JP2010019663A

JP2010019663A - Pressure sensor

Info

Publication number: JP2010019663A
Application number: JP2008179890A
Authority: JP
Inventors: Nobuo Segawa; 伸生瀬川; Maki Inoue; 真樹井上
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2008-07-10
Filing date: 2008-07-10
Publication date: 2010-01-28
Anticipated expiration: 2028-07-10
Also published as: JP4985572B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pressure sensor capable of removing refuse, dirt or the like adhering to the inside. <P>SOLUTION: A port part 20 includes a through-hole 26 penetrating a wall surface 24a of a pressure inlet hole 24 and an outer wall surface 25 of the port part 20; and a check valve 27, installed on the wall surface 24a of the pressure introduction hole 24 for separating the inside of the pressure inlet hole 24 from the outside of the port part 20, by being pressed onto the wall surface 24a of the pressure inlet hole 24, when a pressure medium is introduced into the pressure inlet hole 24. When the inside of a measurement object is at a negative pressure, the check valve 27 is separated from the wall surface 24a of the pressure introduction hole 24, and the air flows through a route which passes to the outside of the port part 20, the through-hole 26, the pressure inlet hole 24 and the measurement object. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、内部に付着した汚れを取り除くように構成された圧力センサに関する。 The present invention relates to a pressure sensor configured to remove dirt adhered to the inside.

従来より、センサチップの表面に汚染物質を堆積させないようにした圧力センサが、例えば特許文献１で提案されている。具体的に、特許文献１では、ポートと圧力検出部との間に、圧力検出部から見て圧力導入孔を遮るように遮蔽板が配置された圧力センサが提案されている。 Conventionally, for example, Patent Document 1 has proposed a pressure sensor that prevents contaminants from being deposited on the surface of a sensor chip. Specifically, Patent Document 1 proposes a pressure sensor in which a shielding plate is disposed between a port and a pressure detection unit so as to block a pressure introduction hole when viewed from the pressure detection unit.

この遮蔽板により、ポートを介して圧力センサ内に侵入した汚染物質の流れを、圧力検出部の周囲に導くと共に、圧力検出部の表面に汚染物質が堆積してしまうことを防止することができるようになっている。
特開２００２−１８１６５１号公報 With this shielding plate, the flow of the contaminant that has entered the pressure sensor through the port can be guided to the periphery of the pressure detection unit, and the contamination can be prevented from accumulating on the surface of the pressure detection unit. It is like that.
JP 2002-181651 A

しかしながら、上記従来の技術では、近年普及した、排気ガスを浄化するために排気ガスをもう一度インテークマニホールド内に戻すＥＧＲシステムにおいては、排気ガスを戻す割合が増えたことに伴ってインテークマニホールド内の環境も汚くなっており、その結果、遮蔽板を設けていたとしても圧力センサの内部にゴミや汚れ等が付着しやすくなってしまっている。これにより、ポートがゴミ等によって詰まってしまい、圧力検出部に圧力が伝達されなくなるという問題が生じる。 However, in the above-described conventional technology, in the EGR system that returns exhaust gas into the intake manifold once again in order to purify the exhaust gas, the environment in the intake manifold is increased as the ratio of returning the exhaust gas increases. As a result, even if a shielding plate is provided, dust or dirt is likely to adhere to the inside of the pressure sensor. This causes a problem that the port is clogged with dust and the pressure is not transmitted to the pressure detection unit.

本発明は、上記点に鑑み、内部に付着したゴミや汚れ等を取り除くことができる圧力センサを提供することを目的とする。 In view of the above points, an object of the present invention is to provide a pressure sensor that can remove dust, dirt, and the like attached to the inside.

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、圧力検出を行う圧力検出素子（３０）を有するケース（１０）と、一端（２１）と、他端（２３）と、一端（２１）と他端（２３）とを貫通する圧力導入孔（２４）とを有し、他端（２３）が被測定体に固定され、一端（２１）がケース（１０）に連結されることでケース（１０）との間に圧力検出室（２２）が構成されるポート部（２０）とを備え、圧力導入孔（２４）を介して圧力検出室（２２）に導入された被測定体内の圧力媒体の圧力を圧力検出素子（３０）によって検出する圧力センサであって、ポート部（２０）は、圧力導入孔（２４）の壁面（２４ａ）とポート部（２０）との外壁面（２５）とを貫通した貫通孔（２６）と、圧力導入孔（２４）に設置されると共に、圧力媒体が圧力導入孔（２４）に導入されたときに圧力導入孔（２４）の壁面（２４ａ）に押さえ付けられて圧力導入孔（２４）内とポート部（２０）の外部とを分離する逆止弁（２７）とを備え、被測定体内が負圧のとき、逆止弁（２７）が開放されることにより、ポート部（２０）の外部、貫通孔（２６）、圧力導入孔（２４）、および被測定体を通過する経路で空気が流れるようになっていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a case (10) having a pressure detecting element (30) for detecting pressure, one end (21), the other end (23), and one end (21 ) And the other end (23), the other end (23) is fixed to the measured body, and one end (21) is connected to the case (10). A port portion (20) in which a pressure detection chamber (22) is formed between the case (10) and the inside of the body to be measured introduced into the pressure detection chamber (22) through the pressure introduction hole (24). It is a pressure sensor which detects the pressure of a pressure medium with a pressure detection element (30), Comprising: A port part (20) is an outer wall surface (25) of the wall surface (24a) of a pressure introduction hole (24), and a port part (20). ) Through the through hole (26) and the pressure introducing hole (24). When the medium is introduced into the pressure introduction hole (24), it is pressed against the wall surface (24a) of the pressure introduction hole (24) to separate the inside of the pressure introduction hole (24) from the outside of the port portion (20). The check valve (27) is opened when the inside of the body to be measured has a negative pressure, thereby opening the check valve (27) to the outside of the port portion (20), the through hole (26), and the pressure introduction hole (24 ) And a path passing through the object to be measured.

これにより、ポート部（２０）の圧力導入孔（２４）に圧力媒体と共に圧力センサ内部に導入されたゴミ等を、圧力センサ外部の空気によって排出することができる。すなわち、被測定体内が負圧になるたびに、圧力センサ外部の空気によって圧力センサ内部に導入されたゴミ等を排出することができ、圧力センサ内部に付着したゴミや汚れ等を取り除くことができる。 Thereby, dust or the like introduced into the pressure sensor together with the pressure medium into the pressure introducing hole (24) of the port portion (20) can be discharged by the air outside the pressure sensor. That is, every time the inside of the body to be measured has a negative pressure, dust or the like introduced into the pressure sensor by air outside the pressure sensor can be discharged, and dust or dirt attached to the inside of the pressure sensor can be removed. .

請求項２に記載の発明では、被測定体は、インテークマニホールド（５０）であり、このインテークマニホールド（５０）の上流側にはスロットル（５１）、過給機（５２）、およびサクションパイプ（５３）が順に接続されており、一端側がサクションパイプ（５３）に連結され、他端側がスロットル（５１）と過給機（５２）との間にブローオフバルブ（５６）を介して連結された戻経路（５５）が設けられ、ポート部（２０）の他端（２３）がインテークマニホールド（５０）に固定されており、さらに、サクションパイプ（５３）内には、過給機（５２）の過給時にサクションパイプ（５３）の壁面に押さえ付けられて戻経路（５５）とサクションパイプ（５３）の内部とを分離するドア（５７）が設けられたものにおいて、ポート部（２０）の貫通孔（２６）と戻経路（５５）とを繋ぐ通気パイプ（５８）を備えており、過給機（５２）の過給時には、ドア（５７）がサクションパイプ（５３）の壁面に押さえ付けられると共に、ブローオフバルブ（５６）が閉じられており、過給機（５２）の過給終了時には、インテークマニホールド（５０）内が負圧となり、ドア（５７）がサクションパイプ（５３）の壁面から離れると共にブローオフバルブ（５６）が開けられ、ポート部（２０）内の逆止弁（２７）が圧力導入孔（２４）の壁面（２４ａ）から離れることで、圧力媒体がブローオフバルブ（５６）、戻経路（５５）、通気パイプ（５８）、および圧力導入孔（２４）を通過する経路で流れるようになっていることを特徴とする。 In the invention according to claim 2, the object to be measured is the intake manifold (50), and on the upstream side of the intake manifold (50), the throttle (51), the supercharger (52), and the suction pipe (53). ) Are connected in order, one end side is connected to the suction pipe (53), and the other end side is connected between the throttle (51) and the supercharger (52) via the blow-off valve (56). (55) is provided, the other end (23) of the port portion (20) is fixed to the intake manifold (50), and the supercharger (52) is supercharged in the suction pipe (53). A port provided with a door (57) that is sometimes pressed against the wall surface of the suction pipe (53) and separates the return path (55) and the inside of the suction pipe (53). A ventilation pipe (58) connecting the through hole (26) and the return path (55) of (20) is provided, and when the supercharger (52) is supercharged, the door (57) is connected to the suction pipe (53). The blow-off valve (56) is closed while being pressed against the wall surface. When the supercharger (52) is supercharged, the intake manifold (50) has a negative pressure, and the door (57) is connected to the suction pipe (53 ) And the blow-off valve (56) is opened, and the check valve (27) in the port portion (20) is separated from the wall surface (24a) of the pressure introduction hole (24), so that the pressure medium is blown off. (56), the return path (55), the ventilation pipe (58), and the path that passes through the pressure introduction hole (24) are characterized in that it flows.

このような過給機（５２）が設けられたシステムにおいても、過給終了時に圧力媒体を通気パイプ（５８）を介してポート部（２０）の貫通孔（２６）から圧力センサ内部に導入でき、圧力媒体を圧力センサ内部からインテークマニホールド（５０）に排出することで、圧力センサ内部に付着したゴミや汚れ等を取り除くことができる。 Even in a system provided with such a supercharger (52), the pressure medium can be introduced into the pressure sensor from the through hole (26) of the port portion (20) through the ventilation pipe (58) at the end of supercharging. By discharging the pressure medium from the inside of the pressure sensor to the intake manifold (50), dust, dirt, and the like attached to the inside of the pressure sensor can be removed.

請求項３に記載の発明では、被測定体は、内部にスロットル（６４）が配置されたサクションパイプ（５３）であり、サクションパイプ（５３）のうちスロットル（６４）の下流側に、ポート部（２０）の他端（２３）が固定され、スロットル（６４）はサクションパイプ（５３）の内壁面（２４ａ）に設けられた回動軸（６５）を中心に回動するようになっており、回動軸（６５）にはスロットル（６４）の上流側に位置するフラップ（６６）が支持され、スロットル（６４）とフラップ（６６）とが一定の角度をなしてバネ（６７）で繋がれたものにおいて、サクションパイプ（５３）のうちスロットル（６４）の上流側とポート部（２０）の貫通孔（２６）とを繋ぐ連結パイプ（６８）を備えており、スロットル（６４）が回動軸（６５）を中心に回動することでフラップ（６６）も共に回動し、フラップ（６６）がサクションパイプ（５３）の内壁面（２４ａ）に押し付けられたとき、バネ（６７）が縮むと共にサクションパイプ（５３）と連結パイプ（６８）とが分離されるようになっており、スロットル（６４）がフラップ（６６）と共に回動軸（６５）を中心に回動することでフラップ（６６）がサクションパイプ（５３）の内壁面（２４ａ）から離れると、サクションパイプ（５３）内の圧力媒体が連結パイプ（６８）を介して逆止弁（２７）に当たることで逆止弁（２７）が圧力導入孔（２４）の壁面（２４ａ）から離れることにより、圧力媒体が連結パイプ（６８）および圧力導入孔（２４）を通過する経路で流れるようになっていることを特徴とする。 In the invention according to claim 3, the object to be measured is a suction pipe (53) in which a throttle (64) is disposed, and a port portion is provided downstream of the throttle (64) in the suction pipe (53). The other end (23) of (20) is fixed, and the throttle (64) rotates about a rotation shaft (65) provided on the inner wall surface (24a) of the suction pipe (53). The flap (66) located upstream of the throttle (64) is supported on the rotating shaft (65), and the throttle (64) and the flap (66) are connected at a certain angle by a spring (67). The connection pipe (68) connecting the upstream side of the throttle (64) and the through hole (26) of the port portion (20) of the suction pipe (53) is provided, and the throttle (64) is rotated. Dynamic axis (6 ), The flap (66) also rotates together. When the flap (66) is pressed against the inner wall surface (24a) of the suction pipe (53), the spring (67) contracts and the suction pipe (53) and the connecting pipe (68) are separated, and the flap (66) is suctioned by the throttle (64) rotating around the rotation shaft (65) together with the flap (66). When the pipe (53) is separated from the inner wall surface (24a), the pressure medium in the suction pipe (53) hits the check valve (27) via the connecting pipe (68), whereby the check valve (27) introduces pressure. By separating from the wall surface (24a) of the hole (24), the pressure medium flows through a path passing through the connecting pipe (68) and the pressure introducing hole (24).

このようなサクションパイプ（５３）が用いられるシステムにおいても、サクションパイプ（５３）内の圧力媒体を連結パイプ（６８）を介して圧力センサ内部に導入することができ、該圧力媒体をサクションパイプ（５３）に排出することで、圧力センサ内部に付着したゴミや汚れ等を取り除くことができる。 Even in such a system in which the suction pipe (53) is used, the pressure medium in the suction pipe (53) can be introduced into the pressure sensor via the connection pipe (68), and the pressure medium is supplied to the suction pipe (53). 53), it is possible to remove dust and dirt adhering to the inside of the pressure sensor.

請求項４に記載の発明では、圧力検出を行う圧力検出素子（３０）を有するケース（１０）と、一端（２１）と、他端（２３）と、一端（２１）と他端（２３）とを貫通する圧力導入孔（２４）とを有し、一端（２１）がケース（１０）に連結されることでケース（１０）との間に圧力検出室（２２）が構成されるポート部（２０）とを備えた圧力センサであって、圧力検出素子（３０）は圧力検出室（２２）に配置され、ポート部（２０）の他端（２３）から圧力導入孔（２４）を介して圧力検出室（２２）に導入された圧力媒体の圧力を検出するようになっており、ポート部（２０）は、該ポート部（２０）にインサート成型された巻線ヒータ（７０）を備えていることを特徴とする。 In the invention according to claim 4, the case (10) having the pressure detecting element (30) for detecting pressure, one end (21), the other end (23), one end (21) and the other end (23). And a pressure detection chamber (22) between the case (10) by connecting one end (21) to the case (10). The pressure detection element (30) is disposed in the pressure detection chamber (22) and is connected to the other end (23) of the port portion (20) via the pressure introduction hole (24). The pressure of the pressure medium introduced into the pressure detection chamber (22) is detected, and the port portion (20) includes a winding heater (70) insert-molded in the port portion (20). It is characterized by.

これにより、巻線ヒータ（７０）を加熱することで、ポート部（２０）を加熱することができる。したがって、熱によって圧力センサ内部に付着したゴミや汚れ等を取り除くことができる。 Thereby, a port part (20) can be heated by heating a winding heater (70). Therefore, dust, dirt, etc. adhering to the inside of the pressure sensor due to heat can be removed.

請求項５に記載の発明では、圧力検出を行う圧力検出素子（３０）を有するケース（１０）と、一端（２１）と、他端（２３）と、一端（２１）と他端（２３）とを貫通する圧力導入孔（２４）とを有し、一端（２１）がケース（１０）に連結されることでケース（１０）との間に圧力検出室（２２）が構成されるポート部（２０）とを備えた圧力センサであって、圧力検出素子（３０）は圧力検出室（２２）に配置され、ポート部（２０）の他端（２３）から圧力導入孔（２４）を介して圧力検出室（２２）に導入された圧力媒体の圧力を検出するようになっており、ポート部（２０）は、該ポート部（２０）にインサート成型されると共にポート部（２０）の他端（２３）の端面（２３ａ）から外部に露出した一端部（７１ａ）を有する静電気発生用リード（７１）を備えていることを特徴とする。 In the invention according to claim 5, the case (10) having the pressure detecting element (30) for detecting pressure, one end (21), the other end (23), one end (21) and the other end (23). And a pressure detection chamber (22) between the case (10) by connecting one end (21) to the case (10). The pressure detection element (30) is disposed in the pressure detection chamber (22) and is connected to the other end (23) of the port portion (20) via the pressure introduction hole (24). The pressure of the pressure medium introduced into the pressure detection chamber (22) is detected, and the port part (20) is insert-molded into the port part (20) and the other part of the port part (20). It has one end part (71a) exposed outside from the end surface (23a) of the end (23). Characterized in that it comprises an electric generator leads (71).

これにより、ポート部（２０）の一端（２１）の端面（２３ａ）から露出した静電気発生用リード（７１）に静電気を発生させ、該静電気でイオンを発生させることにより、該静電気発生用リード（７１）にゴミや汚れ等を集めることができる。これにより、圧力センサ内部にゴミや汚れ等が付着しないようにすることができる。 Thereby, static electricity is generated in the static electricity generating lead (71) exposed from the end face (23a) of the one end (21) of the port portion (20), and ions are generated by the static electricity. 71) can collect dust and dirt. Thereby, it is possible to prevent dust and dirt from adhering to the inside of the pressure sensor.

請求項６に記載の発明では、圧力検出を行う圧力検出素子（３０）を有するケース（１０）と、一端（２１）と、他端（２３）と、一端（２１）と他端（２３）とを貫通する圧力導入孔（２４）とを有し、一端（２１）がケース（１０）に連結されることでケース（１０）との間に圧力検出室（２２）が構成されるポート部（２０）とを備えた圧力センサであって、圧力検出素子（３０）は圧力検出室（２２）に配置され、ポート部（２０）の他端（２３）から圧力導入孔（２４）を介して圧力検出室（２２）に導入された圧力媒体の圧力を検出するようになっており、圧力導入孔（２４）の壁面（２４ａ）には複数の突起（７２）が設けられており、突起（７２）の先端（７２ａ）はポート部（２０）の他端（２３）側に向けられていることを特徴とする。 In the invention according to claim 6, the case (10) having the pressure detecting element (30) for detecting pressure, one end (21), the other end (23), one end (21) and the other end (23). And a pressure detection chamber (22) between the case (10) by connecting one end (21) to the case (10). The pressure detection element (30) is disposed in the pressure detection chamber (22) and is connected to the other end (23) of the port portion (20) via the pressure introduction hole (24). The pressure of the pressure medium introduced into the pressure detection chamber (22) is detected, and a plurality of projections (72) are provided on the wall surface (24a) of the pressure introduction hole (24). The tip (72a) of (72) is directed to the other end (23) side of the port portion (20). The features.

これにより、ゴミ等が突起（７２）の上に乗るため、汚れが圧力導入孔（２４）の壁面（２４ａ）に付着しにくくすることができ、突起（７２）の上に乗ったゴミ等を移動させやすくすることができる。したがって、圧力センサ内部に付着したゴミや汚れ等を取り除くことができる。 As a result, dust or the like gets on the protrusion (72), so that dirt can hardly be attached to the wall surface (24a) of the pressure introducing hole (24). It can be easily moved. Therefore, dust, dirt, etc. adhering to the inside of the pressure sensor can be removed.

請求項７に記載の発明では、圧力検出を行う圧力検出素子（３０）を有するケース（１０）と、一端（２１）と、他端（２３）と、一端（２１）と他端（２３）とを貫通する圧力導入孔（２４）とを有し、一端（２１）がケース（１０）に連結されることでケース（１０）との間に圧力検出室（２２）が構成されるポート部（２０）とを備えた圧力センサであって、圧力検出素子（３０）は圧力検出室（２２）に配置され、ポート部（２０）の他端（２３）から圧力導入孔（２４）を介して圧力検出室（２２）に導入された圧力媒体の圧力を検出するようになっており、ポート部（２０）の外壁面（２５）には圧力媒体に乱流を起こさせるための凹凸部（７３）が設けられていることを特徴とする。 In the invention according to claim 7, the case (10) having the pressure detecting element (30) for detecting pressure, one end (21), the other end (23), one end (21) and the other end (23). And a pressure detection chamber (22) between the case (10) by connecting one end (21) to the case (10). The pressure detection element (30) is disposed in the pressure detection chamber (22) and is connected to the other end (23) of the port portion (20) via the pressure introduction hole (24). Thus, the pressure of the pressure medium introduced into the pressure detection chamber (22) is detected, and the concave and convex portions for causing turbulent flow in the pressure medium (25) on the outer wall surface (25) of the port portion (20). 73).

これにより、圧力媒体がポート部（２０）に当たると、乱流が発生しやすくなり、該乱流によってポート部（２０）を振動させやすくすることができる。したがって、この振動によって圧力センサ内部に付着したゴミや汚れ等を取り除くことができる。 Thereby, when a pressure medium hits a port part (20), it will become easy to generate | occur | produce a turbulent flow and can make a port part (20) vibrate easily by this turbulent flow. Therefore, dust, dirt, etc. adhering to the inside of the pressure sensor can be removed by this vibration.

請求項８に記載の発明では、圧力検出を行う圧力検出素子（３０）を有するケース（１０）と、一端（２１）と、他端（２３）と、一端（２１）と他端（２３）とを貫通する圧力導入孔（２４）とを有し、一端（２１）がケース（１０）に連結されることでケース（１０）との間に圧力検出室（２２）が構成されるポート部（２０）とを備えた圧力センサであって、圧力検出素子（３０）は圧力検出室（２２）に配置され、ポート部（２０）の他端（２３）から圧力導入孔（２４）を介して圧力検出室（２２）に導入された圧力媒体の圧力を検出するようになっており、ケース（１０）には、ケース（１０）を振動させることにより該ケース（１０）を介してポート部（２０）を振動させるための振動発生手段（７４）が備えられていることを特徴とする。 In the invention according to claim 8, the case (10) having the pressure detecting element (30) for detecting pressure, one end (21), the other end (23), one end (21) and the other end (23). And a pressure detection chamber (22) between the case (10) by connecting one end (21) to the case (10). The pressure detection element (30) is disposed in the pressure detection chamber (22) and is connected to the other end (23) of the port portion (20) via the pressure introduction hole (24). The pressure of the pressure medium introduced into the pressure detection chamber (22) is detected, and the case (10) includes a port portion via the case (10) by vibrating the case (10). Vibration generating means (74) for vibrating (20) is provided. And features.

これにより、積極的に圧力センサを振動させることができ、ひいては該振動によって圧力センサ内部に付着したゴミや汚れ等を取り除くことができる。 As a result, the pressure sensor can be vibrated positively, and as a result, dust, dirt, etc. adhering to the inside of the pressure sensor due to the vibration can be removed.

請求項９に記載の発明では、圧力導入孔（２４）の壁面（２４ａ）には複数の突起（７２）が設けられており、突起（７２）の先端（７２ａ）はポート部（２０）の一端（２１）側に向けられていることを特徴とする。これにより、突起（７２）の上に乗ったゴミや汚れ等を振動によって移動させやすくすることができる。 In the invention according to claim 9, the wall surface (24a) of the pressure introducing hole (24) is provided with a plurality of projections (72), and the tip (72a) of the projection (72) is formed on the port portion (20). It is directed to one end (21) side. Thereby, it is possible to easily move dust, dirt, and the like on the protrusion (72) by vibration.

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。 In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each said means shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, the same or equivalent parts are denoted by the same reference numerals in the drawings.

（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態について図を参照して説明する。本実施形態で示される圧力センサは、例えばＥＧＲシステムなどの排気システムに使用されるものである。 (First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The pressure sensor shown by this embodiment is used for exhaust systems, such as an EGR system, for example.

図１は、本実施形態に係る圧力センサの断面図である。この図に示されるように、圧力センサは、ケース１０とポート部２０とを備えて構成されている。 FIG. 1 is a cross-sectional view of a pressure sensor according to this embodiment. As shown in this figure, the pressure sensor includes a case 10 and a port portion 20.

ケース１０は、例えばＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やエポキシ樹脂等の樹脂材料を、金型を用いて型成型してなるものであり、外部と接続される複数のターミナル１１がインサート成型されたものである。また、ケース１０の上端面１２には、圧力検出素子３０を設置するための凹部１３が設けられている。 The case 10 is formed by molding a resin material such as PPS (polyphenylene sulfide), PBT (polybutylene terephthalate) or epoxy resin using a mold, and a plurality of terminals 11 connected to the outside are provided. Insert-molded. Further, the upper end surface 12 of the case 10 is provided with a recess 13 for installing the pressure detection element 30.

ターミナル１１の一端部は、ケース１０の側面に設けられた開口部１４内に露出するように配置されている。このケース１０の開口部１４は、該開口部１４内に位置する各ターミナル１１の一端部と共に、本圧力センサにおけるコネクタ部として構成される。つまり、開口部１４は、配線部材等を介して図示しない外部機器に接続可能になっている。このようなターミナル１１として、例えば銅などの導電材料よりなるものが採用される。なお、ターミナル１１の他端部における凹部１３での露出部分には金メッキなどが施されており、ボンディングパッドとして機能するように構成されている。 One end of the terminal 11 is disposed so as to be exposed in an opening 14 provided on the side surface of the case 10. The opening portion 14 of the case 10 is configured as a connector portion in the present pressure sensor together with one end portion of each terminal 11 located in the opening portion 14. That is, the opening 14 can be connected to an external device (not shown) via a wiring member or the like. As such a terminal 11, what consists of electrically conductive materials, such as copper, is employ | adopted, for example. In addition, the gold plating etc. are given to the exposed part in the recessed part 13 in the other end part of the terminal 11, and it is comprised so that it may function as a bonding pad.

上記ケース１０の凹部１３には、圧力検出素子３０が備えられている。圧力検出素子３０は、圧力を検出してその検出値に応じた電気信号を発生するものであり、ピエゾ抵抗効果を利用したものである。この圧力検出素子３０はセンサチップとして構成され、圧力に応じた電気信号として電圧を検出するセンシング部を備えている。具体的に、圧力検出素子３０は、歪み部としてのダイヤフラムを有し、このダイヤフラムに拡散抵抗などにより形成されたブリッジ回路などを備えたセンシング部を有している。このような圧力検出素子３０は、ケース１０の凹部１３に固定されたガラス台座上に接着固定されている。 A pressure detection element 30 is provided in the recess 13 of the case 10. The pressure detecting element 30 detects a pressure and generates an electric signal corresponding to the detected value, and utilizes a piezoresistive effect. The pressure detection element 30 is configured as a sensor chip and includes a sensing unit that detects a voltage as an electric signal corresponding to the pressure. Specifically, the pressure detection element 30 has a diaphragm as a distortion part, and has a sensing part provided with a bridge circuit or the like formed on the diaphragm by a diffusion resistor or the like. Such a pressure detection element 30 is bonded and fixed on a glass pedestal fixed to the recess 13 of the case 10.

なお、ケース１０の凹部１３には図示しない回路チップも備えられている。該回路チップは、圧力検出素子３０に対する駆動信号の出力や外部への検出用信号の出力、圧力検出素子３０からの電気信号を入力し、演算・増幅処理して外部へ出力する等の機能を有する制御回路等を備えたものである。上記圧力検出素子３０と回路チップとの間、回路チップとターミナル１１のボンディングパッドとの間は金やアルミニウム等のボンディングワイヤ３１で接続されている。 The recess 13 of the case 10 is also provided with a circuit chip (not shown). The circuit chip has a function of outputting a drive signal to the pressure detection element 30, an output of a detection signal to the outside, an electric signal from the pressure detection element 30, an operation / amplification process, and outputting to the outside. And a control circuit having the same. A bonding wire 31 such as gold or aluminum is connected between the pressure detecting element 30 and the circuit chip, and between the circuit chip and the bonding pad of the terminal 11.

そして、ケース１０の凹部１３内には、電気絶縁性および耐薬品性に優れたフッ素ゲルやフッ素ゴム等からなる保護部材３２が充填されている。この保護部材３２により、圧力検出素子３０、回路チップ、ターミナル１１、ボンディングワイヤ３１、圧力検出素子３０とボンディングワイヤ３１との接続部、回路チップとボンディングワイヤ３１との接続部、およびターミナル１１とボンディングワイヤ３１との接続部が被覆され、薬品からの保護、電気的な絶縁性の確保、並びに防食などが図られている。本実施形態では、フッ素系のゴム材料等とフッ素系のゲル材料等との２層保護構造の保護部材３２が採用される。 The recess 13 of the case 10 is filled with a protective member 32 made of fluorine gel, fluorine rubber, or the like having excellent electrical insulation and chemical resistance. By this protective member 32, the pressure detection element 30, the circuit chip, the terminal 11, the bonding wire 31, the connection part between the pressure detection element 30 and the bonding wire 31, the connection part between the circuit chip and the bonding wire 31, and the terminal 11 and bonding. The connection portion with the wire 31 is covered, and protection from chemicals, ensuring electrical insulation, corrosion prevention, and the like are achieved. In the present embodiment, a protective member 32 having a two-layer protective structure of a fluorinated rubber material or the like and a fluorinated gel material or the like is employed.

ポート部２０は、圧力検出素子３０に圧力媒体を導くものであり、ケース１０の上端面１２を覆うようにケース１０に対して一端２１が接着剤等によって連結されている。これに伴い、ケース１０とポート部２０との間に圧力検出室２２が形成されている。また、ポート部２０の他端２３は、ケース１０とは反対側の方向へ突出しており、その内部には突出先端から上記圧力検出室２２に通じる圧力導入孔２４が形成されている。そして、被測定体としてのインテークマニホールド内の吸気などの圧力媒体が、圧力導入孔２４を介して圧力検出室２２に導入され、該圧力媒体の圧力が圧力検出素子３０によって検出されるようになっている。 The port portion 20 guides the pressure medium to the pressure detection element 30, and one end 21 is connected to the case 10 by an adhesive or the like so as to cover the upper end surface 12 of the case 10. Accordingly, a pressure detection chamber 22 is formed between the case 10 and the port portion 20. The other end 23 of the port portion 20 protrudes in the direction opposite to the case 10, and a pressure introduction hole 24 that leads from the protruding tip to the pressure detection chamber 22 is formed in the other end 23. Then, a pressure medium such as intake air in an intake manifold as a measurement object is introduced into the pressure detection chamber 22 through the pressure introduction hole 24, and the pressure of the pressure medium is detected by the pressure detection element 30. ing.

このようなポート部２０は、例えば上記ケース１０と同様に、ＰＢＴ、ＰＰＳなどの耐熱性を有する樹脂材料からなり、金型を用いてこれらの樹脂材料を型成型してなるものである。また、ポート部２０の外周部にはＯリング４０が設けられ、本圧力センサは、該Ｏリング４０を介して図示されないセンサ取付部に対して気密に取り付け可能になっている。 Such a port portion 20 is made of a heat-resistant resin material such as PBT or PPS, as in the case 10, for example, and is formed by molding these resin materials using a mold. Further, an O-ring 40 is provided on the outer peripheral portion of the port portion 20, and the present pressure sensor can be airtightly attached to a sensor attachment portion (not shown) via the O-ring 40.

また、ポート部２０には、圧力導入孔２４の壁面２４ａとポート部２０との外壁面２５とを貫通した貫通孔２６が設けられている。貫通孔２６は、ポート部２０の一端２１側に設けられている。貫通孔２６の径と圧力導入孔２４の径との関係については、例えば圧力導入孔２４の径が貫通孔２６の径の１００倍の大きさになっている。 The port portion 20 is provided with a through hole 26 that penetrates the wall surface 24 a of the pressure introducing hole 24 and the outer wall surface 25 of the port portion 20. The through hole 26 is provided on the one end 21 side of the port portion 20. Regarding the relationship between the diameter of the through hole 26 and the diameter of the pressure introducing hole 24, for example, the diameter of the pressure introducing hole 24 is 100 times larger than the diameter of the through hole 26.

さらに、圧力検出室２２すなわち圧力導入孔２４の壁面２４ａには逆止弁２７が設けられている。この逆止弁２７は、圧力媒体が圧力導入孔２４に導入されたときに圧力導入孔２４の壁面２４ａに押さえ付けられて圧力導入孔２４内とポート部２０の外部とを分離する役割を果たす。以上が、本実施形態に係る圧力センサの全体構成である。 Further, a check valve 27 is provided on the wall surface 24 a of the pressure detection chamber 22, that is, the pressure introduction hole 24. The check valve 27 is pressed against the wall surface 24 a of the pressure introduction hole 24 when the pressure medium is introduced into the pressure introduction hole 24, and serves to separate the inside of the pressure introduction hole 24 from the outside of the port portion 20. . The above is the overall configuration of the pressure sensor according to the present embodiment.

次に、上記構成を有する圧力センサにおいて、圧力導入孔２４の壁面２４ａ等に汚れ等が付着した場合の作動について説明する。なお、圧力導入孔２４を介して圧力検出室２２に圧力媒体が導入されれば、圧力検出素子３０によって圧力媒体の圧力測定が行われる。 Next, in the pressure sensor having the above configuration, an operation when dirt or the like adheres to the wall surface 24a of the pressure introducing hole 24 will be described. If a pressure medium is introduced into the pressure detection chamber 22 via the pressure introduction hole 24, the pressure of the pressure medium is measured by the pressure detection element 30.

被測定体であるインテークマニホールド内は吸気に応じて圧力が変化する。そして、インテークマニホールド内が高圧のとき、圧力媒体はインテークマニホールドの壁面や圧力導入孔２４の壁面２４ａを押さえ付けるように作用する。これにより、圧力センサ内部の逆止弁２７も圧力媒体によって押さえ付けられ、圧力導入孔２４内とポート部２０の外部とが分離されるため、圧力センサの内部と外部とは繋がった状態になっていない。 The pressure in the intake manifold, which is the measurement object, changes according to the intake air. When the inside of the intake manifold is at a high pressure, the pressure medium acts to press down the wall surface of the intake manifold and the wall surface 24a of the pressure introducing hole 24. Accordingly, the check valve 27 inside the pressure sensor is also pressed by the pressure medium, and the inside of the pressure introduction hole 24 and the outside of the port portion 20 are separated, so that the inside of the pressure sensor is connected to the outside. Not.

一方、インテークマニホールド内が負圧のとき、逆止弁２７が開放される。すなわち、圧力媒体はインテークマニホールドの壁面や圧力導入孔２４の壁面２４ａを引っ張るように作用する。これにより、圧力センサ内部の逆止弁２７が圧力導入孔２４の壁面２４ａから離され、圧力センサの内部と外部とが貫通孔２６を介して繋がった状態となる。また、インテークマニホールド内は負圧になっているので、圧力センサ外部の空気が貫通孔２６、圧力導入孔２４、およびインテークマニホールドを通過する経路で流れる。 On the other hand, when the intake manifold has negative pressure, the check valve 27 is opened. That is, the pressure medium acts to pull the wall surface of the intake manifold and the wall surface 24 a of the pressure introducing hole 24. Thereby, the check valve 27 inside the pressure sensor is separated from the wall surface 24 a of the pressure introducing hole 24, and the inside and the outside of the pressure sensor are connected via the through hole 26. Further, since the intake manifold has a negative pressure, air outside the pressure sensor flows through a path passing through the through hole 26, the pressure introduction hole 24, and the intake manifold.

これにより、圧力センサの内部からインテークマニホールドへの空気の流れが生じ、圧力センサ内部において圧力導入孔２４の壁面２４ａ等に付着したゴミや汚れ等が該空気の流れと共にインテークマニホールドに排出される。こうして、圧力センサ内部の汚れが排出されるようになっている。 As a result, an air flow from the inside of the pressure sensor to the intake manifold is generated, and dust, dirt, etc. adhering to the wall surface 24a of the pressure introducing hole 24 inside the pressure sensor are discharged to the intake manifold together with the air flow. Thus, dirt inside the pressure sensor is discharged.

以上説明したように、本実施形態では、圧力センサのポート部２０に貫通孔２６および逆止弁２７を設けたことが特徴となっている。これにより、被測定体であるインテークマニホールド内が負圧になったときに圧力媒体と共に圧力センサ内部の汚れをインテークマニホールドに排出することができる。したがって、インテークマニホールド内が負圧になるたびに、圧力センサの内部から外部への空気の流れを生じさせることができ、該空気の流れによって圧力センサ内部に導入されたゴミや汚れ等を排出することができる。このようして、圧力センサ内部に付着した汚れ等を取り除くことができる。 As described above, the present embodiment is characterized in that the through hole 26 and the check valve 27 are provided in the port portion 20 of the pressure sensor. As a result, when the inside of the intake manifold, which is the object to be measured, becomes negative pressure, dirt inside the pressure sensor can be discharged together with the pressure medium to the intake manifold. Therefore, every time the inside of the intake manifold becomes negative pressure, an air flow from the inside of the pressure sensor to the outside can be generated, and dust, dirt, etc. introduced into the pressure sensor are discharged by the air flow. be able to. In this way, dirt and the like attached to the inside of the pressure sensor can be removed.

（第２実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。本実施形態では、第１実施形態で示された圧力センサを過給機が装備された車両に搭載することが特徴となっている。 (Second Embodiment)
In the present embodiment, only different parts from the first embodiment will be described. This embodiment is characterized in that the pressure sensor shown in the first embodiment is mounted on a vehicle equipped with a supercharger.

図２は、本実施形態に係る吸排気システムの概略図である。本実施形態では、被測定体はインテークマニホールド５０であるが、該インテークマニホールド５０の上流側にはスロットル５１、過給機（コンプレッサ）５２、サクションパイプ５３、およびエアクリーナ５４が順に接続されている。 FIG. 2 is a schematic diagram of the intake / exhaust system according to the present embodiment. In the present embodiment, the object to be measured is the intake manifold 50, but a throttle 51, a supercharger (compressor) 52, a suction pipe 53, and an air cleaner 54 are connected in order on the upstream side of the intake manifold 50.

また、過給機５２とスロットル５１の間とサクションパイプ５３に戻経路５５が繋がっている。この戻経路５５の一端側はサクションパイプ５３に連結され、他端側はスロットル５１と過給機５２との間にブローオフバルブ５６を介して連結されている。さらに、サクションパイプ５３内には、過給機５２の過給時にサクションパイプ５３の壁面に押さえ付けられて戻経路５５とサクションパイプ５３の内部とを分離するドア５７が設けられている。 A return path 55 is connected between the supercharger 52 and the throttle 51 and to the suction pipe 53. One end side of the return path 55 is connected to the suction pipe 53, and the other end side is connected between the throttle 51 and the supercharger 52 via a blow-off valve 56. Further, in the suction pipe 53, a door 57 is provided that is pressed against the wall surface of the suction pipe 53 when the supercharger 52 is supercharged to separate the return path 55 from the inside of the suction pipe 53.

そして、ポート部２０の他端２３は、インテークマニホールド５０に固定されている。また、圧力センサは、ポート部２０の貫通孔２６と戻経路５５とを繋ぐ通気パイプ５８を備えている。 The other end 23 of the port portion 20 is fixed to the intake manifold 50. The pressure sensor includes a ventilation pipe 58 that connects the through hole 26 of the port portion 20 and the return path 55.

なお、戻経路５５の管径は、通気パイプ５８の管径よりも太いと更に良い。通気パイプ５８側の通気は、過給機５２の作動後に排出されるので、本来のブローオフの機能である過給機５２への逆圧低減の効果が無い。このため、通気パイプ５８の径を細くして戻経路５５に多くの空気を流すことで、ブローオフの効果を残したまま異物排出が可能である。さらに、通気パイプ５８の径を細くした場合、通気パイプ５８を通過する空気の流速が上がるので、後で説明する異物排出効果を高めるという効果もある。 The pipe diameter of the return path 55 is preferably larger than the pipe diameter of the ventilation pipe 58. The ventilation on the side of the ventilation pipe 58 is discharged after the operation of the supercharger 52, so that there is no effect of reducing the back pressure to the supercharger 52, which is the original blow-off function. For this reason, by reducing the diameter of the ventilation pipe 58 and allowing a large amount of air to flow through the return path 55, foreign matter can be discharged while the blow-off effect remains. Further, when the diameter of the ventilation pipe 58 is reduced, the flow rate of the air passing through the ventilation pipe 58 is increased, so that there is an effect of enhancing the foreign matter discharge effect described later.

一方、インテークマニホールド５０を通過した気体は、図示しない燃焼室に導かれる。そして、燃焼室を出た気体は、エキゾーストマニホールド５９、過給機５２、および触媒６０を通過して、大気に排出されるようになっている。また、一方が過給機５２の上流側に連結され、他方がウェストゲート６１を介して下流側に連結された戻経路６２が設けられており、戻経路６２と過給機５２の下流側とを分離するドア６３も設けられている。 On the other hand, the gas that has passed through the intake manifold 50 is guided to a combustion chamber (not shown). The gas exiting the combustion chamber passes through the exhaust manifold 59, the supercharger 52, and the catalyst 60, and is discharged to the atmosphere. A return path 62 is provided, one of which is connected to the upstream side of the supercharger 52 and the other of which is connected to the downstream side via the wastegate 61. There is also provided a door 63 for separating the two.

このような過給機５２が備えられた吸排気システムにおいて、過給機５２の過給時には、サクションパイプ５３内が高圧となり、ドア５７がサクションパイプ５３の壁面に押さえ付けられる。また、ブローオフバルブ５６が閉じられている。これにより、戻経路５５および通気パイプ５８には気体が導入されない。そして、過給機５２を通過した気体はスロットル５１によって気体の通過量が制御され、インテークマニホールド５０に導かれる。インテークマニホールド５０内を通過する気体は、圧力センサのポート部２０から圧力センサ内部に導かれ、圧力検出素子３０によって圧力測定が行われる。 In the intake / exhaust system provided with such a supercharger 52, when the supercharger 52 is supercharged, the pressure in the suction pipe 53 becomes high, and the door 57 is pressed against the wall surface of the suction pipe 53. The blow-off valve 56 is closed. As a result, no gas is introduced into the return path 55 and the ventilation pipe 58. The amount of gas passing through the supercharger 52 is controlled by the throttle 51 and guided to the intake manifold 50. The gas passing through the intake manifold 50 is guided into the pressure sensor from the port portion 20 of the pressure sensor, and the pressure is measured by the pressure detection element 30.

過給機５２の過給終了時には、図３に示されるように、ブローオフバルブ５６が開き、ドア５７がサクションパイプ５３の壁面から離され、燃焼室に入れない高圧空気がサクションパイプ５３および通気パイプ５８に導入される。そして、該高圧空気が通気パイプ５８を通過するため、高圧空気が圧力センサのポート部２０に到着するまでに若干の時間差が発生する。そのため、インテークマニホールド５０内が負圧となる。また、通気パイプ５８を通過した気体がポート部２０内の逆止弁２７を圧力導入孔２４の壁面２４ａから離すと、気体がブローオフバルブ５６、戻経路５５、通気パイプ５８、および圧力導入孔２４を通過する経路で流れる。これにより、圧力センサ内部のゴミや汚れ等がインテークマニホールド５０に排出される。 At the end of supercharging of the supercharger 52, as shown in FIG. 3, the blow-off valve 56 is opened, the door 57 is separated from the wall surface of the suction pipe 53, and high-pressure air that cannot enter the combustion chamber is supplied to the suction pipe 53 and the ventilation pipe. 58. Since the high-pressure air passes through the ventilation pipe 58, a slight time difference occurs before the high-pressure air reaches the port portion 20 of the pressure sensor. Therefore, the intake manifold 50 has a negative pressure. When the gas that has passed through the vent pipe 58 separates the check valve 27 in the port portion 20 from the wall surface 24 a of the pressure introduction hole 24, the gas is blown off the valve 56, the return path 55, the vent pipe 58, and the pressure introduction hole 24. It flows in a route passing through. Thereby, dust, dirt, etc. inside the pressure sensor are discharged to the intake manifold 50.

以上説明したように、過給機５２が設けられた吸排気システムにおいても、圧力センサの貫通孔２６と戻経路５５とを繋ぐ通気パイプ５８を設けることで、該通気パイプ５８を介してポート部２０の貫通孔２６から圧力センサ内部に気体を導入でき、圧力センサ内部からインテークマニホールド５０に汚れ等を排出することができる。 As described above, even in the intake / exhaust system provided with the supercharger 52, the port section is provided via the ventilation pipe 58 by providing the ventilation pipe 58 that connects the through hole 26 of the pressure sensor and the return path 55. The gas can be introduced into the pressure sensor from the 20 through holes 26, and dirt and the like can be discharged from the pressure sensor to the intake manifold 50.

（第３実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図４は、本実施形態において圧力センサがサクションパイプに固定された概略断面図である。 (Third embodiment)
In the present embodiment, only different parts from the first embodiment will be described. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view in which the pressure sensor is fixed to the suction pipe in the present embodiment.

本実施形態では、被測定体は、内部にスロットル６４が配置されたサクションパイプ５３である。このスロットル６４はサクションパイプ５３の内壁面に設けられた回動軸６５を中心にサクションパイプ５３の上流側および下流側に回動するようになっている。なお、スロットル６４は例えば電子スロットルである。メカスロットルを採用しても良い。 In the present embodiment, the object to be measured is a suction pipe 53 in which a throttle 64 is disposed. The throttle 64 rotates about the rotation shaft 65 provided on the inner wall surface of the suction pipe 53 to the upstream side and the downstream side of the suction pipe 53. The throttle 64 is an electronic throttle, for example. A mechanical throttle may be used.

また、回動軸６５にはスロットル６４の上流側に位置するフラップ６６が支持され、スロットル６４とフラップ６６とが一定の角度をなしてバネ６７で繋がれている。すなわち、スロットル６４およびフラップ６６は回動軸６５が一体になっており、それぞれが一定の角度をなして共に回動軸６５を中心に回動する。 Further, a flap 66 positioned upstream of the throttle 64 is supported on the rotation shaft 65, and the throttle 64 and the flap 66 are connected by a spring 67 at a certain angle. That is, the throttle shaft 64 and the flap 66 are integrally formed with a rotation shaft 65, and each rotate around the rotation shaft 65 at a certain angle.

そして、サクションパイプ５３のうちスロットル６４の下流側に、ポート部２０の他端２３が固定されている。また、圧力センサは、サクションパイプ５３のうちスロットル６４の上流側とポート部２０の貫通孔２６とを繋ぐ連結パイプ６８を備えている。 The other end 23 of the port portion 20 is fixed downstream of the throttle 64 in the suction pipe 53. Further, the pressure sensor includes a connection pipe 68 that connects the upstream side of the throttle 64 in the suction pipe 53 and the through hole 26 of the port portion 20.

このようなシステムにおいて、ドライバがアクセルペダルを踏み込むと、スロットル６４が回動軸６５を中心に回動することでフラップ６６も共に回動し、フラップ６６がサクションパイプ５３の内壁面２４ａに押し付けられたとき、バネ６７が縮むと共にサクションパイプ５３と連結パイプ６８とが分離される。 In such a system, when the driver depresses the accelerator pedal, the flap 64 is rotated together with the throttle 64 rotating about the rotation shaft 65, and the flap 66 is pressed against the inner wall surface 24 a of the suction pipe 53. When this occurs, the spring 67 contracts and the suction pipe 53 and the connection pipe 68 are separated.

具体的には、スロットル６４がサクションパイプ５３の径方向に対して傾く。そして、スロットル６４が該径方向に対してθ_２’の角度まで傾くと、フラップ６６がサクションパイプ５３の内壁面に押し付けられ、連結パイプ６８を閉じる。さらに、ドライバがアクセルペダルを踏み込むと、図示しないアクチュエータがスロットル６４をθ_２’以上の角度に開こうとする。これにより、バネ６７が圧縮され、スロットル６４はθ_２’以上の角度に開く。もちろん、フラップ６６はサクションパイプ５３の内壁面を押さえ付けた状態が維持される。 Specifically, the throttle 64 is inclined with respect to the radial direction of the suction pipe 53. When the throttle 64 tilts to the angle θ ₂ ′ with respect to the radial direction, the flap 66 is pressed against the inner wall surface of the suction pipe 53 and the connecting pipe 68 is closed. Further, when the driver depresses the accelerator pedal, an actuator (not shown) tries to open the throttle 64 at an angle of θ ₂ ′ or more. As a result, the spring 67 is compressed and the throttle 64 opens at an angle of θ ₂ ′ or more. Of course, the flap 66 is kept pressed against the inner wall surface of the suction pipe 53.

また、圧力センサのポート部２０内部では、連結パイプ６８からポート部２０への圧力媒体の流れが生じないため、逆止弁２７は圧力導入孔２４の壁面２４ａを押さえ付けた状態になっている。 In addition, since the flow of the pressure medium from the connection pipe 68 to the port portion 20 does not occur inside the port portion 20 of the pressure sensor, the check valve 27 is in a state of pressing the wall surface 24 a of the pressure introducing hole 24. .

一方、図５（ａ）に示されるように、スロットル６４がθ_２’よりも小さいθ_２の角度で開いている場合、フラップ６６はサクションパイプ５３の内壁面から離れてサクションパイプ５３の内壁面に対してθ_１の角度で傾いている。この場合、θ_１＞ θ_２となる。すなわち、スロットル６４がフラップ６６と共に回動軸６５を中心に回動することでフラップ６６がサクションパイプ５３の内壁面２４ａから離れる。これにより、サクションパイプ５３内の圧力媒体が連結パイプ６８を介して逆止弁２７に当たり、逆止弁２７が圧力導入孔２４の壁面２４ａから離れることにより、圧力媒体が連結パイプ６８および圧力導入孔２４を通過する経路で流れる。 On the other hand, as shown in FIG. 5A, when the throttle 64 is opened at an angle θ ₂ smaller than θ ₂ ′, the flap 66 is separated from the inner wall surface of the suction pipe 53 and the inner wall surface of the suction pipe 53. Is inclined at an angle of θ ₁ with respect to. In this case, θ ₁ > θ ₂ is satisfied. That is, when the throttle 64 rotates together with the flap 66 about the rotation shaft 65, the flap 66 moves away from the inner wall surface 24 a of the suction pipe 53. Thereby, the pressure medium in the suction pipe 53 hits the check valve 27 via the connection pipe 68, and the check valve 27 moves away from the wall surface 24 a of the pressure introduction hole 24, so that the pressure medium is connected to the connection pipe 68 and the pressure introduction hole. It flows in a route passing through 24.

図５（ｂ）は圧力導入孔２４の壁面２４ａを模式的に示したものである。この図に示されるように、貫通孔２６は圧力導入孔２４の壁面２４ａに沿って設けられている。これにより、貫通孔２６からポート部２０内に導かれた気体は、圧力導入孔２４の壁面２４ａに沿って螺旋状にサクションパイプ５３に排出される。このとき、気体の流れによって圧力センサ内部のゴミや汚れ等がサクションパイプ５３に排出される。 FIG. 5B schematically shows the wall surface 24 a of the pressure introducing hole 24. As shown in this figure, the through hole 26 is provided along the wall surface 24 a of the pressure introducing hole 24. Thereby, the gas guided into the port portion 20 from the through hole 26 is discharged spirally along the wall surface 24 a of the pressure introducing hole 24 to the suction pipe 53. At this time, dust or dirt inside the pressure sensor is discharged to the suction pipe 53 by the gas flow.

なお、図４および図５（ａ）に示されるように、圧力媒体が圧力センサ内部に導入されれば、上記の汚れ等の排出とは独立して圧力検出素子３０による圧力測定が行われる。 As shown in FIG. 4 and FIG. 5A, when the pressure medium is introduced into the pressure sensor, the pressure measurement by the pressure detection element 30 is performed independently of the discharge of dirt and the like.

以上説明したように、電子スロットルなどのスロットル６４が用いられるシステムにおいても、連結パイプ６８を介して圧力センサ内部に圧力媒体を導くと共にサクションパイプ５３に排出することで、圧力センサ内部に付着した汚れを取り除くことができる。 As described above, even in a system in which the throttle 64 such as an electronic throttle is used, the dirt adhered to the inside of the pressure sensor by guiding the pressure medium to the inside of the pressure sensor through the connecting pipe 68 and discharging it to the suction pipe 53. Can be removed.

このようなシステムでは、例えばオイルまみれのカーボンなどのゴミや汚れは、スロットル６４の開度が大きいときに多く発生して、圧力センサの圧力導入孔２４の他端２３を塞ぐが、ゴミの発生が少ないアイドリング時に連結パイプ６８を開放することで該連結パイプ６８を介して気体を圧力センサ内部に導入することにより、ゴミや汚れをサクションパイプ５３に排出することができる。 In such a system, for example, dust and dirt such as carbon covered with oil are often generated when the opening of the throttle 64 is large and closes the other end 23 of the pressure introduction hole 24 of the pressure sensor. By opening the connecting pipe 68 during idling with a small amount of gas and introducing gas into the pressure sensor through the connecting pipe 68, dust and dirt can be discharged to the suction pipe 53.

（第４実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図６は、本実施形態に係る圧力センサの断面図である。本実施形態では、ポート部２０は、該ポート部２０にインサート成型された巻線ヒータ７０を備えている。この巻線ヒータ７０は、ポート部２０を加熱する役割を果たすものである。また、図１に示される貫通孔２６および逆止弁２７は、図６に示されるポート部２０には設けられていない。 (Fourth embodiment)
In the present embodiment, only different parts from the first embodiment will be described. FIG. 6 is a cross-sectional view of the pressure sensor according to the present embodiment. In the present embodiment, the port portion 20 includes a winding heater 70 that is insert-molded in the port portion 20. The winding heater 70 serves to heat the port portion 20. Further, the through hole 26 and the check valve 27 shown in FIG. 1 are not provided in the port portion 20 shown in FIG.

巻線ヒータ７０に電流を流すため、ケース１０にインサート成型されると共に上端面１２から突出したターミナル１１と巻線ヒータ７０とが電気的に接続されている。また、巻線ヒータ７０が加熱されるため、ポート部２０の材質としてはセラミックスを採用することが好ましい。なお、ケース１０は樹脂製でも構わない。 In order to pass a current through the winding heater 70, the terminal 11 which is insert-molded in the case 10 and protrudes from the upper end surface 12 and the winding heater 70 are electrically connected. Further, since the winding heater 70 is heated, it is preferable to employ ceramics as the material of the port portion 20. The case 10 may be made of resin.

このような圧力センサにおいて、ターミナル１１を介して巻線ヒータ７０に電流が流れることにより、ポート部２０が加熱されると、圧力センサ内部の汚れやゴミが加熱されることにより燃えたり溶けたりして除去される。このような加熱を定期的に行えば、圧力センサ内部にゴミや汚れが付着しない状態を維持できる。 In such a pressure sensor, when a current flows through the winding heater 70 through the terminal 11 and the port portion 20 is heated, dirt or dust inside the pressure sensor is heated and burns or melts. Removed. If such heating is performed periodically, it is possible to maintain a state where dust and dirt do not adhere inside the pressure sensor.

以上のように、ポート部２０に巻線ヒータ７０を設け、該巻線ヒータ７０を加熱してポート部２０を加熱することにより、熱によって圧力センサ内部に付着した汚れ等を取り除くことができる。 As described above, by providing the winding heater 70 in the port portion 20 and heating the winding heater 70 to heat the port portion 20, dirt and the like attached to the inside of the pressure sensor due to heat can be removed.

（第５実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図７は、本実施形態に係る圧力センサの断面図である。本実施形態では、ポート部２０は、該ポート部２０にインサート成型された静電気発生用リード７１を備えている。この静電気発生用リード７１は、一端部７１ａがポート部２０の他端２３の端面２３ａから外部に露出し、他端部７１ｂがポート部２０の一端２１から外部に露出している。 (Fifth embodiment)
In the present embodiment, only different parts from the first embodiment will be described. FIG. 7 is a cross-sectional view of the pressure sensor according to the present embodiment. In the present embodiment, the port portion 20 includes a static electricity generating lead 71 that is insert-molded in the port portion 20. One end 71 a of the static electricity generating lead 71 is exposed to the outside from the end surface 23 a of the other end 23 of the port portion 20, and the other end 71 b is exposed to the outside from the one end 21 of the port portion 20.

また、静電気発生用リード７１の他端部７１ｂは、ポート部２０がケース１０に連結されたときに、ケース１０の開口部１４の底部に設けられたもう一つの開口部１５に露出するようになっている。そして、該開口部１５に露出した静電気発生用リード７１の他端部７１ｂが、ケース１０にインサート成型され該開口部１５に露出するターミナル１１に溶接等されて接合されている。 Further, the other end portion 71 b of the static electricity generating lead 71 is exposed to another opening portion 15 provided at the bottom of the opening portion 14 of the case 10 when the port portion 20 is connected to the case 10. It has become. The other end 71 b of the static electricity generation lead 71 exposed at the opening 15 is welded or joined to the terminal 11 that is insert-molded in the case 10 and exposed at the opening 15.

なお、第４実施形態と同様に、図１に示される貫通孔２６および逆止弁２７は、図７に示されるポート部２０には設けられていない。 As in the fourth embodiment, the through hole 26 and the check valve 27 shown in FIG. 1 are not provided in the port portion 20 shown in FIG.

このような圧力センサにおいては、ターミナル１１を介して静電気発生用リード７１に静電気を発生させると、ポート部２０の他端２３の端面２３ａから露出した静電気発生用リード７１の他端部７１ｂに静電気によるイオンが発生する。これにより、該他端部７１ｂにゴミや汚れを集めることができるので、圧力センサ内部へのゴミ等の侵入を防止でき、ひいては圧力センサ内部に汚れ等が付着しないようにすることができる。 In such a pressure sensor, when static electricity is generated in the static electricity generation lead 71 through the terminal 11, static electricity is generated in the other end portion 71 b of the static electricity generation lead 71 exposed from the end surface 23 a of the other end 23 of the port portion 20. Ion is generated. As a result, dust and dirt can be collected at the other end 71b, so that dust and the like can be prevented from entering the pressure sensor, and as a result, dirt and the like can be prevented from adhering inside the pressure sensor.

（第６実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図８（ａ）は、本実施形態に係る圧力センサの断面図であり、図８（ｂ）は圧力導入孔２４の壁面２４ａの一部を拡大した断面図である。本実施形態では、ポート部２０は、圧力導入孔２４の壁面２４ａに設けられた複数の突起７２を有している。この複数の突起７２は、圧力導入孔２４の壁面２４ａの全体に設けられている。突起７２は例えば１０μｍピッチで設けられており、高さは圧力導入孔２４の壁面２４ａから例えば２０μｍである。また、複数の突起７２は、突起用の穴が設けられた型を用いて樹脂成型することにより形成される。 (Sixth embodiment)
In the present embodiment, only different parts from the first embodiment will be described. FIG. 8A is a cross-sectional view of the pressure sensor according to the present embodiment, and FIG. 8B is an enlarged cross-sectional view of a part of the wall surface 24 a of the pressure introducing hole 24. In the present embodiment, the port portion 20 has a plurality of protrusions 72 provided on the wall surface 24 a of the pressure introducing hole 24. The plurality of protrusions 72 are provided on the entire wall surface 24 a of the pressure introducing hole 24. The protrusions 72 are provided with a pitch of 10 μm, for example, and the height is, for example, 20 μm from the wall surface 24 a of the pressure introducing hole 24. The plurality of protrusions 72 are formed by resin molding using a mold provided with protrusion holes.

そして、複数の突起７２は、先端７２ａがポート部２０の他端２３側に向けられている。すなわち、図８（ｂ）に示される図において、紙面左側がケース１０側であり、紙面右側がポート部２０の他端２３側である。このように、突起７２はネズミ返しのようになっているため、突起７２は該突起７２に物が乗ったときにポート部２０の他端２３側に押し出すように作用する。 The plurality of protrusions 72 have tips 72 a directed toward the other end 23 side of the port portion 20. 8B, the left side of the drawing is the case 10 side, and the right side of the drawing is the other end 23 side of the port portion 20. Thus, since the projection 72 is like a rat, the projection 72 acts to push out toward the other end 23 side of the port portion 20 when an object gets on the projection 72.

したがって、ポート部２０の他端２３から圧力導入孔２４にゴミ等が侵入して突起７２の上に乗ると、突起７２の作用によってゴミ等をポート部２０の他端２３側に移動させることができる。このようにして、圧力センサ内部に付着した汚れを取り除くことができる。また、突起７２が設けられていることによって、ゴミや汚れ等が圧力導入孔２４の壁面２４ａに直接付着しにくくすることもできる。 Accordingly, when dust or the like enters the pressure introduction hole 24 from the other end 23 of the port portion 20 and gets on the protrusion 72, the dust or the like can be moved to the other end 23 side of the port portion 20 by the action of the protrusion 72. it can. In this way, dirt adhered to the inside of the pressure sensor can be removed. Further, the provision of the protrusion 72 can make it difficult for dust, dirt, and the like to adhere directly to the wall surface 24 a of the pressure introducing hole 24.

（第７実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図９は、本実施形態に係る圧力センサの断面図である。本実施形態では、ポート部２０は、外壁面２５に圧力媒体に乱流を起こさせるための凹凸部７３を有している。 (Seventh embodiment)
In the present embodiment, only different parts from the first embodiment will be described. FIG. 9 is a cross-sectional view of the pressure sensor according to the present embodiment. In the present embodiment, the port portion 20 has an uneven portion 73 for causing a turbulent flow in the pressure medium on the outer wall surface 25.

凹凸部７３は、ポート部２０の外壁面２５がポート部２０の中心軸を中心にねじられて形成されている。したがって、図９に示されるように、外壁面２５が凹んだ位置が径方向で一致せずに圧力導入孔２４が延設される方向にずれている。このような形状は、ポート部＊＊の場所によって外壁面２５の径が異なっているとも言える。 The concavo-convex portion 73 is formed by twisting the outer wall surface 25 of the port portion 20 about the central axis of the port portion 20. Therefore, as shown in FIG. 9, the position where the outer wall surface 25 is recessed is shifted in the direction in which the pressure introducing hole 24 extends without being coincident in the radial direction. It can be said that such a shape has a different diameter of the outer wall surface 25 depending on the location of the port portion **.

そして、このような凹凸部７３を有するポート部２０に圧力媒体が当たると、凹凸部７３が圧力媒体の乱流を発生させやすくなる。このため、該乱流によってポート部２０が振動する。これにより、圧力センサ内部のゴミ等が振動を受けてポート部２０の他端２３から圧力センサ外部に排出される。このようにして、圧力センサ内部に付着した汚れ等を取り除くことができる。 And when a pressure medium hits the port part 20 which has such an uneven | corrugated | grooved part 73, it will become easy for the uneven | corrugated | grooved part 73 to generate the turbulent flow of a pressure medium. For this reason, the port portion 20 vibrates due to the turbulent flow. Thereby, dust or the like inside the pressure sensor receives vibration and is discharged from the other end 23 of the port portion 20 to the outside of the pressure sensor. In this way, dirt and the like attached to the inside of the pressure sensor can be removed.

（第８実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図１０は、本実施形態に係る圧力センサの断面図である。本実施形態では、ケース１０は、振動モータ７４を備えている。振動モータ７４は、モータが回転することにより振動を起こすものである。この振動モータ７４はケース１０のうち上端面１２とは反対側にケース１０に内蔵されている。なお、振動モータ７４は本発明の振動発生手段に相当し、該振動モータ７４の他に水晶やピエゾ等の振動子を採用しても良い。 (Eighth embodiment)
In the present embodiment, only different parts from the first embodiment will be described. FIG. 10 is a cross-sectional view of the pressure sensor according to the present embodiment. In the present embodiment, the case 10 includes a vibration motor 74. The vibration motor 74 causes vibration when the motor rotates. The vibration motor 74 is built in the case 10 on the side opposite to the upper end surface 12 in the case 10. The vibration motor 74 corresponds to the vibration generating means of the present invention. In addition to the vibration motor 74, a vibrator such as crystal or piezo may be adopted.

このような圧力センサにおいて、振動モータ７４を振動させることにより、ケース１０を振動させ、該ケース１０を介してポート部２０を振動させる。これにより、積極的に圧力センサを振動させることができるため、該振動によって圧力センサ内部のゴミや汚れ等を圧力センサ外部に排出することができる。以上のようにして、振動モータ７４による振動によって圧力センサ内部に付着した汚れ等を取り除くことができる。 In such a pressure sensor, the case 10 is vibrated by vibrating the vibration motor 74, and the port unit 20 is vibrated through the case 10. Thereby, since the pressure sensor can be vibrated positively, dust, dirt, etc. inside the pressure sensor can be discharged outside the pressure sensor by the vibration. As described above, dirt and the like attached to the inside of the pressure sensor due to vibration by the vibration motor 74 can be removed.

（他の実施形態）
第２実施形態に示されるシステムにおいては、ブローオフバルブ５６の開放時に、圧力センサが、実際のインテークマニホールド５０の圧力と異なる高圧値を検出してしまう可能性がある。このため、ブローオフバルブ５６の開放時には、圧力センサの出力をオフ（制御に使わない）にすると特に良い。 (Other embodiments)
In the system shown in the second embodiment, when the blow-off valve 56 is opened, the pressure sensor may detect a high pressure value different from the actual pressure of the intake manifold 50. For this reason, when the blow-off valve 56 is opened, the output of the pressure sensor is particularly preferably turned off (not used for control).

また、吸気側のブローオフではなく、排気側のウェストゲートの排出経路を圧力センサに連通しても良い。ガソリンターボの場合、排気側は高温であり空気が汚いのでブローオフ側で無いと実施は難しいが、水素燃料のターボであればウェストゲート側でも実施可能である。 Further, instead of the blow-off on the intake side, the exhaust path of the waste gate on the exhaust side may be communicated with the pressure sensor. In the case of a gasoline turbo, the exhaust side is hot and the air is dirty, so it is difficult to implement unless it is on the blow-off side, but if it is a hydrogen fuel turbo, it can also be implemented on the wastegate side.

第３実施形態では、フラップ６６とスロットル６４とがバネ６７で連結されているが、該バネ６７を無くした構成としても良い。この場合、フラップ６６をアクチュエータで稼動するに際し、圧力センサが圧力導入孔２４の他端２３の詰まりを検出したときはフラップ６６を動かして連結パイプ６８に気体を導入するようにしても良い。 In the third embodiment, the flap 66 and the throttle 64 are connected by the spring 67, but the spring 67 may be omitted. In this case, when the flap 66 is operated by the actuator, when the pressure sensor detects clogging of the other end 23 of the pressure introducing hole 24, the flap 66 may be moved to introduce gas into the connecting pipe 68.

また、第３実施形態では、連結パイプ６８によって圧力センサ内部とサクションパイプ５３内とが繋がった状態となっているため、圧力センサの内部と外部とを分離するための逆止弁２７が設けられていない圧力センサを用いることもできる。 In the third embodiment, since the inside of the pressure sensor and the inside of the suction pipe 53 are connected by the connecting pipe 68, the check valve 27 for separating the inside and the outside of the pressure sensor is provided. It is also possible to use a pressure sensor that is not.

第７実施形態では、ポート部２０がねじられてポート部２０の外壁面２５に凹凸部７３が形成されたものが示されているが、他の形状になっていても良い。例えば、図１１に示されるように、凹凸部７３は、圧力導入孔２４の延設方向に一定の周期で凹凸を繰り返す形状になっていても良い。 In 7th Embodiment, although the port part 20 was twisted and the uneven | corrugated | grooved part 73 was formed in the outer wall surface 25 of the port part 20 is shown, it may be another shape. For example, as shown in FIG. 11, the concavo-convex portion 73 may have a shape in which the concavo-convex is repeated at a constant period in the extending direction of the pressure introduction hole 24.

上記各実施形態を組み合わせて実施することも可能である。例えば、図９に示される圧力センサや図１０に示される圧力センサに図８に示される突起７２を設けることができる。これにより、圧力センサが振動するため、突起７２の上に乗ったゴミ等を移動させやすくすることができる。 It is also possible to implement a combination of the above embodiments. For example, the protrusion 72 shown in FIG. 8 can be provided on the pressure sensor shown in FIG. 9 or the pressure sensor shown in FIG. Thereby, since the pressure sensor vibrates, it is possible to easily move dust or the like on the protrusion 72.

本発明の第１実施形態に係る圧力センサの断面図である。It is sectional drawing of the pressure sensor which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態に係る吸排気システムの概略図である。It is the schematic of the intake / exhaust system which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 図２に示される吸排気システムにおいて、過給終了時の概略図である。FIG. 3 is a schematic view at the end of supercharging in the intake / exhaust system shown in FIG. 2. 本発明の第３実施形態において圧力センサがサクションパイプに固定された概略断面図である。It is a schematic sectional drawing in which the pressure sensor was fixed to the suction pipe in 3rd Embodiment of this invention. 図４に示されるシステムにおいて、汚れ等を排出する様子を示した図である。It is the figure which showed a mode that dirt etc. were discharged | emitted in the system shown by FIG. 本発明の第４実施形態に係る圧力センサの断面図である。It is sectional drawing of the pressure sensor which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第５実施形態に係る圧力センサの断面図である。It is sectional drawing of the pressure sensor which concerns on 5th Embodiment of this invention. （ａ）は本発明の第６実施形態に係る圧力センサの断面図であり、（ｂ）は圧力導入孔の壁面の一部を拡大した断面図である。(A) is sectional drawing of the pressure sensor which concerns on 6th Embodiment of this invention, (b) is sectional drawing to which a part of wall surface of the pressure introduction hole was expanded. 本発明の第７実施形態に係る圧力センサの断面図である。It is sectional drawing of the pressure sensor which concerns on 7th Embodiment of this invention. 本発明の第８実施形態に係る圧力センサの断面図である。It is sectional drawing of the pressure sensor which concerns on 8th Embodiment of this invention. 他の実施形態に係る圧力センサの断面図である。It is sectional drawing of the pressure sensor which concerns on other embodiment.

Explanation of symbols

１０ケース
２０ポート部
２１ポート部の一端
２２圧力検出室
２３ポート部の他端
２４圧力導入孔
２４ａ圧力導入孔の壁面
２５外壁面
２６貫通孔
２７逆止弁
３０圧力検出素子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Case 20 Port part 21 One end of a port part 22 Pressure detection chamber 23 The other end of a port part 24 Pressure introduction hole 24a Wall surface of a pressure introduction hole 25 Outer wall surface 26 Through-hole 27 Check valve 30 Pressure detection element

Claims

A case (10) having a pressure detection element (30) for detecting pressure;
One end (21), the other end (23), and a pressure introduction hole (24) penetrating the one end (21) and the other end (23), and the other end (23) And a port portion (20) in which a pressure detection chamber (22) is formed between the one end (21) and the case (10) by being connected to the case (10),
A pressure sensor for detecting, by the pressure detection element (30), the pressure of the pressure medium in the body to be measured introduced into the pressure detection chamber (22) through the pressure introduction hole (24);
The port part (20)
A through hole (26) passing through the wall surface (24a) of the pressure introducing hole (24) and the outer wall surface (25) of the port portion (20);
The pressure introduction hole (24) is installed, and when the pressure medium is introduced into the pressure introduction hole (24), it is pressed against the wall surface (24a) of the pressure introduction hole (24) to introduce the pressure. A check valve (27) for separating the inside of the hole (24) and the outside of the port portion (20),
When the inside of the body to be measured has a negative pressure, the check valve (27) is opened, so that the outside of the port portion (20), the through hole (26), the pressure introduction hole (24), and the A pressure sensor characterized in that air flows through a path passing through a measurement object.

The object to be measured is an intake manifold (50), and a throttle (51), a supercharger (52), and a suction pipe (53) are sequentially connected to the upstream side of the intake manifold (50).
A return path (55) having one end connected to the suction pipe (53) and the other end connected between the throttle (51) and the supercharger (52) via a blow-off valve (56) is provided. The other end (23) of the port portion (20) is fixed to the intake manifold (50), and further, the suction pipe (53) has a supercharger (52) at the time of supercharging. A door (57) that is pressed against the wall surface of the suction pipe (53) and separates the return path (55) and the inside of the suction pipe (53) is provided. A ventilation pipe (58) connecting the through hole (26) and the return path (55);
When the supercharger (52) is supercharged, the door (57) is pressed against the wall surface of the suction pipe (53), and the blow-off valve (56) is closed,
At the end of supercharging of the supercharger (52), the inside of the intake manifold (50) becomes negative pressure, the door (57) moves away from the wall surface of the suction pipe (53) and the blow-off valve (56) opens. When the check valve (27) in the port portion (20) is separated from the wall surface (24a) of the pressure introducing hole (24), the pressure medium is transferred to the blow-off valve (56) and the return path ( 55) The pressure sensor according to claim 1, wherein the pressure sensor flows in a path passing through the ventilation pipe (58) and the pressure introducing hole (24).

The object to be measured is a suction pipe (53) having a throttle (64) disposed therein,
The other end (23) of the port portion (20) is fixed to the downstream side of the throttle (64) in the suction pipe (53), and the throttle (64) is connected to the inner wall surface of the suction pipe (53) ( The rotary shaft (65) provided at 24a) is rotated around a rotation shaft (65), and a flap (66) located upstream of the throttle (64) is supported on the rotary shaft (65). The throttle (64) and the flap (66) are connected by a spring (67) at a constant angle, and the upstream side of the throttle (64) and the suction pipe (53) A connecting pipe (68) connecting the through hole (26) of the port portion (20);
When the throttle (64) is rotated about the rotation shaft (65), the flap (66) is also rotated, and the flap (66) is the inner wall surface (24a) of the suction pipe (53). The spring (67) is contracted and the suction pipe (53) and the connection pipe (68) are separated from each other.
When the flap (66) is separated from the inner wall surface (24a) of the suction pipe (53) by rotating the throttle (64) around the rotation shaft (65) together with the flap (66), When the pressure medium in the suction pipe (53) hits the check valve (27) through the connecting pipe (68), the check valve (27) is removed from the wall surface (24a) of the pressure introducing hole (24). 2. The pressure sensor according to claim 1, wherein the pressure medium flows in a path passing through the connection pipe (68) and the pressure introduction hole (24) by being separated.

A case (10) having a pressure detection element (30) for detecting pressure;
One end (21), the other end (23), and a pressure introducing hole (24) penetrating the one end (21) and the other end (23), the one end (21) being the case (10) ) Is connected to the case (10) to form a pressure detection chamber (22) and a port part (20),
The pressure detection element (30) is disposed in the pressure detection chamber (22), and is connected to the pressure detection chamber (22) from the other end (23) of the port portion (20) through the pressure introduction hole (24). The pressure of the introduced pressure medium is detected,
The said port part (20) is equipped with the winding heater (70) insert-molded by this port part (20), The pressure sensor characterized by the above-mentioned.

A case (10) having a pressure detection element (30) for detecting pressure;
One end (21), the other end (23), and a pressure introducing hole (24) penetrating the one end (21) and the other end (23), the one end (21) being the case (10) ) Is connected to the case (10) to form a pressure detection chamber (22) and a port part (20),
The pressure detection element (30) is disposed in the pressure detection chamber (22), and is connected to the pressure detection chamber (22) from the other end (23) of the port portion (20) through the pressure introduction hole (24). The pressure of the introduced pressure medium is detected,
The port portion (20) is insert-molded into the port portion (20) and has one end portion (71a) exposed to the outside from the end surface (23a) of the other end (23) of the port portion (20). A pressure sensor comprising a generation lead (71).

A case (10) having a pressure detection element (30) for detecting pressure;
One end (21), the other end (23), and a pressure introducing hole (24) penetrating the one end (21) and the other end (23), the one end (21) being the case (10) ) Is connected to the case (10) to form a pressure detection chamber (22) and a port part (20),
The pressure detection element (30) is disposed in the pressure detection chamber (22), and is connected to the pressure detection chamber (22) from the other end (23) of the port portion (20) through the pressure introduction hole (24). The pressure of the introduced pressure medium is detected,
The wall surface (24a) of the pressure introducing hole (24) is provided with a plurality of protrusions (72), and the tip (72a) of the protrusion (72) is on the other end (23) side of the port portion (20). A pressure sensor characterized by being directed to.

A case (10) having a pressure detection element (30) for detecting pressure;
One end (21), the other end (23), and a pressure introducing hole (24) penetrating the one end (21) and the other end (23), the one end (21) being the case (10) ) Is connected to the case (10) to form a pressure detection chamber (22) and a port part (20),
The pressure detection element (30) is disposed in the pressure detection chamber (22), and is connected to the pressure detection chamber (22) from the other end (23) of the port portion (20) through the pressure introduction hole (24). The pressure of the introduced pressure medium is detected,
The pressure sensor, wherein the outer wall surface (25) of the port portion (20) is provided with an uneven portion (73) for causing a turbulent flow in the pressure medium.

A case (10) having a pressure detection element (30) for detecting pressure;
One end (21), the other end (23), and a pressure introducing hole (24) penetrating the one end (21) and the other end (23), the one end (21) being the case (10) ) Is connected to the case (10) to form a pressure detection chamber (22) and a port part (20),
The pressure detection element (30) is disposed in the pressure detection chamber (22), and is connected to the pressure detection chamber (22) from the other end (23) of the port portion (20) through the pressure introduction hole (24). The pressure of the introduced pressure medium is detected,
The case (10) is provided with vibration generating means (74) for vibrating the port (20) through the case (10) by vibrating the case (10). A featured pressure sensor.

The wall surface (24a) of the pressure introducing hole (24) is provided with a plurality of protrusions (72), and the tip (72a) of the protrusion (72) is located on one end (21) side of the port portion (20). 9. Pressure sensor according to claim 7 or 8, characterized in that it is directed.