JP2009518629A - 超音波流量計を備えた気泡抑制流量コントローラ - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図3
Description
[0001]本発明の実施形態は、一般的には、化学機械的研磨システム内の基板を研磨するためのスラリー分配方法及び装置に関する。
[0002]化学機械的平坦化、又は化学機械的研磨(CMP)は、基板を平坦化するために用いられる一般の技術である。従来のCMP技術において、基板キャリヤ又は研磨ヘッドは、キャリヤアセンブリ上に取り付けられ、CMP装置において研磨製品と接触して位置決めされている。キャリヤアセンブリは、研磨用製品に対して基板を押し付ける基板に制御可能な圧力を与える。製品は、外部駆動力によって基板に相対して移動される。従って、CMP装置は、化学活性と機械活性の双方を行う研磨組成物を分散させつつ、基板表面と研磨用製品の間で研磨運動又は摩擦運動を行う。
[0033]スラリー分配アームのパージラインの窒素と流体分配マニホールドに導入された窒素は、流体分配システム内の小気泡の形成を促進し得る。流体は超音波流量計を通って流れるので、これらの気泡は特に厄介である。二方弁307がスラリー分配アームに進むスラリーの適した圧力低下条件を与えることから、図3によって示される実施形態は、図2によって示される実施形態より改善されたスラリー分配特性を有する。図2に示される実施形態は、流体がスラリー分配アームに分配されるので、圧力低下の問題を持つことがある。スラリー分配アームへのラインの背圧は気泡で満たされてしまい、気泡で満たされる場合には流量コントローラの機能性が落ちることから、一貫した流体容量を与える流量コントローラの能力を低下させる。流量コントローラとスラリー分配アームの間に遮断弁を置くことにより、圧力低下の問題が解決する。或いは、逆止め弁、デガッサ、又は同じ位置で後方への流れを防止する他の逆流リストリクターが、気泡形成問題を解決することができる。
Claims (17)
- スラリー溶液の分配のための装置であって:
流体調製マニホールドとスラリー分配アームの間に位置決めされた超音波流量計と;
比例弁と該スラリー分配アームの間に位置決めされた遮断弁と;
を含む、前記装置。 - コントローラと流量計コンバータを更に備える、請求項1に記載の装置。
- 該コントローラと流量計コンバータが、一つのアセンブリ内に収容されている、請求項2記載の装置。
- 該流量計と、比例弁とステッピングモータと、該遮断弁を包含するドローア(drawer)を更に備える、請求項1記載の装置。
- 該超音波流量計への注入口が、15psiを超える流れに設定されている、請求項1に記載の装置。
- 該流量計と該遮断弁の間に位置決めされた比例弁を更に備える、請求項1に記載の装置。
- 該比例弁に接続されたステッピングモータを更に備える、請求項6に記載の装置。
- 該超音波流量計への注入口が、約15mL/分〜約1.5L/分の流れに設定されている、請求項1に記載の装置。
- スラリー溶液の分配のための装置であって、
流体調製マニホールドから流体を受け取るように位置決めされた超音波流量計と;
該流量計と連通している比例弁とステッピングモータと;
該比例弁とスラリー分配アームと連通している逆方向流量リストリクターと;
を備える、前記装置。 - 該逆方向流量リストリクターが、デガッサ、二方弁、又は逆止め弁である、請求項9に記載の装置。
- コントローラと流量計コンバータを更に備える、請求項9に記載の装置。
- 該コントローラと流量計コンバータが、一つのアセンブリ内に収容されている、請求項11に記載の装置。
- 該流量計と比例弁とステッピングモータを包含するドローアを更に備える、請求項9に記載の装置。
- 該超音波流量計への注入口が、15psiを超える流れに設定されている、請求項9に記載の装置。
- 該比例弁が、該流量計と該遮断弁の間に位置決めされている、請求項9に記載の装置。
- 該ステッパモータが、該比例弁に接続されている、請求項15に記載の装置。
- 該超音波流量計への注入口が、約15mL/分〜約1.5L/分の流れに設定されている、請求項15に記載の装置。
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