JP2010047668A - 重合体及び感放射線性組成物並びに単量体 - Google Patents
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Abstract
Description
KrFエキシマレーザー光、電子線、或いはEUV光を用いたリソグラフィープロセスに適したレジストとしては、高感度化の観点から主に酸触媒反応を利用した化学増幅型レジストが用いられており、ポジ型レジストにおいては主成分として、アルカリ水溶液には不溶又は難溶性で、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶となる性質を有するフェノール性ポリマー(以下、「フェノール性酸分解性重合体」という)、及び酸発生剤からなる化学増幅型レジスト組成物が有効に使用されている。
[2]前記一般式(1)で表される繰り返し単位が、下記一般式(1−1)で表される繰り返し単位である前記[1]に記載の重合体。
[3]下記一般式(2)で表される繰り返し単位、下記一般式(3)で表される繰り返し単位、及び下記一般式(4)で表される繰り返し単位のうちの少なくとも1種を更に含む前記[1]又は[2]に記載の重合体。
[4]酸解離性基含有重合体(A)と、感放射線性酸発生剤(B)と、を含有する感放射線性組成物であって、
前記酸解離性基含有重合体(A)が、前記[1]乃至[3]のいずれかに記載の重合体であることを特徴とする感放射線性組成物。
[5]下記一般式(M−1)で表されることを特徴とする単量体。
また、本発明の重合体は、酸解離性基含有重合体として用いることにより、前記感放射線性組成物を容易に得ることができる。
[1]重合体
本発明における重合体〔以下、「重合体(I)」という〕は、下記一般式(1)で表される繰り返し単位〔以下、「繰り返し単位(1)」という〕を含むことを特徴とする。
この重合体(I)は、アルカリ不溶性又はアルカリ難溶性であって、酸の作用によりアルカリ易溶性となる重合体であって、感放射線性組成物における酸解離性基含有重合体として好適に使用することができる。
これらの脂環式基のなかでも、アダマンチル基、ノルアダマンチル基、デカリン残基、トリシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、ノルボルニル基、セドロール基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデカニル基、シクロドデカニル基を挙げることができる。より好ましくは、アダマンチル基、デカリン残基、ノルボルニル基、セドロール基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデカニル基、シクロドデカニル基が好ましい。特に、炭素数7〜15のシクロアルキル基であることが好ましい。
尚、前記脂環式基は、置換されていてもよい。置換基の具体例としては、例えば、ヒドロキシ基、カルボキシル基、ハロゲン原子(フッ素原子、臭素原子等)、アルコキシ基(メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等)、アルキルオキシカルボニル基等を挙げることができる。
また、前記Xにおける炭素数3〜25の脂環式炭化水素基の脂環構造としては、例えば、前記(a−1)〜(a−50)の構造等が好ましい。これらのなかでも、前記(a−48)の構造が特に好ましい。
前記Xのなかでも、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、前記(a−48)の構造が特に好ましい。
尚、このXのメチレン基及びアルキレン基は置換されていてもよい。置換基の具体例としては、例えば、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子(フッ素原子、臭素原子等)、アルコキシ基(メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等)、アルキルオキシカルボニル基等を挙げることができる。
また、前記R3の炭素数3〜25の脂環式基については、前記一般式(1)におけるR2の脂環式基の説明をそのまま適用することができる。
更に、前記R3の炭素数6〜22のアリール基については、前記一般式(1)におけるR2のアリール基の説明をそのまま適用することができる。
また、一般式(2)におけるiは、1〜3の整数であり、1又は2であることがより好ましい。
更に、一般式(2)におけるjは、0〜3の整数であり、0〜2であることがより好ましい。
尚、繰り返し単位(2)が重合体(I)に含まれている場合、この繰り返し単位(2)は1種のみ含まれていてもよいし、2種以上含まれていてもよい。
また、一般式(3)におけるkは、1〜3の整数であり、1又は2であることがより好ましい。
更に、一般式(3)におけるlは、0〜3の整数であり、0又は1であることがより好ましい。
尚、繰り返し単位(3)が重合体(I)に含まれている場合、この繰り返し単位(3)は1種のみ含まれていてもよいし、2種以上含まれていてもよい。
また、一般式(4)におけるmは、1〜3の整数であり、1又は2であることがより好ましい。
更に、一般式(4)におけるnは、0〜3の整数であり、0又は1であることがより好ましい。
尚、繰り返し単位(4)が重合体(I)に含まれている場合、この繰り返し単位(4)は1種のみ含まれていてもよいし、2種以上含まれていてもよい。
前記式(2−1)〜(2−3)で表される各繰り返し単位を生成するために用いられる単量体としては、p−アセトキシスチレン、p−(1−エトキシエトキシ)スチレン等が好ましい。これらの単量体を用いた場合には、重合体とした後、側鎖の加水分解反応により、式(2−1)〜(2−3)で表される各繰り返し単位を生成することができる。
前記式(2−4)、(3−1)、(3−2)、(4−1)及び(4−2)で表される各繰り返し単位を生成するために用いられる単量体としては、p−イソプロペニルフェノール、4−ヒドロキシフェニルアクリレート、4−ヒドロキシフェニルメタクリレート、N−(4−ヒドロキシフェニル)アクリルアミド、N−(4−ヒドロキシフェニル)メタクリルアミド等が好ましい。
尚、前記繰り返し単位(5)が重合体(I)に含まれている場合、この繰り返し単位(5)は1種のみ含まれていてもよいし、2種以上含まれていてもよい。
これらの脂環式炭化水素基のうち、ノルボルナン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカン、アダマンタン、シクロペンタン又はシクロヘキサンに由来する脂環族環からなる基や、これらの脂環族環からなる基を前記アルキル基で置換した基等が好ましい。
また、前記繰り返し単位(2)〜(4)の含有量の合計は、重合体(I)における全繰り返し単位の合計を100モル%とした場合に、1モル%以上であることが好ましく、より好ましくは10〜95モル%、更に好ましくは30〜95モル%である。この含有量の合計が95モル%を超える場合には、重合体(I)を感放射線性組成物における酸解離性基含有重合体として用いた際に、ナノエッジラフネスが悪化することがある。
更に、前記繰り返し単位(1)〜(4)の含有量の合計は、重合体(I)における全繰り返し単位の合計を100モル%とした場合に、10モル%以上であることが好ましく、より好ましくは40〜100モル%、更に好ましくは50〜100モル%である。この含有量の合計が10モル%以上である場合には、重合体(I)を感放射線性組成物における酸解離性基含有重合体として用いた際に、ナノエッジラフネスに優れるものとすることができる。
更に、前記繰り返し単位(6)の含有量は、重合体(I)における全繰り返し単位の合計を100モル%とした場合に、通常70モル%以下であり、好ましくは0〜50モル%である。この含有量が70モル%以下である場合には、この重合体(I)を感放射線性組成物における酸解離性基含有重合体として用いた際に、解像性能とナノエッジラフネスとの性能バランスに優れるものとすることができる。
また、前記繰り返し単位(5)及び(6)の含有量の合計は、重合体(I)における全繰り返し単位の合計を100モル%とした場合に、80モル%以下であり、好ましくは0〜60モル%である。この含有量が80モル%以下である場合には、この重合体(I)を感放射線性組成物における酸解離性基含有重合体として用いた際に、解像性能とナノエッジラフネスとの性能バランスに優れるものとすることができる。
尚、この重合の際には、必要に応じて、2,2,6,6−テトラメチル−1−ピペリジニルオキシ、沃素、メルカプタン、スチレンダイマー等の重合助剤を添加することもできる。
また、反応時間は、開始剤の種類や反応温度により異なるが、開始剤が50%以上消費される反応時間が望ましく、多くの場合0.5〜24時間程度である。
また、反応時間は、開始剤の種類や反応温度により異なるが、開始剤が50%以上消費される反応時間が望ましく、多くの場合0.5〜24時間程度である。
更に、塩基としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の無機塩基;トリエチルアミン、N−メチル−2−ピロリドン、ピペリジン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等の有機塩基等が挙げられる。
これらのなかでも、アセトン、メチルアミルケトン、メチルエチルケトン、テトラヒドロフラン、メタノール、エタノール、プロパノール、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等が好ましい。
また、重合体(I)のMwと、GPCで測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」ともいう)との比(Mw/Mn)は、通常1〜5であり、より好ましくは1〜3、更に好ましくは1〜2.5である。
本発明の感放射線性組成物は、酸解離性基含有重合体(A)と、感放射線性酸発生剤(B)と、を含有することを特徴とする。
前記酸解離性基含有重合体は、アルカリ不溶性又はアルカリ難溶性であって、且つ酸の作用によりアルカリ易溶性となる重合体(以下、「重合体(A)」ともいう。)である。尚、ここでいう「アルカリ不溶性又はアルカリ難溶性」とは、重合体(A)を含有する感放射線性組成物から形成されたレジスト被膜からレジストパターンを形成する際に採用されるアルカリ現像条件下で、当該レジスト被膜の代わりに重合体(A)のみを用いた膜厚100nmの被膜を現像した場合に、当該被膜の初期膜厚の50%以上が現像後に残存する性質を意味する。
また、この重合体(A)については、前述の重合体(I)の説明をそのまま適用することができる。
前記酸発生剤(B)は、リソグラフィープロセスにおいて、本発明の感放射線性組成物に電子線や放射線等を照射したときに、感放射線性組成物内で酸を発生する物質である。そして、酸発生剤(B)から発生した酸の作用によって、既に上述した重合体中の酸解離性基が解離することになる。
これらのジアゾメタン化合物のなかでも、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(3,3−ジメチル−1,5−ジオキサスピロ[5.5]ドデカン−8−スルホニル)ジアゾメタン、ビス(1,4−ジオキサスピロ[4.5]デカン−7−スルホニル)ジアゾメタンが好ましい。
本発明の感放射線性組成物は、前記重合体(A)及び酸発生剤(B)以外に、酸拡散制御剤(以下、「酸拡散制御剤(C)」ともいう)を更に含有することが好ましい。
酸拡散制御剤(C)は、露光により酸発生剤(B)から生じる酸の、レジスト膜(レジスト被膜)中における拡散現象を制御し、非露光領域における好ましくない化学反応を抑制する作用を有する成分である。このような酸拡散制御剤(C)を配合することにより、得られる感放射線性組成物の貯蔵安定性が向上し、また、形成したレジスト膜の解像度が更に向上するとともに、露光後から露光後の加熱処理までの引き置き時間(PED)の変動に起因するレジストパターンの線幅変化を抑えることができ、プロセス安定性に極めて優れた感放射線性組成物が得られる。
前記含窒素有機化合物としては、例えば、下記一般式(7)で表される化合物(以下、「含窒素化合物(i)」という)、同一分子内に窒素原子を2個有する化合物(以下、「含窒素化合物(ii)」という)、窒素原子を3個以上有するポリアミノ化合物や重合体(以下、これらをまとめて「含窒素化合物(iii)」という)、アミド基含有化合物、ウレア化合物、含窒素複素環化合物等を挙げることができる。
また、前記R17〜R21における置換基を有してもよい脂環式炭化水素基としては、前前記一般式(a−1)〜(a−50)の構造等が挙げられる。尚、この脂環式炭化水素基は、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子(フッ素原子、臭素原子等)、アルコキシ基(メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、t−ブトキシ基等)、アルキルオキシカルボニル基(t−ブトキシカルボニルメチルオキシ基等)等の置換基により置換されていてもよい。
更に、前記R17〜R21におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられる。
前記R22の1価の有機基としては、例えば、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基を挙げることができる。
特に、前記Z−としては、OH−、CH3COO−、及び下記式で表される化合物(Z−1)〜(Z−3)であることが好ましい。
本発明の感放射線性組成物は、前記重合体(A)、酸発生剤(B)及び酸拡散制御剤(C)を、溶剤に溶解させたものであることが好ましい。即ち、その他の成分として溶剤を更に含有することが好ましい。
また、本発明の感放射線性組成物には、その他の成分として、必要に応じて、界面活性剤、増感剤、脂肪族添加剤等の各種の添加剤を更に配合することができる。
そして、本発明の感放射線性組成物は、重合体(A)、酸発生剤(B)、酸拡散制御剤(C)、及び必要によりその他の成分(溶剤を除く)を、全固形分濃度が前記範囲となるように、溶剤に均一に溶解して調製することができる。尚、このように調製した後、例えば、孔径0.2μm程度のフィルターでろ過することが好ましい。
このような界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンn−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンn−ノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のノニオン系界面活性剤のほか、以下商品名で、KP341(信越化学工業社製)、ポリフローNo.75、同No.95(共栄社化学社製)、エフトップEF301、同EF303、同EF352(トーケムプロダクツ社製)、メガファックF171、同F173(大日本インキ化学工業社製)、フロラードFC430、同FC431(住友スリーエム社製)、アサヒガードAG710、サーフロンS−382、同SC−101、同SC−102、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−106(旭硝子社製)等を挙げることができる。これらの界面活性剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
また、界面活性剤の配合量は、重合体(A)100質量部に対して、0.001〜2質量部であることが好ましい。
このような増感剤としては、例えば、カルバゾール類、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、ナフタレン類、フェノール類、ビアセチル、エオシン、ローズベンガル、ピレン類、アントラセン類、フェノチアジン類等を挙げることができる。尚、これらの増感剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
また、増感剤の配合量は、重合体(A)100質量部に対して、0.1〜10質量部であることが好ましい。
このような脂環族添加剤としては、例えば、1−アダマンタンカルボン酸、2−アダマンタノン、1−アダマンタンカルボン酸t−ブチル、1−アダマンタンカルボン酸t−ブトキシカルボニルメチル、1−アダマンタンカルボン酸α−ブチロラクトンエステル、1,3−アダマンタンジカルボン酸ジ−t−ブチル、1−アダマンタン酢酸t−ブチル、1−アダマンタン酢酸t−ブトキシカルボニルメチル、1,3−アダマンタンジ酢酸ジ−t−ブチル、2,5−ジメチル−2,5−ジ(アダマンチルカルボニルオキシ)ヘキサン等のアダマンタン誘導体類;デオキシコール酸t−ブチル、デオキシコール酸t−ブトキシカルボニルメチル、デオキシコール酸2−エトキシエチル、デオキシコール酸2−シクロヘキシルオキシエチル、デオキシコール酸3−オキソシクロヘキシル、デオキシコール酸テトラヒドロピラニル、デオキシコール酸メバロノラクトンエステル等のデオキシコール酸エステル類;リトコール酸t−ブチル、リトコール酸t−ブトキシカルボニルメチル、リトコール酸2−エトキシエチル、リトコール酸2−シクロヘキシルオキシエチル、リトコール酸3−オキソシクロヘキシル、リトコール酸テトラヒドロピラニル、リトコール酸メバロノラクトンエステル等のリトコール酸エステル類;アジピン酸ジメチル、アジピン酸ジエチル、アジピン酸ジプロピル、アジピン酸ジn−ブチル、アジピン酸ジt−ブチル等のアルキルカルボン酸エステル類や、3−〔2−ヒドロキシ−2,2−ビス(トリフルオロメチル)エチル〕テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカン等を挙げることができる。これらの脂環族添加剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の感放射線性組成物は、化学増幅型ポジ型レジスト膜を成膜可能な材料として有用である。
前記化学増幅型ポジ型レジスト膜においては、露光により酸発生剤から発生した酸の作用によって、重合体中の酸解離性基が脱離し、重合体がアルカリ可溶性となる。即ち、レジスト膜に、アルカリ可溶性部位が生じる。このアルカリ可溶性部位は、レジストの露光部であり、この露光部はアルカリ現像液によって溶解、除去することができる。このようにして所望の形状のポジ型のレジストパターンを形成することができる。以下、具体的に説明する。
尚、アルカリ性水溶液からなる現像液で現像した後は、水で洗浄して乾燥することもできる。
<実施例1>
3−メチル−1,3−ブタンジオール41.7g、シクロヘキシルイソシアネート25.3g、及び4−ジメチルアミノピリジン1.1gをテトラヒドロフラン(THF)100gに溶解させた後、50℃で6時間反応させた。反応終了後、反応母液に酢酸エチルを加え、有機層を水で洗浄後、有機層を減圧留去し、白色固体を回収した。得られた固体を酢酸エチル/n−ヘキサン=1/1(体積比)の混合溶媒を用いて、再結晶を行なうことにより、ウレタン結合を有する三級アルコール化合物を得た(収率;60%)。
次いで、得られたウレタン結合を有する三級アルコール化合物36.4g、メタクリル酸クロライド20.0g、及び1,4−ジアザビシクロ[2.2.2]オクタン21.4gをTHFに溶解させた後、50℃、4時間反応させた。反応終了後、反応母液に酢酸エチルを加え、有機層を水で洗浄した。その後、展開溶媒に酢酸エチル/n−ヘキサン=1/1(体積比)の混合溶媒を用いて、シリカゲルカラムクロマトグラフィーを行なうことにより、目的とする化合物を得た(収率70%)。
1H−NMR(400MHz、溶媒DMSO−d6、内部標準TMS):δ(ppm)=0.80〜2.10(m,18.0H)、3.00〜3.20(1.0H)、3.80〜4.10(t,2.0H)、5.60〜6.00(2.0H)、6.50〜7.00(1.0H)
<実施例2>
p−アセトキシスチレン112g、実施例1で得られた化合物(M−1−1)88g、アゾビスイソブチロニトリル(以下、「AIBN」という)6g、及びt−ドデシルメルカプタン2gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル200gに溶解したのち、窒素雰囲気下、反応温度を70℃に保持して、16時間重合させた。重合後、反応溶液を10000gのn−ヘキサン中に滴下して、生成共重合体を凝固精製した。次いで、この共重合体に、再度プロピレングリコールモノメチルエーテル150gを加えたのち、更に、メタノール300g、トリエチルアミン80g及び水15gを加えて、沸点にて還流させながら、8時間加水分解反応を行なった。反応後、溶剤及びトリエチルアミンを減圧留去し、得られた共重合体をアセトン220gに溶解したのち、2000gの水中に滴下して凝固させ、生成した白色粉末をろ過して、減圧下50℃で一晩乾燥した。
得られた共重合体は、Mwが15000、Mw/Mnが2.3、13C−NMR分析の結果、p−ヒドロキシスチレン及び化合物(M−1−1)に由来する各繰り返し単位の含有比(モル比)が70:30の共重合体であった。以下、この共重合体を、重合体(A−1)とする。
<実施例3〜5>
表1に示す仕込み量にて、(A)重合体、(B)酸発生剤、(C)酸拡散制御剤、(D)溶剤を混合し、得られた混合液を孔径200nmのメンブランフィルターでろ過することにより、実施例3〜5の各組成物溶液(感放射線性組成物)を調製した。
尚、前記(A)重合体、(B)酸発生剤、(C)酸拡散制御剤及び(D)溶剤の詳細を以下に示す。
(A)重合体
(A−1):実施例2で得られた前記重合体(A−1)
(B)酸発生剤
(B−1):トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホネート
(B−2):トリフェニルスルホニウム1,1−ジフルオロ−2−(ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−2−イル)エタンスルホネート
(B−3):下記式(2x−16)で表される化合物
(C−1):トリ−n−オクチルアミン
(C−2):トリフェニルスルホニウムサリチレート
(C−3):N−t−ブトキシカルボニル−2−フェニルベンズイミダゾール
(D)溶剤
(D−1):乳酸エチル
(D−2):プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(1)重合体(A−2)の合成
p−アセトキシスチレン124g、下記式(M−2)で表される化合物(単量体)76g、AIBN7g及びt−ドデシルメルカプタン2gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル200gに溶解したのち、窒素雰囲気下、反応温度を70℃に保持して、16時間重合させた。重合後、反応溶液を10000gのn−ヘキサン中に滴下して、生成共重合体を凝固精製した。次いで、この共重合体に、再度プロピレングリコールモノメチルエーテル150gを加えたのち、更に、メタノール300g、トリエチルアミン80g及び水15gを加えて、沸点にて還流させながら、8時間加水分解反応を行なった。反応後、溶剤及びトリエチルアミンを減圧留去し、得られた共重合体をアセトン200gに溶解したのち、2000gの水中に滴下して凝固させ、生成した白色粉末をろ過して、減圧下50℃で一晩乾燥した。
得られた共重合体は、Mwが15000、Mw/Mnが2.1、13C−NMR分析の結果、p−ヒドロキシスチレンと化合物(M−2)に由来する各繰り返し単位の含有比(モル比)が70:30の共重合体であった。以下、この共重合体を、重合体(A−2)とする。
表1に示す仕込み量にて、(A)重合体[前記重合体(A−2)]、(B)酸発生剤、(C)酸拡散制御剤、(D)溶剤を混合し、得られた混合液を孔径200nmのメンブランフィルターでろ過することにより、比較例1〜3の組成物溶液(感放射線性組成物)を調製した。
尚、(B)酸発生剤、(C)酸拡散制御剤及び(D)溶剤の詳細は、前述の(B−1)〜(B−3)、(C−1)〜(C−3)、(D−1)及び(D−2)と同様である。
東京エレクトロン社製のクリーントラックACT−8内で、シリコンウエハー上に各組成物溶液(実施例3〜5及び比較例1〜3の各感放射線性組成物)をスピンコートした後、表2に示す条件でPB(加熱処理)を行い、膜厚60nmのレジスト(感放射線性組成物)被膜を形成した。その後、簡易型の電子線描画装置(日立製作所社製、型式「HL800D」、出力;50KeV、電流密度;5.0アンペア/cm2)を用いてレジスト被膜に電子線を照射した。電子線の照射後、表2に示す条件でPEBを行った。その後、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用い、23℃で1分間、パドル法により現像した後、純水で水洗し、乾燥して、レジストパターンを形成した。このようにして形成したレジストについて下記の要領で評価を行った。実施例3〜5及び比較例1〜3の各感放射線性組成物の評価結果を表2に示す。
線幅150nmのライン部と、隣り合うライン部によって形成される間隔が150nmのスペース部(即ち、溝)と、からなるパターン〔いわゆる、ライン・アンド・スペースパターン(1L1S)〕を1対1の線幅に形成する露光量を最適露光量とし、この最適露光量により感度を評価した。
図1は、ライン・アンド・スペースパターンの形状を模式的に示す平面図である。また、図2は、ライン・アンド・スペースパターンの形状を模式的に示す断面図である。但し、図1及び図2で示す凹凸は、実際より誇張している。
設計線幅150nmのライン・アンド・スペースパターン(1L1S)のラインパターンを、半導体用走査電子顕微鏡(高分解能FEB測長装置、商品名「S−9220」、日立製作所社製)にて観察した。観察された形状について、図1及び図2に示すように、シリコンウエハー1上に形成したレジスト膜のライン部2の横側面2aに沿って生じた凹凸の最も著しい箇所における線幅と、設計線幅150nmとの差「ΔCD」を、CD−SEM(日立ハイテクノロジーズ社製、「S−9220」)にて測定することにより、ナノエッジラフネスを評価した。
ライン・アンド・スペースパターン(1L1S)について、最適露光量により解像されるラインパターンの最小線幅(nm)を解像度とした。
Claims (5)
- 下記一般式(1)で表される繰り返し単位を含み、且つ、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定されるポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)が3000〜100000であることを特徴とする重合体。
- 酸解離性基含有重合体(A)と、感放射線性酸発生剤(B)と、を含有する感放射線性組成物であって、
前記酸解離性基含有重合体(A)が、請求項1乃至3のいずれかに記載の重合体であることを特徴とする感放射線性組成物。
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