JP2009252780A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018029915A1 (ja) * 2016-08-08 2018-02-15 信越半導体株式会社 ロードポート及びウェーハ搬送方法
JP6274379B1 (ja) * 2016-08-08 2018-02-07 信越半導体株式会社 ロードポート及びウェーハ搬送方法
CN106684023A (zh) * 2017-03-14 2017-05-17 大族激光科技产业集团股份有限公司上海分公司 全封闭式smif系统
JP6889383B2 (ja) * 2018-05-24 2021-06-18 シンフォニアテクノロジー株式会社 容器パージ装置
US11094570B2 (en) * 2019-03-29 2021-08-17 Hirata Corporation Load port having movable member that abuts a pin
JP6853396B2 (ja) * 2019-03-29 2021-03-31 平田機工株式会社 ロードポート
WO2021187340A1 (ja) 2020-03-17 2021-09-23 日本電産リード株式会社 ロードポート用アダプタ
CN113658898B (zh) * 2021-08-04 2025-07-25 深圳市森美协尔科技有限公司 一种晶圆自动上料装置及上料检测方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10189684A (ja) * 1996-12-25 1998-07-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd キャリア検出装置および基板処理装置、基板移替装置
JPH1167863A (ja) * 1997-08-22 1999-03-09 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板収納容器搬送装置およびそれを備えた基板処理装置
JP4555918B2 (ja) * 2000-09-18 2010-10-06 東京エレクトロン株式会社 ウェハ搬送容器装着装置
JP4082652B2 (ja) * 2001-11-02 2008-04-30 平田機工株式会社 載置装置
JP4487302B2 (ja) * 2003-05-20 2010-06-23 株式会社安川電機 ロードポート
JP3943087B2 (ja) * 2004-01-26 2007-07-11 Tdk株式会社 ポッドオープナのポッドクランプユニット、当該クランプユニットを用いたポッドクランプ機構及びクランプ方法

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