JP2009274211A

JP2009274211A - Polishing device

Info

Publication number: JP2009274211A
Application number: JP2009196606A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Kurosawa; 洋黒澤
Original assignee: Topcon Corp
Current assignee: Topcon Corp
Priority date: 2009-08-27
Filing date: 2009-08-27
Publication date: 2009-11-26
Anticipated expiration: 2019-04-30
Also published as: JP4890598B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polishing device capable of controlling a pressure of a correcting tool applied to a polishing board without boring the tool. <P>SOLUTION: The polishing device 20 comprises a polishing board 22 for polishing a workpiece, the disklike correcting tool 26 for correcting the surface shape of the polishing board 22, and a driving roller 60 for applying torque to an outer peripheral surface of the correcting tool 26 to rotate the tool 26. The device is equipped with a liquid reservoir 103 having an upper surface of the correcting tool 26 as a bottom. The pressure of the correcting tool 26 applied to the polishing board 22 is controlled by an amount of a liquid put in the reservoir 103. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、被加工物、例えばガラス部材の研磨加工に用いられるポリッシング装置に関する。 The present invention relates to a polishing apparatus used for polishing a workpiece, for example, a glass member.

図７に示すように、ポリッシング装置におけるポリッシング盤１は、ｚ軸（鉛直軸）を中心に回転するターンテーブル２と、ターンテーブル２の上面にピッチにより形成されたポリシャ３とから概略なり、回転するポリシャ３の表面３ａに被加工物が摺接することにより研磨加工が行われる（特許文献１参照）。 As shown in FIG. 7, the polishing machine 1 in the polishing apparatus is roughly composed of a turntable 2 that rotates around a z-axis (vertical axis) and a polisher 3 that is formed on the upper surface of the turntable 2 by a pitch. Polishing is performed when the workpiece is brought into sliding contact with the surface 3a of the polisher 3 (see Patent Document 1).

ポリッシング盤１上には、円盤状の修正ツール４が一般に設けられているが、この修正ツール４は、被加工物との摩擦によるポリシャ３の表面形状の局部的損壊をピッチ表層を塑性流動させてインプロセスで（研磨加工中に）連続的に修復するとともに、ポリシャ３との接触圧によってその表面３ａの曲率調整を行う。この曲率調整は、ポリッシング盤１と修正ツール４との中心間距離Ｃを調整し、ポリシャ３と修正ツール４との接触面の図心Ａを修正ツール４の重心Ｇからずらし、この心ずらしによりラジアル方向に転がりモーメント（曲率偏向モーメント）Ｍｙ’を生じさせて修正ツール４がポリシャ３に及ぼす圧力ｐｘｙ’を図のような分布とし、ポリシャ３の外周側により大きな圧力を作用させて行われる。曲率偏向モーメントＭｙ’は、圧力ｐｘｙ’を接触面全面について積分して得られる合力Ｐに、心ずらしの距離ｓを乗じて求めることができる。 A disk-shaped correction tool 4 is generally provided on the polishing machine 1, and this correction tool 4 causes the pitch surface layer to plastically flow due to local damage of the surface shape of the polisher 3 due to friction with the workpiece. Then, the surface 3a is continuously repaired in-process (during polishing) and the curvature of the surface 3a is adjusted by the contact pressure with the polisher 3. In this curvature adjustment, the center distance C between the polishing machine 1 and the correction tool 4 is adjusted, the centroid A of the contact surface between the polisher 3 and the correction tool 4 is shifted from the center of gravity G of the correction tool 4, and This is performed by generating a rolling moment (curvature deflection moment) My ′ in the radial direction and causing the pressure pxy ′ exerted on the polisher 3 by the correction tool 4 to have a distribution as shown in the figure and applying a larger pressure to the outer peripheral side of the polisher 3. The curvature deflection moment My 'can be obtained by multiplying the resultant force P obtained by integrating the pressure pxy' over the entire contact surface by the shift distance s.

Ｍｙ’＝Ｐ・ｓＰ＝∬ｐｘｙ’ｄｘｄｙこのようなポリッシング盤１、修正ツール４を備えるポリッシング装置としては、従来以下のようなものが知られている。 My ′ = P · sP = ∬pxy′dxdy As a polishing apparatus provided with such a polishing machine 1 and a correction tool 4, the following devices are conventionally known.

図８に示す装置では、スライド板５に設けられた複数のガイドローラー６が修正ツール４の外周面に転動可能に接して、修正ツール４を回転自在に保持する。スライド板５はポリッシング盤１のラジアル方向に沿って移動可能であり、このスライド板５の位置を調整することにより修正ツール４はポリッシング盤１に対して位置決めされる。修正ツール４はポリシャ３との摩擦力によりつれ回りで回転（自転）するが、ポリシャ３の表面３ａの形状誤差により回転誤差が生じやすい。 In the apparatus shown in FIG. 8, a plurality of guide rollers 6 provided on the slide plate 5 are in contact with the outer peripheral surface of the correction tool 4 so as to be able to roll and hold the correction tool 4 rotatably. The slide plate 5 is movable along the radial direction of the polishing machine 1, and the correction tool 4 is positioned with respect to the polishing machine 1 by adjusting the position of the slide plate 5. The correction tool 4 rotates (spins) around by the frictional force with the polisher 3, but a rotation error is likely to occur due to a shape error of the surface 3 a of the polisher 3.

図９に示す装置では、図８に示す装置のガイドローラー６の一つに電動機７による回転力が与えられ、それが駆動ローラーとして機能する。この駆動ローラー８は、修正ツール４を自転させるための回転力を修正ツール４の外周面に与え、修正ツール４を積極的に回転させるので、ポリシャ３の表面３ａに形状誤差があったとしても回転誤差が生じにくい。 In the apparatus shown in FIG. 9, the rotational force by the electric motor 7 is given to one of the guide rollers 6 of the apparatus shown in FIG. 8, and it functions as a driving roller. Since the driving roller 8 applies a rotational force for rotating the correction tool 4 to the outer peripheral surface of the correction tool 4 and positively rotates the correction tool 4, even if there is a shape error on the surface 3 a of the polisher 3. Rotation error is unlikely to occur.

図１０に示す装置では、図９に示す装置の修正ツール４の上面に中ぐり加工が施され、ここにジャッキ装置９に取り付けられる金属インサート１０が埋め込まれて修正ツール４が昇降可能となっている。すなわち、ジャッキ装置９においては、ハンドル１１が操作されるとネジスピンドル１２が回転し、Ｙ形部材１３が昇降する。これに伴い、金属インサート１０が固着され且つＹ形部材１３に固定ピン１４で固定されたＩ形部材１５も昇降するので、Ｉ形部材１５と一体となった修正ツール４も昇降する。これにより、メインテナンス作業時等に修正ツール４を上方に引き上げることができる。 In the apparatus shown in FIG. 10, boring is performed on the upper surface of the correction tool 4 of the apparatus shown in FIG. 9, and a metal insert 10 attached to the jack device 9 is embedded therein so that the correction tool 4 can be raised and lowered. Yes. That is, in the jack device 9, when the handle 11 is operated, the screw spindle 12 rotates and the Y-shaped member 13 moves up and down. Accordingly, the I-shaped member 15 to which the metal insert 10 is fixed and fixed to the Y-shaped member 13 with the fixing pin 14 is also moved up and down, so that the correction tool 4 integrated with the I-shaped member 15 is also moved up and down. Thereby, the correction tool 4 can be pulled upward during maintenance work or the like.

図１１に示す装置では、図１０に示す装置と同様に修正ツール４が昇降可能となっているが、その昇降にはジャッキ装置９の代わりにエアシリンダ装置１６が用いられ、ロッド１７を下方に駆動することによって修正ツール４のポリシャ３に及ぼす圧力を高めることができる。 In the apparatus shown in FIG. 11, the correction tool 4 can be raised and lowered in the same manner as the apparatus shown in FIG. 10, but the air cylinder device 16 is used instead of the jack device 9 for raising and lowering, and the rod 17 is moved downward. By driving, the pressure exerted on the polisher 3 of the correction tool 4 can be increased.

特開平１０−３２９０１０号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-329010

ところで、図８〜図１１に示す各装置では、修正ツール４の外周面にガイドローラー６又は駆動ローラー８が直接当接することにより、修正ツール４がポリッシング盤１上の定位置に保持されている。したがって、図１２に示すように、ガイドローラー６のスピンドルには、ポリシャ３と修正ツール４との間に生じる摩擦力によりせん断力Ｆが常に作用する。また、図示のようにガイドローラー６が片持ちである場合には、せん断力Ｆの作用点からのアーム長Ｌ１に従って増大する曲げモーメントＭ＝Ｆ・Ｌ１がそのスピンドルに作用する。 By the way, in each apparatus shown in FIGS. 8-11, the correction tool 4 is hold | maintained in the fixed position on the polishing board 1 when the guide roller 6 or the drive roller 8 contact | abuts directly on the outer peripheral surface of the correction tool 4. FIG. . Accordingly, as shown in FIG. 12, a shearing force F always acts on the spindle of the guide roller 6 due to the frictional force generated between the polisher 3 and the correction tool 4. When the guide roller 6 is cantilevered as shown, a bending moment M = F · L1 that increases according to the arm length L1 from the point of application of the shearing force F acts on the spindle.

一方、駆動ローラー８のスピンドルは、図１３に示すように、せん断力Ｆ及び曲げモーメントＭ＝Ｆ・Ｌ２が駆動ローラー８の回転により周期的に変動する交番負荷条件下にある。駆動ローラー８のスピンドルには、さらに、修正ツール４に回転力を与えるためにねじりモーメントＴが作用し、回転する修正ツール４が上下に微動する場合には、それに伴いスラスト方向の負荷も作用する。 On the other hand, the spindle of the driving roller 8 is under an alternating load condition in which the shearing force F and the bending moment M = F · L2 are periodically changed by the rotation of the driving roller 8, as shown in FIG. In addition, a torsional moment T acts on the spindle of the drive roller 8 to give a rotational force to the correction tool 4, and when the rotating correction tool 4 slightly moves up and down, a load in the thrust direction also acts accordingly. .

このように駆動ローラー８が修正ツール４の外周面に直接回転力を与える構成では、そのスピンドルは過酷な負荷条件下に晒され疲労破壊を起こす危険性が高く、例えばローラーのスピンドルが破断若しくは大きく変形した場合には、修正ツール４はポリッシング盤１上の定位置での回転状態から解放され、装置の他の部分や被加工物等に衝突してポリッシング盤１上から落下する。このような事故では被加工物の巻込みによりポリシャ３の表面構造の損壊を招く場合が多く、精密工具である修正ツール４自身が落下で破壊されれば被害は甚大である。 When the driving roller 8 directly applies the rotational force to the outer peripheral surface of the correction tool 4 in this way, the spindle is exposed to severe load conditions and has a high risk of fatigue failure. For example, the roller spindle breaks or becomes large. In the case of deformation, the correction tool 4 is released from the rotation state at a fixed position on the polishing machine 1 and falls from the polishing machine 1 by colliding with other parts of the apparatus and the workpiece. In such an accident, the surface structure of the polisher 3 is often damaged due to the involvement of the work piece, and if the correction tool 4 itself, which is a precision tool, is destroyed by dropping, the damage is serious.

また、メインテナンス作業時等に修正ツール４を持ち上げる場合には、小型のポリッシング装置では手で持ち上げることも可能であるが、中型乃至大型の装置では修正ツール４の重量は３０ｋｇ〜１００ｋｇ超となるため、図１０、図１１のように修正ツール４の上面に金属インサート１０を埋め込み、アイボルト又はユニバーサルジョイント等のアンカー材にチェーン、ワイヤ、棒材等を締結させ、ウィンチ、ネジ、エアシリンダ等で持ち上げる方法が採られている。修正ツール４の上面中央部には、金属インサート１０を埋め込むために中ぐり加工が施されるので、修正ツール４の中央部分は他の部分に比して肉薄となる。このため、修正ツール４がポリシャ３に与える圧力分布は中ぐり加工が施されない場合に対して微妙に異なることとなり、設計上意図した圧力分布が得られなくなってしまう。さらに、金属インサート１０は温度外乱に対して敏感であるため、これが埋め込まれた修正ツール４の修正面全体の曲率は一般に不安定となる。 Further, when the correction tool 4 is lifted during maintenance work or the like, it is possible to lift the correction tool 4 by hand in a small polishing apparatus, but in a medium to large apparatus, the weight of the correction tool 4 is 30 kg to over 100 kg. As shown in FIGS. 10 and 11, a metal insert 10 is embedded on the upper surface of the correction tool 4, a chain, a wire, a bar or the like is fastened to an anchor material such as an eyebolt or a universal joint, and lifted with a winch, a screw, an air cylinder or the like. The method is taken. Since the center portion of the upper surface of the correction tool 4 is subjected to boring to embed the metal insert 10, the central portion of the correction tool 4 is thinner than other portions. For this reason, the pressure distribution applied to the polisher 3 by the correction tool 4 is slightly different from the case where the boring is not performed, and the pressure distribution intended by design cannot be obtained. Furthermore, since the metal insert 10 is sensitive to temperature disturbances, the curvature of the entire correction surface of the correction tool 4 in which the metal insert 10 is embedded is generally unstable.

ポリッシング装置は、従来、事前に別途の工作機械により平面研削又はラッピング等の加工がなされて平面度及び表面粗さが要求仕様程度に満たされた修正ツール４が、ポリッシング盤１の盤上に組み込まれて構成されていた。このような装置では、修正ツール４の形状が大きく損なわれた場合、又は減耗により修正ツール４の修正面側の面取りが失われた場合等には、修正ツール４をポリシッング盤１上から取り除いて専門の工場まで移送し、上記工作機械に設置して再加工しなければならない。修正ツール４はグラナイト、ガラス等の高脆性材によるものがほとんどであるため、このように工場等他の場所へ移送する際に相当の手間と注意とを要するという問題がある。 In the polishing apparatus, a correction tool 4 that has been processed by surface grinding or lapping in advance with a separate machine tool to satisfy flatness and surface roughness to the required specifications is incorporated on the polishing machine 1. Was configured. In such an apparatus, when the shape of the correction tool 4 is greatly damaged, or when the chamfer on the correction surface side of the correction tool 4 is lost due to wear, the correction tool 4 is removed from the polishing machine 1. It must be transported to a specialized factory, installed on the machine tool and reworked. Since the correction tool 4 is mostly made of a highly brittle material such as granite or glass, there is a problem that considerable labor and caution are required when transporting to another place such as a factory.

さらに、従来のポリッシング装置では、修正ツール４がポリシャ３に及ぼす圧力は調整不可能であるか、あるいは複数のエアシリンダや複動型エアシリンダを用いることにより調整可能となっていた（図１１参照）。修正ツール４の作用は既述のように、ポリシャ３の表面形状の局部的損壊を修復することと、その表面３ａの曲率調整を行うことであるが、前者については修正ツール４がポリシャ３に及ぼす圧力が、後者についてはその圧力に加えて修正ツール４の外径とポリシャ３の幅（リング幅）との寸法比が性能を支配する。このため、修正ツール４の及ぼす圧力は大きいほどよいようにも思われるが、その圧力の増大は一方でポリシャ３の塑性変形速度増大による工具寿命の短縮を招き、ポリシャ３と修正ツール４との摩擦力の増大に見合う装置剛性及び動力系に対する過大な冗長設計を要求する。修正ツール４は効果を奏すれば可能な限り軽量であることが望ましく、上記エアシリンダによる圧力調整機構は、軽量な修正ツール４によって適切な圧力を得られるという点で有益である。 Furthermore, in the conventional polishing apparatus, the pressure exerted on the polisher 3 by the correction tool 4 cannot be adjusted, or can be adjusted by using a plurality of air cylinders or double-acting air cylinders (see FIG. 11). ). As described above, the action of the correction tool 4 is to repair the local damage of the surface shape of the polisher 3 and to adjust the curvature of the surface 3a. For the latter, in addition to the pressure, the dimensional ratio between the outer diameter of the correction tool 4 and the width of the polisher 3 (ring width) dominates the performance. For this reason, it seems that the larger the pressure exerted by the correction tool 4 is, the better the pressure is. However, the increase in the pressure causes a shortening of the tool life due to an increase in the plastic deformation speed of the polisher 3. It requires an excessively redundant design for the equipment rigidity and power system to meet the increased frictional force. It is desirable that the correction tool 4 is as light as possible if effective, and the pressure adjustment mechanism using the air cylinder is advantageous in that an appropriate pressure can be obtained by the light correction tool 4.

しかしながら、このようなエアシリンダによる圧力調整機構では、ロッドとの連結に供するユニバーサルジョイント等を埋め込むために、修正ツール４の上面に中ぐり加工を施す必要があり、設計上意図した圧力分布が得られない等の上述した弊害が生じるおそれがある。 However, in such a pressure adjustment mechanism using an air cylinder, it is necessary to perform boring processing on the upper surface of the correction tool 4 in order to embed a universal joint or the like used for connection with the rod, and a pressure distribution intended in design can be obtained. There is a possibility that the above-mentioned adverse effects such as inability to occur.

本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、修正ツールに中ぐり加工を施すことなく、それがポリッシング盤に及ぼす圧力を調整することのできるポリッシング装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide a polishing apparatus that can adjust the pressure exerted on the polishing board without boring the correction tool.

上記課題を解決するため、請求項１の発明は、被加工物をポリッシングするポリッシング盤と、該ポリッシング盤の表面形状を修正する円盤状の修正ツールと、該修正ツールの外周面に回転力を与えて該修正ツールを回転させる駆動ローラーとを有するポリッシング装置において、前記修正ツールの上面を底面とする液槽が設けられ、該液槽に入れられる液体の量により前記修正ツールの前記ポリッシング盤に及ぼす圧力が調整されることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the invention of claim 1 is directed to a polishing machine for polishing a workpiece, a disk-shaped correction tool for correcting the surface shape of the polishing machine, and a rotational force on the outer peripheral surface of the correction tool. A polishing apparatus having a driving roller for feeding and rotating the correction tool is provided with a liquid tank having the upper surface of the correction tool as a bottom surface, and the polishing disk of the correction tool is arranged on the polishing disk according to the amount of liquid put into the liquid tank. The applied pressure is adjusted.

請求項２の発明は、請求項１に記載のポリッシング装置において、前記液槽の内部の液体の液面高さを一定に保持する液面保持手段が設けられていることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the polishing apparatus according to the first aspect, liquid level holding means for holding the liquid level of the liquid inside the liquid tank constant is provided.

以上説明したように、請求項１の発明によれば、液槽に入れられる液体の重さにより上面を加圧される修正ツールが、その液体の量に応じた強さでポリッシング盤を加圧するので、修正ツールに中ぐり加工を施すことなく、それがポリッシング盤に及ぼす圧力を調整することができる。また、液体による加圧であるため修正ツールの上面に作用する圧力は一様となり、ポリッシング盤をムラなく加圧することができる。 As described above, according to the first aspect of the present invention, the correction tool pressurizing the upper surface by the weight of the liquid put in the liquid tank presses the polishing board with the strength corresponding to the amount of the liquid. Therefore, the pressure exerted on the polishing machine can be adjusted without boring the correction tool. Further, since the pressure is applied by the liquid, the pressure acting on the upper surface of the correction tool is uniform, and the polishing board can be pressurized without unevenness.

請求項２の発明によれば、加圧力を左右する液体の液面高さが液面保持手段により一定に保持されるので、修正ツールがポリッシング盤に及ぼす圧力を安定させることができる。 According to the second aspect of the present invention, since the liquid level of the liquid that affects the applied pressure is held constant by the liquid level holding means, the pressure exerted by the correction tool on the polishing disc can be stabilized.

本発明に係るポリッシング装置を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the polishing apparatus which concerns on this invention. 図１のポリッシング装置の修正ツール保持部を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は側面図である。The correction tool holding | maintenance part of the polishing apparatus of FIG. 1 is shown, (a) is a top view, (b) is a rear view, (c) is a side view. 図２の修正ツール保持部の駆動リング及び摩擦駆動ローラーを拡大して示し、駆動リングが修正ツールを係止した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the drive ring and friction drive roller of the correction tool holding | maintenance part of FIG. 2 expanded, and shows the state which the drive ring latched the correction tool. 図２の修正ツール保持部の駆動リング及び摩擦駆動ローラーを拡大して示し、修正ツールがリングポリシャ盤上にある状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which expands and shows the drive ring and friction drive roller of the correction tool holding | maintenance part of FIG. 2, and shows the state which has a correction tool on a ring polisher board. 修正ツール保持部が補助装置において上下反転した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which the correction tool holding | maintenance part turned upside down in the auxiliary device. 修正ツールの上面に液槽が設けられた状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state by which the liquid tank was provided in the upper surface of the correction tool. ポリッシング盤上における修正ツールの作用を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the effect | action of the correction tool on a polishing board. 従来のポリッシング装置であって、修正ツールをガイドローラーで保持するものを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the conventional polishing apparatus and hold | maintains a correction tool with a guide roller. 従来のポリッシング装置であって、修正ツールを駆動ローラー及びガイドローラーで保持するものを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the conventional polishing apparatus, Comprising: What hold | maintains a correction tool with a drive roller and a guide roller. 従来のポリッシング装置であって、修正ツールを駆動ローラー及びガイドローラーで保持し、その修正ツールがジャッキ装置により昇降可能なものを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the conventional polishing apparatus, Comprising: A correction tool is hold | maintained with a drive roller and a guide roller, and the correction tool can be raised / lowered with a jack apparatus. 従来のポリッシング装置であって、修正ツールを駆動ローラー及びガイドローラーで保持し、その修正ツールがエアシリンダ装置により昇降可能なものを示す説明図である。It is explanatory drawing which is a conventional polishing apparatus, hold | maintains a correction tool with a drive roller and a guide roller, and the correction tool can be raised / lowered with an air cylinder apparatus. 図８〜図１１のポリッシング装置においてガイドローラーに作用する負荷を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the load which acts on a guide roller in the polishing apparatus of FIGS. 図９〜図１１のポリッシング装置において駆動ローラーに作用する負荷を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the load which acts on a drive roller in the polishing apparatus of FIGS.

本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
〔実施例１〕
図１は本発明に係るポリッシング装置の全体構成を示す。このポリッシング装置２０は、回転装置２１と、ポリッシング盤としてのリングポリシャ盤２２と、ダム２３と、ツルーイング装置２４と、補助装置２５とを備える。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[Example 1]
FIG. 1 shows the overall configuration of a polishing apparatus according to the present invention. The polishing apparatus 20 includes a rotating device 21, a ring polisher plate 22 as a polishing plate, a dam 23, a truing device 24, and an auxiliary device 25.

リングポリシャ盤２２は回転装置２１により軸線Ｏ1まわりに回転し、被加工物であるガラス部材を研磨加工する。ダム２３は研磨加工中にリングポリシャ盤２２に供給される研磨液を保持する。ツルーイング装置２４はリングポリシャ盤２２のツルーイングに用いられ、修正ツール２６を保持する修正ツール保持部２７を備える。この修正ツール保持部２７については後に詳述する。 The ring polisher 22 is rotated around the axis O1 by the rotating device 21 to polish the glass member as the workpiece. The dam 23 holds the polishing liquid supplied to the ring polisher 22 during polishing. The truing device 24 is used for truing the ring polisher 22 and includes a correction tool holding unit 27 that holds the correction tool 26. The correction tool holding unit 27 will be described in detail later.

ツルーイング装置２４の筐体２８は正面視で門形を呈している。筐体２８の天井部２９には固定板３０が設けられ、固定板３０にはジャッキ装置３１が固定されている。筐体２８の側壁部３２ａ，３２ｂのそれぞれの内面側には、鉛直方向に延びる案内棒３３ａ，３３ｂが４本ずつ設けられている。側壁部３２ａ，３２ｂの対向空間には、ジャッキ装置３１により案内棒３３ａ，３３ｂに沿って上下動可能な昇降部３４が、リングポリシャ盤２２の一部に上方から臨むように設けられている。 The housing 28 of the truing device 24 has a gate shape when viewed from the front. A fixing plate 30 is provided on the ceiling portion 29 of the housing 28, and a jack device 31 is fixed to the fixing plate 30. Four guide bars 33a and 33b extending in the vertical direction are provided on the inner surface sides of the side wall portions 32a and 32b of the housing 28, respectively. In the space opposite to the side walls 32a, 32b, an elevating part 34 that can be moved up and down along the guide rods 33a, 33b by the jack device 31 is provided so as to face a part of the ring polisher board 22 from above.

筐体２８の底部にはレベル調整用のネジ脚３５が設けられている。このネジ脚３５により筐体２８の姿勢及びリングポリシャ盤２２に対する高さは適切に調整される。 A screw leg 35 for level adjustment is provided at the bottom of the housing 28. The posture of the casing 28 and the height with respect to the ring polisher 22 are appropriately adjusted by the screw legs 35.

昇降部３４は、略水平に直線状に延びる一対の案内軌道部材３６ａ，３６ｂと、案内軌道部材３６ａ，３６ｂに跨って両者を接続する接続板３７とを備える。案内軌道部材３６ａには案内棒３３ａが挿通され、案内軌道部材３６ｂには案内棒３３ｂが挿通され、接続板３７の中央部にはフランジ３８を介してジャッキ装置３１のネジ部３９が接続されている。このジャッキ装置３１では、ハンドル４０の回転操作による入力があると、その回転が図示を略すウォーム機構により減速することによってネジ部３９に大きな推力が与えられ、ネジ部３９が筐体２８に対して昇降する。昇降部３４はそのネジ部３９の昇降に伴い昇降し、鉛直方向の所定位置にセルフロックされる。 The elevating part 34 includes a pair of guide track members 36a and 36b extending substantially horizontally and linearly, and a connection plate 37 connecting the guide track members 36a and 36b. A guide rod 33a is inserted through the guide track member 36a, a guide rod 33b is inserted through the guide track member 36b, and a screw portion 39 of the jack device 31 is connected to the center of the connection plate 37 via a flange 38. Yes. In the jack device 31, when there is an input by rotating the handle 40, the rotation is decelerated by a worm mechanism (not shown), whereby a large thrust is applied to the screw portion 39, and the screw portion 39 is applied to the housing 28. Go up and down. The elevating part 34 moves up and down as the screw part 39 moves up and down, and is self-locked at a predetermined position in the vertical direction.

補助装置２５は修正ツール保持部２７を一時的に担持し、修正ツール２６の修正面の再加工に供する。図１では便宜上、修正ツール保持部２７がツルーイング装置２４側の通常位置にある場合に加えて、これが補助装置２５に担持されている様子も併せて示すが、実際には修正ツール保持部２７はツルーイング装置２４又は補助装置２５のいずれかの側にあればよい。また、同図では補助装置２５をツルーイング装置２４と離間させて示すが、両者は連結されていてもよい。 The auxiliary device 25 temporarily holds the correction tool holding portion 27 and serves to rework the correction surface of the correction tool 26. In FIG. 1, for the sake of convenience, in addition to the case where the correction tool holding portion 27 is in the normal position on the truing device 24 side, a state in which the correction tool holding portion 27 is carried by the auxiliary device 25 is also shown. It may be on either side of the truing device 24 or the auxiliary device 25. Moreover, although the auxiliary | assistant apparatus 25 is shown spaced apart from the truing apparatus 24 in the same figure, both may be connected.

補助装置２５は、修正ツール保持部２７を担持しこれを上下反転させる反転部４１と、反転部４１を支持する架台４２とを備える。架台４２の底部にはキャスター４３が設けられ、不要なときには補助装置２５をツルーイング装置２４の側から他の場所へ容易に移動させることができるようになっている。架台４２の底部には、レベル調整用のネジ脚４４がさらに設けられている。このネジ脚４４は、補助装置２５の使用時にキャスター４３を床面から浮かせて架台４２の移動を不可とするとともに、架台４２の高さをツルーイング装置２４に合わせて調整するために用いられる。 The auxiliary device 25 includes a reversing unit 41 that carries the correction tool holding unit 27 and vertically flips it, and a gantry 42 that supports the reversing unit 41. A caster 43 is provided at the bottom of the gantry 42 so that the auxiliary device 25 can be easily moved from the truing device 24 side to another place when not needed. At the bottom of the gantry 42, screw legs 44 for level adjustment are further provided. The screw legs 44 are used for lifting the casters 43 from the floor surface when the auxiliary device 25 is in use so that the gantry 42 cannot be moved, and adjusting the height of the gantry 42 according to the truing device 24.

反転部４１は、側板４５ａ，４５ｂ及びこれらを連結する連結板４６，４７により箱形に形成され、架台４２に軸支されている。この反転部４１は、ハンドル４８と、ハンドル４８からの回転入力を減速して出力するウォーム減速装置４９と、ウォーム減速装置４９の出力に基づき軸線Ｏ2まわりに回転する小径歯車と、小径歯車と噛合し且つ側板４５ａに直結された大径歯車とからなる回転機構により、軸線Ｏ3まわりに回転して反転する。その小径歯車及び大径歯車は安全カバー５０に覆われているので図示を省略する。 The reversing portion 41 is formed in a box shape by the side plates 45 a and 45 b and the connecting plates 46 and 47 that connect them, and is pivotally supported by the gantry 42. The reversing unit 41 meshes with the handle 48, a worm reduction device 49 that decelerates and outputs the rotational input from the handle 48, a small-diameter gear that rotates around the axis O 2 based on the output of the worm reduction device 49, and the small-diameter gear. In addition, it is rotated around the axis O3 and reversed by a rotating mechanism comprising a large-diameter gear directly connected to the side plate 45a. Since the small diameter gear and the large diameter gear are covered with the safety cover 50, the illustration is omitted.

連結板４６には、後述する円盤形工具５１の径よりも大きな径をもつ円形開口５２が中央部に形成されている。連結板４６の箱形内側には、その円盤形工具５１をガイドするためのガイドローラー５３が円形開口５２の周方向に沿って複数取り付けられている。 A circular opening 52 having a diameter larger than the diameter of a disk-shaped tool 51 described later is formed in the connecting plate 46 at the center. A plurality of guide rollers 53 for guiding the disk-shaped tool 51 are attached along the circumferential direction of the circular opening 52 inside the box shape of the connecting plate 46.

側板４５ａ，４５ｂの箱形内側には、補助装置２５がツルーイング装置２４に連結された際に、昇降部３４の案内軌道部材３６ａ，３６ｂに連結されて一対の案内軌道５４ａ，５４ｂを形成する案内軌道部材５５ａ，５５ｂが設けられている。修正ツール保持部２７は、その案内軌道５４ａ，５４ｂに保持されて、ツルーイング装置２４と補助装置２５との間で移動することができるようになっている。 Inside the box-shaped inner side of the side plates 45a and 45b, when the auxiliary device 25 is connected to the truing device 24, it is connected to the guide track members 36a and 36b of the elevating part 34 to form a pair of guide tracks 54a and 54b. Track members 55a and 55b are provided. The correction tool holding unit 27 is held by the guide tracks 54 a and 54 b and can move between the truing device 24 and the auxiliary device 25.

修正ツール保持部２７は、図２に示すように、基盤５６と、基盤５６の両側に左右対になるように設けられた計６個のガイドローラー５７と、ガイドローラー５７と同一形状を有するリング部材保持手段としてのガイドローラー５８と、リング部材としての駆動リング５９と、駆動ローラーとしての摩擦駆動ローラー６０とを有する。 As shown in FIG. 2, the correction tool holding unit 27 includes a base 56, a total of six guide rollers 57 provided on both sides of the base 56 so as to be paired on the left and right sides, and a ring having the same shape as the guide roller 57. It has a guide roller 58 as a member holding means, a drive ring 59 as a ring member, and a friction drive roller 60 as a drive roller.

ガイドローラー５７は上下対称形状であって２つの円錐面６１を有し、この円錐面６１で案内軌道５４ａ，５４ｂに形成された傾斜面６２（図１参照）と接するようになっている。すなわち、その円錐面６１に傾斜面６２が上下から当接することにより、ガイドローラー５７は案内軌道５４ａ又は５４ｂに保持され、これにより修正ツール保持部２７が案内軌道５４ａ，５４ｂに保持される。また、ガイドローラー５７が案内軌道５４ａ，５４ｂに対して転動することにより、修正ツール保持部２７は案内軌道５４ａ，５４ｂに沿って移動することができる。 The guide roller 57 has a vertically symmetrical shape and has two conical surfaces 61. The conical surfaces 61 are in contact with inclined surfaces 62 (see FIG. 1) formed on the guide tracks 54a and 54b. That is, when the inclined surface 62 comes into contact with the conical surface 61 from above and below, the guide roller 57 is held on the guide track 54a or 54b, whereby the correction tool holding portion 27 is held on the guide tracks 54a and 54b. Moreover, the correction tool holding | maintenance part 27 can move along the guide track | routes 54a and 54b because the guide roller 57 rolls with respect to the guide track | trucks 54a and 54b.

基盤５６の中央部には円形状の開口６３が形成され、ガイドローラー５８はその開口６３の周方向に沿って９０°ごとに計４個設けられている。ガイドローラー５８もガイドローラー５７と同様に、上下に円錐面６４を有する。 A circular opening 63 is formed at the center of the base 56, and a total of four guide rollers 58 are provided every 90 ° along the circumferential direction of the opening 63. Similar to the guide roller 57, the guide roller 58 also has a conical surface 64 at the top and bottom.

駆動リング５９は基盤５６の開口６３に設けられ、駆動リング５９の外周面の上下には傾斜面６５が形成されている。ガイドローラー５８はその傾斜面６５に円錐面６４で当接することによって、駆動リング５９の上下動を規制するようにその外周面に係合し、駆動リング５９を基盤５６上の定位置に保持する。但し、ガイドローラー５８は駆動リング５９に対して転動可能であるので、駆動リング５９はその定位置において回転することができる。 The drive ring 59 is provided in the opening 63 of the base 56, and inclined surfaces 65 are formed above and below the outer peripheral surface of the drive ring 59. The guide roller 58 abuts on the inclined surface 65 with the conical surface 64, thereby engaging the outer peripheral surface of the guide ring 59 so as to restrict the vertical movement of the drive ring 59 and holding the drive ring 59 in a fixed position on the base 56. . However, since the guide roller 58 can roll with respect to the drive ring 59, the drive ring 59 can rotate in its fixed position.

駆動リング５９の内周面には、保持部としての駆動棒６６が周方向に沿って等間隔に複数個（ここでは１８個）設けられている。駆動棒６６は上下方向に延び、その下端部には駆動リング５９の中心に向けて突出する突起部６７が形成されている。修正ツール２６は、その突起部６７により保持されている。 On the inner peripheral surface of the drive ring 59, a plurality (18 in this case) of drive rods 66 as holding portions are provided at equal intervals along the circumferential direction. The drive rod 66 extends in the vertical direction, and a projection 67 that protrudes toward the center of the drive ring 59 is formed at the lower end thereof. The correction tool 26 is held by the protrusion 67.

摩擦駆動ローラー６０は電動機６８により回転し、自らの回転を駆動リング５９の外周面に伝えて駆動リング５９を回転させ、これを介して修正ツール２６を回転させる。電動機６８は基盤５６に対して位置調整可能な電動機固定板６９に固定され、電動機６８の回転力は駆動側プーリー７０、タイミングベルト７１、従動側プーリー７２を介して摩擦駆動ローラー６０に伝達される。この実施例では、その電動機固定板６９の基盤５６に対する位置を調整することにより、タイミングベルト７１の張りが調整されるようになっている。なお、図２において、７３は基盤５６の補強用リブを、７４は安全カバーを、１１０はツルーイング装置２４及び補助装置２５にそれぞれ設けられた送りネジ１１１に固定するためのブラケットを示す。 The friction drive roller 60 is rotated by the electric motor 68, the rotation of the friction drive roller 60 is transmitted to the outer peripheral surface of the drive ring 59, the drive ring 59 is rotated, and the correction tool 26 is rotated through the rotation. The electric motor 68 is fixed to an electric motor fixing plate 69 whose position can be adjusted with respect to the base 56, and the rotational force of the electric motor 68 is transmitted to the friction driving roller 60 through the driving pulley 70, the timing belt 71, and the driven pulley 72. . In this embodiment, the tension of the timing belt 71 is adjusted by adjusting the position of the motor fixing plate 69 with respect to the base 56. In FIG. 2, reference numeral 73 denotes a reinforcing rib for the base 56, 74 denotes a safety cover, and 110 denotes a bracket for fixing to the feed screw 111 provided in each of the truing device 24 and the auxiliary device 25.

図３及び図４は、駆動リング５９及び摩擦駆動ローラー６０の詳細構造を示す。駆動リング５９は、リング本体７５にネジ７６により駆動棒６６が固定されてなる。駆動棒６６の下部は開口６３を通じて基盤５６の下方に突出している。駆動棒６６の下端部には、調整用座金７７を介してゴム部材７８がネジ７９により取り付けられ、これにより突起部６７が形成されている。一方、修正ツール２６は、修正面８０を有する円盤状のツール本体部８１と、ツール本体部８１よりも大径に形成されたフランジ部８２とからなり、本体部８１の外周面と駆動棒６６との間の距離が調整用座金７７により１〜２ｍｍとなるように調整されている。 3 and 4 show the detailed structure of the drive ring 59 and the friction drive roller 60. FIG. The drive ring 59 is formed by fixing a drive rod 66 to a ring body 75 with screws 76. The lower portion of the drive rod 66 protrudes below the base 56 through the opening 63. A rubber member 78 is attached to the lower end portion of the drive rod 66 with a screw 79 through an adjustment washer 77, whereby a projection 67 is formed. On the other hand, the correction tool 26 includes a disk-shaped tool main body portion 81 having a correction surface 80 and a flange portion 82 formed with a diameter larger than that of the tool main body portion 81, and the outer peripheral surface of the main body portion 81 and the drive rod 66. Is adjusted by the adjustment washer 77 to be 1 to 2 mm.

摩擦駆動ローラー６０は、基盤５６上に固定された固定軸８３にボールベアリング８４を介して回転部８５が取り付けられ、この回転部８５に回転軸部８６を介して従動側プーリー７２が締結されることにより構成されている。詳細には、固定軸８３はネジ８７により取付フランジ８８に取り付けられ、この取付フランジ８８がネジ８９により基盤５６上に固定されている。ボールベアリング８４は固定軸８３の外周の上下にそれぞれ設けられ、２つのボールベアリング８４の間にはスペースカラー９０，９１が介装されている。回転部８５はボールベアリング８４及びスペースカラー９１の外周に設けられ、その外周面には断面Ｖ字状の溝９２が全周に及ぶように複数形成されている。各溝９２にはＯリング９３が取り付けられ、このＯリング９３が駆動リング５９の外周面の傾斜面６５でない部分、すなわち、リング本体７５の外周面の円柱面状の部分と接して摩擦により回転力を伝達する。回転軸部８６はその軸９４が固定軸８３と同軸となるように、回転部８５の上部にネジ９５により固定されている。従動側プーリー７２には回転軸部８６の軸９４が同軸となるように嵌挿され、平行キー９６及び固定ネジ９７により従動側プーリー７２と回転軸部８６とが締結されている。 In the friction drive roller 60, a rotating portion 85 is attached to a fixed shaft 83 fixed on the base 56 via a ball bearing 84, and a driven pulley 72 is fastened to the rotating portion 85 via a rotating shaft portion 86. It is constituted by. Specifically, the fixed shaft 83 is attached to a mounting flange 88 by a screw 87, and the mounting flange 88 is fixed on the base 56 by a screw 89. The ball bearings 84 are respectively provided above and below the outer periphery of the fixed shaft 83, and space collars 90 and 91 are interposed between the two ball bearings 84. The rotating portion 85 is provided on the outer periphery of the ball bearing 84 and the space collar 91, and a plurality of grooves 92 having a V-shaped cross section are formed on the outer peripheral surface of the rotating portion 85 over the entire periphery. An O-ring 93 is attached to each groove 92, and the O-ring 93 rotates by friction in contact with a portion of the outer peripheral surface of the drive ring 59 that is not the inclined surface 65, that is, a cylindrical surface portion of the outer peripheral surface of the ring body 75. Transmit power. The rotating shaft portion 86 is fixed to the upper portion of the rotating portion 85 with screws 95 so that the shaft 94 is coaxial with the fixed shaft 83. The driven pulley 72 is fitted so that the shaft 94 of the rotating shaft portion 86 is coaxial, and the driven pulley 72 and the rotating shaft portion 86 are fastened by a parallel key 96 and a fixing screw 97.

この修正ツール保持部２７では、研磨加工時においては、摩擦駆動ローラー６０による駆動リング５９の回転駆動に伴い修正ツール２６が回転するように、突起部６７のゴム部材７８がツール本体部８１の外周面に弾接してこれに回転力を与える（図４）。また、研磨加工時には、突起部６７とフランジ部８２との間隔ｈは３ｍｍ以上となっている。一方、ジャッキ装置３１により昇降部３４が上昇し、これに伴い修正ツール保持部２７が上昇する場合には、突起部６７がフランジ部８２に係止して修正ツール２６が持ち上げられる（図３）。 In the correction tool holding portion 27, the rubber member 78 of the protrusion 67 is rotated around the outer periphery of the tool main body 81 so that the correction tool 26 rotates as the drive ring 59 is rotated by the friction drive roller 60 during polishing. Elastically contact the surface to give a rotational force (Fig. 4). Further, at the time of polishing, the distance h between the protrusion 67 and the flange 82 is 3 mm or more. On the other hand, when the lifting / lowering portion 34 is raised by the jack device 31 and the correction tool holding portion 27 is raised accordingly, the protrusion 67 is locked to the flange portion 82 and the correction tool 26 is lifted (FIG. 3). .

リングポリシャ盤２２上にある修正ツール保持部２７を補助装置２５に移送して、修正ツール２６の修正面８０を加工する場合には、昇降部３４を所定の高さまで上昇させた後、その案内軌道部材３６ａ，３６ｂと反転部４１の案内軌道部材５５ａ，５５ｂとのアライメントを行って一対の案内軌道５４ａ，５４ｂを形成し、この案内軌道５４ａ，５４ｂに沿って修正ツール保持部２７を補助装置２５側に移動させる。 When the correction tool holding part 27 on the ring polisher 22 is transferred to the auxiliary device 25 and the correction surface 80 of the correction tool 26 is processed, the guide 34 is raised after the elevating part 34 is raised to a predetermined height. The track members 36a, 36b and the guide track members 55a, 55b of the reversing part 41 are aligned to form a pair of guide tracks 54a, 54b, and the correction tool holding unit 27 is placed along the guide tracks 54a, 54b with the auxiliary device. Move to 25 side.

具体的には、まずキャスター４３によりツルーイング装置２４に対する補助装置２５の位置決めをして、そのレベル調整をネジ脚４４により行う。つぎに、ジャッキ装置３１により昇降部３４を所定の高さまで上昇させるとともに、修正ツール保持部２７の受け入れ態勢を整えるべく回転機構により反転部４１の角度調整を行う。この際、円形開口５２が形成された連結板４６が下方に、連結板４７が上方にくるように反転部４１の上下の向きを合わせる。 Specifically, first, the auxiliary device 25 is positioned with respect to the truing device 24 by the caster 43, and the level adjustment is performed by the screw leg 44. Next, while raising / lowering part 34 is raised to predetermined height with the jack apparatus 31, angle adjustment of the inversion part 41 is performed with a rotation mechanism in order to adjust the acceptance posture of the correction tool holding | maintenance part 27. FIG. At this time, the reversing part 41 is vertically oriented so that the connecting plate 46 in which the circular opening 52 is formed is downward and the connecting plate 47 is upward.

このようにして案内軌道５４ａ，５４ｂを形成した後、これに沿って修正ツール保持部２７を補助装置２５の側に移動させるが、このとき、基盤５６のブラケット１１０をツルーイング装置２４側の送りネジ１１１のナットから外し、修正ツール保持部２７を補助装置２５の任意の位置まで滑り込ませ、そのブラケット１１０を補助装置２５側の送りネジ１１１のナットと接続する。 After the guide tracks 54a and 54b are thus formed, the correction tool holding portion 27 is moved along the auxiliary track 25 along the guide tracks 54a and 54b. At this time, the bracket 110 of the base 56 is moved to the feed screw on the truing device 24 side. 111 is removed from the nut 111, the correction tool holding part 27 is slid to an arbitrary position of the auxiliary device 25, and the bracket 110 is connected to the nut of the feed screw 111 on the auxiliary device 25 side.

また、補助装置２５において修正ツール保持部２７は反転部４１により上下反転させられるが、この反転時の修正ツール２６の落下を防止するため、駆動棒６６には図５に示すようにゴム板９８が貼着された支持片９９があらかじめネジ止めされている。支持片９９はすべての駆動棒６６について設ける必要はないが、これを複数の駆動棒６６に設けることにより、反転時の修正ツール２６は下方から支持されて落下が防止される。 Further, in the auxiliary device 25, the correction tool holding portion 27 is turned upside down by the reversing portion 41. In order to prevent the correction tool 26 from dropping at the time of the turning, the drive rod 66 has a rubber plate 98 as shown in FIG. A support piece 99 to which is attached is screwed in advance. The support pieces 99 need not be provided for all the drive rods 66. However, by providing the support pieces 99 on the plurality of drive rods 66, the correction tool 26 at the time of reversal is supported from below so that the fall is prevented.

修正ツール２６の修正面８０の再加工は、反転部４１により修正ツール保持部２７を反転させた状態で、ラッピング及びポリッシング用の円盤形工具５１を円形開口５２を通じて修正面８０上に載置し、電動機６８により修正ツール２６を回転させて行われる。修正ツール２６が回転すると、円盤形工具５１はガイドローラー５３により一定位置に保持されているので、修正面８０上でつれ回りしてこれを加工する。修正ツール２６と円盤形工具５１との相対的な位置関係は、前述の送りネジ１１１により自由に規定することができるので、両者の接触面の図心と円盤形工具５１の重心との心ずらしを調整することができ、円盤形工具５１の運動軌跡に変化を与えることもできる。なお、この加工時に使用した研磨液は、着脱容易で簡易な構成の円環型容器１００（図１参照）に保持されて、修正ツール２６からこぼれ落ちないようになっている。 The reworking of the correction surface 80 of the correction tool 26 is performed by placing the disk-shaped tool 51 for lapping and polishing on the correction surface 80 through the circular opening 52 with the correction tool holding unit 27 reversed by the reversing unit 41. The correction tool 26 is rotated by the electric motor 68. When the correction tool 26 rotates, the disk-shaped tool 51 is held at a fixed position by the guide roller 53, so that it rotates around the correction surface 80 to process it. Since the relative positional relationship between the correction tool 26 and the disk-shaped tool 51 can be freely defined by the feed screw 111 described above, the centroid between the centroid of the contact surface and the center of gravity of the disk-shaped tool 51 is shifted. Can be adjusted, and the movement trajectory of the disk-shaped tool 51 can be changed. The polishing liquid used at the time of processing is held in an annular container 100 (see FIG. 1) that is easy to attach and detach and has a simple configuration so that it does not spill from the correction tool 26.

この実施例に係るポリッシング装置２０では、摩擦駆動ローラー６０は駆動リング５９を介して修正ツール２６を回転させるが、ガイドローラー５８が駆動リング５９の外周面に接して駆動リング５９の横方向（ラジアル方向）の移動を規制するので、修正ツール２６からのラジアル荷重、モーメント荷重はガイドローラー５８に吸収される。このため、摩擦駆動ローラー６０は専ら駆動リング５９に回転力を与えるだけでよく、駆動リング５９を保持する役割を果たす必要がないため、摩擦駆動ローラー６０には回転力の伝達に必要な予圧だけがラジアル方向に定常的に作用する。さらに、この予圧に基づくせん断力は２つのボールベアリング８４により上下に分割されて固定軸８３に伝達されるので、固定軸８３や取付フランジ８８に作用する曲げモーメントは微小に抑制される。 In the polishing apparatus 20 according to this embodiment, the friction drive roller 60 rotates the correction tool 26 via the drive ring 59, but the guide roller 58 is in contact with the outer peripheral surface of the drive ring 59 in the lateral direction (radial). (Direction) is restricted, so that the radial load and moment load from the correction tool 26 are absorbed by the guide roller 58. For this reason, the friction drive roller 60 only needs to apply a rotational force to the drive ring 59 and does not need to play a role of holding the drive ring 59. Therefore, the friction drive roller 60 has only a preload necessary for transmitting the rotational force. Acts constantly in the radial direction. Furthermore, since the shearing force based on this preload is divided into the upper and lower parts by the two ball bearings 84 and transmitted to the fixed shaft 83, the bending moment acting on the fixed shaft 83 and the mounting flange 88 is suppressed minutely.

また、ガイドローラー５８は円錐面６４により駆動リング５９の傾斜面６５に係合し、駆動リング５９の上下動を規制するとともに、摩擦駆動ローラー６０はその傾斜面６５と接触しないように構成されているので、修正ツール２６からのスラスト荷重はすべてガイドローラー５８に吸収され、摩擦駆動ローラー６０への伝達が防止される。 The guide roller 58 is engaged with the inclined surface 65 of the drive ring 59 by the conical surface 64 to restrict the vertical movement of the drive ring 59, and the friction drive roller 60 is configured not to contact the inclined surface 65. Therefore, all the thrust load from the correction tool 26 is absorbed by the guide roller 58 and transmission to the friction drive roller 60 is prevented.

このように摩擦駆動ローラー６０に作用する負荷が最小限に抑えられていることにより、ポリッシング装置２０の耐久性は向上し、且つ、その疲労破壊の発生も効果的に抑制される。 Since the load acting on the friction drive roller 60 is minimized as described above, the durability of the polishing apparatus 20 is improved and the occurrence of fatigue failure is also effectively suppressed.

修正ツール２６の昇降は、そのフランジ部８２に駆動棒６６の突起部６７が係止して行われるので、修正ツール２６に対する中ぐり加工や金属インサートの埋込み等は不要となる。このため、修正ツール２６がリングポリシャ盤２２に及ぼす圧力分布や修正ツール２６の修正面８０の曲率を設計上意図したものとすることができ、ひいてはリングポリシャ盤２２の表面形状を安定的に保つことができる。 Ascending / descending of the correction tool 26 is performed with the protruding portion 67 of the drive rod 66 engaged with the flange portion 82, so that it is not necessary to perform boring or embedding a metal insert in the correction tool 26. For this reason, the pressure distribution exerted on the ring polisher board 22 by the correction tool 26 and the curvature of the correction surface 80 of the correction tool 26 can be designed, and the surface shape of the ring polisher board 22 can be kept stable. be able to.

修正ツール保持部２７は、案内軌道５４ａ，５４ｂ及びガイドローラー５７により補助装置２５に容易に移送することができ、この補助装置２５では、反転部４１によりそれを容易に上下反転させ再加工することができるので、修正ツールを工場等に移送していた従来に比して、著しく効率的に修正ツールの再加工を行うことができる。この際、修正ツール２６及び摩擦駆動ローラー６０等は修正ツール保持部２７として一体に移送されるので、補助装置２５の側に別途駆動装置を設けることなく修正ツール２６を回転させることができる。なお、このように修正ツール２６の移動、反転が容易であるということは、修正面８０の再加工に限らず検査、測定等においても非常に有利である。 The correction tool holding portion 27 can be easily transferred to the auxiliary device 25 by the guide tracks 54a and 54b and the guide roller 57. In the auxiliary device 25, the reversing portion 41 easily flips it upside down and reworks it. Therefore, reworking of the correction tool can be performed remarkably efficiently as compared with the conventional case where the correction tool is transferred to a factory or the like. At this time, the correction tool 26, the friction drive roller 60, and the like are integrally transferred as the correction tool holding portion 27, so that the correction tool 26 can be rotated without providing a separate drive device on the auxiliary device 25 side. The ease of movement and reversal of the correction tool 26 in this way is very advantageous not only for reworking the correction surface 80 but also for inspection, measurement, and the like.

〔実施例２〕
本実施例に係るポリッシング装置は、実施例１に係るポリッシング装置２０の修正ツール２６の上面に薄肉円筒１０１を設けることにより構成されるが（図１枠内参照）、全体構成等については同様であるので説明を省略する。 [Example 2]
The polishing apparatus according to the present embodiment is configured by providing a thin cylinder 101 on the upper surface of the correction tool 26 of the polishing apparatus 20 according to the first embodiment (see the frame in FIG. 1). Since there is, explanation is omitted.

図６に示すように、修正ツール２６の上面には、薄肉円筒１０１が水密となるようにシリコンゴム１０２により接着され、これによりその上面を底面とする液槽１０３が構成されている。この液槽１０３には、液面保持手段としての液面保持装置１０４が設けられている。 As shown in FIG. 6, on the upper surface of the correction tool 26, a thin cylinder 101 is bonded with silicon rubber 102 so as to be watertight, thereby forming a liquid tank 103 having the upper surface as a bottom surface. The liquid tank 103 is provided with a liquid level holding device 104 as a liquid level holding means.

液面保持装置１０４は、図示を略すポンプの加圧送液した液体を導入する液体導入管１０５に接続され、液体導入管１０５からの液体を液槽１０３内に吐出する吐出管１０６と、液槽１０３内の液体１０７の液面高さに反応し、内蔵電磁弁を動作制御するフロートスイッチ１０８とを備える。 The liquid level holding device 104 is connected to a liquid introduction pipe 105 that introduces a liquid fed under pressure by a pump (not shown), a discharge pipe 106 that discharges the liquid from the liquid introduction pipe 105 into the liquid tank 103, and a liquid tank. And a float switch 108 that controls the operation of the built-in electromagnetic valve in response to the liquid level of the liquid 107 in the liquid crystal 103.

この実施例に係るポリッシング装置では、液槽１０３に入れられる液体１０７の重さにより上面を加圧される修正ツール２６が、その液体１０７の量に応じた強さでリングポリシャ盤２２を加圧するので、修正ツール２６に中ぐり加工を施すことなく、それがリングポリシャ盤２２に及ぼす圧力を調整することができる。 In the polishing apparatus according to this embodiment, the correction tool 26 whose upper surface is pressurized by the weight of the liquid 107 placed in the liquid tank 103 pressurizes the ring polisher 22 with a strength corresponding to the amount of the liquid 107. Therefore, the pressure exerted on the ring polisher 22 can be adjusted without boring the correction tool 26.

また、その修正ツール２６の上面形状がいびつであったとしても、液体１０７により上面に作用する圧力ｐはパスカルの原理に従い一様となるため、修正ツール２６の上面形状はリングポリシャ盤２２に及ぼす圧力には影響せず、リングポリシャ盤２２をムラなく加圧することができる。 Even if the upper surface shape of the correction tool 26 is irregular, the pressure p acting on the upper surface by the liquid 107 is uniform according to the Pascal principle, and therefore the upper surface shape of the correction tool 26 affects the ring polisher 22. Without affecting the pressure, the ring polisher 22 can be pressed evenly.

さらに、液体１０７の量が減少してその液面高さが低下すると、液面保持装置１０４が電磁弁を解放してフロートスイッチ１０８が液面を検知するまで吐出管１０６から液体を吐出する。これにより、液体１０７の液面高さはあらかじめ設定された一定値に保持され、液体１０７の修正ツール２６の上面に対する加圧力、修正ツール２６のリングポリシャ盤２２に対する加圧力を安定させることができる。 Further, when the amount of the liquid 107 is reduced and the liquid level is lowered, the liquid level holding device 104 releases the electromagnetic valve, and the liquid is discharged from the discharge pipe 106 until the float switch 108 detects the liquid level. Thereby, the liquid level height of the liquid 107 is maintained at a preset constant value, and the pressing force of the liquid 107 on the upper surface of the correction tool 26 and the pressing force of the correction tool 26 on the ring polisher 22 can be stabilized. .

なお、液面保持装置１０４には図示するように、液体１０７を吸い込む吸込管１０９が付加されていてもよく、これにより温度制御された液体を循環させつつ液体１０７の液面高さを一定に保持することができる。 As shown in the figure, the liquid level holding device 104 may be provided with a suction pipe 109 for sucking in the liquid 107, so that the liquid level of the liquid 107 is kept constant while circulating the temperature-controlled liquid. Can be held.

２０ポリッシング装置
２２リングポリシャ盤（ポリッシング盤）
２６修正ツール
５９駆動リング（リング部材）
６０摩擦駆動ローラー（駆動ローラー）
１０３液槽 20 Polishing device 22 Ring polisher (polishing machine)
26 Correction tool 59 Drive ring (ring member)
60 Friction drive roller (drive roller)
103 Liquid tank

Claims

Polishing comprising a polishing machine for polishing a workpiece, a disk-shaped correction tool for correcting the surface shape of the polishing machine, and a drive roller for rotating the correction tool by applying a rotational force to the outer peripheral surface of the correction tool 2. A polishing apparatus according to claim 1, wherein a liquid tank having a bottom surface as an upper surface of the correction tool is provided, and a pressure exerted on the polishing disk of the correction tool is adjusted by an amount of liquid put in the liquid tank.

The polishing apparatus according to claim 1, further comprising a liquid level holding unit that holds a liquid level of the liquid inside the liquid tank constant.