JP2009240901A - Coating nozzle, coating method of paste, and manufacturing method of member for plasma display - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating nozzle having a discharge port corroded by progress of ultrasonic erosion and having a dummy for preventing the occurrence of the erosion. <P>SOLUTION: A plurality of recesses or protrusions are arranged in rows in the vicinity of a discharge port or a positioning mark which is located at the terminal portion of the coating nozzle. The plurality of recesses or protrusions are arranged to gradually reduce the depth of the plurality of recesses or the height of the plurality of protrusions or the diameter of the plurality of the recesses or protrusions within the surface of the discharge port as they are separated from the discharge port or the positioning mark. Thus, the ultrasonic erosion in the vicinity of the discharge port or the positioning mark which is caused by the ultrasonic cleaning of the coating nozzle is prevented, and the performance deterioration due to the ultrasonic erosion of the coating nozzle can be suppressed. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、超音波洗浄時の超音波による損傷を排した塗布ノズルの改良、ならびに超音波洗浄によって清浄化された塗布ノズルを使用した塗布方法、ならびに本塗布方法によってプラズマディスプレイ用部材を製造するプラズマディスプレイ用部材の製造方法の改良に関するものである。   The present invention provides an improved coating nozzle that eliminates ultrasonic damage during ultrasonic cleaning, a coating method that uses a coating nozzle that has been cleaned by ultrasonic cleaning, and a member for a plasma display manufactured by the coating method. The present invention relates to an improvement in a method for manufacturing a member for a plasma display.

近年、家庭用大型テレビにおいては、その表示方式がブラウン管からプラズマディスプレイ(PDP)や液晶ディスプレイ(LCD)などの平面ディスプレイ(FPD)に急速に代わりつつある。   In recent years, in a large-sized television for home use, the display method is rapidly changing from a cathode ray tube to a flat display (FPD) such as a plasma display (PDP) or a liquid crystal display (LCD).

PDPは、前面板と背面板との間に設けられた放電空間内でプラズマ放電を生じさせ、この放電空間内に封入されたガスから発生する紫外線を、R(赤)、G(緑)、B(青)各色の放電空間内に設けた蛍光体に当てることで発光させカラー表示を行うものである。   The PDP generates a plasma discharge in a discharge space provided between the front plate and the back plate, and ultraviolet rays generated from the gas enclosed in the discharge space are R (red), G (green), B (blue) is a color display that emits light by being applied to a phosphor provided in the discharge space of each color.

主要部材である背面板は、ガラス基板上に隔壁で構成される格子状もしくはストライプ状の微細パターンの溝に、RGBの蛍光体ペーストが塗布されて蛍光体層が形成されている。このパターン溝へのRGB蛍光体ペーストの塗布には、一般にスクリーン印刷法やフォトリソ法などが用いられてきたが、近年は塗布ノズルを使った塗布が、ペーストの使用効率が高くて安価で、しかも塗布が容易であることなどからよく使用されるようになってきている(例えば特許文献1)。   The back plate, which is the main member, has a phosphor layer formed by applying RGB phosphor paste in a fine pattern groove in a lattice or stripe shape formed of partition walls on a glass substrate. For the application of the RGB phosphor paste to the pattern groove, screen printing method, photolithography method, etc. have been generally used, but in recent years, application using an application nozzle is high in use efficiency of the paste and is inexpensive. It has come to be used frequently because it is easy to apply (for example, Patent Document 1).

この塗布ノズルは、高粘度の蛍光体ペーストを画素サイズに相当する微細な溝内に向けて吐出するため、直径で50〜150μm程度の微細な吐出口が一列状に同一平面内に通常数十〜数百個設けられ、高精彩カラー画面に対応する場合には1000個以上も設けられる。またこの塗布ノズルの吐出口は、画素の配置ピッチにあわせて吐出口相互の距離も精密に整えられている。   Since this coating nozzle discharges a high-viscosity phosphor paste into a fine groove corresponding to the pixel size, fine discharge ports with a diameter of about 50 to 150 μm are usually several tens in a line in the same plane. ˜Several hundreds are provided, and 1000 or more are provided when the screen corresponds to a high-definition color screen. In addition, the distance between the discharge ports of the coating nozzle is precisely adjusted according to the arrangement pitch of the pixels.

このように精密に製作された塗布ノズルを使用して、蛍光体ペーストを画素に対応した微細なパターン溝に塗布する時には、塗布ノズルの吐出口が溝の直上にくるように精度良く位置決めをすることが必要となるが、そのために塗布ノズルの吐出口近傍に、位置決めマークが設けられ、これが位置決め時に活用される。この位置決めマークは吐出口と区別できる形状や大きさで形成され、多くの場合、吐出口面の形状が円形や十字状の凹みまたは突起となる。   When applying the phosphor paste to the fine pattern groove corresponding to the pixel using the coating nozzle manufactured precisely in this way, positioning is performed accurately so that the discharge port of the coating nozzle is directly above the groove. For this purpose, a positioning mark is provided in the vicinity of the discharge port of the coating nozzle, and this is utilized during positioning. The positioning mark is formed in a shape and size that can be distinguished from the discharge port. In many cases, the shape of the discharge port surface is a circular or cross-shaped recess or protrusion.

さてこの塗布ノズルで蛍光体ペーストを長時間塗布しつづけると、吐出口およびその内表面で蛍光体ペースト、ペースト内に含まれる蛍光体粒子の凝集物、その他の異物等が詰まるほか、吐出口が形成される平面である吐出口面にも蛍光体ペーストが付着し、継続使用が困難となる。したがって所定枚数の背面板に蛍光体ペーストを塗布したら塗布ノズルを交換し、再使用できるように塗布ノズルの外表面だけでなく微細な吐出口の内表面もよく洗浄することが行われる。   If the phosphor paste is continuously applied for a long time with this application nozzle, the discharge port and its inner surface will clog the phosphor paste, aggregates of phosphor particles contained in the paste, other foreign matters, etc. The phosphor paste also adheres to the discharge port surface, which is a flat surface to be formed, making continuous use difficult. Therefore, when the phosphor paste is applied to a predetermined number of back plates, the coating nozzle is replaced, and not only the outer surface of the coating nozzle but also the inner surface of the fine discharge port is thoroughly cleaned so that it can be reused.

以上の塗布ノズルの精密洗浄には、洗浄性の高さから超音波洗浄が適用される。塗布ノズルの超音波洗浄は、洗浄槽内に満たされた洗浄液内に塗布ノズルを浸漬し、塗布ノズルの吐出口を含む吐出口面と超音波振動子の振動面とを一定間隔で平行に向かい合わせ、超音波振動子から照射される超音波を吐出口や吐出口面に作用させることで、効果的に行われる。   Ultrasonic cleaning is applied to the above-described precision cleaning of the application nozzle because of its high cleaning performance. The ultrasonic cleaning of the coating nozzle is performed by immersing the coating nozzle in the cleaning liquid filled in the cleaning tank, and the discharge port surface including the discharge port of the coating nozzle and the vibration surface of the ultrasonic transducer face in parallel at regular intervals. In addition, the ultrasonic wave emitted from the ultrasonic transducer is effectively applied to the discharge port and the discharge port surface.

これは、超音波振動子の振動面から照射された超音波が洗浄液を介して塗布ノズルの吐出口面に伝わる時に、吐出口面との接液部でキャビテーションが発生し、このキャビテーションが、発生・消滅する際に生じる衝撃力が吐出口面や微細な吐出口の内表面にも伝わって、それらの面に付着している蛍光体ペースト乾燥物、蛍光体粒子凝集物、異物等からなる汚れを掻き落とすからである。   This is because cavitation occurs at the liquid contact part with the discharge port surface when the ultrasonic wave irradiated from the vibration surface of the ultrasonic transducer is transmitted to the discharge port surface of the coating nozzle through the cleaning liquid. -The impact force generated when it disappears is transmitted to the discharge port surface and the inner surface of the fine discharge port, and the dirt consisting of dried phosphor paste, phosphor particle aggregates, foreign matter, etc. adhering to these surfaces It is because it is scraped off.

特に10Pa・s以上の高粘度ペーストの場合、塗布ノズルへの固着力が強いため、キャビテーションの強い比較的低周波(50kHz以下)の超音波洗浄を行う必要があるが、この低周波の超音波洗浄では、洗浄力が強い反面エロージョンが発生しやすいという問題がある。   In particular, in the case of a high-viscosity paste of 10 Pa · s or more, it is necessary to perform ultrasonic cleaning at a relatively low frequency (50 kHz or less) with strong cavitation because the adhesive strength to the coating nozzle is strong. In the cleaning, there is a problem that erosion tends to occur while the cleaning power is strong.

以上のように塗布ノズルを超音波洗浄するとキャビテーションによって高い洗浄性がえられる。しかし一方で、キャビテーションによって洗浄液と接する塗布ノズルの吐出口面に超音波エロージョン(壊食)が発生するという問題がある。これは、キャビテーションのあまりにも高い衝撃力により、塗布ノズルの吐出口面が削りとられるというもので、特に吐出口列両端にある吐出口に超音波エロージョンが集中して、吐出口の縁が削りとられる。吐出口にこのような削れが生じると正確なパターン塗布ができなくなって、この塗布ノズルはもはや使用できなくなる。   As described above, when the coating nozzle is subjected to ultrasonic cleaning, high cleaning performance can be obtained by cavitation. However, on the other hand, there is a problem that ultrasonic erosion (erosion) occurs on the discharge port surface of the coating nozzle in contact with the cleaning liquid by cavitation. This is because the discharge port surface of the coating nozzle is scraped off due to the excessively high impact force of cavitation, and ultrasonic erosion concentrates on the discharge ports at both ends of the discharge port array, and the edge of the discharge port is shaved. Be taken. If such scraping occurs at the discharge port, accurate pattern coating cannot be performed, and the coating nozzle can no longer be used.

また、吐出口面に凹みである位置決めマークが吐出口近傍に設けられていると、この位置決めマークにおいても超音波エロージョンが発生し、その縁が削られ形状が変化してセンサーによる位置決めマークの認識が困難になり、塗布ノズルの位置決めが行えない。   In addition, if a positioning mark, which is a depression on the discharge port surface, is provided near the discharge port, ultrasonic erosion also occurs at this positioning mark, and the edge is shaved and the shape changes to allow the sensor to recognize the positioning mark. This makes it difficult to position the coating nozzle.

以上のように塗布ノズルをそのまま繰り返し超音波洗浄すると、塗布ノズルが使用できなくなり、塗布ノズルの寿命が大幅に短くなるという問題があった。   As described above, when the coating nozzle is repeatedly subjected to ultrasonic cleaning as it is, the coating nozzle cannot be used, and there is a problem that the life of the coating nozzle is significantly shortened.

そこで発明者らは、吐出口列両端にある吐出口および位置決めマークの近傍に誘起部を設け、キャビテーションによる超音波エロージョンの発生箇所を誘起部に移動させ、吐出口および位置決めマークにおける超音波エロージョンの発生を抑制することを提案した(特許文献2)。これによって超音波エロージョンの発生箇所は誘起部に移動し、吐出口あるいは位置決めマークそのもの傷は回避できた。しかし、誘起部を吐出口の近くに設けると、超音波洗浄を繰り返す内に、誘起部で発生した超音波エロージョンが近傍の吐出口まで進行、拡大し、終には吐出口を侵食してしまい、その効果を果たすことが出来ないことが分かった。また、誘起部を多数設け、吐出口から離すことも考えられるが、両端となる吐出口付近には誘起部を設置できるスペースが小さく限られていることが多く、困難である。   Therefore, the inventors have provided an induction portion near the discharge port and the positioning mark at both ends of the discharge port array, moved the ultrasonic erosion occurrence point due to cavitation to the induction portion, and caused ultrasonic erosion at the discharge port and the positioning mark. Proposed to suppress the occurrence (Patent Document 2). As a result, the location where the ultrasonic erosion occurred was moved to the induction portion, and the discharge port or the positioning mark itself could be avoided. However, if the induction part is provided near the discharge port, the ultrasonic erosion generated in the induction part advances and expands to the nearby discharge port during repeated ultrasonic cleaning, and eventually erodes the discharge port. , It was found that the effect can not be fulfilled. In addition, it is conceivable that a large number of induction portions are provided and separated from the discharge ports, but the space where the induction portions can be installed is often limited in the vicinity of the discharge ports at both ends, which is difficult.

また、超音波エロージョンが発生する表面に凹凸を施すことによって、マイクロジェットによる打撃力を拡散することが提案されているが(例えば特許文献3)、塗布ノズルの吐出口面に凹凸を形成すると、吐出口の縁がギザギザ形状となって粗くなり、そのために正確に蛍光体ペーストを吐出できなって精密なパターン塗布が出来ないので、塗布ノズルへの適用は困難である。
特開2004−000928号公報 特開2007−253150号公報 特開2005−335416号公報
In addition, it has been proposed to diffuse the impact force by the microjet by applying unevenness to the surface where ultrasonic erosion occurs (for example, Patent Document 3), but when forming unevenness on the discharge port surface of the coating nozzle, The edges of the discharge port become jagged and rough, so that the phosphor paste can be discharged accurately and precise pattern coating cannot be performed, so that it is difficult to apply to the coating nozzle.
JP 2004-000928 A JP 2007-253150 A JP 2005-335416 A

本発明の目的は、塗布ノズルを超音波洗浄する時に発生する超音波エロージョンによる吐出口の損傷を皆無にすることのできる塗布ノズルを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a coating nozzle that can eliminate any damage to the discharge port due to ultrasonic erosion that occurs when the coating nozzle is ultrasonically cleaned.

上記目的を達成するために、本発明は、ペーストを吐出するための複数個の吐出口が吐出口面内に列をなして形成されているとともに、列の両端にある吐出口の近傍より他の吐出口から離れる方向に複数個の凹みまたは突起が列をなして形成されている塗布ノズルであって、前記複数個の凹みの深さもしくは突起の高さ、または前記吐出口面内での前記複数個の凹みもしくは突起の径が、前記列の両端にある吐出口より離れるにしたがって漸次小さくなることを特徴とする塗布ノズルを提供する。なお、ここで、「凹み部または突起部の径」とは、吐出口の位置する平面における凹み部または突起部の外縁上の少なくとも2点が接した内接円の直径をいう。   In order to achieve the above object, the present invention provides a plurality of discharge ports for discharging paste formed in a row in the discharge port surface, and other than the vicinity of the discharge ports at both ends of the row. A plurality of recesses or protrusions formed in a row in a direction away from the discharge port, wherein the depth of the plurality of recesses or the height of the protrusions, or the surface of the discharge port The application nozzle is characterized in that the diameters of the plurality of recesses or protrusions are gradually reduced as they are separated from the discharge ports at both ends of the row. Here, the “diameter of the dent or projection” refers to the diameter of an inscribed circle in contact with at least two points on the outer edge of the dent or projection on the plane where the discharge port is located.

また、位置決めマークに対しても同様に、ペーストを吐出するための複数個の吐出口が吐出口面内に列をなして形成されているとともに、前記吐出口列の近傍の吐出口面内に位置決めマークが形成されており、さらに前記位置決めマークの近傍より前記複数の吐出口から離れる方向に複数個の凹みまたは突起が形成されている塗布ノズルであって、前記複数個の凹みの深さもしくは突起の高さ、または前記吐出口面内での前記複数個の凹みもしくは突起の径が、前記位置決めマークより離れるにしたがって漸次小さくなることを特徴とする塗布ノズルを提供する。   Similarly, for the positioning marks, a plurality of discharge ports for discharging paste are formed in a row in the discharge port surface, and in the discharge port surface near the discharge port row. A coating nozzle, in which a positioning mark is formed, and a plurality of dents or protrusions are formed in a direction away from the plurality of discharge ports from the vicinity of the positioning mark, the depth of the plurality of dents or There is provided a coating nozzle characterized in that the height of the protrusion or the diameter of the plurality of recesses or protrusions in the discharge port surface gradually decreases as the distance from the positioning mark increases.

さらに、本発明は、超音波洗浄された上述の塗布ノズルを用いてペーストを基板に吐出して塗布を行うことを特徴とするペーストの塗布方法を提供する。   Furthermore, the present invention provides a method for applying a paste, characterized in that application is performed by discharging the paste onto a substrate using the above-described application nozzle subjected to ultrasonic cleaning.

さらに、本発明は、本発明が上述のペーストの塗布方法を用いて蛍光体ペーストを塗布することを特徴とするPDP用部材の製造方法を提供する。   Furthermore, the present invention provides a method for producing a PDP member, wherein the present invention applies a phosphor paste using the paste application method described above.

本発明は、塗布ノズルの超音波洗浄時に超音波エロージョンが集中発生する特定の吐出口や位置決めマークの近傍に、形状を最適化した凹みや突起を複数個列状に設けたので、超音波エロージョンの発生をこれらの凹みや突起に完全に移行させて分散させるので、特定の吐出口や位置決めマークの超音波エロージョンによる損傷を皆無にすることが可能となる。その結果、塗布ノズルを強力に超音波洗浄しても、塗布ノズルが使用不能となって寿命が低下することがなくなり、洗浄品位も高い状態を常に維持することが可能となる。また、高い清浄性を有する塗布ノズルで常にパターン塗布できるのであるから、高い塗布品位維持が容易にえられるとともに、安定して高い生産性で塗布を行うことができる。   In the present invention, a plurality of dents and protrusions whose shapes are optimized are provided in the vicinity of a specific discharge port or positioning mark where ultrasonic erosion is concentrated when the coating nozzle is ultrasonically cleaned. Since the occurrence of this is completely transferred to these dents and protrusions and dispersed, it is possible to eliminate any damage caused by ultrasonic erosion of a specific discharge port or positioning mark. As a result, even if the coating nozzle is strongly ultrasonically cleaned, the coating nozzle can no longer be used and the life is not reduced, and it is possible to always maintain a high cleaning quality. In addition, since pattern application can always be performed with an application nozzle having high cleanliness, high application quality can be easily maintained, and application can be performed stably with high productivity.

上記の優れた塗布方法でPDPを製造するのであるから、高精細のパネルであっても、高い生産性で低コストにて、高品質のPDPを製造することが可能となる。   Since the PDP is manufactured by the above-described excellent coating method, it is possible to manufacture a high-quality PDP with high productivity and low cost even for a high-definition panel.

以下、本発明の最良の実施形態をPDP用の蛍光体ペーストを塗布する塗布ノズルに適用した場合を例にとって、図を参照しながら説明するが、本発明の塗布ノズルは高粘度ペースト用の塗布ノズルであればよく、特にPDP用蛍光体ペーストの塗布ノズルに限定されるものではない。   Hereinafter, the case where the best embodiment of the present invention is applied to an application nozzle for applying a phosphor paste for PDP will be described as an example with reference to the drawings. The application nozzle of the present invention is applied to a high-viscosity paste. Any nozzle may be used, and the present invention is not limited to the application nozzle for the phosphor paste for PDP.

図1は、本発明の塗布ノズルの正面断面図、図2は本発明の塗布ノズルの吐出口面を示す概略平面図、図3は本発明の塗布ノズルの端部吐出口近傍の部分拡大図、部分側面断面図である。   FIG. 1 is a front sectional view of the coating nozzle of the present invention, FIG. 2 is a schematic plan view showing the discharge port surface of the coating nozzle of the present invention, and FIG. 3 is a partially enlarged view of the vicinity of the end discharge port of the coating nozzle of the present invention. FIG.

図1を参照すると、本発明の塗布ノズル1とマニホールド6で構成される塗布ノズルユニット10が示されている。塗布ノズル1にはペーストを吐出するための吐出口2が列をなして設けられている。また、マニホールドにはペースト供給口5、加圧空気供給口9、ノズルユニット内の蛍光体ペースト8の残量検知手段(図示せず)が設けられている。ペースト供給口5に接続されたペースト供給ユニット7からペーストを塗布ノズルユニット10内に供給する。加圧空気供給口9に制御された加圧空気を負荷することで、塗布ノズルユニット10に対して相対的に移動する基板に向けて吐出口2から蛍光体ペースト8を吐出する。   Referring to FIG. 1, an application nozzle unit 10 including an application nozzle 1 and a manifold 6 of the present invention is shown. The application nozzle 1 is provided with discharge ports 2 for discharging paste in rows. Further, the manifold is provided with a paste supply port 5, a pressurized air supply port 9, and a remaining amount detection means (not shown) of the phosphor paste 8 in the nozzle unit. A paste is supplied into the coating nozzle unit 10 from the paste supply unit 7 connected to the paste supply port 5. By applying the controlled pressurized air to the pressurized air supply port 9, the phosphor paste 8 is discharged from the discharge port 2 toward the substrate that moves relative to the coating nozzle unit 10.

塗布ノズル1の寸法としては特に制限はないが、幅10〜200mm、厚さ0.01〜20mm、長さはガラス基板全面に1回の塗布動作で少なくとも1色の蛍光体ペースト全てを塗布できる長さ(42インチPDP用ガラス基板であれば約1m以上)であれば好適である。特に30インチ以上の大型のPDP蛍光体塗布用であればさらに好適である。   Although there is no restriction | limiting in particular as a dimension of the application | coating nozzle 1, All the fluorescent substance pastes of at least 1 color can be apply | coated to the glass substrate whole surface by one application | coating operation | movement in width 10-200mm, thickness 0.01-20mm. A length (about 1 m or more for a 42-inch PDP glass substrate) is suitable. In particular, it is more suitable for coating a large PDP phosphor of 30 inches or more.

塗布ノズル1の材料としては、ステンレス鋼など防錆に優れた金属材が好ましい。これは、錆などの異物が、塗布ノズル1の表面からパターン塗布の塗液であるペーストに混入すると微細な吐出口2の詰まりの原因となるため、錆びにくく、傷つきにくい材質が適しているからであるが、塗布ノズルとしての機能を損なわなければこれに限るものではなく、公知の各種材料が使用できる。   As a material of the application nozzle 1, a metal material excellent in rust prevention such as stainless steel is preferable. This is because, when foreign matter such as rust is mixed from the surface of the coating nozzle 1 into the paste, which is a coating liquid for pattern coating, the fine discharge port 2 may be clogged, and therefore, a material that is resistant to rust and scratches is suitable. However, it is not limited to this as long as the function as the application nozzle is not impaired, and various known materials can be used.

塗布ノズル1には、蛍光体ペーストを吐出するための吐出口2が列をなして複数設けられている。ここに列をなしてとは、複数個の吐出口2の並び方が何らかの規則で表現できる吐出口の一連の並び方のことである。例えば、吐出口相互の距離が不等ピッチに並ぶ連なりや、複数の吐出口が蛇行しながら並ぶ連なり、千鳥に並ぶ連なりなどである。   The application nozzle 1 is provided with a plurality of discharge ports 2 for discharging the phosphor paste in a row. Here, forming a row means a series of arrangements of the discharge ports in which the arrangement of the plurality of discharge ports 2 can be expressed by some rules. For example, there are a series in which the distances between the ejection openings are arranged at unequal pitches, a series in which a plurality of ejection openings are arranged meandering, and a series in a staggered manner.

吐出口2の形状・配置はガラス基板全面に1回の塗布動作で基盤上の所定の溝内に精確にペーストを塗布できるように適宜選ぶことが出来るが、例えば直径50〜1000μmの吐出口2を長手方向にピッチ0.03〜5.0mmで1並びに500〜4000個形成したものが好ましい。図1の例では、吐出口2は直線上に1列に配置されているが、特にこれに限るものではない。また、これらの吐出口を形成する面は曲面であっても良いが、塗布ノズルの加工の便から、この例では平面としている。   The shape and arrangement of the discharge port 2 can be selected as appropriate so that the paste can be accurately applied to a predetermined groove on the substrate by a single application operation on the entire surface of the glass substrate. For example, the discharge port 2 having a diameter of 50 to 1000 μm. It is preferable that 1 and 500 to 4000 are formed at a pitch of 0.03 to 5.0 mm in the longitudinal direction. In the example of FIG. 1, the discharge ports 2 are arranged in a line on a straight line, but the present invention is not limited to this. Further, the surface on which these discharge ports are formed may be a curved surface, but in this example, it is a flat surface for the convenience of processing the coating nozzle.

吐出口2の加工方法としては、ノズル材料や吐出口形状に合わせて、放電加工やレーザー加工、ドリル加工など公知の加工方法を適宜選ぶことが出来る。   As a processing method of the discharge port 2, a known processing method such as electric discharge processing, laser processing, or drill processing can be appropriately selected according to the nozzle material and the discharge port shape.

吐出口2の両端には、超音波洗浄する際に両端部の端部吐出口2aで発生するエロージョンを防止するために、凹み部が設けられている。(ここで凹み部は、吐出口と似た形状をしていることから、以下では凹み部をダミーと呼び、吐出口の近傍に設けるものを吐出口ダミー、位置決めマークの近傍に設けるものを位置決めマークダミーぶこととする。)
図3(a)(b)の部分拡大図に示すように、吐出口2が形成されている面に、その吐出口2とさらに列をなして、吐出口ダミー3a、3b、3cが設けられている。吐出口ダミー3a、3b、3cは、直径および深さが端部吐出口側から離れる方向に漸次小さくなるように設けられている。端部の小さな吐出口ダミー3cに向かってキャビテーションが徐々に弱くなる結果、これまで端部に集中していたキャビテーションは集中しにくくなり、設けられた複数のダミーにキャビテーションが分散し、キャビテーションの崩壊時に起こる衝撃力が分散低下することで端部吐出口2aおよび吐出口ダミー3a、3b、3cでエロージョンが発生しにくくなる。
At both ends of the discharge port 2, recesses are provided to prevent erosion that occurs at the end discharge ports 2 a at both ends when ultrasonic cleaning is performed. (Here, since the recess has a shape similar to the discharge port, the recess is hereinafter referred to as a dummy, and the portion provided near the discharge port is positioned near the discharge port dummy and the positioning mark. (Mark dummy)
As shown in the partially enlarged views of FIGS. 3A and 3B, discharge port dummies 3a, 3b, and 3c are provided on the surface on which the discharge port 2 is formed so as to be further in line with the discharge port 2. ing. Discharge port dummy 3a, 3b, 3c is provided so that a diameter and depth may become small gradually in the direction which leaves | separates from the edge part discharge port side. As a result of the cavitation gradually weakening toward the small discharge port dummy 3c at the end, the cavitation that has been concentrated at the end becomes difficult to concentrate, and the cavitation is dispersed to a plurality of dummy provided, and the cavitation collapses. Since the impact force that occurs sometimes decreases in dispersion, erosion is less likely to occur at the end discharge port 2a and the discharge port dummies 3a, 3b, and 3c.

この例では、吐出口ダミーは片側で3個(反対側にも3個)設けられているが、設置スペースが許せばさらに多く設けてもよい。加工コストの点から、3個以上10個以下の範囲内で適宜設置スペースに合わせて設けるとよい。   In this example, three discharge port dummies are provided on one side (three on the opposite side), but more may be provided if installation space permits. From the viewpoint of processing cost, it may be provided in accordance with the installation space as appropriate within the range of 3 or more and 10 or less.

ダミーの形成は、例えば、ドリルやリーマなどで切削しても良いし、ダイスやポンチなどを用いて鍛造的に転写しても良く、とくにこれらに限らず塗布ノズル1の材質とダミーの形状により各種の加工法を用いることができる。また、突起形状のダミーを貼付け設置しても良い。   The dummy may be formed by, for example, cutting with a drill or a reamer, or may be transferred by forging using a die or a punch, and is not particularly limited to this, depending on the material of the coating nozzle 1 and the shape of the dummy. Various processing methods can be used. Further, a protrusion-shaped dummy may be attached and installed.

端部吐出口2aに隣接する吐出口ダミー3aの直径は、25μm以上500μm以下であるのが好ましい。この値が25μm未満、あるいは500μmを超える場合、ダミーの効果がなくなり、端部吐出口2aで超音波エロージョンが発生する。さらに好ましくは、50μm以上300μm以下である。端部吐出口2aから最も遠い吐出口ダミー3cの直径は25μm以下であるのが好ましい。   The diameter of the discharge port dummy 3a adjacent to the end discharge port 2a is preferably 25 μm or more and 500 μm or less. When this value is less than 25 μm or more than 500 μm, the dummy effect is lost and ultrasonic erosion occurs at the end discharge port 2a. More preferably, they are 50 micrometers or more and 300 micrometers or less. The diameter of the discharge port dummy 3c farthest from the end discharge port 2a is preferably 25 μm or less.

また吐出口ダミー3aの深さは、吐出口2のある表面を基準として25μm以上であることが好ましい。この値が25μm未満では、ダミーが存在しないのと同様に端部吐出口2aでエロージョンが発生してしまい、ダミーの効果がない。端部吐出口2aから最も遠い吐出口ダミー3cの深さは25μm以下であるのが好ましい。   The depth of the discharge port dummy 3a is preferably 25 μm or more with reference to the surface on which the discharge port 2 is provided. If this value is less than 25 μm, erosion occurs at the end discharge port 2a in the same manner as when no dummy is present, and there is no dummy effect. The depth of the discharge port dummy 3c farthest from the end discharge port 2a is preferably 25 μm or less.

この例では、複数の吐出口ダミーはその直径と深さが共に端部吐出口側から離れる方向に漸次小さくなるように設けられているが、これに限るものではない。吐出口ダミーの直径あるいは深さのいずれか一方が端部吐出口側から離れる方向に漸次小さくなり、他方が漸次大きくなるように設けらてもよい。但しその場合は、吐出口ダミーの直径あるいは深さのいずれか一方が他に比べて十分な割合で小さくなることが必要である。吐出口ダミーの外表面と吐出口の位置する面で形成される体積が、端部吐出口側から離れる方向に小さくなるようにダミーを形成しても良い。   In this example, the plurality of discharge port dummies are provided such that both the diameter and depth thereof gradually decrease in the direction away from the end discharge port side, but the present invention is not limited to this. It may be provided such that either one of the diameter or the depth of the discharge port dummy gradually decreases in the direction away from the end discharge port side, and the other gradually increases. However, in that case, it is necessary that either one of the diameter and the depth of the discharge port dummy is reduced at a sufficient rate as compared with the other. The dummy may be formed so that the volume formed by the outer surface of the discharge port dummy and the surface where the discharge port is located decreases in a direction away from the end discharge port side.

また、複数の吐出口ダミーを設ける位置は、端部吐出口2aと吐出口ダミー3a、または隣り合うダミーの距離(それぞれの外縁間の最短距離)が5000μm以下の範囲であることが好ましい。5000μmを超えると、ダミーの効果がなくなり、端部の吐出口で超音波エロージョンが発生することがある。さらに好ましくは、この距離が300μm以上3000μm以下の範囲であることが好ましい。   Further, the position where the plurality of discharge port dummies are provided is preferably such that the distance between the end portion discharge port 2a and the discharge port dummy 3a or the adjacent dummy (the shortest distance between the respective outer edges) is 5000 μm or less. If it exceeds 5000 μm, the dummy effect is lost, and ultrasonic erosion may occur at the discharge outlet at the end. More preferably, this distance is in the range of 300 μm to 3000 μm.

また、吐出口ダミーは、超音波エロージョンを誘起することができればかならずしも凹み部である必要はなく突起部であってもよいし、凹み部と突起部を組み合わせたものでも良い。本発明で重要なのは、端部吐出口から離れる方向に、漸次浅くまたは低くなる複数のダミーを有していることである。   Further, the discharge port dummy need not necessarily be a recessed portion as long as it can induce ultrasonic erosion, and may be a protruding portion, or may be a combination of the recessed portion and the protruding portion. What is important in the present invention is to have a plurality of dummies that gradually become shallower or lower in the direction away from the end discharge port.

図4は本発明の塗布ノズルの位置決めマーク近傍の吐出口面の部分拡大図および部分側面断面図である。端部吐出口2aに対する吐出口ダミー3a〜3cと同様に、位置決めマーク21の近傍より前記複数の吐出口から離れる方向に位置決めマークダミー3i、3j、3kが位置決めマーク21と列をなすように3個設けてある。   FIG. 4 is a partially enlarged view and a partial side sectional view of the discharge port surface in the vicinity of the positioning mark of the coating nozzle of the present invention. Similarly to the discharge port dummies 3a to 3c for the end discharge port 2a, the positioning mark dummies 3i, 3j, and 3k are aligned with the positioning mark 21 in the direction away from the plurality of discharge ports from the vicinity of the positioning mark 21. It is provided.

位置決めマークダミー3i、3j、3kは、直径および深さが位置決めマーク21から離れる方向に漸次小さくなるように設けられている。最も小さな位置決めマークダミー3kに向かってキャビテーションが徐々に弱くなる結果、これまで位置決めマーク21に集中していたキャビテーションは集中しにくくなり、設けられた複数の位置決めマークダミーにキャビテーションが分散し、キャビテーションの崩壊時に起こる衝撃力が分散低下することで位置決めマーク21および位置決めマークダミー3i、3j、3kでエロージョンが発生しにくくなる。   The positioning mark dummies 3i, 3j, and 3k are provided so that the diameter and depth gradually decrease in the direction away from the positioning mark 21. As a result of the cavitation gradually becoming weaker toward the smallest positioning mark dummy 3k, the cavitation that has been concentrated on the positioning mark 21 until now becomes difficult to concentrate. Since the impact force that occurs at the time of collapse decreases, erosion is less likely to occur at the positioning marks 21 and the positioning mark dummies 3i, 3j, and 3k.

位置決めマーク21に隣接する位置決めマークダミー3iの直径は、25μm以上500μm以下であるのが好ましい。この値が25μm未満、あるいは500μmを超える場合、ダミーの効果がなくなり、端部吐出口2aで超音波エロージョンが発生する。さらに好ましくは、50μm以上300μm以下である。位置決めマーク21から最も遠い位置決めマークダミー3iの直径は25μm以下であるのが好ましい。   The diameter of the positioning mark dummy 3i adjacent to the positioning mark 21 is preferably 25 μm or more and 500 μm or less. When this value is less than 25 μm or more than 500 μm, the dummy effect is lost and ultrasonic erosion occurs at the end discharge port 2a. More preferably, they are 50 micrometers or more and 300 micrometers or less. The diameter of the positioning mark dummy 3i farthest from the positioning mark 21 is preferably 25 μm or less.

また位置決めマークダミー3iの深さは、吐出口2のある表面を基準として25μm以上であることが好ましい。この値が25μm未満では、位置決めマークダミーが存在しないのと同様に端部吐出口2aでエロージョンが発生してしまい、ダミーの効果がない。位置決めマーク21から最も遠い位置決めマークダミー3iの深さは25μm以下であるのが好ましい。   The depth of the positioning mark dummy 3i is preferably 25 μm or more with reference to the surface where the ejection port 2 is provided. If this value is less than 25 μm, erosion occurs at the end discharge port 2a in the same manner as the positioning mark dummy does not exist, and there is no dummy effect. The depth of the positioning mark dummy 3i farthest from the positioning mark 21 is preferably 25 μm or less.

この例では、複数の位置決めマークダミーはその直径と深さが共に位置決めマーク21から離れる方向に漸次小さくなるように設けられているが、これに限るものではない。位置決めマークダミーの直径あるいは深さのいずれか一方が位置決めマーク21から離れる方向に漸次小さくなり、他方が漸次大きくなるように設けらてもよい。但しその場合は、位置決めマークダミーの直径あるいは深さのいずれか一方が他に比べて十分な割合で小さくなることが必要である。位置決めマークダミーの外表面と吐出口の位置する面で形成される体積が、端部吐出口側から離れる方向に小さくなるように位置決めマークダミーを形成しても良い。   In this example, the plurality of positioning mark dummies are provided such that both the diameter and depth thereof gradually decrease in the direction away from the positioning mark 21, but the present invention is not limited to this. The positioning mark dummy may be provided such that either one of the diameter and the depth of the positioning mark dummy gradually decreases in the direction away from the positioning mark 21 and the other gradually increases. However, in that case, either the diameter or the depth of the positioning mark dummy needs to be reduced at a sufficient rate as compared with the other. The positioning mark dummy may be formed so that the volume formed by the outer surface of the positioning mark dummy and the surface where the discharge port is located decreases in the direction away from the end discharge port side.

また、複数のダミーを設ける位置は、位置決めマーク21と位置決めマークダミー3i、または隣り合うダミーの距離(それぞれの外縁間の最短距離)が5000μm以下の範囲であることが好ましい。5000μmを超えると、ダミーの効果がなくなり、端部の吐出口で超音波エロージョンが発生することがある。さらに好ましくは、この距離が300μm以上3000μm以下の範囲であることが好ましい。   In addition, the position where the plurality of dummies are provided is preferably such that the distance between the positioning mark 21 and the positioning mark dummy 3i or the adjacent dummy (the shortest distance between the outer edges) is 5000 μm or less. If it exceeds 5000 μm, the dummy effect is lost, and ultrasonic erosion may occur at the discharge outlet at the end. More preferably, this distance is in the range of 300 μm to 3000 μm.

また、ダミーは、超音波エロージョンを誘起することができればかならずしも凹み部である必要はなく突起部であってもよいし、凹み部と突起部を組み合わせたものでも良い。本発明で重要なのは、端部吐出口から離れる方向に、漸次浅くまたは低くなる複数のダミーを有していることである。   Further, the dummy is not necessarily a recessed portion as long as ultrasonic erosion can be induced, and may be a protruding portion, or a combination of the recessed portion and the protruding portion. What is important in the present invention is to have a plurality of dummies that gradually become shallower or lower in the direction away from the end discharge port.

ここで塗布ノズルの洗浄に使用する超音波の周波数範囲は5kHz以上100kHz以下、超音波強度が0.5W/cm以上であることが好ましい。この範囲を外れると超音波キャビテーションの強度が小さくなり、洗浄能力が十分でなくなるので好ましくない。
本発明の塗布ノズルは、高粘度な塗液のパターン塗布を継続するために超音波洗浄が必要であって、その塗液の粘度が1Pa・s以上であるペーストをパターン塗布できる塗布ノズルとして好適に用いることができるが、粘度が1〜1000Pa・sの範囲である高粘度なペーストや、さらに粘度が10〜100Pa・sの範囲である高粘度なペーストをパターン塗布する塗布ノズルに用いると、超音波出力を敢えて緩和しないまま、この塗布ノズルの超音波洗浄を行ったとしても、この洗浄の前後で吐出口の縁などが削られることがなく正確なパターン塗布が継続できる点で、非常に好ましい。
Here, the frequency range of the ultrasonic wave used for cleaning the coating nozzle is preferably 5 kHz or more and 100 kHz or less, and the ultrasonic intensity is 0.5 W / cm 2 or more. Outside this range, the strength of ultrasonic cavitation is reduced, and the cleaning ability is not sufficient, which is not preferable.
The coating nozzle of the present invention requires ultrasonic cleaning in order to continue pattern coating of a highly viscous coating liquid, and is suitable as a coating nozzle capable of pattern coating a paste having a viscosity of 1 Pa · s or more. However, when a high-viscosity paste having a viscosity in the range of 1 to 1000 Pa · s or a high-viscosity paste having a viscosity in the range of 10 to 100 Pa · s is used for a coating nozzle, Even if this application nozzle is ultrasonically cleaned without deliberately reducing the ultrasonic power output, it is possible to continue accurate pattern application without cutting the edges of the discharge port before and after this cleaning. preferable.

なお、高粘度なペーストの代表的な例としては、例えばプラズマテレビ製造用の蛍光体ペーストを塗布する蛍光体ペースト塗布ノズルをあげることができる。   A typical example of the high-viscosity paste is a phosphor paste application nozzle that applies a phosphor paste for plasma television production.

洗浄液は、洗浄する塗液や塗布ノズルの材質によって、各種公知のものが利用できる。特に蛍光体粉末、有機溶媒、有機バインダ(樹脂成分)を主成分とする蛍光体ペーストの場合、該有機溶媒や該樹脂成分を溶解することのできる洗浄溶媒(通常は有機溶媒)を用いるのが良い。この様な有機溶媒として、アセトン、エタノール、ダイアセトンアルコール、IPA(イソプロピルアルコール)、MEK(メチルエチルケトン)、フッ素系溶剤、各種非危険物溶剤(例えば、商品名エリーズ:旭化成)など各種溶剤から適宜選択することができる。さらに、この様な洗浄を、数段に渡って行うとさらに洗浄効果が高まる。数段とは、例えば、1次洗浄としてダイアセトンアルコール洗浄、2次洗浄としてアセトン洗浄、仕上げ洗浄として純水洗浄などを行うことができ、いずれの場合にも超音波を照射して洗浄性を高めると良い。   Various known cleaning liquids can be used depending on the coating liquid to be cleaned and the material of the coating nozzle. Particularly in the case of a phosphor paste mainly composed of phosphor powder, an organic solvent, and an organic binder (resin component), a cleaning solvent (usually an organic solvent) that can dissolve the organic solvent and the resin component is used. good. Such organic solvents are appropriately selected from various solvents such as acetone, ethanol, diacetone alcohol, IPA (isopropyl alcohol), MEK (methyl ethyl ketone), fluorine-based solvents, various non-hazardous solvents (for example, trade name Elise: Asahi Kasei). can do. Further, when such cleaning is performed over several stages, the cleaning effect is further enhanced. For example, diacetone alcohol cleaning as the primary cleaning, acetone cleaning as the secondary cleaning, pure water cleaning as the final cleaning, etc. can be performed as the first cleaning. Increase it.

実施例1
図1に示す塗布ノズル1を製作した。吐出口2は直径110μmの円形で、幅100mm、長さ1m、厚さ500μmのステンレス鋼板上に、一直線上に500μmピッチで1920個設けた。その両端に位置する端部吐出口2aから500μmピッチで、端部吐出口2aから離れる方向に順に吐出口ダミー3a、3b、3cを一直線上に設けた。吐出口ダミー3aは直径100μmで深さが300μmの凹み、吐出口ダミー3bは直径50μmで深さが100μmの凹み、吐出口ダミー3cは直径20μmで深さが20μmの凹みであった。
Example 1
A coating nozzle 1 shown in FIG. 1 was manufactured. The discharge ports 2 were circular with a diameter of 110 μm, and 1920 pieces were provided on a straight line at a pitch of 500 μm on a stainless steel plate having a width of 100 mm, a length of 1 m, and a thickness of 500 μm. Discharge port dummy 3a, 3b, 3c was provided in a straight line in order in the direction away from the end discharge port 2a at a pitch of 500 μm from the end discharge ports 2a located at both ends. The discharge port dummy 3a was a recess having a diameter of 100 μm and a depth of 300 μm, the discharge port dummy 3b was a recess having a diameter of 50 μm and a depth of 100 μm, and the discharge port dummy 3c was a recess having a diameter of 20 μm and a depth of 20 μm.

さらに、吐出口2が並ぶ一直線に直交して位置決めマーク21を通る一直線上に、位置決めマーク21からから離れる方向に1mmピッチで、順に位置決めマークダミー3i、3j、3kを設けた。位置決めマークダミー3iは直径200μmで深さが100μmの凹み、位置決めマークダミー3jは直径100μmで深さが50μmの凹み、位置決めマークダミー3kは直径25μmで深さが20μmの凹みであった。   Further, positioning mark dummies 3i, 3j, and 3k were sequentially provided at a pitch of 1 mm in a direction away from the positioning mark 21 on a straight line passing through the positioning mark 21 perpendicular to the straight line in which the discharge ports 2 are arranged. The positioning mark dummy 3i was a recess having a diameter of 200 μm and a depth of 100 μm, the positioning mark dummy 3j was a recess having a diameter of 100 μm and a depth of 50 μm, and the positioning mark dummy 3k was a recess having a diameter of 25 μm and a depth of 20 μm.

この塗布ノズル1をダイアセトンアルコールが入った洗浄槽に投入し、超音波強度が1.0W/cmで周波数25kHzの超音波を1時間照射した後、塗布ノズルを純水が入った洗浄槽に入れ替えて、超音波強度が1.0W/cmで周波数25kHzの超音波を1時間照射する超音波洗浄を、10回繰り返し実施した。超音波洗浄完了後に、塗布ノズル1の吐出口、吐出口面と位置決めマークをマイクロスコープで観察したが、損傷している部分はなく、超音波エロージョンの発生はないことが確認できた。 This coating nozzle 1 is put into a washing tank containing diacetone alcohol, and after applying ultrasonic waves with an ultrasonic intensity of 1.0 W / cm 2 and a frequency of 25 kHz for 1 hour, the coating nozzle is washed with pure water. The ultrasonic cleaning was repeated 10 times by irradiating ultrasonic waves with an ultrasonic intensity of 1.0 W / cm 2 and a frequency of 25 kHz for 1 hour. After the ultrasonic cleaning was completed, the discharge port, discharge port surface, and positioning mark of the coating nozzle 1 were observed with a microscope. However, it was confirmed that there was no damaged portion and no ultrasonic erosion occurred.

さらに、この塗布ノズル1を組み立てて、蛍光体ペーストを背面板に設けられたストライプ状の溝に塗布したところ、溝に全て塗布することが可能であった。   Furthermore, when this coating nozzle 1 was assembled and the phosphor paste was applied to the stripe-shaped grooves provided on the back plate, it was possible to apply all of them to the grooves.

比較例1
図5(a)に示す、吐出口ダミー3a、3b、3cおよび位置決めマークダミー3i、3j、3kすべてを直径200μmで深さ100μmにする他は、実施例1と全く同じ塗布ノズル1aを製作した。
Comparative Example 1
Except that all of the discharge port dummies 3a, 3b, 3c and the positioning mark dummies 3i, 3j, 3k shown in FIG. 5 (a) are 200 μm in diameter and 100 μm in depth, the same application nozzle 1a as in Example 1 was manufactured. .

この塗布ノズル1aを実施例1と同条件で超音波洗浄を1時間実施したところ、図5(b)のように、端部の吐出口ダミー3cおよび端部の位置決めマーク3kから超音波エロージョン模様4が発生していた。この塗布ノズル1kで、実施例1と同様にペースト塗布を行ったところ、問題なく塗布することができた。   When this application nozzle 1a was subjected to ultrasonic cleaning for 1 hour under the same conditions as in Example 1, as shown in FIG. 5B, an ultrasonic erosion pattern was formed from the discharge outlet dummy 3c at the end and the positioning mark 3k at the end. 4 occurred. Using this application nozzle 1k, paste application was performed in the same manner as in Example 1, and application was possible without problems.

さらに超音波洗浄を繰り返し、前記最初の洗浄を含めて計10回実施した後、塗布ノズル1aの表面をマイクロスコープで観察すると、図5(c)のように、超音波エロージョン模様4が拡大し、端部吐出口2aや位置決めマーク21のエッジ部が壊食により侵食されて、超音波洗浄によって当該塗布ノズルが使用不能となった。   Furthermore, after repeating ultrasonic cleaning 10 times including the first cleaning, when the surface of the coating nozzle 1a is observed with a microscope, the ultrasonic erosion pattern 4 is enlarged as shown in FIG. The edge portion of the end discharge port 2a and the positioning mark 21 was eroded by erosion, and the coating nozzle became unusable by ultrasonic cleaning.

本発明の塗布ノズルの正面断面図である。It is front sectional drawing of the coating nozzle of this invention. 本発明の塗布ノズルの吐出口面を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the discharge port surface of the coating nozzle of this invention. 本発明の塗布ノズルの端部吐出口近傍の部分拡大図および部分側面断面図である。It is the elements on larger scale near the edge part discharge outlet of the coating nozzle of this invention, and a partial side surface sectional view. 本発明の塗布ノズルの位置決めマーク近傍の部分拡大図および部分側面断面図である。It is the elements on larger scale and the partial side surface sectional drawing of the positioning mark vicinity of the coating nozzle of this invention. 比較例1で用いた塗布ノズルの拡大図である。6 is an enlarged view of a coating nozzle used in Comparative Example 1. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1、1a 塗布ノズル
2 吐出口
2a 端部吐出口
3 ダミー
3a、3b、3c 吐出口ダミー
3i、3j、3k 位置決めマークダミー
4 超音波エロージョン模様
5 ペースト供給口
6 マニホールド
7 ペースト供給ユニット
8 蛍光体ペースト
9 加圧空気供給口
10 塗布ノズルユニット
21 位置決めマーク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1a Coating nozzle 2 Discharge port 2a End part discharge port 3 Dummy 3a, 3b, 3c Discharge port dummy 3i, 3j, 3k Positioning mark dummy 4 Ultrasonic erosion pattern 5 Paste supply port 6 Manifold 7 Paste supply unit 8 Phosphor paste 9 Pressurized air supply port 10 Application nozzle unit 21 Positioning mark

Claims (4)

ペーストを吐出するための複数個の吐出口が吐出口面内に列をなして形成されているとともに、列の両端にある吐出口の近傍より他の吐出口から離れる方向に複数個の凹みまたは突起が列をなして形成されている塗布ノズルであって、前記複数個の凹みの深さもしくは突起の高さ、または前記吐出口面内での前記複数個の凹みもしくは突起の径が、前記列の両端にある吐出口より離れるにしたがって漸次小さくなることを特徴とする塗布ノズル。 A plurality of discharge ports for discharging the paste are formed in a row in the surface of the discharge port, and a plurality of dents or in the direction away from the other discharge ports from the vicinity of the discharge ports at both ends of the row An application nozzle in which protrusions are formed in a row, wherein the depth of the plurality of recesses or the height of the protrusions, or the diameter of the plurality of recesses or protrusions in the discharge port surface is An application nozzle, which gradually decreases as the distance from the discharge ports at both ends of the row increases. ペーストを吐出するための複数個の吐出口が吐出口面内に列をなして形成されているとともに、前記吐出口列の近傍の吐出口面内に位置決めマークが形成されており、さらに前記位置決めマークの近傍より前記複数の吐出口から離れる方向に複数個の凹みまたは突起が列をなして形成されている塗布ノズルであって、前記複数個の凹みの深さもしくは突起の高さ、または前記吐出口面内での前記複数個の凹みもしくは突起の径が、前記位置決めマークより離れるにしたがって漸次小さくなることを特徴とする塗布ノズル。 A plurality of discharge ports for discharging the paste are formed in a row in the discharge port surface, and a positioning mark is formed in the discharge port surface near the discharge port row, and the positioning is further performed. A coating nozzle in which a plurality of recesses or projections are formed in a row in a direction away from the plurality of discharge ports from the vicinity of the mark, the depth of the plurality of recesses or the height of the projections, or the An application nozzle, wherein a diameter of the plurality of dents or protrusions in a discharge port surface gradually decreases as the distance from the positioning mark increases. 超音波洗浄された請求項1または2に記載の塗布ノズルを用いてペーストを基板に吐出して塗布を行うことを特徴とするペーストの塗布方法。 A method for applying a paste, comprising applying the paste by discharging the paste onto a substrate using the application nozzle according to claim 1, which has been subjected to ultrasonic cleaning. 請求項3に記載のペーストの塗布方法を用いて蛍光体ペーストを塗布することを特徴とするプラズマディスプレイ用部材の製造方法。 A method for producing a member for a plasma display, comprising applying a phosphor paste using the paste application method according to claim 3.
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