JP2009265372A - Polymerizable composition, light-shielding color filter, and solid-state image sensor - Google Patents

Polymerizable composition, light-shielding color filter, and solid-state image sensor Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polymerizable composition having high curing sensitivity, with which a high-precision light-shielding film pattern can be formed while decrease in the light-shielding performance in a peripheral portion is suppressed and generation of residual matter in an unexposed portion is suppressed, and to provide a light-shielding color filter having a colored region formed by using the polymerizable composition, and to provide a solid-state image sensor having the light-shielding color filter. <P>SOLUTION: The polymerizable composition contains (A) a titanium black dispersion containing titanium black and an alkali-soluble resin having at least one unsaturated double bond, (B) a polymerizable compound, and (C) a photopolymerization initiator. The light-shielding color filter has a colored region formed by using the polymerizable composition. The solid-state image sensor has the light-shielding color filter. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、重合性組成物、遮光性カラーフィルタ、および固体撮像素子に関する。   The present invention relates to a polymerizable composition, a light-shielding color filter, and a solid-state imaging device.

液晶表示装置に用いられるカラーフィルタには着色画素間の光を遮蔽し、コントラストを向上させる等の目的で、ブラックマトリクスと呼ばれる遮光膜が備えられている。また、固体撮像素子においてもノイズ発生防止、画質の向上等を目的として遮光性カラーフィルタが設けられている。
液晶表示装置用のブラックマトリクスや固体撮像素子用の遮光性カラーフィルタを形成するための組成物としては、カーボンブラックやチタンブラック等の黒色色材を含有する感光性組成物が知られている(例えば、特許文献1〜5参照)。
特開平10−246955号公報 特開平9−54431号公報 特開平10−46042号公報 特開2006−36750号公報 特開2007−115921号公報
A color filter used in a liquid crystal display device includes a light shielding film called a black matrix for the purpose of shielding light between colored pixels and improving contrast. A solid-state image sensor is also provided with a light-shielding color filter for the purpose of preventing noise and improving image quality.
As a composition for forming a black matrix for a liquid crystal display device or a light-shielding color filter for a solid-state imaging device, a photosensitive composition containing a black color material such as carbon black or titanium black is known ( For example, see Patent Documents 1 to 5).
Japanese Patent Laid-Open No. 10-246955 JP-A-9-54431 Japanese Patent Laid-Open No. 10-46042 JP 2006-36750 A JP 2007-115921 A

液晶表示装置用ブラックマトリクスとしては、主に可視域における遮光性が要求されるのに対し、遮光性カラーフィルタとしては、可視域における遮光性に加え、赤外域における遮光性をも備える必要がある。
また、液晶表示装置用ブラックマトリクスについては微細化が要求されている一方、固体撮像素子用遮光性カラーフィルタ(特に、支持体の受光素子形成面に対し反対側の面(以下、「裏面」ともいう)を遮光するための遮光性カラーフィルタ)については、液晶表示装置用ブラックマトリクスよりも広い面積を均一に遮光する性能が要求されている。
The black matrix for liquid crystal display devices is mainly required to have a light shielding property in the visible region, whereas the light shielding color filter needs to have a light shielding property in the infrared region in addition to the light shielding property in the visible region. .
While the black matrix for liquid crystal display devices is required to be miniaturized, the light-shielding color filter for solid-state image sensors (especially, the surface opposite to the light-receiving element forming surface of the support (hereinafter referred to as “back surface”). The light-shielding color filter for shielding light) is required to uniformly shield light over a larger area than the black matrix for liquid crystal display devices.

しかしながら、固体撮像素子用遮光性カラーフィルタとして上記従来の感光性組成物を用いて広い面積の遮光性カラーフィルタを形成すると、遮光性カラーフィルタ周辺部に中央部よりも膜厚が薄くなる領域(ステップ)が生じ、遮光性カラーフィルタ周辺部の遮光能が低くなる場合がある。
また、高い遮光性を得るために黒色色材の含有量を増やすと遮光性カラーフィルタ周辺部に残渣が発生しやすくなり、感度も低下するという問題を有していた。更に、感度を向上させるため、光開始剤量を増やすと保存安定性が低下してしまうという問題を有していた。
However, when a light-shielding color filter having a large area is formed using the above-described conventional photosensitive composition as a light-shielding color filter for a solid-state imaging device, a region where the film thickness is thinner in the periphery of the light-shielding color filter than in the central portion ( Step) may occur, and the light shielding ability around the light shielding color filter may be lowered.
Further, when the content of the black color material is increased in order to obtain a high light-shielding property, there is a problem that a residue tends to be generated in the periphery of the light-shielding color filter and the sensitivity is also lowered. Furthermore, when the amount of photoinitiator is increased in order to improve sensitivity, there is a problem that storage stability is lowered.

本発明は上記に鑑みなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。
即ち本発明は、周辺部における遮光能の低下が抑制され、硬化感度が高く、未露光部における残渣が抑制され、高精細な遮光膜パターンを形成しうる重合性組成物を提供することを目的とする。
また本発明は、周辺部における遮光能の低下が抑制され且つ感度の高い遮光性カラーフィルタを提供すること、並びに周辺部における遮光能の低下が抑制された遮光性カラーフィルタを備える固体撮像素子を提供することを目的とする。
This invention is made | formed in view of the above, and makes it a subject to achieve the following objectives.
That is, an object of the present invention is to provide a polymerizable composition capable of forming a high-definition light-shielding film pattern in which a decrease in light-shielding ability in the peripheral portion is suppressed, curing sensitivity is high, and residues in unexposed portions are suppressed. And
In addition, the present invention provides a light-shielding color filter that suppresses a decrease in light-shielding ability at the peripheral portion and has high sensitivity, and a solid-state imaging device including a light-shielding color filter that suppresses a decrease in light-shielding ability at the peripheral portion The purpose is to provide.

前記課題を解決するための具体的手段は、以下の通りである。
<1>(A)少なくとも1つの不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂と、チタンブラックと、を含むチタンブラック分散物、(B)重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含有する重合性組成物である。
<2>前記(C)光重合開始剤が、オキシム化合物であることを特徴とする上記<1>に記載の重合性組成物である。
Specific means for solving the above-described problems are as follows.
<1> A titanium black dispersion containing (A) an alkali-soluble resin having at least one unsaturated double bond and titanium black, (B) a polymerizable compound, and (C) a photopolymerization initiator. It is a polymerizable composition.
<2> The polymerizable composition as described in <1> above, wherein the (C) photopolymerization initiator is an oxime compound.

<3>重合性組成物の全固形分に対するチタンブラックの含有量が、40質量%以上80質量%以下であることを特徴とする上記<1>または上記<2>に記載の重合性組成物である。
<4>遮光性カラーフィルタの形成に用いられることを特徴とする上記<1>〜上記<3>のいずれか1つに記載の重合性組成物である。
<3> The polymerizable composition as described in <1> or <2> above, wherein the content of titanium black with respect to the total solid content of the polymerizable composition is 40% by mass or more and 80% by mass or less. It is.
<4> The polymerizable composition as described in any one of <1> to <3> above, which is used for forming a light-shielding color filter.

<5>支持体上に、上記<4>に記載の重合性組成物を用いて形成された着色領域を有する遮光性カラーフィルタである。
<6>上記<5>に記載の遮光性カラーフィルタを備えた固体撮像素子である。
<5> A light-shielding color filter having a colored region formed on the support using the polymerizable composition according to <4>.
<6> A solid-state imaging device including the light-shielding color filter according to <5>.

本発明において「遮光性カラーフィルタ」とは、チタンブラック分散物、重合性化合物、及び光重合開始剤を少なくとも含む重合性組成物を露光し、現像して得られた遮光性パターンをいう。本発明における「遮光性カラーフィルタ」の色は、黒、灰色等の無彩色であってもよいし、有彩色の色味が混ざった黒色、灰色等であってもよい。
なお、「遮光性カラーフィルタ」は、チタンブラック分散物、重合性化合物、及び光重合開始剤を少なくとも含む重合性組成物を露光し、現像して得られたものなので、遮光膜又は遮光性フィルターと言い換えてもよい。
In the present invention, the “light-shielding color filter” refers to a light-shielding pattern obtained by exposing and developing a polymerizable composition containing at least a titanium black dispersion, a polymerizable compound, and a photopolymerization initiator. The color of the “light-shielding color filter” in the present invention may be an achromatic color such as black or gray, or a black or gray color mixed with a chromatic color.
The “light-shielding color filter” is obtained by exposing and developing a polymerizable composition containing at least a titanium black dispersion, a polymerizable compound, and a photopolymerization initiator. In other words.

本発明によれば、感度が高く、未露光部における残渣が抑制され、保存安定性が良好な重合性組成物を提供することができる。
さらに本発明によれば、周辺部における遮光能の低下が抑制され、硬化感度が高く、未露光部における残渣が抑制された高精細な遮光膜パターンを形成しうる重合性組成物を提供することができる。
また本発明によれば、周辺部における遮光能の低下が抑制された遮光性カラーフィルタを提供すること、並びに周辺部における遮光能の低下が抑制された遮光性カラーフィルタを備える固体撮像素子を提供することができる。
According to the present invention, it is possible to provide a polymerizable composition having high sensitivity, a residue in an unexposed portion being suppressed, and good storage stability.
Furthermore, according to the present invention, there is provided a polymerizable composition capable of forming a high-definition light-shielding film pattern in which a decrease in light-shielding ability in a peripheral portion is suppressed, a curing sensitivity is high, and a residue in an unexposed portion is suppressed. Can do.
The present invention also provides a light-shielding color filter in which a decrease in light-shielding ability in the peripheral portion is suppressed, and a solid-state imaging device including a light-shielding color filter in which a decrease in light-shielding ability in the peripheral portion is suppressed. can do.

以下において本発明を詳しく説明する。
本発明の重合性組成物は、(A)少なくとも1つの不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂と、チタンブラックと、を含むチタンブラック分散物、(B)重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含有する重合性組成物である。以下、重合性組成物に含まれる各成分について説明する。
The present invention is described in detail below.
The polymerizable composition of the present invention includes (A) a titanium black dispersion containing an alkali-soluble resin having at least one unsaturated double bond and titanium black, (B) a polymerizable compound, and (C) light. It is a polymerizable composition containing a polymerization initiator. Hereinafter, each component contained in the polymerizable composition will be described.

<重合性組成物>
[(A)チタンブラック分散物]
(A)チタンブラック分散物とは、少なくとも1つの不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂と、色材としてのチタンブラックと、を含む組成物であって、チタンブラックが適切な液体中に分散されてなる分散物である。
重合性組成物が、予め調整されたチタンブラック分散物としてチタンブラックを含むことで、チタンブラックの分散性及び分散安定性が向上する。
以下、まず、チタンブラックについて説明する。
<Polymerizable composition>
[(A) Titanium black dispersion]
(A) Titanium black dispersion is a composition comprising an alkali-soluble resin having at least one unsaturated double bond and titanium black as a coloring material, wherein titanium black is dispersed in an appropriate liquid. It is a dispersion formed.
The dispersibility and dispersion stability of titanium black are improved when the polymerizable composition contains titanium black as a previously prepared titanium black dispersion.
Hereinafter, first, titanium black will be described.

−チタンブラック−
本発明のチタンブラックとは、チタン原子を有する黒色粒子である。好ましくは低次酸化チタンや酸窒化チタン等である。チタンブラック粒子は、分散性向上、凝集性抑制などの目的で必要に応じ、表面を修飾することが可能である。酸化ケイ素、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウムで被覆することが可能であり、また、特開2007−302836号公報に示されるような撥水性物質での処理も可能である。
-Titanium black-
The titanium black of the present invention is black particles having titanium atoms. Preferred are low-order titanium oxide and titanium oxynitride. The surface of titanium black particles can be modified as necessary for the purpose of improving dispersibility and suppressing aggregation. It can be coated with silicon oxide, titanium oxide, germanium oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, zirconium oxide, and can also be treated with a water repellent material as disclosed in JP-A-2007-302836. .

チタンブラックの製造方法としては、二酸化チタンと金属チタンの混合体を還元雰囲気で加熱し還元する方法(特開昭49−5432号公報)、四塩化チタンの高温加水分解で得られた超微細二酸化チタンを水素を含む還元雰囲気中で還元する方法(特開昭57−205322号公報)、二酸化チタンまたは水酸化チタンをアンモニア存在下で高温還元する方法(特開昭60−65069号公報、特開昭61−201610号公報)、二酸化チタンまたは水酸化チタンにバナジウム化合物を付着させ、アンモニア存在下で高温還元する方法(特開昭61−201610号公報)などがあるが、これらに限定されるものではない。   Titanium black is produced by heating a mixture of titanium dioxide and metal titanium in a reducing atmosphere (Japanese Patent Laid-Open No. 49-5432), ultrafine dioxide obtained by high-temperature hydrolysis of titanium tetrachloride. A method of reducing titanium in a reducing atmosphere containing hydrogen (Japanese Patent Laid-Open No. 57-205322), a method of reducing titanium dioxide or titanium hydroxide at a high temperature in the presence of ammonia (Japanese Patent Laid-Open No. 60-65069, Japanese Patent Laid-Open No. Sho 61-201610), a method in which a vanadium compound is attached to titanium dioxide or titanium hydroxide and reduced at a high temperature in the presence of ammonia (Japanese Patent Laid-Open No. 61-201610), etc. is not.

チタンブラックの粒子の粒子径は特に制限は無いが、分散性、着色性の観点から、平均粒子径3nm以上2000nm以下であることが好ましく、より好ましくは平均粒子径10nm以上500nm以下であり、更に好ましくは、平均粒子径10nm以上100nm以下である。   The particle size of the titanium black particles is not particularly limited, but from the viewpoint of dispersibility and colorability, the average particle size is preferably 3 nm or more and 2000 nm or less, more preferably the average particle size is 10 nm or more and 500 nm or less. Preferably, the average particle diameter is 10 nm or more and 100 nm or less.

チタンブラックの比表面積は、特に限定がないが、かかるチタンブラックを撥水化剤で表面処理した後の撥水性が所定の性能となるために、BET法にて測定した値が通常5m2/g以上150m2/g以下程度、特に20m2/g以上100m2/g以下程度であることが好ましい。 The specific surface area of titanium black is not particularly limited. However, since the water repellency after surface treatment of such titanium black with a water repellent becomes a predetermined performance, the value measured by the BET method is usually 5 m 2 / g or more and about 150 m 2 / g or less, and particularly preferably about 20 m 2 / g or more and 100 m 2 / g or less.

チタンブラックの市販品の例としては例えば、三菱マテリアル社製チタンブラック10S、12S、13R、13M、13M−C、13R、13R−N、赤穂化成(株)ティラック(Tilack)Dなどが挙げられるが、本発明はこれらに限定されない。   Examples of commercially available titanium black include, for example, Titanium Black 10S, 12S, 13R, 13M, 13M-C, 13R, 13R-N, Ako Kasei Co., Ltd., Tilac D manufactured by Mitsubishi Materials Corporation. However, the present invention is not limited to these.

本発明の重合性組成物中に添加するチタンブラック分散物の含有量は、重合性組成物中のチタンブラックの固形分換算の含有量が30質量%以上94質量%以下となるように調整される。重合性組成物中のチタンブラックの含有量は、より好ましくは、40質量%以上92質量%以下の範囲であり、更に好ましくは40質量%以上80質量%以下の範囲である。
当該範囲とすることで、重合性組成物の硬化性が良好となり、かつ均一な膜を形成することができる。また、チタンブラックを高濃度に含有することから、充分な遮光性が得られ、当該チタンブラック分散物を含有する重合性組成物を遮光性カラーフィルタの形成に好適に用いることができる。
The content of the titanium black dispersion added to the polymerizable composition of the present invention is adjusted so that the content in terms of solid content of titanium black in the polymerizable composition is 30% by mass to 94% by mass. The The content of titanium black in the polymerizable composition is more preferably in the range of 40% by mass to 92% by mass, and still more preferably in the range of 40% by mass to 80% by mass.
By setting it as the said range, sclerosis | hardenability of polymeric composition becomes favorable and can form a uniform film | membrane. Further, since titanium black is contained at a high concentration, sufficient light shielding properties can be obtained, and a polymerizable composition containing the titanium black dispersion can be suitably used for forming a light shielding color filter.

−少なくとも1つの不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂−
本発明の重合性組成物におけるチタンブラック分散物には、上記チタンブラックと共に、少なくとも1つの不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂(以下、「特定アルカリ可溶性樹脂」ともいう)が含有されている。すなわち、チタンブラック分散物において、アルカリ可溶性樹脂は、チタンブラックの分散樹脂として機能している。本発明における重合性組成物のチタンブラック分散物が、上記チタンブラックと共に、チタンブラックの分散樹脂として機能する特定アルカリ可溶性樹脂を含有することで、チタンブラックの分散に不可欠の高分子分散剤自体がアルカリ可溶性と硬化性との双方を有することになるため、結果的に重合性組成物の、特に露光部の硬化性と未露光部のアルカリ現像性の双方が向上される。
-Alkali-soluble resin having at least one unsaturated double bond-
The titanium black dispersion in the polymerizable composition of the present invention contains an alkali-soluble resin having at least one unsaturated double bond (hereinafter also referred to as “specific alkali-soluble resin”) together with the titanium black. . That is, in the titanium black dispersion, the alkali-soluble resin functions as a titanium black dispersion resin. When the titanium black dispersion of the polymerizable composition in the present invention contains a specific alkali-soluble resin that functions as a titanium black dispersion resin together with the above titanium black, the polymer dispersant itself essential for the dispersion of titanium black can be obtained. Since it has both alkali solubility and curability, as a result, both the curability of the polymerizable composition, particularly the exposed portion and the unexposed portion, are improved.

本発明で使用される特定アルカリ可溶性樹脂は、その構造において、非画像部除去性などの諸性能を向上させるために、樹脂がアルカリ可溶となるための酸基と、少なくとも1つの不飽和二重結合を有する。その不飽和二重結合を含む構造としては、好ましい具体的な態様として、側鎖に下記部分構造(a)〜部分構造(c)で表される基から選択される少なくとも1種を有するものが挙げられる。アルカリ性水溶液に可溶であり、ネガ型画像記録材料のバインダー樹脂として使用されるこの樹脂は、側鎖に部分構造(a)〜部分構造(c)で表される基から選択される少なくとも1種を有すればよい。当然、このような基を複数種有していてもよく、これらの全てを同時に有していてもよい。
以下、部分構造(a)〜部分構造(c)で表される側鎖について詳細に説明する。
The specific alkali-soluble resin used in the present invention has an acid group for making the resin alkali-soluble and at least one unsaturated divalent resin in order to improve various properties such as non-image area removability in the structure. Has a double bond. As a structure containing the unsaturated double bond, as a preferred specific embodiment, one having at least one selected from groups represented by the following partial structure (a) to partial structure (c) in the side chain is preferable. Can be mentioned. This resin, which is soluble in an alkaline aqueous solution and used as a binder resin for a negative image recording material, is at least one selected from groups represented by partial structures (a) to (c) in the side chain. If you have. Of course, you may have multiple types of such groups, and you may have all of these simultaneously.
Hereinafter, the side chains represented by the partial structure (a) to the partial structure (c) will be described in detail.

部分構造(a)〜部分構造(c)中、R〜R、R10〜R12、R16〜R20は、それぞれ独立に1価の置換基を表す。X、Zは、それぞれ独立に、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R22)−を表し、R22は、水素原子、又は1価の有機基を表す。Yは、酸素原子、硫黄原子、置換基を有してもよいフェニレン基、又は−N(R23)−を表し、R23は、水素原子、又は1価の有機基を表す。 In the partial structure (a) to the partial structure (c), R 4 to R 6 , R 10 to R 12 , and R 16 to R 20 each independently represent a monovalent substituent. X and Z each independently represent an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 22 ) —, and R 22 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group. Y represents an oxygen atom, a sulfur atom, a phenylene group which may have a substituent, or —N (R 23 ) —, and R 23 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group.

上記部分構造(a)において、R〜Rはそれぞれ独立に、1価の置換基を表すが、Rとしては、好ましくは、水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられ、なかでも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子およびメチル基が好ましい。また、R、Rは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられ、なかでも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基が好ましい。 In the partial structure (a), R 4 to R 6 each independently represents a monovalent substituent, and R 4 is preferably a hydrogen atom or an alkyl group which may have a substituent. Among them, a hydrogen atom and a methyl group are preferable in terms of high radical reactivity. R 5 and R 6 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, an amino group, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group, a nitro group, a cyano group, an alkyl group which may have a substituent, or a substituent. An aryl group that may have a group, an alkoxy group that may have a substituent, an aryloxy group that may have a substituent, an alkylamino group that may have a substituent, and a substituent An arylamino group which may have a substituent, an alkylsulfonyl group which may have a substituent, an arylsulfonyl group which may have a substituent, and the like. Among them, a hydrogen atom, a carboxyl in view of high radical reactivity. A group, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group which may have a substituent, and an aryl group which may have a substituent are preferable.

Xは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R22)−を表し、R22は、水素原子、又は1価の有機基を表す。ここで、R22は、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられ、なかでも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基、エチル基、イソプロピル基が好ましい。 X represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 22 ) —, and R 22 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group. Here, examples of R 22 include an alkyl group which may have a substituent, and among them, a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, and an isopropyl group are preferable in terms of high radical reactivity.

ここで、導入し得る置換基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アリーロキシ基、ハロゲン原子、アミノ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、アミド基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基などが挙げられる。   Here, examples of the substituent that can be introduced include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, a halogen atom, an amino group, an alkylamino group, an arylamino group, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, A sulfo group, a nitro group, a cyano group, an amide group, an alkylsulfonyl group, an arylsulfonyl group and the like can be mentioned.

上記部分構造(b)において、R10としては、好ましくは、水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられ、なかでも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基が好ましい。R11、R12は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、ジアルキルアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられ、なかでも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基が好ましい。 In the partial structure (b), R 10 preferably includes a hydrogen atom or an alkyl group which may have a substituent. Among them, a hydrogen atom or a methyl group is preferable in view of high radical reactivity. Is preferred. R 11 and R 12 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, an amino group, a dialkylamino group, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group, a nitro group, a cyano group, or an alkyl group that may have a substituent. An aryl group which may have a substituent, an alkoxy group which may have a substituent, an aryloxy group which may have a substituent, an alkylamino group which may have a substituent, a substituent An arylamino group that may have a substituent, an alkylsulfonyl group that may have a substituent, an arylsulfonyl group that may have a substituent, and the like. Among them, in terms of high radical reactivity, a hydrogen atom A carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group which may have a substituent, and an aryl group which may have a substituent are preferable.

ここで、導入し得る置換基としては、部分構造(a)の説明において挙げた基と同様の基が例示される。また、Yは、酸素原子、硫黄原子、置換基を有してもよいフェニレン基、又は−N(R23)−を表す。R23は、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられ、なかでも、ラジカル反応性が高い点で、水素原子、メチル基、エチル基、イソプロピル基が好ましい。 Here, examples of the substituent that can be introduced include the same groups as those exemplified in the description of the partial structure (a). Y represents an oxygen atom, a sulfur atom, a phenylene group which may have a substituent, or —N (R 23 ) —. Examples of R 23 include an alkyl group which may have a substituent, and among them, a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, and an isopropyl group are preferable in terms of high radical reactivity.

上記部分構造(c)において、R16〜R20は、それぞれ独立に1価の置換基を表すが、R16〜R20は、好ましくは、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、ジアルキルアミノ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルアミノ基、置換基を有してもよいアリールアミノ基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられ、なかでも、水素原子、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基が好ましい。 In the partial structure (c), R 16 to R 20 each independently represents a monovalent substituent, and R 16 to R 20 are preferably a hydrogen atom, a halogen atom, an amino group, a dialkylamino group, Carboxyl group, alkoxycarbonyl group, sulfo group, nitro group, cyano group, alkyl group which may have a substituent, aryl group which may have a substituent, alkoxy group which may have a substituent, substituted An aryloxy group which may have a group, an alkylamino group which may have a substituent, an arylamino group which may have a substituent, an alkylsulfonyl group which may have a substituent, a substituent An arylsulfonyl group which may have a hydrogen atom, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group which may have a substituent, an aryl which may have a substituent. Le group.

導入し得る置換基としては、部分構造(a)の説明において挙げた基と同様の基が例示される。また、Zは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R22)−を表す。R22は、部分構造(a)におけるR22の場合と同義であり、好ましい例も同様である。 Examples of the substituent that can be introduced include the same groups as those exemplified in the description of the partial structure (a). Z represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 22 ) —. R 22 has the same meaning as R 22 in the partial structure (a), and preferred examples are also the same.

また、本発明の重合性組成物に含まれるチタンブラック分散物で使用される特定アルカリ可溶性樹脂は、その構造において、樹脂自体のアルカリ可溶性、すなわち、非画像部除去性などの諸性能を向上させるために酸基を有する。前記特定アルカリ可溶性樹脂は、酸基を有するラジカル重合性化合物を共重合体成分として含むことが好ましい。   Further, the specific alkali-soluble resin used in the titanium black dispersion contained in the polymerizable composition of the present invention improves various properties such as alkali solubility of the resin itself, that is, non-image area removability, in the structure. In order to have an acid group. The specific alkali-soluble resin preferably contains a radically polymerizable compound having an acid group as a copolymer component.

前記酸基としては、例えば、カルボン酸、スルホン酸、リン酸基、フェノール性水酸基などがあり、特に好ましいものは、カルボン酸基である。これらを1種あるいは1種以上用いることができ、これら共重合成分の好適に使用される含有量は、5モル%以上50モル%以下であり、特に好ましくは、アルカリ水現像による画像強度ダメージ抑制という観点から、10モル%以上40モル%以下である。   Examples of the acid group include carboxylic acid, sulfonic acid, phosphoric acid group, phenolic hydroxyl group, and the like, and particularly preferred is a carboxylic acid group. One or more of these can be used, and the content of these copolymerization components used is preferably 5 mol% or more and 50 mol% or less, and particularly preferably suppresses image strength damage due to alkali water development. From this viewpoint, it is 10 mol% or more and 40 mol% or less.

さらに、本発明に係る重合性組成物に含まれるチタンブラック分散物に用いられる特定アルカリ可溶性樹脂は、画像強度などの諸性能を向上する目的で、本発明の効果を損なわない限りにおいて、前記特定の官能基を有する共重合成分(構造単位)、酸基(アルカリ可溶性基)を有する構造単位に加えて、さらに種々の機能を有する他の構造単位、例えば、チタンブラックと相互作用を形成しうる官能基、分散物に用いられる分散媒との親和性を有する官能基、などを有する構造単位を共重合成分として含むことができる。   Furthermore, the specific alkali-soluble resin used in the titanium black dispersion contained in the polymerizable composition according to the present invention is not limited to the above-described specific unless the effects of the present invention are impaired for the purpose of improving various performances such as image strength. In addition to a copolymer component having a functional group (structural unit) and a structural unit having an acid group (alkali-soluble group), it can further interact with other structural units having various functions, such as titanium black. A structural unit having a functional group, a functional group having affinity with the dispersion medium used in the dispersion, and the like can be included as a copolymerization component.

本発明に係る特定アルカリ可溶性樹脂に共重合可能な共重合成分としては、例えば、アクリル酸エステル類、メタクリル酸エステル類、スチレン類、アクリロニトリル類、メタクリロニトリル類などから選ばれるラジカル重合性化合物が挙げられる。   Examples of the copolymerizable component copolymerizable with the specific alkali-soluble resin according to the present invention include radical polymerizable compounds selected from acrylic acid esters, methacrylic acid esters, styrenes, acrylonitriles, methacrylonitriles, and the like. Can be mentioned.

具体的には、例えば、アルキルアクリレート(該アルキル基の炭素原子数は1〜20のものが好ましい)等のアクリル酸エステル類、(具体的には、例えば、ベンジルアクリレート、4−ビフェニルアクリレート、ブチルアクリレート、sec−ブチルアクリレート、t−ブチルアクリレート、4−t−ブチルフェニルアクリレート、4−クロロフェニルアクリレート、ペンタクロロフェニルアクリレート、4−シアノベンジルアクリレート、シアノメチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、2−エトキシエチルアクリレート、エチルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、ヘプチルアクリレート、ヘキシルアクリレート、イソボロニルアクリレート、イソプロピルアクリレート、メチルアクリレート、3,5−ジメチルアダマンチルアクリレート、2−ナフチルアクリレート、ネオペンチルアクリレート、オクチルアクリレート、フェネチルアクリレート、フェニルアクリレート、プロピルアクリレート、トリルアクリレート、アミルアクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、5−ヒドロキシペンチルアクリレート、アリルアクリレート、2−アリロキシエチルアクリレート、プロパギルアクリレートなど)、   Specifically, for example, acrylic acid esters such as alkyl acrylate (the alkyl group preferably has 1 to 20 carbon atoms) (specifically, for example, benzyl acrylate, 4-biphenyl acrylate, butyl Acrylate, sec-butyl acrylate, t-butyl acrylate, 4-t-butylphenyl acrylate, 4-chlorophenyl acrylate, pentachlorophenyl acrylate, 4-cyanobenzyl acrylate, cyanomethyl acrylate, cyclohexyl acrylate, 2-ethoxyethyl acrylate, ethyl acrylate 2-ethylhexyl acrylate, heptyl acrylate, hexyl acrylate, isobornyl acrylate, isopropyl acrylate, methyl acrylate, 3,5-dimethyl Adamantyl acrylate, 2-naphthyl acrylate, neopentyl acrylate, octyl acrylate, phenethyl acrylate, phenyl acrylate, propyl acrylate, tolyl acrylate, amyl acrylate, tetrahydrofurfuryl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxy Propyl acrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 5-hydroxypentyl acrylate, allyl acrylate, 2-allyloxyethyl acrylate, propargyl acrylate, etc.)

アルキルメタクリレート(該アルキル基の炭素原子は1〜20のものが好ましい)等のメタクリル酸エステル類(例えば、ベンジルメタクリレート、4−ビフェニルメタクリレート、ブチルメタクリレート、sec−ブチルメタクリレート、t−ブチルメタクリレート、4−t−ブチルフェニルメタクリレート、4−クロロフェニルメタクリレート、ペンタクロロフェニルメタクリレート、4−シアノフェニルメタクリレート、シアノメチルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、2−エトキシエチルメタクリレート、エチルメタクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、ヘプチルメタクリレート、ヘキシルメタクリレート、イソボロニルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、メチルメタクリレート、3,5−ジメチルアダマンチルメタクリレート、2−ナフチルメタクリレート、ネオペンチルメタクリレート、オクチルメタクリレート、フェネチルメタクリレート、フェニルメタクリレート、プロピルメタクリレート、トリルメタクリレート、アミルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、5−ヒドロキシペンチルメタクリレート、アリルメタクリレート、2−アリロキシエチルメタクリレート、プロパギルメタクリレートなど、 Methacrylic acid esters (eg, benzyl methacrylate, 4-biphenyl methacrylate, butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate, 4- t-butylphenyl methacrylate, 4-chlorophenyl methacrylate, pentachlorophenyl methacrylate, 4-cyanophenyl methacrylate, cyanomethyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, 2-ethoxyethyl methacrylate, ethyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, heptyl methacrylate, hexyl methacrylate, isoboro Nyl methacrylate, isopropyl methacrylate, methyl methacrylate, 3,5- Methyl adamantyl methacrylate, 2-naphthyl methacrylate, neopentyl methacrylate, octyl methacrylate, phenethyl methacrylate, phenyl methacrylate, propyl methacrylate, tolyl methacrylate, amyl methacrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 2- Hydroxypropyl methacrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, 5-hydroxypentyl methacrylate, allyl methacrylate, 2-allyloxyethyl methacrylate, propargyl methacrylate, etc.

スチレン、アルキルスチレン等のスチレン類(例えば、メチルスチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、エチルスチレン、ジエチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、ヘキシルスチレン、シクロへキシルスチレン、デシルスチレン、ベンジルスチレン、クロルメチルスチレン、トリフルオルメチルスチレン、エトキシメチルスチレン、アセトキシメチルスチレンなど)、アルコキシスチレン(例えばメトキシスチレン、4−メトキシ−3−メチルスチレン、ジメトキシスチレンなど)、ハロゲンスチレン(例えばクロルスチレン、ジクロルスチレン、トリクロルスチレン、テトラクロルスチレン、ペンタクロルスチレン、ブロムスチレン、ジブロムスチレン、ヨードスチレン、フルオルスチレン、トリフルオルスチレン、2−ブロム−4−トリフルオルメチルスチレン、4−フルオル−3−トリフルオルメチルスチレンなど)、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等が挙げられる。 Styrenes such as styrene and alkyl styrene (for example, methyl styrene, dimethyl styrene, trimethyl styrene, ethyl styrene, diethyl styrene, isopropyl styrene, butyl styrene, hexyl styrene, cyclohexyl styrene, decyl styrene, benzyl styrene, chloromethyl styrene, Trifluoromethyl styrene, ethoxymethyl styrene, acetoxymethyl styrene, etc.), alkoxy styrene (eg methoxy styrene, 4-methoxy-3-methyl styrene, dimethoxy styrene, etc.), halogen styrene (eg chloro styrene, dichloro styrene, trichloro styrene, Tetrachlorostyrene, pentachlorostyrene, bromostyrene, dibromostyrene, iodostyrene, fluorostyrene, trifluoro Ren, 2-bromo-4-trifluoromethyl styrene, 4-fluoro-3-trifluoromethyl styrene etc.), acrylonitrile, methacrylonitrile, and the like.

これらラジカル重合性化合物のうち、好適に使用されるのは、メタクリル酸エステル類、アクリルアミド類、メタクリルアミド類、スチレン類であり、特に好適に使用されるのは、ベンジルメタクリレート、t−ブチルメタクリレート、4−t−ブチルフェニルメタクリレート、ペンタクロロフェニルメタクリレート、4−シアノフェニルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、エチルメタクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、イソボロニルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、メチルメタクリレート、3,5−ジメチルアダマンチルメタクリレート、2−ナフチルメタクリレート、ネオペンチルメタクリレート、フェニルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、アリルメタクリレート、   Among these radically polymerizable compounds, methacrylic acid esters, acrylamides, methacrylamides, and styrenes are preferably used, and benzyl methacrylate, t-butyl methacrylate, 4-t-butylphenyl methacrylate, pentachlorophenyl methacrylate, 4-cyanophenyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, ethyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, isobornyl methacrylate, isopropyl methacrylate, methyl methacrylate, 3,5-dimethyladamantyl methacrylate, 2- Naphthyl methacrylate, neopentyl methacrylate, phenyl methacrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate, 2-hydroxyethyl Methacrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, allyl methacrylate,

アクリルアミド、N−メチルアクリルアミド、N−イソプロピルアクリルアミド、モルホリルアクリルアミド、ピペリジルアクリルアミド、N−t−ブチルアクリルアミド、N−シクロヘキシルアクリルアミド、N−フェニルアクリルアミド、N−ナフチルアクリルアミド、N−ヒドロキシメチルアクリルアミド、N−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−アリルアクリルアミド、4−ヒドロキシフェニルアクリルアミド、2−ヒドロキシフェニルアクリルアミド、N、N−ジメチルアクリルアミド、N、N−ジイソプロピルアクリルアミド、N、N−ジ−t−ブチルアクリルアミド、N、N−ジシクロヘキシルアクリルアミド、N、N−フェニルアクリルアミド、N、N−ジヒドロキシエチルアクリルアミド、N、N−ジアリルアクリルアミド、 Acrylamide, N-methylacrylamide, N-isopropylacrylamide, morpholylacrylamide, piperidylacrylamide, Nt-butylacrylamide, N-cyclohexylacrylamide, N-phenylacrylamide, N-naphthylacrylamide, N-hydroxymethylacrylamide, N- Hydroxyethylacrylamide, N-allylacrylamide, 4-hydroxyphenylacrylamide, 2-hydroxyphenylacrylamide, N, N-dimethylacrylamide, N, N-diisopropylacrylamide, N, N-di-t-butylacrylamide, N, N- Dicyclohexylacrylamide, N, N-phenylacrylamide, N, N-dihydroxyethylacrylamide, N, N-diallylacryl Bromide,

メタクリルアミド、N−メチルメタクリルアミド、N−イソプロピルメタクリルアミド、モルホリルメタクリルアミド、ピペリジルメタクリルアミド、N−t−ブチルメタクリルアミド、N−シクロヘキシルメタクリルアミド、N−フェニルメタクリルアミド、N−ナフチルメタクリルアミド、N−ヒドロキシメチルメタクリルアミド、N−ヒドロキシエチルメタクリルアミド、N−アリルメタクリルアミド、4−ヒドロキシフェニルメタクリルアミド、2−ヒドロキシフェニルメタクリルアミド、N、N−ジメチルメタクリルアミド、N、N−ジイソプロピルメタクリルアミド、N、N−ジ−t−ブチルメタクリルアミド、N、N−ジシクロヘキシルメタクリルアミド、N、N−フェニルメタクリルアミド、N、N−ジヒドロキシエチルメタクリルアミド、N、N−ジアリルメタクリルアミド、 Methacrylamide, N-methylmethacrylamide, N-isopropylmethacrylamide, morpholylmethacrylamide, piperidylmethacrylamide, Nt-butylmethacrylamide, N-cyclohexylmethacrylamide, N-phenylmethacrylamide, N-naphthylmethacrylamide N-hydroxymethylmethacrylamide, N-hydroxyethylmethacrylamide, N-allylmethacrylamide, 4-hydroxyphenylmethacrylamide, 2-hydroxyphenylmethacrylamide, N, N-dimethylmethacrylamide, N, N-diisopropylmethacrylamide N, N-di-t-butylmethacrylamide, N, N-dicyclohexylmethacrylamide, N, N-phenylmethacrylamide, N, N-dihydroxyethylmethacrylate Acrylamide, N, N-diallyl methacrylamide,

スチレン、メチルスチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、シクロへキシルスチレン、クロルメチルスチレン、トリフルオルメチルスチレン、エトキシメチルスチレン、アセトキシメチルスチレン、メトキシスチレン、4−メトキシ−3−メチルスチレン、クロルスチレン、ジクロルスチレン、トリクロルスチレン、テトラクロルスチレン、ペンタクロルスチレン、ブロムスチレン、ジブロムスチレン、ヨードスチレン、フルオルスチレン、トリフルオルスチレン、2−ブロム−4−トリフルオルメチルスチレン、4−フルオル−3−トリフルオルメチルスチレン。 Styrene, methyl styrene, dimethyl styrene, trimethyl styrene, isopropyl styrene, butyl styrene, cyclohexyl styrene, chloromethyl styrene, trifluoromethyl styrene, ethoxymethyl styrene, acetoxymethyl styrene, methoxy styrene, 4-methoxy-3-methyl styrene , Chlorostyrene, dichlorostyrene, trichlorostyrene, tetrachlorostyrene, pentachlorostyrene, bromostyrene, dibromostyrene, iodostyrene, fluorostyrene, trifluorostyrene, 2-bromo-4-trifluoromethylstyrene, 4- Fluoro-3-trifluoromethylstyrene.

これらを1種あるいは2種以上用いることができ、特定アルカリ可溶性樹脂中、これら共重合成分の好適に使用される含有量は、0モル%以上90モル%以下であり、特に好ましくは、0モル%以上60モル%以下である。含有量が前記の範囲において十分なパターン形成が得られる。   These may be used alone or in combination of two or more. The content of these copolymerization components in the specific alkali-soluble resin is preferably 0 mol% or more and 90 mol% or less, particularly preferably 0 mol. % Or more and 60 mol% or less. When the content is in the above range, sufficient pattern formation can be obtained.

このような高分子化合物を合成する際に用いられる溶媒としては、例えば、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2−メトキシエチルアセテート、1−メトキシ−2−プロパノール、1−メトキシ−2−プロピルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチルなどが挙げられる。これらの溶媒は単独あるいは2種以上混合してもよい。   Examples of the solvent used for synthesizing such a polymer compound include ethylene dichloride, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, acetone, methanol, ethanol, propanol, butanol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, 2-methoxy. Examples include ethyl acetate, 1-methoxy-2-propanol, 1-methoxy-2-propyl acetate, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide, toluene, ethyl acetate, methyl lactate, and ethyl lactate. It is done. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

このような特定アルカリ可溶性樹脂の具体例としては、以下の例示化合物1〜例示化合物31が挙げられる。   Specific examples of such specific alkali-soluble resin include the following Exemplified Compound 1 to Exemplified Compound 31.








前記特定アルカリ可溶性樹脂は、重合性およびアルカリ現像性の点で、下記一般式(1)〜一般式(3)で表される構造単位からなる群より選ばれる少なくとも1つの構造単位と、下記一般式(4)で表される構造単位とを有する樹脂であることが好ましい。   The specific alkali-soluble resin is at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by the following general formulas (1) to (3) in terms of polymerizability and alkali developability, and the following general It is preferable that it is resin which has a structural unit represented by Formula (4).

前記一般式(1)〜(3)において、A、A、及びAは、それぞれ独立に、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R21)−を表し、R21は置換基を有してもよいアルキル基を表す。G、G、及びGは、それぞれ独立に2価の有機基を表す。X及びZは、それぞれ独立に酸素原子、硫黄原子、又は−N(R22)−を表し、R22は置換基を有してもよいアルキル基を表す。Yは、酸素原子、硫黄原子、置換基を有してもよいフェニレン基、又は−N(R23)−を表し、R23は置換基を有してもよいアルキル基を表す。R〜R20は、それぞれ独立に1価の置換基を表す。 In the general formulas (1) to (3), A 1 , A 2 , and A 3 each independently represent an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 21 ) —, and R 21 represents a substituent. It represents an alkyl group that may have. G 1 , G 2 , and G 3 each independently represent a divalent organic group. X and Z each independently represent an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 22 ) —, and R 22 represents an alkyl group which may have a substituent. Y represents an oxygen atom, a sulfur atom, a phenylene group which may have a substituent, or —N (R 23 ) —, and R 23 represents an alkyl group which may have a substituent. R 1 to R 20 each independently represents a monovalent substituent.

前記一般式(1)において、R〜Rは、それぞれ独立に、1価の置換基を表すが、水素原子、置換基を更に有してもよいアルキル基などが挙げられる。中でも、R、Rは水素原子が好ましく、Rは水素原子、メチル基が好ましい。
前記一般式(1)におけるR〜Rは、それぞれ独立に、1価の置換基を表すが、Rとしては、水素原子または置換基を更に有してもよいアルキル基などが挙げられる。中でも、水素原子、メチル基、エチル基が好ましい。また、前記一般式(1)におけるR、Rは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基、置換基を更に有してもよいアルコキシ基、置換基を更に有してもよいアリールオキシ基、置換基を更に有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を更に有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられ、中でも、水素原子、アルコキシカルボニル基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基が好ましい。
ここで、有してもよい置換基としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、メチル基、エチル基、フェニル基等が挙げられる。
In the general formula (1), R 1 to R 3 each independently represents a monovalent substituent, and examples thereof include a hydrogen atom and an alkyl group which may further have a substituent. Among them, R 1 and R 2 are preferably hydrogen atoms, and R 3 is preferably a hydrogen atom or a methyl group.
R 4 to R 6 in the general formula (1) each independently represent a monovalent substituent, and examples of R 4 include a hydrogen atom or an alkyl group which may further have a substituent. . Of these, a hydrogen atom, a methyl group, and an ethyl group are preferable. R 5 and R 6 in the general formula (1) are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group, a nitro group, a cyano group, or an alkyl group which may further have a substituent. An aryl group which may further have a substituent, an alkoxy group which may further have a substituent, an aryloxy group which may further have a substituent, and an alkylsulfonyl group which may further have a substituent And an arylsulfonyl group which may further have a substituent, among others, a hydrogen atom, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group which may further have a substituent, and an aryl group which may further have a substituent Is preferred.
Here, examples of the substituent that may have include a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, an isopropyloxycarbonyl group, a methyl group, an ethyl group, and a phenyl group.

前記一般式(1)中、Aは、酸素原子、硫黄原子、又は、−N(R21)−を表し、Xは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R22)−を表す。ここで、R21、R22としては、置換基を有してもよいアルキル基が挙げられる。
前記一般式(1)におけるGは、2価の有機基を表すが、置換基を有してもよいアルキレン基が好ましい。より好ましくは、炭素数1以上20以下の置換基を有してもよいアルキレン基、炭素数3以上20以下の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数6以上20以下の置換基を有してもよい芳香族基などが挙げられ、中でも、置換基を有してもよい炭素数1以上10以下の直鎖状あるいは分岐アルキレン基、炭素数3以上10以下の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数6以上12以下の置換基を有してもよい芳香族基が強度、現像性等の性能上、好ましい。
In the general formula (1), A 1 represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 21 ) —, and X represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 22 ) —. Here, examples of R 21 and R 22 include an alkyl group which may have a substituent.
G 1 in the general formula (1) represents a divalent organic group, and an alkylene group which may have a substituent is preferable. More preferably, an alkylene group which may have a substituent having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkylene group which may have a substituent having 3 to 20 carbon atoms, or a substituent having 6 to 20 carbon atoms. An aromatic group that may have a substituent, among others, a linear or branched alkylene group having 1 to 10 carbon atoms that may have a substituent, and a substituent having 3 to 10 carbon atoms. A cycloalkylene group which may be substituted, and an aromatic group which may have a substituent having 6 to 12 carbon atoms are preferred in terms of performance such as strength and developability.

ここで、前記Gにおける置換基としては、水酸基、及び、水酸基以外の水素原子が結合したヘテロ原子を有する置換基(例えば、アミノ基、チオール基及びカルボキシ基等)以外の置換基を好ましく挙げることができる。 Here, preferable examples of the substituent in G 1 include a substituent other than a hydroxyl group and a substituent having a hetero atom to which a hydrogen atom other than the hydroxyl group is bonded (for example, an amino group, a thiol group, a carboxy group, or the like). be able to.

本発明における一般式(1)で表される構造単位は、Aが酸素原子、硫黄原子又は−N(R21)−であって、Xが酸素原子、硫黄原子又は−N(R22)−であって、Gが置換基を有してもよいアルキレン基であって、R、Rが水素原子であって、Rが水素原子又はメチル基であって、Rが水素原子又はアルキル基であって、R、Rが、それぞれ独立に、水素原子、アルコキシカルボニル基、アルキル基、アリール基であって、R21、R22がアルキル基であることが好ましい。 In the structural unit represented by the general formula (1) in the present invention, A 1 is an oxygen atom, a sulfur atom or —N (R 21 ) —, and X is an oxygen atom, a sulfur atom or —N (R 22 ). -G 1 is an alkylene group which may have a substituent, R 1 and R 2 are hydrogen atoms, R 3 is a hydrogen atom or a methyl group, and R 4 is hydrogen It is preferably an atom or an alkyl group, and R 5 and R 6 are each independently a hydrogen atom, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group, or an aryl group, and R 21 and R 22 are preferably an alkyl group.

前記一般式(2)において、R〜Rはそれぞれ独立に、1価の置換基を表すが、水素原子、置換基を更に有してもよいアルキル基などが挙げられ、中でも、R、Rは水素原子が好ましく、Rは水素原子、メチル基が好ましい。
前記一般式(2)におけるR10〜R12は、それぞれ独立に1価の置換基を表すが、この置換基としては、具体的には例えば、水素原子、ハロゲン原子、ジアルキルアミノ基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基、置換基を更に有してもよいアルコキシ基、置換基を更に有してもよいアリールオキシ基、置換基を更に有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を更に有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられ、中でも、水素原子、アルコキシカルボニル基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基が好ましい。
ここで、有してもよい置換基としては、一般式(1)において挙げたものが同様に例示される。
In the general formula (2), R 7 to R 9 each independently represents a monovalent substituent, and examples thereof include a hydrogen atom and an alkyl group which may further have a substituent. Among them, R 7 , R 8 is preferably a hydrogen atom, and R 9 is preferably a hydrogen atom or a methyl group.
R 10 to R 12 in the general formula (2) each independently represent a monovalent substituent, and specific examples of the substituent include a hydrogen atom, a halogen atom, a dialkylamino group, and alkoxycarbonyl. A group, a sulfo group, a nitro group, a cyano group, an alkyl group which may further have a substituent, an aryl group which may further have a substituent, an alkoxy group which may further have a substituent, and a substituent. Further examples include an aryloxy group which may further have, an alkylsulfonyl group which may further have a substituent, an arylsulfonyl group which may further have a substituent, and the like. Among them, a hydrogen atom, an alkoxycarbonyl group, a substituent An alkyl group which may further have a group and an aryl group which may further have a substituent are preferred.
Here, as a substituent which may be included, those exemplified in the general formula (1) are similarly exemplified.

前記一般式(2)におけるAは、酸素原子、硫黄原子、又は、−N(R21)−を表し、ここで、R21としては、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。
前記一般式(2)におけるGは、2価の有機基を表すが、置換基を有してもよいアルキレン基であることが好ましい。好ましくは、炭素数1以上20以下の置換基を有してもよいアルキレン基、炭素数3以上20以下の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数6以上20以下の置換基を有してもよい芳香族基などが挙げられ、中でも、置換基を有してもよい炭素数1以上10以下の直鎖状あるいは分岐アルキレン基、炭素数3以上10以下の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数6以上12以下の置換基を有してもよい芳香族基が強度、現像性等の性能上、好ましい。
ここで、前記Gにおける置換基としては、水酸基、及び、水酸基以外の水素原子が結合したヘテロ原子を有する置換基(例えば、アミノ基、チオール基及びカルボキシ基等)以外の置換基を好ましく挙げることができる。
前記一般式(2)におけるGが、水酸基以外の水素原子が結合したヘテロ原子を有する置換基を有する場合、後述する開始剤としてオニウム塩化合物を併用することによって、保存安定性が低下する場合がある。
前記一般式(2)におけるYは、酸素原子、硫黄原子、−N(R23)−または置換基を有してもよいフェニレン基を表す。ここで、R23としては、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基などが挙げられる。
A 2 in the general formula (2) represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 21 ) —, where R 21 is a hydrogen atom or an alkyl group which may have a substituent. Etc.
G 2 in the general formula (2) represents a divalent organic group, but is preferably an alkylene group which may have a substituent. Preferably, an alkylene group which may have a substituent having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkylene group which may have a substituent having 3 to 20 carbon atoms, or a substituent having 6 to 20 carbon atoms. An aromatic group that may be included is mentioned, among others, a linear or branched alkylene group having 1 to 10 carbon atoms that may have a substituent, and a substituent having 3 to 10 carbon atoms An cycloalkylene group which may be substituted and an aromatic group which may have a substituent having 6 to 12 carbon atoms are preferred in terms of performance such as strength and developability.
Here, preferable examples of the substituent in G 2 include a substituent other than a hydroxyl group and a substituent having a hetero atom to which a hydrogen atom other than the hydroxyl group is bonded (for example, an amino group, a thiol group, and a carboxy group). be able to.
When G 2 in the general formula (2) has a substituent having a hetero atom to which a hydrogen atom other than a hydroxyl group is bonded, the storage stability is lowered by using an onium salt compound as an initiator described later. There is.
Y in the general formula (2) represents an oxygen atom, a sulfur atom, -N (R 23 )-or a phenylene group which may have a substituent. Here, examples of R 23 include a hydrogen atom and an alkyl group which may have a substituent.

本発明における一般式(2)で表される構造単位は、R10が水素原子又はアルキル基であって、R11、R12がそれぞれ独立に、水素原子、アルコキシカルボニル基、アルキル基又はアリール基であって、R、Rが水素原子であって、Rが水素原子又はメチル基であって、Aが酸素原子、硫黄原子又は−N(R21)−であって、Gが置換基を有してもよい炭素数1以上10以下の直鎖状あるいは分岐アルキレン基、炭素数3以上10以下の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数6以上12以下の置換基を有してもよい芳香族基であって、Yが酸素原子、硫黄原子、−N(R23)−または置換基を有してもよいフェニレン基であって、R21、R23が水素原子又は置換基を有してもよいアルキル基であることが好ましい。 In the structural unit represented by the general formula (2) in the present invention, R 10 is a hydrogen atom or an alkyl group, and R 11 and R 12 are each independently a hydrogen atom, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group, or an aryl group. R 7 and R 8 are hydrogen atoms, R 9 is a hydrogen atom or a methyl group, A 2 is an oxygen atom, a sulfur atom or —N (R 21 ) —, and G 2 May have a straight chain or branched alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkylene group that may have a substituent having 3 to 10 carbon atoms, or a group having 6 to 12 carbon atoms. An aromatic group which may have a substituent, wherein Y is an oxygen atom, a sulfur atom, —N (R 23 ) — or a phenylene group which may have a substituent, and R 21 , R 23 May optionally have a hydrogen atom or a substituent It is preferable that.

前記一般式(3)において、R13〜R15はそれぞれ独立に、1価の置換基を表すが、水素原子、置換基を更に有してもよいアルキル基などが挙げられ、中でも、R13、R14は水素原子が好ましく、R15は水素原子、メチル基が好ましい。
前記一般式(3)におけるR16〜R20は、それぞれ独立に1価の置換基を表すが、R16〜R20は、例えば、水素原子、ハロゲン原子、ジアルキルアミノ基、アルコキシカルボニル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基、置換基を更に有してもよいアルコキシ基、置換基を更に有してもよいアリールオキシ基、置換基を更に有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を更に有してもよいアリールスルホニル基などが挙げられ、中でも、水素原子、アルコキシカルボニル基、置換基を更に有してもよいアルキル基、置換基を更に有してもよいアリール基が好ましい。導入しうる置換基としては、一般式(1)においてあげたものが例示される。
前記一般式(3)におけるAは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R21)−を表し、Zは、酸素原子、硫黄原子、又は−N(R22)−を表す。R21、R22としては、一般式(1)におけるのと同様のものが挙げられる。
In the general formula (3), R 13 to R 15 each independently represents a monovalent substituent, and examples thereof include a hydrogen atom and an alkyl group which may further have a substituent. Among them, R 13 , R 14 is preferably a hydrogen atom, R 15 is a hydrogen atom or a methyl group.
R 16 to R 20 in the general formula (3) each independently represent a monovalent substituent, and R 16 to R 20 are, for example, a hydrogen atom, a halogen atom, a dialkylamino group, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group. Group, nitro group, cyano group, alkyl group which may further have a substituent, aryl group which may further have a substituent, alkoxy group which may further have a substituent, and further having a substituent An aryloxy group that may further have a substituent, an arylsulfonyl group that may further have a substituent, and the like. Among them, a hydrogen atom, an alkoxycarbonyl group, and a substituent may be further included. The alkyl group which may have and the aryl group which may further have a substituent are preferable. Examples of the substituent that can be introduced include those listed in the general formula (1).
A 3 in the general formula (3) represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 21 ) —, and Z represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 22 ) —. Examples of R 21 and R 22 include the same as those in general formula (1).

前記一般式(3)におけるGは、2価の有機基を表すが、置換基を有してもよいアルキレン基が好ましい。好ましくは、炭素数1以上20以下の置換基を有してもよいアルキレン基、炭素数3以上20以下の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数6以上20以下の置換基を有してもよい芳香族基などが挙げられ、中でも、置換基を有してもよい炭素数1以上10以下の直鎖状あるいは分岐アルキレン基、炭素数3以上10以下の置換基を有してもよいシクロアルキレン基、炭素数6以上12以下の置換基を有してもよい芳香族基が強度、現像性等の性能上、好ましい。
ここで、前記Gにおける置換基としては、水酸基、及び、水酸基以外の水素原子が結合したヘテロ原子を有する置換基(例えば、アミノ基、チオール基及びカルボキシ基等)以外の置換基を好ましく挙げることができる。
G 3 in the general formula (3) represents a divalent organic group, and an alkylene group which may have a substituent is preferable. Preferably, an alkylene group which may have a substituent having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkylene group which may have a substituent having 3 to 20 carbon atoms, or a substituent having 6 to 20 carbon atoms. An aromatic group that may be included is mentioned, among others, a linear or branched alkylene group having 1 to 10 carbon atoms that may have a substituent, and a substituent having 3 to 10 carbon atoms An cycloalkylene group which may be substituted and an aromatic group which may have a substituent having 6 to 12 carbon atoms are preferred in terms of performance such as strength and developability.
Here, preferable examples of the substituent in G 3 include a substituent other than a hydroxyl group and a substituent having a hetero atom to which a hydrogen atom other than the hydroxyl group is bonded (for example, an amino group, a thiol group, and a carboxy group). be able to.

本発明における一般式(3)で表される構造単位は、R13、R14が水素原子であって、R15が水素原子またはメチル基であって、R16〜R20が水素原子、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアルキル基又は置換基を有してもよいアリール基であって、Aが酸素原子、硫黄原子又は−N(R21)−であって、Zが酸素原子、硫黄原子又は−N(R22)−であって、R21、R22が一般式(1)におけるのと同様のものであって、Gが置換基を有してもよい炭素数1以上10以下の直鎖状あるいは分岐アルキレン基、炭素数3以上10以下の置換基を有してもよいシクロアルキレン基又は炭素数6以上12以下の置換基を有してもよい芳香族基であることが好ましい。 In the structural unit represented by the general formula (3) in the present invention, R 13 and R 14 are hydrogen atoms, R 15 is a hydrogen atom or a methyl group, R 16 to R 20 are hydrogen atoms, alkoxy A carbonyl group, an optionally substituted alkyl group, or an optionally substituted aryl group, wherein A 3 is an oxygen atom, a sulfur atom or —N (R 21 ) —, and Z is An oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 22 ) —, wherein R 21 and R 22 are the same as those in formula (1), and G 3 may have a substituent. A linear or branched alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkylene group which may have a substituent having 3 to 10 carbon atoms, or an aromatic group which may have a substituent having 6 to 12 carbon atoms It is preferably a group.

本発明における特定アルカリ可溶性樹脂は、ポストベークにおける熱ダレ抑制のため、前記一般式(1)〜(3)で表される構造単位から選択される少なくとも1種の構造単位を、一般式(4)で表される構造単位の含有率の1.5倍以上含有することが好ましい。硬化性の観点より、前記一般式(1)〜(3)で表される構造単位から選択される少なくとも1種の構造単位を、一般式(4)で表される構造の含有率の2.0倍以上含有することがより好ましく、3.0倍以上含有することが最も好ましい。
また、硬化性向上及び現像残渣低減の観点から、前記一般式(1)〜(3)で表される構造単位から選択される少なくとも1種の構造単位を、1分子中に35モル%以上95モル%未満の範囲で含む化合物であることが好ましい。より好ましくは、37モル%以上90モル%未満である。更に好ましくは40モル%以上85モル%未満の範囲である。中でも、硬化性の観点より、一般式(1)で表される構造単位を40モル%以上85モル%未満含有する樹脂が最も好ましい。
The specific alkali-soluble resin in the present invention contains at least one structural unit selected from the structural units represented by the general formulas (1) to (3) in order to suppress thermal sag in post-baking. It is preferable to contain at least 1.5 times the content of the structural unit represented by From the viewpoint of curability, at least one structural unit selected from the structural units represented by the general formulas (1) to (3) is selected from 2. of the content of the structure represented by the general formula (4). It is more preferably 0 or more times, and most preferably 3.0 or more times.
Further, from the viewpoint of improving curability and reducing development residue, at least one structural unit selected from the structural units represented by the general formulas (1) to (3) is contained in an amount of 35 mol% or more and 95 or more. The compound is preferably contained in a range of less than mol%. More preferably, it is 37 mol% or more and less than 90 mol%. More preferably, it is the range of 40 mol% or more and less than 85 mol%. Among these, from the viewpoint of curability, a resin containing 40 mol% or more and less than 85 mol% of the structural unit represented by the general formula (1) is most preferable.

前記一般式(1)〜(3)で表される構造単位から選択される少なくとも1種の構造単位を有する高分子化合物の合成は、特開2003−262958号公報の段落番号[0027]〜[0057]に記載の合成方法に基づいて行なうことができる。中でも、同公報中の合成方法1)によって行うことが好ましい。   Synthesis of a polymer compound having at least one structural unit selected from the structural units represented by the general formulas (1) to (3) is described in paragraphs [0027] to [0027] of JP-A No. 2003-262958. 0057] can be carried out based on the synthesis method described in [0057]. Among them, the synthesis method 1) in the same publication is preferable.

上記特定アルカリ可溶性樹脂としては、下記合成法(1)又は合成法(2)により得られる樹脂であることが好ましい。   The specific alkali-soluble resin is preferably a resin obtained by the following synthesis method (1) or synthesis method (2).

合成法(1)
下記一般式(5)で表される化合物を共重合成分の一つとして用いて合成した重合体に、塩基を作用させてプロトンを引き抜き、Lを脱離させ、前記一般式(1)で表される構造を有する所望の高分子化合物を得る方法。
Synthesis method (1)
A polymer is synthesized using a compound represented by the following general formula (5) as one of the copolymerization components, and a base is allowed to act to extract protons and desorb L, and is represented by the general formula (1). A method for obtaining a desired polymer compound having a structure.

一般式(5)中、Lはアニオン性脱離基を表し、好ましくはハロゲン原子、アルキル又はアリールスルホニルオキシ基等が挙げられる。R〜R、A、G、及びXについては前記一般式(1)における場合と同義である。
脱離反応を生起させるために用いる塩基としては、無機化合物、有機化合物のどちらを使用してもよい。また、この方法の詳細及び好ましい態様については、特開2003−262958号公報の段落番号[0028]〜[0033]に記載されている。
In the general formula (5), L represents an anionic leaving group, preferably a halogen atom, an alkyl or arylsulfonyloxy group or the like. R 3 ~R 6, A 1, G 1, and for X are as defined as in the general formula (1).
As the base used for causing the elimination reaction, either an inorganic compound or an organic compound may be used. Details and preferred embodiments of this method are described in paragraphs [0028] to [0033] of JP-A No. 2003-262958.

好ましい無機化合物塩基としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム等が挙げられ、有機化合物塩基としては、ナトリウムメトキシド、ナトリウムエトキシド、カリウムt−ブトキシドのような金属アルコキシド、トリエチルアミン、ピリジン、ジイソプロピルエチルアミンのような有機アミン化合物等が挙げられる。   Preferred inorganic compound bases include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium carbonate, potassium hydrogen carbonate and the like, and organic compound bases include sodium methoxide, sodium ethoxide, potassium t- Examples thereof include metal alkoxides such as butoxide, organic amine compounds such as triethylamine, pyridine and diisopropylethylamine.

合成法(2)
下記一般式(6)で表される化合物を共重合成分として用いて合成した重合体に対し、塩基処理によって特定官能基に脱離反応を生起させ、Xを除去し、ラジカル反応性基を得る方法。
Synthesis method (2)
For a polymer synthesized using a compound represented by the following general formula (6) as a copolymerization component, an elimination reaction is caused in a specific functional group by base treatment, X 1 is removed, and a radical reactive group is removed. How to get.

一般式(6)中、Aは酸素原子、硫黄原子、又は−N(R27)−を表し、Aは酸素原子、硫黄原子、又は−NR28−を表し、R24、R25、R26、R29、R30、及びR31は、それぞれ独立に水素又は1価の有機基を表し、Xは脱離反応により除去される基を表し、Gは有機連結基を表す。nは、1〜10の整数を表す。 In General Formula (6), A 4 represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 27 ) —, A 5 represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —NR 28 —, and R 24 , R 25 , R 26 , R 29 , R 30 and R 31 each independently represent hydrogen or a monovalent organic group, X 1 represents a group to be removed by elimination reaction, and G 4 represents an organic linking group. n represents an integer of 1 to 10.

本発明においては、中でも、Aは酸素原子であることが好ましい。また、R24はメチル基が好ましく、R25、R26、R29、R30は水素原子が好ましく、R31はメチル基または水素原子が好ましい。更に、Xは、臭素原子が好ましく、Gはエチレン基が好ましい。 In the present invention, A 4 is preferably an oxygen atom. R 24 is preferably a methyl group, R 25 , R 26 , R 29 and R 30 are preferably a hydrogen atom, and R 31 is preferably a methyl group or a hydrogen atom. Further, X 1 is preferably a bromine atom, and G 4 is preferably an ethylene group.

上記の方法の詳細及び好ましい態様については、特開2003−335814号公報に詳細に記載されている。   Details and preferred embodiments of the above method are described in detail in JP-A No. 2003-335814.

前記合成法(2)により得られる樹脂としては、特開2003−335814号公報に記載の高分子化合物、具体的には、例えば(i)ポリビニル系高分子化合物、(ii)ポリウレタン系高分子化合物、(iii)ポリウレア系高分子化合物、(iv)ポリ(ウレタン−ウレア)系高分子化合物、(v)ポリエステル系高分子化合物、(vi)ポリアミド系高分子化合物、(vii)アセタール変性ポリビニルアルコール系の高分子化合物、及びこれらの各々の記載から得られる具体的な化合物を好適に挙げることができる。   Examples of the resin obtained by the synthesis method (2) include the polymer compounds described in JP-A No. 2003-335814, specifically, for example, (i) a polyvinyl polymer compound, and (ii) a polyurethane polymer compound. (Iii) polyurea polymer compound, (iv) poly (urethane-urea) polymer compound, (v) polyester polymer compound, (vi) polyamide polymer compound, (vii) acetal-modified polyvinyl alcohol compound Preferred examples thereof include the following polymer compounds and specific compounds obtained from the respective descriptions.

前記一般式(5)で表される化合物の具体例としては、下記化合物(M−1)〜(M−12)を挙げることできるが、本発明はこれらに限定されるものではない。   Specific examples of the compound represented by the general formula (5) include the following compounds (M-1) to (M-12), but the present invention is not limited thereto.


前記一般式(6)で表される化合物としては、下記化合物(i−1)〜(i−50)を挙げることができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。   Examples of the compound represented by the general formula (6) include the following compounds (i-1) to (i-50), but the present invention is not limited thereto.

本発明における特定アルカリ可溶性樹脂は、下記一般式(4)で表される構造単位を含有することが好ましい。   The specific alkali-soluble resin in the present invention preferably contains a structural unit represented by the following general formula (4).

前記一般式(4)中、Rは、水素あるいは炭素数1以上6以下のアルキル基、Rは、2価の連結基である。
前記Rとしては、水素原子またはメチル基であることが好ましい。
前記Rは2価の連結基であればよいが、例えば炭素数1〜12の置換されていてもよいアルキレン基、−U−R−V−(但し、UおよびVは各々独立に、直接結合または炭素数1〜3のアルキレン基を表し、Rは各々置換されていてもよいシクロヘキシル環、ベンゼン環またはナフタレン環を表す)、又は−R−X−R−(但し、RおよびRは各々独立に、炭素数1〜10の置換されていてもよいアルキレン基、置換されていてもよいベンゼン環またはナフタレン環を表し、Xは、エステル結合、アミド結合、ウレタン結合、エーテル結合、チオエーテル結合、カーボネート結合、ウレア結合またはイミド結合を表す)などが挙げられ、中でもRが炭素数1〜6の2価の連結基であることが好ましい。
In the general formula (4), R A is hydrogen or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and R B is a divalent linking group.
R A is preferably a hydrogen atom or a methyl group.
Wherein R B is may be a divalent linking group, for example optionally substituted alkylene group having 1 to 12 carbon atoms, -U-R C -V- (however, U and V are each independently Represents a direct bond or an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms, and R C represents an optionally substituted cyclohexyl ring, benzene ring or naphthalene ring), or —R D —X—R E — (provided that R D and R E each independently represents an optionally substituted alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, an optionally substituted benzene ring or naphthalene ring, and X represents an ester bond, an amide bond, a urethane bond, an ether bond, a thioether bond, a carbonate bond, a urea bond or an imide bond) and the like, it is preferable among them R B is a divalent linking group having 1 to 6 carbon atoms.

本発明における特定アルカリ可溶性樹脂のうち、前記一般式(1)〜一般式(3)で表される構造単位からなる群より選ばれる少なくとも1つの構造単位と、前記一般式(4)で表される構造単位とを有する樹脂の具体的な化合物例としては、下記表に示す例示化合物101〜121を挙げることができる。   Among the specific alkali-soluble resins in the present invention, at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by the general formulas (1) to (3) and the general formula (4). Specific examples of the resin having a structural unit include exemplified compounds 101 to 121 shown in the following table.

上記特定アルカリ可溶性樹脂の酸価は、5.0mgKOH/g以上110mgKOH/g以下であることが好ましく、より好ましくは5.5mgKOH/g以上75mgKOH/g以下、更に好ましくは6.0mgKOH/g以上70mgKOH/g以下の範囲であることが好ましい。酸価が110mgKOH/g以下であれば現像時におけるパターン剥離が抑えられ、また、5.0mgKOH/g以上あればアルカリ現像性が良い。   The acid value of the specific alkali-soluble resin is preferably 5.0 mgKOH / g or more and 110 mgKOH / g or less, more preferably 5.5 mgKOH / g or more and 75 mgKOH / g or less, still more preferably 6.0 mgKOH / g or more and 70 mgKOH. / G or less is preferable. If the acid value is 110 mgKOH / g or less, pattern peeling during development can be suppressed, and if it is 5.0 mgKOH / g or more, alkali developability is good.

本発明において、特定アルカリ可溶性樹脂の酸価は、例えば、樹脂分子中における酸基の平均含有量から算出することができる。また、特定アルカリ可溶性樹脂を構成する酸基を含有するモノマー単位の含有量を変化させることで所望の酸価を有する樹脂を得ることができる。   In the present invention, the acid value of the specific alkali-soluble resin can be calculated, for example, from the average content of acid groups in the resin molecule. Moreover, the resin which has a desired acid value can be obtained by changing content of the monomer unit containing the acid group which comprises specific alkali-soluble resin.

本発明における特定アルカリ可溶性樹脂の質量平均分子量は、現像時のパターン剥離抑制と現像性の観点から、10,000以上300,000以下であることが好ましく、15,000以上200,000以下であることがより好ましく、20,000以上100,000以下であることが更に好ましく、25,000以上50,000以下であることが特に好ましい。
なお、特定アルカリ可溶性樹脂の質量平均分子量は、例えば、GPCによって測定することができる。
The mass average molecular weight of the specific alkali-soluble resin in the present invention is preferably 10,000 or more and 300,000 or less, and preferably 15,000 or more and 200,000 or less, from the viewpoint of pattern peeling inhibition during development and developability. Is more preferably 20,000 or more and 100,000 or less, and particularly preferably 25,000 or more and 50,000 or less.
In addition, the mass average molecular weight of specific alkali-soluble resin can be measured by GPC, for example.

本発明の重合性組成物の全固形分中に対する特定アルカリ可溶性樹脂の含有量は、重合性およびアルカリ現像性の点で、2質量%以上60質量%以下が好ましいが、パターン剥がれ抑制と現像残渣抑制の両立の観点より、4質量%以上50質量%以下がより好ましく、6質量%以上40質量%以下がさらに好ましい。   The content of the specific alkali-soluble resin relative to the total solid content of the polymerizable composition of the present invention is preferably 2% by mass or more and 60% by mass or less in terms of polymerizability and alkali developability. From the viewpoint of coexistence of suppression, 4% by mass to 50% by mass is more preferable, and 6% by mass to 40% by mass is more preferable.

−分散剤−
本発明の重合性組成物に含まれるチタンブラック分散物中には、チタンブラックの分散性を調整する目的で、分散剤(以下、「顔料分散剤」と称する場合がある)が含有されることが好ましい。
本発明に用いうる顔料分散剤としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、及び、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
-Dispersant-
The titanium black dispersion contained in the polymerizable composition of the present invention contains a dispersant (hereinafter sometimes referred to as “pigment dispersant”) for the purpose of adjusting the dispersibility of titanium black. Is preferred.
Examples of pigment dispersants that can be used in the present invention include polymer dispersants [for example, polyamidoamines and salts thereof, polycarboxylic acids and salts thereof, high molecular weight unsaturated acid esters, modified polyurethanes, modified polyesters, and modified poly (meth) acrylates. , (Meth) acrylic copolymers, naphthalenesulfonic acid formalin condensates], polyoxyethylene alkyl phosphate esters, polyoxyethylene alkyl amines, alkanol amines, pigment derivatives, and the like.
The polymer dispersant can be further classified into a linear polymer, a terminal-modified polymer, a graft polymer, and a block polymer from the structure thereof.

高分子分散剤は、チタンブラックおよび所望により併用する後述の顔料の表面に吸着し、再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。
一方で、顔料誘導体は顔料表面を改質することで、高分子分散剤の吸着を促進させる効果を有する。
The polymer dispersant is adsorbed on the surface of titanium black and a pigment described later that is used in combination, if desired, and acts to prevent re-aggregation. Therefore, a terminal-modified polymer, a graft polymer and a block polymer having an anchor site to the pigment surface can be mentioned as preferred structures.
On the other hand, the pigment derivative has an effect of promoting the adsorption of the polymer dispersant by modifying the pigment surface.

本発明に用いうる顔料分散剤の具体例としては、BYK Chemie社製「Disperbyk−101(ポリアミドアミン燐酸塩)、107(カルボン酸エステル)、110(酸基を含む共重合物)、130(ポリアミド)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共重合物)」、「BYK−P104、P105(高分子量不飽和ポリカルボン酸)、EFKA社製「EFKA4047、4050、4010、4165(ポリウレタン系)、EFKA4330、4340(ブロック共重合体)、4400、4402(変性ポリアクリレート)、5010(ポリエステルアミド)、5765(高分子量ポリカルボン酸塩)、6220(脂肪酸ポリエステル)、6745(フタロシアニン誘導体)、6750(アゾ顔料誘導体)」、味の素ファンテクノ社製「アジスパーPB821、PB822」、共栄社化学社製「フローレンTG−710(ウレタンオリゴマー)」、「ポリフローNo.50E、No.300(アクリル系共重合体)」、楠本化成社製「ディスパロンKS−860、873SN、874、#2150(脂肪族多価カルボン酸)、#7004(ポリエーテルエステル)、DA−703−50、DA−705、DA−725」、花王社製「デモールRN、N(ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物)、MS、C、SN−B(芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物)」、「ホモゲノールL−18(高分子ポリカルボン酸)」、「エマルゲン920、930、935、985(ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル)」、「アセタミン86(ステアリルアミンアセテート)」、ルーブリゾール社製「ソルスパース5000(フタロシアニン誘導体)、22000(アゾ顔料誘導体)、13240(ポリエステルアミン)、3000、17000、27000(末端部に機能部を有する高分子)、24000、28000、32000、38500(グラフト型高分子)」、日光ケミカル者製「ニッコールT106(ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート)、MYS−IEX(ポリオキシエチレンモノステアレート)」等が挙げられる。   Specific examples of the pigment dispersant that can be used in the present invention include “Disperbyk-101 (polyamidoamine phosphate), 107 (carboxylic acid ester), 110 (copolymer containing an acid group), 130 (polyamide) manufactured by BYK Chemie. ), 161, 162, 163, 164, 165, 166, 170 (polymer copolymer) ”,“ BYK-P104, P105 (high molecular weight unsaturated polycarboxylic acid) ”,“ EFKA 4047, 4050, 4010, manufactured by EFKA, 4165 (polyurethane series), EFKA4330, 4340 (block copolymer), 4400, 4402 (modified polyacrylate), 5010 (polyesteramide), 5765 (high molecular weight polycarboxylate), 6220 (fatty acid polyester), 6745 (phthalocyanine) Derivatives), 6750 (azo) "Adisper PB821, PB822" manufactured by Ajinomoto Fan Techno Co., "Floren TG-710 (urethane oligomer)" manufactured by Kyoeisha Chemical Co., "Polyflow No. 50E, No. 300 (acrylic copolymer)", “Disparon KS-860, 873SN, 874, # 2150 (aliphatic polycarboxylic acid), # 7004 (polyetherester), DA-703-50, DA-705, DA-725” manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd., Kao “Demol RN, N (Naphthalenesulfonic acid formalin polycondensate), MS, C, SN-B (aromatic sulfonic acid formalin polycondensate)”, “Homogenol L-18 (polymer polycarboxylic acid)”, “ Emulgen 920, 930, 935, 985 (polyoxyethylene nonylphenyl ether) ”,“ acetamine 86 (stearylamine acetate) ", Lubrizol" Solsperse 5000 (phthalocyanine derivative), 22000 (azo pigment derivative), 13240 (polyesteramine), 3000, 17000, 27000 (polymer having a functional part at the end), 24000, 28000, 32000, 38500 (graft type polymer) ”,“ Nikkor T106 (polyoxyethylene sorbitan monooleate), MYS-IEX (polyoxyethylene monostearate) ”manufactured by Nikko Chemicals, and the like.

これらの分散剤は、単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明においては、特に、顔料誘導体と高分子分散剤とを組み合わせて使用することが経時での分散液の粘度変化抑制の観点から好ましい。   These dispersants may be used alone or in combination of two or more. In the present invention, it is particularly preferable to use a pigment derivative and a polymer dispersant in combination from the viewpoint of suppressing the viscosity change of the dispersion over time.

また、本発明の(A)チタンブラック分散物には、分散性、着色性等を調整する目的でCu、Fe、Mn、V、Ni等の複合酸化物、酸化コバルト、酸化鉄、カーボンブラック、アニリンブラック、酸化マンガン、グラファイト等の黒色顔料を1種あるいは2種以上を組み合わせて含有してもよい。この場合、総顔料におけるチタンブラックの含有比率は、50質量%以上であるのが好ましく、より好ましくは55質量%以上であり、更に好ましくは、60質量%以上である。
また、本発明の(A)チタンブラック分散物には、所望とする波長の遮光性を制御する目的で、既存の赤、青、緑、黄色、シアン、マゼンタ、バイオレット、オレンジ等の顔料、或いは染料などの公知の着色剤を添加することも可能である。
In addition, the (A) titanium black dispersion of the present invention includes a composite oxide such as Cu, Fe, Mn, V, Ni, cobalt oxide, iron oxide, carbon black, for the purpose of adjusting dispersibility, colorability, and the like. You may contain black pigments, such as aniline black, manganese oxide, and graphite, 1 type or in combination of 2 or more types. In this case, the content ratio of titanium black in the total pigment is preferably 50% by mass or more, more preferably 55% by mass or more, and further preferably 60% by mass or more.
In addition, the (A) titanium black dispersion of the present invention has an existing pigment such as red, blue, green, yellow, cyan, magenta, violet, orange, or the like, for the purpose of controlling the light-shielding property at a desired wavelength. It is also possible to add known colorants such as dyes.

本発明において、チタンブラックと、所望により併用される他の顔料と、の総顔料100質量部に対して、併用顔料の含有量は、2質量部以上50質量部以下の範囲であるのが好ましく、より好ましくは併用顔料が2質量部以上30質量部以下であり、更に好ましくは併用顔料が2質量部以上10質量部以下である。   In the present invention, the content of the combined pigment is preferably in the range of 2 parts by mass or more and 50 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the total pigment of titanium black and other pigments used in combination as desired. More preferably, the combined pigment is 2 parts by mass or more and 30 parts by mass or less, and further preferably the combined pigment is 2 parts by mass or more and 10 parts by mass or less.

本発明に係るチタンブラック分散物の調製においては、チタンブラック100質量部に対し、チタンブラック分散物に含まれるポリマー成分を5質量部以上200質量部以下、より好ましくは10質量部以上100質量部以下添加することが好ましい。
ポリマー成分が5質量部以上であると黒色色材の表面性状をより良好に保つことができ、ポリマー成分が200質量部以下であると遮光性や着色性などといった本来的に要求される黒色色材の特性をより向上させることができる。
また具体的には、高分子分散剤を用いる場合であれば、その使用量としては、顔料(チタンブラックを含む総顔料)100質量部に対して、5質量部以上100質量部以下の範囲が好ましく、10質量部以上80質量部以下の範囲がより好ましい。
また、顔料誘導体を使用する場合であれば、その使用量としては、顔料100質量部に対し1質量部以上30質量部以下の範囲にあることが好ましく、3質量部以上20質量部以下の範囲にあることがより好ましく、5質量部以上15質量部以下の範囲にあることが更に好ましい。
In the preparation of the titanium black dispersion according to the present invention, the polymer component contained in the titanium black dispersion is 5 parts by mass or more and 200 parts by mass or less, more preferably 10 parts by mass or more and 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of titanium black. It is preferable to add below.
If the polymer component is 5 parts by mass or more, the surface property of the black color material can be kept better, and if the polymer component is 200 parts by mass or less, the inherently required black color such as light-shielding property and colorability The characteristics of the material can be further improved.
Further, specifically, when a polymer dispersant is used, the amount of use thereof ranges from 5 parts by mass to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of pigment (total pigment including titanium black). The range of 10 to 80 parts by mass is more preferable.
In the case of using a pigment derivative, the amount used is preferably in the range of 1 part by mass to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the pigment, and in the range of 3 parts by mass to 20 parts by mass. More preferably, it is in the range of 5 parts by mass or more and 15 parts by mass or less.

〔(B)重合性化合物〕
本発明の重合性組成物は、(B)重合性化合物を含有する。
本発明の重合性組成物に用いることができる重合性化合物は、少なくとも一個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物であり、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上有する化合物から選ばれる。このような化合物群は当該産業分野において広く知られるものであり、本発明においてはこれらを特に限定無く用いることができる。
これらは、例えばモノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物並びにそれらの共重合体などの化学的形態をもつ。モノマー及びその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)や、そのエステル類、アミド類が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応物、及び単官能若しくは、多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
[(B) Polymerizable compound]
The polymerizable composition of the present invention contains (B) a polymerizable compound.
The polymerizable compound that can be used in the polymerizable composition of the present invention is an addition polymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated double bond, and has at least one terminal ethylenically unsaturated bond, preferably 2 It is selected from compounds having at least one. Such a compound group is widely known in the industrial field, and can be used without any particular limitation in the present invention.
These have chemical forms such as monomers, prepolymers, i.e. dimers, trimers and oligomers, or mixtures thereof and copolymers thereof. Examples of monomers and copolymers thereof include unsaturated carboxylic acids (for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, etc.), and esters and amides thereof. In this case, an ester of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyhydric alcohol compound, or an amide of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyvalent amine compound is used. In addition, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a nucleophilic substituent such as a hydroxyl group, amino group or mercapto group with a monofunctional or polyfunctional isocyanate or epoxy, and monofunctional or polyfunctional A dehydration condensation reaction product with a functional carboxylic acid is also preferably used. Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having an electrophilic substituent such as an epoxy group or an epoxy group with a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol, a halogen group or In addition, a substitution reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a leaving substituent such as a tosyloxy group and a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol is also suitable. As another example, it is also possible to use a group of compounds substituted with unsaturated phosphonic acid, styrene, vinyl ether or the like instead of the unsaturated carboxylic acid.

脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、1,3−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマー、イソシアヌール酸EO変性トリアクリレート等がある。   Specific examples of the monomer of an ester of an aliphatic polyhydric alcohol compound and an unsaturated carboxylic acid include acrylic acid esters such as ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, 1,3-butanediol diacrylate, and tetramethylene glycol. Diacrylate, propylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane triacrylate, hexanediol diacrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate , Tetraethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate , Pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, polyester acrylate oligomer, isocyanuric acid There are EO-modified triacrylate and the like.

メタクリル酸エステルとしては、テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔p−(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル〕ジメチルメタン、ビス−〔p−(メタクリルオキシエトキシ)フェニル〕ジメチルメタン等がある。   Methacrylic acid esters include tetramethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolethane trimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, 1,3-butanediol dimethacrylate, Hexanediol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol dimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, sorbitol trimethacrylate, sorbitol tetramethacrylate, bis [p- (3-methacryloxy- 2-hydroxypro ) Phenyl] dimethyl methane, bis - [p- (methacryloxyethoxy) phenyl] dimethyl methane.

イタコン酸エステルとしては、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、1,3−ブタンジオールジイタコネート、1,4−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等がある。
クロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等がある。イソクロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等がある。
マレイン酸エステルとしては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等がある。
Itaconic acid esters include ethylene glycol diitaconate, propylene glycol diitaconate, 1,3-butanediol diitaconate, 1,4-butanediol diitaconate, tetramethylene glycol diitaconate, pentaerythritol diitaconate And sorbitol tetritaconate.
Examples of crotonic acid esters include ethylene glycol dicrotonate, tetramethylene glycol dicrotonate, pentaerythritol dicrotonate, and sorbitol tetradicrotonate. Examples of isocrotonic acid esters include ethylene glycol diisocrotonate, pentaerythritol diisocrotonate, and sorbitol tetraisocrotonate.
Examples of maleic acid esters include ethylene glycol dimaleate, triethylene glycol dimaleate, pentaerythritol dimaleate, and sorbitol tetramaleate.

その他のエステルの例として、例えば、特公昭51−47334号公報、特開昭57−196231号公報記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭59−5240号公報、特開昭59−5241号公報、特開平2−226149号公報記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平1−165613号公報記載のアミノ基を含有するもの等も好適に用いられる。更に、前述のエステルモノマーは混合物としても使用することができる。   Examples of other esters include aliphatic alcohol esters described in JP-B-51-47334 and JP-A-57-196231, JP-A-59-5240, and JP-A-59-5241. And those having an aromatic skeleton described in JP-A-2-226149 and those containing an amino group described in JP-A-1-165613. Furthermore, the ester monomers described above can also be used as a mixture.

また、脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミドのモノマーの具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等がある。
その他の好ましいアミド系モノマーの例としては、特公昭54−21726号公報記載のシクロへキシレン構造を有すものを挙げることができる。
Specific examples of amide monomers of aliphatic polyvalent amine compounds and unsaturated carboxylic acids include methylene bis-acrylamide, methylene bis-methacrylamide, 1,6-hexamethylene bis-acrylamide, 1,6-hexamethylene bis. -Methacrylamide, diethylenetriamine trisacrylamide, xylylene bisacrylamide, xylylene bismethacrylamide and the like.
Examples of other preferable amide monomers include those having a cyclohexylene structure described in JP-B No. 54-21726.

また、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適であり、そのような具体例としては、例えば、特公昭48−41708号公報中に記載されている1分子に2個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に、下記一般式(A)で示される水酸基を含有するビニルモノマーを付加させた1分子中に2個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。   Further, urethane-based addition polymerizable compounds produced by using an addition reaction of isocyanate and hydroxyl group are also suitable. Specific examples thereof include, for example, one molecule described in JP-B-48-41708. A vinyl urethane containing two or more polymerizable vinyl groups in one molecule obtained by adding a vinyl monomer containing a hydroxyl group represented by the following general formula (A) to a polyisocyanate compound having two or more isocyanate groups. Compounds and the like.

CH=C(R)COOCHCH(R)OH (A)
(ただし、一般式(A)中、R及びRは、それぞれ、H又はCHを示す。)
CH 2 = C (R 4) COOCH 2 CH (R 5) OH (A)
(However, in general formula (A), R 4 and R 5 each represent H or CH 3. )

また、特開昭51−37193号公報、特公平2−32293号公報、特公平2−16765号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭58−49860号公報、特公昭56−17654号公報、特公昭62−39417号公報、特公昭62−39418号公報記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭63−277653号公報、特開昭63−260909号公報、特開平1−105238号公報に記載される、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性組成物を得ることができる。   Also, urethane acrylates such as those described in JP-A-51-37193, JP-B-2-32293, JP-B-2-16765, JP-B-58-49860, JP-B-56- Urethane compounds having an ethylene oxide skeleton described in Japanese Patent No. 17654, Japanese Patent Publication No. 62-39417, and Japanese Patent Publication No. 62-39418 are also suitable. Furthermore, by using polymerizable compounds having an amino structure or a sulfide structure in the molecule described in JP-A-63-277653, JP-A-63-260909, and JP-A-1-105238. Can obtain a photopolymerizable composition having an excellent photosensitive speed.

その他の例としては、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号、各公報に記載されているようなポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭46−43946号公報、特公平1−40337号公報、特公平1−40336号公報記載の特定の不飽和化合物や、特開平2−25493号公報記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、ある場合には、特開昭61−22048号公報記載のペルフルオロアルキル基を含有する構造が好適に使用される。更に、日本接着協会誌vol.20、No.7、300〜308ページ(1984年)に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。   Other examples include polyester acrylates, epoxy resins and (meth) acrylic acid as described in JP-A-48-64183, JP-B-49-43191, JP-B-52-30490, and JP-A-52-30490. Mention may be made of polyfunctional acrylates and methacrylates such as reacted epoxy acrylates. Also, specific unsaturated compounds described in JP-B-46-43946, JP-B-1-40337, JP-B-1-40336, vinylphosphonic acid compounds described in JP-A-2-25493, and the like Can be mentioned. In some cases, a structure containing a perfluoroalkyl group described in JP-A-61-22048 is preferably used. Furthermore, the Japan Adhesion Association magazine vol. 20, no. 7, pages 300 to 308 (1984), which are introduced as photocurable monomers and oligomers, can also be used.

これらの重合性化合物について、その構造、単独使用か併用か、添加量等の使用方法の詳細は、重合性組成物の最終的な性能設計にあわせて任意に設定できる。例えば、次のような観点から選択される。
感度の点では1分子あたりの不飽和基含量が多い構造が好ましく、多くの場合、2官能以上が好ましい。また、硬化膜の強度を高くするためには、3官能以上のものがよく、更に、異なる官能数・異なる重合性基(例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物)のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。
また、重合性組成物に含有される他の成分(例えば、光重合開始剤、着色剤(顔料、染料)等)との相溶性、分散性に対しても、重合性化合物の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や、2種以上の併用により相溶性を向上させうることがある。また、支持体などの硬質表面との密着性を向上させる目的で特定の構造を選択することもあり得る。
About these polymeric compounds, the details of usage methods, such as the structure, single use, combined use, and addition amount, can be arbitrarily set according to the final performance design of polymeric composition. For example, it is selected from the following viewpoints.
From the viewpoint of sensitivity, a structure having a large unsaturated group content per molecule is preferable, and in many cases, a bifunctional or higher functionality is preferable. Further, in order to increase the strength of the cured film, those having three or more functionalities are preferable, and further, different functional numbers and different polymerizable groups (for example, acrylic acid ester, methacrylic acid ester, styrene compound, vinyl ether compound). A method of adjusting both sensitivity and intensity by using a combination of these materials is also effective.
In addition, selection and use of polymerizable compounds for compatibility and dispersibility with other components (for example, photopolymerization initiators, colorants (pigments, dyes), etc.) contained in the polymerizable composition Is an important factor. For example, compatibility may be improved by the use of a low-purity compound or a combination of two or more. In addition, a specific structure may be selected for the purpose of improving adhesion to a hard surface such as a support.

重合性組成物全固形分中、(B)重合性化合物の含有量は、5質量%以上90質量%以下であることが好ましく、10質量%以上85質量%以下であることがより好ましく、20質量%以上80質量%以下であることが更に好ましい。   In the total solid content of the polymerizable composition, the content of the polymerizable compound (B) is preferably 5% by mass or more and 90% by mass or less, more preferably 10% by mass or more and 85% by mass or less, and 20 More preferably, it is at least 80% by mass.

[(C)光重合開始剤]
本発明の重合性組成物は、(C)光重合開始剤を含有する。
本発明における光重合開始剤は、光により分解し、(B)重合性化合物の重合を開始、促進する化合物であり、波長300nm以上500nm以下の領域に吸収を有するものであることが好ましい。また、光重合開始剤は、単独で、又は2種以上を併用して用いることができる。
[(C) Photopolymerization initiator]
The polymerizable composition of the present invention contains (C) a photopolymerization initiator.
The photopolymerization initiator in the present invention is a compound that is decomposed by light and initiates and accelerates polymerization of the polymerizable compound (B), and preferably has absorption in a wavelength region of 300 nm to 500 nm. Moreover, a photoinitiator can be used individually or in combination of 2 or more types.

光重合開始剤としては、例えば、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オキシムエステル化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン(オキシド)化合物が挙げられる。   Examples of the photopolymerization initiator include organic halogenated compounds, oxydiazole compounds, carbonyl compounds, ketal compounds, benzoin compounds, acridine compounds, organic peroxide compounds, azo compounds, coumarin compounds, azide compounds, metallocene compounds, hexaaryls. Examples include rubiimidazole compounds, organic boric acid compounds, disulfonic acid compounds, oxime ester compounds, onium salt compounds, and acylphosphine (oxide) compounds.

有機ハロゲン化化合物としては、具体的には、若林等、「Bull Chem.Soc Japan」42、2924(1969)、米国特許第3,905,815号明細書、特公昭46−4605号公報、特開昭48−36281号公報、特開昭55−32070号公報、特開昭60−239736号公報、特開昭61−169835号公報、特開昭61−169837号公報、特開昭62−58241号公報、特開昭62−212401号公報、特開昭63−70243号公報、特開昭63−298339号公報、M.P.Hutt“Jurnal of Heterocyclic Chemistry”1(No3),(1970)」筆に記載の化合物が挙げられ、特に、トリハロメチル基が置換したオキサゾール化合物、s−トリアジン化合物が挙げられる。   Specific examples of the organic halogenated compounds include Wakabayashi et al., “Bull Chem. Soc Japan” 42, 2924 (1969), US Pat. No. 3,905,815, Japanese Examined Patent Publication No. 46-4605, Japanese Unexamined Patent Publication No. 48-36281, Japanese Unexamined Patent Publication No. 55-3070, Japanese Unexamined Patent Publication No. 60-239736, Japanese Unexamined Patent Publication No. 61-169835, Japanese Unexamined Patent Publication No. 61-169837, Japanese Unexamined Patent Publication No. 62-58241. JP, 62-21401, JP 63-70243, 63-298339, M.M. P. Hutt “Journal of Heterocyclic Chemistry” 1 (No 3), (1970) ”, and the oxazole compound and s-triazine compound substituted with a trihalomethyl group.

s−トリアジン化合物として、より好適には、すくなくとも一つのモノ、ジ、又はトリハロゲン置換メチル基がs−トリアジン環に結合したs−トリアジン誘導体、具体的には、例えば、2,4,6−トリス(モノクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2―n−プロピル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(α,α,β−トリクロロエチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3,4−エポキシフェニル)−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−クロロフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔1−(p−メトキシフェニル)−2,4−ブタジエニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−スチリル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−i−プロピルオキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−ナトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ベンジルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジブロモメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メトキシ−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。   As the s-triazine compound, more preferably, an s-triazine derivative in which at least one mono-, di-, or trihalogen-substituted methyl group is bonded to the s-triazine ring, specifically, for example, 2,4,6- Tris (monochloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (dichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6- Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-n-propyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (α, α, β-trichloroethyl) -4,6-bis (trichloro Methyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloro) Methyl) -s-triazine, 2- (3,4-epoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-chlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2- [1- (p-methoxyphenyl) -2,4-butadienyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-styryl-4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2- (p-methoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (pi-propyloxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-natoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) s-triazine, 2-phenylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-benzylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (dibromomethyl) ) -S-triazine, 2,4,6-tris (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methoxy-4,6- Bis (tribromomethyl) -s-triazine and the like can be mentioned.

オキシジアゾール化合物としては、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(シアノスチリル)−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(ナフト−1−イル)−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(4−スチリル)スチリル−1,3,4−オキソジアゾールなどが挙げられる。   Examples of the oxydiazole compound include 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxodiazole, 2-trichloromethyl-5- (cyanostyryl) -1,3,4-oxodiazole, 2- Examples include trichloromethyl-5- (naphth-1-yl) -1,3,4-oxodiazole, 2-trichloromethyl-5- (4-styryl) styryl-1,3,4-oxodiazole, and the like. .

カルボニル化合物としては、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、2−メチルベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドトキシ−2−メチルフェニルプロパノン、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル−(p−イソプロピルフェニル)ケトン、1−ヒドロキシ−1−(p−ドデシルフェニル)ケトン、2−メチルー(4’−(メチルチオ)フェニル)−2−モルホリノ−1−プロパノン、1,1,1−トリクロロメチル−(p−ブチルフェニル)ケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノン等のアセトフェノン誘導体、チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、p−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体等を挙げることができる。   Examples of the carbonyl compound include benzophenone, Michler ketone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, 2-carboxybenzophenone and other benzophenone derivatives, 2,2-dimethoxy-2 -Phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenylketone, α-hydroxy-2-methylphenylpropanone, 1-hydroxy-1-methylethyl- (p-isopropylphenyl) ketone, 1-hydroxy -1- (p-dodecylphenyl) ketone, 2-methyl- (4 ′-(methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, 1,1,1-trichloromethyl- (p-butylphenyl) , Acetophenone derivatives such as 2-benzyl-2-dimethylamino-4-morpholinobutyrophenone, thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone Thioxanthone derivatives such as 2,4-diisopropylthioxanthone, and benzoic acid ester derivatives such as ethyl p-dimethylaminobenzoate and ethyl p-diethylaminobenzoate.

ケタール化合物としては、ベンジルメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルエチルアセタールなどを挙げることができる。   Examples of the ketal compound include benzyl methyl ketal and benzyl-β-methoxyethyl ethyl acetal.

ベンゾイン化合物としてはmベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルo−ベンゾイルベンゾエートなどを挙げることができる。   Examples of the benzoin compound include mbenzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin methyl ether, methyl o-benzoylbenzoate, and the like.

アクリジン化合物としては、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタンなどを挙げることができる。   Examples of the acridine compound include 9-phenylacridine, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, and the like.

有機過酸化化合物としては、例えば、トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、1,1−ビス(tert−ブチルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(tert−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、2,2−ビス(tert−ブチルパーオキシ)ブタン、tert−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、2,5−ジメチルヘキサン−2,5−ジハイドロパーオキサイド、1,1,3,3−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、tert−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ジ(tert−ブチルパーオキシ)ヘキサン、2,5−オキサノイルパーオキサイド、過酸化こはく酸、過酸化ベンゾイル、2,4−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジメトキシイソプロピルパーオキシカーボネート、ジ(3−メチル−3−メトキシブチル)パーオキシジカーボネート、tert−ブチルパーオキシアセテート、tert−ブチルパーオキシピバレート、tert−ブチルパーオキシネオデカノエート、tert−ブチルパーオキシオクタノエート、tert−ブチルパーオキシラウレート、ターシルカーボネート、3,3’,4,4’−テトラ−(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ−(t−ヘキシルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ−(p−イソプロピルクミルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、カルボニルジ(t−ブチルパーオキシ二水素二フタレート)、カルボニルジ(t−ヘキシルパーオキシ二水素二フタレート)等が挙げられる。   Examples of the organic peroxide compound include trimethylcyclohexanone peroxide, acetylacetone peroxide, 1,1-bis (tert-butylperoxy) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (tert-butylperoxide). Oxy) cyclohexane, 2,2-bis (tert-butylperoxy) butane, tert-butyl hydroperoxide, cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, 2,5-dimethylhexane-2,5-dihydroper Oxide, 1,1,3,3-tetramethylbutyl hydroperoxide, tert-butylcumyl peroxide, dicumyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (tert-butylperoxy) hexane, 2 , -Oxanoyl peroxide, succinic peroxide, benzoyl peroxide, 2,4-dichlorobenzoyl peroxide, diisopropyl peroxydicarbonate, di-2-ethylhexyl peroxydicarbonate, di-2-ethoxyethyl peroxydicarbonate , Dimethoxyisopropyl peroxycarbonate, di (3-methyl-3-methoxybutyl) peroxydicarbonate, tert-butyl peroxyacetate, tert-butyl peroxypivalate, tert-butyl peroxyneodecanoate, tert- Butyl peroxyoctanoate, tert-butyl peroxylaurate, tersyl carbonate, 3,3 ′, 4,4′-tetra- (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3 ′, 4 '-Tetra- (t-hexylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3', 4,4'-tetra- (p-isopropylcumylperoxycarbonyl) benzophenone, carbonyldi (t-butylperoxydihydrogen diphthalate) , Carbonyldi (t-hexylperoxydihydrogen diphthalate) and the like.

アゾ化合物としては、例えば、特開平8−108621号公報に記載のアゾ化合物等を挙げることができる。   Examples of the azo compound include azo compounds described in JP-A-8-108621.

クマリン化合物としては、例えば、3−メチル−5−アミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン、3−クロロ−5−ジエチルアミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン、3−ブチル−5−ジメチルアミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン等を挙げることができる。   Examples of the coumarin compound include 3-methyl-5-amino-((s-triazin-2-yl) amino) -3-phenylcoumarin, 3-chloro-5-diethylamino-((s-triazin-2-yl). ) Amino) -3-phenylcoumarin, 3-butyl-5-dimethylamino-((s-triazin-2-yl) amino) -3-phenylcoumarin, and the like.

アジド化合物としては、米国特許第2848328号明細書、米国特許第2852379号明細書ならびに米国特許第2940853号明細書に記載の有機アジド化合物、2,6−ビス(4−アジドベンジリデン)−4−エチルシクロヘキサノン(BAC−E)等が挙げられる。   Examples of the azide compound include organic azide compounds described in U.S. Pat. No. 2,848,328, U.S. Pat. No. 2,852,379 and U.S. Pat. No. 2,940,553, 2,6-bis (4-azidobenzylidene) -4-ethyl. And cyclohexanone (BAC-E).

メタロセン化合物としては、特開昭59−152396号公報、特開昭61−151197号公報、特開昭63−41484号公報、特開平2−249号公報、特開平2−4705号公報、特開平5−83588号公報記載の種々のチタノセン化合物、例えば、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−フェニル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4−ジ−フルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、特開平1−304453号公報、特開平1−152109号公報記載の鉄−アレーン錯体等が挙げられる。   Examples of the metallocene compound include JP-A-59-152396, JP-A-61-151197, JP-A-63-41484, JP-A-2-249, JP-A-2-4705, Various titanocene compounds described in JP-A-5-83588, such as di-cyclopentadienyl-Ti-bis-phenyl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-difluorophen-1-yl, di -Cyclopentadienyl-Ti-bis-2,4-di-fluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,4,6-trifluorophen-1-yl, di- Cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5,6-tetrafluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4,5,6-pentaful Lophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-difluorophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,4,6-trifluoropheny -1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5,6-tetrafluorophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4 , 5,6-pentafluorophen-1-yl, iron-arene complexes described in JP-A-1-304453 and JP-A-1-152109, and the like.

ビイミダゾール系化合物としては、例えば、ヘキサアリールビイミダゾール化合物(ロフィンダイマー系化合物)等が好ましい。
ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、特公昭45−37377号公報、特公昭44−86516号公報記載のロフィンダイマー類、特公平6−29285号公報、米国特許第3,479,185号、同第4,311,783号、同第4,622,286号等の各明細書に記載の種々の化合物、具体的には、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ブロモフェニル))4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o,p−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(m−メトキシフェニル)ビイジダゾール、2,2’−ビス(o,o’−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ニトロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−トリフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール等が挙げられる。
As the biimidazole compound, for example, a hexaarylbiimidazole compound (rophine dimer compound) is preferable.
Examples of the hexaarylbiimidazole compound include lophine dimers described in JP-B-45-37377 and JP-B-44-86516, JP-B-6-29285, U.S. Pat. No. 3,479,185, and the like. Various compounds described in each specification such as 4,311,783 and 4,622,286, specifically, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-bromophenyl)) 4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o, p-dichlorophenyl) ) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (m-methoxyphenyl) vididazole, 2, 2'-bis (o , O′-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-nitrophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-methylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-trifluorophenyl) -4,4 ′, 5,5 Examples include '-tetraphenylbiimidazole.

有機ホウ酸塩化合物としては、例えば、特開昭62−143044号、特開昭62−150242号、特開平9−188685号、特開平9−188686号、特開平9−188710号、特開2000−131837、特開2002−107916、特許第2764769号、特願2000−310808号、等の各公報、及び、Kunz,Martin“Rad Tech’98.Proceeding April 19−22,1998,Chicago”等に記載される有機ホウ酸塩、特開平6−157623号公報、特開平6−175564号公報、特開平6−175561号公報に記載の有機ホウ素スルホニウム錯体或いは有機ホウ素オキソスルホニウム錯体、特開平6−175554号公報、特開平6−175553号公報に記載の有機ホウ素ヨードニウム錯体、特開平9−188710号公報に記載の有機ホウ素ホスホニウム錯体、特開平6−348011号公報、特開平7−128785号公報、特開平7−140589号公報、特開平7−306527号公報、特開平7−292014号公報等の有機ホウ素遷移金属配位錯体等が具体例として挙げられる。   Examples of the organic borate compound include JP-A-62-143044, JP-A-62-1050242, JP-A-9-188585, JP-A-9-188686, JP-A-9-188710, JP-A-2000. -131837, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-107916, Japanese Patent No. 2764769, Japanese Patent Application No. 2000-310808, etc., and Kunz, Martin “Rad Tech '98. Proceeding April 19-22, 1998, Chicago”. Organoboron salts described in JP-A-6-157623, JP-A-6-175564, JP-A-6-175561, JP-A-6-175554 In Japanese Patent Laid-Open No. 6-175553 Organoboron iodonium complexes, organoboron phosphonium complexes described in JP-A-9-188710, JP-A-6-348011, JP-A-7-128785, JP-A-7-140589, JP-A-7- Specific examples include organoboron transition metal coordination complexes such as those described in Japanese Patent No. 306527 and Japanese Patent Laid-Open No. 7-292014.

ジスルホン化合物としては、特開昭61−166544号公報、特願2001−132318号明細書等に記載される化合物等が挙げられる。   Examples of the disulfone compound include compounds described in JP-A No. 61-166544 and Japanese Patent Application No. 2001-132318.

オキシムエステル化合物としては、J.C.S. Perkin II (1979 )1653−1660)、J.C.S. Perkin II (1979)156−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995)202−232、特開2000−66385号公報記載の化合物、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報記載の化合物等が挙げられる。   Examples of oxime ester compounds include J.M. C. S. Perkin II (1979) 1653-1660), J. MoI. C. S. Perkin II (1979) 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) 202-232, JP-A 2000-66385, compounds described in JP-A 2000-80068, JP-T 2004-534797 Compounds and the like.

光重合開始剤としてのオキシム化合物は、感度、経時安定性、後加熱時の着色の観点から下記式(3)で表される化合物がより好ましい。   The oxime compound as the photopolymerization initiator is more preferably a compound represented by the following formula (3) from the viewpoints of sensitivity, temporal stability, and coloring during post-heating.

式(3)中、R及びXは各々独立に一価の置換基を表し、Aは二価の有機基を表し、Arはアリール基を表す。nは1〜5の整数である。   In formula (3), R and X each independently represent a monovalent substituent, A represents a divalent organic group, and Ar represents an aryl group. n is an integer of 1-5.

前記Rで表される一価の置換基としては、以下に示す一価の非金属原子団であることが好ましい。
Rで表される一価の非金属原子団としては、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルケニル基、置換基を有してもよいアルキニル基、置換基を有してもよいアルキルスルフィニル基、置換基を有してもよいアリールスルフィニル基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基、置換基を有してもよいアシル基、置換基を有してもよいアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいアリールオキシカルボニル基、置換基を有してもよいホスフィノイル基、置換基を有してもよい複素環基、置換基を有してもよいアルキルチオカルボニル基、置換基を有してもよいアリールチオカルボニル基、置換基を有してもよいジアルキルアミノカルボニル基、置換基を有してもよいジアルキルアミノチオカルボニル基等が挙げられる。
The monovalent substituent represented by R is preferably a monovalent nonmetallic atomic group shown below.
Examples of the monovalent nonmetallic atomic group represented by R include an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, an alkenyl group which may have a substituent, and a substituent. An alkynyl group which may have a substituent, an alkylsulfinyl group which may have a substituent, an arylsulfinyl group which may have a substituent, an alkylsulfonyl group which may have a substituent, and a substituent An arylsulfonyl group which may have a substituent, an acyl group which may have a substituent, an alkoxycarbonyl group which may have a substituent, an aryloxycarbonyl group which may have a substituent, and a substituent. Good phosphinoyl group, heterocyclic group which may have a substituent, alkylthiocarbonyl group which may have a substituent, arylthiocarbonyl group which may have a substituent, dialkyl which may have a substituent Aminocal Group, optionally dialkylaminothiocarbonyl group, or the like may have a substituent.

置換基を有してもよいアルキル基としては、炭素数1〜30のアルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、オクダデシル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、1−エチルペンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、トリフルオロメチル基、2−エチルヘキシル基、フェナシル基、1−ナフトイルメチル基、2−ナフトイルメチル基、4−メチルスルファニルフェナシル基、4−フェニルスルファニルフェナシル基、4−ジメチルアミノフェナシル基、4−シアノフェナシル基、4−メチルフェナシル基、2−メチルフェナシル基、3−フルオロフェナシル基、3−トリフルオロメチルフェナシル基、3−ニトロフェナシル基等が挙げられる。   As the alkyl group which may have a substituent, an alkyl group having 1 to 30 carbon atoms is preferable, for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, hexyl group, octyl group, decyl group, dodecyl group, Okudadecyl group, isopropyl group, isobutyl group, sec-butyl group, t-butyl group, 1-ethylpentyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, trifluoromethyl group, 2-ethylhexyl group, phenacyl group, 1-naphthoylmethyl group 2-naphthoylmethyl group, 4-methylsulfanylphenacyl group, 4-phenylsulfanylphenacyl group, 4-dimethylaminophenacyl group, 4-cyanophenacyl group, 4-methylphenacyl group, 2-methylphenacyl group , 3-fluorophenacyl group, 3-trifluoromethylphenacyl group, 3-nitro Enashiru group, and the like.

置換基を有してもよいアリール基としては、炭素数6〜30のアリール基が好ましく、フェニル基、ビフェニル基、1−ナフチル基、2−ナフチル基、9−アンスリル基、9−フェナントリル基、1−ピレニル基、5−ナフタセニル基、1−インデニル基、2−アズレニル基、9−フルオレニル基、ターフェニル基、クオーターフェニル基、o−、m−、及びp−トリル基、キシリル基、o−、m−、及びp−クメニル基、メシチル基、ペンタレニル基、ビナフタレニル基、ターナフタレニル基、クオーターナフタレニル基、ヘプタレニル基、ビフェニレニル基、インダセニル基、フルオランテニル基、アセナフチレニル基、アセアントリレニル基、フェナレニル基、フルオレニル基、アントリル基、ビアントラセニル基、ターアントラセニル基、クオーターアントラセニル基、アントラキノリル基、フェナントリル基、トリフェニレニル基、ピレニル基、クリセニル基、ナフタセニル基、プレイアデニル基、ピセニル基、ペリレニル基、ペンタフェニル基、ペンタセニル基、テトラフェニレニル基、ヘキサフェニル基、ヘキサセニル基、ルビセニル基、コロネニル基、トリナフチレニル基、ヘプタフェニル基、ヘプタセニル基、ピラントレニル基、オバレニル基等が挙げられる。   As the aryl group which may have a substituent, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms is preferable, and a phenyl group, a biphenyl group, a 1-naphthyl group, a 2-naphthyl group, a 9-anthryl group, a 9-phenanthryl group, 1-pyrenyl group, 5-naphthacenyl group, 1-indenyl group, 2-azurenyl group, 9-fluorenyl group, terphenyl group, quarterphenyl group, o-, m-, and p-tolyl group, xylyl group, o- , M-, and p-cumenyl group, mesityl group, pentarenyl group, binaphthalenyl group, turnaphthalenyl group, quarternaphthalenyl group, heptaenyl group, biphenylenyl group, indacenyl group, fluoranthenyl group, acenaphthylenyl group, aceanthrylenyl group, Phenalenyl, fluorenyl, anthryl, bianthracenyl, teranthraceni Group, quarter anthracenyl group, anthraquinolyl group, phenanthryl group, triphenylenyl group, pyrenyl group, chrysenyl group, naphthacenyl group, preadenyl group, picenyl group, perylenyl group, pentaphenyl group, pentacenyl group, tetraphenylenyl group, hexa Examples thereof include a phenyl group, a hexacenyl group, a rubicenyl group, a coronenyl group, a trinaphthylenyl group, a heptaphenyl group, a heptacenyl group, a pyranthrenyl group, and an oberenyl group.

置換基を有してもよいアルケニル基としては、炭素数2以上10以下のアルケニル基が好ましく、例えば、ビニル基、アリル基、スチリル基等が挙げられる。   The alkenyl group which may have a substituent is preferably an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, and examples thereof include a vinyl group, an allyl group, and a styryl group.

置換基を有してもよいアルキニル基としては、炭素数2以上10以下のアルキニル基が好ましく、例えば、エチニル基、プロピニル基、プロパルギル基等が挙げられる。   The alkynyl group which may have a substituent is preferably an alkynyl group having 2 to 10 carbon atoms, and examples thereof include an ethynyl group, a propynyl group, and a propargyl group.

置換基を有してもよいアルキルスルフィニル基としては、炭素数1以上20以下のアルキルスルフィニル基が好ましく、例えば、メチルスルフィニル基、エチルスルフィニル基、プロピルスルフィニル基、イソプロピルスルフィニル基、ブチルスルフィニル基、ヘキシルスルフィニル基、シクロヘキシルスルフィニル基、オクチルスルフィニル基、2−エチルヘキシルスルフィニル基、デカノイルスルフィニル基、ドデカノイルスルフィニル基、オクタデカノイルスルフィニル基、シアノメチルスルフィニル基、メトキシメチルスルフィニル基等が挙げられる。   The alkylsulfinyl group which may have a substituent is preferably an alkylsulfinyl group having 1 to 20 carbon atoms, for example, methylsulfinyl group, ethylsulfinyl group, propylsulfinyl group, isopropylsulfinyl group, butylsulfinyl group, hexyl. Examples thereof include a sulfinyl group, a cyclohexylsulfinyl group, an octylsulfinyl group, a 2-ethylhexylsulfinyl group, a decanoylsulfinyl group, a dodecanoylsulfinyl group, an octadecanoylsulfinyl group, a cyanomethylsulfinyl group, and a methoxymethylsulfinyl group.

置換基を有してもよいアリールスルフィニル基としては、炭素数6以上30以下のアリールスルフィニル基が好ましく、例えば、フェニルスルフィニル基、1−ナフチルスルフィニル基、2−ナフチルスルフィニル基、2−クロロフェニルスルフィニル基、2−メチルフェニルスルフィニル基、2−メトキシフェニルスルフィニル基、2−ブトキシフェニルスルフィニル基、3−クロロフェニルスルフィニル基、3−トリフルオロメチルフェニルスルフィニル基、3−シアノフェニルスルフィニル基、3−ニトロフェニルスルフィニル基、4−フルオロフェニルスルフィニル基、4−シアノフェニルスルフィニル基、4−メトキシフェニルスルフィニル基、4−メチルスルファニルフェニルスルフィニル基、4−フェニルスルファニルフェニルスルフィニル基、4−ジメチルアミノフェニルスルフィニル基等が挙げられる。   The arylsulfinyl group which may have a substituent is preferably an arylsulfinyl group having 6 to 30 carbon atoms, for example, phenylsulfinyl group, 1-naphthylsulfinyl group, 2-naphthylsulfinyl group, 2-chlorophenylsulfinyl group. 2-methylphenylsulfinyl group, 2-methoxyphenylsulfinyl group, 2-butoxyphenylsulfinyl group, 3-chlorophenylsulfinyl group, 3-trifluoromethylphenylsulfinyl group, 3-cyanophenylsulfinyl group, 3-nitrophenylsulfinyl group 4-fluorophenylsulfinyl group, 4-cyanophenylsulfinyl group, 4-methoxyphenylsulfinyl group, 4-methylsulfanylphenylsulfinyl group, 4-phenylsulfanylphenyl Sulfinyl group, 4-dimethylaminophenyl sulfinyl group and the like.

置換基を有してもよいアルキルスルホニル基としては、炭素数1以上20以下のアルキルスルホニル基が好ましく、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、イソプロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、シクロヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、2−エチルヘキシルスルホニル基、デカノイルスルホニル基、ドデカノイルスルホニル基、オクタデカノイルスルホニル基、シアノメチルスルホニル基、メトキシメチルスルホニル基、パーフルオロアルキルスルホニル基等が挙げられる。   The alkylsulfonyl group which may have a substituent is preferably an alkylsulfonyl group having 1 to 20 carbon atoms, such as methylsulfonyl group, ethylsulfonyl group, propylsulfonyl group, isopropylsulfonyl group, butylsulfonyl group, hexyl. Sulfonyl group, cyclohexylsulfonyl group, octylsulfonyl group, 2-ethylhexylsulfonyl group, decanoylsulfonyl group, dodecanoylsulfonyl group, octadecanoylsulfonyl group, cyanomethylsulfonyl group, methoxymethylsulfonyl group, perfluoroalkylsulfonyl group, etc. Can be mentioned.

置換基を有してもよいアリールスルホニル基としては、炭素数6以上30以下のアリールスルホニル基が好ましく、例えば、フェニルスルホニル基、1−ナフチルスルホニル基、2−ナフチルスルホニル基、2−クロロフェニルスルホニル基、2−メチルフェニルスルホニル基、2−メトキシフェニルスルホニル基、2−ブトキシフェニルスルホニル基、3−クロロフェニルスルホニル基、3−トリフルオロメチルフェニルスルホニル基、3−シアノフェニルスルホニル基、3−ニトロフェニルスルホニル基、4−フルオロフェニルスルホニル基、4−シアノフェニルスルホニル基、4−メトキシフェニルスルホニル基、4−メチルスルファニルフェニルスルホニル基、4−フェニルスルファニルフェニルスルホニル基、4−ジメチルアミノフェニルスルホニル基等が挙げられる。   The arylsulfonyl group which may have a substituent is preferably an arylsulfonyl group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenylsulfonyl group, a 1-naphthylsulfonyl group, a 2-naphthylsulfonyl group, and a 2-chlorophenylsulfonyl group. 2-methylphenylsulfonyl group, 2-methoxyphenylsulfonyl group, 2-butoxyphenylsulfonyl group, 3-chlorophenylsulfonyl group, 3-trifluoromethylphenylsulfonyl group, 3-cyanophenylsulfonyl group, 3-nitrophenylsulfonyl group 4-fluorophenylsulfonyl group, 4-cyanophenylsulfonyl group, 4-methoxyphenylsulfonyl group, 4-methylsulfanylphenylsulfonyl group, 4-phenylsulfanylphenylsulfonyl group, 4-dimethylamino Enirusuruhoniru group, and the like.

置換基を有してもよいアシル基としては、炭素数2以上20以下のアシル基が好ましく、例えば、アセチル基、プロパノイル基、ブタノイル基、トリフルオロメチルカルボニル基、ペンタノイル基、ベンゾイル基、1−ナフトイル基、2−ナフトイル基、4−メチルスルファニルベンゾイル基、4−フェニルスルファニルベンゾイル基、4−ジメチルアミノベンゾイル基、4−ジエチルアミノベンゾイル基、2−クロロベンゾイル基、2−メチルベンゾイル基、2−メトキシベンゾイル基、2−ブトキシベンゾイル基、3−クロロベンゾイル基、3−トリフルオロメチルベンゾイル基、3−シアノベンゾイル基、3−ニトロベンゾイル基、4−フルオロベンゾイル基、4−シアノベンゾイル基、4−メトキシベンゾイル基等が挙げられる。   The acyl group which may have a substituent is preferably an acyl group having 2 or more and 20 or less carbon atoms. For example, acetyl group, propanoyl group, butanoyl group, trifluoromethylcarbonyl group, pentanoyl group, benzoyl group, 1- Naphthoyl group, 2-naphthoyl group, 4-methylsulfanylbenzoyl group, 4-phenylsulfanylbenzoyl group, 4-dimethylaminobenzoyl group, 4-diethylaminobenzoyl group, 2-chlorobenzoyl group, 2-methylbenzoyl group, 2-methoxy Benzoyl group, 2-butoxybenzoyl group, 3-chlorobenzoyl group, 3-trifluoromethylbenzoyl group, 3-cyanobenzoyl group, 3-nitrobenzoyl group, 4-fluorobenzoyl group, 4-cyanobenzoyl group, 4-methoxy A benzoyl group etc. are mentioned.

置換基を有してもよいアルコキシカルボニル基としては、炭素数2以上20以下のアルコキシカルボニル基が好ましく、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、ヘキシルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、デシルオキシカルボニル基、オクタデシルオキシカルボニル基、トリフルオロメチルオキシカルボニル基等が挙げられる。   The alkoxycarbonyl group which may have a substituent is preferably an alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, such as a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, a propoxycarbonyl group, a butoxycarbonyl group, a hexyloxycarbonyl group, Examples include octyloxycarbonyl group, decyloxycarbonyl group, octadecyloxycarbonyl group, trifluoromethyloxycarbonyl group, and the like.

置換基を有してもよいアリールオキシカルボニル基としては、フェノキシカルボニル基、1−ナフチルオキシカルボニル基、2−ナフチルオキシカルボニル基、4−メチルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、4−フェニルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、4−ジメチルアミノフェニルオキシカルボニル基、4−ジエチルアミノフェニルオキシカルボニル基、2−クロロフェニルオキシカルボニル基、2−メチルフェニルオキシカルボニル基、2−メトキシフェニルオキシカルボニル基、2−ブトキシフェニルオキシカルボニル基、3−クロロフェニルオキシカルボニル基、3−トリフルオロメチルフェニルオキシカルボニル基、3−シアノフェニルオキシカルボニル基、3−ニトロフェニルオキシカルボニル基、4−フルオロフェニルオキシカルボニル基、4−シアノフェニルオキシカルボニル基、4−メトキシフェニルオキシカルボニル基等が挙げられる。   The aryloxycarbonyl group which may have a substituent includes a phenoxycarbonyl group, a 1-naphthyloxycarbonyl group, a 2-naphthyloxycarbonyl group, a 4-methylsulfanylphenyloxycarbonyl group, and a 4-phenylsulfanylphenyloxycarbonyl group. 4-dimethylaminophenyloxycarbonyl group, 4-diethylaminophenyloxycarbonyl group, 2-chlorophenyloxycarbonyl group, 2-methylphenyloxycarbonyl group, 2-methoxyphenyloxycarbonyl group, 2-butoxyphenyloxycarbonyl group, 3 -Chlorophenyloxycarbonyl group, 3-trifluoromethylphenyloxycarbonyl group, 3-cyanophenyloxycarbonyl group, 3-nitrophenyloxycarbonyl group, 4-fur B phenyloxycarbonyl group, 4-cyanophenyl oxycarbonyl group, and 4-methoxyphenyloxycarbonyl group.

置換基を有してもよいホスフィノイル基としては、総炭素数2以上50以下のホスフィノイル基が好ましく、例えば、ジメチルホスフィノイル基、ジエチルホスフィノイル基、ジプロピルホスフィノイル基、ジフェニルホスフィノイル基、ジメトキシホスフィノイル基、ジエトキシホスフィノイル基、ジベンゾイルホスフィノイル基、ビス(2,4,6−トリメチルフェニル)ホスフィノイル基等が挙げられる。   The phosphinoyl group which may have a substituent is preferably a phosphinoyl group having 2 to 50 carbon atoms in total, for example, dimethylphosphinoyl group, diethylphosphinoyl group, dipropylphosphinoyl group, diphenylphosphino group. Yl group, dimethoxyphosphinoyl group, diethoxyphosphinoyl group, dibenzoylphosphinoyl group, bis (2,4,6-trimethylphenyl) phosphinoyl group and the like.

置換基を有してもよい複素環基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、芳香族或いは脂肪族の複素環が好ましい。例えば、チエニル基、ベンゾ[b]チエニル基、ナフト[2,3−b]チエニル基、チアントレニル基、フリル基、ピラニル基、イソベンゾフラニル基、クロメニル基、キサンテニル基、フェノキサチイニル基、2H−ピロリル基、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、インドリジニル基、イソインドリル基、3H−インドリル基、インドリル基、1H−インダゾリル基、プリニル基、4H−キノリジニル基、イソキノリル基、キノリル基、フタラジニル基、ナフチリジニル基、キノキサニリル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、プテリジニル基、4aH−カルバゾリル基、カルバゾリル基、β−カルボリニル基、フェナントリジニル基、アクリジニル基、ペリミジニル基、フェナントロリニル基、フェナジニル基、フェナルサジニル基、イソチアゾリル基、フェノチアジニル基、イソキサゾリル基、フラザニル基、フェノキサジニル基、イソクロマニル基、クロマニル基、ピロリジニル基、ピロリニル基、イミダゾリジニル基、イミダゾリニル基、ピラゾリジニル基、ピラゾリニル基、ピペリジル基、ピペラジニル基、インドリニル基、イソインドリニル基、キヌクリジニル基、モルホリニル基、チオキサントリル基等が挙げられる。   The heterocyclic group that may have a substituent is preferably an aromatic or aliphatic heterocyclic ring containing a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom, or a phosphorus atom. For example, thienyl group, benzo [b] thienyl group, naphtho [2,3-b] thienyl group, thiantenyl group, furyl group, pyranyl group, isobenzofuranyl group, chromenyl group, xanthenyl group, phenoxathinyl group, 2H-pyrrolyl group, pyrrolyl group, imidazolyl group, pyrazolyl group, pyridyl group, pyrazinyl group, pyrimidinyl group, pyridazinyl group, indolizinyl group, isoindolyl group, 3H-indolyl group, indolyl group, 1H-indazolyl group, purinyl group, 4H- Quinolidinyl group, isoquinolyl group, quinolyl group, phthalazinyl group, naphthyridinyl group, quinoxanilyl group, quinazolinyl group, cinnolinyl group, pteridinyl group, 4aH-carbazolyl group, carbazolyl group, β-carbolinyl group, phenanthridinyl group, acridinyl group, perimidinyl group Nyl group, phenanthrolinyl group, phenazinyl group, phenalsadinyl group, isothiazolyl group, phenothiazinyl group, isoxazolyl group, furazanyl group, phenoxazinyl group, isochromanyl group, chromanyl group, pyrrolidinyl group, pyrrolinyl group, imidazolidinyl group, imidazolinyl group, pyrazolidinyl group Group, pyrazolinyl group, piperidyl group, piperazinyl group, indolinyl group, isoindolinyl group, quinuclidinyl group, morpholinyl group, thioxanthryl group and the like.

置換基を有してもよいアルキルチオカルボニル基としては、例えば、メチルチオカルボニル基、プロピルチオカルボニル基、ブチルチオカルボニル基、ヘキシルチオカルボニル基、オクチルチオカルボニル基、デシルチオカルボニル基、オクタデシルチオカルボニル基、トリフルオロメチルチオカルボニル基等が挙げられる。   Examples of the alkylthiocarbonyl group which may have a substituent include, for example, a methylthiocarbonyl group, a propylthiocarbonyl group, a butylthiocarbonyl group, a hexylthiocarbonyl group, an octylthiocarbonyl group, a decylthiocarbonyl group, an octadecylthiocarbonyl group, A trifluoromethylthiocarbonyl group etc. are mentioned.

置換基を有してもよいアリールチオカルボニル基としては、1−ナフチルチオカルボニル基、2−ナフチルチオカルボニル基、4−メチルスルファニルフェニルチオカルボニル基、4−フェニルスルファニルフェニルチオカルボニル基、4−ジメチルアミノフェニルチオカルボニル基、4−ジエチルアミノフェニルチオカルボニル基、2−クロロフェニルチオカルボニル基、2−メチルフェニルチオカルボニル基、2−メトキシフェニルチオカルボニル基、2−ブトキシフェニルチオカルボニル基、3−クロロフェニルチオカルボニル基、3−トリフルオロメチルフェニルチオカルボニル基、3−シアノフェニルチオカルボニル基、3−ニトロフェニルチオカルボニル基、4−フルオロフェニルチオカルボニル基、4−シアノフェニルチオカルボニル基、4−メトキシフェニルチオカルボニル基等が挙げられる。   Examples of the arylthiocarbonyl group which may have a substituent include 1-naphthylthiocarbonyl group, 2-naphthylthiocarbonyl group, 4-methylsulfanylphenylthiocarbonyl group, 4-phenylsulfanylphenylthiocarbonyl group, 4-dimethyl. Aminophenylthiocarbonyl group, 4-diethylaminophenylthiocarbonyl group, 2-chlorophenylthiocarbonyl group, 2-methylphenylthiocarbonyl group, 2-methoxyphenylthiocarbonyl group, 2-butoxyphenylthiocarbonyl group, 3-chlorophenylthiocarbonyl group Group, 3-trifluoromethylphenylthiocarbonyl group, 3-cyanophenylthiocarbonyl group, 3-nitrophenylthiocarbonyl group, 4-fluorophenylthiocarbonyl group, 4-cyanophenylthiocarbonyl group Boniru group, 4-methoxyphenyl thiocarbonyl group.

置換基を有してもよいジアルキルアミノカルボニル基としては、ジメチルアミノカルボニル基、ジメエルアミノカルボニル基、ジプロピルアミノカルボニル基、ジブチルアミノカルボニル基等が挙げられる。   Examples of the dialkylaminocarbonyl group that may have a substituent include a dimethylaminocarbonyl group, a dimethylaminocarbonyl group, a dipropylaminocarbonyl group, and a dibutylaminocarbonyl group.

置換基を有してもよいジアルキルアミノチオカルボニル基としては、ジメチルアミノチオカルボニル基、ジプロピルアミノチオカルボニル基、ジブチルアミノチオカルボニル基等が挙げられる。   Examples of the dialkylaminothiocarbonyl group which may have a substituent include a dimethylaminothiocarbonyl group, a dipropylaminothiocarbonyl group, and a dibutylaminothiocarbonyl group.

中でも、高感度化の点から、Rとしてはアシル基がより好ましく、具体的には、アセチル基、エチロイル基、プロピオイル基、ベンゾイル基、トルイル基が好ましい。   Among them, from the viewpoint of increasing sensitivity, R is more preferably an acyl group, and specifically, an acetyl group, an ethyloyl group, a propioyl group, a benzoyl group, and a toluyl group are preferable.

前記Aで表される二価の有機基としては、置換基を有してもよい炭素数1以上12以下のアルキレン、置換基を有してもよいシクロヘキシレン、置換基を有してもよいアルキニレンが挙げられる。
これらの基に導入しうる置換基としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン基、メトキシ基、エトキシ基、tert−ブトキシ基等のアルコキシ基、フェノキシ基、p−トリルオキシ基等のアリールオキシ基、メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアシルオキシ基、アセチル基、ベンゾイル基、イソブチリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メトキサリル基等のアシル基、メチルスルファニル基、tert−ブチルスルファニル基等のアルキルスルファニル基、フェニルスルファニル基、p−トリルスルファニル基等のアリールスルファニル基、メチルアミノ基、シクロヘキシルアミノ基等のアルキルアミノ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、モルホリノ基、ピペリジノ基等のジアルキルアミノ基、フェニルアミノ基、p−トリルアミノ基等のアリールアミノ基、メチル基、エチル基、tert−ブチル基、ドデシル基等のアルキル基、フェニル基、p−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基等のアリール基等の他、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ホルミル基、メルカプト基、スルホ基、メシル基、p−トルエンスルホニル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、トリフルオロメチル基、トリクロロメチル基、トリメチルシリル基、ホスフィニコ基、ホスホノ基、トリメチルアンモニウミル基、ジメチルスルホニウミル基、トリフェニルフェナシルホスホニウミル基等が挙げられる。
中でも、Aとしては、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、無置換のアルキレン基、アルキル基(例えば、メチル基、エチル基、tert−ブチル基、ドデシル基)で置換されたアルキレン基、アルケニル基(例えば、ビニル基、アリル基)で置換されたアルキレン基、アリール基(例えば、フェニル基、p−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基、スチリル基)で置換されたアルキレン基が好ましい。
Examples of the divalent organic group represented by A may include an alkylene having 1 to 12 carbon atoms which may have a substituent, cyclohexylene which may have a substituent, and a substituent. Alkynylene is mentioned.
Examples of the substituent that can be introduced into these groups include halogen groups such as fluorine atom, chlorine atom, bromine atom and iodine atom, alkoxy groups such as methoxy group, ethoxy group and tert-butoxy group, phenoxy group, p- Aryloxy groups such as tolyloxy group, alkoxycarbonyl groups such as methoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group, phenoxycarbonyl group, acyloxy groups such as acetoxy group, propionyloxy group, benzoyloxy group, acetyl group, benzoyl group, isobutyryl group, acryloyl group Group, acyl group such as methacryloyl group, methoxalyl group, methylsulfanyl group, alkylsulfanyl group such as tert-butylsulfanyl group, arylsulfanyl group such as phenylsulfanyl group, p-tolylsulfanyl group, methylamino group, Alkylamino groups such as hexylamino group, dimethylamino groups, diethylamino groups, morpholino groups, dialkylamino groups such as piperidino groups, phenylamino groups, arylamino groups such as p-tolylamino groups, methyl groups, ethyl groups, tert- In addition to alkyl groups such as butyl group and dodecyl group, phenyl groups, p-tolyl group, xylyl group, cumenyl group, naphthyl group, anthryl group, phenanthryl group and the like, hydroxy group, carboxy group, formyl group, mercapto Group, sulfo group, mesyl group, p-toluenesulfonyl group, amino group, nitro group, cyano group, trifluoromethyl group, trichloromethyl group, trimethylsilyl group, phosphinico group, phosphono group, trimethylammonium group, dimethylsulfonyl group Group, triphenylphenacylphos Niumiru group, and the like.
Among them, A is an alkylene substituted with an unsubstituted alkylene group or an alkyl group (for example, a methyl group, an ethyl group, a tert-butyl group, or a dodecyl group) from the viewpoint of increasing sensitivity and suppressing coloration due to heating. Group, alkylene group substituted with alkenyl group (for example, vinyl group, allyl group), aryl group (for example, phenyl group, p-tolyl group, xylyl group, cumenyl group, naphthyl group, anthryl group, phenanthryl group, styryl group) An alkylene group substituted with

前記Arで表されるアリール基としては、炭素数6以上30以下のアリール基が好ましく、また、置換基を有していてもよい。
具体的には、フェニル基、ビフェニル基、1−ナフチル基、2−ナフチル基、9−アンスリル基、9−フェナントリル基、1−ピレニル基、5−ナフタセニル基、1−インデニル基、2−アズレニル基、9−フルオレニル基、ターフェニル基、クオーターフェニル基、o−、m−、及びp−トリル基、キシリル基、o−、m−、及びp−クメニル基、メシチル基、ペンタレニル基、ビナフタレニル基、ターナフタレニル基、クオーターナフタレニル基、ヘプタレニル基、ビフェニレニル基、インダセニル基、フルオランテニル基、アセナフチレニル基、アセアントリレニル基、フェナレニル基、フルオレニル基、アントリル基、ビアントラセニル基、ターアントラセニル基、クオーターアントラセニル基、アントラキノリル基、フェナントリル基、トリフェニレニル基、ピレニル基、クリセニル基、ナフタセニル基、プレイアデニル基、ピセニル基、ペリレニル基、ペンタフェニル基、ペンタセニル基、テトラフェニレニル基、ヘキサフェニル基、ヘキサセニル基、ルビセニル基、コロネニル基、トリナフチレニル基、ヘプタフェニル基、ヘプタセニル基、ピラントレニル基、オバレニル基等が挙げられる。中でも、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、置換又は無置換のフェニル基が好ましい。
The aryl group represented by Ar is preferably an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, and may have a substituent.
Specifically, phenyl group, biphenyl group, 1-naphthyl group, 2-naphthyl group, 9-anthryl group, 9-phenanthryl group, 1-pyrenyl group, 5-naphthacenyl group, 1-indenyl group, 2-azurenyl group 9-fluorenyl group, terphenyl group, quarterphenyl group, o-, m-, and p-tolyl group, xylyl group, o-, m-, and p-cumenyl group, mesityl group, pentalenyl group, binaphthalenyl group, Turnaphthalenyl group, Quarter naphthalenyl group, Heptaenyl group, Biphenylenyl group, Indacenyl group, Fluoranthenyl group, Acenaphthylenyl group, Aceantrirenyl group, Phenalenyl group, Fluorenyl group, Anthryl group, Bianthracenyl group, Teranthracenyl group, Quarter Anthracenyl group, anthraquinolyl group, phenanthri Group, triphenylenyl group, pyrenyl group, chrysenyl group, naphthacenyl group, preadenyl group, picenyl group, perylenyl group, pentaphenyl group, pentacenyl group, tetraphenylenyl group, hexaphenyl group, hexacenyl group, rubicenyl group, coronenyl group, A trinaphthylenyl group, a heptaphenyl group, a heptacenyl group, a pyrantrenyl group, an obalenyl group, and the like can be given. Of these, a substituted or unsubstituted phenyl group is preferable from the viewpoint of increasing sensitivity and suppressing coloring due to heating.

上記フェニル基が置換基を有している場合、その置換基としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン基、メトキシ基、エトキシ基、tert−ブトキシ基等のアルコキシ基、フェノキシ基、p−トリルオキシ基等のアリールオキシ基、メチルチオキシ基、エチルチオキシ基、tert−ブチルチオキシ基等のアルキルチオキシ基、フェニルチオキシ基、p−トリルチオキシ基等のアリールチオオキシ基、メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアシルオキシ基、アセチル基、ベンゾイル基、イソブチリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メトキサリル基等のアシル基、メチルスルファニル基、tert−ブチルスルファニル基等のアルキルスルファニル基、フェニルスルファニル基、p−トリルスルファニル基等のアリールスルファニル基、メチルアミノ基、シクロヘキシルアミノ基等のアルキルアミノ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、モルホリノ基、ピペリジノ基等のジアルキルアミノ基、フェニルアミノ基、p−トリルアミノ基等のアリールアミノ基、エチル基、tert−ブチル基、ドデシル基等のアルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ホルミル基、メルカプト基、スルホ基、メシル基、p−トルエンスルホニル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、トリフルオロメチル基、トリクロロメチル基、トリメチルシリル基、ホスフィニコ基、ホスホノ基、トリメチルアンモニウミル基、ジメチルスルホニウミル基、トリフェニルフェナシルホスホニウミル基等が挙げられる。   When the phenyl group has a substituent, examples of the substituent include halogen groups such as fluorine atom, chlorine atom, bromine atom and iodine atom, alkoxy groups such as methoxy group, ethoxy group and tert-butoxy group. Group, aryloxy group such as phenoxy group, p-tolyloxy group, methylthioxy group, ethylthioxy group, alkylthioxy group such as tert-butylthioxy group, arylthiooxy group such as phenylthioxy group, p-tolyloxy group, methoxycarbonyl Groups, butoxycarbonyl groups, alkoxycarbonyl groups such as phenoxycarbonyl groups, acyloxy groups such as acetoxy groups, propionyloxy groups, benzoyloxy groups, acetyl groups, benzoyl groups, isobutyryl groups, acryloyl groups, methacryloyl groups, methoxalyl groups, etc. Group, Alkylsulfanyl groups such as tilsulfanyl group, tert-butylsulfanyl group, arylsulfanyl groups such as phenylsulfanyl group, p-tolylsulfanyl group, alkylamino groups such as methylamino group, cyclohexylamino group, dimethylamino group, diethylamino group, Dialkylamino groups such as morpholino group and piperidino group, arylamino groups such as phenylamino group and p-tolylamino group, alkyl groups such as ethyl group, tert-butyl group and dodecyl group, hydroxy group, carboxy group, formyl group, mercapto Group, sulfo group, mesyl group, p-toluenesulfonyl group, amino group, nitro group, cyano group, trifluoromethyl group, trichloromethyl group, trimethylsilyl group, phosphinico group, phosphono group, trimethylammonium group, di Chill sulfo Niu mill group, triphenyl phenacyl phosphonium Niu mill group, and the like.

一般式(3)においては、前記Arと隣接するSとで形成される「SAr」の構造が、以下に示す構造であることが感度の点で好ましい。   In the general formula (3), it is preferable in terms of sensitivity that the structure of “SAr” formed by Ar and adjacent S is the following structure.

前記Xで表される一価の置換基としては、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルケニル基、置換基を有してもよいアルキニル基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルチオキシ基、置換基を有してもよいアリールチオキシ基、置換基を有してもよいアシルオキシ基、置換基を有してもよいアルキルスルファニル基、置換基を有してもよいアリールスルファニル基、置換基を有してもよいアルキルスルフィニル基、置換基を有してもよいアリールスルフィニル基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基、置換基を有してもよいアシル基、置換基を有してもよいアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいカルバモイル基、置換基を有してもよいスルファモイル基、置換基を有してもよいアミノ基、置換基を有してもよいホスフィノイル基、置換基を有してもよい複素環基、ハロゲン基等が挙げられる。   Examples of the monovalent substituent represented by X include an alkyl group that may have a substituent, an aryl group that may have a substituent, an alkenyl group that may have a substituent, and a substituent. An alkynyl group which may have a substituent, an alkoxy group which may have a substituent, an aryloxy group which may have a substituent, an alkylthioxy group which may have a substituent, and a substituent. Good arylthioxy group, acyloxy group which may have a substituent, alkylsulfanyl group which may have a substituent, arylsulfanyl group which may have a substituent, alkyl which may have a substituent A sulfinyl group, an arylsulfinyl group which may have a substituent, an alkylsulfonyl group which may have a substituent, an arylsulfonyl group which may have a substituent, an acyl group which may have a substituent, May have a substituent An alkoxycarbonyl group, an optionally substituted carbamoyl group, an optionally substituted sulfamoyl group, an optionally substituted amino group, an optionally substituted phosphinoyl group, and a substituent A heterocyclic group, a halogen group and the like which may have

置換基を有してもよいアルキル基としては、炭素数1以上30以下のアルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、オクダデシル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、1−エチルペンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、トリフルオロメチル基、2−エチルヘキシル基、フェナシル基、1−ナフトイルメチル基、2−ナフトイルメチル基、4−メチルスルファニルフェナシル基、4−フェニルスルファニルフェナシル基、4−ジメチルアミノフェナシル基、4−シアノフェナシル基4−メチルフェナシル基、2−メチルフェナシル基、3−フルオロフェナシル基、3−トリフルオロメチルフェナシル基、3−ニトロフェナシル基等が挙げられる。   The alkyl group which may have a substituent is preferably an alkyl group having 1 to 30 carbon atoms, for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a hexyl group, an octyl group, a decyl group, or a dodecyl group. , Octadecyl group, isopropyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, 1-ethylpentyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, trifluoromethyl group, 2-ethylhexyl group, phenacyl group, 1-naphthoylmethyl Group, 2-naphthoylmethyl group, 4-methylsulfanylphenacyl group, 4-phenylsulfanylphenacyl group, 4-dimethylaminophenacyl group, 4-cyanophenacyl group 4-methylphenacyl group, 2-methylphenacyl group , 3-fluorophenacyl group, 3-trifluoromethylphenacyl group, - Nitorofenashiru group and the like.

置換基を有してもよいアリール基としては、炭素数6以上30以下のアリール基が好ましく、フェニル基、ビフェニル基、1−ナフチル基、2−ナフチル基、9−アンスリル基、9−フェナントリル基、1−ピレニル基、5−ナフタセニル基、1−インデニル基、2−アズレニル基、9−フルオレニル基、ターフェニル基、クオーターフェニル基、o−、m−、及びp−トリル基、キシリル基、o−、m−、及びp−クメニル基、メシチル基、ペンタレニル基、ビナフタレニル基、ターナフタレニル基、クオーターナフタレニル基、ヘプタレニル基、ビフェニレニル基、インダセニル基、フルオランテニル基、アセナフチレニル基、アセアントリレニル基、フェナレニル基、フルオレニル基、アントリル基、ビアントラセニル基、ターアントラセニル基、クオーターアントラセニル基、アントラキノリル基、フェナントリル基、トリフェニレニル基、ピレニル基、クリセニル基、ナフタセニル基、プレイアデニル基、ピセニル基、ペリレニル基、ペンタフェニル基、ペンタセニル基、テトラフェニレニル基、ヘキサフェニル基、ヘキサセニル基、ルビセニル基、コロネニル基、トリナフチレニル基、ヘプタフェニル基、ヘプタセニル基、ピラントレニル基、オバレニル基等がある。   The aryl group which may have a substituent is preferably an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, and includes a phenyl group, a biphenyl group, a 1-naphthyl group, a 2-naphthyl group, a 9-anthryl group, and a 9-phenanthryl group. 1-pyrenyl group, 5-naphthacenyl group, 1-indenyl group, 2-azurenyl group, 9-fluorenyl group, terphenyl group, quarterphenyl group, o-, m-, and p-tolyl group, xylyl group, o -, M-, and p-cumenyl, mesityl, pentarenyl, binaphthalenyl, tarnaphthalenyl, quarternaphthalenyl, heptaenyl, biphenylenyl, indacenyl, fluoranthenyl, acenaphthylenyl, aceanthrylenyl , Phenalenyl group, fluorenyl group, anthryl group, bianthracenyl group, tarant Senyl group, quarteranthracenyl group, anthraquinolyl group, phenanthryl group, triphenylenyl group, pyrenyl group, chrysenyl group, naphthacenyl group, preadenyl group, picenyl group, perylenyl group, pentaphenyl group, pentacenyl group, tetraphenylenyl group, Examples include a hexaphenyl group, a hexacenyl group, a ruvicenyl group, a coronenyl group, a trinaphthylenyl group, a heptaphenyl group, a heptacenyl group, a pyranthrenyl group, and an oberenyl group.

置換基を有してもよいアルケニル基としては、炭素数2以上10以下のアルケニル基が好ましく、例えば、ビニル基、アリル基、スチリル基等が挙げられる。   The alkenyl group which may have a substituent is preferably an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, and examples thereof include a vinyl group, an allyl group, and a styryl group.

置換基を有してもよいアルキニル基としては、炭素数2以上10以下のアルキニル基が好ましく、例えば、エチニル基、プロピニル基、プロパルギル基等が挙げられる。   The alkynyl group which may have a substituent is preferably an alkynyl group having 2 to 10 carbon atoms, and examples thereof include an ethynyl group, a propynyl group, and a propargyl group.

置換基を有してもよいアルコキシ基としては、炭素数1以上30以下のアルコキシ基が好ましく、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基、sec−ブトキシ基、tert−ブトキシ基、ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ヘキシルオキシキ、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、2−エチルヘキシルオキシ基、デシルオキシ基、ドデシルオキシ基、オクタデシルオキシ基、エトキシカルボニルメチル基、2−エチルヘキシルオキシカルボニルメチルオキシ基、アミノカルボニルメチルオキシ基、N,N−ジブチルアミノカルボニルメチルオキシ基、N−メチルアミノカルボニルメチルオキシ基、N−エチルアミノカルボニルメチルオキシ基、N−オクチルアミノカルボニルメチルオキシ基、N−メチル−N−ベンジルアミノカルボニルメチルオキシ基、ベンジルオキシ基、シアノメチルオキシ基等が挙げられる。   The alkoxy group which may have a substituent is preferably an alkoxy group having 1 to 30 carbon atoms, for example, methoxy group, ethoxy group, propyloxy group, isopropyloxy group, butoxy group, isobutoxy group, sec-butoxy group. Group, tert-butoxy group, pentyloxy group, isopentyloxy group, hexyloxy group, heptyloxy group, octyloxy group, 2-ethylhexyloxy group, decyloxy group, dodecyloxy group, octadecyloxy group, ethoxycarbonylmethyl group, 2-ethylhexyloxycarbonylmethyloxy group, aminocarbonylmethyloxy group, N, N-dibutylaminocarbonylmethyloxy group, N-methylaminocarbonylmethyloxy group, N-ethylaminocarbonylmethyloxy group, N-octylami Carbonyl methyl group, N- methyl -N- benzylaminocarbonyl methyloxy group, a benzyloxy group, and a cyanomethyloxy group.

置換基を有してもよいアリールオキシ基としては、炭素数6以上30以下のアリールオキシ基が好ましく、例えば、フェニルオキシ基、1−ナフチルオキシ基、2−ナフチルオキシ基、2−クロロフェニルオキシ基、2−メチルフェニルオキシ基、2−メトキシフェニルオキシ基、2−ブトキシフェニルオキシ基、3−クロロフェニルオキシ基、3−トリフルオロメチルフェニルオキシ基、3−シアノフェニルオキシ基、3−ニトロフェニルオキシ基、4−フルオロフェニルオキシ基、4−シアノフェニルオキシ基、4−メトキシフェニルオキシ基、4−ジメチルアミノフェニルオキシ基、4−メチルスルファニルフェニルオキシ基、4−フェニルスルファニルフェニルオキシ基等がある。   The aryloxy group which may have a substituent is preferably an aryloxy group having 6 to 30 carbon atoms, for example, a phenyloxy group, a 1-naphthyloxy group, a 2-naphthyloxy group, or a 2-chlorophenyloxy group. 2-methylphenyloxy group, 2-methoxyphenyloxy group, 2-butoxyphenyloxy group, 3-chlorophenyloxy group, 3-trifluoromethylphenyloxy group, 3-cyanophenyloxy group, 3-nitrophenyloxy group 4-fluorophenyloxy group, 4-cyanophenyloxy group, 4-methoxyphenyloxy group, 4-dimethylaminophenyloxy group, 4-methylsulfanylphenyloxy group, 4-phenylsulfanylphenyloxy group, and the like.

置換基を有してもよいアルキルチオキシ基としては、炭素数1以上30以下のチオアルコキシ基が好ましく、例えば、メチルチオキシ基、エチルチオキシ基、プロピルチオキシ基、イソプロピルチオキシ基、ブチルチオキシ基、イソブチルチオキシ基、sec−ブチルチオキシ基、tert−ブチルチオキシ基、ペンチルチオキシ基、イソペンチルチオキシ基、ヘキシルチオキシキ、ヘプチルチオキシ基、オクチルチオキシ基、2−エチルヘキシルチオキシ基、デシルチオキシ基、ドデシルチオキシ基、オクタデシルチオキシ基、ベンジルチオキシ基等が挙げられる。   The alkylthioxy group which may have a substituent is preferably a thioalkoxy group having 1 to 30 carbon atoms, such as methylthioxy group, ethylthioxy group, propylthioxy group, isopropylthioxy group, butylthioxy group, isobutyl. Thioxy group, sec-butylthioxy group, tert-butylthioxy group, pentylthioxy group, isopentylthioxy group, hexylthioxy, heptylthioxy group, octylthioxy group, 2-ethylhexylthioxy group, decylthioxy group, dodecyl Examples include a thioxy group, an octadecyl thioxy group, and a benzyl thioxy group.

置換基を有してもよいアリールチオキシ基としては、炭素数6以上30以下のアリールチオキシ基が好ましく、例えば、フェニルチオキシ基、1−ナフチルチオキシ基、2−ナフチルチオキシ基、2−クロロフェニルチオキシ基、2−メチルフェニルチオキシ基、2−メトキシフェニルチオキシ基、2−ブトキシフェニルチオキシ基、3−クロロフェニルチオキシ基、3−トリフルオロメチルフェニルチオキシ基、3−シアノフェニルチオキシ基、3−ニトロフェニルチオキシ基、4−フルオロフェニルチオキシ基、4−シアノフェニルチオキシ基、4−メトキシフェニルチオキシ基、4−ジメチルアミノフェニルチオキシ基、4−メチルスルファニルフェニルチオキシ基、4−フェニルスルファニルフェニルチオキシ基等がある。   The arylthioxy group which may have a substituent is preferably an arylthioxy group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenylthioxy group, a 1-naphthylthioxy group, a 2-naphthylthioxy group, 2-chlorophenylthioxy group, 2-methylphenylthioxy group, 2-methoxyphenylthioxy group, 2-butoxyphenylthioxy group, 3-chlorophenylthioxy group, 3-trifluoromethylphenylthioxy group, 3- Cyanophenylthioxy group, 3-nitrophenylthioxy group, 4-fluorophenylthioxy group, 4-cyanophenylthioxy group, 4-methoxyphenylthioxy group, 4-dimethylaminophenylthioxy group, 4-methyl Examples thereof include a sulfanylphenylthioxy group and a 4-phenylsulfanylphenylthioxy group.

置換基を有してもよいアシルオキシ基としては、炭素数2以上20以下のアシルオキシ基が好ましく、例えば、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ブタノイルオキシ基、ペンタノイルオキシ基、トリフルオロメチルカルボニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基、1−ナフチルカルボニルオキシ基、2−ナフチルカルボニルオキシ基等が挙げられる。   The acyloxy group which may have a substituent is preferably an acyloxy group having 2 to 20 carbon atoms, such as an acetyloxy group, a propanoyloxy group, a butanoyloxy group, a pentanoyloxy group, or trifluoromethylcarbonyl. Examples thereof include an oxy group, a benzoyloxy group, a 1-naphthylcarbonyloxy group, and a 2-naphthylcarbonyloxy group.

置換基を有してもよいアルキルスルファニル基としては、炭素数1以上20以下のアルキルスルファニル基が好ましく、例えば、メチルスルファニル基、エチルスルファニル基、プロピルスルファニル基、イソプロピルスルファニル基、ブチルスルファニル基、ヘキシルスルファニル基、シクロヘキシルスルファニル基、オクチルスルファニル基、2−エチルヘキシルスルファニル基、デカノイルスルファニル基、ドデカノイルスルファニル基、オクタデカノイルスルファニル基、シアノメチルスルファニル基、メトキシメチルスルファニル基等が挙げられる。   The alkylsulfanyl group which may have a substituent is preferably an alkylsulfanyl group having 1 to 20 carbon atoms, such as methylsulfanyl group, ethylsulfanyl group, propylsulfanyl group, isopropylsulfanyl group, butylsulfanyl group, hexyl. Examples include a sulfanyl group, a cyclohexylsulfanyl group, an octylsulfanyl group, a 2-ethylhexylsulfanyl group, a decanoylsulfanyl group, a dodecanoylsulfanyl group, an octadecanoylsulfanyl group, a cyanomethylsulfanyl group, and a methoxymethylsulfanyl group.

置換基を有してもよいアリールスルファニル基としては、炭素数6以上30以下のアリールスルファニル基が好ましく、例えば、フェニルスルファニル基、1−ナフチルスルファニル基、2−ナフチルスルファニル基、2−クロロフェニルスルファニル基、2−メチルフェニルスルファニル基、2−メトキシフェニルスルファニル基、2−ブトキシフェニルスルファニル基、3−クロロフェニルスルファニル基、3−トリフルオロメチルフェニルスルファニル基、3−シアノフェニルスルファニル基、3−ニトロフェニルスルファニル基、4−フルオロフェニルスルファニル基、4−シアノフェニルスルファニル基、4−メトキシフェニルスルファニル基、4−メチルスルファニルフェニルスルファニル基、4−フェニルスルファニルフェニルスルファニル基、4−ジメチルアミノフェニルスルファニル基等が挙げられる。   The arylsulfanyl group which may have a substituent is preferably an arylsulfanyl group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenylsulfanyl group, a 1-naphthylsulfanyl group, a 2-naphthylsulfanyl group, or a 2-chlorophenylsulfanyl group. 2-methylphenylsulfanyl group, 2-methoxyphenylsulfanyl group, 2-butoxyphenylsulfanyl group, 3-chlorophenylsulfanyl group, 3-trifluoromethylphenylsulfanyl group, 3-cyanophenylsulfanyl group, 3-nitrophenylsulfanyl group 4-fluorophenylsulfanyl group, 4-cyanophenylsulfanyl group, 4-methoxyphenylsulfanyl group, 4-methylsulfanylphenylsulfanyl group, 4-phenylsulfanylphenyl Sulfanyl group, 4-dimethylamino-phenylsulfanyl group and the like.

置換基を有してもよいアルキルスルフィニル基としては、炭素数1以上20以下のアルキルスルフィニル基が好ましく、例えば、メチルスルフィニル基、エチルスルフィニル基、プロピルスルフィニル基、イソプロピルスルフィニル基、ブチルスルフィニル基、ヘキシルスルフィニル基、シクロヘキシルスルフィニル基、オクチルスルフィニル基、2−エチルヘキシルスルフィニル基、デカノイルスルフィニル基、ドデカノイルスルフィニル基、オクタデカノイルスルフィニル基、シアノメチルスルフィニル基、メトキシメチルスルフィニル基等が挙げられる。   The alkylsulfinyl group which may have a substituent is preferably an alkylsulfinyl group having 1 to 20 carbon atoms, for example, methylsulfinyl group, ethylsulfinyl group, propylsulfinyl group, isopropylsulfinyl group, butylsulfinyl group, hexyl. Examples thereof include a sulfinyl group, a cyclohexylsulfinyl group, an octylsulfinyl group, a 2-ethylhexylsulfinyl group, a decanoylsulfinyl group, a dodecanoylsulfinyl group, an octadecanoylsulfinyl group, a cyanomethylsulfinyl group, and a methoxymethylsulfinyl group.

置換基を有してもよいアリールスルフィニル基としては、炭素数6以上30以下のアリールスルフィニル基が好ましく、例えば、フェニルスルフィニル基、1−ナフチルスルフィニル基、2−ナフチルスルフィニル基、2−クロロフェニルスルフィニル基、2−メチルフェニルスルフィニル基、2−メトキシフェニルスルフィニル基、2−ブトキシフェニルスルフィニル基、3−クロロフェニルスルフィニル基、3−トリフルオロメチルフェニルスルフィニル基、3−シアノフェニルスルフィニル基、3−ニトロフェニルスルフィニル基、4−フルオロフェニルスルフィニル基、4−シアノフェニルスルフィニル基、4−メトキシフェニルスルフィニル基、4−メチルスルファニルフェニルスルフィニル基、4−フェニルスルファニルフェニルスルフィニル基、4−ジメチルアミノフェニルスルフィニル基等が挙げられる。   The arylsulfinyl group which may have a substituent is preferably an arylsulfinyl group having 6 to 30 carbon atoms, for example, phenylsulfinyl group, 1-naphthylsulfinyl group, 2-naphthylsulfinyl group, 2-chlorophenylsulfinyl group. 2-methylphenylsulfinyl group, 2-methoxyphenylsulfinyl group, 2-butoxyphenylsulfinyl group, 3-chlorophenylsulfinyl group, 3-trifluoromethylphenylsulfinyl group, 3-cyanophenylsulfinyl group, 3-nitrophenylsulfinyl group 4-fluorophenylsulfinyl group, 4-cyanophenylsulfinyl group, 4-methoxyphenylsulfinyl group, 4-methylsulfanylphenylsulfinyl group, 4-phenylsulfanylphenyl Sulfinyl group, 4-dimethylaminophenyl sulfinyl group and the like.

置換基を有してもよいアルキルスルホニル基としては、炭素数1以上20以下のアルキルスルホニル基が好ましく、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、イソプロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、シクロヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、2−エチルヘキシルスルホニル基、デカノイルスルホニル基、ドデカノイルスルホニル基、オクタデカノイルスルホニル基、シアノメチルスルホニル基、メトキシメチルスルホニル基等が挙げられる。   The alkylsulfonyl group which may have a substituent is preferably an alkylsulfonyl group having 1 to 20 carbon atoms, for example, methylsulfonyl group, ethylsulfonyl group, propylsulfonyl group, isopropylsulfonyl group, butylsulfonyl group, hexyl. Examples include a sulfonyl group, a cyclohexylsulfonyl group, an octylsulfonyl group, a 2-ethylhexylsulfonyl group, a decanoylsulfonyl group, a dodecanoylsulfonyl group, an octadecanoylsulfonyl group, a cyanomethylsulfonyl group, and a methoxymethylsulfonyl group.

置換基を有してもよいアリールスルホニル基としては、炭素数6以上30以下のアリールスルホニル基が好ましく、例えば、フェニルスルホニル基、1−ナフチルスルホニル基、2−ナフチルスルホニル基、2−クロロフェニルスルホニル基、2−メチルフェニルスルホニル基、2−メトキシフェニルスルホニル基、2−ブトキシフェニルスルホニル基、3−クロロフェニルスルホニル基、3−トリフルオロメチルフェニルスルホニル基、3−シアノフェニルスルホニル基、3−ニトロフェニルスルホニル基、4−フルオロフェニルスルホニル基、4−シアノフェニルスルホニル基、4−メトキシフェニルスルホニル基、4−メチルスルファニルフェニルスルホニル基、4−フェニルスルファニルフェニルスルホニル基、4−ジメチルアミノフェニルスルホニル基等が挙げられる。   The arylsulfonyl group which may have a substituent is preferably an arylsulfonyl group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenylsulfonyl group, a 1-naphthylsulfonyl group, a 2-naphthylsulfonyl group, and a 2-chlorophenylsulfonyl group. 2-methylphenylsulfonyl group, 2-methoxyphenylsulfonyl group, 2-butoxyphenylsulfonyl group, 3-chlorophenylsulfonyl group, 3-trifluoromethylphenylsulfonyl group, 3-cyanophenylsulfonyl group, 3-nitrophenylsulfonyl group 4-fluorophenylsulfonyl group, 4-cyanophenylsulfonyl group, 4-methoxyphenylsulfonyl group, 4-methylsulfanylphenylsulfonyl group, 4-phenylsulfanylphenylsulfonyl group, 4-dimethylamino Enirusuruhoniru group, and the like.

置換基を有してもよいアシル基としては、炭素数2以上20以下のアシル基が好ましく、例えば、アセチル基、プロパノイル基、ブタノイル基、トリフルオロメチルカルボニル基、ペンタノイル基、ベンゾイル基、1−ナフトイル基、2−ナフトイル基、4−メチルスルファニルベンゾイル基、4−フェニルスルファニルベンゾイル基、4−ジメチルアミノベンゾイル基、4−ジエチルアミノベンゾイル基、2−クロロベンゾイル基、2−メチルベンゾイル基、2−メトキシベンゾイル基、2−ブトキシベンゾイル基、3−クロロベンゾイル基、3−トリフルオロメチルベンゾイル基、3−シアノベンゾイル基、3−ニトロベンゾイル基、4−フルオロベンゾイル基、4−シアノベンゾイル基、4−メトキシベンゾイル基等が挙げられる。   The acyl group which may have a substituent is preferably an acyl group having 2 or more and 20 or less carbon atoms. For example, acetyl group, propanoyl group, butanoyl group, trifluoromethylcarbonyl group, pentanoyl group, benzoyl group, 1- Naphthoyl group, 2-naphthoyl group, 4-methylsulfanylbenzoyl group, 4-phenylsulfanylbenzoyl group, 4-dimethylaminobenzoyl group, 4-diethylaminobenzoyl group, 2-chlorobenzoyl group, 2-methylbenzoyl group, 2-methoxy Benzoyl group, 2-butoxybenzoyl group, 3-chlorobenzoyl group, 3-trifluoromethylbenzoyl group, 3-cyanobenzoyl group, 3-nitrobenzoyl group, 4-fluorobenzoyl group, 4-cyanobenzoyl group, 4-methoxy A benzoyl group etc. are mentioned.

置換基を有してもよいアルコキシカルボニル基としては、炭素数2以上20以下のアルコキシカルボニル基が好ましく、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、ヘキシルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、デシルオキシカルボニル基、オクタデシルオキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、トリフルオロメチルオキシカルボニル基、1−ナフチルオキシカルボニル基、2−ナフチルオキシカルボニル基、4−メチルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、4−フェニルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、4−ジメチルアミノフェニルオキシカルボニル基、4−ジエチルアミノフェニルオキシカルボニル基、2−クロロフェニルオキシカルボニル基、2−メチルフェニルオキシカルボニル基、2−メトキシフェニルオキシカルボニル基、2−ブトキシフェニルオキシカルボニル基、3−クロロフェニルオキシカルボニル基、3−トリフルオロメチルフェニルオキシカルボニル基、3−シアノフェニルオキシカルボニル基、3−ニトロフェニルオキシカルボニル基、4−フルオロフェニルオキシカルボニル基、4−シアノフェニルオキシカルボニル基、4−メトキシフェニルオキシカルボニル基等が挙げられる。   The alkoxycarbonyl group which may have a substituent is preferably an alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, such as a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, a propoxycarbonyl group, a butoxycarbonyl group, a hexyloxycarbonyl group, Octyloxycarbonyl group, decyloxycarbonyl group, octadecyloxycarbonyl group, phenoxycarbonyl group, trifluoromethyloxycarbonyl group, 1-naphthyloxycarbonyl group, 2-naphthyloxycarbonyl group, 4-methylsulfanylphenyloxycarbonyl group, 4 -Phenylsulfanylphenyloxycarbonyl group, 4-dimethylaminophenyloxycarbonyl group, 4-diethylaminophenyloxycarbonyl group, 2-chlorophenyloxycarbonyl Bonyl group, 2-methylphenyloxycarbonyl group, 2-methoxyphenyloxycarbonyl group, 2-butoxyphenyloxycarbonyl group, 3-chlorophenyloxycarbonyl group, 3-trifluoromethylphenyloxycarbonyl group, 3-cyanophenyloxycarbonyl Group, 3-nitrophenyloxycarbonyl group, 4-fluorophenyloxycarbonyl group, 4-cyanophenyloxycarbonyl group, 4-methoxyphenyloxycarbonyl group and the like.

置換基を有してもよいカルバモイル基としては、総炭素数1以上30以下のカルバモイル基が好ましく、例えば、N−メチルカルバモイル基、N−エチルカルバモイル基、N−プロピルカルバモイル基、N−ブチルカルバモイル基、N−ヘキシルカルバモイル基、N−シクロヘキシルカルバモイル基、N−オクチルカルバモイル基、N−デシルカルバモイル基、N−オクタデシルカルバモイル基、N−フェニルカルバモイル基、N−2−メチルフェニルカルバモイル基、N−2−クロロフェニルカルバモイル基、N−2−イソプロポキシフェニルカルバモイル基、N−2−(2−エチルヘキシル)フェニルカルバモイル基、N−3−クロロフェニルカルバモイル基、N−3−ニトロフェニルカルバモイル基、N−3−シアノフェニルカルバモイル基、N−4−メトキシフェニルカルバモイル基、N−4−シアノフェニルカルバモイル基、N−4−メチルスルファニルフェニルカルバモイル基、N−4−フェニルスルファニルフェニルカルバモイル基、N−メチル−N−フェニルカルバモイル基、N、N−ジメチルカルバモイル基、N、N−ジブチルカルバモイル基、N、N−ジフェニルカルバモイル基等が挙げられる。   The carbamoyl group which may have a substituent is preferably a carbamoyl group having 1 to 30 carbon atoms in total, for example, N-methylcarbamoyl group, N-ethylcarbamoyl group, N-propylcarbamoyl group, N-butylcarbamoyl group. Group, N-hexylcarbamoyl group, N-cyclohexylcarbamoyl group, N-octylcarbamoyl group, N-decylcarbamoyl group, N-octadecylcarbamoyl group, N-phenylcarbamoyl group, N-2-methylphenylcarbamoyl group, N-2 -Chlorophenylcarbamoyl group, N-2-isopropoxyphenylcarbamoyl group, N-2- (2-ethylhexyl) phenylcarbamoyl group, N-3-chlorophenylcarbamoyl group, N-3-nitrophenylcarbamoyl group, N-3-cyano Phenylcarbamo Group, N-4-methoxyphenylcarbamoyl group, N-4-cyanophenylcarbamoyl group, N-4-methylsulfanylphenylcarbamoyl group, N-4-phenylsulfanylphenylcarbamoyl group, N-methyl-N-phenylcarbamoyl group N, N-dimethylcarbamoyl group, N, N-dibutylcarbamoyl group, N, N-diphenylcarbamoyl group and the like.

置換基を有してもよいスルファモイル基としては、総炭素数0以上30以下のスルファモイル基が好ましく、例えば、スルファモイル基、N−アルキルスルファモイル基、N−アリールスルファモイル基、N、N−ジアルキルスルファモイル基、N、N−ジアリールスルファモイル基、N−アルキル−N−アリールスルファモオイル基等が挙げられる。より具体的には、N−メチルスルファモイル基、N−エチルスルファモイル基、N−プロピルスルファモイル基、N−ブチルスルファモイル基、N−ヘキシルスルファモイル基、N−シクロヘキシルスルファモイル基、N−オクチルスルファモイル基、N−2−エチルヘキシルスルファモイル基、N−デシルスルファモイル基、N−オクタデシルスルファモイル基、N−フェニルスルファモイル基、N−2−メチルフェニルスルファモイル基、N−2−クロロフェニルスルファモイル基、N−2−メトキシフェニルスルファモイル基、N−2−イソプロポキシフェニルスルファモイル基、N−3−クロロフェニルスルファモイル基、N−3−ニトロフェニルスルファモイル基、N−3−シアノフェニルスルファモイル基、N−4−メトキシフェニルスルファモイル基、N−4−シアノフェニルスルファモイル基、N−4−ジメチルアミノフェニルスルファモイル基、N−4−メチルスルファニルフェニルスルファモイル基、N−4−フェニルスルファニルフェニルスルファモイル基、N−メチル−N−フェニルスルファモイル基、N,N−ジメチルスルファモイル基、N,N−ジブチルスルファモイル基、N,N−ジフェニルスルファモイル基等が挙げられる。   The sulfamoyl group which may have a substituent is preferably a sulfamoyl group having 0 to 30 carbon atoms in total, for example, sulfamoyl group, N-alkylsulfamoyl group, N-arylsulfamoyl group, N, N -Dialkylsulfamoyl group, N, N-diarylsulfamoyl group, N-alkyl-N-arylsulfamoyl group and the like can be mentioned. More specifically, N-methylsulfamoyl group, N-ethylsulfamoyl group, N-propylsulfamoyl group, N-butylsulfamoyl group, N-hexylsulfamoyl group, N-cyclohexylsulfur group. Famoyl group, N-octylsulfamoyl group, N-2-ethylhexylsulfamoyl group, N-decylsulfamoyl group, N-octadecylsulfamoyl group, N-phenylsulfamoyl group, N-2- Methylphenylsulfamoyl group, N-2-chlorophenylsulfamoyl group, N-2-methoxyphenylsulfamoyl group, N-2-isopropoxyphenylsulfamoyl group, N-3-chlorophenylsulfamoyl group, N-3-nitrophenylsulfamoyl group, N-3-cyanophenylsulfamoyl group, N-4-methoxyphenyl Nylsulfamoyl group, N-4-cyanophenylsulfamoyl group, N-4-dimethylaminophenylsulfamoyl group, N-4-methylsulfanylphenylsulfamoyl group, N-4-phenylsulfanylphenylsulfamoyl Group, N-methyl-N-phenylsulfamoyl group, N, N-dimethylsulfamoyl group, N, N-dibutylsulfamoyl group, N, N-diphenylsulfamoyl group and the like.

置換基を有してもよいアミノ基としては、総炭素数0以上50以下のアミノ基が好ましく、例えば、−NH、N−アルキルアミノ基、N−アリールアミノ基、N−アシルアミノ基、N−スルホニルアミノ基、N,N−ジアルキルアミノ基、N,N−ジアリールアミノ基、N−アルキル−N−アリールアミノ基、N、N−ジスルホニルアミノ基等が挙げられる。より具体的には、N−メチルアミノ基、N−エチルアミノ基、N−プロピルアミノ基、N−イソプロピルアミノ基、N−ブチルアミノ基、N−tert―ブチルアミノ基、N−ヘキシルアミノ基、N−シクロヘキシルアミノ基、N−オクチルアミノ基、N−2−エチルヘキシルアミノ基、N−デシルアミノ基、N−オクタデシルアミノ基、N−ベンジルアミノ基、N−フェニルアミノ基、N−2−メチルフェニルアミノ基、N−2−クロロフェニルアミノ基、N−2−メトキシフェニルアミノ基、N−2−イソプロポキシフェニルアミノ基、N−2−(2−エチルヘキシル)フェニルアミノ基、N−3−クロロフェニルアミノ基、N−3−ニトロフェニルアミノ基、N−3−シアノフェニルアミノ基、N−3−トリフルオロメチルフェニルアミノ基、N−4−メトキシフェニルアミノ基、N−4−シアノフェニルアミノ基、N−4−トリフルオロメチルフェニルアミノ基、N−4−メチルスルファニルフェニルアミノ基、N−4−フェニルスルファニルフェニルアミノ基、N−4−ジメチルアミノフェニルアミノ基、N−メチル−N−フェニルアミノ基、N、N−ジメチルアミノ基、N、N−ジエチルアミノ基、N、N−ジブチルアミノ基、N、N−ジフェニルアミノ基、N、N−ジアセチルアミノ基、N、N−ジベンゾイルアミノ基、N、N−(ジブチルカルボニル)アミノ基、N、N−(ジメチルスルホニル)アミノ基、N、N−(ジエチルスルホニル)アミノ基、N、N−(ジブチルスルホニル)アミノ基、N、N−(ジフェニルスルホニル)アミノ基、モルホリノ基、3,5−ジメチルモルホリノ基、カルバゾール基等が挙げられる。 The amino group which may have a substituent is preferably an amino group having 0 to 50 carbon atoms in total, for example, —NH 2 , N-alkylamino group, N-arylamino group, N-acylamino group, N -Sulfonylamino group, N, N-dialkylamino group, N, N-diarylamino group, N-alkyl-N-arylamino group, N, N-disulfonylamino group and the like can be mentioned. More specifically, N-methylamino group, N-ethylamino group, N-propylamino group, N-isopropylamino group, N-butylamino group, N-tert-butylamino group, N-hexylamino group, N-cyclohexylamino group, N-octylamino group, N-2-ethylhexylamino group, N-decylamino group, N-octadecylamino group, N-benzylamino group, N-phenylamino group, N-2-methylphenylamino Group, N-2-chlorophenylamino group, N-2-methoxyphenylamino group, N-2-isopropoxyphenylamino group, N-2- (2-ethylhexyl) phenylamino group, N-3-chlorophenylamino group, N-3-nitrophenylamino group, N-3-cyanophenylamino group, N-3-trifluoromethylphenyla Group, N-4-methoxyphenylamino group, N-4-cyanophenylamino group, N-4-trifluoromethylphenylamino group, N-4-methylsulfanylphenylamino group, N-4-phenylsulfanylphenylamino Group, N-4-dimethylaminophenylamino group, N-methyl-N-phenylamino group, N, N-dimethylamino group, N, N-diethylamino group, N, N-dibutylamino group, N, N-diphenyl Amino group, N, N-diacetylamino group, N, N-dibenzoylamino group, N, N- (dibutylcarbonyl) amino group, N, N- (dimethylsulfonyl) amino group, N, N- (diethylsulfonyl) Amino group, N, N- (dibutylsulfonyl) amino group, N, N- (diphenylsulfonyl) amino group, morpholino group, 3, - dimethyl morpholino group, and a carbazolyl group.

置換基を有してもよいホスフィノイル基としては、総炭素数2以上50以下のホスフィノイル基が好ましく、例えば、ジメチルホスフィノイル基、ジエチルホスフィノイル基、ジプロピルホスフィノイル基、ジフェニルホスフィノイル基、ジメトキシホスフィノイル基、ジエトキシホスフィノイル基、ジベンゾイルホスフィノイル基、ビス(2,4,6−トリメチルフェニル)ホスフィノイル基等が挙げられる。   The phosphinoyl group which may have a substituent is preferably a phosphinoyl group having 2 to 50 carbon atoms in total, for example, dimethylphosphinoyl group, diethylphosphinoyl group, dipropylphosphinoyl group, diphenylphosphino group. Yl group, dimethoxyphosphinoyl group, diethoxyphosphinoyl group, dibenzoylphosphinoyl group, bis (2,4,6-trimethylphenyl) phosphinoyl group and the like.

置換基を有してもよい複素環基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、芳香族或いは脂肪族の複素環が好ましい。例えば、チエニル基、ベンゾ[b]チエニル基、ナフト[2,3−b]チエニル基、チアントレニル基、フリル基、ピラニル基、イソベンゾフラニル基、クロメニル基、キサンテニル基、フェノキサチイニル基、2H−ピロリル基、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、インドリジニル基、イソインドリル基、3H−インドリル基、インドリル基、1H−インダゾリル基、プリニル基、4H−キノリジニル基、イソキノリル基、キノリル基、フタラジニル基、ナフチリジニル基、キノキサニリル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、プテリジニル基、4aH−カルバゾリル基、カルバゾリル基、β−カルボリニル基、フェナントリジニル基、アクリジニル基、ペリミジニル基、フェナントロリニル基、フェナジニル基、フェナルサジニル基、イソチアゾリル基、フェノチアジニル基、イソキサゾリル基、フラザニル基、フェノキサジニル基、イソクロマニル基、クロマニル基、ピロリジニル基、ピロリニル基、イミダゾリジニル基、イミダゾリニル基、ピラゾリジニル基、ピラゾリニル基、ピペリジル基、ピペラジニル基、インドリニル基、イソインドリニル基、キヌクリジニル基、モルホリニル基、チオキサントリル基等がある。   The heterocyclic group that may have a substituent is preferably an aromatic or aliphatic heterocyclic ring containing a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom, or a phosphorus atom. For example, thienyl group, benzo [b] thienyl group, naphtho [2,3-b] thienyl group, thiantenyl group, furyl group, pyranyl group, isobenzofuranyl group, chromenyl group, xanthenyl group, phenoxathinyl group, 2H-pyrrolyl group, pyrrolyl group, imidazolyl group, pyrazolyl group, pyridyl group, pyrazinyl group, pyrimidinyl group, pyridazinyl group, indolizinyl group, isoindolyl group, 3H-indolyl group, indolyl group, 1H-indazolyl group, purinyl group, 4H- Quinolidinyl group, isoquinolyl group, quinolyl group, phthalazinyl group, naphthyridinyl group, quinoxanilyl group, quinazolinyl group, cinnolinyl group, pteridinyl group, 4aH-carbazolyl group, carbazolyl group, β-carbolinyl group, phenanthridinyl group, acridinyl group, perimidinyl group Nyl group, phenanthrolinyl group, phenazinyl group, phenalsadinyl group, isothiazolyl group, phenothiazinyl group, isoxazolyl group, furazanyl group, phenoxazinyl group, isochromanyl group, chromanyl group, pyrrolidinyl group, pyrrolinyl group, imidazolidinyl group, imidazolinyl group, pyrazolidinyl group Group, pyrazolinyl group, piperidyl group, piperazinyl group, indolinyl group, isoindolinyl group, quinuclidinyl group, morpholinyl group, thioxanthryl group and the like.

ハロゲン基としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等がある。   Examples of the halogen group include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.

更に、前述した置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルケニル基、置換基を有してもよいアルキニル基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルチオキシ基、置換基を有してもよいアリールチオキシ基、置換基を有してもよいアシルオキシ基、置換基を有してもよいアルキルスルファニル基、置換基を有してもよいアリールスルファニル基、置換基を有してもよいアルキルスルフィニル基、置換基を有してもよいアリールスルフィニル基、置換基を有してもよいアルキルスルホニル基、置換基を有してもよいアリールスルホニル基、置換基を有してもよいアシル基、置換基を有してもよいアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいカルバモイル基、置換基を有してもよいスルファモイル基、置換基を有してもよいアミノ基、置換基を有してもよい複素環基は、更に他の置換基で置換されていてもよい。   Furthermore, the alkyl group which may have a substituent mentioned above, the aryl group which may have a substituent, the alkenyl group which may have a substituent, the alkynyl group which may have a substituent, a substituent An alkoxy group that may have a substituent, an aryloxy group that may have a substituent, an alkylthioxy group that may have a substituent, an arylthioxy group that may have a substituent, and a substituent. An acyloxy group which may have a substituent, an alkylsulfanyl group which may have a substituent, an arylsulfanyl group which may have a substituent, an alkylsulfinyl group which may have a substituent, and a substituent. Good arylsulfinyl group, alkylsulfonyl group which may have a substituent, arylsulfonyl group which may have a substituent, acyl group which may have a substituent, alkoxycarbonyl which may have a substituent Base The carbamoyl group which may have a substituent, the sulfamoyl group which may have a substituent, the amino group which may have a substituent, and the heterocyclic group which may have a substituent may be further substituted. It may be substituted with a group.

そのような置換基としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン基、メトキシ基、エトキシ基、tert−ブトキシ基等のアルコキシ基、フェノキシ基、p−トリルオキシ基等のアリールオキシ基、メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアシルオキシ基、アセチル基、ベンゾイル基、イソブチリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メトキサリル基等のアシル基、メチルスルファニル基、tert−ブチルスルファニル基等のアルキルスルファニル基、フェニルスルファニル基、p−トリルスルファニル基等のアリールスルファニル基、メチルアミノ基、シクロヘキシルアミノ基等のアルキルアミノ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、モルホリノ基、ピペリジノ基等のジアルキルアミノ基、フェニルアミノ基、p−トリルアミノ基等のアリールアミノ基、メチル基、エチル基、tert−ブチル基、ドデシル基等のアルキル基、フェニル基、p−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基等のアリール基等の他、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ホルミル基、メルカプト基、スルホ基、メシル基、p−トルエンスルホニル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、トリフルオロメチル基、トリクロロメチル基、トリメチルシリル基、ホスフィニコ基、ホスホノ基、トリメチルアンモニウミル基、ジメチルスルホニウミル基、トリフェニルフェナシルホスホニウミル基等が挙げられる。   Examples of such a substituent include halogen groups such as fluorine atom, chlorine atom, bromine atom and iodine atom, alkoxy groups such as methoxy group, ethoxy group and tert-butoxy group, phenoxy group and p-tolyloxy group. Aryloxy group, alkoxycarbonyl group such as methoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group, phenoxycarbonyl group, acyloxy group such as acetoxy group, propionyloxy group, benzoyloxy group, acetyl group, benzoyl group, isobutyryl group, acryloyl group, methacryloyl group , Acyl group such as methoxalyl group, alkylsulfanyl group such as methylsulfanyl group, tert-butylsulfanyl group, arylsulfanyl group such as phenylsulfanyl group, p-tolylsulfanyl group, methylamino group, cyclohexyl Alkylamino group such as mino group, dimethylamino group, diethylamino group, morpholino group, dialkylamino group such as piperidino group, arylamino group such as phenylamino group, p-tolylamino group, methyl group, ethyl group, tert-butyl group In addition to alkyl groups such as dodecyl group, phenyl groups, p-tolyl groups, xylyl groups, cumenyl groups, naphthyl groups, anthryl groups, phenanthryl groups, etc., hydroxy groups, carboxy groups, formyl groups, mercapto groups, Sulfo group, mesyl group, p-toluenesulfonyl group, amino group, nitro group, cyano group, trifluoromethyl group, trichloromethyl group, trimethylsilyl group, phosphinico group, phosphono group, trimethylammonium group, dimethylsulfonyl group, Triphenylphenacylphosphoniumyl group And the like.

これらの中でも、Xとしては、溶剤溶解性と長波長領域の吸収効率向上の点から、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいアルケニル基、置換基を有してもよいアルキニル基、置換基を有してもよいアルコキシ基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルチオキシ基、置換基を有してもよいアリールチオキシ基、置換基を有してもよいアミノ基が好ましい。
また、一般式(3)におけるnは0〜5の整数を表すが、0〜2の整数が好ましい。
Among these, X has an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, and a substituent from the viewpoint of improving solvent solubility and absorption efficiency in the long wavelength region. An alkenyl group which may have a substituent, an alkynyl group which may have a substituent, an alkoxy group which may have a substituent, an aryloxy group which may have a substituent, an alkylthioxy which may have a substituent A group, an arylthioxy group which may have a substituent, and an amino group which may have a substituent are preferable.
Moreover, although n in General formula (3) represents the integer of 0-5, the integer of 0-2 is preferable.

以下、一般式(3)で表されるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。   Hereinafter, although the specific example of an oxime compound represented by General formula (3) is shown below, this invention is not limited to these.


一般式(3)で表されるオキシム化合物は、光により分解し、光重合性化合物の重合を開始、促進する光重合開始剤としての機能を有する。特に、該オキシム化合物は365nmや405nmの光源に優れた感度を有する。   The oxime compound represented by the general formula (3) has a function as a photopolymerization initiator that is decomposed by light and initiates and accelerates polymerization of the photopolymerizable compound. In particular, the oxime compound has excellent sensitivity to a light source of 365 nm or 405 nm.

オニウム塩化合物としては、例えば、S.I.Schlesinger,Photogr.Sci.Eng.,18,387(1974)、T.S.Bal et al,Polymer,21,423(1980)に記載のジアゾニウム塩、米国特許第4,069,055号明細書、特開平4−365049号等に記載のアンモニウム塩、米国特許第4,069,055号、同4,069,056号の各明細書に記載のホスホニウム塩、欧州特許第104、143号、米国特許第339,049号、同第410,201号の各明細書、特開平2−150848号、特開平2−296514号の各公報に記載のヨードニウム塩などが挙げられる。   Examples of onium salt compounds include S.I. I. Schlesinger, Photogr. Sci. Eng. 18, 387 (1974), T .; S. Bal et al, Polymer, 21, 423 (1980), diazonium salts described in U.S. Pat. No. 4,069,055, ammonium salts described in JP-A-4-365049, U.S. Pat. No. 4,069, No. 055, No. 4,069,056, phosphonium salts described in European Patent Nos. 104 and 143, U.S. Pat. Nos. 339,049 and 410,201, JP Examples include iodonium salts described in JP-A No. -150848 and JP-A-2-296514.

本発明に好適に用いることのできるヨードニウム塩は、ジアリールヨードニウム塩であり、安定性の観点から、アルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基等の電子供与性基で2つ以上置換されていることが好ましい。また、その他の好ましいスルホニウム塩の形態として、トリアリールスルホニウム塩の1つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、300nm以上に吸収を有するヨードニウム塩などが好ましい。   The iodonium salt that can be suitably used in the present invention is a diaryl iodonium salt, and is preferably substituted with two or more electron donating groups such as an alkyl group, an alkoxy group, and an aryloxy group from the viewpoint of stability. . In addition, as another preferable form of the sulfonium salt, an iodonium salt in which one substituent of the triarylsulfonium salt has a coumarin or an anthraquinone structure and absorption at 300 nm or more is preferable.

本発明に好適に用いることのできるスルホニウム塩としては、欧州特許第370,693号、同390,214号、同233,567号、同297,443号、同297,442号、米国特許第4,933,377号、同161,811号、同410,201号、同339,049号、同4,760,013号、同4,734,444号、同2,833,827号、独国特許第2,904,626号、同3,604,580号、同3,604,581号の各明細書に記載のスルホニウム塩が挙げられ、安定性の感度点から好ましくは電子吸引性基で置換されていることが好ましい。電子吸引性基としては、ハメット値が0より大きいことが好ましい。好ましい電子吸引性基としては、ハロゲン原子、カルボン酸などが挙げられる。
また、その他の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩の1つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、300nm以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。別の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩が、アリロキシ基、アリールチオ基を置換基に有する300nm以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。
Examples of the sulfonium salt that can be suitably used in the present invention include European Patent Nos. 370,693, 390,214, 233,567, 297,443, 297,442, and U.S. Pat. 933,377, 161,811, 410,201, 339,049, 4,760,013, 4,734,444, 2,833,827, Germany Examples thereof include sulfonium salts described in the specifications of Patent Nos. 2,904,626, 3,604,580, and 3,604,581, and are preferably electron withdrawing groups from the viewpoint of stability. It is preferably substituted. The electron withdrawing group preferably has a Hammett value greater than zero. Preferred electron-withdrawing groups include halogen atoms and carboxylic acids.
Other preferable sulfonium salts include sulfonium salts in which one substituent of the triarylsulfonium salt has a coumarin or anthraquinone structure and absorbs at 300 nm or more. As another preferable sulfonium salt, a sulfonium salt in which the triarylsulfonium salt has an allyloxy group or an arylthio group as a substituent and has absorption at 300 nm or more can be mentioned.

また、オニウム塩化合物としては、J.V.Crivello et al,Macromolecules,10(6),1307(1977)、J.V.Crivello et al,J.Polymer Sci.,Polymer Chem.Ed.,17,1047(1979)に記載のセレノニウム塩、C.S.Wen et al,Teh,Proc.Conf.Rad.Curing ASIA,p478 Tokyo,Oct(1988)に記載のアルソニウム塩等のオニウム塩等が挙げられる。   Moreover, as an onium salt compound, J.M. V. Crivello et al, Macromolecules, 10 (6), 1307 (1977), J. MoI. V. Crivello et al, J.A. Polymer Sci. , Polymer Chem. Ed. , 17, 1047 (1979), a selenonium salt described in C.I. S. Wen et al, Teh, Proc. Conf. Rad. Curing ASIA, p478 Tokyo, Oct (1988), and onium salts such as arsonium salts.

アシルホスフィン(オキシド)化合物としては、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュア819、ダロキュア4265、ダロキュアTPOなどが挙げられる。   Examples of the acylphosphine (oxide) compound include Irgacure 819, Darocur 4265, Darocur TPO and the like manufactured by Ciba Specialty Chemicals.

本発明に用いられる(C)光重合開始剤としては、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン系化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、メタロセン化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム系化合物、ベンゾチアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、3−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。   As the photopolymerization initiator (C) used in the present invention, from the viewpoint of exposure sensitivity, a trihalomethyltriazine compound, a benzyldimethyl ketal compound, an α-hydroxyketone compound, an α-aminoketone compound, an acylphosphine compound, phosphine Oxide compounds, metallocene compounds, oxime compounds, triallylimidazole dimers, onium compounds, benzothiazole compounds, benzophenone compounds, acetophenone compounds and derivatives thereof, cyclopentadiene-benzene-iron complexes and salts thereof, halomethyl oxa Compounds selected from the group consisting of diazole compounds and 3-aryl substituted coumarin compounds are preferred.

さらに好ましくは、トリハロメチルトリアジン系化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物であり、トリハロメチルトリアジン系化合物、α−アミノケトン化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、ベンゾフェノン系化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物が最も好ましい。   More preferred are trihalomethyltriazine compounds, α-aminoketone compounds, acylphosphine compounds, phosphine oxide compounds, oxime compounds, triallylimidazole dimers, onium compounds, benzophenone compounds, acetophenone compounds, and trihalo compounds. Most preferred is at least one compound selected from the group consisting of a methyltriazine compound, an α-aminoketone compound, an oxime compound, a triallylimidazole dimer, and a benzophenone compound.

特に、本発明の重合性組成物をカラーフィルタの固体撮像素子の作製に使用する場合には、微細な画素をシャープな形状で形成する必要があるために、硬化性とともに未露光部に残渣がなく現像されることが重要である。このような観点からは、オキシム系化合物が特に好ましい。特に、固体撮像素子において微細な画素を形成する場合、硬化用露光にステッパー露光を用いるが、この露光機はハロゲンにより損傷される場合があり、光重合開始剤の添加量も低く抑える必要があるため、これらの点を考慮すれば、固体撮像素子の如き微細着色パターンを形成するには(C)光重合開始剤としては、オキシム系化合物を用いるのが最も好ましいといえる。   In particular, when the polymerizable composition of the present invention is used for the production of a solid-state imaging device of a color filter, it is necessary to form fine pixels with a sharp shape, and therefore a residue is left in the unexposed area as well as curability. It is important that it is developed without any problems. From such a viewpoint, an oxime compound is particularly preferable. In particular, when fine pixels are formed in a solid-state imaging device, stepper exposure is used for curing exposure, but this exposure machine may be damaged by halogen, and the amount of photopolymerization initiator added must be kept low. Therefore, in view of these points, it can be said that it is most preferable to use an oxime compound as the photopolymerization initiator (C) in order to form a finely colored pattern such as a solid-state imaging device.

本発明の重合性組成物に含有される(C)光重合開始剤の含有量は、重合性組成物の全固形分に対し0.1質量%以上50質量%以下であることが好ましく、より好ましくは0.5質量%以上30質量%以下、更に好ましくは1質量%以上20質量%以下である。この範囲で、良好な感度とパターン形成性が得られる。   The content of the (C) photopolymerization initiator contained in the polymerizable composition of the present invention is preferably 0.1% by mass or more and 50% by mass or less with respect to the total solid content of the polymerizable composition. Preferably they are 0.5 mass% or more and 30 mass% or less, More preferably, they are 1 mass% or more and 20 mass% or less. Within this range, good sensitivity and pattern formability can be obtained.

本発明の重合性組成物は、更に、必要に応じて、以下に詳述する任意成分を更に含有してもよい。
以下、重合性組成物が含有しうる任意成分について説明する。
The polymerizable composition of the present invention may further contain optional components described in detail below, if necessary.
Hereinafter, optional components that the polymerizable composition may contain will be described.

[重合禁止剤]
本発明においては、重合性組成物の製造中あるいは保存中において重合可能なエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の不要な重合を阻止するために、重合禁止剤を添加することが好ましい。
本発明に用いうる重合禁止剤としては、フェノール系水酸基含有化合物、N−オキシド化合物類、ピペリジン1−オキシルフリーラジカル化合物類、ピロリジン1−オキシルフリーラジカル化合物類、N−ニトロソフェニルヒドロキシルアミン類、ジアゾニウム化合物類、及びカチオン染料類、スルフィド基含有化合物類、ニトロ基含有化合物類、FeCl、CuCl等の遷移金属化合物類が挙げられる。
[Polymerization inhibitor]
In the present invention, it is preferable to add a polymerization inhibitor in order to prevent unnecessary polymerization of a compound having an ethylenically unsaturated double bond that can be polymerized during production or storage of the polymerizable composition.
Examples of the polymerization inhibitor that can be used in the present invention include phenolic hydroxyl group-containing compounds, N-oxide compounds, piperidine 1-oxyl free radical compounds, pyrrolidine 1-oxyl free radical compounds, N-nitrosophenylhydroxylamines, diazonium. Examples include compounds, and cationic dyes, sulfide group-containing compounds, nitro group-containing compounds, and transition metal compounds such as FeCl 3 and CuCl 2 .

さらに好ましい態様としては、以下の通りである。
フェノール系水酸基含有化合物が、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、フェノール樹脂類、及びクレゾール樹脂類からなる群より選択される化合物であるのが好ましい。
Further preferred embodiments are as follows.
The phenolic hydroxyl group-containing compound is hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4-thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol), A compound selected from the group consisting of 2,2′-methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), phenol resins, and cresol resins is preferred.

N−オキシド化合物類が、5,5−ジメチル−1−ピロリンN−オキシド、4−メチルモルホリンN−オキシド、ピリジンN−オキシド、4−ニトロピリジンN−オキシド、3−ヒドロキシピリジンN−オキシド、ピコリン酸N−オキシド、ニコチン酸N−オキシド、およびイソニコチン酸N−オキシドからなる群より選択される化合物であるのが好ましい。   N-oxide compounds are 5,5-dimethyl-1-pyrroline N-oxide, 4-methylmorpholine N-oxide, pyridine N-oxide, 4-nitropyridine N-oxide, 3-hydroxypyridine N-oxide, picoline A compound selected from the group consisting of acid N-oxide, nicotinic acid N-oxide, and isonicotinic acid N-oxide is preferred.

ピペリジン1−オキシル フリーラジカル化合物類が、ピペリジン1−オキシルフリーラジカル、2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、4−オキソ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、4−アセトアミド−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、4−マレイミド−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、及び4−ホスホノキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカルからなる群より選択される化合物であるのが好ましい。   Piperidine 1-oxyl free radical compounds are converted to piperidine 1-oxyl free radical, 2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical, 4-oxo-2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1 -Oxyl free radical, 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical, 4-acetamido-2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical, 4-maleimide A compound selected from the group consisting of -2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical and 4-phosphonoxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical Is preferred.

ピロリジン1−オキシルフリーラジカル化合物類が3−カルボキシプロキシルフリーラジカル(3−カルボキシ−2,2,5,5−テトラメチルピロリジン1−オキシルフリーラジカル)であるのが好ましい。   The pyrrolidine 1-oxyl free radical compounds are preferably 3-carboxyproxyl free radicals (3-carboxy-2,2,5,5-tetramethylpyrrolidine 1-oxyl free radical).

N−ニトロソフェニルヒドロキシルアミン類が、N−ニトロソフェニルヒドロキシルアミン第一セリウム塩及びN−ニトロソフェニルヒドロキシルアミンアルミニウム塩からなる化合物群から選択される化合物であるのが好ましい。   The N-nitrosophenylhydroxylamines are preferably compounds selected from the group consisting of N-nitrosophenylhydroxylamine primary cerium salts and N-nitrosophenylhydroxylamine aluminum salts.

ジアゾニウム化合物類が、4−ジアゾフェニルジメチルアミンの硫酸水素塩、4−ジアゾジフェニルアミンのテトラフルオロホウ酸塩、及び3−メトキシ−4−ジアゾジフェニルアミンのヘキサフルオロリン酸塩からなる群より選択される化合物であるのが好ましい。   A compound in which the diazonium compounds are selected from the group consisting of 4-diazophenyldimethylamine hydrogen sulfate, 4-diazodiphenylamine tetrafluoroborate, and 3-methoxy-4-diazodiphenylamine hexafluorophosphate Is preferred.

カチオン染料類が、クリスタルバイオレット、メチルバイオレット、エチルバイオレット及びビクトリアピュアブルーBOHからなる群より選択される化合物であるのが好ましい。   Preferably, the cationic dye is a compound selected from the group consisting of crystal violet, methyl violet, ethyl violet and Victoria pure blue BOH.

本発明に使用しうる好適な重合禁止剤を以下に例示するが、本発明はこれらに制限されるものではない。なおフェノール系重合禁止剤としては、下記例示化合物(P−1)〜(P−24)が挙げられる。   Although the suitable polymerization inhibitor which can be used for this invention is illustrated below, this invention is not restrict | limited to these. In addition, as a phenol type polymerization inhibitor, the following exemplary compound (P-1)-(P-24) is mentioned.

アミン系重合禁止剤としては、下記例示化合物(N−1)〜(N−7)が挙げられる。   Examples of the amine polymerization inhibitor include the following exemplary compounds (N-1) to (N-7).

硫黄系重合禁止剤としては、下記例示化合物(S−1)〜(S−5)が挙げられる。   Examples of the sulfur polymerization inhibitor include the following exemplary compounds (S-1) to (S-5).

フォスファイト系重合禁止剤としては、下記例示化合物(R−1)〜(R−5)が挙げられる。   Examples of the phosphite polymerization inhibitor include the following exemplary compounds (R-1) to (R-5).

さらに、以下に示す各化合物もまた、好適な重合禁止剤として使用しうる。   Furthermore, each compound shown below can also be used as a suitable polymerization inhibitor.

上記例示化合物のなかでも、好ましくは、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)のフェノール系水酸基含有化合物、ピペリジン1−オキシル フリーラジカル化合物類若しくは、2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、4−オキソ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、4−アセトアミド−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、4−マレイミド−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、及び4−ホスホノキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカルのピペリジン1−オキシルフリーラジカル化合物、若しくはN−ニトロソフェニルヒドロキシルアミン第一セリウム塩及びN−ニトロソフェニルヒドロキシルアミンアルミニウム塩のN−ニトロソフェニルヒドロキシルアミン化合物であり、より好ましくは、2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、4−オキソ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、4−アセトアミド−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、4−マレイミド−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカル、及び4−ホスホノキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン1−オキシルフリーラジカルのピペリジン1−オキシルフリーラジカル化合物、若しくはN−ニトロソフェニルヒドロキシルアミン第一セリウム塩及びN−ニトロソフェニルヒドロキシルアミンアルミニウム塩のN−ニトロソフェニルヒドロキシルアミン化合物であり、更に好ましくは、−ニトロソフェニルヒドロキシルアミン第一セリウム塩及びN−ニトロソフェニルヒドロキシルアミンアルミニウム塩のN−ニトロソフェニルヒドロキシルアミン化合物である。   Among the above exemplified compounds, hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4-thiobis (3-methyl-6-t- Butylphenol), 2,2′-methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol) phenolic hydroxyl group-containing compounds, piperidine 1-oxyl free radical compounds, or 2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1- Oxyl free radical, 4-oxo-2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical, 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical, 4-acetamido- 2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical, 4-maleimide-2,2 , 6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical, and piperidine 1-oxyl free radical compound of 4-phosphonoxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical, or N-nitrosophenyl hydroxyl N-nitrosophenylhydroxylamine compounds of amine cerium salt and N-nitrosophenylhydroxylamine aluminum salt, more preferably 2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical, 4-oxo- 2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical, 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical, 4-acetamido-2,2,6,6- Tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical, -Piperidine 1-oxyl free radical compound of maleimide-2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical and 4-phosphonoxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine 1-oxyl free radical, Or an N-nitrosophenylhydroxylamine primary cerium salt and an N-nitrosophenylhydroxylamine aluminum salt, more preferably -nitrosophenylhydroxylamine primary cerium salt and N-nitrosophenylhydroxylamine compound. N-nitrosophenylhydroxylamine compound of amine aluminum salt.

重合禁止剤の好ましい添加量としては、(C)光重合開始剤100質量部に対して、0.01質量部以上10質量部以下であることが好ましく、さらに0.01質量部以上8質量部以下であることが好ましく、0.05質量部以上5質量部以下の範囲にあることが最も好ましい。
上記範囲とすることで、非画像部における硬化反応抑制および画像部における硬化反応促進が充分おこなわれ、画像形成性および感度が良好となる。
A preferable addition amount of the polymerization inhibitor is preferably 0.01 parts by mass or more and 10 parts by mass or less, and more preferably 0.01 parts by mass or more and 8 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (C) photopolymerization initiator. Or less, and most preferably in the range of 0.05 parts by mass or more and 5 parts by mass or less.
By setting it as the above range, the curing reaction in the non-image area is sufficiently suppressed and the curing reaction in the image area is sufficiently promoted, and the image formability and sensitivity are improved.

[増感剤]
本発明の重合性組成物は、ラジカル開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、増感剤を含有していてもよい。
本発明に用いることができる増感剤としては、前記した(B)光重合開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。
[Sensitizer]
The polymerizable composition of the present invention may contain a sensitizer for the purpose of improving the radical generation efficiency of the radical initiator and increasing the photosensitive wavelength.
As the sensitizer that can be used in the present invention, a sensitizer that sensitizes the above-described (B) photopolymerization initiator by an electron transfer mechanism or an energy transfer mechanism is preferable.

増感剤としては、以下に列挙する化合物類に属しており、且つ、300nm〜450nmの波長領域に吸収波長を有するものが挙げられる。
即ち、例えば、多核芳香族類(例えば、フェナントレン、アントラセン、ピレン、ペリレン、トリフェニレン、9,10−ジアルコキシアントラセン)、キサンテン類(例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンB、ローズベンガル)、チオキサントン類(イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、クロロチオキサントン)、シアニン類(例えば、チアカルボシアニン、オキサカルボシアニン)、メロシアニン類(例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン)、フタロシアニン類、チアジン類(例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー)、アクリジン類(例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン)、アントラキノン類(例えば、アントラキノン)、スクアリウム類(例えば、スクアリウム)、アクリジンオレンジ、クマリン類(例えば、7−ジエチルアミノ−4−メチルクマリン)、ケトクマリン、フェノチアジン類、フェナジン類、スチリルベンゼン類、アゾ化合物、ジフェニルメタン、トリフェニルメタン、ジスチリルベンゼン類、カルバゾール類、ポルフィリン、スピロ化合物、キナクリドン、インジゴ、スチリル、ピリリウム化合物、ピロメテン化合物、ピラゾロトリアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、バルビツール酸誘導体、チオバルビツール酸誘導体、アセトフェノン、ベンゾフェノン、チオキサントン、ミヒラーズケトンなどの芳香族ケトン化合物、N−アリールオキサゾリジノンなどのヘテロ環化合物などが挙げられる。
Examples of the sensitizer include those belonging to the compounds listed below and having an absorption wavelength in a wavelength region of 300 nm to 450 nm.
That is, for example, polynuclear aromatics (for example, phenanthrene, anthracene, pyrene, perylene, triphenylene, 9,10-dialkoxyanthracene), xanthenes (for example, fluorescein, eosin, erythrosine, rhodamine B, rose bengal), Thioxanthones (isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, chlorothioxanthone), cyanines (eg thiacarbocyanine, oxacarbocyanine), merocyanines (eg merocyanine, carbomerocyanine), phthalocyanines, thiazines (eg thionine, methylene blue, Toluidine blue), acridines (eg, acridine orange, chloroflavin, acriflavine), anthraquinones (eg, anthraquinone), squaryu (Eg, squalium), acridine orange, coumarins (eg, 7-diethylamino-4-methylcoumarin), ketocoumarins, phenothiazines, phenazines, styrylbenzenes, azo compounds, diphenylmethane, triphenylmethane, distyrylbenzenes Carbazoles, porphyrins, spiro compounds, quinacridone, indigo, styryl, pyrylium compounds, pyromethene compounds, pyrazolotriazole compounds, benzothiazole compounds, barbituric acid derivatives, thiobarbituric acid derivatives, acetophenone, benzophenone, thioxanthone, Michler's ketone, etc. Examples include aromatic ketone compounds and heterocyclic compounds such as N-aryloxazolidinones.

本発明に用いうる増感剤として、より好ましい例としては、下記一般式(e−1)〜(e−4)で表される化合物が挙げられる。   More preferable examples of the sensitizer that can be used in the present invention include compounds represented by the following general formulas (e-1) to (e-4).

式(e−1)中、Aは硫黄原子又はNR50を表し、R50はアルキル基又はアリール基を表し、Lは隣接するA及び隣接炭素原子と共同して色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表し、R51およびR52はそれぞれ独立に、水素原子又は一価の非金属原子団を表し、R51およびR52は互いに結合して、色素の酸性核を形成してもよい。Wは酸素原子又は硫黄原子を表す。 In formula (e-1), A 1 represents a sulfur atom or NR 50 , R 50 represents an alkyl group or an aryl group, and L 1 represents a basic nucleus of the dye in combination with adjacent A 1 and an adjacent carbon atom. R 51 and R 52 each independently represents a hydrogen atom or a monovalent nonmetallic atomic group, and R 51 and R 52 are bonded to each other to form an acidic nucleus of the dye. May be. W represents an oxygen atom or a sulfur atom.

式(e−2)中、Ar及びArはそれぞれ独立に、アリール基を表し、−L−による結合を介して連結している。ここで−L−は−O−又は−S−を表す。また、Wは式(e−1)に示したものと同義である。 In formula (e-2), Ar 1 and Ar 2 each independently represent an aryl group and are linked via a bond with —L 2 —. Here -L 2 - represents -O- or -S-. Moreover, W is synonymous with what was shown to Formula (e-1).

式(e−3)中、Aは硫黄原子又はNR59を表し、Lは隣接するA及び炭素原子と共同して色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表し、R53、R54、R55、R56、R57及びR58はそれぞれ独立に、一価の非金属原子団の基を表し、R59はアルキル基又はアリール基を表す。 In the formula (e-3), A 2 represents a sulfur atom or NR 59 , L 3 represents a nonmetallic atomic group that forms a basic nucleus of the dye together with the adjacent A 2 and carbon atom, and R 53 , R 54 , R 55 , R 56 , R 57 and R 58 each independently represents a monovalent non-metallic atomic group, and R 59 represents an alkyl group or an aryl group.

式(e−4)中、AおよびAはそれぞれ独立に、−S−又は−NR62を表し、R62は置換若しくは非置換のアルキル基、または、置換若しくは非置換のアリール基を表し、LおよびLはそれぞれ独立に、隣接するA、A及び隣接炭素原子と共同して色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表し、R60およびR61はそれぞれ独立に、一価の非金属原子団を表し、又は互いに結合して脂肪族性又は芳香族性の環を形成することができる。 In formula (e-4), A 3 and A 4 each independently represent —S— or —NR 62 , and R 62 represents a substituted or unsubstituted alkyl group or a substituted or unsubstituted aryl group. , L 4 and L 5 each independently represent a nonmetallic atomic group which forms a basic nucleus of a dye in cooperation with adjacent A 3 , A 4 and adjacent carbon atoms, and R 60 and R 61 each independently Represents a monovalent non-metallic atomic group, or can be bonded to each other to form an aliphatic or aromatic ring.

重合性組成物中における増感剤の含有量は、深部への光吸収効率と開始分解効率の観点から、固形分換算で、0.1質量%以上20質量%以下であることが好ましく、0.5質量%以上15質量%以下がより好ましい。
増感剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
The content of the sensitizer in the polymerizable composition is preferably 0.1% by mass or more and 20% by mass or less in terms of solid content from the viewpoint of light absorption efficiency to the deep part and initiation decomposition efficiency. More preferably, the content is 5% by mass or more and 15% by mass or less.
A sensitizer may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

また、重合性組成物に含有しうる好ましい増感剤としては、上記増感剤の他、下記一般式(II)で表される化合物、及び、一般式(III)で表される化合物から選択される少なくとも一種が挙げられる。
これらは一種単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。
Further, as a preferable sensitizer that can be contained in the polymerizable composition, in addition to the sensitizer, a compound represented by the following general formula (II) and a compound represented by the general formula (III) are selected. At least one kind.
These may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

一般式(II)中、R11及びR12は、各々独立に一価の置換基を表し、R13、R14、R15及びR16は、各々独立に水素原子又は一価の置換基を表す。nは0〜5の整数を表し、n’は0〜5の整数を表し、n及びn’が両方とも0となることはない。nが2以上である場合、複数存在するR11はそれぞれ同一であっても異なっていてもよい。n’が2以上である場合、複数存在するR12はそれぞれ同一であっても異なっていてもよい。なお、一般式(II)において二重結合による異性体については、どちらかに限定されるものではない In general formula (II), R 11 and R 12 each independently represents a monovalent substituent, and R 13 , R 14 , R 15 and R 16 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent substituent. To express. n represents an integer of 0 to 5, n ′ represents an integer of 0 to 5, and n and n ′ are not both 0. When n is 2 or more, a plurality of R 11 may be the same or different. When n ′ is 2 or more, a plurality of R 12 may be the same or different. In the general formula (II), the isomer by the double bond is not limited to either.

一般式(II)で表される化合物としては、波長365nmにおけるモル吸光係数εが500mol−1・L・cm−1以上であることが好ましく、波長365nmにおけるεが3000mol−1・L・cm−1以上であることがより好ましく、波長365nmにおけるεが20000mol−1・L・cm−1以上であることが最も好ましい。各波長でのモル吸光係数εの値が上記範囲であると、光吸収効率の観点から感度向上効果が高く好ましい。 The compound represented by the general formula (II) preferably has a molar extinction coefficient ε at a wavelength of 365 nm of 500 mol −1 · L · cm −1 or more, and ε at a wavelength of 365 nm of 3000 mol −1 · L · cm −. 1 or more is more preferable, and ε at a wavelength of 365 nm is most preferably 20000 mol −1 · L · cm −1 or more. It is preferable that the value of the molar extinction coefficient ε at each wavelength is in the above range because the sensitivity improvement effect is high from the viewpoint of light absorption efficiency.

一般式(II)で表される化合物の好ましい具体例を以下に例示するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
なお、本明細書においては、化学式は簡略構造式により記載することもあり、特に元素や置換基の明示がない実線等は、炭化水素基を表す。
Although the preferable specific example of a compound represented by general formula (II) is illustrated below, this invention is not limited to these.
Note that in this specification, a chemical formula may be described by a simplified structural formula, and a solid line or the like that does not clearly indicate an element or a substituent particularly represents a hydrocarbon group.

一般式(III)中、Aは置換基を有してもよい芳香族環又はヘテロ環を表し、Xは酸
素原子、硫黄原子、又は−N(R23)−を表し、Yは酸素原子、硫黄原子、又は−N(R23)−を表す。R21、R22、及びR23は、それぞれ独立に、水素原子又は一価の非金属原子団を表し、A、R21、R22、及びR23は、それぞれ互いに結合して、脂肪族性又は芳香族性の環を形成してもよい。
In general formula (III), A represents an aromatic ring or a hetero ring which may have a substituent, X 2 represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 23 ) —, and Y represents an oxygen atom. , sulfur atom, or -N (R 23) - represents a. R 21 , R 22 , and R 23 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent nonmetallic atomic group, and A, R 21 , R 22 , and R 23 are bonded to each other to form an aliphatic group Or you may form an aromatic ring.

一般式(III)において、R21、R22及びR23は、それぞれ独立に、水素原子又は一価の非金属原子団を表す。R21、R22及びR23が一価の非金属原子を表す場合、置換若しくは非置換のアルキル基、置換若しくは非置換のアリール基、置換若しくは非置換のアルケニル基、置換若しくは非置換の芳香族複素環残基、置換若しくは非置換のアルコキシ基、置換若しくは非置換のアルキルチオ基、ヒドロキシル基、または、ハロゲン原子であることが好ましい。 In the general formula (III), R 21 , R 22 and R 23 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent nonmetallic atomic group. When R 21 , R 22 and R 23 represent a monovalent nonmetal atom, a substituted or unsubstituted alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, a substituted or unsubstituted alkenyl group, a substituted or unsubstituted aromatic group It is preferably a heterocyclic residue, a substituted or unsubstituted alkoxy group, a substituted or unsubstituted alkylthio group, a hydroxyl group, or a halogen atom.

一般式(III)で表される化合物は、光重合開始剤の分解効率向上の観点から、Yは酸
素原子、又は−N(R23)−が好ましい。R23は、水素原子又は一価の非金属原子団を表す。更に、Yは−N(R23)−であることが最も好ましい。
In the compound represented by formula (III), Y is preferably an oxygen atom or —N (R 23 ) — from the viewpoint of improving the decomposition efficiency of the photopolymerization initiator. R 23 represents a hydrogen atom or a monovalent nonmetallic atomic group. Further, Y is most preferably —N (R 23 ) —.

以下、一般式(III)で表される化合物の好ましい具体例を示すが、本発明はこれに限定されるものではない。また、酸性核と塩基性核を結ぶ2重結合による異性体については明らかでなく、本発明はどちらかの異性体に限定されるものでもない。   Hereinafter, although the preferable specific example of a compound represented by general formula (III) is shown, this invention is not limited to this. Further, it is not clear about an isomer by a double bond connecting an acidic nucleus and a basic nucleus, and the present invention is not limited to either isomer.

[共増感剤]
重合性組成物は、更に共増感剤を含有することも好ましい。
本発明において共増感剤は、(C)光重合開始剤や増感剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、或いは、酸素による(B)重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
[Co-sensitizer]
It is also preferred that the polymerizable composition further contains a co-sensitizer.
In the present invention, the co-sensitizer further enhances the sensitivity of (C) the photopolymerization initiator and the sensitizer to actinic radiation, or suppresses the inhibition of polymerization inhibition of (B) the polymerizable compound by oxygen. Have.

このような共増感剤の例としては、アミン類、例えば、M.R.Sanderら著「Journal of Polymer Society」第10巻3173頁(1972)、特公昭44−20189号公報、特開昭51−82102号公報、特開昭52−134692号公報、特開昭59−138205号公報、特開昭60−84305号公報、特開昭62−18537号公報、特開昭64−33104号公報、Research Disclosure 33825号記載の化合物等が挙げられ、具体的には、トリエタノールアミン、p−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、p−ホルミルジメチルアニリン、p−メチルチオジメチルアニリン等が挙げられる。   Examples of such cosensitizers include amines such as M.I. R. Sander et al., “Journal of Polymer Society”, Vol. 10, 3173 (1972), Japanese Patent Publication No. 44-20189, Japanese Patent Publication No. 51-82102, Japanese Patent Publication No. 52-134692, Japanese Patent Publication No. 59-138205. No. 60-84305, JP-A 62-18537, JP-A 64-33104, Research Disclosure 33825, and the like. Specific examples include triethanolamine. P-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, p-formyldimethylaniline, p-methylthiodimethylaniline and the like.

共増感剤の別の例としては、チオール及びスルフィド類、例えば、特開昭53−702号公報、特公昭55−500806号公報、特開平5−142772号公報記載のチオール化合物、特開昭56−75643号公報のジスルフィド化合物等が挙げられ、具体的には、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−4(3H)−キナゾリン、β−メルカプトナフタレン等が挙げられる。   Other examples of co-sensitizers include thiols and sulfides such as thiol compounds described in JP-A-53-702, JP-B-55-500806, JP-A-5-142772, No. 56-75643, such as 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercapto-4 (3H) -quinazoline, β-mercapto. And naphthalene.

また、共増感剤の別の例としては、アミノ酸化合物(例、N−フェニルグリシン等)、特公昭48−42965号公報記載の有機金属化合物(例、トリブチル錫アセテート等)、特公昭55−34414号公報記載の水素供与体、特開平6−308727号公報記載のイオウ化合物(例、トリチアン等)等が挙げられる。   Other examples of the co-sensitizer include amino acid compounds (eg, N-phenylglycine), organometallic compounds described in JP-B-48-42965 (eg, tributyltin acetate), JP-B 55- Examples include a hydrogen donor described in Japanese Patent No. 34414, a sulfur compound (eg, trithiane) described in Japanese Patent Laid-Open No. 6-308727, and the like.

これら共増感剤の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上の観点から、重合性組成物の全固形分の質量に対し、0.1質量%以上30質量%以下の範囲が好ましく、1質量%以上25質量%以下の範囲がより好ましく、0.5質量%以上20質量%以下の範囲が更に好ましい。   The content of these co-sensitizers is 0.1% by mass or more and 30% by mass or less with respect to the mass of the total solid content of the polymerizable composition from the viewpoint of improving the curing rate due to the balance between polymerization growth rate and chain transfer. The range of 1 mass% or more and 25 mass% or less is more preferable, and the range of 0.5 mass% or more and 20 mass% or less is still more preferable.

[バインダーポリマー]
重合性組成物においては、皮膜特性向上などの目的で、必要に応じて、更にバインダーポリマーを使用することができる。バインダーとしては線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような「線状有機ポリマー」としては、公知のものを任意に使用できる。好ましくは水現像或いは弱アルカリ水現像を可能とするために、水或いは弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。線状有機ポリマーは、皮膜形成剤としてだけでなく、水、弱アルカリ水或いは有機溶剤現像剤としての用途に応じて選択使用される。例えば、水可溶性有機ポリマーを用いると水現像が可能になる。このような線状有機ポリマーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するラジカル重合体、例えば特開昭59−44615号公報、特公昭54−34327号公報、特公昭58−12577号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭54−92723号公報公報、特開昭59−53836号公報、特開昭59−71048号公報に記載されているもの、すなわち、カルボキシル基を有するモノマーを単独或いは共重合させた樹脂、酸無水物を有するモノマーを単独或いは共重合させ酸無水物ユニットを加水分解若しくはハーフエステル化若しくはハーフアミド化させた樹脂、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸及び酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、4−カルボキシルスチレン等があげられ、酸無水物を有するモノマーとしては、無水マレイン酸等が挙げられる。
また、同様に側鎖にカルボン酸基を有する酸性セルロース誘導体がある。この他に水酸基を有する重合体に環状酸無水物を付加させたものなどが有用である。
[Binder polymer]
In the polymerizable composition, a binder polymer can be further used as necessary for the purpose of improving the film properties. As the binder, a linear organic polymer is preferably used. As such a “linear organic polymer”, a known one can be arbitrarily used. Preferably, a linear organic polymer that is soluble or swellable in water or weak alkaline water is selected in order to enable water development or weak alkaline water development. The linear organic polymer is selected and used not only as a film forming agent but also according to the use as water, weak alkaline water or an organic solvent developer. For example, when a water-soluble organic polymer is used, water development becomes possible. Examples of such linear organic polymers include radical polymers having a carboxylic acid group in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12777, and JP-B-sho. Nos. 54-25957, JP-A-54-92723, JP-A-59-53836, JP-A-59-71048, ie, a monomer having a carboxyl group alone or Resin copolymerized, monomer having acid anhydride alone or copolymerized, acid anhydride unit hydrolyzed, half-esterified or half-amidated, epoxy resin with unsaturated monocarboxylic acid and acid anhydride Examples include modified epoxy acrylate. Examples of the monomer having a carboxyl group include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, 4-carboxylstyrene, and the monomer having an acid anhydride includes maleic anhydride. It is done.
Similarly, there is an acidic cellulose derivative having a carboxylic acid group in the side chain. In addition, those obtained by adding a cyclic acid anhydride to a polymer having a hydroxyl group are useful.

本発明において、バインダーポリマー(例えばアルカリ可溶性樹脂)として、共重合体を用いる場合、共重合させる化合物として、先にあげたモノマー以外の他のモノマーを用いることもできる。他のモノマーの例としては、下記(1)〜(12)の化合物が挙げられる。   In the present invention, when a copolymer is used as the binder polymer (for example, alkali-soluble resin), a monomer other than the monomers listed above can also be used as the compound to be copolymerized. Examples of other monomers include the following compounds (1) to (12).

(1)2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート等の脂肪族水酸基を有するアクリル酸エステル類、及びメタクリル酸エステル類。
(2)アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸−2−クロロエチル、グリシジルアクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、ビニルアクリレート、2−フェニルビニルアクリレート、1−プロペニルアクリレート、アリルアクリレート、2−アリロキシエチルアクリレート、プロパルギルアクリレート等のアルキルアクリレート。
(1) 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate Acrylic esters having an aliphatic hydroxyl group such as methacrylic esters.
(2) Methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, butyl acrylate, isobutyl acrylate, amyl acrylate, hexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, octyl acrylate, benzyl acrylate, acrylic acid-2- Alkyl acrylates such as chloroethyl, glycidyl acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate, vinyl acrylate, 2-phenylvinyl acrylate, 1-propenyl acrylate, allyl acrylate, 2-allyloxyethyl acrylate, propargyl acrylate;

(3)メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸アミル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸−2−クロロエチル、グリシジルメタクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート、ビニルメタクリレート、2−フェニルビニルメタクリレート、1−プロペニルメタクリレート、アリルメタクリレート、2−アリロキシエチルメタクリレート、プロパルギルメタクリレート等のアルキルメタクリレート。
(4)アクリルアミド、メタクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N−エチルアクリルアミド、N−ヘキシルメタクリルアミド、N−シクロヘキシルアクリルアミド、N−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−フェニルアクリルアミド、N−ニトロフェニルアクリルアミド、N−エチル−N−フェニルアクリルアミド、ビニルアクリルアミド、ビニルメタクリルアミド、N,N−ジアリルアクリルアミド、N,N−ジアリルメタクリルアミド、アリルアクリルアミド、アリルメタクリルアミド等のアクリルアミド若しくはメタクリルアミド。
(3) Methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, amyl methacrylate, hexyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, benzyl methacrylate, methacrylic acid-2- Alkyl methacrylates such as chloroethyl, glycidyl methacrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate, vinyl methacrylate, 2-phenylvinyl methacrylate, 1-propenyl methacrylate, allyl methacrylate, 2-allyloxyethyl methacrylate, and propargyl methacrylate.
(4) Acrylamide, methacrylamide, N-methylolacrylamide, N-ethylacrylamide, N-hexylmethacrylamide, N-cyclohexylacrylamide, N-hydroxyethylacrylamide, N-phenylacrylamide, N-nitrophenylacrylamide, N-ethyl- Acrylamide or methacrylamide such as N-phenylacrylamide, vinylacrylamide, vinylmethacrylamide, N, N-diallylacrylamide, N, N-diallylmethacrylamide, allylacrylamide, allylmethacrylamide.

(5)エチルビニルエーテル、2−クロロエチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、フェニルビニルエーテル等のビニルエーテル類。
(6)ビニルアセテート、ビニルクロロアセテート、ビニルブチレート、安息香酸ビニル等のビニルエステル類。
(7)スチレン、α−メチルスチレン、メチルスチレン、クロロメチルスチレン、p−アセトキシスチレン等のスチレン類。
(8)メチルビニルケトン、エチルビニルケトン、プロピルビニルケトン、フェニルビニルケトン等のビニルケトン類。
(9)エチレン、プロピレン、イソブチレン、ブタジエン、イソプレン等のオレフィン類。
(5) Vinyl ethers such as ethyl vinyl ether, 2-chloroethyl vinyl ether, hydroxyethyl vinyl ether, propyl vinyl ether, butyl vinyl ether, octyl vinyl ether, and phenyl vinyl ether.
(6) Vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl chloroacetate, vinyl butyrate and vinyl benzoate.
(7) Styrenes such as styrene, α-methylstyrene, methylstyrene, chloromethylstyrene, and p-acetoxystyrene.
(8) Vinyl ketones such as methyl vinyl ketone, ethyl vinyl ketone, propyl vinyl ketone, and phenyl vinyl ketone.
(9) Olefins such as ethylene, propylene, isobutylene, butadiene, and isoprene.

(10)N−ビニルピロリドン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等。
(11)マレイミド、N−アクリロイルアクリルアミド、N−アセチルメタクリルアミド、N−プロピオニルメタクリルアミド、N−(p−クロロベンゾイル)メタクリルアミド等の不飽和イミド。
(12)α位にヘテロ原子が結合したメタクリル酸系モノマー。例えば、特願2001−115595号明細書、特願2001−115598号明細書等に記載されている化合物を挙げる事ができる。
(10) N-vinylpyrrolidone, acrylonitrile, methacrylonitrile and the like.
(11) Unsaturated imides such as maleimide, N-acryloylacrylamide, N-acetylmethacrylamide, N-propionylmethacrylamide, N- (p-chlorobenzoyl) methacrylamide.
(12) A methacrylic acid monomer having a hetero atom bonded to the α-position. For example, compounds described in Japanese Patent Application No. 2001-115595, Japanese Patent Application No. 2001-115598, and the like can be mentioned.

これらの中で、側鎖にアリル基やビニルエステル基とカルボキシル基を有する(メタ)アクリル樹脂及び特開2000−187322号公報、特開2002−62698号公報に記載されている側鎖に二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂や、特開2001−242612号公報に記載されている側鎖にアミド基を有するアルカリ可溶性樹脂が膜強度、感度、現像性のバランスに優れており、好適である。   Among these, a (meth) acrylic resin having an allyl group, a vinyl ester group, and a carboxyl group in the side chain and a side chain described in JP-A Nos. 2000-187322 and 2002-62698 are doubled. An alkali-soluble resin having a bond and an alkali-soluble resin having an amide group in the side chain described in JP-A No. 2001-242612 are preferable because of excellent balance of film strength, sensitivity, and developability.

また、特公平7−12004号公報、特公平7−120041号公報、特公平7−120042号公報、特公平8−12424号公報、特開昭63−287944号公報、特開昭63−287947号公報、特開平1−271741号公報、特願平10−116232号公報等に記載される酸基を含有するウレタン系バインダーポリマーや、特開2002−107918号公報に記載される酸基と二重結合を側鎖に有するウレタン系バインダーポリマーは、非常に、強度に優れるので、耐刷性・低露光適性の点で有利である。
また、欧州特許993966、欧州特許1204000、特開2001−318463号公報等に記載の酸基を有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダーポリマーは、膜強度、現像性のバランスに優れており、好適である。
更にこの他に水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド等が有用である。また硬化皮膜の強度を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロロヒドリンのポリエーテル等も有用である。
Also, Japanese Patent Publication No. 7-12004, Japanese Patent Publication No. 7-120041, Japanese Patent Publication No. 7-120042, Japanese Patent Publication No. 8-12424, Japanese Patent Publication No. 63-287944, Japanese Patent Publication No. 63-287947. Urethane-based binder polymers containing acid groups described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-271741, Japanese Patent Application No. 10-116232, and acid groups and double compounds described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-107918. A urethane-based binder polymer having a bond in the side chain is very excellent in strength, and is advantageous in terms of printing durability and suitability for low exposure.
In addition, an acetal-modified polyvinyl alcohol-based binder polymer having an acid group described in European Patent 993966, European Patent 1204000, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-318463, and the like is preferable because of its excellent balance of film strength and developability.
In addition, polyvinyl pyrrolidone, polyethylene oxide, and the like are useful as the water-soluble linear organic polymer. In order to increase the strength of the cured film, alcohol-soluble nylon, polyether of 2,2-bis- (4-hydroxyphenyl) -propane and epichlorohydrin, and the like are also useful.

本発明の重合性組成物で使用しうるバインダーポリマーの重量平均分子量としては、好ましくは5、000以上であり、更に好ましくは1万以上30万以下の範囲であり、数平均分子量については好ましくは1、000以上であり、更に好ましくは2、000以上25万以下の範囲である。多分散度(重量平均分子量/数平均分子量)は1以上が好ましく、更に好ましくは1.1以上10以下の範囲である。
これらのバインダーポリマーは、ランダムポリマー、ブロックポリマー、グラフトポリマー等いずれでもよい。
The weight average molecular weight of the binder polymer that can be used in the polymerizable composition of the present invention is preferably 5,000 or more, more preferably 10,000 to 300,000, and the number average molecular weight is preferably It is 1,000 or more, More preferably, it is the range of 2,000 or more and 250,000 or less. The polydispersity (weight average molecular weight / number average molecular weight) is preferably 1 or more, more preferably 1.1 or more and 10 or less.
These binder polymers may be any of random polymers, block polymers, graft polymers and the like.

本発明で用いうるバインダーポリマーは、従来公知の方法により合成できる。合成する際に用いられる溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタノール、エタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2−メトキシエチルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、1−メトキシ−2−プロパノール、1−メトキシ−2−プロピルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、ジメチルスルホキシド、水等が挙げられる。これらの溶媒は単独で又は2種以上混合して用いられる。
本発明の重合性組成物において用いうるバインダーポリマーを合成する際に用いられるラジカル重合開始剤としては、アゾ系開始剤、過酸化物開始剤等公知の化合物が挙げられ
る。
The binder polymer that can be used in the present invention can be synthesized by a conventionally known method. Solvents used in the synthesis include, for example, tetrahydrofuran, ethylene dichloride, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, acetone, methanol, ethanol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, 2-methoxyethyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, 1-methoxy. Examples include 2-propanol, 1-methoxy-2-propyl acetate, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, toluene, ethyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate, dimethyl sulfoxide, and water. These solvents are used alone or in combination of two or more.
Examples of the radical polymerization initiator used when synthesizing the binder polymer that can be used in the polymerizable composition of the present invention include known compounds such as an azo initiator and a peroxide initiator.

重合性組成物全固形分中、バインダーポリマーの含有量は、1質量%以上40質量%以下であることが好ましく、3質量%以上30質量%以下であることがより好ましく、4質量%以上20質量%以下であることが更に好ましい。   In the total solid content of the polymerizable composition, the content of the binder polymer is preferably 1% to 40% by mass, more preferably 3% to 30% by mass, and more preferably 4% to 20%. More preferably, it is at most mass%.

[密着向上剤]
重合性組成物においては、支持体などの硬質表面との密着性を向上させるために、密着向上剤を添加することができる。密着向上剤としては、シラン系カップリング剤、チタンカップリング剤等が挙げられる。
[Adhesion improver]
In the polymerizable composition, an adhesion improver can be added in order to improve adhesion to a hard surface such as a support. Examples of the adhesion improver include a silane coupling agent and a titanium coupling agent.

シラン系カップリング剤としては、例えば、γ−(2−アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−(2−アミノエチル)アミノプロピルジメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、アミノシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン、γ−アニリノプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(β−メトキシエトキシ)シラン、オクタデシルジメチル[3−(トリメトキシシリル)プロピル]アンモニウムクロライド、γ−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、メチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、トリメチルクロロシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、ビスアリルトリメトキシシラン、テトラエトキシシラン、ビス(トリメトキシシリル)ヘキサン、フェニルトリメトキシシラン、N−(3−アクリロキシ−2−ヒドロキシプロピル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−(3−メタクリロキシ−2−ヒドロキシプロピル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、(メタクリロキシメチル)メチルジエトキシシラン、(アクリロキシメチル)メチルジメトキシシラン、等が挙げられる。   Examples of the silane coupling agent include γ- (2-aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane, γ- (2-aminoethyl) aminopropyldimethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxy. Silane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltriethoxysilane, γ-acryloxypropyltrimethoxysilane, γ-acryloxypropyl Triethoxysilane, γ-isocyanatopropyltrimethoxysilane, γ-isocyanatopropyltriethoxysilane, N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane / hydrochloride, γ-glycidoxypro Pyrtrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, aminosilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltriethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, γ- Chloropropyltrimethoxysilane, hexamethyldisilazane, γ-anilinopropyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (β-methoxyethoxy) silane, octadecyldimethyl [3- (trimethoxysilyl) propyl ] Ammonium chloride, γ-chloropropylmethyldimethoxysilane, γ-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, methyltrichlorosilane, dimethyldichlorosilane, trimethyl Chlorosilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, bisallyltrimethoxysilane, tetraethoxysilane, bis (trimethoxysilyl) hexane, phenyltrimethoxysilane, N- (3-acryloxy-2-hydroxy Propyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, N- (3-methacryloxy-2-hydroxypropyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, (methacryloxymethyl) methyldiethoxysilane, (acryloxymethyl) methyldimethoxysilane , Etc.

中でも、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、が好ましく、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランが最も好ましい。   Among them, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltriethoxysilane, γ-acryloxypropyltrimethoxysilane, γ-acryloxypropyltriethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyl Triethoxysilane and phenyltrimethoxysilane are preferable, and γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane is most preferable.

密着向上剤の添加量は、重合性組成物の全固形分中0.5質量%以上30質量%以下が好ましく、0.7質量%以上20質量%以下がより好ましい。   The addition amount of the adhesion improver is preferably 0.5% by mass or more and 30% by mass or less, and more preferably 0.7% by mass or more and 20% by mass or less in the total solid content of the polymerizable composition.

[希釈剤]
重合性組成物は、希釈剤として、種々の有機溶剤を用いてもよい。
ここで使用する有機溶剤としては、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサン、酢酸エチル、エチレンジクロライド、テトラヒドロフラン、トルエン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、アセチルアセトン、シクロヘキサノン、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシプロパノール、メトキシメトキシエタノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシプロピルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、乳酸メチル、乳酸エチルなどがある。
これらの溶媒は、単独或いは混合して使用することができる。有機溶剤に対する固形分の濃度は、2〜60質量%であることが好ましい。
[Diluent]
The polymerizable composition may use various organic solvents as a diluent.
The organic solvent used here is acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexane, ethyl acetate, ethylene dichloride, tetrahydrofuran, toluene, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether. , Acetylacetone, cyclohexanone, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol ethyl ether acetate, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, 3-methoxypropanol, methoxymethoxyethanol, diethylene glycol monomethyl ether , Diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxypropyl acetate, N, N-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, methyl lactate, lactic acid There are ethyl and the like.
These solvents can be used alone or in combination. The concentration of the solid content with respect to the organic solvent is preferably 2 to 60% by mass.

[その他の添加剤]
更に、重合性組成物に対しては、硬化皮膜の物性を改良するために無機充填剤や、可塑剤、感脂化剤等の公知の添加剤を加えてもよい。
可塑剤としては、例えば、ジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等があり、結合剤を使用した場合、重合性化合物とバインダーポリマーとの合計質量に対し10質量%以下添加することができる。
[Other additives]
Furthermore, in order to improve the physical properties of the cured film, known additives such as inorganic fillers, plasticizers, and oil sensitizers may be added to the polymerizable composition.
Examples of plasticizers include dioctyl phthalate, didodecyl phthalate, triethylene glycol dicaprylate, dimethyl glycol phthalate, tricresyl phosphate, dioctyl adipate, dibutyl sebacate, and triacetyl glycerin. , 10% by mass or less can be added with respect to the total mass of the polymerizable compound and the binder polymer.

なお本発明の重合性組成物は、硬化感度が高く、未露光部における残渣が抑制された高精細な遮光膜パターンを形成しうるため、遮光性カラーフィルタの形成に好適に用いることができる。   The polymerizable composition of the present invention can be suitably used for forming a light-shielding color filter because it has high curing sensitivity and can form a high-definition light-shielding film pattern in which residues in unexposed areas are suppressed.

<遮光性カラーフィルタ>
本発明の遮光性カラーフィルタは、前述の本発明の重合性組成物を用いて形成されたものである。本発明の重合性組成物を用いて形成された遮光性カラーフィルタは、周辺部に中央部よりも膜厚が薄くなる領域(ステップ)が発生する現象を抑制でき、中央部及び周辺部の遮光能を向上させることができる。
<Light-shielding color filter>
The light-shielding color filter of the present invention is formed using the above-described polymerizable composition of the present invention. The light-shielding color filter formed using the polymerizable composition of the present invention can suppress a phenomenon in which a region (step) in which the film thickness is thinner in the peripheral part than in the central part is generated, and the central part and the peripheral part are shielded from light. Performance can be improved.

本発明においてステップとは、重合性組成物を塗布、露光、現像して形成した一辺200μm程度以上の遮光性カラーフィルタ中に観察される段差のことをいう。遮光性カラーフィルタを膜面上方から光学顕微鏡で観察すると、ステップが遮光性カラーフィルタのパターンエッジとほぼ相似形の線として観察される場合がある。
図1は、遮光性カラーフィルタ10中にステップが生じた様子を模式的に表した図である。実線は遮光性カラーフィルタのパターンエッジ1を表し、破線はステップ2を表す。実際には、破線は実線として観察される
遮光性カラーフィルタの膜厚は、ステップより外側の領域(図1中、パターンエッジ1とステップ2とにより挟まれた領域)では、ステップより内側の領域(図1中、ステップ2で囲まれた領域)よりも薄くなっている。即ち、ステップより外側の領域(以下、「ステップ領域」ともいう)では遮光能が低いため、固体撮像素子用の遮光性カラーフィルタとして用いた際にノイズの原因となる等、固体撮像素子の性能に悪影響を及ぼす。
なお本発明の重合性組成物を用いて遮光性カラーフィルターを形成した際、遮光性カラーフィルター周辺部に中央部よりも膜厚が薄くなる領域(ステップ領域)を生じる現象を抑制でき、周辺部における遮光能の低下を抑制できる。
In the present invention, the step refers to a step observed in a light-shielding color filter having a side of about 200 μm or more formed by applying, exposing and developing a polymerizable composition. When the light-shielding color filter is observed from above the film surface with an optical microscope, the step may be observed as a line that is substantially similar to the pattern edge of the light-shielding color filter.
FIG. 1 is a diagram schematically showing a state in which a step occurs in the light-shielding color filter 10. The solid line represents the pattern edge 1 of the light-shielding color filter, and the broken line represents step 2. Actually, the broken line is observed as a solid line. The film thickness of the light-shielding color filter is the area inside the step in the area outside the step (the area between the pattern edge 1 and step 2 in FIG. 1). It is thinner than (the region surrounded by step 2 in FIG. 1). In other words, the area outside the step (hereinafter also referred to as “step area”) has a low light shielding ability, and thus causes noise when used as a light-shielding color filter for a solid-state imaging element. Adversely affect.
In addition, when a light-shielding color filter is formed using the polymerizable composition of the present invention, a phenomenon in which a region (step region) in which the film thickness is thinner than the central portion can be suppressed in the periphery of the light-shielding color filter can be suppressed. It is possible to suppress a decrease in the light shielding ability.

遮光性カラーフィルタの膜厚としては特に限定はないが、本発明による効果をより効果的に得る観点からは、0.2μm以上50μm以下が好ましく、0.5μm以上30μm以下がより好ましく、0.7μm以上20μm以下が更に好ましい。
遮光性カラーフィルタのサイズ(一辺の長さ)としては、本発明による効果をより効果的に得る観点からは、0.5mm以上5mm以下が好ましく、0.7mm以上4mm以下がより好ましく、0.9mm以上3.5mm以下が更に好ましい。
The film thickness of the light-shielding color filter is not particularly limited, but is preferably 0.2 μm or more and 50 μm or less, more preferably 0.5 μm or more and 30 μm or less, from the viewpoint of obtaining the effect of the present invention more effectively. More preferably, it is 7 μm or more and 20 μm or less.
The size (length of one side) of the light-shielding color filter is preferably 0.5 mm or more and 5 mm or less, more preferably 0.7 mm or more and 4 mm or less from the viewpoint of obtaining the effect of the present invention more effectively. 9 mm or more and 3.5 mm or less are still more preferable.

<遮光性カラーフィルタ及びその製造方法>
次に、本発明の遮光性カラーフィルタ及びその製造方法について説明する。
本発明の遮光性カラーフィルタは、支持体上に、本発明の重合性組成物を用いてなる着色パターンを有することを特徴とする。
以下、本発明の遮光性カラーフィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
<Light-shielding color filter and manufacturing method thereof>
Next, the light-shielding color filter of the present invention and the manufacturing method thereof will be described.
The light-shielding color filter of the present invention is characterized in that it has a colored pattern formed using the polymerizable composition of the present invention on a support.
Hereinafter, the light-shielding color filter of the present invention will be described in detail through its manufacturing method.

本発明の遮光性カラーフィルタの製造方法は、支持体上に、本発明の重合性組成物を塗布して重合性組成物層を形成する工程(以下、適宜「重合性組成物層形成工程」と略称する。)と、前記重合性組成物層をマスクを介して露光する工程(以下、適宜「露光工程」と略称する。)と、露光後の前記重合性組成物層を現像して着色パターンを形成する工程(以下、適宜「現像工程」と略称する。)と、を含むことを特徴とする。   The method for producing a light-shielding color filter of the present invention comprises a step of forming a polymerizable composition layer by applying the polymerizable composition of the present invention on a support (hereinafter referred to as “polymerizable composition layer forming step” as appropriate). And a step of exposing the polymerizable composition layer through a mask (hereinafter abbreviated as “exposure step” as appropriate), and developing and coloring the polymerizable composition layer after exposure. And a step of forming a pattern (hereinafter abbreviated as “development step” as appropriate).

具体的には、本発明の重合性組成物を、直接又は他の層を介して支持体(基板)上に塗布して、重合性組成物層を形成し(重合性組成物層形成工程)、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させ(露光工程)、現像液で現像することによって(現像工程)、画素からなるパターン状皮膜を形成し、本発明の遮光性カラーフィルタを製造することができる。
以下、本発明の遮光性カラーフィルタの製造方法における各工程について説明する。
Specifically, the polymerizable composition of the present invention is applied directly or via another layer to a support (substrate) to form a polymerizable composition layer (polymerizable composition layer forming step). Then, it is exposed through a predetermined mask pattern, only the coating film portion irradiated with light is cured (exposure process), and developed with a developer (development process) to form a pattern-like film composed of pixels. The light-shielding color filter of the invention can be manufactured.
Hereinafter, each process in the manufacturing method of the light-shielding color filter of this invention is demonstrated.

[重合性組成物層形成工程]
重合性組成物層形成工程では、支持体上に、本発明の重合性組成物を塗布して重合性組成物層を形成する。
[Polymerizable composition layer forming step]
In the polymerizable composition layer forming step, the polymerizable composition of the present invention is applied on a support to form a polymerizable composition layer.

本工程に用いうる支持体としては、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
Examples of the support that can be used in this step include a photoelectric conversion element substrate used for an imaging element or the like, such as a silicon substrate, a complementary metal oxide semiconductor (CMOS), or the like. These substrates may have black stripes that separate pixels.
Further, an undercoat layer may be provided on these supports, if necessary, in order to improve adhesion to the upper layer, prevent diffusion of substances, or flatten the substrate surface.

支持体上への本発明の重合性組成物の塗布方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。   As a coating method of the polymerizable composition of the present invention on the support, various coating methods such as slit coating, ink jet method, spin coating, cast coating, roll coating, screen printing method and the like can be applied.

固体撮像素子用のカラーフィルタを製造する際には、重合性組成物の塗布膜厚としては、解像度と現像性の観点から、0.35μm以上1.5μm以下が好ましく、0.40μm以上1.0μm以下がより好ましい。   When manufacturing a color filter for a solid-state imaging device, the coating film thickness of the polymerizable composition is preferably 0.35 μm or more and 1.5 μm or less, and preferably 0.40 μm or more and 1. 0 μm or less is more preferable.

支持体上に塗布された重合性組成物は、通常、70℃以上110℃以下で2分以上4分以下程度の条件下で乾燥され、重合性組成物層が形成される。   The polymerizable composition coated on the support is usually dried under conditions of 70 ° C. or higher and 110 ° C. or lower and about 2 minutes or longer and 4 minutes or shorter to form a polymerizable composition layer.

〔露光工程〕
露光工程では、前記重合性組成物層形成工程において形成された重合性組成物層をマスクを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させる。
露光は放射線の照射により行うことが好ましく、露光に際して用いることができる放射線としては、特に、g線、i線等の紫外線が好ましく用いられ、高圧水銀灯がより好まれる。照射強度は5mJ以上1500mJ以下が好ましく10mJ以上1000mJ以下がより好ましく、10mJ以上800mJ以下が最も好ましい。
[Exposure process]
In the exposure step, the polymerizable composition layer formed in the polymerizable composition layer forming step is exposed through a mask, and only the coating film portion irradiated with light is cured.
The exposure is preferably performed by irradiation of radiation, and as radiation that can be used for exposure, ultraviolet rays such as g-line and i-line are preferably used, and a high-pressure mercury lamp is more preferable. The irradiation intensity is preferably 5 mJ or more and 1500 mJ or less, more preferably 10 mJ or more and 1000 mJ or less, and most preferably 10 mJ or more and 800 mJ or less.

〔現像工程〕
露光工程に次いで、アルカリ現像処理(現像工程)を行い、露光工程における光未照射部分をアルカリ水溶液に溶出させる。これにより、光硬化した部分だけが残る。
現像液としては、下地の回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては通常20℃以上30℃以下であり、現像時間は20秒以上90秒以下である。
[Development process]
Subsequent to the exposure step, an alkali development treatment (development step) is performed, and the light non-irradiated part in the exposure step is eluted in an alkaline aqueous solution. Thereby, only the photocured part remains.
As the developer, an organic alkali developer that does not damage the underlying circuit or the like is desirable. The development temperature is usually from 20 ° C. to 30 ° C., and the development time is from 20 seconds to 90 seconds.

現像液に用いるアルカリとしては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5、4、0]−7−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物を濃度が0.001質量%以上10質量%以下、好ましくは0.01質量%以上1質量%以下となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄(リンス)する。   Examples of the alkali used in the developer include ammonia water, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5, 4, 0. ] -7-Undecene is used as an alkaline aqueous solution diluted with pure water so that the concentration is 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass. The In the case where a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed (rinsed) with pure water after development.

なお、本発明の遮光性カラーフィルタの製造方法においては、上述した、重合性組成物層形成工程、露光工程、及び現像工程を行った後に、必要により、形成された着色パターンを加熱及び/又は露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。   In the method for producing a light-shielding color filter of the present invention, after the above-described polymerizable composition layer forming step, exposure step, and development step are performed, the formed colored pattern is heated and / or if necessary. A curing step of curing by exposure may be included.

本発明の遮光性カラーフィルタは、本発明の重合性組成物を用いているため、形成された着色パターンが支持体基板との高い密着性を示し、硬化した組成物は耐現像性に優れるため、露光感度に優れ、露光部の基板との密着性が良好であり、かつ、所望の断面形状を与える高解像度のパターンを形成することができる。
従って、液晶表示素子やCCD等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS等に好適である。すなわWち、本発明の遮光性カラーフィルタは、固体撮像素子に適用されることが好ましい。
本発明の遮光性カラーフィルタは、例えば、CCDを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置される遮光性カラーフィルタとして用いることができる。
Since the light-shielding color filter of the present invention uses the polymerizable composition of the present invention, the formed colored pattern exhibits high adhesion to the support substrate, and the cured composition has excellent development resistance. In addition, it is possible to form a high-resolution pattern that is excellent in exposure sensitivity, has good adhesion to the substrate of the exposed portion, and gives a desired cross-sectional shape.
Therefore, it can be suitably used for a solid-state imaging device such as a liquid crystal display device or a CCD, and is particularly suitable for a high-resolution CCD device or a CMOS that exceeds 1 million pixels. In other words, the light-shielding color filter of the present invention is preferably applied to a solid-state image sensor.
The light-shielding color filter of the present invention can be used as, for example, a light-shielding color filter disposed between a light receiving portion of each pixel constituting a CCD and a microlens for condensing light.

<固体撮像素子>
本発明の固体撮像素子は、既述の本発明の遮光性カラーフィルタと、必要により他の色(3色あるいは4色)の画素からなるパターン状皮膜と、を有するカラーフィルタを備えて構成される。
本発明の固体撮像素子は、周辺部における遮光能の低下が抑制された本発明の遮光性カラーフィルタが備えられているため、ノイズを低減でき、色再現性を向上させることができる。
本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の遮光性カラーフィルタが備えられた構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、支持体上に、固体撮像素子(CCDイメージセンサー、CMOSイメージセンサー、等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる受光素子を有し、支持体の受光素子形成面の反対側の面に本発明の遮光性カラーフィルタが備えられた構成等が挙げられる。
<Solid-state imaging device>
The solid-state imaging device of the present invention is configured to include a color filter having the light-shielding color filter of the present invention described above and a patterned film composed of pixels of other colors (three colors or four colors) as necessary. The
Since the solid-state imaging device of the present invention includes the light-shielding color filter of the present invention in which a decrease in light-shielding ability at the peripheral portion is suppressed, noise can be reduced and color reproducibility can be improved.
The configuration of the solid-state imaging device of the present invention is a configuration provided with the light-shielding color filter of the present invention, and is not particularly limited as long as it is a configuration that functions as a solid-state imaging device. The present invention has a light receiving element composed of a plurality of photodiodes and polysilicon forming a light receiving area of an image pickup element (CCD image sensor, CMOS image sensor, etc.), and the present invention is provided on the surface opposite to the light receiving element forming surface of the support The structure etc. with which this light-shielding color filter was provided are mentioned.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、「部」「%」は質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Unless otherwise specified, “part” and “%” are based on mass.

〔重合性組成物の調製〕
<カーボンブラック分散物Aの調製>
下記組成1を二本ロールにて高粘度分散処理を施し、分散物を得た。この際の分散物の粘度は70000mPa・sであった。
その後、この分散物に下記組成2を添加し、3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて3時間攪拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いた分散機(商品名:ディスパーマット GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施して、カーボンブラック分散液A(以下、CB分散液Aと表記する。)を調製した。この際の、混合溶液の粘度は37mPa・sであった。
(Preparation of polymerizable composition)
<Preparation of carbon black dispersion A>
The following composition 1 was subjected to a high viscosity dispersion treatment with two rolls to obtain a dispersion. The viscosity of the dispersion at this time was 70000 mPa · s.
Then, the following composition 2 was added to this dispersion, and it stirred for 3 hours using the homogenizer on 3000 rpm conditions. The obtained mixed solution was subjected to a fine dispersion treatment for 4 hours with a disperser using 0.3 mm zirconia beads (trade name: Dispermat manufactured by GETZMANN), and carbon black dispersion A (hereinafter referred to as CB dispersion A). Was written). At this time, the viscosity of the mixed solution was 37 mPa · s.

(組成1)
・平均一次粒径15nmカーボンブラック(PigmentBlack7) 23部
・表1に示す特定アルカリ可溶性樹脂または比較樹脂のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート45%溶液 22部
・ソルスパース5000(ゼネカ社製)(分散剤) 1.2部
(Composition 1)
-Average primary particle size 15 nm carbon black (Pigment Black 7) 23 parts-Specific alkali-soluble resin shown in Table 1 or comparative resin propylene glycol monomethyl ether acetate 45% solution 22 parts-Solsperse 5000 (manufactured by Geneca) (dispersant) 2 parts

(組成2)
・表1に示す特定アルカリ可溶性樹脂または比較樹脂のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート45%溶液 22部
(BzMA/MAA=70/30、Mw:30000)
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 200部
(Composition 2)
22 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate 45% solution of specific alkali-soluble resin or comparative resin shown in Table 1 (BzMA / MAA = 70/30, Mw: 30000)
・ 200 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate

<チタンブラック分散物Aの調製>
下記組成3を二本ロールにて高粘度分散処理を施し、分散物を得た。この際の分散物の粘度は40000mPa・sであった。
なお、高粘度分散処理の前にニーダーで30分混練することを行ってもよい。
<Preparation of Titanium Black Dispersion A>
The following composition 3 was subjected to a high viscosity dispersion treatment with two rolls to obtain a dispersion. The viscosity of the dispersion at this time was 40,000 mPa · s.
In addition, you may knead | mix for 30 minutes with a kneader before a high-viscosity dispersion process.

<組成3>
・平均一次粒径75nmチタンブラック13M−C 39部
(三菱マテリアルズ(株)製)(ピグメント ブラック35)
・表1に示す特定アルカリ可溶性樹脂のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液 8部
・ソルスパース5000(ゼネカ社製)(分散剤) 1部
<Composition 3>
-Average primary particle size 75nm Titanium black 13M-C 39 parts (Mitsubishi Materials Corporation) (Pigment Black 35)
-8 parts of a propylene glycol monomethyl ether acetate solution of the specific alkali-soluble resin shown in Table 1-Solsperse 5000 (manufactured by Zeneca) (dispersant) 1 part

得られた分散物に、下記組成4を添加し、3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて3時間攪拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いた、分散機(商品名:ディスパーマット GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施して、チタンブラック分散液A(以下、TB分散液Aと表記する。)を得た。
この際の、混合溶液の粘度は7.0mPa・sであった。
The following composition 4 was added to the obtained dispersion, and the mixture was stirred for 3 hours using a homogenizer under the condition of 3000 rpm. The obtained mixed solution was finely dispersed for 4 hours with a disperser (trade name: Dispermat GETZMANN Co., Ltd.) using 0.3 mm zirconia beads, and titanium black dispersion A (hereinafter referred to as TB dispersion). A.) was obtained.
At this time, the viscosity of the mixed solution was 7.0 mPa · s.

<組成4>
・表1に示す特定アルカリ可溶性樹脂のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液 8部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 200部
<Composition 4>
・ 8 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate solution of specific alkali-soluble resin shown in Table 1 ・ 200 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate

<チタンブラック分散物Bの調製>
チタンブラック分散物Aで用いた上記「三菱マテリアル社製 チタンブラック13M−C」に変えて、赤穂化成(株)ティラック(Tilack)Dを用いた以外は、チタンブラック分散物Aと同様にしてチタンブラック分散物Bを調整した。
<Preparation of titanium black dispersion B>
In the same manner as Titanium Black Dispersion A, except that Ako Kasei Co., Ltd. Tilack D was used instead of “Titanium Black 13M-C manufactured by Mitsubishi Materials Corporation” used in Titanium Black Dispersion A. Titanium black dispersion B was prepared.

(実施例1−1〜実施例1−16および比較例1−1〜比較例1−3)
<重合性組成物A−1〜A−12、B−1、C−1、D−1、E−1、及び比較組成物A’−1〜A’−3の調製>
下記組成A〜Eの成分を各々、攪拌機で混合して、重合性組成物A−1〜A−12、B−1、C−1、D−1、E−1、及び比較組成物A’−1〜A’−3を調製した。
(Example 1-1 to Example 1-16 and Comparative Example 1-1 to Comparative Example 1-3)
<Preparation of Polymerizable Compositions A-1 to A-12, B-1, C-1, D-1, E-1, and Comparative Compositions A′-1 to A′-3>
The components of the following compositions A to E are mixed with a stirrer, and polymerizable compositions A-1 to A-12, B-1, C-1, D-1, E-1, and comparative composition A ′. −1 to A′-3 were prepared.

(組成A)
・メタクリレート/アクリル酸共重合体(バインダーポリマー) 1.6質量部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(重合性化合物) 2.3質量部
・エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート(重合性化合物) 0.8質量部
・下記表1に記載のCB分散液A、またはTB分散液A 24質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(希釈剤) 10質量部
・エチル−3−エトキシプロピオネート 8質量部
・光重合開始剤:下記表1に記載の化合物 下記表1に記載の量
・重合禁止剤として、4−メトキシフェノール 0.01質量部
(Composition A)
-Methacrylate / acrylic acid copolymer (binder polymer) 1.6 parts by mass-Dipentaerythritol hexaacrylate (polymerizable compound) 2.3 parts by mass-Ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate (polymerizable compound) 0.8 parts by mass -24 parts by mass of CB dispersion A or TB dispersion A listed in Table 1 below-10 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate (diluent)-8 parts by mass of ethyl-3-ethoxypropionate-photopolymerization initiator : Compounds described in the following Table 1 As an amount / polymerization inhibitor described in the following Table 1, 0.01 parts by mass of 4-methoxyphenol

(組成B)
上記組成Aにおいて用いた「表1に記載のTB分散物A」に変えて、「表1に記載のTB分散物B」を用いた以外は、組成Aと同一組成とした。
(Composition B)
The composition was the same as the composition A except that the “TB dispersion A described in Table 1” was used instead of the “TB dispersion A described in Table 1” used in the composition A.

(組成C)
上記組成Aにおいて用いた「表1に記載のTB分散物A、またはTB分散物A 24質量部」を、重合性組成物A−1で用いたTB分散物A(表1参照) 20質量部に変更し、メタクリレート/アクリル酸共重合体(バインダーポリマー)1.6質量部を5.0質量部に変更した以外は、組成Aと同一組成とした。
(Composition C)
20 parts by mass of the TB dispersion A (see Table 1) used in the polymerizable composition A-1 "TB dispersion A shown in Table 1 or 24 parts by mass of TB dispersion A" used in the above composition A The composition was the same as that of Composition A except that 1.6 parts by mass of the methacrylate / acrylic acid copolymer (binder polymer) was changed to 5.0 parts by mass.

(組成D)
上記組成Aにおいて、用いた「表1に記載のTB分散物A、またはTB分散物A 24質量部」を、重合性組成物A−1で用いたTB分散物A(表1参照) 45質量部に変更し、上記組成Aにおけるメタクリレート/アクリル酸共重合体(バインダーポリマー)1.6質量部を0.652質量部に変更した以外は、組成Aと同一組成とした。
(Composition D)
In the composition A, the TB dispersion A used in the polymerizable composition A-1 ("TB dispersion A shown in Table 1 or 24 parts by mass of TB dispersion A") used (see Table 1) 45 masses The composition was the same as that of Composition A except that 1.6 parts by mass of the methacrylate / acrylic acid copolymer (binder polymer) in Composition A was changed to 0.652 parts by mass.

(組成E)
上記組成Aにおいて用いた「表1に記載のCB分散物A、またはTB分散物A 24質量部」を、重合性組成物A−1で用いたTB分散物A(表1参照) 45質量部に変更し、また、上記組成Aにおけるメタクリレート/アクリル酸共重合体(バインダーポリマー)1.6質量部を0質量部に変更し、該組成Aにおけるジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(重合性化合物)2.3質量部を0.582質量部に変更した以外は、組成Aと同一組成とした。
(Composition E)
45 parts by mass of the TB dispersion A (see Table 1) using the “CB dispersion A or TB dispersion A shown in Table 1 or 24 parts by mass” used in the composition A in the polymerizable composition A-1. Further, 1.6 parts by mass of the methacrylate / acrylic acid copolymer (binder polymer) in the composition A is changed to 0 parts by mass, and dipentaerythritol hexaacrylate (polymerizable compound) in the composition A is changed to 2. The composition was the same as the composition A except that 3 parts by mass was changed to 0.582 parts by mass.


(実施例2−1〜実施例2−12および比較例2−1〜比較例2−3)
<重合性組成物Y−1〜Y−12及びY’−1〜Y’−3の調製>
下記組成Yの成分を攪拌機で混合して重合性組成物Y−1〜Y−12、及びY’−1〜Y’−3を調製した。
(Example 2-1 to Example 2-12 and Comparative Example 2-1 to Comparative Example 2-3)
<Preparation of Polymerizable Compositions Y-1 to Y-12 and Y'-1 to Y'-3>
Components of the following composition Y were mixed with a stirrer to prepare polymerizable compositions Y-1 to Y-12 and Y′-1 to Y′-3.

(組成Y)
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(重合性化合物) 2.3質量部
・下記表2に記載のCB分散液A、またはTB分散液A、 24質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(希釈剤) 10質量部
・エチル−3−エトキシプロピオネート 8質量部
・光重合開始剤:下記表2に記載の化合物 下記表2に記載の量
・重合禁止剤として、4−メトキシフェノール 0.01質量部
(Composition Y)
Dipentaerythritol hexaacrylate (polymerizable compound) 2.3 parts by mass CB dispersion A or TB dispersion A shown in Table 2 below, 24 parts by mass Propylene glycol monomethyl ether acetate (diluent) 10 parts by mass -Ethyl-3-ethoxypropionate 8 parts by mass-Photopolymerization initiator: compounds described in Table 2 below As the amount shown in Table 2 below-polymerization inhibitor, 0.01 parts by mass of 4-methoxyphenol


なお、表1及び表2中、「TB」はチタンブラックを示し、「CB」はカーボンブラックを示す。また、表1および表2に記載の光重合開始剤は、以下の通りである。
なお、表1及び表2中、特定アルカリ可溶性樹脂として示した「例示化合物2〜例示化合物31」は、各々、特定アルカリ可溶性樹脂の具体例として、上記「化5」〜「化11」に示した例示化合物2〜例示化合物31に対応する。
また、表1及び表2中、特定アルカリ可溶性樹脂として示した比較化合物1とは、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(BzMA/MAA=70/30、Mw:30000、固形分40質量%)を示す。
In Tables 1 and 2, “TB” indicates titanium black and “CB” indicates carbon black. The photopolymerization initiators listed in Tables 1 and 2 are as follows.
In Tables 1 and 2, “Exemplary Compound 2 to Exemplary Compound 31” shown as the specific alkali-soluble resins are shown in the above “Chemical Formula 5” to “Chemical Formula 11” as specific examples of the specific alkali-soluble resin, respectively. It corresponds to Exemplified Compound 2 to Exemplified Compound 31.
In Tables 1 and 2, Comparative Compound 1 shown as the specific alkali-soluble resin is a benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer propylene glycol monomethyl ether acetate solution (BzMA / MAA = 70 / 30, Mw: 30000, solid content 40% by mass).


化合物6

Compound 6

〔評価〕
上記のようにして得られた重合性組成物または比較組成物(A−1〜A−12、B−1、C−1、D−1、E−1、A’−1〜A’−3、Y−1〜Y−12、およびY’−1〜Y’−3)を用いて、以下のような評価を行った。その結果を上記表1及び表2に示した。
[Evaluation]
Polymerizable composition or comparative composition (A-1 to A-12, B-1, C-1, D-1, E-1, A'-1 to A'-3) obtained as described above. , Y-1 to Y-12, and Y′-1 to Y′-3) were evaluated as follows. The results are shown in Tables 1 and 2 above.

−露光感度評価−
まず、上記のようにして得られた重合性組成物または比較組成物(A−1〜A−12、B−1、C−1、D−1、E−1、A’−1〜A’−3、Y−1〜Y−12、およびY’−1〜Y’−3)の露光感度を、下記の方法で求めて、それを評価した。
-Exposure sensitivity evaluation-
First, the polymerizable composition or the comparative composition (A-1 to A-12, B-1, C-1, D-1, E-1, A′-1 to A ′) obtained as described above. -3, Y-1 to Y-12, and Y'-1 to Y'-3) were evaluated by the following methods.

各重合性組成物を用いて、塗布後に表面温度120℃で120秒間ホットプレートでの加熱処理後の膜厚が1.0μmになるようにスピンコートの塗布回転数を調整し、シリコンウエハー上に均一に塗布して1.0μmの塗膜を得た。
次いで、i線ステッパー、FPA−3000iS+(キャノン(株)製)を使用して3mm角のパターンを有するフォトマスクを介して、100mJ/cm以上5000mJ/cm以下の範囲の露光量を、100mJ/cmの刻みで変化させて照射した。
照射後に、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)0.3%水溶液を用いて、23℃にて60秒間パドル現像を行い、その後、純水を用いて20秒スピンシャワーにて、リンスを行い、更に純水にて水洗を行った。その後、付着した水滴を高度のエアーで除去し、基板を自然乾燥させ、黒色画像パターンを得た。
得られた黒色画像パターンについて、光学顕微鏡を用いて下記の基準で評価した。
Using each polymerizable composition, the coating rotation speed of spin coating was adjusted so that the film thickness after heat treatment on a hot plate at a surface temperature of 120 ° C. for 120 seconds after coating was 1.0 μm, and was applied onto a silicon wafer. Uniform coating was performed to obtain a 1.0 μm coating film.
Then, i-line stepper, FPA-3000iS + through a photomask having a pattern of 3mm square using (Canon Co., Ltd.), the exposure amount of 100 mJ / cm 2 or more 5000 mJ / cm 2 or less in the range, 100 mJ Irradiation was performed while changing in steps of / cm 2 .
After irradiation, paddle development is performed at 23 ° C. for 60 seconds using a tetramethylammonium hydroxide (TMAH) 0.3% aqueous solution, and then rinsed with pure water for 20 seconds in a spin shower. Washed with pure water. Thereafter, the adhering water droplets were removed with high-level air, and the substrate was naturally dried to obtain a black image pattern.
About the obtained black image pattern, it evaluated on the following reference | standard using the optical microscope.

上記の露光工程において光が照射された領域の現像後の膜厚が、露光前の膜厚100%に対して95%以上であった最小の露光量を測定し、これを露光感度として評価した。
露光感度の値が小さいほど感度が高いことを示す。
In the above exposure step, the film thickness after development in the region irradiated with light was measured to be the minimum exposure amount that was 95% or more with respect to the film thickness 100% before exposure, and this was evaluated as exposure sensitivity. .
A smaller exposure sensitivity value indicates higher sensitivity.

−保存安定性(経時安定性)評価−
また、上記のようにして得られた各重合性組成物の保存安定性について、下記の方法で評価した。
即ち、各重合性組成物を室温で1ケ月保存した後、粘度変化の度合いを下記判定基準に従って評価した。
-Evaluation of storage stability (stability over time)-
Moreover, the storage stability of each polymerizable composition obtained as described above was evaluated by the following method.
That is, after each polymerizable composition was stored at room temperature for 1 month, the degree of viscosity change was evaluated according to the following criteria.

−判定基準−
○:0%以上3%未満の粘度変化
△:3%以上10%未満の粘度変化
×:10%以上の粘度変化
-Criteria-
○: Viscosity change of 0% to less than 3% Δ: Viscosity change of 3% to less than 10% ×: Viscosity change of 10% or more

−現像性評価−
更に、上記のようにして得られた各重合性組成物の現像性について、下記の方法で評価した。
即ち、上記感度評価の際の露光工程において、光が照射されなかった領域(未露光部)の残渣の有無をSEMで観察し、現像性を評価した。評価基準は以下の通りである。
-Developability evaluation-
Furthermore, the developability of each polymerizable composition obtained as described above was evaluated by the following method.
That is, in the exposure process in the sensitivity evaluation, the presence or absence of a residue in a region not irradiated with light (unexposed portion) was observed with an SEM, and developability was evaluated. The evaluation criteria are as follows.

−評価基準−
○:未露光部には、残渣がまったく確認されなかった
△:未露光部に、残渣がわずかに確認されたが、実用上問題のない程度であった
×:未露光部に、残渣が著しく確認された。
-Evaluation criteria-
○: Residue was not confirmed at all in the unexposed area. Δ: Residue was slightly confirmed at the unexposed area, but there was no practical problem. confirmed.

−ステップの評価−
得られた遮光膜パターン(重合性組成物により形成されたパターン)を光学顕微鏡(倍率100倍)で撮影し、ステップ領域の幅を測定した。詳細には、図1に示すように、遮光膜(遮光性カラーフィルタ)10において、重合性組成物により形成されたパターンの端部であるパターンエッジ1と、ステップ領域(遮光性カラーフィルタ周辺部における中央部よりも膜厚の薄くなる領域)との境界線2と、の幅を測定した。このステップ領域の幅が狭い程、中央部及び周辺部の遮光能に優れていることを示す。
-Step evaluation-
The obtained light-shielding film pattern (pattern formed from the polymerizable composition) was photographed with an optical microscope (100 times magnification), and the width of the step region was measured. Specifically, as shown in FIG. 1, in the light shielding film (light shielding color filter) 10, a pattern edge 1 which is an end portion of a pattern formed of a polymerizable composition and a step region (light shielding color filter peripheral portion). The width of the boundary line 2 with respect to the region where the film thickness is thinner than the central portion in FIG. It shows that the narrower the width of the step region, the better the light shielding ability of the central part and the peripheral part.

上記表1および表2から明らかなように、本発明の重合性組成物は、露光感度および保存安定性が良好で、いずれも未露光部における残渣は見られず良好な現像性を示した。ここで、硬化した組成物は耐現像性に優れることから、本発明の重合性組成物は、硬化性に優れることが分かる。また、本発明の重合性組成物は、固体撮像素子用の遮光性カラーフィルタに必要な充分な遮光性を有していることがわかる。   As is clear from Table 1 and Table 2, the polymerizable composition of the present invention has good exposure sensitivity and storage stability, and in both cases, no residue was observed in the unexposed area, and good developability was exhibited. Here, since the cured composition is excellent in development resistance, it can be seen that the polymerizable composition of the present invention is excellent in curability. Moreover, it turns out that the polymeric composition of this invention has sufficient light-shielding property required for the light-shielding color filter for solid-state image sensors.

また、さらに、光重合開始剤としてオキシム化合物を用いた場合(実施例1−1〜1−8、1−11〜1−12)には、オキシム化合物を用いない場合(実施例1−9、1−10)に比べて、より露光感度及び経時安定性に優れていることが分かる。
また、重合性組成物の全固形分に対するチタンブラックの含有量が40質量%以上80質量%の範囲内である実施例1−1〜実施例1−13、実施例1−15、及び実施例2−1〜実施例2−12は、この範囲外である実施例1−14及び実施例1−16に比べて、ステップ領域幅が広いという結果が得られている。このため、重合性組成物の全固形分に対するチタンブラックの含有量が40質量%以上80質量%の範囲内である場合には、該範囲外である場合に比べて、より良好な中央部及び周辺部の遮光能が得られているといえる。
Furthermore, when an oxime compound is used as a photopolymerization initiator (Examples 1-1 to 1-8, 1-11 to 1-12), an oxime compound is not used (Example 1-9, It can be seen that the exposure sensitivity and stability over time are more excellent than those of 1-10).
Examples 1-1 to 1-13, Examples 1-15, and Examples in which the content of titanium black with respect to the total solid content of the polymerizable composition is in the range of 40% by mass to 80% by mass The results that the step region width is wider in Examples 2-1 to 2-12 than in Examples 1-14 and 1-16, which are outside this range, are obtained. For this reason, when the content of titanium black with respect to the total solid content of the polymerizable composition is within the range of 40% by mass or more and 80% by mass, a better center part and It can be said that the shading ability of the peripheral part is obtained.

(実施例3−1)
<固体撮像素子の作製>
−有彩色着色重合性組成物の調製−
実施例2−1で調製した重合性組成物Y−1において、黒色顔料であるチタンブラックを、下記有彩色顔料に替えたほかは同様にして、それぞれ赤色(R)用着色重合性組成物R−1、緑色(G)用着色重合性組成物G−1、及び青色(B)用着色重合性組成物B−1を調製した。
(Example 3-1)
<Production of solid-state image sensor>
-Preparation of chromatic coloring polymerizable composition-
In the polymerizable composition Y-1 prepared in Example 2-1, the colored polymerizable composition R for red (R) was similarly used except that the black pigment, titanium black, was replaced with the following chromatic pigment. -1, green (G) colored polymerizable composition G-1, and blue (B) colored polymerizable composition B-1.

RGB各色着色画素形成用有彩色顔料
・赤色(R)用顔料
C.I.ピグメントレッド254
・緑色(G)用顔料
C.I.ピグメント グリーン36とC.I.ピグメント イエロー219との30/70〔質量比〕混合物
・青色(B)用顔料
C.I.ピグメント ブルー15:6とC.I.ピグメント バイオレット23との30/70〔質量比〕混合物
Chromatic pigment for forming colored pixels for each color of RGB, pigment for red (R) C.I. I. Pigment Red 254
-Green (G) pigment C.I. I. Pigment Green 36 and C.I. I. Pigment Yellow 219 30/70 [mass ratio] mixture and blue (B) pigment C.I. I. Pigment Blue 15: 6 and C.I. I. 30/70 [mass ratio] mixture with pigment violet 23

−固体撮像素子用カラーフィルタの作製−
前記実施例2−1で作製した遮光性カラーフィルタをブラックマトリックスとし、該ブラックマトリックス上に、前記赤色(R)用着色重合性組成物R−1を用いて、実施例2−1に記載の方法と同じ要領で1.6×1.6μmの赤色(R)の着色パターンを形成した。さらに、同様にして緑色(G)用着色重合性組成物G−1を用いて1.6×1.6μmの緑色(G)、及び青色(B)用着色重合性組成物B−1を用いて青色(B)の有彩色着色パターンを順次形成して固体撮像素子用のカラーフィルタを作製した。
-Fabrication of color filters for solid-state image sensors-
The light-shielding color filter prepared in Example 2-1 was used as a black matrix, and the colored polymerizable composition R-1 for red (R) was used on the black matrix, as described in Example 2-1. A red (R) colored pattern of 1.6 × 1.6 μm was formed in the same manner as the method. Further, using the colored polymerizable composition G-1 for green (G) in the same manner, the colored polymerizable composition B-1 for green (G) and blue (B) of 1.6 × 1.6 μm was used. A blue (B) chromatic coloring pattern was sequentially formed to produce a color filter for a solid-state imaging device.

−評価−
フルカラーのカラーフィルタを固体撮像素子に組み込んだところ、該固体撮像素子は、遮光性カラーフィルタの遮光性が高く、高解像度で、色分離性に優れることが確認された。
-Evaluation-
When a full-color color filter was incorporated into a solid-state imaging device, it was confirmed that the solid-state imaging device has a high light-shielding property of the light-shielding color filter, high resolution, and excellent color separation.

遮光性カラーフィルタ中にステップが生じた様子を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows a mode that the step arose in the light-shielding color filter.

符号の説明Explanation of symbols

1 パターンエッジ
2 ステップ
10 遮光性カラーフィルター
1 Pattern edge 2 Step 10 Light blocking color filter

Claims (6)

(A)少なくとも1つの不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂と、チタンブラックと、を含むチタンブラック分散物、(B)重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含有する重合性組成物。   (A) A polymerizable composition containing a titanium black dispersion comprising an alkali-soluble resin having at least one unsaturated double bond and titanium black, (B) a polymerizable compound, and (C) a photopolymerization initiator. object. 前記(C)光重合開始剤が、オキシム化合物であることを特徴とする請求項1に記載の重合性組成物。   The polymerizable composition according to claim 1, wherein the (C) photopolymerization initiator is an oxime compound. 重合性組成物の全固形分に対するチタンブラックの含有量が、40質量%以上80質量%以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の重合性組成物。   The polymerizable composition according to claim 1 or 2, wherein the content of titanium black with respect to the total solid content of the polymerizable composition is 40% by mass or more and 80% by mass or less. 遮光性カラーフィルタの形成に用いられることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の重合性組成物。   The polymerizable composition according to claim 1, wherein the polymerizable composition is used for forming a light-shielding color filter. 支持体上に、請求項4に記載の重合性組成物を用いて形成された着色領域を有する遮光性カラーフィルタ。   A light-shielding color filter having a colored region formed on the support using the polymerizable composition according to claim 4. 請求項5に記載の遮光性カラーフィルタを備えた固体撮像素子。   A solid-state imaging device comprising the light-shielding color filter according to claim 5.
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