ところで、普通に製造されるアルミニウム箔は圧延法で製造され、アルミニウム塊の圧延工程、焼鈍工程を経る箔製造工程、その後の空気中保管など、常温(20℃、50%RH前後)で製造保管することによって、活性なアルミニウムは表面に不可逆的にアルミニウムの酸化皮膜が形成されるが、本発明の様に薄い酸化皮膜とはならずに、通常20Å超過〜100Å程度の酸化皮膜となる。   By the way, normally manufactured aluminum foil is manufactured by a rolling method, and manufactured and stored at normal temperature (20 ° C., around 50% RH), such as aluminum ingot rolling process, foil manufacturing process through annealing process, and subsequent storage in air. By doing so, an active aluminum irreversibly forms an oxide film of aluminum on the surface, but it does not become a thin oxide film as in the present invention, but usually becomes an oxide film of more than 20 to 100 mm.

従来のアルミニウム箔の場合に比べて、アルミニウムの酸化皮膜の厚みを上記のような薄い所定の厚みにするには、各種あるが、アルミニウムパターンにアルミニウム箔を利用する場合、アルミニウム箔は圧延法によって作られ、その後、焼鈍して製造されているが、圧延条件や焼鈍条件を調整することで、目的とする厚みに調整できる。   There are various ways to reduce the thickness of the aluminum oxide film as described above compared to the case of conventional aluminum foil. When aluminum foil is used for an aluminum pattern, the aluminum foil is formed by a rolling method. Although it is made and then annealed, it can be adjusted to the desired thickness by adjusting the rolling conditions and annealing conditions.

例えば、圧延後のアルミニウム箔の表面に付着している圧延油を焼鈍時に除去する際に、表面が酸化しないように、焼鈍雰囲気のガス組成を制御したり(酸素濃度を低めにする)、アルミニウム箔表面のアルミニウムの酸化皮膜を薬品で除去したりする、といった方法などがある。焼鈍しないという方法もあるが、圧延油は、フォトリソグラフィー法に悪影響を及ぼすため好ましくない。   For example, when removing the rolling oil adhering to the surface of the aluminum foil after rolling during annealing, the gas composition of the annealing atmosphere is controlled so that the surface is not oxidized (the oxygen concentration is lowered), aluminum There are methods such as removing the aluminum oxide film on the foil surface with chemicals. Although there is a method of not annealing, rolling oil is not preferable because it adversely affects the photolithography method.

なお、アルミニウムの酸化皮膜の厚みは、ハンターホール法、蛍光X線分析法の一種であるX線光電子分光法(XPS)で測定する。   The thickness of the aluminum oxide film is measured by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), which is a kind of Hunter Hall method and X-ray fluorescence analysis.

アルミニウムの酸化皮膜は、その箔製造工程からして、箔の表裏両面、つまり上面及び下面の両面に通常形成されている。このうち、アルミニウムパターンのパターン形成のためのケミカルエッチングに影響するのは上面の酸化皮膜であるので、本発明では少なくともこの上面のアルミニウムの酸化皮膜について特定の厚み(薄さ)を規定する。尚、下面のアルミニウムの酸化皮膜については、通常は、上面のアルミニウム酸化皮膜に比べてケミカルエッチング時のメッシュ形状ギザ発生への寄与は無視出来る為、モアレ改善を考慮したパターン精度の点からは特に規定する必要はない。但し、該膜厚が厚すぎると、開口部に残留したアルミニウム酸化皮膜によるメッシュ形状への悪影響も起こり得るし、又開口部の透明性を低下させることも有り得る。この為、下面のアルミニウム酸化皮膜は、好ましくは、可視光線の最小波長380nm未満、更に好ましくは200nm以下とすることが推奨される。例えば、下面のアルミニウム酸化皮膜の膜厚tも上面の膜厚tと同様に、13Å<t≦20Åとする。尚、本発明の1形態として、ケミカルエッチング前の下面のアルミニウム酸化皮膜の膜厚、及びケミカルエッチングの加工条件を調整することにより、パターン開口部に可視光線の最小波長380nm未満(例えば3Å≦t≦13Å)の膜厚の透明なアルミニウム酸化皮膜を残留させ、ケミカルエッチング時に開口部に露出する透明接着剤層又は透明基材を腐食液による着色から保護することも出来る。
ただ、下面のアルミニウムの酸化皮膜も上面の酸化皮膜と同程度の厚みで存在するとすれば、下面のアルミニウムの酸化皮膜の厚みについても、上記した上面のアルミニウムの酸化皮膜の厚みと同じ規定をすることができる。
The aluminum oxide film is usually formed on both the front and back surfaces of the foil, that is, both the upper surface and the lower surface from the foil manufacturing process. Among these, since it is the oxide film on the upper surface that affects the chemical etching for pattern formation of the aluminum pattern, the present invention defines a specific thickness (thinness) for at least the aluminum oxide film on the upper surface. As for the aluminum oxide film on the lower surface, the contribution to the generation of mesh shape burrs during chemical etching is usually negligible compared to the aluminum oxide film on the upper surface. There is no need to specify. However, if the film thickness is too thick, an adverse effect on the mesh shape due to the aluminum oxide film remaining in the opening may occur, and the transparency of the opening may be reduced. For this reason, it is recommended that the aluminum oxide film on the lower surface is preferably less than the minimum visible light wavelength of 380 nm, more preferably 200 nm or less. For example, the film thickness t of the aluminum oxide film on the lower surface is set to 13 mm <t ≦ 20 mm, similarly to the film thickness t on the upper surface. As one form of the present invention, by adjusting the film thickness of the aluminum oxide film on the lower surface before chemical etching and the processing conditions for chemical etching, the minimum wavelength of visible light is less than 380 nm (for example, 3 例 え ば ≦ t A transparent aluminum oxide film having a thickness of ≦ 13 mm) can be left to protect the transparent adhesive layer or the transparent substrate exposed to the opening during chemical etching from coloring by the corrosive liquid.
However, if the lower surface aluminum oxide film has the same thickness as that of the upper surface oxide film, the thickness of the lower surface aluminum oxide film is defined to be the same as the thickness of the upper surface aluminum oxide film. be able to.

(黒化処理層)
なお、アルミニウムパターンはその表面に黒化処理層を形成してもよい。
黒化処理層は、アルミニウムパターンやその表面の酸化皮膜による光反射を抑制することで、外光吸収、画像のコントラスト向上を図る層である。黒化処理層は外光吸収、画像のコントラスト向上が必要な場合に設ける。黒化処理層はアルミニウムパターンの表面、表面に酸化皮膜がある場合はその皮膜表面に設けて、その光反射率を低下させる層である。
(Blackening treatment layer)
The aluminum pattern may have a blackened layer on the surface.
The blackening treatment layer is a layer for improving external light absorption and image contrast by suppressing light reflection by the aluminum pattern and the oxide film on the surface. The blackening treatment layer is provided when external light absorption and image contrast improvement are required. When there is an oxide film on the surface or surface of the aluminum pattern, the blackening treatment layer is a layer that is provided on the surface of the film to reduce the light reflectance.

ここで表面は上面、下面、側面などの面をいう。黒化処理して黒化処理層を形成する表面としては、上面のみ、上面と両側側面、下面のみ、上面と両側側面と下面の全ての表面など、要求に応じた面とすれば良いのは公知の黒化処理と同じである。このうち、透明接着剤層存在下で透明接着剤に接する面が下面である。また、電磁波遮蔽フィルタをその上面側を観察者側にして使用するには、少なくとも上面については黒化処理層を形成するのが好ましく、更に好ましくは両側側面、後述画像表示素子側となる下面についても黒化処理層を形成するのがよい。   Here, the surface refers to a surface such as an upper surface, a lower surface, or a side surface. The surface on which the blackening treatment is performed to form the blackening treatment layer may be surfaces according to demand, such as the upper surface only, the upper surface and both side surfaces, the lower surface only, the upper surface, both side surfaces, and the entire lower surface. This is the same as a known blackening process. Among these, the surface in contact with the transparent adhesive in the presence of the transparent adhesive layer is the lower surface. Further, in order to use the electromagnetic wave shielding filter with the upper surface side of the observer side, it is preferable to form a blackening treatment layer on at least the upper surface, more preferably on both side surfaces, and on the lower surface on the image display element side described later. Also, a blackening treatment layer is preferably formed.

黒化処理層としては、電磁波遮蔽フィルタにおいて、公知のものを適宜採用すれば良い。例えば、黒化処理層としては、金属などの無機材料、黒色樹脂などの有機材料などを使用できる。無機材料としては、例えば金属乃至は合金、金属酸化物、金属硫化物などの金属化合物であり、めっき法など公知の黒化処理にて形成することができる。また、黒色樹脂としては例えば黒色の着色剤を樹脂中に含有させた層として形成できる。   As the blackening treatment layer, any known electromagnetic shielding filter may be adopted as appropriate. For example, as the blackening treatment layer, an inorganic material such as a metal, an organic material such as a black resin, or the like can be used. The inorganic material is, for example, a metal compound such as a metal or an alloy, a metal oxide, or a metal sulfide, and can be formed by a known blackening process such as a plating method. Moreover, as black resin, it can form as a layer which contained the black coloring agent in resin, for example.

[透明接着剤層]
透明接着剤層4は、アルミニウムパターンを透明基材に固定するための層であり、例えば、アルミニウムパターンをアルミニウム箔から形成する場合に、アルミニウム箔を透明基材に接着固定するために使用される。なお、透明接着剤層は、アルミニウムパターンをアルミニウム蒸着で透明基材上に直接積層したアルミニウム層から形成する場合では省略できる。
[Transparent adhesive layer]
The transparent adhesive layer 4 is a layer for fixing the aluminum pattern to the transparent substrate. For example, when the aluminum pattern is formed from an aluminum foil, the transparent adhesive layer 4 is used for bonding and fixing the aluminum foil to the transparent substrate. . In addition, a transparent adhesive bond layer can be abbreviate | omitted when forming from the aluminum layer which laminated | stacked the aluminum pattern directly on the transparent base material by aluminum vapor deposition.

透明接着剤層としては、アルミニウムパターンの開口部による光透過性を阻害しないように、透明な接着剤であればよく、公知の透明な接着剤を適宜使用すればよい。例えば、ウレタン系接着剤、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、ゴム系接着剤などである。なかでも、ウレタン系接着剤、例えば2液硬化型ウレタン系接着剤は、接着力などの点で好ましい。2液硬化型ウレタン系接着剤としては、ポリオールを主剤とし、これに硬化剤としてポリイソシアネート化合物を用いた接着剤を使用できる。ポリオールは、例えば、アクリルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリウレタンポリオール、ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリウレタンポリオールなどである。また、ポリイソシアネート化合物は、例えば、トリレンジイソシアネート系、キシリレンジイソシアネート系、ヘキサメチレンジイソシアネート系などである。ポリオール、ポリイソシアネートは、各々複数種使用してもよい。   The transparent adhesive layer may be a transparent adhesive so as not to impair the light transmission through the openings of the aluminum pattern, and a known transparent adhesive may be used as appropriate. For example, urethane adhesive, acrylic adhesive, epoxy adhesive, rubber adhesive, and the like. Among these, urethane adhesives, for example, two-component curable urethane adhesives are preferable in terms of adhesive strength. As the two-component curable urethane-based adhesive, an adhesive using a polyol as a main agent and a polyisocyanate compound as a curing agent can be used. Examples of the polyol include acrylic polyol, polyester polyol, polyurethane polyol, polyether polyol, and polyester polyurethane polyol. Examples of the polyisocyanate compound include tolylene diisocyanate, xylylene diisocyanate, and hexamethylene diisocyanate. A plurality of polyols and polyisocyanates may be used.

透明接着剤層は、透明な接着剤をアルミニウム箔、透明基材のいずれか又は両方に公知の形成法によって施した後、これらを接着剤を介する様に積層することで形成できる。該形成法は、塗工法、印刷法などである。   The transparent adhesive layer can be formed by applying a transparent adhesive to one or both of an aluminum foil and a transparent substrate by a known forming method, and then laminating these with an adhesive interposed therebetween. The forming method includes a coating method and a printing method.

[多機能フィルタ]
多機能フィルタ20は、上記した電磁波遮蔽フィルタに更に光学フィルタを積層し、電磁波遮蔽機能と共に光学フィルタ機能を備えたフィルタである。図3はこのような、多機能フィルタ20の一形態を示す断面図であり、電磁波遮蔽フィルタ10の片面に光学フィルタ5が直接積層された構成のフィルタである。
積層面は電磁波遮蔽フィルタ10の何れかの片面の他、両面でもよい。なお、積層面が片面の場合、透明基材の下面側の面、アルミニウムパターンの上面側の面、いずれでもよい。
[Multi-function filter]
The multi-function filter 20 is a filter having an optical filter function as well as an electromagnetic wave shielding function by further laminating an optical filter on the above-described electromagnetic wave shielding filter. FIG. 3 is a cross-sectional view showing one embodiment of such a multifunction filter 20, which is a filter having a configuration in which the optical filter 5 is directly laminated on one surface of the electromagnetic wave shielding filter 10.
The laminated surface may be either one surface of the electromagnetic wave shielding filter 10 or both surfaces. In addition, when a lamination | stacking surface is single side | surface, any of the surface by the side of the lower surface of a transparent base material and the surface by the side of the upper surface of an aluminum pattern may be sufficient.

電磁波遮蔽フィルタに更に光学フィルタを積層した多機能フィルタとすることによって、電磁波遮蔽機能と共に光学フィルタ機能も備えた多機能化がなされ、透明基材の共通化、フィルタの薄型化が可能となり、ひいては低コスト化も可能となる。   By making a multi-function filter in which an optical filter is further laminated on an electromagnetic wave shielding filter, the multi-functionality is provided with an optical filter function as well as an electromagnetic wave shielding function, making it possible to share a transparent base material and reduce the thickness of the filter. Cost reduction is also possible.

(光学フィルタ)
光学フィルタ5としては、光学フィルタ機能を有する公知の光学フィルタを適宜選択すればよい。光学フィルタ機能としては、例えば、近赤外線を吸収する近赤外線吸収機能、紫外線を吸収する紫外線吸収機能、PDPディスプレイのネオン光を吸収するネオン光吸収機能、表示画像を好みの色調に補正する色補正機能などの特定光透過機能、反射防止機能(防眩、反射防止、防眩及び反射防止のいずれか)、或いは特開2007−272161号公報に記載の外光反射防止によるコントラスト向上機能を有する薄膜微小ルーバなどである。
光学フィルタ5は、上記した、近赤外線吸収機能、反射防止機能、コントラスト向上機能などの各種光学フィルタ機能のうち1機能或いは2機能以上を備える。
(Optical filter)
As the optical filter 5, a known optical filter having an optical filter function may be appropriately selected. Examples of the optical filter function include a near-infrared absorption function that absorbs near-infrared light, an ultraviolet absorption function that absorbs ultraviolet light, a neon light absorption function that absorbs neon light of a PDP display, and color correction that corrects a display image to a desired color tone. A thin film having a specific light transmission function such as a function, an antireflection function (any of antiglare, antireflection, antiglare and antireflection), or a contrast enhancement function by antireflection of external light described in JP-A-2007-272161 It is a minute louver.
The optical filter 5 has one function or two or more functions among the various optical filter functions such as the above-described near-infrared absorption function, antireflection function, and contrast enhancement function.

これら各種の光学フィルタ機能は、例えば、近赤外線吸収機能、ネオン光吸収機能、色補正機能などは、これら機能に応じた色素(近赤外線吸収色素、ネオン光吸収色素、色補正色素)を用い、紫外線吸収機能は紫外線吸収剤を用いるなど、公知の材料・方法で実現できる。例えば、これら材料を樹脂中に分散させた樹脂層を光学フィルタ層として、公知の塗工法、押出法などで形成することができる。また、樹脂層は単層又は多層構成によって、複数機能を兼用することができる。
また、反射防止機能なども含めて光学フィルタ機能を担う光学フィルタ層は、適宜透明基材に積層して光学フィルタとすることもある。なお、ここでの透明基材としては、前述電磁波遮蔽フィルタの透明基材で列記した材料を使用できる。
These various optical filter functions, for example, near infrared absorption function, neon light absorption function, color correction function, etc., using dyes corresponding to these functions (near infrared absorption dye, neon light absorption dye, color correction dye), The ultraviolet absorbing function can be realized by a known material / method such as using an ultraviolet absorber. For example, a resin layer in which these materials are dispersed in a resin can be formed as an optical filter layer by a known coating method, extrusion method, or the like. In addition, the resin layer can be used for a plurality of functions depending on a single layer or a multilayer structure.
Further, the optical filter layer having an optical filter function including an antireflection function may be appropriately laminated on a transparent substrate to form an optical filter. In addition, as a transparent base material here, the material listed with the transparent base material of the above-mentioned electromagnetic wave shielding filter can be used.

[その他の層]
上記した電磁波遮蔽フィルタ、多機能フィルタには、更にその他の層、例えば、アルミニウムパターンの上面側の凹凸を平坦化する平坦化樹脂層、表面を保護する表面保護層、ハードコート層、汚染防止機能層、帯電防止機能層、粘着剤層などの、これらのフィルタにおいて公知の層を積層することができる。これらの層は、兼用することができる。
[Other layers]
The electromagnetic wave shielding filter and the multi-function filter described above include other layers such as a flattening resin layer for flattening the unevenness on the upper surface side of the aluminum pattern, a surface protective layer for protecting the surface, a hard coat layer, and a contamination prevention function. In these filters, known layers such as a layer, an antistatic functional layer, and an adhesive layer can be laminated. These layers can be combined.

[画像表示装置]
本発明の画像表示装置は、上記した電磁波遮蔽フィルタ又は多機能フィルタを前面に配置した画像表示装置であり、より具体的には上記した電磁波遮蔽フィルタ又は多機能フィルタを画像表示素子の観察者側に配置した表示装置である。なお、前面とは画像表示装置の観察者側面である。また、配置は公知の形態によればよい。
[Image display device]
The image display device of the present invention is an image display device in which the above-described electromagnetic wave shielding filter or multi-functional filter is disposed on the front surface, and more specifically, the above-described electromagnetic wave shielding filter or multi-functional filter is disposed on the observer side of the image display element. It is the display device arranged in. The front surface is the observer side of the image display device. Moreover, arrangement | positioning should just follow a well-known form.

このような画像表示装置とすることによって、その低コスト化が可能となり、画像表示装置の普及促進を図れる。   By using such an image display device, the cost can be reduced, and the spread of the image display device can be promoted.

(画像表示素子)
該画像表示素子としては、プラズマディスプレイパネル(PDPともいう)、陰極線管(CRTともいう)、液晶表示素子(LCDともいう)、電界発光素子(ELともいう)などで、電磁波が発生する素子である。例えば、PDPでは、30MHz〜1GHzの帯域の不要な電磁波が発生する。
(Image display element)
Examples of the image display element include a plasma display panel (also referred to as PDP), a cathode ray tube (also referred to as CRT), a liquid crystal display element (also referred to as LCD), an electroluminescent element (also referred to as EL), and the like that generate electromagnetic waves. is there. For example, in PDP, unnecessary electromagnetic waves in a band of 30 MHz to 1 GHz are generated.

(配置の形態)
電磁波遮蔽フィルタ又は多機能フィルタを、画像表示素子の観察者側に配置する配置形態には、大別して、電磁波遮蔽フィルタ又は多機能フィルタを画像表示素子の観察者側の面に空間を介さず、但し通常は接着剤層を介して、直接積層して配置する形態〔図4(a)〕と、電磁波遮蔽フィルタ又は多機能フィルタを空間を介して画像表示素子の観察者側に配置する形態〔図4(b)〕とがある。
(Arrangement form)
The electromagnetic wave shielding filter or the multi-functional filter is arranged on the observer side of the image display element, and is roughly divided into the electromagnetic wave shielding filter or the multi-functional filter on the observer side of the image display element without a space, However, usually, a configuration in which the electromagnetic wave shielding filter or the multifunction filter is disposed on the viewer side of the image display element through a space [FIG. FIG. 4 (b)].

図4(a)に示す直接積層して配置する形態の画像表示装置40は、電磁波遮蔽フィルタ10又は多機能フィルタ20を、画像表示素子30の観察者側の面に空隙を空けずに直接に積層した表示装置となっている。電磁波遮蔽フィルタ10又は多機能フィルタ20を画像表示素子30の観察者側の面に直貼りすることによって得ることができる。その際、必要に応じて透明な接着剤を介して積層する。接着剤(含む粘着剤)は電磁波遮蔽フィルタ10又は多機能フィルタ20の一部として備えられた接着剤層、或いは積層時にこれらの間に適用したものなど公知のもので良い。透明な接着剤には、上記した透明接着剤層で列記した接着剤などを使用できる。   The image display device 40 in the form of being directly laminated as shown in FIG. 4A directly connects the electromagnetic wave shielding filter 10 or the multi-function filter 20 without leaving a gap on the surface of the image display element 30 on the viewer side. It is a laminated display device. The electromagnetic wave shielding filter 10 or the multi-function filter 20 can be obtained by directly pasting the surface of the image display element 30 on the viewer side. In that case, it laminates | stacks through a transparent adhesive agent as needed. The adhesive (including the pressure-sensitive adhesive) may be a known one such as an adhesive layer provided as a part of the electromagnetic wave shielding filter 10 or the multi-function filter 20, or an adhesive layer applied between the layers during lamination. As the transparent adhesive, the adhesive listed in the transparent adhesive layer described above can be used.

一方、図4(b)に示す空間を介して配置する形態の画像表示装置40の場合は、一旦、電磁波遮蔽フィルタ10又は多機能フィルタ20を透明基板6の面に直接積層した板状積層体21としたものを、画像表示素子20の観察者側に空間を空けて配置したものである。   On the other hand, in the case of the image display device 40 arranged in the form shown in FIG. 4B, a plate-like laminate in which the electromagnetic wave shielding filter 10 or the multifunction filter 20 is once laminated directly on the surface of the transparent substrate 6. 21 is arranged with a space on the viewer side of the image display element 20.

なお、図4(b)の様に、電磁波遮蔽フィルタ10又は多機能フィルタ20を空間を空けて配置する形態では、これら電磁波遮蔽フィルタ10又は多機能フィルタ20が剛直な板状体ではなくシート又はフィルム状でフレキシブルで形状維持ができないときに、透明基板6と積層した板状積層体21とすることで、形状維持ができるようになる点で好適である。
また、板状積層体21において、図4(b)に例示の形態では、電磁波遮蔽フィルタ10又は多機能フィルタ20は透明基板6に対して観察者側の面に積層してあるが、この逆に、画像表示素子側の面に積層したものでもよい。
As shown in FIG. 4B, in the form in which the electromagnetic wave shielding filter 10 or the multi-function filter 20 is disposed with a space therebetween, the electromagnetic wave shielding filter 10 or the multi-function filter 20 is not a rigid plate-like body but a sheet or When the film shape is flexible and the shape cannot be maintained, the plate-like laminate 21 laminated with the transparent substrate 6 is preferable in that the shape can be maintained.
Further, in the plate-like laminate 21, in the form illustrated in FIG. 4B, the electromagnetic wave shielding filter 10 or the multi-function filter 20 is laminated on the surface on the viewer side with respect to the transparent substrate 6. Further, it may be laminated on the surface on the image display element side.

(透明基板)
なお、透明基板6としては、形状維持可能な板状体、例えば、ガラス、セラミックスなどの無機板、樹脂板などが使用できる。樹脂板の樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル系樹脂、ポリメチルメタクリレートなどのアクリル系樹脂、シクロオレフィン重合体などのポリオレフィン系樹脂、トリアセチルセルロースなどのセルロース系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリイミド系樹脂等である。
透明基板の樹脂中には、必要に応じて適宜、紫外線吸収剤、着色剤、充填剤、可塑剤、帯電防止剤などの公知の添加剤を添加できる。
(Transparent substrate)
In addition, as the transparent substrate 6, a plate-like body capable of maintaining the shape, for example, an inorganic plate such as glass or ceramics, a resin plate, or the like can be used. Examples of the resin for the resin plate include polyester resins such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, acrylic resins such as polymethyl methacrylate, polyolefin resins such as cycloolefin polymers, cellulose resins such as triacetyl cellulose, and polycarbonate. Resin, polyimide resin and the like.
In the resin of the transparent substrate, known additives such as an ultraviolet absorber, a colorant, a filler, a plasticizer, and an antistatic agent can be appropriately added as necessary.

[実施例1]
先ず、アルミニウムパターンとする金属箔として、厚み12μmの連続帯状の圧延アルミニウム箔(IN30;JIS H4160準拠)を用意した。このアルミニウム箔の表面の酸化皮膜の厚みを測定したところ、上面下面とも14Åだった。
また、透明基材として、両面にポリエステル樹脂系プライマー層が形成された、連続帯状の無着色透明な厚み100μmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを用意した。
[Example 1]
First, a continuous strip-shaped rolled aluminum foil (IN30; JIS H4160 compliant) having a thickness of 12 μm was prepared as a metal foil to be an aluminum pattern. When the thickness of the oxide film on the surface of this aluminum foil was measured, it was 14 mm on both the upper and lower surfaces.
Further, as a transparent substrate, a continuous belt-shaped uncolored transparent biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a polyester resin primer layer formed on both surfaces was prepared.

次いで、上記透明基材の一方のプライマー層面と、上記アルミニウム箔の光沢面とを、透明な2液硬化型ウレタン樹脂系接着剤(主剤として平均分子量3万のポリエステルポリウレタンポリオール12質量部に対して、硬化剤としてキシリレンジイソシアネート系プレポリマー1質量部を含む)を介してドライラミネートした後、加熱エージングして接着剤を硬化させ、アルミニウム箔と透明基材間に厚み3μmの透明接着剤層を有する連続帯状のアルミニウム箔積層シートを得た。   Next, one primer layer surface of the transparent base material and the glossy surface of the aluminum foil are combined with a transparent two-component curable urethane resin adhesive (based on 12 parts by mass of a polyester polyurethane polyol having an average molecular weight of 30,000 as a main agent). , Including 1 part by mass of xylylene diisocyanate prepolymer as a curing agent), and then heat aging to cure the adhesive, and a transparent adhesive layer having a thickness of 3 μm is formed between the aluminum foil and the transparent substrate. A continuous strip-shaped aluminum foil laminated sheet was obtained.

次いで、上記アルミニウム箔積層シートのアルミニウム箔に対して、フォトリソグラフィー法を利用したケミカルエッチング処理を行い、開口部及びライン部とから成るメッシュ状領域、及びメッシュ状領域を囲繞する外縁部に額縁状で開口部を形成しない接地用領域(額縁領域)を有するアルミニウムパターンを形成した。   Next, the aluminum foil of the aluminum foil laminated sheet is subjected to a chemical etching process using a photolithographic method, and a mesh-like region composed of an opening and a line portion, and a frame shape on the outer edge surrounding the mesh-like region. An aluminum pattern having a grounding region (frame region) where no opening was formed was formed.

上記エッチングは、具体的には、カラーTVシャドウマスク用の製造ラインを利用して、連続帯状の上記積層シートに対して、マスキングからエッチングまでを一貫して行った。すなわち、上記積層シートのアルミニウム箔面全面に感光性のエッチングレジストを塗布後、所望のメッシュパターンを密着露光し、現像、硬膜処理、ベーキングして、メッシュの開口部に相当する領域上にレジスト層が非形成となったレジストパターンを形成した後、レジスト層非形成部のアルミニウム箔を、塩化第二鉄を含む酸性水溶液のエッチング液でエッチングして除去して、メッシュ状の開口部を有したアルミニウムパターンを形成し、次いで、水洗、レジスト剥離、洗浄、乾燥を順次行った。   Specifically, the etching was consistently performed from masking to etching on the continuous belt-like laminated sheet using a production line for a color TV shadow mask. That is, after applying a photosensitive etching resist on the entire surface of the aluminum foil of the laminated sheet, a desired mesh pattern is closely exposed, developed, hardened, and baked to form a resist on the area corresponding to the mesh opening. After forming the resist pattern in which the layer is not formed, the aluminum foil in the resist layer non-formed part is removed by etching with an acid aqueous etchant containing ferric chloride to have a mesh-like opening. An aluminum pattern was formed, and then washing with water, stripping of the resist, washing, and drying were sequentially performed.

メッシュ状領域(画像表示領域)のメッシュの形状は、その開口部が正方形で非開口部となる線状のライン部のライン幅(平均値)は20μm、そのライン間隔(ピッチ)は300μm、ライン部の高さは12μm、長方形の枚葉シートに切断した場合に、該ライン部と該長方形の長辺とが構成する劣角として定義されるバイアス角度は0度であった。このようにして、幅寸法605mmの電磁波遮蔽フィルタの中間体を得て、ロール状に巻き取った。   The mesh shape of the mesh-like region (image display region) is such that the line width (average value) of the linear line portion having a square opening and a non-opening portion is 20 μm, and the line interval (pitch) is 300 μm. The height of the portion was 12 μm, and when cut into a rectangular sheet, the bias angle defined as the minor angle formed by the line portion and the long side of the rectangle was 0 degree. Thus, the intermediate body of the electromagnetic wave shielding filter of width dimension 605mm was obtained, and it wound up in roll shape.

得られたロール状の、電磁波遮蔽フィルタの中間体を、ロール・トウ・ロールで連続的に黒化処理装置に供給し、中間体のアルミニウムパターン面に対してニッケル化合物の黒化処理層を形成し、巻き取って電磁波遮蔽フィルタを得た。   The obtained roll-shaped electromagnetic shielding filter intermediate is continuously supplied to the blackening device using rolls, tows, and rolls, and a nickel compound blackening layer is formed on the aluminum pattern surface of the intermediate. And wound up to obtain an electromagnetic wave shielding filter.

得られたアルミニウムパターンのパターン精度は、メッシュのライン幅は平均値L20μmに対して±16μmのバラツキがあり、その平均値LとバラツキΔLとの関係が(ΔL/L)×100=80%である。目視でメッシュ状領域の均一性が非常に高く欠陥が無いように見え、PDPの前面に設置した場合でもモアレが発生しない。   Regarding the pattern accuracy of the obtained aluminum pattern, the mesh line width has a variation of ± 16 μm with respect to the average value L20 μm, and the relationship between the average value L and the variation ΔL is (ΔL / L) × 100 = 80%. is there. Visually, the uniformity of the mesh region is very high and appears to be free of defects, and no moiré occurs even when installed on the front surface of the PDP.

[実施例2]
実施例1において、アルミニウム箔の表面酸化皮膜の厚みが18Åのものを使用した以外は同様にして電磁波遮蔽フィルタを得た。
得られたアルミニウムパターンのパターン精度は、メッシュのライン幅は平均値L20μmに対して±19.2μmのバラツキがあり、その平均値LとバラツキΔLとの関係が(ΔL/L)×100=96%である。目視でメッシュ状領域の均一性が非常に高く欠陥が無いように見え、ライン部の断線も無く、且つPDPの前面に設置した場合でもモアレが発生しない。
[Example 2]
An electromagnetic wave shielding filter was obtained in the same manner as in Example 1 except that an aluminum foil having a surface oxide film thickness of 18 mm was used.
Regarding the pattern accuracy of the obtained aluminum pattern, the mesh line width has a variation of ± 19.2 μm with respect to the average value L20 μm, and the relationship between the average value L and the variation ΔL is (ΔL / L) × 100 = 96. %. The uniformity of the mesh-like region is visually very high and appears to be free of defects, the line portion is not broken, and no moiré occurs even when installed in front of the PDP.

[比較例1]
実施例1において、アルミニウム箔の表面酸化皮膜の厚みが5Åのものを使用した以外は同様にして電磁波遮蔽フィルタを得た。
得られたアルミニウムパターンのパターン精度は、メッシュのメッシュのライン幅は平均値L20μmに対して±1μmのバラツキがあり、その平均値LとバラツキΔLとの関係が(ΔL/L)×100=5%である。目視でメッシュ状領域の均一性が非常に高く欠陥が無いように見えるが、ラインの輪郭の直線性が高いため、PDPの前面に設置した場合にモアレが発生する。
[Comparative Example 1]
An electromagnetic wave shielding filter was obtained in the same manner as in Example 1 except that an aluminum foil having a surface oxide film thickness of 5 mm was used.
Regarding the pattern accuracy of the obtained aluminum pattern, the mesh line width varies ± 1 μm with respect to the average value L20 μm, and the relationship between the average value L and the variation ΔL is (ΔL / L) × 100 = 5. %. Visually, the uniformity of the mesh region is very high and appears to be free of defects, but since the linearity of the outline of the line is high, moire occurs when installed on the front surface of the PDP.

本発明による電磁波遮蔽フィルタの一形態を示す断面図。Sectional drawing which shows one form of the electromagnetic wave shielding filter by this invention. アルミニウムパターンのラインについて、ライン幅の平均値Lとライン幅のバラツキΔLで概念的に説明する平面図。The top view explaining notionally about the line of an aluminum pattern by the average value L of line width, and variation (DELTA) L of line width. 本発明による多機能フィルタの一形態を示す断面図。Sectional drawing which shows one form of the multifunction filter by this invention. 本発明による画像表示装置の形態例を示す断面図。Sectional drawing which shows the example of a form of the image display apparatus by this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 透明基材
2 アルミニウムパターン
3 酸化皮膜
4 透明接着剤層
5 光学フィルタ
6 透明基板
10 電磁波遮蔽フィルタ
20 多機能フィルタ
21 板状積層体
30 画像表示素子
40 画像表示装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent base material 2 Aluminum pattern 3 Oxide film 4 Transparent adhesive layer 5 Optical filter 6 Transparent substrate 10 Electromagnetic wave shielding filter 20 Multifunctional filter 21 Plate-shaped laminated body 30 Image display element 40 Image display apparatus

Claims (3)

透明基材上に金属パターンが形成された電磁波遮蔽フィルタにおいて、
金属パターンがアルミニウムパターンであり、アルミニウムパターンの少なくとも上面(透明基材に対してアルミニウムパターンが形成された側と同じ向きとなる面)のアルミニウムの酸化皮膜の厚みtが13Å<t≦20Åであり、
且つアルミニウムパターンのライン幅の平均値Lと該ライン幅の分布の3σ(σは標準偏差)であるバラツキΔLとが、
50%<(ΔL/L)×100<100%である、電磁波遮蔽フィルタ。
In an electromagnetic wave shielding filter in which a metal pattern is formed on a transparent substrate,
The metal pattern is an aluminum pattern, and the thickness t of the aluminum oxide film on at least the upper surface of the aluminum pattern (the surface in the same direction as the side on which the aluminum pattern is formed with respect to the transparent substrate) is 13 mm <t ≦ 20 mm. ,
And the average value L of the line width of the aluminum pattern and the variation ΔL that is 3σ (σ is a standard deviation) of the distribution of the line width,
An electromagnetic wave shielding filter in which 50% <(ΔL / L) × 100 <100%.
請求項1記載の電磁波遮蔽フィルタと、光学フィルタとを積層した多機能フィルタ。   A multi-function filter in which the electromagnetic wave shielding filter according to claim 1 and an optical filter are laminated. 請求項1記載の電磁波遮蔽フィルタ又は請求項2記載の多機能フィルタを、前面に配置した画像表示装置。
The image display apparatus which has arrange | positioned the electromagnetic wave shielding filter of Claim 1, or the multifunction filter of Claim 2 in the front surface.
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