JP2009253617A - 撮像装置及び固体撮像素子の駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】高速駆動ができ、ノイズも抑制できる撮像装置を提供する。
【解決手段】光電変換素子と、この各々に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直電荷転送路と、各垂直電荷転送路の端部に設けられ該垂直電荷転送路の駆動とは独立に駆動されるラインメモリと、ラインメモリから移された信号電荷を出力端側に転送する水平電荷転送路とが形成された固体撮像素子と、駆動手段(TG、ドライバ回路)を有する撮像装置であって、駆動手段は、水平電荷転送路による水平転送期間中に垂直電荷転送路による信号電荷の垂直転送を行うと共に、水平転送期間において、垂直転送を行うための垂直転送パルスφV系のパルス変化点に対応させた所定期間Aだけ、水平電荷転送路による信号電荷の水平転送を行うための水平転送パルスφH1,H2の周波数を所定期間A以外の期間よりも遅くする。
【選択図】図3
【解決手段】光電変換素子と、この各々に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直電荷転送路と、各垂直電荷転送路の端部に設けられ該垂直電荷転送路の駆動とは独立に駆動されるラインメモリと、ラインメモリから移された信号電荷を出力端側に転送する水平電荷転送路とが形成された固体撮像素子と、駆動手段(TG、ドライバ回路)を有する撮像装置であって、駆動手段は、水平電荷転送路による水平転送期間中に垂直電荷転送路による信号電荷の垂直転送を行うと共に、水平転送期間において、垂直転送を行うための垂直転送パルスφV系のパルス変化点に対応させた所定期間Aだけ、水平電荷転送路による信号電荷の水平転送を行うための水平転送パルスφH1,H2の周波数を所定期間A以外の期間よりも遅くする。
【選択図】図3
Description
本発明は、多数の光電変換素子と、前記多数の光電変換素子の各々に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直電荷転送路と、各垂直電荷転送路の端部に設けられ該垂直電荷転送路の駆動とは独立に駆動される信号電荷一時蓄積部と、該信号電荷一時蓄積部から移された信号電荷を出力端側に転送する水平電荷転送路とを含む電荷転送型(CCD型)の固体撮像素子と、この固体撮像素子を駆動する駆動手段とを有する撮像装置に関する。
CCD型の固体撮像素子を駆動する場合、通常は、図4に示す様に、水平ブランキング期間と水平転送期間(出力期間)とを交互に設け、水平ブランキング期間では、垂直電荷転送路に垂直転送パルスφV系(4相駆動であればφV1,φV2,φV3,φV4)を印加して信号電荷の垂直方向への転送を1段だけ行い、次の水平転送期間では、水平転送パルスφH1,φH2を水平電荷転送路に印加して水平電荷転送路上の信号電荷を水平方向に転送し、水平電荷転送路上の1行分の信号電荷を全て出力した後、次の水平ブランキング期間に入るという動作を繰り返す。
この図4に示す駆動方法では、水平転送期間(出力期間)の間、垂直電荷転送路の転送駆動を停止させているため、全信号電荷を固体撮像素子から読み出すまでに時間がかかってしまうという問題がある。
そこで、下記の特許文献1記載の駆動方法では、図5に示す様に、水平転送期間(出力期間)でも垂直電荷転送路に垂直転送パルスφV系を変化させて垂直転送を行い、垂直転送パルスφV系の立ち上がりエッジと立ち下がりエッジ(パルス変化点)の時のみ、所要時間だけ水平転送を停止させて出力を一時停止させ、全信号電荷を固体撮像素子から読み出す時間の短縮を図っている。
図5に示した駆動方法の場合、水平転送期間中も、垂直転送パルスφV系のパルスエッジ時から所定期間(例えば4クロック期間)だけ、転送パルスφH1,φH2が一時停止状態となり、この一時停止期間には信号電荷の出力が一時停止される。
図5の最下段に示す「Idrv」は、水平転送パルスφH1,φH2を生成する水平ドライバ回路のドライバ電流を示すグラフである。ドライバ電流Idrvは、水平転送パルスφH1,φH2の停止中は小さくなり、水平転送パルスφH1,φH2がオンオフを繰り返す状態のときには大きくなる。このため、図5の場合、ドライバ電流Idrvは、水平転送期間中、一時停止期間に合わせて、パルス的に立ち上がったり立ち下がったりすることになる。
特許文献1記載の駆動方法(図5)で、垂直転送パルスのパルスエッジ時に水平転送を停止させるのは、水平電荷転送路での転送不良や出力アンプに乗るノイズを低減するためである。この駆動方法によれば、垂直転送パルスのパルス変化時に水平転送を一時的に停止させることで撮像信号の固体撮像素子からの出力を一時的に停止させ、撮像信号に乗るノイズの低減や信号電荷の転送不良の防止を図ることができる。しかし、撮影画像の更なる高画質化を図るためには、より一層のノイズ低減を図ることが望まれる。
CCD型の固体撮像素子を搭載する撮像装置は、アナログ回路とデジタル回路とが混在する回路構成になっており、固体撮像素子に供給される転送パルスはデジタル回路で生成され、これをドライバ回路で所要電圧にまで昇圧して固体撮像素子に印加する様になっている。固体撮像素子から出力される撮像信号、すなわち信号電荷の電荷量に応じた電圧値信号はアナログ信号であり、このアナログ信号を利得制御したり相関二重サンプリング処理したりする回路はアナログ回路である。
デジタル回路系のドライバ回路のドライブ電流Idrvが、図5に示す様に、パルス的に大きく変化し、この変化が繰り返されると、変化の影響がアース(グランド)線を介してアナログ回路系にも影響を与え、これがノイズの原因になってしまう虞がある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、高速駆動することができ、しかも、撮像信号に乗るノイズや信号電荷の転送不良も抑制することができる撮像装置及びその駆動方法を提供することを目的とする。
本発明の撮像装置は、多数の光電変換素子と、前記多数の光電変換素子の各々に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直電荷転送路と、各垂直電荷転送路の端部に設けられ該垂直電荷転送路の駆動とは独立に駆動される信号電荷一時蓄積部と、該信号電荷一時蓄積部から移された信号電荷を出力端側に転送する水平電荷転送路とを含む固体撮像素子と、前記固体撮像素子を駆動する駆動手段とを有する撮像装置であって、前記駆動手段は、前記水平電荷転送路による信号電荷の水平転送期間中に前記垂直電荷転送路による信号電荷の垂直転送を行うと共に、前記水平転送期間において、前記垂直転送を行うための垂直転送パルスのパルス変化点に対応させた所定期間だけ、前記水平電荷転送路による信号電荷の水平転送を行うための水平転送パルスの周波数を前記所定期間以外の期間よりも遅くする。
本発明の固体撮像素子の駆動方法は、多数の光電変換素子と、前記多数の光電変換素子の各々に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直電荷転送路と、各垂直電荷転送路の端部に設けられ該垂直電荷転送路の駆動とは独立に駆動される信号電荷一時蓄積部と、該信号電荷一時蓄積部から移された信号電荷を出力端側に転送する水平電荷転送路とを含む固体撮像素子の駆動方法であって、前記水平電荷転送路による信号電荷の水平転送期間中に前記垂直電荷転送路による信号電荷の垂直転送を行うと共に、前記水平転送期間において、前記垂直転送を行うための垂直転送パルスのパルス変化点に対応させた所定期間だけ、前記水平電荷転送路による信号電荷の水平転送を行うための水平転送パルスの周波数を前記所定期間以外の期間よりも遅くする。
本発明によれば、高速駆動することができ、しかも、撮像信号に乗るノイズや信号電荷の転送不良も抑制することができる撮像装置及びその駆動方法を提供することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施形態である撮像装置の概略構成を示すブロック図である。
図1に示す撮像装置1は、CCD型の固体撮像素子10と、アナログフロントエンド(AFE)回路20と、中央制御装置(MPU)30とを備える。
図1に示す撮像装置1は、CCD型の固体撮像素子10と、アナログフロントエンド(AFE)回路20と、中央制御装置(MPU)30とを備える。
AFE回路20は、固体撮像素子10から出力された撮像信号に対して利得制御や相関二重サンプリング処理を施した後、処理後のアナログ信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換部(ADC)21と、固体撮像素子10を駆動する駆動手段とで構成される。
駆動手段は、MPU30からの指示を受けて各種パルス信号を生成するタイミングジェネレータ(TG)22と、タイミングジェネレータ22から受けとったパルス信号を所要電圧パルス信号に昇圧するドライバ回路23とを備える。
図示する例では、ドライバ回路23は4つのドライバ回路23a,23b,23c,24dを備える。ドライバ回路23aはラインメモリ駆動パルスφLMを生成し、ドライバ回路23bは水平転送パルスφH1,φH2を生成し、ドライバ回路23cは読出パルスや垂直転送パルスφV系を生成し、ドライバ回路23dはリセットゲートパルスφRGを生成し、それぞれ生成したパルスを固体撮像素子10に供給する。
図2は、図1に示す固体撮像素子10の概略構成を示す平面模式図である。
固体撮像素子10は、半導体基板11表面に二次元アレイ状(図示の例では正方格子状)に配列形成された多数の光電変換素子(フォトダイオード(PD))12と、各フォトダイオード列に対応してその側部に形成され、対応するフォトダイオード列の各フォトダイオード12に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直電荷転送路13と、各フォトダイオード12と垂直電荷転送路13との間に設けられた読出ゲート14とを備える。図示する例では、垂直電荷転送路13上に設けられる垂直転送電極は、1フォトダイオード当たり4電極設けられ、4枚の各電極に、垂直電荷転送路13による信号電荷の垂直転送を行うための垂直転送パルスφV1,φV2,φV3,φV4が印加される構成(4相駆動の場合)になっている。
固体撮像素子10は、半導体基板11表面に二次元アレイ状(図示の例では正方格子状)に配列形成された多数の光電変換素子(フォトダイオード(PD))12と、各フォトダイオード列に対応してその側部に形成され、対応するフォトダイオード列の各フォトダイオード12に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直電荷転送路13と、各フォトダイオード12と垂直電荷転送路13との間に設けられた読出ゲート14とを備える。図示する例では、垂直電荷転送路13上に設けられる垂直転送電極は、1フォトダイオード当たり4電極設けられ、4枚の各電極に、垂直電荷転送路13による信号電荷の垂直転送を行うための垂直転送パルスφV1,φV2,φV3,φV4が印加される構成(4相駆動の場合)になっている。
更に、この固体撮像素子10は、半導体基板11の下辺部に設けられた水平電荷転送路15と、水平電荷転送路15の出力部に設けられた電荷検出部16及び出力アンプ17とを備える。
水平電荷転送路15上には、1垂直電荷転送路13当たり2枚の水平転送電極が設けられ、2枚の各電極に、水平電荷転送路15による信号電荷の水平転送を行うための水平転送パルスφH1,φH2が夫々印加される構成(2相駆動の場合)になっている。
また、この固体撮像素子10は、各垂直電荷転送路13の端部と水平電荷転送路15との境界部分に、各垂直電荷転送路13によって転送されてきた信号電荷を受け取って一時蓄積し、垂直電荷転送路13の駆動とは独立に駆動されるバッファ用のラインメモリ(信号電荷一時蓄積部)18を備える。
また、この固体撮像素子10は、電荷検出部16に蓄積された信号電荷をリセットするためのリセットゲートパルスφRGを電荷検出部16に印加可能となっている。
尚、ここでは「垂直」「水平」という用語を用いて説明したが、これは、固体撮像素子10の受光面に沿う「1方向」「この1方向に略直交する方向」という意味に過ぎない。
斯かる構造の撮像装置1では、各フォトダイオード12が被写体からの入射光の光量に応じた信号電荷を蓄積し、読み出しパルスがドライバ回路23から印加されたときに、読出ゲート14を通して該信号電荷がフォトダイオード12から隣接の垂直電荷転送路13に読み出される。
垂直電荷転送路13に垂直転送パルスφV1〜φV4が印加されると、信号電荷は水平電荷転送路15の方向(垂直方向)に転送され、各垂直電荷転送路13の端部まで転送されてきた水平方向一行分の信号電荷はラインメモリ18に移され、一時蓄積される。
ラインメモリ18に駆動パルスφLMが印加されると、ラインメモリ18上の信号電荷が水平電荷転送路15に移される。ラインメモリ18を制御することで、水平方向の信号電荷の画素加算が可能となる。
水平電荷転送路15に水平転送パルスφH1,φH2が印加されると、水平電荷転送路15に沿って信号電荷が電荷検出部16の方向(水平方向)に転送される。パルスφH1に対してパルスφH2は反転したパルスとなっており、或る1枚の水平転送電極下に形成された電位パケット内に収納された信号電荷は、パルスφH1,φH2が反転すると、隣接する水平転送電極下に形成された電位パケット内に転送される。即ち、1段分の水平方向への転送が行われ、次にパルスφH1,φH2が反転すると、次の1段分の水平方向への転送が行われる。
水平方向への信号電荷の転送が行われ、電荷検出部16に入った信号電荷の電荷量に応じた電圧値信号が出力アンプ17から出力されると、リセットゲートパルスφRGによってこの信号電荷が廃棄され、その後、次の信号電荷が電荷検出部16に入り、という動作が水平電荷転送路15上の信号電荷が無くなるまで繰り返される(水平転送期間)。そして、次の水平転送期間が始まる前に、水平ブランキング期間が設けられる。
撮像装置1の基本とする固体撮像素子10の駆動方法は、特許文献1記載の駆動方法、すなわち図5に示す駆動方法と同じである。つまり、撮像装置1の駆動手段は、水平転送期間中も垂直電荷転送路13での信号電荷の転送を行うものとしている。
図5に記載の駆動方法では、垂直転送パルスのパルスエッジ時毎に水平転送パルスの供給を停止して水平方向への電荷転送を停止させたが、本実施形態の撮像装置1では、垂直転送パルスのパルスエッジ時毎に水平転送パルスの供給を停止させるのではなく、水平転送パルスの周波数を、垂直転送パルスのパルスエッジ時以外のときの周波数よりも遅くするようにしている。
図3は、本実施形態の撮像装置1のドライバ回路23が固体撮像素子10に印加するパルス(φV系、φLM、φRG、φH1,H2)の各波形のタイミングチャートと、ドライバ電流Idrvの変化を示した図である。図3では、φV系として一つの波形だけ図示してある。
図3に示すように、1水平期間(水平同期信号HDの立ち下がりから次の立ち下がりまでの期間)の最初には、水平ブランキング期間が設けられ、その後が水平転送期間(=出力期間)となる。この水平転送期間中に、垂直転送パルスφV系のパルス変化点に対応して、水平転送パルスφH1,H2の周波数を、他の期間よりも遅くして信号電荷の転送速度を遅くする期間A(図3では1箇所のみ図示)が設けられている。期間Aは、垂直転送パルスφV系が変化した時点を含む所定期間であれば良く、垂直転送パルスφV系が変化した時点から、水平電荷転送路15による信号電荷の1段分の転送期間を期間Aとしても良いし、図3に示したように、垂直転送パルスφV系が変化する時点の前後1段分の転送期間を期間Aとしても良い。
図3では、1つの垂直転送パルスのパルス立ち下がり部分のみを示しているが、垂直電荷転送路13を4相駆動する場合には、水平転送期間中における垂直転送パルスφV1〜φV4の各パルス立ち上がり,立ち下がり(パルス変化点)は計8箇所あり、この8箇所に対応させて期間Aを設け、期間Aにおける水平転送パルスの周波数を、それ以外の期間における周波数よりも遅くする駆動を行う。8相駆動の場合には、計16箇所だけ期間Aを設ける。
そして、水平転送期間を終了するたびに、水平電荷転送路15を停止し(水平ブランキング期間)、この水平転送停止期間中にラインメモリ18を駆動して、次の水平転送期間で電荷検出部16に転送すべき信号電荷をラインメモリ18から水平電荷転送路15に移す。本実施形態では、水平ブランキング期間中に行う動作がラインメモリ18の駆動だけであるので、図4の駆動と比較して水平ブランキング期間を短縮することができ、固体撮像素子10の高速駆動を実現することができる。
尚、水平転送パルスφH1,φH2は高速パルスであるため、1回の水平転送期間に、垂直転送に伴う8回や16回の水平転送速度の減速を行っても、遅延時間はほんの一瞬であり、高速化を阻害することはない。
このように、本実施形態の撮像装置1では、水平転送期間において、垂直転送パルスの変化点に対応させて水平転送パルスφH1,H2の周波数を遅くする期間Aを設けるようにしている。この期間Aにおいては、ドライバ回路23bから固体撮像素子10に水平転送パルスφH1,H2が供給されているため、図3に示したように、ドライバ電流Idrvは、期間A以外の水平転送期間のときと同じレベルとなる。したがって、垂直転送パルスのパルス変化点に対応させて、水平転送パルスφH1,H2の供給を停止する期間を設ける図5の場合と比較して、水平転送期間におけるドライバ電流Idrvの変化を少なくすることができる。この結果、ドライバ電流Idrvの変化に起因するノイズを減らすことができ、高画質化を実現することが可能となる。
又、本実施形態の撮像装置は、固体撮像素子10に供給する水平転送パルスφH1,H2の周波数を、水平転送期間のうち期間Aのときだけ他の期間よりも遅くしている。このため、期間Aにおいては、他の期間よりも水平電荷転送路15の信号電荷の転送効率を上げることができ、垂直転送パルスのパルスエッジによって水平電荷転送路15において転送漏れが発生した場合でも、転送効率の向上によってこの転送漏れ分を少なくすることができる。この結果、高画質化を実現することが可能となる。
又、本実施形態の撮像装置によれば、垂直転送パルスの変化点に対応した期間において水平転送を停止することなく、ゆっくりと水平転送を継続しているため、図5に示した駆動に比べて水平転送期間を短縮することができる。
1 撮像装置
12 光電変換素子
13 垂直電荷転送路
15 水平電荷転送路
18 ラインメモリ
22 TG
23 ドライバ回路
12 光電変換素子
13 垂直電荷転送路
15 水平電荷転送路
18 ラインメモリ
22 TG
23 ドライバ回路
Claims (2)
- 多数の光電変換素子と、前記多数の光電変換素子の各々に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直電荷転送路と、各垂直電荷転送路の端部に設けられ該垂直電荷転送路の駆動とは独立に駆動される信号電荷一時蓄積部と、該信号電荷一時蓄積部から移された信号電荷を出力端側に転送する水平電荷転送路とを含む固体撮像素子と、前記固体撮像素子を駆動する駆動手段とを有する撮像装置であって、
前記駆動手段は、前記水平電荷転送路による信号電荷の水平転送期間中に前記垂直電荷転送路による信号電荷の垂直転送を行うと共に、前記水平転送期間において、前記垂直転送を行うための垂直転送パルスのパルス変化点に対応させた所定期間だけ、前記水平電荷転送路による信号電荷の水平転送を行うための水平転送パルスの周波数を前記所定期間以外の期間よりも遅くする撮像装置。 - 多数の光電変換素子と、前記多数の光電変換素子の各々に蓄積された信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直電荷転送路と、各垂直電荷転送路の端部に設けられ該垂直電荷転送路の駆動とは独立に駆動される信号電荷一時蓄積部と、該信号電荷一時蓄積部から移された信号電荷を出力端側に転送する水平電荷転送路とを含む固体撮像素子の駆動方法であって、
前記水平電荷転送路による信号電荷の水平転送期間中に前記垂直電荷転送路による信号電荷の垂直転送を行うと共に、前記水平転送期間において、前記垂直転送を行うための垂直転送パルスのパルス変化点に対応させた所定期間だけ、前記水平電荷転送路による信号電荷の水平転送を行うための水平転送パルスの周波数を前記所定期間以外の期間よりも遅くする固体撮像素子の駆動方法。
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JP2008098354A JP2009253617A (ja) | 2008-04-04 | 2008-04-04 | 撮像装置及び固体撮像素子の駆動方法 |
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