JP2010033734A - Organic electroluminescent device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic EL device structured to prevent a light leakage and to suppress the damage of a sealing film. <P>SOLUTION: The organic EL device includes an element substrate 20A having a plurality of light-emitting elements 21 forming a display region, and a thin-film sealing layer F formed covering the plurality of light-emitting elements 21; a counter substrate 30A facing and stuck to the element substrate 20A; and a sealing layer 33 provided along the peripheral edge part of the facing region of the element substrate 20A and counter substrate 30A. The counter substrate 30A has a support substrate 31, a cushioning layer 34 deformable under applied stress, and a color filter layer 32 deformable following the deformation of the cushioning layer 34. The color filter layer 32 and the cushioning layer 34 are deformed following the surface shape of the thin-film sealing layer F based on the stress that sticks the element substrate 20A and counter substrate 30A to each other. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンス装置に関するものである。   The present invention relates to an organic electroluminescence device.

情報機器の多様化等に伴い、消費電力が少なく軽量化された平面表示装置のニーズが高まっている。この様な平面表示装置の一つとして、有機発光層を備えた有機エレクトロルミネッセンス装置(以下「有機EL装置」という)が知られている。   With the diversification of information equipment, the need for flat display devices that consume less power and are lighter is increasing. As one of such flat display devices, an organic electroluminescence device (hereinafter referred to as “organic EL device”) having an organic light emitting layer is known.

有機EL装置は、陽極と陰極との間に有機発光層(発光層)や、電子注入層などの機能層が挟持される構成の有機発光素子(有機EL素子)を複数備えている。これらのうち、陰極や電子注入層は、電子を放出しやすい特性を備える材料で形成することから、大気中に存在する水分と反応し劣化しやすい。これらが劣化すると、ダークスポットと呼ばれる非発光領域を形成してしまう。そのため、有機EL装置では、有機発光素子から大気中の水分を遮断する封止構造が重要となる。   The organic EL device includes a plurality of organic light emitting elements (organic EL elements) having a structure in which an organic light emitting layer (light emitting layer) and a functional layer such as an electron injection layer are sandwiched between an anode and a cathode. Among these, the cathode and the electron injection layer are formed of a material having a characteristic of easily emitting electrons, and thus easily react with moisture present in the atmosphere and deteriorate. When these deteriorate, a non-light-emitting region called a dark spot is formed. Therefore, in the organic EL device, a sealing structure that blocks moisture in the atmosphere from the organic light emitting element is important.

近年では、数μmの厚みの薄い封止膜を用いて有機発光素子を外部雰囲気と遮断することが可能となっている。このような封止技術を用いると、内部に気体や液体を封入するための中空構造を備えず完全な固体構造が実現可能となる。固体構造を備える有機EL装置は、大幅な薄型化や軽量化が可能となり、更なる高機能・高品質な有機EL装置とすることが期待できる。   In recent years, it has become possible to shield the organic light emitting element from the external atmosphere using a thin sealing film having a thickness of several μm. When such a sealing technique is used, a complete solid structure can be realized without a hollow structure for enclosing gas or liquid inside. An organic EL device having a solid structure can be significantly reduced in thickness and weight, and can be expected to be an organic EL device with higher functionality and quality.

ところで、有機EL装置の発光方式には、有機EL素子が形成された基板側から基板を介して取り出す所謂ボトムエミッション方式と、有機EL素子が放つ光を該素子が形成された基板側とは反対側から取り出す所謂トップエミッション方式の2種類の発光方式がある。この2種類の発光方式を比較すると、トップエミッション方式の有機EL装置は、画素開口率を上げやすく、表示画面の高精細化・高画質化に有利な構造となっている。色変換を行うカラーフィルタと組み合わせると、トップエミッション構造の利点を活かし且つフルカラー表示が可能な、高性能な有機EL装置とすることができる。   By the way, the light emission method of the organic EL device is opposite to the so-called bottom emission method in which the organic EL element is taken out from the substrate side through the substrate and the light emitted from the organic EL element is opposite to the substrate side on which the element is formed. There are two types of light emission methods, the so-called top emission method, which is taken out from the side. Comparing these two types of light emission methods, the top emission type organic EL device has a structure that is easy to increase the pixel aperture ratio and is advantageous for high definition and high image quality of the display screen. When combined with a color filter that performs color conversion, a high-performance organic EL device that takes full advantage of the top emission structure and is capable of full color display can be obtained.

一方で、トップエミッション方式の有機EL装置は、通常、基板上に有機EL素子を駆動させるための駆動素子や、複数の有機EL素子、更には有機EL素子の間の領域に形成される隔壁、などが積層して形成されている。そのため、上述の封止膜を用いて有機EL素子の表面を覆うと、封止膜の表面は構成要素に起因する下地形状を反映し、凹凸形状となる。このような凹凸形状を備えた封止膜にカラーフィルタを重ねて貼り合わせると、両者を貼り合わせた面には、封止膜表面の凹凸形状に由来する隙間が発生するおそれがある。このような隙間は、透過する光を屈折・散乱させるため、表示品質が低下してしまう。   On the other hand, a top emission type organic EL device usually has a drive element for driving an organic EL element on a substrate, a plurality of organic EL elements, and a partition wall formed in a region between the organic EL elements, Etc. are laminated. For this reason, when the surface of the organic EL element is covered with the above-described sealing film, the surface of the sealing film reflects the base shape caused by the constituent elements and becomes an uneven shape. When a color filter is laminated and bonded to a sealing film having such a concavo-convex shape, a gap derived from the concavo-convex shape on the surface of the sealing film may be generated on the surface where both are bonded. Such a gap refracts and scatters the transmitted light, so that the display quality deteriorates.

また、上述の薄い封止膜は、外圧や熱衝撃などの応力で破損しやすい。そのため、カラーフィルタと有機EL装置とを貼り合わせる際に異物を挟み込んでしまうと、封止膜が損傷し封止性能を低下させるおそれがある。更には、貼り合わせ操作において加わる応力が、封止層や有機EL素子を損傷させることも考えられる。ひとたび封止膜が破損すると、破損部分から連続して水分が浸入し、発光素子が劣化し続けることになる。すると、封止膜の破損部分にダークスポットが発生するのみならず、破損部分を中心としてダークスポットが成長し、非発光部分を周囲に広げてしまうため、製品寿命が著しく短くなってしまう。   Moreover, the above-mentioned thin sealing film is easily damaged by stress such as external pressure or thermal shock. For this reason, if a foreign substance is sandwiched between the color filter and the organic EL device, the sealing film may be damaged and the sealing performance may be reduced. Furthermore, it is conceivable that stress applied in the bonding operation damages the sealing layer and the organic EL element. Once the sealing film is broken, moisture continuously enters from the broken portion, and the light emitting element continues to deteriorate. Then, not only a dark spot is generated in the damaged portion of the sealing film, but also the dark spot grows around the damaged portion and spreads the non-light emitting portion to the periphery, so that the product life is remarkably shortened.

このような課題に対して、例えば特許文献1から3に挙げられる技術が提案されている。特許文献1では、接着剤の他に弾力性のある応力緩和層を介して、有機EL発光層とカラーフィルタ層とを貼り合わせている。この構成により、貼り合わせ時や環境変化等による応力を緩和し、有機EL発光層の破損を抑制している。   For such a problem, for example, techniques listed in Patent Documents 1 to 3 have been proposed. In Patent Document 1, an organic EL light emitting layer and a color filter layer are bonded together via an elastic stress relaxation layer in addition to an adhesive. With this configuration, stress due to bonding or environmental change is alleviated, and damage to the organic EL light emitting layer is suppressed.

特許文献2では、有機EL発光層およびカラーフィルタ層の貼り合わせ面に、それぞれヤング率のことなる形成材料を用いたオーバーコート層を設けており、これらを貼り合わせることで有機EL発光層の表面の凹凸を埋め、隙間の発生を抑制している。また、低ヤング率のオーバーコート層により、貼り合わせ時や環境変化等による応力を緩和し、有機EL発光層の破損を抑制している。   In Patent Document 2, an overcoat layer using a forming material having a different Young's modulus is provided on the bonding surface of the organic EL light emitting layer and the color filter layer, and the surface of the organic EL light emitting layer is bonded to each other. The unevenness of the surface is filled, and the generation of gaps is suppressed. Further, the overcoat layer having a low Young's modulus relieves stress due to bonding or changes in the environment, and suppresses damage to the organic EL light emitting layer.

特許文献3では、有機EL素子とカラーフィルタとの離間距離を異物の大きさよりも広く(40μm以上)しており、有機EL素子とカラーフィルタとの間には接着剤を充填している。この構成により、挟まれる異物は接着剤の中に埋没し、素子の損傷を防ぐ構成となっている。
特開2003−282259号公報 特開2003−282261号公報 特開2004−214155号公報
In Patent Document 3, the distance between the organic EL element and the color filter is wider than the size of the foreign matter (40 μm or more), and an adhesive is filled between the organic EL element and the color filter. With this configuration, foreign matter to be sandwiched is buried in the adhesive to prevent damage to the element.
JP 2003-282259 A JP 2003-282261 A JP 2004-214155 A

上記方法はいずれも、有機発光層とカラーフィルタとの間に、接着剤層やオーバーコート層等の層を挟む構成となっている。これらの層は、有機発光層の表面の凹凸を埋め、異物を層中に埋没させるという目的を達成するのに十分な厚みを備えており、有機発光層とカラーフィルタとは通常10μm以上の離間距離を有する。上記目的を達成するためには、離間距離が広い(接着剤層やオーバーコート層が厚い)方が効果的である。   In any of the above methods, a layer such as an adhesive layer or an overcoat layer is sandwiched between the organic light emitting layer and the color filter. These layers have sufficient thickness to achieve the purpose of filling the irregularities on the surface of the organic light emitting layer and burying foreign matter in the layer, and the organic light emitting layer and the color filter are usually separated by 10 μm or more. Have a distance. In order to achieve the above object, it is effective that the separation distance is wide (the adhesive layer or the overcoat layer is thick).

しかし、離間距離が広がると、有機EL素子から射出された光が、対応するカラーフィルタの着色層に入射するだけでなく、着色層以外の方向(斜め方向)にも照射される「光漏れ」が生じやすくなる。   However, when the separation distance increases, the light emitted from the organic EL element not only enters the colored layer of the corresponding color filter but also irradiates in a direction other than the colored layer (oblique direction). Is likely to occur.

光漏れを生じると、例えば、特定の有機EL素子のみを発光させ、対応するカラーフィルタの色(例えば赤)を表示させる場合に、隣り合う異なる色(例えば緑)のカラーフィルタにも光が入射してしまい混色してしまう。混色を防ぐためには隣り合う有機EL素子からの光が入射しないように隣り合う画素間を広げる必要があるため、高精細表示ができなくなる。また、有機EL素子を配置する領域から周辺部に光がもれると、外部を覆う筐体等で反射して表示部周縁の表示品質が低下してしまう。   When light leakage occurs, for example, when only a specific organic EL element emits light and a corresponding color filter color (for example, red) is displayed, light also enters adjacent color filters (for example, green). And mixed colors. In order to prevent color mixing, it is necessary to widen the adjacent pixels so that light from the adjacent organic EL elements does not enter, so high definition display cannot be performed. Further, when light leaks from the region where the organic EL element is disposed to the peripheral portion, the light is reflected by a casing or the like covering the outside, and the display quality at the periphery of the display portion is deteriorated.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、封止膜とカラーフィルタ層との離間距離を縮めて光漏れを防ぎ、更に封止膜に損傷を与えない構造を備えた有機EL装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and the organic EL device has a structure in which the separation distance between the sealing film and the color filter layer is reduced to prevent light leakage and further, the sealing film is not damaged. An object is to provide an EL device.

上記の課題を解決するため、本発明の第1の有機エレクトロルミネッセンス装置は、表示領域を形成する複数の発光素子と、前記複数の発光素子を覆って形成された封止層と、を有する素子基板と、前記素子基板に対向し該素子基板と貼り合わされる対向基板と、前記素子基板と前記対向基板とが対向する領域の周縁部に沿って設けられ、前記素子基板と前記対向基板とを固定するシール層と、を備え、前記対向基板は、支持基板と、前記支持基板上の少なくとも前記表示領域と対向する領域に設けられた、加わる応力に対して変形可能であるクッション層と、前記クッション層上の少なくとも前記表示領域と対向する領域に設けられた、前記クッション層の変形に追従して変形可能であるカラーフィルタ層と、を有し、前記カラーフィルタ層および前記クッション層は、前記素子基板と前記対向基板とを貼合する応力に基づいて、前記封止層の表面形状に追従して変形していることを特徴とする。   In order to solve the above problems, a first organic electroluminescence device of the present invention includes an element having a plurality of light emitting elements forming a display region and a sealing layer formed to cover the plurality of light emitting elements. A substrate, a counter substrate facing the element substrate and bonded to the element substrate, and a peripheral edge of a region where the element substrate and the counter substrate oppose each other, and the element substrate and the counter substrate are A sealing layer for fixing, the counter substrate is provided with a support substrate, a cushion layer provided at least in a region facing the display region on the support substrate, and capable of being deformed against an applied stress, and A color filter layer provided on at least a region facing the display region on the cushion layer and deformable following the deformation of the cushion layer, and the color filter And the cushion layer, based on the stress to be bonded and the counter substrate and the element substrate, characterized in that it deforms to follow the surface shape of the sealing layer.

この構成によれば、クッション層とカラーフィルタ層とは、封止層の表面形状を反映した形状に変形し、封止層表面の凹凸形状を埋めて密着する。そのため、散乱源となる界面の隙間を生じず、表示品質の劣化を防ぐことができる。また、カラーフィルタ層と発光素子との離間距離を狭くすることができるため、光漏れを防ぐことができる。   According to this configuration, the cushion layer and the color filter layer are deformed into a shape reflecting the surface shape of the sealing layer, and the concave and convex shapes on the surface of the sealing layer are filled and adhered. For this reason, a gap at the interface that becomes a scattering source does not occur, and deterioration of display quality can be prevented. In addition, since the separation distance between the color filter layer and the light emitting element can be reduced, light leakage can be prevented.

更に、貼り合わせを行う際に異物を挟み込んだ場合であっても、異物の形状に応じて、クッション層およびカラーフィルタ層が変形し、異物を埋没させることができる。そのため、異物が封止層や発光素子を損傷することがなく、信頼性の高い有機EL装置とすることができる。   Furthermore, even when a foreign object is sandwiched when bonding is performed, the cushion layer and the color filter layer are deformed according to the shape of the foreign object, and the foreign object can be buried. Therefore, the foreign substance does not damage the sealing layer and the light emitting element, and a highly reliable organic EL device can be obtained.

また、上記の課題を解決するため、本発明の第2の有機エレクトロルミネッセンス装置は、表示領域を形成する複数の発光素子と、前記複数の発光素子を覆って形成された封止層と、を有する素子基板と、前記素子基板に対向し該素子基板と貼り合わされる対向基板と、前記素子基板と前記対向基板とが対向する領域の周縁部に沿って設けられ、前記素子基板と前記対向基板とを固定するシール層と、を備え、前記対向基板は、支持基板と、前記支持基板上の少なくとも前記表示領域と対向する領域に設けられたクッション層と、前記クッション層上の少なくとも前記表示領域と対向する領域に設けられたカラーフィルタ層と、を有し、前記カラーフィルタ層および前記クッション層の前記カラーフィルタ側の面は、前記封止層の表面形状に追従した形を有していることを特徴とする。   In order to solve the above problems, a second organic electroluminescence device of the present invention includes a plurality of light emitting elements that form a display region, and a sealing layer that covers the plurality of light emitting elements. An element substrate, a counter substrate facing and bonded to the element substrate, and a peripheral portion of a region where the element substrate and the counter substrate are opposed to each other, the element substrate and the counter substrate And the counter substrate includes a support substrate, a cushion layer provided in a region facing at least the display region on the support substrate, and at least the display region on the cushion layer. A color filter layer provided in a region opposed to the color filter layer, and the color filter side surface of the color filter layer and the cushion layer has a surface shape of the sealing layer Characterized in that it has a follow form.

この構成によれば、カラーフィルタ層およびクッション層が封止層の表面形状に追従した形状をしているため、カラーフィルタ層と封止層との界面では、カラーフィルタ層が封止層表面の凹凸形状を埋めて密着する。そのため、界面において散乱源となる隙間を生じず、高い表示品質の有機EL装置とすることができる。   According to this configuration, since the color filter layer and the cushion layer follow the surface shape of the sealing layer, the color filter layer is on the surface of the sealing layer at the interface between the color filter layer and the sealing layer. Closes the uneven shape and adheres. Therefore, a gap serving as a scattering source does not occur at the interface, and an organic EL device with high display quality can be obtained.

また、上記の課題を解決するため、本発明の第3の有機エレクトロルミネッセンス装置は、表示領域を形成する複数の発光素子と、前記複数の発光素子を覆って形成された封止層と、を有する素子基板と、前記素子基板に対向し該素子基板と貼り合わされる対向基板と、前記素子基板と前記対向基板とが対向する領域の周縁部に沿って設けられ、前記素子基板と前記対向基板とを固定するシール層と、を備え、前記対向基板は、支持基板と、前記支持基板上の少なくとも前記表示領域と対向する領域に設けられた、加わる応力に対して変形可能であるクッション層と、前記クッション層上の少なくとも前記表示領域と対向する領域に設けられた、前記クッション層の変形に追従して変形可能であるカラーフィルタ層と、を有し、前記封止層と前記カラーフィルタ層とは、0.05μm以上3μm以下の膜厚の接着層を介して貼り合わされており、前記カラーフィルタ層および前記クッション層は、前記素子基板と前記対向基板とを貼合する応力に基づいて、前記封止層の表面形状に追従して変形していることを特徴とする。   In order to solve the above problems, a third organic electroluminescence device of the present invention includes a plurality of light emitting elements that form a display region, and a sealing layer that covers the plurality of light emitting elements. An element substrate, a counter substrate facing and bonded to the element substrate, and a peripheral portion of a region where the element substrate and the counter substrate are opposed to each other, the element substrate and the counter substrate The counter substrate includes a support substrate, and a cushion layer provided at least in a region facing the display region on the support substrate and capable of being deformed with respect to applied stress. A color filter layer provided on at least a region facing the display region on the cushion layer, the color filter layer being deformable following the deformation of the cushion layer, and the sealing layer The color filter layer is bonded through an adhesive layer having a thickness of 0.05 μm or more and 3 μm or less, and the color filter layer and the cushion layer are stresses for bonding the element substrate and the counter substrate. Based on the above, it is deformed following the surface shape of the sealing layer.

この構成によれば、本発明の第1の有機エレクトロルミネッセンス装置と同様に、散乱源となる界面の隙間を生じず、表示品質を保つことができる。また、形成される接着層の厚みは0.05μm以上3μm以下となっており、通常のカラーフィルタ層と発光素子との離間距離と比較して、十分薄いものとなっている。そのため、カラーフィルタ層と封止層とを接着しつつも、離間距離は十分に薄く光漏れを防ぐことができる。また、貼り合わせを行う際に異物を挟み込んだ場合には、クッション層が変形して異物を埋没させ、封止層や発光素子の損傷を抑制する。したがって、信頼性の高い有機EL装置とすることができる。   According to this configuration, similarly to the first organic electroluminescence device of the present invention, it is possible to maintain display quality without generating a gap at the interface serving as a scattering source. Further, the thickness of the formed adhesive layer is 0.05 μm or more and 3 μm or less, and is sufficiently thin as compared with the distance between the normal color filter layer and the light emitting element. Therefore, while the color filter layer and the sealing layer are bonded, the separation distance is sufficiently thin and light leakage can be prevented. In addition, in the case where a foreign substance is sandwiched when bonding is performed, the cushion layer is deformed and the foreign substance is buried, and damage to the sealing layer and the light emitting element is suppressed. Therefore, a highly reliable organic EL device can be obtained.

本発明においては、前記クッション層は、吸水率が1%以下であることが望ましい。
吸水率が1%よりも高いと、有機EL装置の製造工程または製造後に高温環境にさらされた場合に、クッション層が吸収している水分がクッション層から脱離し、カラーフィルタ層と封止層との当接する界面で結露するおそれがある。このように結露した水分は、表示品質低下の原因となる。しかしながら、上記構成によれば、クッション層の吸水率が低いため、有機EL装置内への水分の持ち込みが少なく、品質低下を抑制することができる。なお、本発明において吸水率とは、例えば、JIS−K7209「プラスチック−吸水率の求め方」に定められた方法で測定される値である。
In the present invention, the cushion layer preferably has a water absorption of 1% or less.
When the water absorption is higher than 1%, the moisture absorbed by the cushion layer is detached from the cushion layer when exposed to a high-temperature environment during the manufacturing process of the organic EL device or after manufacturing, and the color filter layer and the sealing layer There is a risk of dew condensation at the abutting interface. The moisture thus condensed causes a reduction in display quality. However, according to the said structure, since the water absorption rate of a cushion layer is low, there is little carrying in of the water | moisture content in an organic electroluminescent apparatus, and it can suppress a quality fall. In the present invention, the water absorption is, for example, a value measured by a method defined in JIS-K7209 “Plastics—Determination of water absorption”.

本発明においては、前記クッション層のヤング率が1GPa以下であることが望ましい。
この構成によれば、クッション層が柔軟に変形できるため、熱応力を吸収し、封止層の破損を抑制することができる。そのため、信頼性の高い有機EL装置とすることができる。
In the present invention, it is desirable that the cushion layer has a Young's modulus of 1 GPa or less.
According to this configuration, since the cushion layer can be flexibly deformed, it is possible to absorb thermal stress and suppress damage to the sealing layer. Therefore, a highly reliable organic EL device can be obtained.

本発明においては、前記カラーフィルタ層のヤング率が1GPa以下であることが望ましい。
この構成によれば、カラーフィルタ層も柔軟に変形できるため、クッション層と協働して熱応力を吸収し、封止層の破損を抑制することができる。そのため、より信頼性の高い有機EL装置とすることができる。
In the present invention, it is desirable that the color filter layer has a Young's modulus of 1 GPa or less.
According to this configuration, since the color filter layer can also be flexibly deformed, it is possible to absorb thermal stress in cooperation with the cushion layer and suppress damage to the sealing layer. Therefore, a more reliable organic EL device can be obtained.

本発明においては、前記クッション層、前記カラーフィルタ層及び前記接着層は、ヤング率が1GPa以下であることが望ましい。
この構成によれば、クッション層、カラーフィルタ層及び、これらの層と封止層とを接着して固定する接着層とがいずれも柔軟に変形できるため、協働して熱応力を吸収し、封止層の破損を抑制することができる。そのため、信頼性の高い有機EL装置とすることができる。
In the present invention, the cushion layer, the color filter layer, and the adhesive layer preferably have a Young's modulus of 1 GPa or less.
According to this configuration, since the cushion layer, the color filter layer, and the adhesive layer that bonds and fixes these layers and the sealing layer can be flexibly deformed, the thermal stress is absorbed in cooperation, Breakage of the sealing layer can be suppressed. Therefore, a highly reliable organic EL device can be obtained.

本発明においては、前記クッション層の形成材料は、エラストマーであることが望ましい。
この構成によれば、柔軟に変形できるエラストマー材料でクッション層が形成されているため、貼り合わせ時に良好に変形し、封止層の表面形状に起因する隙間の発生を防止することができる。また、異物を挟み込んだ場合であっても、良好に異物を埋没させ封止層の損傷を抑制することができる。
In the present invention, it is desirable that the material for forming the cushion layer is an elastomer.
According to this configuration, since the cushion layer is formed of an elastomer material that can be flexibly deformed, the cushion layer is favorably deformed at the time of bonding, and generation of a gap due to the surface shape of the sealing layer can be prevented. Further, even when a foreign object is sandwiched, the foreign object can be satisfactorily buried and damage to the sealing layer can be suppressed.

本発明においては、前記クッション層は、前記カラーフィルタ層よりも厚く形成されていることが望ましい。
この構成によれば、変形の主体がクッション層となり、封止層表面の形状に追従して変形することで、封止層表面の凹凸を吸収することができる。
In the present invention, it is desirable that the cushion layer is formed thicker than the color filter layer.
According to this configuration, the main body of deformation becomes the cushion layer, and by deforming following the shape of the surface of the sealing layer, irregularities on the surface of the sealing layer can be absorbed.

本発明においては、前記カラーフィルタ層は、前記複数の発光素子の各々と対向する複数の着色層と、前記複数の着色層の周囲に設けられた遮光層と、を有し、前記遮光層は、前記クッション層の端部にまで延在して形成されていることが望ましい。
この構成によれば、表示領域の外側へむけて斜めに射出される光があったとしても、クッション層の端部にまで延在している遮光層が良好に遮るために、表示領域の周辺での光漏れを防ぐことができ、高品質な有機EL装置とすることができる。
In the present invention, the color filter layer includes a plurality of colored layers facing each of the plurality of light emitting elements, and a light shielding layer provided around the plurality of colored layers. It is desirable that it is formed to extend to the end of the cushion layer.
According to this configuration, even if there is light emitted obliquely toward the outside of the display area, the light-shielding layer extending to the end of the cushion layer can effectively shield the periphery of the display area. Light leakage can be prevented, and a high-quality organic EL device can be obtained.

本発明の電子機器は、上述の有機エレクトロルミネッセンス装置を備えていることを特徴とする。
この構成によれば、高品質な画像表示が可能であり信頼性が高い電子機器とすることができる。
An electronic apparatus according to the present invention includes the above-described organic electroluminescence device.
According to this configuration, a high-quality image display is possible and an electronic device with high reliability can be obtained.

[第1実施形態]
以下、図1〜図5を参照しながら、本発明の第1実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス装置(有機EL装置)について説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の膜厚や寸法の比率などは適宜異ならせてある。
[First Embodiment]
Hereinafter, an organic electroluminescence device (organic EL device) according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In all the drawings below, the film thicknesses and dimensional ratios of the constituent elements are appropriately changed in order to make the drawings easy to see.

図1は有機EL装置1を模式的に示す断面図である。本発明における有機EL装置は、いわゆる「トップエミッション方式」の有機EL装置である。トップエミッション方式は、光を有機EL素子が配置された基板側ではなく対向する基板側から取り出すため、発光面積が素子基板に配置された各種回路の大きさに影響されず、発光面積を広く確保できる効果がある。そのため、電圧及び電流を抑えつつ輝度を確保することが可能であり、発光素子の寿命を長く維持することができる。   FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing the organic EL device 1. The organic EL device in the present invention is a so-called “top emission type” organic EL device. In the top emission method, light is extracted from the opposite substrate side instead of the substrate side where the organic EL elements are arranged, so the emission area is not affected by the size of various circuits arranged on the element substrate, and a wide emission area is secured. There is an effect that can be done. Therefore, luminance can be secured while suppressing voltage and current, and the lifetime of the light-emitting element can be maintained long.

有機EL装置1は、基板本体20上に複数の発光素子21が配置された素子基板20Aと、支持基板31上にカラーフィルタ層32を備えた対向基板30Aと、を備えている。素子基板20Aには、複数の発光素子21を覆って積層して形成される電極保護層17と有機緩衝層18とガスバリア層19の各層が積層した薄膜封止層(封止層)Fが設けられている。また、対向基板30Aには、支持基板31とカラーフィルタ層32との間に低ヤング率のクッション層34が設けられている。素子基板20Aと対向基板30Aとは、薄膜封止層Fとカラーフィルタ層32とが密着した状態でシール層33を介して貼り合わされている。   The organic EL device 1 includes an element substrate 20A in which a plurality of light emitting elements 21 are disposed on a substrate body 20, and a counter substrate 30A having a color filter layer 32 on a support substrate 31. The element substrate 20 </ b> A is provided with a thin film sealing layer (sealing layer) F in which the electrode protective layer 17, the organic buffer layer 18, and the gas barrier layer 19 are stacked to cover the plurality of light emitting elements 21. It has been. The counter substrate 30 </ b> A is provided with a cushion layer 34 having a low Young's modulus between the support substrate 31 and the color filter layer 32. The element substrate 20A and the counter substrate 30A are bonded to each other through the seal layer 33 in a state where the thin film sealing layer F and the color filter layer 32 are in close contact with each other.

(素子基板)
素子基板20Aが備える基板本体20は、透明基板及び不透明基板のいずれも用いることができる。不透明基板としては、例えばアルミナ等のセラミックス、ステンレススチール等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、また熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂、さらにはそのフィルム(プラスチックフィルム)などが挙げられる。透明基板としては、例えばガラス、窒化ケイ素等の無機物や、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂等の有機高分子(樹脂)、またはこれらの複合材料など光透過性を備えた材料が挙げられる。
(Element board)
As the substrate body 20 provided in the element substrate 20A, either a transparent substrate or an opaque substrate can be used. Examples of opaque substrates include ceramics such as alumina, metal sheets such as stainless steel that have been subjected to insulation treatment such as surface oxidation, thermosetting resins and thermoplastic resins, and films thereof (plastic films). It is done. Examples of the transparent substrate include inorganic materials such as glass and silicon nitride, organic polymers (resins) such as acrylic resins and polycarbonate resins, and materials having optical transparency such as composite materials thereof.

基板本体20の上には、駆動用TFT123等の駆動素子や、走査線、共通線等の配線、及びこれらを電気的に絶縁する無機物または有機物の絶縁膜などを備えた素子層14が形成されている。各種配線や駆動素子はフォトリソグラフィによりパターニングした後エッチングすることにより、また、絶縁膜は蒸着法やスパッタ法など通常知られた方法により適宜形成することができる。素子層14の絶縁膜は、例えば酸窒化シリコンで構成されている。   Formed on the substrate body 20 is an element layer 14 including a driving element such as a driving TFT 123, a wiring such as a scanning line and a common line, and an inorganic or organic insulating film that electrically insulates these. ing. Various wirings and driving elements can be appropriately formed by patterning by photolithography and then etching, and the insulating film can be appropriately formed by a generally known method such as vapor deposition or sputtering. The insulating film of the element layer 14 is made of, for example, silicon oxynitride.

素子層14上には、素子層14が備える配線やTFT素子等に由来する表面の凹凸を緩和するための平坦化層16と、平坦化層16上に配置される発光素子21からの射出光を支持基板31側に反射する金属反射板15と、が形成されている。平坦化層16は、絶縁性の樹脂材料で形成されており、形成方法はフォトリソグラフィを用いるため、材料には例えば感光性のアクリル樹脂や環状オレフィン樹脂などが用いられている。   On the element layer 14, the planarization layer 16 for relaxing the unevenness of the surface derived from the wiring and TFT elements provided in the element layer 14, and the light emitted from the light emitting element 21 disposed on the planarization layer 16. Are formed on the support substrate 31 side. The planarizing layer 16 is formed of an insulating resin material, and photolithography is used as a forming method. Therefore, for example, a photosensitive acrylic resin or a cyclic olefin resin is used as the material.

金属反射板15は、例えばアルミニウムや銅などの金属で形成されており、光を反射する性質を備えている。本実施形態ではアルミニウムで形成されている。金属反射板15は、後述する発光素子21と基板本体20との間で発光素子21に平面的に重なるように配置されている。   The metal reflector 15 is made of, for example, a metal such as aluminum or copper, and has a property of reflecting light. In this embodiment, it is made of aluminum. The metal reflecting plate 15 is disposed so as to overlap the light emitting element 21 in a plane between a light emitting element 21 described later and the substrate body 20.

平坦化層16上であって、金属反射板15と平面的に重なる領域には、発光素子21が配置されており、隣り合う発光素子21の間および発光素子21と基板本体20の端部との間には隔壁13が形成されている。言い換えると、発光素子21は隔壁によって区画されている。隔壁13は平坦化層16と同様に絶縁性の樹脂材料で形成されており、形成方法はフォトリソグラフィを用いるため、材料には例えば感光性のアクリル樹脂や環状オレフィン樹脂などが用いられている。隔壁13は、発光素子21から斜めに光が射出される「光漏れ」を防ぎ、対応するカラーフィルタへ光を入射させる機能を備えている。隣り合う発光素子21からの光漏れを防ぐため、隔壁13は平坦化層16の表面から2μm程度の高さを備えている。   A light emitting element 21 is disposed on the planarizing layer 16 in a region overlapping the metal reflector 15 in a plane, and between the adjacent light emitting elements 21 and between the light emitting element 21 and the end of the substrate body 20. A partition wall 13 is formed between them. In other words, the light emitting element 21 is partitioned by the partition walls. The partition wall 13 is formed of an insulating resin material similarly to the planarization layer 16, and a photolithography method is used for the formation method. For example, a photosensitive acrylic resin or a cyclic olefin resin is used as the material. The partition wall 13 has a function of preventing “light leakage” in which light is emitted obliquely from the light emitting element 21 and allowing light to enter a corresponding color filter. In order to prevent light leakage from the adjacent light emitting elements 21, the partition wall 13 has a height of about 2 μm from the surface of the planarization layer 16.

発光素子21は、陽極10と陰極11に発光層12が挟持されて構成されており、隔壁13に囲まれた平坦化層16上に設けられている。発光素子21の厚みは500nm程度である。発光素子21の上面と隔壁13の頂部とは、1μm以上の厚み(高さ)差を有しており、複数の発光素子21が配置された領域では、1μm以上の起伏を備えた凹凸形状が連続して形成されている。   The light emitting element 21 is configured by sandwiching a light emitting layer 12 between an anode 10 and a cathode 11, and is provided on a planarizing layer 16 surrounded by a partition wall 13. The thickness of the light emitting element 21 is about 500 nm. The top surface of the light emitting element 21 and the top of the partition wall 13 have a thickness (height) difference of 1 μm or more, and in the region where the plurality of light emitting elements 21 are arranged, an uneven shape having undulations of 1 μm or more is formed. It is formed continuously.

陽極10は、平坦化層16上に形成され、素子基板20Aが備える駆動用TFTに接続されている。また陽極10には、仕事関数が5eV以上の正孔注入効果の高い材料が好適に用いられる。このような正孔注入効果の高い材料としては、例えばITO(Indium Thin Oxide:インジウム錫酸化物)等の金属酸化物を挙げることができる。本実施形態では陽極としてITOを用いる。なお、陽極10は必ずしも光透過性を有する必要は無く、アルミニウム等の光を透さない金属電極としてもよい。その場合には、陽極10が光を反射し先述の金属反射板15の機能を兼ね備えるため、金属反射板15は設けなくても良い。   The anode 10 is formed on the planarizing layer 16 and connected to the driving TFT provided in the element substrate 20A. A material having a high hole injection effect having a work function of 5 eV or more is preferably used for the anode 10. Examples of such a material having a high hole injection effect include metal oxides such as ITO (Indium Thin Oxide). In this embodiment, ITO is used as the anode. Note that the anode 10 does not necessarily have light transmittance, and may be a metal electrode such as aluminum that does not transmit light. In that case, since the anode 10 reflects light and has the function of the metal reflector 15 described above, the metal reflector 15 need not be provided.

発光層12は、白色に発光する白色発光層を採用している。本実施形態では、この白色発光層は低分子系の発光材料を用いて真空蒸着法を用いて形成されている。白色の発光材料としては、スリチルアミン系発光層にアントラセン系のドーパントをドーピングした層(青色)と、スリチルアミン系発光層にルブレン系のドーパントをドーピングした層(黄色)と、を同時に発光させて白色発光を実現している発光材料を挙げることができる。ここでは低分子系の発光材料を用いているが、高分子系の発光材料を用いて発光層を形成することとしても良い。また、各層の構成を変化させ、赤色、緑色、青色の3色を同時に発光させて白色発光を取り出す3層構造とすることも可能である。また発光層12としては、赤色に発光する赤色発光層、緑色に発光する緑色発光層、青色に発光する青色発光層を有するようにすることも可能である。   The light emitting layer 12 employs a white light emitting layer that emits white light. In this embodiment, the white light emitting layer is formed using a low molecular weight light emitting material by a vacuum deposition method. As a white light emitting material, white light is emitted by simultaneously emitting a layer (blue) doped with an anthracene dopant in a stiltylamine luminescent layer and a layer (yellow) doped with a rubrene dopant in a stiltylamine luminescent layer. The light emitting material which implement | achieves can be mentioned. Although a low molecular light emitting material is used here, a light emitting layer may be formed using a polymer light emitting material. It is also possible to change the configuration of each layer to have a three-layer structure in which white light is extracted by simultaneously emitting red, green, and blue colors. The light emitting layer 12 may include a red light emitting layer that emits red light, a green light emitting layer that emits green light, and a blue light emitting layer that emits blue light.

なお、陽極10と発光層12との間に、トリアリールアミン多量体(ATP)層(正孔注入層)、トリフェニルジアミン系誘導体(TPD)層(正孔輸送層)、発光層12と陰極11との間にアルミニウムキノリノール(Alq3)層(電子注入層)、LiF(電子注入バッファー層)をそれぞれ成膜し、各電極からの電子および正孔の注入を容易にさせる構成とすることが好ましい。   A triarylamine multimer (ATP) layer (hole injection layer), a triphenyldiamine derivative (TPD) layer (hole transport layer), the light emitting layer 12 and the cathode are provided between the anode 10 and the light emitting layer 12. It is preferable that an aluminum quinolinol (Alq3) layer (electron injection layer) and LiF (electron injection buffer layer) are respectively formed between the electrodes 11 and 11 to facilitate injection of electrons and holes from each electrode. .

陰極11は、発光層12と隔壁13との表面を覆って、少なくとも最も外側(素子基板20Aの外周部に近い側)に配置された隔壁13の頭頂部に至るまで延在して形成されている。陰極11の形成材料には、電子注入効果の大きい(仕事関数が4eV以下)材料が好適に用いられる。例えば、カルシウムやマグネシウム、ナトリウム、リチウム金属、又はこれらの金属化合物である。金属化合物としては、フッ化カルシウム等の金属フッ化物や酸化リチウム等の金属酸化物、アセチルアセトナトカルシウム等の有機金属錯体が該当する。これらの材料を用いる場合には、金属材料は真空蒸着法、金属化合物はECRプラズマスパッタ法やイオンプレーティング法、対向ターゲットスパッタ法などの高密度プラズマ成膜法を用いて陰極11を形成することができる。   The cathode 11 covers the surfaces of the light emitting layer 12 and the partition wall 13 and extends to at least the top of the partition wall 13 disposed on the outermost side (the side closer to the outer peripheral portion of the element substrate 20A). Yes. As a material for forming the cathode 11, a material having a large electron injection effect (a work function of 4 eV or less) is preferably used. For example, calcium, magnesium, sodium, lithium metal, or a metal compound thereof. Examples of the metal compound include metal fluorides such as calcium fluoride, metal oxides such as lithium oxide, and organometallic complexes such as acetylacetonato calcium. When these materials are used, the cathode 11 is formed using a high-density plasma film forming method such as a vacuum deposition method for a metal material and an ECR plasma sputtering method, an ion plating method, or a counter target sputtering method for a metal compound. Can do.

また、これらの材料だけでは、電気抵抗が大きく電極として機能しないため、発光部分を避けるようにアルミニウムや金、銀、銅などの金属層をパターン形成したり、ITOや酸化錫などの透明な金属酸化物導電層と組み合わせて積層体として用いたりしてもよい。なお、本実施形態では、マグネシウム−銀合金(MgAg)を透明性が得られる20nm以下の膜厚に調整して用いている。陰極11の膜厚は約10nmである。   In addition, these materials alone have high electrical resistance and do not function as electrodes, so patterning a metal layer such as aluminum, gold, silver, or copper to avoid the light emitting part, or transparent metals such as ITO or tin oxide You may use it as a laminated body in combination with an oxide conductive layer. In the present embodiment, a magnesium-silver alloy (MgAg) is used by adjusting the film thickness to 20 nm or less so that transparency can be obtained. The thickness of the cathode 11 is about 10 nm.

また、素子基板20A上であって、素子基板20Aの外周部近傍の平坦化層16が形成されていない領域には陰極配線22Aが形成され、陰極配線22Aと陰極11とは補助陰極配線24により接続され導通している。   A cathode wiring 22A is formed on the element substrate 20A in a region where the planarizing layer 16 is not formed near the outer periphery of the element substrate 20A. The cathode wiring 22A and the cathode 11 are connected by the auxiliary cathode wiring 24. Connected and conducting.

陰極配線22Aは、陰極11を不図示の電源まで通電させることを目的として形成されており、主に素子基板20Aの外周部付近に設けられる。陰極配線22Aの形成材料には、アルミニウム−シリコン合金や、チタン、タングステン、タンタルなどの金属が用いられ、これらの材料を単層もしくは多層に積層して形成したものが用いられる。また、陰極配線22Aの最表層には、陽極10と同じ材料であるITOが形成されている。陽極10の形成時と同時に、陰極配線22Aの最表層にもITOを形成しておくことで、製造工程におけるフォトリソグラフィ工程での陰極配線22Aの腐食を防ぐことができる。   The cathode wiring 22A is formed for the purpose of energizing the cathode 11 to a power source (not shown), and is mainly provided near the outer peripheral portion of the element substrate 20A. As a material for forming the cathode wiring 22A, an aluminum-silicon alloy, a metal such as titanium, tungsten, or tantalum is used, and those formed by laminating these materials in a single layer or multiple layers are used. In addition, ITO, which is the same material as the anode 10, is formed on the outermost layer of the cathode wiring 22A. Simultaneously with the formation of the anode 10, by forming ITO on the outermost layer of the cathode wiring 22A, corrosion of the cathode wiring 22A in the photolithography process in the manufacturing process can be prevented.

補助陰極配線24は、陰極11と陰極配線22Aとの通電を補助する目的で陰極11の端部に設けられている。補助陰極配線24の形成材料には、アルミニウム等の導電性の高い金属が用いられ、マスクを介して真空蒸着法やスパッタ法で成膜して形成される。   The auxiliary cathode wiring 24 is provided at the end of the cathode 11 for the purpose of assisting the energization between the cathode 11 and the cathode wiring 22A. As a material for forming the auxiliary cathode wiring 24, a highly conductive metal such as aluminum is used, and the auxiliary cathode wiring 24 is formed by vacuum deposition or sputtering through a mask.

(薄膜封止層)
素子基板20A上には、発光素子21を覆い全面に複数の保護層が積層した薄膜封止層Fが形成されている。この薄膜封止層Fとして、本実施形態の有機EL装置1は、電極保護層17と有機緩衝層18とガスバリア層19とを備えている。
(Thin film sealing layer)
A thin film sealing layer F is formed on the element substrate 20A so as to cover the light emitting element 21 and have a plurality of protective layers laminated on the entire surface. As the thin film sealing layer F, the organic EL device 1 of this embodiment includes an electrode protective layer 17, an organic buffer layer 18, and a gas barrier layer 19.

素子基板20A上には、陰極配線22Aの端面を覆い、陰極配線22A、補助陰極配線24、陰極11の表面を覆って全面に、電極保護層17が形成されている。この電極保護層17により、20nm以下と非常に薄い陰極11や、その下の発光層12の破損を抑制することができる。また、発光素子21への水分の浸入を防ぐガスバリア層としての機能も兼ね備える。   On the element substrate 20A, an electrode protection layer 17 is formed on the entire surface of the element substrate 20A so as to cover the end face of the cathode wiring 22A and the surfaces of the cathode wiring 22A, the auxiliary cathode wiring 24, and the cathode 11. The electrode protective layer 17 can suppress damage to the cathode 11 and the light emitting layer 12 therebelow, which are very thin as 20 nm or less. Further, it also has a function as a gas barrier layer that prevents moisture from entering the light emitting element 21.

電極保護層17はECRスパッタ法やイオンプレーティング法などの高密度プラズマ成膜法を用いて形成することができる。形成前には、酸素プラズマ処理を行って形成した膜の密着性を向上させることが好ましい。   The electrode protective layer 17 can be formed using a high-density plasma film forming method such as an ECR sputtering method or an ion plating method. Before the formation, it is preferable to improve the adhesion of the film formed by oxygen plasma treatment.

電極保護層17は、透明性や密着性、耐水性、絶縁性、更にはガスバリア性を考慮して、酸窒化シリコンや窒化シリコンなどのケイ素化合物で構成することが望ましい。中でも、酸窒化シリコンは、含まれる酸素と窒素の比率を変えることで所望の透湿性を備えた無色透明な膜とすることが可能であるため好ましい。本実施形態では、酸窒化シリコンを用いて電極保護層17を形成している。   The electrode protective layer 17 is preferably composed of a silicon compound such as silicon oxynitride or silicon nitride in consideration of transparency, adhesion, water resistance, insulation, and gas barrier properties. Among these, silicon oxynitride is preferable because it can be a colorless and transparent film having desired moisture permeability by changing the ratio of oxygen and nitrogen contained therein. In this embodiment, the electrode protective layer 17 is formed using silicon oxynitride.

また、電極保護層17の膜厚は100nm以上が好ましく、隔壁13を被覆することで発生する応力によるクラック発生を防ぐため、膜厚の上限は200nm以下に設定することが好ましい。なお、本実施形態においては、電極保護層17を単層で形成しているが、複数層で積層してもよい。例えば、低弾性率の下層と高耐水性の上層とで電極保護層17を構成してもよい。   The film thickness of the electrode protective layer 17 is preferably 100 nm or more, and the upper limit of the film thickness is preferably set to 200 nm or less in order to prevent generation of cracks due to stress generated by covering the partition wall 13. In the present embodiment, the electrode protective layer 17 is formed as a single layer, but may be stacked as a plurality of layers. For example, the electrode protective layer 17 may be composed of a low elastic modulus lower layer and a high water resistance upper layer.

電極保護層17の上には、電極保護層17の内側に有機緩衝層18が形成されている。有機緩衝層18は、隔壁13の形状の影響により凹凸状に形成された電極保護層17の凹凸部分を埋め、起伏を緩和するように配置される。この有機緩衝層18は、素子基板20Aの反りや体積膨張により発生する応力を緩和し、隔壁13からの電極保護層17の剥離を防止する機能を有する。また、有機緩衝層18の上面では、電極保護層17表面の起伏が緩和されているので、後述するガスバリア層19に応力が集中する部位がなくなり、クラックの発生を防止することができる。   On the electrode protective layer 17, an organic buffer layer 18 is formed inside the electrode protective layer 17. The organic buffer layer 18 is disposed so as to fill the uneven portions of the electrode protection layer 17 formed in an uneven shape due to the shape of the partition wall 13 and to relax the undulations. The organic buffer layer 18 has a function of relieving stress generated by warping or volume expansion of the element substrate 20A and preventing the electrode protective layer 17 from peeling from the partition wall 13. Further, since the undulations on the surface of the electrode protective layer 17 are relaxed on the upper surface of the organic buffer layer 18, there is no portion where stress is concentrated in the gas barrier layer 19 described later, and the generation of cracks can be prevented.

有機緩衝層18の形成材料としては、流動性に優れ且つ溶媒や揮発成分の無い、全てが高分子骨格の原料となる有機化合物材料であることが好ましく、その様な形成材料としてエポキシ基を有する分子量3000以下のエポキシモノマー/オリゴマーを好適に用いることができる。ここでは、分子量1000未満の原料をモノマー、分子量1000以上3000以下の原料をオリゴマーとする。例えば、ビスフェノールA型エポキシオリゴマーやビスフェノールF型エポキシオリゴマー、フェノールノボラック型エポキシオリゴマー、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、アルキルグリシジルエーテル、3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3',4'−エポキシシクロヘキセンカルボキシレート、ε−カプロラクトン変性3,4-エポキシシクロヘキシルメチル3',4'−エポキシシクロヘキサンカルボキレートなどがあり、これらが単独もしくは複数組み合わされて用いられる。   The organic buffer layer 18 is preferably formed of an organic compound material that is excellent in fluidity and has no solvent or volatile component, and is a raw material for the polymer skeleton, and has an epoxy group as such a forming material. Epoxy monomers / oligomers having a molecular weight of 3000 or less can be suitably used. Here, a raw material having a molecular weight of less than 1000 is a monomer, and a raw material having a molecular weight of 1000 to 3000 is an oligomer. For example, bisphenol A type epoxy oligomer, bisphenol F type epoxy oligomer, phenol novolac type epoxy oligomer, polyethylene glycol diglycidyl ether, alkyl glycidyl ether, 3,4-epoxycyclohexenylmethyl-3 ′, 4′-epoxycyclohexene carboxylate, There are ε-caprolactone-modified 3,4-epoxycyclohexylmethyl 3 ′, 4′-epoxycyclohexanecarbochelate, and these may be used alone or in combination.

また、有機緩衝層18の形成材料には、エポキシモノマー/オリゴマーと反応する硬化剤が含まれる。このような硬化剤としては、電気絶縁性や接着性に優れ、かつ硬度が高く強靭で耐熱性に優れる硬化被膜を形成するものが好適に用いられ、透明性に優れ且つ硬化のばらつきの少ない付加重合型が好ましい。例えば、3−メチル−1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、メチル−3,6−エンドメチレン−1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、1,2,4,5−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの酸無水物系硬化剤が好ましい。これらの硬化剤を加えた有機緩衝層18の形成材料は優れた熱硬化性樹脂として振る舞う。   Further, the forming material of the organic buffer layer 18 includes a curing agent that reacts with the epoxy monomer / oligomer. As such a curing agent, an agent that forms a cured film having excellent electrical insulation and adhesiveness, high hardness, toughness and excellent heat resistance is suitably used, and it has excellent transparency and little variation in curing. The polymerization type is preferred. For example, 3-methyl-1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, methyl-3,6-endomethylene-1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, 1,2,4,5-benzene Acid anhydride curing agents such as tetracarboxylic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride are preferred. The material for forming the organic buffer layer 18 to which these curing agents are added behaves as an excellent thermosetting resin.

さらに、酸無水物の反応(開環)を促進する反応促進剤として1,6−ヘキサンジオールなど分子量が大きく揮発しにくいアルコール類やアミノフェノールなどのアミン化合物を微量添加することで低温硬化しやすくなる。これらの硬化は60〜100℃の範囲で加熱することで行われ、その硬化被膜はエステル結合を持つ高分子となる。   Furthermore, low-temperature curing is facilitated by adding trace amounts of amine compounds such as alcohols and aminophenols that have a high molecular weight and are difficult to volatilize such as 1,6-hexanediol as reaction accelerators that promote the reaction (ring opening) of acid anhydrides. Become. These curing is performed by heating in the range of 60 to 100 ° C., and the cured film becomes a polymer having an ester bond.

また、硬化時間を短縮するためよく用いられるカチオン放出タイプの光重合開始剤を用いてもよいが、硬化収縮が急激に進まないよう反応の遅いものが良く、また、塗布後の加熱による粘度低下で平坦化を進めるように最終的には熱硬化を用いて硬化物を形成するものが好ましい。更には、陰極11やガスバリア層19との密着性を向上させるシランカップリング剤や、イソシアネート化合物等の捕水剤が混入されていても良い。   In addition, a cation-releasing photopolymerization initiator often used to shorten the curing time may be used, but it is preferable that the reaction is slow so that the curing shrinkage does not rapidly progress, and the viscosity decreases due to heating after coating. It is preferable to finally form a cured product using thermosetting so as to promote flattening. Furthermore, a silane coupling agent that improves the adhesion to the cathode 11 and the gas barrier layer 19 and a water capturing agent such as an isocyanate compound may be mixed therein.

これらの原料ごとの粘度は、1000mPa・s(室温:25℃)以上が好ましい。塗布直後に発光層12へ浸透して、ダークスポットと呼ばれる非発光領域を発生させないためである。また、これらの原料を混合した緩衝層形成材料の粘度としては、500〜20000mPa・s、特に2000mPa・s以上10000mPa・s以下(室温)が好ましい。また、含水量は1000ppm以下に調整された材料であることが好ましい。   The viscosity of each raw material is preferably 1000 mPa · s (room temperature: 25 ° C.) or more. This is because it does not penetrate into the light emitting layer 12 immediately after the application and does not generate a non-light emitting region called a dark spot. Further, the viscosity of the buffer layer forming material obtained by mixing these raw materials is preferably 500 to 20000 mPa · s, particularly preferably 2000 mPa · s to 10,000 mPa · s (room temperature). Moreover, it is preferable that the water content is a material adjusted to 1000 ppm or less.

また、有機緩衝層18の最適な膜厚としては、2μm以上5μm以下が好ましい。有機緩衝層18の膜厚が厚いほうが異物混入した場合等にガスバリア層19の破損を防ぎやすいが、有機緩衝層18を合わせた層厚が5mを超えると、後述する着色層32aと発光層12の距離が広がって側面に逃げる光が増え、光を取り出す効率が低下するためである。   The optimum film thickness of the organic buffer layer 18 is preferably 2 μm or more and 5 μm or less. When the organic buffer layer 18 is thicker, it is easier to prevent the gas barrier layer 19 from being damaged when foreign matter is mixed in. However, when the combined thickness of the organic buffer layer 18 exceeds 5 m, a colored layer 32a and a light emitting layer 12 described later are used. This is because the light that escapes to the side surface increases as the distance increases, and the light extraction efficiency decreases.

電極保護層17の上には、有機緩衝層18の端部を含め全面を被覆し、且つ電極保護層17の略全面を覆うガスバリア層19が形成されている。ガスバリア層19は、発光素子21に酸素や水分が浸入するのを防止する機能を備えており、これにより酸素や水分による発光素子21の劣化等を抑えることができる。ガスバリア層19は、透明性、ガスバリア性、耐水性を考慮して、好ましくは窒素を含むケイ素化合物、すなわち窒化シリコンや酸窒化シリコンなどを用いて形成される。本実施形態では、酸窒化シリコンを用いてガスバリア層19を形成している。   A gas barrier layer 19 is formed on the electrode protective layer 17 so as to cover the entire surface including the end portion of the organic buffer layer 18 and cover substantially the entire surface of the electrode protective layer 17. The gas barrier layer 19 has a function of preventing oxygen and moisture from entering the light-emitting element 21, thereby suppressing deterioration of the light-emitting element 21 due to oxygen and moisture. In consideration of transparency, gas barrier properties, and water resistance, the gas barrier layer 19 is preferably formed using a silicon compound containing nitrogen, that is, silicon nitride, silicon oxynitride, or the like. In this embodiment, the gas barrier layer 19 is formed using silicon oxynitride.

ガスバリア層19は、ECRスパッタ法やイオンプレーティング法などの高密度プラズマ成膜法を用いて形成することができる。形成前には、形成面の酸素プラズマ処理を行って形成した膜の密着性を向上させることが好ましい。また、ガスバリア層19の膜厚は、ガスバリア層19の破損を防ぎガスバリア性を担保するために100nm以上であることが好ましい。また、有機緩衝層18の端部や陰極配線22A等の凹凸部を被覆する際にクラックを防ぐために800nm以下であることが好ましい。なお、本実施形態においては、ガスバリア層19を単層で形成しているが、複数層で積層してもよい。   The gas barrier layer 19 can be formed using a high-density plasma film forming method such as an ECR sputtering method or an ion plating method. Before the formation, it is preferable to improve the adhesion of a film formed by performing oxygen plasma treatment on the formation surface. The film thickness of the gas barrier layer 19 is preferably 100 nm or more in order to prevent the gas barrier layer 19 from being damaged and to ensure gas barrier properties. Further, it is preferably 800 nm or less in order to prevent cracks when covering the end portions of the organic buffer layer 18 and the uneven portions such as the cathode wiring 22A. In the present embodiment, the gas barrier layer 19 is formed as a single layer, but may be stacked as a plurality of layers.

(対向基板)
対向基板30Aには、支持基板31上に形成されたカラーフィルタ層32、クッション層34を備えている。
(Opposite substrate)
The counter substrate 30 </ b> A includes a color filter layer 32 and a cushion layer 34 formed on the support substrate 31.

支持基板31は、発光素子21から射出される光を透過する光透過性と、薄膜封止層Fを保護する強度とを備えた基板であり、例えばガラス、石英ガラス、窒化ケイ素等の無機物や、ポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂等の光透過性を備えた有機高分子(樹脂)を用いて形成することができる。また、光透過性を備えるならば、前記材料を積層または混合して形成された複合材料を用いることもできる。中でも、透明性の高さと透湿性の低さから、特にガラス基板が好適に用いられる。また、紫外線を遮断または吸収する層や、光反射防止膜、放熱層などの機能層が形成されていても良い。   The support substrate 31 is a substrate having a light transmission property for transmitting light emitted from the light emitting element 21 and a strength for protecting the thin film sealing layer F. For example, an inorganic material such as glass, quartz glass, silicon nitride, It can be formed using an organic polymer (resin) having light transmissivity, such as polyethylene terephthalate resin, acrylic resin, polycarbonate resin, and polyolefin resin. In addition, a composite material formed by laminating or mixing the above materials can be used as long as it has optical transparency. Among them, a glass substrate is particularly preferably used because of its high transparency and low moisture permeability. Further, a layer that blocks or absorbs ultraviolet rays, a functional layer such as a light reflection preventing film or a heat dissipation layer may be formed.

支持基板31の素子基板20A側には、クッション層34が形成されている。クッション層34としては、光透過性を有し柔軟性が高い材料が好ましく、ヤング率が1GPa以下(好ましくは0.001以上0.1GPa以下)、密度が1.8g/c m以下(好ましくは0.8g/cm以上1.4g/cm以下)のものが好ましい。本実施例においては、クッション層34としてエラストマー材料を用いる。 A cushion layer 34 is formed on the element substrate 20 </ b> A side of the support substrate 31. The cushion layer 34 is preferably made of a material having light permeability and high flexibility, a Young's modulus of 1 GPa or less (preferably 0.001 or more and 0.1 GPa or less), and a density of 1.8 g / cm 3 or less (preferably). Is preferably 0.8 g / cm 3 or more and 1.4 g / cm 3 or less). In this embodiment, an elastomer material is used as the cushion layer 34.

本実施形態のクッション層34の形成材料として用いることができるエラストマーとしては、シリコーンゴムやフッ素ゴム、ウレタンゴム、スチレンゴム、アクリルゴム、天然ゴムなどの3次元的に架橋された80〜150℃の加熱により硬化性を有するゴム類や、低密度ポリエチレン(LDPE)、EAA(エチレン−アクリル酸共重合体)やEVA(エチレン−酢酸ビニル共重合体)など80〜150℃の加熱により軟化する熱可塑性エラストマー樹脂を挙げることができる。また、微細な気泡を持たせたウレタンスポンジのようなものでも、透明性とヤング率、密度を満たせていればよい。   As an elastomer that can be used as a material for forming the cushion layer 34 of the present embodiment, silicone rubber, fluorine rubber, urethane rubber, styrene rubber, acrylic rubber, natural rubber, and the like that are three-dimensionally crosslinked at 80 to 150 ° C. Rubbers that are curable by heating, thermoplastics that soften by heating at 80 to 150 ° C., such as low density polyethylene (LDPE), EAA (ethylene-acrylic acid copolymer) and EVA (ethylene-vinyl acetate copolymer) Mention may be made of elastomeric resins. Further, even a urethane sponge having fine bubbles needs only to satisfy transparency, Young's modulus, and density.

クッション層34上には、カラーフィルタ層32が形成されている。カラーフィルタ層32には、透過光を赤色(R)、緑色(G)、青色(B)のいずれかの光に変調する着色層32aがマトリクス状に配列形成されている。着色層32aは、アクリル樹脂などの樹脂層に、赤色、緑色、青色を示す顔料または染料を混合して形成されている。また、必要に応じてライトブルーやライトシアン、白などの着色層32aを備えることとしても良い。   A color filter layer 32 is formed on the cushion layer 34. In the color filter layer 32, a colored layer 32a that modulates transmitted light into any one of red (R), green (G), and blue (B) is arranged in a matrix. The colored layer 32a is formed by mixing a pigment or dye showing red, green, and blue in a resin layer such as an acrylic resin. Moreover, it is good also as providing colored layers 32a, such as light blue, light cyan, and white, as needed.

この着色層32aの各々は、白色の光を射出する発光素子21に対向して配置されている。これにより、発光素子21から射出された光は着色層32aの各々を透過して、赤色光、緑色光、青色光として観察者側に射出され、カラー表示を行うようになっている。   Each of the colored layers 32a is disposed to face the light emitting element 21 that emits white light. Thereby, the light emitted from the light emitting element 21 passes through each of the colored layers 32a and is emitted to the viewer side as red light, green light, and blue light to perform color display.

また、隣り合う着色層32aの間および着色層32aの周囲には、光漏れを防ぎ視認性を向上させるブラックマトリクス層32bが形成されている。ブラックマトリクス層32bも黒色に着色された樹脂で形成されている。   A black matrix layer 32b that prevents light leakage and improves visibility is formed between the adjacent colored layers 32a and around the colored layer 32a. The black matrix layer 32b is also formed of a resin colored black.

カラーフィルタ層32は、着色層32aが0.5μm以上2μm以下の範囲で各色に適した厚みに調整されている。また、ブラックマトリクス層32bは、1μm程度の厚みを有している。更に、クッション層34の膜厚は、これら着色層32aまたはブラックマトリクス層32bよりも厚く形成されており、好ましくは3μm以上20μm以下である。クッション層34がこのように厚いことで、着色層32aとブラックマトリクス層32bとのつなぎ目で発生する凹凸や、薄膜封止層F表面の凹凸に追従して変形することができ、凹凸を吸収することができる。   The color filter layer 32 is adjusted to a thickness suitable for each color in the range where the colored layer 32a is 0.5 μm or more and 2 μm or less. The black matrix layer 32b has a thickness of about 1 μm. Further, the cushion layer 34 is formed to be thicker than the colored layer 32a or the black matrix layer 32b, and is preferably 3 μm or more and 20 μm or less. Since the cushion layer 34 is thick like this, it can be deformed following the unevenness generated at the joint between the colored layer 32a and the black matrix layer 32b and the unevenness on the surface of the thin film sealing layer F, and absorbs the unevenness. be able to.

カラーフィルタ層32は、素子基板20Aの薄膜封止層Fと接して貼り合わされている。ここで、カラーフィルタ層32のヤング率は3GPa以下、好ましくは1GPa以下であることが望ましい。これにより、カラーフィルタ層32の表面は薄膜封止層Fの表面形状に追従して変形することが可能となり、両者は隙間無く密着している。カラーフィルタ層32の変形に伴い、クッション層34も変形している。   The color filter layer 32 is bonded in contact with the thin film sealing layer F of the element substrate 20A. Here, the Young's modulus of the color filter layer 32 is 3 GPa or less, preferably 1 GPa or less. As a result, the surface of the color filter layer 32 can be deformed following the surface shape of the thin film sealing layer F, and the two are in close contact with each other without a gap. As the color filter layer 32 is deformed, the cushion layer 34 is also deformed.

(シール層)
素子基板20Aと対向基板30Aとは、カラーフィルタ層32の表面が薄膜封止層Fの表面形状に追従して変形し密着した状態で、素子基板20Aの外周部近傍に配置されるシール層33によって貼り合わされている。
(Seal layer)
The element substrate 20A and the counter substrate 30A have a seal layer 33 disposed in the vicinity of the outer peripheral portion of the element substrate 20A in a state where the surface of the color filter layer 32 is deformed and adhered following the surface shape of the thin film sealing layer F. Are pasted together.

シール層33は、装置内部への水分浸入防止の機能と、素子基板20Aと対向基板30Aとの貼り合わせ位置を固定する機能と、を有している。また、素子基板20Aと対向基板30Aとの貼り合わせにより、クッション層34が基板面方向に変形する変形部分を吸収し、カラーフィルタ層32と薄膜封止層Fとの間の密着を維持する機能も併せ持つ。   The seal layer 33 has a function of preventing moisture from entering the inside of the apparatus and a function of fixing a bonding position between the element substrate 20A and the counter substrate 30A. Further, by bonding the element substrate 20A and the counter substrate 30A, the cushion layer 34 absorbs a deformed portion that deforms in the substrate surface direction, and maintains the adhesion between the color filter layer 32 and the thin film sealing layer F. Also has.

シール層33の形成材料は、紫外線によって硬化して粘度が向上する樹脂材料で構成されている。好ましくはエポキシ基を有する分子量3000以下のエポキシモノマー/オリゴマーが用いられる。ここでは、分子量1000未満のものをモノマー、分子量1000以上3000以下のものをオリゴマーとしている。このような形成材料としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシオリゴマーやビスフェノールF型エポキシオリゴマー、フェノールノボラック型エポキシオリゴマー、3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3',4'−エポキシシクロヘキセンカルボキシレート、ε−カプロラクトン変性3,4-エポキシシクロヘキシルメチル3',4'−エポキシシクロヘキサンカルボキレートなどがあり、これらが単独もしくは複数組み合わされて用いられる。   The forming material of the sealing layer 33 is made of a resin material that is cured by ultraviolet rays and has an improved viscosity. Preferably, an epoxy monomer / oligomer having an epoxy group and having a molecular weight of 3000 or less is used. Here, monomers having a molecular weight of less than 1000 are monomers, and those having a molecular weight of 1000 to 3000 are oligomers. Examples of such a forming material include bisphenol A type epoxy oligomer, bisphenol F type epoxy oligomer, phenol novolac type epoxy oligomer, 3,4-epoxycyclohexenylmethyl-3 ′, 4′-epoxycyclohexene carboxylate, ε- There are caprolactone-modified 3,4-epoxycyclohexylmethyl 3 ′, 4′-epoxycyclohexanecarbochelate, and these are used alone or in combination.

また、シール層33の形成材料には、エポキシモノマー/オリゴマーと反応する硬化剤が含まれる。添加する硬化剤の種類により、エポキシ樹脂を熱硬化型、光硬化型のいずれでも用いることができる。ここでは、ジアゾニウム塩、ジフェニルヨウドニウム塩、トリフェルスルフォニウム塩、スルホン酸エステル、鉄アレーン錯体、シラノール/アルミニウム錯体など、主に紫外線照射によりカチオン重合反応を起こさせる光反応型開始剤が好適に用いられる。これらの硬化剤を加えたシール層33の形成材料は光(紫外線)硬化性樹脂として振る舞う。     Further, the forming material of the seal layer 33 includes a curing agent that reacts with the epoxy monomer / oligomer. Depending on the type of curing agent to be added, the epoxy resin can be either a thermosetting type or a photocurable type. Here, a photoreactive initiator that causes a cationic polymerization reaction mainly by ultraviolet irradiation, such as a diazonium salt, diphenyliodonium salt, trifellsulfonium salt, sulfonate ester, iron arene complex, silanol / aluminum complex, is suitable. Used. The material for forming the seal layer 33 to which these curing agents are added behaves as a light (ultraviolet) curable resin.

シール層33の形成材料の塗布時における粘度は、10Pa・s以上200Pa・s以下(室温)であることが好ましい。また、紫外線照射後に徐々に粘度が上昇するようにカチオンホールド剤と呼ばれる添加剤を用いると、貼り合わせ後の光照射工程を削除することができる上に、シール層33の形成材料が流動しにくくなるため貼り合わせ工程が容易になる。更に、1mm以下の細いシール幅でもシール層33の断裂を防ぎ、貼り合わせ後の充填剤のはみ出しを防ぐことができるため好ましい。また、含水量は1000ppm以下に調整された材料であることが好ましい。   The viscosity at the time of applying the forming material of the seal layer 33 is preferably 10 Pa · s or more and 200 Pa · s or less (room temperature). In addition, when an additive called a cation hold agent is used so that the viscosity gradually increases after ultraviolet irradiation, the light irradiation step after bonding can be eliminated, and the forming material of the seal layer 33 hardly flows. Therefore, the bonding process is facilitated. Further, even a narrow seal width of 1 mm or less is preferable because the seal layer 33 can be prevented from being ruptured and the filler after sticking can be prevented from sticking out. Moreover, it is preferable that the water content is a material adjusted to 1000 ppm or less.

通常、シール層33を形成するための材料には、基板間の距離を制御するための所定粒径の球状粒子(スペーサ)や、粘度を調整するため燐片状や塊状の無機材料(無機フィラー)などの充填物が混合されていることが多い。しかし、これらの充填物は貼り合わせ圧着時にガスバリア層19を損傷させるおそれがあるため、本実施形態ではこれらの充填物が混入していないシール層形成材料を用いる。   Usually, the material for forming the seal layer 33 is a spherical particle (spacer) having a predetermined particle diameter for controlling the distance between the substrates, or a scaly or massive inorganic material (inorganic filler) for adjusting the viscosity. Etc.) are often mixed. However, since these fillers may damage the gas barrier layer 19 at the time of bonding and pressure bonding, in this embodiment, a seal layer forming material in which these fillers are not mixed is used.

有機EL装置1は、複数の発光素子21が表示領域Hを形成しており、表示領域Hの周辺部は、非発光部分である額縁部Gとなっている。額縁部Gは、例えば素子基板20A上の最外部に設けられた隔壁13の頭頂部から素子基板20Aの端部までの間となっている。クッション層34は、額縁部Gと重なる領域にまで形成されており、また、ブラックマトリクス層32bの端部も、額縁部Gにまで及んで形成されている。
本実施形態の有機EL装置1は、以上のような構成となっている。
In the organic EL device 1, a plurality of light emitting elements 21 form a display region H, and a peripheral portion of the display region H is a frame portion G that is a non-light emitting portion. The frame part G is, for example, between the top of the partition wall 13 provided on the outermost part on the element substrate 20A and the end of the element substrate 20A. The cushion layer 34 is formed up to a region overlapping with the frame portion G, and the end portion of the black matrix layer 32 b extends to the frame portion G.
The organic EL device 1 of the present embodiment has the above configuration.

(有機EL装置の製造方法)
次に、図2から図4を参照して本実施形態における有機EL装置1の製造方法を説明する。ここで、図2は有機EL装置1の素子基板20Aに薄膜封止層Fを形成する工程図であり、図3は対向基板30Aを形成する工程図であり、図4は素子基板20Aと対向基板30Aとを貼りあわせ有機EL装置1とするまでの工程図である。
(Method for manufacturing organic EL device)
Next, a method for manufacturing the organic EL device 1 according to this embodiment will be described with reference to FIGS. 2 is a process diagram for forming the thin film sealing layer F on the element substrate 20A of the organic EL device 1, FIG. 3 is a process diagram for forming the counter substrate 30A, and FIG. 4 is a process diagram for facing the element substrate 20A. It is process drawing until it bonds to the board | substrate 30A and is set as the organic EL apparatus 1. FIG.

まず、図2(a)に示すように、陰極11までが積層された素子基板20Aに電極保護層17を形成する。例えば、前述のように窒化シリコンや酸窒化シリコンなどを、ECRスパッタ法やイオンプレーティング法等の高密度プラズマ成膜法により成膜する。なお、透明無機材料としての酸化シリコンなどの無機酸化物やLiFやMgF等のアルカリハライドを、真空蒸着法や高密度プラズマ成膜法により積層して電極保護層17としてもよい。   First, as shown in FIG. 2A, the electrode protective layer 17 is formed on the element substrate 20A on which the cathode 11 is laminated. For example, as described above, silicon nitride, silicon oxynitride, or the like is formed by a high-density plasma film formation method such as an ECR sputtering method or an ion plating method. Note that the electrode protective layer 17 may be formed by laminating an inorganic oxide such as silicon oxide as a transparent inorganic material or an alkali halide such as LiF or MgF by a vacuum deposition method or a high-density plasma film formation method.

次に、図2(b)に示すように、有機緩衝層18を電極保護層17上に形成する。具体的には、まず減圧雰囲気下でスクリーン印刷法により有機緩衝層18の形成材料を配置する。減圧雰囲気下で有機緩衝層18の形成材料を配置することで、有機緩衝層18の形成材料やスクリーンメッシュに含まれる揮発性の不純物や水分を極力除去することができる。また、スクリーン印刷法ではスキージによる摩擦により配置した材料の表面が強制的に平坦化されるため、他の材料配置方法と比較して材料表面を平坦にすることが可能である。   Next, as shown in FIG. 2B, the organic buffer layer 18 is formed on the electrode protective layer 17. Specifically, first, a material for forming the organic buffer layer 18 is disposed by a screen printing method in a reduced pressure atmosphere. By disposing the forming material of the organic buffer layer 18 in a reduced pressure atmosphere, volatile impurities and moisture contained in the forming material of the organic buffer layer 18 and the screen mesh can be removed as much as possible. Further, in the screen printing method, the surface of the material disposed by the squeegee friction is forcibly flattened, so that the material surface can be flattened as compared with other material placement methods.

スクリーン印刷法による塗布のし易さと、成膜精度との兼ね合いにより、有機緩衝層18の形成材料の粘度は、3000mPa・s以上7000mPa・s以下(室温)であることが好ましい。本実施形態では有機緩衝層18の形成材料の粘度は5000mPa・sである。また、含水量をあらかじめ1000ppm以下に調整しておくと、減圧環境下での発泡が抑えられ作業が容易になるため好ましい。   The viscosity of the forming material of the organic buffer layer 18 is preferably 3000 mPa · s or more and 7000 mPa · s (room temperature) or less in consideration of the ease of application by the screen printing method and the film forming accuracy. In this embodiment, the viscosity of the material for forming the organic buffer layer 18 is 5000 mPa · s. Moreover, it is preferable to adjust the water content to 1000 ppm or less in advance because foaming under a reduced pressure environment is suppressed and the operation becomes easy.

続いて、配置した有機緩衝層18の形成材料を60〜100℃の範囲で加熱して硬化させる。この加熱硬化は、大気圧での水分が10ppm以下に管理された窒素雰囲気下において行われる。この際、加熱直後から反応が開始されるまでの間は、一時的に有機緩衝層18の形成材料の粘度が低下するため、形成材料が電極保護層17や陰極11を透過して発光層12に浸透しダークスポットを発生させるおそれがある。そこで、ある程度硬化が進むまでは60〜80℃の低温で硬化し、ある程度反応が進んで高粘度化したところで80℃以上に温度を上げて完全硬化させることが好ましい。   Subsequently, the formed material of the organic buffer layer 18 is cured by heating in the range of 60 to 100 ° C. This heat curing is performed in a nitrogen atmosphere in which moisture at atmospheric pressure is controlled to 10 ppm or less. At this time, since the viscosity of the forming material of the organic buffer layer 18 temporarily decreases immediately after the heating until the reaction is started, the forming material passes through the electrode protective layer 17 and the cathode 11 to transmit the light emitting layer 12. There is a risk of infiltrating into and generating dark spots. Therefore, it is preferable to cure at a low temperature of 60 to 80 ° C. until the curing proceeds to some extent, and raise the temperature to 80 ° C. or higher when the reaction proceeds to a certain extent and the viscosity is increased.

このようにして有機緩衝層18を形成すると、有機緩衝層18の形成材料の硬化収縮や、硬化時の粘度変化による流動、等に起因して、有機緩衝層18の表面には若干の凹凸が生じる。この凹凸は、隔壁13と平面的に重なる部分では高く盛り上がり、発光素子21と平面的に重なる部分では低く凹んで形成される。   When the organic buffer layer 18 is formed in this manner, the surface of the organic buffer layer 18 has some unevenness due to curing shrinkage of the forming material of the organic buffer layer 18, flow due to a viscosity change at the time of curing, and the like. Arise. The irregularities are formed so as to be highly bulged at a portion overlapping the partition wall 13 in a planar manner and to be recessed low at a portion overlapping the light emitting element 21 in a planar manner.

次に、図2(c)に示すように、ガスバリア層19を有機緩衝層18上に設け、素子基板20Aを形成する。具体的には、ECRスパッタ法やイオンプレーティング法などの高密度プラズマ成膜法で形成する。なお形成前には、酸素プラズマ処理によって密着性を向上させると信頼性が向上するため好ましい。また、製造の際には、ガスバリア層19と電極保護層17とを同一の材料、共通のマスクを用いて形成すると、製造工程や製造装置の簡略化を図ることができる。ガスバリア層19の表面は、凹凸を備える有機緩衝層18の表面形状を反映し、凹凸を備えた状態で形成される。   Next, as shown in FIG. 2C, the gas barrier layer 19 is provided on the organic buffer layer 18 to form the element substrate 20A. Specifically, it is formed by a high density plasma film forming method such as an ECR sputtering method or an ion plating method. Note that before the formation, it is preferable to improve adhesion by oxygen plasma treatment because reliability is improved. Further, when the gas barrier layer 19 and the electrode protective layer 17 are formed using the same material and a common mask in the manufacturing process, the manufacturing process and the manufacturing apparatus can be simplified. The surface of the gas barrier layer 19 reflects the surface shape of the organic buffer layer 18 having irregularities and is formed in a state having irregularities.

前述のように、隔壁13と発光素子21との形状に起因する凹凸は、1μm以上の起伏を備えているが、複数の層を積層することで、ガスバリア層19表面(薄膜封止層Fの表面)の凹凸は、約数十nm程度に緩和されている。図では、見やすくするために強調して図示してある。   As described above, the unevenness caused by the shape of the partition wall 13 and the light emitting element 21 has undulations of 1 μm or more. However, by laminating a plurality of layers, the surface of the gas barrier layer 19 (the thin film sealing layer F) The unevenness of the (surface) is relaxed to about several tens of nanometers. In the drawing, the illustration is emphasized for the sake of easy understanding.

一方、対向基板30A側においては、図3(a)に示すように、まず、支持基板31上にクッション層34を形成する。   On the other hand, on the counter substrate 30A side, a cushion layer 34 is first formed on the support substrate 31 as shown in FIG.

クッション層34は、形成材料にゴム類を用いる場合は、溶剤を用いて形成材料を溶解、または界面活性剤を用いて形成材料をエマルション化し、ロールコートや印刷法にて塗布して形成することができる。形成材料をエマルション化する場合には、用いる界面活性剤の屈折率が、クッション層34の形成材料の屈折率と屈折率差が無いものを選択すると良い。または、クッション層34を透過する光に対して、品質上影響がない程度に小さい屈折率差のものを選択することもできる。熱可塑性エラストマーの場合は、スリットダイを用いた押し出し成形による押し出しコート法やカーテンコート法、等のコーティング法を用いることができる。   When the rubber is used as the forming material, the cushion layer 34 is formed by dissolving the forming material using a solvent or emulsifying the forming material using a surfactant, and applying it by roll coating or printing. Can do. When emulsifying the forming material, it is preferable to select a surfactant having a refractive index that is not different from the refractive index of the forming material of the cushion layer 34. Alternatively, it is possible to select a light with a refractive index difference that is small enough that the quality of the light transmitted through the cushion layer 34 is not affected. In the case of a thermoplastic elastomer, a coating method such as an extrusion coating method or a curtain coating method by extrusion molding using a slit die can be used.

次いで、図3(b)に示すように、形成されたクッション層34の表面の平坦部にカラーフィルタ層32を設け、対向基板30Aを形成する。カラーフィルタ層32は、他の支持体上にあらかじめ形成しておいたカラーフィルタ層をクッション層34上に転写したり、または液滴吐出法やフレキソ印刷法等の印刷法でクッション層34上に直接形成したり、といった各種の印刷法を用いる事で形成することができる。印刷法による形成を行う場合には、カラーフィルタ層32の形成材料を溶解する溶媒は、クッション層34を溶解しない種類のものを選択する。または、クッション層34へ含浸しにくい種類のものを選択することが望ましい。使用する溶媒が若干でもクッション層34に含浸する場合には、カラーフィルタ層32の形成後に十分に乾燥させ、クッション層34中の溶媒の残存量を減らすことが好ましい。   Next, as shown in FIG. 3B, the color filter layer 32 is provided on the flat portion of the surface of the formed cushion layer 34 to form the counter substrate 30A. The color filter layer 32 is formed by transferring a color filter layer previously formed on another support onto the cushion layer 34, or printing on the cushion layer 34 by a printing method such as a droplet discharge method or a flexographic printing method. It can be formed by using various printing methods such as direct formation. When forming by the printing method, a solvent that dissolves the forming material of the color filter layer 32 is selected so as not to dissolve the cushion layer 34. Alternatively, it is desirable to select a type that does not easily impregnate the cushion layer 34. When the cushion layer 34 is slightly impregnated with the solvent to be used, it is preferable to reduce the residual amount of the solvent in the cushion layer 34 by sufficiently drying after the color filter layer 32 is formed.

次に、図3(c)に示すように、対向基板30Aの周辺部にシール層33の形成材料を配置し、材料層33aを設ける。具体的には、ニードルディスペンス法により、前述したシール層33の形成材料を支持基板31の周囲に塗布していく。なお、この塗布方法は、スクリーン印刷法を用いてもよい。本実施形態に係るシール層33の形成材料の塗布時の粘度は50Pa・s(室温)である。含水量はあらかじめ1000ppm以下に調整しておく。   Next, as shown in FIG. 3C, a material for forming the seal layer 33 is disposed around the counter substrate 30A, and a material layer 33a is provided. Specifically, the material for forming the seal layer 33 described above is applied around the support substrate 31 by a needle dispensing method. Note that this printing method may be a screen printing method. The viscosity at the time of application | coating of the forming material of the sealing layer 33 which concerns on this embodiment is 50 Pa.s (room temperature). The water content is adjusted in advance to 1000 ppm or less.

続いて、図4(a)に示すように、基板間のアライメント作業を行い、素子基板20Aの薄膜封止層Fと、対向基板30Aのカラーフィルタ層32と、対向させて加圧貼り合わせを行う。貼り合わせは、減圧雰囲気下で行う。   Subsequently, as shown in FIG. 4A, alignment work between the substrates is performed, and the thin film sealing layer F of the element substrate 20A and the color filter layer 32 of the counter substrate 30A are opposed to each other and pressure bonded. Do. Bonding is performed under a reduced pressure atmosphere.

加圧貼り合わせにより、クッション層34が変形し、薄膜封止層Fの表面の凹凸に追従してカラーフィルタ層32(着色層32a及びブラックマトリクス層32b)が変形する。クッション層34は基板面方向に広がるが、クッション層34の周辺に配置された材料層33aは、変形の際には未硬化であるため、クッション層34の変形を阻害しない。そのため、クッション層34の変形分は材料層33aと平面的に重なり、材料層33aに吸収される。また、この貼り合わせは減圧雰囲気下で行われるため、カラーフィルタ層32と薄膜封止層Fとの界面には気泡や水分が入らずに密着する。   By the pressure bonding, the cushion layer 34 is deformed, and the color filter layer 32 (the colored layer 32a and the black matrix layer 32b) is deformed following the irregularities on the surface of the thin film sealing layer F. Although the cushion layer 34 spreads in the substrate surface direction, the material layer 33a disposed around the cushion layer 34 is uncured at the time of deformation, and therefore does not hinder the deformation of the cushion layer 34. Therefore, the deformation of the cushion layer 34 overlaps with the material layer 33a in a plan view and is absorbed by the material layer 33a. In addition, since this bonding is performed in a reduced pressure atmosphere, the color filter layer 32 and the thin film sealing layer F are in close contact with each other without entering bubbles or moisture.

材料層33a(シール層33の形成材料)の硬化は、紫外線の照射により開始する。紫外線の照射タイミングは、用いるシール層33の形成材料の硬化速度に応じて選択する。硬化速度が速い形成材料の場合は、貼り合わせ後に紫外線照射を行う。硬化速度の遅い形成材料の場合は、貼り合わせ前に予め照射しておき、硬化反応を始めておく。   Curing of the material layer 33a (forming material of the seal layer 33) is started by irradiation with ultraviolet rays. The irradiation timing of ultraviolet rays is selected according to the curing speed of the forming material of the seal layer 33 to be used. In the case of a forming material having a high curing rate, ultraviolet irradiation is performed after bonding. In the case of a forming material having a slow curing rate, irradiation is performed in advance before bonding, and a curing reaction is started.

次に、図4(b)に示すように、圧着して貼り合わせた後に大気中で加熱(ポストベーク)して、シール層33の形成材料の硬化を完了させる。以上より、本実施形態における有機EL装置1を得ることができる。   Next, as shown in FIG. 4B, after pressure-bonding and bonding, heating (post-baking) is performed in the air to complete the curing of the forming material of the seal layer 33. From the above, the organic EL device 1 in the present embodiment can be obtained.

以上のような構成の有機EL装置1によれば、クッション層34とカラーフィルタ層32とは、圧力に応じて薄膜封止層Fの表面形状を反映した形状に変形し、凹凸を埋めて密着する。そのため、散乱源となる隙間が生じず、表示品質を保つことができる。また、カラーフィルタ層32と薄膜封止層Fとの間には、発光素子21との離間距離を広げる層が介在しないため、カラーフィルタ層32を発光素子21に近づけ光漏れを防ぐことができる。更には、貼り合わせを行う際に異物を挟み込んだ場合であっても、クッション層およびカラーフィルタ層が変形できるため、異物が封止層や発光素子を損傷することがなく、信頼性の高い有機EL装置とすることができる。   According to the organic EL device 1 having the above-described configuration, the cushion layer 34 and the color filter layer 32 are deformed into a shape reflecting the surface shape of the thin film sealing layer F in accordance with the pressure, and are in close contact with the unevenness. To do. For this reason, a gap that becomes a scattering source does not occur, and display quality can be maintained. In addition, since a layer that increases the distance from the light emitting element 21 is not interposed between the color filter layer 32 and the thin film sealing layer F, the color filter layer 32 can be brought closer to the light emitting element 21 to prevent light leakage. . Furthermore, since the cushion layer and the color filter layer can be deformed even when a foreign substance is sandwiched during bonding, the foreign substance does not damage the sealing layer and the light emitting element, and the organic layer is highly reliable. It can be an EL device.

また、本実施形態では、クッション層34は、吸水率が1%以下のエポキシ樹脂を用いて形成することとしている。クッション層34の吸水率が1%よりも高いと、クッション層34が吸収している水分が脱離し、カラーフィルタ層32と薄膜封止層Fとの当接する界面で結露するおそれがある。このような水分は、表示品質低下の原因となる。しかしながら、本実施形態の構成によれば、クッション層34の吸水率が低いため、有機EL装置1内への水分の持ち込みが少なく、品質低下を抑制することができる。   In the present embodiment, the cushion layer 34 is formed using an epoxy resin having a water absorption rate of 1% or less. If the water absorption rate of the cushion layer 34 is higher than 1%, the moisture absorbed by the cushion layer 34 may be desorbed and dew condensation may occur at the interface between the color filter layer 32 and the thin film sealing layer F. Such moisture causes a reduction in display quality. However, according to the configuration of the present embodiment, since the water absorption rate of the cushion layer 34 is low, moisture is not brought into the organic EL device 1 and deterioration in quality can be suppressed.

また、本実施形態では、クッション層34の形成材料はエラストマーであることとしている。そのため、素子基板20Aと対向基板30Aとの貼り合わせ時に、薄膜封止層Fの表面形状に沿ってクッション層34が柔軟に変形することができる。また、異物を挟み込んだ場合であっても、良好に異物を埋没させ薄膜封止層Fの損傷を抑制することができる。   In the present embodiment, the material for forming the cushion layer 34 is an elastomer. Therefore, the cushion layer 34 can be flexibly deformed along the surface shape of the thin film sealing layer F when the element substrate 20A and the counter substrate 30A are bonded to each other. Moreover, even if it is a case where a foreign material is inserted | pinched, a foreign material can be favorably embedded and damage to the thin film sealing layer F can be suppressed.

また、本実施形態では、クッション層34は、カラーフィルタ層32よりも厚く形成されていることとしている。そのため、薄膜封止層F表面の形状に追従して変形することで、薄膜封止層F表面の凹凸を吸収することができる。   In the present embodiment, the cushion layer 34 is formed thicker than the color filter layer 32. Therefore, unevenness on the surface of the thin film sealing layer F can be absorbed by deforming following the shape of the surface of the thin film sealing layer F.

なお、本実施形態では、カラーフィルタ層32およびクッション層34が圧力に応じて薄膜封止層Fの表面形状を反映した形状に変形することとしたが、カラーフィルタ層32およびクッション層34の表面形状そのものが圧力をかけずとも薄膜封止層Fの表面形状に追従した形状を備えていることとしても良い。その場合でも、薄膜封止層Fの凹凸形状を埋めてカラーフィルタ層32が密着するため、散乱源となる隙間が生じず、表示品質を保つことができる。   In the present embodiment, the color filter layer 32 and the cushion layer 34 are deformed into a shape reflecting the surface shape of the thin film sealing layer F according to the pressure, but the surfaces of the color filter layer 32 and the cushion layer 34 are used. The shape itself may have a shape that follows the surface shape of the thin-film sealing layer F without applying pressure. Even in such a case, since the color filter layer 32 is in close contact with the concavo-convex shape of the thin film sealing layer F, a gap that becomes a scattering source does not occur, and display quality can be maintained.

(変形例)
また、ブラックマトリクス層32bの配置形状は、本実施形態のものに限らない。図5は、本発明の変形例に係る有機EL装置2の断面図であり、図1に対応する図である。有機EL装置2では、ブラックマトリクス層32bが、クッション層34の端部を覆い支持基板31と当接するまで延在して形成されている。
(Modification)
The arrangement shape of the black matrix layer 32b is not limited to that of the present embodiment. FIG. 5 is a cross-sectional view of an organic EL device 2 according to a modification of the present invention, and corresponds to FIG. In the organic EL device 2, the black matrix layer 32 b is formed to extend until it covers the end of the cushion layer 34 and comes into contact with the support substrate 31.

このような形状のブラックマトリクス層32bを備える場合には、ブラックマトリクス層32bが、シール層33の配置領域を一部遮光し、シール層33の形成材料の光硬化反応を阻害する。そのため、シール層33の形成材料に熱硬化型の反応を起こす硬化剤を添加し、熱硬化をさせてシール層33を形成することとすると良い。   When the black matrix layer 32 b having such a shape is provided, the black matrix layer 32 b partially shields the arrangement region of the seal layer 33 and inhibits the photocuring reaction of the forming material of the seal layer 33. Therefore, it is preferable to form a seal layer 33 by adding a curing agent that causes a thermosetting reaction to the material for forming the seal layer 33 and performing thermosetting.

このように広く形成されたブラックマトリクス層32bを備える有機EL装置2では、額縁部Gへむけて斜めに射出される光があったとしても、クッション層34の端部にまで延在しているブラックマトリクス層32bが良好に遮るために、表示領域の周辺での光漏れを防ぐことができる。   In the organic EL device 2 including the black matrix layer 32b that is widely formed in this way, even if there is light emitted obliquely toward the frame portion G, it extends to the end portion of the cushion layer 34. Since the black matrix layer 32b shields well, light leakage around the display area can be prevented.

[第2実施形態]
図6から図8は、本発明の第2実施形態に係る有機EL装置の説明図である。本実施形態の有機ELは、第1実施形態の有機EL装置と一部共通している。異なるのは、カラーフィルタ層と薄膜封止層との間に接着層を有することである。したがって、本実施形態において第1実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
[Second Embodiment]
6 to 8 are explanatory diagrams of an organic EL device according to the second embodiment of the present invention. The organic EL of this embodiment is partially in common with the organic EL device of the first embodiment. The difference is that an adhesive layer is provided between the color filter layer and the thin film sealing layer. Therefore, in this embodiment, the same code | symbol is attached | subjected about the component which is common in 1st Embodiment, and detailed description is abbreviate | omitted.

図6は、有機EL装置3を模式的に示す断面図であり、第1実施形態の図1に対応する図である。本実施形態の有機EL装置3では、カラーフィルタ層32と薄膜封止層Fとの間に、両者を接着する接着層36が設けられている。接着層36は、熱衝撃等により薄膜封止層Fとカラーフィルタ層32が剥離しないように密着性を向上させることを目的としている。   FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing the organic EL device 3, and corresponds to FIG. 1 of the first embodiment. In the organic EL device 3 of the present embodiment, an adhesive layer 36 is provided between the color filter layer 32 and the thin film sealing layer F to adhere them. The adhesive layer 36 is intended to improve adhesion so that the thin film sealing layer F and the color filter layer 32 do not peel off due to thermal shock or the like.

接着層36の形成材料としては、クッション層34のようなエラストマー材料でも良いが、エポキシ接着剤のような液状の接着剤を塗布し、貼り合わせ後に熱硬化するものでも良い。   The material for forming the adhesive layer 36 may be an elastomer material such as the cushion layer 34, but may also be a material that is applied with a liquid adhesive such as an epoxy adhesive and thermally cured after bonding.

液状の接着剤の場合、膜厚は光漏れを防ぐ必要があるため、クッション層34よりも薄く0.05μm以上3μm以下の範囲が好ましい。光漏れを防ぐという観点からはできるだけ薄い接着層を形成することが好ましいが、0.05μmよりも薄い接着層は形成が困難であり、生産性が低下する。また、3μmより大きい接着層は、光漏れのおそれが大きくなるため不適である。生産性と光漏れ抑制とのバランスからは、接着層の厚みは0.1μm以上1μm以下程度であると、より好ましい。なお、接着層36の「膜厚」とは、カラーフィルタ層32の着色層32aと、薄膜封止層Fと、の間に挟持され接着層36の厚みを指す。   In the case of a liquid adhesive, since the film thickness needs to prevent light leakage, it is thinner than the cushion layer 34 and is preferably in the range of 0.05 μm to 3 μm. From the viewpoint of preventing light leakage, it is preferable to form an adhesive layer that is as thin as possible. However, it is difficult to form an adhesive layer that is thinner than 0.05 μm, and productivity is reduced. An adhesive layer larger than 3 μm is unsuitable because the risk of light leakage increases. From the balance between productivity and light leakage suppression, the thickness of the adhesive layer is more preferably about 0.1 μm or more and 1 μm or less. The “film thickness” of the adhesive layer 36 refers to the thickness of the adhesive layer 36 sandwiched between the colored layer 32 a of the color filter layer 32 and the thin film sealing layer F.

液状の接着層36の形成材料は、主成分として好ましくはエポキシ基を有する分子量3000以下のエポキシモノマー/オリゴマーが用いられる。例えば、ビスフェノールA型エポキシオリゴマーやビスフェノールF型エポキシオリゴマー、フェノールノボラック型エポキシオリゴマー、3,4−エポキシシクロヘキセニルメチル−3',4'−エポキシシクロヘキセンカルボキシレート、ε−カプロラクトン変性3,4-エポキシシクロヘキシルメチル3',4'−エポキシシクロヘキサンカルボキレートなどがあり、これらが単独もしくは複数組み合わされて用いられる。   The material for forming the liquid adhesive layer 36 is preferably an epoxy monomer / oligomer having an epoxy group and a molecular weight of 3000 or less as a main component. For example, bisphenol A type epoxy oligomer, bisphenol F type epoxy oligomer, phenol novolac type epoxy oligomer, 3,4-epoxycyclohexenylmethyl-3 ′, 4′-epoxycyclohexene carboxylate, ε-caprolactone modified 3,4-epoxycyclohexyl Examples thereof include methyl 3 ′, 4′-epoxycyclohexanecarboxylate, and these are used alone or in combination.

また、接着層36の形成材料には、エポキシモノマー/オリゴマーと反応する硬化剤が含まれる。この硬化剤としては、例えば、3−メチル−1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、メチル−3,6−エンドメチレン−1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、1,2,4,5−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの酸無水物系硬化剤や、芳香族アミン、アミノフェノール、アミノアミドなどのアミン系硬化剤を用いることができるこれらの硬化剤を加えた接着層36の形成材料は熱硬化性樹脂として振る舞う。更に、シランカップリング剤などの添加剤を混合しても良い。これらが硬化した後の接着層36は、ヤング率が1GPa以下であると、柔軟に変形できるため、熱応力を吸収し、封止層の破損を抑制することができ好ましい。   The material for forming the adhesive layer 36 includes a curing agent that reacts with the epoxy monomer / oligomer. Examples of the curing agent include 3-methyl-1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, methyl-3,6-endomethylene-1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, 1,2 , 4,5-benzenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride and other acid anhydride curing agents, aromatic amines, aminophenols, aminoamides, etc. The material for forming the adhesive layer 36 to which these curing agents can be used which can use an amine curing agent behaves as a thermosetting resin. Furthermore, additives such as a silane coupling agent may be mixed. It is preferable that the adhesive layer 36 after these are cured has a Young's modulus of 1 GPa or less because it can be deformed flexibly, so that it can absorb thermal stress and suppress damage to the sealing layer.

接着層36を形成するための材料には、シール層33の形成材料と同様に、基板間の距離を制御するためのスペーサや、粘度を調整するため燐片状や塊状の無機フィラーなどの充填物が混混入していない形成材料を用いる。   The material for forming the adhesive layer 36 is filled with a spacer for controlling the distance between the substrates and a flake-like or massive inorganic filler for adjusting the viscosity, like the material for forming the sealing layer 33. A forming material that is not mixed with materials is used.

次に、図7および図8を参照して本実施形態における有機EL装置3の製造方法を説明する。ここでは、接着層36の形成工程を中心に説明し、第1実施形態と同様の工程については省略する。   Next, a method for manufacturing the organic EL device 3 in the present embodiment will be described with reference to FIGS. Here, the description will focus on the step of forming the adhesive layer 36, and the steps similar to those of the first embodiment will be omitted.

図7(a)に示すように、第1実施形態に示した方法により、支持基板31上にクッション層34およびカラーフィルタ層32を形成し、対向基板30Aとする。図は、第1実施形態の図3(b)に対応する図である。   As shown in FIG. 7A, the cushion layer 34 and the color filter layer 32 are formed on the support substrate 31 by the method shown in the first embodiment to obtain the counter substrate 30A. The figure corresponds to FIG. 3B of the first embodiment.

次いで、図7(b)に示すように、カラーフィルタ層32を覆って接着層の形成材料からなる層である材料層36aを形成する。材料層36aは、例えば次の様にして行う。まず、上述した形成材料を溶媒に溶解して20重量%の固形分濃度の溶液を調整し、スリットコート法やロールコート法、スクリーン印刷法、ディスペンス法などの方法を用いて、該溶液を5μmに塗布する。その後、溶媒を蒸発させることで、1μmの膜厚の材料層36aを得ることができる。   Next, as shown in FIG. 7B, a material layer 36 a that is a layer made of a material for forming an adhesive layer is formed so as to cover the color filter layer 32. The material layer 36a is formed as follows, for example. First, the above-described forming material is dissolved in a solvent to prepare a solution having a solid content concentration of 20% by weight, and the solution is reduced to 5 μm by using a slit coating method, a roll coating method, a screen printing method, a dispensing method, or the like. Apply to. Thereafter, by evaporating the solvent, a material layer 36a having a thickness of 1 μm can be obtained.

次いで、図7(c)に示すように、材料層36aの周縁部および周辺部に、シール層33の形成材料を配置し材料層33aとする。塗布の方法および条件は、第1実施形態の製造方法と同様であり、図3(c)と同様の方法を用いる事ができる。   Next, as shown in FIG. 7C, a material for forming the seal layer 33 is disposed on the peripheral portion and the peripheral portion of the material layer 36a to form a material layer 33a. The application method and conditions are the same as those in the manufacturing method of the first embodiment, and the same method as in FIG. 3C can be used.

続いて、図8(a)に示すように、基板間のアライメント作業を行い、素子基板20Aの薄膜封止層Fと、対向基板30Aのカラーフィルタ層32と、対向させて加圧貼り合わせを行う。貼り合わせは、減圧雰囲気下で行う。塗布の方法および条件は、第1実施形態の製造方法と同様であり、図4(a)と同様の方法を用いる事ができる。貼り合わせの際、接着層の形成材料(材料層36aの形成材料)によっては、材料層36aが基板面方向に塗れ広がることが考えられるが、周囲に配置される材料層33a中に埋没するため、外部に漏れる事がない。   Subsequently, as shown in FIG. 8A, alignment work between the substrates is performed, and the thin film sealing layer F of the element substrate 20A and the color filter layer 32 of the counter substrate 30A are opposed to each other by pressure bonding. Do. Bonding is performed under a reduced pressure atmosphere. The application method and conditions are the same as those in the manufacturing method of the first embodiment, and the same method as in FIG. 4A can be used. At the time of bonding, depending on the material for forming the adhesive layer (the material for forming the material layer 36a), the material layer 36a may be spread and spread in the substrate surface direction, but is buried in the surrounding material layer 33a. There is no leakage to the outside.

次に、図8(b)に示すように、圧着して貼り合わせた後に大気中で加熱して、材料層36aを熱硬化させ接着層36とする。同時に、シール層33の形成材料の硬化を完了させる。材料層36aの硬化は、80〜120℃の温度範囲で加熱することにより行われ、硬化皮膜は酸窒化シリコンとの密着性に優れるエステル結合を持つ高分子となる。
以上より、本実施形態における有機EL装置3を得ることができる。
Next, as shown in FIG. 8B, the material layer 36 a is thermally cured to form the adhesive layer 36 by heating in the air after being bonded by pressure bonding. At the same time, curing of the material for forming the seal layer 33 is completed. The material layer 36a is cured by heating in a temperature range of 80 to 120 ° C., and the cured film becomes a polymer having an ester bond that is excellent in adhesion to silicon oxynitride.
From the above, the organic EL device 3 in the present embodiment can be obtained.

以上のような構成の有機EL装置3によれば、散乱源となる隙間が生じず、表示品質を保つことができる。また、形成される接着層36の厚みは0.05μm以上3μm以下と十分薄いものとなっているため、カラーフィルタ層32と薄膜封止層Fとの界面に接着層36を充填して両者を接着しながら、離間距離は十分に薄くすることができ、光漏れを防ぐことができる。また、貼り合わせを行う際に異物を挟み込んだ場合には、接着層36ではなくクッション層34が変形することで、薄膜封止層Fや発光素子21の損傷を抑制する。したがって、信頼性の高い有機EL装置3とすることができる。   According to the organic EL device 3 having the above-described configuration, a gap serving as a scattering source does not occur and display quality can be maintained. Further, since the thickness of the adhesive layer 36 to be formed is sufficiently thin such as 0.05 μm or more and 3 μm or less, the adhesive layer 36 is filled at the interface between the color filter layer 32 and the thin film sealing layer F, and both are bonded. While bonding, the separation distance can be made sufficiently thin, and light leakage can be prevented. In addition, when a foreign substance is sandwiched when the bonding is performed, the cushion layer 34, not the adhesive layer 36, is deformed to suppress damage to the thin film sealing layer F and the light emitting element 21. Therefore, the organic EL device 3 with high reliability can be obtained.

なお、本実施形態においても、第1実施形態と同様に、ブラックマトリクス層32bをクッション層34の端部を覆い支持基板31と当接するまで延在して形成することとしても良い。この様にすると、第1実施形態と同様、表示領域の周辺における光漏れを防ぐことができる。   In the present embodiment as well, as in the first embodiment, the black matrix layer 32b may be formed to extend until it covers the end of the cushion layer 34 and comes into contact with the support substrate 31. In this way, light leakage around the display area can be prevented as in the first embodiment.

また、本実施形態においては、材料層36aを形成した後に、シール層33の形成材料を配置することとしたが、シール層33の形成材料を配置した後に材料層36aを形成することとしても構わない。   In this embodiment, the material for forming the seal layer 33 is disposed after the material layer 36a is formed. However, the material layer 36a may be formed after the material for forming the seal layer 33 is disposed. Absent.

その場合は、シール層33の形成材料は、材料層36aの変形部分の吸収と、材料層36aの塗れ広がりを防ぐ土手機能を兼ね備えるため、塗布時の粘度が10Pa・s以上200Pa・s以下(室温)であることが好ましい。また、狭い額縁幅を達成するため1mm以下の狭い幅にシール層33の形成材料を配置する場合には、硬化速度の遅い形成材料を用い、貼り合わせ前に予め紫外線照射を行い高粘度化させると良い。このようにすると、幅が狭いシール層であっても良好に土手機能を発揮できるため好ましい。   In that case, the forming material of the seal layer 33 has a bank function that prevents absorption of the deformed portion of the material layer 36a and prevents spreading of the material layer 36a, so that the viscosity at the time of application is 10 Pa · s to 200 Pa · s ( Room temperature). Further, when the forming material of the seal layer 33 is arranged in a narrow width of 1 mm or less in order to achieve a narrow frame width, a forming material having a slow curing rate is used, and ultraviolet irradiation is performed in advance before bonding to increase the viscosity. And good. This is preferable because a bank function can be satisfactorily exhibited even with a narrow seal layer.

また、接着層36の形成材料は、塗布時に気泡を噛まずに充填性を上げるためには低粘度であるほうが良いが、あまり低すぎても周辺シールの切断を生じやすいため好ましくない。そのため、100mPa・s以上1000mPa・s以下(室温)の範囲のものが好ましい。   The material for forming the adhesive layer 36 should have a low viscosity in order to improve the filling property without biting bubbles during application, but it is not preferable because the peripheral seal is likely to be cut if it is too low. Therefore, the thing of the range of 100 mPa * s or more and 1000 mPa * s or less (room temperature) is preferable.

[電子機器]
次に、本発明の電子機器の実施形態について説明する。図9は、本発明の有機EL装置を用いた電子機器の例を示すものであり、図9(a)は携帯電話を示す斜視図、図9(b)はテレビジョン受像機を示す斜視図である。図9(a)は、本発明の有機EL装置を、携帯電話表示部のような小型パネルに応用した例であり、図9(b)は、本発明の有機EL装置を、薄型テレビの表示部のような大型パネルに応用した例である。
[Electronics]
Next, an embodiment of the electronic device of the present invention will be described. FIG. 9 shows an example of an electronic apparatus using the organic EL device of the present invention. FIG. 9 (a) is a perspective view showing a mobile phone, and FIG. 9 (b) is a perspective view showing a television receiver. It is. FIG. 9A shows an example in which the organic EL device of the present invention is applied to a small panel such as a mobile phone display unit, and FIG. 9B shows the display of the organic EL device of the present invention on a thin TV. This is an example of application to a large panel such as a part.

図9(a)に示す携帯電話1300は、本発明の有機EL装置を小サイズの表示部1301として備え、複数の操作ボタン1302、受話口1303、及び送話口1304を備えて構成されている。これにより、本発明の有機EL装置により構成された表示品質に優れる表示部を具備した携帯電話1300を提供することができる。   A cellular phone 1300 illustrated in FIG. 9A includes the organic EL device of the present invention as a small-sized display portion 1301 and includes a plurality of operation buttons 1302, an earpiece 1303, and a mouthpiece 1304. . Thereby, it is possible to provide a mobile phone 1300 provided with a display unit that is configured by the organic EL device of the present invention and has excellent display quality.

図9(b)に示すテレビジョン受像機1400は、受信機本体(筐体)1402、スピーカーなどの音声出力部1404、上述した有機EL装置1を用いた表示部1406を備える。これにより、高品質な表示部1406を具備し軽量な薄型大画面テレビ1400を提供することができる。   A television receiver 1400 illustrated in FIG. 9B includes a receiver main body (housing) 1402, an audio output unit 1404 such as a speaker, and a display unit 1406 using the organic EL device 1 described above. Accordingly, a lightweight thin large-screen television 1400 that includes the high-quality display portion 1406 can be provided.

これらの電子機器は、本発明の有機EL装置を備えているため、高品質な画像表示が可能であり信頼性が高い電子機器とすることができる。   Since these electronic devices include the organic EL device of the present invention, high-quality image display is possible and electronic devices with high reliability can be obtained.

また本発明の有機EL装置は、上記の電子機器に限らず、電子ブック、プロジェクタ、パーソナルコンピュータ、ディジタルスチルカメラ、テレビジョン受像機、ビューファインダ型あるいはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器等々の画像表示手段として好適に用いることができ、かかる構成とすることで、表示品質が高く、信頼性に優れた表示部を備えた電子機器を提供できる。   The organic EL device of the present invention is not limited to the above-described electronic device, but an electronic book, a projector, a personal computer, a digital still camera, a television receiver, a viewfinder type or a monitor direct-view type video tape recorder, a car navigation device, It can be suitably used as image display means for pagers, electronic notebooks, calculators, word processors, workstations, videophones, POS terminals, touch panel-equipped devices, etc., and such a configuration provides high display quality and reliability. It is possible to provide an electronic device provided with a display portion that is excellent in the above.

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。   The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but it goes without saying that the present invention is not limited to such examples. Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described examples are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.

第1実施形態に係る有機EL装置を模式的に示す断面図である。1 is a cross-sectional view schematically showing an organic EL device according to a first embodiment. 第1実施形態に係る有機EL装置の製造方法を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the organic electroluminescent apparatus concerning 1st Embodiment. 第1実施形態に係る有機EL装置の製造方法を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the organic electroluminescent apparatus concerning 1st Embodiment. 第1実施形態に係る有機EL装置の製造方法を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the organic electroluminescent apparatus concerning 1st Embodiment. 本発明の変形例に係る有機EL装置の断面図である。It is sectional drawing of the organic electroluminescent apparatus which concerns on the modification of this invention. 第2実施形態に係る有機EL装置を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the organic electroluminescent apparatus concerning 2nd Embodiment. 第2実施形態に係る有機EL装置の製造方法を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the organic electroluminescent apparatus concerning 2nd Embodiment. 第2実施形態に係る有機EL装置の製造方法を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing method of the organic electroluminescent apparatus concerning 2nd Embodiment. 本発明の電子機器の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the example of the electronic device of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1,2,3…有機EL装置(有機エレクトロルミネッセンス装置)、20A…素子基板、21…発光素子、30A…対向基板、31…支持基板、32…カラーフィルタ層、32a…着色層、32b…ブラックマトリクス層(遮光層)、33…シール層、34…クッション層、36…接着層、1300…携帯電話(電子機器)、1400…テレビジョン受像機(電子機器)、F…薄膜封止層(封止層)、H…表示領域   1, 2, 3 ... Organic EL device (organic electroluminescence device), 20A ... element substrate, 21 ... light emitting element, 30A ... counter substrate, 31 ... support substrate, 32 ... color filter layer, 32a ... colored layer, 32b ... black Matrix layer (light-shielding layer), 33 ... sealing layer, 34 ... cushion layer, 36 ... adhesive layer, 1300 ... mobile phone (electronic device), 1400 ... television receiver (electronic device), F ... thin film sealing layer (sealing) Stop layer), H ... Display area

Claims (11)

表示領域を形成する複数の発光素子と、前記複数の発光素子を覆って形成された封止層と、を有する素子基板と、
前記素子基板に対向し該素子基板と貼り合わされる対向基板と、
前記素子基板と前記対向基板とが対向する領域の周縁部に沿って設けられ、前記素子基板と前記対向基板とを固定するシール層と、を備え、
前記対向基板は、支持基板と、
前記支持基板上の少なくとも前記表示領域と対向する領域に設けられた、加わる応力に対して変形可能であるクッション層と、
前記クッション層上の少なくとも前記表示領域と対向する領域に設けられた、前記クッション層の変形に追従して変形可能であるカラーフィルタ層と、を有し、
前記カラーフィルタ層および前記クッション層は、前記素子基板と前記対向基板とを貼合する応力に基づいて、前記封止層の表面形状に追従して変形していることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。
An element substrate having a plurality of light emitting elements forming a display region, and a sealing layer formed to cover the plurality of light emitting elements;
A counter substrate facing the element substrate and bonded to the element substrate;
A seal layer provided along a peripheral portion of a region where the element substrate and the counter substrate face each other, and fixing the element substrate and the counter substrate;
The counter substrate includes a support substrate,
A cushion layer provided at least in a region facing the display region on the support substrate and capable of being deformed by applied stress;
A color filter layer provided in at least a region facing the display region on the cushion layer and deformable following the deformation of the cushion layer;
The organic electroluminescence device, wherein the color filter layer and the cushion layer are deformed following the surface shape of the sealing layer based on a stress for bonding the element substrate and the counter substrate. apparatus.
表示領域を形成する複数の発光素子と、前記複数の発光素子を覆って形成された封止層と、を有する素子基板と、
前記素子基板に対向し該素子基板と貼り合わされる対向基板と、
前記素子基板と前記対向基板とが対向する領域の周縁部に沿って設けられ、前記素子基板と前記対向基板とを固定するシール層と、を備え、
前記対向基板は、支持基板と、
前記支持基板上の少なくとも前記表示領域と対向する領域に設けられたクッション層と、
前記クッション層上の少なくとも前記表示領域と対向する領域に設けられたカラーフィルタ層と、を有し、
前記カラーフィルタ層および前記クッション層の前記カラーフィルタ側の面は、前記封止層の表面形状に追従した形を有していることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。
An element substrate having a plurality of light emitting elements forming a display region, and a sealing layer formed to cover the plurality of light emitting elements;
A counter substrate facing the element substrate and bonded to the element substrate;
A seal layer provided along a peripheral portion of a region where the element substrate and the counter substrate face each other, and fixing the element substrate and the counter substrate;
The counter substrate includes a support substrate,
A cushion layer provided in a region facing at least the display region on the support substrate;
A color filter layer provided in an area facing at least the display area on the cushion layer,
The surface of the color filter side of the color filter layer and the cushion layer has a shape that follows the surface shape of the sealing layer.
表示領域を形成する複数の発光素子と、前記複数の発光素子を覆って形成された封止層と、を有する素子基板と、
前記素子基板に対向し該素子基板と貼り合わされる対向基板と、
前記素子基板と前記対向基板とが対向する領域の周縁部に沿って設けられ、前記素子基板と前記対向基板とを固定するシール層と、を備え、
前記対向基板は、支持基板と、
前記支持基板上の少なくとも前記表示領域と対向する領域に設けられた、加わる応力に対して変形可能であるクッション層と、
前記クッション層上の少なくとも前記表示領域と対向する領域に設けられた、前記クッション層の変形に追従して変形可能であるカラーフィルタ層と、を有し、
前記封止層と前記カラーフィルタ層とは、0.05μm以上3μm以下の膜厚の接着層を介して貼り合わされており、
前記カラーフィルタ層および前記クッション層は、前記素子基板と前記対向基板とを貼合する応力に基づいて、前記封止層の表面形状に追従して変形していることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。
An element substrate having a plurality of light emitting elements forming a display region, and a sealing layer formed to cover the plurality of light emitting elements;
A counter substrate facing the element substrate and bonded to the element substrate;
A seal layer provided along a peripheral portion of a region where the element substrate and the counter substrate face each other, and fixing the element substrate and the counter substrate;
The counter substrate includes a support substrate,
A cushion layer provided at least in a region facing the display region on the support substrate and capable of being deformed by applied stress;
A color filter layer provided in at least a region facing the display region on the cushion layer and deformable following the deformation of the cushion layer;
The sealing layer and the color filter layer are bonded via an adhesive layer having a thickness of 0.05 μm or more and 3 μm or less,
The organic electroluminescence device, wherein the color filter layer and the cushion layer are deformed following the surface shape of the sealing layer based on a stress for bonding the element substrate and the counter substrate. apparatus.
前記クッション層は、吸水率が1%以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。   The organic electroluminescence device according to any one of claims 1 to 3, wherein the cushion layer has a water absorption rate of 1% or less. 前記クッション層のヤング率が1GPa以下であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。   The organic electroluminescence device according to any one of claims 1 to 4, wherein the cushion layer has a Young's modulus of 1 GPa or less. 前記カラーフィルタ層のヤング率が1GPa以下であることを特徴とする請求項5に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。   6. The organic electroluminescent device according to claim 5, wherein the color filter layer has a Young's modulus of 1 GPa or less. 前記クッション層、前記カラーフィルタ層及び前記接着層は、ヤング率が1GPa以下であることを特徴とする請求項3に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。   The organic electroluminescence device according to claim 3, wherein the cushion layer, the color filter layer, and the adhesive layer have a Young's modulus of 1 GPa or less. 前記クッション層の形成材料は、エラストマーであることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。   The organic electroluminescence device according to any one of claims 1 to 7, wherein a material for forming the cushion layer is an elastomer. 前記クッション層は、前記カラーフィルタ層よりも厚く形成されていることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。   The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the cushion layer is formed thicker than the color filter layer. 前記カラーフィルタ層は、前記複数の発光素子の各々と対向する複数の着色層と、前記複数の着色層の周囲に設けられた遮光層と、を有し、
前記遮光層は、前記クッション層の端部にまで延在して形成されていることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
The color filter layer has a plurality of colored layers facing each of the plurality of light emitting elements, and a light shielding layer provided around the plurality of colored layers,
The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the light shielding layer is formed to extend to an end portion of the cushion layer.
請求項1から10のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置を備えていることを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the organic electroluminescence device according to claim 1.
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