JP2010003500A

JP2010003500A - イオン発生装置

Info

Publication number: JP2010003500A
Application number: JP2008160313A
Authority: JP
Inventors: Chiseki Yamaguchi; 智責山口; Takehiko Fushimi; 剛彦伏見; Wataru Ishida; 亘石田
Original assignee: U Tec Co Ltd
Current assignee: U Tec Co Ltd
Priority date: 2008-06-19
Filing date: 2008-06-19
Publication date: 2010-01-07
Anticipated expiration: 2028-06-19
Also published as: JP5231094B2

Abstract

【課題】上位の駆動回路への配線の引き回しが容易で、且つイオン発生分布においてイオン発生素子の連結部分に隙間が生じないようにする。
【解決手段】除電装置は、イオン発生電極１６と誘導電極１７ａ、１７ｂとを誘電体１５を介して配置させた２つのイオン発生素子を有している。Ｘ方向に沿って配置された３つのイオン発生素子は、各イオン発生電極１６は、配線６１を介して給電端子６２と電気的に接続されている。各誘導電極１７ａ、１７ｂは、配線６３を介して給電端子６４と電気的に接続されている。給電端子６２、６４は、Ｘ方向に沿って片側、且つ、Ｘ方向に関してイオン発生電極１６の端部及び誘導電極１７ａ、１７ｂの端部より内側に配置されている。
【選択図】図４

Description

本発明は、イオンを発生するイオン発生装置に関する。

特許文献１には、誘電体に放電電極と放電電極に対向する誘導電極とが配設されて構成された微細電極体について記載されている。この微細電極体は、長尺なシート状の支持体の長手方向に沿って直線状に２つ以上配置されている。特に図１０にはそれぞれ微細電極体を形成した支持体を一方向に沿って複数配置することにより長尺化したイオン発生装置が記載されている。電極接点としては、例えば図６では、各微細電極体に設けられた放電電極及び誘導電極から誘電体に直交する両端部にそれぞれ共通の電極接点を引き出し、また図１では長手方向に放電電極及び誘電電極からそのまま延長して引き出す例が記載されている。

特開２００７−８０６６３号公報

しかしながら、特許文献１の図６に記載のイオン発生素子を備えたイオン発生装置では、２つの電極接点（給電端子）が誘電体の長手方向に直交する両端部に離れて形成されており、給電端子から上位の駆動回路への配線の引き回しが煩雑となる。また、図１に記載のイオン発生素子を備えたイオン発生装置では、支持体の端部においてイオン分布が減少し、さらに、図１０に記載のイオン発生装置では、電極接点の形成により長手方向に複数配置した微細電極間に隙間が生じ、その隙間においてイオン分布に不均一をもたらす。

そこで、本発明の目的は、上位の駆動回路への配線の引き回しが容易で、且つイオン発生装置の有効イオン発生領域を広くとることができるものであり、イオン発生素子を一方向に沿って複数配置したイオン発生装置にあっては、イオン発生分布において複数配置したイオン発生素子間の不均一性を抑制したイオン発生装置を提供することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

本発明のイオン発生装置は、一方向に延在したイオン発生電極と、前記一方向に延在し、前記イオン発生電極と同様の長さを有する誘導電極と、を誘電体を介して配置させたイオン発生素子を備えたイオン発生装置であって、前記イオン発生素子は、前記一方向の一側において前記イオン発生電極の端部に第１配線を介して電気的に接続された第１給電端子と、前記一方向の他側において前記誘導電極の端部に第２配線を介して電気的に接続された第２給電端子と、を有し、前記第１給電端子及び前記第２給電端子は、前記一方向に沿って片側、且つ、前記一方向に関して前記イオン発生電極の端部及び前記誘導電極の端部より内側に配置されている。

本発明のイオン発生装置によると、上位の駆動回路への配線の引き回しが容易で、且つ、イオン発生装置の有効イオン発生領域を広くとることができる。また、第１給電端子及び第２給電端子が一方向に直交する直交方向に関して同じ側に設けられていることで、イオン発生素子の直交方向に関する長さを均等に小さくすることができる。

また、前記イオン発生素子を前記一方向に沿って複数配置していることが好ましい。これによると、第１給電端子及び第２給電端子がイオン発生電極の両端よりも一方向に関して内側に配置されていることで、イオン発生素子を一方向に沿って複数配置したイオン発生装置において、イオン発生電極及び誘導電極が一方向に沿って大きな隙間をとることなく延在することとなり、容易に一方向に長いイオン発生装置を提供することができる。

さらに、複数の前記イオン発生素子は、前記一方向に直交する方向に沿って搬送される被除電対象物に対してイオンを発生することが好ましい。これによると、一方向に長い被除電対象物を容易に除電することができる。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施形態に係る除電装置は、搬送面上を一方向に搬送される被除電対象物に対して正イオン及び負イオンを交互に発生させて、被除電対象物を除電するものである。図１は、除電装置の縦断面図である。図２は、除電装置の模式平面図である。図３は、イオン発生素子の取り付けられた素子ユニットの斜視図である。

図１に示すように、除電装置１は、図示しない支持部材によって支持されており、その下方において所定の間隔を空けて図示しない搬送装置の搬送面３０ａ上をＹ方向（図１の左方から右方に向かう搬送方向）に搬送される被除電対象物３０と対向している。

また、除電装置１は、空間を２つに仕切る仕切り板７が形成された筐体２を有している。図２に示すように、筐体２はＸ方向（搬送面３０ａ内においてＹ方向と直交する方向）に長尺であり、この筐体２の上部空間にはＸ方向一端部から順に制御基板４及び３つの電源基板５が配置され、下部空間には３つの素子ユニット３及び３つのガスタンク６が配置されている。この３つの素子ユニット３及び３つのガスタンク６はＸ方向に沿ってそれぞれ配置されている。

図１に戻って、検出センサ２５は、除電装置１よりも搬送方向上流側に配置されており、搬送面３０ａ上を搬送される被除電対象物３０と対向したときに、被除電対象物３０が搬送されていることを検出し、検出信号を制御基板４に出力する。除電装置１と検出センサ２５の搬送方向に関する距離は、検出センサ２５から制御基板４に検出信号が入力されて所望の時間Ａ経過後に被除電対象物３０が除電装置１と対向するように設定されている。所望の時間Ａ前に、検出センサ２５により所望の時間Ａより短い一定時間Ｂの間隔内で被除電対象物３０を検出しているときは、除電装置１は、除電装置１の下に継続して被除電対象物が搬送されてきているものとして通常動作モードで動作する。所望の時間Ａ前に、検出センサ２５が所望の時間Ａ内であるが、一定時間Ｂ以上被除電対象物３０が搬送されていないことを検出したときは、除電装置１は放電電流検出モードで動作する。所望の時間Ａ前に、検出センサ２５が少なくとも所望の時間Ａよりも長い時間Ｃ以上被除電対象物３０が搬送されていないことを検出したときは、除電装置１はイオン発生素子のイオン発生のための駆動を停止する。詳しくは後述する。

図１〜図３に示すように、素子ユニット３は、樹脂成型体などからなる支持体３ａを有し、Ｘ方向に長尺な形状となっており、Ｙ方向から見たときに底面の一部を形成する逆ハの字状の斜面３ｃ、３ｄを有している。斜面３ｃ、３ｄには、後述する安定化電極２６ａ、２６ｂを挟んでＸ方向に長尺なイオン発生素子１１、１２がそれぞれ配置されている。なお、図２においては、除電装置１をＹ方向から見ており、イオン発生素子１１のみが表れている。

イオン発生素子１１、１２は、長手方向をＸ方向と平行にして、Ｙ方向に沿って近接配置されており、支持体３ａの斜面３ｃ、３ｄと対向している面と反対側のイオン発生面１１ａ、１２ａ（図６参照）から正イオン及び負イオンのいずれか一方の互いに異なるイオンを発生する。本実施形態においては、搬送方向下流側に位置するイオン発生素子１１のイオン発生面１１ａから負イオンを発生し、搬送方向上流側に位置するイオン発生素子１２のイオン発生面１２ａから正イオンを発生する。

支持体３ａの斜面３ｃは、被除電対象物３０の搬送される搬送面３０ａとの間で搬送方向下流側に４５度開いた鋭角を形成している。したがって、斜面３ｃに配置されたイオン発生素子１１のイオン発生面１１ａは、搬送面３０ａとの間で搬送方向下流側に４５度開いた鋭角を形成している。また、支持体３ａの斜面３ｄは、搬送面３０ａとの間で搬送方向上流側に４５度開いた鋭角を形成している。したがって、斜面３ｄに配置されたイオン発生素子１２のイオン発生面１２ａは、搬送面３０ａとの間で搬送方向上流側に４５度開いた鋭角を形成している。つまり、イオン発生面１１ａ、１２ａは、搬送面３０ａとの間において開いた方向は搬送方向に関して反対方向であるが同じ角度を形成している。

また、素子ユニット３は支持体３ａの外面を覆うカバー９を有している。このカバー９により、イオン発生素子１１、１２の周縁部をカバーして支持体３ａに固定する。また、カバー９は、イオン発生素子１１、１２のイオン発生部を露出させるよう開口部が形成されているとともに、後述するガス送出孔６ａと対応する位置には複数の孔９ａが形成されている。また、イオン発生素子１１、１２を搬送方向に関して挟んだ位置におけるカバー９の上部外面には、電流検出電極２７ａ、２７ｂがそれぞれ配置されている。２つの電流検出電極２７ａ、２７ｂは、イオン発生素子１１、１２の放電電流をそれぞれ検出するためのものであり、イオン発生素子１１、１２から発生するイオン分布に影響が少ない箇所に配置されている。すなわち、搬送面３０ａと直交する方向でイオン発生素子１１、１２よりも上方に配置されている。電流検出電極２７ａ、２７ｂには、カバー９の孔９ａに対応した位置に孔が形成されている。なお、イオン発生素子から発生したイオンを所定電極より受けて、この電極に流れる電流量をもってイオン発生量とみなすことができ、従来から知られている技術である。

本実施態様においては、このような素子ユニット３がひとつの筐体２に対し３ユニット、Ｘ方向に沿って配置される。

次に、イオン発生素子１１、１２について説明する。図４は、イオン発生素子の平面図である。図５は、図４の一点鎖線領域の拡大図である。図６は、図１の概略部分拡大図である。なお、イオン発生素子１１、１２は、印加されるパルス電圧が異なることで、互いに極性の異なるイオンを発生するだけで、構成は同様であるため、イオン発生素子１１についてのみ説明し、イオン発生素子１２についての説明は省略する。図４に示すように、素子ユニット３がＸ方向に沿って複数連結される（図２、図３参照）ことにより、実質的に複数のイオン発生素子１１がＸ方向に配置されることになる。

イオン発生素子１１は、図４〜６に示すように、誘電体１５の表面１５ａ及び裏面１５ｂにイオン発生電極１６及び誘導電極１７ａ、１７ｂをそれぞれ配置したものである。誘電体１５の表面１５ａとは支持体３ａの斜面３ｃと反対側の面であり、裏面１５ｂとは斜面３ｃと対向する面である。

誘電体１５は、マイカを接着剤により多数積層させた長尺な矩形状の板である。誘電体１５は、本実施形態においては７０μｍ厚となっている。なお、誘電体１５は、マイカの積層体に限らず、セラミックス、ガラス、ポリマーなどであってもよい。また、誘電体１５の表面１５ａには、電源基板５と電気的に接続されて、電源基板５から印加される電圧が給電される給電端子６２、６４がそれぞれ形成されている。給電端子６２、６４は、Ｘ方向に沿って重なり、且つ、イオン発生電極１６の両端よりもＸ方向に関して内側に配置されている。

イオン発生電極１６は、誘電体１５の表面１５ａにステンレスで形成されており、線状電極１６ａと線状電極１６ａから長手方向と直交する短手方向に突出した複数の微細な三角形状の突起電極１６ｂとを有している。複数の突起電極１６ｂは、Ｘ方向に沿って等間隔に線状電極１６ａの短手方向両側に２列の千鳥状に配置されている。本実施形態において、線状電極１６ａの幅Ｘ、突起電極１６ｂの底辺の長さＹ及び突起電極１６ｂの高さＺは０．１ｍｍとなっている。また、突起電極１６ｂを形成する２つの辺から形成される角度αは、５３．１３度となっており、隣接する２つの突起電極１６ｂの頂点１６ｃ間の距離Ｌは、０．３ｍｍとなっている。

また、イオン発生電極１６の一方端部（図４の下端部）は、イオン発生電極１６の両端よりもＸ方向に関して内側に折れ曲がった配線６１（第１配線）を介して給電端子６２（第１給電端子）に電気的に接続されている。

誘導電極１７ａ、１７ｂは、誘電体１５の裏面１５ｂにイオン発生電極１６と同様にステンレスで形成されており、イオン発生電極１６に平行となっている。また、２本の線状電極１７ａ、１７ｂは、イオン発生電極１６から誘導電極１７ａ、１７ｂを見たときに、イオン発生電極１６の短手方向両側に配置されている。本実施形態において、突起電極１６ｂから誘導電極１７ｂまでの短手方向に関する距離Ｋは、０．０５ｍｍとなっている。なお、イオン発生電極１６及び誘導電極１７ａ、１７ｂの材料は、ステンレスに限らず、カーボン、タングステン、アルミニウム、銅、金、タンタル、タングステンまたはニッケル等の単独金属、もしくは、これらの合金、さらには導電性セラミックスなどであってもよい。

また、誘導電極１７ａ、１７ｂの一方端部（図４の上端部）は、誘導電極１７ａ、１７ｂの両端よりもＸ方向に関して内側に折れ曲がった配線６３（第２配線）及び図示しないスルーホールを介して給電端子６４（第２給電端子）に電気的に接続されている。

また、誘電体１５の表面１５ａ全体には、誘電体１５の表面１５ａ及びイオン発生電極１６を被覆する表面保護層１８が形成されている。表面保護層１８は、誘電体１５の剥離防止や耐湿性向上を目的として形成されており、例えば、シリカ系コート材やアクリル系コート材から成る。

また、誘電体１５の裏面１５ｂ全体には、誘電体１５の裏面１５ｂ及び誘導電極１７ａ、１７ｂを被覆する裏面保護層１９が形成されている。裏面保護層１９は、例えば、シリコン系コート材やエポキシ系コート材から成る。

図５に示すように、イオン発生素子１１の裏面保護層１９と支持体３ａの斜面３ｃとの間には、安定化電極２６ａが配置されている。この安定化電極２６ａにはイオン発生電極１６から発生するイオンと同極性のバイアス電圧が印加されている。つまり、イオン発生素子１１のイオン発生電極１６からは負イオンが発生するため、イオン発生素子１１に対応する安定化電極２６ａにはマイナスのバイアス電圧が印加されている。また、イオン発生素子１２のイオン発生電極１６からは正イオンが発生するため、イオン発生素子１２に対応する安定化電極２６ｂにはプラスのバイアス電圧が印加されている。本実施形態ではそれぞれマイナス１２Ｖ、プラス１２Ｖのバイアス電圧を印加している。

イオン発生素子１１は、イオン発生電極１６と誘導電極１７ａ、１７ｂとの間に、誘導電極１７ａ、１７ｂを基準電位としてマイナスのパルス電圧を印加することで、イオン発生電極１６から負イオンを発生する。また、イオン発生素子１２は、イオン発生電極１６と誘導電極１７ａ、１７ｂとの間に、誘導電極１７ａ、１７ｂを基準電位としてプラスのパルス電圧を印加することで、イオン発生電極１６から正イオンを発生する。

ここで、イオン発生素子１１のイオン発生電極１６から負イオンの発生を継続すると、イオン発生電極１６から発生するイオン量が減少する。これは、安定化電極２６ａが配置されていなければ、裏面保護層１９がイオン発生電極１６から発生するイオンと逆極性に帯電するためと考えられる。支持体３ａが特に樹脂製の場合はこの裏面保護層１９に加えて支持体３ａも帯電する。マイナスイオンを発生するイオン発生素子１１に対して、本実施形態のように、マイナスのバイアス電圧を印加した安定化電極２６ａを設けることにより、裏面保護層１９またはこれに追加して支持体３ａが帯電することを防止する。これにより、イオン発生電極１６から発生するイオン量は減少せず安定する。

図１及び図２に戻って、３つのガスタンク６は中空であり、図示しない連結部材を介して連通している。ガスタンク６には、２つのイオン発生素子１１、１２のＹ方向両側において下方に開口した２つのガス送出孔６ａがＸ方向に沿って複数形成されている。ガスタンク６は、図示しないガス供給源に接続されている。ガスとしては、エアガスまたは窒素などの不活性ガスが適当である。ガス供給源から供給された圧縮ガスは、ガスタンク６のガス送出孔６ａから搬送面３０ａと直交する方向に向かってカバー９の孔９ａ及び電流検出電極２７ａ、２７ｂの孔を介して送出される。つまり、ガスタンク６の複数のガス送出孔６ａから送出されたガスは、搬送方向に関して２つのイオン発生素子１１、１２を挟んで、搬送面３０ａと直交する方向に向かった状態でＸ方向に延在したガスカーテンを形成することとなる。

ここで、２つのイオン発生素子１１、１２はイオンを発生するため、極性に関係なく静電気によりゴミが付着しやすくなっている。そこで、ガスカーテンを形成することで、イオン発生素子１１、１２のイオン発生面１１ａ、１２ａから搬送面３０ａへ向かって発生するイオンの分布領域をガスカーテンによって外部から遮断するため、周囲のゴミがイオン発生面１１ａ、１２ａに付着しづらくなる。また、イオン発生面１１ａ、１２ａから発生したイオンがより効率よく搬送面３０ａに流れ、一層効果的に被除電対象物３０の除電を行うことができる。さらに、２つのイオン発生面１１ａ、１２ａから発生したイオンが分散するのを防止することができる。また、ガスカーテンは、搬送面３０ａと直交する方向に向かって形成されているため、２つのイオン発生面１１ａ、１２ａから発生した正イオン及び負イオンが混在しにくくなり、中和しにくくなる。

次に、除電装置１の電気的構成について図面を参照しつつ説明する。図７は、除電装置の電気的構成を示すブロック図である。図８は、除電装置の各種信号の送受信を示す図である。図９は、電源基板の内部回路図である。図１０は、電源基板から２つのイオン発生素子にそれぞれ印加される電圧波形を示す図である。図１１は、イオン発生素子による被除電対象物の除電工程を説明する概略平面図であり、（ａ）は除電中であり、（ｂ）は放電電流検出中である。

図７及び図８に示すように、３つの電源基板５は、対応する素子ユニット３内の各電気要素と接続される。すなわち、電源基板５は、給電端子６２、６４を介してそれぞれ対応するイオン発生素子１１、１２に電気的に接続されている。また、電源基板５は、それぞれ対応する安定化電極２６ａ、２６ｂに電気的に接続されている。イオン発生素子１１、１２に対しては、後述するイオン発生電圧制御部３１（制御基板４）の制御により、種々の電圧が供給される。また、電源基板５は、電流検出電極２７ａ、２７ｂと電気的に接続されている。電流検出電極２７ａ、２７ｂに対しては、後述する電流検出電圧制御部３２の制御により、種々の電圧が供給される。また、各電源基板５は、電流検出電極２７ａ、２７ｂより放電電流を検出して、制御基板４にフィードバックしている。

図９に示すように、各電源基板５は、電源５１と、駆動回路５２と、トランス５３と、２次回路５４とを有している。駆動回路５２、トランス５３、２次回路５４は、イオン発生素子１１、１２にそれぞれ対応して設けられる。電源５１から出力された電圧は、それぞれ駆動回路５２、トランス５３、２次回路５４を介してそれぞれイオン発生素子１１、１２に印加される。このとき、イオン発生素子１１にはマイナスのパルス電圧が印加されるため、負イオンを発生し、イオン発生素子１２にはプラスのパルス電圧が印加されるため、正イオンを発生する。

制御基板４には、各種動作を制御するプログラムやデータなどが格納されたＲＯＭ（Read Only Memory）、各種動作を制御する信号を生成するために各種演算を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＣＰＵでの演算結果などのデータを一時保管するＲＡＭ（Random Access Memory）などが含まれている。あるいは、制御基板４は、ロジックＩＣ、ＡＳＩＣまたはＦＰＧＡなどで構成してもよい。また、制御基板４は、図７に示すように、イオン発生電圧制御部３１及び電流検出電圧制御部３２として機能する。

イオン発生電圧制御部３１は、通常動作モード及び放電電流検出モード時、すなわち除電装置１の下に継続して被除電対象物３０が搬送されてくる間（通常動作モード時）、及び、除電装置１の下に所望の時間Ａ内であるが一定時間Ｂ以上被除電対象物３０が搬送されない間（放電電流検出モード時）は、電圧の印加タイミングをずらしながら、イオン発生素子１１に対してマイナスのパルス電圧を印加するとともに、イオン発生素子１２に対してプラスのパルス電圧を印加するように電源基板５を制御する。また、イオン発生電圧制御部３１は、所望の時間Ａ前に、検出センサ２５が少なくとも所望の時間Ａより長い時間Ｃ上被除電対象物３０が搬送されていないことを検出したとき、すなわち、除電装置１の下に継続して被除電対象物３０が搬送されず、次の被除電対象物３０の除電のために待機している間は、イオン発生素子１１、１２に対して電圧印加を停止するように電源基板５を制御する。

具体的には、図１０に示すように、イオン発生電圧制御部３１は、電源基板５からイオン発生素子１２に対して１周期（例えば、１０〜５００Ｈｚ）の間に２度連続してプラスのパルス電圧を印加させた後に、プラスのバイアス電圧を印加させる電圧印加サイクルＶ１を繰り返す。また、イオン発生電圧制御部３１は、電源基板５からイオン発生素子１１に対して１周期の間に２度連続してマイナスのパルス電圧を印加させた後に、マイナスのバイアス電圧を印加させる電圧印加サイクルＶ２を繰り返す。本実施形態において、パルス幅Ｂは５μｓ、パルス間隔Ｃは３００μｓ、出力電圧Ｖは２．４ｋＶｐｋとなっている。なお、この1周期におけるパルス電圧の数やパルス電圧のピーク値は発生させたいイオン発生量によって種々に変化させることができる。

このとき、イオン発生電圧制御部３１は、電源基板５からイオン発生素子１２に対してプラスのバイアス電圧を印加させている間に、イオン発生素子１１に対してマイナスのパルス電圧を印加させるとともに、イオン発生素子１１に対してマイナスのバイアス電圧を印加させている間に、イオン発生素子１２に対してプラスのパルス電圧を印加させる。つまり、イオン発生電圧制御部３１は、電源基板５からイオン発生素子１１、１２に対して交互にパルス電圧を印加させている。したがって、除電装置１はイオン発生素子１１、１２から正イオン及び負イオンを交互に発生して、被除電対象物３０を除電している。

また、イオン発生電圧制御部３１は、電流検出電極２７ａ、２７ｂにより検出した放電電流が目標電流と一致するように、つまりイオン発生素子１１、１２から目標とするイオン量を発生させるように電源基板５からイオン発生素子１１、１２に印加するパルス電圧のピーク値を変化させるフィードバック制御を行う。

電流検出電圧制御部３２は、図１１（ａ）に示すように、除電装置１の下に被除電対象物３０が継続して搬送されてくることを検出している通常動作モードでは、正イオンを発生するイオン発生素子１２側に配置した電流検出電極２７ｂに電源基板５からプラスのバイアス電圧を印加させる。また、電流検出電圧制御部３２は、負イオンを発生するイオン発生素子１１側に配置した電流検出電極２７ａに電源基板５からマイナスのバイアス電圧を印加させる。電流検出電極２７ａ、２７ｂは、搬送面３０ａと直交する方向にあってイオン発生素子１１、１２よりも上方で、イオン発生素子１１、１２から発生するイオン分布に影響が少ない位置に配置したものである。しかしながら、このような電極を設けることによって使用中不用意に好ましくない電圧が電極に印加される場合があり、イオン発生素子１１、１２より発生したイオンを電極検出電極２７ａ、２７ｂに引き込んだり反発させたりして悪影響を及ぼす。前記のように、電流検出電極２７ａ、２７ｂに近傍のイオン発生素子１１、１２から発生するイオンと同極性のバイアス電圧を印加することで、発生したイオン分布に影響がないようにできる。本実施形態ではバイアス電圧はそれぞれプラス１２Ｖ、マイナス１２Ｖである。

また、電流検出電圧制御部３２は、図１１（ｂ）に示すように、所望の時間Ａ前に、検出センサ２５が所望の時間Ａ内であるが、一定時間Ｂ以上被除電対象物３０が搬送されていないことを検出した、いわゆる放電電流検出モード時では、電流検出電極２７ｂに電源基板５からマイナスのバイアス電圧を印加させるとともに、電流検出電極２７ａに電源基板５からプラスのバイアス電圧を印加させる。このように、電流検出電極２７ａ、２７ｂに近傍のイオン発生素子１１、１２から発生するイオンと逆極性のバイアス電圧を印加することで、発生したイオンを電流検出電極２７ａ、２７ｂに強制的に引き寄せることにより放電電流を正確に検出する。本実施形態では、それぞれマイナス１２Ｖ、プラス１２Ｖのバイアス電圧を印加した。

なお、ガスタンク６のガス送出孔６ａからガスを送出させる期間はガス、前記通常動作モード時及び放電電流検出モード時のみであってもよいが、イオン発生素子１１、１２へのゴミの付着防止の観点からイオン発生のための駆動を停止している待機中も含め常時であることが好ましい。

次に、除電装置１による被除電対象物３０の除電工程について説明する。図１１（ａ）に示すように、イオン発生素子１１、１２のＹ方向に沿った縦断面においては、イオン発生中心部であるイオン発生電極１６部分からイオンが発生している。搬送面３０ａと直交する方向に関する、イオン発生素子１１、１２から搬送面３０ａまでの距離Ｍは、この２つのイオン発生素子１１、１２の２つのイオン発生電極１６間の距離Ｎ以上となっている。本実施形態においては、距離Ｎは１０ｍｍとなっており、距離Ｍは１０〜５００ｍｍが好ましい。この距離関係において、除電装置１は効果的に被除電対象物３０の除電を行うことができる。距離Ｍが距離Ｎ以下では、各イオン発生素子１１、１２から発生するイオン分布が搬送面３０ａ上で独立した分布となり、被除電対象物３０に過帯電をもたらす恐れがある。距離Ｍを距離Ｎ以上とすることにより、搬送面３０ａ上に各イオン発生素子１１、１２から発生するイオン分布の共存部分を形成し、被除電対象物３０の過帯電を防止することができる。また、距離Ｍがあまり大きすぎると、各イオン発生素子１１、１２から発生するイオンが搬送面３０ａまで運ばれてくるまでに外方向に拡散し、またイオンに過度な中和を生じさせる。距離Ｍは所定距離内に設定することが望ましい。

通常動作モード時において、被除電対象物３０が搬送面３０ａに沿って搬送方向に搬送され、除電装置１と被除電対象物３０とが対向するとき、この発生した正イオン及び負イオンのうち、被除電対象物３０の帯電極性と逆極性のイオンは被除電対象物３０に引き寄せられることとなり、被除電対象物３０は除電される。このとき、前記のように各イオン発生素子１１、１２から発生する負イオン及び正イオンの分布に共存領域が存在することによって、被除電対象物３０の過帯電が防止される。

このとき、Ｘ方向に関して各イオン発生素子１１、１２の給電端子６２、６４がイオン発生電極１６を基準として同じ側に設けられていることで、給電端子６２、６４から電源基板５への配線の引き回しが容易となる。また、イオン発生素子１１、１２がそれぞれＸ方向に沿って複数配置されたものにあっては、給電端子６２、６４がイオン発生電極１６の両端よりもＸ方向に関して内側に配置されていることで、イオン発生電極１６及び誘導電極１７ａ、１７ｂがＸ方向に沿って隙間を大きくとることなく延在することとなり、容易に一方向に長いイオン発生素子を形成することができる。これにより、Ｘ方向に長い被除電対象物３０を容易に除電することができる。さらに、例えば図１、図３及び図４などにより理解できるように、イオン発生装置としてＸ方向の端部において、給電端子６２、６４がイオン発生電極１６の両端よりもＸ方向に関して内側に配置されていることで、イオン発生分布の有効領域を広げることができる。

なお、搬送方向下流側に位置するイオン発生素子１１のイオン発生面１１ａは、搬送面３０ａと平行ではなく、搬送方向下流側に４５度傾いている。すると、イオン発生素子１１から発生する負イオンはイオン発生面１１ａに沿って分布しているため、イオン発生素子１１から発生する負イオンの量は、搬送方向上流側から下流側に向かうに連れて少なくなっている。したがって、除電が完了して搬送方向下流側に搬送される被除電対象物３０に負イオンが運ばれることは少なく、余分な帯電を生じさせることを防止できる。

また、搬送方向下流側に４５度傾いていることによって、イオン発生面１１ａは被除電対象物３０に対して所定面積対向し、被除電対象物３０にイオンを効率よく運ぶことができる。さらに、本実施形態において、搬送側上流側に位置するイオン発生素子１２のイオン発生面１２ａも、搬送面３０ａとの間で搬送方向上流側に４５度傾けている。つまり、２つのイオン発生素子１１，１２のイオン発生面１１ａ、１２ａは、搬送面３０ａとの間において開いた方向は搬送方向に関して反対方向であるが同じ角度を形成している。これによると、２つのイオン発生素子１１，１２において、それぞれイオン発生面１１ａ、１２ａに被除電対象物３０に対して所定面積対向する部分が存在し、両方のイオンを被除電対象物３０に効率よく運ぶことができる。また、特に傾きが同じ角度であることによって、２つのイオン発生素子１１、１２から被除電対象物３０に対して、負イオン及び正イオンを均等に運び、且つイオン分布も共存領域を含めより均等に形成することができる。負イオン及び正イオンが交互に発生する場合は、被除電対象物３０上にイオンを運ぶ途中、過度に、あるいは急激にイオンが中和されることを回避可能であり、効率よくイオンを運び、且つ、有用なイオンの共存領域を形成できる点で好ましい。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、本実施形態においては、イオン発生面１１ａ、１２ａと搬送面３０ａとの間で形成される角度は４５度であったが、鋭角であればいかなる角度であってもよい。ただし、４５度が最も除電効率を高く保ちつつ、被除電対象物３０に余分な帯電が生じにくくできる。

また、イオン発生面１１ａと搬送面３０ａとの間で形成される角度と、イオン発生面１２ａと搬送面３０ａとの間で形成される角度は同じ角度でなくてもよい。

さらに、安定化電極２６ａ、２６ｂは、接地されていてもよい。安定化電極２６ａ、２６ｂを接地させることで、裏面保護層１９や支持体３ａへの帯電が防止できるため、イオン発生電極１６からのイオンの発生は安定する。

加えて、イオン発生電極１６の突起電極１６ｂの形状は、三角形状に限らず、波状、円状、格子状などいかなる形状であってもよい。

また、本実施形態においては、イオン発生素子１１、１２から正イオン及び負イオンを交互に発生させていたが、同時に発生させてもよい。

さらに、除電装置１の周囲にゴミが浮遊しておらず、イオン発生素子１１、１２から発生したイオンがガスの気流を用いずとも被除電対象物３０に到達可能であれば、ガスタンク６を備えていなくてもよい。

加えて、本実施形態においては、イオン発生素子１１、１２、電源基板５及びエアタンク６はＸ方向に沿って３つ配置していたが、１つでもよいし、複数配置するものであってもよい。設計されたイオン発生素子１１、１２の長さと希望の除電装置１のＸ方向の長さにしたがって任意の個数が選択可能である。

また、本実施形態においては、イオン発生素子１１から負イオンを発生し、イオン発生素子１２から正イオンを発生していたが、イオン発生素子１１から正イオンを発生し、イオン発生素子１２から負イオンを発生する構成であってもよい。また、イオン発生素子１１で時間的に負イオン及び正イオンを交互に繰り返し、イオン発生素子１２で正イオン及び負イオンを交互に繰り返すような構成であってもよい。

さらに、イオン発生素子１１、１２に対する印加電圧は、図１０の例では常時バイアス電圧を印加する方法を利用しているが、イオン発生のため、アース電圧（０ボルト）より所定のピークのパルス電圧を印加するような駆動方法でもよく、公知、周知の駆動方法が利用できる。

除電装置の縦断面図である。除電装置の模式平面図である。イオン発生素子の取り付けられた素子ユニットの斜視図である。イオン発生素子の平面図である。図４の一点鎖線領域の拡大図である。図１の概略部分拡大図である。除電装置の電気的構成を示すブロック図である。除電装置の各種信号の送受信を示す図である。電源基板の内部回路図である。電源基板から２つのイオン発生素子にそれぞれ印加される電圧波形を示す図である。イオン発生素子による被除電対象物の除電工程を説明する概略平面図であり、（ａ）は除電中であり、（ｂ）は放電電流検出中である。

符号の説明

１除電装置
２素子ユニット
４制御基板
５電源基板
１１、１２イオン発生素子
１１ａ、１２ａイオン発生面
１６イオン発生電極
１６ｂ突起電極
１７ａ、１７ｂ誘導電極
３０被除電対象物
６１、６３配線
６２、６４給電端子

Claims

一方向に延在したイオン発生電極と、前記一方向に延在し、前記イオン発生電極と同様の長さを有する誘導電極と、を誘電体を介して配置させたイオン発生素子を備えたイオン発生装置であって、
前記イオン発生素子は、
前記一方向の一側において前記イオン発生電極の端部に第１配線を介して電気的に接続された第１給電端子と、
前記一方向の他側において前記誘導電極の端部に第２配線を介して電気的に接続された第２給電端子と、を有し、
前記第１給電端子及び前記第２給電端子は、前記一方向に沿って片側、且つ、前記一方向に関して前記イオン発生電極の端部及び前記誘導電極の端部より内側に配置されていることを特徴とするイオン発生装置。
前記イオン発生素子を前記一方向に沿って複数配置していることを特徴とする請求項１に記載のイオン発生装置。
前記イオン発生素子は、前記一方向に直交する方向に沿って搬送される被除電対象物に対してイオンを発生することを特徴とすることを特徴とする請求項１または２に記載のイオン発生装置。