JP2010054981A - 共焦点顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】共焦点画像を得る際の調整作業を容易にし、かつ装置を小型化すること
【解決手段】この共焦点顕微鏡装置1は、照明光L1を照射するファイバ光源2と、試料Aからの蛍光のうち照明光の入射方向に沿って戻る第1の成分L2、及び照明光L1を透過する第1の透過部15aと、蛍光のうち第1の成分L2以外の第2の成分L3を、第1の成分L2とは異なる方向に透過及び屈折させる第2の透過部15bとが交互に配列されたプリズムアレイマスク6と、第1の透過部15aを透過した第1の成分L2を受光する撮像素子11Aと、第2の透過部15bを透過した第2の成分L3を受光する撮像素子11Bとを備え、撮像素子11A,11Bによって得られた画像データに基づいて、対象物の共焦点画像を生成する。
【選択図】図1
【解決手段】この共焦点顕微鏡装置1は、照明光L1を照射するファイバ光源2と、試料Aからの蛍光のうち照明光の入射方向に沿って戻る第1の成分L2、及び照明光L1を透過する第1の透過部15aと、蛍光のうち第1の成分L2以外の第2の成分L3を、第1の成分L2とは異なる方向に透過及び屈折させる第2の透過部15bとが交互に配列されたプリズムアレイマスク6と、第1の透過部15aを透過した第1の成分L2を受光する撮像素子11Aと、第2の透過部15bを透過した第2の成分L3を受光する撮像素子11Bとを備え、撮像素子11A,11Bによって得られた画像データに基づいて、対象物の共焦点画像を生成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、対象物の共焦点画像を生成する共焦点顕微鏡装置に関するものである。
従来から、対象物の高解像度のイメージを得るために共焦点顕微鏡が用いられている。このような共焦点顕微鏡は、撮像素子と対物レンズとの間に多数の微小ピンホールが設けられたピンホール板を有し、対物レンズによってピンホール板の表面に結像した光のみを照明光が通過したピンホールと同じピンホールに通過させ、ピンホール板の表面に結像しない散乱光等をピンホール板によって遮断するようにしている。これにより、ピンぼけやフレア光などによるノイズがない鮮明な画像を生成する(例えば、下記特許文献1参照)。
また、上記のようにピンホール板を用いた顕微鏡では得られる共焦点光の強度が低くなってしまう傾向にあったため、このことを改善するために下記特許文献2に記載された共焦点顕微鏡が開発されている。この共焦点顕微鏡では、2つの表面間に延在する透明及び不透明のパターンを有するマスクが、光源からの光を対象物に向かわせるビームスプリッタと対物レンズとの間に設けられており、通常像と共焦点像とが重なった像である陽画像が対物レンズからマスクを透過して得られ、通常像から共焦点像を引いた像である陰画像がマスクの表面で反射することにより得られる。この陽画像から陰画像を減算することにより、ピンホール板を用いた場合に比して2倍の強度を有する共焦点画像が得られる。
特開2007−310202号公報
特表2002−535716号公報
しかしながら、上述したような特許文献2に記載の共焦点顕微鏡では、マスクを挟んで両側に撮像素子又は光源を設ける必要があるため、陽画像と陰画像の取得条件を同一にするには、撮像素子や光源の取り付け角度や取り付け位置等の調整が煩雑になる。また、特許文献2に記載の構成では、撮像素子及び光源の配置の関係上、撮像素子や光源を1ユニット化することができないため、光学系が複雑になり装置の大型化を招く傾向にある。
そこで、本発明は、かかる課題に鑑みて為されたものであり、共焦点画像を得る際の調整作業を容易にし、かつ装置を小型化することが可能な共焦点顕微鏡装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明の共焦点顕微鏡装置は、対象物の共焦点画像を生成する共焦点顕微鏡装置であって、照明光を照射する光源と、照明光に応じた対象物からの光のうち照明光の入射方向に沿って戻る第1の成分、及び照明光を透過する第1の透過部と、対象物からの光のうち第1の成分以外の第2の成分を、第1の成分とは異なる方向に透過及び屈折させる第2の透過部とが交互に配列されたマスク部と、第1の透過部を透過した第1の成分を受光する第1の光検出部と、第2の透過部を透過した第2の成分を受光する第2の光検出部とを備え、第1及び第2の光検出部によって得られた画像データに基づいて、対象物の共焦点画像を生成する。
このような共焦点顕微鏡装置によれば、光源から照射された照明光がマスク部の第1の透過部を透過することにより、対象物に所定のピッチを有するパターンで照射され、これにより対象物からの光のうち共焦点結像光を含む第1の成分が第1の透過部を透過した後に第1の光検出部によって受光される。これに対して、対象物からの光のうち共焦点結像光を含まない第2の成分が、第2の透過部によって透過/屈折された後に第2の光検出部によって受光され、第1及び第2の光検出部によって得られた画像データをもとに共焦点画像が生成可能となる。このような構成により、光源を単一化することができるとともに2つの光検出部もマスク部の片側に配置することができるので、これらの取り付け角度や位置の調整が単純化され、光検出器をユニット化することによる光学系を含む装置の小型化も容易に実現することができる。
第1の透過部又は第2の透過部の少なくとも一方はプリズムを含んでいることが好適である。この場合、マスク部において対象物から発生した第1の成分の光と第2の成分の光とを確実に分離することができる。
また、第1及び第2の光検出部は、マスク部を挟んで対象物に対して反対側に配置されていることも好適である。かかる構成を採れば、2つの光検出部をユニット化して装置の小型化が可能になる。
さらに、第1及び第2の光検出部は、TDI(Time Delay Integration)動作が可能な撮像素子で構成されていることも好適である。かかる第1及び第2の光検出部を備えれば、対象物を画素ラインの垂直転送のタイミングに合わせて移動させることにより、マスク部を動かすことなく高感度な共焦点画像を得ることができる。
またさらに、対象物の移動に対して撮像素子のTDI動作の同期がとられていることも好適である。こうすれば、マスク部を動かすことなく高感度な共焦点画像を得ることができる。
本発明によれば、共焦点画像を得る際の調整作業を容易にし、かつ装置を小型化することができる。
以下、図面を参照しつつ本発明に係る共焦点顕微鏡装置の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
[第1実施形態]
図1は、本発明の第1実施形態に係る共焦点顕微鏡装置1の概略構成を示す図である。
図1は、本発明の第1実施形態に係る共焦点顕微鏡装置1の概略構成を示す図である。
図1に示す共焦点顕微鏡装置1は、試料(対象物)Aの共焦点画像を生成するための装置であり、特に試料Aから発せられる蛍光に伴う蛍光画像を観察するために用いられる。この共焦点顕微鏡装置1には、照明光L1を照射するファイバ光源2と、そのファイバ光源2の照射方向の前面に位置する励起フィルタ3とが設けられ、励起フィルタ3によってファイバ光源2から発せられた照明光L1のうち、特定の範囲の波長成分が選択的に透過される。
この励起フィルタ3を介してファイバ光源2の前方には、ダイクロイックミラー4が配置され、このダイクロイックミラー4によって励起フィルタ3を透過した照明光L1が、顕微鏡9内を試料Aに向けて反射される。
さらに、ダイクロイックミラー4によって反射された照明光L1の光路に沿って、ダイクロイックミラー4から離れる方向に順に、大集光レンズ5、プリズムアレイマスク(マスク部)6、結像レンズ7、及び対物レンズ8が配置されている。なお、プリズムアレイマスク6は、結像レンズ7及び対物レンズ8を含んで構成される顕微鏡9の一次結像面上に位置している。
照明光L1は、大集光レンズ5によってプリズムアレイマスク6の面上に均一に照射される。これによって、プリズムアレイマスク6をまっすぐ透過することにより所定ピッチの明暗パターンが形成された照明光L1が、結像レンズ7及び対物レンズ8を含む顕微鏡9内に入射される。これにより、対物レンズ8の前方の試料Aが照明光L1によって照らされる。これに対して、プリズムアレイマスク6を透過する際に屈折された照明光L1は、顕微鏡9から外れライトトラップ10によって吸収される。
このような明暗パターンを有する照明光L1の照明に応じて、試料Aから発せられた蛍光は、対物レンズ8によって捉えられ、結像レンズ7を経由してプリズムアレイマスク6の面上に結像される。試料Aからの蛍光のうち試料Aに対してピントが合っている第1の成分(共焦点結像光)L2は、プリズムアレイマスク6をまっすぐに透過され、この蛍光のうち試料Aに対してピントが合っていない第1の成分を除く第2の成分(非共焦点結像光)L3の大部分は、プリズムアレイマスク6によって透過及び屈折される(詳細は後述する。)。
プリズムアレイマスク6を挟んで試料Aの反対側には、大集光レンズ5、蛍光フィルタ12、小集光レンズ13A,13B、及び撮像素子(光検出部)11A,11Bがこの順で設けられている。第1の成分の結像光L2は、大集光レンズ5を透過した後、平行光にコリメートされ、蛍光の波長成分を透過させる性質を有するダイクロイックミラー4を経由して、大集光レンズ5と2つの撮像素子11A,11Bの間に設けられた蛍光フィルタ12を透過する。これにより、蛍光の波長成分が抽出された第1の成分の結像光L2が、その光軸上に配置された小集光レンズ13Aによって集光され、結像光L2の光軸上に設けられた撮像素子11A上に結像及び受光される。
一方、第2の成分の結像光L3は、結像光L2の光軸に対して斜めに進んで大集光レンズ5を透過した後、平行光にコリメートされ、蛍光フィルタ12を透過することにより蛍光波長成分が抽出される。そして、第2の成分の結像光L3は、その光軸上に配置された小集光レンズ13Bによって集光され、結像光L3の光軸上に撮像素子11Aに隣接して設けられた撮像素子11B上に結像及び受光される。
ここで、撮像素子11A,11BとしてはTDI(Time Delay Integration)動作が可能なCCD(Charge Coupled Devices)を内蔵するTDIカメラが好適に用いられる。このようなTDIカメラと試料Aの駆動機構とを組み合わせて使用することで、撮像素子11A,11Bの電荷読み出しのタイミングと試料Aの撮像素子11A,11B上の像が移動するタイミングとの同期をとることで、試料Aの蛍光像を高感度で撮像できるとともに、マスク部を動かすことなくパターン化された蛍光像を平均化することができる。
共焦点顕微鏡装置1では、上記のようにして撮像素子11Aによって生成された結像光L2に対応する画像データと、撮像素子11Bによって生成された結像光L3に対応する画像データとの差分が取られることにより、試料Aの共焦点画像が生成される。
次に、プリズムアレイマスク6の構成について、詳細に説明する。図2(a)は、プリズムアレイマスク6の照明光L1の入射方向から見た平面図、図2(b)は、プリズムアレイマスク6の側面図である。
図2(a)及び(b)に示すように、プリズムアレイマスク6には、照明光L1が入射する面14a上の中央部から入射面14aと反対側の面14b上の中央部にかけて、照明光L1及び結像光L2,L3を透過する矩形状の透過部15が形成され、面14a上の透過部15の周辺には照明光L1及び結像光L2,L3を遮蔽する遮蔽部16が形成されている。この透過部15には、帯状に交互に配列された第1の透過部15a及び第2の透過部15bが形成されている。第1の透過部15aは、面14a,14b上に平坦面が形成され、全体がガラス等の光透過性を有する材料によって構成されている。第2の透過部15bは、面14a上にその長手方向に垂直な方向に傾斜する面を有するように、いわゆる三角柱状のプリズムが形成される一方、面14b側には平坦面が形成され、全体がガラス等の光透過性を有する材料によって構成されている。
面14a上において、上記第2の透過部15bの配列方向に沿った配列間隔および幅は、顕微鏡の対物レンズの倍率とNAや、対象とする試料によって選択することも考えられるが、例えば、それぞれ1mm、及び0.5mmに設定され、第1の透過部15aの配列方向に沿った幅と第2の透過部15bの配列方向に沿った幅との比か1:1となることが好ましい。この場合、撮像素子11A,11Bによって生成される画像データを演算する際に2つの画像データ間で補正する必要がなくなり、処理効率が向上する。
上記構成のプリズムアレイマスク6において、第1の透過部15aの面14aに垂直に入射する照明光L1は、まっすぐ第1の透過部15aの中を透過し、面14bから垂直方向に試料Aに向けて出射される。これに対して、第2の透過部15bに入射する照明光L1は、プリズムによって屈折されて第2の透過部15bの中を透過し、面14bから斜め方向に出射されてライトトラップ10(図1)に吸収される。その結果、試料Aには第1の透過部15aの形状及び配列ピッチを反映した帯状パターンを有する照明光L1が照射されることになる。
照明光L1の照射に応じて試料Aから発せられた蛍光のうち、第1の成分L2、すなわち共焦点結像光は、照明光L1の入射方向に沿ってプリズムアレイマスク6の第1の透過部15aに戻ってくる。これにより、蛍光の第1の成分L2は、第1の透過部15a内を面14bから面14aに向けてまっすぐ透過する。その結果、撮像素子11Aによって受光される結像光L2は、第1の透過部15aのパターンを反映した帯状の像を結ぶことになる。一方、試料Aから発せられた蛍光のうち、第2の成分L3、すなわち非共焦点結像光の多くは、プリズムアレイマスク6の第2の透過部15bに戻ってくる。これにより、蛍光の第2の成分L3は、第2の透過部15b内を面14bから面14aに向けて透過し、面14a側のプリズムによって第1の成分L2とは異なる方向に屈折される。その結果、撮像素子11Bによって受光される結像光L3は、第2の透過部15bのパターンを反映した帯状の像を結ぶことになる。
なお、第2の透過部15bの配列間隔は、対物レンズ8の瞳径、要求される分解能及びコントラストに応じて適宜選択することが可能である。例えば、対物レンズ8の瞳径が大きい場合、すなわち対物レンズの倍率に比べNAが大きい場合には配列間隔を小さくし、光軸方向の蛍光像の分解能を高めたい場合には配列間隔を小さくし、蛍光像のコントラストを高めたい場合には配列間隔を大きくする。具体的には、空間周波数に対するコントラストの高さを示す像側のMTF(Modulation Transfer Function)曲線において、対物レンズ8のNA及び照明光L1の波長で決まる中間周波数を基準にして、コントラストを重視したい場合には低周波側、分解能を重視したい場合には高周波側になるように配列間隔を決定すればよい。
以上説明した共焦点顕微鏡装置1によれば、ファイバ光源2から照射された照明光L1がプリズムアレイマスク6の第1の透過部15aを透過することにより、試料Aに所定ピッチを有するパターンで照射され、これにより試料Aから発生した蛍光のうち共焦点結像光を含む第1の成分L2が第1の透過部15aを透過した後に撮像素子11Aによって受光される。これに対して、試料Aから発生した蛍光のうち共焦点結像光を含まない第2の成分L3が、第2の透過部15bによって透過/屈折された後に撮像素子11Bによって受光される。これにより、撮像素子11A,11Bによって得られた画像データをもとに共焦点画像が生成可能となる。このような構成により、光源を単一化することができるとともに2つの撮像素子もマスク部の片側に配置することができるので、これらの取り付け角度や位置の調整が単純化される。また、2つの撮像素子を1ユニット化することによって光学系も共有化することができるので、光学系を含む装置の小型化も容易に実現することができる。
また、プリズムアレイマスク6を使用した共焦点顕微鏡装置1によって試料の微弱な蛍光像を観察することにより、従来のピンホール板を用いた場合に比して蛍光像の光量の低下を防止することができる。
さらに、撮像素子11A,11Bは、TDIカメラによって構成されているので、試料Aの像を撮像素子11A,11Bの画素ラインの垂直転送のタイミングに合わせて移動させることにより、マスク部を動かすことなく平均化された高感度な共焦点画像を得ることができる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図3は、本発明の第2実施形態に係る共焦点顕微鏡装置101の概略構成を示す図である。第1実施形態にかかる共焦点顕微鏡装置1は、試料Aとして蛍光性を有するものを対象として、照明光L1の照射に応じた試料Aからの蛍光像を生成するものであったが、共焦点顕微鏡装置101は、試料Aからの反射像を生成するためのものである。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図3は、本発明の第2実施形態に係る共焦点顕微鏡装置101の概略構成を示す図である。第1実施形態にかかる共焦点顕微鏡装置1は、試料Aとして蛍光性を有するものを対象として、照明光L1の照射に応じた試料Aからの蛍光像を生成するものであったが、共焦点顕微鏡装置101は、試料Aからの反射像を生成するためのものである。
同図に示すように、共焦点顕微鏡装置101の共焦点顕微鏡装置1との相違点は、励起フィルタ3の代わりに偏光子103が、ダイクロイックミラー4の代わりに偏光ビームスプリッタ104が設けられている点、プリズムアレイマスク6と結像レンズ7との間に1/4波長板114が、大集光レンズ5と小集光レンズ13A,13Bとの間に検光子112が、それぞれ新たに設けられている点である。
ファイバ光源2から照射された照明光L11は、偏光子103によって一方向の偏光成分が抽出されて、その方向の偏光成分を反射する性質を有する偏光ビームスプリッタ104により、照明光L11が顕微鏡9に向けて反射される。
大集光レンズ5及びプリズムアレイマスク6をまっすぐに透過した照明光L11は、1/4波長板114により直線偏光から円偏光に偏光状態が変換された後、顕微鏡9内部へとまっすぐ進み、試料A上にプリズムアレイマスク6の第1の透過部15aのパターンを反映した照明パターンを結ぶことになる。
このような照明光L11の照射に応じて、試料Aからの反射光及び散乱光が、対物レンズ8及び結像レンズ7を経由してプリズムアレイマスク6上に結像する。その際、プリズムアレイマスク6に入射する直前に1/4波長板114によって円偏光から直線偏光に偏光状態が変換されている。このときの直線偏光の向きは、照明光L11の直線偏光の向きとは90度ほど異なる向きとなっている。
このような試料Aの反射像及び散乱像を結ぶ結像光のうち、試料Aにピントの合っている第1の成分L12は、照明光L11の入射方向に沿ってプリズムアレイマスク6をまっすぐに透過する。そして、第1の成分L12は、大集光レンズ5により平行光にされた後、偏光ビームスプリッタ104を透過し、さらに検光子112によって偏光純度が上げられて小集光レンズ13Aを経由して撮像素子11Aによって受光される。この偏光ビームスプリッタ104は、照明光L11と偏光方向が90度異なる直線偏光の光を透過する性質を有するものであり、検光子112はノイズ原因となる照明光の回り込みを遮断するためのものである。その結果、撮像素子11Aによって受光される結像光L12はプリズムアレイマスク6の第1の透過部15aのパターンを反映した反射像(共焦点像を含む像)を結ぶこととなる。
その一方、試料Aにピントの合っていない第2の成分L13の大部分は、プリズムアレイマスク6によって第1の成分L12とは異なる方向に透過および屈折される。そして、第2の成分L13は、大集光レンズ5により平行光にされた後、検光子112によって偏光純度が上げられて小集光レンズ13Bを経由して撮像素子11Bによって受光される。その結果、撮像素子11Bによって受光される結像光L13はプリズムアレイマスク6の第2の透過部15bのパターンを反映した像(非共焦点像を含む像)を結ぶこととなる。
なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではない。例えば、プリズムアレイマスク6の第1及び第2の透過部15a,15bの配列方向は、透過部15の短手方向には限定されず、長手方向や透過部15の境界に対して斜め方向であっても構わない。ただし、短手方向に配列したほうが分離角を小さくでき第2の透過部15bのプリズムの角度も浅くできるため、共焦点画像の画質の点でより好ましい。
また、マスク部として用いられるプリズムアレイマスク6の構成としては、様々な変形形態をとることができる。図4〜9は、マスク部の変形例を示す図である。
例えば、図4に示すプリズムアレイマスク106のように、透過部115において帯状で配列された第2の透過部115bは、面14a上に第2の透過部15bとは逆方向に傾斜する面を有する三角柱のプリズム状の凹部が形成されたものであってもよい。このようなプリズムアレイマスク106によっても、第2の透過部115を透過する照明光L1は面14bから斜め方向に出射され、試料Aから発せられた蛍光のうち、第2の成分L3の大部分は、第2の透過部115bを透過する際に第1の成分L2とは異なる方向に屈折される。その結果、プリズムアレイマスク106の面14a側に2つの撮像素子11A,11Bを配置することにより、共焦点結像光を含む第1の成分L2が撮像素子11Aによって、共焦点結像光を含まない第2の成分L3が撮像素子11Bによって受光可能にされる。
また、図5に示すプリズムアレイマスク206のように、透過部215における第2の透過部215bは、面14a,14bの両側に帯状のプリズムが形成されたものであってもよい。このようなプリズムアレイマスク206によれば、第2の透過部215bにおける偏向角を大きくできるので、2つの透過部15a,215bを透過する照明光L1の分離、及び蛍光の第1及び第2の成分L2,L3の分離が確実に為される。
また、図6に示すプリズムアレイマスク306のように、透過部315において面14a上に互いに逆方向に傾斜する面を有し、断面が二等辺三角形のプリズムを形成する第1及び第2の透過部315a,315bを有していてもよい。このようなプリズムアレイマスク306によれば照明光L1及び蛍光の第1の成分L2を含む光束と蛍光の第2の成分L3を含む光束との分離角がより大きくされるので、得られる共焦点画像におけるノイズが低減される。
さらに、プリズムアレイマスク6の代わりに、図7に示すようなマスク部406を用いてもよい。このマスク部406は、面14aの全体が面14bに対して連続的に傾斜しており、透過部15には、屈折率の異なる材料で形成された帯状の第1の透過部415a及び第2の透過部415bが交互に配列されている。このような第1の透過部415aは、例えば、面14aから面14bにかけて帯状のスリットが形成されたものであり、第2の透過部415bは、ガラス等の第1の透過部415aとは屈折率が異なる材料によって帯状に形成される。このようなマスク部406によっても、2つの透過部415a,415bを透過する照明光L1の分離、及び蛍光の第1及び第2の成分L2,L3の分離が可能になる。図7においては、第2の透過部415bの全体をガラスとし、第1の透過部415aを空洞としている。
また、図8に示すプリズムアレイマスク506のように、透過部515において面14a上に沿って2次元状に第1及び第2の透過部515a,515bが千鳥配列されていてもよい。このようにプリズムを2次元状に千鳥配列することで帯状のプリズムと比較して、生成される共焦点画像のコントラストの方向性を抑えることができる。なお、このような千鳥配列の構成例は図8(a)に示す形態に限らず、様々な形態を取ることができる。
さらに、マスク部406の代わりに図9に示すようなマスク部606を用いてもよい。このマスク部606には、透過部615においてガラス等の光透過性を有する材料からなる矩形状の第2の透過部615bが設けられ、その第2の透過部615bの面14a上に沿って、貫通孔である第1の透過部615aが2次元状に配列されている。なお、この第1の透過部615aは、第2の透過部615bと屈折率の異なる材料によって形成されていてもよい。このようなマスク部606によっても生成される共焦点画像のコントラストの方向性を抑えることができる。
また、画像データを生成するための撮像素子11A,11BとしてはTDIカメラを用いていたが、TDI動作が不可能な撮像素子を用いた場合は、プリズムアレイマスク6を照明光L1の光軸に垂直な方向に振ることで照明光を一様にするための駆動機構を設ければよい。このような駆動機構によってマスク部を振りながら試料Aの画像データを取得することによっても、感度が平均化された共焦点画像を得ることができる。
1,101…共焦点顕微鏡装置、2…ファイバ光源、6,206,306,506…プリズムアレイマスク(マスク部)、406,606…マスク部、11A,11B…撮像素子(光検出部)、15a,315a,415a,515a,615a…第1の透過部、15b,115b,215b,315b,415b,515b,615b…第2の透過部、A…試料(対象物)、L1,L11…照明光、L2,L12…第1の成分、L3,L13…第2の成分。
Claims (5)
- 対象物の共焦点画像を生成する共焦点顕微鏡装置であって、
照明光を照射する光源と、
前記照明光に応じた前記対象物からの光のうち前記照明光の入射方向に沿って戻る第1の成分、及び前記照明光を透過する第1の透過部と、前記対象物からの光のうち前記第1の成分以外の第2の成分を、前記第1の成分とは異なる方向に透過及び屈折させる第2の透過部とが交互に配列されたマスク部と、
前記第1の透過部を透過した前記第1の成分を受光する第1の光検出部と、
前記第2の透過部を透過した前記第2の成分を受光する第2の光検出部とを備え、
前記第1及び第2の光検出部によって得られた画像データに基づいて、前記対象物の共焦点画像を生成する、
ことを特徴とする共焦点顕微鏡装置。 - 前記第1の透過部又は前記第2の透過部の少なくとも一方はプリズムを含んでいる、
ことを特徴とする請求項1記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記第1及び第2の光検出部は、前記マスク部を挟んで前記対象物に対して反対側に配置されている、
ことを特徴とする請求項1又は2記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記第1及び第2の光検出部は、TDI動作が可能な撮像素子で構成されている、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の共焦点顕微鏡装置。 - 前記対象物の移動に対して前記撮像素子のTDI動作の同期がとられている、
ことを特徴とする請求項4に記載の共焦点顕微鏡装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008221974A JP2010054981A (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | 共焦点顕微鏡装置 |
PCT/JP2009/064763 WO2010024235A1 (ja) | 2008-08-29 | 2009-08-25 | 共焦点顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008221974A JP2010054981A (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | 共焦点顕微鏡装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010054981A true JP2010054981A (ja) | 2010-03-11 |
Family
ID=41721403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008221974A Pending JP2010054981A (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | 共焦点顕微鏡装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010054981A (ja) |
WO (1) | WO2010024235A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5376076B1 (ja) * | 2013-01-22 | 2013-12-25 | 株式会社高岳製作所 | 共焦点スキャナおよびそれを用いた光学的計測装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011114377A1 (de) * | 2011-09-23 | 2013-03-28 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Durchlichtbeleuchtung für Lichtmikroskope und Mikroskopsystem |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB9901365D0 (en) * | 1999-01-22 | 1999-03-10 | Isis Innovations Ltd | Confocal microscopy apparatus and method |
WO2007010697A1 (ja) * | 2005-07-21 | 2007-01-25 | Nikon Corporation | 共焦点顕微鏡装置 |
JP2007310202A (ja) * | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 共焦点顕微鏡 |
-
2008
- 2008-08-29 JP JP2008221974A patent/JP2010054981A/ja active Pending
-
2009
- 2009-08-25 WO PCT/JP2009/064763 patent/WO2010024235A1/ja active Application Filing
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5376076B1 (ja) * | 2013-01-22 | 2013-12-25 | 株式会社高岳製作所 | 共焦点スキャナおよびそれを用いた光学的計測装置 |
WO2014115341A1 (ja) * | 2013-01-22 | 2014-07-31 | 株式会社高岳製作所 | 共焦点スキャナおよびそれを用いた光学的計測装置 |
KR101444048B1 (ko) * | 2013-01-22 | 2014-09-23 | 가부시키가이샤 다카오카 세이사쿠쇼 | 공초점 스캐너 및 그것을 이용한 광학적 계측 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2010024235A1 (ja) | 2010-03-04 |
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