JP2009225654A - 位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム及びその方法 - Google Patents

位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム及びその方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2009225654A
JP2009225654A JP2008177329A JP2008177329A JP2009225654A JP 2009225654 A JP2009225654 A JP 2009225654A JP 2008177329 A JP2008177329 A JP 2008177329A JP 2008177329 A JP2008177329 A JP 2008177329A JP 2009225654 A JP2009225654 A JP 2009225654A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
position detection
detection function
movable part
piezo
conductive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008177329A
Other languages
English (en)
Inventor
Jiong-Guang Su
▲ジョン▼光 蘇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Silicon Touch Tech Inc
Original Assignee
Silicon Touch Tech Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Silicon Touch Tech Inc filed Critical Silicon Touch Tech Inc
Publication of JP2009225654A publication Critical patent/JP2009225654A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

【課題】位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステムを提供する。
【解決手段】位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステムは、非可動ベース、ピエゾ材料、駆動軸、及び、可動部を具備している。非可動ベースは、駆動電圧を供給する駆動回路を有する。ピエゾ材料は非可動ベース上に固定され、かつ、駆動回路と電気的に接続されている。ピエゾ材料の長さは駆動電圧によって制御されている。駆動軸はピエゾ材料上に固定され、かつ、インピーダンス材料を有する少なくとも2つの導電部を有する。可動部は駆動軸上に配置され、かつ、導電材料から成るスペーサがその底部に取り付けられている。導電パスを形成するように、2つの導電部はスペーサと電気的に接続されている。駆動回路は導電パスのインピーダンスを検出して、可動部の地位を決定している。
【選択図】図3A

Description

一般に、本発明は、位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム及びその方法に関し、特に、位置を検出するためにインピーダンス検出を使用するピエゾアクチュエータシステム及びその方法に関する。
ピエゾアクチュエータシステムは、対象物を動かす効果を達成するために、電圧を使用するアクチュエータシステムである。ピエゾ材料の製造誤差及び駆動偏位誤差を考慮すると、従来のピエゾアクチュエータシステムにポジショニングシステムが追加されなければならない。しかし、従来のポジショニングシステムはかさ容積を有し、それはピエゾアクチュエータシステム全体の小型化及び単純化を妨げている。その結果、従来のピエゾアクチュエータシステムは、カメラフォン(camera phone)のレンズモジュール又は薄いタイプの光学ディスクドライブのピックアップヘッドなどの小さなサイズの精密デバイスに適用することができない。
図1は、定常状態における従来のピエゾアクチュエータシステム10の概略側面図である。図1Aに示すように、従来のピエゾアクチュエータシステム10は、非可動ベース(immovable base)12、ピエゾ材料14、駆動軸16、及び可動オブジェクト(movable object)18を具備している。ピエゾ材料14は、非可動ベース12上に固定され、かつ、ピエゾ材料14の長さLは、受信電圧に基づき変動している。即ち、ピエゾ材料14は、受信電圧に基づき変形する。駆動軸16は、ピエゾ材料14上に固定され、かつ、ピエゾ材料14の長さLが変動すると、駆動軸16の位置はそれに応じて変化する。図1Aでは、駆動軸16の位置はxである。可動オブジェクト18は駆動軸16上に配置されている。駆動軸16がゆっくりと動く場合、可動オブジェクト18は、その間の摩擦のために駆動軸16に沿って動くことになる。しかし、駆動軸16が速く動く場合、可動オブジェクト18は、ニュートンの運動の第1法則(慣性の法則)に基づき、その元の位置に留まる。図1Aでは、可動オブジェクト18の位置はxである。
図1Bは、ゆっくりと昇圧する電圧がピエゾ材料14に印加される場合の従来のピエゾアクチュエータシステム10の概略側面図である。図1Bに示すように、ピエゾアクチュエータ10が定常状態である場合に比べて、ピエゾ材料14の長さLがより長くなるように、ゆっくりと昇圧する電圧がピエゾ材料14に印加されている。この時、駆動軸16は、ピエゾ材料14の長さLの変動に起因して動いている。可動オブジェクト18は、駆動軸16に沿って、その間の摩擦のため、xからxに動く。
図1Cは、迅速に降圧する電圧がピエゾ材料14に印加される場合の従来のピエゾアクチュエータシステム10の概略側面図である。図1Cに示すように、ピエゾ材料14の長さLが図1Bの状況に比べてより短くなるように、迅速に降圧する電圧がピエゾ材料14に印加されている。ピエゾ材料14の長さLは、ピエゾアクチュエータシステムが定常状態の場合に取得された長さに迅速に変化するので、駆動軸16は速く動く。この時、駆動軸16の位置はxである。可動オブジェクト18は、ニュートンの運動の第1法則に基づき、その元の位置、即ち、xに留まる。上記のように、ゆっくりと昇圧する電圧を印加すること、及び、電圧を迅速に降圧することによって、可動オブジェクト18を目標位置に動かすことができる。
しかし、ピエゾ材料の製造誤差及び駆動変位誤差を考慮すると、全てのピエゾアクチュエータシステムにポジショニングシステムが追加されなければならない。図2には、ホールセンサ21を有するピエゾアクチュエータシステム20の概略側面図が図示されている。ピエゾアクチュエータシステム20は、ホールセンサ21、非可動ベース22、ピエゾ材料24、駆動軸26、可動オブジェクト28、及び磁性体25を具備している。磁性体25は、可動オブジェクト28上に配置され、かつ、磁石又は磁鉄鉱であってよい。非可動ベース22は駆動回路23を具備している。駆動回路23は、ピエゾ材料24及びホールセンサ21に電圧を供給し、かつ、さらに、ホールセンサ21の電圧変動を検出するために使用されている。ピエゾ材料24は、駆動回路23によって供給される電圧の影響によって変形する。
ホールセンサ21は、可動オブジェクト28上に配置された磁性体25によって放出される磁力を検知している。可動オブジェクト28が移動する時、ホールセンサ21上に磁性体25によって印加される磁力が変化し、その結果、ホールセンサ21のキャリアの誘導電圧は、それに応じて変動する。駆動回路23は、ホールセンサ21の電圧変動を検出し、かつ、電圧変動に基づき可動オブジェクト28の位置を決定する。それによって、ポジショニング及び位置検出機能が達成されている。
しかし、ホールセンサ23及び磁性体25を必要としているので、上記のピエゾアクチュエータシステム20は、かさ容積があり、小型化要求にとって不利である。
したがって、本発明は、インピーダンス検出を使用して可動オブジェクトの位置を検出する、位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム及びその方法を志向している。従来のピエゾアクチュエータシステム及びその方法に比べて、本発明によって提供されるピエゾアクチュエータシステム及びその方法は、迅速な駆動、低雑音、省電力、小容量、使用回数がより多いなどの利点がある。
本発明は、位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステムを提供し、それは、非可動ベース、ピエゾ材料、駆動軸及び可動部を具備している。前記非可動ベースは、駆動電圧を供給する駆動回路を有する。前記ピエゾ材料は、前記非可動ベース上に固定され、かつ、前記駆動回路と電気的に接続されている。前記ピエゾ材料の長さは、前記駆動電圧によって制御されている。前記駆動軸は、前記ピエゾ材料上に固定され、かつ、インピーダンス材料を有する少なくとも2つの導電部を有する。前記可動部は前記駆動軸上に配置され、かつ、その底部に取り付けられた導電材料からなるスペーサを有する。前記2つの導電部は、導電パスを形成するように、前記スペーサと電気的に接続されている。前記駆動回路は、前記導電パスのインピーダンスを検出して、前記可動部の位置を決定する。
本発明の1実施形態では、前記2つの導電部は、複数の抵抗、複数のインダクタ、又は、複数のキャパシタを具備している。
本発明の1実施形態では、前記駆動回路は、それに応じて前記可動部の位置を調整するように、前記可動部の位置に基づき前記駆動電圧を供給する。
本発明は、位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータのための方法を提供し、その方法は以下のステップを具備している。(a)可動部及び駆動軸が供給される。前記可動部は、前記駆動軸上に配置され、その底部に取り付けられた導電材料からなるスペーサを有する。前記駆動軸は少なくとも2つの導電部を有する。前記2つの導電部及びスペーサは導電パスを形成する。(b)前記可動部を動かすように、駆動電圧が供給されて、前記ピエゾ材料の長さが変化する。前記駆動軸は前記ピエゾ材料上に固定される。(c)前記可動部の位置は、導電パスのインピーダンスに基づき決定される。
本発明の1実施形態では、前記2つの導電部は複数の抵抗、複数のインダクタ、又は、複数のキャパシタを具備している。
本発明の1実施形態では、位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータのための方法は、(d)前記可動部の位置を調整するように、前記可動部の位置に基づき駆動電圧を供給するステップをさらに具備する。
本発明では、少なくとも2つの導電部は、前記駆動軸上に配置されている。低い抵抗を備えたスペーサは、前記可動部の底部に取り付けられている。前記2つの導電部は、導電パスを形成するように、低い抵抗を備えた前記スペーサと電気的に接続されている。最終的には、前記導電パスの前記インピーダンスを検出することで、前記可動部の位置が取得される。したがって、従来のピエゾアクチュエータシステムに比べて、本発明は、迅速な駆動、低騒音、省電力、小容量、使用回数がより多いなどの利点を有する。したがって、本発明によって提供されるピエゾアクチュエータシステム及びその方法は、カメラフォンのレンズモジュール、又は、薄いタイプの光学ディスクドライブのピックアップヘッドに適用可能である。
前述及びその他の目的、本発明の特徴及び利点のために、分かりやすく、好ましい実施形態が図面を伴って以下に詳細に説明される。
添付図面は、本発明のさらなる理解を提供するために含まれて、かつ、組み込まれて本明細書の一部を構成している。図面は本発明の実施形態を図示して、説明とともに、本発明の原理の説明を行う。
ここで、本発明の本実施形態、即ち、添付図面に図示される実施例が、詳細に説明される。可能な限り、同一の参照番号が、同一又は類似部分を参照する図面及び説明に使用される。
軽量で薄型製品の傾向にあっては、本発明の実施形態によって提供されるピエゾアクチュエータシステムは、小さなサイズを有し、かつ、カメラフォンのレンズモジュール及び薄いタイプの光学ディスクドライブのピックアップヘッドに適用することができる。さらに、他の従来のピエゾアクチュエータシステムに比べて、本発明の実施形態によって提供されるピエゾアクチュエータシステムは、迅速な駆動、低雑音、省電力、使用回数がより多いなどの利点を有する。
図3Aは、本発明の実施形態に基づく、ピエゾアクチュエータシステム30の概略側面図である。図3Aに示すように、位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム30は、非可動ベース32、ピエゾ材料34、駆動軸36、及び可動部38を具備している。非可動ベース32は、駆動電圧を供給する駆動回路31を有する。ピエゾ材料34は、非可動ベース32上に固定され、かつ、駆動回路34と電気的に接続されている。ピエゾ材料34の長さは、駆動電圧によって制御される。駆動軸36は、ピエゾ材料34上に固定され、かつ、インピーダンス材料を有する少なくとも2つの導電部35を有している(図3Bに示すとおり)。可動部38は、駆動軸36上に配置され、かつ、導電材料から成るスペーサ33がその底部に取り付けられている。2つの導電部35は、導電パスを形成するように、スペーサ33と電気的に接続されている。駆動回路31は、導電パスのインピーダンスを検出して、可動部38の位置を決定する。
図3Bは、本発明の実施形態に基づく、ピエゾアクチュエータシステム30の概略上面図である。図3Bに示すように、本実施形態では、2つの導電部35は、スペーサ33とともに(図3Bに図示せず、スペーサ33は可動部38の底部に配置されている)、導電パスを形成している。駆動回路31は、導電パスのインピーダンスに基づいて可動部38の位置を取得する。本実施形態によって提供されるピエゾアクチュエータシステム30は、実装するのに単純かつ容易であって、複雑なポジショニングシステムを必要としない。このため、迅速な駆動、低雑音、省電力、小容量、実装が容易、使用回数がより多いなどの利点を有する。
図3Cは、2つの導電部35及びスペーサ33によって、電気的に形成された導電パスの等価回路図である。図3Cに示すように、導電部35は、複数のインピードルZの組み合わせと等価であってよい。本実施形態では、スペーサ33は低い抵抗(ほぼゼロ)の導電材料からなり、その結果、スペーサ33は鉛と同等のものでよい。図3Cでは、導電パスのインピーダンスが4Zであることを駆動回路31が検出する場合、可動部38は位置bにあることが既知である。同様に、可動部38が位置aにある場合、駆動回路31によって検出されるインピーダンスは2Zである。可動部38が位置cにある場合、駆動回路31によって検出されるインピーダンスは6Zである。
加えて、導電パスのインピーダンスの検出を通じて、駆動回路31はまた、可動部38を所定の目標位置に動かすための駆動電圧を供給するか否かを決定することができる。例えば、ユーザが可動部38を位置cに動かすことを意図する。しかし、可動部38は、非定常駆動電圧又はピエゾ材料34の処理変動に起因して単に位置bに動く。この時、駆動回路31によって検出されるインピーダンスは4Zだけである。したがって、可動部38を位置cに動かすように、駆動回路31はピエゾ材料34に駆動電圧をさらに供給する。
図3D乃至3Fは、インピードルZが抵抗R、導体L及びキャパシタCによってそれぞれ実施されている場合の等価回路図である。しかし、それは、本発明の範囲を限定することを意図しない。加えて、導電パスの電圧差を取得するために既知の基準電流を送ることを通じて、駆動回路31は、駆動経路のインピーダンスを検出することができ、それによって、可動部38の位置を取得する。
最後に、図4には、本発明の1実施形態に基づく位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータのための方法の過程の概略図が図示されている。本方法は次のステップを具備している。(S41)可動部及び駆動軸が形成される。可動部は駆動軸上に配置される。導電材料からなるスペーサが可動部の底部に取り付けられる。駆動軸は少なくとも2つの導電部を有し、かつ、2つの導電部及びスペーサは導電パスを形成する。(S43)駆動電圧は、可動部を動かすように、ピエゾ材料の長さを変化するように供給される。駆動軸はピエゾ材料上に固定される。(S45)可動部の位置は、導電パスのインピーダンスに基づき決定される。
さらに、可動部38が目標位置に動いていなかった場合、本方法は、(S47)可動部の位置を調整するように、可動部の位置に基づき駆動電圧を供給するステップをさらに具備する。したがって、ステップ47を通じて、上記方法は、可動部38を所定の目標位置に動かすことができる。
上記から分かるように、本発明の実施形態によって提供されるピエゾアクチュエータシステムは、インピーダンス検出を使用して可動部の位置を決定し、その結果、全体のシステムが単純であり、かつ、追加の複雑な回路を必要としない。したがって、本発明は、迅速な駆動、低雑音、省電力、小容量、実装が容易、使用回数がより多いなどの利点を有する。
当業者には、本発明の範囲又は趣旨から逸脱することなく、本発明の構造に多様な変更形態及びバリエーションがなされうることが明らかである。以上から分かるように、本発明は、本発明の変更形態及びバリエーションをカバーし、それらが添付の特許請求の範囲及びその同等物の範囲内であることを意図する。
図1Aは、定常状態の従来のピエゾアクチュエータシステム10の概略側面図である。 図1Bは、ゆっくりと増加する電圧がピエゾ材料14に印加される場合の従来のピエゾアクチュエータシステム10の概略側面図である。 図1Bは、迅速に降圧する電圧がピエゾ材料14に印加される場合の従来のピエゾアクチュエータシステム10の概略側面図である。 図2は、ホールセンサ21を有するピエゾアクチュエータシステム20の概略側面図である。 図3Aは、本発明の1実施形態に基づくピエゾアクチュエータシステム30の概略側面図である。 図3Bは、本発明の1実施形態に基づくピエゾアクチュエータシステム30の概略上面図である。 図3Cは、導電パスが2つの導電部35及びスペーサ33によって電気的に形成された等価回路図である。 図3Dは、インピードルZが抵抗R、インダクタL及びキャパシタCによってそれぞれ実施される場合の等価回路図である。 図3Eは、インピードルZが抵抗R、インダクタL及びキャパシタCによってそれぞれ実施される場合の等価回路図である。 図3Fは、インピードルZが抵抗R、インダクタL及びキャパシタCによってそれぞれ実施される場合の等価回路図である。 図4は、本発明の実施形態に基づく位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータのための方法の過程を図示するフローチャートである。
符号の説明
30 ピエゾアクチュエータシステム
31 駆動回路
32 非可動ベース
33 スペーサ
34 ピエゾ材料
35 導電部
36 駆動軸
38 可動部

Claims (14)

  1. 位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステムであって、
    駆動電圧を供給する駆動回路を具備する非可動ベースと、
    前記非可動ベース上に固定され、かつ、前記駆動回路と電気的に接続されたピエゾ材料と、
    前記ピエゾ材料上に固定され、かつ、インピーダンス材料を有する少なくとも2つの導電部を具備する駆動軸と、
    前記駆動軸上に配置され、かつ、その底部に取り付けられた導電材料から成るスペーサを具備する可動部と
    を具備し、
    前記ピエゾ材料の長さは、前記駆動回路によって制御され、
    前記2つの電導部は、導電パスを形成するように、前記スペーサと電気的に接続され、かつ、前記駆動回路は、前記導電パスのインピーダンスを検出して、前記可動部の位置を決定する
    ことを特徴とする位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム。
  2. 前記2つの導電部は、複数の抵抗
    を具備することを特徴とする請求項1に記載の位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム。
  3. 前記2つの導電部は、複数のインダクタ
    を具備することを特徴とする請求項1に記載の位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム。
  4. 前記2つの導電部は、複数のキャパシタ
    を具備することを特徴とする請求項1に記載の位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム。
  5. 前記駆動回路は、前記可動部の位置を調整するように、前記可動部の位置に基づき、前記駆動電圧を供給する
    ことを特徴とする請求項1に記載の位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム。
  6. 位置検出機能を備えた前記ピエゾアクチュエータシステムは、カメラフォンのレンズモジュール、又は、薄いタイプの光学ディスクドライブのピックアップヘッドに適用される
    ことを特徴とする請求項1に記載の位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム。
  7. 前記駆動回路は、前記可動部の位置を取得する前記導電パスの前記インピーダンスを検出するように、既知の基準電流を送信して、前記導電パスの電圧差を取得する
    ことを特徴とする請求項1に記載の位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム。
  8. 位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータのための方法であって、
    可動部及び駆動軸を供給するステップと、
    前記可動部を動かすように、ピエゾ材料の長さを変化する駆動電圧を供給するステップと、
    導電パスのインピーダンスに基づき前記可動部の位置を決定するステップと
    を具備し、
    前記可動部は、前記駆動軸上に配置され、スペーサは、前記可動部の底部に取り付けられ、前記スペーサが導電材料からなり、かつ、前記駆動軸が少なくとも2つの導電部を具備し、
    前記2つの導電部は、導電パスを形成するように、前記スペーサと電気的に接続され、
    前記駆動軸は、前記ピエゾ材料上に固定される
    ことを特徴とする位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータのための方法。
  9. 前記2つの導電部は、複数の抵抗
    を具備することを特徴とする請求項8に記載の位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータのための方法。
  10. 前記2つの導電部は、複数のインダクタ
    を具備することを特徴とする請求項8に記載の位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータのための方法。
  11. 前記2つの導電部は、複数のキャパシタ
    を具備することを特徴とする請求項8に記載の位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータのための方法。
  12. 前記可動部の位置を調整するように、前記可動部の位置に基づき、駆動電圧を供給するステップ
    をさらに具備することを特徴とする請求項8に記載の位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータのための方法。
  13. 位置検出機能を備えた前記ピエゾアクチュエータのための方法は、カメラフォンのレンズモジュール、又は、薄いタイプの光学ディスクドライブのピックアップヘッドに適用可能である
    ことを特徴とする請求項8に記載の位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータのための方法。
  14. 前記駆動回路は、前記可動部の位置を取得する前記導電パスの前記インピーダンスを検出するように、既知の基準電流を送信して、前記導電パスの電圧差を取得する
    ことを特徴とする請求項8に記載の位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータのための方法。
JP2008177329A 2008-03-18 2008-07-07 位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム及びその方法 Pending JP2009225654A (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW097109507A TWI348775B (en) 2008-03-18 2008-03-18 Piezoelectric actuator system with position detection and method thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009225654A true JP2009225654A (ja) 2009-10-01

Family

ID=40765912

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008177329A Pending JP2009225654A (ja) 2008-03-18 2008-07-07 位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム及びその方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7550896B1 (ja)
JP (1) JP2009225654A (ja)
TW (1) TWI348775B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2966458A1 (en) 2014-07-09 2016-01-13 Hitachi High-Tech Science Corporation Three-dimensional fine movement device

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5185640B2 (ja) * 2008-01-25 2013-04-17 オリンパス株式会社 慣性駆動アクチュエータ
US11818956B2 (en) * 2019-04-01 2023-11-14 Anya L. Getman Piezoelectric adaptive mesh

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11356070A (ja) * 1998-06-08 1999-12-24 Minolta Co Ltd 電気機械変換素子を用いた駆動装置およびその駆動回路
JP2001268951A (ja) * 2000-03-23 2001-09-28 Minolta Co Ltd 駆動装置
JP2004266881A (ja) * 2003-02-03 2004-09-24 Tdk Corp リニアアクチュエータ

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3609927B2 (ja) 1997-11-06 2005-01-12 コニカミノルタホールディングス株式会社 駆動装置
US6249093B1 (en) * 1998-06-08 2001-06-19 Minolta Co., Ltd. Drive mechanism employing electromechanical transducer, photographing lens with the drive mechanism, and its drive circuit
TWI321264B (en) * 2007-12-31 2010-03-01 Ind Tech Res Inst Piezoelectricity-driving optical lens module

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11356070A (ja) * 1998-06-08 1999-12-24 Minolta Co Ltd 電気機械変換素子を用いた駆動装置およびその駆動回路
JP2001268951A (ja) * 2000-03-23 2001-09-28 Minolta Co Ltd 駆動装置
JP2004266881A (ja) * 2003-02-03 2004-09-24 Tdk Corp リニアアクチュエータ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2966458A1 (en) 2014-07-09 2016-01-13 Hitachi High-Tech Science Corporation Three-dimensional fine movement device
US10161958B2 (en) 2014-07-09 2018-12-25 Hitachi High-Tech Science Corporation Three-dimensional fine movement device

Also Published As

Publication number Publication date
TWI348775B (en) 2011-09-11
TW200941779A (en) 2009-10-01
US7550896B1 (en) 2009-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101912277B1 (ko) 액추에이터 구동 장치 및 이를 포함하는 카메라 모듈
US7679849B2 (en) Mobile lens unit with detection device
US8319839B2 (en) Optical image system
US10401641B2 (en) Camera system and lens unit therof
KR101892811B1 (ko) 카메라 모듈의 액츄에이터
CN111856840B (zh) 镜头驱动装置、相机模块和光学设备
KR101859377B1 (ko) 액추에이터 구동 장치 및 이를 포함하는 카메라 모듈
KR20100105547A (ko) 형상 기억 합금 구동 장치
US20090180202A1 (en) Lens positioning system
US20110199696A1 (en) Piezoelectric actuator assembly and optical system including the same
JP6155460B2 (ja) 駆動部材、リニア駆動装置、カメラ装置及び電子機器
US8842382B2 (en) Position sensor assembly and optical device including the same
CN101285988A (zh) 微型摄像头模块位移感知传感器
KR101782999B1 (ko) 손떨림 보정 장치
US7738210B2 (en) Position control method of inertial drive actuator and inertial drive actuator
CN101266387A (zh) 小型摄像头模块位移感知传感器
JP2009225654A (ja) 位置検出機能を備えたピエゾアクチュエータシステム及びその方法
CN111025521B (zh) 自动对焦滚珠式usm的透镜驱动装置、相机装置及电子设备
KR20180012839A (ko) 액추에이터 구동 장치 및 이를 포함하는 카메라 모듈
JP2015219410A (ja) レンズ駆動装置
US8953264B2 (en) Position detecting apparatus and lens barrel assembly including the same
KR100713547B1 (ko) 소형 카메라 모듈의 변위 감지 센서
KR102138528B1 (ko) 카메라 모듈 및 그의 오토 포커스 방법
KR102327732B1 (ko) 액추에이터 구동 장치 및 이를 포함하는 카메라 모듈
JP2007025124A (ja) 像ぶれ補正装置

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100831

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110208