JP2009536576A - 毛細管流動制限装置 - Google Patents

Abstract

真空脱気装置１０におけるチャンバ１２を操作可能に空にするのに使用するためのポンプ１４が、チャンバ１２と流体連通する１つ又は複数のポンプ・キャビティ７２、７４と、１つ又は複数のポンプ・キャビティ７２、７４の各１つと流体連通するように配置された出口８３を有する連続した通気路８０、８４とを有する。通気路８０、８４は、液体脱気用途におけるポンプ１４の作動の間の、ポンプ・キャビティ７２、７４内の溶媒凝縮を防止するのに十分な流量でポンプ１４のポンプ・キャビティ７２、７４内へ希薄ガス流を提供するように構成される。

Description

本発明は、概して、真空脱気システムに関し、より詳しくは、脱気される液体がそれを通じて運ばれるチャンバを空にするための、連続した通気路を通じて通気されるポンプを組み込む真空脱気システムに関する。

液体溶媒の脱気は、種々の用途に利用される操作である。かかる用途の具体例は、液体クロマトグラフィ・システムにおける移動相の脱気におけるものである。そこでは、少量の溶解ガスの存在でさえ、得られる結果の精度や感度に干渉し得る。更に、もし溶解種が、酸素や空気の場合のように、化学的に活性であれば、かかる種は、所望でない変化又は移動相自体における劣化を付加的に生じ得る。

液体材料を脱気するための技術は、脱気されるべき液体を加熱する又は沸騰させること、その材料を、減圧環境又は真空に晒すこと、及び、液体中の溶解ガスの量を減らすべく、熱及び真空の組合せを用いることを含むものであった。加えて、膜装置を通じた真空脱気が、ある長さの比較的小さな直径を備えた、合成高分子樹脂材料から構成されるとともに、減圧又は真空の下に保持される密閉チャンバ内に含められる半透過性の管類を採用することにより達成されてきた。脱気されるべき液体は、半透過性の高分子材料から作られた管類内の密閉チャンバを通じて運ばれる。かかる真空脱気法の例は、米国特許第５３４０３８４号に記載される。米国特許第５３４０３８４号は、本発明の場合と同じ譲受人に譲渡されたもので、参照により本明細書に組み込まれる。

真空脱気装置の密閉チャンバを空にすることを達成するために、典型的には、ポンプが、かかる真空チャンバと動作可能に接続されて採用される。たとえ種々のポンプのタイプが採用されても、単段又は多段の容積型ポンプが、真空脱気チャンバ内に所望レベルの減圧をもたらし維持するのに最良に適していることが分かっている。しかしながら、真空脱気用途でのかかるポンプの利用において生じる問題は、チャンバにて配置された半透過性の膜壁を通じた溶媒蒸気の透過の結果としての、脱気真空チャンバからポンプに浸潤する溶媒蒸気の存在である。もし溶媒蒸気の濃度が臨界レベルに達すれば、溶媒凝縮が生じるおそれがあり、結果として、ポンプの操作上の問題及び耐久性の問題が招かれる。例えば、凝縮された溶媒によって、ポンプの「詰まり」がもたらされる可能性があり、また、ポンプ内の金属部品の腐食がもたらされる可能性がある。

ポンプ内における溶媒蒸気の凝縮の可能性を最小限に抑制するためには、凝縮臨界点を下回るよう溶媒蒸気凝縮を希薄化すべく、例えばポンプの圧縮チャンバ内へポンプ外部の少量の空気が侵入することを可能とするように、「流動制限器」が採用されてきた。かかる溶媒凝縮を回避するのに必要とされる空気の通気流量は、真空チャンバにおける脱気作用にて採用される半透過性の膜を通じた溶媒の透過性とともに、ポンプ作動温度での溶媒蒸気圧に依存する。溶媒の透過性は、各溶媒によって他と異なり、溶媒透過度は、真空チャンバ内の溶媒の分圧が、チャンバ温度での溶媒蒸気圧と等しい状態では、０に近づく。総チャンバ圧が溶媒蒸気圧を下回る静的な流れの状態で、チャンバ内の溶媒の分圧は、全圧に等しい。しかし、動的な流れの状態では、真空チャンバ内の溶媒蒸気の分圧を下げるチャンバ内への同伴空気の流入によって、膜に透過する溶媒の量が増加する。溶媒透過性は、次の数式を用いて算出され得る。
ｐ^ｐ＝ｐ×Ｖ^ｓ／（Ｖ^ｓ＋Ｖ^ｇａｓ）
Ｖ^ｓ＝Ｖｏ^ｓ×（１−ｐ^ｐ／ｐ^ｓ）
ここで、
ｐ^ｐ−溶媒分圧（ｍｍＨｇ）
ｐ−チャンバ内の全圧（ｍｍＨｇ）
Ｖ^ｓ−溶媒蒸気の総透過性（標準ｃｍ^３／分）
Ｖｏ^ｓ−溶媒分圧が０である状態での溶媒の総透過性（標準ｃｍ^３／分）
Ｖ^ｇａｓ−総蒸気通気流量（標準ｃｍ^３／分）
Ｐ^ｓ−ポンプ排出温度での溶媒蒸気圧（ｍｍＨｇ）

例えばポンプの圧縮チャンバ内での凝縮を防止するのに必要とされる通気流量は、以下の関係によって算出され得る。
Ｖ^ｇａｓ＝ｍ^ｓ×２２４００／ＭＷ^ｓ×（Ｂ／ｐ^ｓ−１）
ここでは、
ｍ^ｓ＝溶媒の総質量透過性（グラム／分）
ＭＷ^ｓ＝溶媒の分子量
Ｂ＝気圧（ｍｍＨｇ）

液体脱気用途に採用される従来の真空ポンプは、通常、浸潤性の通気流量を制御するための流量制限器として焼結多孔質フリットを採用してきた。かかるポンプ構成の一例が米国特許第６４９４９３８号に示され、記載される。米国特許第６４９４９３８号は、本発明の場合と同じ譲受人に譲渡されたもので、参照により本明細書に組み込まれる。しかしながら、かかる焼結多孔質フリットは、作用上の欠点及び時間とともに劣化する可能性を呈する。具体的には、かかる焼結多孔質フリットの多くが、例えば液体クロマトグラフィ移動相に採用される一定の溶媒及び添加剤から腐食の影響を受けやすい材料から加工される。例えばステンレス鋼から製造されたそのような焼結多孔質フリットの腐食は、通気流制限における著しく永続的な変化をもたらし得る。かかる変化は、時間とともに追跡することが難しい可能性があり、また、そのため、システム・オペレータに気付かれずに、真空脱気作業の精度や効率を低下させる可能性がある。

更に、真空脱気用途に一般的に採用される焼結多孔質フリットは、１μｍより小さい位数における孔サイズを備える。その小サイズのフリット孔によって、粒子が、孔内にとどめることとなり、それにより、それを通る通気の通過が塞がれる若しくは減らされる。また、小さい孔サイズによって、ポンプ・キャビティ内での通気制限及び／又は蒸気凝縮をもたらし得る孔内での溶媒蒸気凝縮がもたらされる可能性がある。加えて、かかる焼結多孔質フリットは比較的高価である。

したがって、本発明の主要な目的は、腐食の影響を受けやすい材料で製造される焼結多孔質フリット、及び／又は、１μｍよりも小さい平均孔サイズを有するものを用いることなく、液体の減圧脱気に採用されるポンプのチャンバ内への通気の流入を制御可能とするための機構を提供することである。

本発明の更なる目的は、通気の流入を可能とする比較的安価な機構を提供することである。

本発明によって、圧縮チャンバ真空脱気作用と組み合わせて採用されるポンプの目標とされたキャビティ内への希薄ガスの流れが、多孔質フリット流の制限器機構に関連した欠点なしに、容易化される。特に、連続した通気路が、溶媒蒸気又は液体脱気作用にて通常存在する他の材料からの腐食に抵抗のある材料内で、連続した管腔により画定されるものとして提供される。更に、連続した通気路が、粒子状残骸の浸潤の結果として詰まる可能性を最小限に抑制するのに十分な大きい最小断面面積を備える。

具体的な実施例において、本発明の真空脱気装置は、１つ又は複数の液体を脱気するように構成され、その装置は、真空チャンバと、その真空チャンバの入口と出口との間で１つ又は複数の液体を運ぶために、真空チャンバ内に配置される液体運搬部材と、真空チャンバを操作可能に空にするのに適したポンプとを備えるものである。そのポンプは、好ましくは、連続した通気路を通じて通気されるポンプ・キャビティを有する。好適な実施例では、通気路は、ガラスなどの非金属材料から加工される毛細管の管腔により形成される。加えて、粒子状物質による通気路のブロックを更に阻止するために、フィルタが、通気路の入口に配置されてもよい。

本発明のまた別の実施例では、真空脱気装置におけるチャンバを操作可能に空にするに際して利用されるポンプが、チャンバと流体連通する１つ又は複数のポンプ・キャビティと、その１つ又は複数のポンプ・キャビティの各々１つと流体連通するように配置された出口を有する連続した通気路とを備える。通気路は、具体的には、ポンプ・キャビティ内での溶媒凝縮を防止するに十分な流量での、ポンプ・キャビティ内への希薄ガスの流れを提供するように構成される。

本発明により表される他の目的、特徴及び進歩とともに、上記で列挙された目的及び利点は、本発明の種々の可能性のある構成を表すものとされる添付図面を参照しつつ説明される詳細な実施例に関して提示される。本発明の他の実施例及び態様は、当業者の理解の範囲内にあるものとして認識される。

図面を、最初に図１を参照すれば、真空脱気装置１０は、真空チャンバ１２と、その真空チャンバ１２を操作可能に空にするように構成されたポンプ１４とを有する。ポンプ１４は、好ましくは、チャンバ口３０をポンプ入口３４に接続する真空ライン３２を通じて、真空チャンバ１２と流体連通する。液体運搬部材１６が真空チャンバ１２内に配設され、真空チャンバ１２の入口１８と出口２０との間で１つ又は複数の液体を操作可能に運ぶように構成される。

好適な実施例では、液体運搬部材１６が、半透過性の膜を形成する、気体を透過し得る、また、液体を透過し得ない材料から加工される。半透過性の膜は、運ばれる液体の操作可能な脱気を容易化する。当技術分野でよく知られるように、かかる脱気は、例えば真空チャンバ１２内など、脱気されるべき液体と減圧環境との間に、液体運搬部材１６を介在させることにより達成される。したがって、図１に示された実施例では、液体運搬部材１６は、真空チャンバ１２の入口１８と出口２０との間に液体を含み運ぶ１つ又は複数の管腔を画定する管類の形をとり得る。しかしながら、他の実施例では、脱気されるべき液体が、減圧環境が液体運搬部材内に画定される１つ又は複数の管腔内で与えられつつ、液体運搬部材外部で流れ得る。好適な実施例では、液体運搬部材１６が、気体を透過し得る、また、液体を透過し得ない材料から加工された管類の形をするものである。かかる材料の一具体例は、商標名テフロンＡＦ（登録商標）でデラウェア州ウィルミントンのイー・アイ・デュポン・ドゥ・ヌムール・アンド・カンパニー（Ｅ．Ｉ．Ｄｕ Ｐｏｎｔ ｄｅ Ｎｅｍｏｕｒｓ ａｎｄ Ｃｏｍｐａｎｙ）により販売される非結晶質のペルフルオロ共重合体である。かかる材料は、管などの所望の形態に押し出される、又は別法で従来的に形成される。他の実施例では、液体運搬部材１６が、ＰＴＦＥ、シリコーン・ラバー及びその同様のものなどの複数の材料から加工され得る。

ポンプ１４は、チャンバ口３０を通じてポンプ排気孔３６へ気体状の及び／又は蒸気の物質をくみ出すことにより、真空チャンバ１２を空にするよう操作可能に構成されている。かかる空にすることを達成するために、ポンプ１４は、好ましくは、図２によりよく詳細に示されるものなどの、容積型機構を組み込む。それに示されるように、ポンプ１４は、２段式の、直列ダイアフラム・ポンプ機構である。マニホールド５０が、移送ライン５６を通じて互いに流体連通する第１の段ヘッド５２及び第２の段ヘッド５４を有する。マニホールド５０は、好ましくは、ポンプ入口３４及びポンプ排出孔３６にそれぞれ関連付けられた吸入口及び排出口ダックビル逆止弁６０、６２を更に有する。かかる逆止弁６０、６２は、入口３４における真空ライン３２からポンプ１４内への、そして、結局のところ、排出孔３６におけるポンプ１４から外への流れ方向を規制する。加えて、移送ダックビル逆止弁６４が、第１の段から第２の段へのみ通過させ、その逆はできないように、流れを規制すべく、移送ライン５６内に設けられる。

モータ１３２が、それぞれ第１及び第２のポンプ・キャビティ７２、７４内に往復運動でロッド１１８、１２８を回転可能に駆動させるために、駆動シャフト１３０を通じて、ポンプ１４に操作可能に連結される。好ましくは、第１及び第２のロッド１１８、１２８が、ロッド１１８、１２８の往復運動が好ましくは１８０°互いに位相がずれるように、対向した偏心カム部１３７、１３９で駆動シャフト１３０に連結される。モータ１３２は、好ましくは、例えば駆動シャフト１３０に回転運動を提供することができる従来の任意のモータである。本発明の真空脱気装置１０に有用なモータの具体例は、ブラシレスの直流ステッピング・モータである。

図２に示される実施例では、ロッド１１８、１２８が、好ましくは、ダイアフラム１４２に係合する各ピストン・ヘッド１３４、１３６に連結される。それにより、ピストン・ヘッド１３４、１３６は、吸入位置１３８と排出位置１４０との間でダイアフラム１４２の各部を往復運動させる。ダイアフラム１４２は種々の材料から加工され得るが、ダイアフラム１４２の好適なデザインは、ＰＴＦＥ又はその同様のものの膜材料を組み込む。

本発明の好適な態様では、第１の通気路８０が、例えばポンプ１４外部の周辺環境から第１のポンプ・キャビティ７２内への希薄ガスの流入を可能とすべく、第１の段ヘッド５２に配置される。図３に最もよく示されるように、第１の通気路８０は、好ましくは、毛細管８２の管腔により形成される。その毛細管８２の管腔は、好ましくは、少なくとも約１０μｍの、より好ましくは、約２５と約１５０μｍとの間の最小断面直径を有する連続的な通路である。十分であるが大き過ぎることのないサイズの通気路管腔を提供するための毛細管８２の選択は、「最悪な場合」の溶媒材料に基づいたポンプ・キャビティ７２内の凝縮の防止に関して前述した関係で定められる必要な希薄ガス流量に基づくものであり、典型的には、第１のポンプ・キャビティ７２を通じた総流量の約１０〜２０％の範囲内である。典型的には、毛細管８２、また結果的に第１の通気路８０に関して選択されたサイズは、第１のポンプ・キャビティを通じた流れについて標準立法センチメートル当たり約２．５と３ｍｍＨｇとの間でのポンプ１４の性能をもたらす。結果として、第１の通気路８０のサイズは、第１の圧縮チャンバ７２を通じたガス／蒸気の総流量に依存する。例のために、分析規模のクロマトグラフィ・システムに採用される真空脱気装置が、約２５と８０μｍとの間の内径サイズを備える毛細管を有してもよく、一方、プリパトリ規模のクロマトグラフィ・システムに採用される毛細管は、約５０と１５０μｍとの間の内径サイズを有してもよい。かかる通気路のサイズは、汚染粒子によりもたらされるプラグなしの状態に保つ上で、相当により大きな成功を有する。更に、凝縮された流体が第１の通気路８０をブロックする事象においてさえ、典型的には、ポンプ１４の作動の回復により、その制限が解消される。更に、毛細管８２は、好ましくは、ガラスなどの非金属材料から加工される。本発明の用途に有用なサイズのホウケイ酸塩ガラスの毛細管は、ニュージャージー州マウンテンレイクのビトロコム社（Ｖｉｔｒｏｃｏｍ，Ｉｎｃ．ｏｆ Ｍｏｕｎｔａｉｎ Ｌａｋｅｓ Ｎｅｗ Ｊｅｒｓｅｙ）から入手可能である。毛細管８２の非金属材料は、溶媒又は反応蒸発のアタックの結果として、時間に伴う第１の通気路８０の劣化を著しく軽減する所望の腐食耐性をもたらす。

上記に加えて、毛細管８２に採用されるものなどの毛細管は、希薄ガス流制限器として従来採用されてきた焼結多孔質フリットよりはるかに安い。かかるコスト節約は、特に、従来技術の用途にて典型的に必要とされるような１μｍよりも小さい次数での孔サイズを有する焼結多孔質フリットに対して、毛細管のコストを比較する上で明白である。したがって、希薄通気路を形成する上での毛細管の選択は、真空脱気装置に組み込まれる真空ポンプに予め採用される材料及びデバイスよりも、種々の利点をもたらす。

図示された実施例においては、毛細管８２が、第１の段ヘッド５２の孔部５３内に配置される。孔部５３内に毛細管８２を適切に着座させるために、第１のスリーブ部材９２が、レセプタクルを画定するために孔部５３内に着座させられ得る。レセプタクル内では、例えば圧縮摩擦力によって毛細管８２が保持され得る。第１のスリーブ部材９２は、好ましくは、第１の段ヘッド５２の孔部５３内に毛細管８２を適切に位置決めし保持するために、化学的耐性があり、弾性のある材料である。そのため、第１のスリーブ部材９２は、例えば、上記説明に適合するポリプロピレン、又は、他の高分子若しくは非高分子材料から加工され得る。第１のスリーブ部材９２は、好ましくは、毛細管８２を、少なくともその周囲で部分的に取り囲み、毛細管８２と孔部５３の基部１０９との間に軸方向のクッション及び気密のシールを備える。かかる様式において、毛細管８２は、第１の段ヘッド５２内でしっかり位置決めされ、密閉式に係合され、更に、ポンプ１４に対する振動又は他の衝撃によりもたらされ得るダメージから防護される。

図３に更に示されるように、孔部５３が、第１のポンプ・キャビティ７２が、第１のアクセス孔部１１２を通じて孔部５３と流体連通するように、第１のポンプ・キャビティ７２から間隔を置かれた位置で、第１の段ヘッド５２内に配置され得る。第１のアクセス孔部１１２は、同様に、第１のポンプ・キャビティ７２を毛細管８２により画定される管腔に流体連結する。第１のアクセス孔部１１２は、孔部５３の基部１０９を組み込む実施例に必要とされる。他の実施例において、孔部５３は、第１のスリーブ部材９２が、第１のポンプ・キャビティ７２に直接隣接した所望の位置に毛細管８２を圧力をかけて密閉式に保持するように、基部１０９を画定することなく、第１の段ヘッド５２全体を通じて延びてもよい。

本発明の更なる任意選択の特徴は、毛細管８２に関して、孔部５３内に軸方向に位置決めされる第１の焼結多孔質フリット８６の使用である。この実施例では、第１の多孔質フリット８６が、入って来た残骸が、毛細管８２により画定される管腔内に入り、それを詰まらせる可能性をもたらすことを防止するために、フィルタとして採用される。そのため、フィルタとして効果的に作用するために、第１の多孔質フリット８６の最小孔サイズが、好ましくは、毛細管８２により画定される管腔の断面直径よりも小さい。しかしながら、第１の多孔質フリット８６の最小孔サイズが少なくとも約１０μｍ、また、より好ましくは約１０と２５μｍとの間であるように、多孔質フリットの従来技術の使用の欠点を回避することもまた本発明の目標である。したがって、第１の多孔質フリット８６は、約１０と２５μｍとの間よりも大きい平均直径を有する粒子状物質が、毛細管８２により画定される管腔内に入ることを防止する。

図３に示されるように、第１の多孔質フリット８６は、第１の多孔質フリット８６が、第１の段ヘッド５２内に第１の多孔質フリット８６を弾性的に着座させるべく、第１のスリーブ部材９２に軸方向で隣接するように、好ましくは、孔部５３内に圧入されるよう構成される。好適な実施例では、第１の多孔質フリット８６は、ポリプロピレン又はその同様のものなどの耐食材料から加工される。しかしながら、第１の多孔質フリット８６用の他の材料が採用されてもよい。そのため、前述したように、入って来た残骸に対するフィルタとして作用するために、第１の通気路８０の出口８３から第１のポンプ・キャビティ７２に入る希薄ガス流が、所望の流量で、粒子状残骸が実質的に存在せずに維持されるように、第１の多孔質フリット８６が、第１の通気路８０の入口８１に配置される。

図示された実施例に更に示されるように、ポンプ１４は、第２の段ヘッド５４内に、第２の段ヘッド５４の孔部５５内に配置された第２の毛細管８５により画定される第２の通気路８４を有してもよい。第２の通気路８４は、第２の毛細管８５を孔部５５内に圧力をかけて密閉式に保持している第２のスリーブ部材９４を含みつつ、第１の通気路８０に関して、前述したように構成されてもよい。しかしながら、第１及び第２の通気路８０、８４が全く同一の構造及び構成である必要性がないことは、上記説明を通じて示唆されるものとされる。それどころか、第１及び第２の通気路８０、８４は、採用される特定の用途に適するように、異なるサイズ、材料、及び／又は、構成部品を伴い構成されてもよい。

第１のポンプ・キャビティ７２を第２のポンプ・キャビティ７４に流体連結する移送ライン５６が、ポンプ１４のマニホールド５０内に完全に含まれるように示されるが、かかる移送ラインは、その代わりに、ポンプのデザインによる当然の結果として、少なくとも部分的にポンプ１４外部に延びてもよい。更に、ポンプ１４は、図１〜３に示されるものと同様に、２より多い又は少ない段を有することができる。

更に、前述したような通気路が、真空脱気チャンバ１２と流体連通するポンプ１４内の複数のポンプ・キャビティのいずれかに配置され得ることが、本発明によって意図される。圧縮チャンバを形成する第１及び第２のポンプ・キャビティ７２、７４は、かかるポンプ・キャビティの例であるが、ポンプ１４における他のポンプ・キャビティが、毛細管の管腔により画定される本発明の連続した通気路を通じて通気され得る。例えば、本発明の通気構成を通じて場合によって通気され得るポンプ１４内のポンプ・キャビティは、移送ライン５６及びポンプ入口３４を有する。

本発明は、特許法に準拠するように、また、新規の原理を適用すべく、また、必要とされるような本発明の実施例を構成し利用すべく必要とされる情報を当業者が備えるように、かなり詳細に本明細書に説明されてきた。しかしながら、本発明が明らかに異なるデバイスにより実行され得ること、及び、種々の変更が、本発明の範囲から逸脱することなく達成され得ることが理解される。

本発明の真空脱気装置の概略図である。 図１に示された真空脱気装置の一部の縦断面図である。 図１及び２に示された真空脱気装置の一部の縦断面図である。

Claims (19)

1. １つ又は複数の液体を脱気するための真空脱気装置であって、
   （ａ）真空チャンバと、
   （ｂ）前記真空チャンバ内に配置され、前記真空チャンバの入口と出口との間で１つ又は複数の液体を操作可能に運ぶように構成された液体運搬部材と、
   （ｃ）前記真空チャンバを操作可能に空にするように構成されたポンプであって、連続した通気路を通じて通気されるポンプ・キャビティを有するポンプと、を有する真空脱気装置。
2. 前記通気路が、前記ポンプのヘッド部に配置される、請求項１に記載の真空脱気装置。
3. 前記通気路が、少なくとも約１０μｍの最小断面直径を有する、請求項１に記載の真空脱気装置。
4. 前記通気路が、毛細管の管腔により形成される、請求項１に記載の真空脱気装置。
5. 前記毛細管が、非金属材料から加工される、請求項４に記載の真空脱気装置。
6. 前記毛細管が、ガラスから加工される、請求項４に記載の真空脱気装置。
7. 前記通気路の入口に配置されるフィルタを有する、請求項１に記載の真空脱気装置。
8. 前記通気路の出口が、前記ポンプ・キャビティに直接隣接する、請求項７に記載の真空脱気装置。
9. 前記フィルタが、約１０μｍの最小孔サイズを有する焼結多孔質フリットである、請求項７に記載の真空脱気装置。
10. １つ又は複数の液体を脱気するための真空脱気装置であって、
    （ａ）真空チャンバと、
    （ｂ）前記真空チャンバ内に配置され、前記真空チャンバの入口と出口との間で１つ又は複数の液体を操作可能に運ぶように構成された液体運搬部材と、
    （ｃ）前記真空チャンバを操作可能に空にするように構成されたポンプであって、連続した通気路を通じて通気されるポンプ・キャビティを有するポンプと、を有する真空脱気装置。
11. 前記ポンプ・キャビティが、圧縮チャンバ及び入口チャンバから成る群から選択される、請求項１０に記載の真空脱気装置。
12. 連続した通気路が、前記入口チャンバ及び少なくとも１つの圧縮チャンバの各々に配置される、請求項１１に記載の真空脱気装置。
13. 前記通気路が、少なくとも約１０μｍの最小断面直径を有する、請求項１０に記載の真空脱気装置。
14. 前記通気路が、毛細管の管腔により形成される、請求項１０に記載の真空脱気装置。
15. 真空脱気装置におけるチャンバを操作可能に空にするのに用いるポンプであって、
    （ａ）前記チャンバと流体連通する１つ又は複数のポンプ・キャビティと、
    （ｂ）前記１つ又は複数のポンプ・キャビティの各１つと流体連通するように配置された出口を有する連続した通気路であって、前記ポンプ・キャビティにおける溶媒凝縮を防止するのに十分な流量で、前記ポンプ・キャビティ内に希薄ガス流を提供するように構成された通気路と、を有するポンプ。
16. 前記十分な希薄ガス流量が、
    Ｖ^ｇａｓ＝ｍ^ｓ×２２４００／ＭＷ^ｓ×（７５０／ｐ^ｓ−１））
    により定められる、請求項１５に記載のポンプ。
17. 前記通気路が、少なくとも約１０μｍの最小断面直径を有する、請求項１５に記載のポンプ。
18. 前記１つ又は複数のポンプ・キャビティが、圧縮チャンバ及び入口チャンバから成る群から選択される、請求項１５に記載のポンプ。
19. 連続した通気路が、前記入口チャンバ及び少なくとも１つの圧縮チャンバの各々に配置される、請求項１８に記載のポンプ。
    

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