JP2011113791A - Metal halide lamp, ultraviolet irradiation device - Google Patents

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智行 峯山
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To aim at improvement of light-emission efficiency in a wavelength region of 350 to 380 nm by dissolving a part with low temperature distribution at both end parts of a metal halide lamp in a length direction. <P>SOLUTION: An electrodeless metal halide lamp 100 is structured by forming a discharge space 13 with a nearly cylindrical shape arc tube 11 of quartz glass made, in which at least rare gas, mercury as a discharge medium, and a discharge media such as iron are sealed. The metal halide lamp 100 makes iron as a discharge medium emit ultraviolet rays of 350 to 380 nm with by microwaves radiated from a magnetron. At sealing parts 121, 122 for forming the discharge space 13 in the arc tube 11, inorganic heat insulating films 151, 152 are formed in a range which does not infringe an effective light-emitting length of the arc tube 11. With this, light-emission efficiency can be improved through prevention of generation of the coldest-point temperature due to a valley part of a standing wave position at either end of the arc tube 11 of the microwaves. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

この発明は、マイクロ波によって励起を行い、紫外線を発光させる無電極のメタルハライドランプおよびこのランプを用いた紫外線照射装置に関する。   The present invention relates to an electrodeless metal halide lamp that excites with a microwave and emits ultraviolet rays, and an ultraviolet irradiation device using the lamp.

従来のメタルハライドランプは、発光管内に対向配置された電極付近における管壁外表面に設けた保温膜が、点灯時における最冷点温度が放電空間の両端近傍よりも中央側になるように放電空間の両端近傍を保温する保温手段が形成されている。(例えば、特許文献1)   In conventional metal halide lamps, the heat insulation film provided on the outer surface of the tube wall in the vicinity of the electrode opposed to the inside of the arc tube has a discharge space so that the coldest spot temperature at the time of lighting is closer to the center side than near both ends of the discharge space. A heat retaining means for retaining the vicinity of both ends of the is formed. (For example, Patent Document 1)

特開2001−338610公報JP 2001-338610 A

上記した特許文献1の技術は、350〜380nmの波長において鉄による強い発光を示すが、メタルハライドランプとしてマイクロ波給電式無電極ランプが用いられた場合、メタルハライドランプがマイクロ波の定在波にて放電形成が行われることから、定在波の谷の部分では最冷部が発生することになり、温度の低い部分では鉄の発光効率が低下する、という問題があった。   The technique of Patent Document 1 described above shows strong light emission by iron at a wavelength of 350 to 380 nm. However, when a microwave-fed electrodeless lamp is used as a metal halide lamp, the metal halide lamp is a microwave standing wave. Since discharge formation is performed, the coldest part occurs in the valley portion of the standing wave, and there is a problem that the luminous efficiency of iron decreases in the low temperature portion.

この発明の目的は、350nm〜380nmにおいて高い発光効率の得られるマイクロ波給電式無電極のメタルハライドランプおよびこのランプを用いた紫外線照射装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a microwave-fed electrodeless metal halide lamp capable of obtaining high luminous efficiency at 350 nm to 380 nm and an ultraviolet irradiation device using the lamp.

上記した課題を解決するために、この発明のメタルハライドランプは、略円筒形状の石英ガラス製発光管で放電空間を形成し、該放電空間内に、少なくとも希ガスと水銀それに鉄等の放電媒体が封入して構成される無電極ランプに、マグネトロンより放射されるマイクロ波により放電が発生するメタルハライドランプにおいて、前記発光管の有効発光長を侵害しない少なくとも一方の発光管の封止部に、耐熱性に優れた保温膜を形成したことを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, the metal halide lamp of the present invention forms a discharge space with a substantially cylindrical quartz glass arc tube, and a discharge medium such as at least a rare gas, mercury or iron is contained in the discharge space. In a metal halide lamp in which a discharge is generated by microwaves emitted from a magnetron in an electrodeless lamp configured to be sealed, at least one arc tube sealing portion that does not infringe on the effective luminous length of the arc tube has heat resistance. It is characterized in that a heat insulating film excellent in the above is formed.

この発明の紫外線照射装置は、放電媒体が封入されている紫外線を発光させる請求項1または2記載のメタルハライドランプと、前記メタルハライドランプを収納し、外部に紫外線を照射可能とするランプハウスと、前記ランプハウスから照射された紫外線の照射領域を制限するため、紫外線照射面下に設置された紫外線カットフィルタと、を具備したことを特徴とする。   An ultraviolet irradiation device according to the present invention comprises: a metal halide lamp according to claim 1 that emits ultraviolet light in which a discharge medium is enclosed; a lamp house that houses the metal halide lamp and is capable of irradiating ultraviolet light to the outside; In order to limit the irradiation area of the ultraviolet rays irradiated from the lamp house, the apparatus includes an ultraviolet cut filter installed below the ultraviolet irradiation surface.

この発明によれば、定在波の谷となる端部封止部に耐熱性に優れた無機保温膜を形成して最冷部の温度を上昇させたことにより、鉄の発光効率を上昇させて照度の改善を可能とした。   According to this invention, the inorganic heat insulating film having excellent heat resistance is formed on the end sealing portion that becomes the valley of the standing wave, and the temperature of the coldest portion is increased, thereby increasing the luminous efficiency of iron. The illuminance can be improved.

この発明のメタルハライドランプに関する一実施形態について説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating one Embodiment regarding the metal halide lamp of this invention. 図1の正面図である。It is a front view of FIG. 無電極ランプにおけるマイクロ波の定在波について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the standing wave of the microwave in an electrodeless lamp. この発明と従来のランプを同条件で点灯させた分光分布について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the spectral distribution which lighted this invention and the conventional lamp on the same conditions. この発明と従来の350〜380nmにおける発光比について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating this invention and the conventional light emission ratio in 350-380 nm. この発明の紫外線照射装置に関する一実施形態ついて説明するためのシステム構成図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a system configuration diagram for explaining an embodiment relating to an ultraviolet irradiation device of the present invention. 図6のIa−Ib線の断面図である。It is sectional drawing of the Ia-Ib line | wire of FIG.

以下、この発明を実施するための形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1、図2は、この発明のメタルハライドランプに関する一実施形態について説明するための、図1は斜視図、図2は図1の正面図である。   FIG. 1 and FIG. 2 are perspective views and FIG. 2 is a front view of FIG. 1 for explaining an embodiment relating to a metal halide lamp of the present invention.

図1、図2において、100は無電極のメタルハライドランプを示しており、このメタルハライドランプ100の11は、紫外光を透過させる石英ガラス製の例えば長さが140mm、管径φが11mm、肉厚mが1mm程度の円筒形状の発光管である。発光管11の両端は、加熱して封止部121,122を形成したことにより、発光長が138mm程度の放電空間13が形成される。   1 and 2, reference numeral 100 denotes an electrodeless metal halide lamp, and 11 of the metal halide lamp 100 is made of quartz glass that transmits ultraviolet light, for example, a length of 140 mm, a tube diameter φ of 11 mm, and a wall thickness. It is a cylindrical arc tube whose m is about 1 mm. Since both ends of the arc tube 11 are heated to form the sealing portions 121 and 122, a discharge space 13 having an emission length of about 138 mm is formed.

さらに、発光管11の放電空間13内には、60torrのアルゴンガスとそれに水銀、鉄等の放電媒体が封入される。発光管11の封止部121,122には、発光管11を支持する棒状の支持部141,142が、それぞれ発光管11と同材料で融解させた状態で一体形成される。   Further, in the discharge space 13 of the arc tube 11, an argon gas of 60 torr and a discharge medium such as mercury or iron are enclosed. In the sealing portions 121 and 122 of the arc tube 11, rod-like support portions 141 and 142 that support the arc tube 11 are integrally formed in a state of being melted with the same material as the arc tube 11.

メタルハライドランプ100は、マイクロ波が照射されることにより、放電空間13に封入された放電媒体である鉄のもつ350〜380nmの波長に強い発光させることが可能となる。   When the metal halide lamp 100 is irradiated with microwaves, the metal halide lamp 100 can emit light strongly at a wavelength of 350 to 380 nm of iron that is a discharge medium sealed in the discharge space 13.

ここで、図3を参照し、マイクロ波が照射されることにより発光の無電極ランプにおける定在波について説明する。   Here, a standing wave in an electrodeless lamp that emits light by being irradiated with microwaves will be described with reference to FIG.

図3の破線で示すように、マイクロ波の定在波の谷Va〜Vcがメタルハライドランプ100の長手方向の両端部と中央部においてそれぞれ発生する。定在波の谷Va〜Vcの各部分では、山の部分Ma,Mbに比して電磁エネルギーが低いことから、必然的に発生する温度も低いことになる。   As shown by broken lines in FIG. 3, microwave standing wave valleys Va to Vc are generated at both ends and the center of the metal halide lamp 100 in the longitudinal direction. In each portion of the standing wave valleys Va to Vc, the electromagnetic energy is lower than that of the peak portions Ma and Mb, and therefore the inevitably generated temperature is also low.

再び、図1、図2において、マイクロ波の定在波の谷となる図3に示したVa〜Vcのうち、メタルハライドランプ100の定在波の谷Va,Vcの位置で最冷部となる封止部121,122の発光管11には、保温膜151,152が形成される。保温膜151,152は、有効発光長を侵害しない範囲内、具体的には封止部121,122からそれぞれ発光管長の5%となる程度の領域Aに耐熱性に優れ、マイクロ波を反射しないシリカ、リン酸、酸化ジルコニウムを主成分とする無機被覆剤を用いて形成される。   Again, in FIGS. 1 and 2, among the Va to Vc shown in FIG. 3, which are the microwave standing wave valleys, the coldest part is at the positions of the standing wave valleys Va and Vc of the metal halide lamp 100. Thermal insulation films 151 and 152 are formed on the arc tube 11 of the sealing portions 121 and 122. The heat insulating films 151 and 152 have excellent heat resistance and do not reflect microwaves within a range that does not infringe on the effective light emission length, specifically, in the region A that is about 5% of the arc tube length from the sealing portions 121 and 122, respectively. It is formed using an inorganic coating material mainly composed of silica, phosphoric acid, and zirconium oxide.

このような保温膜151,152として用いられる耐熱性の無機被覆剤の具体的な材料の一例としては、日産化学工業(株)のボンド・エックス(商品名)を挙げることができる。   As an example of a specific material of the heat-resistant inorganic coating used for the heat retaining films 151 and 152, Bond X (trade name) manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd. can be given.

図4は、この発明の保温膜151,152が形成されたランプと従来の保温膜が形成されないランプを、同条件で点灯させた場合の分光分布について説明するための説明図である。   FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining the spectral distribution when a lamp in which the heat retaining films 151 and 152 of the present invention are formed and a lamp in which a conventional heat retaining film is not formed are lit under the same conditions.

図4の実線に示す保温膜151,152が形成されたこの発明のメタルハライドランプ100は、破線に示す保温膜がない従来のメタルハライドランプに比して350nm〜380nmの波長域における高い発光効率のメタルハライドランプの実現を図ることが可能となる。   The metal halide lamp 100 of the present invention in which the heat insulating films 151 and 152 shown by the solid line in FIG. 4 are formed is a metal halide having a high luminous efficiency in the wavelength region of 350 nm to 380 nm as compared with the conventional metal halide lamp without the heat insulating film shown by the broken line. A lamp can be realized.

図5は、この発明と従来の発光比について説明するためのものである。すなわち、350nm〜380nmの波長域において、この発明のメタルハライドランプは、28%程度の発光分布の向上が見られる。   FIG. 5 is for explaining the light emission ratio of the present invention and the prior art. That is, in the wavelength range of 350 nm to 380 nm, the metal halide lamp of the present invention shows an improvement in the light emission distribution of about 28%.

この実施形態では、マイクロ波給電式無電極のメタルハライドランプにマイクロ波で形成される定在波の谷の部分である封止部に、最冷部温度を上昇させることにより鉄の蒸発量を増加させ、350nm〜380nmの波長域において従来よりも発光効率の向上を図ることができる。   In this embodiment, the evaporation amount of iron is increased by raising the coldest part temperature to the sealing part which is a part of the valley of the standing wave formed by microwaves in the electrodeless metal halide lamp with microwave feed. In the wavelength region of 350 nm to 380 nm, the luminous efficiency can be improved as compared with the conventional case.

なお、上記したこの発明のメタルハライドランプの一実施形態では、保温膜をメタルハライドランプ100の両端の封止部121,122の部分に形成したが、保温膜は少なくとも一方の封止部に形成しても構わない。この場合は、両側に形成した場合に比べ発光効率向上は劣るものの、保温膜を形成しない場合に比べて発光効率を改善させることができる。   In the embodiment of the metal halide lamp of the present invention described above, the heat insulating film is formed on the sealing portions 121 and 122 at both ends of the metal halide lamp 100. However, the heat insulating film is formed on at least one sealing portion. It doesn't matter. In this case, although the luminous efficiency improvement is inferior compared with the case where it is formed on both sides, the luminous efficiency can be improved as compared with the case where the heat insulating film is not formed.

また、マイクロ波の定在波が発生する発光管11の長手方向の中間部にも保温膜を形成し、ここで温度を上昇させることも考えられるが、中間部に保温膜を形成すると保温膜が邪魔となり照度低下を来たす可能性があることから、発光管11の封止部の定在波の谷に対応する部分とした。   Further, it is conceivable to form a heat insulating film at the intermediate portion in the longitudinal direction of the arc tube 11 where the standing wave of the microwave is generated, and to raise the temperature here. However, if a heat insulating film is formed at the intermediate portion, the heat insulating film is formed. Therefore, the portion corresponding to the valley of the standing wave in the sealing portion of the arc tube 11 is used.

図6および図7は、この発明の無電極のメタルハライドランプを点灯させる点灯装置について説明するための、図6はシステム構成図、図7は図6のIa−Ib線の断面図である。   6 and 7 are diagrams for explaining a lighting device for lighting an electrodeless metal halide lamp according to the present invention. FIG. 6 is a system configuration diagram, and FIG. 7 is a sectional view taken along line Ia-Ib in FIG.

紫外線照射装置200の、61はマイクロ波を遮蔽する機能を有する、例えばステンレス製のランプハウスであり、このランプハウス61の中央下方部には電極を備えない、図1〜図5で説明したこの発明のメタルハライドランプ100をランプハウス61の側面の一部に取り付けてある。   61 of the ultraviolet irradiation device 200 is a lamp house made of, for example, stainless steel having a function of shielding microwaves, and this lamp house 61 is not provided with an electrode at the lower central portion thereof, which has been described with reference to FIGS. The metal halide lamp 100 of the invention is attached to a part of the side surface of the lamp house 61.

62は、例えば2.45GHzのマイクロ波を発生させるマグネトロンであり、マグネトロン62には、電源63から電力が供給される。64は、マグネトロン62で発生させたマイクロ波をアンテナ65から送信し、メタルハライドランプ100にマイクロ波を伝達させる導波管である。   Reference numeral 62 denotes a magnetron that generates a microwave of 2.45 GHz, for example, and power is supplied to the magnetron 62 from a power source 63. Reference numeral 64 denotes a waveguide that transmits the microwave generated by the magnetron 62 from the antenna 65 and transmits the microwave to the metal halide lamp 100.

ランプハウス11の上面には、吸気口66が設置され、ブロア67から送風される冷却媒体である空気がランプハウス61内に取り込むようにしてある。ブロア67と吸気口66間には、図示しないダクトが設けられ、ブロア67から送られる風を取り込むようになっている。   An air inlet 66 is provided on the upper surface of the lamp house 11 so that air as a cooling medium blown from the blower 67 is taken into the lamp house 61. A duct (not shown) is provided between the blower 67 and the intake port 66 so as to take in the wind sent from the blower 67.

メタルハライドランプ100の背面側には、照射される紫外光を集光あるいは拡散させる反射板68が設置される。反射板68の前面には、照射窓を構成するRFスクリーン69がランプハウス61の一部に設けられている。RFスクリーン69は、金属でありかつ開口部が設けられ、マイクロ波は遮断し、紫外光と送風は通過させる。   On the back side of the metal halide lamp 100, a reflecting plate 68 for condensing or diffusing irradiated ultraviolet light is installed. An RF screen 69 constituting an irradiation window is provided in a part of the lamp house 61 on the front surface of the reflection plate 68. The RF screen 69 is made of metal and has an opening, blocks microwaves, and allows ultraviolet light and air to pass through.

RFスクリーン69は、例えば、金属線をメッシュ状に編み込んで形成したり、金属板にパンチング加工でメッシュ状に形成したりして開口部を有するようになっている。メタルハライドランプ100と対向するRFスクリーン69の反対面は、紫外線の照射面となる。   The RF screen 69 is formed, for example, by knitting a metal wire into a mesh shape or by forming a metal plate in a mesh shape by punching processing. The opposite surface of the RF screen 69 facing the metal halide lamp 100 is an ultraviolet irradiation surface.

このようにして、マグネトロン62のマイクロ波で励起されたメタルハライドランプ100は、紫外光を発し、RFスクリーン69を介して図示しない被照射物を照射させることができる。   In this way, the metal halide lamp 100 excited by the microwave of the magnetron 62 emits ultraviolet light and can irradiate an irradiation object (not shown) via the RF screen 69.

この実施形態では、メタルハライドランプ100の長手方向の両端部における温度分布の低い部分の温度の上昇を図ったことより、メタルハライドランプ100が発する350〜380nmの波長域における発光効率が改善された紫外線の照射を実現することができる。   In this embodiment, by increasing the temperature of the portion having a low temperature distribution at both ends in the longitudinal direction of the metal halide lamp 100, the emission efficiency in the wavelength region of 350 to 380 nm emitted from the metal halide lamp 100 is improved. Irradiation can be realized.

100 メタルハライドランプ
11 発光管
121,122 封止部
13 放電空間
141,142 支持部
151,152 保温膜
200 紫外線照射装置
61 ランプハウス
62 マグネトロン
63 電源
64 導波管
65 アンテナ
66 吸気口
67 ブロア
68 反射板
69 RFスクリーン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Metal halide lamp 11 Light emission tube 121,122 Sealing part 13 Discharge space 141,142 Support part 151,152 Thermal insulation film 200 Ultraviolet irradiation apparatus 61 Lamp house 62 Magnetron 63 Power supply 64 Waveguide 65 Antenna 66 Inlet 67 Blower 68 Reflector 69 RF screen

Claims (3)

略円筒形状の石英ガラス製発光管で放電空間を形成し、該放電空間内に、少なくとも希ガスと水銀それに鉄等の放電媒体が封入して構成される無電極ランプに、マグネトロンより放射されるマイクロ波により放電が発生するメタルハライドランプにおいて、
前記発光管の有効発光長を侵害しない少なくとも一方の発光管の封止部に、耐熱性に優れた保温膜を形成したことを特徴とするメタルハライドランプ。
A discharge space is formed by a substantially cylindrical quartz glass arc tube, and at least a rare gas, mercury, and a discharge medium such as iron are enclosed in the discharge space, and is emitted from a magnetron to an electrodeless lamp. In metal halide lamps where discharge is generated by microwaves,
A metal halide lamp characterized in that a heat insulating film having excellent heat resistance is formed on a sealing portion of at least one arc tube that does not infringe on the effective luminous length of the arc tube.
前記保温膜は、マイクロ波を反射させない耐熱性無機被膜剤で形成したことを特徴とする請求項1記載のメタルハライドランプ。   2. The metal halide lamp according to claim 1, wherein the heat insulating film is formed of a heat resistant inorganic coating agent that does not reflect microwaves. 放電媒体が封入されている紫外線を発光させる請求項1または2記載のメタルハライドランプと、
前記メタルハライドランプを収納し、外部に紫外線を照射可能とするランプハウスと、
前記ランプハウスから照射された紫外線の照射領域を制限するため、紫外線照射面下に設置された紫外線カットフィルタと、を具備したことを特徴とする紫外線照射装置。
The metal halide lamp according to claim 1 or 2, which emits ultraviolet light in which a discharge medium is enclosed;
A lamp house that houses the metal halide lamp and that can radiate ultraviolet rays to the outside;
An ultraviolet irradiation device comprising: an ultraviolet cut filter installed under the ultraviolet irradiation surface in order to limit an irradiation region of ultraviolet rays irradiated from the lamp house.
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CN105042355A (en) * 2014-11-25 2015-11-11 上一国际光电股份有限公司 Induction type fluorescent lamp system structure

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