JP2010034180A - 半導体製造装置の制御方法および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体製造装置の状態に応じた正確な制御データによって半導体製造装置の加工処理を制御する半導体製造装置の制御方法を得ること。
【解決手段】半導体製造装置によって加工処理されたウェハの処理結果を検査データ31として測定するとともに、検査データ31を加工処理の制御に反映する半導体製造装置の制御方法において、半導体製造装置のログデータL1,L2に基づいて、検査データ31の中から半導体製造装置の動作状態が異常状態であった場合に加工処理されたウェハの処理結果を異常値として特定する異常処理特定ステップと、測定された検査データ31および異常値に基づいて半導体製造装置の制御データ61を作成する制御データ作成ステップと、作成した制御データ61を用いて半導体製造装置の加工処理を制御する制御ステップと、を含む。
【選択図】 図4
【解決手段】半導体製造装置によって加工処理されたウェハの処理結果を検査データ31として測定するとともに、検査データ31を加工処理の制御に反映する半導体製造装置の制御方法において、半導体製造装置のログデータL1,L2に基づいて、検査データ31の中から半導体製造装置の動作状態が異常状態であった場合に加工処理されたウェハの処理結果を異常値として特定する異常処理特定ステップと、測定された検査データ31および異常値に基づいて半導体製造装置の制御データ61を作成する制御データ作成ステップと、作成した制御データ61を用いて半導体製造装置の加工処理を制御する制御ステップと、を含む。
【選択図】 図4
Description
本発明は、半導体製造装置の制御方法および半導体装置の製造方法に関するものである。
半導体装置を作製する際には、露光装置などの半導体製造装置に予め露光照射量などの処理条件を設定しておき、この処理条件に従って露光処理などが行なわれている。ところが、同一の処理条件で露光処理しても、種々の要因によってウェハ上に形成されるパターンのパターン寸法にずれが生じる。このため、半導体装置を作製する際には、露光処理や現像処理が行なわれた後に、ウェハ上に形成された半導体装置のパターン寸法を測定し、測定結果に基づいて露光装置などの処理条件を制御していた。このようにして露光装置などを制御するフィードバック法では、例えば最新の1ロット分のデータを用いて、次に露光を行うロットの露光処理などを制御している。
また、特許文献1に記載の測定値検定方法では、予め処理条件を変えて作製した複数のウェハを測定することによってパターン寸法などの予想範囲を設定している。そして、実際に半導体装置を製造する際に予想範囲外のパターン寸法(測定値)を検出した場合には、フィードバックさせる測定値群から、予想範囲外のパターン寸法を除外してフィードバック制御を行っている。
上記従来の技術では、半導体製造装置の状態を無視して測定値のみに基づいてフィードバック制御を行っている。しかしながら、露光装置やレジスト塗布現像装置などの半導体製造装置は、外的要因および内的要因によって製造特性が揺らぐことがある。このような場合に、半導体製造装置の状態を無視して半導体製造装置への制御データを予測すると、かえってパターン寸法や重ね合わせ精度が劣化する場合があるという問題があった。
本発明は、半導体製造装置の状態に応じた正確な制御データによって半導体製造装置の加工処理を制御する半導体製造装置の制御方法および半導体装置の製造方法を得ることを目的とする。
本願発明の一態様によれば、半導体製造装置によって加工処理されたウェハの処理結果を測定するとともに、測定された処理結果を前記半導体製造装置の制御に反映して前記加工処理を制御する半導体製造装置の制御方法において、前記半導体製造装置の動作状態の履歴であるログデータに基づいて、前記処理結果の中から前記半導体製造装置の動作状態が異常状態であった場合に加工処理されたウェハの処理結果を異常処理結果として特定する異常処理特定ステップと、前記測定された処理結果および前記異常処理結果に基づいて前記半導体製造装置の制御データを作成する制御データ作成ステップと、作成した制御データを用いて前記半導体製造装置の加工処理を制御する制御ステップと、を含むことを特徴とする半導体製造装置の制御方法が提供される。
この発明によれば、半導体製造装置の状態に応じた正確な制御データによって半導体製造装置の加工処理を制御することが可能になるという効果を奏する。
以下に、本発明に係る半導体製造装置の制御方法および半導体装置の製造方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
(実施の形態)
図1は、本発明の実施の形態に係る半導体製造システムの構成を示す図である。半導体製造システム10は、半導体製造装置をAPC(アドバンスド・プロセス・コントロール)によって制御しながら半導体装置(半導体デバイス)を製造するシステムであり、計算機を用いて半導体装置の品質管理(QC)を行う。なお、半導体製造システム10は、種々の製造工程(エッチング工程、成膜工程など)に適用できるが、ここでは半導体製造システム10をリソグラフィ工程に適用した場合について説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る半導体製造システムの構成を示す図である。半導体製造システム10は、半導体製造装置をAPC(アドバンスド・プロセス・コントロール)によって制御しながら半導体装置(半導体デバイス)を製造するシステムであり、計算機を用いて半導体装置の品質管理(QC)を行う。なお、半導体製造システム10は、種々の製造工程(エッチング工程、成膜工程など)に適用できるが、ここでは半導体製造システム10をリソグラフィ工程に適用した場合について説明する。
半導体製造システム10は、露光装置1、レジスト塗布現像装置2、データ収集装置3、データ解析装置4、制御データ予測装置5、検査装置6、制御データ送信装置7を有している。
露光装置1は、レジストの塗布されたウェハ(基板)に露光光を照射して、フォトマスク上に形成されたパターンをウェハ上に露光転写する。露光装置1は、例えばスキャンタイプの露光装置であり、フォトマスクの移動(スキャニング動作)に同期してウェハを移動させながらロット単位でウェハへの露光処理を行う。露光装置1は、露光光の照射量(露光照射量)などを調整しながら露光処理を行うとともに、フォトマスク(レチクル)の直交度や回転量、フォトマスクとウェハの同期精度などに関するログデータを取りながら露光処理を行う。露光装置1で生成されるログデータには、露光装置1の装置状態(フォトマスクの直交度など)や、露光処理履歴(露光処理したロットのロットIDと露光処理日時)などを含んで構成されている。露光装置1は、取得したログデータをデータ収集装置3に送信する。
レジスト塗布現像装置2は、ウェハにレジストを塗布して露光装置1に送出するとともに、露光装置1で露光転写されたウェハの現像処理を行う。レジスト塗布現像装置2は、ロット単位で塗布処理や現像処理を行う。レジスト塗布現像装置2は、レジストのベーク温度、ベーク時間、レジスト膜厚、反射防止膜の膜厚などに関するログデータを取りながら塗布処理や現像処理を行う。レジスト塗布現像装置2で生成されるログデータには、レジスト塗布現像装置2の装置状態(レジストのベーク温度)や、塗布・現像処理履歴(塗布・現像処理したロットのロットIDと塗布・現像処理日時)などを含んで構成されている。レジスト塗布現像装置2は、取得したログデータをデータ収集装置3に送信する。レジスト塗布現像装置2で現像処理されてレジストパターンが形成されたウェハは、ロット毎に検査装置6へ運ばれる。
データ収集装置3は、露光装置1やレジスト塗布現像装置2から送られてくるログデータを受信することによってログデータを収集する。データ収集装置3は、収集したログデータを蓄積しておく。
データ解析装置4は、データ収集装置3にアクセスしてデータ収集装置3内のログデータを解析し、露光装置1やレジスト塗布現像装置2が異常状態の間に処理(露光処理、塗布処理、現像処理)されたウェハのロットIDを異常ロットIDとして検出する。データ解析装置4は、検出した異常ロットIDを、制御データ予測装置5に送信する。
検査装置6は、レジスト塗布現像装置2から運ばれてくるレジストパターンが形成されたウェハを検査する装置である。検査装置6は、ウェハに施された加工処理の処理結果として、ウェハ上に形成されたレジストパターンの寸法測定やOL(重ね合わせ)精度をロット毎に測定する。検査装置6は、測定結果を検査データ(品質データ)として制御データ予測装置5に送信する。
制御データ予測装置5は、異常ロットIDに基づいて、検査データの中から測定結果の異常値(異常処理結果)を特定して削除する。制御データ予測装置5は、測定結果の異常値を削除した検査データに基づいて、露光装置1やレジスト塗布現像装置2のフィードバック制御に用いる制御データ(制御因子とその制御量)を予測する。制御データ予測装置5は、予測した制御データを生成して制御データ送信装置7に送信する。
制御データ送信装置7は、制御データ予測装置5から送られてくる制御データを用いて露光装置1とレジスト塗布現像装置2を制御する。半導体製造システム10内の各装置は、図示しないホスト装置と接続されており、ホスト装置から送られてくる指示情報などに基づいて動作する。
つぎに、データ解析装置4と制御データ予測装置5の詳細な構成について説明する。図2は、データ解析装置と制御データ予測装置の構成を示すブロック図である。データ解析装置4は、ログデータ入力部41、装置異常判定部42、異常ロットID抽出部44、異常ロットID出力部45を備えている。
ログデータ入力部41は、データ収集装置3に蓄積されているログデータを入力し、装置異常判定部42や異常ロットID抽出部44に送る。装置異常判定部42は、ログデータに基づいて、露光装置1やレジスト塗布現像装置2に装置異常が発生したか否かを判定する。装置異常判定部42は、例えばログデータがフォトマスクの直交度である場合、直交度が所定値(例えば0.05(μrad))より大きければ露光装置1の装置異常であると判断する。装置異常判定部42は、装置異常と判断した場合に、ログデータに基づいて装置異常の発生した日時を特定する。装置異常判定部42は、装置異常と判断した装置に関する情報(装置IDなど)と、装置異常の発生した日時と、を異常ロットID抽出部44に送信する。
異常ロットID抽出部44は、装置異常の発生した装置の装置ID、装置異常の発生した日時に基づいて、ログデータ内から異常ロットIDを抽出する。異常ロットID抽出部44は、抽出した異常ロットIDを異常ロットID出力部45に送り、異常ロットID出力部45が異常ロットIDを制御データ予測装置5に出力する。
制御データ予測装置5は、異常ロットID入力部51、検査データ入力部52、検査データ判定部53、制御データ作成部54、制御データ出力部55を備えている。異常ロットID入力部51は、データ解析装置4の異常ロットID出力部45と接続されている。異常ロットID入力部51は、異常ロットID出力部45から送られてくる異常ロットIDを入力し、検査データ判定部53に送る。検査データ入力部52は、検査装置6から送られてくるレジストパターンの測定結果(検査データ)を入力し、検査データ判定部53に送る。
検査データ判定部53は、異常ロットIDに基づいて、各検査データ内の測定値が異常値であるか否かを判定し、検査データの中から測定結果の異常値を抽出する。検査データ判定部53は、検査データから異常値を除外して制御データ作成部54に送る。
制御データ作成部54は、検査データ判定部53から送られてくる検査データに基づいて、露光装置1やレジスト塗布現像装置2のフィードバック制御に用いる制御データを作成する。制御データ作成部54は、作成した制御データを制御データ出力部55に送り、制御データ出力部55が制御データを制御データ送信装置7に送信する。
図3は、実施の形態に係る制御データ予測装置のハードウェア構成を示す図である。制御データ予測装置5は、CPU(Central Processing Unit)91、ROM(Read Only Memory)92、RAM(Random Access Memory)93、表示部94、入力部95を有している。制御データ予測装置5では、これらのCPU91、ROM92、RAM93、表示部94、入力部95がバスラインを介して接続されている。
CPU91は、制御データの作成を行うコンピュータプログラムである制御データ作成プログラム97を用いて制御データを作成する。表示部94は、液晶モニタなどの表示装置であり、CPU91からの指示に基づいて、制御データを作成する際に用いる種々の情報(検査データ、異常ロットIDなど)を表示する。入力部95は、マウスやキーボードを備えて構成され、使用者から外部入力される指示情報(制御データの作成に必要なパラメータ等)を入力する。入力部95へ入力された指示情報は、CPU91へ送られる。
制御データ作成プログラム97は、ROM92内に格納されており、バスラインを介してRAM93へロードされる。CPU91はRAM93内にロードされた制御データ作成プログラム97を実行する。具体的には、制御データ予測装置5では、使用者による入力部95からの指示入力に従って、CPU91がROM92内から制御データ作成プログラム97を読み出してRAM93内のプログラム格納領域に展開して各種処理を実行する。CPU91は、この各種処理に際して生じる各種データをRAM93内に形成されるデータ格納領域に一時的に記憶させておく。
本実施の形態の制御データ予測装置5で実行される制御データ作成プログラム97は、前述の各部(異常ロットID入力部51、検査データ入力部52、検査データ判定部53、制御データ作成部54、制御データ出力部55)を含むモジュール構成となっており、上記各部が主記憶装置上にロードされ、異常ロットID入力部51、検査データ入力部52、検査データ判定部53、制御データ作成部54、制御データ出力部55が主記憶装置上に生成される。
また、本実施形態の制御データ予測装置5で実行される制御データ作成プログラム97を、インターネット等のネットワークに接続されたコンピュータ上に格納し、ネットワーク経由でダウンロードさせることにより提供するように構成してもよい。また、本実施形態の制御データ予測装置5で実行される制御データ作成プログラム97をインターネット等のネットワーク経由で提供または配布するように構成してもよい。また、本実施形態の制御データ作成プログラム97を、ROM等に予め組み込んで制御データ予測装置5に提供するように構成してもよい。
つぎに、半導体製造システム10の動作処理手順について説明する。図4は、半導体製造システムの動作手順を説明するための図であり、図5は、半導体製造システムの動作手順を示すフローチャートである。
レジスト塗布現像装置2は、ウェハにレジストの塗布を行なうとともに、レジストを塗布したウェハを露光装置1に送出する。露光装置1は、ウェハの露光処理を行うとともに、露光後のウェハをレジスト塗布現像装置2に送出する。レジスト塗布現像装置2は、ウェハの現像処理を行う(ステップS10)。現像処理されたウェハは、現像後ロット30としてロット毎に検査装置6に送られる。
検査装置6は、現像後ロット30を検査するため、ウェハ上に形成されたレジストパターンの寸法やOL精度をロット毎に測定する(B1、B2)(ステップS20)。検査装置6は、測定結果を検査データ31(QCデータ)として制御データ予測装置5に送信する。
露光装置1は、所定のタイミングで自装置の状態に関する履歴情報(ログデータL1)を生成し、データ収集装置3にログデータL1を送信する。ログデータL1には、検査装置6に送られた現像後ロット30内のウェハを露光した際のデータなどが含まれている。
また、レジスト塗布現像装置2は、所定のタイミングで自装置の状態に関する履歴情報(ログデータL2)を生成し、データ収集装置3にログデータL2を送信する。ログデータL2には、検査装置6に送られた現像後ロット30内のウェハを塗布や現像した際のデータなどが含まれている。
データ収集装置3は、露光装置1から送られてくるログデータL1とレジスト塗布現像装置2から送られてくるログデータL2を収集し、メモリなどの記憶部内に記憶させておく(A1)。
データ解析装置4は、データ収集装置3にアクセスしてデータ収集装置3からログデータL1,L2を受信する。データ解析装置4は、ログデータL1,L2を解析することによって、ログデータL1,L2内から装置異常時に処理されたロットのID(ロットID)を検出する(A2)(ステップS30)。
具体的には、データ解析装置4のログデータ入力部41は、データ収集装置3に蓄積されているログデータL1,L2を入力し、装置異常判定部42や異常ロットID抽出部44に送る。装置異常判定部42は、ログデータL1,L2に基づいて、露光装置1やレジスト塗布現像装置2に装置異常が発生したか否かを判定する。また、装置異常判定部42は、装置異常と判断した場合に、ログデータL1,L2に基づいて装置異常の発生した日時を特定する。装置異常判定部42は、装置異常と判断した装置の装置IDと、装置異常の発生した日時を異常ロットID抽出部44に送信する。
異常ロットID抽出部44は、装置異常の発生した装置の装置ID、装置異常の発生した日時に基づいて、ログデータL1,L2内から異常ロットID21を抽出する。異常ロットID抽出部44は、抽出した異常ロットID21を異常ロットID出力部45から制御データ予測装置5に出力する。
制御データ予測装置5は、異常ロットID21と検査データ31とを付き合わせて、各測定値を削除するか否かを判断する。すなわち、制御データ予測装置5は、異常ロットID21に基づいて、検査データ31内の各測定値が異常値であるか否かを判別し(ステップS40)、検査データ31の中から測定値の異常値を削除する(ステップS50)。制御データ予測装置5は、検査データ31の中から測定結値の異常値を除いた検査データ31に基づいて、露光装置1やレジスト塗布現像装置2のフィードバック制御に用いる制御データを予測する(ステップS60)。
具体的には、制御データ予測装置5の異常ロットID入力部51は、データ解析装置4から送られてくる異常ロットID21を入力し、検査データ判定部53に送る。また、検査データ入力部52は、検査装置6から送られてくる検査データ31を入力し、検査データ判定部53に送る。
そして、検査データ判定部53は、異常ロットID21に基づいて、検査データ31内の各測定値が異常値であるか否かを判定し、検査データ31の中から測定値の異常値を特定して抽出する(C1)。検査データ判定部53は、検査データ31から異常値を除外して制御データ作成部54に送る(C2)。
ここで、検査データ31内から除外する異常値について説明する。図6は、異常値の除外処理を説明するための図である。なお、ここでは検査データ31内の測定結果がレジスト寸法である場合について説明する。
データ解析装置4は、ログデータL1,L2をログ解析することによって、装置状態が異常であったと判断されるロットIDを検出する。したがって、データ解析装置4では、ロット毎に装置状態が異常であったか否かが判定されている。そして、装置状態が異常(NG)であったロットのIDを異常ロットIDとして制御データ予測装置5に送っている。
制御データ予測装置5は、異常ロットIDに対応するロットのレジスト寸法を異常値であると判断して、測定結果の中から除外する。これにより、制御データ予測装置5は、異常値の含まれていない測定結果を生成することが可能となる。
制御データ作成部54は、検査データ判定部53から送られてくる検査データに基づいて、露光装置1やレジスト塗布現像装置2のフィードバック制御に用いる制御データ61を予測して作成する(C3)。制御データ作成部54は、例えば直近の5ロット分の検査データ31に基づいて制御データ61を作成する。
例えば、制御対象がレジスト寸法である場合、制御データ作成部54は、直近の5ロット分の測定結果(レジスト寸法)から測定結果の平均値を算出する。そして、制御データ作成部54は、所望のレジスト寸法と、算出したレジスト寸法の平均値と、に基づいて、レジスト寸法を制御するための条件(露光照射量、ベーク温度など)を算出する。なお、以下では、レジスト寸法を制御するための設定条件が露光照射量である場合について説明する。例えば、所望のレジスト寸法が50nmであり、算出したレジスト寸法の平均値が45nmである場合、制御データ作成部54は、5nm分だけレジスト寸法が太くなるような露光照射量を算出し、算出した露光照射量を制御データ61に設定する。
なお、制御データ作成部54は、測定結果毎にレジスト寸法を制御するための露光照射量を算出してもよい。この場合、制御データ作成部54は、算出した5ロット分の露光照射量を平均化して露光照射量を求める。そして、求めた露光照射量を制御データ61に設定する。
制御データ作成部54は、作成した制御データ61を制御データ出力部55から制御データ送信装置7に送信する。制御データ送信装置7は、制御データ予測装置5から送られてくる制御データ61を用いて露光装置1とレジスト塗布現像装置2を制御する(D1)(ステップS70)。これにより、半導体製造システム10では、検査装置6で測定された処理結果を露光装置1やレジスト塗布現像装置2の制御に反映してウェハの加工処理を行う。
半導体製造システム10では、このようなフィードバック制御によって、露光工程、エッチング工程、成膜工程などの各半導体製造工程が行われ、半導体製造装置によって半導体装置が製造される。
なお、データ解析装置4によるログデータL1,L2の解析処理と、検査装置6によるレジストパターンの寸法測定やOL精度測定は、何れを先に行ってもよいし、同時に行ってもよい。
また、本実施の形態では、異常ロットID21が送られてきたロットの測定結果を異常値と判定して測定結果から除外したが、露光装置1やレジスト塗布現像装置2の装置状態に応じた割合で測定結果に入れておいてもよい。この場合、データ解析装置4は、ログデータL1,L2に基づいて、露光装置1やレジスト塗布現像装置2の装置状態に応じた重み付け係数を異常ロットID毎に設定する。重み付け係数は、制御データ予測装置5が、制御データ61を作成する際に用いる測定結果への重み付けであり、重み付けが「0」の測定結果は測定結果から除外される。一方、重み付けが「1」の測定結果は測定結果としてそのまま採用される。制御データ予測装置5は、測定結果に重み付け係数に従った重み付けを行って制御データ61を作成する。
ここで、露光装置1やレジスト塗布現像装置2の装置状態と、重み付け係数との関係について説明する。データ解析装置4は、露光装置1やレジスト塗布現像装置2の装置状態を、ログデータL1,L2に基づいて判断する。なお、ここでは、露光装置1の装置状態について説明する。
図7は、露光装置のレチクル直交度と重み付け係数の関係を示す情報テーブルであり、図8は、露光装置のレチクル回転量と重み付け係数の関係を示す情報テーブルである。図7に示すレチクル直交度に関する情報テーブル101は、ログデータL1(詳細露光データ)のレチクル直交度と重み付け係数との対応関係を示している。また、図8に示すレチクル回転量に関する情報テーブル102は、ログデータL1(詳細露光データ)のレチクル回転量と重み付け係数との対応関係を示している。
データ解析装置4は、レチクル直交度に関する情報テーブル101やレチクル回転量に関する情報テーブル102に基づいて、異常ロットID21に重み付け係数を設定する。例えば、レチクル直交度が0.05以上である場合、データ解析装置4の装置異常判定部42は、重み付け係数を「0」に設定する。また、レチクル直交度が0.04以上で0.05未満である場合、装置異常判定部42は、重み付け係数を「0.5」に設定する。また、レチクル直交度が0.04未満である場合、装置異常判定部42は、重み付け係数を「1」に設定する。
さらに、レチクル回転量が0.05以上である場合、装置異常判定部42は、重み付け係数を「0」に設定する。また、レチクル回転量が0.04以上で0.05未満である場合、装置異常判定部42は、重み付け係数を「0.5」に設定する。また、レチクル回転量が0.04未満である場合、装置異常判定部42は、重み付け係数を「1」に設定する。
データ解析装置4の異常ロットID抽出部44は、装置異常判定部42で設定された重み付け係数と異常ロットID21とを対応付ける。そして、重み付け係数と異常ロットID21とが対応付けられた情報が制御データ予測装置5に送信される。
制御データ予測装置5の検査データ判定部53は、異常ロットID21に対応するロットの測定結果(異常値)を抽出する際に、重み付け係数が「0」の測定結果は、異常値として検査データ31内から削除する。さらに、検査データ判定部53は、削除しなかった他の異常値を重み付け係数に対応付けて検査データ31内に入れ、制御データ作成部54に送る。
制御データ作成部54は、異常値と判断されなかった測定結果と、異常値ではあるが削除されなかった測定結果(重み付け係数と対応付けされた測定結果)と、を用いて制御データ61を作成する。
例えば、直近の5ロットの測定結果の中に重み付け係数が「0.5」である測定結果が含まれている場合、制御データ作成部54は、この測定結果を50%だけフィードバック制御に反映させる。具体的には、所望のレジスト寸法が50nmであり、算出したレジスト寸法の平均値が45nmである場合、制御データ作成部54は、2.5nm分だけレジスト寸法が太くなるような露光照射量を算出する。そして、制御データ作成部54は、正常値と判断された測定結果に基づいて算出された露光照射量と、重み付け係数を用いて算出した露光照射量と、を用いて、次に処理されるロットの露光照射量を算出する。
検査データ判定部53から送られてきた5ロット分の測定結果が100個のデータ(100箇所のレジスト寸法測定値)であり、「0.5」の重み付け係数が設定された測定結果が1つだけであった場合、「0.5」の重み付け係数が設定された測定結果は、1/100の50%分(0.5%)だけ測定結果としてフィードバック制御に反映されることとなる。
なお、本実施の形態では、ロット単位でフィードバック制御する場合について説明したが、ウェハ単位でフィードバック制御してもよい。また、本実施の形態では、レジスト塗布現像装置2がレジストの塗布処理と現像処理を行う構成としたが、レジストの塗布処理を行う装置と現像処理を行う装置を別々の構成としてもよい。
このように実施の形態によれば、ログデータL1,L2に基づいて、検査データ31から異常値を除外しているので、露光装置1やレジスト塗布現像装置2などの半導体製造装置の状態に応じた正確な制御データを作成することができる。したがって、半導体製造装置の状態に応じた正確な加工処理制御を行うことが可能になる。これにより、正確な制御データで半導体装置を製造できるので、製品歩留まりを向上させることが可能になる。また、検査データ31の測定値に半導体製造装置の状態に応じた重み付け係数を設定して制御データを作成しているので、半導体製造装置の状態に応じたさらに正確な制御データを作成することができる。
1 露光装置、2 レジスト塗布現像装置、3 データ収集装置、4 データ解析装置、5 制御データ予測装置、6 検査装置、10 半導体製造システム、53 検査データ判定部、54 制御データ作成部、97 制御データ作成プログラム、L1,L2 ログデータ
Claims (4)
- 半導体製造装置によって加工処理されたウェハの処理結果を測定するとともに、測定された処理結果を前記半導体製造装置の制御に反映して前記加工処理を制御する半導体製造装置の制御方法において、
前記半導体製造装置の動作状態の履歴であるログデータに基づいて、前記処理結果の中から前記半導体製造装置の動作状態が異常状態であった場合に加工処理されたウェハの処理結果を異常処理結果として特定する異常処理特定ステップと、
前記測定された処理結果および前記異常処理結果に基づいて前記半導体製造装置の制御データを作成する制御データ作成ステップと、
作成した制御データを用いて前記半導体製造装置の加工処理を制御する制御ステップと、
を含むことを特徴とする半導体製造装置の制御方法。 - 前記異常処理特定ステップは、前記ログデータに基づいて、前記異常処理結果に前記制御データを作成する際の重み付けを設定し、
前記制御データ作成ステップは、前記測定された処理結果および重み付けされた異常処理結果に基づいて前記半導体製造装置の制御データを作成することを特徴とする請求項1に記載の半導体製造装置の制御方法。 - 前記制御データ作成ステップは、
前記測定された処理結果の中から前記異常処理結果に対応する処理結果を除外し、除外しなかった残りの処理結果を用いて前記半導体製造装置の制御データを作成することを特徴とする請求項1に記載の半導体製造装置の制御方法。 - 請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体製造装置の制御方法によって加工処理を制御して半導体装置を製造することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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