JP2009536354A5 - - Google Patents

Claims (23)

1. 反射率データを得るシステムを校正する方法に於いて、該方法が
   第１校正サンプルから反射率データを得る過程と、
   第２校正サンプルから反射率データを得る過程と、を具備しており、該第１及び第２
   校正サンプルの少なくとも１つの正確な特性は該校正サンプルの仮定された特性から変わってもよく、該第１及び第２校正サンプルの反射特性は異なり、そして該方法は又
   該システムを校正するのに役立つために、該第１校正サンプルから得られたデータと、該第２校正サンプルから得られたデータと、に基づく比を利用する過程を具備することを特徴とする該方法。
2. 第１セットの反射率データは該第１校正サンプルから収集され、該第１校正サンプルは校正が望まれる第１波長領域で校正誤差関数を有しており、第２セットの反射率データは該第２校正サンプルから収集され、該第２校正サンプルは該第１波長領域で標準サンプルに比較してより少ないスペクトル的特徴を有することを特徴とする請求項１の該方法。
3. 該第１校正サンプルが該第２校正サンプル上のより薄い酸化物に比較してより厚い酸化物を有することを特徴とする請求項２の該方法。
4. 該第１校正サンプルがＳｉＯ₂／Ｓｉ構造体を有し、第２校正サンプルがＳｉＯ₂／Ｓｉ構造体を有することを特徴とする請求項３の該方法。
5. 該第２校正サンプル上の該より薄い酸化物が自然酸化物膜であることを特徴とする請求項４の該方法。
6. 該第１校正サンプルからの該反射率データが該第２校正サンプルからの該反射率データから分離されることを特徴とする請求項１の該方法。
7. 該第１校正サンプルが該第２校正サンプル上のより薄い酸化物に比較してより厚い酸化物を有することを特徴とする請求項６の該方法。
8. 該第２校正サンプル上の該薄い酸化物が自然酸化物であることを特徴とする請求項６の該方法。
9. 該第１校正サンプルがＳｉＯ₂／Ｓｉ構造体を有し、該第２校正サンプルがＳｉＯ₂／Ｓｉ構造体を有することを特徴とする請求項８の該方法。
10. 該第１校正サンプルが該第２校正サンプル上のより薄い酸化物に比べてより厚い酸化物を有することを特徴とする請求項１の該方法。
11. 該第１校正サンプルがＳｉＯ₂／Ｓｉ構造体を有し、該第２校正サンプルがＳｉＯ₂／Ｓｉ構造体を有することを特徴とする請求項１０の該方法。
12. 該第２校正サンプルがスペクトル的に無特色な基準サンプルであることを特徴とする請求項１０の該方法。
13. 該第１及び第２校正サンプルの反射率特性は、該第１及び第２校正サンプルの少なくとも１つの現実の物理的特性が、該第１及び第２校正サンプルの該得られた反射率輝度データに基づき計算されるよう、相互から分離されることを特徴とする請求項１０の該方法。
14. 該利用する過程が更に
    校正ルーチンを、該第１校正サンプルからの第１セットの反射率データを利用するよう、そして該第１セットの反射率データに少なくとも部分的に基づき該システムの第１校正を提供するよう、構成する過程と、そして
    該校正ルーチンを、該第２校正サンプルからの第２セットの反射率データを利用するよう構成する過程と、を備えており、該第２セットの反射率データが該第１セットの反射率データより少ない特徴を有することを特徴とする請求項１の該方法。
15. 該第１校正サンプルから得られるデータが輝度データであり、該第２校正サンプルから得られるデータが輝度データであることを特徴とする請求項１の該方法。
16. 反射率比が該第１及び第２校正サンプルの該輝度データから得られることを特徴とする請求項１５の該方法。
17. ソース輝度プロファイルが該反射率比の使用を通して得られ、未知サンプルの反射率が該ソース輝度プロファイルの使用により校正されることを特徴とする請求項１６の該方法。
18. 反射率計を校正する方法に於いて、該方法が
    第１校正サンプル及び第２校正サンプルを提供する過程を具備しており、該第１校正サンプル及び該第２校正サンプルの反射率特性は異なっており、該方法は又
    該第１校正サンプルから第１セットのデータを収集する過程と、
    該第２校正サンプルから第２セットのデータを収集する過程と、そして
    未知サンプルからの反射率データが校正されるよう、該第１及び第２校正サンプルの少なくとも１つの特性を決めるために、該第１セットのデータの少なくとも１部分と該第２セットのデータの少なくとも１部分の比を利用する過程と、を具備することを特徴とする該方法。
19. 深紫外（ＤＵＶ）波長の下の少なくとも幾らかの波長を含む波長で動作する反射率計を校正する方法に於いて、該方法が
    第１校正サンプル及び第２校正サンプルを提供する過程を具備しており、該第１校正サンプルと第２校正サンプルの反射率特性は異なっており、該方法は又
    第１校正サンプルからの第１セットのデータを収集する過程を具備しており、該第１セットのデータは、ＤＵＶ波長の下の波長について収集された少なくとも幾らかの輝度データを有しており、該方法は更に
    第２校正サンプルからの第２セットのデータを収集する過程を具備しており、該第２セットのデータは、ＤＵＶ波長の下の波長について収集された少なくとも幾らかの輝度データを有しており、そして該方法は又更に
    少なくとも幾らかのＤＵＶ波長を含む波長で、該反射率計の校正に役立つよう、該第１校正サンプル及び該第２校正サンプルの少なくとも１つの反射率を決定するために、該第１セットのデータと該第２セットのデータに基づく比を利用する過程を具備することを特徴とする該方法。
20. 反射率計データを解析する方法に於いて、該方法が
    第１反射率計サンプルと少なくとも第２反射率計サンプルとを提供する過程を具備しており、該第１校正サンプル及び該第２校正サンプルの光学的応答特性が異なっており、該方法が又
    該第１反射率計サンプルから第１セットの光学的応答データを収集する過程と、
    該第２反射率計サンプルから第２セットの光学的応答データを収集する過程と、そして
    該第１及び第２セットの光学的応答データを収集する時利用された入射反射率計輝度から独立した仕方で該第１セット及び第２セットの光学的応答データを利用することにより該第１及び第２反射率計サンプルの少なくとも１つの、少なくとも１つの特性を決定する過程と、を具備することを特徴とする該方法。
21. 反射率計を校正する方法に於いて、該方法が
    ２つ以上の校正サンプルを提供する過程を具備しており、該校正サンプルの反射率特性が相互に異なり、該方法が又
    該校正サンプルの各々から１セットの測定データを収集する過程と、そして
    該校正サンプルの少なくとも１つの特性を、未知サンプルからの反射率データが校正されるよう、決定するために、ソース輝度、Ｉ₀から独立の、該測定されたデータの組み合わせを利用する過程と、を具備することを特徴とする該方法。
22. 深紫外（ＤＵＶ）波長の下の少なくとも幾らかの波長を含む波長で動作する反射率計を校正する方法に於いて、該方法が、
    複数の校正サンプルを提供する過程を具備しており、少なくとも幾つかの該校正サンプルの該反射率特性は異なっており、該方法は又
    ＤＵＶ波長の下の波長について収集された少なくとも幾つかの輝度データを有する該校正サンプルからのデータセットを収集する過程と、そして
    ＤＵＶ波長の下の少なくとも幾らかの波長を含む波長で該反射率計の校正に役立つよう、該校正サンプルの少なくとも１つの反射率を決定するために、ソース輝度Ｉ₀から独立の該データセットの組み合わせを利用する過程と、を具備することを特徴とする該方法。
23. 反射率計データを解析する方法に於いて、該方法が
    ３つ以上の反射率計サンプルを提供する過程を具備しており、該反射率計サンプルの光学的応答特性は相互に別個であり、該方法は又
    該反射率計サンプルの各々から光学的応答データを収集する過程と、そして
    該光学的応答データのセットを収集時利用される入射反射率計輝度から独立の仕方で、該光学的応答データの該セットを利用することにより、該反射率計サンプルの少なくとも１つの、少なくとも１つの特性を決定する過程と、具備することを特徴とする該方法。