JP2009300348A - レーザ走査装置 - Google Patents
レーザ走査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009300348A JP2009300348A JP2008157462A JP2008157462A JP2009300348A JP 2009300348 A JP2009300348 A JP 2009300348A JP 2008157462 A JP2008157462 A JP 2008157462A JP 2008157462 A JP2008157462 A JP 2008157462A JP 2009300348 A JP2009300348 A JP 2009300348A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- optical system
- magnification
- light
- lens barrel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
【課題】
レーザ光源からの光束で物体表面を走査し、その反射光で物体表面形状を観察する装置で、倍率の変換と広範囲の走査を高品質で行う。
【解決手段】
レーザ光源1からの光束を光偏向器4、fθレンズ7を経て一旦、一次結像面14に結像する。その光束を交換光学系22を介して物体8に向かわせて走査していく。走査した反射光は往路に戻して受光部に11に送られ、制御部12から表示部13に伝えられて表示される。この表示された画像を観察する。前記の交換光学系22は中継レンズ20と結像レンズ21が鏡筒23に収容された両側テレセントリックレンズとして構成される。そしてこの鏡筒23を倍率ごとに準備し、交換自在として必要倍率の鏡筒23をセットする。
【選択図】 図1
レーザ光源からの光束で物体表面を走査し、その反射光で物体表面形状を観察する装置で、倍率の変換と広範囲の走査を高品質で行う。
【解決手段】
レーザ光源1からの光束を光偏向器4、fθレンズ7を経て一旦、一次結像面14に結像する。その光束を交換光学系22を介して物体8に向かわせて走査していく。走査した反射光は往路に戻して受光部に11に送られ、制御部12から表示部13に伝えられて表示される。この表示された画像を観察する。前記の交換光学系22は中継レンズ20と結像レンズ21が鏡筒23に収容された両側テレセントリックレンズとして構成される。そしてこの鏡筒23を倍率ごとに準備し、交換自在として必要倍率の鏡筒23をセットする。
【選択図】 図1
Description
本発明はレーザ光源からの光束で物体表面を走査し、その反射光で物体表面形状を観察するようにしたレーザ走査装置に関するもので、特に倍率変換と広範囲の走査を高品質で行えるようにしたものである。
レーザを光源とする光学系を用いて物体表面を走査し、その反射光で物体表面形状を観察するようにした装置は各種のものが知られている。その代表的なものとして走査式光学顕微鏡がある。これを図6を用いて説明する。レーザ光源1からの光はレンズ2を経てビームスプリッタ3で反射し、光偏向器としての回転ミラー4に向かう。この回転ミラー4は図示してないモータなどによって矢印5方向に回転し、ビームスプリッタ3からの光束6に対する反射面角度を変化する。回転ミラー4で反射した光束は任意倍率のfθレンズ7を経て物体8表面に達する。従がって回転ミラー4の反射面角度の変化(X側)と物体8の水平移動(Y側)で物体8表面が順次走査される。物体8表面で反射した光は往路を戻り、fθレンズ7、回転ミラー4を経てビームスプリッタ3を通過し、レンズ9、マスク板10を経てフォトマルなどの受光部11に集光する。受光部11で受けた信号は装置全体をコントロールする制御部12に伝えられ、表示部13に画像として表示される。
物体8表面のX側走査範囲L1は回転ミラー4の回転許容角と、fθレンズ7の焦点距離によって変化する。今、標準的な任意倍率のfθレンズ7を光学系中に設置したとき、そのfθレンズ7の瞳位置Cは回転ミラー4の反射面位置に置かれる。しかし走査範囲L1を変化させるため、或いは観察する物体表面画像の倍率を変換するためfθレンズ7を他の焦点距離のものに交換すると、瞳位置Cもその交換したfθレンズ7が持つ焦点距離に応じて変化する。瞳位置Cが変化すると物体8表面の走査時に明暗の差が生じ、表示部13での画像品質が焦点距離によって変化してしまう。
物体8表面のX側走査範囲L1は回転ミラー4の回転許容角と、fθレンズ7の焦点距離によって変化する。今、標準的な任意倍率のfθレンズ7を光学系中に設置したとき、そのfθレンズ7の瞳位置Cは回転ミラー4の反射面位置に置かれる。しかし走査範囲L1を変化させるため、或いは観察する物体表面画像の倍率を変換するためfθレンズ7を他の焦点距離のものに交換すると、瞳位置Cもその交換したfθレンズ7が持つ焦点距離に応じて変化する。瞳位置Cが変化すると物体8表面の走査時に明暗の差が生じ、表示部13での画像品質が焦点距離によって変化してしまう。
また、fθレンズ7を他の焦点距離のものに変換するとすれば、焦点距離に応じて物体8表面のZ方向位置を変化させなければならない。これらの煩雑さから解放され一定品質の観察画像を得るためには、回転ミラー4の回転角を制限し、fθレンズ7の焦点距離も近似のものだけに制限するなど対策を強いられる。
このようなfθレンズ7の焦点距離による制限を解き、走査範囲L1にも拡張性を与えられるようにしたものとして、図7Aのような光学系が知られている。図7は図6のfθレンズ7による焦点距離(物体8上の結像点)位置以降に中継光学系17を設置するようにしたものである。図において14は一次結像面で、図6の物体8表面相当位置にfθレンズ7で形成される。一次結像面14からの光束は中継レンズ15によって平行光束となり、結像レンズ16によって物体8に結像する。この一次結像面14と物体8間の中継レンズ15、結像レンズ16による光学系を中継光学系17という。中継光学系17の設置は1つのfθレンズ7を固定位置に定着化し、結像レンズ16の交換で倍率変換を実施することが出来る。そのため図7Bの説明図のように結像レンズ16を他の倍率のもの16nに交換すれば、物体8に対し光軸18方向に距離d1の変化を与えることができ、これを倍率変換とすることが出来る。この倍率変換と中継レンズ15の設置が走査範囲L1をLnに変換し、図6で述べたfθレンズ7の焦点距離制限を解くことができる。
しかしこのような中継光学系17を設置しただけでは完全な倍率変換と走査範囲L1の拡張化を図ることが出来ない。これを先の図7Aで説明すると、任意倍率の結像レンズ16が持つ瞳位置を中継光学系17中のほぼ中間位置としたとき、この結像レンズ16の倍率を図7Bのように16nに変更したとすれば、瞳位置もその倍率に応じた位置に変化する。またこの結像レンズ16nを他の倍率に変更したとすれば、その倍率に応じて瞳位置も中継光学系17の結像レンズ16側か中継レンズ15側に変化する。従がって中継光学系17を設置して倍率変換に幅を持たせることが可能になったとしても瞳位置の移動は避けられず、観察画像の像品質を損ねることになって、結局は倍率変換と走査範囲L1の制限を解くことが出来ない。
上記の中継光学系17を一部改良したものとして特許文献1が知られている。この特許文献1によれば、その図2によく示されているように第1レンズ7aは入射した光を一旦第1レンズ7aの後側焦点位置Pに集光した後に第2レンズ7bに入射させる。そして第2レンズ7bは、その前側焦点位置を前記集光点PよりΔだけずれた位置となるようにして配置され、これを通過した光束を接眼レンズ8に入射させる。このように第1レンズ7aと第2レンズ7bを配置した光学系とすることで、走査型の顕微鏡であっても中心光軸を通る光束Aと軸外を通る光束Bの両方を接眼レンズ8の瞳でけられることなく通過させることが出来ると説明されている。それによって光偏向器の動作で物体面(試料面)を走査するとき、中心光軸を通る光束Aと、光軸外を通る光束Bの両方をけられない同じ状態の光束として接眼レンズ8に向かわせることが出来、走査時の品質を安定化することが出来る。
しかしこの特許文献1には倍率を変換したときの第1、第2レンズ7a、7bの構成や、走査範囲L1拡張化についての対策は何も触れられていない。このようにこれまでの走査装置は倍率変換を可能にして広範囲の走査を行おうとすると品質が犠牲になるという傾向にあり、物体表面形状を観察する場合、障害となっていた。
特開平05−019171号公報
しかしこの特許文献1には倍率を変換したときの第1、第2レンズ7a、7bの構成や、走査範囲L1拡張化についての対策は何も触れられていない。このようにこれまでの走査装置は倍率変換を可能にして広範囲の走査を行おうとすると品質が犠牲になるという傾向にあり、物体表面形状を観察する場合、障害となっていた。
従って本発明の課題は、倍率を変換して瞳位置Cの移動が発生したとしても像品質を変化させることなく、走査範囲Lが拡張できる走査装置を得ることである。
上記課題を解決するため本発明は、レーザ光源からの光束を光偏向器による走査光として一旦一次結像面に結像し、その光束を物体に送ってその反射光を前記一次結像面と光偏向器経由で受光部に送り、表示部に表示して表面形状を観察するようにしたレーザ走査装置であって、両側テレセントリックレンズとして倍率ごとに用意した鏡筒を、交換光学系として一次結像面と物体間に交換自在に設置し、この交換光学系を介して物体表面を観察する様にしたことを特徴とする。
請求項2の発明によるものは請求項1記載のレーザ走査装置において、両側テレセントリックレンズを中継レンズ側と結像レンズ側に分離し、その組み合わせを選択して1つの鏡筒として連結できるよう構成したことを特徴とする。
請求項2の発明によるものは請求項1記載のレーザ走査装置において、両側テレセントリックレンズを中継レンズ側と結像レンズ側に分離し、その組み合わせを選択して1つの鏡筒として連結できるよう構成したことを特徴とする。
本発明は、レーザ光源からの光束を両側テレセントリックレンズとして倍率ごとに用意した鏡筒を、交換光学系として一次結像面と物体間に交換自在に設置し、この交換光学系を介して物体面を観察するようにしたことを基本としている。それによって交換光学系を交換すれば倍率の変換となるから、倍率によって瞳位置が変化したしても、その変化した位置に対応した交換光学系を予め用意しておくことが出来る。それによって観察画像の品質向上と走査範囲を拡張することが出来る。
以下にこの発明による走査装置について添付図面に基づいて説明する。
図1は本発明によるレーザ走査装置の全体構成を示した説明用概略図である。図において図6、7と同じ要素には同じ番号を付してあるが、レーザ光源1からの光束はレンズ2を経てビームスプリッタ3で反射し、光偏光器4に向かう。この光偏光器4は図示してないモータなどによって矢印5方向に回転し、ビームスプリッタ3からの光束6に対する反射面角度を変化する。光偏光器4で反射した光束はfθレンズ7を経て一次結像面14に一旦、結像する。一次結像面14からの光束は中継レンズ20によって平行光束となり、結像レンズ21によって物体8面に結像する。この一次結像面14と物体8間の中継レンズ20、結像レンズ21による光学系を交換光学系22という。この交換光学系22はテレセントリックレンズとして倍率ごとに鏡筒23として用意され、各鏡筒23は交換自在に設置される。そのため倍率変換のため鏡筒23を他の倍率のものに交換し設置したとすれば、結像レンズ21による結像点位置、つまり物体8表面のZ方向位置は変化することはない。さらに倍率に応じて交換光学系22内で瞳位置Cが変化したとしても、それは各鏡筒23内での値であり、他の交換光学系22に影響を与えることはない。
このような鏡筒23を通過した光は物体8表面に結像し、光偏向器4の反射面角度の変化(X)と物体8の水平移動(Y)によって物体8表面を順次走査する。そしてその反射光は往路を戻り、一次結像面14、fθレンズ7、光偏向器4を経てビームスプリッタ3を通過し、レンズ9、マスク板10を経て受光部11に向かう。受光部11で受けた信号は制御部12に伝えられ、表示部13に画像として表示される。鏡筒23をn倍のものに交換すれば、そのn倍に応じた画像が表示部13に表示され、さらに物体8上の走査範囲L1をLnに変換する。
図2、3、4は交換光学系22の説明図で、一次結像面14から物体8表面までの距離Dは同じである。図2は交換光学系22aを示していて、一次結像面14の中心光軸位置14a1からの光が中心光軸18に沿って物体8の中心光軸位置8a1に向かうときの光束を24A1として実線で、一次結像面14の中心光軸外の位置14a2からの光が物体8の中心光軸外の位置8a2に向かうときの光束を24A2として点線で示してある。
このような交換光学系22aで一次結像面14から中継レンズ20aまでの距離をf0、結像レンズ21aから物体8表面までの距離をf1としたとき、一次結像面14から物体8表面までの距離Dは、
D=2f1+2f0
D/2=f1+f0 であるから
f0=D/2−f1
また
倍率M=f1/f0 であるから
f0=f1/M
今、仮に倍率M=1、D=200mmとすれば、f1=50mm、f0=50mmとなり、f1とf0の境界位置が瞳位置C1となる。
中継レンズ20aと結像レンズ21aは鏡筒23a内で上記のf0、f1位置に設置され、さらに倍率M=1のとき光束24A1、24A2がけられることなく通過できる位置が瞳位置C1となるよう設計される。このような交換光学系22aによって物体8面上では、光軸点8a1を中心として軸外位置8a2とその対称点位置までが走査範囲Lnaとなり、その反射光が受光部11に送られる。
このような交換光学系22aで一次結像面14から中継レンズ20aまでの距離をf0、結像レンズ21aから物体8表面までの距離をf1としたとき、一次結像面14から物体8表面までの距離Dは、
D=2f1+2f0
D/2=f1+f0 であるから
f0=D/2−f1
また
倍率M=f1/f0 であるから
f0=f1/M
今、仮に倍率M=1、D=200mmとすれば、f1=50mm、f0=50mmとなり、f1とf0の境界位置が瞳位置C1となる。
中継レンズ20aと結像レンズ21aは鏡筒23a内で上記のf0、f1位置に設置され、さらに倍率M=1のとき光束24A1、24A2がけられることなく通過できる位置が瞳位置C1となるよう設計される。このような交換光学系22aによって物体8面上では、光軸点8a1を中心として軸外位置8a2とその対称点位置までが走査範囲Lnaとなり、その反射光が受光部11に送られる。
図3は倍率M=2としたときの交換光学系22bを示していて、一次結像面14の中心光軸位置14b1からの光が中心光軸18に沿って物体8の中心光軸位置8b1に向かうときの光束を24B1として実線で、一次結像面14の中心光軸外の位置14b2からの光が物体8の中心光軸外の位置8b2に向かうときの光束を24B2として点線で示してある。このような交換光学系22bではf0=66.7mm、f1=33.3mmとなり、f1とf0の境界位置が瞳位置C2となる。
中継レンズ20bと結像レンズ21bは鏡筒23b内の上記f0、f1位置に設置され、さらに倍率M=2のとき光束24B1、24B2がけられることなく通過できる位置が瞳位置C2となるよう設計される。このような交換光学系22bが鏡筒23bの交換によって設置されると、物体8面上では光軸点8b1を中心として軸外位置8b2とその対称点位置までが走査範囲Lnbとなり、その反射光が受光部11に送られる。
中継レンズ20bと結像レンズ21bは鏡筒23b内の上記f0、f1位置に設置され、さらに倍率M=2のとき光束24B1、24B2がけられることなく通過できる位置が瞳位置C2となるよう設計される。このような交換光学系22bが鏡筒23bの交換によって設置されると、物体8面上では光軸点8b1を中心として軸外位置8b2とその対称点位置までが走査範囲Lnbとなり、その反射光が受光部11に送られる。
図4は倍率M=5としたときの交換光学系22cを示している。図では一次結像面14の中心光軸位置14c1からの光が中心光軸18に沿って物体8の中心光軸位置8c1に向かうときの光束を24C1として実線で、一次結像面14の中心光軸外の位置14c2からの光が物体8の中心光軸外の位置8c2に向かうときの光束を24C2として点線で示してある。このような交換光学系22cではf0=83.3mm、f1=16.7mmとなり、f1とf0の境界位置が瞳位置C3となる。
中継レンズ20cと結像レンズ21cは鏡筒23cの上記f0、f1位置に設置され、さらに倍率M=5のとき光束24C1、24C2がけられることなく通過できる位置が瞳位置C3となるよう設計される。このような交換光学系22cが鏡筒23cの交換によって設置されると、物体8面上では光軸点8c1を中心として軸外位置8c2とその対称点位置までが走査範囲Lncとなり、その反射光が受光部11に送られる。
中継レンズ20cと結像レンズ21cは鏡筒23cの上記f0、f1位置に設置され、さらに倍率M=5のとき光束24C1、24C2がけられることなく通過できる位置が瞳位置C3となるよう設計される。このような交換光学系22cが鏡筒23cの交換によって設置されると、物体8面上では光軸点8c1を中心として軸外位置8c2とその対称点位置までが走査範囲Lncとなり、その反射光が受光部11に送られる。
図5は交換光学系22の他の例を実施例2として示した説明図である。図2、3、4で示した交換光学系22a、22b、22cは、いずれも1つの鏡筒23a、23b、23cに収容した中継レンズ20と結像レンズ21によって構成されている。この実施例2として示した図5によるものは、1つの鏡筒23を中継レンズ側と結像レンズ側に分離して、その組み合わせを選択して連結できるようにして倍率に多様性を与えられるようにしたものである。
図において鏡筒23dは上部側23daと下部側23dbに分離され、連結部25で例えばねじ込み式によって連結される。上部鏡筒23daには中継レンズ、この例では20dが収容され、下部鏡筒23dbには結像レンズ、この例では図2の例と同じ21aが収容されている。従がって上部鏡筒23daと下部鏡筒23dbに収容された両レンズ20d、20aによって作り出される両側テレセントリックレンズの交換光学系22dは、物体8面上でその倍率に応じた走査範囲Lndを得る。また上部鏡筒23daと下部鏡筒23dbの組み合わせを選択して他の組み合わせの中継レンズ20、結像レンズ21として連結すれば、各種倍率の組み合わせを得ることが出来る。尚、図でC4の瞳位置は、図2のC1と図3のC2の中程となっている。
図において鏡筒23dは上部側23daと下部側23dbに分離され、連結部25で例えばねじ込み式によって連結される。上部鏡筒23daには中継レンズ、この例では20dが収容され、下部鏡筒23dbには結像レンズ、この例では図2の例と同じ21aが収容されている。従がって上部鏡筒23daと下部鏡筒23dbに収容された両レンズ20d、20aによって作り出される両側テレセントリックレンズの交換光学系22dは、物体8面上でその倍率に応じた走査範囲Lndを得る。また上部鏡筒23daと下部鏡筒23dbの組み合わせを選択して他の組み合わせの中継レンズ20、結像レンズ21として連結すれば、各種倍率の組み合わせを得ることが出来る。尚、図でC4の瞳位置は、図2のC1と図3のC2の中程となっている。
以上、本発明の走査装置について説明してきたが、実施例1に示した光学系は基本的な例であり、多くの変形例を得ることが出来る。また各レンズの構成は図のような単純なものだけでなく複眼の構成とすることが出来ることは自明である。さらに光学系中には各種の部材を選択して挿入したり削除することが出来る。例えば図の瞳位置に可変絞りを設置するようにすれば、開口数が変更出来るようになり焦点深度の偏向が自由に出来るようになる。そしてこのことは開口数と倍率の関係を変更出来ることになるから、物体表面形状に応じた分解数を得ることが出来る。それによって表示部13での表示品質を向上することが出来る。さらに図1で示した光学系中の光偏向器4をポリゴンミラー方式とした場合には、ポリゴンミラーの面倒れ補正のためのシリンドリカルレンズを光学系中に設置することが出来る。
同様に図1、2、3、4、5で説明した鏡筒23の具体的な交換手段、交換時の位置既定手段などは省略してあるが、既存のものを使用することが出来る。また鏡筒23を1つずつ交換するのでなく、ターレット状にした方式も採用することが出来る。さらに制御部12や表示部13は一般のパソコンに置き換えることが出来る。
同様に図1、2、3、4、5で説明した鏡筒23の具体的な交換手段、交換時の位置既定手段などは省略してあるが、既存のものを使用することが出来る。また鏡筒23を1つずつ交換するのでなく、ターレット状にした方式も採用することが出来る。さらに制御部12や表示部13は一般のパソコンに置き換えることが出来る。
1・・・レーザ光源 3・・・ビームスプリッタ 4・・・光偏向器 7・・・fθレンズ 8・・・物体 11・・・受光部 12・・・制御部 13・・・表示部 14・・・一次結像面 18・・・光軸 20・・・中継レンズ 21・・・結像レンズ 22・・・交換光学系 23・・・鏡筒 25・・・連結部
Claims (2)
- レーザ光源からの光束を光偏向器による走査光として一旦一次結像面に結像し、その光束を物体に送ってその反射光を前記一次結像面と光偏向器経由で受光部に送り、表示部に表示して表面形状を観察するようにしたレーザ走査装置であって、両側テレセントリックレンズとして倍率ごとに用意した鏡筒を、交換光学系として一次結像面と物体間に交換自在に設置し、この交換光学系を介して物体表面を観察する様にしたことを特徴とするレーザ走査装置。
- 両側テレセントリックレンズを中継レンズ側と結像レンズ側に分離し、その組み合わせを選択して1つの鏡筒として連結できるよう構成したことを特徴とする請求項1記載のレーザ走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008157462A JP2009300348A (ja) | 2008-06-17 | 2008-06-17 | レーザ走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008157462A JP2009300348A (ja) | 2008-06-17 | 2008-06-17 | レーザ走査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009300348A true JP2009300348A (ja) | 2009-12-24 |
Family
ID=41547397
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008157462A Pending JP2009300348A (ja) | 2008-06-17 | 2008-06-17 | レーザ走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009300348A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011145628A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Synergy Optosystems Co Ltd | 光導波路の検査装置 |
JP2012181150A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Niigata Univ | カム表面の観察方法 |
US10648796B2 (en) * | 2015-05-11 | 2020-05-12 | Kla-Tencor Corporation | Optical metrology with small illumination spot size |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0519171A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-01-29 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型光学顕微鏡 |
JPH06258239A (ja) * | 1993-03-09 | 1994-09-16 | Hitachi Ltd | 欠陥検出装置およびその方法 |
JPH09127420A (ja) * | 1995-11-02 | 1997-05-16 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 共焦点走査顕微鏡の走査装置 |
JPH11237555A (ja) * | 1998-02-24 | 1999-08-31 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型レーザ顕微鏡 |
JP2000056232A (ja) * | 1998-08-12 | 2000-02-25 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
JP2007248414A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-09-27 | Opcell Co Ltd | 光学変位計 |
JP2007316662A (ja) * | 2007-07-23 | 2007-12-06 | Olympus Corp | 走査型光学顕微鏡 |
JP2008064933A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Opcell Co Ltd | 光学ユニット |
-
2008
- 2008-06-17 JP JP2008157462A patent/JP2009300348A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0519171A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-01-29 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型光学顕微鏡 |
JPH06258239A (ja) * | 1993-03-09 | 1994-09-16 | Hitachi Ltd | 欠陥検出装置およびその方法 |
JPH09127420A (ja) * | 1995-11-02 | 1997-05-16 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 共焦点走査顕微鏡の走査装置 |
JPH11237555A (ja) * | 1998-02-24 | 1999-08-31 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型レーザ顕微鏡 |
JP2000056232A (ja) * | 1998-08-12 | 2000-02-25 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
JP2007248414A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-09-27 | Opcell Co Ltd | 光学変位計 |
JP2008064933A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Opcell Co Ltd | 光学ユニット |
JP2007316662A (ja) * | 2007-07-23 | 2007-12-06 | Olympus Corp | 走査型光学顕微鏡 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011145628A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Synergy Optosystems Co Ltd | 光導波路の検査装置 |
JP2012181150A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Niigata Univ | カム表面の観察方法 |
US10648796B2 (en) * | 2015-05-11 | 2020-05-12 | Kla-Tencor Corporation | Optical metrology with small illumination spot size |
TWI715575B (zh) * | 2015-05-11 | 2021-01-11 | 美商克萊譚克公司 | 計量系統及方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108604005B (zh) | 光片显微镜和用于样品的光学显微成像的方法 | |
CN103339547A (zh) | 扫描显微镜和用于物体的光显微成像的方法 | |
US9671603B2 (en) | Optical arrangement and light microscope | |
JP5384350B2 (ja) | マルチビーム走査装置 | |
JP2006258918A5 (ja) | ||
US7564624B2 (en) | Microscope | |
JP2011118264A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP4555796B2 (ja) | 光学装置及び結像方法 | |
JP5950473B2 (ja) | レーザ顕微鏡及びスキャナー | |
JP2009300348A (ja) | レーザ走査装置 | |
US11002978B2 (en) | Microscope having a beam splitter assembly | |
JP2009282456A (ja) | レーザ顕微鏡 | |
WO2017068737A1 (ja) | ヘッドアップディスプレイ装置 | |
JP5242042B2 (ja) | ステレオ顕微鏡 | |
JP2019514060A (ja) | 試料を検査する方法および顕微鏡 | |
JP2010014837A (ja) | 光走査顕微鏡 | |
US9268133B2 (en) | Optical scanning apparatus and scanning microscope apparatus | |
JP2014503842A (ja) | 共焦点レーザー走査顕微鏡および試料の検査方法 | |
JPH10104523A (ja) | コンフォーカル顕微鏡 | |
US5859721A (en) | Optical device using a point light source | |
JP2007155527A (ja) | 物体表面の観察装置 | |
JP3461382B2 (ja) | 対物レンズ走査型顕微鏡 | |
JP2007004075A (ja) | 画像露光装置 | |
US20190146202A1 (en) | Apparatus and method for light-sheet-like illumination of a sample | |
KR101038418B1 (ko) | 자동초점 조절장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20110608 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121120 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20130319 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |