JP2009300248A - Parallel testing device - Google Patents

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Hideaki Murakami
秀明 村上
Yuki Ashida
祐輝 蘆田
Naomichi Yamada
尚道 山田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance expandability of a parallel testing system by miniaturizing its entire configuration. <P>SOLUTION: A personal computer 1 generates parallel testing programs P-1 to P-N for transmitting to parallel testing devices 2-1 to 2-N, and then transmits test start signals C-1 to C-N to the parallel testing devices 2-1 to 2-N. In response to it, the parallel testing devices 2-1 to 2-N execute the parallel testing programs P-1 to P-N and perform testing processing to a DUT 4 by measuring devices 3-1 to 3-N. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、被試験デバイスに対する複数の試験処理を複数の計測装置を用いて同時並列に行う並列試験システムに用いられる並列試験装置に関する。   The present invention relates to a parallel test apparatus used in a parallel test system that performs a plurality of test processes on a device under test simultaneously in parallel using a plurality of measurement apparatuses.

従来技術に係る並列試験システムにおいて、被試験デバイス(Device Under Test。以下、DUTという。)に対する複数の試験処理をそれぞれ行う計測器と、当該計測器からの各試験結果のデータを処理するメインパーソナルコンピュータとは、GP−IB(General Purpose Interface Bus)又はRS−232Cなどのインターフェース規格に準拠した計測用バスを介して接続されている。メインパーソナルコンピュータは、各計測器に固有の制御命令を組み合わせた試験用プログラムを実行することにより各計測器の動作を制御して、各制御器からの各試験結果のデータの転送処理を行う。   In a parallel test system according to the prior art, a measuring instrument that performs a plurality of test processes for a device under test (hereinafter referred to as DUT), and a main personal that processes data of each test result from the measuring instrument The computer is connected via a measurement bus conforming to an interface standard such as GP-IB (General Purpose Interface Bus) or RS-232C. The main personal computer controls the operation of each measuring instrument by executing a test program in which a control command unique to each measuring instrument is combined, and performs processing for transferring data of each test result from each controller.

例えば、特許文献1のファンクションテスト・システムは、被測定物を装着するための治具と、該測定物の機能を検査するために異なる検査機能を有する各種のファンクションテスタと、該ファンクションテスタの機能検査を操作する検査制御部とからなり、前記各種のファンクションテスタは、夫々同形のモジュールタイプに形成したことを特徴としている。特許文献1に記載のファンクションテスト・システムによれば、コンパクトな汎用ファンクションテスタを提供できる。   For example, the function test system of Patent Document 1 includes a jig for mounting an object to be measured, various function testers having different inspection functions for inspecting the function of the object, and the function of the function tester. It comprises an inspection control unit for operating inspection, and the various function testers are formed in the same module type. According to the function test system described in Patent Document 1, a compact general-purpose function tester can be provided.

また、特許文献2に記載の計測システム装置は、各種計測データ(D)を処理する二以上の計測データ処理装置(Mn〔n=1,2,i,…,n〕)と、前記計測データ(D)を伝送する二以上の計測用バス(Bm〔m=1,2,i,…,m〕)とを具備し、少なくとも、前記計測用バス数(m)に依存して各種計測データ(D)のバス転送制御をするバス制御権が計測データ処理装置(Mn)に与えられることを特徴としている。特許文献2によれば、一本の計測バスを用いる場合に比較して、被測定対象に係る測定処理時間の短縮及びその並列測定の高速化を行うことができる。   Further, the measurement system device described in Patent Document 2 includes two or more measurement data processing devices (Mn [n = 1, 2, i,..., N]) that process various measurement data (D), and the measurement data. (D) and two or more measurement buses (Bm [m = 1, 2, i,..., M]), and various measurement data depending on at least the number of measurement buses (m). The bus control right for performing the bus transfer control in (D) is given to the measurement data processing device (Mn). According to Patent Document 2, it is possible to shorten the measurement processing time related to the measurement target and speed up the parallel measurement as compared with the case where one measurement bus is used.

さらに、特許文献3に記載の温度試験装置は、複数の温度条件で被試験物の特性試験を順次実行するため、各温度条件に対応した特性試験を実行する複数の計測器と、計測器の一式に関連して設置された複数の恒温槽と、各計測器および各恒温槽の制御処理を行う制御機器とを備え、制御機器は、各恒温槽毎に制御タスクを割り当てることにより、各計測器による特性試験をマルチタスクで実行するとともに、各恒温槽をそれぞれ独立して非同期に運転する。   Furthermore, since the temperature test apparatus described in Patent Document 3 sequentially executes a characteristic test of the DUT under a plurality of temperature conditions, a plurality of measuring instruments that execute a characteristic test corresponding to each temperature condition, It is equipped with a plurality of thermostats installed in relation to the set, and a control device that performs control processing of each measuring instrument and each thermostat, and each control instrument assigns a control task to each thermostat, In addition to performing multi-tasking characteristic tests using a vessel, each thermostat is operated independently and asynchronously.

またさらに、特許文献4の自動計測システムは、ユーザの操作するユーザマシンと計測器を制御するコントローラとを第1の通信線で接続すると共に、前記計測器と前記コントローラとを第2の通信線で接続した自動計測システムであって、前記計測器は、前記コントローラから該計測器の詳細動作を制御するための第1の制御プログラムと、前記コントローラ上に読み出される前記第1の制御プログラムの詳細動作を前記ユーザマシンから制御するための第2の制御プログラムとを予め記憶しており、前記コントローラが前記第1の制御プログラムを前記計測器から読み出して実行し、前記ユーザマシンが前記コントローラを介して前記第2の制御プログラムを前記計測器から読み出して実行することで、前記ユーザマシン上の第2の制御プログラムに従って前記コントローラ上の第1の制御プログラムを制御すると共に、該第1の制御プログラムに従って前記計測器の詳細動作を制御することを特徴としている。これにより、計測器の制御プログラムの作成作業を大幅に軽減できる。   Still further, the automatic measurement system of Patent Document 4 connects a user machine operated by a user and a controller that controls the measuring instrument with a first communication line, and connects the measuring instrument and the controller to a second communication line. The measuring instrument is a first control program for controlling a detailed operation of the measuring instrument from the controller, and details of the first control program read out on the controller. A second control program for controlling the operation from the user machine in advance, the controller reads and executes the first control program from the measuring instrument, and the user machine passes through the controller. The second control program on the user machine is read out from the measuring instrument and executed. To control the first control program on the controller in accordance with programs, it is characterized by controlling the detailed operation of the instrument in accordance with the first control program. This greatly reduces the work of creating a control program for the measuring instrument.

特開平7−318614号公報。JP-A-7-318614. 特開平5−225126号公報。JP-A-5-225126. 特開2004−23337号公報。Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-23337. 特開平11−45393号公報。JP-A-11-45393.

しかしながら、特許文献1に記載のファンクションテスト・システムによれば、複数のファンクションテスタと当該ファンクションテスタを制御する検査制御部とは、GP−IBに準拠したバスを介して互いに接続されるので、ある時間内において、ファンクションテスタからの計測データの転送を制御する装置は当該バス上に1台しか存在できない。このため、複数のファンクションテスタからの計測データを同時に検査制御部に転送できず、計測データを送信しているファンクションテスタ以外のファンクションテスタは、バスが解放されるまで計測データを検査制御部に送信できない。すなわち、特許文献1に記載のファンクションテスト・システムによれば、複数のファンクションテスタを用いてDUTを同時並列に試験できず、DUTの試験処理を高速化するためには、特別な手続き処理をさらに追加する必要があり、当該試験処理のためのプログラムが複雑化し、当該DUTに係る製品の開発期間が長くなるという課題があった。   However, according to the function test system described in Patent Document 1, a plurality of function testers and an inspection control unit that controls the function testers are connected to each other via a bus compliant with GP-IB. Only one device on the bus can control the transfer of measurement data from the function tester within the time. For this reason, measurement data from multiple function testers cannot be transferred to the inspection control unit at the same time, and function testers other than the function tester sending measurement data send measurement data to the inspection control unit until the bus is released. Can not. That is, according to the function test system described in Patent Document 1, a DUT cannot be tested simultaneously in parallel using a plurality of function testers, and in order to speed up the DUT test processing, special procedure processing is further performed. There is a problem that a program for the test processing needs to be added and the development period of a product related to the DUT becomes long.

また、特許文献2に記載の計測システム装置によれば、複数の計測データ処理装置及び複数の計測用バスを備えた複雑な構成であるため、1つの計測用バスを備えた場合に比較して、各計測データ処理装置上で動作する並列試験処理のための各プログラムは、通信調停などの調整処理を含む必要があり、当該プログラム開発及び動作の検証作業のために多くの労力を必要とした。さらに、計測システム装置全体の構成が複雑化及び大型化し、計測器を1台増設するだけでもさまざまな箇所を改造する必要が生じ、計測システム装置の拡張及びメンテナンスの面で課題があった。さらに、計測データ処理装置毎に、並列試験処理のためのプログラムを開発する必要があった。   Further, according to the measurement system device described in Patent Document 2, since it has a complicated configuration including a plurality of measurement data processing devices and a plurality of measurement buses, compared to a case where a single measurement bus is provided. Each program for parallel test processing that operates on each measurement data processing device needs to include adjustment processing such as communication mediation, and requires a lot of labor for the program development and operation verification work. . Furthermore, the configuration of the entire measurement system apparatus becomes complicated and large, and it is necessary to remodel various parts even if only one measuring instrument is added, which causes problems in terms of expansion and maintenance of the measurement system apparatus. Furthermore, it was necessary to develop a program for parallel test processing for each measurement data processing device.

さらに、特許文献3に記載の温度試験装置によれば、特性試験を実行する複数の計測器は互いに独立であり、当該複数の計測器を相互に通信させて試験処理を行うことができなかった。また、特許文献4の自動計測システムによれば、計測器は、所定の第1及び第2の制御プログラムを予め記憶する必要があり、任意の計測器を用いることができなかった。   Furthermore, according to the temperature test apparatus described in Patent Document 3, the plurality of measuring instruments that execute the characteristic test are independent from each other, and the plurality of measuring instruments cannot communicate with each other to perform the test process. . Moreover, according to the automatic measurement system of Patent Document 4, the measuring instrument needs to store predetermined first and second control programs in advance, and an arbitrary measuring instrument cannot be used.

本発明の目的は以上の問題点を解決し、DUTに対する複数の試験処理を同時並列に行う並列試験システムにおいて、従来技術に比較してシステム全体の構成を小型且つ簡便にでき、その拡張性を高めることができ、複数の試験処理を並列に行うためのプログラムの作成が容易である並列試験装置を提供することを目的とする。   The object of the present invention is to solve the above problems, and in a parallel test system that performs a plurality of test processes on a DUT simultaneously in parallel, the configuration of the entire system can be made smaller and simpler than the prior art, and its expandability can be improved. It is an object of the present invention to provide a parallel test apparatus that can be enhanced and can easily create a program for performing a plurality of test processes in parallel.

本発明に係る並列試験装置は、所定の制御命令に従って被試験デバイスに対する試験処理をそれぞれ行う複数の計測装置と、上記複数の計測装置にそれぞれ接続された複数の並列試験装置と、上記複数の並列試験装置に接続された制御装置と、上記複数の並列試験装置を相互に接続する相互通信バスとを備えた並列試験システムのための複数の並列試験装置のうちの1つの並列試験装置であって、上記相互通信バスは、上記複数の並列試験装置間でマスタ/スレーブ方式の通信を行うための複数の通信信号線と、当該相互通信バスにマスタ装置である並列試験装置が接続されていないことを示す第1の電圧レベル又は当該相互通信バスに上記マスタ装置である並列試験装置が接続されていることを示す第2の電圧レベルを有するマスタ装置管理用信号線とを備え、当該並列試験装置は、上記制御命令を含む並列試験プログラムのデータを上記制御装置から受信して記憶手段に格納し、上記制御装置からの試験開始信号に応答して、上記格納された並列試験プログラムを実行することにより、当該並列試験装置に接続された計測装置を上記試験処理を行うように制御し、当該並列試験装置は、当該並列試験装置をマスタ装置とし当該並列試験装置以外の並列試験装置をスレーブ装置とするマスタ/スレーブ方式の通信処理の開始時に、上記マスタ装置管理用信号線が上記第1の電圧レベルを有するときに、上記マスタ装置管理用信号線を上記第2の電圧レベルに設定し、上記通信処理の終了時に、上記マスタ装置管理用信号線を上記第1の電圧レベルに設定することを特徴とする。   A parallel test apparatus according to the present invention includes a plurality of measurement apparatuses that respectively perform test processing on a device under test according to a predetermined control instruction, a plurality of parallel test apparatuses connected to the plurality of measurement apparatuses, and the plurality of parallel test apparatuses. A parallel test device of a plurality of parallel test devices for a parallel test system comprising a control device connected to the test device and an intercommunication bus for interconnecting the plurality of parallel test devices. The intercommunication bus is connected to a plurality of communication signal lines for performing master / slave communication between the plurality of parallel test apparatuses, and the parallel test apparatus as a master apparatus is not connected to the intercommunication bus. Or a master device tube having a second voltage level indicating that the parallel test device as the master device is connected to the intercommunication bus. The parallel test apparatus receives the data of the parallel test program including the control instruction from the control apparatus and stores it in the storage means, and responds to the test start signal from the control apparatus, By executing the stored parallel test program, the measurement apparatus connected to the parallel test apparatus is controlled to perform the test process, and the parallel test apparatus uses the parallel test apparatus as a master apparatus and performs the parallel test apparatus. At the start of master / slave communication processing using a parallel test device other than the test device as a slave device, when the master device management signal line has the first voltage level, the master device management signal line is The second voltage level is set, and at the end of the communication process, the master device management signal line is set to the first voltage level.

本発明に係る並列試験装置によれば、所定の制御命令を含む並列試験プログラムのデータを制御装置から受信して記憶手段に格納し、制御装置からの試験開始信号に応答して、上記格納された並列試験プログラムを実行することにより、当該並列試験装置に接続された計測装置をDUTに対する試験処理を行うように制御する。従って、所定の制御命令に従って被試験デバイスに対する試験処理をそれぞれ行う複数の計測装置に、本発明に係る並列試験装置をそれぞれ接続し、当該複数の並列試験装置を制御装置に接続して並列試験システムを構成することにより、従来技術に比較して、当該並列試験システム全体の構成を小型且つ簡便にでき、当該並列試験システムの拡張性を高めることができ、複数の試験処理を並列に行うためのプログラムを容易に作成できる。   According to the parallel test apparatus of the present invention, data of a parallel test program including a predetermined control instruction is received from the control apparatus and stored in the storage means, and the data is stored in response to a test start signal from the control apparatus. By executing the parallel test program, the measurement apparatus connected to the parallel test apparatus is controlled to perform the test process for the DUT. Therefore, a parallel test system is connected by connecting the parallel test apparatus according to the present invention to a plurality of measurement apparatuses that respectively perform test processing on a device under test according to a predetermined control command, and connecting the plurality of parallel test apparatuses to the control apparatus. Compared to the prior art, the overall configuration of the parallel test system can be made smaller and simpler, the expandability of the parallel test system can be improved, and a plurality of test processes can be performed in parallel. You can easily create programs.

以下、本発明に係る実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下の各実施の形態において、同様の構成要素については同一の符号を付している。   Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, in each following embodiment, the same code | symbol is attached | subjected about the same component.

実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係る並列試験装置2−n(n=1,2,…,N)(以下、並列試験装置2とも総称する。)を備えた、並列試験システムの構成を示すブロック図である。また、図2は、図1の並列試験装置2−nの構成を示すブロック図であり、図3は、図1の相互通信バス8の構成を示すブロック図である。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 shows a parallel test system including parallel test apparatuses 2-n (n = 1, 2,..., N) (hereinafter also collectively referred to as parallel test apparatus 2) according to Embodiment 1 of the present invention. It is a block diagram which shows a structure. 2 is a block diagram showing a configuration of the parallel test apparatus 2-n in FIG. 1, and FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of the mutual communication bus 8 in FIG.

図1の並列試験システムは、DUT4に計測用装置用ケーブル7−1〜7−Nを介してそれぞれ接続され、かつ所定の制御命令に従ってDUT4に対する試験処理又は制御処理をそれぞれ行う複数N台の計測用装置3−1〜3−N(以下、計測用装置3とも総称する。)と、計測用装置3−1〜3−NにGP−IBケーブル6−1〜6−Nを介してそれぞれ接続された複数N台の並列試験装置2−1〜2−Nと、各並列試験装置2−1〜2−NにRS−232Cケーブル5−1〜5−Nを介して接続されたパーソナルコンピュータ1と、並列試験装置2−1〜2−Nを相互に接続する相互通信バス8とを備えて構成される。   The parallel test system of FIG. 1 is connected to the DUT 4 via the measurement device cables 7-1 to 7-N and measures a plurality of N units that respectively perform test processing or control processing on the DUT 4 according to predetermined control commands. Devices 3-1 to 3 -N (hereinafter collectively referred to as measurement device 3) and measurement devices 3-1 to 3 -N via GP-IB cables 6-1 to 6 -N, respectively. A plurality of N parallel test apparatuses 2-1 to 2-N, and personal computers 1 connected to the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N via RS-232C cables 5-1 to 5-N And an intercommunication bus 8 for connecting the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N to each other.

詳細後述するように、上記相互通信バス8は、並列試験装置2−1〜2−N間でマスタ/スレーブ方式の通信を行うための複数の通信信号線81a,81bと、当該相互通信バス8にマスタ装置である並列試験装置2が接続されていないことを示す第1の電圧レベル又は当該相互通信バス8に上記マスタ装置である並列試験装置2が接続されていることを示す第2の電圧レベルを有するマスタ装置管理用信号線82とを備える。   As will be described in detail later, the mutual communication bus 8 includes a plurality of communication signal lines 81a and 81b for performing master / slave communication between the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N, and the mutual communication bus 8. A first voltage level indicating that the parallel test apparatus 2 as the master apparatus is not connected to the second communication voltage, or a second voltage indicating that the parallel test apparatus 2 as the master apparatus is connected to the intercommunication bus 8. And a master device management signal line 82 having a level.

本実施形態において、並列試験装置2は、上記制御命令を含む並列試験プログラムのデータをパーソナルコンピュータ1から受信してメモリ21に格納し、パーソナルコンピュータ1からの試験開始信号に応答して、上記格納された並列試験プログラムを実行することにより、当該並列試験装置2に接続された計測用装置3を上記試験処理を行うように制御し、当該並列試験装置2をマスタ装置とし当該並列試験装置以外の並列試験装置2をスレーブ装置とするマスタ/スレーブ方式の通信処理の開始時に、上記マスタ装置管理用信号線82が上記第1の電圧レベルを有するときに、上記マスタ装置管理用信号線82を上記第2の電圧レベルに設定し、上記通信処理の終了時に、上記マスタ装置管理用信号線92を上記第1の電圧レベルに設定することを特徴としている。   In the present embodiment, the parallel test apparatus 2 receives the parallel test program data including the control command from the personal computer 1 and stores it in the memory 21, and stores the data in response to the test start signal from the personal computer 1. By executing the parallel test program, the measurement device 3 connected to the parallel test device 2 is controlled to perform the test process, and the parallel test device 2 is used as a master device. At the start of master / slave communication processing using the parallel test apparatus 2 as a slave device, when the master device management signal line 82 has the first voltage level, the master device management signal line 82 is connected to the master device management signal line 82. At the end of the communication process, the master device management signal line 92 is set to the first voltage level. It is characterized in that.

図1において、パーソナルコンピュータ1は、コントローラ10と、メモリ11と、RS−232Cインターフェース12−1〜12−Nとを備えて構成される。コントローラ10は、具体的にはCPU(Central Processing Unit)で構成されており、パーソナルコンピュータ1の動作を制御するほか、メモリ11に格納された種々のソフトウェアのプログラムを実行する。メモリ11は、パーソナルコンピュータ1の動作に必要であってコントローラ10によって実行される種々のソフトウェアのプログラムを予め格納する。本実施形態において、メモリ11は、図4を用いて詳細後述する第1の並列試験処理のプログラムを格納する。また、RS−232Cインターフェース12−1〜12−Nはそれぞれ、コントローラ10から入力されるデータ及び信号に対して、並列試験装置2−1〜2−Nとのインターフェース処理を実行して、RS−232Cに準拠するデータ信号を発生して、各並列試験装置2−1〜2−Nに出力する。さらに、RS−232Cインターフェース12−1〜12−Nはそれぞれ、各並列試験装置2−1〜2−NからRS−232Cケーブル5−1〜5−Nを介して入力されるデータ信号に対して、信号変換やプロトコル変換を含む所定のインターフェース処理を実行してコントローラ10に出力する。   In FIG. 1, a personal computer 1 includes a controller 10, a memory 11, and RS-232C interfaces 12-1 to 12-N. The controller 10 is specifically composed of a CPU (Central Processing Unit), and controls the operation of the personal computer 1 and executes various software programs stored in the memory 11. The memory 11 stores various software programs necessary for the operation of the personal computer 1 and executed by the controller 10 in advance. In the present embodiment, the memory 11 stores a first parallel test processing program, which will be described in detail later with reference to FIG. Further, the RS-232C interfaces 12-1 to 12-N perform interface processing with the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N on the data and signals input from the controller 10, respectively. A data signal conforming to 232C is generated and output to each parallel test apparatus 2-1 to 2-N. Further, the RS-232C interfaces 12-1 to 12-N respectively respond to data signals input from the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N via the RS-232C cables 5-1 to 5-N. Then, predetermined interface processing including signal conversion and protocol conversion is executed and output to the controller 10.

図2において、並列試験装置2−nはワンチップのマイクロコンピュータ26−nにてなり、当該マイクロコンピュータ26−n上に、コントローラ20−nと、メモリ21−nと、アドレススイッチ22−nと、RS−232Cインターフェース23−nと、GP−IBインターフェース24−nと、相互通信インターフェース25−nとが搭載される。並列試験装置2−1〜2−Nには、0から15までのアドレスを設定可能な4ビットのDIP(Dual In Line Package)スイッチであるアドレススイッチ22−1〜22−Nを用いて、互いに異なる固有のアドレスが割り当てられる。コントローラ20−nは、具体的にはCPUで構成されており、並列試験装置2−nの動作を制御するほか、メモリ21−nに格納された種々のソフトウェアのプログラムを実行する。メモリ21−nは、並列試験装置2−nの動作に必要であってコントローラ20−nによって実行される種々のソフトウェアのプログラムを予め格納する。   In FIG. 2, the parallel test apparatus 2-n is a one-chip microcomputer 26-n. On the microcomputer 26-n, a controller 20-n, a memory 21-n, an address switch 22-n, RS-232C interface 23-n, GP-IB interface 24-n, and mutual communication interface 25-n are mounted. The parallel test apparatuses 2-1 to 2-N use address switches 22-1 to 22-N which are 4-bit DIP (Dual In Line Package) switches that can set addresses from 0 to 15, respectively. Different unique addresses are assigned. The controller 20-n is specifically composed of a CPU, and controls the operation of the parallel test apparatus 2-n and executes various software programs stored in the memory 21-n. The memory 21-n stores various software programs that are necessary for the operation of the parallel test apparatus 2-n and executed by the controller 20-n.

図2において、RS−232Cインターフェース23−nは、コントローラ20−nから入力されるデータ及び信号に対して、パーソナルコンピュータ1とのインターフェース処理を実行して、RS−232Cに準拠するデータ信号を発生して、パーソナルコンピュータ1に出力する。さらに、RS−232Cインターフェース23−nは、パーソナルコンピュータ1からRS−232Cケーブル5−nを介して入力されるデータ信号に対して、信号変換やプロトコル変換を含む所定のインターフェース処理を実行してコントローラ20−nに出力する。また、GP−IBインターフェース24−nは、コントローラ20−nから入力されるデータ及び信号に対して、計測用装置3−nとのインターフェース処理を実行して、GP−IBに準拠するデータ信号を発生して、計測用装置3−nに出力する。さらに、GP−IBインターフェース24−nは計測用装置3−nからGP−IBケーブル7−nを介して入力されるデータ信号に対して、信号変換やプロトコル変換を含む所定のインターフェース処理を実行してコントローラ20−nに出力する。   In FIG. 2, the RS-232C interface 23-n performs interface processing with the personal computer 1 on the data and signals input from the controller 20-n, and generates a data signal conforming to RS-232C. And output to the personal computer 1. Further, the RS-232C interface 23-n performs predetermined interface processing including signal conversion and protocol conversion on the data signal input from the personal computer 1 via the RS-232C cable 5-n, and executes a controller. Output to 20-n. In addition, the GP-IB interface 24-n performs interface processing with the measurement device 3-n on the data and signals input from the controller 20-n, and generates data signals conforming to GP-IB. Generated and output to the measuring device 3-n. Further, the GP-IB interface 24-n performs predetermined interface processing including signal conversion and protocol conversion on the data signal input from the measurement device 3-n via the GP-IB cable 7-n. To the controller 20-n.

また、図2において、相互通信インターフェース25−nは、相互通信バス8に接続される。ここで、図3に示すように、相互通信バス8は、並列試験装置2−1〜2−N間でマスタ/スレーブ方式の通信を行うためのI2Cバス81と、マスタ装置管理用信号線82とを含む。I2C(Inter Integrated Circuit)バス81は、高速シリアル通信のためのインターフェース規格であるI2Cに準拠しており、マスタ/スレーブ方式の通信のためにシリアルデータ信号を用いてシリアル通信を行う2本の双方向のオープンコレクタ信号線であるシリアルデータ線81a(SDA)及びシリアルクロック線81b(SCL)を含む。シリアルデータ線81a及びシリアルクロック線81bはそれぞれ、プルアップ抵抗Rp2及びRp3を介して正の電圧源Vddに接続される。また、各並列試験装置2−nの相互通信インターフェース25−nのシリアルデータ信号入出力端子t2−nは、シリーズ抵抗Rs2−nを介してシリアルデータ線81aに接続される。さらに、各並列試験装置2−nの相互通信インターフェース25−nのクロック信号入出力端子t3−nは、シリーズ抵抗Rs3−nを介してシリアルクロック線81bに接続される。   In FIG. 2, the mutual communication interface 25-n is connected to the mutual communication bus 8. Here, as shown in FIG. 3, the intercommunication bus 8 includes an I2C bus 81 for performing master / slave communication between the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N, and a master apparatus management signal line 82. Including. An I2C (Inter Integrated Circuit) bus 81 is compliant with I2C, which is an interface standard for high-speed serial communication, and both of the two that perform serial communication using a serial data signal for master / slave communication. A serial data line 81a (SDA) and a serial clock line 81b (SCL), which are open collector signal lines in the direction. Serial data line 81a and serial clock line 81b are connected to positive voltage source Vdd via pull-up resistors Rp2 and Rp3, respectively. The serial data signal input / output terminal t2-n of the mutual communication interface 25-n of each parallel test apparatus 2-n is connected to the serial data line 81a via the series resistor Rs2-n. Further, the clock signal input / output terminal t3-n of the mutual communication interface 25-n of each parallel test apparatus 2-n is connected to the serial clock line 81b via the series resistor Rs3-n.

I2Cバス81を介してシリアル通信を行わないときには、各並列試験装置2−nの相互通信インターフェース25−nのシリアルデータ信号入出力端子t2−n及びクロック信号入出力端子t3−nはそれぞれハイインピーダンスになっており、このとき電圧源Vddはシリアルデータ線81a及びシリアルクロック線81bの各電圧レベルを電源電圧Vddであるハイレベルにプルアップしている。また、I2Cバス81を介してシリアル通信を行うときには、各並列試験装置2−nは、相互通信インターフェース25−nのクロック信号入出力端子t3−nを介して入出力するクロック信号を用いて、シリアルデータ信号入出力端子t2−nを介してシリアルデータ信号を入出力する。   When serial communication is not performed via the I2C bus 81, the serial data signal input / output terminal t2-n and the clock signal input / output terminal t3-n of the mutual communication interface 25-n of each parallel test apparatus 2-n have high impedance. At this time, the voltage source Vdd pulls up the voltage levels of the serial data line 81a and the serial clock line 81b to the high level which is the power supply voltage Vdd. When serial communication is performed via the I2C bus 81, each parallel test apparatus 2-n uses a clock signal input / output via the clock signal input / output terminal t3-n of the mutual communication interface 25-n. A serial data signal is input / output via the serial data signal input / output terminal t2-n.

また、図3において、オープンコレクタ信号線であるマスタ装置管理用信号線82は、プルアップ抵抗Rp1を介して電圧源Vddに接続される。さらに、各並列試験装置2−nの相互通信インターフェース25−nのマスタ装置管理用信号入出力端子t1−nは、シリーズ抵抗Rs1−nを介してマスタ装置管理用信号線82に接続される。   In FIG. 3, a master device management signal line 82 which is an open collector signal line is connected to a voltage source Vdd via a pull-up resistor Rp1. Further, the master device management signal input / output terminal t1-n of the mutual communication interface 25-n of each parallel test device 2-n is connected to the master device management signal line 82 via the series resistor Rs1-n.

各並列試験装置2−nは、I2Cにおけるスレーブ装置になるためにマスタ装置管理用信号入出力端子t1−nをローインピーダンスにする一方、I2Cにおけるマスタ装置になるためにマスタ装置管理用信号入出力端子t1−nをハイインピーダンスにする。本実施形態において、各並列試験装置2−nは、当該並列試験装置2−nの電源オン時にスレーブ装置として起動する。全ての並列試験装置2−1〜2−Nがスレーブ装置であるときには、全てのマスタ装置管理用信号入出力端子t1−1〜t1−Nがローインピーダンスになっており、マスタ装置管理用信号線82の電圧レベルVmは接地電位であるローレベルになっている。   Each parallel test device 2-n sets the master device management signal input / output terminal t1-n to low impedance in order to become a slave device in I2C, while the master device management signal input / output in order to become a master device in I2C. The terminal t1-n is set to high impedance. In the present embodiment, each parallel test apparatus 2-n is activated as a slave apparatus when the parallel test apparatus 2-n is powered on. When all the parallel test devices 2-1 to 2-N are slave devices, all the master device management signal input / output terminals t1-1 to t1-N have low impedance, and the master device management signal line The voltage level Vm 82 is a low level which is the ground potential.

並列試験装置2−nは、当該並列試験装置2−nをマスタ装置とし当該並列試験装置2−n以外の並列試験装置2をスレーブ装置とするマスタ/スレーブ方式の通信処理の開始時に、全ての並列試験装置2−1〜2−Nがスレーブ装置であるか否かを判断するために、マスタ装置管理用信号線82の電圧レベルVmがローレベルであるか否かを判断し、ローレベルであるときに、マスタ装置管理用信号入出力端子t1−nをハイインピーダンスにする。このとき、マスタ装置管理用信号線82の電圧レベルVmは、電圧源Vddによってハイレベルにプルアップされる。そして、並列試験装置2−nは、I2Cバス81を介して当該並列試験装置2−nをマスタ装置とし当該並列試験装置2−n以外の並列試験装置2をスレーブ装置とするマスタ/スレーブ方式の通信処理を行う。最後に、並列試験装置2−nは、上記通信処理の終了時に、マスタ装置管理用信号入出力端子t1−nをローインピーダンスにする。これにより、全てのマスタ装置管理用信号入出力端子t1−1〜t1−Nがローインピーダンスになるので、マスタ装置管理用信号線82の電圧レベルVmはローレベルになる。従って、マスタ装置管理用信号線82の電圧レベルVmは、相互通信バス8にマスタ装置である並列試験装置2が接続されていないことを示すローレベル、もしくは相互通信バス8にマスタ装置である並列試験装置2が接続されていることを示すハイレベルを有する。   At the start of master / slave communication processing, the parallel test apparatus 2-n uses the parallel test apparatus 2-n as a master apparatus and the parallel test apparatus 2 other than the parallel test apparatus 2-n as a slave apparatus. In order to determine whether or not the parallel test devices 2-1 to 2-N are slave devices, it is determined whether or not the voltage level Vm of the master device management signal line 82 is a low level. At some time, the master device management signal input / output terminal t1-n is set to high impedance. At this time, the voltage level Vm of the master device management signal line 82 is pulled up to a high level by the voltage source Vdd. The parallel test apparatus 2-n is a master / slave system that uses the parallel test apparatus 2-n as a master apparatus and a parallel test apparatus 2 other than the parallel test apparatus 2-n as a slave apparatus via the I2C bus 81. Perform communication processing. Finally, the parallel test apparatus 2-n sets the master apparatus management signal input / output terminal t1-n to low impedance at the end of the communication process. As a result, all the master device management signal input / output terminals t1-1 to t1-N have low impedance, so that the voltage level Vm of the master device management signal line 82 becomes low level. Therefore, the voltage level Vm of the master device management signal line 82 is at a low level indicating that the parallel test device 2 that is the master device is not connected to the mutual communication bus 8, or the parallel that is the master device to the mutual communication bus 8. It has a high level indicating that the test apparatus 2 is connected.

さらに、図3において、相互通信インターフェース25−nは、コントローラ20−nから入力されるデータ及び信号に対して、通信相手の他の並列試験装置2−m(mは、1,2,…,n−1,n+1,n+2,…,Nのうちのいずれか1つ)とのインターフェース処理を実行して、I2Cに準拠するシリアルデータ信号を発生して、I2Cバス81を介して当該他の並列試験装置2−mに出力する。さらに、相互通信インターフェース25−nは、当該並列試験装置2−mからI2Cバス81を介して入力されるシリアルデータ信号に対して、信号変換やプロトコル変換を含む所定のインターフェース処理を実行してコントローラ20−nに出力する。なお、相互通信バス8を介する並列試験装置2−1〜2−N間の相互通信処理については、図5を用いて詳細後述する。   Further, in FIG. 3, the mutual communication interface 25-n performs other parallel test apparatus 2-m (m is 1, 2,...) With respect to data and signals input from the controller 20 -n. n-1, n + 1, n + 2,..., N) to generate an I2C-compliant serial data signal, and the other parallel via the I2C bus 81 Output to test device 2-m. Further, the intercommunication interface 25-n executes a predetermined interface process including signal conversion and protocol conversion on the serial data signal input from the parallel test apparatus 2-m via the I2C bus 81, and executes a controller. Output to 20-n. The mutual communication processing between the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N via the mutual communication bus 8 will be described in detail later with reference to FIG.

図1において、計測用装置3−1〜3−Nはそれぞれ、対応する並列試験装置2−1〜2−Nによって制御され、計測用装置用ケーブル7−1〜7−Nを介して、DUT4に対する試験処理又はDUT4の制御処理を行い、試験結果のデータを試験結果データD−1〜D−Nとして並列試験装置2−1〜2−Nに出力する。なお、DUT4の試験条件の設定などの制御処理行う計測用装置3は、試験結果データを並列試験装置2に出力しない。例えば、計測用装置3−1はスペクトラムアナライザであって、DUT4の周波数特性を計測しながら試験処理を行い、計測用装置3−2はオシロスコープであって、DUT4の所定の計測ポイント間の電圧を所定の期間において計測しながら試験処理を行う。また、計測用装置3−3(図示しない。)は、DUT4の所定の計測ポイント間の電圧を所定のタイミングにおいて計測しながら試験処理を行い、計測用装置3−Nは複数の異なる直流電圧を切り換えて出力する直流電源であって、DUT4に所定の直流電圧を供給する制御処理を行う。   In FIG. 1, the measurement devices 3-1 to 3-N are respectively controlled by corresponding parallel test devices 2-1 to 2-N, and are connected to the DUT 4 via the measurement device cables 7-1 to 7-N. The test process or control process of the DUT 4 is performed, and test result data is output to the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N as test result data D-1 to DN. Note that the measurement device 3 that performs control processing such as setting of test conditions for the DUT 4 does not output test result data to the parallel test device 2. For example, the measurement device 3-1 is a spectrum analyzer and performs a test process while measuring the frequency characteristics of the DUT 4, and the measurement device 3-2 is an oscilloscope, and calculates a voltage between predetermined measurement points of the DUT 4. The test process is performed while measuring for a predetermined period. Further, the measurement device 3-3 (not shown) performs a test process while measuring the voltage between predetermined measurement points of the DUT 4 at a predetermined timing, and the measurement device 3-N generates a plurality of different DC voltages. This is a DC power source that switches and outputs, and performs a control process for supplying a predetermined DC voltage to the DUT 4.

次に、図1の並列試験処理システムの動作を説明する。   Next, the operation of the parallel test processing system of FIG. 1 will be described.

図4は、図1のパーソナルコンピュータ1のコントローラ10によって実行される第1の並列試験処理及び当該第1の並列試験処理における並列試験装置2−n及び計測用装置3−nの動作を示すシーケンス図である。なお、パーソナルコンピュータ1、並列試験装置2−1〜2−Nの動作主体は各コントローラ10,20−1〜20−Nであるが、以下においてその記載を省略する。   FIG. 4 is a sequence showing the first parallel test process executed by the controller 10 of the personal computer 1 of FIG. 1 and the operations of the parallel test apparatus 2-n and the measurement apparatus 3-n in the first parallel test process. FIG. Note that although the personal computer 1 and the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N are mainly operated by the controllers 10, 20-1 to 20-N, description thereof will be omitted below.

図4において、パーソナルコンピュータ1は、並列試験装置2−1〜2−Nにおいてそれぞれ実行される試験処理のための並列試験プログラムP−1〜P−Nを生成する。ここで、各並列試験プログラムP−nは、所定のプログラミング言語を用いて生成され、計測用装置3−nの動作を制御するための制御命令と、条件分岐のための制御文(例えば、IF文及びELSE文)と、繰り返し処理のための制御文(例えば、FOR文及びNEXT文)と、変数の加減乗除演算及び比較演算を行うための式とを含む。   In FIG. 4, the personal computer 1 generates parallel test programs P- 1 to P-N for test processing executed in the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N, respectively. Here, each parallel test program P-n is generated using a predetermined programming language, and a control command for controlling the operation of the measurement apparatus 3-n and a control statement for conditional branching (for example, IF Statement and ELSE statement), a control statement for repetitive processing (for example, a FOR statement and a NEXT statement), and expressions for performing variable addition / subtraction / division operations and comparison operations.

次に、パーソナルコンピュータ1は、生成した並列試験プログラムP−1〜P−Nのデータを、RS−232Cケーブル5−1〜5−Nを介して、並列試験装置2−1〜2−Nにそれぞれ送信する。これに応答して、並列試験装置2−1〜2−Nはそれぞれ、受信した並列試験プログラムP−1〜P−Nのデータを、メモリ21−1〜21−Nに格納する。   Next, the personal computer 1 transfers the data of the generated parallel test programs P-1 to PN to the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N via the RS-232C cables 5-1 to 5-N. Send each one. In response to this, the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N store the received data of the parallel test programs P-1 to P-N in the memories 21-1 to 21-N, respectively.

さらに、パーソナルコンピュータ1は、並列試験開始信号C−1〜C−Nを発生して、RS−232Cケーブル5−1〜5−Nを介して、並列試験装置2−1〜2−Nにそれぞれ実質的に同時に送信する。これに応答して、並列試験装置2−1〜2−Nはそれぞれ、メモリ21−1〜21−Nに格納された並列試験プログラムP−1〜P−Nを実行する。これにより、並列試験装置2−1〜2−Nはそれぞれ、対応する計測用装置3−1〜3−Nを用いてDUT4に対する試験処理を同時並列に行い、試験結果を含む試験結果データD−1〜D−Nを、メモリ21−1〜21−Nにそれぞれ格納する。並列試験装置2−1〜2−Nはそれぞれ、並列試験プログラムP−1〜P−Nを実行した後に、メモリ21−1〜21−Nに格納された試験結果データD−1〜D−Nを、パーソナルコンピュータ1に送信する。パーソナルコンピュータ1は、試験結果データD−1〜D−Nを受信し、第1の並列試験処理を終了する。   Furthermore, the personal computer 1 generates parallel test start signals C-1 to C-N and sends them to the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N via the RS-232C cables 5-1 to 5-N, respectively. Transmit at substantially the same time. In response to this, the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N execute the parallel test programs P-1 to PN stored in the memories 21-1 to 21-N, respectively. As a result, the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N perform test processing on the DUT 4 simultaneously in parallel using the corresponding measurement apparatuses 3-1 to 3-N, and test result data D- including the test results is obtained. 1 to DN are stored in the memories 21-1 to 21-N, respectively. Each of the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N executes the parallel test programs P-1 to P-N, and then the test result data D-1 to DN stored in the memories 21-1 to 21-N. Is transmitted to the personal computer 1. The personal computer 1 receives the test result data D-1 to DN and ends the first parallel test process.

図4において、例えば、並列試験装置2−1は、並列試験プログラムP−1を実行することにより、スペクトラムアナライザである計測用装置3−1を用いてDUT4の周波数特性を計測する試験処理を行い、計測結果のデータを試験結果データD−1をパーソナルコンピュータ1に送信する。また、並列試験装置2−2は、並列試験プログラムP−2を実行することにより、オシロスコープである計測用装置3−1を用いて、DUT4の所定の計測ポイント間の電圧を所定の期間において計測する試験処理を行い、計測結果のデータを試験結果データD−2をパーソナルコンピュータ1に送信する。さらに、並列試験装置2−Nは、並列試験プログラムP−Nを実行することにより、直流電源である計測用装置3−NをDUT4に所定の電源電圧を供給するように制御する制御処理を行う。このとき、並列試験装置2−Nは、試験結果データD−Nをパーソナルコンピュータ1に送信しない。   In FIG. 4, for example, the parallel test apparatus 2-1 performs a test process for measuring the frequency characteristics of the DUT 4 using the measurement apparatus 3-1, which is a spectrum analyzer, by executing the parallel test program P-1. The test result data D-1 is transmitted to the personal computer 1 as the measurement result data. Moreover, the parallel test apparatus 2-2 measures the voltage between the predetermined measurement points of DUT4 in the predetermined period using the measurement apparatus 3-1, which is an oscilloscope, by executing the parallel test program P-2. The test process is performed, and the measurement result data is transmitted to the personal computer 1 as test result data D-2. Furthermore, the parallel test apparatus 2-N performs a control process for controlling the measurement apparatus 3-N, which is a DC power supply, to supply a predetermined power supply voltage to the DUT 4 by executing the parallel test program PN. . At this time, the parallel test apparatus 2-N does not transmit the test result data DN to the personal computer 1.

図4に示すように、図1の並列試験システムによれば、各並列試験装置2−nはパーソナルコンピュータ1からの試験開始信号C−nに応答して並列試験プログラムP−nをそれぞれ実行するので、パーソナルコンピュータ1から全ての並列試験装置2−nに試験開始信号C−nを同時に送信することにより、N個の試験処理を同時並列に行うことができる。   As shown in FIG. 4, according to the parallel test system of FIG. 1, each parallel test apparatus 2-n executes a parallel test program Pn in response to a test start signal Cn from the personal computer 1. Therefore, by simultaneously transmitting the test start signal C-n from the personal computer 1 to all the parallel test apparatuses 2-n, N test processes can be performed simultaneously in parallel.

図5は、図1の並列試験装置2−1及び2−2の動作の一例及び図3のマスタ装置管理用信号線82の電圧レベルVmを示すシーケンス図である。図5において、タイミングt0において並列試験装置2−1〜2−Nの電源が投入されると、全ての並列試験装置2−1〜2−Nはそれぞれ、I2Cにおけるスレーブ装置として起動する。具体的には、ステップS1及びS21において、並列試験装置2−1及び2−2はスレーブ装置として起動する。このとき、タイミングt0において、マスタ装置管理用信号線82の電圧レベルVmはローレベル(L)になっている。   FIG. 5 is a sequence diagram showing an example of the operation of the parallel test apparatuses 2-1 and 2-2 of FIG. 1 and the voltage level Vm of the master device management signal line 82 of FIG. In FIG. 5, when the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N are powered on at timing t0, all the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N are activated as slave devices in the I2C. Specifically, in steps S1 and S21, the parallel test apparatuses 2-1 and 2-2 are activated as slave apparatuses. At this time, the voltage level Vm of the master device management signal line 82 is at the low level (L) at the timing t0.

次に、並列試験装置2−1は、ステップS2において、パーソナルコンピュータ1から並列試験プログラムP−1のデータを受信し、ステップS3において、パーソナルコンピュータ1から試験開始信号C−1を受信する。これに応答して、並列試験装置2−1は、ステップS4において並列試験プログラムP−1を起動する。ここで、並列試験プログラムP−1は、並列試験装置2−2との間での通信処理を含む。ステップS4に引き続き、ステップS5において、並列試験装置2−1はマスタ装置管理用信号線82の電圧レベルVmがローレベルか否かを判断する。ステップS5においてNOのときは、ステップS5の処理を繰り返し、ステップS5においてYESのときは、ステップS6に進み、マスタ装置管理用信号線82の電圧レベルVmをハイレベル(H)に設定する。図5において、タイミングt1において、マスタ装置管理用信号線82の電圧レベルVmはハイレベルに設定される。そして、ステップS7において、並列試験装置2−1をマスタ装置とし、並列試験装置2−2をスレーブ装置とするマスタ/スレーブ方式の通信処理を行う。ここで、上記通信処理は、I2Cバス81を介してI2Cに準拠する通信手順を用いて行われる。また、マスタ装置である並列試験装置2−1は、通信相手の並列試験装置2−2に割り当てられたアドレスを指定して、並列試験装置2−2との間でデータ及び信号を送受信する。次に、上記通信処理を終了した後に、ステップS8において、マスタ装置管理用信号線82の電圧レベルVmをローレベルに設定し、ステップS9において、並列試験プログラムP−1を終了する。   Next, the parallel test apparatus 2-1 receives data of the parallel test program P-1 from the personal computer 1 in step S2, and receives a test start signal C-1 from the personal computer 1 in step S3. In response to this, the parallel test apparatus 2-1 starts the parallel test program P-1 in step S4. Here, the parallel test program P-1 includes communication processing with the parallel test apparatus 2-2. Subsequent to step S4, in step S5, the parallel test apparatus 2-1 determines whether or not the voltage level Vm of the master device management signal line 82 is low. If NO in step S5, the process of step S5 is repeated. If YES in step S5, the process proceeds to step S6, and the voltage level Vm of the master device management signal line 82 is set to a high level (H). In FIG. 5, at the timing t1, the voltage level Vm of the master device management signal line 82 is set to a high level. In step S7, a master / slave communication process is performed in which the parallel test apparatus 2-1 is a master apparatus and the parallel test apparatus 2-2 is a slave apparatus. Here, the communication processing is performed using a communication procedure conforming to I2C via the I2C bus 81. Further, the parallel test apparatus 2-1 that is a master apparatus transmits and receives data and signals to and from the parallel test apparatus 2-2 by designating an address assigned to the parallel test apparatus 2-2 that is the communication partner. Next, after completing the communication process, in step S8, the voltage level Vm of the master device management signal line 82 is set to a low level, and in step S9, the parallel test program P-1 is ended.

I2Cの規格においては、I2Cバス上の複数の装置を同時にマスタ装置に設定でき、当該マスタ装置はI2Cバス上のスレーブ装置との間で1対1の通信を行うことができる。しかしながら、図1の並列試験システムにおいて、並列試験装置2−1〜2−NをI2Cバス81のみを介してバス接続し、複数の並列試験装置2を同時にマスタ装置にそれぞれ設定すると、当該マスタ装置に対するスレーブ装置の並列試験装置2が共通である場合には、当該スレーブ装置の並列試験装置2に接続された計測用装置3の動作が不安定になるという問題が生じる。   In the I2C standard, a plurality of devices on the I2C bus can be simultaneously set as master devices, and the master device can perform one-to-one communication with slave devices on the I2C bus. However, in the parallel test system of FIG. 1, when the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N are bus-connected only via the I2C bus 81 and a plurality of parallel test apparatuses 2 are simultaneously set as master apparatuses, the master apparatus When the parallel test apparatus 2 of the slave apparatus is common, there arises a problem that the operation of the measuring apparatus 3 connected to the parallel test apparatus 2 of the slave apparatus becomes unstable.

図1の並列試験システムでは、並列試験装置2は、当該並列試験装置をマスタ装置とし当該並列試験装置以外の並列試験装置をスレーブ装置とするマスタ/スレーブ方式の通信処理の開始時に、マスタ装置管理用信号線82の電圧レベルVmがローレベルであるときに、マスタ装置管理用信号線82をハイレベルに設定し、上記通信処理の終了時に、マスタ装置管理用信号線82の電圧レベルVmをローレベルに設定する。従って、相互通信バス8上に複数のマスタ装置の並列試験装置2が存在することを回避でき、上記問題を解決できる。   In the parallel test system of FIG. 1, the parallel test apparatus 2 manages the master apparatus at the start of a master / slave communication process in which the parallel test apparatus is a master apparatus and a parallel test apparatus other than the parallel test apparatus is a slave apparatus. When the voltage level Vm of the master signal line 82 is low, the master device management signal line 82 is set to high level, and at the end of the communication process, the master device management signal line 82 is set to low level. Set to level. Accordingly, it is possible to avoid the presence of a plurality of master test devices 2 on the intercommunication bus 8 and to solve the above problem.

本実施形態によれば、並列試験装置2−nをワンチップのマイクロコンピュータ26−nによって構成したので、DUT4に対する複数の試験処理を同時並列に行う、従来技術に比較して小型の並列試験システムを提供できる。また、並列試験装置2−nはそれぞれ、対応する計測用装置3−nの動作を制御するための並列試験プログラムP−nをパーソナルコンピュータ1から受信し、パーソナルコンピュータ1からの試験開始信号C−nに応答して当該並列試験プログラムP−nを実行するので、従来技術に比較して、並列処理に関する高度なプログラミング知識や技術を必要とせずに、DUT4に対する複数の試験処理を同時並列に行える。さらに、パーソナルコンピュータ1において全ての計測用装置3−1〜3−Nの動作を直接的に制御する必要が無く、従来技術に比較してパーソナルコンピュータ1に対する負荷を軽減できる。   According to the present embodiment, since the parallel test apparatus 2-n is constituted by the one-chip microcomputer 26-n, the parallel test system 2-n performs a plurality of test processes on the DUT 4 simultaneously in parallel, and is a small parallel test system as compared with the prior art. Can provide. Each parallel test apparatus 2-n receives a parallel test program Pn for controlling the operation of the corresponding measurement apparatus 3-n from the personal computer 1, and receives a test start signal C- from the personal computer 1. Since the parallel test program P-n is executed in response to n, a plurality of test processes for the DUT 4 can be performed simultaneously in parallel without requiring advanced programming knowledge and techniques related to parallel processing as compared with the conventional technique. . Furthermore, it is not necessary to directly control the operations of all the measurement devices 3-1 to 3-N in the personal computer 1, and the load on the personal computer 1 can be reduced as compared with the prior art.

また、複数の試験処理を同時並列に行うためには、パーソナルコンピュータ1上で、全ての並列試験装置2−1〜2−Nで実行される並列試験プログラムP−1〜P−Nを作成すればよい。従って、本実施形態によれば、従来技術に比較して、複数の試験処理を同時並列に行うためのプログラムの開発を容易にできる。さらに、試験処理を追加するためには、当該試験処理のための計測用装置と、並列試験装置とを追加するだけでよく、試験処理を変更するためには、当該試験処理のための並列試験プログラムをパーソナルコンピュータ1において変更するだけでよいので、従来技術に比較して拡張性が高い並列試験システムを提供できる。   Further, in order to perform a plurality of test processes in parallel, parallel test programs P-1 to P-N executed by all the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N are created on the personal computer 1. That's fine. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to easily develop a program for performing a plurality of test processes simultaneously in parallel, as compared with the prior art. Furthermore, in order to add a test process, it is only necessary to add a measurement device for the test process and a parallel test apparatus. To change the test process, a parallel test for the test process is added. Since it is only necessary to change the program in the personal computer 1, it is possible to provide a parallel test system with high expandability compared to the conventional technology.

さらに、本実施形態によれば、並列試験装置2−1〜2−Nを相互通信バス8を介して接続したので、並列試験装置2−1〜2−N間で相互に通信を行うことができ、これにより、計測装置3−1〜3−Nのうちの任意の複数の計測用装置3を用いて試験処理を行うことができる。   Furthermore, according to this embodiment, since the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N are connected via the mutual communication bus 8, the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N can communicate with each other. Thus, the test process can be performed using any of a plurality of measuring devices 3 among the measuring devices 3-1 to 3 -N.

実施の形態2.
図6は、本発明の実施の形態2に係る、図1のパーソナルコンピュータ1のコントローラ10によって実行される第2の並列試験処理及び当該第2の並列試験処理における並列試験装置2−n及び計測用装置3−nの動作を示すシーケンス図である。本実施形態において、パーソナルコンピュータ1のメモリ11は、図6を用いて詳細後述する第2の並列試験処理のプログラムをさらに格納したことを特徴としている。また、並列試験装置2は、パーソナルコンピュータ1からの、RS−232Cに準拠しかつ計測用装置3の動作を制御するための所定の制御命令を含む制御命令信号に応答して、上記制御命令信号をGP−IBに準拠する信号に変換して計測用装置3に送信することを特徴としている。
Embodiment 2. FIG.
FIG. 6 shows the second parallel test process executed by the controller 10 of the personal computer 1 of FIG. 1 and the parallel test apparatus 2-n and measurement in the second parallel test process according to the second embodiment of the present invention. It is a sequence diagram which shows operation | movement of the apparatus 3-n for operation. In the present embodiment, the memory 11 of the personal computer 1 is further characterized by further storing a program for a second parallel test process, which will be described in detail later with reference to FIG. The parallel test apparatus 2 responds to the control command signal from the personal computer 1 in accordance with RS-232C and includes a predetermined control command for controlling the operation of the measuring apparatus 3. Is converted into a signal conforming to GP-IB and transmitted to the measuring apparatus 3.

図6において、パーソナルコンピュータ1は、計測用装置3−1〜3−Nの動作をそれぞれ制御するための制御命令を含む制御命令信号S−1〜S−Nを発生する。次に、パーソナルコンピュータ1は、発生された制御命令信号S−1〜S−Nを、RS−232Cケーブル5−1〜5−Nを介して、並列試験装置2−1〜2−Nにそれぞれ送信する。   In FIG. 6, the personal computer 1 generates control command signals S-1 to SN including control commands for controlling the operations of the measuring devices 3-1 to 3-N. Next, the personal computer 1 sends the generated control command signals S-1 to SN to the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N via the RS-232C cables 5-1 to 5-N, respectively. Send.

これに応答して、各並列試験装置2−nにおいて、RS−232Cインターフェース23−nは、パーソナルコンピュータ1からの制御命令信号S−nに対して、信号変換やプロトコル変換を含む所定のインターフェース処理を実行してコントローラ20−nに出力する。コントローラ20−nは、RS−232Cインターフェース23−nからの制御命令信号S−nをGP−IBインターフェース24−nにそのまま出力する。さらに、GP−IBインターフェース24−nは、コントローラ20−nから入力される制御命令信号S−nに対して、計測用装置3−nとのインターフェース処理を実行して、GP−IBに準拠する制御命令信号SA−nを発生して、GP−IBケーブル6−nを介して計測用装置3−nに出力する。   In response to this, in each parallel test apparatus 2-n, the RS-232C interface 23-n performs predetermined interface processing including signal conversion and protocol conversion on the control command signal Sn from the personal computer 1. Is output to the controller 20-n. The controller 20-n outputs the control command signal Sn from the RS-232C interface 23-n to the GP-IB interface 24-n as it is. Further, the GP-IB interface 24-n performs interface processing with the measurement device 3-n on the control command signal Sn input from the controller 20-n, and conforms to GP-IB. A control command signal SA-n is generated and output to the measuring device 3-n via the GP-IB cable 6-n.

これに応答して、各計測用装置3−nは制御命令信号SA−nを実行して所定の試験処理を行い、当該試験処理の結果の試験結果データDA−nを発生して、GP−IBケーブル6−nを介して並列試験装置2−nに出力する。   In response to this, each measuring device 3-n executes a control command signal SA-n to perform a predetermined test process, generates test result data DA-n as a result of the test process, and GP- Output to the parallel test apparatus 2-n via the IB cable 6-n.

各並列試験装置2−nにおいて、GP−IBインターフェース24−nは、計測用装置3−nからの試験結果データDA−nに対して、信号変換やプロトコル変換を含む所定のインターフェース処理を実行してコントローラ20−nに出力する。コントローラ20−nは、GP−IBインターフェース24−nからの試験結果データDA−nをそのままRS−232Cインターフェース23−nに出力する。さらに、RS−232Cインターフェース23−nは、コントローラ20−nから入力される試験結果データDA−nに対して、パーソナルコンピュータ1とのインターフェース処理を実行して、RS−232Cに準拠する試験結果データDB−nを発生して、RS−232Cケーブル5−nを介してパーソナルコンピュータ1に出力する。   In each parallel test apparatus 2-n, the GP-IB interface 24-n performs predetermined interface processing including signal conversion and protocol conversion on the test result data DA-n from the measurement apparatus 3-n. To the controller 20-n. The controller 20-n outputs the test result data DA-n from the GP-IB interface 24-n as it is to the RS-232C interface 23-n. Further, the RS-232C interface 23-n performs an interface process with the personal computer 1 on the test result data DA-n input from the controller 20-n, and test result data conforming to RS-232C. DB-n is generated and output to the personal computer 1 via the RS-232C cable 5-n.

パーソナルコンピュータ1は、並列試験装置2−1〜2−Nからの試験結果データDB−1〜DB−Nをそれぞれ受信し、第2の並列試験処理を終了する。   The personal computer 1 receives the test result data DB-1 to DB-N from the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N, respectively, and ends the second parallel test process.

第2の実施形態によれば、並列試験装置2は、パーソナルコンピュータ1からの、RS−232Cに準拠しかつ計測用装置3の動作を制御するための所定の制御命令を含む制御命令信号に応答して、上記制御命令信号をGP−IBに準拠する信号に変換して計測用装置3に送信する。従って、計測用装置3−1〜3−Nに、制御命令信号S−1〜S−N又は制御命令信号SA−1〜SA−Nを直接的に出力する従来技術に係る並列試験処理を行うパーソナルコンピュータにおいて、上記従来技術に係る並列試験処理を変更することなく並列試験装置2−1〜2−Nを用いることができ、従来技術に係る並列試験処理のプログラムを有効活用できる。   According to the second embodiment, the parallel test apparatus 2 responds to a control command signal from the personal computer 1 that conforms to RS-232C and includes a predetermined control command for controlling the operation of the measurement apparatus 3. Then, the control command signal is converted into a signal conforming to GP-IB and transmitted to the measuring device 3. Therefore, the parallel test processing according to the prior art for directly outputting the control command signals S-1 to SN or the control command signals SA-1 to SA-N to the measurement devices 3-1 to 3-N is performed. In the personal computer, the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N can be used without changing the parallel test processing according to the conventional technique, and the parallel test processing program according to the conventional technique can be effectively used.

なお、本実施形態において、パーソナルコンピュータ1は、全ての並列試験装置2−1〜2−Nを用いて第2の並列試験処理を行ったが、本発明はこれに限らず、一部の並列試験装置を用いて図4の第1の並列試験処理を行い、その他の並列試験装置を用いて図6の第2の並列試験処理を行ってもよい。   In the present embodiment, the personal computer 1 performs the second parallel test process using all the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N. However, the present invention is not limited to this, and some parallel tests are performed. The first parallel test process of FIG. 4 may be performed using a test apparatus, and the second parallel test process of FIG. 6 may be performed using another parallel test apparatus.

実施の形態3.
図7は、本発明の実施の形態3に係る、パーソナルコンピュータ1Aの構成を示すブロック図である。パーソナルコンピュータ1Aは、図4の並列試験プログラムP−1〜P−Nを生成するための並列試験プログラム生成プログラム15を、メモリ11に格納したことを特徴としている。
Embodiment 3 FIG.
FIG. 7 is a block diagram showing a configuration of a personal computer 1A according to Embodiment 3 of the present invention. The personal computer 1A is characterized in that a parallel test program generation program 15 for generating the parallel test programs P-1 to P-N of FIG.

図7において、パーソナルコンピュータ1Aは、コントローラ10と、メモリ11Aと、RS−232Cインターフェース12−1〜12−Nと、液晶表示装置(Liquid Crystal Display。以下、LCDという。))13と、マウス14とを備えて構成される。コントローラ10は、具体的にはCPUで構成されており、パーソナルコンピュータ1Aの動作を制御するほか、メモリ11Aに格納された種々のソフトウェアのプログラムを実行する。メモリ11Aは、パーソナルコンピュータ1の動作に必要であってコントローラ10によって実行される種々のソフトウェアのプログラムを予め格納する。本実施形態において、メモリ11Aは、GUI(Graphical User Interface)ツールである並列試験プログラム生成プログラム15と、逐次実行試験手順書データ16と、並列試験プログラム生成プログラム15によって詳細後述するように生成される並列試験プログラムP−1〜P−Nとを格納する。逐次実行試験手順書データ16は、計測用装置3−1〜3−Nを用いて逐次的に実行されるべき試験処理のデータを含む。   In FIG. 7, a personal computer 1A includes a controller 10, a memory 11A, RS-232C interfaces 12-1 to 12-N, a liquid crystal display (hereinafter referred to as LCD) 13 and a mouse 14. And is configured. The controller 10 is specifically composed of a CPU, and controls the operation of the personal computer 1A and executes various software programs stored in the memory 11A. The memory 11A stores various software programs that are necessary for the operation of the personal computer 1 and executed by the controller 10 in advance. In this embodiment, the memory 11A is generated by a parallel test program generation program 15, which is a GUI (Graphical User Interface) tool, a sequential execution test procedure manual data 16, and a parallel test program generation program 15, as will be described in detail later. The parallel test programs P-1 to P-N are stored. The sequential execution test procedure manual data 16 includes data of test processes to be sequentially executed using the measurement devices 3-1 to 3 -N.

また、図7において、RS−232Cインターフェース12−1〜12−Nはそれぞれ、コントローラ10から入力されるデータ及び信号に対して、並列試験装置2−1〜2−Nとのインターフェース処理を実行して、RS−232Cに準拠するデータ信号を発生して、各並列試験装置2−1〜2−Nに出力する。さらに、RS−232Cインターフェース12−1〜12−Nはそれぞれ、各並列試験装置2−1〜2−NからRS−232Cケーブル5−1〜5−Nを介して入力されるデータ信号に対して、信号変換やプロトコル変換を含む所定のインターフェース処理を実行してコントローラ10に出力する。   In FIG. 7, the RS-232C interfaces 12-1 to 12-N execute interface processing with the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N on the data and signals input from the controller 10, respectively. Then, a data signal conforming to RS-232C is generated and output to each parallel test apparatus 2-1 to 2-N. Further, the RS-232C interfaces 12-1 to 12-N respectively respond to data signals input from the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N via the RS-232C cables 5-1 to 5-N. Then, predetermined interface processing including signal conversion and protocol conversion is executed and output to the controller 10.

さらに、図7において、LCD13は、パーソナルコンピュータ1Aの動作状態の表示及び、逐次実行試験手順書データ16の表示を行う。マウス14は、文字データを受信するための指示コマンドなどを入力するためのものである。   Further, in FIG. 7, the LCD 13 displays the operation state of the personal computer 1 </ b> A and the sequential execution test procedure manual data 16. The mouse 14 is used to input an instruction command for receiving character data.

コントローラ10は、並列試験プログラム生成プログラム15を実行することにより、LCD13に、逐次実行試験手順書データ16を表示する。図8は、図7のLCD13に表示される逐次実行試験手順書データ表示ウィンドウ100の一例を示す図である。ウィンドウ100は、処理名表示ボックス102a〜102dと、処理名表示ボックス102a〜102dに対応するチェックボックス101a〜101dと、「確定する」ボタン103とを含む。処理名表示ボックス102a〜102dには、実行される順序に従って、各試験処理の名前がそれぞれ表示される。パーソナルコンピュータ1Aのユーザは、キーボード及びマウス14を用いてチェックボックス101a〜101dをクリックすることにより、同時並列に行う試験処理を選択し、「確定する」ボタン103をクリックすることにより、当該同時並列に行う試験処理を確定する。例えば、図8において、「パワー計測試験処理」と「波長計測試験処理」とは、それぞれ同時並列に行う試験処理として選択されている。   The controller 10 displays the sequential execution test procedure manual data 16 on the LCD 13 by executing the parallel test program generation program 15. FIG. 8 is a view showing an example of the sequential execution test procedure manual data display window 100 displayed on the LCD 13 of FIG. The window 100 includes process name display boxes 102a to 102d, check boxes 101a to 101d corresponding to the process name display boxes 102a to 102d, and a “confirm” button 103. In the process name display boxes 102a to 102d, the names of the respective test processes are displayed in the order of execution. The user of the personal computer 1A selects a test process to be performed in parallel by clicking the check boxes 101a to 101d using the keyboard and mouse 14, and clicks the “Confirm” button 103 to perform the simultaneous parallel processing. Determine the test process to be performed. For example, in FIG. 8, “power measurement test process” and “wavelength measurement test process” are selected as test processes to be performed simultaneously in parallel.

コントローラ10は、「確定する」ボタン103がクリックされると、選択された同時並列に行う試験処理のための制御命令を、並列試験装置2−1〜2−Nにおいて実行される中間コードに変換することにより、並列試験プログラムP−1〜P−Nを生成し、メモリ11Aに格納する。なお、並列試験プログラムP−1〜P−Nは、並列試験装置2間の相互通信処理(図5参照)を含んでもよく、これにより、所定の計測用装置3の設定値を別の計測用装置の設定値に基づいて決定する協調動作処理を行うことができる。   When the “determine” button 103 is clicked, the controller 10 converts the selected control instruction for the test processing to be performed simultaneously in parallel into the intermediate code executed in the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N. As a result, parallel test programs P-1 to P-N are generated and stored in the memory 11A. Note that the parallel test programs P-1 to P-N may include an intercommunication process (see FIG. 5) between the parallel test apparatuses 2, whereby the set value of the predetermined measurement apparatus 3 is used for another measurement. It is possible to perform cooperative operation processing that is determined based on the setting value of the device.

本実施形態によれば、ユーザは、並列処理に関する高度なプログラミング知識や技術を有していなくても、従来技術に比較して容易に、計測用装置3−1〜3−Nを用いてDUT4を同時並列に試験できる。   According to the present embodiment, even if the user does not have advanced programming knowledge and technology related to parallel processing, the user can easily use the measurement devices 3-1 to 3 -N to use the DUT 4. Can be tested in parallel.

上記各実施形態において、パーソナルコンピュータ1,1Aと並列試験装置2−1〜2−Nとを、RS−232Cケーブル5−1〜5−Nを介して接続したが、これに代えて、USBケーブルを介して接続してもよい。このとき、パーソナルコンピュータ1,1Aは、RS−232Cインターフェース12−nに代えて、USBインターフェースを備え、並列試験装置2−nは、RS−232Cインターフェース23−nに代えて、USBインターフェースを備える。   In each of the above embodiments, the personal computers 1 and 1A and the parallel test devices 2-1 to 2-N are connected via the RS-232C cables 5-1 to 5-N. You may connect via. At this time, the personal computers 1 and 1A include a USB interface instead of the RS-232C interface 12-n, and the parallel test apparatus 2-n includes a USB interface instead of the RS-232C interface 23-n.

上記各実施形態において、同一のDUT4を、計測用装置3−1〜3−Nを用いて同時並列に試験したが、本発明はこれに限らず、別々のDUTを計測用装置3−1〜3−Nを用いて同時並列に試験してもよい。   In each of the above embodiments, the same DUT 4 was tested simultaneously in parallel using the measurement devices 3-1 to 3 -N. However, the present invention is not limited to this, and separate DUTs are used for the measurement devices 3-1 to 3-1. You may test simultaneously in parallel using 3-N.

上記各実施形態において、相互通信バス8はI2Cバス81aを含んだが、本発明はこれに限らず、I2Cバス81aに代えて、並列試験装置2−1〜2−N間でマスタ/スレーブ方式の通信を行うための複数の信号線を含んでもよい。   In each of the above embodiments, the intercommunication bus 8 includes the I2C bus 81a. However, the present invention is not limited to this, and instead of the I2C bus 81a, a master / slave system is used between the parallel test apparatuses 2-1 to 2-N. A plurality of signal lines for performing communication may be included.

以上詳述したように、本発明に係る並列試験装置によれば、所定の制御命令を含む並列試験プログラムのデータを制御装置から受信して記憶手段に格納し、制御装置からの試験開始信号に応答して、上記格納された並列試験プログラムを実行することにより、当該並列試験装置に接続された計測装置をDUTに対する試験処理を行うように制御する。従って、所定の制御命令に従って被試験デバイスに対する試験処理をそれぞれ行う複数の計測装置に、本発明に係る並列試験装置をそれぞれ接続し、当該複数の並列試験装置を制御装置に接続して並列試験システムを構成することにより、従来技術に比較して、当該並列試験システム全体の構成を小型且つ簡便にでき、当該並列試験システムの拡張性を高めることができ、複数の試験処理を並列に行うためのプログラムを容易に作成できる。   As described above in detail, according to the parallel test apparatus of the present invention, the data of the parallel test program including the predetermined control instruction is received from the control apparatus and stored in the storage means, and the test start signal from the control apparatus is received. In response, by executing the stored parallel test program, the measurement apparatus connected to the parallel test apparatus is controlled to perform the test process for the DUT. Therefore, a parallel test system is connected by connecting the parallel test apparatus according to the present invention to a plurality of measurement apparatuses that respectively perform test processing on a device under test according to a predetermined control command, and connecting the plurality of parallel test apparatuses to the control apparatus. Compared to the prior art, the overall configuration of the parallel test system can be made smaller and simpler, the expandability of the parallel test system can be improved, and a plurality of test processes can be performed in parallel. You can easily create programs.

本発明の実施の形態1に係る並列試験装置2−n(n=1,2,…,N)を備えた、並列試験システムの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the parallel test system provided with the parallel test apparatus 2-n (n = 1, 2, ..., N) which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図1の並列試験装置2−nの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the parallel test apparatus 2-n of FIG. 図1の相互通信バス8の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the mutual communication bus | bath 8 of FIG. 図1のパーソナルコンピュータ1のコントローラ10によって実行される第1の並列試験処理及び当該第1の並列試験処理における並列試験装置2−n及び計測用装置3−nの動作を示すシーケンス図である。It is a sequence diagram which shows operation | movement of the parallel test apparatus 2-n and the apparatus 3-n for measurement in the 1st parallel test process performed by the controller 10 of the personal computer 1 of FIG. 1, and the said 1st parallel test process. 図1の並列試験装置2−1及び2−2の動作の一例及び図3のマスタ装置管理用信号線82の電圧レベルVmを示すシーケンス図である。4 is a sequence diagram illustrating an example of the operation of parallel test apparatuses 2-1 and 2-2 in FIG. 1 and the voltage level Vm of the master apparatus management signal line 82 in FIG. 本発明の実施の形態2に係る、図1のパーソナルコンピュータ1のコントローラ10によって実行される第2の並列試験処理及び当該第2の並列試験処理における並列試験装置2−n及び計測用装置3−nの動作を示すシーケンス図である。The second parallel test process executed by the controller 10 of the personal computer 1 of FIG. 1 and the parallel test apparatus 2-n and the measurement apparatus 3- in the second parallel test process according to the second embodiment of the present invention. It is a sequence diagram which shows operation | movement of n. 本発明の実施の形態3に係る、パーソナルコンピュータ1Aの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of 1 A of personal computers based on Embodiment 3 of this invention. 図7のLCD13に表示される逐次実行試験手順書データ表示ウィンドウ100の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the sequential execution test procedure manual data display window 100 displayed on LCD13 of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1,1A パーソナルコンピュータ、2−1〜2−N 並列試験装置、3−1〜3−N 計測用装置、4 DUT、5−1〜5−N RS−232Cケーブル、6−1〜6−N GP−IBケーブル、7−1〜7−N 計測用装置用ケーブル、8 相互通信バス、10 コントローラ、11 メモリ、12−1〜12−N RS−232Cインターフェース、20−1〜20−N コントローラ、21−1〜21−N メモリ、22−1〜22−N アドレススイッチ、23−1〜23−N RS−232Cインターフェース、24−1〜24−N GP−IBインターフェース、25−1〜25−N 相互通信インターフェース、26−1〜26−N マイクロコンピュータ、81 I2Cバス、81a シリアルデータ線、81b シリアルクロック線、82 マスタ装置管理用信号線。   1,1A personal computer, 2-1 to 2-N parallel test apparatus, 3-1 to 3-N measuring apparatus, 4 DUT, 5-1 to 5-N RS-232C cable, 6-1 to 6-N GP-IB cable, 7-1 to 7-N measurement device cable, 8 intercommunication bus, 10 controller, 11 memory, 12-1 to 12-N RS-232C interface, 20-1 to 20-N controller, 21-1 to 21-N memory, 22-1 to 22-N address switch, 233-1 to 23-N RS-232C interface, 24-1 to 24-N GP-IB interface, 25-1 to 25-N Mutual communication interface, 26-1 to 26-N microcomputer, 81 I2C bus, 81a serial data line, 81b serial clock line 82 master device management signal line.

Claims (3)

所定の制御命令に従って被試験デバイスに対する試験処理をそれぞれ行う複数の計測装置と、
上記複数の計測装置にそれぞれ接続された複数の並列試験装置と、
上記複数の並列試験装置に接続された制御装置と、
上記複数の並列試験装置を相互に接続する相互通信バスとを備えた並列試験システムのための複数の並列試験装置のうちの1つの並列試験装置であって、
上記相互通信バスは、
上記複数の並列試験装置間でマスタ/スレーブ方式の通信を行うための複数の通信信号線と、
当該相互通信バスにマスタ装置である並列試験装置が接続されていないことを示す第1の電圧レベル又は当該相互通信バスに上記マスタ装置である並列試験装置が接続されていることを示す第2の電圧レベルを有するマスタ装置管理用信号線とを備え、
当該並列試験装置は、上記制御命令を含む並列試験プログラムのデータを上記制御装置から受信して記憶手段に格納し、上記制御装置からの試験開始信号に応答して、上記格納された並列試験プログラムを実行することにより、当該並列試験装置に接続された計測装置を上記試験処理を行うように制御し、
当該並列試験装置は、当該並列試験装置をマスタ装置とし当該並列試験装置以外の並列試験装置をスレーブ装置とするマスタ/スレーブ方式の通信処理の開始時に、上記マスタ装置管理用信号線が上記第1の電圧レベルを有するときに、上記マスタ装置管理用信号線を上記第2の電圧レベルに設定し、上記通信処理の終了時に、上記マスタ装置管理用信号線を上記第1の電圧レベルに設定することを特徴とする並列試験装置。
A plurality of measuring apparatuses that respectively perform test processing on a device under test according to a predetermined control command;
A plurality of parallel test devices respectively connected to the plurality of measurement devices;
A control device connected to the plurality of parallel test devices;
A parallel test device of a plurality of parallel test devices for a parallel test system comprising an intercommunication bus for interconnecting the plurality of parallel test devices;
The intercommunication bus is
A plurality of communication signal lines for performing master / slave communication between the plurality of parallel test apparatuses;
A first voltage level indicating that the parallel test device as the master device is not connected to the mutual communication bus, or a second voltage level indicating that the parallel test device as the master device is connected to the mutual communication bus. A master device management signal line having a voltage level,
The parallel test apparatus receives the data of the parallel test program including the control instruction from the control apparatus, stores it in the storage means, and responds to the test start signal from the control apparatus in response to the stored parallel test program. To control the measurement apparatus connected to the parallel test apparatus to perform the test process,
In the parallel test apparatus, when the master / slave communication process is started with the parallel test apparatus as a master apparatus and a parallel test apparatus other than the parallel test apparatus as a slave apparatus, the master apparatus management signal line is connected to the first test apparatus. The master device management signal line is set to the second voltage level, and the master device management signal line is set to the first voltage level at the end of the communication process. A parallel test apparatus characterized by that.
上記各並列試験装置は、上記制御装置からの、第1のインターフェース規格に準拠しかつ上記制御命令を含む制御命令信号に応答して、上記制御命令信号を第2のインターフェース規格に準拠する信号に変換して上記計測装置に送信することを特徴とする請求項1記載の並列試験装置。   In response to a control command signal that conforms to the first interface standard and includes the control command from the control device, each parallel test apparatus converts the control command signal into a signal that conforms to the second interface standard. The parallel test apparatus according to claim 1, wherein the parallel test apparatus converts the data and transmits it to the measurement apparatus. 上記各並列試験装置はワンチップのマイクロコンピュータを備えたことを特徴とする請求項1又は2記載の並列試験装置。   3. The parallel test apparatus according to claim 1, wherein each of the parallel test apparatuses includes a one-chip microcomputer.
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