JP2010021267A - 積層部品、画像取得装置、及び生体情報取得装置 - Google Patents

積層部品、画像取得装置、及び生体情報取得装置 Download PDF

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君春 菅
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Abstract

【課題】遮光部材といった新たな光学部品の追加によって、意図しない光学的作用が伴ってしまうことを抑制することを目的とする。
【解決手段】積層部品(光学部品)は、複数の貫通孔21が形成された遮光部材20に接着層30を介して他の部材40が積層された積層部品である。接着層30を介して互いに積層される部材間に、遮光部材20に形成された貫通孔21内に接着層30が入りこむことを抑制するための空間25が形成されている。これによって、接着層30が貫通穴21に入り込むことによって意図しない光学的作用が伴うことを効果的に抑制することができる。
【選択図】図1

Description

本発明は、積層部品、画像取得装置、及び生体情報取得装置に関する。
近年、情報セキュリティーの保護強化に伴って、生体認証に関する技術開発の進展が著しい。なお、生体認証とは、検査対象の個体から取得した生体情報が、あらかじめ登録された生体情報に等しいかどうかという判定に基づいて、ある個体を他の個体から識別する技術である。例えば、ヒトの瞳の虹彩に基づいて個体を特定する方法、ヒトの指等の静脈パターンに基づいて個体を特定する方法、及び指の指紋パターンに基づいて個体を特定する方法が挙げられる。
生体認証においては、認証に利用する生体情報に応じて様々な得失がある。例えば、静脈パターンを活用した生体認証は、指紋パターンを活用した生体認証よりも認証の偽造が困難であるという利益がある。後者は、前者よりも認証の偽造が簡単であるという不利益がある。
特許文献1には、生体認証に用いられる撮像装置が開示されている。この撮像装置では、光源(100)、支持台(300)、画像認証部(200)を積層させることで、撮像装置の小型化を図っている。
なお、特許文献2には、レンズがガラス基板上に形成された積層部品の製造技術が開示されている。また、特許文献3には、遮光スペーサをレンズアレイ板とセンサ間に配置する技術が開示されている。
特開2001−119008号公報 特開2005−234309号公報 特開平3−157602号公報
高精度な生体認証を実現するためには、クロストークが少ない良質な画像を取得することが重要になる。クロストークを抑制するために、レンズと画素間に形成される光チャネル同士を分離する遮光部品を撮像素子上に配置すると良い。そして、接着層等を介して適切に遮光部品を他の部品に固定すると良い。
しかしながら、接着層を介在させて遮光部品を他の部品に固定すると、接着層の変形によって意図しない光学的作用が伴ってしまうおそれがある。例えば、接着層の変形によって接着層がレンズとして機能してしまうと、そのレンズによるレンズ作用を受けた光が各画素に入力されてしまう。このような意図しない光学的作用が伴うと、最終的に得られる画像の品質に影響を与えるおそれもある。
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、光学部品の追加によって、意図しない光学的作用が伴ってしまうことを抑制することを目的とする。
本発明にかかる積層部品は、複数の貫通孔が形成された遮光部材に接着層を介して他の部材が積層された積層部品であって、前記接着層を介して互いに積層される部材間に、前記遮光部材に形成された前記貫通孔内に前記接着層が入りこむことを抑制するための空間が形成されている。
接着層を介して互いに積層される部材間には、遮光部材に形成された貫通穴に接着層が入りこむことを抑制するための空間が形成されている。これによって、接着層が貫通穴に入り込むことによって意図しない光学的作用が伴うことを効果的に抑制することができる。
前記遮光部材は、前記接着層に対して少なくとも上面で直接的に接触する台座部を有する、と良い。これによって、簡易に上述の空間を形成することができる。
前記台座部は、複数の前記貫通孔が形成された領域の周囲に形成されている、と良い。
前記遮光部材は、表面が黒色処理された金属によって形成されている、と良い。
前記他の部材は、2次元状に複数のレンズが主面に配置されたレンズアレイ基板である、と良い。
前記接着層は、複数の前記貫通孔が形成された領域上に形成されている、と良い。
本発明にかかる画像取得装置は、上述のいずれかに記載の積層部品と、前記積層部品が主面上に配置された撮像素子と、を備える。
本発明にかかる生体情報取得装置は、被検体に対する光照射に基づいて前記被検体の生体情報を取得する生体情報取得装置であって、被検体に対して照射される光を出射する光源と、上述の画像取得装置と、を備える。
本発明にかかる積層部品は、複数の貫通孔が形成された遮光部材に接着層を介して他の部材が積層された積層部品であって、部材の積層方向に沿って延在し、かつ前記接着層に対して少なくとも上面で直接的に接触する台座部が、前記接着層を介して互いに積層される部材の少なくとも一方に形成され、当該台座部によって、前記接着層を介して互いに積層される部材間に空間が形成されている。
本発明によれば、光学部品の追加によって、意図しない光学的作用が伴ってしまうことを抑制することができる。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。なお、各実施の形態は、説明の便宜上、簡略化されている。図面は簡略的なものであるから、図面の記載を根拠として本発明の技術的範囲を狭く解釈してはならない。図面は、もっぱら技術的事項の説明のためのものであり、図面に示された要素の正確な大きさ等は反映していない。同一の要素には、同一の符号を付し、重複する説明は省略するものとする。上下左右といった方向を示す言葉は、図面を正面視した場合を前提として用いるものとする。
〔第1の実施形態〕
以下、本発明の第1の実施形態について、図1乃至図11を参照して説明する。図1は、画像取得装置の概略的な断面構成を示す模式図である。図2は、遮光層を上面視した概略的な模式図である。図3は、孔付近の遮光層の構成を示す拡大模式図である。図4は、レンズ、孔、及び画素の配置関係を示す模式図である。図5は、接着層の変形を示す説明図である。図6は、輝度ムラを示す写真である。図7は、レンズアレイ基板の製造方法を示す工程図である。図8A及びBは、遮光層の製造方法を示す工程図である。図9は、画像取得装置の組み立て手順を示す工程図である。図10は、ダイシング工程を説明するための工程図である。図11は、生体認証装置の概略的な構成を示すブロック図である。
図1に示すように、画像取得装置100は、撮像素子10は、遮光層(遮光部材)20、接着層30、透明基板(透明部材)40、及び複数のレンズ50がこの順で積層されて形成されている。
なお、透明基板40の前面に複数のレンズ50が形成されることでレンズアレイ基板が形成されている。また、撮像素子10上には、遮光層20、接着層30、透明基板40、及び複数のレンズ50が積層されて形成された光学部品(積層部品)が固定されている。
画像取得装置100は、レンズ50によって集光され、透明基板40、接着層30、及び遮光層20の孔21をこの順で透過又は通過した光を各画素15で受けて、透明基板40の前面に入力する像を撮像する。なお、後述の説明から明らかなように、画像取得装置100は、静脈像といった生体情報を取得する生体情報取得装置として機能する。
撮像素子10は、CCD(Charge Coupled Device)、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)といったような一般的な固体撮像素子である。撮像素子10は、マトリクス状に配置された複数の画素15を有する。画素15では、入射光量に応じて電気信号が生成される。
遮光層20は、板状の遮光部材である。遮光層20には、マトリクス状に配置された複数の孔(貫通孔)21が形成されている。また、遮光層20には、孔21の形成領域24を囲う枠体(台座部)22が形成されている(図2も併せて参照)。
枠体22は、レンズ50の光軸AXに沿う方向に厚みを有する。枠体22の上面は、直接的に接着層30に接触する。枠体22の上面は、遮光層20上に接着層30を介して積層される透明基板40の載置面として機能する。
遮光層20は、表面が黒化処理されたNi、Cu等の金属材料からなる。具体的には、図3に模式的に示すように、遮光層20は、金属20aの表面に黒色皮膜20bが形成されている。これによって、金属20aの表面での光の反射を低減することができる。なお、黒色皮膜20bは、NiPの電解、無電解処理、3価黒色クロメート処理、レイデント処理等で形成できる。なお、遮光層20の製造方法については改めて後述する。
接着層30は、樹脂等からなる一般的な接着剤が層状に塗布されて形成される。ここでは、接着層30は、透明基板40の背面上に接着剤が層状に塗布されて形成される。接着層30を形成する接着剤の材料は任意である(例えば、ウレタン樹脂、アクリル樹脂等)。
透明基板40は、入射光束に対して実質的に透明な板状部材である。透明基板40は、例えば、ガラス、樹脂等から形成される。
複数のレンズ50は、透明基板40の前面上にマトリクス状に形成される。レンズ50は、紫外線硬化樹脂がレンズ状に成形されて製造される。各レンズ50は、入射光束を各画素15に向けて収束させる。
図4に示すように、各画素15上には、各孔21、及び各レンズ50が配置される。換言すると、各レンズ50の光軸上に、各孔21、及び各画素15が配置される。
入射光は、各レンズ50のレンズ面でレンズ作用を受けて、各画素15に向かって進行する。入射光は、レンズ50、透明基板40、接着層30、及び遮光層20の孔21をこの順で通過して各画素15に入射する。そして、各画素15では入射光強度に応じた信号を有する電気信号が生成される。
本実施形態では、図1に示すように、遮光層20と透明基板40との間に空間(空気層)25が形成されている。これによって、レンズ50の光軸AX上にある接着層30の変形によって、光軸AXに沿って進行する入射光が光学的な作用を受けることが効果的に抑制することができる。なお、空間25は、空気が充填されていても良いし、特定の気体が充填されていても良い。
より具体的には、本実施形態では、遮光層20に枠体22を一体的に成形している。枠体22を遮光層20に設けることによって、遮光層20上に透明基板40を配置するだけで、遮光層20と透明基板40との間に枠体22の厚み(光軸AXに沿う幅)に応じた空間を確保することができる。互いに積層される遮光層20と透明基板40との間に空間25を確保することによって、接着層30を介して両者を貼り合わせるとき、接着層30が直接的に遮光層20に形成された孔21内に入りこむことを抑制することができる。そして、接着層30の変形によって、光軸AXに沿って進行する光が接着層30を透過するときにレンズ作用を受けることを効果的に抑制できる。そして、遮光層21から出力される光に平面内での輝度ムラが生じることを効果的に抑制することができる。
図5及び図6を参照して説明を更に付加する。図5に示すように、遮光層20上に、接着層30と透明基板40を順に積層した場合、孔21内に接着層30が入りこむことによって接着層30が部分的に変形してレンズ31が形成されるおそれがある。
このように接着層30が部分的に変形してレンズ31が形成されると、光軸AXに沿って進行する光が接着層30を透過するときにレンズ作用を受けるおそれがある。このように入射光が接着層30を透過するときに意図しないレンズ作用を受けることによって、図6に示すように遮光層20の出力光に平面内での輝度ムラが生じてしまう。
本実施形態では、上述のように、遮光層20と透明基板40との間に空間25が形成されている。これによって、レンズ50の光軸AX上にある接着層30が部分的に変形することによって、光軸AXに沿って進行する入射光が光学的な作用を受けることを効果的に抑制し、図6に示すような輝度ムラが生じることを効果的に抑制することができる。
なお、透明基板40に枠体を形成することによって、遮光層20と透明基板40間に空間25を形成しても良い。また、別個の枠体を遮光層20と透明基板40間に配置することによって、遮光層20と透明基板40間に空間25を形成しても良い。
なお、接着層30が透明基板40の下面全体を覆っているが、接着層30は透明基板40の外周囲のみ、遮光層の台座部22上のみに存在していても良い。接着層が外周囲のみに存在する場合であっても、接着層が毛細管現象により流動し、遮光層の孔21に侵入し、同様に光学的問題を引き起こすことがあるからである。本実施形態では、空間25を設けることによって、このような問題点も解決することができる。
以下、図7乃至図9を参照して製造方法について説明する。
図7を参照してレンズアレイ基板の製造方法について説明する。
まず、図7(a)に示すように、金型70を用意する。なお、金型70には、成形対象とするレンズ50を形付けるための溝が彫られている。
次に、図7(b)に示すように、紫外線硬化樹脂71を金型70に滴下する。
次に、図7(c)に示すように、金型70上に透明基板40を配置する。そして、この状態で紫外線を照射する。紫外線の照射によって紫外線硬化樹脂71は透明基板40の一面に接着した状態で硬化する。
次に、図7(d)に示すように、金型70からレンズアレイ基板を剥離させる。
このようにしてレンズアレイ基板は製造される。なお、レンズアレイ基板の製造方法は任意であり、この製造方法に限定されるべきものではない。
次に、図8A及び8Bを参照して、遮光層20の製造方法について説明する。
まず、図8A(a)に示すように、通常の薄膜形成技術を活用して、ステンレス(SUS)基板80上にレジスト膜81を形成する。なお、ステンレス基板80の厚みは、可撓性を有する程度に設定してある。また、レジスト膜81の種類、材料は任意である。
次に、図8A(b)に示すように、通常のフォトリソグラフィー技術を活用して、レジスト膜81をパターニングし、複数の柱状体81を形成させる。具体的には、フォトマスクを介してレジスト膜81を露光することによって部分的にレジスト膜81を変質させ、レジスト膜81の変質又は非変質部分を除去することでレジスト膜81をパターニングする。
次に、図8A(c)に示すように、電解メッキ技術を活用してステンレス基板80上に金属20aを堆積させる。具体的には、パターニングされたレジスト膜81が形成されたステンレス基板80を電解液中に浸し、ステンレス基板80を一方の電極に接続する。この状態で電解液中の金属イオンをステンレス基板80上に析出させる。柱状のレジスト膜81が存在していない範囲に限定して、ステンレス基板80上に金属20aが堆積する。なお、金属20aの厚みは、十数μmから数百μm程度に設定すると良い。
次に、図8A(d)に示すように、通常の薄膜形成技術によって、更にレジスト膜82を、金属20a上に積層させる。
次に、図8B(e)に示すように、通常のフォトリソグラフィー技術を活用して、レジスト膜82をパターニングする。ここでは、柱状のレジスト膜81が形成された範囲でレジスト膜82を除去し、枠体22が形成されるべき範囲にレジスト膜82を残存させる。
次に、図8B(f)に示すように、金属20aの前面を部分的に除去する。具体的には、エッチング処理を金属20aの前面に施す。つまり、金属20aの前面を溶剤に浸し、レジスト膜82によって皮膜されていない金属20aを部分的に溶解させる。これによって、図8B(f)に示す枠体22が形成される。なお、数μm〜数十μm程度の深さで金属20aの前面をエッチングすると良い。
次に、図8B(g)に示すように、レジスト膜81、82を除去する。具体的には、一般的な溶剤でレジスト膜81、82を溶解させてステンレス基板80上から除去する。そして、その後、上述の黒色皮膜20b(不図示)を形成する。具体的には、NiPの電解、無電解処理、3価黒色クロメート処理、レイデント処理等で黒色皮膜20b(図3参照)を形成する。
次に、図8B(h)に示すように、ステンレス基板80上から遮光層20を剥離させる。なお、上述のようにステンレス基板80は可撓性を有するため、ステンレス基板80から遮光層20を簡易に剥離することができる。
このようにして遮光層20を成形することができる。導電性及び可撓性を有するステンレス基板80を遮光層20の形成用基板として用いることによって非常に効率的に遮光層20を製造することができる。
次に、図9を参照して、画像取得装置100の組み立て手順について説明する。
まず、図9(a)に示すように、レンズアレイ基板の背面に接着層30を形成する。具体的には、通常のコート方法によってレンズアレイ基板の背面に接着剤を層状に形成する。なお、接着層30は、通常の接着シートをレンズアレイ基板の背面に貼ることで形成しても良い。
次に、図9(b)に示すように、背面に接着層30が形成されたレンズアレイ基板を遮光層20上に配置する。接着層30が紫外線硬化樹脂であれば、この状態で紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させる。接着剤が紫外線硬化樹脂でなければ、接着層30を硬化させるために必要な処置(乾燥処理等を実行する)を行う。
なお、透明基板40にはレンズ50に製造時に予めアライメントマークが形成されている。同様に、遮光層20は、その製造時に予めアライメントマークが形成されている。従って、双方に形成されたアライメントマークに基づいて双方を位置決めすれば、レンズ50と孔21間を好適に位置決めできる。換言すると、アライメントマークに基づく両部材の位置決めによって、レンズ50の光軸AX上に孔21を簡易に配置することができる。
次に、図9(c)に示すように、遮光層20上にレンズアレイ基板が積層された積層体を撮像素子10上に固定する。なお、必要に応じて撮像素子10の出力をモニタニングして、撮像素子10に対する上述の積層体の配置位置を調整しても良い。
なお、図10に示すように、遮光層20、接着層30、透明基板40、及びレンズ50の積層体は、ウェハーレベルで製造される。具体的には、共通の透明基板40を用いて複数のレンズアレイ基板を製造する。同様に、共通のステンレス基板80を用いて複数の遮光層20を製造する(尚、複数の遮光層20は、互いに連結していても良い)。また、共通の接着層30を介して、遮光層20上に共通の透明基板40を積層させる。そして、最終的には透明基板40をダイシング装置でダイシングすることによって個々の光学部品に分断する。なお、遮光層20の枠体22の部分でダイシングしても良い。また、遮光層20は、予め個片化されていなくても良い。
最後に、図11を参照して、画像取得装置100が組み込まれた生体認証装置95の構成について説明する。なお、上述の画像取得装置100は、撮像部92に対応する。
生体認証装置95は、光源90、コントローラ91、撮像部92、及び認証部93を有する。
光源90は、LD、LED等の一般的な半導体発光素子である。コントローラ91は、光源90、撮像部92の動作状態を制御する。認証部93は、撮像部92で取得した静脈像と予めマスターとして登録された静脈像との比較に基づいて生体認証を実行し、認証結果を本体機器(例えば、携帯電話、ATM等)に出力する。
生体認証装置95の認証精度を高めるためには、良質な静脈像を取得することが重要である。ここでは、撮像部92として上述の画像取得装置100を活用する。そして、画像取得装置100で静脈像(生体情報)を取得する。これによって、高品質な静脈像を取得することができる。なお、取得対象とする生体情報は静脈像に限らず指紋像であっても良い。
本発明の技術的範囲は上述の実施形態に限定されるべきものではない。画像取得装置の用途は任意である。積層部品の用途は任意である。遮光部材に積層される他の部材は任意である。遮光層と透明基板間に形成される空間の形成方法は任意である。透明基板に台座を形成することで空間を形成させても良い。この場合も同様に、部材の積層時の加圧によって接着層30が孔21に入りこむことが抑制される。従って、上述の実施形態と同様の効果を得ることができる。台座の具体的な形状は任意である。台座の配置位置は任意である。遮光層の製造方法は任意である。
本発明の第1の実施形態にかかる画像取得装置の概略的な断面構成を示す模式図である。 本発明の第1の実施形態にかかる遮光層を上面視した概略的な模式図である。 本発明の第1の実施形態にかかる孔付近の遮光層の構成を示す拡大模式図である。 本発明の第1の実施形態にかかるレンズ、孔、及び画素の配置関係を示す模式図である。 本発明の第1の実施形態の比較例にかかる接着層の変形を示す説明図である。 本発明の第1の実施形態の比較例の場合に生じる輝度ムラを示す写真である。 本発明の第1の実施形態にかかるレンズアレイ基板の製造方法を示す工程図である。 本発明の第1の実施形態にかかる遮光層の製造方法を示す工程図である。 本発明の第1の実施形態にかかる遮光層の製造方法を示す工程図である。 本発明の第1の実施形態にかかる画像取得装置の組み立て手順を示す工程図である。 本発明の第1の実施形態にかかるダイシング工程を説明するための工程図である。 本発明の第1の実施形態にかかる生体認証装置の概略的な構成を示すブロック図である。
符号の説明
100 画像取得装置

10 撮像素子
15 画素
20 遮光層
20a 金属
20b 黒色皮膜
21 孔
21 遮光層
22 枠体
24 形成領域
25 空間
30 接着層
31 レンズ
40 透明基板
50 レンズ

70 金型
71 紫外線硬化樹脂
80 ステンレス基板
81 レジスト膜
82 レジスト膜

95 生体認証装置
90 光源
91 コントローラ
92 撮像部
93 認証部

Claims (9)

  1. 複数の貫通孔が形成された遮光部材に接着層を介して他の部材が積層された積層部品であって、
    前記接着層を介して互いに積層される部材間に、前記遮光部材に形成された前記貫通孔内に前記接着層が入りこむことを抑制するための空間が形成されている、積層部品。
  2. 前記遮光部材は、前記接着層に対して少なくとも上面で直接的に接触する台座部を有することを特徴とする請求項1に記載の積層部品。
  3. 前記台座部は、複数の前記貫通孔が形成された領域の周囲に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の積層部品。
  4. 前記遮光部材は、表面が黒色処理された金属によって形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の積層部品。
  5. 前記他の部材は、2次元状に複数のレンズが主面に配置されたレンズアレイ基板であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の積層部品。
  6. 前記接着層は、複数の前記貫通孔が形成された領域上に形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の積層部品。
  7. 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の積層部品と、
    前記積層部品が主面上に配置された撮像素子と、
    を備える画像取得装置。
  8. 被検体に対する光照射に基づいて前記被検体の生体情報を取得する生体情報取得装置であって、
    被検体に対して照射される光を出射する光源と、
    請求項7に記載の画像取得装置と、を備える、生体情報取得装置。
  9. 複数の貫通孔が形成された遮光部材に接着層を介して他の部材が積層された積層部品であって、
    部材の積層方向に沿って延在し、かつ前記接着層に対して少なくとも上面で直接的に接触する台座部が、前記接着層を介して互いに積層される部材の少なくとも一方に形成され、
    当該台座部によって、前記接着層を介して互いに積層される部材間に空間が形成されている、積層部品。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109449181A (zh) * 2018-10-29 2019-03-08 京东方科技集团股份有限公司 显示基板及其制作方法、显示装置
CN109858577A (zh) * 2019-04-01 2019-06-07 盐城工学院 大豆外观品质检测装置以及检测方法
JP2022528629A (ja) * 2019-03-22 2022-06-15 イソルグ 角度フィルタを備えた画像センサ

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109449181A (zh) * 2018-10-29 2019-03-08 京东方科技集团股份有限公司 显示基板及其制作方法、显示装置
CN109449181B (zh) * 2018-10-29 2021-01-15 京东方科技集团股份有限公司 显示基板及其制作方法、显示装置
JP2022528629A (ja) * 2019-03-22 2022-06-15 イソルグ 角度フィルタを備えた画像センサ
CN109858577A (zh) * 2019-04-01 2019-06-07 盐城工学院 大豆外观品质检测装置以及检测方法

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