JP2009542451A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 貫通アパーチャーを有し且つ研磨面を有する不透明な研磨層と、
   上記アパーチャーにおける個体の光透過窓と、
   を備え、上記個体の光透過窓は、
   上記研磨層に固定された外側部分であって、上記研磨面に対してくぼんだ上面を有する外側部分、及び
   上記外側部分に固定された内側部分であって、上記研磨面と実質的に同一平面である上面を有する内側部分、
   を含むものである、研磨パッド。
2. 上記外側部分が上記内側部分を取り巻く、請求項１に記載の研磨パッド。
3. 上記内側部分及び上記研磨層は、実質的に同じ硬度を有する、請求項１に記載の研磨パッド。
4. 上記外側部分は、上記内側部分よりも硬い、請求項３に記載の研磨パッド。
5. 上記外側部分は、上記研磨層と実質的に同じ硬度を有する、請求項３に記載の研磨パッド。
6. 上記外側部分の上面より上に突出する上記内側部分の角が平滑化される、請求項１に記載の研磨パッド。
7. 上記外側部分の上面より上に突出する上記研磨層の内縁の角が平滑化される、請求項１に記載の研磨パッド。
8. 上記内側部分は、上記外側部分に成形される、請求項１に記載の研磨パッド。
9. 上記研磨層、上記第１部分及び上記第２部分の底面は、実質的に同一平面上にある、請求項１に記載の研磨パッド。
10. 上記研磨層は、微孔性フェールト基板上に配設されたポロメリック被覆を含む、請求項１に記載の研磨パッド。
11. 研磨パッドを製造する方法において、
    不透明な研磨層のアパーチャーに、該研磨層の研磨面に対してくぼんだ上面を有する第１の光透過層を形成するステップと、
    上記第１の光透過層のアパーチャーに、上記研磨面と実質的に同一平面である上面を有する第２の光透過層を形成するステップと、
    を備えた方法。
12. 第１の光透過層のアパーチャーに第２の光透過層を形成する上記ステップは、上記第１の光透過層に穴をカットする段階を含む、請求項１１に記載の方法。
13. 第１の光透過層のアパーチャーに第２の光透過層を形成する上記ステップは、上記第１の光透過層の穴を液体先駆体で埋めて、上記研磨面より上に突出するメニスカスを生成する段階と、上記先駆体を硬化させる段階とを含む、請求項１１に記載の方法。
14. 上記第２部分の上面が上記研磨面と実質的に同一平面となるまで上記本体を磨く段階を更に含む、請求項１３に記載の方法。
15. 上記第１部分の上面より上に突出する上記第２部分の角を平滑化するステップを更に備えた、請求項１１に記載の方法。