JP2010003943A - 断熱支持材および該断熱支持材を備えた超電導装置 - Google Patents

断熱支持材および該断熱支持材を備えた超電導装置 Download PDF

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Abstract

【課題】温度差がある部材を熱伝達を抑制して連結できる断熱支持材を提供する。
【解決手段】高絶縁性を有する低熱伝導度の高強度材で形成し、少なくとも最外周筒と最内周筒とを備えた多重筒を備え、前記最外周筒および最内周筒を含む多重筒は、軸線方向の一端同士を径方向の折り返し連結部で順次連続させて折り返し状の多重筒とし、前記最外周筒の先端開口と最内周筒の先端開口は軸線方向で反対に位置させると共に前記連結部より外方に突出させ、前記突出させた最内周筒の先端開口と最外周筒の先端開口とをそれぞれ被連結材に固定することを特徴とする。
【選択図】図1

Description

本発明は、断熱支持材および該断熱支持材を備えた超電導装置に関し、詳しくは、間隔をあけて配置される低温側部材と高温側部材とからなる一対の被連結部材を連結支持する必要がある場合に、高温側部材と低温側部材との間の熱伝導を抑制できる断熱支持材および、該断熱支持材を備えた超電導装置に関する。該超電導装置では、断熱容器の内部に収容する超電導コイルの支持材として用い、超電導コイルへの外気温度の熱伝導を抑制するものである。
超電導コイルは高温超電導材を用いても77K(ケルビン)程度の超電導温度まで冷却する必要があり、通常、断熱構造をもったクライオスタットあるいはクライオクーラと称される断熱容器の内部に収容している。
断熱容器内での超電導コイルの冷却は、断熱容器内に冷媒(液体窒素、液体ネオン、液体水素、液体ヘリウム等)を充填する場合と、冷凍機のコールドヘッドを断熱容器内に挿入して直冷伝熱式で冷却する場合とがある。
このように、断熱容器内で冷却がなされているが、外部からの熱侵入があると超電導温度に保持できず、超電導線材にクエンチが発生しやすくなる。
この種の超電導コイルの冷却容器では、図8に示すように、外壁100aと内壁100bの二重壁で囲まれた容器100の内部に超電導コイル101を蓋体102で吊り下げて収容し、容器内部に充填する液体窒素103に浸漬している場合が多い(特開2003−178912号公報参照)。
前記冷却容器を静止した固定台上に設置する場合には、外部からの振動を考慮する必要がないため、前記のように、断熱容器内において最小限の高断熱材を用いて上壁から吊り下げても問題は生じない。
しかしながら、核磁気共鳴イメージング装置(MRI)に超電導装置を用い、該MRIを巡回診察用の車両に搭載される場合、あるいは列車や船舶等、断熱容器が振動体や移動体に搭載される場合がある。このように、外部から激しい振動を受ける環境下では、断熱容器内に超電導コイルを強固に支持する必要がある。その場合には、ある程度の断面積を有する支持材が必要となる。支持材の一端は外気に接触する断熱容器の外壁に固定され、他端が超電導コイルまたは超電導コイルを収容したコイルケースに固定されるため、支持材の断面積が大きくなると外部からの熱侵入量が増加する問題がある。
また、超電導装置に限らず、低温側部材と高温側部材とを連結支持する必要がある支持材において、例えば、超電導装置とは逆に、内部側を常温以上に高温保持する必要がある場合、外気に晒される外部部材が低温側部材となり、該低温側部材から内部の高温側部材への熱侵入を抑制し、内部側を所要の高温に保持することが必要となる場合もある。
このような場合においても、従来、熱伝導を抑制すると共に支持強度を高めた断熱支持材が要望されている。
特開2003−178912号公報
本発明は前記問題に鑑みてなされたものであり、温度差がある高温側部材と低温側部材とを連結する支持材として熱伝導をできるだけ抑制すると共に支持強度を向上させた断熱支持材を提供することを課題としている。
また、前記超電導装置において、断熱容器が振動体や移動体に搭載される場合、断熱容器内で超電導コイルを支持材を用いて強固に支持する必要がある場合、該支持材からの熱侵入量を抑制することを課題としている。
前記課題を解決するため、第一の発明として、
間隔をあけて配置されると共に温度差がある一対の被連結材を連結固定する断熱支持材であって、
高絶縁性で熱伝導度が低い強度材で形成され、少なくとも最外周筒と最内周筒とを備えた多重筒からなり、
前記最外周筒および最内周筒を含む多重筒は、軸線方向の一端同士を径方向の折り返し連結部で順次連続させて折り返し状の多重筒とし、前記最外周筒の先端開口と最内周筒の先端開口は軸線方向で反対に位置させると共に前記連結部より外方に突出させ、
前記突出させた最内周筒の先端開口と最外周筒の先端開口とをそれぞれ前記一対の被連結材に固定することを特徴とする断熱支持材を提供している。
前記断熱支持材では、熱伝導経路を長くしているため、温度差のある部材の間を熱侵入を抑制して支持でき、かつ、支持強度を高めることができる。
よって、例えば、内部側が保温壁となり、外気に接触する外壁との間を断熱支持材で連結する場合、低温側となる外壁から内部の保温壁への熱伝導を抑制でき、内部壁を所要の温度に保持することができる。
逆に、連結支持される一方側部材を低温に保持した場合には、熱伝導は高温側から低温側に伝わりやすいため、本発明の前記断熱支持材を用いることにより熱侵入を防止して、低温部材の温度上昇を抑制することができる。
前記のように、高温側部材から低温側部材への熱侵入を防止する必要がある場合には、前記最内周の先端開口の周縁を高温側部材と連結すると共に、最外周筒の先端開口の周縁を低温側部材と連結し、高温側部材から低温側部材への熱伝導を低減する構成としている。
即ち、高絶縁性材料は温度が低くなる程、熱伝導度が悪くなること利用し、径が大きい円筒側を低温側部材と連結し、径が小さい円筒側を高温側部材と連結しているため、高温部材側からの熱伝導が生じても、低温部材側では熱伝導度が悪くなっていることで、低温部材への熱侵入を抑制できる。しかも、多重筒として熱伝導経路を長くしているため、より高温側部材から低温側部材への熱侵入を抑制すると共に、支持材自体の強度が高められ、連結強度を大きくすることができる。
具体的には、前記多重筒は3重筒または5重筒の奇数の多重筒とし、
前記3重筒では、最内周筒の先端突出側と対向する他端を外径方向の第1折り返し連結部を介して中間筒の一端と連結し、該中間筒を最内周筒との間に空間をあけて延在させ、該中間筒の他端を外径方向の第2折り返し連結部を介して前記最外周筒部の一端と連結し、該最外周筒部を前記中間筒と空間をあけて延在させ、
前記最内周筒部の先端突出部は前記第2折り返し連結部より突出させ、前記最外周筒部の先端突出部は前記第1折り返し連結部より突出させている。
前記多重筒は、絶縁性を有する高強度の強化繊維を含む繊維強化樹脂、例えば、ガラス繊維強化樹脂、アルミナ繊維強化樹脂で一体成形することが好ましい。
さらに、前記多重筒の径方向の折り返し連結部には応力集中が発生しないため、補強用に金属材をモールドしたり、該折り返し連結部に金属管を外嵌してもよい。
また、第二の発明として、超電導コイルを収容する断熱容器内に前記した断熱支持材を備えた超電導装置を提供している。
前記断熱容器は外気に接触する外壁と、該外壁と真空層を挟んで配置する内壁を備え、該内壁の内部に前記超電導コイルをコイルケースに収容して配置している。
前記断熱支持材は、
(1)前記高温側支持材となる前記外壁と前記低温側支持材となる前記内壁との間、
(2)前記高温側支持材となる前記外壁から前記内壁を貫通して前記低温側支持材となる前記コイルケースとの間、
(3)前記高温側支持材となる前記内壁と低温側支持材となる前記コイルケースとの間のいずれか1以上の間を取り付けていることを特徴とする。
前記断熱容器は、真空層を挟んだ外壁と内壁とからなり、これら外壁と内壁とはステンレス等の金属あるいはFRPで形成している。
なお、外壁を金属製とすると、強度が大きいため外壁の厚さを薄くでき、軽量化することができる。また、外壁は外気と接しているため、自然冷却や冷却水による冷却を簡単に行うことができる。一方、外壁または内壁をFRPで形成すると、超電導コイルに交流電流を流しても断熱容器に誘導電流が流れて発熱することはなく、超電導装置全体の熱損失が小さくなり冷却効率を高めることができる。
また、真空とした内部に、超電導コイルを樹脂を充填したシールドケースからなるコイルケース内に内蔵した状態で収容している。
該構成からなる断熱容器内において、断熱支持材は、例えば、前記(1)の断熱容器の外壁と内壁の間、(2)のように外壁とコイルケースの間、(3)のように内壁とコイルケースの間のいずれか、または全ての温度差がある箇所の支持材として好適に用いられる。
本発明の超電導装置が振動体または移動体上に搭載され、前記断熱容器に振動が付加される場合には、前記断熱支持材を前記断熱容器内の左右両側および下側に配置していることが好ましい。
前記左右両側で断熱支持材により超電導コイルを挟持するように支持し、かつ、上側より断熱支持材で吊り下げるように支持すると、振動が加えられても、断熱容器内で超電導コイルを移動不可に強固に支持できる。なお、下側も断熱支持材を用いて支持してもよい。また、左右両側には、前記(2)の外壁とコイルケースとの間に断熱支持材を配置し、上側には前記(1)の外壁と内壁との間に配置してもよい。
本発明の超電導装置では、前記断熱容器の外壁の上面に冷凍機を搭載し、該冷凍機に連結したコールドヘッドを前記内壁の内部に突設して前記超電導コイルから突設した伝熱材と接触させた熱伝導冷却で、内壁内部を超電導温度に冷却していることが好ましい。
即ち、断熱容器内部に充填した液体窒素に超電導コイルを浸漬して冷却する方法に変えて、冷凍機のコールドヘッドを超電導コイルに接触させて冷却している。
これは、液体窒素は凝固点である64K(ケルビン)以上の温度でしか液体として存在できないため、68K〜77Kでの高温超電導材に流れる臨界電流は低く、最大磁場は1T以下となり、高磁場を発生できない問題がある。
これに対して前記冷凍機を用いた直冷伝熱方式で超電導コイルを冷却すると、超電導コイルを10K〜50Kに冷却でき、超電導線材を長くすることなく、臨界電流を高くすることができる。
前記構成からなる本発明の断熱支持材は、多重筒として熱伝導経路を長くすると共に強度を高めているため、超電導装置の断熱容器内に用いる場合に限らず、高温側部材と低温側部材とを支持材で連結する必要がある部分に好適に用いられ、高温側部材から低温側部材へ、逆に低温側部材から高温側部材への熱伝導を抑制できる。
また、前記断熱支持材を超電導装置の断熱容器に用い、高温側部材となる外壁と低温側部材となる内壁あるいはコイルケースとの間の支持材として用いると、外気に晒されて高温となる外壁から極低温の超電導温度に保持する必要がある超電導コイル側への熱侵入を抑制できる。かつ、該断熱支持材により断熱容器内において超電導コイルを強固に支持できるため、超電導装置を振動体や移動体上に搭載し、断熱容器にかなりの振動が加えられても、断熱容器内で超電導コイルが揺れることなくしっかりと保持でき、超電導性能の低下を防止することができる。
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
図1乃至図4に超電導装置に断熱支持材を用いた第一実施形態を示す。
超電導装置1は振動体2に搭載している。該超電導装置1の断熱容器3は振動体2の上面に直接固定されており、断熱容器3には振動が加えられる。
断熱容器3は外壁4と内壁5とを真空層6を挟んで設けた2重壁の密閉されたボックス形状である。
外壁4はステンレスからなり、内壁5は銅からなる。該外壁4と内壁5に挟まれた真空層6は断熱空間としている。該真空層6に樹脂フィルムに反射材を取り付けた輻射フィルム(図示せず)を多重に収容している。
内壁5の内部7も真空とし、超電導コイル8をアルミニウム等の金属製シールドケースからなるコイルケース9に内蔵して収容している。該コイルケース9内は樹脂10を充填し超電導コイル8を樹脂10でモールドした状態で内蔵している。前記超電導コイル8はビスマス系あるいはイットリウム系の高温超電導線材から形成したパンケーキ型コイルとしている。
また、冷凍機11を外壁4の上壁に2段式の冷凍機11を搭載し、該冷凍機11の第一ステージ11bを外壁4と内壁5との間の真空層6に配置し、第二ステージ11bを内壁5より突出させ、その先端の前記コールドヘッド11cをコイルケース9内に突出させ、超電導コイル8に上面に取り付けた伝熱板13と接触させている。
前記内壁5の内部にコイルケース9を図2および図3に示す形状とした断熱支持材20で支持し、内壁5の内面との間に隙間をあけて非接触で固定している。
前記断熱支持材20は、図1に示すように、左右両側および上下両側に外壁4と内壁5との間を連結支持する第一種の断熱支持材20−1、左右側には内壁5を貫通して外壁4とコイルケース9との間を連結支持する第二種の断熱支持材20−2、さらに、内壁5とコイルケース9との上面との間を連結支持する第三種の断熱支持材20−3とからなる。
前記第一種、第二種、第三種の断熱支持材20−1〜20−3は同一材から形成し、かつ図2に示す同一形状としている。但し、軸線方向の寸法および外径は必要に応じて相違させている。
断熱支持材20は高絶縁性で強度を有するガラス繊維強化樹脂で一体成形し、最内周筒となる内筒21、中間筒22、最外周筒となる外筒23からなる連続した3重筒としている。
前記内筒21、中間筒22、外筒23の軸線方向は平行とし、内筒21と中間筒22の間および中間筒22と外筒23との間に隙間Cをあけている。
前記内筒21は先端突出部21aと対向する他端を外径方向の第1折り返し連結部24を介して中間筒22の一端と連結し、該中間筒22の他端を外径方向の第2連結部25を介して外筒23の一端と連結し、該外筒23の先端突出部23aを内筒21の先端突出部21aと反対方向に位置させている。
前記内筒先端突出部21aは第2折り返し連結部25より外方に突出させ、前記外筒先端突出部23aは第1折り返し連結部24より外方に突出させている。
このように断熱支持材20は両端に内筒先端突出21aと外筒先端突出部23aを突出させた状態とし、内筒先端突出部21aの先端面の面積S1を外筒先端突出部23aの先端面の面積S2より小さくしている。
前記両端より突出させた内筒先端突出21aと外筒先端突出部23aとを前記した被連結材、即ち、外壁4と内壁5、外壁4とコイルケース9、内壁5とコイルケース9に夫々固定している。
筒状とした前記内筒先端突出21aと外筒先端突出部23aは、図4に示すように、被連結材に夫々固定した締結具30にボルト31、ナット32を用いて固定している。該締結具30は筒部30aの一端にフランジ部30bを備え、フランジ部30bを連結材(外壁4、内壁5、コイルケース9)にボルト固定し、筒部30aを断熱支持材20の内筒先端突出21aまたは外筒先端突出部23aに外嵌し、該筒部30aおよび内筒先端突出21a、外筒先端突出部23aに設けたボルト穴にボルト31を通し、ナット32で締結して固定している。
前記のように、断熱支持材20で前記被連結材を連結固定する際、高温側部材となる一方は小径の内周先端突出部21aと連結し、低温側部材となる他方は大径の外周先端突出部23aと連結固定している。
即ち、外壁4と内壁5とを第一種の断熱支持材20−1で連結する部分では、高温側部材となる外壁4は小径の内周先端突出部21aと連結し、低温側部材となる内壁5は大径の外周先端突出部23aと連結固定している。
また、外壁4とコイルケース9とを第二種の断熱支持材20−2で連結する部分では、高温側部材となる外壁4は小径の内周先端突出部21aと連結し、低温側部材となるコイルケース9は大径の外周先端突出部23aと連結固定している。
また、内壁5とコイルケース9とを第三種の断熱支持材20−3で連結する部分では、高温側部材となる内壁5は小径の内周先端突出部21aと連結し、低温側部材となるコイルケース9は大径の外周先端突出部23aと連結固定している。
なお、断熱支持材20と外壁4、内壁5およびコイルケース9からなる被連結材の固定方法は前記締結具体30、ボルト、ナットを用いる固定方法に限定されず、例えば、一方側の被連結材に凹部を設け、該凹部に断熱支持材20の先端突出部を圧入固定してもよい。
前記のように、本発明の超電導装置1では、超電導コイル8を内蔵したコイルケース9を断熱容器3の内部7内に断熱支持材20を用いて強固に支持固定している。よって、断熱容器3を搭載した振動体2が振動して断熱容器3が振動しても、超電導コイル8を内蔵したコイルケース9は断熱容器3の内部7で強固に固定される。
また、高絶縁性を有すると共に低熱伝導度からなるガラス繊維強化樹脂で成形した断熱支持材20は、高絶縁性材料の特徴である低温となると熱伝導度が悪くなるため、接触面積が大となる外筒先端突出部23aを低温側部材に連結固定しているため、断熱支持材20の全体の熱伝導度を小さくできる。
かつ、高温側部材と連結した内筒先端突出部21aから低温部材側と連結した外筒先端突出部23aとの間は、内筒21、第1折り返し連結部24、中間筒22、第2折り返し連結部25、外筒23と熱伝導経路が長くなるため、高温側部材から低温側部材への熱伝導を低下することができる。
このように、外気に晒される外壁4からコイルケース9側への熱侵入を防止または抑制できるため、コイルケース9内と超電導コイル8を超電導温度に保持でき、超電導コイル8のクエンチ発生を防止できる。
さらに、断熱支持材20を前記のように多重筒としていることにより支持強度を高めることもでき、超電導コイル8を内蔵したコイルケース9を強固に支持固定することができる。
なお、前記実施形態に限定されず、断熱支持材20は全て外壁4と内壁5との間の連結支持材として用いてもよい。また、超電導コイルはコールドヘッドによる直冷伝熱方式で冷却する方法にかえて、液体窒素をコイルケース内に充填して超電導コイルを冷却してもよい。さらに、前記実施形態では超電導装置を振動体上に搭載しているが、自動車や列車等の移動体に搭載した場合にも好適に用いることができる。
図5(A)(B)(C)に断熱支持材の変形例を示す。
図5(A)に示す第1変形例では、前記3重筒とした断熱支持材20の第1、第2折り返し部24、25の内部に熱伝導度が低い金属棒40をモールドし、応力が負荷されやすい第1、第2折り返し連結部24、25を補強している。
図5(B)に示す第2変形例では、金属棒40をモールドする代わりに、金属管41で第1、第2折り返し連結部24、25を外嵌している。該金属管41は半割状とし、一端をヒンジ結合し、他端側を第1、第2折り返し連結部24、25に被せた後にロック結合している。
なお、金属補強部は前記第1、第2折り返し連結部24、25と共に中間筒22の一部にも取り付けてもよい。
さらに、多重筒からなる断熱支持材20は一体成形とせずに、径の異なる3本の円筒を、折り返し連続部24、25とする円板で別体で夫々設け、これらを順次連結してもよい。
図5(C)に示す第3変形例では、5重筒とし、最内周の内筒21と、最外周の外筒23との間に、3つの中間筒22−1、22−2、22−3を径方向の折り返し連結部を介して順次連結して設けている。3重筒を5重筒とした以外は前記3重筒の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
このように、5重筒とすると、さらに、熱伝達を抑制することができると共に支持強度を高めることができる。
なお、断熱支持材を図6(A)(B)に示す参考例の形状としても、熱伝達を抑制することができる。図6(A)に示す断熱支持材50は内筒51、中筒52、外筒53を径方向に重ねずに、長さ方向に3段に連続して設けている。図6(B)に示す断熱支持材50’では、内筒51’と外筒53’とを長さ方向に2段に連続して設けている。
図7に第二実施形態を示す。
第二実施形態は第一実施形態と同形状とした断熱支持材20を用いて、外壁60と内壁61とを連結している。
内壁61の内部は保温部として、常温より高温状態に保持している。外壁60は外気に晒され常温となる。よって、内壁61が高温側部材となり外壁60が低温側部材となる。
断熱支持材20を用いて外壁60と内壁61とを連結し、外壁60内に内壁61を支持している。
この第二実施形態では、内壁61に低温が伝達されるのを抑制する必要があり、よって、外壁60を外筒先端突出部23aと連結し、内壁61を内筒先端連結部21aと連結している。
本発明は前記実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲の実施形態が含まれる。
本発明の第一実施形態の超電導装置に断熱支持材を用いた場合の全体構成図である。 断熱支持材を示し、(A)は平面図、(B)は軸線方向の断面図、(C)は底面図である。 断熱支持材の斜視図である。 断熱支持材の固定部を示す図面である。 (A)(B)(C)は断熱支持材の第1〜第3変形例を示す断面図である。 (A)(B)は断熱支持材の参考例を示す図面である。 第二実施形態を示す概略図である。 従来例を示す図面である。
符号の説明
1 超電導装置
2 振動体
3 断熱容器
4 外壁
5 内壁
6 真空層
8 超電導コイル
9 コイルケース
11 冷凍機
20 断熱支持材
21 内筒
21a 先端突出部
22 中間筒
23 外筒
23a 先端突出部
24 第1折り返し連結部
25 第2折り返し連結部

Claims (7)

  1. 間隔をあけて配置されると共に温度差がある一対の被連結材を連結固定する断熱支持材であって、
    高絶縁性で熱伝導度が低い強度材で形成され、少なくとも最外周筒と最内周筒とを備えた多重筒からなり、
    前記最外周筒および最内周筒を含む多重筒は、軸線方向の一端同士を径方向の折り返し連結部で順次連続させて折り返し状の多重筒とし、前記最外周筒の先端開口と最内周筒の先端開口は軸線方向で反対に位置させると共に前記連結部より外方に突出させ、
    前記突出させた最内周筒の先端開口と最外周筒の先端開口とをそれぞれ前記一対の被連結材に固定することを特徴とする断熱支持材。
  2. 前記最内周の先端開口の周縁を高温側部材と連結すると共に、最外周筒の先端開口の周縁を低温側部材と連結し、高温側部材から低温側部材への熱伝導を低減する構成としている請求項1に記載の断熱支持材。
  3. 前記多重筒は3重筒または5重筒の奇数の多重筒とし、
    前記3重筒では、最内周筒の先端突出側と対向する他端を外径方向の第1折り返し連結部を介して中間筒の一端と連結し、該中間筒を最内周筒との間に空間をあけて延在させ、該中間筒の他端を外径方向の第2折り返し連結部を介して前記最外周筒部の一端と連結し、該最外周筒部を前記中間筒と空間をあけて延在させ、
    前記最内周筒部の先端突出部は前記第2折り返し連結部より突出させ、前記最外周筒部の先端突出部は前記第1折り返し連結部より突出させている請求項1または請求項2に記載の断熱支持材。
  4. 前記多重筒は、高強度の絶縁性強化繊維を含む繊維強化樹脂で一体成形している請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の断熱支持材。
  5. 前記多重筒の径方向の折り返し連結部に金属材をモールドし、あるいは該折り返し連結部に金属管を外嵌している請求項4に記載の断熱支持材。
  6. 超電導コイルを収容する断熱容器内に請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の断熱支持材を備え、
    前記断熱容器は外気に接触する外壁と、該外壁と真空層を挟んで配置する内壁を備え、該内壁の内部に前記超電導コイルをコイルケースに収容して配置しており、
    前記断熱支持材は、
    (1)前記高温側支持材となる前記外壁と前記低温側支持材となる前記内壁との間、
    (2)前記高温側支持材となる前記外壁から前記内壁を貫通して前記低温側支持材となる前記コイルケースとの間、
    (3)前記高温側支持材となる前記内壁と低温側支持材となる前記コイルケースとの間のいずれか1以上の間を取り付けていることを特徴とする超電導装置。
  7. 振動体または移動体上に搭載されて前記断熱容器に振動が加えられる場合、前記断熱支持材は前記断熱容器内の左右両側および上側に配置している請求項6に記載の超電導装置。
JP2008162795A 2008-06-23 2008-06-23 断熱支持材および該断熱支持材を備えた超電導装置 Withdrawn JP2010003943A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2014061625A1 (ja) * 2012-10-16 2014-04-24 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線源の冷却機構を具備する荷電粒子線装置及び荷電粒子線源
CN106856184A (zh) * 2015-12-08 2017-06-16 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 加热基座以及半导体加工设备
CN107546147A (zh) * 2016-06-27 2018-01-05 北京北方华创微电子装备有限公司 加热腔室及半导体加工设备

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