JP2009250207A - マイクロポンプ - Google Patents
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Abstract
【課題】効率よく安定した液送を行うことが可能なマイクロポンプを提供する。
【解決手段】マイクロポンプ100は、ポンプ室110と、外部からポンプ室110に液体102を吸入するための吸入口310と、ポンプ室110の内部からポンプ室110の外部に液体102を吐出する吐出口320と、ポンプ室110の容積を変化させるための振動板210とを備え、ポンプ室110は、振動板210と、振動板210に対向するバルブシート300の下面309と、周壁面とによって形成され、さらに、バルブシート300の下面309と振動板210との間に挟まれたゴムパッキン701とを備え、ゴムパッキン701は、弾性体によって形成されて、ポンプ室110の周壁面を形成している。
【選択図】図1
【解決手段】マイクロポンプ100は、ポンプ室110と、外部からポンプ室110に液体102を吸入するための吸入口310と、ポンプ室110の内部からポンプ室110の外部に液体102を吐出する吐出口320と、ポンプ室110の容積を変化させるための振動板210とを備え、ポンプ室110は、振動板210と、振動板210に対向するバルブシート300の下面309と、周壁面とによって形成され、さらに、バルブシート300の下面309と振動板210との間に挟まれたゴムパッキン701とを備え、ゴムパッキン701は、弾性体によって形成されて、ポンプ室110の周壁面を形成している。
【選択図】図1
Description
この発明は、一般的にはマイクロポンプに関し、特定的には微小な流量を吐出するマイクロポンプに関する。
従来、微量の液体を吐出するマイクロポンプには、毎秒1〜200μL程度の液送を行なうものがある。マイクロポンプは、ある程度の流量を確保するように設計される。マイクロポンプを駆動する振動板に用いられる圧電素子のサイズとしては、一般に、直径20mm程度以上のものが多く用いられている。電源としては、多くの場合、商用交流電源が使用されている。このようなマイクロポンプの実際の商品の例では、マイクロポンプは、60Hz駆動で、1分間あたり36mL(ミリリットル)程度(交流電圧の一周期当たり10μL(マイクロリットル)程度)の流量を持つことになる。このようなマイクロポンプは各分野で使用されているが、医療や芳香の分野等において微量な薬品を扱う場合には、管理すべき流量はさらに少なくなり、1μL単位の流量を制御することが要求される。そのため、さらにポンプのサイズや振動板を小型化し、超低流量で、かつ、安定した流量を実現することができるポンプが必要となっている。
このようなマイクロポンプとしては、例えば、特開2005−91326号公報(特許文献1)には、圧電素子を振動させてポンプ室の容積を変化させて、ポンプ部、縮径流路、連絡流路、拡径流路が接続された流路内において液体を循環させる循環送液装置が記載されている。
また、特開2000−249074号公報(特許文献2)には、圧電素子を振動させてポンプ室の容積を変化させて、吸入バルブを介して液体をポンプ室内に液体を吸入し、吐出バルブを介して液体をポンプ室から外部に吐出するマイクロポンプが記載されている。
これらのマイクロポンプにおいては、圧電素子の振幅が小さくても液送を行なうことができるように、ポンプ室内において吸入口と吐出口とを接続する流路の径は1mm以下に形成されている。
特開2005−91326号公報
特開2000−249074号公報
しかしながら、特開2005−91326号公報(特許文献1)に記載の循環送液装置や、特開2000−249074号公報(特許文献2)に記載のマイクロポンプでは、圧電素子の振幅が大きい場合には、圧電素子が振動するときに、ポンプ室、すなわち、流路から液体が漏れ出てしまう。流路の外、たとえば、流路の外側に配置されているOリングの付近まで液体が漏れてしまう場合には、マイクロポンプは液送を行なうためにポンプ室の容積よりも多く液体を吸入、吐出しなければならないので、液送の効率が落ちる。また、液体が漏れることによって液体の流路が定まらないので、大きな乱流が発生し、安定した液送ができなくなる。
そこで、この発明の目的は、効率よく安定した液送を行うことが可能なマイクロポンプを提供することである。
この発明に従ったマイクロポンプは、ポンプ室と、外部からポンプ室に液体を吸入するための吸入口と、ポンプ室の内部からポンプ室の外部に液体を吐出する吐出口と、ポンプ室の容積を変化させるための振動板とを備え、ポンプ室は、振動板と、振動板に対向する対向壁面と、周壁面とによって形成され、さらに、対向壁面と振動板との間に挟まれた介在部材とを備え、介在部材は、弾性体によって形成されて、ポンプ室の周壁面を形成している。
介在部材は、振動板と対向壁面との間に挟まれて、ポンプ室の周壁面を形成している。介在部材は弾性体によって形成されているので、振動板がポンプ室の容積を変化させるように振動しても、介在部材は振動板に接触したままで、振動板の振動に応じて弾性変形する。そのため、振動板が振動すると、液体は介在部材によって形成される周壁面の内側を流通し、ポンプ室の外部に漏れにくくなる。液体が周壁面の内側のみを流通するので、ポンプ室内への液体の吸込み量を最小限にすることができる。
このようにすることにより、効率よく安定した液送を行うことが可能なマイクロポンプを提供することができる。
また、振動板の振幅が必要以上に大きくなる場合であっても、介在部材が振動板と対向壁面との間に挟まれていることによって、大きく振動した振動板が対向壁面に当たることを防ぐことができる。振動板が大きく振動して対向壁面に当たり、大きな音が鳴ったり、振動板や対向壁面が破損したりすることを防ぐことができる。
この発明に従ったマイクロポンプは、吸入口において液体の流れを調節するための吸入側逆止弁と、吐出口において液体の流れを調節するための吐出側逆止弁とを備えることが好ましい。
このようにすることにより、液体の流量の制御をすることが容易になる。また、液送を安定させることができる。
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、介在部材は、発泡材料によって形成されていることが好ましい。
このようにすることにより、介在部材が軟らかく形成されるので、介在部材によって振動板にかけられる圧力を比較的小さくすることができる。介在部材によって振動板にかけられる圧力を比較的小さくすることによって、介在部材が振動板の動作に与える影響を低減して、安定した液送を行うことができる。
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、介在部材は、シート形状であることが好ましい。
このようにすることにより、介在部材が変形しやすくなるので、介在部材によって振動板にかけられる圧力を比較的小さくすることができる。介在部材によって振動板にかけられる圧力を比較的小さくすることによって、介在部材が振動板の動作に与える影響を低減して、安定した液送を行うことができる。
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、介在部材は、屈曲部を有することが好ましい。
このようにすることにより、介在部材が変形しやすくなるので、介在部材によって振動板にかけられる圧力を比較的小さくすることができる。介在部材によって振動板にかけられる圧力を比較的小さくすることによって、介在部材が振動板の動作に与える影響を低減して、安定した液送を行うことができる。
この発明に従ったマイクロポンプは、流路の内部に配置される板状の整流部材を備え、整流部材は、板状の面が液体の流れを仕切るように配置されていることが好ましい。
このようにすることにより、吸入口から吐出口に向かって流通する液体において、吐出口の付近で乱流が発生しにくくなる。乱流の発生を防ぐことによって、液送を安定させることができる。
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、整流部材は、吸入口側において高さが高く、吐出口側において高さが低くなるように傾斜面が形成され、吸入口側において角部を丸めて形成されていることが好ましい。
このようにすることにより、吸入口から吐出口に向かって流通する液体は、整流部材に接触するとき、整流部材において角部が丸められた部分に最初に接触するので、液体は整流部材に沿って滑らかに流れやすく、整流部材の付近に渦が発生しにくくなる。また、整流部材において吸入口側から吐出口側に向けて、すなわち、液体の流れの上流側から下流側に向けて傾斜面が形成されていることによって、整流部材から液体が離れるときにも渦が発生しにくくなる。整流部材の付近に渦が発生しにくくなることによって、液送をより安定させることができる。
以上のように、この発明によれば、効率よく液送を行うことが可能なマイクロポンプを提供することができる。
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
(第1実施形態)
図1は、この発明の第1実施形態として、マイクロポンプの全体を示す断面図である。
図1は、この発明の第1実施形態として、マイクロポンプの全体を示す断面図である。
図1に示すように、マイクロポンプ100は、液タンク101と、ポンプ室110と、バルブシート300と、振動板側ケース212と、バルブシート300と振動板側ケース212との間に挟まれる振動板210と、バルブシート300の下面309と振動板210との間に挟まれる介在部材としてゴムパッキン701と、吸入側逆止弁500と、吐出側逆止弁600とを備える。ゴムパッキン701は、断面形状がほぼ円形で、弾性体としてゴム等の樹脂素材によって形成されている。ゴムパッキン701の硬度は、40以下であることが好ましい。硬度は、ジュロメータ硬さで表した硬度である。バルブシート300の下面309は、振動板210に対向する対向壁面の一例である。
振動板210は、ポンプ室110の容積を変化させる。バルブシート300には、外部からポンプ室110に液体を吸入するための吸入口310と、吸入口310を閉塞または開放可能に吸入側逆止弁500を配置するための吸入側弁座330と、ポンプ室110の内部からポンプ室110の外部の吐出管202に液体を吐出するための吐出口320と、吐出口320を閉塞または開放可能に吐出側逆止弁600を配置するための吐出側弁座400が形成されている。吸入口310と吐出口320は、それぞれ複数、形成されている。
吸入側逆止弁500を介して液体が吸入され、吐出側逆止弁600を介して液体が吐出されるまでの空間がポンプ室110である。吸入側逆止弁500と吐出側逆止弁600は、それぞれ、バルブシート300に形成された吸入側弁座330と吐出側弁座400に取り付けられている。ポンプ室110の底面は振動板210によって形成されている。バルブシート300と振動板210は、それぞれ、液体が流れる流路111の上面側の壁と下面側の壁を形成している。振動板210の端部は、バルブシート300と振動板側ケース212との間に挿入されて固定されている。
図2は、圧電素子が接着された振動板の全体を示す側面図(A)と上面図(B)である。
図1と図2に示すように、振動板210の下面には、圧電素子211が接着されている。振動板210と圧電素子211は、どちらも円形状に形成されている。振動板210は、銅などによって形成されている。
図1に示すように、圧電素子211の下部には、空間が設けられ、圧電素子211は上下に振動することができる。バルブシート300の上部には、吸入吐出側ケース(IOプレート)200が取り付けられており、吸入吐出側ケース200の内部に吐出管202が形成されている。バルブシート300と吸入吐出側ケース200との間には8の字Oリング103が配置されて密閉され、バルブシート300と振動板側ケース(バックプレート)212との間にはOリング104が配置されて密閉されている。Oリング104は、バルブシート300の下面309に形成された凹部302にはめ込まれている。吸入吐出側ケース200とバルブシート300、バルブシート300と振動板側ケース212は、それぞれ、ねじ等で互いに密接するようにして固定されている。
図3は、図1のマイクロポンプに組み込まれたバルブシートを上方向から見た図(A)と、下方向から見た図(B)である。
図1と図3に示すように、バルブシート300の下面309においては、Oリング104をはめ込むための凹部302の内周よりも内側に、ゴムパッキン701をはめ込むための凹部301が形成されている。ゴムパッキン701は、凹部301にはめ込まれて、バルブシート300と振動板210との間に挟まれる。ゴムパッキン701は、ポンプ室110内において液体102が流通するための流路111の周壁面を形成する。
ゴムパッキン701の径は、Oリング104の径よりも小さい。また、ゴムパッキン701がはめ込まれる凹部301は、Oリング104がはめ込まれる凹部302よりも、窪みが浅く形成されている。ゴムパッキン701とOリング104がバルブシート300と振動板210の間に挟まれ、振動板210がバルブシート300と振動板側ケース212の間に挟まれて固定されると、ゴムパッキン701とOリング104は弾性変形する。ゴムパッキン701の変形量は、Oリング104の変形量と比較すると、小さい。このように、ゴムパッキン701の変形量が小さいので、ゴムパッキン701は振動板210の動作に大きな影響を与えにくい。
図4は、ゴムパッキンの形状の例を示す図である。
図3の(B)と図4の(A)に示すように、第1実施形態においては亜鈴型のゴムパッキン701を用いている。亜鈴型のゴムパッキン701を用いることによって、液体が流通する流路111を最小限の大きさに形成することができる。ゴムパッキンは、この形状の他に、図4の(B)に示すように、円形の中央部を緩く絞ったような平面形状のゴムパッキン701aであってもよい。ゴムパッキン701aを用いることによって、吸入口310から吐出口320まで流通する液体を滑らかに送出することができる。また、図4の(C)に示すように、角部が丸められた長方形状のゴムパッキン701bであってもよい。ゴムパッキン701bを用いることによって、ゴムパッキン701bを簡単に形成することができる。また、図4の(D)に示すように、円形と涙型の形状が連結されたような非対称の形状のゴムパッキン701cであってもよい。ゴムパッキン701cを用いることによって、吸入口310から吐出口320に向かって流通する液体の流量を調整することができる。
図1に示すように、吸入側逆止弁500と吐出側逆止弁600は、弁の軸を含む縦断面が、相対的に断面積が大きい頭部と相対的に断面積が小さい脚部を有し、開いた傘のような形状をしている。
吸入側逆止弁500は、扁平な頭部501を下に向け、棒状の脚部502を上に向けて、脚部502がバルブシート300に取り付けられていることによってポンプ室110に組み込まれている。脚部502は、先端がほぼ平らであり、バルブシート300に形成された凹部332に受容されて保持されている。吸入側逆止弁500の頭部501の頂部503は、頭部501から突出して形成された突起であり、振動板210に接している。吸入側逆止弁500は、ゴム等の樹脂素材によって形成されている。
吐出側逆止弁600は、扁平な頭部601を上に向け、棒状の脚部602を下に向けて、脚部602がバルブシート300に取り付けられていることによって、ポンプ室110に組み込まれている。脚部602は、先端がほぼ平らであり、バルブシート300に形成された吐出側弁座400の凹部402に受容されて保持されている。吐出側逆止弁600の頭部601の頂部603は、吐出管202の壁部を形成する吸入吐出側ケース200の内壁に形成された突起201に接している。吐出側逆止弁600は、ゴム等の樹脂素材によって形成されている。
この実施の形態では、例えば、吐出側逆止弁600の直径は5.5mm、厚さは0.3〜0.5mmとし、圧電素子211としては、直径が17mm、厚さ0.4mmの圧電素子211を用い、この圧電素子211を、直径24mm、厚さ0.09mmの銅板等によって形成される振動板210に接着して、マイクロポンプ100に組み込む。マイクロポンプ100の長さは30mm、幅は30mm、高さは10mmとする。このようなマイクロポンプ100の液送量は、1〜200μL/秒程度の微小な液送量となる。
ポンプ室110の上部には、液タンク101が配置されており、液タンク101の内部には液体102が貯留されている。液タンク101の下部と吸入吐出側ケース200の上部は開口部105によって連結されており、液体102は開口部105を通って吸入口310に入る。
圧電素子211に交流電圧を印加することによって、交流電圧の周波数に対応する周波数で圧電素子211が振動する。この圧電素子211の振動と連動して、圧電素子211に接着されている振動板210が振動し、ポンプ室110の容積を変化させる。振動板210が上下どちらにも変位していないときには、吸入側逆止弁500の頭部501が吸入口310を閉じ、吐出側逆止弁600の頭部601が吐出口320を閉じている。
図5は、この発明の第1実施形態のマイクロポンプに用いられる突起(A)と、吐出側逆止弁(B)と、吐出側弁座の上面(C)を示す図である。
図5の(A)に示すように、吐出管202(図1)の壁部を形成する吸入吐出側ケース200(図1)の内壁に形成された突起201は、円柱状の部分と円錐台状の部分とを有し、円柱の下面と円錐台の上面を互いに接合した形状である。突起201の円錐台状の部分においては、円柱と接合している上面の径が相対的に大きく、下面の径が相対的に小さい。吐出側逆止弁600がマイクロポンプに組み込まれると、突起201の下面が吐出側逆止弁600の頂部603を押圧する。
図5の(B)に示すように、吐出側逆止弁600は、扁平な頭部601と棒状の脚部602を有し、頂部603を含む頭部601の上面は平らである。
図5の(C)に示すように、吐出側弁座400には、吐出側逆止弁600の脚部602を受容するための凹部402と、凹部402を取り囲むようにして複数の吐出口320が形成されている。
図6は、この発明の第1実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す断面図である。図6の(A)は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入される前の状態を示し、図6の(B)は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入されてバルブシートに組み込まれた状態を示す。
図6の(A)に示すように、吐出側逆止弁600は、扁平な頭部601と棒状の脚部602を有し、頂部603を含む頭部601の上面は平らである。吐出側弁座400は、バルブシート300(図1)内に形成されており、吐出側逆止弁600の脚部602を受容するための凹部402を有する。吐出側弁座400の上面には、凹面401が形成されている。凹面401は、吐出側逆止弁600の脚部602を受容するための凹部402側で凹んだ球の内面のような傾斜に形成されている。
図6の(B)に示すように、吐出側逆止弁600の脚部602が吐出側弁座400の凹部402に上方から挿入されて、吐出側逆止弁600が吐出側弁座400に組み込まれる。また、吐出管202(図1)の内壁に形成された突起201が、吐出側逆止弁600の頂部603を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁600を固定している。このようにすることにより、吐出側逆止弁600の頭部601が弾性変形し、頭部601においては、吐出側弁座400の上面に形成された凹面401に沿って、吐出管202の突起201側に凹面が形成され、吐出側弁座400側に脚部602を中心にして凸面が形成されて、頭部601の周辺部は、吐出側弁座400に密着する。
この実施形態のマイクロポンプ100においては、図1に示すように、吸入側弁座330も吐出側弁座400と同様に、バルブシート300内に形成されており、吸入側逆止弁500の脚部502を受容するための凹部332を有する。吸入側弁座330の下面には、吸入側逆止弁500の頭部501の上面が接するための凹面331が形成されている。凹面331は、吸入側逆止弁500の脚部502を受容するための凹部332側で凹んだ球の内面のような傾斜に形成されている。吸入側弁座330には、吸入側逆止弁500の脚部502を受容するための凹部332を取り囲むようにして複数の吸入口310が形成されている。また、吸入側逆止弁500は、扁平な頭部501と棒状の脚部502を有し、頭部501の上面の頂部503は突出した突起状に形成されている。吸入側逆止弁500の脚部502が吸入側弁座330の凹部332に下方から挿入されて、吸入側逆止弁500が吸入側弁座330に組み込まれる。また、振動板210が、吸入側逆止弁500の頂部503を下方から押圧するようにして、吸入側逆止弁500を固定している。このようにすることにより、吸入側逆止弁500の頭部501が弾性変形し、頭部501においては、吸入側弁座330の下面に形成された凹面331に沿って、振動板210側に頂部503を中心にして凹面が形成され、吸入側弁座330側に脚部502を中心にして凸面が形成されて、頭部501の周辺部は、吸入側弁座330に密着する。
図7は、この発明の一つの実施の形態として、振動板を振動させてポンプ室の容積を変化させたときのマイクロポンプの動作を順に示す図である。
まず、図7(A)は、ポンプ室内に液体を吸入するときのマイクロポンプのポンプ室周辺を示す断面図である。
図7(A)に示すように、振動板210が下方向に変位すると、ポンプ室110の容積が大きくなる。ポンプ室110の容積が大きくなると、吸入側逆止弁500の頭部501と吸入口310との間に隙間ができて、液タンク101に溜められている液体102(図1)がポンプ室110内に流入する。このとき、吐出側逆止弁600の頭部601によって吐出口320はふさがれており、ポンプ室110内に流入した液体が吐出口320から流出することはない。
吸入口310からポンプ室110内に流入した液体は、ゴムパッキン701によって形成された流路111内を吐出口320に向かって流れる。ゴムパッキン701は、振動板210が変位していないときには若干、圧縮するように弾性変形しているので、振動板210が下方向に変位すると、もとの形状に戻る。振動板210の振幅は10〜100μmと小さいので、振動板210が下方向に変位しても、ゴムパッキン701は振動板210に接触しており、液体はゴムパッキン701よりも外側に漏れにくい。液体がゴムパッキン701よりも外側に漏れ出たとしても、漏れ出るのは微小な量であり、マイクロポンプ100の液送の効率にはほとんど影響しない。
次に、図7(B)は、ポンプ室内に吸入した液体を外部に吐出するときのマイクロポンプのポンプ室周辺を示す断面図である。
図7(B)に示すように、振動板210が上方向に変位すると、ポンプ室110の容積が小さくなる。ポンプ室110の容積が小さくなると、吸入側逆止弁500の頭部501と吸入口310との間の隙間がふさがれて、液タンク101からポンプ室110には液体が流入しない。一方、吐出側逆止弁600と吐出口320との間に隙間ができて、ポンプ室110内の液体が吐出口320から吐出管202に流出し、吐出端203を通って外部に吐出される。
振動板210が上方向に変位すると、ゴムパッキン701は振動板210によって押圧されて、弾性変形する。振動板210とバルブシート300の下面309との間にゴムパッキン701が挟まれているので、振動板210は、上方向に変位してもバルブシート300に衝突しにくくなる。
液体がポンプ室110の内部に吸い込まれたときにゴムパッキン701の外側に漏れ出た液体がある場合には、漏れ出た液体は、液体が吐出口320から吐出されるように振動板210が上方向に変位するときに、ゴムパッキン701の内側に戻される。
マイクロポンプ100は、図1に示すように振動板210の変位がない状態と、図7(A)に示すようにポンプ室110の容積を大きくする方向に振動板210が変位している状態と、図7(B)に示すようにポンプ室110の容積を小さくする方向に振動板210が変位している状態と、を繰り返すことによって、液タンク101内の液体102をポンプ室110内に吸入し、外部に吐出する。
ここまでの例では、振動板210の変位が0の状態(図1)から、振動板210がポンプ室110の容積を大きくする方向に変位した状態(図7(A))に変化し、振動板210の変位が0の状態(図1)に戻り、続いて振動板210がポンプ室110の容積を小さくする方向に変位した状態(図7(B))に変化し、振動板210の変位が0の状態(図1)に戻るまでの一連の動作の場合、すなわち1サイクル動作の場合を示したが、振動板210の変位が0の状態(図1)から、振動板210がポンプ室110の容積を大きくする方向に変位した状態(図7(A))に変化し、振動板210の変位が0の状態(図1)に戻る動作、すなわち半サイクル動作でも、マイクロポンプ100による液体の吸入と吐出が可能である。この場合は、1サイクルの半分程度の吐出量となる。同様に振動板210の変位が0の状態(図1)から、振動板210がポンプ室110の容積を小さくする方向に変位した状態(図7(B))に変化し、振動板210の変位が0の状態(図1)に戻る動作、すなわち半サイクル動作でも、マイクロポンプ100による液体の吸入と吐出が可能であり、この場合も1サイクル動作の半分程度の吐出量となる。
このように、液体がゴムパッキン701とバルブシート300と振動板210によって囲まれた流路111内だけを移動するので、マイクロポンプ100の液送効率を向上させることができる。また、このようにゴムパッキン701で流路111の周壁面を形成し、液体の移動を最小限に抑えることによって、乱流の発生を抑えることができる。乱流の発生を抑えることによって、安定した液送を行なうことができる。
以上のように、マイクロポンプ100は、ポンプ室110と、外部からポンプ室110に液体102を吸入するための吸入口310と、ポンプ室110の内部からポンプ室110の外部に液体102を吐出する吐出口320と、ポンプ室110の容積を変化させるための振動板210とを備え、ポンプ室110は、振動板210と、振動板210に対向するバルブシート300の下面309と、周壁面とによって形成され、さらに、バルブシート300の下面309と振動板210との間に挟まれたゴムパッキン701とを備え、ゴムパッキン701は、弾性体によって形成されて、ポンプ室110の周壁面を形成している。
ゴムパッキン701は、振動板210とバルブシート300の下面309との間に挟まれて、ポンプ室110の周壁面を形成している。ゴムパッキン701は弾性体によって形成されているので、振動板210がポンプ室110の容積を変化させるように振動しても、ゴムパッキン701は振動板210に接触したままで、振動板210の振動に応じて弾性変形する。そのため、振動板210が振動すると、液体102はゴムパッキン701によって形成される周壁面の内側を流通し、ポンプ室110の外部に漏れにくくなる。液体102が周壁面の内側のみを流通するので、ポンプ室110内への液体102の吸込み量を最小限にすることができる。
このようにすることにより、効率よく安定した液送を行うことが可能なマイクロポンプ100を提供することができる。
また、振動板210の振幅が必要以上に大きくなる場合であっても、ゴムパッキン701が振動板210とバルブシート300の下面309との間に挟まれていることによって、大きく振動した振動板210がバルブシート300の下面309に当たることを防ぐことができる。振動板210が大きく振動してバルブシート300の下面309に当たり、大きな音が鳴ったり、振動板210やバルブシート300の下面309が破損したりすることを防ぐことができる。
また、マイクロポンプ100は、吸入口310において液体102の流れを調節するための吸入側逆止弁500と、吐出口320において液体102の流れを調節するための吐出側逆止弁600とを備える。
このようにすることにより、液体102の流量の制御をすることが容易になる。また、液送を安定させることができる。
(第2実施形態)
この発明の第2実施形態のマイクロポンプが第1実施形態のマイクロポンプと異なる点としては、介在部材としてゴムパッキン701(図1)が発泡材料によって形成されている。発泡材料によって形成されたゴムパッキン701は、内部に泡が含まれるので、軟らかく形成される。
この発明の第2実施形態のマイクロポンプが第1実施形態のマイクロポンプと異なる点としては、介在部材としてゴムパッキン701(図1)が発泡材料によって形成されている。発泡材料によって形成されたゴムパッキン701は、内部に泡が含まれるので、軟らかく形成される。
以上のように、第2実施形態のマイクロポンプにおいては、ゴムパッキン701は、発泡材料によって形成されている。
このようにすることにより、ゴムパッキンが軟らかく形成されるので、ゴムパッキンによって振動板にかけられる圧力を比較的小さくすることができる。ゴムパッキンによって振動板にかけられる圧力を比較的小さくすることによって、ゴムパッキンが振動板の動作に与える影響を低減して、安定した液送を行うことができる。
第2実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第1実施形態のマイクロポンプと同様である。
(第3実施形態)
図8は、この発明の第3実施形態として、マイクロポンプのポンプ室とポンプ室の周辺部分とを示す断面図である。図9は、バルブシートとゴムパッキンの下面を示す斜視図(A)とゴムパッキンの全体を示す斜視図(B)である。
図8は、この発明の第3実施形態として、マイクロポンプのポンプ室とポンプ室の周辺部分とを示す断面図である。図9は、バルブシートとゴムパッキンの下面を示す斜視図(A)とゴムパッキンの全体を示す斜視図(B)である。
図8と図9に示すように、第3実施形態のマイクロポンプが第1実施形態のマイクロポンプと異なる点としては、介在部材としてゴムパッキン702がシート状に形成されている。シート状のゴムパッキン702は、流路111の周壁面を形成する厚み方向が、バルブシート300と振動板210とに挟まれる方向、すなわち、高さ方向よりも薄く形成されている。シート状のゴムパッキン702の上端部はバルブシート300の下面309に形成された凹部301にはめ込まれている。ゴムパッキン702の下端部は、振動板210に変位がない状態では振動板210に接している。振動板210が上下に変位すると、ゴムパッキン702は、下端部が振動板210に接触したままで弾性変形する。振動板210の変位は10〜100μmと非常に小さいので、振動板210が上方向に変位しても、ゴムパッキン702が大きく曲がることはない。
以上のように、第3実施形態のマイクロポンプにおいては、ゴムパッキン702は、シート形状である。
このようにすることにより、ゴムパッキン702が変形しやすくなるので、ゴムパッキン702によって振動板210にかけられる圧力を比較的小さくすることができる。ゴムパッキン702によって振動板210にかけられる圧力を比較的小さくすることによって、ゴムパッキン702が振動板210の動作に与える影響を低減して、安定した液送を行うことができる。
第3実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第1実施形態のマイクロポンプと同様である。
(第4実施形態)
図10は、この発明の第4実施形態のマイクロポンプが備えるゴムパッキンの全体を示す図(A)と断面を示す断面図(B)である。
図10は、この発明の第4実施形態のマイクロポンプが備えるゴムパッキンの全体を示す図(A)と断面を示す断面図(B)である。
図10に示すように、第4実施形態のマイクロポンプが第1実施形態のマイクロポンプと異なる点としては、介在部材としてゴムパッキン703が屈曲部703xを有する。屈曲部703xは、ゴムパッキン703が蛇腹状に折り畳まれて形成される。ゴムパッキン703の上端部703yがバルブシート300(図1)の下面309に形成された凹部にはめ込まれて、下端部703zが振動板210(図1)に接する。ゴムパッキン703は、圧力が加えられると、屈曲部703xが上下方向に伸縮する。振動板210が上下方向に振動すると、ゴムパッキン703は振動板210の振動に追従するように変形する。
図11は、第4実施形態のマイクロポンプが備えるゴムパッキンの別の形状を示す図である。図11の(A)はゴムパッキンの全体を示す図であり、図11の(B)はゴムパッキンの断面を示す図である。
図11に示すようにゴムパッキン703aには、屈曲部703xが1段だけ形成されている。このように、ゴムパッキン703aのように屈曲部703xが1段だけ形成されていてもよいし、ゴムパッキン703のように複数段の屈曲部703xが形成されていてもよい。
以上のように、第4実施形態のマイクロポンプにおいては、ゴムパッキン703,703aは、屈曲部703xを有する。
このようにすることにより、ゴムパッキン703,703aが変形しやすくなるので、ゴムパッキン703,703aによって振動板にかけられる圧力を比較的小さくすることができる。ゴムパッキン703,703aによって振動板にかけられる圧力を比較的小さくすることによって、ゴムパッキン703,703aが振動板の動作に与える影響を低減して、安定した液送を行うことができる。
第4実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第1実施形態のマイクロポンプと同様である。
(第5実施形態)
図12は、この発明の第5実施形態として、マイクロポンプのバルブシートの下面を示す斜視図(A)と、図12の(A)に示すバルブシートをB−B線の方向から見たときの断面を示す断面図(B)と、図12の(A)に示すバルブシートの整流部材を矢印Cの方向から見たときの側面図(C)である。図中に二点鎖線で示す矢印は、液体の流れを示す。
図12は、この発明の第5実施形態として、マイクロポンプのバルブシートの下面を示す斜視図(A)と、図12の(A)に示すバルブシートをB−B線の方向から見たときの断面を示す断面図(B)と、図12の(A)に示すバルブシートの整流部材を矢印Cの方向から見たときの側面図(C)である。図中に二点鎖線で示す矢印は、液体の流れを示す。
図12に示すように、第5実施形態のマイクロポンプが第1実施形態のマイクロポンプと異なる点としては、ゴムパッキン704の内側に複数の整流部材800が配置されている。整流部材800は、板状のゴムシートによって形成されている。それぞれの整流部材800の厚みは、0.2mm以下であるように形成されている。また、整流部材800の硬度は40以下である。硬度は、ジュロメータ硬さで表した硬度である。整流部材800は、吸入口310から吐出口320までの間を流れる液体の流れを、板状の面で流れ方向に沿って仕切るように、配置されている。
整流部材800の上端部は、バルブシート300の下面309に形成されている凹部303にはめ込まれている。整流部材800の下端部は、振動板210の上面に接している。
図12の(C)に示すように、整流部材800は、液体の流れの上流側で角部が丸く形成されたアール部800rを有する。また、上流側から下流側に向かって、滑らかな傾斜面800sが形成されている。この実施の形態においては、傾斜面800sと水平面とがなす角度αは、10°以下であるように形成されている。
図13は、第5実施形態のマイクロポンプのゴムパッキンと整流部材の別の形状を示す図である。
図13に示すように、ゴムパッキン705によって形成される流路111の形状は、吸入口310から吐出口320に向かって、一旦絞られた後、徐々に広がっている形状でああってもよい。
また、第5実施形態のマイクロポンプが備えるゴムパッキンは、第3実施形態のマイクロポンプが備えるゴムパッキン702のようにシート状に形成されていてもよく、第4実施形態のマイクロポンプが備えるゴムパッキン703のように屈曲部を有していてもよい。
図12から図13に示すように、振動板210が上下方向に変位すると、ゴムパッキン704、ゴムパッキン705と整流部材800は、振動板210の振動に追従するように上下方向にわずかに変形する。整流部材800は、非常に薄く、また、軟らかいので、振動板210の振動に追従するようにわずかに変形し、振動板210の動作を妨げにくい。また、振動板210の振幅は小さいので、整流部材800は、アール部800rと傾斜面800sの形状を維持したままで、わずかに変形する。
振動板210が上下方向に振動することによって吸入口310から吐出口320に向かって液送が行なわれると、液体は、整流部材800によって幅が狭められた流路111を流通する。液体は、吸入口310から整流部材800に向かって流れて、整流部材800に接するときに整流される。このようにして、整流部材800を通過して吐出口320の付近に流れ出てくる液体には乱流が発生しにくくなる。整流された液体は、滑らかに吐出口320からポンプ室の外部に流出する。
以上のように、第5実施形態のマイクロポンプは、流路111の内部に配置される板状の整流部材800を備え、整流部材800は、板状の面が液体の流れを仕切るように配置されている。
このようにすることにより、吸入口310から吐出口320に向かって流通する液体において、吐出口320の付近で乱流が発生しにくくなる。乱流の発生を防ぐことによって、液送を安定させることができる。
また、第5実施形態のマイクロポンプにおいては、整流部材800は、吸入口310側において高さが高く、吐出口320側において高さが低くなるように傾斜面800sが形成され、吸入口310側において角部を丸めて形成されている。
このようにすることにより、吸入口310から吐出口320に向かって流通する液体は、整流部材800に接触するとき、整流部材800において角部が丸められたアール部800rに最初に接触するので、液体は整流部材800に沿って滑らかに流れやすく、整流部材800の付近に渦が発生しにくくなる。また、整流部材800において吸入口310側から吐出口320側に向けて、すなわち、液体の流れの上流側から下流側に向けて傾斜面800sが形成されていることによって、整流部材800から液体が離れるときにも渦が発生しにくくなる。整流部材800の付近に渦が発生しにくくなることによって、液送をより安定させることができる。
以上に開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正と変形を含むものである。
100:マイクロポンプ、110:ポンプ室、111:流路、210:振動板、300:バルブシート、309:下面、310:吸入口、320:吐出口、500:吸入側逆止弁、600:吐出側逆止弁、701,701a,701b,701c,702,703,704,705:ゴムパッキン、703x:屈曲部、800:整流部材、800r:アール部、800s:傾斜面。
Claims (7)
- ポンプ室と、
外部から前記ポンプ室に液体を吸入するための吸入口と、
前記ポンプ室の内部から前記ポンプ室の外部に液体を吐出する吐出口と、
前記ポンプ室の容積を変化させるための振動板とを備え、
前記ポンプ室は、前記振動板と、前記振動板に対向する対向壁面と、周壁面とによって形成され、
さらに、前記対向壁面と前記振動板との間に挟まれた介在部材とを備え、
前記介在部材は、弾性体によって形成されて、前記ポンプ室の周壁面を形成している、マイクロポンプ。 - 前記吸入口において液体の流れを調節するための吸入側逆止弁と、前記吐出口において液体の流れを調節するための吐出側逆止弁とを備える、請求項1に記載のマイクロポンプ。
- 前記介在部材は、発泡材料によって形成されている、請求項1または請求項2に記載のマイクロポンプ。
- 前記介在部材は、シート形状である、請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のマイクロポンプ。
- 前記介在部材は、屈曲部を有する、請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載のマイクロポンプ。
- 前記流路の内部に配置される板状の整流部材を備え、
前記整流部材は、板状の面が液体の流れを仕切るように配置されている、請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載のマイクロポンプ。 - 前記整流部材は、前記吸入口側において高さが高く、前記吐出口側において高さが低くなるように傾斜面が形成され、前記吸入口側において角部を丸めて形成されている、請求項6に記載のマイクロポンプ。
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JP2008102629A Pending JP2009250207A (ja) | 2008-04-10 | 2008-04-10 | マイクロポンプ |
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Country | Link |
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2008
- 2008-04-10 JP JP2008102629A patent/JP2009250207A/ja active Pending
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