JP2009289526A - Ultraviolet ray irradiation device - Google Patents

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JP2009289526A JP2008139204A JP2008139204A JP2009289526A JP 2009289526 A JP2009289526 A JP 2009289526A JP 2008139204 A JP2008139204 A JP 2008139204A JP 2008139204 A JP2008139204 A JP 2008139204A JP 2009289526 A JP2009289526 A JP 2009289526A
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Kentaro Kinoshita
健太郎 木下
Toshiya Suzuki
俊也 鈴木
Shohei Maeda
祥平 前田
Shoko Kuratani
晶子 倉谷
Makoto Yashima
誠 八島
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Toshiba Lighting and Technology Corp
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Harison Toshiba Lighting Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To aim at longer life of a magnetron by improving its cooling efficiency for generating ultraviolet rays by exciting an electrodeless lamp. <P>SOLUTION: The electrodeless lamp 12 where a discharge medium is enclosed, capable of emitting ultraviolet rays on the basis of the microwaves from magnetrons 131, 132 for generating microwaves and through waveguides 151, 152 is formed in a lamp house 11. The magnetrons 131, 132 and the electrodeless lamp 12 in the case 11 are cooled by a cooling mechanism 20 mainly formed by a fan. The ultraviolet rays of the lamp emitted from the electrodeless lamp 12 are collected or diffused by using a reflecting plate 21 to an irradiated object. A plurality of cooling holes with an approximate size where microwaves are not leaked are formed on the waveguides 151, 152, shapes of the cooling holes in the vicinity of the magnetrons 131, 132 are set up to be large cooling hole section 231, 232, and the shapes of the cooling holes in the vicinity of the electrodeless lamp 12 are set up to be small cooling hole sections 241, 242. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

この発明は、マイクロ波によって励起を行い、紫外線を発光させる無電極ランプを用いた紫外線照射装置に関する。   The present invention relates to an ultraviolet irradiation device using an electrodeless lamp that emits ultraviolet rays by being excited by microwaves.

従来のマイクロ波によって封入薬品を励起させて発光を行う無電極ランプは、紫外線および可視光を発光させ、ペンキ、インク、樹脂、塗装などが塗布された面の表面硬化処理や光化学反応による化学物質の合成および処理等の工程に使用されている。無電極ランプの封入薬品を励起させるためのマイクロ波に生成にはマグネトロンが使用される。マイクロ波を放射して無電極ランプを励起するには、マグネトロンから無電極ランプまで導波管を介して送信を行っている。(例えば、特許文献1)
特表2003−510773公報
Conventional electrodeless lamps that emit light by exciting encapsulated chemicals using microwaves emit ultraviolet and visible light, and are chemical substances based on surface hardening or photochemical reaction on surfaces coated with paint, ink, resin, paint, etc. It is used in processes such as synthesis and processing. Magnetrons are used to generate microwaves to excite encapsulated chemicals for electrodeless lamps. In order to excite the electrodeless lamp by emitting microwaves, transmission is performed from the magnetron to the electrodeless lamp through a waveguide. (For example, Patent Document 1)
Special table 2003-510773 gazette

上記した特許文献1の技術は、マグネトロンやマグネトロンからマイクロ波を送信させるアンテナを冷却させるために、導波管には複数の冷却孔が形成されている。しかし、冷却孔は同形状のものが規則的に形成されていることから、冷却性能が悪く熱によるストレスの影響でマグネトロンの寿命を短くし、これに要するランニングコストの増加やメンテナンスの煩雑さを来す、という問題があった。   In the technique of Patent Document 1 described above, a plurality of cooling holes are formed in a waveguide in order to cool a magnetron or an antenna that transmits microwaves from the magnetron. However, since the cooling holes with the same shape are regularly formed, the cooling performance is poor and the life of the magnetron is shortened due to the effects of heat stress, which increases the running cost and maintenance complexity required for this. There was a problem of coming.

この発明の目的は、マグネトロンのアンテナの冷却効率を向上させたことで、マグネトロンの長寿命化が図られた紫外線照射装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an ultraviolet irradiating apparatus in which the life of a magnetron is extended by improving the cooling efficiency of the magnetron antenna.

上記した課題を解決するために、この発明の紫外線照射装置は、マイクロ波により紫外線が放射可能な放電媒体が封入された無電極ランプと、前記ランプにマイクロ波を供給するためのマグネトロンと、前記マグネトロンから発生するマイクロ波を、前記ランプへ給電するための導波管と、前記ランプの紫外線光を集光または拡散させる反射板と、少なくとも前記マグネトロンおよび前記ランプを送風により冷却する冷却機構と、が筐体内に構成された紫外線照射装置において、前記導波管にマイクロ波が漏れない冷却孔を複数形成し、前記冷却孔の形状は前記マグネトロン近傍は大きく、前記ランプ近傍は小さくしたことを特徴する。   In order to solve the above-described problems, an ultraviolet irradiation device of the present invention includes an electrodeless lamp in which a discharge medium capable of emitting ultraviolet rays by microwaves is enclosed, a magnetron for supplying microwaves to the lamp, A waveguide for supplying microwaves generated from the magnetron to the lamp, a reflector for condensing or diffusing the ultraviolet light of the lamp, and a cooling mechanism for cooling at least the magnetron and the lamp by blowing air; In the ultraviolet irradiation device configured in the housing, a plurality of cooling holes that do not leak microwaves are formed in the waveguide, and the shape of the cooling holes is large near the magnetron and small near the lamp. To do.

また、この発明の紫外線照射装置は、マイクロ波により紫外線が放射可能な放電媒体が封入された無電極ランプと、前記ランプにマイクロ波を供給するためのマグネトロンと、前記マグネトロンから発生するマイクロ波を、前記ランプへ給電するための導波管と、前記ランプの紫外線光を集光または拡散させる反射板と、少なくとも前記マグネトロンおよび前記ランプを送風により冷却する冷却機構と、が筐体内に構成された紫外線照射装置において、前記導波管にマイクロ波が漏れない冷却孔を複数形成し、前記冷却孔の数量をマグネトロン近傍は多く、前記ランプ近傍は少なくしたことを特徴とする。   The ultraviolet irradiation device of the present invention includes an electrodeless lamp in which a discharge medium capable of emitting ultraviolet rays by microwaves is enclosed, a magnetron for supplying microwaves to the lamp, and a microwave generated from the magnetron. And a waveguide for supplying power to the lamp, a reflector for condensing or diffusing the ultraviolet light of the lamp, and a cooling mechanism for cooling at least the magnetron and the lamp by blowing air. In the ultraviolet irradiation apparatus, a plurality of cooling holes that do not leak microwaves are formed in the waveguide, and the number of cooling holes is large near the magnetron and small near the lamp.

この発明によれば、導波管にあけられた冷却孔が、同形状の冷却孔とした場合に比べてマグネトロンのアンテナを効率良く冷却できることから、マグネトロンの長寿化を図ることが可能となる。   According to the present invention, since the cooling hole formed in the waveguide can cool the magnetron antenna more efficiently than when the cooling hole has the same shape, it is possible to extend the life of the magnetron.

以下、この発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1〜図3は、この発明の紫外線照射装置に関する第1の実施形態について説明するためのもので、図1はシステム構成図、図2は図1に示すI−I’断面図、図3は図1で使用される無電極ランプの一例について説明するための構成図である。   1 to 3 are diagrams for explaining a first embodiment of the ultraviolet irradiation apparatus according to the present invention. FIG. 1 is a system configuration diagram, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II ′ shown in FIG. FIG. 2 is a configuration diagram for explaining an example of an electrodeless lamp used in FIG. 1.

図1、図2において、11は筐体であり、この筐体11の下方中央部には電極を備えない、いわゆる無電極ランプ12を配置して取り付けてある。131,132は、マイクロ波を発生させるマグネトロンである。14は、マグネトロン131,132に電力を供給するための電源である。151,152は、マグネトロン131,132で発生させアンテナ161,162から送信されるマイクロ波を、無電極ランプ12に伝達させる導波管である。   1 and 2, reference numeral 11 denotes a casing, and a so-called electrodeless lamp 12 that does not include an electrode is disposed and attached to a lower central portion of the casing 11. 131 and 132 are magnetrons that generate microwaves. Reference numeral 14 denotes a power source for supplying power to the magnetrons 131 and 132. Reference numerals 151 and 152 denote waveguides that transmit the microwaves generated by the magnetrons 131 and 132 and transmitted from the antennas 161 and 162 to the electrodeless lamp 12.

ここで、図3を参照して無電極ランプ12の構成例について説明する。121は紫外光を透過させる石英ガラス製の長さが240mm程度の円筒形状のバルブである。バルブ121は、中央部122をその両端部123,124よりも細くなるようにテ―パをつけたもので、両端部123,124の外径は例えば17mm程度、中央部122の外径は10mm程度である。   Here, a configuration example of the electrodeless lamp 12 will be described with reference to FIG. Reference numeral 121 denotes a cylindrical bulb having a length of about 240 mm made of quartz glass that transmits ultraviolet light. The valve 121 has a taper formed so that the central portion 122 is thinner than both end portions 123 and 124. The outer diameter of both end portions 123 and 124 is, for example, about 17 mm, and the outer diameter of the central portion 122 is 10 mm. Degree.

バルブ121の発光空間125内には、不活性ガスとそれに水銀と鉄を主成分とするマイクロ波で放電させる放電媒体を封入する。バルブ121の両端にはバルブ121を支持する支持部126,127がバルブ121と一体的に形成される。   The light emitting space 125 of the bulb 121 is filled with an inert gas and a discharge medium for discharging with a microwave mainly composed of mercury and iron. Support portions 126 and 127 for supporting the valve 121 are formed integrally with the valve 121 at both ends of the valve 121.

再び図1、図2において、17は、無電極ランプ12から照射された光を受光する、金属線をメッシュ状に編み込んだり、金属板にパンチング加工したりしたカバーで覆われた受光素子、18は受光素子17が受光した光の量を検出する光量検出器である。また、19は光量検出器18により検出された光の量が、予め設定された光の量に等しくなるように電源14を制御する制御部である。   1 and 2 again, reference numeral 17 denotes a light receiving element covered with a cover for receiving light emitted from the electrodeless lamp 12, knitting a metal wire into a mesh shape, or punching a metal plate, Is a light amount detector for detecting the amount of light received by the light receiving element 17. Reference numeral 19 denotes a control unit that controls the power supply 14 so that the amount of light detected by the light amount detector 18 becomes equal to a preset amount of light.

光量検出器18は、受光素子17に対しリード線などで接続され、受光素子17が受光した光の量を例えば受光素子17から供給される電流の値により検出するようになっている。光量検出器18は、制御部19に対しリード線などで接続され、検出した光の量を示すアナログ電圧を制御部19へ与えるようになっている。   The light quantity detector 18 is connected to the light receiving element 17 by a lead wire or the like, and detects the amount of light received by the light receiving element 17 based on, for example, the value of a current supplied from the light receiving element 17. The light quantity detector 18 is connected to the control unit 19 by a lead wire or the like, and applies an analog voltage indicating the detected amount of light to the control unit 19.

制御部19は、コンピュータプログラムにより動作するコンピュータやこのコンピュータを集積化した集積回路により構成される。制御部19は、所望の光の量を示すアナログ電圧、電源14の制御量ならびに制御量を増加または減少させるときの1回の量(単位制御量という)が記憶される図示しないメモリを備え、メモリには当初は当該アナログ電圧、制御量の初期値および当該単位制御量が記憶されている。また、制御部19は、光量検出器18から与えられるアナログ電圧と、メモリに記憶したアナログ電圧に基づいて、メモリに記憶された制御量を更新し、電源14に与える制御量を増加または減少させるようになっている。   The control unit 19 includes a computer that operates according to a computer program and an integrated circuit in which the computer is integrated. The control unit 19 includes a memory (not shown) in which an analog voltage indicating a desired amount of light, a control amount of the power supply 14, and a single amount when increasing or decreasing the control amount (referred to as a unit control amount) are stored. The memory initially stores the analog voltage, the initial value of the control amount, and the unit control amount. Further, the control unit 19 updates the control amount stored in the memory based on the analog voltage supplied from the light amount detector 18 and the analog voltage stored in the memory, and increases or decreases the control amount supplied to the power source 14. It is like that.

電源14は、制御部19から与えられた制御量に応じたエネルギー量のマイクロ波が発生するようにマグネトロン131,132を制御するようになっている。   The power supply 14 controls the magnetrons 131 and 132 so that a microwave having an energy amount corresponding to the control amount given from the control unit 19 is generated.

さらに、筐体11の上部には、筐体11の内部に、例えば、風を供給することにより無電極ランプ12とマグネトロン131,132を冷却させるファンを主体とする冷却機構20が設けられる。   Further, a cooling mechanism 20 mainly including a fan that cools the electrodeless lamp 12 and the magnetrons 131 and 132 by supplying wind, for example, is provided inside the casing 11.

無電極ランプ12の背面側には反射板21が設置される。また、反射板21の反射面側と被照射物(図示せず)との間には、照射窓を構成するスクリーン22が筐体11の一部に設けられている。スクリーン22は、金属でありかつ開口部が設けられている。スクリーン22は、例えば、金属線をメッシュ状に編み込んで形成したり、金属板にパンチング加工で形成したりして開口部を有するようになっている。   A reflector 21 is installed on the back side of the electrodeless lamp 12. Further, a screen 22 constituting an irradiation window is provided in a part of the housing 11 between the reflection surface side of the reflection plate 21 and an object to be irradiated (not shown). The screen 22 is made of metal and has an opening. For example, the screen 22 is formed by knitting metal wires into a mesh shape or by punching a metal plate to have an opening.

ところで、導波管151,151には、マグネトロン131,132やマグネトロンからマイクロ波を送信させるアンテナ161,162を冷却させるために、複数の開口が形成されている。複数の開口は、マグネトロン131,132に近い側では開口面積を大きく形成された大冷却孔部231,232とし、無電極ランプ12に近い側では開口面積を小さくした小冷却孔部241,242から形成されている。これら大冷却孔部231,232や小冷却孔部241,242は、金型によるパンチング加工による方法を用いることで一度に形成可能である。   By the way, a plurality of openings are formed in the waveguides 151 and 151 in order to cool the magnetrons 131 and 132 and the antennas 161 and 162 that transmit microwaves from the magnetron. The plurality of openings are large cooling hole portions 231 and 232 having a large opening area on the side close to the magnetrons 131 and 132, and from the small cooling hole portions 241 and 242 having a small opening area on the side close to the electrodeless lamp 12. Is formed. The large cooling holes 231 and 232 and the small cooling holes 241 and 242 can be formed at a time by using a punching method using a mold.

なお、開口面積の大きさは、大冷却孔部231,232でも導波管151,152からそれぞれマイクロ波が漏れない3mm以下で開けられている。   The size of the opening area is 3 mm or less so that the microwaves do not leak from the waveguides 151 and 152 even in the large cooling hole portions 231 and 232.

このように、マグネトロンやアンテナに近い側の冷却孔の面積を、遠無電極ランプに近い側に比べて広くしたことにより、マグネトロンのアンテナを効率良く冷却でき、結果としてマグネトロンの温度上昇を抑えることで、マグネトロンの長寿命化を実現することが可能となる。   In this way, the area of the cooling hole on the side close to the magnetron and antenna is made wider than that on the side near the far electrodeless lamp, so that the magnetron antenna can be cooled efficiently, and as a result, the temperature rise of the magnetron is suppressed. This makes it possible to extend the life of the magnetron.

図4、図5は、この発明の紫外線照射装置に関する第2の実施形態について説明するためのもので、図4はシステム構成図、図5は図4に示すII−II’断面図である。なお、上記した実施形態と同一の構成部分には同一の符号を付し、ここでは異なる部分を中心に説明する。   FIGS. 4 and 5 are for explaining a second embodiment relating to the ultraviolet irradiation apparatus of the present invention. FIG. 4 is a system configuration diagram, and FIG. 5 is a sectional view taken along line II-II 'shown in FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same component as embodiment mentioned above, and it demonstrates centering on a different part here.

この実施形態は、マグネトロン131,132やアンテナ161,162に近い側に、単位面積当たり導波管151,151を多く開けた多冷却孔部411,412とし、無電極ランプ12に近い側に、単位面積当たりの数を少なく開けた少冷却孔部421,422とした。この場合の多冷却孔部411,412と少冷却孔部421,422は、それぞれマイクロ波が漏れない3mm程度で開けられている。多冷却孔部411,412と少冷却孔部421,422は、金型によるパンチング加工による方法を用いることで一度に形成可能である。   In this embodiment, multi-cooling hole portions 411 and 412 having a large number of waveguides 151 and 151 per unit area on the side close to the magnetrons 131 and 132 and the antennas 161 and 162, and on the side close to the electrodeless lamp 12, The small cooling holes 421 and 422 were formed with a small number per unit area. In this case, the multi-cooling hole portions 411 and 412 and the small cooling hole portions 421 and 422 are each opened at about 3 mm where microwaves do not leak. The multiple cooling holes 411 and 412 and the small cooling holes 421 and 422 can be formed at a time by using a punching method using a mold.

このように、マグネトロンやアンテナに近い側の冷却孔の数を多くし、無電極ランプに近い側を少なくした場合にも、マグネトロンのアンテナを効率良く冷却でき、結果としてマグネトロンの温度上昇を抑えることで、マグネトロンの長寿命化を実現することが可能となる。   In this way, even when the number of cooling holes near the magnetron or antenna is increased and the number near the electrodeless lamp is decreased, the magnetron antenna can be efficiently cooled, and as a result, the temperature rise of the magnetron is suppressed. This makes it possible to extend the life of the magnetron.

図6は、この発明の効果について説明するための説明図である。図6では、従来の冷却孔を形成した場合とこの発明の冷却孔を形成した場合との冷却効果を比較するための実験結果を示している。   FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining the effect of the present invention. In FIG. 6, the experimental result for comparing the cooling effect of the case where the conventional cooling hole is formed and the case where the cooling hole of this invention is formed is shown.

ここで、測定条件について説明する。まず、実験の使用した無電極ランプは、NORDSON社製の鉄メタルハライドランプで、使用の紫外線照射装置としては、同じくNORDSON社製のCool Wave「MPS610V」である。温度計は、KEYENIC社製のNR-1000(K熱電対使用)とした。   Here, the measurement conditions will be described. First, the electrodeless lamp used in the experiment is an iron metal halide lamp manufactured by NORDSON, and the UV irradiation device used is Cool Wave “MPS610V” also manufactured by NORDSON. The thermometer was an NR-1000 (K thermocouple used) manufactured by KEYENIC.

また、温度の測定箇所としては、マグネトロンとし、測定条件として無電極ランプ消灯60秒後における、導波管の冷却孔を、同形状にした場合(従来)、それに冷却孔の大きさがマグネトロン近傍は大きく、ランプ近傍は小さくしたこの発明の第1の実施形態(A)の場合、および冷却孔の数をマグネトロンの近傍は多く、無電極ランプの近傍では少なくしたこの発明の第2の実施形態(B)の場合のそれぞれについて測定した結果を、図6では示している。   In addition, if the temperature measurement location is a magnetron and the cooling hole of the waveguide is the same shape after 60 seconds after the electrodeless lamp is extinguished as a measurement condition (conventional), the size of the cooling hole is close to the magnetron. In the case of the first embodiment (A) of the present invention in which the vicinity of the lamp is small and the number of cooling holes is large in the vicinity of the magnetron, and in the vicinity of the electrodeless lamp, the second embodiment of the present invention is reduced. FIG. 6 shows the measurement results for each case (B).

測定の結果は、無電極ランプ消灯60秒後におけるマグネトロンの温度は、従来の場合60.1℃で、この発明の(A)の場合50.8℃で、この発明の(B)の場合53.4℃であった。   As a result of the measurement, the temperature of the magnetron 60 seconds after the electrodeless lamp was turned off was 60.1 ° C. in the conventional case, 50.8 ° C. in the case (A) of the present invention, and 53 in the case (B) of the present invention. It was 4 ° C.

このような測定結果から、冷却孔の形状を変更することにより、従来のマグネトロンのアンテナ温度に比して(A)の場合は約15%、(B)の場合は約〜15%それぞれ低減することがわかった。この冷却効果により、マグネトロンの寿命を長くすることが可能となる。   From these measurement results, by changing the shape of the cooling hole, the temperature is reduced by about 15% in the case of (A) and about -15% in the case of (B) as compared to the antenna temperature of the conventional magnetron. I understood it. This cooling effect can extend the life of the magnetron.

この発明は、上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、無電極ランプは、長手方向の中央部の径をその両端の径よりも小さいものを使用したが、中央部、両端部が同じ径であっても構わない。筐体内にはマグネトロンが2個の場合で説明したが、1個であっても構わない。   The present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, the electrodeless lamp has a diameter in the center portion in the longitudinal direction smaller than the diameters at both ends, but the center portion and both ends may have the same diameter. Although the case where there are two magnetrons in the housing has been described, it may be one.

また、この発明の第1の実施形態の冷却孔は、マグネトロンに近い側を無電極ランプに近い側よりも大きく、第2の実施形態の冷却孔は、マグネトロンに近い側を無電極ランプに近い側よりも多くとしたが、要は、マイクロ波が漏れない条件下で、単位面積あたりの冷却孔の面積を、マグネトロンに近い側を無電極ランプに近い側よりも大きい関係にあればよい。   Further, the cooling hole of the first embodiment of the present invention has a side closer to the magnetron larger than the side closer to the electrodeless lamp, and the cooling hole of the second embodiment has a side closer to the magnetron closer to the electrodeless lamp. In short, it is sufficient that the area of the cooling hole per unit area is larger on the side closer to the magnetron than on the side closer to the electrodeless lamp under the condition that the microwave does not leak.

無電極ランプは、長手方向の中央部の径をその両端の径よりも小さいものを使用して説明したが、中央部、両端部が同じ径であっても構わない。また筐体内には2個のマグネトロンを配置し、これらのマグネトロンから1個の無電極ランプにマイクロ波を放射させる説明したが、マグネトロンは1個であっても構わない。   Although the electrodeless lamp has been described using the central portion having a smaller diameter than the diameters at both ends, the center portion and both ends may have the same diameter. In addition, although two magnetrons are arranged in the casing and microwaves are emitted from these magnetrons to one electrodeless lamp, the number of magnetrons may be one.

この発明の紫外線照射装置に関する第1の実施形態について説明するためのシステム構成図。The system block diagram for demonstrating 1st Embodiment regarding the ultraviolet irradiation device of this invention. 図1に示すI−I’断面図。I-I 'sectional drawing shown in FIG. 図1で使用される無電極ランプの一例について説明するための構成図。The block diagram for demonstrating an example of the electrodeless lamp used in FIG. この発明の紫外線照射装置に関する第2の実施形態について説明するためのシステム構成図。The system block diagram for demonstrating 2nd Embodiment regarding the ultraviolet irradiation device of this invention. 図4に示すII−II’断面図。II-II 'sectional drawing shown in FIG. この発明の効果について説明するための説明図。Explanatory drawing for demonstrating the effect of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

11 筐体
12 無電極ランプ
131,132 マグネトロン
14 電源
151,152 導波管
161,162 アンテナ
20 冷却機構
21 反射板
22 スクリーン
231,232 大冷却孔部
241,242 小冷却孔部
411,412 多冷却孔部
421,422 少冷却孔部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Case 12 Electrodeless lamp 131,132 Magnetron 14 Power supply 151,152 Waveguide 161,162 Antenna 20 Cooling mechanism 21 Reflector 22 Screen 231,232 Large cooling hole part 241,242 Small cooling hole part 411,412 Multiple cooling Hole part 421,422 Small cooling hole part

Claims (3)

マイクロ波により紫外線が放射可能な放電媒体が封入された無電極ランプと、
前記ランプにマイクロ波を供給するためのマグネトロンと、
前記マグネトロンから発生するマイクロ波を、前記ランプへ給電するための導波管と、
前記ランプの紫外線光を集光または拡散させる反射板と、
少なくとも前記マグネトロンおよび前記ランプを送風により冷却する冷却機構と、が筐体内に構成された紫外線照射装置において、
前記導波管にマイクロ波が漏れない冷却孔を複数形成し、前記冷却孔の形状は前記マグネトロン近傍は大きく、前記ランプ近傍は小さくしたことを特徴する紫外線照射装置。
An electrodeless lamp in which a discharge medium capable of emitting ultraviolet rays by microwaves is enclosed;
A magnetron for supplying microwaves to the lamp;
A waveguide for supplying microwaves generated from the magnetron to the lamp;
A reflector for condensing or diffusing the ultraviolet light of the lamp;
In the ultraviolet irradiation device in which at least the magnetron and the cooling mechanism that cools the lamp by blowing are configured in the housing,
An ultraviolet irradiation apparatus, wherein a plurality of cooling holes through which microwaves do not leak are formed in the waveguide, and the shape of the cooling holes is large near the magnetron and small near the lamp.
マイクロ波により紫外線が放射可能な放電媒体が封入された無電極ランプと、
前記ランプにマイクロ波を供給するためのマグネトロンと、
前記マグネトロンから発生するマイクロ波を、前記ランプへ給電するための導波管と、
前記ランプの紫外線光を集光または拡散させる反射板と、
少なくとも前記マグネトロンおよび前記ランプを送風により冷却する冷却機構と、が筐体内に構成された紫外線照射装置において、
前記導波管にマイクロ波が漏れない冷却孔を複数形成し、前記冷却孔の数量をマグネトロン近傍は多く、前記ランプ近傍は少なくしたことを特徴とする紫外線照射装置。
An electrodeless lamp in which a discharge medium capable of emitting ultraviolet rays by microwaves is enclosed;
A magnetron for supplying microwaves to the lamp;
A waveguide for supplying microwaves generated from the magnetron to the lamp;
A reflector for condensing or diffusing the ultraviolet light of the lamp;
In the ultraviolet irradiation device in which at least the magnetron and the cooling mechanism that cools the lamp by blowing are configured in the housing,
An ultraviolet irradiation apparatus characterized in that a plurality of cooling holes through which microwaves do not leak are formed in the waveguide, and the number of cooling holes is large near the magnetron and small near the lamp.
前記冷却孔は、大きくとも3mmとしたことを特徴とする請求項1または2記載の紫外線照射装置。   3. The ultraviolet irradiation device according to claim 1, wherein the cooling hole is at most 3 mm.
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