JP2010043714A - Suck back valve - Google Patents

Suck back valve Download PDF

Info

Publication number
JP2010043714A
JP2010043714A JP2008209762A JP2008209762A JP2010043714A JP 2010043714 A JP2010043714 A JP 2010043714A JP 2008209762 A JP2008209762 A JP 2008209762A JP 2008209762 A JP2008209762 A JP 2008209762A JP 2010043714 A JP2010043714 A JP 2010043714A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
opening
suck back
suck
closing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008209762A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5247298B2 (en
Inventor
Atsushi Inoue
淳史 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Surpass Industry Co Ltd
Original Assignee
Surpass Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Surpass Industry Co Ltd filed Critical Surpass Industry Co Ltd
Priority to JP2008209762A priority Critical patent/JP5247298B2/en
Priority to EP09167283.2A priority patent/EP2157343B1/en
Priority to KR1020090074074A priority patent/KR101555382B1/en
Priority to US12/541,581 priority patent/US8251345B2/en
Publication of JP2010043714A publication Critical patent/JP2010043714A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5247298B2 publication Critical patent/JP5247298B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K23/00Valves for preventing drip from nozzles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/50Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/122Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
    • F16K31/1221Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston one side of the piston being spring-loaded

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a suck back valve provided with a suck valve function in an opening and closing valve. <P>SOLUTION: The suck back valve SV includes a suck back chamber 17 formed in a passage in the opening and closing valve 10, a piston shaft part 33 for connecting an opening, closing and pressing member 40 axially moving in the sack back chamber 17 for pressing a valve body 11 to a piston body 31 and bellows 41 accommodating the piston shaft part 33 to separate an actuator 30 from the passage in the valve and having one end connected to the opening, closing and pressing member 40 and the other end supported by a casing 12. The suck back valve carries out a two-stage operation including a valve opening stage that when the valve body 11 is closed, the piston shaft part 33 moves to a completely closed position of the valve 11 together with the piston body 31 and the opening, closing and pressing member 40 and a suck back action stage that the piston shaft part 33 and the opening, closing and pressing member 40 further move from the completely closed position to increase a space volume of the suck back chamber 17. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、開閉弁の全閉操作時に液だれが生じることを防止するサックバック機能を備えたサックバックバルブに関する。   The present invention relates to a suck back valve having a suck back function for preventing dripping from occurring when the on-off valve is fully closed.

従来、たとえば薬液等の液体を取り扱う配管系統に設置される開閉弁においては、全閉操作時に生じる液だれ(流体のボタ落ち)を防止するため、別体のサックバック専用バルブを併設することが行われている。このようなサックバック専用バルブは、開閉弁の閉動作に同期して作動するものであり、サックバック室の空間容積を増す方向へダイヤフラムを動作させることにより、出口側の液体をサックバック室側に吸引して液だれを防止することができる。(たとえば、特許文献1参照)
特開2002−316085号公報
Conventionally, on-off valves installed in piping systems that handle liquids such as liquid chemicals, for example, a separate dedicated suck-back valve has been added to prevent dripping (fluid dripping) that occurs during a fully closed operation. Has been done. Such a suck back dedicated valve operates in synchronization with the closing operation of the on-off valve. By operating the diaphragm in the direction of increasing the space volume of the suck back chamber, liquid on the outlet side is sucked into the suck back chamber side. It is possible to prevent dripping by suction. (For example, see Patent Document 1)
JP 2002-316085 A

しかしながら、上述した従来のサックバック専用バルブは、開閉弁とサックバック専用バルブとが別体であるから、装置全体としての設置スペースが大きくなるという問題を有している。
また、開閉弁及びサックバック専用バルブは、各々が空気圧等を用いたアクチュエータにより動作させるものであるから、両アクチュエータを同期させて液だれを確実に防止することは困難であった。
However, the above-described conventional suck back dedicated valve has a problem that the installation space of the entire apparatus is increased because the on-off valve and the suck back dedicated valve are separate bodies.
Further, since the on-off valve and the suck back dedicated valve are each operated by an actuator using air pressure or the like, it has been difficult to reliably prevent dripping by synchronizing both actuators.

さらに、ダイヤフラムを用いたサックバックバルブは、サックバック室に大きなデッドスペースが形成されることから、液体の置換性が悪いという問題を有している。しかも、ダイヤフラムを用いたサックバックバルブは、ダイヤフラムの動作によるサックバック室の容積変化率が小さいため、大容量のサックバック量を実現するためには巨大なサックバック室が必要となるため現実的ではない。   Furthermore, the suck back valve using a diaphragm has a problem that liquid displaceability is poor because a large dead space is formed in the suck back chamber. Moreover, the suck-back valve using a diaphragm is realistic because the volume change rate of the suck-back chamber due to the operation of the diaphragm is small, and a huge suck-back chamber is required to realize a large-capacity suck-back amount. is not.

このような背景から、設置スペースの低減や同期の問題を解決するため、開閉弁にサックバック機能を備えたサックバックバルブ、すなわち、開閉弁とサックバック専用バルブとを一体化したサックバックバルブが求められている。また、このようなサックバックバルブにおいては、サックバック室のデッドスペースをなくして流体の置換性を増すとともに、サックバック可能な流体の容量を増すことができるサックバック構造が望ましい。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、開閉弁にサックバルブ機能を備えたサックバックバルブを提供することにある。
Against this background, in order to solve the problem of reduced installation space and synchronization, there is a suck back valve that has a suck back function in the open / close valve, that is, a suck back valve that integrates an open / close valve and a special suck back valve. It has been demanded. Further, in such a suck back valve, it is desirable to have a suck back structure that can eliminate the dead space of the suck back chamber and increase the fluid replacement property and increase the capacity of the fluid that can be sucked back.
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a suck back valve having a suck valve function in an on-off valve.

本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明に係るサックバックバルブは、弁体を開閉方向に付勢する弾性部材を備えた開閉弁が、ピストン本体及びピストン付勢部材を備えている開閉操作部に流体圧力を受けて弁体開閉操作を行うとともに、全閉操作時の液だれを防止するサックバック機能を備えているサックバックバルブであって、前記開閉弁の弁内流路に形成したサックバック室と、前記サックバック室内を軸方向に移動して前記弁体を押圧する開閉押圧部材と前記ピストン本体との間を連結しているピストン軸部と、前記ピストン軸部を内部に収納して前記開閉操作部を前記弁内流路から分離し、一端が前記開閉押圧部材に連結されるとともに他端がケーシングに支持されているベローズとを備え、前記弁体の閉動作時には、前記ピストン軸部が前記ピストン及び前記開閉押圧部材とともに前記弁体の全閉位置まで移動する閉弁動作段階と、前記ピストン軸部及び前記開閉押圧部材が前記全閉位置からさらに移動して前記サックバック室の空間容積を増すサックバック動作段階との二段階動作を行うものである。
In order to solve the above problems, the present invention employs the following means.
In the suck back valve according to the present invention, the on-off valve having an elastic member for urging the valve body in the opening / closing direction receives the fluid pressure on the opening / closing operation unit having the piston body and the piston urging member, and opens / closes the valve body. A suck back valve having a suck back function for performing a manipulation and preventing dripping at the time of a fully closed operation, wherein a suck back chamber formed in a flow path in the valve of the on-off valve, and the suck back chamber An opening / closing pressing member that moves in the axial direction and presses the valve body, and a piston shaft portion that connects the piston body, and the piston shaft portion is housed in the piston shaft portion so that the opening / closing operation portion is placed in the valve And a bellows having one end connected to the opening / closing pressing member and the other end supported by the casing. The piston shaft portion is connected to the piston and the opening when the valve body is closed. A valve closing operation stage that moves to the fully closed position of the valve body together with the pressing member, and a suck back operation that further moves the piston shaft and the opening / closing pressing member from the fully closed position to increase the space volume of the suck back chamber. A two-stage operation with a stage is performed.

このような本発明のサックバックバルブによれば、開閉弁の弁内流路に形成したサックバック室と、サックバック室内を軸方向に移動して弁体を押圧する開閉押圧部材とピストン本体との間を連結しているピストン軸部と、ピストン軸部を内部に収納して開閉操作部を弁内流路から分離し、一端が開閉押圧部材に連結されるとともに他端がケーシングに支持されているベローズとを備え、弁体の閉動作時には、ピストン軸部がピストン及び開閉押圧部材とともに弁体の全閉位置まで移動する閉弁動作段階と、ピストン軸部及び開閉押圧部材が全閉位置からさらに移動してサックバック室の空間容積を増すサックバック動作段階との二段階動作を行うようにしたので、ひとつのアクチュエータで弁の開閉及び液だれ防止のサックバックを行うことができる。
そして、サックバック室の空間容積を増すサックバック動作段階では、開閉操作部を液体から分離しているベローズが有する軸方向の大きな伸縮機能により、ピストン軸部及び開閉押圧部材が軸方向に移動するストローク量(移動量)を容易に確保して空間容積の増加量を増すことができ、サックバック室の容量のほとんどをサックバック量とすることができる。また、このようなベローズの採用は、サックバック室をベローズが埋めるため、デッドボリュームをなくすことができる。
According to such a suck back valve of the present invention, the suck back chamber formed in the flow path in the valve of the on / off valve, the opening / closing pressing member that moves in the suck back chamber in the axial direction and presses the valve body, and the piston body A piston shaft part that is connected between the two, and the piston shaft part is housed inside to separate the opening / closing operation part from the flow path in the valve, and one end is connected to the opening / closing pressing member and the other end is supported by the casing. The valve shaft is moved to the fully closed position of the valve body together with the piston and the opening / closing pressing member when the valve body is closed, and the piston shaft portion and the opening / closing pressing member are in the fully closed position. Since the two-stage operation is performed with the sac-back operation stage that increases the space volume of the sac-back chamber by moving further from the valve, the valve can be opened and closed and the sac-back can be prevented from dripping with a single actuator. Can.
In the suck back operation stage in which the space volume of the suck back chamber is increased, the piston shaft portion and the opening / closing pressing member move in the axial direction by the large axial expansion / contraction function of the bellows separating the opening / closing operation portion from the liquid. The stroke amount (movement amount) can be easily secured to increase the amount of increase in the space volume, and most of the capacity of the suck back chamber can be set as the suck back amount. Also, the use of such a bellows can eliminate dead volume because the bellows fills the suck back chamber.

上記の発明において、前記弁体の下流側に形成される前記弁内流路の出口流路は、前記サックバック室の底面に形成した凹部を通ることが好ましく、これにより、弁内流路を流れる流体はサックバック室を通ることなく流出する。従って、サックバック室には、弁体の閉動作時に液体が残留するようなデッドスペースは存在しないこととなる。   In the above invention, the outlet flow path of the intra-valve flow path formed on the downstream side of the valve body preferably passes through a recess formed in the bottom surface of the suck back chamber. The flowing fluid flows out without passing through the suck back chamber. Therefore, there is no dead space in the suck back chamber in which liquid remains when the valve body is closed.

上記の発明において、前記ピストン軸部の軸方向動作量を規制するサックバック量調整手段を設けることが好ましく、これにより、諸条件に応じて適宜サックバック量を調整して最適化することができる。   In the above invention, it is preferable to provide a suck back amount adjusting means for restricting the amount of axial movement of the piston shaft portion, whereby the suck back amount can be appropriately adjusted and optimized according to various conditions. .

上述した本発明によれば、弁の開閉操作及びサックバック機能をひとつのアクチュエータ(開閉操作部)により実施できるようになり、開閉弁にサックバック機能を備えたサックバックバルブを提供することができる。この結果、開閉弁とサックバック専用バルブとを一体化したサックバックバルブとなるので、設置スペースの低減が可能となり、アクチュエータの同期問題も解消される。
また、ベローズを採用したことにより、サックバック時に大きなストローク量を確保でき、サックバック室の容量のほとんどをサックバック量とすることができるので、フットプリントの増加を抑えつつサックバック可能な液体の容量を増加させることができる。しかも、ベローズがサックバック室を埋めてデッドボリュームをなくすことから、サックバック室における流体の置換性が向上するという効果も得られる。
According to the present invention described above, the opening / closing operation and suck back function of the valve can be performed by one actuator (open / close operation unit), and a suck back valve having a suck back function in the opening / closing valve can be provided. . As a result, a suck-back valve in which the on-off valve and the suck-back dedicated valve are integrated, the installation space can be reduced, and the problem of actuator synchronization can be solved.
In addition, the adoption of the bellows ensures a large stroke amount during suckback and allows the suckback volume to be almost the entire volume of the suckback chamber. The capacity can be increased. In addition, since the bellows fills the suck back chamber and eliminates the dead volume, the effect of improving the fluid replacement property in the suck back chamber is also obtained.

以下、本発明に係るサックバックバルブの一実施形態を図面に基づいて説明する。
図1から図6に示すサックバックバルブSVは、薬液等の液体を流す流路に設置され、全閉時の液だれを防止するサックバック機能を備えている開閉弁10と、開閉操作用のアクチュエータ30とが一体に構成されている。すなわち、サックバックバルブSVは、弁体11を開閉方向に付勢する弁用のコイルばね(弾性部材)20を備えた開閉弁10が、ピストン本体31及びピストン用のコイルばね(ピストン付勢部材)32を備えているアクチュエータ(開閉操作部)30に空気圧(流体圧力)を受けて弁体11の開閉操作を行うとともに、全閉操作時の液だれを防止するサックバック機能を備えている。
なお、図1〜図6はサックバックバルブSVの各状態を示しており、図1は初期状態、図2は図1のA−A断面図、図3は弁体11が開となる直前の状態、図4は弁体11を開とした通液状態、図5は弁体11が閉じたサックバック直前の状態、図6はサックバック状態を示している。
Hereinafter, an embodiment of a suck back valve according to the present invention will be described with reference to the drawings.
The suck back valve SV shown in FIGS. 1 to 6 is installed in a flow path for flowing a liquid such as a chemical solution, and has an on / off valve 10 having a suck back function for preventing dripping when fully closed, The actuator 30 is integrally formed. That is, the suck back valve SV includes a valve body spring (elastic member) 20 for biasing the valve body 11 in the opening / closing direction, and the on-off valve 10 includes a piston body 31 and a coil spring for piston (piston biasing member). ) The actuator (opening / closing operation unit) 30 having 32 is subjected to air pressure (fluid pressure) to open and close the valve body 11 and has a suck back function for preventing dripping during the fully closing operation.
1 to 6 show the respective states of the suck back valve SV, FIG. 1 is an initial state, FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG. 1, and FIG. 3 is a state immediately before the valve body 11 is opened. 4 shows a liquid passing state with the valve body 11 opened, FIG. 5 shows a state immediately before the suck back when the valve body 11 is closed, and FIG. 6 shows a suck back state.

開閉弁10の基本構成は、バルブ本体(ケーシング)12に流体入口13及び流体出口14を備え、バルブ本体12の内部空間15には流体流路16を開閉する弁体11が配設されている。流体流路16の上方には、流体流路16を介して内部空間15と連通するサックバック室17が形成されている。このサックバック室17は、開閉弁10内において液体を流す流路(以下、「弁内流路」と呼ぶ)の一部となるが、サックバック室17の底面に凹部18を形成し、この凹部18を流体出口14に連通する出口流路の一部として利用することが望ましい。
なお、上述した凹部18については、たとえば図7に変形例として示すサックバックバルブSV′のように、サックバック室17を弁内流路の一部として利用し、すなわち、サックバック室17を流体出口14に連通する出口流路の一部として利用することで凹部18のない構成としてもよい。
The basic structure of the on-off valve 10 is that a valve body (casing) 12 includes a fluid inlet 13 and a fluid outlet 14, and a valve body 11 that opens and closes a fluid flow path 16 is disposed in an internal space 15 of the valve body 12. . A suck-back chamber 17 communicating with the internal space 15 via the fluid channel 16 is formed above the fluid channel 16. The suck back chamber 17 is a part of a flow path (hereinafter referred to as “in-valve flow path”) through which liquid flows in the on-off valve 10, and a recess 18 is formed on the bottom surface of the suck back chamber 17. It is desirable to use the recess 18 as a part of the outlet channel that communicates with the fluid outlet 14.
For the recess 18 described above, the suck back chamber 17 is used as a part of the flow path in the valve, for example, as a suck back valve SV ′ shown as a modification in FIG. 7, that is, the suck back chamber 17 is used as a fluid. By using it as a part of the outlet channel communicating with the outlet 14, a configuration without the recess 18 may be adopted.

上述した弁体11は、後述するアクチュエータ30の動作によりサックバック室17内を軸方向(上下方向)へ移動する開閉押圧部材40から押圧を受けることにより、内部空間15内を上下方向へ移動して開閉弁10内に形成された流体流路16を開閉する。内部空間15の上端部には、換言すれば、流体流路16の入口部には、シート部19が設けられている。そして、この開閉弁10においては、弁体11が上方へ動作してシート部19に密着すると流体流路16を閉じ、弁体11が下方へ移動してシート部19から離間すると流体流路16を開く。   The valve body 11 described above moves up and down in the internal space 15 by receiving pressure from the opening and closing pressing member 40 that moves in the suck back chamber 17 in the axial direction (up and down direction) by an operation of an actuator 30 described later. The fluid channel 16 formed in the on-off valve 10 is opened and closed. In other words, the seat portion 19 is provided at the upper end portion of the internal space 15, in other words, at the inlet portion of the fluid flow path 16. In the on-off valve 10, the fluid passage 16 is closed when the valve body 11 moves upward and comes into close contact with the seat portion 19, and the fluid passage 16 is moved when the valve body 11 moves downward and separates from the seat portion 19. open.

開閉弁10内に形成された弁内流路は、開閉弁10内の流れ方向から順に、流体入口13、入口流路13a、内部空間15、流体流路16、サックバック室17の底面に形成された凹部18、出口流路14a及び流体出口14に配列されている。
また、図示の開閉弁10において、図中の符号21は弁体11と一体のダイヤフラム、22は弁体11の下端部に連結されてコイルばね20から上向きの付勢を受ける基部、23は排気流路である。なお、弁体11の下部を絞って小径にしているので、ダイヤフラム21を小径化することができる。
The in-valve channel formed in the on-off valve 10 is formed on the bottom surface of the fluid inlet 13, the inlet channel 13a, the internal space 15, the fluid channel 16, and the suck back chamber 17 in order from the flow direction in the on-off valve 10. The recessed portion 18, the outlet channel 14 a and the fluid outlet 14 are arranged.
In the illustrated on-off valve 10, reference numeral 21 in the drawing is a diaphragm integral with the valve body 11, 22 is a base connected to the lower end of the valve body 11 and receives upward bias from the coil spring 20, and 23 is an exhaust. It is a flow path. In addition, since the lower part of the valve body 11 is squeezed to have a small diameter, the diameter of the diaphragm 21 can be reduced.

上述したサックバック室17には、後述するアクチュエータ30の動作に連動する開閉押圧部材40が配設されている。この開閉押圧部材40は、サックバック室17の内部を軸方向に移動するピストン軸部33に連結されて一体に動作し、弁体11の開閉動作及びサックバック機能に関与する。サックバック室17内を軸方向に移動して弁体11を押圧する開閉押圧部材40とピストン本体31との間を連結しているピストン軸部33は、下端部が開閉押圧部材40に連結されるとともに、上端部がバルブ本体12等のケーシングに支持されているベローズ41の内部に収納されている。すなわち、ベローズ41は、ピストン軸部33を内部に収納することにより、開閉操作部のアクチュエータ30を開閉弁11の弁内流路を流れる流体から分離している。   In the suck back chamber 17 described above, an opening / closing pressing member 40 that is interlocked with the operation of an actuator 30 described later is disposed. The opening / closing pressing member 40 is connected to the piston shaft portion 33 that moves in the axial direction inside the suck back chamber 17 and operates integrally, and is involved in the opening / closing operation and suck back function of the valve body 11. The piston shaft portion 33 that connects between the piston main body 31 and the opening / closing pressing member 40 that moves in the suck back chamber 17 in the axial direction and presses the valve body 11 has a lower end portion connected to the opening / closing pressing member 40. In addition, the upper end portion is housed in a bellows 41 supported by a casing such as the valve body 12. That is, the bellows 41 separates the actuator 30 of the opening / closing operation part from the fluid flowing through the in-valve flow path of the opening / closing valve 11 by housing the piston shaft part 33 therein.

アクチュエータ30は、アクチュエータ本体(ケーシング)34に形成された内部空間のシリンダ部35内に配置されたピストン本体31を備えている。図示の構成例では、ピストン本体31により分割されたシリンダ部35の上部に連通するよう設けた空気圧供給口36から空気圧を供給し、ピストン本体31を押し下げて開閉弁10の開操作を行うように構成されている。   The actuator 30 includes a piston body 31 disposed in a cylinder portion 35 in an internal space formed in an actuator body (casing) 34. In the illustrated configuration example, air pressure is supplied from an air pressure supply port 36 provided so as to communicate with the upper portion of the cylinder portion 35 divided by the piston main body 31, and the piston main body 31 is pushed down to open the on-off valve 10. It is configured.

上述したピストン31は、コイルばね32から上向き(弁体11が閉の方向)の付勢を常時受けており、従って、図示の開閉弁10は空気圧の供給がない状態で常時閉のノーマルクローズ型となる。すなわち、弁体11は、コイルばね20から上向きの付勢を受けて常時閉の状態にあるが、空気圧供給口36から空気圧を供給してピストン本体31を下向きに押圧すると、コイルばね32の付勢に打ち勝ってピストン軸部33を介して連結された開閉押圧部材40が降下し、さらに、この開閉押圧部材40がコイルばね20の付勢に打ち勝って弁体11を押し下げる。このとき、たとえば図4に示すように、ベローズ41は縮んだ状態から引き伸ばされ、弁体11はシート部19から離間して開状態となる。
なお、空気圧供給口36の空気圧供給を停止すると、ピストン31による下向きの押圧力がなくなるので、たとえば図6に示すように、開閉押圧部材40はコイルばね32の付勢を受けて弁体11から離間し、さらに、弁体11はコイルばね20の付勢を受けてシート部19に密着する閉状態となる。
The above-described piston 31 is always urged upward by the coil spring 32 (the direction in which the valve body 11 is closed). Therefore, the illustrated on-off valve 10 is normally closed in a normally closed state without supply of air pressure. It becomes. That is, the valve body 11 is normally closed by receiving an upward bias from the coil spring 20. However, when the air pressure is supplied from the air pressure supply port 36 and the piston body 31 is pressed downward, the valve spring 11 is attached. The opening / closing pressing member 40 that overcomes the force and is connected via the piston shaft portion 33 is lowered, and the opening / closing pressing member 40 overcomes the bias of the coil spring 20 and pushes down the valve body 11. At this time, for example, as shown in FIG. 4, the bellows 41 is stretched from the contracted state, and the valve body 11 is separated from the seat portion 19 and is opened.
When the air pressure supply from the air pressure supply port 36 is stopped, the downward pressing force by the piston 31 disappears. Therefore, for example, as shown in FIG. Further, the valve body 11 is in a closed state in which the valve body 11 is urged by the coil spring 20 and is in close contact with the seat portion 19.

また、上述したアクチュエータ30は、後述するサックバック機能について、ピストン本体31と一体に動作するピストン軸部33の軸方向動作量を規制するサックバック量調整手段を備えている。このサックバック整量調整手段は、たとえばハンドル37の操作により軸方向へ移動する螺合軸38であり、先端部38aがシリンダ部35内へ突出する量(軸方向長さ)の調整を可能とするものである。すなわち、先端部38aがシリンダ部35内へ突出する量を増せば、ピストン本体31が上昇可能となる範囲(ピストンストローク)が減少するので、開閉押圧部材40の動作量(移動量)によって定まるサックバック量(サックバック室17の容積変化量)も減少する。   Moreover, the actuator 30 mentioned above is provided with the suck back amount adjustment means which regulates the axial direction operation amount of the piston shaft part 33 which operate | moves integrally with the piston main body 31 about the suck back function mentioned later. The suck back adjustment amount adjusting means is, for example, a screw shaft 38 that moves in the axial direction by the operation of the handle 37, and can adjust the amount (the length in the axial direction) of the tip portion 38a protruding into the cylinder portion 35. To do. That is, if the amount by which the tip portion 38a protrudes into the cylinder portion 35 is increased, the range (piston stroke) in which the piston main body 31 can be raised is reduced, so The back amount (volume change amount of the suck back chamber 17) also decreases.

続いて、ピストン本体31及びピストン軸部33と弁体11との間に位置し、アクチュエータ30の動作により開閉弁10の弁体11を開閉させる部材である開閉押圧部材40について説明する。
この開閉押圧部材40は、ピストン本体31の下面側に設けられたピストン軸部33の下端部に結合され、下端面には弁体11の上部に設けられた弁体凸部11aと係合する凹部40aを備えている。この開閉押圧部材40は、サックバック室17の内径と略同じ外径を有しており、さらに、サックバック室17は、開閉押圧部材40及びベローズ41により、アクチュエータ30と完全に分離されているので、弁体11が流体流路16を閉じた状態では、開閉押圧部材40の上昇移動によりサックバック室17の容積を増すと、流体出口14からサックバック室17内へ向けた吸引力が発生する。なお、アクチュエータ30は、ピストン本体33の下部でベローズ41の伸縮等に応じて生じる容積変化に対応するため、大気と連通する吸排気口39を設けてスムーズな動作を可能にしている。
Next, the opening / closing pressing member 40 that is located between the piston body 31 and the piston shaft portion 33 and the valve body 11 and opens and closes the valve body 11 of the opening / closing valve 10 by the operation of the actuator 30 will be described.
The opening / closing pressing member 40 is coupled to the lower end portion of the piston shaft portion 33 provided on the lower surface side of the piston body 31, and engages with the valve body convex portion 11 a provided on the upper portion of the valve body 11 on the lower end surface. A recess 40a is provided. The opening / closing pressing member 40 has an outer diameter substantially the same as the inner diameter of the suck back chamber 17, and the suck back chamber 17 is completely separated from the actuator 30 by the opening / closing pressing member 40 and the bellows 41. Therefore, in a state where the valve body 11 closes the fluid flow path 16, if the volume of the suck back chamber 17 is increased by the upward movement of the opening / closing pressing member 40, a suction force from the fluid outlet 14 toward the suck back chamber 17 is generated. To do. Note that the actuator 30 is provided with an intake / exhaust port 39 communicating with the atmosphere to enable a smooth operation in order to cope with a volume change caused by expansion / contraction of the bellows 41 at the lower portion of the piston body 33.

このように、本発明のサックバックバルブSVは、開閉弁10の弁内流路に形成したサックバック室17と、サックバック室17内を軸方向に移動して弁体11を押圧する開閉押圧部材40とピストン本体31との間を連結しているピストン軸部33と、ピストン軸部33を内部に収納して開閉操作部のアクチュエータ30を弁内流路から分離し、一端が開閉押圧部材40に連結されるとともに他端がケーシング12に支持されているベローズ41とを備えている。そして、このサックバックバルブSVは、弁体11の閉動作時において、ピストン軸部33がピストン本体31及び開閉押圧部材40とともに弁体11の全閉位置まで移動する閉弁動作段階と、ピストン軸部33及び開閉押圧部材40が弁体11の全閉位置からさらに移動してサックバック室17の空間容積を増すサックバック動作段階との二段階動作を行うように構成されている。   As described above, the suck back valve SV of the present invention includes the suck back chamber 17 formed in the valve flow path of the opening / closing valve 10 and the opening / closing press for moving the inside of the suck back chamber 17 in the axial direction and pressing the valve body 11. Piston shaft part 33 connecting between member 40 and piston body 31, and piston shaft part 33 are housed inside to separate actuator 30 of the opening / closing operation part from the flow path in the valve, one end being an opening / closing pressing member 40 and a bellows 41 connected to the casing 12 at the other end. The suck back valve SV includes a valve closing operation stage in which the piston shaft 33 moves to the fully closed position of the valve body 11 together with the piston main body 31 and the opening / closing pressing member 40 when the valve body 11 is closed, and the piston shaft The part 33 and the opening / closing pressing member 40 are further moved from the fully closed position of the valve body 11 to perform a two-stage operation including a suck-back operation stage that increases the space volume of the suck-back chamber 17.

このように構成されたサックバックバルブSVは、弁体11の閉動作時において、ピストン軸部33がピストン本体31及び開閉押圧部材40とともに弁体11の全閉位置まで移動する閉弁動作段階と、ピストン軸部33及び開閉押圧部材40が全閉位置からさらに移動してサックバック室17の空間容積を増すサックバック動作段階との二段階動作を行うようにしたので、ひとつのアクチュエータ30で開閉弁10の開閉及び液だれ防止のサックバックを行うことができる。
そして、サックバック室17の空間容積を増すサックバック動作段階では、開閉弁10で取り扱う液体からアクチュエータ30を分離しているベローズ41が軸方向の大きな伸縮機能を有しているので、ピストン軸部33及び開閉押圧部材40が軸方向に移動するストローク量(移動量)を容易に確保して空間容積の増加量を増すことができる。
The suck back valve SV configured as described above has a valve closing operation stage in which the piston shaft portion 33 moves to the fully closed position of the valve body 11 together with the piston main body 31 and the opening / closing pressing member 40 when the valve body 11 is closed. Since the piston shaft 33 and the opening / closing pressing member 40 are further moved from the fully closed position to perform the two-stage operation including the suck-back operation stage for increasing the space volume of the suck-back chamber 17, the opening / closing is performed by one actuator 30. The valve 10 can be opened and closed and dripping prevention can be performed.
In the suck back operation stage in which the space volume of the suck back chamber 17 is increased, the bellows 41 separating the actuator 30 from the liquid handled by the on-off valve 10 has a large axial expansion / contraction function. 33 and the opening / closing pressing member 40 can easily secure a stroke amount (movement amount) for moving in the axial direction and increase the amount of increase in the space volume.

すなわち、図1に示す初期状態では、ピストン本体31は空気圧を受けておらず、ピストン軸部33及び開閉押圧部材40はコイルばね32の付勢により押し上げられ、ベローズ41は縮んだ状態にある。また、弁体11は、開閉押圧部材40が離間して押圧しない状態にあるので、コイルばね20の付勢により押し上げられてシート部19に密着した全閉状態にある。
図3は、弁体11が開となる直前の状態、すなわち弁体11が全閉位置にあり、ピストン本体31が空気圧を受けて降下し、ピストン軸部33及び開閉押圧部材40を押し下げてベローズ41は伸びた状態にある。このとき、開閉押圧部材40は、弁体11に接する直前か、あるいは、接しても弁体11を押圧しない位置にある。従って、弁体11は、開閉押圧部材40から押圧を受けていない状態にあるので、コイルばね20の付勢により押し上げられてシート部19に密着した全閉状態にある。
That is, in the initial state shown in FIG. 1, the piston main body 31 is not receiving air pressure, the piston shaft portion 33 and the opening / closing pressing member 40 are pushed up by the bias of the coil spring 32, and the bellows 41 is in a contracted state. In addition, the valve body 11 is in a fully closed state in which the opening / closing pressing member 40 is not separated and pressed, and is pushed up by the biasing force of the coil spring 20 and is in close contact with the seat portion 19.
FIG. 3 shows a state immediately before the valve body 11 is opened, that is, the valve body 11 is in a fully closed position, the piston main body 31 is lowered by receiving air pressure, and the piston shaft portion 33 and the opening / closing pressing member 40 are pushed down to bellows. 41 is in an extended state. At this time, the opening / closing pressing member 40 is immediately before contacting the valve body 11 or at a position where it does not press the valve body 11 even if the opening / closing pressing member 40 contacts. Therefore, the valve body 11 is in a state of not being pressed by the opening / closing pressing member 40, and is in a fully closed state in which the valve body 11 is pushed up by the bias of the coil spring 20 and is in close contact with the seat portion 19.

図3に示す弁開直前の状態からさらに空気圧の供給を継続すると、図4に示すように、弁体11を開とした通液状態となる。この状態では、開閉押圧部材40が弁体11に接して下向きに押圧しているので、弁体11は、コイルばね20の付勢に打ち勝って押し下げられ、シート部19から離間した全開状態にある。このような弁体11の全開状態では、流体入口13から流入する液体が、内部空間15及び流体流路16を通って流体出口14から流出する。このとき、サックバック室17は、伸びた状態のベローズ41によりデッドボリュームが生じないように略全容積を埋めているので、サックバック室17内の液体置換性を向上させることができる。
図5は、弁体11が閉となり、かつ、サックバックを開始する直前の状態(開弁動作段階が完了した状態)であり、実質的には図3と略同じ状況にある。すなわち、ピストン本体31を押圧する空気圧の供給が停止されたことにより、開閉押圧部材40の押圧がなくなった弁体11はコイルばね20の付勢により全閉位置に戻り、ピストン本体31は上昇を開始する直前の状態にある。
If the supply of air pressure is further continued from the state immediately before the valve opening shown in FIG. 3, the liquid passing state with the valve body 11 opened as shown in FIG. In this state, since the opening / closing pressing member 40 is pressed downward in contact with the valve body 11, the valve body 11 is pushed down by overcoming the bias of the coil spring 20, and is in a fully open state separated from the seat portion 19. . In such a fully opened state of the valve body 11, the liquid flowing in from the fluid inlet 13 flows out from the fluid outlet 14 through the internal space 15 and the fluid flow path 16. At this time, since the suck-back chamber 17 is filled with substantially the entire volume so that a dead volume is not generated by the extended bellows 41, the liquid replacement property in the suck-back chamber 17 can be improved.
FIG. 5 shows a state immediately before the valve body 11 is closed and the suck back is started (a state in which the valve opening operation stage is completed), which is substantially the same as FIG. That is, when the supply of air pressure for pressing the piston body 31 is stopped, the valve body 11 that is no longer pressed by the opening / closing pressing member 40 returns to the fully closed position by the bias of the coil spring 20, and the piston body 31 is raised. It is in the state just before starting.

図6は、弁体11の全閉後にサックバックを開始した状態(サックバック動作段階)を示しており、図中に想像線で示すように、開閉押圧部材40がコイルばね32の付勢を受けて瞬時に上昇する。この結果、サックバック室17は、容積が急激に増加することにより負圧を生じ、流体出口14及び出口流路14aに残存していた流体を吸引して液だれを防止する。このとき、ベローズ41が縮むことにより、開閉押圧部材40には大きなストロークを与えることができ、従って、サックバック室17の略全容積をサックバックに使用できるとともに、サックバック時におけるサックバック室17の容量変化を大きくすることができる。
このようなサックバック室17の容量変化増大は、サックバック可能な液体量を増し、液だれを確実に防止することができる。しかも、ベローズ41を採用したため、フットプリントの増加を抑えつつサックバック量の大容量化を実現している。
FIG. 6 shows a state (suck back operation stage) in which suck back is started after the valve body 11 is fully closed. As shown by an imaginary line in the figure, the opening / closing pressing member 40 biases the coil spring 32. Receives and rises instantly. As a result, the suck-back chamber 17 generates a negative pressure due to a sudden increase in volume, and sucks the fluid remaining in the fluid outlet 14 and the outlet channel 14a to prevent dripping. At this time, the bellows 41 is contracted, so that a large stroke can be given to the opening / closing pressing member 40. Therefore, almost the entire volume of the suck back chamber 17 can be used for suck back, and the suck back chamber 17 during suck back is used. The capacity change of the can be increased.
Such an increase in the capacity change of the suck back chamber 17 increases the amount of liquid that can be sucked back, and can reliably prevent dripping. In addition, since the bellows 41 is employed, an increase in the amount of suck back is realized while suppressing an increase in footprint.

また、弁体11の下流側に形成される弁内流路の出口流路は、流体がサックバック室17の底面に形成した凹部18を通るようにしたので、図4に示す通液状態においては、弁内流路を流れる流体がサックバック室17を通ることなく流体出口14へ流出する。従って、サックバック室17には、図5に示す弁体11の閉動作時に液体が残留するようなデッドスペース(出口流路14aより低い凹部)は存在しないこととなる。すなわち、サックバック室17内の液体は、最も低い凹部18を通って流れるので、閉弁後にデッドスペースに残留した液体が固化して不具合の原因となるようなことはない。
また、ハンドル37により回動操作可能な螺合軸38によりピストン軸部33の軸方向動作量を規制するサックバック量調整手段を備えているので、サックバックバルブSVを設置する流体流路の諸条件に応じて、サックバック量を適宜調整して最適化することができる。
Further, since the outlet passage of the in-valve passage formed on the downstream side of the valve body 11 allows the fluid to pass through the recess 18 formed in the bottom surface of the suck back chamber 17, in the liquid passing state shown in FIG. The fluid flowing through the valve flow path flows out to the fluid outlet 14 without passing through the suck back chamber 17. Therefore, the suck back chamber 17 does not have a dead space (a recessed portion lower than the outlet flow path 14a) in which liquid remains when the valve body 11 shown in FIG. 5 is closed. That is, since the liquid in the suck back chamber 17 flows through the lowest recess 18, the liquid remaining in the dead space after the valve is closed does not cause a problem.
Further, since a suck back amount adjusting means for restricting the axial movement amount of the piston shaft portion 33 by the screw shaft 38 that can be rotated by the handle 37 is provided, various fluid flow paths for installing the suck back valve SV are provided. Depending on conditions, the amount of suckback can be adjusted and optimized as appropriate.

このように、上述した本発明によれば、開閉弁10の開閉操作及びサックバック機能をひとつのアクチュエータ30により実施できるようになり、開閉弁10にサックバック機能を備えた一体構造のサックバックバルブSVを提供することができる。この結果、サックバックバルブSVの設置スペースを低減することができ、アクチュエータ30の同期問題も解消することができる。   As described above, according to the present invention described above, the opening / closing operation and suck-back function of the opening / closing valve 10 can be performed by the single actuator 30, and the suck-back valve having an integrated structure in which the opening / closing valve 10 has the suck-back function. SV can be provided. As a result, the installation space of the suck back valve SV can be reduced, and the synchronization problem of the actuator 30 can be solved.

また、ベローズ41を採用したことにより、サックバック時に大きなストローク量を確保でき、サックバック可能な液体の容量を増加させることができる。この結果、フットプリントの増加を抑えつつ、サックバック可能な液体の容量を増加させたサックバックバルブSVとなる。しかも、ベローズ41がサックバック室17を埋めてデッドボリュームをなくすため、サックバック室17における流体の置換性も向上する。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。
Further, by employing the bellows 41, a large stroke amount can be secured during suck back, and the volume of liquid that can be sucked back can be increased. As a result, the suck back valve SV is obtained in which the volume of liquid that can be sucked back is increased while suppressing an increase in footprint. Moreover, since the bellows 41 fills the suck back chamber 17 and eliminates the dead volume, the fluid replaceability in the suck back chamber 17 is also improved.
In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, In the range which does not deviate from the summary of this invention, it can change suitably.

本発明に係るサックバックバルブの一実施形態を示す断面図であり、開閉弁が全閉の初期状態を示している。It is sectional drawing which shows one Embodiment of the suck back valve | bulb which concerns on this invention, and has shown the initial state of an on-off valve being fully closed. 図1のA−A断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. 図1に示したサックバックバルブについて、開閉弁の弁体が開となる直前の状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state just before the valve body of an on-off valve opens about the suck back valve shown in FIG. 図1に示したサックバックバルブについて、開閉弁の弁体を開とした通液状態を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a liquid passing state of the suck back valve shown in FIG. 1 with a valve body of an on-off valve opened. 図1に示したサックバックバルブについて、開閉弁の弁体が閉じたサックバック直前の状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state just before the suck back which the valve body of the on-off valve closed about the suck back valve shown in FIG. 図1に示したサックバックバルブについて、サックバック状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a suck back state about the suck back valve | bulb shown in FIG. 本発明に係るサックバックバルブの変形例を示す断面図であり、開閉弁の弁体が開となる直前の状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the modification of the suck back valve which concerns on this invention, and is sectional drawing which shows the state just before the valve body of an on-off valve opens.

符号の説明Explanation of symbols

10 開閉弁
11 弁体
12 バルブ本体
13 流体入口
13a 入口流路
14 流体出口
14a 出口流路
15 内部空間
16 流体流路
17 サックバック室
18 凹部
19 シート部
20 コイルばね
30 アクチュエータ
31 ピストン本体
32 コイルばね
33 ピストン軸部
37 ハンドル
38 螺合部
40 開閉押圧部材
41 ベローズ
SV,SV′ サックバックバルブ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 On-off valve 11 Valve body 12 Valve main body 13 Fluid inlet 13a Inlet flow path 14 Fluid outlet 14a Outlet flow path 15 Internal space 16 Fluid flow path 17 Suck back chamber 18 Recess 19 Seat part 20 Coil spring 30 Actuator 31 Piston main body 32 Coil spring 33 Piston shaft portion 37 Handle 38 Screwed portion 40 Opening / closing pressing member 41 Bellows SV, SV ′ Suck back valve

Claims (3)

弁体を開閉方向に付勢する弾性部材を備えた開閉弁が、ピストン本体及びピストン付勢部材を備えている開閉操作部に流体圧力を受けて弁体開閉操作を行うとともに、全閉操作時の液だれを防止するサックバック機能を備えているサックバックバルブであって、
前記開閉弁の弁内流路に形成したサックバック室と、
前記サックバック室内を軸方向に移動して前記弁体を押圧する開閉押圧部材と前記ピストン本体との間を連結しているピストン軸部と、
前記ピストン軸部を内部に収納して前記開閉操作部を前記弁内流路から分離し、一端が前記開閉押圧部材に連結されるとともに他端がケーシングに支持されているベローズとを備え、
前記弁体の閉動作時には、前記ピストン軸部が前記ピストン及び前記開閉押圧部材とともに前記弁体の全閉位置まで移動する閉弁動作段階と、前記ピストン軸部及び前記開閉押圧部材が前記全閉位置からさらに移動して前記サックバック室の空間容積を増すサックバック動作段階との二段階動作を行うサックバックバルブ。
The on-off valve provided with an elastic member that urges the valve body in the opening / closing direction receives the fluid pressure on the opening / closing operation part provided with the piston body and the piston urging member, and performs the opening / closing operation of the valve body. It is a suck back valve equipped with a suck back function to prevent dripping of
A suck back chamber formed in the flow path in the valve of the on-off valve;
A piston shaft part that connects between the piston main body and an opening / closing pressing member that moves in the suck back chamber in the axial direction and presses the valve body;
The piston shaft portion is housed inside, the opening / closing operation portion is separated from the flow passage in the valve, and one end is connected to the opening / closing pressing member and the other end is supported by the casing,
During the closing operation of the valve body, the piston shaft portion moves to the fully closed position of the valve body together with the piston and the opening / closing pressing member, and the piston shaft portion and the opening / closing pressing member are fully closed. A suck-back valve that performs a two-stage operation including a suck-back operation stage that further moves from the position to increase the space volume of the suck-back chamber.
前記弁体の下流側に形成される前記弁内流路の出口流路が、前記サックバック室の底面に形成した凹部を通る請求項1に記載のサックバックバルブ。   2. The suck back valve according to claim 1, wherein an outlet flow path of the in-valve flow path formed on the downstream side of the valve body passes through a recess formed in a bottom surface of the suck back chamber. 前記ピストン軸部の軸方向動作量を規制するサックバック量調整手段が設けられている請求項1または2に記載のサックバックバルブ。   The suck back valve according to claim 1 or 2, wherein a suck back amount adjusting means for restricting an axial movement amount of the piston shaft portion is provided.
JP2008209762A 2008-08-18 2008-08-18 Suck back valve Active JP5247298B2 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008209762A JP5247298B2 (en) 2008-08-18 2008-08-18 Suck back valve
EP09167283.2A EP2157343B1 (en) 2008-08-18 2009-08-05 Suck-back valve
KR1020090074074A KR101555382B1 (en) 2008-08-18 2009-08-12 - Suck-back valve
US12/541,581 US8251345B2 (en) 2008-08-18 2009-08-14 Suck-back valve

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008209762A JP5247298B2 (en) 2008-08-18 2008-08-18 Suck back valve

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010043714A true JP2010043714A (en) 2010-02-25
JP5247298B2 JP5247298B2 (en) 2013-07-24

Family

ID=41259815

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008209762A Active JP5247298B2 (en) 2008-08-18 2008-08-18 Suck back valve

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8251345B2 (en)
EP (1) EP2157343B1 (en)
JP (1) JP5247298B2 (en)
KR (1) KR101555382B1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170058389A (en) * 2014-09-09 2017-05-26 프로테우스 인더스트리스 인크. Systems and methods for coolant drawback
US11174949B2 (en) 2018-07-31 2021-11-16 Fujikin Incorporated Actuator and valve device using the same
CN113727786A (en) * 2019-06-18 2021-11-30 松下知识产权经营株式会社 Intermittent valve and intermittent coating device

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5009107B2 (en) * 2007-09-12 2012-08-22 サーパス工業株式会社 Suck back valve
JP5301805B2 (en) * 2007-10-17 2013-09-25 サーパス工業株式会社 Suckback valve system and valve closing operation control method thereof
KR101817212B1 (en) 2016-04-29 2018-02-21 세메스 주식회사 Chemical nozzle and apparatus for treating substrate
JP6978927B2 (en) 2017-12-19 2021-12-08 サーパス工業株式会社 valve
KR102594753B1 (en) * 2018-12-24 2023-10-27 충북대학교 산학협력단 Flow amount control valve for with suction feature
JP7300710B2 (en) 2019-05-10 2023-06-30 サーパス工業株式会社 suck back valve

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5050114U (en) * 1973-09-03 1975-05-16
JPS61266884A (en) * 1985-05-17 1986-11-26 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Liquid retraction valve
JPH08303630A (en) * 1995-05-10 1996-11-22 Fujikin:Kk Controller
JP3276936B2 (en) * 1998-12-25 2002-04-22 アドバンス電気工業株式会社 Flow control valve
JP2007146923A (en) * 2005-11-25 2007-06-14 Ckd Corp Flow passage structure of valve

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3898403A (en) * 1969-02-03 1975-08-05 Itt Pressure sensitive control apparatus with magnet actuated switch and valve
US3709431A (en) * 1969-10-31 1973-01-09 Itt Zone control valves
SE510777C2 (en) * 1997-01-30 1999-06-21 Volvo Lastvagnar Ab Fluid-operated valve assembly and its use for operating EGR valves and for regulating exhaust recirculation of a diesel engine vehicle
JP4035666B2 (en) * 1997-03-14 2008-01-23 Smc株式会社 Suck back valve
JP4970661B2 (en) 2001-04-23 2012-07-11 シーケーディ株式会社 Suck back valve
JP3825342B2 (en) * 2002-03-06 2006-09-27 Smc株式会社 Suck back valve
JP4142883B2 (en) * 2002-03-20 2008-09-03 シーケーディ株式会社 Chemical valve
JP4201536B2 (en) * 2002-07-03 2008-12-24 サーパス工業株式会社 Flow control device
JP2005090639A (en) * 2003-09-18 2005-04-07 Ckd Corp Valve for chemical solution
JP5034556B2 (en) 2007-02-27 2012-09-26 株式会社ニコン Focus detection apparatus and imaging apparatus
JP5009107B2 (en) * 2007-09-12 2012-08-22 サーパス工業株式会社 Suck back valve

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5050114U (en) * 1973-09-03 1975-05-16
JPS61266884A (en) * 1985-05-17 1986-11-26 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Liquid retraction valve
JPH08303630A (en) * 1995-05-10 1996-11-22 Fujikin:Kk Controller
JP3276936B2 (en) * 1998-12-25 2002-04-22 アドバンス電気工業株式会社 Flow control valve
JP2007146923A (en) * 2005-11-25 2007-06-14 Ckd Corp Flow passage structure of valve

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170058389A (en) * 2014-09-09 2017-05-26 프로테우스 인더스트리스 인크. Systems and methods for coolant drawback
KR102223571B1 (en) 2014-09-09 2021-03-04 프로테우스 인더스트리스 인크. Systems and methods for coolant drawback
US11213911B2 (en) 2014-09-09 2022-01-04 Proteus Industries Inc. Fluid transfer of suction force between drawback apparatuses
US11752568B2 (en) 2014-09-09 2023-09-12 Proteus Industries Inc. Fluid transfer of suction force between drawback apparatuses
US11174949B2 (en) 2018-07-31 2021-11-16 Fujikin Incorporated Actuator and valve device using the same
CN113727786A (en) * 2019-06-18 2021-11-30 松下知识产权经营株式会社 Intermittent valve and intermittent coating device
CN113727786B (en) * 2019-06-18 2023-04-07 松下知识产权经营株式会社 Intermittent valve and intermittent coating device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100021971A (en) 2010-02-26
EP2157343B1 (en) 2013-05-15
EP2157343A3 (en) 2010-07-21
US8251345B2 (en) 2012-08-28
US20100038567A1 (en) 2010-02-18
JP5247298B2 (en) 2013-07-24
KR101555382B1 (en) 2015-09-23
EP2157343A2 (en) 2010-02-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5247298B2 (en) Suck back valve
JP5009107B2 (en) Suck back valve
JP4504243B2 (en) Control valve for variable displacement compressor
JP2009301109A (en) Pressure reducing valve
JP2010185285A (en) Control valve
JP2008309255A (en) Relief valve
JP2009036182A (en) Control valve for variable capacity compressor
JP2010090931A (en) Valve device
JP5301805B2 (en) Suckback valve system and valve closing operation control method thereof
JP2008052381A (en) Pressure reducing valve for low flow rate and very low pressure
JP4925936B2 (en) Suck back valve
JP2005141734A (en) Modulator
JP2009092192A (en) Back pressure responding type valve
JP2007178006A (en) Chemical valve
JP2019120318A (en) Valve mechanism
WO2023286739A1 (en) Suck-back valve
JP2018071667A (en) valve
WO2023002953A1 (en) Timing adjustment valve and suckback valve provided with same
JP4424674B2 (en) Pressure reducing valve
EP1078834A3 (en) Normally open purge valve
JP6120378B2 (en) Tank ventilation valve
JP2005048816A (en) Check valve and relief valve
JP2005180517A (en) Gate valve
JP2005163982A (en) Valve for chemical solution
JP2001249723A (en) Pressure adjuster

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110623

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120815

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120821

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130312

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130409

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5247298

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160419

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250