JP2010044071A - 300℃型流量センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラスチックからなる射出成形ケーシングにセラミック支持体が埋め込まれており、該埋め込みのもとではセラミック支持体の前記埋め込みとは反対側の端部に少なくとも1つの薄膜抵抗が固定されており、前記薄膜抵抗からは電気的な接続線路がセラミック支持体の埋め込み端部まで引き出されており、さらに前記電気的な接続線路は射出成形部材を貫通して引き出され、前記射出成形部材の内部で封止されて固定されており、この封止と固定に対してはさらなる構成部材が適用可能であるようにする。
【選択図】図1
Description
封止と固定のためにさらなる構成部材又は材料が利用可能であり、
前記薄膜抵抗はガラス材と共にセラミック支持体に固定され封止されており、
支持体及び射出成形ケーシングはパッキングによって相互に封止されており、
支持体の埋め込み領域における電気的な接続線路はパッキング材を用いて覆われており、
射出成形ケーシングはフランジを有しており、
薄膜抵抗のワイヤと電気的な接続線路とのコンタクト領域は、測定抵抗とは反対側の支持体端部においてパッキング材によって支持体とケーシングに対して封止されており、
ワイヤは支持体のスリット内に配置されており、
薄膜抵抗はワイヤに接続された測定抵抗を有しており、該ワイヤは支持体領域内でガラス被腹部によって覆われている。
複数のワイヤが支持体、特にプレート上にガラス材を用いて埋め込まれ、その後で前記ガラス材が加熱され、この加熱の後でワイヤが冷却され、この冷却によって前記ワイヤがガラス被腹部内で軸方向に移動し得るようになるまでガラス被腹部から開放される。
金属性遮蔽部が排気管、特にその支持部から、測定装置に対して空隙を伴って離間され、それによって、前記遮蔽部と排気管の間で、排気管に配置された排気管側支持部の上方半部において金属同士の接触が存在せず、プラスチックケーシングが直接か若しくはパッキングでもって前記排気管の支持部のフランジ若しくは端部に当接するように構成される。
1b 薄膜測定素子
2 セラミック支持体
3 ワイヤ
4 ガラス材、ガラス被腹部
6 金属性遮蔽部
7 排気管
8 プラスチックケーシング
9 Oリング
10 電気的接続線路
11 端子導体路
12 シリコンパッキング
13 シリコン封止部
14 封止部
17 プラグコンタクト
Claims (12)
- 排気管、特に排ガス再循環路に適用するための測定装置、特に流速測定装置において、
プラスチックからなる射出成形ケーシングにセラミック支持体が埋め込まれており、該埋め込みのもとではセラミック支持体の前記埋め込みとは反対側の端部に少なくとも1つの薄膜抵抗が固定されており、
前記薄膜抵抗からは電気的な接続線路がセラミック支持体の埋め込み端部まで引き出されており、さらに前記電気的な接続線路は射出成形部材を貫通して引き出され、前記射出成形部材の内部で封止されて固定されており、この封止と固定に対してはさらなる構成部材が適用可能であることを特徴とする測定装置。 - 前記薄膜抵抗はガラス材と共にセラミック支持体に固定され封止されている、請求項1記載の測定装置。
- 支持体及び射出成形ケーシングはパッキングによって相互に封止されている、請求項1記載の測定装置。
- 支持体の埋め込み領域における電気的な接続線路はパッキング材を用いて覆われている、請求項1記載の測定装置。
- 射出成形ケーシングはフランジを有している、請求項1記載の測定装置。
- 電気的な接続線路は、測定抵抗とは反対側の支持体縁部においてパッキング材によって支持体とケーシングに対して封止されている、請求項1から4いずれか1項記載の測定装置。
- ワイヤ(3)は支持体のスリット内に配置されている、請求項1から6いずれか1項記載の測定装置。
- 薄膜抵抗は測定抵抗を有しており、該測定抵抗はワイヤ(3)に接続されており、該ワイヤは支持体の領域内でガラス被腹部によって覆われている、請求項1から7いずれか1項記載の測定装置。
- 前記支持体はプレートである、請求項1から8いずれか1項記載の測定装置。
- 請求項1から9いずれか1項記載の測定装置を製造するための方法において、
支持体(2)上でワイヤ(3)をガラス材を用いて埋め込み、
その後で前記ガラス材を加熱し、この加熱の後でワイヤを冷却し、それによって前記ワイヤがガラス被腹部内で軸方向に移動し得るようになるまでガラス被腹部から開放させるようにしたことを特徴とする方法。 - 請求項1から9いずれか1項記載の測定装置を使用するための方法において、
金属性ケーシングを有する測定装置を、当該排気管と金属性ケーシングが排気管内で接触することのないように排気管内にシフトさせ、前記金属性ケーシングをプラスチックケーシングに差し込み、そのフランジを直接か若しくはパッキングを用いて排気管に固定し封止するようにしたことを特徴とする使用方法。 - 排気管、特に排ガス再循環路に測定装置、特に流速測定装置を固定する装置であって、
前記測定装置は薄膜抵抗を有しており、該薄膜抵抗はセラミック支持体に固定されており、この場合前記セラミック支持体は薄膜抵抗の機能性測定抵抗とは反対側でプラスチックケーシング(8)によって保持されており、該プラスチックケーシングはパッキング材により支持体に対して封止されており、そこには金属性の遮蔽部が固定されており、前記遮蔽部は支持体と薄膜抵抗を機能性測定抵抗の領域まで遮蔽している形式のものにおいて、
金属性遮蔽部(6)が排気管、特にその支持部から、測定装置に対して空隙を伴って離間されており、それによって、前記遮蔽部(6)と排気管(7)の間で、排気管に配置された排気管側支持部(71)の上方半部において金属同士の接触が存在せず、プラスチックケーシングが直接か若しくはパッキング(9)でもって前記排気管の支持部(71)のフランジ(72)若しくは端部に当接するようにしたことを特徴とする固定装置。
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012159505A (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-23 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | カバーにブッシングを備える流量センサ、流量センサの生産方法、およびセンサチップ |
| JP2013534991A (ja) * | 2010-06-28 | 2013-09-09 | クムヤン インディ.シーオー., エルティーディー. | 船舶用内燃機関のピストン冷却オイルの流量感知のための熱量式流量感知システム |
| WO2017142192A1 (ko) * | 2016-02-15 | 2017-08-24 | 필즈엔지니어링 주식회사 | 플로우미터 |
| KR101778113B1 (ko) | 2016-10-19 | 2017-09-13 | 필즈엔지니어링 주식회사 | 벤트 아날리시스 기능을 구비하는 플레어가스 시스템 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2140232A2 (de) * | 2007-04-26 | 2010-01-06 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Schichtwiderstand im abgasrohr |
| EP2485018B1 (de) * | 2011-02-03 | 2014-09-24 | FESTO AG & Co. KG | Strömungsmesseinrichtung |
| US9400197B2 (en) * | 2011-09-19 | 2016-07-26 | The Regents Of The University Of Michigan | Fluid flow sensor |
| DE102011056127B3 (de) * | 2011-12-07 | 2013-04-18 | Pierburg Gmbh | Vorrichtung zur Bestimmung eines Gasmassenstroms |
| BR112014017045B8 (pt) | 2012-01-12 | 2022-08-30 | Daniel Measurement & Control Inc | Medidor de fluxo, e, método para fabricar um medidor de fluxo |
| DE102013110487A1 (de) * | 2012-12-14 | 2014-07-17 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Thermisches Durchflussmessgerät |
| JP2016090413A (ja) | 2014-11-06 | 2016-05-23 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式空気流量計 |
| CN108027266A (zh) | 2015-09-30 | 2018-05-11 | 日立汽车系统株式会社 | 物理量检测装置 |
| DE202016107242U1 (de) * | 2016-12-21 | 2018-03-22 | Nordson Corp. | Sensoreinrichtung zur Bestimmung eines Massenstroms eines flüssigen Heißschmelzklebstoffes |
| DE102017203536B4 (de) | 2017-03-03 | 2021-04-01 | Ust Umweltsensortechnik Gmbh | Sensorelement mit Drahtführung |
| US10274353B2 (en) * | 2017-03-22 | 2019-04-30 | A. O. Smith Corporation | Flow sensor with hot film anemometer |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05264314A (ja) * | 1992-03-18 | 1993-10-12 | Hitachi Ltd | 空気流量検出器及びそれを使用したエンジン制御装置 |
| JPH05302839A (ja) * | 1992-04-28 | 1993-11-16 | Hitachi Ltd | 熱式空気流量計 |
| JPH06196253A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Kyocera Corp | セラミックヒータ |
| JPH08313318A (ja) * | 1995-05-18 | 1996-11-29 | Mitsubishi Electric Corp | 感熱式流量検出装置 |
| JP2001311637A (ja) * | 2000-02-23 | 2001-11-09 | Hitachi Ltd | 流量測定装置、物理検出装置およびエンジンシステム |
| JP2002372473A (ja) * | 2001-04-12 | 2002-12-26 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体センサ収納容器およびその製造方法、並びに半導体センサ装置 |
| JP2006317295A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Hitachi Ltd | 熱式流量計 |
Family Cites Families (37)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4292547A (en) | 1979-07-27 | 1981-09-29 | Motorola, Inc. | IGFET Decode circuit using series-coupled transistors |
| JPS63177023A (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-21 | Nippon Soken Inc | 流量センサ |
| JP2605297B2 (ja) * | 1987-09-04 | 1997-04-30 | 株式会社村田製作所 | 白金温度センサおよびその製造方法 |
| DE3804797A1 (de) * | 1988-02-16 | 1989-08-24 | Bosch Gmbh Robert | Luftmassenmessvorrichtung |
| JP2564415B2 (ja) * | 1990-04-18 | 1996-12-18 | 株式会社日立製作所 | 空気流量検出器 |
| JP2839739B2 (ja) * | 1991-03-13 | 1998-12-16 | 日本碍子株式会社 | 抵抗素子 |
| DE59507056D1 (de) * | 1994-02-28 | 1999-11-18 | Heraeus Electro Nite Int | Verfahren zur befestigung einer sensoranordnung für heissfilmanemometer |
| DE4407209C2 (de) * | 1994-03-04 | 1996-10-17 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Messung der Masse eines in einer Leitung strömenden Mediums |
| JPH08219838A (ja) * | 1995-02-15 | 1996-08-30 | Hitachi Ltd | 空気流量測定装置 |
| JP3438843B2 (ja) * | 1995-06-14 | 2003-08-18 | 株式会社デンソー | 熱式流量計 |
| US6427668B1 (en) * | 1997-06-26 | 2002-08-06 | Hitachi, Ltd. | Thermal-type airflow meter, intake air system for an internal combustion engine, and control system for the same |
| US6337470B1 (en) * | 1997-10-06 | 2002-01-08 | Watlow Electric Manufacturing Company | Electrical components molded within a polymer composite |
| DE19813468C1 (de) * | 1998-03-26 | 1999-07-22 | Sensotherm Temperatursensorik | Sensorbauelement |
| JP2000028411A (ja) * | 1998-07-08 | 2000-01-28 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 流量センサー及び流量検出装置 |
| DE69909698D1 (de) | 1998-10-02 | 2003-08-28 | Mitsui Takeda Chemicals Inc | Verfahren zur Zersetzung und Rückgewinnung eines Polyurethanharzes |
| DE19901184C1 (de) * | 1999-01-14 | 2000-10-26 | Sensotherm Temperatursensorik | Platintemperatursensor und Verfahren zur Herstellung desselben |
| JP3555017B2 (ja) * | 1999-09-22 | 2004-08-18 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサ |
| EP1227304A4 (en) * | 1999-10-29 | 2006-07-12 | Mitsui Mining & Smelting Co | FLOWMETERS |
| DE19959854A1 (de) * | 1999-12-10 | 2001-06-13 | Heraeus Electro Nite Int | Verfahren zur Abgasrückführung in einem Luftansaugbereich von Fahrzeug-Brennkraftmaschinen sowie Vorrichtung |
| EP1128168A3 (en) * | 2000-02-23 | 2002-07-03 | Hitachi, Ltd. | Measurement apparatus for measuring physical quantity such as fluid flow |
| EP1790954A3 (en) * | 2000-07-27 | 2007-07-04 | Hitachi, Ltd. | Air flow sensor |
| US6588931B2 (en) * | 2000-12-07 | 2003-07-08 | Delphi Technologies, Inc. | Temperature sensor with flexible circuit substrate |
| US20030002994A1 (en) * | 2001-03-07 | 2003-01-02 | Johnson A. David | Thin film shape memory alloy actuated flow controller |
| DE10124964B4 (de) * | 2001-05-21 | 2004-02-05 | Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh | Sensor zur Messung von Strömungsgeschwindigkeiten und Verfahren zu dessen Betrieb |
| DE10225602A1 (de) * | 2002-06-07 | 2004-01-08 | Heraeus Sensor-Nite Gmbh | Halbleiterbauelement mit integrierter Schaltung, Kühlkörper und Temperatursensor |
| JP4310086B2 (ja) * | 2002-08-01 | 2009-08-05 | 株式会社日立製作所 | エンジン用電子機器 |
| EP1431718A3 (de) * | 2002-12-20 | 2007-11-14 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Strömungssensorelement in Dünnfilmtechnik und seine Verwendung |
| DE10314705B3 (de) * | 2003-03-31 | 2004-07-01 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Vorrichtung zur Bestimmung der Temperatur eines strömenden Mediums in einer Rohr- oder Schlauchleitung |
| JP4609019B2 (ja) * | 2004-09-24 | 2011-01-12 | 株式会社デンソー | 熱式流量センサ及びその製造方法 |
| JP4830391B2 (ja) * | 2005-07-29 | 2011-12-07 | 株式会社デンソー | センサ装置の製造方法及びセンサ装置 |
| EP1760437A1 (en) * | 2005-09-06 | 2007-03-07 | Sensirion AG | A method for manufacturing detector devices |
| DE102006030786A1 (de) | 2006-06-30 | 2008-01-03 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Strömungssensorelement und dessen Selbstreinigung |
| WO2007048573A1 (de) | 2005-10-24 | 2007-05-03 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Strömungssensorelement und dessen selbstreinigung |
| DE102005061548B4 (de) * | 2005-12-22 | 2007-12-06 | Pierburg Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines Abgasmassenstromsensors |
| DE102006058425A1 (de) * | 2006-12-08 | 2008-06-19 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Abgasrückführung mit einem Anemometer |
| EP2140232A2 (de) * | 2007-04-26 | 2010-01-06 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Schichtwiderstand im abgasrohr |
| DE202007014129U1 (de) * | 2007-10-09 | 2007-12-13 | Huba Control Ag | Sensor für in Abgase von Verbrennungsmotoren einzuspritzende Harnstofflösung |
-
2008
- 2008-08-11 DE DE102008037206.4A patent/DE102008037206B4/de not_active Expired - Fee Related
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2009
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- 2009-08-10 US US12/538,275 patent/US7963162B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-08-11 JP JP2009186276A patent/JP5745755B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05264314A (ja) * | 1992-03-18 | 1993-10-12 | Hitachi Ltd | 空気流量検出器及びそれを使用したエンジン制御装置 |
| JPH05302839A (ja) * | 1992-04-28 | 1993-11-16 | Hitachi Ltd | 熱式空気流量計 |
| JPH06196253A (ja) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Kyocera Corp | セラミックヒータ |
| JPH08313318A (ja) * | 1995-05-18 | 1996-11-29 | Mitsubishi Electric Corp | 感熱式流量検出装置 |
| JP2001311637A (ja) * | 2000-02-23 | 2001-11-09 | Hitachi Ltd | 流量測定装置、物理検出装置およびエンジンシステム |
| JP2002372473A (ja) * | 2001-04-12 | 2002-12-26 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体センサ収納容器およびその製造方法、並びに半導体センサ装置 |
| JP2006317295A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Hitachi Ltd | 熱式流量計 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013534991A (ja) * | 2010-06-28 | 2013-09-09 | クムヤン インディ.シーオー., エルティーディー. | 船舶用内燃機関のピストン冷却オイルの流量感知のための熱量式流量感知システム |
| JP2012159505A (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-23 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | カバーにブッシングを備える流量センサ、流量センサの生産方法、およびセンサチップ |
| KR101419586B1 (ko) * | 2011-01-28 | 2014-07-14 | 헤래우스 센서 테크놀로지 게엠베하 | 커버에 유동 덕트를 갖는 유동 센서 및 반제품으로서의 센서 팁 |
| US8943913B2 (en) | 2011-01-28 | 2015-02-03 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Flow sensors having a flow duct in the cover, and sensor tip as intermediate product |
| WO2017142192A1 (ko) * | 2016-02-15 | 2017-08-24 | 필즈엔지니어링 주식회사 | 플로우미터 |
| KR101778113B1 (ko) | 2016-10-19 | 2017-09-13 | 필즈엔지니어링 주식회사 | 벤트 아날리시스 기능을 구비하는 플레어가스 시스템 |
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