JP2009506205A - Manufacturing method of nanostructured powder by wire explosion in liquid and manufacturing apparatus thereof - Google Patents

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Abstract

本発明は液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法およびその製造装置に関する。更に詳しく言えば、本発明の目的は、電気的爆発がその原理上、気体中であっても液体中であってもとりわけ相違しない点に着眼し、パルスパワーの特徴として、液体が低い伝導性を有するにもかかわらず、気体中と同様な原理を用いて電気的爆発を発生させることで金属ワイヤーを液中で気化させ、気化された蒸気の体積膨張を通して作られた空間内で金属ワイヤーのナノ構造粉末が生成されるようにした、液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法およびその製造装置を提供することにある。この目的を達成することで、本発明は、液体中へのナノ構造粉末の自然な分散、それ故に、粉末粒子間の凝集も、また、液体中で当該粉末が酸素と接触しないため、ナノ構造粉末の表面酸化も発生しないという利点を提供することができる。更に、工程数を削減したサイズ毎の分級が可能となり、それ故に、ナノ構造粉末の効果的な応用および経済的な波及効果という利点を提供する。
【選択図】図１The present invention relates to a method for producing nanostructured powder by submerged wire explosion and a production apparatus therefor. More specifically, the object of the present invention is to focus on the fact that the electrical explosion is not particularly different in principle in the gas or in the liquid, and the characteristic of the pulse power is that the liquid has low conductivity. In spite of having a gas, the metal wire is vaporized in the liquid by generating an electrical explosion using the same principle as in the gas, and the metal wire in the space created through the volume expansion of the vaporized vapor. An object of the present invention is to provide a method for producing a nanostructured powder by submerged wire explosion and an apparatus for producing the same, in which the nanostructured powder is produced. By achieving this objective, the present invention provides a natural dispersion of the nanostructured powder in the liquid, and hence aggregation between the powder particles, and also because the powder does not come into contact with oxygen in the liquid. The advantage that no surface oxidation of the powder occurs can be provided. Furthermore, classification by size with a reduced number of steps is possible, thus providing the advantages of effective application of the nanostructured powder and economic ripple effects.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は液中ワイヤー爆発（ｗｉｒｅ ｅｘｐｌｏｓｉｏｎ）によるナノ構造粉末の製造方法およびその製造装置に関し、更に詳しくは、従来の気体中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末を製造する時に起きていた問題、例えば、ナノ構造粉末粒子間の凝集現象、ナノ構造粉末表面の酸化現象などを防止することができ、また、優れた分散性によるナノ構造粉末のサイズ毎の分級が可能となり、その結果、ナノ構造粉末の効果的な応用および多大な経済的な波及効果を得ることができる液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法およびその製造装置に関する。     The present invention relates to a method of manufacturing a nanostructured powder by wire explosion in wire and an apparatus for manufacturing the same, and more particularly, a problem that has occurred when manufacturing nanostructured powder by a wire explosion in gas, for example, nanostructured powder. Agglomeration between structured powder particles, oxidation phenomenon on the surface of nanostructured powder, etc. can be prevented, and classification by size of nanostructured powder is possible due to excellent dispersibility. As a result, the effect of nanostructured powder TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing nanostructured powder by submerged wire explosion and an apparatus for manufacturing the same, which can obtain a practical application and a large economic ripple effect.

最近、新素材としてナノ構造粉末の技術開発はナノデバイスを含む新規分野の基盤技術として応用されているため、非常に重要であると認識されている。   Recently, technological development of nanostructured powder as a new material has been recognized as very important because it has been applied as a fundamental technology in new fields including nanodevices.

ナノ構造粉末の材料は、微細な物質構造（１００ｎｍ以下）とこれによる表面の増加により、既存の材料では得ることができない特異な電磁気的、機械的および触媒特性を示すことができ、それ故に、超高強度部品、磁性部品、熱電対、センサー、フィルター、触媒などの次世代の機能性素材として産業全般にかけて新しい需要を創出することは疑う余地がない。   Nanostructured powder materials can exhibit unique electromagnetic, mechanical and catalytic properties that cannot be obtained with existing materials due to the fine material structure (100 nm or less) and the resulting increase in surface, and therefore There is no doubt that it will create new demand for the industry as a next-generation functional material such as ultra-high-strength parts, magnetic parts, thermocouples, sensors, filters, and catalysts.

先端産業の発展により部品およびシステムの高性能化および小型化が進められており、現在は、ミクロンまたはサブミクロンの現象学的長さを有する構造粒子が、物理／化学／生物学的特性を決定するために使用されている。   Advances in advanced industries have led to higher performance and miniaturization of components and systems, and now structural particles with phenomenological lengths of micron or submicron determine physical / chemical / biological properties Has been used to.

従って、ナノ技術の重要性は、それが部品およびシステムの高性能化および小型化に対する既存技術の限界を克服することができる技術であり、更に、現象学的長さが減少することにより新しい性能が発現され得るため、未来技術の典型であると同時に、先端製品の開発に必須的な要素である、というところにある。   Therefore, the importance of nanotechnology is a technology that can overcome the limitations of existing technology for higher performance and miniaturization of components and systems, and new performance is reduced by reducing the phenomenological length. Is a typical future technology and at the same time is an essential element for the development of advanced products.

現在、特定の材料からナノ構造粉末を製造する方法として多様な方法が知られているが、その中、パルスパワーを利用したワイヤー爆発法によるナノ構造金属粉末の製造技術が広く知られており、今日も活発に研究されている。   Currently, various methods are known as methods for producing nanostructured powders from specific materials. Among them, nanostructured metal powder production technology by wire explosion using pulse power is widely known, It is actively researched today.

パルスパワーを利用したナノ構造粉末の製造方法は、産業応用の面で非常に重要な意義を有しているだけでなく、経済的にもナノ構造粉末の別の製造方法と比べて非常に有利である。   The manufacturing method of nanostructured powder using pulse power is not only very important for industrial application, but also economically advantageous compared to other manufacturing methods of nanostructured powder. It is.

パルスパワーを利用したワイヤー爆発法による既存のナノ構造金属粉末の製造方法は下記の通りである。   The manufacturing method of the existing nanostructure metal powder by the wire explosion method using pulse power is as follows.

気体中ワイヤー爆発がナノ構造金属粉末の従来の製造方法として用いられている。そして、それは空気もしくは不活性ガスを満たした所定のチャンバーを準備する段階と、チャンバー内に金属ワイヤーを供給する段階と、チャンバー内の金属ワイヤーをパルスパワーを利用して電気的に爆発させて蒸気化する段階と、不活性ガスにより冷却／凝縮して生成するナノ構造金属粉末を空気フィルターを利用して捕集する段階とを含めて実施される。   In-gas wire explosion has been used as a conventional method for producing nanostructured metal powders. Then, it prepares a predetermined chamber filled with air or inert gas, supplies a metal wire into the chamber, and electrically explodes the metal wire in the chamber using pulse power to generate steam. And a step of collecting the nanostructured metal powder generated by cooling / condensation with an inert gas using an air filter.

しかし、前述した気体中ワイヤー爆発法によるナノ構造粉末の従来の製造方法は下記のような問題点がある。   However, the conventional manufacturing method of the nanostructured powder by the above-described gas wire explosion method has the following problems.

第１に、大部分のナノ構造金属粉末は空気中に露出されて酸化され易いという欠点を有し、工程中に粉塵爆発の危険性が内在されているため、取り扱いが困難である。   First, most nanostructured metal powders have the disadvantage of being exposed to air and susceptible to oxidation and are difficult to handle due to the inherent risk of dust explosion during the process.

第２に、ナノ構造粉末の製造工程において、チャンバー内に堆積される粉末により引き起こされる絶縁破壊が頻発するため、堆積された粉末を定期的に掃除しなければならないという不便さがあり、これにより生産性および作業性が大きく低下するという欠点もまたある。   Second, in the manufacturing process of the nanostructured powder, the dielectric breakdown caused by the powder deposited in the chamber frequently occurs, so that the deposited powder has to be cleaned regularly, There is also the disadvantage that productivity and workability are greatly reduced.

第３に、空気中で捕集されるナノ構造粉末はその特性上凝集し易く、そのサイズ毎に分級することが困難である。   Thirdly, the nanostructured powder collected in the air tends to aggregate due to its characteristics, and is difficult to classify according to its size.

第４に、凝集された粉末を利用するためには、ナノ構造粉末を分散剤中に分散させる必須的な工程が更に必要であるため、工程上非効率的であり、非経済的である側面がある。   Fourthly, in order to use the agglomerated powder, an essential step of dispersing the nanostructured powder in the dispersant is further required, which is an inefficient and uneconomical aspect of the process. There is.

本発明は前記のような点を勘案して研究、開発したものであり、電気的爆発がその原理上、気体中であっても液体中であってもとりわけ相違しない点に着眼し、従って、本発明の目的は、パルスパワーの特徴として、液体が低い伝導性を有するにもかかわらず、気体中と同様な原理を用いて電気的爆発を発生させることで金属ワイヤーを液中で気化させることができ、気化された蒸気の体積膨張を通して作られた空間内で金属ワイヤーのナノ構造粉末が生成されるようにした液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法およびその製造装置を提供することにある。   The present invention has been researched and developed in view of the above points, focusing on the fact that the electrical explosion is not particularly different in the gas or liquid in principle. The purpose of the present invention is to vaporize a metal wire in a liquid by generating an electrical explosion using the same principle as in a gas even though the liquid has low conductivity as a feature of pulse power. To provide a method for producing nanostructured powder by submerged wire explosion and a production apparatus thereof, in which nanostructured powder of metal wire is generated in a space created through volume expansion of vaporized vapor is there.

このような本発明の方法により生成されたナノ構造粉末は液体の中に自然に分散され、粉末粒子同士が凝集する現象が全く発生せず、更に、液体中で酸素と接触しないため、粉末の表面酸化が発生しないという利点を提供することができる。   Since the nanostructured powder produced by the method of the present invention is naturally dispersed in the liquid, the phenomenon that the powder particles are aggregated does not occur at all, and further, it does not come into contact with oxygen in the liquid. The advantage that no surface oxidation occurs can be provided.

前記目的を達成するために、液体（分散溶媒）を満たしたチャンバー内でパルスパワーを利用して金属ワイヤーを電気的に爆発させる第１工程と、金属ワイヤーを液中で気化させることによりナノ構造粉末を生成させる第２工程と、生成されたナノ構造粉末を濃縮または捕集する第３工程を具備する液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法。   In order to achieve the above object, a first step of electrically exploding a metal wire using a pulse power in a chamber filled with a liquid (dispersion solvent) and a nanostructure by vaporizing the metal wire in the liquid A method for producing nanostructured powder by submerged wire explosion, comprising a second step of producing a powder and a third step of concentrating or collecting the produced nanostructured powder.

好ましい実施態様として、前記第１工程は、液体が満たされたチャンバーを準備する段階と、前記チャンバーの上部から金属ワイヤーを液中に連続的に供給する段階と、前記液中の金属ワイヤーに０．１〜１００ｋＪのパルスパワーを流して電気的爆発を発生させる段階を含んで進行することを特徴とする。   As a preferred embodiment, the first step includes a step of preparing a chamber filled with a liquid, a step of continuously supplying a metal wire into the liquid from the top of the chamber, and a step of supplying zero to the metal wire in the liquid. The method includes a step of generating an electrical explosion by applying a pulse power of 1 to 100 kJ.

別の好ましい実施態様として、前記第２工程は、電気的爆発により金属ワイヤーが液中で気化される段階と、気化された蒸気の体積膨張により作られた空間に金属ワイヤーのナノ構造粉末が生成される段階とを含むことを特徴とする。   In another preferred embodiment, the second step includes the step of vaporizing the metal wire in the liquid by an electrical explosion and the formation of nanostructured powder of the metal wire in the space created by the volume expansion of the vaporized vapor. Comprising the steps of:

また別の好ましい実施態様として、前記第３工程は、ナノ構造粉末が分散（懸濁；ｓｕｓｐｅｎｄｅｄ）されている液体をチャンバーから排出する段階と、排出された液体をスプレーを利用して捕集フィルターに均一に注入する段階と、捕集フィルターにより濾過されたナノ構造粉末を回収する段階とを含むことを特徴とする。   In another preferred embodiment, the third step includes a step of discharging the liquid in which the nanostructured powder is dispersed (suspended) from the chamber, and a filter for collecting the discharged liquid using a spray. And a step of recovering the nanostructured powder filtered by the collection filter.

また、前記第３工程は、ナノ構造粉末が分散（懸濁）されている液体をチャンバーから排出する段階と、ナノ構造粉末を捕集又は濃縮して回収するために、排出された液体を蒸発分類法（ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ ｃｌａｓｓｉｆｉｃａｔｉｏｎ ｍｅｔｈｏｄ）により濃縮する段階とを含むことを特徴とする。   The third step includes discharging the liquid in which the nanostructured powder is dispersed (suspended) from the chamber, and evaporating the discharged liquid in order to collect or concentrate and collect the nanostructured powder. And a step of enrichment by an evaporation classification method.

この時、主な特徴は、前記液体（分散溶媒）がオイル、蒸留水、絶縁油、溶剤、アセトン、エタノールまたは揮発油の中から選択されるいずれか一つであったことにある。   At this time, the main feature is that the liquid (dispersion solvent) is any one selected from oil, distilled water, insulating oil, solvent, acetone, ethanol or volatile oil.

特に、主な特徴の一つは、ナノ構造粉末をサイズ毎に分級しながら捕集するために、メッシュサイズ（穴の直径）が互いに異なる捕集フィルターが垂直方向に多数個配置されることにある。   In particular, one of the main features is that a large number of collection filters with different mesh sizes (hole diameters) are arranged in the vertical direction in order to collect the nanostructured powder while classifying it by size. is there.

また、別の特徴は、前記捕集フィルターで濾過されたナノ構造粉末を回収する際、ナノ構造粉末が液体（分散溶媒）で覆われた状態で回収されることにある。   Another feature is that when the nanostructured powder filtered by the collection filter is recovered, the nanostructured powder is recovered in a state of being covered with a liquid (dispersion solvent).

更に、別の特徴は、前記捕集フィルターを通過した液体を液体循環モーターにより前記チャンバー内に再流入させることにある。   Furthermore, another feature is that the liquid that has passed through the collection filter is reflowed into the chamber by a liquid circulation motor.

前記目的を達成するために、絶縁体により上部空間と下部空間に分離された構造のチャンバーと、前記下部空間に満たされた液体（分散溶媒）と、前記上部空間に設置されるワイヤー供給装置と、前記下部空間に設置されるワイヤー爆発装置と、前記下部空間の底部の角の位置と連通するように配置されるナノ構造粉末捕集装置と、前記ナノ構造粉末捕集装置から前記下部空間に液体を再循環させるための再循環装置を具備する、液中ワイヤー爆発によってナノ構造粉末を製造する装置が提供される。   To achieve the object, a chamber having a structure separated into an upper space and a lower space by an insulator, a liquid (dispersed solvent) filled in the lower space, and a wire supply device installed in the upper space; , A wire explosion device installed in the lower space, a nanostructured powder collecting device arranged to communicate with a position of a corner of the bottom of the lower space, and the nanostructured powder collecting device from the nanostructured powder collecting device to the lower space. An apparatus is provided for producing nanostructured powder by submerged wire explosion, comprising a recirculation device for recirculating liquid.

好ましい実施態様として、前記チャンバーの絶縁体は、その中にワイヤーを供給する中空ワイヤーガイドが装着され、液体が満たされた前記下部空間には接地電極が更に装着されることを特徴とする。   As a preferred embodiment, the insulator of the chamber is provided with a hollow wire guide for supplying a wire therein, and a ground electrode is further attached in the lower space filled with the liquid.

別の好ましい実施態様として、前記ワイヤー供給装置は、金属ワイヤーが巻かれたワイヤーロールと、このワイヤーロールから展開されるワイヤーをワイヤーガイドを通して前記下部空間に供給させる一対の供給用ローラーと、前記ワイヤーロールおよび一対の供給用ローラーの回転軸に接続された電気モーターを含むことを特徴とする。   As another preferred embodiment, the wire supply device includes a wire roll wound with a metal wire, a pair of supply rollers for supplying a wire developed from the wire roll to the lower space through a wire guide, and the wire It includes an electric motor connected to a rotating shaft of a roll and a pair of supply rollers.

また別の好ましい実施態様として、前記ワイヤー爆発装置は、前記チャンバーの下部空間の底面に装着される高電圧電極と、前記高電圧電極と接続されるトリガースイッチと、前記スイッチと接続されるキャパシタと、前記キャパシタを高電圧で充電させる充電装置と、前記供給モーターの回転角を感知して前記スイッチにトリガーシグナルを発生させる制御部を含むことを特徴とする。   As another preferred embodiment, the wire explosion device includes a high voltage electrode attached to a bottom surface of a lower space of the chamber, a trigger switch connected to the high voltage electrode, and a capacitor connected to the switch. And a charging device for charging the capacitor with a high voltage, and a controller for detecting a rotation angle of the supply motor and generating a trigger signal for the switch.

更に、前記ナノ構造粉末捕集装置は、所定容積の貯蔵タンクと、前記チャンバーの下部空間と前記貯蔵タンクの上部空間を連通するように接続したバルブ埋設パイプ（ｖａｌｖｅ ｉｍｂｅｄｄｅｄ ｐｉｐｅ）と、前記パイプの先端に一体に装着され、前記貯蔵タンクの上端部空間に配置されるスプレーと、前記貯蔵タンクの内部空間でスプレーの下側に垂直方向に等間隔に装着される多数個の捕集フィルターを含むことを特徴とする。   Further, the nanostructured powder collecting apparatus includes a storage tank having a predetermined volume, a valve embedded pipe connected so as to communicate the lower space of the chamber and the upper space of the storage tank, A spray that is integrally mounted at the tip and disposed in the upper end space of the storage tank, and a plurality of collection filters that are mounted at equal intervals vertically below the spray in the inner space of the storage tank. It is characterized by that.

この時、前記多数個の捕集フィルターは、上位にはメッシュサイズ（穴の直径）の大きいものが設置され、下位にはメッシュサイズの小さいものが設置されることを特徴とする。   At this time, the large number of the collection filters are provided with a large mesh size (diameter of the hole) at the upper level and a small mesh size at the lower level.

更に、前記再循環装置は、前記貯蔵タンクの下端部と前記チャンバーの下部空間の上端部間を連通するように接続された循環パイプと、この循環パイプに装着される開閉バルブと、液体循環用ポンプを含むことを特徴とする。   Further, the recirculation device includes a circulation pipe connected to communicate between a lower end portion of the storage tank and an upper end portion of the lower space of the chamber, an open / close valve attached to the circulation pipe, and a liquid circulation device. It is characterized by including a pump.

以下、本発明の好ましい実施態様を添付図面を参照にして詳しく説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

ここに説明するように、添付図１は本発明による液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造装置を表す構成図であり、図２は本発明による液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法を説明するフローチャートである。   As shown here, FIG. 1 is a block diagram showing a nanostructured powder production apparatus by submerged wire explosion according to the present invention, and FIG. 2 shows a nanostructured powder production method by submerged wire explosion according to the present invention. It is a flowchart to explain.

前述した通り、本発明の主要目的は、液中で金属ワイヤーにパルスパワーを加え、電気的なワイヤー爆発を発生させることで、金属ワイヤーのナノ構造粉末が液中で自然に分散されるという利点を備え、粉末粒子同士が凝集する現象が全く発生せず、また、液中で粉末が酸素と接触しないため、粉末の表面酸化が発生しないという点にある。   As described above, the main object of the present invention is to apply a pulse power to the metal wire in the liquid to generate an electrical wire explosion, so that the nanostructured powder of the metal wire is naturally dispersed in the liquid. In other words, the powder particles are not aggregated at all, and the powder does not come into contact with oxygen in the liquid, so that the surface oxidation of the powder does not occur.

本発明によるナノ構造粉末の製造装置の各構成に対する詳細な説明と合せて、ナノ構造粉末の製造方法を詳しく説明する。   The method for producing nanostructured powder will be described in detail together with the detailed description of each configuration of the nanostructured powder producing apparatus according to the present invention.

本発明に従ってナノ構造粉末の製造装置内で電気的爆発が行われる場所として、所定の容積を有するチャンバー１０が準備され、このチャンバー１０の内部は板状の絶縁体１６により上部空間１２および下部空間１４に分けられる。   In accordance with the present invention, a chamber 10 having a predetermined volume is prepared as a place where an electrical explosion is performed in the nanostructured powder manufacturing apparatus, and the interior of the chamber 10 is formed by a plate-like insulator 16 and an upper space 12 and a lower space. It is divided into 14.

前記下部空間１４には液体（分散溶媒）が満たされ、この液体としてオイル、蒸留水、絶縁油、溶剤、アセトン、エタノール、または揮発油の中から選択されたいずれか一つを利用することができる。   The lower space 14 is filled with a liquid (dispersion solvent), and any one selected from oil, distilled water, insulating oil, solvent, acetone, ethanol, or volatile oil may be used as the liquid. it can.

前記上部空間１２にはワイヤー供給装置が備えられ、このワイヤー供給装置は金属ワイヤー１８が巻かれて貯蔵されるワイヤーロール２０と、このワイヤーロール２０から展開される金属ワイヤー１８を下側に供給させる一対の供給用ローラー２２を含む。   The upper space 12 is provided with a wire supply device. The wire supply device supplies a wire roll 20 in which a metal wire 18 is wound and stored, and a metal wire 18 developed from the wire roll 20 to the lower side. A pair of supply rollers 22 is included.

さらに、前記ワイヤーロール２０と一対の供給用ローラー２２の回転軸には電気モーター（図示せず）が接続される。   Further, an electric motor (not shown) is connected to the rotating shafts of the wire roll 20 and the pair of supply rollers 22.

一方、前記一対の供給用ローラー２２により下側に供給される金属ワイヤー１８が前記下部空間１４に提供される経路として、前記チャンバー１０の絶縁体１６には中空のワイヤーガイド２４が上下に貫通するように装着される。   Meanwhile, a hollow wire guide 24 vertically penetrates the insulator 16 of the chamber 10 as a path through which the metal wire 18 supplied downward by the pair of supply rollers 22 is provided to the lower space 14. To be fitted.

更に、前記下部空間１４には液体の中に浸された状態で接地電極２６が取り付けられ、後述する通り、電気的爆発に対する接地手段の役割を行う。   Further, a ground electrode 26 is attached to the lower space 14 while being immersed in a liquid, and serves as a grounding means for an electrical explosion as will be described later.

ここで、前記下部空間１４の底側にはワイヤー爆発装置が設置される。   Here, a wire explosion device is installed on the bottom side of the lower space 14.

前記ワイヤー爆発装置の一構成として、チャンバー１０の下部空間１４の底部に高電圧電極２８が装着され、前記下部空間１４の外側に前記高電圧電極２８と接続されるスパークギャップスイッチ３０が配置される。   As one configuration of the wire explosion device, a high voltage electrode 28 is attached to the bottom of the lower space 14 of the chamber 10, and a spark gap switch 30 connected to the high voltage electrode 28 is disposed outside the lower space 14. .

さらに、前記スイッチ３０には高電圧で充電されたキャパシタ３２が接続され、このキャパシタ３２には高電圧を充電する充電装置３４が接続される。   Further, a capacitor 32 charged with a high voltage is connected to the switch 30, and a charging device 34 for charging the high voltage is connected to the capacitor 32.

特に、前記スイッチ３０には制御装置３６が接続され、この制御装置３６は前記一対の供給用ローラー２２に回転駆動力を供給する電気モーター（図示せず）の回転角またはワイヤーが電極に接触することにより発生する抵抗の減少を感知し、前記スイッチ３０にトリガーシグナルを発生させる制御を行う。   In particular, a control device 36 is connected to the switch 30, and the control device 36 contacts the electrode with the rotation angle or wire of an electric motor (not shown) that supplies a rotational driving force to the pair of supply rollers 22. Thus, a decrease in resistance is detected, and the switch 30 is controlled to generate a trigger signal.

ここにおいて、前記ワイヤー供給装置およびワイヤー爆発装置により前記チャンバー１０の下部空間１４で金属ワイヤー１８のナノ構造粉末を製造する過程は、以下の通り説明され得る。   Here, a process of manufacturing the nanostructured powder of the metal wire 18 in the lower space 14 of the chamber 10 by the wire supply device and the wire explosion device may be described as follows.

前記ワイヤー供給装置のワイヤーロール２０が一方向に回転し、この展開された金属ワイヤー１８は一対の供給用ローラー２２により前記チャンバー１０の下部空間１４に供給される。   The wire roll 20 of the wire supply device rotates in one direction, and the developed metal wire 18 is supplied to the lower space 14 of the chamber 10 by a pair of supply rollers 22.

即ち、前記一対の供給用ローラー２２により下側に供給される金属ワイヤー１８は、前記ワイヤーガイド２４を通して前記下部空間１４の高電圧電極２８に連続的に供給される。   That is, the metal wire 18 supplied to the lower side by the pair of supply rollers 22 is continuously supplied to the high voltage electrode 28 in the lower space 14 through the wire guide 24.

次に、前記制御装置３６が一対の供給用ローラー２２を回転駆動させる電気モーター（図示せず）の回転角またはワイヤーが電極に接触することで発生する抵抗の減少を感知し、前記スイッチ３０にトリガーシグナルを送ると、スイッチのオンと共に、前記キャパシタ３２から供給されるパルスパワーが高電圧電極２８を経由して前記金属ワイヤーに流れ、電気的なワイヤー爆発が起きる。   Next, the control device 36 senses a rotation angle of an electric motor (not shown) that drives the pair of supply rollers 22 to rotate or a decrease in resistance that occurs when the wire contacts the electrode, and When a trigger signal is sent, the pulse power supplied from the capacitor 32 flows to the metal wire via the high voltage electrode 28 as the switch is turned on, and an electrical wire explosion occurs.

この時、液中の前記金属ワイヤーに０．１〜１００ｋＪのパルスパワーが流れ、ワイヤー爆発が発生する。   At this time, a pulse power of 0.1 to 100 kJ flows through the metal wire in the liquid, and a wire explosion occurs.

このような電気的爆発と共に金属ワイヤー１８が液中で気化され、気化された蒸気の体積膨張により作られた空間に金属ワイヤー１８のナノ構造粉末が生成される。   With such an electrical explosion, the metal wire 18 is vaporized in the liquid, and nanostructured powder of the metal wire 18 is generated in the space created by the volume expansion of the vaporized vapor.

ここにおいて、上記のように生成されたナノ構造粉末を捕集する装置およびその過程は、以下の通り説明され得る。   Here, the apparatus and process for collecting the nanostructured powder generated as described above can be described as follows.

前記ナノ構造粉末捕集装置の一構成として、所定容積の貯蔵タンク４０が具備され、前記貯蔵タンク４０の内部空間の上部側が、前記チャンバー１０の下部空間１４の角の位置とバルブ埋設パイプ４２により連通されるように連結される。   As one configuration of the nanostructured powder collecting apparatus, a storage tank 40 having a predetermined volume is provided, and the upper side of the internal space of the storage tank 40 is formed by a corner position of the lower space 14 of the chamber 10 and a valve embedded pipe 42. It is connected so that it may communicate.

更に、前記貯蔵タンク４０の内部で前記パイプ４２の先端に下側に広くなる形状のスプレー４４が付着され、そのスプレーの下側の貯蔵タンク４０の内部空間には垂直方向に等間隔に多数個の捕集フィルター４６が付着される。   Further, a spray 44 having a shape that widens downward is attached to the tip of the pipe 42 inside the storage tank 40, and a plurality of sprays 44 are vertically spaced in the internal space of the storage tank 40 below the spray. A collection filter 46 is attached.

この時、前記多数個の捕集フィルター４６のうち、上位にメッシュサイズ（穴の直径）の大きい捕集フィルターを装着し、下位にメッシュサイズの小さい捕集フィルターを装着し、それによって、ナノ構造粉末がサイズ毎に選別捕集されるようにする。   At this time, among the multiple collection filters 46, a collection filter with a large mesh size (hole diameter) is attached to the upper part, and a collection filter with a small mesh size is attached to the lower part, thereby forming a nanostructure. The powder is collected by size.

ここにおいて、上記のような構成からなるナノ構造粉末捕集装置によりナノ構造粉末が捕集される状態は、以下の通り説明され得る。   Here, the state in which the nanostructured powder is collected by the nanostructured powder collecting apparatus having the above-described configuration can be described as follows.

前述した通り、電気的爆発により金属ワイヤー１８のナノ構造粉末が液中に分散（懸濁）された液体が前記チャンバー１０から排出され、排出された液体は前記バルブ埋設パイプ４２を経てスプレー４４に供給され、このスプレー４４を通して前記捕集フィルター４６に均一に注入される。   As described above, the liquid in which the nanostructure powder of the metal wire 18 is dispersed (suspended) in the liquid by the electrical explosion is discharged from the chamber 10, and the discharged liquid is transferred to the spray 44 through the valve embedded pipe 42. It is supplied and uniformly injected into the collection filter 46 through the spray 44.

従って、最上側の捕集フィルター４６には最も大きいサイズのナノ構造粉末が濾過され、最下側の捕集フィルター４６には最も小さいサイズのナノ構造粉末が濾過され、それによって、ナノ構造粉末がサイズ毎に分級されながら捕集される。   Accordingly, the largest size nanostructured powder is filtered through the uppermost collection filter 46, and the smallest size nanostructured powder is filtered through the lowermost collection filter 46, thereby producing the nanostructured powder. Collected while being classified by size.

この時、前記捕集フィルター４６にて濾過されたナノ構造粉末を回収する時、ナノ構造粉末の空気との接触による酸化を防止するために、ナノ構造粉末を液体（分散溶媒）に覆われた（浸漬された）状態で捕集することがより好ましい。   At this time, when the nanostructured powder filtered by the collection filter 46 is recovered, the nanostructured powder is covered with a liquid (dispersion solvent) in order to prevent oxidation of the nanostructured powder due to contact with air. It is more preferable to collect in the (immersed) state.

一方、本発明のナノ構造粉末の製造装置は排出された液体を前記チャンバー１０の下部空間１４に再循環させる再循環装置を更に含む。   Meanwhile, the nanostructured powder manufacturing apparatus of the present invention further includes a recirculation device for recirculating the discharged liquid to the lower space 14 of the chamber 10.

前記再循環装置は、貯蔵タンク４０の下端部と前記チャンバー１０の下部空間１４を接続する循環パイプ４８と、この循環パイプ４８に装着される開閉バルブ５０と、液体循環用ポンプ５２を含む。   The recirculation device includes a circulation pipe 48 connecting the lower end of the storage tank 40 and the lower space 14 of the chamber 10, an open / close valve 50 attached to the circulation pipe 48, and a liquid circulation pump 52.

それ故に、前記捕集フィルター４６を通過してナノ構造粉末が濾過された状態の液体は、前記循環ポンプ５２により送り出され、前記チャンバー１０の下部空間１４に再流入される。   Therefore, the liquid in which the nanostructured powder has been filtered through the collection filter 46 is sent out by the circulation pump 52 and reflowed into the lower space 14 of the chamber 10.

上記のように、液中で金属ワイヤーにパルスパワーを加えて電気的爆発を引き起こすことで、金属ワイヤーのナノ構造粉末が生成、分散され、それによって、ナノ構造粉末粒子同士の凝集を防止する。特に、液中でナノ構造粉末が生成されるため、空気との接触が遮断され、それ故に、酸化を効率的に防止する。更に、前記液中のナノ構造粉末はサイズ毎に選択的に捕集され得る。それ故に、サイズ毎に分級が可能である。   As described above, by applying pulse power to the metal wire in the liquid to cause an electrical explosion, the nanostructured powder of the metal wire is generated and dispersed, thereby preventing aggregation of the nanostructured powder particles. In particular, since nanostructured powder is produced in the liquid, contact with air is interrupted, thus preventing oxidation efficiently. Furthermore, the nanostructured powder in the liquid can be selectively collected for each size. Therefore, classification is possible for each size.

以下、本発明を実施例を通してより具体的に説明するが、これら実施例により本発明の範囲が限定されないことは当分野で通常の知識を有する者において自明である。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail through examples, but it is obvious to those skilled in the art that the scope of the present invention is not limited by these examples.

実施例１−４
本発明によるナノ構造粉末の製造方法の実施例として、所定のチャンバーに液体（蒸留水）を満たした後、この液体の中に銀（Ａｇ）ワイヤーを供給し、各々１、２、３、４ｋＪのパルスパワーを流して電気的な爆発を発生させ、この電気的な爆発により液中に金属ワイヤーのナノ構造粉末が分散状態で生成された。 Example 1-4
As an embodiment of the method for producing the nanostructured powder according to the present invention, after a predetermined chamber is filled with a liquid (distilled water), a silver (Ag) wire is supplied into the liquid, and 1, 2, 3, 4 kJ, respectively. An electric explosion was generated by applying a pulse power of, and the nanostructured powder of metal wire was generated in a dispersed state in the liquid by this electrical explosion.

更に詳しくは、図３の高速度撮影写真から分かるように、直径０．３ｍｍ、長さ２５ｍｍの銀ワイヤーを蒸留水に浸けた状態で各々１、２、３、４ｋＪのパルスパワーを流して電気的な爆発を発生させることによって、衝撃波により液中に生成された空間内で金属蒸気プラズマが発生し、同時に金属（銀）蒸気が凝縮されてナノ構造粉末を生成し、結局、液中にナノ構造銀粉末が分散された。   More specifically, as can be seen from the high-speed photography shown in FIG. 3, with a silver wire having a diameter of 0.3 mm and a length of 25 mm soaked in distilled water, a pulse power of 1, 2, 3, 4 kJ is applied to each of the electric wires. By generating a general explosion, a metal vapor plasma is generated in the space generated in the liquid by the shock wave, and at the same time, the metal (silver) vapor is condensed to produce a nanostructured powder. Structural silver powder was dispersed.

次いで、液中のナノ構造アルミニウム粉末が多数個の捕集フィルターを利用してサイズ毎に選択的に捕集された。   Next, the nanostructured aluminum powder in the liquid was selectively collected by size using a number of collection filters.

実施例５
本発明によるナノ構造粉末の製造方法の実施例として、所定のチャンバーに液体（アセトン）を満たした後、直径０．３ｍｍ、長さ４０ｍｍの銅ワイヤーにアセトン溶媒の中で２００回放電してナノ構造粉末を製造し、観察のためロータリー・エバボレーター（ｒｏｔａｒｙ ｅｖａｐｏｒａｔｏｒ）を利用してナノ構造粉末を捕集した。 Example 5
As an embodiment of the method for producing a nanostructured powder according to the present invention, after filling a predetermined chamber with a liquid (acetone), a copper wire having a diameter of 0.3 mm and a length of 40 mm is discharged 200 times in an acetone solvent in a nano-size. A structured powder was produced and the nanostructured powder was collected using a rotary evaporator for observation.

比較例１
既存のナノ構造粉末の製造方法に従って、チャンバー内（気体中）の銀ワイヤーに２ｋＪのパルスパワーを流して電気的な爆発を発生させ、この電気的な爆発により気体中でアルミニウム金属ワイヤーのナノ構造粉末が冷却／凝縮され、そして生成された。 Comparative Example 1
According to an existing method for producing nanostructured powder, a pulse power of 2 kJ is applied to the silver wire in the chamber (in the gas) to generate an electrical explosion, and this electrical explosion causes the nanostructure of the aluminum metal wire in the gas. The powder was cooled / condensed and produced.

比較例２
既存のナノ構造粉末の製造方法に従って、チャンバー内（気体中）の銀ワイヤーに２ｋＪのパルスパワーを流して電気的な爆発を発生させ、この電気的な爆発により気体中で銅金属ワイヤーのナノ構造粉末が冷却／凝縮され、そして生成された。 Comparative Example 2
In accordance with an existing method for producing nanostructured powder, a pulse power of 2 kJ is applied to the silver wire in the chamber (in the gas) to generate an electrical explosion, and this electrical explosion causes the nanostructure of the copper metal wire in the gas. The powder was cooled / condensed and produced.

実験例１
電圧電流波形実験
ここに説明するように、図４は液中ワイヤー爆発の電圧および電流波形を表す。 Experimental example 1
Voltage Current Waveform Experiment As described herein, FIG. 4 represents the voltage and current waveforms of a submerged wire explosion.

電流曲線は電気的爆発によって示される特徴を適切に表している。即ち、気化による導電性の喪失とそれによる急激な電流の減少を見せている。   The current curve adequately represents the characteristics exhibited by the electrical explosion. That is, it shows a loss of conductivity due to vaporization and a sudden decrease in current.

更に、電流曲線は、爆発の瞬間発生するプラズマによる電流の通電回復に伴う、急激な電流減少の解消過程および減衰振動モードへの転換過程を適切に表している。また、電圧曲線は放電開始と共に減少した後、ワイヤーが爆発する瞬間、若干増加する特徴を見せている。   Furthermore, the current curve appropriately represents the process of eliminating the sudden current decrease and the process of switching to the damped oscillation mode accompanying the recovery of current supply by the plasma generated at the moment of explosion. In addition, the voltage curve shows a characteristic of increasing slightly at the moment when the wire explodes after decreasing with the start of discharge.

ここに説明するように、図５は液中ワイヤー爆発により製造されたナノ構造銀粉末のＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）写真である。ナノ構造粉末は約１００ｎｍの球形のナノ粒子からなることが分かり、図６のＸ線回折法による分析を通して製造されたナノ構造粉末が純粋なナノ構造銀粉末であることを確認した。ここで、ＸＲＤ分析は物質の結晶構造を照射し、どのような物質であるかを調べる分析法であり、図６に示されているように、どのような物質であるかを想定するために、ピークの位置と大きさが既に知られたデータベースと比較される。図６のグラフは全体として銀物質のピークを持つ。   As described herein, FIG. 5 is a SEM (scanning electron microscope) photograph of nanostructured silver powder produced by submerged wire explosion. The nanostructured powder was found to be composed of spherical nanoparticles of about 100 nm, and it was confirmed that the nanostructured powder produced through the X-ray diffraction analysis of FIG. 6 was a pure nanostructured silver powder. Here, XRD analysis is an analysis method for examining what kind of substance is irradiated by irradiating the crystal structure of the substance, and in order to assume what kind of substance it is as shown in FIG. The peak position and size are compared with a known database. The graph of FIG. 6 has a silver substance peak as a whole.

このように、本発明の実施例１−４に従って電気的な爆発により液中にナノ構造銀粉末が生成、分散され、比較例によって気体中で生成されたナノ構造粉末に比べ、約１００ｎｍの均一な球形ナノ粒子を得ることができることが確認された。   As described above, nanostructured silver powder is produced and dispersed in the liquid by electrical explosion according to Example 1-4 of the present invention, and is approximately 100 nm more uniform than the nanostructured powder produced in the gas by the comparative example. It was confirmed that a spherical nanoparticle can be obtained.

実験例２
本発明の実施例１−４に従って液中で製造されたナノ構造銀粉末と、比較例によって気体中で製造されたナノ構造銀粉末の沈殿状態の実験が実施された。その結果は図７の写真に表されるとおりである。 Experimental example 2
Experiments were performed on the precipitation state of nanostructured silver powder produced in liquid according to Examples 1-4 of the present invention and nanostructured silver powder produced in gas according to the comparative example. The result is as shown in the photograph of FIG.

図７の（ａ）および（ｂ）の写真において、左側２個の瓶に詰められたナノ構造銀粉末は、気体中で製造されたナノ構造粉末であり、４日後、沈殿により色が透明に変化することが観察され、ナノ粒子同士が互いに凝集した。   In the photographs of FIGS. 7 (a) and (b), the nanostructured silver powder packed in the two bottles on the left side is a nanostructured powder produced in gas, and after 4 days, the color becomes transparent by precipitation. The change was observed and the nanoparticles aggregated together.

反面、本発明に従って液中で製造されたナノ構造銀粉末（図７（ａ）および（ｂ）の写真において最も右側にある瓶に詰められたもの）は、４日が過ぎても液中に均一に分散され、沈殿せず、更に、各粉末粒子同士が互いに凝集しなかった。   On the other hand, the nanostructured silver powder produced in the liquid according to the present invention (packed in the rightmost bottle in the photographs of FIGS. 7 (a) and (b)) is still in the liquid after 4 days. It was uniformly dispersed, did not precipitate, and the powder particles did not aggregate with each other.

上述したように、良好な品質のナノ構造粉末を製造するために、本発明による液中でのナノ構造粉末の製造方法が既存の気体中でのナノ構造粉末の製造方法に比べてはるかに優れ、経済的であり、効果的である。   As described above, in order to produce good quality nanostructured powder, the method for producing nanostructured powder in liquid according to the present invention is far superior to the method for producing nanostructured powder in existing gas. It is economical and effective.

実験例３
実施例５によって製造された銅粉末を捕集し、電子顕微鏡で撮影し、そのＳＥＭ写真を図８に示した。ＢＥＴで測定した比表面積は４０．８４ｍ２／ｇであり、直径に換算した平均粒度は１７ｎｍであることが確認された。 Experimental example 3
The copper powder produced in Example 5 was collected and photographed with an electron microscope, and the SEM photograph is shown in FIG. It was confirmed that the specific surface area measured by BET was 40.84 m 2 / g, and the average particle size in terms of diameter was 17 nm.

更に、実施例５によって製造された銅粉末のＸＲＤ分析の結果、図９のグラフから分かるように、各々のピークは全体として銅金属のピークであることを表しており、この銅粉末は酸化しなかった純粋なナノ構造金属粉末であった。   Further, as a result of XRD analysis of the copper powder produced in Example 5, as can be seen from the graph of FIG. 9, each peak represents a copper metal peak as a whole, and this copper powder is oxidized. There was no pure nanostructured metal powder.

上述した通り、本発明による液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法およびその製造装置は下記のような利点を有する。   As described above, the method and apparatus for producing nanostructured powder by submerged wire explosion according to the present invention have the following advantages.

１）金属ワイヤーをチャンバー内の液体の中に供給し、パルスパワーを流して電気的爆発を発生させることにより、金属ワイヤーのナノ構造粉末が液中で生成、分散され、それによって、ナノ構造粉末の凝集を完全に防止することができ、液体により空気との接触が遮断されて、ナノ構造粉末の酸化を著しく減らすことができる、という利点を有する。   1) By supplying a metal wire into the liquid in the chamber and generating an electrical explosion by applying pulse power, the nanostructured powder of the metal wire is generated and dispersed in the liquid, thereby the nanostructured powder. The agglomeration of the nanostructured powder can be completely prevented, and the contact with the air is blocked by the liquid, so that the oxidation of the nanostructured powder can be significantly reduced.

２）従来技術におけるナノ構造粉末の表面の酸素を除去する工程と、凝集した粉末を分散剤に分散させる必須工程を排除することで、費用削減と、ナノ構造粉末のより効率的な製造工程を達成できる。   2) By eliminating the process of removing oxygen from the surface of the nanostructured powder in the prior art and the essential process of dispersing the agglomerated powder in the dispersant, cost reduction and more efficient production process of the nanostructured powder are achieved. Can be achieved.

３）本発明によってナノ構造粉末が分散（懸濁）状態で生成されるため、チャンバー内への堆積物を防止すると同時に、堆積された粉末による絶縁破壊を防止することができることで、ナノ構造粉末を製造する生産性を向上させることができる。   3) Since the nanostructured powder is produced in a dispersed (suspended) state according to the present invention, deposits in the chamber can be prevented, and at the same time, dielectric breakdown due to the deposited powder can be prevented. The productivity of manufacturing can be improved.

４）本発明によって液中にナノ構造粉末が分散されて凝集されないため、サイズ毎の選別捕集により、その分級が可能であり、それ故に付加価値を高めることができる。   4) Since the nanostructured powder is not dispersed and aggregated in the liquid according to the present invention, it can be classified by selective collection for each size, and therefore the added value can be increased.

本発明による液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造装置を説明する構成図である。It is a block diagram explaining the manufacturing apparatus of the nano structure powder by the wire explosion in a liquid by this invention. 本発明による液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the manufacturing method of the nanostructure powder by the wire explosion in a liquid by this invention. 本発明による液中ワイヤー爆発によりナノ構造銀粉末が製造される状況を説明している、高速度で撮影した写真である。2 is a photograph taken at high speed illustrating a situation in which nanostructured silver powder is produced by submerged wire explosion according to the present invention. 液中ワイヤー爆発の電圧および電流波形を表したものである。It shows the voltage and current waveform of the wire explosion in the liquid. 本発明による液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法によって製造されたナノ構造銀粉末を説明する顕微鏡写真である。It is a microscope picture explaining the nanostructure silver powder manufactured by the manufacturing method of the nanostructure powder by the wire explosion in a liquid by this invention. 本発明のナノ構造粉末が純粋なナノ構造銀粉末であることを確認するＸ線回折法による分析グラフである。It is an analysis graph by the X-ray diffraction method which confirms that the nanostructure powder of this invention is pure nanostructure silver powder. 本発明によって液中で製造されたナノ構造銀粉末と、従来の気体中で製造されたナノ構造銀粉末の沈殿実験の結果を説明する写真である。It is the photograph explaining the result of the precipitation experiment of the nano structure silver powder manufactured in the liquid by this invention, and the nano structure silver powder manufactured in the conventional gas. 本発明によって液中で製造された実施例５によるナノ構造銅粉末を説明するＳＥＭ写真である。It is a SEM photograph explaining the nanostructure copper powder by Example 5 manufactured in the liquid by this invention. 本発明によって液中で製造された実施例５によるナノ構造銅粉末を説明するＸＲＤ分析結果によるグラフである。It is a graph by the XRD analysis result explaining the nanostructure copper powder by Example 5 manufactured in the liquid by this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１０ チャンバー
１２ 上部空間
１４ 下部空間
１６ 板状絶縁体
１８ 金属ワイヤー
２０ ワイヤーロール
２２ 供給用ローラー
２４ 中空ワイヤーガイド
２６ 接地電極
２８ 高電圧電極
３０ スイッチ
３２ キャパシタ
３４ 充電装置
３６ 制御部
４０ 貯蔵タンク
４２ バルブ埋設パイプ
４４ スプレー
４６ 捕集フィルター
４８ 循環パイプ
５０ 開閉バルブ
５２ 液体循環用ポンプ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Chamber 12 Upper space 14 Lower space 16 Plate-shaped insulator 18 Metal wire 20 Wire roll 22 Supply roller 24 Hollow wire guide 26 Ground electrode 28 High voltage electrode 30 Switch 32 Capacitor 34 Charging device 36 Control part 40 Storage tank 42 Valve embedding Pipe 44 Spray 46 Collection filter 48 Circulation pipe 50 Open / close valve 52 Liquid circulation pump

Claims (12)

液体（分散溶媒）を満たしたチャンバー内でパルスパワーを利用して金属ワイヤーを電気的に爆発させる第１工程と、
金属ワイヤーを液中で気化させることによりナノ構造粉末を生成させる第２工程と、
生成されたナノ構造粉末を濃縮または捕集する第３工程を具備する液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法。 A first step of electrically exploding a metal wire using pulse power in a chamber filled with a liquid (dispersed solvent);
A second step of generating a nanostructured powder by vaporizing a metal wire in the liquid;
A method for producing nanostructured powder by submerged wire explosion, comprising a third step of concentrating or collecting the produced nanostructured powder. 前記第１工程が、液体が満たされたチャンバーを準備する段階と、前記チャンバーの上部から金属ワイヤーを液中に連続的に供給する段階と、前記液中の金属ワイヤーに０．１〜１００ｋＪのパルスパワーを流して電気爆発を発生させる段階を含むことによって進行する、請求項１記載の液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法。   The first step includes preparing a chamber filled with a liquid, continuously supplying a metal wire from above the chamber into the liquid, and 0.1 to 100 kJ of the metal wire in the liquid. The method for producing nanostructured powder by submerged wire explosion according to claim 1, wherein the method proceeds by including a step of generating an electric explosion by applying a pulse power. 前記第２工程が、電気的爆発により金属ワイヤーが液中で気化される段階と、気化された蒸気の体積膨張により作られた空間に金属ワイヤーのナノ構造粉末が生成される段階とを含む、請求項１記載の液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法。   The second step includes a step of vaporizing a metal wire in a liquid by an electrical explosion and a step of generating a nanostructured powder of the metal wire in a space created by volume expansion of the vaporized vapor. The manufacturing method of the nanostructure powder by the wire explosion in a liquid of Claim 1. 前記第３工程が、ナノ構造粉末が分散（懸濁）されている液体をチャンバーから排出する段階と、排出された液体をスプレーを利用して捕集フィルターに均一に注入する段階と、捕集フィルターにより濾過されたナノ構造粉末を回収する段階とを含む、請求項１記載の液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法 。   The third step includes a step of discharging the liquid in which the nanostructured powder is dispersed (suspended) from the chamber, a step of uniformly injecting the discharged liquid into the collection filter using a spray, The method for producing nanostructured powder by submerged wire explosion according to claim 1, comprising the step of collecting the nanostructured powder filtered by a filter. 前記第３工程が、ナノ構造粉末が分散（懸濁）されている液体をチャンバーから排出する段階と、ナノ構造粉末を捕集又は濃縮して回収するために、排出された液体を蒸発分類法により濃縮する段階とを含む、請求項１記載の液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法 。   The third step includes discharging the liquid in which the nanostructured powder is dispersed (suspended) from the chamber, and evaporating and classifying the discharged liquid in order to collect or concentrate and collect the nanostructured powder. The method for producing a nanostructured powder by submerged wire explosion according to claim 1, comprising the step of concentrating by the method. 前記液体（分散溶媒）がオイル、蒸留水、絶縁油、溶剤、アセトン、エタノールまたは揮発油の中から選択されるいずれか一つである、請求項１乃至５のうちいずれか一項に記載の液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法 。   The said liquid (dispersion solvent) is any one selected from oil, distilled water, insulating oil, a solvent, acetone, ethanol, or a volatile oil, As described in any one of Claims 1 thru | or 5 Manufacturing method of nanostructured powder by wire explosion in liquid. ナノ構造粉末をサイズ毎に分級しながら捕集するために、メッシュサイズ（穴の直径）が互いに異なる捕集フィルターを垂直方向に多数個配置した、請求項４記載の液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法 。   5. The nanostructure by wire explosion in liquid according to claim 4, wherein a large number of collection filters having different mesh sizes (hole diameters) are arranged in a vertical direction in order to collect the nanostructured powder while being classified according to size. Method for producing powder. 前記捕集フィルターで濾過されたナノ構造粉末を回収する際、酸化防止のためにナノ構造粉末が液体（分散溶媒）で覆われた状態で回収される、請求項４記載の液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法 。   5. When recovering the nanostructured powder filtered by the collection filter, the nanostructured powder is recovered in a state of being covered with a liquid (dispersion solvent) to prevent oxidation. Manufacturing method of nanostructured powder. 前記捕集フィルターを通過した液体を液体循環モーターにより前記チャンバー内に再流入させる段階が更に行われる、請求項４記載の液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造方法 。   The method for producing nanostructured powder by submerged wire explosion according to claim 4, wherein the step of reflowing the liquid that has passed through the collection filter into the chamber by a liquid circulation motor is further performed. 液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造装置であって、
絶縁体により上部空間と下部空間に分離された構造のチャンバーと、
前記下部空間に満たされた液体（分散溶媒）と、
前記上部空間に設置される構成として、金属ワイヤーが巻かれたワイヤーロールと、前記ワイヤーロールから展開されるワイヤーをワイヤーガイドを通して前記下部空間に供給させる一対の供給用ローラーと、前記ワイヤーロールおよび一対の供給用ローラーの回転軸に接続された電気モーターを含むワイヤー供給装置と、
前記下部空間に設置される構成として、前記チャンバーの下部空間の底面に装着される高電圧電極と、前記高電圧電極と接続されるトリガースイッチと、前記スイッチと接続されるキャパシタと、前記キャパシタを高電圧で充電させる充電装置と、前記供給モーターの回転角を感知して前記スイッチにトリガーシグナルを発生させる制御部を含むワイヤー爆発装置と、
前記下部空間の底部の角の位置と連通するように配置される構成として、所定容積の貯蔵タンクと、前記チャンバーの下部空間と前記貯蔵タンクの上部空間を連通するように接続したバルブ埋設パイプと、前記パイプの先端に一体に装着され、前記貯蔵タンクの上端部空間に配置されるスプレーと、前記貯蔵タンクの内部空間でスプレーの下側に垂直方向に等間隔で装着される多数個の捕集フィルターを含むナノ構造粉末捕集装置と、
前記ナノ構造粉末捕集装置から前記下部空間に液体を再循環させるための構成として、前記貯蔵タンクの下端部と前記チャンバーの下部空間の上端部との間を連通するように接続した循環パイプと、この循環パイプに装着される開閉バルブ、および液体循環用ポンプを含む再循環装置を具備する、液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造装置。 An apparatus for producing nanostructured powder by wire explosion in liquid,
A chamber having a structure separated into an upper space and a lower space by an insulator;
A liquid (dispersion solvent) filled in the lower space;
As a structure installed in the upper space, a wire roll wound with a metal wire, a pair of supply rollers for supplying a wire developed from the wire roll to the lower space through a wire guide, the wire roll and the pair A wire supply device including an electric motor connected to the rotating shaft of the supply roller;
As a configuration installed in the lower space, a high voltage electrode attached to a bottom surface of the lower space of the chamber, a trigger switch connected to the high voltage electrode, a capacitor connected to the switch, and the capacitor A charging device for charging at a high voltage; a wire explosive device including a controller for detecting a rotation angle of the supply motor and generating a trigger signal for the switch;
As a configuration arranged to communicate with the position of the bottom corner of the lower space, a storage tank having a predetermined volume, and a valve embedded pipe connected to communicate the lower space of the chamber and the upper space of the storage tank A spray that is integrally attached to the tip of the pipe and disposed in the upper end space of the storage tank, and a plurality of catches that are mounted at equal intervals vertically below the spray in the inner space of the storage tank. A nanostructured powder collecting device including a collecting filter;
As a configuration for recirculating liquid from the nanostructured powder collection device to the lower space, a circulation pipe connected to communicate between the lower end of the storage tank and the upper end of the lower space of the chamber; An apparatus for producing nanostructured powder by submerged wire explosion, comprising a recirculation device including an open / close valve attached to the circulation pipe and a liquid circulation pump. 前記チャンバーの絶縁体にはワイヤーを供給するための中空ワイヤーガイドが装着され、液体が満たされた前記下部空間には接地電極が更に装着されている、請求項１０記載の液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造装置。   11. The nano-wire-in-liquid explosion according to claim 10, wherein a hollow wire guide for supplying a wire is attached to the insulator of the chamber, and a ground electrode is further attached to the lower space filled with the liquid. Structure powder manufacturing equipment. 前記多数個の捕集フィルターの中で、上位にはメッシュサイズ（穴の直径）が大きいフィルターが装着され、下位にはメッシュサイズが小さいフィルターが装着されている、請求項１０記載の液中ワイヤー爆発によるナノ構造粉末の製造装置。   The submerged wire according to claim 10, wherein a filter having a larger mesh size (hole diameter) is attached to the upper part and a filter having a smaller mesh size is attached to the lower part among the plurality of collection filters. Equipment for producing nanostructured powder by explosion.
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010106352A (en) * 2008-10-31 2010-05-13 Nagaoka Univ Of Technology Method for producing nanosheet
JP2011523435A (en) * 2008-04-30 2011-08-11 ナノ テクノロジーズ カンパニー リミテッド Equipment for producing liquid materials containing metal nanopowder
JP2012036468A (en) * 2010-08-10 2012-02-23 Ehime Univ Nanoparticle and method for producing nanoparticle
JP2013546144A (en) * 2011-06-02 2013-12-26 コリア エレクトロテクノロジー リサーチ インスティテュート Method for producing silicon-based nanocomposite cathode active material for lithium secondary battery and lithium secondary battery using the same
CN103482835A (en) * 2013-09-25 2014-01-01 北京纬纶华业环保科技股份有限公司 Sludge hydrolysis device and hydrolysis process
JP5874111B2 (en) * 2011-04-28 2016-03-02 株式会社エイプル技研 Nanoparticle production apparatus, nanoparticle production method, nanoparticle, zinc / zinc oxide nanoparticle and magnesium hydroxide nanoparticle
KR101606370B1 (en) * 2014-07-22 2016-03-25 (주)에이티엔에스 manufacturing method of nano-powder, and apparatus for the same
JP2016510300A (en) * 2013-01-22 2016-04-07 エムセデ テクノロジーズ ソシエテ ア レスポンサビリテ リミティー Method and apparatus for generating carbon nanostructures
JP2018126726A (en) * 2017-02-10 2018-08-16 伊東　繁 Shock wave generator fine wire feeder mechanism set
JP7137252B1 (en) 2021-09-09 2022-09-14 杉山重工株式会社 Method for producing ultrafine particles
JP2023039911A (en) * 2021-09-09 2023-03-22 杉山重工株式会社 Method for producing ultrafine particles

Families Citing this family (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SI2178796T1 (en) * 2007-07-11 2021-04-30 Clene Nanomedicine, Inc. Continuous method for treating liquids and manufacturing certain constituents
KR100907044B1 (en) * 2007-08-13 2009-07-09 울산대학교 산학협력단 Producong method of nano carbon-metal composite powder
KR100886946B1 (en) * 2007-08-13 2009-03-09 울산대학교 산학협력단 Producing method of metal powder flake
KR100863602B1 (en) * 2007-08-13 2008-10-15 울산대학교 산학협력단 Producing method of ceramic-metal composite powder
KR100886944B1 (en) * 2007-08-13 2009-03-09 울산대학교 산학협력단 Producing method of WC-Co composite powder
KR100886945B1 (en) * 2007-08-13 2009-03-09 울산대학교 산학협력단 Producing method of amorphous-metal powder
KR100886943B1 (en) * 2007-08-13 2009-03-09 울산대학교 산학협력단 Producing method of diamond-metal composite powder
KR100958614B1 (en) * 2007-11-13 2010-05-19 한국전기연구원 Method and system classificating and collecting of magnetic nanopowders prepared by wire explosion in liquid
KR100977459B1 (en) * 2007-11-13 2010-08-24 한국전기연구원 Method and system for mass production of nanopowders by wire explosion in liquid
KR101013840B1 (en) * 2008-06-02 2011-02-14 한국전기연구원 Method for the preparation of nano-powders by wire explosion in liquid with improved dispersibility
WO2010024474A1 (en) * 2008-08-25 2010-03-04 University Of Ulsan Foundation For Industry Cooperation Method for producing wc-co composite powder
KR101048311B1 (en) 2008-10-30 2011-07-13 한국전기연구원 Graphite nano powder manufacturing method and apparatus
KR101146914B1 (en) * 2008-12-11 2012-05-22 한국전기연구원 Method and apparatus for synthesis of semiconductor nanopowders by wire explosion in liquid
KR101712682B1 (en) * 2009-01-15 2017-03-07 클레네 나노메디슨, 인크. Continuous semicontinuous and batch methods for treating liquids and manufacturing certain constituents (e.g., nanoparticles) in liquids, apparatuses and nanoparticles and nanoparticle/liquid solution(s) and colloids resulting therefrom
MX350309B (en) 2009-07-08 2017-09-01 Clene Nanomedicine Inc Novel gold-based nanocrystals for medical treatments and electrochemical manufacturing processes therefor.
KR101155283B1 (en) * 2010-01-29 2012-06-18 한국원자력연구원 Apparatus for manufacturing nanofluid by wire explosion in liquid
KR101350153B1 (en) * 2010-05-04 2014-01-10 한국기계연구원 Apparatus for production of metal nanopowder by wire explosion
KR101296924B1 (en) * 2010-05-04 2013-08-14 한국기계연구원 Fe-Cr-Al base alloy porous structure and method of manufacturing by the same
DE102010025927A1 (en) 2010-07-02 2012-01-05 Eckart Gmbh Polystyrene rigid foam with coated aluminum-containing pigments, process for producing the polystyrene hard foam and use thereof
KR101272151B1 (en) * 2010-10-22 2013-06-07 한국기계연구원 Fabrication method of Hybrid nano composite powder and the nano composite powder by the method
KR101421772B1 (en) * 2010-11-19 2014-07-22 울산대학교 산학협력단 Method of manufacturing the Fe-Cr-Al base alloy powder for porous structure
KR101276237B1 (en) * 2010-12-02 2013-06-20 한국기계연구원 Low sintering temperatures Conducting metal layer and the preparation method thereof
CN102151838B (en) * 2011-03-05 2012-09-26 兰州理工大学 Metal wire electrical explosion device conducting current by utilizing gas discharge
KR101318226B1 (en) * 2011-05-12 2013-10-15 한국기계연구원 Method of attaching of nano powder using precursor and carrier attached by the powder
KR101309322B1 (en) 2011-05-31 2013-09-16 울산대학교 산학협력단 MANUFACTURING METHOD OF WC-Fe COMPOSITE POWDER USING THE PULSE WIRE DISCHARGE PROCESS IN LIQUID
CN102628153B (en) * 2011-12-07 2013-10-02 兰州理工大学 Continuous wire feed tube constrained wire explosion spraying device
CN102744414A (en) * 2012-07-13 2012-10-24 兰州理工大学 Method for preparing nano copper lubricating material by wire electrical explosion method
CN103191683B (en) * 2013-03-01 2014-11-26 北京理工大学 Device of preparing nano powder material through electrical explosion
KR101531855B1 (en) * 2013-04-29 2015-06-26 (주) 나노기술 Apparatus for manufacturing nano colloid solution and method thereof
CN103447543B (en) * 2013-09-10 2017-08-25 兰州理工大学 Continuous fibers electric detonation prepares Nano metal powder device
KR101499789B1 (en) * 2013-10-10 2015-03-09 한국전기연구원 Apparatus of automatic wire feeding with fluids for wire explosion in liquids
KR101367836B1 (en) * 2013-11-21 2014-02-26 주식회사 디알액시온 Producing method of nanopowders using the electrical wire explosion
KR101635848B1 (en) * 2014-04-14 2016-07-05 한국세라믹기술원 Manufacture Method of Basic Ink Containing Carbon-nonbonding Metal Nanoparticles Metal Nanoparticles Particle-dispersed Ink
KR101845127B1 (en) * 2015-01-16 2018-05-18 한양대학교 산학협력단 method of manufacturing hybrid metal pattern by wire explosion and light sintering, hybrid metal pattern thereby
TWI610883B (en) 2015-09-23 2018-01-11 財團法人金屬工業研究發展中心 Particle production apparatus
DE102015015930A1 (en) 2015-12-09 2017-06-14 Wolfgang Kochanek Process for the production of magnetic materials
CN106825601B (en) * 2016-12-30 2019-03-29 西安交通大学青岛研究院 A kind of preparation method of silver nanowires
GB2588008A (en) * 2018-05-23 2021-04-14 Lal Sangeeta An apparatus and a method for producing nanoparticles and nanocomposites by controlled electro-explosion of a metal wire
CN108587724A (en) * 2018-06-08 2018-09-28 南方电网科学研究院有限责任公司 A kind of preparation method of vegetable insulating oil
KR101975403B1 (en) * 2018-07-05 2019-09-10 (주)나노기술 Apparatus for manufacturing metal nano powder using electrical wire evaporation
CN110961643A (en) * 2019-10-17 2020-04-07 深圳供电局有限公司 Apparatus and method for manufacturing nanomaterial
KR102262291B1 (en) * 2019-11-07 2021-06-09 한국과학기술연구원 Manufacturing method of reduced graphene via pulsed wire explosion
CN111790918B (en) * 2020-09-07 2020-12-22 西安宏星电子浆料科技股份有限公司 Preparation method of silver powder with low thermal shrinkage
KR102470143B1 (en) 2021-02-23 2022-11-23 김세현 Catalyst Composites Synthetic apparatus Using Plasma
CN115283684A (en) * 2022-08-05 2022-11-04 大连理工大学 Device for continuously preparing nano particles by using liquid-phase laser ablation method

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS529615B1 (en) * 1970-03-31 1977-03-17
JPH05209209A (en) * 1992-01-29 1993-08-20 I N R Kenkyusho:Kk Production of inclined material
JPH0995704A (en) * 1994-12-23 1997-04-08 Inst Of Petroleum Chem Russian Acad Of Science Siberian Division Active metal powder

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1583752C3 (en) * 1967-01-17 1975-02-06 Kiyoshi Dr.-Chem. Kawasaki Kanagawa Inoue (Japan) Method and device for coating the surface of a workpiece with powdery material
US4503013A (en) 1983-04-11 1985-03-05 Atlantic Richfield Company Ultra-high power exploding wire systems
US5010804A (en) * 1990-08-06 1991-04-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Launching projectiles with hydrogen gas generated from titanium-water reactions
IL148073A0 (en) * 1999-09-03 2002-09-12 American Inter Metallics Inc Apparatus and methods for the production of powders
US6468497B1 (en) * 2000-11-09 2002-10-22 Cyprus Amax Minerals Company Method for producing nano-particles of molybdenum oxide
US20040065170A1 (en) * 2002-10-07 2004-04-08 L. W. Wu Method for producing nano-structured materials
KR100572833B1 (en) * 2003-06-07 2006-04-24 한국전기연구원 Wire Electric Explosion Equipment For Manufacturing Nano-powder with Thermodynamic and Electrical Stability
KR100551547B1 (en) * 2003-06-24 2006-02-13 한국원자력연구소 Equipment for production of metal, alloy and ceramic nano powders by simultaneous wire feeding of electrical explosion of wire and it's method
US20070101823A1 (en) * 2003-06-25 2007-05-10 Prasenjit Sen Process and apparatus for producing metal nanoparticles

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS529615B1 (en) * 1970-03-31 1977-03-17
JPH05209209A (en) * 1992-01-29 1993-08-20 I N R Kenkyusho:Kk Production of inclined material
JPH0995704A (en) * 1994-12-23 1997-04-08 Inst Of Petroleum Chem Russian Acad Of Science Siberian Division Active metal powder

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011523435A (en) * 2008-04-30 2011-08-11 ナノ テクノロジーズ カンパニー リミテッド Equipment for producing liquid materials containing metal nanopowder
JP2010106352A (en) * 2008-10-31 2010-05-13 Nagaoka Univ Of Technology Method for producing nanosheet
JP2012036468A (en) * 2010-08-10 2012-02-23 Ehime Univ Nanoparticle and method for producing nanoparticle
US9440213B2 (en) 2011-04-28 2016-09-13 National University Corporation Ehime University Nanometer-size-particle production apparatus, nanometer-size-particle production process, nanometer-size particles, zinc/zinc oxide nanometer-size particles, and magnesium hydroxide nanometer-size particles
US9943822B2 (en) 2011-04-28 2018-04-17 National University Corporation Ehime University Nanometer-size-particle production apparatus, nanometer-size-particle production process, nanometer-size particles, zinc/zinc oxide nanometer-size particles, and magnesium hydroxide nanometer-size particles
JP5874111B2 (en) * 2011-04-28 2016-03-02 株式会社エイプル技研 Nanoparticle production apparatus, nanoparticle production method, nanoparticle, zinc / zinc oxide nanoparticle and magnesium hydroxide nanoparticle
JP2013546144A (en) * 2011-06-02 2013-12-26 コリア エレクトロテクノロジー リサーチ インスティテュート Method for producing silicon-based nanocomposite cathode active material for lithium secondary battery and lithium secondary battery using the same
JP2016510300A (en) * 2013-01-22 2016-04-07 エムセデ テクノロジーズ ソシエテ ア レスポンサビリテ リミティー Method and apparatus for generating carbon nanostructures
CN103482835A (en) * 2013-09-25 2014-01-01 北京纬纶华业环保科技股份有限公司 Sludge hydrolysis device and hydrolysis process
KR101606370B1 (en) * 2014-07-22 2016-03-25 (주)에이티엔에스 manufacturing method of nano-powder, and apparatus for the same
JP2018126726A (en) * 2017-02-10 2018-08-16 伊東　繁 Shock wave generator fine wire feeder mechanism set
JP7137252B1 (en) 2021-09-09 2022-09-14 杉山重工株式会社 Method for producing ultrafine particles
JP2023039911A (en) * 2021-09-09 2023-03-22 杉山重工株式会社 Method for producing ultrafine particles
JP2023039637A (en) * 2021-09-09 2023-03-22 杉山重工株式会社 Method for producing ultrafine particles
JP7320312B2 (en) 2021-09-09 2023-08-03 杉山重工株式会社 Method for producing ultrafine particles

Also Published As

Publication number Publication date
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EP1981669A1 (en) 2008-10-22
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KR100726713B1 (en) 2007-06-12
US20080216604A1 (en) 2008-09-11
KR20070024041A (en) 2007-03-02

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