JP2010027847A - 半導体素子の実装構造およびそれを備えた表示装置 - Google Patents

半導体素子の実装構造およびそれを備えた表示装置 Download PDF

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Abstract

【課題】電気的信頼性を向上させることが可能な半導体素子の実装構造を提供する。
【解決手段】この駆動用IC10の実装構造は、駆動用IC10と、液晶表示パネル20と、ACF30とを備えている。液晶表示パネル20の電極パッド21の周縁部には、段差部27と、段差部27の段差よりも小さい段差を有する粒子流入部28とが設けられている。段差部27は、下部導電膜23(電極パッド21)の辺23a、23bおよび23dに設けられ、粒子流入部28は、液晶表示パネル20の下部導電膜23(電極パッド21)の辺23cに設けられている。
【選択図】図1

Description

この発明は、半導体素子の実装構造およびそれを備えた表示装置に関し、特に、半導体素子を実装基板にフェイスダウン実装した半導体素子の実装構造およびそれを備えた表示装置に関する。
近年、携帯電話などの表示装置として、液晶表示装置や有機EL表示装置などの薄型の表示装置が広く用いられている。これらの表示装置は、表示パネル(実装基板)と、表示パネルに駆動信号を供給するための駆動用IC(Integrated Circuit)(半導体素子)とを備えている。
駆動用ICの実装構造としては、従来、TCP(Tape Carrier Package)を用いた構造が一般に知られているが、近年、携帯電話などの中小型の表示装置では、低コスト、高信頼性、薄型化などの観点から、駆動用ICを表示パネルにベアチップ実装したCOG(Chip On Glass)方式が主流となってきている。
COG方式の中でも、駆動用ICに形成した突起状のバンプ電極を、表示パネルに形成した電極パッド(ボンディングパッド)にフェイスダウン実装する方法が一般的である。
そして、COG方式の接続方法としては、駆動用ICのバンプ電極をAuなどの金属により形成し、駆動用ICのバンプ電極を表示パネルの電極パッドに導電性ペーストや異方性導電材料を介して接続する方法がある。
異方性導電材料とは、絶縁性の接着材中に導電粒子を分散させたものである。異方性導電材料中の導電粒子が、バンプ電極と電極パッドとの間に挟まれることによって、駆動用ICと表示パネルとが電気的に接続される。また、異方性導電材料を用いた場合、隣接するバンプ電極間に絶縁性の接着材が充填されるので、バンプ電極間に十分な絶縁性を容易に確保することができる。このような利点から、近年、COG方式においては、異方性導電材料を用いる方法が主流となっている。
図18は、半導体素子が異方性導電材料を用いて表示パネルにフェイスダウン実装された従来の一例による表示装置の概略的な構造を示した断面図である。図19は、図18に示した従来の一例による表示装置の半導体素子の構造を示した平面図である。図20は、図18に示した従来の一例による表示装置の表示パネルの構造を示した平面図である。図21は、図20の200−200線に沿った拡大断面図である。
従来の一例による表示装置501は、図18に示すように、半導体素子510と、半導体素子510がフェイスダウン実装された表示パネル(実装基板)520と、半導体素子510および表示パネル520を電気的に接続するためのACF(異方性導電フィルム)530とを備えている。
この半導体素子510は、図19に示すように、2つの長辺511aおよび511bと、2つの短辺511cおよび511dを有する長方形状の主表面511を含んでいる。主表面511上には、長手方向(A方向)に配列された複数のバンプ電極512が設けられている。
具体的には、複数のバンプ電極512は、2つの端子列からなる列状に配置されている。また、複数のバンプ電極512の2つの端子列は、それぞれ、長辺511aおよび511bに沿って配置されている。
表示パネル520には、図20に示すように、半導体素子510が実装される実装領域520aが設けられている。この実装領域520aには、半導体素子510の複数のバンプ電極512(図19参照)に対応する位置に複数の電極パッド521が形成されている。
また、表示パネル520は、図21に示すように、ガラス基板522と、ガラス基板522上に形成された下部導電膜523と、絶縁膜524と、上部導電膜525とによって構成されている。そして、下部導電膜523および上部導電膜525によって、電極パッド521が構成されている。
下部導電膜523は、平面的に見て、長方形状に形成されている。
絶縁膜524は、下部導電膜523の周縁部およびガラス基板522の所定領域を覆うように配置されている。上部導電膜525は、下部導電膜523および絶縁膜524の所定領域上に配置されている。
また、絶縁膜524には、開口部524aが形成されており、上部導電膜525は、開口部524aを介して下部導電膜523に電気的に接続されている。
ACF530は、図18に示すように、絶縁性の接着層531と、接着層531内に分散された複数の導電粒子532とによって構成されている。そして、この導電粒子532が半導体素子510のバンプ電極512と表示パネル520の電極パッド521とに挟まれることによって、半導体素子510と表示パネル520とが電気的に接続されている。
このような表示装置は、例えば、特許文献1に開示されている。
特開2002−196703号公報
上記従来の一例による表示装置501では、ACF530の導電粒子532の含有率が大きくなるにしたがって、半導体素子510の隣接するバンプ電極512間でリークが発生しやすくなる。このため、隣接するバンプ電極512間でリークが発生するのを抑制するために、ACF530の導電粒子532の含有率の上限を制限する必要がある。
一方、半導体素子510と表示パネル520の電気的接続の観点からは、ACF530の導電粒子532の含有率を小さくすると、半導体素子510のバンプ電極512と表示パネル520の電極パッド521とに挟まれる導電粒子532が少なくなり、半導体素子510のバンプ電極512と表示パネル520の電極パッド521との間に導電粒子532が存在しなくなる場合があり、半導体素子510と表示パネル520とを確実に電気的に接続する為には導電粒子532の含有率の下限が制限される。半導体素子510のバンプ電極512、および、表示パネル520の電極パッド521のピッチを小さくする場合、このリーク観点からの導電粒子532の含有率上限と接続観点からの導電粒子532の含有率下限とのバランスをとるのが困難であるという問題点がある。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の目的は、電気的信頼性を向上させることが可能な半導体素子の実装構造およびそれを備えた表示装置を提供することである。
上記目的を達成するために、この発明の第1の局面による半導体素子の実装構造は、バンプ電極を有する半導体素子と、半導体素子のバンプ電極が電気的に接続される電極パッドを有する実装基板と、半導体素子および実装基板の間に配置され、複数の導電粒子を有する異方性導電材料とを備え、実装基板は、半導体素子が実装される実装領域を含み、実装基板の電極パッドの周縁部には、段差部と、段差部の段差よりも小さい段差を有する、または、段差を有しない粒子流入部とが設けられ、段差部は、実装基板の電極パッドの周縁部のうちの、少なくとも実装領域の周縁部側の部分に設けられ、粒子流入部は、実装基板の電極パッドの周縁部のうちの、少なくとも実装領域の中央部側の部分に設けられている。
この第1の局面による半導体素子の実装構造では、上記のように、段差部は、実装基板の電極パッドの周縁部のうちの、少なくとも実装領域の周縁部側の部分に設けられている。これにより、半導体素子と実装基板との間に異方性導電材料を挟むことにより異方性導電材料の導電粒子が半導体素子(実装領域)の中央部側から外側に向かって移動する際に、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを抑制することができる。このため、半導体素子のバンプ電極と実装基板の電極パッドとの間に導電粒子が存在しなくなるのを抑制することができるので、半導体素子と実装基板とを確実に電気的に接続することができる。その結果、電気的信頼性を向上させることができる。
また、第1の局面による半導体素子の実装構造では、上記のように、粒子流入部は、実装基板の電極パッドの周縁部のうちの、少なくとも実装領域の中央部側の部分に設けられている。これにより、半導体素子と実装基板との間に異方性導電材料を挟み込むことにより異方性導電材料の導電粒子が半導体素子(実装領域)の中央部側から外側に向かって移動する際に、電極パッドよりも実装領域の中央部側に配置された導電粒子を、粒子流入部を通過させて電極パッド上に移動させることができる。このため、半導体素子のバンプ電極と実装基板の電極パッドとの間に、より多くの導電粒子を配置することができるので、半導体素子と実装基板とを、より確実に電気的に接続することができる。その結果、電気的信頼性を、より向上させることができる。
上記第1の局面による半導体素子の実装構造において、好ましくは、バンプ電極は、複数からなるとともに、半導体素子の周縁部に沿って配列されており、電極パッドは、複数からなるとともに、実装領域の周縁部に沿って配列され、かつ、平面的に見て少なくとも4つの辺を有するように形成されており、段差部は、4つの辺のうちの、少なくとも実装領域の周縁部に沿った1つの辺に設けられている。このように構成すれば、段差部を、実装基板の電極パッドの周縁部のうちの、少なくとも実装領域の周縁部側の部分に、容易に設けることができる。これにより、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを、容易に抑制することができる。
上記電極パッドが平面的に見て少なくとも4つの辺を有するように形成されている半導体素子の実装構造において、好ましくは、段差部は、4つの辺のうちの、実装領域の周縁部側の少なくとも2つの辺に設けられている。このように構成すれば、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを、より抑制することができる。このため、半導体素子のバンプ電極と実装基板の電極パッドとの間に導電粒子が存在しなくなるのを、より抑制することができるので、半導体素子と実装基板とを、より確実に電気的に接続することができる。
上記電極パッドが平面的に見て少なくとも4つの辺を有するように形成されている半導体素子の実装構造において、好ましくは、段差部は、4つの辺のうちの、実装領域の周縁部側の少なくとも1つの辺全体に設けられている。このように構成すれば、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを、より抑制することができる。
上記第1の局面による半導体素子の実装構造において、好ましくは、段差部は、粒子流入部に配置されず段差部に配置された第1絶縁層により形成されている。このように構成すれば、段差部を、容易に、粒子流入部よりも大きい段差を有するように形成することができる。
上記段差部が第1絶縁層により形成されている半導体素子の実装構造において、好ましくは、第1絶縁層は、異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも小さい厚みを有する。このように構成すれば、半導体素子を実装基板に実装する際に、半導体素子のバンプ電極を、実装基板の段差部上に位置ずれした状態で配置した場合にも、半導体素子のバンプ電極および実装基板の電極パッドが異方性導電材料の導電粒子に接触しなくなるのを抑制することができる。これにより、半導体素子のバンプ電極と実装基板の電極パッドとが電気的に接続されなくなるのをより抑制することができる。
上記第1の局面による半導体素子の実装構造において、好ましくは、粒子流入部は、異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも大きい幅を有する。このように構成すれば、異方性導電材料の導電粒子を、粒子流入部を通過しやすくすることができる。これにより、より多くの導電粒子を、粒子流入部を通過させて電極パッド上に移動させることができる。
上記第1の局面による半導体素子の実装構造において、好ましくは、実装基板の電極パッドの内側の領域には、凸部が設けられている。このように構成すれば、異方性導電材料の導電粒子が半導体素子(実装領域)の中央部側から外側に向かって移動する際に、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを、さらに抑制することができる。このため、半導体素子のバンプ電極と実装基板の電極パッドとの間に導電粒子が存在しなくなるのを、さらに抑制することができるので、半導体素子と実装基板とを、さらに確実に電気的に接続することができる。
上記実装基板の電極パッドの内側の領域に凸部が設けられている半導体素子の実装構造において、好ましくは、凸部の突出高さは、異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも小さい。このように構成すれば、実装基板の電極パッドの内側の領域に凸部を設けた場合にも、半導体素子のバンプ電極と実装基板の電極パッドとが異方性導電材料の導電粒子に接触しなくなるのを、容易に抑制することができる。これにより、半導体素子のバンプ電極と実装基板の電極パッドとを、容易に電気的に接続することができる。
上記実装基板の電極パッドの内側の領域に凸部が設けられている半導体素子の実装構造において、好ましくは、凸部は、実装領域の周縁部と平行に延びる部分を有する。このように構成すれば、異方性導電材料の導電粒子が半導体素子(実装領域)の中央部側から外側に向かって移動する際に、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを、効果的に抑制することができる。
上記実装基板の電極パッドの内側の領域に凸部が設けられている半導体素子の実装構造において、好ましくは、凸部は、複数からなる。このように構成すれば、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを、より抑制することができる。
上記凸部が複数からなる半導体素子の実装構造において、好ましくは、複数の凸部は、互いに、異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも大きい間隔を隔てて配置されている。このように構成すれば、異方性導電材料の導電粒子を、隣接する凸部の間に配置することができるので、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを、効果的に抑制することができる。
上記実装基板の電極パッドの内側の領域に凸部が設けられている半導体素子の実装構造において、好ましくは、凸部は、第2絶縁層により形成されている。このように構成すれば、容易に、凸部を形成することができる。
上記第1の局面による半導体素子の実装構造において、好ましくは、段差部および凸部は、同一の材質からなる層を用いて形成されている。このように構成すれば、段差部および凸部を、同一のプロセスにより形成することができるので、製造工程が増加するのを抑制することができる。
この発明の第2の局面による表示装置は、請求項1〜14のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造を備える。このように構成すれば、電気的信頼性を向上させることが可能な表示装置を得ることができる。
この発明の第3の局面による半導体素子の実装構造は、バンプ電極を有する半導体素子と、半導体素子のバンプ電極が電気的に接続される電極パッドを有する実装基板と、半導体素子および実装基板の間に配置され、複数の導電粒子を有する異方性導電材料とを備え、実装基板の電極パッドの内側の領域には、凸部が設けられている。
この第3の局面による半導体素子の実装構造では、上記のように、実装基板の電極パッドの内側の領域には、凸部が設けられている。これにより、半導体素子と実装基板との間に異方性導電材料を挟むことにより異方性導電材料の導電粒子が半導体素子(実装領域)の中央部側から外側に向かって移動する際に、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを抑制することができる。このため、半導体素子のバンプ電極と実装基板の電極パッドとの間に導電粒子が存在しなくなるのを抑制することができるので、半導体素子と実装基板とを確実に電気的に接続することができる。その結果、電気的信頼性を向上させることができる。
上記第3の局面による半導体素子の実装構造において、好ましくは、凸部の突出高さは、異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも小さい。このように構成すれば、実装基板の電極パッドの内側の領域に凸部を設けた場合にも、半導体素子のバンプ電極と実装基板の電極パッドとが異方性導電材料の導電粒子に接触しなくなるのを、容易に抑制することができる。これにより、半導体素子のバンプ電極と実装基板の電極パッドとを、容易に電気的に接続することができる。
上記第3の局面による半導体素子の実装構造において、好ましくは、実装基板は、半導体素子が実装される実装領域を含み、凸部は、実装領域の周縁部と平行に延びる部分を有する。このように構成すれば、異方性導電材料の導電粒子が半導体素子(実装領域)の中央部側から外側に向かって移動する際に、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを、効果的に抑制することができる。
上記第3の局面による半導体素子の実装構造において、好ましくは、凸部は、複数からなる。このように構成すれば、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを、より抑制することができる。
上記凸部が複数からなる半導体素子の実装構造において、好ましくは、複数の凸部は、互いに、異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも大きい間隔を隔てて配置されている。このように構成すれば、異方性導電材料の導電粒子を、隣接する凸部の間に配置することができるので、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを、効果的に抑制することができる。
上記第3の局面による半導体素子の実装構造において、好ましくは、凸部は、第3絶縁層により形成されている。このように構成すれば、容易に、凸部を形成することができる。
上記第3の局面による半導体素子の実装構造において、好ましくは、実装基板は、半導体素子が実装される実装領域を含み、実装基板の電極パッドの周縁部には、段差部が設けられ、段差部は、実装基板の電極パッドの周縁部のうちの、少なくとも実装領域の周縁部側の部分に設けられている。このように構成すれば、異方性導電材料の導電粒子が半導体素子(実装領域)の中央部側から外側に向かって移動する際に、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを、さらに抑制することができる。このため、半導体素子のバンプ電極と実装基板の電極パッドとの間に導電粒子が存在しなくなるのを、さらに抑制することができるので、半導体素子と実装基板とを、さらに確実に電気的に接続することができる。
上記実装基板の電極パッドの周縁部に段差部が設けられている半導体素子の実装構造において、好ましくは、実装基板の電極パッドの周縁部には、段差部と、段差部の段差よりも小さい段差を有する、または、段差を有しない粒子流入部とが設けられ、粒子流入部は、実装基板の電極パッドの周縁部のうちの、少なくとも実装領域の中央部側の部分に設けられている。このように構成すれば、異方性導電材料の導電粒子が半導体素子(実装領域)の中央部側から外側に向かって移動する際に、電極パッドよりも実装領域の中央部側に配置された導電粒子を、粒子流入部を通過させて電極パッド上に移動させることができる。このため、半導体素子のバンプ電極と実装基板の電極パッドとの間に、より多くの導電粒子を配置することができるので、半導体素子と実装基板とを、さらに確実に電気的に接続することができる。
上記実装基板の電極パッドの周縁部に段差部と粒子流入部とが設けられている半導体素子の実装構造において、好ましくは、粒子流入部は、異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも大きい幅を有する。このように構成すれば、異方性導電材料の導電粒子を、粒子流入部を通過しやすくすることができる。これにより、より多くの導電粒子を、粒子流入部を通過させて電極パッド上に移動させることができる。
上記実装基板の電極パッドの周縁部に段差部が設けられている半導体素子の実装構造において、好ましくは、バンプ電極は、複数からなるとともに、半導体素子の周縁部に沿って配列されており、電極パッドは、複数からなるとともに、実装領域の周縁部に沿って配列され、かつ、平面的に見て少なくとも4つの辺を有するように形成されており、段差部は、4つの辺のうちの、少なくとも実装領域の周縁部に沿った1つの辺に設けられている。このように構成すれば、段差部を、実装基板の電極パッドの周縁部のうちの、少なくとも実装領域の周縁部側の部分に、容易に設けることができる。これにより、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを、容易に抑制することができる。
上記電極パッドが平面的に見て少なくとも4つの辺を有するように形成されている半導体素子の実装構造において、好ましくは、段差部は、4つの辺のうちの、実装領域の周縁部側の少なくとも2つの辺に設けられている。このように構成すれば、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを、より抑制することができる。このため、半導体素子のバンプ電極と実装基板の電極パッドとの間に導電粒子が存在しなくなるのを、より抑制することができるので、半導体素子と実装基板とを、より確実に電気的に接続することができる。
上記電極パッドが平面的に見て少なくとも4つの辺を有するように形成されている半導体素子の実装構造において、好ましくは、段差部は、4つの辺のうちの、実装領域の周縁部側の少なくとも1つの辺全体に設けられている。このように構成すれば、電極パッド上に配置された導電粒子が電極パッドの外側に移動するのを、より抑制することができる。
上記実装基板の電極パッドの周縁部に段差部が設けられている半導体素子の実装構造において、好ましくは、段差部は、第4絶縁層により形成されている。このように構成すれば、容易に、段差部を形成することができる。
上記段差部が第4絶縁層により形成されている半導体素子の実装構造において、好ましくは、第4絶縁層は、異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも小さい厚みを有する。このように構成すれば、半導体素子を実装基板に実装する際に、半導体素子のバンプ電極を、実装基板の段差部上に位置ずれした状態で配置した場合にも、半導体素子のバンプ電極および実装基板の電極パッドが異方性導電材料の導電粒子に接触しなくなるのを抑制することができる。これにより、半導体素子のバンプ電極と実装基板の電極パッドとが電気的に接続されなくなるのをより抑制することができる。
上記実装基板の電極パッドの周縁部に段差部が設けられている半導体素子の実装構造において、好ましくは、段差部および凸部は、同一の材質からなる層を用いて形成されている。このように構成すれば、段差部および凸部を、同一のプロセスにより形成することができるので、製造工程が増加するのを抑制することができる。
この発明の第4の局面による表示装置は、請求項16〜30のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造を備える。このように構成すれば、電気的信頼性を向上させることが可能な表示装置を得ることができる。
以上のように、本発明によれば、電気的信頼性を向上させることが可能な半導体素子およびそれを備えた表示装置を容易に得ることができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態による駆動用ICの実装構造を備えた液晶表示装置の概略的な構造を示した断面図である。図2は、図1に示した本発明の第1実施形態による駆動用ICの構造を示した平面図である。図3は、図1に示した本発明の第1実施形態による液晶表示装置の液晶表示パネルの構造を示した平面図である。図4は、図3の100−100線に沿った拡大断面図である。図5は、図1に示した本発明の第1実施形態による液晶表示装置の液晶表示パネルの上部導電膜を省略した構造を示した拡大平面図である。図6は、図1に示した本発明の第1実施形態による液晶表示装置の構造を示した拡大平面図である。まず、図1〜図6を参照して、本発明の第1実施形態による駆動用IC10の実装構造を備えた液晶表示装置1の構造について説明する。なお、液晶表示装置1は、本発明の「表示装置」の一例である。
本発明の第1実施形態による液晶表示装置1は、図1に示すように、駆動用IC10と、駆動用IC10がフェイスダウン実装された液晶表示パネル20と、駆動用IC10および液晶表示パネル20を電気的に接続するためのACF30とを備えている。なお、駆動用IC10は、本発明の「半導体素子」の一例であり、液晶表示パネル20は、本発明の「実装基板」の一例である。また、ACF30は、本発明の「異方性導電材料」の一例である。
この駆動用IC10は、図2に示すように、2つの長辺11aおよび11bと、2つの短辺11cおよび11dとを有する長方形状の主表面11を含んでいる。主表面11上には、長手方向(A方向)に配列された複数のバンプ電極12が設けられている。
具体的には、複数のバンプ電極12は、2つの端子列からなる列状に配置されている。また、複数のバンプ電極12の2つの端子列は、それぞれ、長辺11aおよび11bに沿って配置されている。
また、複数のバンプ電極12は、A方向に、例えば、約30μmのピッチで配置されている。また、複数のバンプ電極12は、例えば、約15μmの高さ(厚み)を有する。
液晶表示パネル20には、図3に示すように、駆動用IC10が実装される実装領域20aが設けられている。この実装領域20aには、駆動用IC10の複数のバンプ電極12(図2参照)に対応する位置に複数の電極パッド21が形成されている。すなわち、電極パッド21は、実装領域20aの周縁部に沿って配列されている。
ここで、第1実施形態では、液晶表示パネル20は、図4に示すように、ガラス基板22と、ガラス基板22上に形成された下部導電膜23と、絶縁膜24と、有機絶縁膜25と、上部導電膜26とによって構成されている。そして、下部導電膜23および上部導電膜26によって、電極パッド21が構成されている。なお、有機絶縁膜25は、本発明の「第1絶縁層」の一例である。
下部導電膜23は、図5に示すように、平面的に見て、長方形状に形成されている。具体的には、下部導電膜23は、駆動用IC10(実装領域20a)のA方向の内側(中央部側)および外側(周縁部側)にそれぞれ配置された辺23aおよび23bと、駆動用IC10(実装領域20a)のB方向の内側(中央部側)および外側(周縁部側)にそれぞれ配置された辺23cおよび23dとを含んでいる。この辺23dは、実装領域20aの周縁部に沿って配置されている。なお、辺23aおよび23cは、本発明の「電極パッドの周縁部のうちの実装領域の中央部側の部分」の一例であり、辺23bおよび23dは、本発明の「電極パッドの周縁部のうちの実装領域の周縁部側の部分」の一例である。
絶縁膜24は、下部導電膜23の周縁部およびガラス基板22の所定領域を覆うように配置されている。また、絶縁膜24は、約0.3μm〜約0.4μmの厚みを有する。また、絶縁膜24には、下部導電膜23よりも小さい長方形状からなる開口部24aが形成されている。
また、第1実施形態では、図4および図5に示すように、下部導電膜23(電極パッド21)の周縁部には、段差部27と、段差部27の段差よりも小さい段差を有する粒子流入部28とが形成されている。
この段差部27は、図4に示すように、絶縁膜24と、有機絶縁膜25と、上部導電膜26の有機絶縁膜25上に配置された部分とによって形成されている。また、粒子流入部28は、絶縁膜24と、上部導電膜26の周縁部とによって形成されている。
具体的には、図5に示すように、有機絶縁膜25(段差部27)は、下部導電膜23(電極パッド21)の3つの辺23a、23bおよび23dの全体を覆うように、略コの字状に配置されている。その一方、有機絶縁膜25(段差部27)は、下部導電膜23の辺23c上の少なくとも一部には、配置されていない。
すなわち、段差部27は、液晶表示パネル20の下部導電膜23(電極パッド21)の周縁部のうちの、少なくとも実装領域20aの周縁部側の部分(辺23bおよび23d)に設けられている。また、粒子流入部28は、液晶表示パネル20の下部導電膜23(電極パッド21)の周縁部のうちの、実装領域20aの中央部側の部分(辺23c)に設けられている。
また、図4に示すように、段差部27の段差H1は、絶縁膜24および有機絶縁膜25の厚みによって決定される。
また、有機絶縁膜25は、約1μmの厚みを有する。なお、有機絶縁膜25の厚みおよび段差部27の段差H1は、約1μm以上であることが好ましい。
また、有機絶縁膜25の厚みおよび段差部27の段差H1は、ACF30の後述する導電粒子32の粒径よりも小さい方が好ましい。このように、有機絶縁膜25の厚みおよび段差部27の段差H1が、ACF30の後述する導電粒子32の粒径よりも小さい方が好ましいのは、以下の理由による。すなわち、駆動用IC10を液晶表示パネル20に実装する際に、駆動用IC10のバンプ電極12を、液晶表示パネル20の有機絶縁膜25(段差部27)上に位置ずれした状態で配置した場合にも、駆動用IC10のバンプ電極12および液晶表示パネル20の電極パッド21がACF30の導電粒子32に接触しなくなるのを抑制することが可能である。これにより、駆動用IC10のバンプ電極12と液晶表示パネル20の電極パッド21とが電気的に接続されなくなるのを抑制するのが可能となるためである。
なお、有機絶縁膜25は、液晶表示パネル20の表示領域(図示せず)を形成する際に用いる有機絶縁膜を利用して形成されている。このため、段差部27(有機絶縁膜25)を形成する製造工程が増加するのを抑制することが可能である。
また、粒子流入部28は、約0.3μm〜約0.4μmの段差H2を有する。また、粒子流入部28は、図5に示すように、ACF30の後述する導電粒子32の粒径よりも大きい幅W1を有する。
図4に示すように、上部導電膜26は、平面的に見て下部導電膜23と略同じ形状に形成されているとともに、下部導電膜23、絶縁膜24および有機絶縁膜25の所定領域上に配置されている。そして、上部導電膜26は、絶縁膜24の開口部24aを介して下部導電膜23に電気的に接続されている。
ACF30は、図1に示すように、駆動用IC10および液晶表示パネル20の間に配置されている。また、ACF30は、絶縁性のエポキシ樹脂フィルム31と、エポキシ樹脂フィルム31内に分散された複数の導電粒子32とによって構成されている。
エポキシ樹脂フィルム31(ACF30)は、約20μmの厚みを有する。すなわち、エポキシ樹脂フィルム31(ACF30)は、駆動用IC10のバンプ電極12よりも大きい厚みを有する。これにより、駆動用IC10を液晶表示パネル20に実装した状態で、ACF30は、駆動用IC10の主表面11と液晶表示パネル20の表面とに接触するので、駆動用IC10と液晶表示パネル20との接着強度を向上させることが可能である。
また、ACF30の導電粒子32は、約3μm〜約5μmの粒径を有する。
また、導電粒子32が駆動用IC10のバンプ電極12と液晶表示パネル20の電極パッド21とに挟まれることによって、駆動用IC10と液晶表示パネル20とが電気的に接続されている。
図7および図8は、図1に示した本発明の第1実施形態による液晶表示装置の駆動用ICを液晶表示パネルに実装する状態を概略的に示した断面図である。図9は、図1に示した本発明の第1実施形態による液晶表示装置の駆動用ICを液晶表示パネルに実装する際の、導電粒子(ACF)の移動を説明するための拡大平面図である。次に、図1、図3、図7〜図9を参照して、本発明の第1実施形態による駆動用IC10を液晶表示パネル20に実装する方法について説明する。
まず、図7に示すように、液晶表示パネル20の実装領域20a(図3参照)にACF30を配置する。そして、駆動用IC10を、フェイスダウンにした状態で、液晶表示パネル20の実装領域20a上に配置する。
その後、駆動用IC10のバンプ電極12と液晶表示パネル20の電極パッド21との間にACF30を挟み込んで熱圧着することによって、駆動用IC10を液晶表示パネル20に実装する。
このとき、ACF30(エポキシ樹脂フィルム31)は、駆動用IC10のバンプ電極12よりも大きい厚みを有するので、駆動用IC10および液晶表示パネル20に挟まれることにより、ACF30の一部は、図8および図9の矢印Cで示すように、駆動用IC10(実装領域20a)の内側(中央部)から外側(周縁部側)に向かって押し出される。また、このとき、導電粒子32は、駆動用IC10(実装領域20a)の内側(中央部)から外側(周縁部側)に向かって移動する。
ここで、第1実施形態では、電極パッド21の周縁部に段差部27を形成しているので、電極パッド21上に配置された導電粒子32は、電極パッド21の外側に移動しにくくなる。
また、電極パッド21の周縁部に粒子流入部28を設けているので、電極パッド21よりも実装領域20aの内側(中央部側)に配置された導電粒子32は、粒子流入部28を通過して電極パッド21上に移動しやすくなる。
第1実施形態では、上記のように、段差部27を、下部導電膜23(電極パッド21)の辺23a、23bおよび23dに設けている。これにより、駆動用IC10と液晶表示パネル20との間にACF30を挟み込むことによりACF30の導電粒子32が駆動用IC10(実装領域20a)の内側(中央部側)から外側(周縁部側)に向かって移動する際に、電極パッド21上に配置された導電粒子32が電極パッド21の外側に移動するのを抑制することができる。このため、駆動用IC10のバンプ電極12と液晶表示パネル20の電極パッド21との間に導電粒子32が存在しなくなるのを抑制することができるので、駆動用IC10と液晶表示パネル20とを確実に電気的に接続することができる。その結果、電気的信頼性を向上させることができる。
また、第1実施形態では、上記のように、粒子流入部28を、液晶表示パネル20の下部導電膜23(電極パッド21)の辺23cに設けている。これにより、ACF30の導電粒子32が駆動用IC10(実装領域20a)の内側(中央部側)から外側(周縁部側)に向かって移動する際に、電極パッド21よりも実装領域20aの内側(中央部側)に配置された導電粒子32を、粒子流入部28を通過させて電極パッド21上に移動させることができる。このため、駆動用IC10のバンプ電極12と液晶表示パネル20の電極パッド21との間に、より多くの導電粒子32を配置することができるので、駆動用IC10と液晶表示パネル20とを、より確実に電気的に接続することができる。その結果、電気的信頼性を、より向上させることができる。
また、第1実施形態では、上記のように、段差部27を、下部導電膜23(電極パッド21)の3つの辺23a、23bおよび23dに設けることによって、段差部27を、例えば、1つの辺23dのみに設ける場合に比べて、電極パッド21上に配置された導電粒子32が電極パッド21の外側に移動するのを、より抑制することができる。このため、駆動用IC10のバンプ電極12と液晶表示パネル20の電極パッド21との間に導電粒子32が存在しなくなるのを、より抑制することができるので、駆動用IC10と液晶表示パネル20とを、より確実に電気的に接続することができる。
また、第1実施形態では、上記のように、段差部27を、粒子流入部28に配置されず段差部27に配置された有機絶縁膜25により形成することによって、段差部27を、容易に、粒子流入部28よりも大きい段差を有するように形成することができる。
また、第1実施形態では、上記のように、粒子流入部28を、ACF30の導電粒子32の粒径よりも大きい幅を有するように形成することによって、導電粒子32が、粒子流入部28を通過しやすくなる。これにより、より多くの導電粒子32を、粒子流入部28を通過させて電極パッド21上に移動させることができる。
(第2実施形態)
図10は、本発明の第2実施形態による駆動用ICの実装構造を備えた液晶表示装置の構造を示した拡大断面図である。図11は、図10に示した本発明の第2実施形態による液晶表示装置の液晶表示パネルの上部導電膜を省略した構造を示した拡大平面図である。この第2実施形態では、図10および図11を参照して、上記第1実施形態とは異なり、電極パッド121に凸部129が形成されている場合について説明する。
本発明の第2実施形態による液晶表示装置101は、図10に示すように、駆動用IC10と、駆動用IC10がフェイスダウン実装された液晶表示パネル120と、駆動用IC10および液晶表示パネル120を電気的に接続するためのACF30とを備えている。なお、液晶表示装置101は、本発明の「表示装置」の一例であり、液晶表示パネル120は、本発明の「実装基板」の一例である。
液晶表示パネル120には、図11に示すように、上記第1実施形態と同様、駆動用IC10が実装される実装領域120aが設けられている。この実装領域120aには、駆動用IC10の複数のバンプ電極12(図11参照)に対応する位置に複数の電極パッド121が形成されている。
第2実施形態では、液晶表示パネル120は、図10に示すように、ガラス基板22と、ガラス基板22上に形成された下部導電膜123と、絶縁膜124と、有機絶縁膜125aおよび125bと、上部導電膜126とによって構成されている。そして、下部導電膜123および上部導電膜126によって、電極パッド121が構成されている。なお、有機絶縁膜125aは、本発明の「第1絶縁層」および「第4絶縁層」の一例であり、有機絶縁膜125bは、本発明の「第2絶縁層」および「第3絶縁層」の一例である。
下部導電膜123は、図11に示すように、上記第1実施形態と同様、実装領域120aのA方向の内側(中央部側)および外側(周縁部側)にそれぞれ配置された辺123aおよび123bと、実装領域120aのB方向の内側(中央部側)および外側(周縁部側)にそれぞれ配置された辺123cおよび123dとを含んでいる。なお、辺123aおよび123cは、本発明の「電極パッドの周縁部のうちの実装領域の中央部側の部分」の一例であり、辺123bおよび123dは、本発明の「電極パッドの周縁部のうちの実装領域の周縁部側の部分」の一例である。
絶縁膜124は、図10に示すように、上記第1実施形態と同様、下部導電膜123の周縁部およびガラス基板22の所定領域を覆うように配置されている。また、絶縁膜124には、下部導電膜123よりも小さい長方形状からなる開口部124aが形成されている。
また、第2実施形態では、図10および図11に示すように、上記第1実施形態と同様、下部導電膜123(電極パッド121)の周縁部には、段差部127と、段差部127の段差よりも小さい段差を有する粒子流入部128とが形成されている。
具体的には、段差部127は、下部導電膜123の辺123a、123bおよび123dを覆うように、略コの字状に配置されている。また、粒子流入部128は、下部導電膜123の辺123cを覆うように配置されている。
上部導電膜126は、図10に示すように、上記第1実施形態と同様、平面的に見て下部導電膜123と略同じ形状に形成されているとともに、下部導電膜123、絶縁膜124および有機絶縁膜125aおよび125bの所定領域上に配置されている。そして、上部導電膜126は、絶縁膜124の開口部124aを介して下部導電膜123に電気的に接続されている。
ここで、第2実施形態では、図11に示すように、電極パッド121の内側の領域には、2つの凸部129が設けられている。なお、凸部129は、本発明の「実装領域の周縁部と平行に延びる部分」の一例である。
この2つの凸部129は、図10に示すように、2つの有機絶縁膜125bと、上部導電膜126とによって形成されている。また、2つの凸部129(有機絶縁膜125b)は、互いに、ACF30の導電粒子32の粒径よりも大きい間隔を隔てて配置されている。
また、図11に示すように、2つの凸部129は、A方向に延びるように直線状に形成されている。すなわち、凸部129は、実装領域120aの周縁部と平行に延びるように形成されている。
また、図10に示すように、凸部129の突出高さH11は、有機絶縁膜125bの厚みによって決定される。また、有機絶縁膜125bは、約1μmの厚みを有する。なお、有機絶縁膜125bの厚みおよび凸部129の突出高さH11は、約1μm以上であることが好ましい。
また、有機絶縁膜125bの厚みおよび凸部129の突出高さH11は、ACF30の導電粒子32の粒径よりも小さいことが好ましい。
また、有機絶縁膜125bは、有機絶縁膜125aと同一の材質の層からなり、有機絶縁膜125aおよび125bは、液晶表示パネル120の表示領域(図示せず)を形成する際に用いる有機絶縁膜を利用して形成されている。
なお、第2実施形態による液晶表示装置101のその他の構造および実装方法は、上記第1実施形態と同様である。
第2実施形態では、上記のように、電極パッド121の内側の領域に、凸部129を設けている。これにより、ACF30の導電粒子32が駆動用IC10(実装領域120a)の内側(中央部側)から外側(周縁部側)に向かって移動する際に、電極パッド121上に配置された導電粒子32が電極パッド121の外側に移動するのを、さらに抑制することができる。このため、駆動用IC10のバンプ電極12と液晶表示パネル120の電極パッド121との間に導電粒子32が存在しなくなるのを、さらに抑制することができるので、駆動用IC10と液晶表示パネル120とを、さらに確実に電気的に接続することができる。その結果、電気的信頼性を、さらに向上させることができる。
また、第2実施形態では、上記のように、凸部129の突出高さH11を、ACF30の導電粒子32の粒径よりも小さくしている。これにより、電極パッド121の内側の領域に凸部129を設けた場合にも、駆動用IC10のバンプ電極12と液晶表示パネル120の電極パッド121とがACF30の導電粒子32に接触しなくなるのを、容易に抑制することができる。これにより、駆動用IC10のバンプ電極12と液晶表示パネル120の電極パッド121とを、容易に電気的に接続することができる。
また、第2実施形態では、上記のように、凸部129を、実装領域120aの周縁部と平行に延びるように形成している。これにより、ACF30の導電粒子32が駆動用IC10(実装領域120a)の内側(中央部側)から外側(周縁部側)に向かって移動する際に、電極パッド121上に配置された導電粒子32が電極パッド121の外側に移動するのを、効果的に抑制することができる。
また、第2実施形態では、上記のように、2つの凸部129を、互いに、ACF30の導電粒子32の粒径よりも大きい間隔を隔てて配置している。これにより、ACF30の導電粒子32を、隣接する凸部129の間に配置することができるので、電極パッド121上に配置された導電粒子32が電極パッド121の外側に移動するのを、より効果的に抑制することができる。
また、第2実施形態では、上記のように、有機絶縁膜125a(段差部127)および有機絶縁膜125b(凸部129)を、同一の材質からなる層を用いて形成することによって、有機絶縁膜125a(段差部127)および有機絶縁膜125b(凸部129)を、同一のプロセスにより形成することができるので、製造工程が増加するのを抑制することができる。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
たとえば、上記実施形態では、表示装置を液晶表示装置に適用した例について示したが、本発明はこれに限らず、液晶表示装置以外の、例えば有機EL表示装置や、その他の表示装置に適用してもよい。
また、上記実施形態では、実装基板(液晶表示パネル)に駆動用ICを実装する例について示したが、本発明はこれに限らず、実装基板(液晶表示パネル)に駆動用IC以外の半導体素子を実装する場合にも適用可能である。
また、上記実施形態では、実装基板として液晶表示パネルを用いた例について示したが、本発明はこれに限らず、液晶表示パネル以外の実装基板を用いてもよい。
また、上記第1実施形態では、段差部27を、下部導電膜23(電極パッド21)の3つの辺23a、23bおよび23dの全体を覆うように、略コの字状に配置した例について説明したが、本発明はこれに限らず、図12に示した本発明の第1変形例や、図13に示した本発明の第2変形例のように構成してもよい。すなわち、図12に示すように、段差部27aを、下部導電膜23(電極パッド21)の2つの辺23bおよび23dに、略L字状に配置してもよい。また、図13に示すように、段差部27bを、下部導電膜23(電極パッド21)の1つの辺23dのみに、略直線状に配置してもよい。また、段差部を、例えば、下部導電膜23(電極パッド21)の辺23dを部分的に覆うように配置してもよい。
また、上記第2実施形態では、凸部129を、2つ設けた例について説明したが、本発明はこれに限らず、凸部129を、1つのみ、または、3つ以上設けてもよい。
また、上記第2実施形態では、段差部127と、凸部129とを設けるとともに、段差部127を、下部導電膜123(電極パッド121)の3つの辺123a、123bおよび123dに配置した例について説明したが、本発明はこれに限らず、図14に示した本発明の第3変形例のように、段差部127を設けず凸部129のみを設けてもよい。また、凸部129と、段差部とを設けるとともに、段差部を、下部導電膜123(電極パッド121)の4つの辺123a〜123dのうちの、1つ、2つ、または、4つの辺全体に設けてもよい。
また、上記第2実施形態では、凸部129を、A方向に延びるように直線状に形成した例について説明したが、本発明はこれに限らず、図15に示した本発明の第4変形例や、図16に示した本発明の第5変形例のように構成してもよい。すなわち、図15に示すように、凸部129aを、コの字状に形成してもよい。また、図16に示すように、凸部129bを、L字状に形成してもよい。この場合、例えば、段差部127aを、下部導電膜123(電極パッド121)の2つの辺123bおよび123dに、略L字状に配置してもよい。また、凸部を、曲線状や格子状に形成してもよい。
また、上記第2実施形態では、凸部129を、A方向に延びるように形成した例について説明したが、本発明はこれに限らず、図17に示した本発明の第6変形例のように構成してもよい。すなわち、図17に示すように、凸部129cを、四角柱状や円柱状に形成してもよい。
また、上記実施形態では、粒子流入部を、段差部よりも小さい段差を有するように形成した例について説明したが、粒子流入部を、段差を有しないように形成してもよい。
また、上記実施形態では、駆動用ICを液晶表示パネルに実装する場合に、ACFを用いた例について示したが、本発明はこれに限らず、駆動用ICを液晶表示パネルに実装する場合に、ACP(異方性導電ペースト)などの異方性導電材料を用いてもよい。
また、上記実施形態では、段差部および凸部を、液晶表示パネルの表示領域を形成する際に用いる有機絶縁膜を利用して形成した例について示したが、本発明はこれに限らず、段差部および凸部を、液晶表示パネルの表示領域を形成する際に用いる有機絶縁膜以外の層を用いて形成してもよい。
本発明の第1実施形態による駆動用ICの実装構造を備えた液晶表示装置の概略的な構造を示した断面図である。 図1に示した本発明の第1実施形態による駆動用ICの構造を示した平面図である。 図1に示した本発明の第1実施形態による液晶表示装置の液晶表示パネルの構造を示した平面図である。 図3の100−100線に沿った拡大断面図である。 図1に示した本発明の第1実施形態による液晶表示装置の液晶表示パネルの上部導電膜を省略した構造を示した拡大平面図である。 図1に示した本発明の第1実施形態による液晶表示装置の構造を示した拡大平面図である。 図1に示した本発明の第1実施形態による液晶表示装置の駆動用ICを液晶表示パネルに実装する状態を概略的に示した断面図である。 図1に示した本発明の第1実施形態による液晶表示装置の駆動用ICを液晶表示パネルに実装する状態を概略的に示した断面図である。 図1に示した本発明の第1実施形態による液晶表示装置の駆動用ICを液晶表示パネルに実装する際の、導電粒子(ACF)の移動を説明するための拡大平面図である。 本発明の第2実施形態による駆動用ICの実装構造を備えた液晶表示装置の構造を示した拡大断面図である。 図10に示した本発明の第2実施形態による液晶表示装置の液晶表示パネルの上部導電膜を省略した構造を示した拡大平面図である。 本発明の第1変形例による液晶表示パネルの構造を示した平面図である。 本発明の第2変形例による液晶表示パネルの構造を示した平面図である。 本発明の第3変形例による液晶表示装置の構造を示した断面図である。 本発明の第4変形例による液晶表示パネルの構造を示した平面図である。 本発明の第5変形例による液晶表示パネルの構造を示した平面図である。 本発明の第6変形例による液晶表示パネルの構造を示した平面図である。 半導体素子が異方性導電材料を用いて表示パネルにフェイスダウン実装された従来の一例による表示装置の概略的な構造を示した断面図である。 図18に示した従来の一例による表示装置の半導体素子の構造を示した平面図である。 図18に示した従来の一例による表示装置の表示パネルの構造を示した平面図である。 図20の200−200線に沿った拡大断面図である。
符号の説明
1、101 液晶表示装置(表示装置)
10 駆動用IC(半導体素子)
12 バンプ電極
20、120 液晶表示パネル(実装基板)
20a、120a 実装領域
21、121 電極パッド
23a、23c、123a、123c 辺(電極パッドの周縁部のうちの実装領域の中央部側の部分)
23b、23d、123b、123d 辺(電極パッドの周縁部のうちの実装領域の周縁部側の部分)
25 有機絶縁膜(第1絶縁層)
27、127、127a 段差部
28、128 粒子流入部
30 ACF(異方性導電フィルム、異方性導電材料)
32 導電粒子
125a 有機絶縁膜(第1絶縁層、第4絶縁層)
125b 有機絶縁膜(第2絶縁層、第3絶縁層)
129 凸部(実装領域の周縁部と平行に延びる部分)
129a、129b、129c 凸部

Claims (31)

  1. バンプ電極を有する半導体素子と、
    前記半導体素子のバンプ電極が電気的に接続される電極パッドを有する実装基板と、
    前記半導体素子および前記実装基板の間に配置され、複数の導電粒子を有する異方性導電材料とを備え、
    前記実装基板は、前記半導体素子が実装される実装領域を含み、
    前記実装基板の電極パッドの周縁部には、段差部と、前記段差部の段差よりも小さい段差を有する、または、段差を有しない粒子流入部とが設けられ、
    前記段差部は、前記実装基板の電極パッドの周縁部のうちの、少なくとも前記実装領域の周縁部側の部分に設けられ、
    前記粒子流入部は、前記実装基板の電極パッドの周縁部のうちの、少なくとも前記実装領域の中央部側の部分に設けられていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
  2. 前記バンプ電極は、複数からなるとともに、前記半導体素子の周縁部に沿って配列されており、
    前記電極パッドは、複数からなるとともに、前記実装領域の周縁部に沿って配列され、かつ、平面的に見て少なくとも4つの辺を有するように形成されており、
    前記段差部は、前記4つの辺のうちの、少なくとも前記実装領域の周縁部に沿った1つの辺に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の実装構造。
  3. 前記段差部は、前記4つの辺のうちの、前記実装領域の周縁部側の少なくとも2つの辺に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の半導体素子の実装構造。
  4. 前記段差部は、前記4つの辺のうちの、前記実装領域の周縁部側の少なくとも1つの辺全体に設けられていることを特徴とする請求項2または3に記載の半導体素子の実装構造。
  5. 前記段差部は、前記粒子流入部に配置されず前記段差部に配置された第1絶縁層により形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造。
  6. 前記第1絶縁層は、前記異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも小さい厚みを有することを特徴とする請求項5に記載の半導体素子の実装構造。
  7. 前記粒子流入部は、前記異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも大きい幅を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造。
  8. 前記実装基板の電極パッドの内側の領域には、凸部が設けられていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造。
  9. 前記凸部の突出高さは、前記異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも小さいことを特徴とする請求項8に記載の半導体素子の実装構造。
  10. 前記凸部は、前記実装領域の周縁部と平行に延びる部分を有することを特徴とする請求項8または9に記載の半導体素子の実装構造。
  11. 前記凸部は、複数からなることを特徴とする請求項8〜10のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造。
  12. 前記複数の凸部は、互いに、前記異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも大きい間隔を隔てて配置されていることを特徴とする請求項11に記載の半導体素子の実装構造。
  13. 前記凸部は、第2絶縁層により形成されていることを特徴とする請求項8〜12のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造。
  14. 前記段差部および前記凸部は、同一の材質からなる層を用いて形成されていることを特徴とする請求項8〜13のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造。
  15. 請求項1〜14のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造を備えることを特徴とする表示装置。
  16. バンプ電極を有する半導体素子と、
    前記半導体素子のバンプ電極が電気的に接続される電極パッドを有する実装基板と、
    前記半導体素子および前記実装基板の間に配置され、複数の導電粒子を有する異方性導電材料とを備え、
    前記実装基板の電極パッドの内側の領域には、凸部が設けられていることを特徴とする半導体素子の実装構造。
  17. 前記凸部の突出高さは、前記異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも小さいことを特徴とする請求項16に記載の半導体素子の実装構造。
  18. 前記実装基板は、前記半導体素子が実装される実装領域を含み、
    前記凸部は、前記実装領域の周縁部と平行に延びる部分を有することを特徴とする請求項16または17に記載の半導体素子の実装構造。
  19. 前記凸部は、複数からなることを特徴とする請求項16〜18のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造。
  20. 前記複数の凸部は、互いに、前記異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも大きい間隔を隔てて配置されていることを特徴とする請求項19に記載の半導体素子の実装構造。
  21. 前記凸部は、第3絶縁層により形成されていることを特徴とする請求項16〜20のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造。
  22. 前記実装基板は、前記半導体素子が実装される実装領域を含み、
    前記実装基板の電極パッドの周縁部には、段差部が設けられ、
    前記段差部は、前記実装基板の電極パッドの周縁部のうちの、少なくとも前記実装領域の周縁部側の部分に設けられていることを特徴とする請求項16〜21のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造。
  23. 前記実装基板の電極パッドの周縁部には、前記段差部と、前記段差部の段差よりも小さい段差を有する、または、段差を有しない粒子流入部とが設けられ、
    前記粒子流入部は、前記実装基板の電極パッドの周縁部のうちの、少なくとも前記実装領域の中央部側の部分に設けられていることを特徴とする請求項22に記載の半導体素子の実装構造。
  24. 前記粒子流入部は、前記異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも大きい幅を有することを特徴とする請求項23に記載の半導体素子の実装構造。
  25. 前記バンプ電極は、複数からなるとともに、前記半導体素子の周縁部に沿って配列されており、
    前記電極パッドは、複数からなるとともに、前記実装領域の周縁部に沿って配列され、かつ、平面的に見て少なくとも4つの辺を有するように形成されており、
    前記段差部は、前記4つの辺のうちの、少なくとも前記実装領域の周縁部に沿った1つの辺に設けられていることを特徴とする請求項22〜24のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造。
  26. 前記段差部は、前記4つの辺のうちの、前記実装領域の周縁部側の少なくとも2つの辺に設けられていることを特徴とする請求項25に記載の半導体素子の実装構造。
  27. 前記段差部は、前記4つの辺のうちの、前記実装領域の周縁部側の少なくとも1つの辺全体に設けられていることを特徴とする請求項25または26に記載の半導体素子の実装構造。
  28. 前記段差部は、第4絶縁層により形成されていることを特徴とする請求項22〜27のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造。
  29. 前記第4絶縁層は、前記異方性導電材料の導電粒子の粒径よりも小さい厚みを有することを特徴とする請求項28に記載の半導体素子の実装構造。
  30. 前記段差部および前記凸部は、同一の材質からなる層を用いて形成されていることを特徴とする請求項22〜29のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造。
  31. 請求項16〜30のいずれか1項に記載の半導体素子の実装構造を備えることを特徴とする表示装置。
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